DE2207748A1 - Beleuchtungsanordnung - Google Patents
BeleuchtungsanordnungInfo
- Publication number
- DE2207748A1 DE2207748A1 DE2207748A DE2207748A DE2207748A1 DE 2207748 A1 DE2207748 A1 DE 2207748A1 DE 2207748 A DE2207748 A DE 2207748A DE 2207748 A DE2207748 A DE 2207748A DE 2207748 A1 DE2207748 A1 DE 2207748A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- glass body
- spherical
- arrangement
- ring
- mirrors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/08—Catadioptric systems
- G02B17/0896—Catadioptric systems with variable magnification or multiple imaging planes, including multispectral systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/002—Arrays of reflective systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/08—Catadioptric systems
- G02B17/0804—Catadioptric systems using two curved mirrors
- G02B17/0808—Catadioptric systems using two curved mirrors on-axis systems with at least one of the mirrors having a central aperture
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/08—Catadioptric systems
- G02B17/0856—Catadioptric systems comprising a refractive element with a reflective surface, the reflection taking place inside the element, e.g. Mangin mirrors
- G02B17/086—Catadioptric systems comprising a refractive element with a reflective surface, the reflection taking place inside the element, e.g. Mangin mirrors wherein the system is made of a single block of optical material, e.g. solid catadioptric systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
- G02B21/04—Objectives involving mirrors
Description
GRETAG AKTIENGESELLSCHAFT, Regensdorf
Case 87-7959/GTP 380
Beleuchtungsanordnung
Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungsanordnung in ?*sss~
köpfen zur Bestimmung der Remissionseigenschaften von
Oberflächen, insbesondere für Messungen nach den US-Standard
PH2.17 - 19 58, mit zwei sphärischen Ringspiegeln und einem Glaskörper.
Der US-Standard PH2.17 - 1958 schreibt vor, dass die auszumessende
Oberfläche mit einem Lichtstrahlenbündel zu beleuchten ist, welches eine Neigung von 45° gegenüber äer
zu messenden Oberfläche und einen Oeffnungswinkel von 10°
besitzt. Von dem remittierten Licht wird ein Lichtstrahlen-
309831/0821
bündel unter einem Austrittswinkel von 90° und innerhalb eines Oeffnungswinkels von 10° ausgeblendet und gesammelt.
Weiter hat die Beleuchtung für alle Azimutalwinkel im gleichen Winkelbereich 45° + 5° zu erfolgen, d.h. sie
muss eine 360°-Ringbeleuchtung sein. Die umgekehrte Anordnung ist ebenfalls zulässig.
Bei bekannten Anordnungen der oben erwähnten Art werden zur Realisierung der 36O°-Ringbeleuchtung sogenannte Ringspiegel
verwendet, welche zur Erzielung einer guten Bildqualität asphärisch sein sollten. Asphärische Ringspiegel sind jedoch
sehr kostspielig. Sphärische Ringspiegel allein liefern andererseits nur eine äusserst bescheidene Bildqualität. Auch die
Verwendung von Spiegelanordnungen, wie sie in Teleskopen vorkommen, ist ungünstig. Beispielsweise ist bei einer umgekehrten
Cassegrain-Anordnung eine Aberrationskorrektur unmöglich:»
Die Erfindung vermeidet diese Nachteile und ist dadurch gekennzeichnet, dass
- die sphärischen Spiegel konzentrisch sind, der Glaskörper zwischen den beiden Spiegeln liegt und eine innere sowie
eine äussere Kugelfläche aufweist, welche je einen sphärischen Ringspiegel tragen, wobei der aussere Ringspiegel
auf der äusseren Kugelfläche des Glaskörpers einen Kugelabschnitt als Oeffnung begrenzt, dessen Projektion in
Richtung der optischen Achse der Anordnung die Projektion des inneren Ringspiegels einschliesst,
309831/0821 ^ 0R1QINAL
- der Glaskörper eine sphärische Austrittstlache aufweist,
deren Mittelpunkt den abzutastenden Bereich der zu messenden Oberfläche festlegt, und dass
- die Krümmungsradien der Spiegel, der Krümmungsradius der
Austrittsfläche, der Abstand zwischen dem Krümmungsmitte1-pnnkt
der Ringspiegel und dem Krümmungsmittelpunkt der Austrittsfläche sowie der Brechungsindex des Glaskörpers
so beschaffen sind, dass die sphärische Aberration der Anordnung Null ist und die Sinus-Bedingung exakt erfüllt
ist.
Die erfindungsgemässe Anordnung weist folgende Vorteile auf:
- Sie besitzt ausschliessldch sphärische Flächen, wobei zwei
davon sogar konzentrisch sind, Infolgedessen lässt sie sich sehr einfach herstellen.
- Sie stellt praktisch ein einziges festes optisches Bauteildar. Daher braucht sie bei der Herstellung und beim Betrieb
niemals justiert zu werden.
- Sie ist sehr kompakt in der Bauweise.
Die Erfindung wird nun mit Hilfe der Figuren an einigen Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematisclie Darstellung der USA-Standard-Anordnung
für die Remissions-Messung,
309831/0821
Fig. 2 eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispieles
der erfindungsgemässen optischen Beleuchtungsanordnung,
Fig. 3 eine Detailvariante der Anordnung nach Fig. 2,
Fig. 4 eine schematische Darstellung einer Anwendung der Anordnungen von Fig. 2 in einem Einzelmesskopf zur
Messung der Remissionseigenschaften einer Oberfläche, und
Fig. 5 eine schematische Darstellung einer Anwendung der Anordnung von Fig. 2 in einem Mehrfach-Messkopf
zur simultanen Messung der Remissionseigenschaften verschiedener Punkte einer Oberfläche.
Gemäss Fig. 1 wird der Messfleck B auf der Oberfläche einer
Vorlage 1 mit einem Lichtstrahlenbündel 0, unter einem Einfallswinkel
oL = 45 gegenüber der zu messenden Oberfläche beleuchtet. Das Lichtstrahlenbündel #, besitzt einen Oeffnungswinkel
2/5a. mit /It* = 5 . Aus dem remittierten Licht
wird ein Lichtstrahlenbündel 02 unter dem Remissionswinkel
/* = 90° und mit dem Oef fnungswinkel 2Δβ mit Δβ = 5° ausgeblendet.
Die Anordnung ist um die Normale auf der Mess-
309831/0821
oberflache durch den Messpunkt B rotationssymmetrisch,
so dass der Messpunkt B durch das Lichtstrahlenbündel #, einer 360°-Ringbeleuchtung beleuchtet wird.
Gemäss Fig. 2 fällt ein Teil des von der Lampe 0 ausgesandten
Lichtes durch die konvexe äussere Kugelfläche 57 eines Glaskörpers 11 hindurch auf einen Primärspiegel 12. Von diesem
wird das Licht auf einen an der äusseren Kugelfläche 57 angeordneten Sekundärspiegel 13 reflektiert und von diesem
auf den Messfleck B geworfen. Das von dem Messfleck reflektierte Licht wird von einer Linse 31 gesammelt, durchläuft
den Glaskörper 11 und wird von einem Spiegel 34 auf die Seite abgelenkt. Durch Zusammenwirkung der Linse 31 mit dem
Glaskörper 11 wird der Messfleck B in die Oeffnung einer
Blende 35 als Bild B1 abgebildet, welche Blende die Grosse
des ausgeblendeten Messfeldes bestimmt. Anschliessend fällt das Licht auf einen Photodetektor 36»
Die optisch wirksamen Begrensungsflachen 56, 57, 14 des
Glaskörpers 11 sind Kugelflächen; die äussere Kugelfläche mit dem Radius rl und die innere Kugelfläche 56 mit dem Radius
r2 besitzen einen gemeinsamen Mittelpunkt Zs sind also konzentrisch.
Die dritte Kugelfläche 14 mit dem Radius r3 ist die Fläche, durch welche die vom Sekundärspiegel 13 auf den
309831/0821
Messfleck B reflektierten Strahlen aus dem Glaskörper 11 austreten.
Der Mittelpunkt der dritten Kugelfläche 14 fällt mit dem Messfleck B zusammen. Dabei ist der Abstand der
beiden Mittelpunkte Z und B der verschiedenen Kugelflächen gleich d. Trotz des sehr grossen Austrittswinkels <& von
45 können infolge der günstigen Geometrie der Anordnung durch geeignete Wahl der Krümmungsradien rl, r2, r3 sowie
des Brechungsindex für den Glaskörper 11 die zentralen Oeffnungsfehler vollständig korrigiert und die Sinusbedingung
ideal erfüllt werden. Infolge der kleinen Abmessungen des Messfleckes B ist es ferner möglich, die Farbfehler und die
Verzeichnung innerhalb sehr kleiner Grenzen zu halten.
Die Sammlung des von dem Messfleck B der Messunterlage reflektierten
Lichtes erfolgt durch die Linse 31, welche am Glaskörper 11 anliegt. Vorteilhafterweise wird für die Linse 3L
die gleiche Glassorte wie für den Körper 11 gewählt. Somit erfolgt die Abbildung des Messfleckes B durch eine Sammeloptik,
welche aus einer dicken Linse mit den Begrenzungsflächen 57 und 58 besteht. Zur Begrenzung des Sammelwinkels .'iß kann
eine Blende 33 verwendet werden.
Gemäss Fig. 3 kann der Spiegel 12 auf die Linse 31 aufgedampft
und in der Grosse so gewählt sein,, dass er gleich-
309831/082 1
zeitig die Funktion der Blende 33 für die Sammeloptik übernimmt
.
Gemäss Fig. 4 ist die in Fig. 2 dargestellte Anordnung bei
Verwendung in einem Einzelmesskopf zur Messung der Remissionseigenschaften von Oberflächen durch eine Kondensoranordnung
18 ergänzt, welche von der Lampe 0 in der Oeffnung einer Blende 30 ein Zwischenbild O1 erzeugt. Dadurch können
einige ungünstige optische Eigenschaften des Ouarzkolbens der Lampe 0 eliminiert werden. Ausserdem können dadurch
das Streulicht der Anordnung und die definitiven Abmessungen des Messfleckes B beeinflusst werden.
Wie der Fig. 4 zu entnehmen ist, wird als Kondensoranordnung die umgekehrt bestrahlte Beleuchtungsanordnung (Fig. 2) verwendet. Das von der Lampe 0 ausgesandte
Licht fällt durch die konkave innere Kugelfläche des Glaskörpers 11 auf den an der äusseren Kugelfläche angeordneten Spiegel
und wird von diesem auf den an der inneren Kugelfläche angeordneten Spiegel reflektiert. Von diesem wird das Strahlenbündel
durch den Glaskörper 11 hindurch auf die Oeffnung der Blende 30 gelenkt. Das vom Messfleck B reflektierte, gesammelte
und durch den Spiegel 34 umgelenkte Licht wird mit Hilfe eines halbdurchlässxgen Spiegels 22 in zwei Teile geteilt, so
dass zwei Bilder des Messfleckes B in der Oeffnung der Blende
309831 /0821
35 bzw. 25 entstehen. Damit ist prinzipiell die Möglichkeit gegeben, das von dem Messfleck B stammende, gesammelte
Informationssignal in zwei (oder mehrere) Arten zu verarbeiten. Ist zum Beispiel die Oeffnung der Blende 25 kleiner
als das Bild des Messfleckes B, dann können mit dem Photodetektor 26 feinere Details innerhalb des Messfleckes B
ausgemessen werden. Andererseits ist es möglich, die Information beispielsweise nach der Blende 35 farbig zu analysieren,
indem ein dichroitisches System 23 und drei Photodetektoren 27, 28 und 29 mit dem Teilstrahl bestrahlt
werden. Eine Kombination dieser zwei Möglichkeiten wird z.B. bei der Messung der Farbgebung an laufenden Tiefdruckmaschinen
angewendet, bei der das Messobjekt eine normierte Skala aus Farbfeldern (grosse Felder) und Synchronisationsfeldern
(kleine Felder) ist.
Die wichtigsten Daten über die Abmessungen des in Fig. 4 gezeigten Einzelmesskopfes sind:
Beleuchtungsteil;
a) Kondensoroptik 18
rlf = 38 mm; r2' - 12 rnm; r3f = 21,5 mm; d1 = 10 mm;
Glaskörper 11: Schott BK7
309831 /0821
b) Abbildungsoptik
rl = 32,5 mm; r2 = 13,5 mm; r3 = 21,5 mm; d = 11,5 mm,
.Glaskörper 11: Schott BK7
c)-Lampe 0: Halogen 50 W, 2340 Sb, Lichtmenge: 1400 Lumen,
Grosse des Lichtfleckes: 3,3 χ 1,5 mm
-Abbildungsmassstab Lampe 0 - Messfleck B = 1,4 : -Grosse des Messfleckes B: 2,4 χ 1,1 mm
-Strahlengang auf der Beleuchtungsseite: 45° + 5°/360° Ringtyp
-Numerische Apertur der Anordnung: 0,41
-Beleuchtungsstärke im Messfleck ca. 10 Lux -Lichtmenge in Messfleck B: ca. 30 Lumen
a) Strahlengang der Sammlung: 90+5
b) Abbildungsmassstab des Messflscks B auf die Blenden 35 und 25: ca. 1 : 3
c) Numerische Apertur der Sammelpptik: 0,087
d) Gesammelte Lichtmenger wenn auf den Messfleck B die
Lichtinenge von 30 Lumen fällti ca. 250 m Lumen«,
308831 /0S21
Gemäss Fig. 5, welche einen Mehrfachmesskopf für die Ueberwachung der Farbgebung bei Offsetmaschinen zeigt, werden von
der Lampe 0 vier Lichtstrahlenbündel 60 - 63 abgeleitet, von denen jedes je eine der in Fig. 2 dargestellten Beleuchtungsanordnungen 52, 53, 54 und 55 beaufschlagt. Die Kondensoren
38 und 39 entsprechen je der Kondensoranordnung 18 von Fig. 4. Aus dem Kondensor 39 werden mit Hilfe der Strahlenteiler
46 und 47 drei Lichtstrahlenbündel 60, 61 und 62 abgeleitet, welche über Feldlinsen 49, 50 und 51 zu den
Beleuchtungsanordnungen 53, 54 und 55 geleitet werden. Im Strahlengang von zweien (60, 62) dieser Lichtstrahlenbündel
befinden sich optische Ausgleichglieder 44 und 45. Vorzugsweise sind die Strahlenteiler 46 und 47 dichroitische Farbspalter,
so dass prinzipiell eine Farbanalyse der Vorlage an den Messflecken 65, 66, 67 z.B. in die Grundfarben Rot,
Grün, Blau möglich ist. Der vierte Lichtstrahl 63 wird hin-gegen über den Kondensor 38 abgeleitet und über Feldlinsen 42,
43 und 48 sowie zwei Spiegel 40 und 41 zu der Beleuchtungsanordnung 52 geführt. Vorzugsweise wird dieser Strahl geeignet
gefiltert und zur Messung der Helligkeit am Messfleck 64 der Vorlage 68 verwendet.
Jeder der hier dargestellten optischen Kanäle weist eine numerische Apertur von 0,41 auf; die numerische Apertur jeder
Sammeloptik beträgt 0,087.
3Q9831 /0821
Claims (1)
- A η s p r ü c h eL. Beleuchtungsanordnung in Messköpfen zur Bestimmung der Remissionseigenschaften von Oberflächen, insbesondere für Messungen nach dem US-Standard PH2.17 - 1958, mit zwei sphärischen Ringspiegeln und einem Glaskörper, dadurch gekennzeichnet, dass- die sphärischen Ringspiegel (12, 13) konzentrisch sind, der Glaskörper (11) zwischen den beiden Spiegeln liegt und eine innere (56) sowie eine äussere Kugelfläche (57) aufweist, welche je einen sphärischen Ringspiegel tragen, wobei der äussere Ringspiegel (13) auf der äusseren Kugelfläche (57) des Glaskörpers einen Kugelabschnitt als Oeffnung begrenzt, dessen Projektion in Richtung der optischen Achse der Anordnung die Projektion des inneren Ringspiegels(12) einschliesst,- der Glaskörper eine sphärische Austrittsfläche (14) aufweist, deren Mittelpunkt (B) den abzutastenden Bereich der zu messenden Oberfläche festlegt, und dass- die Krümmungsradien (rl, r2) der Spiegel, der Krümmungsradius (r3) der Austrittsfläche, der Abstand (d) zwischendem Krümmungsmittelpunkt (Z) der Ringspiegel und dem Krümmungs-. mittelpunkt der Austrittsfläche sowie der Brechungsindex des Glaskörpers so beschaffen sind, dass die sphärische Aberration309831/082 1der Anordnung Null ist und die Sinus-Bedingung exakt erfüllt ist.2-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet/ dass die sphärischen Ringspiegel (12, 13) und der Glaskörper (11) eine Baueinheit bilden, wobei vorzugsweise die Ringspiegel auf den zugeordneten Kugelflächen (56, 57) des Glaskörpers aufgedampft sind.- Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine in der optischen Achse angeordnete Zusatz linse (31), welche einseitig in Kontakt mit einem Teil der inneren Kugelfläche (56) des Glaskörpers (11) steht und so dimensioniert ist, dass der Glaskörper und die Zusatzlinse gemeinsam eine Sammellinse für das vom abzutastenden Bereich der zu messenden Oberfläche remittierte Licht bilden.ti Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der innere sphärische Ringspiegel (12) auf der der inneren Kugelfläche (56) des Glaskörpers (11) zugewandten Fläche der Zusatzlinse (31) aufgedampft ist.5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der auf der Zusatzlinse (31) aufgedampfte innere sphärische Ring-309831/082 1spiegel (12) gleichzeitig die Begrenzungsblende für die aus dem Glaskörper (11) und der Zusatzlinse bestehende Sammellinse bildet.6. Anordnung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Glaskörper(11) eine derartige Dicke aufweist, dass er einen Explosionsschutz für die Anordnung darstellt.7. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Austrittsfläche (14) des Glaskörpers (11) an die innere Kugelfläche (56) des Glaskörpers anschliesst und dass die Projektion der Austrittsfläche (14) in Richtung der optischen Achse der Anordnung innerhalb derjenigen des äusseren sphärischen Ringspiegels (13) liegt«Für GRET/\G AKTIENGESELLSCHAFT der Vertreter:309831/082 1
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH1924671A CH541140A (de) | 1971-12-31 | 1971-12-31 | Beleuchtungsanordnung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2207748A1 true DE2207748A1 (de) | 1973-08-02 |
Family
ID=4438271
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2207748A Pending DE2207748A1 (de) | 1971-12-31 | 1972-02-18 | Beleuchtungsanordnung |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3825322A (de) |
JP (1) | JPS4878954A (de) |
CH (1) | CH541140A (de) |
DE (1) | DE2207748A1 (de) |
FR (1) | FR2166202B1 (de) |
GB (1) | GB1421991A (de) |
IT (1) | IT973171B (de) |
NL (1) | NL7217725A (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2600604A1 (de) * | 1975-12-30 | 1977-07-14 | Gretag Ag | Messkopf |
EP0095759A1 (de) * | 1982-05-28 | 1983-12-07 | Központi Elelmiszeripari Kutato Intezet | Detektorsystem zur Intensitätsmessung einer in einem vorherbestimmten Winkel von einer Probe gestreuten Strahlung, wobei die Probe unter einem bestimmten Einfallswinkel bestrahlt wird |
DE3303140A1 (de) * | 1983-01-31 | 1984-08-02 | Bruker Analytische Meßtechnik GmbH, 7512 Rheinstetten | Infrarot-spektrometer |
DE3421577A1 (de) * | 1984-06-09 | 1985-12-12 | Harald Dr.-Ing. 6240 Königstein Krzyminski | Geraet zur reflexionsmessung an farbigen objekten |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4022534A (en) * | 1976-03-23 | 1977-05-10 | Kollmorgen Corporation | Reflectometer optical system |
GB2119112B (en) * | 1982-04-27 | 1985-08-29 | Ferranti Plc | Optical elements |
JPS61232195A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-16 | サッポロビール株式会社 | 壜口のキヤツプ検査装置 |
CH668322A5 (de) * | 1985-07-24 | 1988-12-15 | Zumbach Electronic Ag | Vorrichtung mit einem telezentrischen, f-theta-korrigierten objektiv fuer kontaktloses messen und verwendung dieser vorrichtung. |
US4835380A (en) * | 1987-06-11 | 1989-05-30 | U. S. Philips Corporation | Scanning device for an optical recording and/or reproducing apparatus |
US4865456A (en) * | 1987-10-01 | 1989-09-12 | Gretag Aktiengesellschaft | Measuring head |
NL8803048A (nl) * | 1988-12-13 | 1990-07-02 | Philips Nv | Optische aftastinrichting, spiegelobjektief geschikt voor toepassing daarin en optische inschrijf- en/of uitleesapparaat voorzien van de aftastinrichting. |
NL8803055A (nl) * | 1988-12-13 | 1990-07-02 | Philips Nv | Optische aftastinrichting, spiegelobjektief geschikt voor toepassing daarin en optisch inschrijf- en/of uitleesapparaat voorzien van deze aftastinrichting. |
US5058982A (en) * | 1989-06-21 | 1991-10-22 | Orbot Systems Ltd. | Illumination system and inspection apparatus including same |
IL94368A (en) * | 1990-05-11 | 1993-07-08 | Orbot Systems Ltd | Optic inspection apparatus and illumination system particularly useful therein |
GB9216333D0 (en) * | 1992-07-31 | 1992-09-16 | Kodak Ltd | Optical means for annular illumination of a spot |
JP3382683B2 (ja) * | 1993-10-22 | 2003-03-04 | オリンパス光学工業株式会社 | 共心光学系 |
CN1314997A (zh) * | 1998-06-16 | 2001-09-26 | 奥宝科技有限公司 | 检查基本平坦平面的发光器 |
IL131284A (en) | 1999-08-05 | 2003-05-29 | Orbotech Ltd | Illumination for inspecting surfaces of articles |
US6476970B1 (en) * | 2000-08-10 | 2002-11-05 | Agilent Technologies, Inc. | Illumination optics and method |
US7324575B2 (en) * | 2004-02-17 | 2008-01-29 | Finisar Corporation | Lens with reflective surface |
TWI254162B (en) * | 2005-01-12 | 2006-05-01 | Au Optronics Corp | Backlight module, lens for a liquid crystal display and illuminating liquid crystal display |
US7633689B2 (en) * | 2007-07-18 | 2009-12-15 | Asml Holding N.V. | Catadioptric optical system for scatterometry |
DE102012213194A1 (de) * | 2012-07-26 | 2014-01-30 | Osram Gmbh | Strahlungsanordnung zum Bereitstellen elektromagnetischer Strahlung |
JP2017072709A (ja) * | 2015-10-07 | 2017-04-13 | 株式会社トプコン | 結像光学部材及び測量機の光学系 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB364004A (en) * | 1930-08-25 | 1931-12-28 | Leitz Ernst Gmbh | Improvements in or relating to microscopes |
-
1971
- 1971-12-31 CH CH1924671A patent/CH541140A/de not_active IP Right Cessation
-
1972
- 1972-02-18 DE DE2207748A patent/DE2207748A1/de active Pending
- 1972-12-28 NL NL7217725A patent/NL7217725A/xx not_active Application Discontinuation
- 1972-12-29 IT IT33885/72A patent/IT973171B/it active
- 1972-12-29 US US00319169A patent/US3825322A/en not_active Expired - Lifetime
- 1972-12-29 FR FR7247002A patent/FR2166202B1/fr not_active Expired
- 1972-12-31 JP JP48003990A patent/JPS4878954A/ja active Pending
-
1973
- 1973-01-01 GB GB8373A patent/GB1421991A/en not_active Expired
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2600604A1 (de) * | 1975-12-30 | 1977-07-14 | Gretag Ag | Messkopf |
EP0095759A1 (de) * | 1982-05-28 | 1983-12-07 | Központi Elelmiszeripari Kutato Intezet | Detektorsystem zur Intensitätsmessung einer in einem vorherbestimmten Winkel von einer Probe gestreuten Strahlung, wobei die Probe unter einem bestimmten Einfallswinkel bestrahlt wird |
DE3303140A1 (de) * | 1983-01-31 | 1984-08-02 | Bruker Analytische Meßtechnik GmbH, 7512 Rheinstetten | Infrarot-spektrometer |
DE3421577A1 (de) * | 1984-06-09 | 1985-12-12 | Harald Dr.-Ing. 6240 Königstein Krzyminski | Geraet zur reflexionsmessung an farbigen objekten |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT973171B (it) | 1974-06-10 |
CH541140A (de) | 1973-08-31 |
NL7217725A (de) | 1973-07-03 |
FR2166202B1 (de) | 1976-08-27 |
JPS4878954A (de) | 1973-10-23 |
FR2166202A1 (de) | 1973-08-10 |
US3825322A (en) | 1974-07-23 |
GB1421991A (en) | 1976-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2207748A1 (de) | Beleuchtungsanordnung | |
DE4446183B4 (de) | Anordnung zur Messung intraokularer Distanzen | |
DE102013219181B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Bestimmung von Partikeleigenschaften | |
EP0311561B1 (de) | Messkopf | |
DE3713149A1 (de) | Fernmess-spektrophotometer | |
DE3830906A1 (de) | Spiegelanordnung fuer einen strahlengang in einer vielfach-reflexionsmesszelle | |
DE102005020542A1 (de) | Einrichtung und Verfahren zur reproduzierbaren Einstellung der Pinholeöffnung und Pinholelage in Laserscanmikroskopen | |
DE2323593C3 (de) | Laser-Doppler-Anemometer | |
DE19951482C2 (de) | Fluoreszenzmikroskop | |
EP0136440B1 (de) | Ophthalmologisches Gerät für die Untersuchung des Augenhintergrundes und Messvorrichtung für das Gerät | |
EP0490428A2 (de) | Vielkanalspektrometer | |
DE102008001473B3 (de) | Optische Anordnung zur Beleuchtung eines Messobjektes, interferometrische Anordnung zur Vermessung von Flächen eines Messobjektes | |
DE4138679C1 (de) | ||
EP0065484A1 (de) | Messkopf für ein Remissions-Farbmessgerät | |
DE3218968C2 (de) | Vorrichtung zur Messung des Drucks eines in einem Kolben eingeschlossenen Gases | |
DE19636472A1 (de) | Keratometrische Anordnung | |
WO1998009562A1 (de) | Keratometrische anordnung | |
DE10131724A1 (de) | Optisches Absorptions-Messgerät | |
DE3641863A1 (de) | Oberflaechenpruefvorrichtung | |
DE2045196A1 (de) | Durchfluß-Differentialfraktometer als Detektor für die Flüssigkeits-Chromatographie | |
AT500501B1 (de) | Vorrichtung zur messung von teilstrecken am auge mittels fourier-domain kurzkohärenz-interferometrie | |
DE1951159B2 (de) | Ophthalmoskopische Kamera | |
DE19927452C2 (de) | Vorrichtung zur Messung von Feuchtigkeit und Reflexionsvermögen von Oberflächen | |
DE102020213609A1 (de) | Verfahren und Anordnung zum Bestimmen von Abbildungsfehlern und/oder der Topografie und/oder zum Aufnehmen von Referenzbildern eines Auges | |
DE900881C (de) | Interferenzgeraet |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OD | Request for examination | ||
OHW | Rejection |