DE29510381U1 - Vorrichtung zum Beschichten eines scheibenförmigen Substrats - Google Patents
Vorrichtung zum Beschichten eines scheibenförmigen SubstratsInfo
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19614598A1 (de) * | 1996-04-13 | 1997-10-16 | Singulus Technologies Gmbh | Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung |
DE19819933A1 (de) * | 1998-05-05 | 1999-11-11 | Leybold Systems Gmbh | Target für eine Kathodenzerstäubungsvorrichtung zur Herstellung dünner Schichten |
DE10058770A1 (de) * | 2000-11-27 | 2002-06-06 | Singulus Technologies Ag | Vorrichtung zum Aufsetzen und Abnehmen von Masken auf ein bzw. von einem Substrat bei einer Bearbeitung des Substrats im Vakuum |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3603646A1 (de) * | 1985-04-03 | 1986-10-16 | Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden | Haltevorrichtung fuer targets fuer kathodenzerstaeubung |
EP0558797A1 (de) * | 1992-01-29 | 1993-09-08 | Leybold Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung |
-
1995
- 1995-06-27 DE DE29510381U patent/DE29510381U1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3603646A1 (de) * | 1985-04-03 | 1986-10-16 | Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden | Haltevorrichtung fuer targets fuer kathodenzerstaeubung |
EP0558797A1 (de) * | 1992-01-29 | 1993-09-08 | Leybold Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
VISSER,J., CROMBEEN,J.E.: D.C. planer magnetron sputtering source for video disc metallization. In: Vakuum-Technik, 34.Jg., H.3, S.67-77 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19614598A1 (de) * | 1996-04-13 | 1997-10-16 | Singulus Technologies Gmbh | Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung |
US6096180A (en) * | 1996-04-13 | 2000-08-01 | Singulus Technologies Ag | Cathodic sputtering device |
DE19819933A1 (de) * | 1998-05-05 | 1999-11-11 | Leybold Systems Gmbh | Target für eine Kathodenzerstäubungsvorrichtung zur Herstellung dünner Schichten |
DE10058770A1 (de) * | 2000-11-27 | 2002-06-06 | Singulus Technologies Ag | Vorrichtung zum Aufsetzen und Abnehmen von Masken auf ein bzw. von einem Substrat bei einer Bearbeitung des Substrats im Vakuum |
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