DE2820183B2

DE2820183B2 - Verfahren und Vorrichtung zum Überziehen der Oberfläche eines elektrisch leitenden Werkstücks

Info

Publication number: DE2820183B2
Application number: DE2820183A
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: GANTOIS MICHEL PROF NANCY (FRANKREICH)
Current assignee: GANTOIS MICHEL PROF NANCY (FRANKREICH)
Priority date: 1977-06-07
Filing date: 1978-05-09
Publication date: 1980-11-20
Also published as: IT1109053B; DE2820183C3; SE7806503L; FR2393854B1; ATA413078A; CH627791A5; AT364217B; JPS5615780B2; DE2820183A1; BE867913A; GB1574677A; FR2393854A1; IT7868139A0; NL7806125A; JPS544246A; ZA782794B

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Überziehen der Oberfläche eines elektrisch leitenden Werkstücks mit einer dicken und homogenen Überzugsschicht,

Unter den Verfahren zum Überziehen von Metallwerkstücken sind physikalische Gasphasenverfahren,

-, wie z. B, das Bedampfen im Vakuum und die Kathodenzerstäubung, bekannt, 4\e in einem Behälter durchgeführt werden, der ein Gas mit verringertem Druck enthält, das nach der Ionisierung an den physikalischen Erscheinungen, die zur Erzuigung des

ίο Überzugs führen, teilnehmen oder im Gegenteil den

Ablauf dieser physikalischen Erscheinungen stören

kann. Im letzteren Fall verringert man den Restdruck im

Behälter möglichst weit. Im Fall der Vakuumaufdampfung, wo man das

I^ Überzugsmaterial auf hohe Temperatur im Inneren eines Behälters bringt, der auch das zu überziehende, auf einer niedrigeren Temperatur gehaltene Werkstück enthält, muß der Restdruck im Behälter zwischen 13 · 10~⁴undl3 · 10-^s mbar liegen.

Das beispielsweise durch Ionenbeschuß oder Elektronenbeschuß auf hohe Temperatur gebrachte Überzugsmaterial verdampft und scheidet sich auf der Oberfläche des zu überziehenden Werkstücks ab, auf der es kondensiert.

Außer seiner relativ schwierigen Durchführung ermöglicht dieses Verfahren nicht das schnelle und leichte Erhalten dicker Überzugsschichten.

Die Kathodenzerstäubung, die ein gegenwärtig ziemlich weit verbreitetes Verfahren ist, ermöglicht, in

in kurzer Zeit die Abscheidung dünner Filme (einer Dicke von wenigen mti bis zu einigen μπι) zu erzielen. Dieses Verfahren läßt sowohl die Abscheidung von Metallen und Legierungen als auch verschiedener Verbindungen, wie z. B. der Oxide oder Sulfide zu.

ri Im Fall der Kathodenzerstäubung ordnet man im Inneren eines ein Gas, allgemein ein Inertgas wie Argon, bei einem Restdruck in der Größenordnung von 13 · ΙΟ-' mbar enthaltenden Behälters eine Kathode aus dem Überzugsmaterial an und stellt zwischen dieser Kathode und einer Anode, die der Behälter selbst sein kann, eine Potentialdifferenz von einigen 1000 V, beispielsweise 5000 V, her, wobei das zu überziehende Werkstück in einem Abstand von einigen cm von der Kathode aus dem Überzugsmaterial angeordnet ist, der bis zu 15 bis 20 cm reichen kann.

Man hat so ein Entladungsrohr geschaffen, in dessen Innerem man eine Ionisierung des Gases hervorruft, wobei die positiven Ionen die Kathode beaufschlagen. Unter der Wirkung der Stöße zwischen den Kationen

% und der Kathode ergibt sich ein Abreißen von Teilchen der Kathode, und die so freigesetzten Teilchen werden am zu überziehenden Werkstück fixiert, an das das anodische Potential oder ein Zwischenpotential gelegt ist.

M Allgemein wird die Kathode gekühlt, um eine zu erhebliche Erhitzung unter der Einwirkung des lonenbeschusses zu vermeiden. Im Fall der Kathodenzerstäubung ist also der Restdruck im Behälter ziemlich gering, die Potentialdifferenz zwischen Anode und Kathode ist

bo hoch, und die Stromstärke zwischen den Elektroden ist relativ gering, nämlich in der Größenordnung von mA. Unter diesen Bedingungen liegt die Abscheidegeschwindigkeit der Überzugsschicht in der Größenordnung von ΙΟμηι/h, und dieses Verfahren ist daher nur zur Erzeugung dünner Filme auf Werkstücken geringer Abmessungsn anwendbar.

In bestimmten Fällen, wie z. B. im Fall der Inchromierung, ist es erforderlich, dicke und homogene

Überzugsschichten (aus Chrom oder Chromkarbid) auf Werkstücken ,großer Abmessungen zu erzeugen, und die bisher bekannten Verfahren sind dafür nicht voll befriedigend.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Oberziehen der Oberfläche eines elektrisch leitenden Werkstücks mit einer dicken und homogenen Oberzugsschicht zu entwickeln, die sich leicht in industriellem Maßstab für Werkstücke großer Abmessungen und unter wirtschaftlichen Bedingungen anwenden lassen, wobei außerdem die erhaltenen Uberzugsschichten an dem zu überziehenden Werkstück stark verankert sein müssen, um ein Abblättern zu vermeiden.

Gegenstand der Erfindung, womit diese Aufgabe gelöst wird, ist zunächst ein Verfahren zum Überziehen der Oberfläche eines elektrisch leitenden Werkstücks mit einer dicken und homogenen Überzugsschicht im Gasphasen verfahren unter Einwirkung elektrischer Entladungen, mit dem Kennzeichen, daß das zu überziehende leitende Werkstück im Inneren des mit einem Gas bei einem Druck von 0,13 Ms 20rnbar gefüllten Behälters in einem Abstand unter 50 mm von einem Element aus Überzugsmaterial angeordnet wird, daß man eine Anode, die der Behälter sein kann, vorsieht und das zu überziehende Werkstück und das Element aus Überzugsmaterial zwei gesonderte Kathoden bilden, daß die Kathoden auf solche Potentiale gebracht werden, daß zwischen der Anode und den Kathoden Potentialdifferenzen von 200 bis 1500V, vorzugsweise 300 bis 800 V vorliegen, und daß man eine anomale Entladung zwischen der Anode und den Kathoden aufrecht erhält

Ausgestaltungen und Weiterbildungen dieses Verfahrens sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet

Außerdem ist Gegenstand der Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Überzugsverfahrens, mit dem Kennzeichen, daß sie einen Behälter, der an eine Pumpeinrichtung angeschlossen und im inneren mit einer Wärmeabschirmung ausgekleidet ist, und zwei Stromzuführungen zum Halten und zur Stromspeisung des zu überziehenden Werkstücks und des Elements aus Überzugsmaterial aufweist, die an wenigstens einen elektrischen Generator angeschlossen sind, der mit Einrichtungen zur Lichtbogenunterbrechung ausgerüstet ist

Die Erfindung wird anhand eines in der Zeichnung veranschaulichten Ausführungsbeispiels näher erläutert, wobei die einzige Figur in Ansicht eine Überzugsvorrichtung zeigt, deren Behälter an der Vorderseite geöffnet dargestellt ist, um die Anordnung der verschiedenen Bauteile !m Inneren der Vorrichtung erkennen zu lassen.

Man wünscht, einen Chromkarbidüberzug auf einer Stahlplatte mit 0,^0 Gew.-% Kohlenstoff zu erzeugen.

Hierzu ordnet man diese Platte 1 aus Kohlenstoffstahl im Inneren eines Behälters 2 am Ende einer Stromzuführung 3 an, die durch einen Isolierkanal 4 an einen Stromgenerator 5 angeschlossen ist. Der Behälter ist einerseits mit einer Pumpe 6 verbunden und andererseits an eine Gaszuführung 7 angeschlossen, die mit einer Argonquelle verbunden ist. Das Pumpen und die Argohzufuhr wurden derart reguliert, daiß der dynamische Druck im Inneren des Behälters auf 4 mbar gehalten »Mrd. Dps Ende der Inertgaszuführung 7 trägt andererseits die Anode 8. Das Innere des Behälters ist im übrigen mit einer Wärmeabschirmung 9 ausgekleidet, die e:¹ ermöglicht, den Strahlungswärmeaustausch zwischen dem Inneren und dem Äußeren des Behälters weitestgehend zu unterb rinden.

Eine der Stromzuführung 3 gleiche zweite Stromzuführung 10 ist außerdem mit einem Generator 12 des -. gleichen Typs wie der Generator 5 angeschlossen und trägt an ihrem abgebogenen Ende eine Platte 14 aus einer Eisen-Chrom-Legierung mit 36 Gew,-% Chrom. Die zu überziehende Platte 1 und die Platte 14 aus der Eisen-Chrom-Legierung, die parallel einander zuge-

U) wandt angeordnet sind, weisen einen Abstand von 12 mm auf.

Zu Beginn des Vorgangs erzeugt man, nachdem die zu überziehende Platte und die Platte aus der Eisen-Chrom-Legierung an den Stromzuführungen im Inneren

ι". des Behälters angebracht hat, mit Hilfe der Pumpe 6 ein Vakuum im Behälter und leitet einen Argonsirom durch die Gaszuführung 7 ein, wobei dos Pumpen und die Gaszufuhr dann so reguliert werden, daß sich der Druck bei 4 mbar einstellt. Man schaltet dann die Generatoren

JD 5 und 12 ein, die die Platten 1 und **, die die Rolle von zwei gesonderten Kathoden spielen mit elektrischem Strom speisen, wobei das Potential der zu überziehenden Platte 1 auf einem Wert von 450 bis 500 V und das Potential der Platte 14 aus der Eisen-Chrom-Legierung

>; auf einem Wert von 600 V bezüglich der Anode 8 gehalten werden.

Wenn der Strom zwischen der Anode und den Kathoden fließt, ergibt sich eine intensive Ionisierung des Gases des Behälters in der Nähe der zwei Kathoden,

ίο die daher intensiv von den erzeugten positiven Ionen beaufschlagt werden.

Die Platte 1 erhitzt sich unter der Wirkung des Ionenbeschusses, und ihre Temperatur erreicht 900° C. Der Generator 5 liefert dann eine Leistungsdichte auf

π dieser Platte in der Größenordnung von 4 bis 5 W/cm².

Die Temperatur der Platte 14 erreicht in der gleichen Zeit eine Temperatur von 1250⁰C, und die zu dieser Platte 14 gelieferte Leistungsdichte ist in der Größenordnung von 30 W/cm².

Nach einstündigem Halten unter den vorstehend beschriebenen Bedingungen beobachtet man auf der Oberfläche der Platte 1, die der Platte 14 zugewandt ist, die Abscheidung einer Schicht aus einer Eisen-Chrom-Legierung mit 56 Gew.-°/o Chrom in einer Dicke von

·)■■> 80 μπι.

Es hat sich also ein Materialübergang zwischen der Platte 14, die die Emitterrolle spielt, und der Platte 1 ergeben, die die Auffängerrolle spielt. Während des ganzen Überzugsvorganges ist zwi-

v> sehen der Anode und den Kathoden eine lumineszierende Entladung im anomalen Bereich aufgetreten, wobei die Lichtbogenbildung dank einer Einrichtung tür Lichthogenunterbrechung vermieden wird, die mit jedem der Generatoren 5 und 12 verbunden ist.

Thermoelemente sind im Auffänger, d. h der Platte 1, und im Emitter, d. h. der Platte 14, angeordnet, um ihre Temperatur zu überwachen, die man auf ein bestimmtes Niveau durch Regeln der elektrischen Parameter bezüglich der Ger jratoren 5 und 12 festlegen kann.

to Im Lauf der zwischen der Anode und den Kathoden aufgetretenen anormalen Entladung ergeben sich eine intensive Ionisierung des im Behälter nahe den Kathoden zirkulierenden Gases und eine intensive Beaufschlagung der beiden Kathoden durch die

h'j erzeugten positiver,'onen.

Die Erhitzung des Emitters, d. h. der Platte 14, auf eine hohe Temperatur (1250°C) bei dem im Behälter herrschenden geringen Druck erzeugt eine Verdamp-

fung des Metalls des Emitters, das sich auf dem Auffänger, d. h. der Platte I abscheidet. Gleichzeitig bewirkt der intensive BeschuD des Emitters durch die Ionen mit hoher Energie die Zerstäubung von vom Emitter losgerissenen Metallteilchen, die abgeschleudert und auf den Auffänger, d. h. die Platte I mitgerissen werden, die in der Nähe des Emitters angeordnet ist.

Entgegen den früher bekannten Verfahren ist es also gleichzeitig durch Verdampfung bei vermindertem Druck und durch Kathodenzerstäubung, daß sich die Chromabscheidung auf dem Auffänger, d. h. der Platte 1 ergibt.

Im Material des Emitters, d.h. der Platte 14 sind die Eisen- und Chromatome durch Eisen-Eisen-Bindung, durch Chrom-Chrom-Bindung und durch Eisen-Chmm-Bindung verbunden, und es scheint nach den erhaltenen Ergebnissen, gemäß denen die abgeschiedene Chromlegierung viel chromreicher als die Legierung des Emitters ist. daB die Chrom-Chrom-Atombindung gegenüber den Bindungen mit dem Eisen bevorzugt zerstört werden.

Man sieht, daß die Besonderheit des Verfahrens einerseits auf der Ausnutzung zweier gesonderter Kathoden beruht, von denen die eine den Emitter und die andere den Auffänger darstellen.

Andererseits schafft die Erhitzung des Auffängers unter der Wirkung des lonenbeschusses eine günstige Zone für das Eindringen der Überzugsschicht im Sinne deren Verankerung am Substrat.

Fs ist festzustellen, daß die beim erfindungsgemäßen Verfahren angewandten Potentialdifferenzen weit unter den im Fall der Kathodenzerstäubung angewandten liegen, daß dagegen der Restdruck im Behälter mit der Größenordnung von einigen mbar weit oberhalb dessen liegt, der bei der Kathodenzerstäubung angewandt wird.

Daraus ergibt sich, daß die Stromstärke zwischen Anode und Kathoden weit über derjenigen liegt, die man im Fall der Kathodenzerstäubung feststellt.

Nachdem der gut haftende und dicke Chromüberzug einmal auf der Platte t erhalten ist, geht man zu einer zweiten Phase der Behandlung über, die aus einer Diffusionsbehandlung zur Erzeugung von Chromkarbid aus der abgeschiedenen Chromschicht und dem im Stahl enthaltenen Kohlenstoff besteht.

Hierzu hält man das Kathodenpotential und die Leistungsdichte des Auffängers, d. h. der Platte t auf de.n gleichen Werten, wie sie während der ersten Phase der Überzugsbehandlung vorlagen, wobei die Platte 1 eine Temperatur hat. die sich wie bei der vorangehenden Behandlung bei 900°C stabilisiert. Man unterbricht die Stromzufuhr zum Emitter, d. h. der Platte 14. und behält die Stromzufuhr jngsbedingungen der Platte 1 während einer Dauer von 10 bis 15 h bei, wobei die Platte 1 auf einer konstanten Temperatur von 900^cC bleibt. Während dieser Diffusionsbehandlung ergibt sich eine Wechselwirkung zwischen dem Kohlenstoff des Stahls und dem Chrom der abgeschiedenen Schicht, die die Erzeugung einer Chromkarbidschicht an der Oberfläche der Platte 1 bewirkt

Es ist zu bemerken, daß die Diffusionsbehandlung der Platte 1 stattfinden kann, ohne daß man die Platte 1 von ihrem Träger 3 abnehmen muß, und daß diese Behandlung unter wirtschaftlichen Bedingungen erfolgen kann, was den Stromverbrauch betrifft, da die Wärmeverluste durch Konvektion und Leitung fast Null sind und die Wärmeverluste durch Strahlung dank der im Inneren des Behälters angebrachten Wärmeabschirmung 9 auf einen sehr geringen Wert begrenzt sind.

Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht dahe das Erhalten einer dicken Chromschicht in einem erstei Zeitabschnitt und einer Chromkarbidschicht an de Oberfläche eines Stahlwerkstücks in einem zweitei Zeitabschnitt unter besonders wirtschaftlichen Bedin gungen und mit einer großen Verläßlichkeit.

Die Erfindung ist jedoch auf das Vorstehern beschriebene Ausführungsbeispiel nicht beschränkt. S< war im vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispie jede der beiden Kathoden mit einem Stromgenerato verbunden, der die Lichtbogenunterbrechung und dii Erzeugung einer anormalen limineszenten Entladun) ohne Gefahr für die zu behandelnden Werkstück« ermöglicht, und dabei gestattete die unabhängig« Regulierung der elektrischen Parameter der beidet Kathoden eine unabhängige Regulierung der Tempera türen des Emitters, d. h. der Platte 14, und de: Auffängers, d. h. der Platte I. |edoch ist es auch möglicli zwei gesonderte Kathoden aufgrund der Tatsache zi haben, daß sie aus unterschiedlichen Werkstoffer bestehen und an ein und denselben Generato angeschlossen und somit auf ein und dasselbe Potentia gebracht sind, wobei der Materialtransport von eine Kathode zur anderen im wesentlichen aufgrund de Tatsache erfolgt, daß das Losreißen der Bestandteil« eines der Materialien bevorzugt gegenüber den Losreißen der Bestandteile des anderen Material; erfolgt. Hierbei hat man indessen den Nachteil, di< Tempeiaturen jeder der beiden Kathoden nich unabhängig regulieren zu können.

Im beschriebenen Ausführungsbeispiel waren das zi überziehende Werkstück und der Emitter aus Über zugsmaterial zwei ebene, parallel einander zugewandt« Platten, doch ist es auch möglich. Werkstück! irgendeiner Form zu verwenden, wobei das einzig! Erfordernis ist, daß eine gegenseitige Entsprechunj zwischen der Form des Emitters und der Form de: Auffängers gegeben ist, damit die Bahn der Teilchein au: Überzugsmaterial für die Gesamtheit des zu überzie henden Werkstücks praktisch identisch ist.

Im Fall des Innenüberzugs eines Rohres win beispielsweise die auffangende Kathode offensichtlicl durch das Rohr gebildet, während die Materia abgebende Kathode ein Vollzylinder oder ein Drah starken Querschnitts ist. der längs der Achse des Rohre angeordnet wird.

Der Abstand zwischen der Außenoberfläche de: inneren Zylinders und der Innenoberfläche des Hohlzy linders muß auf jeden Fall unter 50 mm sein, um einet Überzug guter Qualität zu erzielen. Im Fall, wo mat direkt einen Chromkarbidüberzug zu erhalten wüⁿschi ohne die zweite Phase des Verfahrens zu durchlaufen wo man den Überzug durch Halten des Auffängers au hoher Temperatur in das Innere des Stahls diffundieret läßt kann man als den Behälter füllendes Gas eil Gemisch aus inertem Gas und einem Kohlenstof enthaltendem Gas, ζ. B. Methan, verwenden. Hierbe läßt man durch die Gaszuführung 7 ein sorgfältij dosiertes Gemisch von Argon und Methan einströmer dessen Ionisierung in der Nähe der Kathoden ein« Freisetzung des Kohlenstoffs des Methans hervorruft der so mit dem Chrom des Emitters beim Beschüß de: Auffängers zur direkten Bildung einer Chromkarbid schicht auf der Oberfläche des Stahls reagieren kann. In Fall, wo man nicht das Gas des Behälters verbraucht d, h, im Fall der Verwendung eines Inertgases, das nich an der chemischen Bildung des Überzugs teilnimmt is es theoretisch möglich, ein Gas unter statischem Drucl

ohne fortlaufende Einleitung von Gas und ohne Pumpen während des Überzugvorganges zu verwenden, jedoch dürfte es vorzuziehen sein, die im Ausfuhrungsbeispiel beschriebene Methode anzuwenden, da diese Technik eine bessere Steuerung der Leckverluste und der Eigenschaft des im Behälter zirkulierenden Gases ermöglicht.

DKi näheren Angaben, die bezüglich der kathodischen Potentiale des Emitters und des Auffängers und bezüglich des Abstandes zwischen dem Emitter und dem Auffänger im Fall der Inchromiffung gegeben wurden, stellen optimale Werte im beschriebenen Anwendungsfall dar, doch ist es möglich, davon etwas verschiedene Werte anzuwenden und gleichwohl befriedigende Bedingungen zur Durchführung des Verfahrens und zum Erhalten eines Überzugs guter Qualität zu erzielen.

So kann man im Fall des Überziehens eines 0,30 bis 0,35 Gew.-% Kohlenstoff enthaltenden Stahls mit r'inpr mittels eines Emitters aus einer Eisen-Chrom-Legierung in Inergasumgebung erhaltenen Chromschicht den Druck des Inertgases zwischen 1,3 und 6,7 mbar halten, wobei das kathodische Potential des Auffängers zwischen 450 und 500 V und das kathodische Potential des Emitters zwischen 550 und 650 V und schließlich der Abstand zwischen Emitter und Auffänger, d. h. zwischen ihren aktiven Oberflächen, zwischen 8 und 15 mm gehalten werden.

Im Fall eines direkten Überzugs mit Chromkarbid, wobei das im Behälter enthaltene Gas aus einem Gemisch eines Inertgases und einer Kohlenstoffverbindung, wie z. B. Methan, gebildet wird, können die verschiedenen oben erwähnten Parameter in den gleichen Bereichen gehalten werden.

Schließlich ist das erfindungsgemäße Verfahren nicht nur zur Erzeugung von Chrom- oder Chromkarbidüberzügen, sondern auch auf die Erzeugung anderer metallischer oder nichtmetallischer Überzüge, wie z. B. Titan-, Titankarbid-, Bor-, Tantal- oder Vanadinüberzüge anwendbar.

In allen Fällen bemerkt man, daß man vorteilhaft die Potentiale suf scichs" Werte" hslt dsß zwischen Anode und Kathoden Potentiale zwischen 300 und 800 V im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens herrschen, wo der Restdruck im Behälter in der Größenordnung von einigen mbar und zwar bis zu 20 mbar liegt.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentanspräche:

1. Verfahren zum Überziehen der Oberfläche eines elektrisch leitenden Werkstücks mit einer dicken und homogenen Oberzugsschicht im Gasphasenverfahren unter Einwirkung elektrischer Entladungen, dadurch gekennzeichnet, daß das zu überziehende leitende Werkstück (1) im Inneren des mit einem Gas bei einem Druck von 0,13 bis 20 mbar gefüllten Behälters (2) in einem Abstand unter 50 mm von einem Element (14) aus Überzugsmaterial angeordnet wird, daß man eine Anode (8), die der Behälter (2) sein kann, vorsieht, und daß das zu überziehende Werkstück (1) und das Element aus Überzugsmaterial (14) zwei gesonderte Kathoden bilden, daß die Kathoden auf .solche Potentiale gebracht werden, daß zwischen der Anode (8) und den Kathoden (1, 14) Potentialdifferenzen von 200 bis 1500 V, vorzugsweise 300 bis 800 V vorliegen, und daß man eine anomale Entladung zwischen der Anode{S?und den Kathoden (1,14) aufrecht erhält.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathoden (1,14) so an unabhängig variierbare Potentiale gelegt werden, daß die Temperatur jeder der beiden Kathoden (1, 14) unabhängig regulierbar ist.

3. Verfahren nach Ansprach 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Kathoden (1, 14) an das gleiche Potential gelegt werden, jedoch durch das sie bildende Material unterschieden sind.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das den Behälter (2) füllende Gas in diesem 2,kuliert und der Druck dieses Gases ein an einem Punkt dieses Gaskreises gemessener dynamischer Dru kist

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als den Behälter (2) füllendes Gas Argon verwendet wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet daß als den Behälter (2) füllendes Gas mit einem chemisch aktiven Bestandteil verwendet wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bi. 6, dadurch gekennzeichnet, daß das zu überziehende Werkstück (1) und das Element (14) aus dem Überzugsmaterial in derart komplementären Formen eingesetzt werden, daß der Abstand zwischen der den Beschüß vom Element (14) aus liefernden Oberfläche und der zu überziehenden Oberfläche des Werkstücks (1) praktisch konstant ist.

8. Vorrichtung zur Durchführung des Überzugsverfahrens nech einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Behälter (2), der an eine Pumpeinrichtung (6) angeschlossen und im Inneren mit einer Wärmeabschirmung (9) ausgekleidet ist, und zwei Stromzuführungen (3,10) /um Halten und zur Stromspeisung des zu überziehenden Werkstücks (1) und des Elements (14) aus Überzugsmaterial aufweist, die an wenigstens einen elektrischen Generator (5, 12) angeschlossen sind, der mit Einrichtungen zur Lichtbogenunterbre· chung ausgerüstet ist.