DE2134291A1 - Halbleitervorrichtung - Google Patents

Halbleitervorrichtung

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DE2134291A1 DE19712134291 DE2134291A DE2134291A1 DE 2134291 A1 DE2134291 A1 DE 2134291A1 DE 19712134291 DE19712134291 DE 19712134291 DE 2134291 A DE2134291 A DE 2134291A DE 2134291 A1 DE2134291 A1 DE 2134291A1
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molybdenum
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nickel
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Pending
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DE19712134291
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German (de)
English (en)
Inventor
Kiyotake Kokubunjji; Sano Hisumi Tokio; Itoh Yokichi Hachioji Tokio; Naraoka (Japan). M HOIl 1-10
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W20/00—Interconnections in chips, wafers or substrates
    • H10W20/40—Interconnections external to wafers or substrates, e.g. back-end-of-line [BEOL] metallisations or vias connecting to gate electrodes

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