DE243059T1 - Analysator fuer geladene teilchen. - Google Patents

Analysator fuer geladene teilchen.

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Publication number
DE243059T1
DE243059T1 DE1987303196 DE87303196T DE243059T1 DE 243059 T1 DE243059 T1 DE 243059T1 DE 1987303196 DE1987303196 DE 1987303196 DE 87303196 T DE87303196 T DE 87303196T DE 243059 T1 DE243059 T1 DE 243059T1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
plate
sample
opening
axis
lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE1987303196
Other languages
English (en)
Inventor
Andrew Roderick Prestbury Cheshire Sk10 4Hz Walker
Original Assignee
Spectros Ltd., Urmston, Manchester
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Spectros Ltd., Urmston, Manchester filed Critical Spectros Ltd., Urmston, Manchester
Publication of DE243059T1 publication Critical patent/DE243059T1/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/285—Emission microscopes, e.g. field-emission microscopes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
    • H01J49/46—Static spectrometers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Claims (2)

87 303 196.7 SPECTROS LINITED Patentansprüche
1. Analysator für geladene Partikel mit einer Achse, längs der die geladenen Partikel wandern können, einer Einrichtung zum Halten eines Musters (1) in einer Musterposition auf der Achse des Analysators, einer Strahlenquelle (3) zum Richten einer Strahlung unter einem schrägen Winkel zur genannten Achse auf die Oberfläche eines Musters, das sich in der Musterposition befindet, um zu bewirken, daß geladene Partikel von dem Muster abgegeben werden, einer Analysiereinrichtung (14) zum Analysieren der geladenen Partikel, die von dem Muster empfangen werden, einer Linse (6) auf der genannten Achse zwischen der Musterposition und der Analysiereinrichtung, einer ersten Platte (12), die eine öffnung (12a) aufweist, wobei die öffnung auf der genannten Achse zwischen der Linse und der Analysiereinrichtung Liegt, wobei die Linse und die Größe und der Ort der öffnung der ersten Platte im wesentlichen einen ausgewählten Bereich des Musters definieren, von welchem die Analysiereinrichtung geladene Partikel empfangen kann, und einer zweiten Platte (5), die eine öffnung (5a) enthält, wobei die öffnung der zweiten Platte auf der genannten Achse zwischen der Linse und der Musterposition liegt, wobei die zweite Platte (5) einen Maskierungsabschnitt (5c oder 5e) aufweist, der die stromabwärts weisende Seite
der zweiten Platte gegen die Strahlung maskiert/ dadurch gekennzeichnet/ daß die zweite, mit der öffnung versehene Platte (5) so dicht an der Musterposition angeordnet ist/ daß der Bereich des Musters, von welchem die Linse geladene Partikel empfangen kann, auf einen Kreis begrenzt ist/ dessen Durchmesser nicht größer als der zweifache Durchmesser der öffnung (5a) der zweiten Platte (5) ist.
2. Analysator für geladene Partikel nach Anspruch 1/ da durch gekennzeichnet, daß die zweite, mit einer öffnung versehene Platte die Form einer konischen/ kegelstumpfförmigen Schale (5e) hat.
DE1987303196 1986-04-22 1987-04-13 Analysator fuer geladene teilchen. Pending DE243059T1 (de)

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GB868609739A GB8609739D0 (en) 1986-04-22 1986-04-22 Charged particle analyser

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DE243059T1 true DE243059T1 (de) 1988-02-25

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ID=10596585

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DE1987303196 Pending DE243059T1 (de) 1986-04-22 1987-04-13 Analysator fuer geladene teilchen.

Country Status (4)

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EP (1) EP0243059A3 (de)
JP (1) JPS62188053U (de)
DE (1) DE243059T1 (de)
GB (1) GB8609739D0 (de)

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JPH071685B2 (ja) * 1990-09-06 1995-01-11 株式会社日立製作所 走査電子顕微鏡

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1332207A (en) * 1971-05-07 1973-10-03 Ass Elect Ind Apparatus for charged particle spectroscopy
JPS58200144A (ja) * 1982-05-17 1983-11-21 Shimadzu Corp Ｘ線光電子分光装置
JPS59123153A (ja) * 1982-12-28 1984-07-16 Jeol Ltd 光電子分光装置の入射レンズ系

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Publication number Publication date
GB8609739D0 (en) 1986-05-29
EP0243059A2 (de) 1987-10-28
EP0243059A3 (de) 1988-06-01
JPS62188053U (de) 1987-11-30

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