DE202020104944U1 - Guide device, coolant feed-through and diffusion vacuum pump - Google Patents

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Abstract

Leitvorrichtung für eine Diffusionsvakuumpumpe miteiner Mehrzahl ringförmiger Leitbleche, wobei die Leitbleche radial angeordnet sind,wobei mindestens ein Leitblech einen ersten Abschnitt ausgehend von einem Verbindungspunkt und einen zweiten Abschnitt ausgehend von dem Verbindungspunkt aufweist,wobei sich der erste Abschnitt axial in eine erste Richtung erstreckt, wobei der zweite Abschnitt sich axial in die entgegengesetzte zweite Richtung erstreckt,wobei der erste Abschnitt radial verjüngend ausgebildet ist und/oder wobei der zweite Abschnitt radial verjüngend ausgebildet ist.Baffle device for a diffusion vacuum pump, comprising a plurality of annular baffles, the baffles being arranged radially, at least one baffle having a first section extending from a connection point and a second section extending from the connection point, the first section extending axially in a first direction, wherein the second section extends axially in the opposite second direction, the first section being radially tapered and/or the second section being radially tapered.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Leitvorrichtung für eine Diffusionsvakuumpumpe, eine Kühlmitteldurchführung für eine Vakuumpumpe und eine Diffusionsvakuumpumpe mit einer solchen Leitvorrichtung und Kühlmitteldurchführung.The present invention relates to a guide device for a diffusion vacuum pump, a coolant duct for a vacuum pump and a diffusion vacuum pump with such a guide device and coolant duct.

Bekannte Diffusionsvakuumpumpen weisen Gehäuse auf mit einem Einlass und einem Auslass, wobei in dem Gehäuse eine oder mehrere Düsen angeordnet sind. Weiterhin ist ein Heizelement vorgesehen, durch welches ein Treibmittel, insbesondere ein Öl, verdampft wird. Dieses verdampfte Treibmittel tritt durch die Düsen aus. Durch das Treibmittel werden Gasmoleküle aus dem Vakuum in Richtung des Auslasses der Diffusionsvakuumpumpe befördert. Das Treibmittel kondensiert dabei an der Außenwand der Diffusionsvakuumpumpe und gelangt hierdurch zurück in einen Vorratsraum, in welchem ebenfalls das Heizelement vorgesehen ist. Hierdurch wird das Treibmittel wiederum verdampft und ein Förderkreislauf für das Treibmittel entsteht, sodass ein gasförmiges Medium vom Einlass der Diffusionsvakuumpumpe zum Auslass der Diffusionsvakuumpumpe gefördert wird.Known diffusion vacuum pumps have housings with an inlet and an outlet, one or more nozzles being arranged in the housing. Furthermore, a heating element is provided through which a propellant, in particular an oil, is evaporated. This vaporized propellant exits through the nozzles. The propellant transports gas molecules from the vacuum in the direction of the outlet of the diffusion vacuum pump. The propellant condenses on the outer wall of the diffusion vacuum pump and thereby returns to a storage space in which the heating element is also provided. As a result, the propellant is in turn evaporated and a conveying circuit for the propellant is created, so that a gaseous medium is conveyed from the inlet of the diffusion vacuum pump to the outlet of the diffusion vacuum pump.

Nachteilig an diesem Prozess ist jedoch, dass Ölmoleküle des Treibmittels, in dem am Einlass der Diffusionsvakuumpumpe angeschlossenen Rezipienten gelangen können. Hierdurch wird das Vakuum im Rezipienten kontaminiert und Vakuumapparaturen können beschädigt werden.A disadvantage of this process, however, is that oil molecules of the propellant can get into the recipient connected to the inlet of the diffusion vacuum pump. This contaminates the vacuum in the recipient and vacuum equipment can be damaged.

Zur Verhinderung einer Ölrückströmung in den Rezipienten ist es bekannt Dampfsperren an der einlassseitigen Düse bzw. der hochvakuumseitigen Düse der Diffusionsvakuumpumpe vorzusehen. Diese Dampfsperren weisen eine zusätzliche Kondensationsfläche auf, an denen das Treibmittel kondensiert und somit nicht in den Rezipienten gelangen kann. Nachteilig ist hieran jedoch, dass der Leitwert und somit die Förderleistung der Diffusionsvakuumpumpe deutlich verringert wird. Ist die Fläche einer solchen Dampfsperre klein, insbesondere kleiner als der Einlassquerschnitt der Diffusionsvakuumpumpe, sind üblicherweise diese Dampfsperren direkt mit der einlassseitigen Düse verbunden. Hierdurch wird der Aufbau im Bereich der Düse kompliziert und eine Reinigung der Dampfsperre wird erschwert. Sollen solche Dampfsperren über die gesamte Einlassfläche bzw. den gesamten Einlassquerschnitt vorgesehen sein, ist es bekannt solche Dampfsperren als separates Vakuumelement mit einem separaten Gehäuse vorzusehen. Das Gehäuse weist somit einen ersten Flansch auf zur Verbindung mit der Diffusionsvakuumpumpe und einen zweiten Flansch auf zur Verbindung mit dem Rezipienten. Hierdurch wird der Aufbau unnötig groß. Insbesondere beim Austausch der Dampfsperre muss sodann der verfügbare Bauraum angepasst werden.To prevent an oil backflow into the recipient, it is known to provide vapor barriers on the inlet-side nozzle or the high-vacuum-side nozzle of the diffusion vacuum pump. These vapor barriers have an additional condensation surface on which the propellant condenses and thus cannot get into the recipient. However, this has the disadvantage that the conductance and thus the delivery rate of the diffusion vacuum pump is significantly reduced. If the area of such a vapor barrier is small, in particular smaller than the inlet cross section of the diffusion vacuum pump, these vapor barriers are usually connected directly to the inlet-side nozzle. This complicates the structure in the area of the nozzle and makes cleaning the vapor barrier more difficult. If such vapor barriers are to be provided over the entire inlet surface or the entire inlet cross section, it is known to provide such vapor barriers as a separate vacuum element with a separate housing. The housing thus has a first flange for connection to the diffusion vacuum pump and a second flange for connection to the recipient. This makes the structure unnecessarily large. In particular, when replacing the vapor barrier, the available installation space must then be adapted.

Weiterhin werden bekannte Dampfsperren mit Temperaturen zwischen 0 bis - 196 °C (flüssiger Stickstoff) betrieben. Durch die direkte Verbindung mit der Düse führt dies zu einem ungewollten Übertrag der Kühlenergie auf die Düse selbst. Weiterhin ist bei bekannten Lösungen die Kühlmittelzufuhr gewährleistet durch das Gehäuse der Diffusionsvakuumpumpe selbst. Hierdurch entsteht ein signifikanter Kälteübertrag von dem Kühlmittel auf das Gehäuse der Diffusionsvakuumpumpe. Feuchtigkeit der Umgebungsluft kondensiert an der Außenseite der Diffusionsvakuumpumpe und gefriert und lagert sich somit als Eisschicht ab.Known vapor barriers are also operated at temperatures between 0 and -196 ° C (liquid nitrogen). Due to the direct connection with the nozzle, this leads to an unwanted transfer of the cooling energy to the nozzle itself. Furthermore, in known solutions, the coolant supply is ensured through the housing of the diffusion vacuum pump itself. This results in a significant transfer of cold from the coolant to the housing of the diffusion vacuum pump. Moisture in the ambient air condenses on the outside of the diffusion vacuum pump and freezes and is thus deposited as a layer of ice.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es eine integrierte Leitvorrichtung für eine Diffusionsvakuumpumpe zu schaffen, welche auf einfache Weise gekühlt werden kann und die Ölrückströmung in den Rezipienten verhindert.The object of the present invention is to create an integrated guide device for a diffusion vacuum pump which can be cooled in a simple manner and which prevents the oil backflow into the recipient.

Die Aufgabe wird gelöst durch die Leitvorrichtung gemäß Anspruch 1, die Kühlmittelvorrichtung gemäß Anspruch 11 sowie die Diffusionsvakuumpumpe gemäß Anspruch 13.The object is achieved by the guide device according to claim 1, the coolant device according to claim 11 and the diffusion vacuum pump according to claim 13.

Die erfindungsgemäße Leitvorrichtung für eine Diffusionsvakuumpumpe weist eine Mehrzahl ringförmiger Leitbleche auf, wobei die Leitbleche radial zueinander angeordnet sind. Dabei weist mindestens ein Leitblech einen ersten Abschnitt ausgehend von einem Verbindungspunkt und einen zweiten Abschnitt ausgehend von dem Verbindungspunkt aus. Der erste Abschnitt erstreckt sich dabei axial in eine erste Richtung, wobei der zweite Abschnitt sich axial in die entgegengesetzte Richtung bzw. zweite Richtung erstreckt. Dabei weist im eingebauten Zustand die erste Richtung in die Richtung des Rezipienten bzw. des Einlasses der Leitvorrichtung und die zweite Richtung in Richtung der Diffusionsvakuumpumpe. Dabei ist der erste Abschnitt radial verjüngend ausgebildet. Alternativ oder zusätzlich hierzu ist der zweite Abschnitt radial verjüngend ausgebildet. Somit verändert sich der Radius ausgehend von dem gemeinsamen Verbindungspunkt entlang der axialen Richtung und es wird mittels des ersten Abschnittes und des zweiten Abschnitts eine zueinander gewinkelte Kondensationsfläche des jeweiligen Leitbleches geschaffen. Durch die vergrößerte verwinkelte Kondensationsfläche gebildet durch den ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt ist ein Rückströmen der Ölmoleküle des verdampften Treibmittels effizient verhindert.The guide device according to the invention for a diffusion vacuum pump has a plurality of ring-shaped guide plates, the guide plates being arranged radially to one another. At least one guide plate has a first section starting from a connection point and a second section starting from the connection point. The first section extends axially in a first direction, the second section extending axially in the opposite direction or second direction. In the installed state, the first direction points in the direction of the recipient or the inlet of the guide device and the second direction in the direction of the diffusion vacuum pump. The first section is designed to taper radially. As an alternative or in addition to this, the second section is designed to taper radially. Thus, starting from the common connection point, the radius changes along the axial direction and a condensation surface of the respective guide plate which is angled to one another is created by means of the first section and the second section. The enlarged, angled condensation surface formed by the first section and the second section efficiently prevents the oil molecules of the evaporated propellant from flowing back.

Vorzugsweise sind alle Leitbleche gleich ausgebildet und weisen somit jeweils einen ersten Abschnitt und einen zweiten Abschnitt auf, welche radial verjüngend ausgebildet sind entlang der ersten und zweiten axialen Richtung. Hierdurch wird effizient die Rückströmung von Ölmolekülen verhindert. Gleichzeitig können die einzelnen Leitbleche weit voneinander abstandet sein, sodass der Aufbau der Leitvorrichtung vereinfacht wird und eine einfache Reinigung der Leitvorrichtung ermöglicht wird.Preferably, all guide plates are designed the same and thus each have a first section and a second section, which are designed to taper radially along the first and second axial direction. This efficiently prevents the backflow of oil molecules. At the same time, the individual guide plates can be spaced far apart, so that the structure of the guide device is simplified and the guide device can be cleaned easily.

Vorzugsweise ist ein axialer Endpunkt des ersten Abschnitts eines der Leitbleche, mehrerer oder aller Leitbleche radial über oder radial weiter innen von dem Verbindungspunkt des unmittelbar benachbarten Leitblechs, insbesondere des radial innenliegenden unmittelbar benachbarten Leitblechs, angeordnet. Dabei handelt es sich bei dem axialen Endpunkt des ersten Abschnitts um den axialen Endpunkt des Leitbleches in der erste Richtung, welcher dem Verbindungspunkt des jeweiligen Leitbleches gegenüberliegt. Der erste Abschnitt erstreckt sich somit vom Verbindungspunkt bis zu seinem axialen Endpunkt. Alternativ oder zusätzlich hierzu ist ein axialer Endpunkt des zweiten Abschnittes eines der Leitbleche, mehrerer oder aller Leitbleche radial über oder radial weiter innen von dem Verbindungspunkt des unmittelbar benachbarten Leitblechs, insbesondere des radial innenliegenden unmittelbar benachbarten Leitblechs, angeordnet. Dabei handelt es sich bei dem axialen Endpunkt des zweiten Abschnitts um den axialen Endpunkt des Leitbleches in der zweiten Richtung, welcher dem Verbindungspunkt des jeweiligen Leitbleches gegenüberliegt. Der zweite Abschnitt erstreckt sich somit vom Verbindungspunkt bis zu seinem axialen Endpunkt. Somit wird durch diese Konfiguration eine optisch dichte Leitvorrichtung geschaffen. Dies bedeutet, dass nicht unmittelbar durch die Leitvorrichtung hindurch geschaut werden kann, sodass auch für Ölmoleküle kein unmittelbarer Weg durch die Leitvorrichtung besteht. Ölmoleküle gelangen somit durch die Leitvorrichtung ausschließlich über Berührung mit einer der durch die Leitbleche ausgebildeten Kondensationsflächen. Hierbei kondensierten jedoch die Ölmoleküle und gelangen somit nicht in den Rezipienten. Somit kann eine Rückströmung der Ölmoleküle vollständig oder zumindest nahezu vollständig unterbunden werden.An axial end point of the first section of one of the guide plates, of several or all of the guide plates is preferably arranged radially above or radially further inward from the connection point of the immediately adjacent guide plate, in particular the radially inner immediately adjacent guide plate. The axial end point of the first section is the axial end point of the guide plate in the first direction, which is opposite the connection point of the respective guide plate. The first section thus extends from the connection point to its axial end point. As an alternative or in addition to this, an axial end point of the second section of one of the guide plates, of several or all of the guide plates is arranged radially above or radially further inward from the connection point of the immediately adjacent guide plate, in particular the radially inner immediately adjacent guide plate. The axial end point of the second section is the axial end point of the guide plate in the second direction, which is opposite the connection point of the respective guide plate. The second section thus extends from the connection point to its axial end point. Thus, this configuration creates an optically dense guide device. This means that it is not possible to look directly through the guide device, so that there is no direct path through the guide device for oil molecules either. Oil molecules thus pass through the guide device exclusively through contact with one of the condensation surfaces formed by the guide plates. Here, however, the oil molecules condensed and thus do not get into the recipient. In this way, a backflow of the oil molecules can be completely or at least almost completely prevented.

Vorzugsweise sind drei bis fünf Leitbleche vorgesehen, sodass durch die Anzahl der Leitbleche der gesamte Einlass bzw. Einlassquerschnitt der Diffusionsvakuumpumpe überdeckt wird.Preferably three to five baffles are provided so that the number of baffles covers the entire inlet or inlet cross section of the diffusion vacuum pump.

Vorzugsweise ist mindestens ein Leitblech, mehrere oder alle Leitbleche mit einem Kühlelement, insbesondere ausgebildet als Kühlmittelleitung, verbunden zur Kühlung des Leitbleches. Hierdurch kann die Temperatur der Leitbleche auf bis zu -196 °C reduziert werden, sodass eine effiziente Kondensation des Treibmitteldampfers an den Leitbleche erreicht wird.At least one guide plate, several or all guide plates are preferably connected to a cooling element, in particular designed as a coolant line, for cooling the guide plate. This allows the temperature of the baffles to be reduced to -196 ° C, so that efficient condensation of the propellant vapor on the baffles is achieved.

Vorzugsweise wird der erste Abschnitt des mindestens einen gekühlten Leitbleches gebildet durch ein erstes Leitblechelement. Ebenso wird der zweite Abschnitt des mindestens einen gekühlten Leitbleches gebildet durch ein zweites Leitblechelement. Dabei sind das erste Leitblechelement und das zweite Leitblechelement mittels dem Kühlelement miteinander verbunden. Somit besteht ausschließlich eine Verbindung zwischen dem ersten Leitblechelement und dem Kühlelement, insbesondere ausgebildet als Kühlmittelleitung. Ebenso besteht ausschließlich eine Verbindung des zweiten Leitblechelement mit dem Kühlelement. Insbesondere besteht keine unmittelbare Verbindung des ersten Leitblechelement und dem zweiten Leitblechelement. Hierdurch wird ein besonders einfacher Aufbau geschaffen, welche einfach und kostengünstig herzustellen ist.The first section of the at least one cooled guide plate is preferably formed by a first guide plate element. The second section of the at least one cooled guide plate is also formed by a second guide plate element. The first baffle element and the second baffle element are connected to one another by means of the cooling element. Thus, there is only a connection between the first baffle element and the cooling element, in particular designed as a coolant line. There is also only one connection between the second baffle element and the cooling element. In particular, there is no direct connection between the first guide plate element and the second guide plate element. This creates a particularly simple structure which is simple and inexpensive to manufacture.

Vorzugsweise weist das erste Leitblechelement und/oder das zweite Leitblechelement des mindestens einen gekühlten Leitblechs einen im wesentlich und bevorzugt ausschließlich radial erstreckenden Abschnitt auf zur Verbindung mit dem Kühlelement. Hierdurch wird eine großflächige Verbindung des ersten Leitblechelements bzw. des zweiten Leitblechelements mit dem Kühlelement geschaffen. Weiterhin wird der Aufbau vereinfacht, um eine einfache und kostengünstige Herstellung zu erreichen.Preferably, the first baffle element and / or the second baffle element of the at least one cooled baffle has a substantially and preferably exclusively radially extending section for connection to the cooling element. This creates a large-area connection of the first guide plate element or the second guide plate element to the cooling element. Furthermore, the structure is simplified in order to achieve simple and inexpensive manufacture.

Vorzugsweise nimmt die axiale Länge des zweiten Abschnitts von einem äußeren Leitblech zu einem inneren Leitblech ab. Somit weist ein radial weiter außen angeordnetes Leitblech einen zweiten Abschnitt auf, welche sich weiter in die axiale Richtung erstreckt, als ein radial weiter innen, in Richtung der Düse, angeordnetes Leitblech. Hierdurch wird sichergestellt, dass die radial weiter innen angeordneten Leitbleche nicht mit dem Strahl des Treibmittels, welche aus der Düse der Diffusionsvakuumpumpe austritt, interferiert und somit nachteilig beeinflusst. Gleichzeitig wird bei den weiter außen liegenden Leitblechen sichergestellt, dass eine ausreichende Kondensationsfläche zur Verfügung steht, um ein Rückströmen des Öls zu verhindern.The axial length of the second section preferably decreases from an outer guide plate to an inner guide plate. A guide plate arranged radially further outward thus has a second section which extends further in the axial direction than a guide plate arranged radially further inward, in the direction of the nozzle. This ensures that the baffles arranged radially further inward do not interfere with the jet of propellant which emerges from the nozzle of the diffusion vacuum pump and thus have a disadvantageous effect. At the same time, with the baffles further out, it is ensured that a sufficient condensation surface is available to prevent the oil from flowing back.

Vorzugsweise weist die Leitvorrichtung genau einen Flansch auf, um mit einer Diffusionsvakuumpumpe verbunden zu werden. Insbesondere weist die Leitvorrichtung kein Gehäuse auf, sondern ist mittels dem einen Flansch innerhalb des Gehäuses der Diffusionsvakuumpumpe anordenbar. Hierdurch wird ein besonders platzsparender Aufbau erreicht.The guide device preferably has exactly one flange in order to be connected to a diffusion vacuum pump. In particular, the guide device does not have a housing, but can be arranged within the housing of the diffusion vacuum pump by means of the one flange. A particularly space-saving structure is achieved in this way.

Vorzugsweise sind die Leitbleche insbesondere mittels Stegen mit dem Flansch verbunden, wobei die Stege insbesondere radial verlaufen. Hierdurch wird eine ausreichende Stabilität der Leitvorrichtung gewährleistet. Gleichzeitig kann der Bauraum der Leitvorrichtung klein gehalten werden.The guide plates are preferably connected to the flange in particular by means of webs, the webs in particular extending radially. This ensures sufficient stability of the Leitvor direction guaranteed. At the same time, the installation space of the guide device can be kept small.

Vorzugsweise weisen die Stege thermische Entkopplungselemente insbesondere hergestellt aus Kunststoff, auf. Hierdurch wird sichergestellt, dass die niedrige Temperatur der Leitvorrichtung nicht auf den Flansch und somit auf die Vakuumpumpe übertragen wird. Ein Betreiben der Leitvorrichtung mit besonders tiefen Temperaturen von -196 °C sind somit möglich.The webs preferably have thermal decoupling elements, in particular made of plastic. This ensures that the low temperature of the guide device is not transferred to the flange and thus to the vacuum pump. It is therefore possible to operate the guiding device at particularly low temperatures of -196 ° C.

Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung als unabhängige Erfindung eine Kühlmitteldurchführung für eine Vakuumpumpe, besonders eine Diffusionsvakuumpumpe. Dabei weist die Kühlmitteldurchführung einen Flansch auf, wobei der Flansch eine nach innen offene Vertiefung aufweist, wobei in der Vertiefung eine Kühlmittelleitung angeordnet ist. Dabei weist die Vertiefung einen ersten Durchmesser auf und die Kühlmittelleitung einen zweiten Durchmesser, wobei der zweite Durchmesser kleiner ist als der erste Durchmesser, sodass die Kühlmittelleitung berührungsfrei in der Vertiefung geführt ist. Da innerhalb des Flansches Vakuum herrscht, wird durch die berührungsfreie Führung der Kühlmittelleitung innerhalb des Flansches sichergestellt, dass keine Kälteenergie von dem Kühlmittel in der Kühlmittelleitung auf den Flansch übertragen wird. Somit ist durch die erfindungsgemäße Kühlmitteldurchführung sichergestellt, dass die niedrigen Temperaturen des Kühlmittels in der Kühlmittelleitung nicht über den Flansch auf die Außenseite der Vakuumpumpe übertagen werden und somit wird ebenfalls eine Eisbildung auf der Außenseite der Vakuumpumpe reduziert bzw. verhindert.Furthermore, the present invention relates as an independent invention to a coolant lead-through for a vacuum pump, in particular a diffusion vacuum pump. The coolant leadthrough has a flange, the flange having an inwardly open recess, a coolant line being arranged in the recess. The recess has a first diameter and the coolant line has a second diameter, the second diameter being smaller than the first diameter, so that the coolant line is guided in the recess without contact. Since there is a vacuum inside the flange, the contact-free routing of the coolant line inside the flange ensures that no cold energy is transferred from the coolant in the coolant line to the flange. The coolant duct according to the invention ensures that the low temperatures of the coolant in the coolant line are not transferred to the outside of the vacuum pump via the flange, and ice formation on the outside of the vacuum pump is also reduced or prevented.

Vorzugsweise ist die Kühlmittelleitung mit dem Flansch an der Außenseite des Flansches verbunden ist. Dabei können beispielsweise Flansch und Kühlmittelleitung verschweißt sein, um eine Vakuumdichtigkeit zu erzeugen. Durch ein Verbinden an der Außenseite des Flansches wird lediglich eine geringe Kältebrücke erzeugt, über die Kälteenergie von der Kühlleitung auf den Flansch übertragen wird. Insbesondere, sofern die Verbindung mittels Schweißen erzeigt wird, erstreckt sich diese Verbindung nicht der nur in geringen Maße in die Vertiefung des Flansches hinein, so dass die Kältebrücke klein gehalten werden kann.The coolant line is preferably connected to the flange on the outside of the flange. For example, the flange and the coolant line can be welded in order to create a vacuum tightness. A connection on the outside of the flange only creates a small cold bridge via which the cold energy is transferred from the cooling line to the flange. In particular, if the connection is made by means of welding, this connection does not extend only to a small extent into the recess of the flange, so that the cold bridge can be kept small.

Vorzugsweise ist zumindest teilweise zwischen der Kühlmittelleitung und dem Flansch ein Dichtelement angeordnet, welches insbesondere aus Kunststoff besteht. Hierbei weist Kunststoff eine deutliche geringeren Wärmeleitwert auf als Edelstahl oder andere Metalle, sodass eine thermische Isolierung zwischen der Kühlmittelleitung und dem Flansch erreicht werden kann. Gleichzeitig wird durch das Dichtelement die Vakuumdichtigkeit der Kühlmitteldurchführung erreicht.A sealing element, which in particular consists of plastic, is preferably arranged at least partially between the coolant line and the flange. Here, plastic has a significantly lower thermal conductivity than stainless steel or other metals, so that thermal insulation between the coolant line and the flange can be achieved. At the same time, the sealing element ensures that the coolant duct is vacuum-tight.

Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung als unabhängige Erfindung eine Diffusionspumpe mit mindestens einer Düse, wobei durch die Düse ein Treibmittel gefördert wird, um ein gasförmiges Medium von einem Einlass der Diffusionsvakuumpumpe zu einem Auslass zu transportieren. Dabei weist die Diffusionsvakuumpumpe eine Leitvorrichtung auf, wie vorstehend beschrieben, welche unmittelbar oberhalb der einlassseitigen Düse, d.h. in Richtung des Rezipienten, angeordnet ist. Weist beispielsweise die Diffusionspumpe lediglich eine Düse auf, so ist die Leitvorrichtung unmittelbar oberhalb dieser einen Düse angeordnet. Weist jedoch die Diffusionsvakuumpumpe mehrere Düsen auf, so ist die Leitvorrichtung unmittelbar oberhalb der Düse angeordnet, welche im Hochvakuumbereich, d.h. am weitesten in Richtung des Einlasses der Diffusionsvakuumpumpe bzw. dem Rezipienten angeordnet ist.Furthermore, the present invention relates as an independent invention to a diffusion pump with at least one nozzle, a propellant being conveyed through the nozzle in order to transport a gaseous medium from an inlet of the diffusion vacuum pump to an outlet. The diffusion vacuum pump has a guide device, as described above, which is arranged directly above the inlet-side nozzle, i.e. in the direction of the recipient. If, for example, the diffusion pump has only one nozzle, the guide device is arranged directly above this one nozzle. However, if the diffusion vacuum pump has several nozzles, the guide device is arranged directly above the nozzle, which is arranged in the high vacuum area, i.e. furthest in the direction of the inlet of the diffusion vacuum pump or the recipient.

Vorzugsweise weist die Diffusionsvakuumpumpe eine Kühlmitteldurchführung auf, wie vorstehend beschrieben. Dabei ist die Kühlmitteldurchführung angeordnet im Flansch der Leitvorrichtung.The diffusion vacuum pump preferably has a coolant duct, as described above. The coolant duct is arranged in the flange of the guide device.

Vorzugsweise besteht zwischen der einlassseitigen Düse und der Leitvorrichtung kein Kontakt, sodass ein Kälteübertrag von der Leitvorrichtung auf die einlassseitige Düse gerade verhindert wird. Somit ist die Leitvorrichtung thermisch isoliert innerhalb der Vakuumpumpe angeordnet, wodurch eine effiziente Kühlung der Leitvorrichtung gewährleistet wird und gleichzeitig ein Kälteübertrag von der Leitvorrichtung auf andere Teile der Diffusionsvakuumpumpe gerade vermieden werden.There is preferably no contact between the inlet-side nozzle and the guide device, so that a transfer of cold from the guide device to the inlet-side nozzle is prevented. The guide device is thus arranged in a thermally insulated manner within the vacuum pump, which ensures efficient cooling of the guide device and at the same time prevents the transfer of cold from the guide device to other parts of the diffusion vacuum pump.

Vorzugsweise weist die Diffusionspumpe einen Anschlussflansch auf, wobei mit dem Anschlussflansch der Diffusionsvakuumpumpe der Flansch der Leitvorrichtung verbunden ist. Insbesondere weist die Leitvorrichtung kein eigenes Gehäuse auf, sodass die Leitvorrichtung mit dem Flansch unmittelbar mit dem Anschlussflansch der Vakuumpumpe, verbunden ist und somit innerhalb dem Gehäuse der Diffusionspumpe angeordnet ist.The diffusion pump preferably has a connection flange, the flange of the guide device being connected to the connection flange of the diffusion vacuum pump. In particular, the guide device does not have its own housing, so that the guide device is connected with the flange directly to the connection flange of the vacuum pump and is thus arranged within the housing of the diffusion pump.

Vorzugsweise überdeckt die Leitvorrichtung, die gesamte Querschnittsfläche des Einlasses der Diffusionsvakuumpumpe.The guide device preferably covers the entire cross-sectional area of the inlet of the diffusion vacuum pump.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsform unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert.The invention is explained in more detail below on the basis of a preferred embodiment with reference to the accompanying drawings.

Es zeigen:

  • 1 eine perspektivische Ansicht der Leitvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung,
  • 2 eine Schnittansicht der Leitvorrichtung gemäß 1,
  • 3 eine Draufsicht der Leitvorrichtung gemäß 1,
  • 4 eine Diffusionsvakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung und
  • 5 eine Kühlmitteldurchführung gemäß der vorliegenden Erfindung.
Show it:
  • 1 a perspective view of the guide device according to the present invention,
  • 2 a sectional view of the guide device according to 1 ,
  • 3 a plan view of the guide device according to 1 ,
  • 4th a diffusion vacuum pump according to the present invention and
  • 5 a coolant duct according to the present invention.

Die erfindungsgemäße Leitvorrichtung 10 gemäß 1 weist einen Flansch 12 auf, mittels dem die Leitvorrichtung 10 mit einer Diffusionsvakuumpumpe 40 verbindbar ist. Dabei stehen keine Bauteile über die Oberseite 14 des Flansches 12 hinaus. Die Bauteile der Leitvorrichtung 10 sind somit unterhalb der Oberkannte 14 des Flansches 12 angeordnet und ragen somit in das Gehäuse 42 in der Diffusionsvakuumpumpe 40 hinein. Insbesondere weist die Leitvorrichtung 10 kein eigenes Gehäuse auf. Hierdurch wird eine besonders kompakte Bauweise erreicht. Und die Diffusionsvakuumpumpe 40 kann somit mittels dem Flansch 12 der Leitvorrichtung mit einem Rezipienten oder einer Vakuumvorrichtung verbunden werden.The guide device 10 according to the invention according to 1 has a flange 12, by means of which the guide device 10 can be connected to a diffusion vacuum pump 40. In this case, no components protrude beyond the top 14 of the flange 12. The components of the guide device 10 are thus arranged below the upper edge 14 of the flange 12 and thus protrude into the housing 42 in the diffusion vacuum pump 40. In particular, the guide device 10 does not have its own housing. A particularly compact design is achieved in this way. And the diffusion vacuum pump 40 can thus be connected to a recipient or a vacuum device by means of the flange 12 of the guide device.

Die Leitvorrichtung 10 weist im dargestellten Beispiel der Figuren vier Leitbleche 16 auf, welche radial zu einander angeordnet sind. Dabei sind die Leitbleche 16 mittels radialer Stege 18 mit dem Flansch 12 der Leitvorrichtung 10 verbunden. Dabei sind die radialen Stege 18 lediglich mittelbar mit dem Flansch 12 über thermische Isolationselemente 20 verbunden zur thermischen Trennung zwischen dem Flansch 12 und den Leitblechen 16. Somit wird eine Übertragung der Kälteenergie von dem Leitblechen 16 auf den Flansch 12 gerade verhindert.In the example shown in the figures, the guide device 10 has four guide plates 16 which are arranged radially to one another. The guide plates 16 are connected to the flange 12 of the guide device 10 by means of radial webs 18. The radial webs 18 are only indirectly connected to the flange 12 via thermal insulation elements 20 for thermal separation between the flange 12 and the guide plates 16. This prevents the cold energy from being transferred from the guide plates 16 to the flange 12.

In 3 ersichtlich weisen die Leitbleche 16 einen ersten Abschnitt 22 auf, welche sich von einem gemeinsamen Verbindungspunkt 24 in eine erste Richtung, in eine erste Richtung 23 bzw in Richtung des Einlasses 26 der Leitvorrichtung erstreckt. Dabei reduziert sich der Radius des ersten Abschnitts 22 ausgehend von dem gemeinsamen Verbindungspunkt 24, sodass der erste Abschnitt 22 an seinem axialen Ende 28 einen kleineren Radius aufweist als an dem gemeinsamen Verbindungspunkt 24. Ebenso erstreckt sich ein zweiter Abschnitt 30 in die zu der axialen Erstreckungsrichtung des ersten Abschnitts 22 entgegengesetzter Richtung bzw. zweiter Richtung 31. Ebenso verringert sich der Radius des zweiten Abschnitt 30 ausgehend von dem gemeinsamen Verbindungspunkt 24 sodass an dem axialen Ende 32 des zweiten Abschnitts 30 dieser einen geringeren Radius aufweist als am gemeinsamen Verbindungspunkt 24. Der erste Abschnitt 22 und der zweite Abschnitt 30 sind dabei nur an dem gemeinsamen Verbindungspunkt 24 mit einander verbunden. Dabei erstreckt sich der erste Abschnitt 22 in radialer Richtung, sodass dieser oberhalb des gemeinsamen Verbindungspunkt 34 des unmittelbar benachbarten Leitblechs 16 liegt. Ebenso erstreckt sich der zweite Abschnitt 30, sodass der axiale Endpunkt 32 des zweiten Abschnitt 30 radial unterhalb des gemeinsamen Verbindungspunkt 34 des unmittelbar benachbarten Leitblechs 16 liegt. Hierdurch wird eine blinkdichte Konfiguration des Leitvorrichtung 10 geschaffen, sodass Ölmoleküle nicht auf unmittelbaren Weg durch die Leitvorrichtung 10 hindurchtreten können, sondern stets an eine Kondensationsfläche stoßen und somit nicht in den Rezipienten gelangen können.In 3 The guide plates 16 can be seen to have a first section 22 which extends from a common connection point 24 in a first direction, in a first direction 23 or in the direction of the inlet 26 of the guide device. The radius of the first section 22 is reduced starting from the common connection point 24, so that the first section 22 has a smaller radius at its axial end 28 than at the common connection point 24. A second section 30 also extends in the axial direction of extent of the first section 22 in the opposite direction or second direction 31. Likewise, the radius of the second section 30 decreases starting from the common connection point 24 so that at the axial end 32 of the second section 30 this has a smaller radius than at the common connection point 24. The first Section 22 and the second section 30 are only connected to one another at the common connection point 24. The first section 22 extends in the radial direction so that it lies above the common connection point 34 of the immediately adjacent guide plate 16. The second section 30 also extends so that the axial end point 32 of the second section 30 lies radially below the common connection point 34 of the immediately adjacent guide plate 16. This creates a blink-tight configuration of the guide device 10 so that oil molecules cannot pass directly through the guide device 10, but always hit a condensation surface and thus cannot get into the recipient.

Wie in 3 ersichtlich weisen die weiter innen liegende Leitbleche 16 eine geringere axiale Erstreckung des zweiten Abschnitts auf. Hierdurch wird sichergestellt, dass durch das Haus der Düse 60 austretende Treibmitteldampf nicht mit den Leitbleche 16 kollidiert, sondern ungehindert in Förderrichtung geleitet werden kann.As in 3 it can be seen that the guide plates 16 located further inside have a smaller axial extent of the second section. This ensures that propellant vapor exiting through the nozzle 60 does not collide with the guide plates 16, but can instead be guided unhindered in the conveying direction.

Weiterhin ist der erste Abschnitt 22 mit dem zweiten Abschnitt 30 mittelbar über ein Kühlelement 36 miteinander verbunden, wobei sich bei dem Kühlelement 36, insbesondere über eine Kühlmittelleitung handelt. Mittels des Kühlelements 36 wird Kühlenergie auf die Leitbleche 16 übertragen, um eine effektive Kondensation der Ölmoleküle an den Kondensationsflächen der Leitbleche 16 zu erreichen. Dabei ist das Kühlelement 36 mit einer Kühlmitteldurchführung 50 verbunden. Hierbei weist der Flansch 12, eine Vertiefung bzw. Ausnehmung 52 auf, welche nach innen offen ist. Dabei weist die Ausnehmung 52 einen ersten Durchmesser D1 auf. Weiterhin weist die Kühlmittelleitung 36 einen zweiten Durchmesser D2 auf, wobei der zweite Durchmesser D2 kleiner ist als der erste Durchmesser D1, sodass die Kühlmittelleitung 36 zumindest teilweise innerhalb dem Flansch 12 berührungsfrei geführt ist. Weiterhin ist die Kühlmittelleitung 36 mit der Außenseite des Flansches 12 verbunden, so dass eine vakuumdichte Verbindung zwischen der Kühlmittelleitung 36 und dem Flansch 12 erzeugt wird. Dabei kann beispielsweise die Kühlmittelleitung 36 mittels Verschweißen mit der Außenseite des Flansches 12verbunden sein. Hierbei wird die Kühlmittelleitung über den größeren Teil innerhalb der Ausnehmung 52 des Flansches 12 berührungsfrei geführt und nur im Bereich der Schweißnaht 54 entsteht eine Kältebrücke. Diese weist jedoch einen geringen Querschnitt auf, so dass ein Übertrag der Kälteenergie von der Kühlmittelleitung 36 auf den Flansch 12 reduziert wird. Alternativ oder zusätzlich hierzu kann zumindest teilweise ein Dichtelement (nicht gezeigt) vorgesehen sein, welches zwischen dem Flansch 12 und der Kühlmittelleitung 36 insbesondere innerhalb der Ausnehmung bzw. Vertiefung 52 des Flansches 12 angeordnet ist. Dabei besteht das Dichtelement insbesondere aus Kunststoff und weist somit eine geringere Wärmeleitfähigkeit auf als Edelstahl oder eines anderen Metalls aus dem der Flansch 12 hergestellt ist. Somit wird die Kälteenergie, welche von der Kühlmittelleitung 36 auf den Flansch 12 übertragen wird, reduziert. Da im Bereich der Vertiefung 52 Vakuum herrscht und somit ein Wärmeübertrag in diesem Bereich nicht oder nur in geringem Umfang erfolgt. Selbstverständlich weist die Leitvorrichtung 10 mehr als eine Kühlmitteldurchführung auf. So kann beispielsweise gemäß der 2 ein Zulauf 60 und ein Rücklauf 62 für das Kühlmittel vorgesehen sein, wobei sowohl Zulauf 60 als auch Rücklauf 62 ausgebildet sind, wie vorstehend beschrieben und in 5 gezeigt.Furthermore, the first section 22 is indirectly connected to the second section 30 via a cooling element 36, the cooling element 36 being in particular via a coolant line. Cooling energy is transferred to the guide plates 16 by means of the cooling element 36 in order to achieve effective condensation of the oil molecules on the condensation surfaces of the guide plates 16. The cooling element 36 is connected to a coolant duct 50. Here, the flange 12 has a depression or recess 52 which is open to the inside. The recess 52 has a first diameter D 1 . Furthermore, the coolant line 36 has a second diameter D 2 , the second diameter D 2 being smaller than the first diameter D 1 , so that the coolant line 36 is at least partially guided within the flange 12 without contact. Furthermore, the coolant line 36 is connected to the outside of the flange 12, so that a vacuum-tight connection is created between the coolant line 36 and the flange 12. For example, the coolant line 36 can be connected to the outside of the flange 12 by welding. In this case, the coolant line is guided over the greater part within the recess 52 of the flange 12 without contact and a cold bridge is created only in the area of the weld seam 54. However, this has a small cross section, so that a transfer of the cold energy from the coolant line 36 to the flange 12 is reduced. As an alternative or in addition to this, a sealing element (not shown) can be provided at least partially, which is arranged between the flange 12 and the coolant line 36, in particular within the recess or depression 52 of the flange 12. The sealing element consists in particular of plastic and thus has a low More thermal conductivity than stainless steel or another metal from which the flange 12 is made. The cold energy which is transmitted from the coolant line 36 to the flange 12 is thus reduced. Since there is a vacuum in the area of the recess 52 and therefore heat transfer does not take place in this area, or only to a small extent. Of course, the guide device 10 has more than one coolant duct. For example, according to the 2 an inlet 60 and a return 62 can be provided for the coolant, both inlet 60 and return 62 being formed as described above and in FIG 5 shown.

4 zeigt eine Diffusionsvakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung. Diese weist ein Gehäuse 42 auf und einen Auslass 41. Weiterhin ist ein Einlass 43 der Diffusionsvakuumpumpe 40 vorgesehen, gebildet durch einen Flansch 44. Dabei wird mit dem Flansch 44 der Diffusionsvakuumpumpe 40 der Flansch 12 der Leitvorrichtung 10 verbunden, so dass die Leitvorrichtung vollständig innerhalb dem Gehäuse 42 der Diffusionsvakuumpumpe 40 angeordnet ist. Weiterhin bildet der Einlass 26 der Leitvorrichtung 10 den Einlass der Diffusionsvakuumpumpe 40. 4th Figure 3 shows a diffusion vacuum pump in accordance with the present invention. This has a housing 42 and an outlet 41. Furthermore, an inlet 43 of the diffusion vacuum pump 40 is provided, formed by a flange 44. The flange 12 of the guide device 10 is connected to the flange 44 of the diffusion vacuum pump 40 so that the guide device is completely inside the housing 42 of the diffusion vacuum pump 40 is arranged. Furthermore, the inlet 26 of the guide device 10 forms the inlet of the diffusion vacuum pump 40.

Die Diffusionsvakuumpumpe 40 weist einen Vorratsraum 45 auf zur Bevorratung eines Treibmittels. In dem Vorratsraum 45 ist ein Heizelement vorgesehen, durch welches das Treibmittel verdampft wird und durch die Düsen 46 wieder austritt. Dabei werden Gasmoleküle aus dem Vakuum mitgerissen und in Richtung des Auslasses 41 gefördert. Das Treibmittel kondensiert an den Innenwänden 47 des Gehäuses 42 und gelangt somit wieder zurück in den Vorratsraum 45.The diffusion vacuum pump 40 has a storage space 45 for storing a propellant. A heating element is provided in the storage space 45, by means of which the propellant is evaporated and exits again through the nozzles 46. In the process, gas molecules are carried away from the vacuum and conveyed in the direction of the outlet 41. The propellant condenses on the inner walls 47 of the housing 42 and thus returns to the storage space 45.

Die Leitvorrichtung 10 ist dabei oberhalb der einlassseitigen Düse 46 angeordnet, d.h. von der einlassseitigen Düse 46 in Richtung des Rezipienten. Dabei besteht kein Kontakt zwischen der einlassseitigen Düse 46 und der Leitvorrichtung 10, so dass die Kälteenergie nicht von der Leitvorrichtung auf die Düse übertragen wird.The guide device 10 is arranged above the inlet-side nozzle 46, i.e. from the inlet-side nozzle 46 in the direction of the recipient. There is no contact between the inlet-side nozzle 46 and the guide device 10, so that the cold energy is not transferred from the guide device to the nozzle.

Somit ist eine Leitvorrichtung bzw. Dampfsperre geschaffen, die in das Gehäuse der Diffusionsvakuumpumpe integriert ist, trotzdem leicht zu einzubauen und wieder auszubauen ist und völlig blickdicht ist. Weiterhin besteht auf Grund der erfindungsgemäßen Kühlmitteldurchführung die Möglichkeit die Leitvorrichtung zu kühlen, sogar zu sehr tiefen Temperaturen von bis zu -196°C, ohne, dass hierdurch eine negative Beeinflussung der Funktionalität der Diffusionspumpe entsteht.Thus, a guide device or vapor barrier is created that is integrated into the housing of the diffusion vacuum pump, is nevertheless easy to install and remove again and is completely opaque. Furthermore, due to the coolant duct according to the invention, there is the possibility of cooling the guide device, even at very low temperatures of down to -196 ° C., without this having a negative effect on the functionality of the diffusion pump.

Claims (16)

Leitvorrichtung für eine Diffusionsvakuumpumpe mit einer Mehrzahl ringförmiger Leitbleche, wobei die Leitbleche radial angeordnet sind, wobei mindestens ein Leitblech einen ersten Abschnitt ausgehend von einem Verbindungspunkt und einen zweiten Abschnitt ausgehend von dem Verbindungspunkt aufweist, wobei sich der erste Abschnitt axial in eine erste Richtung erstreckt, wobei der zweite Abschnitt sich axial in die entgegengesetzte zweite Richtung erstreckt, wobei der erste Abschnitt radial verjüngend ausgebildet ist und/oder wobei der zweite Abschnitt radial verjüngend ausgebildet ist.Guide device for a diffusion vacuum pump with a plurality of ring-shaped baffles, the baffles being arranged radially, wherein at least one baffle has a first section starting from a connection point and a second section starting from the connection point, wherein the first portion extends axially in a first direction, the second portion extends axially in the opposite second direction, wherein the first section is designed to taper radially and / or wherein the second section is designed to taper radially. Leitvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass alle Leitbleche gleich ausgebildet sind.Guide device according to Claim 1 , characterized in that all guide plates are designed the same. Leitvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein axialer Endpunkt eines der Leitbleche sich radial über oder weiter innerhalb dem Verbindungspunkt des unmittelbar benachbarten Leitblechs befindet.Guide device according to Claim 1 or 2 , characterized in that an axial end point of one of the guide plates is located radially above or further inside the connection point of the immediately adjacent guide plate. Leitvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass 3 bis 5 Leitbleche vorgesehen sind.Guide device according to one of the Claims 1 until 3 , characterized in that 3 to 5 baffles are provided. Leitvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Leitblech mit einem Kühlelement verbunden ist zur Kühlung des Leitbleches.Guide device according to one of the Claims 1 until 4th , characterized in that at least one guide plate is connected to a cooling element for cooling the guide plate. Leitvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Abschnitt und zweiter Abschnitt des mindestens einen gekühlten Leitbleches jeweils gebildet sind durch eine erstes Leitblechelement bzw. zweites Leitblechelement, wobei das erste Leitblechelement und das zweite Leitblechelement mittels dem Kühlelement miteinander verbunden sind.Guide device according to Claim 5 , characterized in that the first section and second section of the at least one cooled baffle are each formed by a first baffle element and second baffle element, the first baffle element and the second baffle element being connected to one another by means of the cooling element. Leitvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Leitblechelement und/oder das zweite Leitblechelement des mindestens einen gekühlten Leitbleches einen im Wesentlichen radial erstreckenden Abschnitt aufweisen zur Verbindung mit dem Kühlelement.Guide device according to Claim 6 , characterized in that the first guide plate element and / or the second guide plate element of the at least one cooled guide plate have a substantially radially extending section for connection to the cooling element. Leitvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die axial Länge des zweiten Abschnitts von einem äußeren Leitblech zu einem inneren Leitblech abnimmt.Guide device according to one of the Claims 1 until 7th , characterized in that the axial length of the second section decreases from an outer guide plate to an inner guide plate. Leitvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Leitbleche mittels insbesondere radial verlaufender Stege mit einem Flansch verbunden sind.Guide device according to one of the Claims 1 until 8th , characterized in that the Leitble surface are connected to a flange by means of, in particular, radially extending webs. Leitvorrichtung nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch eine Kühlmitteldurchführung zur Versorgung des Kühlelements mit einem Kühlmittel nach Anspruch 11 oder 12.Guide device according to Claim 9 , characterized by a coolant duct for supplying the cooling element with a coolant according to Claim 11 or 12th . Kühlmitteldurchführung für eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Diffusionspumpe, mit einem Flansch, wobei der Flansch eine Vertiefung aufweist mit einem ersten Durchmesser, wobei in der Vertiefung eine Kühlmittelleitung angeordnet ist, wobei die Kühlmittelleitung einen zweiten Durchmesser aufweist, wobei der zweite Durchmesser kleiner ist als der erste Durchmesser, so dass die Kühlmittelleitung berührungsfrei in der Vertiefung geführt.Coolant duct for a vacuum pump, in particular a diffusion pump, with a flange, the flange having a recess with a first diameter, a coolant line being arranged in the recess, the coolant line having a second diameter, the second diameter being smaller than the first Diameter so that the coolant line is routed without contact in the recess. Kühlmitteldurchführung nach Anaspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlmittelleitung mit dem Flansch an der Außenseite des Flansches verbunden ist..Coolant duct according to claim 11, characterized in that the coolant line is connected to the flange on the outside of the flange. Diffusionspumpe mit mindestens einer Düse, wobei eine Leitvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10 unmittelbar oberhalb der ansaugseitigen Düse angeordnet ist.Diffusion pump with at least one nozzle, wherein a guide device according to one of Claims 1 until 10 is arranged immediately above the suction-side nozzle. Diffusionspumpe nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch eine Kühlmitteldurchführung nach Anspruch 11 oder 12.Diffusion pump after Claim 13 , characterized by a coolant duct according to Claim 11 or 12th . Diffusionsvakuumpumpe nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ansaugseitigen Düse und der Leitvorrichtung kein Kontakt besteht.Diffusion vacuum pump after Claim 13 or 14th , characterized in that there is no contact between the suction-side nozzle and the guide device. Diffusionspumpe nach einem der Ansprüche 13 bis 15, gekennzeichnet durch einen Anschlussflansch, wobei mit dem Anschlussflansch der Flansch der Leitvorrichtung verbunden ist.Diffusion pump according to one of the Claims 13 until 15th , characterized by a connection flange, the flange of the guide device being connected to the connection flange.
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