DE2835711C2 - - Google Patents

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DE2835711C2 DE19782835711 DE2835711A DE2835711C2 DE 2835711 C2 DE2835711 C2 DE 2835711C2 DE 19782835711 DE19782835711 DE 19782835711 DE 2835711 A DE2835711 A DE 2835711A DE 2835711 C2 DE2835711 C2 DE 2835711C2
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Eberhard 6100 Darmstadt De Mallwitz
Kurt 6107 Reinheim De Illert
Reimar Dipl.-Phys. 6100 Darmstadt De Spohr
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L1/00—Enclosures; Chambers
    • B01L1/02—Air-pressure chambers; Air-locks therefor
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—HANDLING OF PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K5/00—Irradiation devices
    • G21K5/04—Irradiation devices with beam-forming means

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  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
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DE1282411B (de) * 1964-12-28 1968-11-07 Hermsdorf Keramik Veb Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung und Bearbeitung von Bauelementen der Elektronik unter Vakuum, insbesondere zum Aufdampfen von Schichten

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