DE2328798A1

DE2328798A1 - Halbleiteranordnung

Info

Publication number: DE2328798A1
Application number: DE2328798A
Authority: DE
Inventors: John Stanley Miles
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1972-06-23
Filing date: 1973-06-06
Publication date: 1974-01-17
Also published as: FR2189868A1; JPS4964373A; IT986562B; NL7308408A

Description

PH». 32263.

Anmelder: N.V. ·. ·-.-. -:- ..i-Ai.irEivFACRic.KEN
Ai... PHB-32.263

Anmeldung vo.m 4· Juni 1973

"Halblei toranordiiung"

Die Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiteranordnung mit einem Halbleiterkörper, einem ersten metallenen Folienteil, der eine Stützfläche für den Halbleiterkörper enthält und der einander gegenüberliegende Vorsprünge aufweist, die mit der Stützfläche eih Ganzes bilden und seitlich herausragen, weiter mit einer Wärmeabführungsvorrichtung, die an einer Oberfläche der Stützfläche befestigt ist, wobei der Halbleiterkörper an der gegenüberliegenden Oberfläche der Stützfläche befestigt ist, und mit einer Anzahl zweiter metallener Folienteile, die von dem ersten Folienteil sowie von der Wärmeabführungsvorrichtung getrennt sind und sich seitlich von der Stützfläche nach aussen erstrecken und Leiter ergeben, die in der Nähe der Stützfläche mit Elektroden des

Halbleiterkörpers elektrisch verbunden sind und mit einor Umhüllung aus Kunststoff, in der der Halbleiterkörper auf der Stützfläche, die seitlichen Vorsprünge der Stützfläche, die Teile der Leiter in der Nähe der Stützfläche und mindestens der Teil der Wärmeabführungsvorrichtung in tier Nähe dor Stützfläche angebracht und eingebettet sind.

Bei einer derartigen bekannten Anordnung ist

die Wärmeabführungsvorrichtung nur durch plastisches Material der Umhüllung an der Stützfläche befestigt, welches Material um die Stützfläche und die Wärmeabführungsvorrichtung gebildet ist. Dies wird dadurch erreicht, dass die Wärmeabführungsvorrichtung in eine Lehre gebracht wird, und dass darauf die mit einem Muster versehene Metallfolie mit dem Halbleiterkörper ebenfalls in die Lehre gebracht wird und dass das plastische Material zur Bildung der Umhüllung in die Lehre gespritzt wird, Die Zweckmassigkeit des auf diese Weise gebildeten thermischen Kpntaktes zwischen der Stützfläche und' der Wärmeabführungsvorrichtung hängt von der Genauigkeit der Abmessungen der unterschiedlichen Teile der Lehre, von der mit einem Muster versehenen Metallfolie und vom WMrmeabführungselement ab, damit gute Kontakte auf zuverlässige Weise geschaffen werden. Weiter hat es sich in vielen Fällen herausgestellt, dass zwischen die Wärmeabführungsvorrichtung und die Stützfläche plastisches Material gedrungen ist; dieses plastische Material beeinträchtigt den Wärmekontakt und kann in manchen Fällen die Stützfläche heben und die elektrischen*Verbindungen zwischen den Leitern und dem Halbleiterkörper auf der Stütz-

303883/09Sg

ORlGiNAL IMSFECTED

2328799

PHH. 32263,

fläche unter Spannung setzen. Es ist weiter bekannt, die WMrraoabrUhruiigsvorrirlitunß mit eier Stützfläche zu verlöten, bzw. zu verkleben. Dies kann insbesondere bei Massenherstellung wesentliche Schwierigkeiten ergeben.

Die Erfindung bezweckt nun, eine besseie Verbindung zwischen der Wärmeabführungsvorrichtung und der Stützfläche für den Halbleiterkörper zu erhalten, wobei zugleich die genannten Nachteile ausgeschaltet sind. Dies wird nach der Erfindung dadurch erreicht, dass die Wärmeabführungsvorrichtung auf der Stützfläche klemmend befestigt ist und zwar mit Hilfe von Zungen der Wärmeabführungsvorrichtung, die mit den seitlichen VorSprüngen der Stützfläche in Eingriff sind um die Wärmeabführungsvorrichtung mit dem ersten Folienteil zu verbinden.

Durch Verwendung "aufgeklemmter" WärmeabführungsvoiTichtungen kann ein wirksamer Wärmekontakt zwischen der Stützfläche und der Wärmeabführungsvorrichtung auf zuverlässige Weise erhalten werden und können die Einzelteile der Vorrichtung während der Herstellung leichter hantiert werden und \%ird eine Mechanisierung bei der Montage der Vorrichtung leichter.

Es sei bemerkt, dass bei der bekannten Halbleiteranordnung, wie diese obenstehend besenrieben wurde, die seitlichen Vorsprünge der Stützfläche diese Fläche bei der Herstellung der Vorrichtung unterstützen müssen. Bis zur letzten Stufe der Herstellung enthielt' die mit einem Muster versehene Metallfolie einen Rahmenteil, der sich seitlich

309883/095 6

prm. y.i'.iο;3.

-Λ-

um dio Stützfläche er.streckte und zwar in einem Abstand davon und mit den Leitern sowie mit· den lateralen Vorsprüngen dor Stützfläche ein Ganzes bildete um den genannten ersten und zweiten Folienteil auf mechanische Weise miteinander zu verbinden. Diese seitlichen Vorsprüngo dienen oft dazu, die Stützfläche auf einfachste Weise mit dem Ha-hmenteiJ zu vorbinden, damit nicht zu viel Kaum der Folie beansprucht wird; in vielen Fällen waren die seitlichen Vorsprün^o der Stützfläche also schmale, dünne, gerade FoIienstreifon, die sich unmittelbar vom Stützflächentoi1 zum Hahmonteil erstreckten.

Hei einer Anordnung nach <lor vorliegenden Erfindung dienen die seitlichen Vorsprünge der Stützfläche während der Herstellung eier Anordnung zur Unterstützung der Stützfläche sowie der Wärmeabführungsvorrichtung und sie dienen insbesondere dazu, mit den genannten Zungen der Wärraeabführungsvorrichtung in Eingriff zu gelangen. Bei einer Ausfuhrungsform haben diese seitlichen Vorsprünge die Form gerader Folienstreifen und mindestens zwei Zungen der Wärmeabführungsvorrichtung könne,n zu jedem seitlichen Vorsprung gehören und über denselben veifofmt werden. Die Breite der seitlichen VorSprünge kann über ihre Länge schwanken. Bei einer änderen Ausführungsförm ist jeder der genannten, seitlichen Vorsprünge mit einer öffnung versehen und eine Zunge der WäiTneatbführungsvorrxehtung kann sich durch die öffnung hindurch erstrecke*!.» Dies bietet den Vorteil,, dass es im al !gerne iiieir leichter is*, die Folie und dtie leiJ-e άίβτ seit-Vorsprünge ά&τ? selben riiiit eirieiBv Muster zxx verselreri> als

PHB. 32263,

cleiH.s viele Zungen auf der Wärmeabführungsvorrichtung angebracht und mit einem Muster versehen werden müssen. Das freie Ende einer Zunge einer Wärmeabführungsvorrichtung, kann über ilen Rand des gebohrten Teils des dazu gehörenden seitlichen Vorsprunges verformt werden. Die Offnungen in den seitlichen VorSprüngen können derart sein, dass mindestens einer der seitlichen Vorsprünge sich in Zweige teilt, die sich getrennt von der Stützfläche erstrecken. Getrennte seitliche Vorsprünge der Stützfläche können bei der Herste llung der Anordnung sowie in der hergestellten Anordnung vorteilhaft sein. Wenn also die Stützfläche und die Wärmeabführungsvorrichtung unterstützt und mit den Rahmenteilen durch gegabelte Teile der seitlichen Vorsprünge verbunden sind, wie die Verbindung über eine Länge des Rahmenteils verbreitet, während die gegabelte Teile, in der Nähe des Rahmenteils schmal genug sein können um eine leichte Trennung des Rahmenteils zu ermöglichen. Auf diese Weise wird eine in mechanischer Hinsicht stabile Unterstützung der Stützfläche und der Wärmeabführungsvorrichtung erhalten, die der Neigung der Stützfläche (und möglicherweise der Wärmeabführungs· vorrichtung) um beim Einbetten in das plastische Material zu kippen, Widerstand bietet. Die Zungen der Wärmeabführungsvorrichtung können sich zwischen den gegabelten Teilen der seitlichen Vorsprünge erstrecken und gegen dieselben ruhen. Die Offnungen zwischen den gegabelten Teilen können eine zweckmässige Verriegelung des genannten ersten Folienteils im plasti schen Material der Umhüllung ergeben. Eine derartige Verriege lung ist insbesondere wichtig wenn beim Trennen des Rahmen—

teils auf dem genannten ersten Folienteil Spannungen entstehen.

309883/0956

Die seitlichen Vorsprünge der Stützfläche können von der Stützfläche an bis dort, wo sie mit den Zungen der Wärmeabführungsvorrichtung in Eingriff go langen, breiter sein als in der Nähe ihrer freien Enden. Eine wirtschaftliche Wärmeabfuhr über ilen Unterstützungsblock ist dann sowohl in vertikaler Richtung durch die Ebene der Oberfläche, an der die Wärmeabführungsvorrichtung befestigt ist, sowie in seitlicher Richtung durch die seitlichen Vorsprung*» der Oberfläche, an der die Wärmeabführungsvorrichtung befestigt ist, möglich.

Die Stützfläche kann in Richtung tier Wärmeabführungsvorrichtung eingedrückt sein, so dass aie unterhalb der Leiter in der Nähe der Stützfläche liegt. Dies ist vorteilhaft bei der Erleichterung der Herstellung eier elektrischen Verbindungen zwischen den Leitern und den Elektroden und beim Ent f enthalten der Leiter von der Stützfläche und der Wärmeabführungsvorrichtung.

Die Leiter können in zwei einander gegenüberliegenden Reihen angebracht werden und die einander gegenüberliegenden seitlichen Vorsprünge der Stützfläche können sich zwischen den zwei Reihen erstrecken; eine derartige Anordnung eignet sich für viele integrierte Schaltungen. Die Zungen der Wärmeabführungsvorrichtung können in Teile der seitlichen VorSprünge greifen, die sich nach den Enden der zwei einander gegenüberliegenden Reihen befinden; in diesem Fall wird die Wärmeabführungsvorrichtung an in einem gro'ssen Abstand gehaltenen Teilen des genannten ersten Teils der Folie befestigt,

309883/0956

232S78g

PHB. 32263. — ψ — '

so dass eine» in mechanischer· Hinsicht stabilere Struktur erhalten, wird.

Die Vfärmeabf ührungsvorrichtung kann auf einem

orhöhton Toil dor KSrmoab.fültrungsvorrichtung gegen die Stütz— fläche befestigt werden und zwar· dort, wo der erhöhte Teil dor St üt ζfläche zugewandt ist. Dies ist beim Erhalten des AfisHa-iide»! dor zwischen der Värmeabführungsvorrichtun& und den Lei torn in der Nähe der Stützfläche notwendig ist,, vorteilhaft, Die Zungen, der Värmeabführungsvorrichtuiig (und gogebenonfa I Is der erhöhte Teil) können durch eine geeignete übliche Technik gebildet werden und zwar beispielsweise durch Stanzen, Schneiden und. Biegen oder durch Bearbeitung zu einer Oberfläche der Vä'rnioaMührungsvorriohtung.

Die WärmeabführungS'Vorrichtung kann an den

seitlichen \'oi~sprüngen der Sttttzflaiche durch gespaltete freie Enden der Vorsprünge der WärmeabführungSArorrichtung, die quer zur Längsrichtung der seitlichen Voxspx-ünge und der Stützfläche auswärts gebogen. sind„ befestigt werden* Ein Vorteil der- Auswärtsbiegung der freien Enden in; dieser Querrichtung i&t, dass es der StützfIä;che und! den; seitlichen Vorsprüngjen weniger veranlässt,. sich, inx ihrer Längsrichtung: zw biegen.^

Nach; einem zweiten. Aspekt d«r Erfindung umfasst

bei einem Gefüge aus der Wä%meai&führung?s^ojrriGht;ung tand; eimer mit einem Huster verse;hBii©n\ MJe^tasElfolii© ziuiff; ©efera^ch bei einer Ha IbI ext er an Ordnung nach derr Er£iindtmg: die: FaIjLe einen: Teil.,, eine· Ärrzslxü zweiter Tedüe- und: edsnen, iabffletteil, dier ersite Woulxexttre-ME, eine^s SiMiiitezifiliaieihs⁵ fife edtneni

PHBi 32263· - $ -

körper der Anordnung und weist einander gegenüberliegende seitliche Vorsprünge der Stützfläche auf, die damit ein Ganzes bilden und sich seitlich auswärts erstrecken um die Stützfläche zu unterstützen, ist die Wärmeabführungsvorrichtung auf der einen Oberfläche der Stützfläche befestigt und zwar durch Zungen tier Wärmeabführungsvorrichtung, «Sie mit den seitlichen Vorsprüngen der Stützfläche.in Eingriff sind um die Wärmeabführungsvorrichtung auf den ersten Folienteil zu klemmen, sind die zweiten Folienteile vom ersten Folienteil und von der Wärmeabführungsvorrichtung getrennt, erstrecken sie sich seitwärts von der Stützfläche und liefern Leiter, die sich vorzugsweise in der Nähe der Stützfläche für die elektrische Verbindung mit Elektroden des Halbleiterkörpers befinden und erstreckt sich der Rahmenfolienteil seitlich um die Stützfläche und zwar in einem Abstand davon und bildet mit den Leitern sowie mit den seitlichen Vorsprüngen der Stützfläche ein Ganzes uni die genannten ersten und zweiten Folienteile auf mechanische Weise miteinander zu verbinden.

Bei einer bevorzugten ÄusfÜhrüngsförm sind die

seitlichen Vorsprünge der Stützfläche gegabei^ und mit ihren gegabelten Teilen aiii Rahmenteil befestigt* Die Vorteile einer derartigen Strtiktur sind "bereits ο be π stehend- beschrieben W'ßfdeft,

Ein Äusfiihrtingsb'eispiel der Erfindung ist in

den Zeichistöigert dargestellt Und wirdr ίιίί föigetid&n näher be-Sehrieben. Bs z^igöixi

Fig* 1 &UM& ßrätfcfsiäht eines ffeüs exiiör Haiti-

PHB. 32263.

Leiteranordnung in einer Herstellungsstufe,

Fig. 2 eine schaubildliche Darstellung von Teilen der Anordnung nach Fig. 1,

Fig. 3 und k eine End- bzw. Seitenansicht einer ähnlichen Anordnung.

Die in Fig. 1 und 2 dargestellte Anordnung enthält einen Teil einer mit einem Muster versehenen Metallfolie 1, die einen sogenannten "Leitungsrahmen" der Anordnung bildet, Es sei bemerkt, dass die Folie um die Linie A-A in Fig. 1 symmetrisch ist. Die Folie 1 enthält einen ersten Teil 2, 3, eine Anzahl zweiter Teile ·'♦ und Rahmenteile 5 und 6. Die Folie 1 kann aus einem geeigneten Material, beispielsweise aus einer Platte aus Kupfer, weichem Stahl, einer Nickel-Eisenlegierung, Material, das im Handel unter dem Namen KOVAR erhältlich ist, Nickel oder teilweise vergoldetem Kobalt bestehen. Das Muster der Folie 1 kann durch Stanzen oder Ätzen angebracht werden.

Der erste Folienteil 2, 3 schafft eine Stützfläche 2 für einen Halbleiterkörper 7 der Anordnung. In Fig. 1 ist der Umfang des Körpers 7 gestrichelt dargestellt und in Fig. 2 deutlichkeitshalber fortgelassen. Der Körper 7 ist der Körper einer integrierten Schaltung. Die Stützfläche 2 hat zwei einander gegenüberliegende seitliche VorSprünge 3» die mit der Stützfläche ein Ganzes bilden und sich auswärts erstrecken um die Fläche 2 zu unterstützen. Wie in Fig. 1 und 2 dargestellt, sind die zwei Vorsprünge 3 in einigem Abstand von der Fläche 2 zu zwei Zweigen 8 geteilt.

An der einen Oberfläche der Fläche 2 ist eine

30 9883/095 6 -

PHH. -}22t>\. - 10 -'

Wärmeabführungsvorrichtung befestigt; an dor gegenüberliegenden Oberfläche ist der Körper 7 befestigt und zwar- durch Löten oder durch eine andere geeignete Technik. In Fig. 1 ist die Wärmeabführungsvorrichtung H) schraffiert dargoste Ll t und diese kann aus einem geeigneten Material bestehen, beispielsweise aus einem Block Aluminium oder Kupfer. Die Wärmeabfüh— rungsvorrichtung IO hat einen erhöhten Teil 11 und Zungen 12 an der dem ersten Folienteil 2,3 zugewandten Oberflache. Der erhöhte Teil 11 der Wärmeabführungsvorrichtung ist an der Stützfläche 2 befestigt. Die Vorsprünge 12 der WärmeabfUhrungsvorrichtung erstrecken sich zwischen den gegabelten Teilen 8 der Vorsprünge 3 der Fläche 2 und ruhen gegen diese gegabelten Teile und sind auf diese Weise miteinander in Eingriff. Wie in Fig. 2 dargestellt, sind die freien Enden der Zungen 12 gespaltet und auswärts gebogen quer zur Längsrichtung tier Fläche 2 und der. Vorsprünge 3. Diese Längsrichtung ist in Fig. 1 durch die Linie A-A angegeben. Auf diese Weise ist die Wärmeabfuhrungsvorrichtung 10 mit den seitlichen Vorsprüngen 3 <ler Fläche 2 verbunden und auf diese Weise auf dem ersten Folienteil 2, 3 geklemmt. Wie in Fig. 1 und 2 dargestellt, is^t der nicht gegabelte Teil jedes Vorsprunges 3 breiter als die Zweige 8.

Die Anordnung'nach Fig. 1 enthält zwei einander gegenüberliegende Reihen zu je 8 gesonderten Folienteilen k. Diese ergeben sechzehn Leiter k der Anordnung, die .in diesem Fall eine "dual-in-line"-integrierte Schaltung mit sechzehn Leitern ist. In ähnlichen Anordnungen nach den Fig. 3 und U

309883/0956

PHB. 32263. -M-

Hind in jeder dor zwei einander gegenüberliegenden Reihen . nur fünf Leiter U vorhanden, so dass die Anordnung nach den Fig. 3 -und U p.ine "dual-in-line"-intogrierte Schaltung mit zehn Leitern ist. .-,--.

_; . Die Leiter h sind deutlichkeitshalber in Fig. 2 nicht dargestellt aber, wie in Fig. 1 dargestellt, sind sie in der Nähe der Fläche 2 mit Elektroden des Halbleiterkörpers 7 plektrisch verbunden. Diese elektrischen. Verbindungen können jede gewünschte Form haben, beispielsweise mittels durch Thermokorapre s si onsverbindunge η befestigter Drähte, und diese,sind in Fig. T durch die gezogenen Linienverbindungen angegebern.. Die Leiter k befinden sich in einem Abstand vom ersten Folienteil 2, 3 sowie von der Värmeabfuhrungsvorrichtung IO und divergieren und. erstrecken sich seitlich vojtx der Fläche 2 auswärts. Die Teile der Leiter '♦, die von der Fläche 2 abgewandt sind, haben eine gleiche geringe Breite und werden in Löcher einer Platte, auf der die Anordnung angebracht werden; muss, gesteckt.

Die. seitlichen Vorsprung« 3 der Fläche 2 erstrecken sich zwischen den zwei einander gegenüiae<rlie;ge:nde*i Reihen von Leitern k. Die Ztrngen. 12 der* Wärmeäbfiihrtingsvorrichtung TO greifen im Teile der seitlichent Vorsprung« 3* die sich an (ίβΊΐ Enden der zwei einander gegiienÜiberiiege' Reiben befiaiden_r siehie .^Fig* T. Die FlSehe 2 des erstell iseils. 2, 3 ist in Riclitung der Warmeab^iiiirtingsn^OirritihEttiitg eiragediriicfct, sielie iFig. 2. =&vtT diese Weise befindet sitsft die Fläcbe 2 tKiter den TleiXen öei* 'Leiter -k ±m der J8£bt& d«er

PHH. 32263

fläche 2. Abgesehen von dieser Eindrückung der Fläche 2 liegen die unterschiedlichen Teile der Folie 1 in eier Herstellungsstufe nach Fig. 1 in einer Ebene.

Die Rahmenteile 5 und 6 der Folie 1 enthalten Brückenteile 6, welche die Leiter '♦ jeder Reihe verbinden. Äussere Rahmenteile 5 bilden ein Ganzes mit den Zweigen 8 der Vorsprünge 31 den Enden der Leiter, die von der Fläche 2 abgewandt sind und mit den lirückenteilen 6 und den Enden jeder Reihe. Auf diese Weise verbindet der äussere Rahmenteil 5 der Folie ί die ersten P'olienteile 2,3 auf mechanische Weise mit den zweiten Folienteilen h.

Ein Vorteil der geklemmten Wärmeabführungsvor-

richtung TO ist, dass diese Vorrichtung am ersten Folienteil 2, 3 befestigt und durch diesen Teil unterstützt wird bevor die Folie 1 in eine Giesslehre gebracht wird um eine Umhüllung 2 aus Kunststoff auf der Folie 1 anzubringen. Der Druckkontakt zwischen dem erhöhten Teil 11 der Wärmeabführungsvorrichtung und der Folienflache 2 wird also elier durch die Zungen 12 der Wärmeabführungsvorrichtung und die Vorsprünge 3 der Folienfläche bestimmt als durch die Abmessungen der Lehre und der

Wärmeabfübungsvorrichtung und der Folienteile. Weiter kann eine Mechanisierung angewandt werden um die Wärmeabführungsvorrichtung 10 auf die Folie 1 zu klemmen und das Gefüge aus der Folie und der Wärmeabführungsvorrichtung 1, 10 in die Lehre ^u bringen.

Bei der Durchführung der ,Umhüllungsbearbeitung bildet der Folienleiterrahnien 1 meistens einen Teil einer

3 05883/0 956

PUB. 32263.

- 13 -

Reihe identischer Leiterrahmen J, die mit dem folgenden an den Rändern 9 des Leiterrahmens 1 verbundenen Leiterrahmen ein Ganzes bilden und zusammen einen langen mit einem Muster versehenen Folienstreifen bilden. Die Wärmeabführungsvorrichtungen 10 werden auf die Leiterrahmen 1 geklemmt. Der Folienstreifen mit den Wärmeabführungsvorrichtungen 10 wird danach in die Lehre gebracht. Es wird Kunststoff in die Lehre gespritzt um auf jedem Leiterrahmen 1 eine Umhüllung 20 zu bilden. Der Umfang der Umhüllung 20 ist in Fig. 1 durch eine strichpunktierte Linie angegeben. Innerhalb dieser Umhüllung 20 sind der Halbleiterkörper 7 auf der Fläche 2, die Teile tier Vorsprünge 3 und die Leiter -'♦ in der Nähe der Fläche 2 und mindestens der Teil der Wärmeabführungsvorrichtung. IO in der Nähe der Fläche 2 angebracht.

Nach der Bildung der Umhüllungen 20 werden die

. einzelnen Leiterrahmen 1 vom Streifen getrennt und die Rahmenteile 5 und 6 werden getrennt um die Leiter k voneinander und von der Stützfläche 2 zu trennen. Die Leiter h werden danach in zwei einander gegenüberliegenden Linien gebogen, wie in Fig. 3 und k dargestellt ist. Die Zweige 8 der seitlichen Vorsprünge 3» die aus der Umhüllung 20 herausragen, werden vorzugsweise in der Aussenfläche der Umhüllung; 20 abgeschnitten.

Es dürfte einleuchten, dass im Rahmen der Erfindung für den Fachmann viele Abwandlungen möglich sind. So. .,· kann beispielsweise die Wärmeabführungsvorrichtung 10 in die Umhüllung 20 eingebettet oder an der Oberfläche 21 oder 22 ., _:

309883/0956

2378798

PUB. 322<i3.

der Umhüllung freigelegt werden. Die Wärmeahfüh-rungsvorrichtung 10 kann derart gebildet und bemessen sein, dass diose bis jenseits der Enden tier Umhüllung 20 horausragt; derartige herausragende Teile der Värmeabführungsvorrichtung können zur Befestigung der Vorrichtung an einer grösseron Viirmoabführung.svorrichtung, beispielsweise durch Verschrauben, Vernieten o.dgl. gelocht sein.

Viele Techniken können angewandt worden um eine WMrmeabführungsvorrichtung IO herzustellen, die auf einen Folienteil 2, 3 durch Zungen der Wärraeabführungsvorrichtung geklemmt ist, welche Zungen in die Vorsprünge der Folienfläche eingreifen. Die freien Enden der Zungen 12 brauchen bei manchen Vorrichtungen nicht geteilt und auseinander gebogen zu werden; die Zungen 12 können beispielsweise an ihren freien Enden kegelförmig verlaufen und die Wärraeabführungsvorrichtung H) kann dadurch geklemmt werden, dass die kegelförmig verlaufenden Zungen 12 in.örtlichen Offnungen in den Vorsprüngen 13 der Stützfläche 2 durch eine Presspassung befestigt werden.

In den gegabelten Vorsprüngen 3 nach den Fig. und 2 kann der V-förmige Raum zwischen den Teilen der Zweige 8 fortgelassen werden, so dass die Folie sich vom einen Zweig 8 bis zum anderen gerade erstreckt. Die Zweige 8 können sich also parallel über ihre ganze Länge erstrecken und sich praktisch senkrecht zum Rand der Vorsprünge des festen Teils, wo sie herausragen, erstrecken. In diesem Fall können die Zungen 12 der Wärmeabfülirungs vor richtung sich durch runde

309883/0956

237879a

PHB. 32263, - AS -

.Löcher in diesen losten Teilen erstrecken.

Mindestens ein seitlicher Vorsprung 3 der

Stützfläche 2 kann sich nach Aussen erstrecken und zwar zur Bildung eines Leiters Tür die Fläche 2; ein derartiger Leiter für t-üo Flüche kann ausserhalb der Umhüllung 20 auf dieselbe Art und Weise wie die anderen gesonderten Leiter k enden. ' In^; Fig. 1 kann beispielsweise der eine Zweig 8 seitlich herausragen mit einem-in der Nähe liegenden Leiter k, der sich am pinen Ende oinpr der Leiterreihen befindet! dieser Heraus-, ragende Leiter U würde dann kein gesondertes Ende in der Nähe der Flilche 2 haben und an einer oberen Elektrode des Körpers 7 befestigt sein.

Claims

PHB. 32263. - 16 PATENTANSPRÜCHE .

ί 1 .J Halbleiteranordnung mit einem Halbleiterkörper,

einem ersten metallenen Folienteil, der eine Stützfläche für den Halbleiterkörper enthält und der einander gegenüberliegende Vorsprünge aufweist, die mit der Stützfläche ein Ganzes bilden und seitlich herausragen, weiter mit einer Wärmeabführungsvorrichtung, die an einer Oberfläche der Stützfläche befestigt ist, wobei der Halbleiterkörper an der gegenüberliegenden Oberfläche der Stützfläche befestigt ist, und mit einer Anzahl zweiter metallener Folienteile, welche zweiten Folienteile vom ersten Folienteil sowie von der Wärmeabführungsvorrichtung getrennt sind und sich seitlich von der Stützfläche auswärts erstrecken und Leiter liefern, die in der Nähe der Stützfläche mit Elektroden des Halbleiterkörpers elektrisch verbunden sind und mit einer Umhüllung aus Kunststoff, in der der Halbleiterkörper auf der Stützfläche, die seitlichen Vorsprünge der Stützfläche, die Teile der Lei,ter in der Nähe der Stützfläche und mindestens der Teil der Wärmeabführungsvorrichtung in der Nähe der Stützfläche angeordnet und eingebettet sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmeabführungsvorrichtung mit Hilfe von Zungen der Wärmeabführungsvorrichtung klemmend auf der Stützfläche befestigt ist, welche Zungen mit den seitlichen Vorsprüngen der Stützfläche in Eingriff sind um die Wärmeabführungsvorrichtung mit dem ersten Folienteil zu verbinden.

2. Halbleiteranordnung nach Anspruch 1, dadurch

gekennzeichnet, dass mindestens einer der seitlichen Vorsprünge

30 8883/0 9 56

2378798

PHB. 32263.

- 17 -

der Stützfläche in einem Abstand von der Stützfläche gegabelt ist und die entsprechende Zunge der Wärmeabführungsvorrichtung sich zwischen den gegabelten Teilen dieses seitlichen Vorsprunges erstreckt und an denselben anliegt.

3. Halbleiteranordnung nach Anspruch 1 oder 2,

dadurch gekennzeichnet, dass die seitlichen Vorsprünge der Stützfläche von der Stützfläche bis dort, wo sie mit den Zungen der Wärmeabführungsvorrichtung in Eingriff sind, breiter sind als in der Nähe ihrer freien Enden.

k. Halbleiteranordnung nach einem der vorstehenden

Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erhöhte Teil der Stützfläche eine Eindrückung aufweist in Richtung der Wärmeabführungsvorrichtung.

5. Halbleiteranordnung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Leiter in zwei einander gegenüberliegenden Reihen befinden, dass die einander gegenüberliegenden seitlichen Vorsprünge der Stützfläche sich zwischen den zwei Reihen erstrecken und dass die Zungen der Wärmeabführungsvorrichtung mit Teilen der seitlichen Vorsprünge in Eingriff sind, welche Teile sich an den Enden der zwei einander gegenüberliegenden Reihen befinden.

6. Halbleiteranordnung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmeabführungsvorrichtung auf der Stützfläche befestigt ist und zwar auf einem erhöhten Teil der Wärmeabführungsvorrichtung.

7. Halbleiteranordnung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Zungen der

309883/0956

PHB. 32263. - 18 -

Wärmeabführungsvorrichtung sich durch einen gelochten Teil der seitlichen Vorsprünge der Stützfläche erstrecken und ihre freien Enden über den Rand des gelochten Teils verformt sind.

8, Halbleiteranordnung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmeabführungsvorrichtung auf dem ersten Folienteil befestigt ist und zwar durch die gegabelten freien Enden der Zungen, die auswärts quer zur Längsrichtung der seitlichen Vorsprünge und zur Stützfläche gebogen sind.

9· Wärmeabführungsvorrichtung und eine mit einem

Muster versehene metallene Folie zum Gebrauch bei einer Halbleiteranordnung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Folie einen ersten Teil, eine Anzahl zweiter Teile und einen Rahmenteil enthält, dass der erste Teil für einen Halbleiterkörper der Anordnung eine Stützfläche liefert und einander gegenüberliegende seitliche Vorsprünge der Stützfläche enthält, die damit ein Ganzes bilden und sich seitlich nach aussen erstrecken um die Stützfläche zu unterstützen, dass die Wärmeabführungsvorrichtung auf der einen Oberfläche der Stützfläche durch Zungen der Wärmeabführungsvorrichtung, die mit den seitlichen VorSprünge der Stützfläche in Eingriff sind um die Wärmeabführungsvorrichtung auf den ersten Folienteil zu klemmen, befestigt ist, dass die zweiten Folienteile in einem Abstand von dem ersten Folienteil und von der Wärmeabführungsvorrichtung, wenn sie daran festgeklemmt sind, sich von der Stützfläche seitlich

309883/0956

2378798

PflB. 32263. - 19 - ■

nach Aussen erstrecken und Leiter liefern, die auf geeignete Weise in der Nähe der Stützfläche liegen und zwar, zur Bildung einer elektrischen Verbindung mit den Elektroden des Halbleiterkörper s und dass sich der Folienteil seitlich um eine Stützfläche erstreckt und zwar in einem Abstand davon und mit den Leitern sowie den seitlichen Vorsprüngen der.Stützfläche ein Ganzes bildet um die genannten ersten und zweiten Folientexle auf mechanische Weise miteinander zu verbinden.