DE3511132A1 - Plaziervorrichtung - Google Patents

Plaziervorrichtung

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DE3511132A1
DE3511132A1 DE19853511132 DE3511132A DE3511132A1 DE 3511132 A1 DE3511132 A1 DE 3511132A1 DE 19853511132 DE19853511132 DE 19853511132 DE 3511132 A DE3511132 A DE 3511132A DE 3511132 A1 DE3511132 A1 DE 3511132A1
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Stanley Robert Manchester New Hampshire Vancelette
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    • HELECTRICITY
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    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components

Description

USM Corporation 26. 3. 1985 Bd/IV/he
Farmington, Conn. 06032 U 6099
Zustellanschrift: 181, Elliott Street
Beverly, MA 01915
j, Beschreibung
Plaziervorrichtung
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aufnehmen und. Plazieren von kleinen Artikeln wie Mikroelektronik-Bauteile an einem Gegenstand.
Beim Handhaben von Mikroelektronik-Bauteilen (Chips) wird das Bauteil von einer Zuführung erhalten und zu einem Plazierkopf transportiert, welcher eine Plaziervorrichtung aufweist, die das Bauteil aufnimmt und es an einer Platte mit gedruckter Schaltung plaziert. Eine solche Vorrichtung zum Handhaben eines Bauteiles ist in der US-Anmeldung Ser.No. 299 979 beschrieben. In der US-Anmeldung Ser.No. 565 749 ist ein Mechanismus zum Einstellen der Position des Plazierkopfes für verschieden große Bauteile erläutert. Dort führt der Plazierkopf eine Bewegung auf einer Vertikalachse von der Position zum Aufnehmen des Bauteiles aus, um das QQ Bauteil an der Platte mit gedruckter Schaltung zu positionieren.
Es gibt Maschinen zum automatischen Erhalten von Bauteilen von Chipgröße von einer Zuführquelle und zum Transportieren des Bauteiles zu einem Plazierkopf, welcher das Bauteil an einer Platte mit gedruckter Schaltung positioniert.
Beispiele derartiger Maschinen sind in den US-PSen 4 307 832, 4 327 482, 4 346 514 und 4 393 579 erläutert. Keine dieser Vorrichtungen weist eine Plaziervorrichtung mit einer Vertikalbewegung längs einer einzigen Achse auf, während welcher die Vorrichtung das Bauteil aufnimmt und es abwärts zu der Platte bewegt, um es zwischen den leitenden Stegen der Schaltung auf der Platte zu positionieren. Weiterhin sind die Plaziervorrichtungen nicht auf der gleichen Achse drehbar positionierbar, um das Bauteil mit der Schaltung an der Platte auszurichten.
Gegenstand der Erfindung ist eine Plaziervorrichtung, welche vertikal verschiebbar ist, um ein Mikroelektronik-Bauteil aufzunehmen und es zwischen den leitenden Stegen an einer Platte mit gedruckter Schaltung anzuordnen.
Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist eine Plaziervorrichtung, die auf einer einzigen Achse vertikal aus einer Position zum Aufnehmen eines Bauteiles bewegbar ist und das Bauteil an einer Platte plaziert und ebenfalls auf der gleichen Vertikalachse drehbar ist, um die Leiter des Bauteiles mit den leitenden Stegen der Schaltung auf der Platte auszurichten.
Ein weiterer Gegenstand der Erfindung besteht in einem Gehäuse der Plaziervorrichtung, welches oberhalb eines Förderers positionierbar ist, um einen Artikel von dem Förderer aufzunehmen und ihn an einem Substrat bzw. Gegenstand zu plazieren. Eine Spindel ist in dem Gehäuse zwecks
QQ Auf- und Abbewegung auf einer Vertikalachse angeordnet und kann sich um diese Achse drehen, um den Artikel mit vorgewählten Abschnitten des Gegenstandes zweckmäßig auszurichten. Eine Plazierstange ist in der Spindel vorgesehen und weist eine Spitze zum Aufnehmen und Halten des Bautei-
gg les auf. Es ist eine nachgiebige Verbindung zwischen der Spindel und der Plazierstange vorgesehen, um das Auftreffen
beim Plazieren des Bauteiles auf dem Gegenstand abzudämpfen und um sich verschiedenen Dicken des Substrates bzw. Gegenstandes anzupassen. Ein nachgiebiger Teil der Spitze dämpft ebenfalls das Auftreffen des Bauteiles auf der Platte beim Plazieren. Die Stange und die Spitze weisen eine Mittelöffnung auf, die dann, wenn sie einem Vakuum ausgesetzt ist, den Artikel an der Spitze hält und welche, wenn Druckluft zur Einwirkung gelangt, den Artikel von der Spitze auf dem Gegenstand freigibt.
Die Erfindung wird nachfolgend an einem Ausführungsüeispiel anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert.
In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine Seitenansicht des Plazierkopfes,
Fig. 2 eine Schnittansicht der Plaziervorrichtung,
Fig. 3 die Plaziereinrichtung in auseinandergezogener Darstellung.
Die Vorrichtung zum Anordnen von Mikroelektronik-Bauteilen, bei welcher die Plaziervorrichtung gemäß Erfindung verwendet ist, ist der::Art, wie sie in der US-Patentanmeldung 299 979 erläutert ist. Diese bekannte Maschine verwendet einen Luftforderer zum Transport eines Bauteiles von einer Zuführquelle zu einer Vorrichtung, welche das Bauteil unterhalb des Plazierkopfes aufnimmt, der das
gQ Bauteil an der Platte positioniert. Nach der US-Patentanmeldung 565 749 ist die Komponentenaufnahmeeinrichtung in der Position einstellbar, um sich verschiedenen Bauteilgrößen anzupassen, das Bauteil in dem Plazierkopf zu zentrieren und um zu gewährleisten, daß die Bauteilleiter
gg an den leitenden Stegen der Schaltung an der Platte plaziert werden. Auf diese Druckschriften wird Bezug genommen.
Bei der bezeigten Vorrichtung zum Plazieren von Bauteilen umfaßt ein Plazierkopf 8 einen Luftförderer 10, der das Bauteil c von einer nicht gezeigten Zuführquelle zu einer Aufnahmeeinrichtung 12 transportiert, die unterhalb der Plaziervorrichtung 14 angeordnet ist. Die Aufnahmeeinrichtung 12 umfaßt ein einstellbares Fach 16, welches von einem Kolben 18 in einem Zylinder 20 positionierbar ist. Die Luft in einer Leitung 22 bewegt den Kolben 18, um das Fach 16 einwärts unterhalb der Plaziervorrichtung 14 zu positionieren, so daß das Bauteil c in dem Fach von der Plaziervorrichtung 14 aufgenommen werden kann. Danach bewegt die Luft in der Leitung 24 den Kolben 18 nach rechts, um das Fach 16 auswärts zu bewegen, um der Plaziervorrichtung zu gestatten, sich zu der Platte (nicht 2g gezeigt) hinzubewegen und dort das Bauteil anzuordnen. Eine Haltemechanik 26 steuert die Rückwärtsbewegung des Kolbens 18, um die Position des Faches 16 unterhalb der Plaziervorrichtung zu steuern.
Die Plaziervorrichtung 14 ist in einem Gehäuse 28 getragen, welches am Maschinenrahmen (nicht gezeigt) angeordnet ist. Das Gehäuse 28 weist eine abgestufte Bohrung 30 mit einem oberen Abschnitt 32 und einem unteren Abschnitt 34 auf. Eine Spindel 36 ist in der Bohrung 30 getragen und weist eine untere, eine Piazierstange 40 tragende Öffnung 38 auf. Die Plazierstange 40 weist einen oberen Bereich 42 innerhalb der öffnung 38 und einen unteren Bereich 44 auf, in welche eine Spitze bzw. Düse 46 bei 48 eingeschraubt ist. Eine Öffnung 50 erstreckt
gQ sich durch die Plazierstange 4 0 und steht mit dem Inneren der öffnung 38 in Verbindung. Eine Vakuumleitung 42 ist bei 54 mit der unteren Bohrung 34 verbunden und versorgt die Düse 46 über öffnungen 56 in der Spindel 36 mit Vakuum. Eine Dichtung 58 umgibt das Ende 60 der Plazierstange
gc Die Stange 40 ist normalerweise mittels einer Feder 62 abwärts vorgespannt, die zwischen dem Ende 64 der öffnung
-B- J
38 und einem Stöpsel bzw. Zapfen 66 angeordnet ist. Eine Hülse 68 ist um das Ende 70 der Spindel 36 geschraubt und weist Setzschrauben 72, 74 auf, die an flachen Seiten 76, 78 der Plazierstange 40 gleiten, um eine Rotation der Plazierstange 40 in der Spindel 36 aus nachfolgend erkennbaren Gründen zu verhindern. Die Position der Hülse 68 an der Spindel 36 stellt den Abstand der Spitze 46 von dem Fach 16. Die Hülse 68 ist an der Spindel 36 mittels einer Verriegelungsmutter 69 verriegelt, um die Spitze 46 von dem Fach 16 vertikal zu positionieren. Eine Lagerbuchse 80 und eine Dichtung 82 sind um die Spindel 36 herum angeordnet, um die untere Bohrung 34 abzudichten und die untere Lagerfläche für die Spindel 36 zu schaffen. Eine zusätzliche Dichtung 83 umgibt die Spindel 36. Im Betrieb der insoweit erläuterten Plaziervorrichtung hält ein Vakuum in der Plazierstange ein Bauteil an der Düse 46. Wenn ein Bauteil an der Platte angeordnet ist, gestattet die Feder 62, welche gegen das Ende der Plazierstange 40 über den Zapfen 66 wirkt, ein Variieren der Plattenhöhen und dämpft den Aufschlag des Bauteiles auf der Platte während des Plazierens.
Es wird Bezug genommen auf Fig. 1 und 2, in welchen der Abschnitt der Plaziervorrichtung gezeigt ist, der die Plazierstange 40 absenkt, so daß nach Entfernen eines Bauteiles aus dem Fach 16 letzteres zu einer Position auf der Platte abgesenkt werden kann. Ein Einsatz 84 und eine Dichtung 86 sind in der oberen Bohrung 32 angeordnet, um die oberen und unteren Abschnitte der Bohrung 30 zu isolieren. Eine zusätzliche Dichtung 87 umgibt die Spindel 36. Gegen die Schulter 88 der Spindel 36 liegt ein Kolöen 90. Der Kolben 90 wird von einer Mutter 92 an der Spindel 36 gehalten. Ein nachgiebiger Dämpfer 94 umgibt die Spindel 36 zwischen dem Kolben 90 und dem Einsatz 84, um das Auftreffen des Kolbens 90 auf den Einsatz 84 abzuschwä-
chen.
Die Spitze 96 der oberen Bohrung 32 in dem Gehäuse 28 ist von einer Kappenanordnung 98 umgeben, welche der Spindel 36 gestattet, daß sie in dem Gehäuse während des PIazierens des Bauteiles auf der Platte auf- und abbewegt werden kann. Die Kappenanordnung 98 gestattet der Spindel 36 ebenfalls, daß sie sich dreht, so daß die Leiter der Komponente c, die an der Düse 46 getragen ist, mit den Stegen der Schaltung an der Platte ausgerichtet werden können.
Die Kappenanordnung 98 umfaßt eine Schale 100 mit einem Bodenabschnitt 102, der sich in die Spitze 96 der oberen Bohrung 32 erstreckt. Eine ringförmige Ausnehmung 104 umgibt den Bodenabschnitt 102 und enthält eine Dichtung
,γ 106, um die Bohrung 32 abzudichten. Die Spindel 36 ist über ein Lager 111 und eine Dichtung 110 in der Öffnung 112 in dem Bodenabschnitt 102 der Kappenanordnung 98 angeordnet. Die Dichtung 110 wird in der Öffnung 132 mittels eines Halteringes 144 gehalten. Der Bodenabschnitt 102 weist ebenfalls eine Aussparung 116 auf, um die Mutter 92 aufzunehmen, wenn sich der Kolben 90 in seiner oberen Lage befindet. Ein Dämpfer 108 umgibt den Bodenabschnitt 102, um das Auftreffen des Kolbens 90 auf der Kappenanordnung 98 abzuschwächen.
Eine Hülse 118 ist in Lagern 120, 122 angeordnet, die von einem Abstandsglied 124 voneinander getrennt sind. Eine Kappe 126 ist zwischen dem Lager 120 und einer Riemenscheibe 128 angeordnet, die mit der Hülse 118 einstückig ausgebildet ist. Ein Schnappring 132 in einer ringförmigen Ausnehmung 134 hält die Lager 120, 122 und das Abstandsglied 124 an der Hülse 118. Eine Kappe 126 ist über die Schale 100 am Gehäuse 28 mit Hilfe von Schrauben 150 befestigt. Eine Federscheibe 136 ist zwisehen dem Lager 120 und der Kappe 126 in der Aussparung 138 vorgesehen, um die Lager 120, 122 vorzuspannen für den
Zweck, daß ein Lagerspielraum beseitigt wird, so daß der Hülse 118 eine genauere und stabile Drehbewegung verliehen wird.
Eine im Schnitt quadratförmige Stange 140 ist in der öffnung 142 in der Hülse 118 positioniert und ruht auf der Schulter 144 an der Spindel 36. Eine Erstreckung 146 ist auf das Ende 148 der Spindel 36 geschraubt und fixiert die Stange 140 an der Spindel. Die quadratförmige Öffnung in der Hülse 118, durch welche sich die Stange 140 erstreckt, gestattet der Riemenscheibe 128, die Spindel 36 zu drehen, während sich die Spindel hin- und herbewegt. Die Riemenscheibe 128 ist von einem Riemen 132 angetrieben, der auf einer Antriebsscheibe 154 eines Motors 156 gehalten ist. Der Motor 156 dreht in Ansprechen auf programmierte Steuerung die Spindel 36 und somit die Plazierstange 40,um das Bauteil, das an dem Ende der Plazierstange gehalten ist, mit der gewünschten Stelle an der Platte auszurichten.
Die Kappe 126 und die Kappenanordnung 98 sind am Gehäuse 28 mittels Schrauben 150 montiert. Im zusammengebauten Zustand (Fig. 2) ruht das Lager 122 an der Schulter in der öffnung 160 der Schale 100.
Im Betrieb senkt, nachdem die Vakuumspitze 46 das Bauteil aus dem Fach 16 aufgenommen hat und sich das Fach 16 weiterbewegt, Luft in der Leitung 164 den Kolben 90 und somit die Spindel 36 abwärts, um der Plazierstange
go zu gestatten, das Bauteil auf die gedruckte Schaltungsplatte abzusenken. Mit der nachgiebigen Zwischenverbindung zwischen der Spindel und der Plazierstange werden variierende Dicken der Platte bzw. des Gegenstandes (Substrat) bewältigt.
Da ein Spielraum 165 um die Spindel 36 in der unteren Boh-
-B-
rung 34 vorhanden ist, hält das Vakuum weiterhin das Bauteil an der Düse 46. Zu der Zeit, wenn das Bauteil die Platte erreicht, wird das Vakuum in der Leitung 52 abgenommen und eine Druckluft in der Leitung 52 gibt das Bauteil von der Spitze oder der Düse 46 auf der Platte frei.
Danach hebt Luft in der Leitung 162 die Spindel 36 an, und das Fach 16 wird einwärts bewegt, um ein weiteres Bauteil aufzunehmen, so daß die Spitze 46 ein anderes Bauteil aus dem Fach 16 aufnehmen kann. Weiterhin gestattet während dieser Plazierfolge die Drehanordnung der Spindel, daß das Bauteil ausgerichtet wird, um zu gewährleisten, daß die Bauteilleiter zweckmäßig an den Stegen der Schaltung auf der Platte angeordnet sind.
Die Erstreckung 146 an der Spindel 36 .wirkt mit Schaltern 166 am Gehäuse 28 zusammen, um eine Anzeige der Position der Spindel 36 zu geben.
Es wird auf die Tatsache verwiesen, daß die Düse 46 eine Aussparung oder eine Ausnehmung 170 aufweist, in welcher das chipartige Bauteil ruht. Die Ausnehmung 170 weist ein Energie absorbierendes Material 172 auf, um ein Auftreffen beim Plazieren des Bauteiles an der Platte dämpfen zu helfen. Weiterhin wird das Bauteil zwischen den Seiten 174, 176 der Ausnehmung 170 gehalten, wenn die Spindel 36 während der Ausrichtung des Bauteiles mit der Schaltung auf der Platte gedreht wird.
3Q Es ist somit erkennbar, daß unter Verwendung einer Spindel, die in dem Piazierkopfgehäuse drehbar angeordnet ist und zu und von der Platte bewegbar ist, ein Bauteil zweckmäßig mit der Schaltung ausgerichtet werden kann und leicht und genau auf der Platte plaziert werden kann.
gg Weiterhin kann mit der gleitbar in der Spindel angeordneten Plazierstange das Bauteil auf unebenen Plattenoberflächen plaziert werden, ohne das Bauteil zu beschädigen.

Claims (15)

PATENT- UND RECHTSANWÄLTE ."-. BARDEHLE · PAGENBERG · DOST · ALTENBURG : FROHWhI TER & PARTNER RECHTSANWÄLTE PATENTANWÄLTE - EUROPEAN PATENT ATTORNEYS JOCHEN PAGENBERG dr. jur. ll. μ harvard·· HEINZ BARDEHLE dipl-ing BERNHARD FROHWITTER chpl-ing · WOLFGANG A. DOST dr.. dipl-chem. GÜNTER FRHR. v. GRAVENREUTH dipl-ing cfh>· UDO W. ALTENBURG dipl-phys. PATENT- UND RECHTSANWÄLTE. POSTFACH 860620. 8000 MÜNCHEN 86 POSTFACH 86O620 8000 MÜNCHEN 86 TELEFON (089)980361 TELEX 522 791 pad ti TELEFAX (089)989763 hypobank muc 6860130 600 (blz 70020001) pga muc 38737-808(blz 70010080) büro galileiplatz 1, 8000 münchen bo datum 26. 3, 1985 Bd/IV/he U 6099 Patentansprüche
1. Plaziervorichtung zum Aufnehmen eines Mikro-Elektronik-Bauteiles und zum Plazieren dieses Teiles an einem Gegenstand, dadurch gekenn ze ichnet , daß
a) ein stationäres Gehäuse (28) vorgesehen ist, welches oberhalb einer Einrichtung (10) zum Fördern des Bauteiles und einer Einrichtung (12) zum Aufnehmen des Bauteiles angeordnet werden kann, um das Bauteil an einer Platte mittels der Plaziervorrichtung zu positionieren, daß
b) eine Spindel (36) in dem Gehäuse zwecks Bewegung zu und von dieser Platte auf einer Vertikalachse angeordnet ist, daß
c) eine Einrichtung (128) an der Spindel vorgesehen ist,die diese Spindel (36) auf der Vertikalachse in jede Richtung über jeden vorbestimmten Bewegungsgrad drehen kann, um die Leiter des Bauteiles mit den Stegen der Schaltung an der Platte auszurichten, daß
d) eine Plazierstange (40) gleitbar in der Spindel angeordnet ist und eine Einrichtung (46) aufweist, um das Bauteil von der Aufnahmeeinrichtung (12) aufzunehmen und es an der Platte zu plazieren, und daß
e) die Verbindung zwischen der Stange (40) und der Spindel (36) eine Einrichtung (62) umfaßt, um beim Plazieren den Aufschlag des Bauteiles auf die Platte zu bedampfen und eine Änderung der Plattenhöhen zu gestatten.
2. Plaziervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung zwischen der Stange (40) und der Spindel (36) eine Feder (62) umfaßt, welche die Stange
(40) zu der Platte hin vorspannt.
3. Plaziervorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Hülse (68) an der Spindel (36) mittels einer Verriegelungsmutter (69) befestigt ist, welche die Stange (40) umgibt, und daß die Hülse (68) die Stange
•ic (40) und die Spindel (36) in axialer Ausrichtung hält, während sie eine Gleitverbindung zwischen Stange (40) und Spindel (36) gestattet.
4. Plaziervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn-2Q zeichnet, daß die Spindel (36) in einem Kolben (90) angeordnet ist, der in einer Bohrung (30) in dem Gehäuse (28) vorgesehen ist, und daß der Kolben (90) mit Fluid betätigbar ist, um die Spindel (36) auf der vertikalen Achse zu und von der Platte zu bewegen.
5. Plaziervorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Verriegelungsmutter (69) die Hülse
(68) an der Spindel (36) positionieren kann, um die Stange (40) vertikal einzustellen.
6. Plaziervorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß in einem Ende (96) der Bohrung (30) in dem Gehäuse (28) eine Kappenanordnung (89) vorgesehen ist, wobei das obere Ende der Spindel (36) in der Kappenanordnung
g (98) drehbar angeordnet ist.
7. Plaziervorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kappenanordnung (98) ein Schalenglied (100) einschließt, das in dem Ende (96) der Bohrung (30) abgedichtet ist und die drehbare Anordnung (120, 122) stützt.
8. Plaziervorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die drehbare Anordnung eine angetriebene Scheibe (128) trägt.
9. Plaziervorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (46) an der Stange zum Aufnehmen des Bauteiles eine Vakuumdüse (46) mit einer Einrichtung (170, 174, 176) einschließt, welche während der
, p- Rotation der Spindel das Bauteil in axialer Ausrichtung mit der Stange (40) hält.
10. Plaziervorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (46) mit Luftdruck beaufschlagbar
n ist, um das Bauteil an der Platte freizugeben.
11. Plaziervorrichtung zum Positionieren eines kleinen Körpers an einem Gegenstand, dadurch gekennzeichnet, daß
a) ein Gehäuse (28) oberhalb des Gegenstandes ge- -C tragen ist und eine zylindrische öffnung (30) aufweist, daß
b) eine Spindel (36) um eine Vertikalachse drehbar in der öffnung (30) angeordnet ist, daß
c) ein Kolben (90) die Spindel umgibt und in der o Öffnung getragen ist und in Ansprechen auf ein Fluid bewegbar ist, um die Spindel (36) zu und von dem Gegenstand auf der Vertikalachse zu bewegen, daß
d) diese Spindel (36) einen unteren Endabschnitt (38) aufweist, der gleitbar eine Plazierstange (40) auf-
__ nimmt, die das Bauteil aufnehmen und es an dem Gegenob
stand plazieren kann, und daß
e) die Zwischenverbindung (68, 69) zwischen der Spindel (36) und der Stange (40) die Spindel (36) und die Stange (40) in axialer Ausrichtung hält und ein vertikales Einstellen der Stange (40) in Bezug auf die Spindel
(36) gestattet.
12. Plaziervorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Plazierstange (40) eine Spitze (46) aufweist, welche den Artikel halten kann, daß eine Mittelöff-
^o nung (50) in der Stange (40) und der Spitze (46) vorgesehen ist, und daß bei Anlegen eines Vakuums der Artikel an der Spitze (46) gehalten wird und bei Einwirkung von Luftdruck der Artikel von der Spitze (46) auf dem Gegenstand freigegeben wird.
15
13. Plaziervorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine nachgiebige Zwischenverbindung (62) zwischen der Spindel (36) und der Stange (40) vorgesehen ist, um den Aufschlag des Artikels auf dem Gegenstand abzu-
20 dämpfen.
14. Plaziervorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Stangenspitze (46) eine Einrichtung (170, 174, 176) umfaßt, um den Gegenstand während der Dreh-
2g bewegung der Spindel (36) einzuschließen, wobei ein Dämpfer (172) zum Dämpfen des Plazierauftreffens des Artikels an dem Gegenstand dämpft.
15. Plaziervorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekenn-QQ zeichnet, daß eine Kappenanordnung (98) in der öffnung
(30) angeordnet ist und die Spindel (36) drehbar trägt.
35
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GB (1) GB2156710B (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4799854A (en) * 1987-07-20 1989-01-24 Hughes Aircraft Company Rotatable pick and place vacuum sense head for die bonding apparatus
FR2632480B1 (fr) * 1988-06-03 1990-08-24 Loupot Sa J Machine de montage en surface semi-automatique et tete de montage
US5446323A (en) * 1991-09-25 1995-08-29 Systems, Machines, Automation Components Corporation Actuator with translational and rotational control

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3597824A (en) * 1968-03-19 1971-08-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Full-automatic electric part mounting apparatus
JPS5325368A (en) * 1976-08-23 1978-03-09 Hitachi Ltd Pellet attaching collet
US4151945A (en) * 1977-12-08 1979-05-01 Universal Instruments Corporation Automated hybrid circuit board assembly apparatus
JPS623598B2 (de) * 1979-01-25 1987-01-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd
US4231153A (en) * 1979-02-22 1980-11-04 Browne Lawrence T Article placement system
NL8001114A (nl) * 1980-02-25 1981-09-16 Philips Nv Inrichting voor de montage van aansluitdraadloze plaat- of blokvormige elektronische onderdelen op een substraat.
US4372802A (en) * 1980-06-02 1983-02-08 Tokyo Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Apparatus for mounting chip type circuit elements on printed circuit boards
GB2096498B (en) * 1980-06-02 1983-10-26 Tdk Electronics Co Ltd Apparatus for mounting chip type circuit elements
US4503606A (en) * 1980-12-26 1985-03-12 Citizen Watch Company Limited Automatic assembling machine
US4458412A (en) * 1981-05-06 1984-07-10 Universal Instruments Corporation Leadless chip placement machine for printed circuit boards
US4501064A (en) * 1981-09-08 1985-02-26 Usm Corporation Micro component assembly machine
NL8201593A (nl) * 1982-04-16 1983-11-16 Philips Nv Inrichting voor het overbrengen van een elektrisch of elektronisch onderdeel naar een montagepaneel.
JPS5928399A (en) * 1982-08-09 1984-02-15 Sanyo Electric Co Device for mounting electronic part

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