DE2504182A1

DE2504182A1 - Laser quartz glass discharge tube - has outer envelope built-up from three uncalibrated quartz tube parts

Info

Publication number: DE2504182A1
Application number: DE19752504182
Authority: DE
Inventors: Lutz Heyduk; Bernd Dipl Phys Luemkemann
Original assignee: Jenoptik Jena GmbH
Current assignee: Jenoptik AG
Priority date: 1974-04-02
Filing date: 1975-02-01
Publication date: 1975-10-09
Also published as: DD112555A1

Abstract

The quartz glass discharge tube is intended for a laser with inner mirror application. The outer envelope consists of three parts formed by uncalibrated quartz tubes. The middle part has a large diameter and contains a cold cathode with a large surface and holders for a capillary tube. To this middle part are connected two parts of smaller diameter, whose outer ends are provided with ground shells for reception of adjustable inner mirrors. The design affords coaxial build-up of the quartz glass tube with simultaneous mirror adjustment during and even after the manufacture. The cold cathode is preferably of aluminium or tantalum. The discharge tube ends are closed by plates secured by clipping or adhesion.

Description

Entladungsrohr aus Quarzglas Die Erfindung betrifft ein Entladungsrohr aus Quarzglas fiir einen Innenspiegellaser. Discharge Tube Made of Quartz Glass The invention relates to a discharge tube Made of quartz glass for an interior mirror laser.

Es sind Entladungsrohre aus Quarzglas bekannt. Ein derartiges Entladungsrohr besteht aus einem massiven Quarzblock, in den eine Kapillarbohrung eingebracht ist. Die Endflächen des Quarzblockes sind so bearbeitet, daß sie parallel zueinander stehen und ein Anspringen oder Ankitten der Resonatorspiegel erlauben. Discharge tubes made of quartz glass are known. Such a discharge tube consists of a solid quartz block in which a capillary bore is made. The end faces of the quartz block are machined so that they are parallel to each other stand and allow the resonator mirrors to jump or anchor.

Dieser Ausführungsform haften verschiedene schwerwiegende Yiängel an. Das Bohren von massivem Quarzglas ist im Hinblick auf die lange und den geringen Durchmesser des Entladungskanals sowie auch auf die erforderliche Geradführung der Bohrung schwierig. Eine nachträgliche Justierung der Spiegel ist nicht möglich. Durch den fehlenden koaxialen Aufbau des Entladungsrohres wirken sich thermische Einflüsse sehr ungünstig auf die Justierung und damit auf die Leitungsstabilität aus. Various serious defects adhere to this embodiment at. The drilling of solid quartz glass is in view of the long and the minor Diameter of the discharge channel as well as the required straight line of the Boring difficult. Subsequent adjustment of the mirrors is not possible. Due to the lack of a coaxial structure of the discharge tube, there are thermal effects Influences very unfavorable on the adjustment and thus on the line stability the end.

Es ist weiterhin bekannt, für den Aufbau von Entladungsrohren Quarzkörper in Form eines weiten Rchres zu verwenden, da.3 in dessen Enden zwei Platten in Nuten eingelegt sind, die ein als Entladungskanal wirkendes Quarzrohr geringen Durchmesser tragen. Abgesehen von dem auch bei diesem Entladungsrohr fehlenden koaxialen Aufbau ist die Herstellung dieses Rohres technologisch sehr aufwendig, da kalibrierte Querteile verwendet werden müssen und außerdem verschiedene Passungen auf einer Glasdrehbank herzustellen sind, Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Entladungsrohr aus Quarzglas zu schaffen, das einen koaxialen Rohraufbau und eine Spiegeljustierung während und nach Fertigstellung gewährleistet. It is also known for the construction of discharge tubes quartz bodies to use in the form of a wide tube, da.3 in the ends of two plates in grooves are inserted, which acts as a discharge channel quartz tube small diameter wear. Apart from the lack of a coaxial structure in this discharge tube The production of this pipe is technologically very complex, since it has calibrated cross-sections must be used and also different fits on one Glass lathe The invention is based on the object of a discharge tube from quartz glass to create a coaxial tube structure and a mirror adjustment guaranteed during and after completion.

Diese Aufgabe wird durch ein Entladungsrohr aus Quarz. This task is performed by a discharge tube made of quartz.

glas für einen Innenspiegellaser erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die äußere Umhüllung im wesentlichen aus drei, aus unkalibrierten Quarzrohren bestehenden Teilen aufgebaut ist, wobei ein mittelteil großen Durchmessers eine großflächige Kaltkathode und I;ittel zur Halterung eines Kapillarrohres enthält, und zwei, an dieses Mittelteil angeschmolzenen Teile geringeren Durchmessers an ihren äußeren Enden Schliffschalen zur Aufnahme justierbarer Innenspiegel enthalten.glass for an interior mirror laser according to the invention solved in that the outer casing essentially consists of three uncalibrated quartz tubes Parts is constructed, with a central part of large diameter a large area Cold cathode and I; ittel for holding a capillary tube contains, and two, on this middle part fused parts of smaller diameter on their outer ones Ends contain ground-glass shells to accommodate adjustable interior mirrors.

Das Wesen der Erfindung soll an einem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel her erläutert werden, Die Figur zeigt einen Längsschnitt durch ein Entladungsrohr gemäß der Erfindung. Es handelt sich dabei um eine Entladungsrohr für einen monofrequenten Heliutrneonlaser der Wellenlänge # = 633 nm. The essence of the invention is intended to be based on one shown in the drawing Embodiment to be explained ago, the figure shows a longitudinal section through a discharge tube according to the invention. It is a discharge tube for a monofrequency heli-neon laser of wavelength # = 633 nm.

Das erfindungsgemäße Entladungsrohr ist aus drei unkalibrierten Quarzrohren zusammengesetzt. An ein Mittelteil 1 großen Durchmessers sind zwei Rohrteile 2 und 3, die geringeren Durchmesser haben, angeschmolzen. The discharge tube according to the invention consists of three uncalibrated quartz tubes composed. On a central part 1 of large diameter are two pipe parts 2 and 3, which have smaller diameters, melted.

In dem Mittelteil findet eine großflächige Kaltkathode Platz, die vorzugsweise aus Al oder Ta besteht, An einem Ende des Mittelteiles ist weiterhin ein Halterohr 5 für eine Kapillare 6 angeschmolzen. In the middle part there is space for a large cold cathode, which is preferably made of Al or Ta, at one end of the middle part is still a holding tube 5 for a capillary 6 melted on.

Die beiden Rohrteile 2 und 3 enthalten an ihren äußeren Enden Schliffschalen 7, in die die mit einer Kugelmantelfläche versenenen Resonatorspiegel 8 justierbar und vakuumdicht eingebracht sind. The two pipe parts 2 and 3 contain ground-glass shells at their outer ends 7, into which the resonator mirror 8, which is provided with a spherical surface, is adjustable and are introduced in a vacuum-tight manner.

Das Entladungsrohr ist durch zwei Abschlußplatten 9, die angesprengt oder angekittet sind. verschlossen. Pür die Elektrodenzuführungen sind Glasdurchführungen 10 vorgesehen. The discharge tube is separated by two end plates 9 or cemented. locked. There are glass feed-throughs for the electrode leads 10 provided.

Die gegenüber dem Stand der Technik vorhandenen Vorteile sind vor allem das große zur Verfügung stehende Gasvolumen, die günstigen thermischen Bedingungen, die sich bei Verwendung einer Kaltkathode und koaxialen Rohraufbau einstellen. Die Kaltkathode hat weiterhin cien Vorteil einer großen Lebensdauer des Entladungsrohres. Das Entladungsrohr hat die Möglichkeit einer Justierung während des gesamten Fertigungsprozesses. Die Herstellungstechnologie ist sehr einfach, das Entladungsrohr kann aus billigen unkalibrierten Quarzteilen aufgebaut werden. Die Einbrigung des gesamten Entladungsrohres in ein Ölbad ist möglich. The advantages over the prior art are above especially the large volume of gas available, the favorable thermal conditions, which occur when using a cold cathode and a coaxial tube structure. the The cold cathode also has the advantage of a long service life for the discharge tube. The discharge tube can be adjusted during the entire manufacturing process. The manufacturing technology is very simple, the discharge tube can be made from cheap uncalibrated quartz parts can be built. Bringing in the entire discharge tube in an oil bath is possible.

Claims

Claim

Discharge tube made of quartz glass for an interior mirror laser, thereby characterized in that the outer casing consists essentially of three, uncalibrated Quartz tubes existing parts is built, with a central part of large diameter contains a large-area cold cathode and means for holding a capillary tube, and two parts of smaller diameter fused to this central part their outer ends contain ground-glass shells to accommodate adjustable interior mirrors0