DE3602596C2 - - Google Patents

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DE3602596C2 DE19863602596 DE3602596A DE3602596C2 DE 3602596 C2 DE3602596 C2 DE 3602596C2 DE 19863602596 DE19863602596 DE 19863602596 DE 3602596 A DE3602596 A DE 3602596A DE 3602596 C2 DE3602596 C2 DE 3602596C2
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67138—Apparatus for wiring semiconductor or solid state device

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US3518752A (en) * 1967-07-28 1970-07-07 Western Electric Co Method of and apparatus for loading semiconductor devices

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