DE3123205C2 - Verfahren zur Herstellung eines Glasfilmes unter Verwendung einer Silicium-Alkoxid enthaltenden Lösung - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Glasfilmes unter Verwendung einer Silicium-Alkoxid enthaltenden Lösung

Info

Publication number
DE3123205C2
DE3123205C2 DE19813123205 DE3123205A DE3123205C2 DE 3123205 C2 DE3123205 C2 DE 3123205C2 DE 19813123205 DE19813123205 DE 19813123205 DE 3123205 A DE3123205 A DE 3123205A DE 3123205 C2 DE3123205 C2 DE 3123205C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
solution
film
alkoxide
silicon
viscous solution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19813123205
Other languages
English (en)
Other versions
DE3123205A1 (de
Inventor
Kanichi Mie Kamiya
Kensuke Matsuzaka Makita
Michiharu Mishima
Sumio Tsu Sakka
Yuji Matsuzaka Yamamoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Central Glass Co Ltd
Original Assignee
Central Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP7770380A external-priority patent/JPS6058180B2/ja
Priority claimed from JP15212180A external-priority patent/JPS6058181B2/ja
Application filed by Central Glass Co Ltd filed Critical Central Glass Co Ltd
Publication of DE3123205A1 publication Critical patent/DE3123205A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3123205C2 publication Critical patent/DE3123205C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/04Glass compositions containing silica
    • C03C3/076Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/04Glass compositions containing silica
    • C03C3/062Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

Eine gleichförmige und transparente Schicht aus Quarzglas wird aus einer Lösung hergestellt, die durch Auflösen eines Silizium-Alkoxids in einer Wasser, ein hydrophiles organisches Lösungsmittel und eine Säure als Hydrolysierungskatalysator enthaltenden Lösung erhalten wird. Ein Film wird aus der viskosen Lösung in einem freien Raum ohne Benutzung einer flüssigen oder Feststoffoberfläche zum Abstützen des Filmes beispielsweise durch Ziehen durch einen Schlitz oder durch Einfangen mittels eines Ringes gebildet. Der Film wird in der Umgebungsluft zum Gelieren gebracht und schließlich auf etwa 1000 ° C erhitzt. Eine Schicht aus einem modifizierten Quarzglas, das in der Glasmatrix mindestens ein Metall, z.B. Ti oder Zr enthält, kann auf allgemein gleichartige Weise unter Benutzung eines Gemisches aus einem Silizium-Alkoxid und einem oder mehreren Alkoxiden des erwünschten Metalls als Ausgangsmaterial erzeugt werden.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Glasfilmes, bei dem eine Alkoxidlösung mit einem Silicium-Alkoxid, Wasser, einem hydropfc?*en organischen Lösungsmittel und gegebenenfalls einer Säure bereitet wird, eine Hydrolisierung des Silicium-Alkoxides in der Lösung abgewartet wird, bis die Lösung eine geeignete Viskosität erreicht ein RIm aus der viskosen Lösung gebildet wird, und dieser RIm auf eine zur Umwandlung in einem Glasfilm ausreichende Temperatur erhitzt wird.
Relativ dünne Schichten aus Quarzglas oder modifiziertem Siliciumoxidglas finden weitgehende Anwendung, wie beispielsweise zum Schutz von leicht zu verkratzenden Kunststoffen, Schutz von nicht ausreichend gegen Chemikalien beständigen Glasgegenständen und zum Oberflächenschutz oder zur Isolierung von Metallplatten.
Quarzglas wird normalerweise durch Aufschmelzen von Quarz oder durch Oxidation einer geeigneten Siliciumverbindung, wie beispielsweise Silicium-Tetrachlorid, in einer -Sauerstoff-Wasserstoff-Flamme oder einer Plasmaflamme von Sauerstoffgas erzeugt, es ist jedoch praktisch unmöglich, durch eines dieser Verfahren einen RIm aus Quarzglas herzustellen. Es ist allgemein bekannt, daß eine Glasschicht oder ein Glasfilm durch Blasen geschmolzenen Glases gebildet werden kann, jedoch ist dieses Verfahren bei der Herstellung eines Quarzglasfilmes in einer Linie deshalb nicht geeignet weil das Aufschmelzen des Quarzglases eine sehr hohe Temperatur von etwa 2000"1C erfordert, wodurch sich Schwierigkeiten bei der Schichtausbildung ergeben. Wenn ein Quarzglasfilm oder eine Quarzglasschicht durch ein derartiges Verfahren überhaupt ausgebildet werden können, ergibt sich unvermeidbar ein gekrümmter und nicht ausreichend ebener Quarzglasfilm.
Fs ist auch noch ein Verfahren bekannt, bei dem eine Quarzglasschicht dadurch erzielt wird, daß zuerst eine sehr dünne Schicht aus Quarzglas auf einem Substrat durch ein Vakuumscheideverfahren ausgebildet wird, und daß daraufhin das Substrat aufgelöst und entfernt wird. Es ist jedoch sehr schwierig, mit diesem Verfahren eine Schicht ausreichender Stärke zu erzielen, und außerdem ergibt dieses Verfahren eine sehr geringe Ausbeute.
Ein Herstellverfahren nach JP-OS 51(1976)-34 219 besteht darin, daß eine ein teilweise polymerisiertes Silicium-Alkoxid enthaltende Flüssigkeit auf eine Wasseroberfläche zur Bildung einer Flüssigkeitsschicht aufgetropft wird, daß dieser Film durch Hydrolyse zur Gelbildung gebracht wird, und daß der gelierte Film zur Umwandlung in einen Quarzglasfilm erhitzt wird. Von dem Gesichtspunkt der praktischen Ausführung aus erweist sich dieses Verfahren jedoch als nicht so günstig
wie erwartet, da die schnelle Gelierung des Flüssigkeitsfilmes auf der Wasseroberfläche Schwierigkeiten bei der Bildung einer starken Schicht bereitet und weiterhin deswegen, weil der Flüssigkeitsfilm nicht immer gleichförmig hydrolisiert, so daß die Glasschicht teilweise lichtundurchlässig und wolkig werden kann.
Als Abänderung dieses Verfahrens ist vorgeschlagen worden, einen Quarzglasfilm dadurch herzustellen, daß eine Schicht aus einer hydrolisierenden Alkoxidlösung auf eine Oberfläche eines Feststoffsubstrates oder eines geeigneten Gefäßes aufgebracht wird, daß dieser Film durch Gelierung in einen Glasfilm gewandelt und dadurch der Glasfilm von der Stützfläche abgezogen wird. Dadurch kann jedoch ein starker Film kaum erreicht werden, einerseits, weil es fast unmöglich ist, eine gleichförmige Gelierung des Flüssigkeitsfilmes wegen der unterschiedlichen Hydrolisierungsgeschwindigkeit und der unterschiedlichen Gelierung an der freiliegenden Außenseite der Schicht und der auf der Stützfläche aufliegenden Seite der Schicht zu erreichen, und andererseits zetöricht oder zerspring», der ungleichmäßig gelierte Film während des nachfolgenden Erhitzungsvorganges.
Ähnliche Nachteile weist ein Verfahren der eingangs genannten Art auf, das aus der OE-AS 19 41 191 bekannt ist. Bei diesem Verfahren wird ein Substrat, z. B. ein Formkörper aus Glas, in die viskose Lösung getaucht und dann aus der Lösung herausgezogen, wobei sich ein flüssiger Film in Form einer Beschichtung auf dem Substrat bildet, der dann erhitzt wird. -
Prinzipiell wird es als sehr vorteilhaft angesehen, Quarzglasschichten unter Verwendung einer Alkoxidlösung zu erzeugen, obwohl die. bisher rargeschlagenen Verfahren sich in der beschriebenen Weise als ziemlich nachteilig ergeben haben, weil bei >I iser Art der Herstellung kein Aufschmelzen bei sehr hohen Temperaturen erforderlich ist, und weil erwartet werden kann, daß Schichten der erwünschten Stärke mit hoher Produktivität erzeugt werden können. Ferner ist es mit Schichtbildungsverfahren dieser Art praktisch möglich, Schichten eines »modifizierten Quarzglases« zu erzeugen, die in der Glasmatrix mindestens ein anderes Metall als Silicium enthalten, wie beispielsweise SiO3-TiO2-GIaS und SiOrZrO2-GIaS. Derartige zusätzliche Metalle werden hauptsächlich zur Verbesserung der Wärmefestigkeit oder der chemischen Beständigkeit von Quarzglas zugegeben. Wenn ein modifiziertes Quarzglas unter Verwendung einer Alkoxidlösung hergestellt wird, ist es möglich, eine ideal gleichmäßige Durchmischung zu erreichen, d. h. der Molekülpegel der Glasbestandteile kann gleichförmig gehalten werden. Außerdem ist dieses Verfahren auch dann praktisch durchführbar, wenn die beabsichtigte Glaszusammensetzung eine derart hohe Schmelztemperatur oder eine so starke Kristallisationstendenz besitzt, daß die Herstellung der gleichen Glaszusammensetzung durch Aufschmelzen sehr schwierig ist. Die bisher vorgeschlagenen und beschriebenen Verfahren zur Erzeugung von Quarzglasschichten sind zumindest theoretisch auch für die Herstellung von modifizierten Quarzglasschichten brauchbar. Jedoch bleiben die angeführten Nachteile oder Probleme im wesentlichen ungeändert auch bei modifizierten Quarzgläsern bestehen, und die Erhöhung der Zahl der verschiedenen Glasbestandleile ergibt sogar zusätzliche Schwierigkeiten für das Verfahren mit Aufschmelzen und Blaser, und für das Verfahren mit Vakuumabschciden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren der eingangs genannten Art zu schaffen, bei dem eine gleichförmige, fehlerfreie und transparente Glasschicht mit praktisch einsetzbarer Breite und Stärke erhalten werden kann.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß, ausgehend von dem eingangs genannten Verfahren, der FUm aus der viskosen Lösung in den freien Raum gebildet wird, ohne daß eine flüssige oder feste Oberfläche zum Abstützen des Filmes verwendet wird.
Falls beabsichtigt ist, eine Schicht aus reinem Quarzglas durch dieses Verfahren zu erzeugen, wird der Alkoxidlösung eine Säure als Katalysator zur Hydrolyse des Silicium-Alkoxides hinzugefügt.
Wird die Herstellung einer modifizierten Quarzglas-
.schicht beabsichtigt, so enthält die Alkoxidlösung zusätzlich mindestens ein Metall-Alkoxid. In diesem Fall ist es unnötig, 4er Lösung eine Säure zuzufügen, da das zusätzliche Metall-AIkoxid, das für das zusätzliche Giasbestandteil ausgenützt wird, spontan und leicht
hydrolisiert und die Hydrolyse des Silicium-AIkoxides in der gleichen Lösung die Hydrolyse des Metall-Alkoxides begleitet
Bevorzugte Beispiele von bei dem erfindungsgemäßen Verfahren einsetzbaren Silicium-Alkoxiden sind Silicium-Tetramethoxid Si(OCH3J4 (unter dem Namen Methyl-Silicat bekannt) und Silicium-Tetraethoxid Si(OC2H5)* (unter dem Ntemen Ethylsilicat bekannt).
Falls eine Schicht aus modifiziertem Quarzglas erzeugt werden soll, werden die zusätzlichen Metall-Alkoxide normalerweise aus Titan-Alkoxiden, Zirkon-Alkoxiden und Aluminium-Alkoxiden ausgewählt. Typische Beispiele sind Titan-Tetraisopropoxid, das mit der Formel
,5 Ti(OiSoC3H7)*
ausgedrückt werden kann, und Zirkontetrapropoxid Zr(OC3H7)*. Titan wird in dem Glas hauptsächlich zur Verbesserung der Wärmefestigkeit und Zirkon zur Verbesserung der Chemikalienbeständigft.cit eingeführt. Das organische Lösungsmittel wird zum Lösen des Alkoxides oder der Alkoxide benutzt, utn dadurch eine Affinität zwischen dem Alkoxid oder den Alkoxiden und Wasser zu erreichen und gleichzeitig das Auftreten von nicht gleichförmiger Gelierung der Lösung durch
außerordentlich rasche Reaktion der Alkoxide mit dem Wasser zu verhindern. Obwohl unterschiedliche Lösungsmittel im Gebrauch sind, und eigentlich keine besonderen Einschränkungen bei der Auswahl bestehen, wird normalerweise ein wiedriger Alkohol, wie beispiels-
'" weise Methanol, Ethanol, Propanol oder Butanol, verwendet.
Bei der Vorbereitung einer Silicium-Alkoxidlösung als Grundschritt des Verfahrens sollte das Molverhältnis Wasser zum Silicium-Alkoxid vorzugsweise nicht
i} größer als 4 :1 sein. Die Verwendung eines sehr großen Wasseranteils kann ergeben, daß die Lösung bei ansteigender Viskosität wolkig wird. Es ist üblich, eine relativ leichtflüchtige Säure, wie Salzsäure, Salpetersäure oder Essigsäure, als Katalysator zu verwenden.
Vorzugsweise wird das Molverhältnis der Säure zum Siliciüm-Alköxid nicht größer als Oj : 1 eingestellt. Es gibt keine strenge Begrenzung für die Menge des organischen Lösungsmittels. Eine geeignete Menge kann willkürlich bestimmt werden, um die beschriebe-
bD nen Anforderungen für das organische Lösungsmittel zu erfüllen.
Nach der Vorbereitung der Alkoxidlösung unier ausreichendem Rühren wird die Lösung entweder bei
Raumtemperatur oder bei einer leicht erhöhten Temperatur» wahlweise unter Rühren, gehalten, so daß ein allmähliches Hydratisieren des Silicium-AIkoxides in der Lösung erfolgt. Die Viskosität der Lösung steigt mit fortschreitender Hydrolyse an, und schließlich geliert die gesamte Lösung. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es erforderlich, einen Flüssigkeitsfilm schon auszubilden, bevor die Gelierung der Lösung eine Stufe erreicht hat, in der die Viskosität der Lösung für die Filmbndung ungeeignet ist Die Zeitlänge, die to erforderlich ist, um die Lösung eine geeignete Viskosität erreichen zu lassen; hängt von verschiedenen Faktoren, beispielsweise der Zusammensetzung der Lösung, der Temperatur der Lösung und der Form und der Größe des Behälters, in der sich die Lösung befindet, ab. Allgemein wird das Anwachsen der Viskosität der Alkoxidlösung dem Fortschreiten der Hydrolyse und dem Kondensieren des Dehydrats zugeschrieben, so daß der Anstieg der Viskosität schneller erfolgt, wenn der Anteil an organischem Lösungsmittel geringer ist, wenn die Wassermenge innerhalb der erwähnten Grenzen größer ist und die Temperatur höher ist. Bei der praktischen Ausführung werden geeignete Zeitbemessungen für das Ausbilden des Films unter Benutzung einer bestimmten Lösung dadurch bestimmt, daß experimentell die Zeit-Viskositäts-Beziehung dieser Lösung bei gleicher Hydrolysebedingung im voraus bestimmt wird.
Ein geeigneter Viskositätsbereich der hydrolisierenden Alkoxidlösung zur Filmbildung hängt von der Art des benutzten Filmbildungsvorganges ab, jedoch werden allgemein untere und obere Grenzen für die Viskosität bei 0,1 Pa s bzw. 100 Pa s bei Raumtemperatur festgesetzt, und in den meisten Fällen wird ein Viskositätsbereich von 1 bis 10 Pa s bevorzugt. Bei einer Viskosität von weniger als 0,1 Pa s ist es schwierig, einen zusammenhängenden Film zu bilden, und sobald die Viskosität über 100 Pa s ansteigt, wird es unmöglich, einen relativ dünnen Film auszubilden, da sich die Lösung infolge ihrer hohen Viskosität nicht mehr gleichmäßig verteilt
Als grundlegende Eigenschaft der vorliegenden Erfindung wird die Bildung eines Filmes aus der hydrolisierenden Alkoxidlösung im angemessenen Viskositätsbereich in einem freien Raum, normalerweise an Umgebungsluft, ohne Benutzung einer flüssigen oder festen Oberfläche zum Abstützen des Filmes angesehen. Ein bevorzugtes Beispiel eines erfindungsgemäßen Filmbildungsverfahrens ist das Ausziehen oder Extrudieren der viskosen r.ösung in einen freien Raum durch einer· Schlitz mit geeigneter Spaltbreite und -länge. Als weiteres bevorzugtes Beispiel wird das Eintauchen eines Rahmens, beispielsweise in Ringform mit geeignetem Durchmesser, in die viskose Lösung angesehen, woraufhin de·* Rahmen langsam aus der Lösung herausgezogen wird. Wahlweise kann während und/ oder nach dem Filmbildungsvorgang eine mäßige Erwärmung des viskosen Flüssigkeitsfilmes eingesetzt werden, um flüchtige, verdampfungsfähige Materie aus dem Film zu entfernen, dadurch die Hydrolyse und die Formstabilisierung des Filmes zu fordern, es ist jedoch auch möglich, die Hydrolyse praktisch dadurch zu Ende zu führen, daß der viskose Flüssigkeitsfilm an der Umgebungsluft bei Raumtemperatur gehalten wird. Es ist darüber hinpus zulässig, den viskosen Flüssigkeitsfilm b5 unmittelbar nach dem Filmbildungsvorgang dem ahschließenden Erhitzi ngsprozeß zur Umwandlung des Films in eine Quarzglasschicht zu unterziehen, ohne die vollständige Gelierung des viskosen Flüssigkeitsfilmes abzuwarten. Vor der vollständigen Hydrolyse besitzt der viskose Flüssigkeitsfilm eine beträchtliche Dukiilität und zeigt gute Verformbarkeit. Es ist deshalb zu diesem Zeitpunkt möglich, die Stärke der. Schicht einzustellen oder die Form des Filmes durch entsprechendes Ausziehen dieses Filmes zu beeinflussen. Auf dkse Weise kann ein transparenter Film oder eine transparente Schicht mit einer Stärke, die üblicherweise im Bereich von 1 μπι bis 100 μηι liegt, einfach ausgebildet werden.
Eine Quarzglasschicht im Selbsthaltezustand wird durch Ausheizen des auf die beschriebene Weise ausgebildeten Films an Luft auf eine Temperatur normalerweise im Bereich von 800 bis 1200° C erzielt, um das hydrolisierte Material in Siliciumoxid umzuwandeln. Normalerweise wird eine Erhitzungstemperatur von ca. 10000C verwendet Wird die Temperatur über HOO0C festgesetzt, tritt möglicherweise ein Ausfällen von winzigen Kristallen in einem Teil des Filmes auf. Obwohl diese Kristallisation dL·-Vorteile der Erfindung nicht direkt beeinträchtigt, sollte doui beachtet werden, daß das Ausfällen von Kristallen die Sprödigkeit des Quarzglasfilmes erhöhen kann.
Die nachfolgenden drei Beispiele verdeutlichen die Herstellung von Quarzglasschichten durch ein erfindungsgemäßes Verfahren, jedoch ist durch diese Beispiele keine Beschränkung der erfindungsgemäßen Verfahren beabsichtigt
Beispiel 1
Zunächst wurden 30 g Ethylsilicat unter ausreichendem Rühren mit 7,5 g wäßrigem 95°/oigem Ethanol zu einer Lösung vereinigt Dann wurde eine Lösung von 0,5 g Chlorwasserstoff. :n 5,8 g Wasser der Ethylsilikat-Lösung unter weiter fortgesetztem Rühren hinzugefügt und gründlich durchmischt, und diese gemischte Lösung wurde in einem Thermostaten bei 40° C gehalten. Die Viskosität der Lösung stieg allmählich infolge dsr fortschreitenden Hydrolyse des Äthylsilicates an. Nach wei Tagen befand sich die Lösung in einem hochviskosen Zustand von 50 Pa s und erwies sich als geeignetes flüssiges Material für den Filmbildungsvorgang.
Ein relativ starker Film wurde durch Ausziehen der viskosen Lösung in einen freien Raum unter Umgebungsluft durch einen Spalt von 0,5 mm Stärke und 25 mm Breite gebildet, und dieser Film wurde einem weiteren Ausziehvorgang in der Atmosphäre unterwor· fen, so daß eine dünne Schicht mit einer Stärke von etwa ΙΟμίτι, mehr als 20 mm Breite und mehr als 30 mm Länge erzielt wurde. Die Lösung blieb während mehr als einer Stunde in einem für diesen Filmbildungsvorgang geeignetem viskosen Zustand.
Der dünne Film der viskosen Flüssigkeit schrumpfte in der Umgebungsluft allmählich wegen- des weiteren Fortschreitens der Hydrolyse und der Verdampfung des verbleibenden Wassers und Ethanolsr, so daß sich eine etwa 40%ige '"vbnahme der Fläche ergab. Nachdem praktisch das Schrumpfen des dünnen Filmes aufhörte, wurde dieser in Luft auf etwa IQOO0C aufgeheizt und es ergab sich eine dünne, farblose und transparente Schicht aus Quarzglas.
Beispiel 2
Auch in diesem Beispiel wurden 30 g Ethylsilicat in 7,5 g wäßrigem, 95%igen Ethanol unter ausreichendem Rühren aufgelöst. Statt der im Beispiel 1 benutzten
Säurelösung wurde eine Lösung von 1,4 g Chlorwasserstoff in 3 g Wasser zur Äthylsilicatlösung unter weiterem Rühren zur Erzielung einer gründlichen Durchmischung hinzugefügt. Die gemischte Lösung wurde in einem Thermostaten bei 400C gehalten. Die ' Viskosität des Lösungsgemisches nahm allmählich so zu, daß nach etwa 24 h eine viskose Lösung mit einer Viskosität von 10 Pas erhalten wurde, die für einen Filmbildungsvorgang geeignet war.
Ein relativ starker Film wurde durch Ausziehen der l() viskosen Lösung in einen freien Raum an Umgebungsluft durch einen Spalt von etwa 0,5 mm Stärke und etwa 35 mm Breite gebildet. Ein weiteres Ausziehen dieses Filmes in Umgebungsluft ergab einen dünnen Film von etwa 15 μπι Stärke, mehr als 30 mm Breite und mehr als '"' 100 mm Länge. Die Lösung verblieb während mehr als einer Stunde in einem für den Filmbildungsvorgang geeigneten viskosen Zustand.
Der dünne, aus der viskosen Flüssigkeit bestehende Film schrumpfte infolge des weiteren Fortschreitens der "'" Hydrolyse und der Verdampfung des restlichen Wassers und Äthanols so, daß sich eine 40%ige Abnahme der Flächengröße ergab. Nach diesem Schrumpfen wurde der Film auf etwa 9000C erhitzt Es ergab sich eine farblose, transparente, dünne Schicht aus Quarzglas. 2h
Beispiel 3
Es wurde eine Ethylsilicatlösung durch Auflösen von 60 g Etyhlsilicat in 50 g wäßrigen, 95%igen Ethanol unter ausreichendem Rühren vorbereitet Dazu wurde unter weiterem Rühren eine Lösung von 3 g Chlorwasserstoff in 33 g Wasser eingemischt Das Lösungsgemisch wurde bei Raumtemperatur in einer Kammer aufbewahrt Die Viskosität der Lösung nahm langsam so zu, daß nach etwa 8 Tagen eine viskose Lösung mit J5 einem Viskositätswert von I Pa s erzielt wurde, die als HüSääges Material für einer. Fiimbiidungsvcrgang geeignet war. Ein Ring mit einem Innendurchmesser von 30 mm wurde in die viskose Lösung eingetaucht und langsam aus der Lösung in die Umgebungsluft nach oben bewegt, so daß sich ein schlauchförmiger dünner Film mit einer Stärke von etwa 20 μηη ergab. Dieser Film wurde vom Ring abgenommen und bei Raumtemperatur etwa 24 h in Umgebungsiuft gehalten. Danach wurde der gelierte Film in Luft auf etwa 10000C erhitzt und verwandelte sich in eine farblose und transparente Schicht aus Quarzglas. Während des Haltens in der Umgebungsiuft und des nachfolgenden Erhitzens erfuhr der Film eine etwa 40%ige Schrumpfung seiner Oberflächengröße.
Für den Fall einer Herstellung einer modifizierten Quarzglasschicht durch das erfindungsgemäße Verfahren müssen die beschriebenen Einzelheiten für die Herstellung einer reinen Quarzglasschicht nur im Hinblick auf die Zusammensetzung der anfänglich " vorbereiteten Alkoxidlösung abgewandelt werden.
Bei einer modifizierten Quarzglasschicht wird eine Alkoxidlösung so vorbereitet, daß zunächst ein Silicon-Alkoxid und mindestens ein zusätzliches Metall-Alkoxid im erforderlichen Verhältnis gut durchmischt wird, daß ein organisches Lösungsmittel dem Alkoxidgemisch hinzugefügt und daraufhin langsam unter fortgesetztem Rühren zur gründlichen Durchmischung Wasser hinzugesetzt wird. Es ist in diesem Fall nicht notwendig, eine Säure als Hydrolysis uugs-Kataiysator in der beschriebenen Weise zu verwenden, es ist jedoch, falls erforderlich, zulässig, eine geringe Säuremenge auch in diesem Fall zuzusetzen.
50 Da das zusätzliche Metall-Alkoxid leichter als die Siliciumalkoxide hydrolisiert, ergibt die Verwendung einer zu großen Menge von zusätzlichem Metall-Alkoxid eine rasche Hydrolisierung der Oberfläche der Alkoxidlösung durch die in der Atmosphäre enthaltene Feuchtigkeit, so daß sich Schwierigkeiten beim Filmbildungsvorgang ergeben. Auch wenn durch Rühren oder durch andere Verfahrensmittel die Oberflächenhydrolyse verhindert wird, neigt der entstehende Film leicht während des abschließenden Erhitzungsvorganges zum Brechen infolge der zu raschen Gelierung und des Schrumpfens des viskosen Flüssigkeitsfilms vor dem Erhitzen. Es wird deshalb vorzugsweise ein Molverhältnis des Silicium-Alkoxids zu dem zusätzlichen Metall-Alkoxid (oder den zusätzlichen Metall-Alkoxiden) in der Alkoxidlösung verwendet, das nicht kleiner als 0,3 :1 ist.
Der Wasseranteil wird vorzugsweise in der Weise begrenzt, daß das Molverhältnis des Wassers zum gesamten Alkoxidgehalt nicht größer als 4 :1 ist. Der maximal einsetzbare Wasseranteil, ohne daß Wolkigkeit der viskosen Lösung befürchtet werden muß, wird mit anwachsendem Anteil von zusätzlichem Metall-Alkoxid oder zusätzlichen Metall-Alkoxiden geringer.
Außer den bereits beschriebenen Bestandteilen kann wahlweise mindestens eine weitere anorganische oder organische in Wasser oder in dem organischen Lösungsmittel lösliche Metallverbindung zu der Alkoxidlösung bei aem erfindungsgemäßen Verfahren im Hinblick auf die Erzielung erwünschter Eigenschaften des Quarzglasfilmes hinzugefügt werden. Beispielsweise kann ein Ubergangselement in Form eines Nilrats zur Alkoxidlösung als Färbemittel hinzugefügt werden.
Die nachfolgend aufgeführten sechs Beispiele, die gleichfalls nicht als Beschränkung des Erfindungsbereichs dienen sollen, beschreiben die Herstellung modifizierter Quarzglasfilme durch ein erfindungsgemä-Ses Verfahren.
Beispiel 4
Unter Ansteuerung einer Glaszusammensetzung, die durch 8 ΊΊΟ2 · 92 SiO2 beschrieben werden kann, wurden 19,1 g Ethylsilicat und 23 g Titan-Tetraisopropoxid bei Raumtemperatur gut durchmischt und unter fortgesetztem Rühren wurden 5 g wäßriges 95%iges Ethanol der Mischung zur Erzielung einer Lösung hinzugefügt Bei fortgesetztem Rühren wurde langsam ein Lösungsgemisch aus 15 g wäßrigem, 95%igem Ethanol und 2,5 g Wasser der Alkoxidlösung hinzugefügt Es ergab sich ein klares, flüssiges Lösungsgemisch. Diese Lösung wurde in eine Schüssel aus Polystyrolhar» umgeföllt, welche mit einer mit winzigen Ventilationsöffnungen versehenen Aluminiumfolie verschlossen wurde und in einem bei 40° C gehaltenem Thermostaten aufbewahrt Die Viskosität der Lösung nahm allmählich zu, da das Ethylsilicat und dasTitan-Tetraisopröpoxid in der Lösung eine Hydrolyse erfuhr, und verwandelte sich in etwa 12 h in ein Gel. Während eines Zeitabschnittes von ca. 1 h unmittelbar vor der Gelbfldung war die Lösung in einem sehr viskosen Zustand, der zur Verwendung als Flüssigmaterial bei einem Filmbildungsvorgang geeignet erschien.
Bei einer Viskosität der Lösung von ca. 5 Pa s wurde durch Ausziehen der Lösung in einen freien Raum unter Umgebungsluftbedingungen durch einen Spalt von 04 mm Stärke und 25 rr.rr, Breite ein relativ starker Film gebildet Ein werteres Ausziehen dieses Fumes in der Umgebungsiuft ergab einen dünnen Film mit etwa 10 um Stärke und mehr als 20 cm2 Oberfläche.
Der dünne Film wurde bei Raumtemperatur 24 h an Umgebungsluft gehalten und danach an Luft auf etwa 1000°C erhitzt. Es wurde eine transparente dünne Schicht aus einem Sili/.iumoxid-Titanoxid-Glas erhalten. Während des Haltens in der Umgebungsluft und des darauf folgenden Aufheizens trat eine Schrumpfung auf, die die Oberflächengröße um etwa 40% verringerte.
Beispiel 5
Unter Ansteuerung einer Glaszusammensetzung, die durch 30 TiO2 · 70 SiO2 beschrieben werden kann, wurden 14,6 g Ethylsilicat und 8,5 g Titan-Tetraisopropoxid bei Raumtemperatur gut durchmischt und unter Rühren 5 g wäßriges, 95%iges Ethanol zur Erzielung einer Lösung hinzugefügt. Unter fortgesetztem Rühren wurde ein Lösungsgemisch aus 15 g wäßrigem, 95%igen Ethanol und 0,8 g Wasser langsam der Alkoxidlösung hinzugefügt. Es ergab sich ein klares flüssiges Löschungsgemisch. Diese Lösung wurde in eine Schüssel aus Polystyrolharz umgefüllt, die in gleicher Weise wie bei Beispiel 4 mit einer mit Belüftungsöffnungen versehenen Aluminiumfolie abgedeckt und in einem Thermostaten bei 40°C gehalten wurde. Die Viskosität der Lösung nahm allmählich mit fortschreitender Hydrolysereaktion zu, bis nach Ablauf von vier Tagen die Lösung vollständig geliert war.
Bei einem Zustand der Lösung mit einer Viskosität von 3 Pa s unmittelbar vor der Gelbildung wurde ein Ring mit einem Innendurchmesser von 30 mm in die Lösung eingetaucht und langsam von der Lösung in die freie Luft abgezogen, so daß sich ein kreiszylinderförmiger Film mit einer Stärke von etwa 20 mm ergab. Dieser Film wurde von dem Ring abgelöst und in Atmosphäre bei Raumtemperatur 24 h gehalten. Danach wurde der Gelfilm in Luft auf etwa 1100°C erhitzt, so daß sich eine farblose und transparente Schicht aus einem Siliziumoxid-Titanoxid-Glas ergab. Während des Haltens in der Umgebungsiuft und des darauf folgenden Ausheizens trat eine Schrumpfung von etwa 50% der Oberflächengröße auf.
Beispiel 6
Es wurde eine Giaszusammensetzung angestrebt, die durch 50 TiO2 · 50 SiO2 ausgedrückt werden kann, und dazu wurden 10,4 g Ethylsilicat und 14,2 g Titan-Tetraisopropoxid bei Raumtemperatur gründlich gemischt und unter Rühren mit 5 g wäßrigem 95%igem Ethanol zur Erzielung einer Lösung versetzt Bei fortgesetztem Rühren wurden dieser Lösung zunächst langsam 6 g wäßriges, 95%iges Ethanol und dann eine gemischte Lösung aus 10 g wäßrigem 95%igem Ethanol und 1,2 g Wasser hinzugefügt Es ergab sich eine klare und gleichmäßige Alkoxidlösung.
Diese Lösung wurde in eine Schüssel aus Polystyrolkunstharz in gleicher Weise wie bei Beispiel 4 und 5 umgefüllt und abgedeckt und in einem Thermostaten bei 40 g gehalten. Die Viskosität der Lösung nahm allmählich mit fortschreitenden Hydrolysereaktionen zu, bis nach vier Tagen die Lösung vollständig gelierte. Solange die Lösung vor dem Gelzustand bei einer Viskosität von 8 Pa s war, wurde ein Ring mit einem Innendurchmesser von 30 mm in die Lösung eingetaucht und langsam aus der Lösung in die freie Luft zur Bildung, eines kreiszylinderförmigen Filmes mit 30 .um Stärke herausgezogen. Dieser Film rmrde vom Ring abgenommen und in der Atmosphäre bei Raumtemperatur eine Stunde gehalten und danach in Luft auf etwa 9000C aufgeheizt Dadurch wurde eine gleichförmig transparente Schicht aus Siliziumoxid-Titanoxid-Gl.is erhalten. Während des Haltens in der Atmosphärenluft und dem nachfolgenden Ausheizen erfolgte eine etwa 50%ige Schrumpfung der Oberflächengröße.
Beispiel 7
Unter Anstrebung einer Glaszusammensetzung entsprechend 8ZrO2 · 92SiO2 wurden 19,2 g Ethylsilicat mit 3,8 g einer 95%igen Lösung von Zirkon-Tetrapropoxid in Propanol unter ausreichendem Rühren gemischt, gefolgt von einer Zugabe von 5 g wasserfreiem Ethanol zu dem Gemisch. Unter fortgesetztem Rühren wurden dieser Lösung zunächst 6 g wäßriges 95%iges Ethanol langsam zugegeben und daraufhin ein Lösungsgemisch aus 10 g wäßrigem 95%igem Ethanol und 2,8 g Wasser hinzugefügt. Es wurde auf diese Weise eine klare und gleichförmige Alkoxidlösung erzielt, die in gleicher Weise, wie bei den Beispielen 4 bis 6 beschrieben, bei einer konstanten Temperatur von 40°C gehalten wurde. Die Viskosität der Lösung nahm allmählich zu, bis nach fünf Tagen eine Gelierung eintrat.
Während die Lösung noch einen viskosen Zustand mit einem Viskositätswert von 8 Pa s unmittelbar vor der Gelierung einnahm, war es möglich, einsn Film durch Ausziehen der Lösung in einen freien Raum mit Umgebungsbedingung durch einen Spalt mit 0,5 mm Stärke und 35 mm Breite auszuziehen. Ein weiteres Ausziehen dieses Filmes in Atmosphäre ergab einen dünnen Film mit etwa 10 μπι Stärke und mehr als 30 cm2 Oberflächengröße. Die Lösung verblieb während mehr als einer Stunde in einem für den Filmbildungsvorgang geeigneten viskosen Zustand. Der dünne Film wurde bei Raumtemperatur eine Stunde in der Atmosphäre gehalten und dann in Luft auf etwa 10000C aufgeheizt. Es ergab sich ein gleichförmig transparenter Film aus einem Siliziumoxid-Zirkonoxid-Glas. Während des Haltens in der Atmosphäre und des darauf folgenden Aufheizen:. ...Jlgte eine Schrumpfung von 50% der Oberflächengröße.
Beispiel 8
Unter Ansteuerung einer Glaszusammensetzung, wie sie durch 30 ZrO2 · 70 SiO2 ausgedrückt werden kann,
4-, wurde eine gleichförmige Alkoxidlösung gemäß dem in Beispiel 7 beschriebenen Vorgang unter Verwendung von 14,6 g Ethylsilicat 14,1 g einer 95%igen Lösung von Zirkon-Tetrapropoxid in Propanol, 10 g wasserfreies Ethanol. 5 g 95%iges wäßriges Ethanol und einem
Lösungsgemisch aus 5 g wäßrigem 95%igen Ethanol
und 13 g Wasser vorbereitet Diese Lösung wurde bei
einer konstanten Temperatur von 400C gemäß der
Beschreibung in den Beispielen 4 bis 7 gehalten. Die
. Viskosität der Lösung nahm allmählich bis zur Geliening nach drei Tagen zu. Unmittelbar vor der Gelierung befand sich die Lösung in einem viskosen Zustand, der die Verwendung als flüssiges Material für einen Filmbildungsvorgang zuließ.
Bei einer Viskosität von 4 Pa s wurde ein Ring mit
einem Innendurchmesser von 30 mm in die Lösung versenkt und langsam aus der Lösung in die freie Luft zur Bildung eines kreiszylindrischen Films mit einer Stärke von etwa 20 μΐη herausgezogen. Der Film wurde vom Ring abgenommen und in Luft alsbald auf etwa
b5 1100°C aufgeheizt Es ergab sich eine gleichförmig transparente Schicht aus einem SUiziurnoxid-Zirkonoxid-Glas. Während des Ausheizens erfolgte eine etwa 60%ige Schrumpfung der Oberflächengröße des Filmes.
ti
Beispiel 9
Im Hinblick auf eine Glaszusammensetzung, die durch 50 ZrO2 · 50 SiO2 ausgedrückt werden kann, wurde eine gleichförmige Alkoxidiösung vorbereitet nach dem gleichen Verfahren, wie es in Beispiel 7 beschrieben ist, unter Benutzung von 5.2 g Ethylsilicat, 11,8 g einer 95%igen Zirkon-Tetrapropoxid-Lösung in Propanol, 5 g wasserfreiem Ethanol und einem Lösungsgemisch aus 6 g wäßrigem 95%igen Ethanol und 0,4 g Wasser. Diese Lösung wurde bei einer konstanten Temperatur von 40 g in der gleichen Weise, wie bei den Beispielen 4 bis 8 beschrieben, gehalten. Die Viskosität der Lösung nahm allmählich zu, und erreichte eine Gelierung nach vier Tagen. Unmittelbar vor der Gelierung befand sich die Lösung in einem Zustand, der die Verwendung als flüssiges Material für einen Filmbildungsvorgang zuließ.
Während die Viskosität der Lösung iOFas ucirug, wurde ein kreiszylidrischer Film mit einer Stärke von etwa 30 μπι durch Eintauchen eines Ringes mit einem Innendurchmesser von 30 mm in die Lösung und langsames Aufziehen des Ringes in die Umgebungsluft gebildet. Dieser Film wurde vom Ring abgenommen und alsbald in Luft auf 12000C erhitzt. Auf diese Weise wurde eine gleichförmige Schicht eines Siliziumoxid-Zirkonoxid-Glases erhalten. Während der Erhitzung trat eine etwa 60%ige Schrumpfung der Oberflächengröße des Filmes auf.
Die nachfolgend aufgeführten Vergleichsbeispiele beschreiben bisher bekannte Verfahren zur Herstellung von Glasschichten unter Verwendung einer Alkoxid-Lösung.
Vergleichsbeispiel 1
Bei Ansteuerung einer Glaszusammensetzung, wie sie durch 8 TiOj · 92 SiO? ausgedrückt werden kann, wurde in exakter Übereinstimmung mit Beispiel 4 eine Lösung aus Ethylsilicat und Titan-Tetraisopropoxid in wäßrigem Alkohol präpariert
Die Lösung wurde bei Raumtemperatur während einer Zeit stehengelassen und danach auf eine Wasseroberfläche ausgegossen. Wenn die Lösung eine Viskosität von weniger als etwa 0,1 Pa s besaß, verteilte
sich die ausgegossene Lösung gleichmäßig auf der Wasseroberfläche und ergab einen Flüssigkeitsfilm. Dieser Film gelierte sehr schnell und es war möglich, den gelierten Film mit einem Ring mit einem Innendurchmesser von 30 mm aufzunehmen. Der Film in dem Ring war jedoch sehr wellig, wegen der durch die rasche Gelierung erzeugten Schrumpfung. Außerdem war der Film opak und sehr wolkig. Wenn dieser Film abgenommen und zur Trocknung in der Umgebungsluft belassen wurde, zerbrach der Film spontan in kleine Stücke.
Vergleichsbeispiel 2
Unter Ansteuerung einer Glaszusammensetzung, die durch 8 ZrO2 · 92 SiO2 bezeichnet werden kann, wurde eine Lösung aus Ethylsilicat und Zirkon-Tetrapropoxid in wäßrigem Alkohol in genauer Übereinstimmung mit Beispiel 7 vorbereitet. Diese Alkoxidlösung wurde so lange bei einer !contanten Temperatur von 4CC gehalten, bis die Viskosität der Lösung nach drei Tagen 1 Pa s betrug.
In diesem Zustand wurde die Lösung auf eine ebene Oberfläche einer als Substrat verwendeten Glasplatte ausgegossen und glättete sich zur Bildung eines Flüssigkeitsfilmes auf dem Substrat. Das Experiment wurde unter Verwendung von Substraten aus unterschiedlichen Materialien, wie Polycarbonat, Polystyrol, Polypropylen, Polyvinylchlorid und Polymethacrylat wiederholt. Die Filme an den Substraten wurden durch Halten an Raumtemperatur in einer Versuchsreihe und durch Aufheizen auf 40 bis 500C in einer weiteren Versuchsreihe zum Gelieren gebracht. Es zeigte sich kein großer Unterschied zwischen diesen zwei Gelierungsbedingungen im Aussehen und in den physikalischen Eigenschaften der gelierten Filme. Jedoch ergab die Gelicmng bei jedem Film dieser Versuchsreihen das Auftreten einer Zahl von kleinen Rissen oder Sprüngen im Film, wobei in einigen Fällen die Filme in kleine Stücke zerbrachen. Auch wenn die Rißbildung der Filme nicht sehr bedeutend war, rollten sich die Filme vor dem endgültigen Ausheizvorgang auf. Es war defvegen unmöglich, eine gleichmäßige und ausreichend breite Glasschicht durch dieses Verfahren zu erzielen.

Claims (16)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung eines Glasfilmes, bei dem eine Alkoxidlösung mit einem Silicium-Alkoxid, Wasser, einem hydrophilen organischen Lösungsmittel und gegebenenfalls einer Säure bereitet wird, eine Hydrolisierung des Siücium-Alkoxides in der Lösung abgewartet wird, bis die Lösung eine geeignete Viskosität erreicht, iin Film aus der viskosen Lösung gebildet wird, und dieser Film auf >< > eine zur Umwandlung in einen Glasfilm ausreichende Temperatur erhitzt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Film aus der viskosen Lösung in den freien Raum gebildet wird, ohne daß eine flüssige oder feste Oberfläche zum Abstützen des is Filmes verwendet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Silicium-Alkoxid das einzige in der Alkoxidlösung enthaltene Alkoxid ist, als Säure Chlorwasserstoffsäure, Salpetersäure oder Essigsäure verwendet wird, und das Morvernäiinis der Säure zum Silicium-Alkoxid nicht größer als 03 -1 ist
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Alkoxidlösung mindestens ein Metall-Alkoxid zusätzlich zum Silicium-Alkoxid enthält.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Molverhältnis des Silicium-Alkoxids zu dem Metall-Alkoxid nicht kleiner als 03 :1 ist-
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall-Alkoxid-Titan-Alkoxid, Zirkon-Alkoxid oder Aluminium-Alkoxiii ist.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall-Alkoxid-Titan-Tetraiso- propoxid oder Zirkon-Tetrapropoxid ist
?. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Silicium-AIkoxid-Silicium-Tetramethoxid oder Silicium-Tetraethoxid ist.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das organische Lösungsmittel ein niederer Alkohol ist
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Molverhältnis von Wasser zum gesamten Alkoxidgehalt in der Alkoxidlösung nicht größer als 4 :1 ist.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die geeignete Viskosität der Lösung im Bereich von 0,1 Pa s 5() bis 100 Pa s bei Raumtemperatur liegt.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Viskosität im Bereich von 1 Pa s bis 10 Pa s liegt
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch ^ gekennzeichnet, daß der Film aus der viskosen Lösung durch Ausziehen der viskosen Lösung durch einen Schlitz in den freien Raum gebildet wird.
13. Verfahren nach Anspruch 10 oder II, dadurch gekennzeichnet, daß der Film aus der viskosen Lösung durch Extrudieren der viskosen Lösung durch einen Schlitz in einen freien Raum gebildet wird.
14. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Film aus der viskosen Lösung durch Eintauchen eines Rahmens in die viskose Lösung und Abziehen des Rahmens von der viskosen Lösung gebildet wird.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der" Film aus der viskosen Lösung in der ümgebungsluft gehalten wird, um eine Gelierung des Filmes und ein Verdunsten der restlichen flüssigen Materie vor dem Enderhitzen zuzulassen. ' '
16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet daß die Erhitzungstemperatur im Bereich von 8000C bis 12000C liegt
DE19813123205 1980-06-11 1981-06-11 Verfahren zur Herstellung eines Glasfilmes unter Verwendung einer Silicium-Alkoxid enthaltenden Lösung Expired DE3123205C2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7770380A JPS6058180B2 (ja) 1980-06-11 1980-06-11 シリカガラス薄膜の製造法
JP15212180A JPS6058181B2 (ja) 1980-10-31 1980-10-31 ガラス薄膜の製造法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3123205A1 DE3123205A1 (de) 1982-02-25
DE3123205C2 true DE3123205C2 (de) 1983-12-15

Family

ID=26418773

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19813123205 Expired DE3123205C2 (de) 1980-06-11 1981-06-11 Verfahren zur Herstellung eines Glasfilmes unter Verwendung einer Silicium-Alkoxid enthaltenden Lösung

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE3123205C2 (de)
FR (1) FR2484396B1 (de)
GB (1) GB2077254B (de)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57191221A (en) * 1981-05-22 1982-11-25 Hitachi Ltd Production of porous substance
GB2165234B (en) * 1984-10-05 1988-09-01 Suwa Seikosha Kk Methods of preparing doped silica glass
DE4331082C1 (de) * 1993-09-13 1995-04-13 Schott Glaswerke Brandsichere Glasscheibe und Verfahren zur Herstellung einer solchen Glasscheibe
JP4566149B2 (ja) 2006-03-27 2010-10-20 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 独立ガラスフィルムの製造方法
JP5230906B2 (ja) 2006-03-27 2013-07-10 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー ガラスセラミック独立フィルム及びその製造方法
WO2016037707A1 (de) * 2014-09-11 2016-03-17 Hsm Techconsult Gmbh Ultradünne glas- und keramikverbunde, verfahren zu deren herstellung und anwendung

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE754786A (fr) * 1969-08-13 1971-01-18 Jenaer Glaswerk Schott & Gen Procede pour la preparation de matieres a plusieurs composants,transparentes en particulier vitreuses
JPS5134219A (de) * 1974-09-17 1976-03-23 Tokyo Shibaura Electric Co

Also Published As

Publication number Publication date
FR2484396B1 (fr) 1985-07-05
FR2484396A1 (fr) 1981-12-18
GB2077254B (en) 1983-11-23
GB2077254A (en) 1981-12-16
DE3123205A1 (de) 1982-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3390375C2 (de)
DE3142383C2 (de) Verfahren zur Herstellung von Glas aus einer Metallalkoholat-Lösung
EP2263981B1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasbauteils
DE69017860T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Metalloxidschicht durch Anwendung einer Metallalkoxidlösung.
DE69021600T2 (de) Verfahren zur Herstellung von Metalloxydaerogelenmonolithen.
DE3001792C2 (de) Anwendung des Sol-Gel-Verfahrens zur Herstellung eines Mutterstabes für die Herstellung von optischen Fasern
EP0851845B1 (de) DÜNNE SiO 2-FOLIEN, VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG UND IHRE VERWENDUNG
DE3880886T2 (de) Sol-Gel-Verfahren zur Herstellung von Gläsern mit ultraniedriger Ausdehnung.
DE69728452T3 (de) Teilchen, wässrige Dispersion und Film aus Titanoxid und seine Herstellung
DE69003879T2 (de) Poröses Material aus Polytetrafluorethylen und Verfahren zu dessen Herstellung.
DE69929593T2 (de) Titandioxid sol, dünner film und verfahren zu deren herstellung
DE69816273T2 (de) Anorganisches polymermaterial auf der basis von tantaloxyd , insbesondere mit erhöhtem brechungsindex , mechanisch verschleissfest , sein verfahren zur herstellung
WO2003089693A1 (de) Quarzglastiegel und verfahren zur herstellung desselben
DE2740561A1 (de) Verfahren zur herstellung eines dauerhaften titandioxidpigmentes
DE3228008A1 (de) Herstellung gesinterter glaeser mit hohem siliciumoxidanteil
DE10051724A1 (de) Thermisch vorgespanntes Glas mit einer abriebfesten, porösen SiO¶2¶-Antireflexschicht
DE3205421A1 (de) Zusammensetzungen und verfahren zur herstellung transparenter elektrisch leitender filme
DE3535367A1 (de) Verfahren zur herstellung von vorformen fuer optische fasern
EP0897898A2 (de) Verfahren zur Abscheidung optischer Schichten
DE1669380A1 (de) Verfahren zur Herstellung hitzebestaendiger Fasern auf Aluminiumoxyd-Silikatbasis
DE3123205C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Glasfilmes unter Verwendung einer Silicium-Alkoxid enthaltenden Lösung
DE102015122788A1 (de) Verfahren zur Herstellung von leitfähigen Strukturen
DE3855617T2 (de) Beschichtungsflüssigkeit zur bildung einer elektroleitfähigen schicht
DE19828231A1 (de) Verfahren zur Abscheidung optischer Schichten
DE2447353B2 (de) Verfahren zum herstellen von lichtleitfasern

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8125 Change of the main classification

Ipc: C03C 3/00

8126 Change of the secondary classification

Free format text: C03C 3/06 C03B 19/00 C03B 20/00 C03C 17/02 C03B 1/00

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee