DE2049904A1 - Heizrohre fur die Bearbeitung von Halb leitervorrichtungen - Google Patents
Heizrohre fur die Bearbeitung von Halb leitervorrichtungenInfo
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- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US86618569A | 1969-10-14 | 1969-10-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2049904A1 true DE2049904A1 (de) | 1971-05-13 |
Family
ID=25347091
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19702049904 Pending DE2049904A1 (de) | 1969-10-14 | 1970-10-10 | Heizrohre fur die Bearbeitung von Halb leitervorrichtungen |
Country Status (10)
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3742904A (en) * | 1971-06-03 | 1973-07-03 | Motorola Inc | Steam generator and gas insertion device |
DE2206493C3 (de) * | 1972-02-11 | 1975-01-30 | Heraeus-Schott Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Mehrschichtiger Quarzglaskörper für die Verwendung in der Festkörpertechnologie |
JPS5277590A (en) * | 1975-12-24 | 1977-06-30 | Toshiba Corp | Semiconductor producing device |
US4154192A (en) * | 1976-12-10 | 1979-05-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Manufacturing apparatus for semiconductor devices |
US4592307A (en) * | 1985-02-28 | 1986-06-03 | Rca Corporation | Vapor phase deposition apparatus |
JPS63105255U (enrdf_load_stackoverflow) * | 1986-12-26 | 1988-07-07 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2746888A (en) * | 1952-07-05 | 1956-05-22 | Du Pont | Method of forming titanium coating on refractory body |
US3010092A (en) * | 1958-08-05 | 1961-11-21 | Bourns Inc | Variable resistor |
US3112215A (en) * | 1959-10-09 | 1963-11-26 | Lonza Ag | Preparation of catalytically active coatings |
US3507627A (en) * | 1964-05-22 | 1970-04-21 | Prototech Inc | Heating and catalytic chemical reaction apparatus |
US3516850A (en) * | 1966-09-16 | 1970-06-23 | Texas Instruments Inc | Process for metal coating a hydrogen permeable material |
US3446659A (en) * | 1966-09-16 | 1969-05-27 | Texas Instruments Inc | Apparatus and process for growing noncontaminated thermal oxide on silicon |
-
0
- BE BE757500D patent/BE757500A/xx unknown
-
1969
- 1969-10-14 US US866185A patent/US3645695A/en not_active Expired - Lifetime
-
1970
- 1970-09-17 CA CA093,426A patent/CA961385A/en not_active Expired
- 1970-10-01 GB GB46783/70A patent/GB1260070A/en not_active Expired
- 1970-10-05 ZA ZA706739A patent/ZA706739B/xx unknown
- 1970-10-09 JP JP45089277A patent/JPS4922781B1/ja active Pending
- 1970-10-09 ES ES70384378A patent/ES384378A1/es not_active Expired
- 1970-10-10 DE DE19702049904 patent/DE2049904A1/de active Pending
- 1970-10-12 FR FR7036721A patent/FR2064318B1/fr not_active Expired
- 1970-10-14 CH CH1540770A patent/CH515613A/de not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS4922781B1 (enrdf_load_stackoverflow) | 1974-06-11 |
FR2064318A1 (enrdf_load_stackoverflow) | 1971-07-23 |
ZA706739B (en) | 1971-05-27 |
ES384378A1 (es) | 1973-02-16 |
CH515613A (de) | 1971-11-15 |
CA961385A (en) | 1975-01-21 |
BE757500A (fr) | 1971-03-16 |
US3645695A (en) | 1972-02-29 |
FR2064318B1 (enrdf_load_stackoverflow) | 1976-09-03 |
GB1260070A (en) | 1972-01-12 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OHW | Rejection |