DE20218044U1 - Drucksensor - Google Patents

Drucksensor

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Description

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Claims (9)

1. Drucksensor, der folgende Merkmale aufweist:
  • - einen Halbleiterchip (2) mit
  • - einem druckempfindlichen Bereich (4), der einem Au­ ßendruck ausgesetzt ist, und
  • - Kontaktflächen (6), die auf einem druckunempfindli­ chen Bereich (7) des Halbleiterchips (2) angeordnet sind,
  • - ein Hohlgehäuse (8) mit
  • - einem Gehäuseboden (9), auf dem der Halbleiterchip (2) angeordnet ist
  • - einer den Halbleiterchip (2) umgebenden Gehäusewan­ dung (10), durch die Flachleiter (30) mit einem In­ nenabschnitt (31) in einen Gehäuseinnenraum (12) hineinragen und aus der Außenabschnitte (33) der Flachleiter (30) herausragen,
  • - Verbindungselemente (14), welche die Kontaktflächen (6) mit den Innenabschnitten (31) elektrisch verbin­ den,
wobei die Verbindungselemente (14), die Innenabschnitte (31) und die Kontaktflächen (6) innerhalb der umgebenden Gehäusewandung (10) mit einer ersten Kunststoffmasse (15) bedeckt sind und wobei der druckempfindliche Be­ reich (4) wenigstens teilweise mit einer zweiten Kunst­ stoffmasse (16) bedeckt ist, wobei die ersten Kunst­ stoffmasse (15) bei gleicher Druckbelastung geringeren Verformungen unterliegt als die zweite Kunststoffmasse (16).
2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Kunststoffmasse (16) ein Kunststoffgel eines gummielastischen Elastomers auf Silikonbasis ist.
3. Drucksensor nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die erste (15) Kunststoffmasse ein Duroplast, vorzugs­ weise ein Epoxidharz oder ein Silikonharz aufweist.
4. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Hohlgehäuse (8) einen Gehäusedeckel (17) mit einer den druckempfindlichen Bereich (4) und die zweite Kunst­ stoffmasse (16) freilassenden Öffnung (18) aufweist.
5. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Halbleiterchip (2) eine hermetisch abgeschlossene unter Referenzdruck stehende Kavität (3) aufweist.
6. Drucksensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Kavität (3) eine zylindrische Form aufweist, die ei­ ne starre Halbleiterwandung (21) aus Halbleiterchipmate­ rial aufweist, und die von einer druckempfindlichen Mem­ bran (22) des Halbleiterchipmaterials, welche den druck­ empfindlichen Bereich (4) des Halbleiterchips (2) bil­ det, abgeschlossen ist, wobei zwischen der Halbleiter­ wandung (21) und Gehäuseboden (9) eine gasdichte Kleb­ stoffschicht (20) als hermetischer Verschluss der Kavi­ tät (3) vorgesehen ist.
7. Drucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenabschnitte (33) des Flachleiters (30) in der Höhe einer äußeren Unterseite (24) des Gehäusebodens (9) oder in der Höhe des Gehäusebodens (9) angeordnet sind.
8. Fahrzeugreifen mit einem Drucksensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
9. Kraftfahrzeug mit einem Drucksensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7.
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R152 Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years

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R071 Expiry of right
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