DE19960458A1 - Vorrichtung zum Polieren von Scheiben - Google Patents

Abstract

Eine Vorrichtung zum Polieren von Scheiben, wobei ein Halterring 40 von einem Träger 32 eines Scheibenhalterkopfes 20 unter Verwendung eines O-Ringes 31 gehalten wird. Des weiteren wird eine Schutzfolie 80 für eine Scheibe 2 vom Halterring gehalten, um die Oberfläche eines Luftblaselements 34 des Trägers zu bedecken. Während die Scheibe gehalten und poliert wird, kommt daher die rückseitige Fläche der Scheibe nicht in direkten Kontakt mit dem Träger, und die Schutzfolie ist zwischen der rückseitigen Fläche der Scheibe und dem Träger angebracht. DOLLAR A

Description

STAND DER TECHNIK 1. Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Polieren von Scheiben und insbesondere eine Vorrichtung zum Polieren von Halbleiterscheiben, beruhend auf einem chemisch-mechanischen Polierverfahren (CMP).

2. Beschreibung der verwandten Technik

In den letzten Jahren sind integrierte Schaltkreise fein bearbeitet worden und es sind Muster von integrierten Schaltkreisen in einer Vielzahl von Schichten gebildet worden. Ein gewisser Grad an Rauhheit wird unvermeidlich in den Oberflächen der Schichten gebildet, auf denen die Muster gebildet werden. Gemäß dem Stand der Technik wurde das Muster der nächsten Schicht ohne eine Behandlung gebildet. Mit zunehmender Anzahl der Schichten und abnehmender Breite der Leitungen und Löcher wurde es jedoch schwierig, auf geeignete Weise Muster zu bilden, und es treten leicht Schäden auf. Daher wurde versucht, das Muster der nächsten Schicht zu bilden, nachdem die Oberfläche der Schicht, auf der das Muster gebildet wird, durch Polieren geglättet wurde. Die Scheiben- Poliervorrichtung (CMP-Vorrichtung), die auf dem CMP- Verfahren beruht, wird angewendet, um die Scheibe beim Schritt der Bildung der Muster der integrierten Schaltkreise zu polieren.

Weitverbreitete Anwendung hat eine Scheiben- Poliervorrichtung gefunden, die einen scheibenartigen Poliertisch umfaßt, der ein Polierkissen aufweist, das auf seine Oberfläche geklebt ist, eine Vielzahl von Scheibenhalterköpfen, die die Oberflächen auf einer Seite der zu polierenden Scheiben halten und die anderen Oberflächen der Scheiben in Kontakt mit dem Polierkissen bringen, und einen Halterkopfantriebsmechanismus, um die Scheibenhalterköpfe im Verhältnis zum Poliertisch zu drehen, und bei der ein Brei, der ein Poliermittel ist, zwischen das Polierkissen und die Scheiben zugeführt wird, um die Scheiben zu polieren.

Als Scheibenhaltermechanismus in einem Scheibenhalterkopf sind bisher einer bekannt, bei dem eine Scheibe mittels einer Scheibenklebefolie auf einen Träger geklebt wird (ungeprüfte japanische Patentveröffentlichung (Kokai) Nr. 8-229808), sowie einer, bei dem ein sehr fein poröser Einsatz, der Elastizität aufweist, auf den Träger geklebt wird und die Scheibe gehalten wird, indem sie darauf geklebt wird (ungeprüfte japanische Patentveröffentlichung (Kokai) Nr. 6-79618).

Gemäß den oben genannten herkömmlichen Scheibenhaltermechanismen muß jedoch eine sogenannte Packungsfolie auf die Oberfläche des Träger geklebt werden, und zu dem Zeitpunkt, zu dem die Packungsfolie geklebt wird, treten Blasen auf, die Geschicklichkeit beim Kleben erfordern, der Grad der Flachheit auf der Oberfläche, auf die die Packungsfolie geklebt ist, beeinflußt die Scheibenbearbeitungsoberfläche, und der Scheibenhalterkopf muß entfernt werden, um die Packungsfolie aufzukleben.

Der Anmelder hat daher eine Vorrichtung zum Polieren von Scheiben vorgeschlagen, bei der ein Luftblaselement unter der unteren Oberfläche des Trägers vorgesehen ist, das lose in einem Scheibenhalterkopfkörper getragen wird, um sich auf- und abwärts zu bewegen, um die Luft in Richtung der rückseitigen Fläche der Scheibe zu blasen und dabei eine gepreßte Fluidschicht zwischen dem Träger und der Scheibe zu bilden, und die Scheibe wird mit Hilfe der gepreßten Fluidschicht auf den Poliertisch gedrückt gehalten, wie in der japanischen Patentanmeldung Nr. 10- 92030 gelehrt, die vom Anmelder eingereicht worden ist.

Jedoch neigt selbst im Scheibenhaltermechanismus in der oben genannten Vorrichtung zum Polieren von Scheiben die rückseitige Fläche der Scheibe dazu, in direkten Kontakt mit der harten Oberfläche des Trägers zu kommen und wird zerkratzt, während die Scheibe durch Adsorption gehalten wird und poliert wird.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Im Hinblick auf das oben genannte Problem ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Scheibenhaltermechanismus bereitzustellen, der nicht zuläßt, daß die Rückseite der Scheibe in Kontakt mit der harten Oberfläche eines keramischen Trägers kommt und zerkratzt wird, und die Entfernung des Halterrings zu erleichtern, so daß die Schutzfolie leicht angebracht werden kann.

Als Mittel zur Lösung des oben genannten Problems stellt die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zum Polieren von Scheiben bereit, wie in den Patentansprüchen beschrieben.

Bei der Vorrichtung zum Polieren von Scheiben gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird ein Halterring von einem Träger unter Verwendung eines O- Ringes gehalten, wodurch ermöglicht wird, daß der Halterring nach unten gezogen wird, um leicht vom Träger entfernt zu werden, und wodurch des weiteren ermöglicht wird, daß der Halterring leicht angebracht werden kann, indem er einfach gedrückt wird. Dies erleichtert den Austauschvorgang der Schutzfolie und einer Austauscheinheit des Halterrings innerhalb eines kurzen Zeitraumes, ohne daß der Brei trocknen kann, was ein Verkratzen verursachen könnte, und bei Verringerung der Zeit, in der der Halterring in Wasser eingetaucht wird, um zu verhindern, daß der Brei trocknet.

Des weiteren ist das Zentrieren des Halterrings, wenn er am Träger befestigt ist, aufgrund des O-Ringes leicht auszuführen.

Bei der Vorrichtung zum Polieren von Scheiben gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein Luftblaselement auf der unteren Oberfläche des Trägers vorgesehen, und es ist eine Schutzfolie auf der äußeren Fläche desselben vorgesehen, um zu verhindern, daß die rückseitige Fläche der Scheibe in Kontakt mit der Oberfläche des harten Trägers kommt und zerkratzt wird.

Bei der Vorrichtung zum Polieren von Scheiben gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden die Randkanten der Schutzfolie vom Halterring gehalten, so daß die Schutzfolie leicht angebracht werden kann.

Bei der Vorrichtung zum Polieren von Scheiben gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung besteht der Halterring aus drei Elementen, d. h. einem Halterkörper, einer Austauscheinheit und einem Auffangelement, in einer Weise, daß er ein- und ausgebaut werden kann, wobei ermöglicht wird, daß die Austauscheinheit schnell und einfach ausgetauscht werden kann, wobei die Austauscheinheit einer Abnutzung unterworfen ist, die durch den ständigen Kontakt mit dem Polierkissen verursacht wird und voraussichtlich relativ häufig ausgetauscht wird. Des weiteren können die Randkanten der Schutzfolie vom Halterkörper und von der Austauscheinheit gehalten werden und können leicht befestigt und entfernt werden.

Bei der Vorrichtung zum Polieren von Scheiben gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist eine ringartige Rille auf der Innenseite in der unteren Fläche des Halterkörpers oder auf der Innenseite in der oberen Fläche der Austauscheinheit gebildet, um einen Rand zur Verlängerung der Schutzfolie bereitzustellen. Dies ermöglicht es, daß die Schutzfolie auf einfache Weise verlängert wird.

Bei der Vorrichtung zum Polieren von Scheiben gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein ringartiger dicker Bereich entlang der Außenperipherie der Schutzfolie gebildet, um zu verhindern, daß die Schutzfolie entweicht.

Bei der Vorrichtung zum Polieren von Scheiben gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist eine scheibenartige Vertiefung in der Schutzfolie gebildet, um Unregelmäßigkeiten in der Druckkraft aufzunehmen, die von der Schutzfolie verursacht werden, die eine unregelmäßige Stärke aufweist. Des weiteren wird der Luftspalt auf einem ausreichenden Grad gehalten, um einen günstigen Luftstrom aufrecht zu halten.

Bei der Vorrichtung zum Polieren von Scheiben gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist die Schutzfolie mit Löchern zur Adsorption versehen, um die Scheibe durch Adsorption zuverlässig zu halten.

Selbst wenn die Luft aus dem Luftblaselement des Trägers ausgeblasen wird, während die Scheibe poliert wird, wird die Schutzfolie auf die rückseitige Fläche der Scheibe gedrückt, und die Adsorptionslöcher sind geschlossen, und es kann keine Luft durch die Adsorptionslöcher entweichen.

Die vorliegende Erfindung wird vollständiger verständlich aus der Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung, die unten dargestellt sind, zusammen mit den beigefügten Zeichnungen.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist ein Querschnitt einer Vorrichtung zum Polieren von Scheiben gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 ist ein Querschnitt, der in vergrößertem Maßstab einen Abschnitt der Vorrichtung zum Polieren von Scheiben veranschaulicht, der mit einer Schutzfolie gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ausgestattet ist; und

Fig. 3 ist ein Querschnitt, der in vergrößertem Maßstab einen Abschnitt der Vorrichtung zum Polieren von Scheiben veranschaulicht, der mit der Schutzfolie gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ausgestattet ist.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Eine Vorrichtung zum Polieren von Scheiben gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.

Unter Bezugnahme auf Fig. 1 umfaßt die Vorrichtung 1 zum Polieren von Scheiben gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einen Tisch 10 zum Polieren einer Scheibe 2 und einen Halterkopf 20, der die Scheibe 2 hält und die Scheibe 2 dreht, während er sie mit einem gewünschten Polierdruck auf den Poliertisch 10 drückt.

Der Poliertisch 10 umfaßt ein Polierkissen 12, das, in Draufsicht gesehen, eine kreisförmige Polierfläche zum Polieren der Scheibe 2 aufweist, eine Drehplatte 14, auf deren obere Fläche das Polierkissen 12 geklebt ist, und eine Drehantriebseinheit 16, die die Drehplatte 14 in einer waagerechten Polierrichtung im Verhältnis zum Halterkopf 20 dreht (Richtung des Pfeiles A).

Der Halterkopf 20 umfaßt eine Fluiddruckeinheit 30 zur Bildung einer gepreßten Fluidschicht L, um die Scheibe 2 auf das Polierkissen 12 zu drücken, einen Halterring 40, der in einer zylindrischen Form gebildet ist und der die Fluiddruckeinheit 30 umgibt und die Polierfläche des Polierkissens 12 um die Peripherie der Scheibe 2 drückt, einen Kopfkörper 50, der über der Fluiddruckeinheit 30 und dem Halterring 40 vorgesehen ist, eine Antriebseinheit 51 zur Drehung des Kopfkörpers 50, eine Einstelleinheit 60, die zwischen dem Kopfkörper 50 und der Fluiddruckeinheit 30 vorgesehen ist und den Polierdruck einstellt, der auf die Fluiddruckeinheit 30 ausgeübt wird, und eine Einstelleinheit 70, die zwischen dem Kopfkörper 50 und dem Halterring 40 vorgesehen ist und die Druckkraft auf den Halterring 40 ausübt, um das Polierkissen 12 zu drücken und die Druckkraft einzustellen.

Die Fluiddruckeinheit 30 umfaßt einen Träger 32, der eine Vertiefung 32a aufweist, die sich annähernd über den gesamten Bereich der rückseitigen Fläche 2b der Scheibe 2 erstreckt, ein Luftblaselement 34, das Gasdurchlässigkeit aufweist und von der rückseitigen Fläche 2b der Scheibe 2 getrennt ist und am unteren Ende der Vertiefung 32a befestigt ist, und einen Luftzufuhrmechanismus 36 für die Zufuhr von Luft in den Raum S zwischen der Deckenfläche 32b der Vertiefung 32a und dem Luftblaselement 34. Eine Rille 33, in der ein O-Ring 31 befestigt wird, ist in der äußeren Peripheriefläche des Trägers 32 gebildet. Die Fluiddruckeinheit 30 steht mit einem Stopperelement in Eingriff, das nicht gezeigt ist, und rutscht nicht vom Kopfkörper 50 ab.

Unter Bezugnahme auf Fig. 2 besteht der Halterring 40 aus einem Halterkörper 41, einer Austauscheinheit 42 und einem Auffangelement 43. Der Halterkörper 41 und die Austauscheinheit 42 halten die Randkanten der Schutzfolie 80, um dabei die Schutzfolie 80 zu halten. Der Halterkörper 41 ist mit einer breiten Rille 44 versehen, die in der Innenperipheriefläche desselben gebildet ist, in die der O-Ring 31 eingepaßt wird, der die Auf- und Abbewegung des Halterrings ermöglicht, einer ringförmigen Rille 45, die auf der Außenseite der unteren Fläche desselben gebildet ist, um einen ringartigen dicken Abschnitt 81 aufzunehmen, der entlang des Außenperipherieabschnitts der Schutzfolie 80 gebildet ist, einem Entlüftungsdurchgang 46, der in der radialen Richtung gebildet ist, und einer Vertiefung, die in der Außenperipheriefläche desselben gebildet ist, in die das Auffangelement 43 paßt. Abhängig vom Einzelfall ist eine ringartige Rille 47 in der Innenperipherie in der unteren Fläche des Halterkörpers 41 gebildet, um einen Rand zur Verlängerung der Schutzfolie 80 bereitzustellen. Nach Bedarf ist die Schutzfolie 80 mit Löchern 82 zur Adsorption an mehreren Stellen versehen.

Die Austauscheinheit 42 hat die Form eines Ringes und weist eine Ausstülpung 42a auf, die auf der Außenperipheriefläche derselben gebildet ist. In der Austauscheinheit 42 ist nach Bedarf ebenfalls eine ringartige Rille 48 auf der Innenseite der oberen Fläche derselben gebildet.

Das Auffangelement 43 ist an beispielsweise drei Stellen in der Vertiefung in der Außenperipherie des Halterkörpers 41 befestigt und ist unter Verwendung von Schrauben oder ähnlichem am Halterkörper 41 befestigt. Das Auffangelement 43 weist an seinem unteren Abschnitt einen einwärts gerichteten Vorsprung 43a auf, der mit der Ausstülpung 42a der Austauscheinheit 42 in Eingriff steht, um zu verhindern, daß die Austauscheinheit 42 fällt.

Daher kann der Halterring 40 durch Herunterziehen auf einfache Weise vom Träger 32 entfernt werden, und er kann durch Drücken auf einfache Weise am Träger befestigt werden.

Der Luftzufuhrmechanismus 36 umfaßt eine Pumpe 22, einen Regler 36a, der in einem Luftzufuhrdurchgang R1 zwischen der Pumpe 22 und der Vertiefung 32a vorgesehen ist und den Luftdruck der zugeführten Luft regelt, und eine Drosselklappe 36b zur Einstellung der Strömungsgeschwindigkeit der zugeführten Luft.

Das Luftblaselement 34 enthält viele luftdurchlässige Durchgänge und umfaßt beispielsweise ein gesintertes Produkt aus einem keramischen Material.

Die Einstelleinheit 60 ist zwischen dem Kopfkörper 50 und der Fluiddruckeinheit 30 vorgesehen und umfaßt einen Luftsack (Druckmittel) 62, der sich ausdehnt und zusammenzieht, wenn die Luft ein- und ausströmt, um den Polierdruck einzustellen, sowie einen Luftzufuhrmechanismus 64 für die Luftzufuhr zum Luftsack 62. Der Luftzufuhrmechanismus 64 umfaßt eine gemeinsame Pumpe oder getrennte Pumpen 22 und einen Regler 66, der auf einem Luftzufuhrdurchgang R2 zwischen der Pumpe 22 und dem Luftsack 62 vorgesehen ist, um den Druck der zugeführten Luft einzustellen.

Die Einstelleinheit 70 ist zwischen dem Kopfkörper 50 und dem Halterring 40 vorgesehen und besteht aus einem Luftsack 72, der sich ausdehnt und zusammenzieht, wenn die Luft ein- und ausströmt, um die Polierfläche einzustellen, sowie aus einem Luftzufuhrmechanismus 74, um die Luft dem Luftsack 72 zuzuführen. Der Luftzufuhrmechanismus 74 umfaßt eine gewöhnliche Pumpe oder getrennte Pumpen 22 und einen Regler 76, der auf einem Luftzufuhrdurchgang R3 zwischen der Pumpe 22 und dem Luftsack 72 vorgesehen ist, um den Druck der zugeführten Luft einzustellen.

Im folgenden wird ein Verfahren zum Polieren der Scheibe 2 unter Verwendung der Vorrichtung 1 zum Polieren von Scheiben beschrieben.

Der Kopfkörper 50 wird auf die Scheibe 2 gedrückt, d. h. die Scheibe 2 wird durch die Oberfläche der Schutzfolie 80 gehalten oder indem sie von der Oberfläche der Schutzfolie 80 durch ein Vakuum adsorbiert wird, das durch Verbindung mit dem Kopfkörper 50 erzeugt wird, und wird auf den Poliertisch 10 getragen. Als nächstes wird der Luftdruck im Luftsack 62 vom Luftzufuhrmechanismus 64 in der Einstelleinheit 60 eingestellt, um den Polierdruck einzustellen, der auf die Fluiddruckeinheit 30 ausgeübt wird. Gleichzeitig wird die Luft, die einen eingestellten Druck aufweist, mit einer eingestellten Strömungsgeschwindigkeit vom Luftzufuhrmechanismus 36 in den Raum S zwischen der Deckenfläche 32b der Vertiefung 32a und dem Luftblaselement 34 zugeführt. Die Luft bleibt im Raum S, so daß der Druck gleichförmig ist, und wird bei einer gleichförmigen Strömungsgeschwindigkeit sanft zwischen das Luftblaselement 34 und die Schutzfolie 80 durch das Luftblaselement 34 eingeführt, wobei eine gepreßte Luftfluidschicht L zwischen dem Luftblaselement 34 und der Schutzfolie 80 gebildet wird, um einen Polierdruck gleichmäßig auf den gesamten Bereich der rückseitigen Fläche 2b der Scheibe 2 zu übertragen. Die Luft, die die gepreßte Fluidschicht L bildet, strömt durch den Entlüftungsdurchgang 46 heraus in den Halterkörper und andere Spalte in einer Menge, die gleich der Menge ist, die eingeführt wurde. Selbst wenn die Luft aus dem Luftblaselement 34 herausgeblasen wird, kommt die Schutzfolie 80 leicht in engen Kontakt mit der rückseitigen Fläche der Scheibe 2, und die Löcher 82 zur Adsorption der Schutzfolie 80 werden leicht geschlossen.

Daher wird die rückseitige Fläche 2b der Scheibe 2 durch die gepreßte Fluidschicht L über die Schutzfolie 80 über den gesamten Bereich derselben gedrückt, ungeachtet dessen, ob die Scheibe 2 verformt wird oder nicht. Daher wird die Scheibe 2 trotz Anschwellung und Beulen in der Polierfläche des Poliertisches 10 mit einem gewünschten Polierdruck gedrückt, um sich an die Anschwellung und die Beulen anzupassen, und wird mit einem gleichmäßigen Polierdruck auf die Polierfläche gedrückt.

Des weiteren stellt die Einstelleinheit 70 die Kraft ein, mit der das Polierkissen 12 durch den Halterring 40 gedrückt wird. Dies verhindert, daß die Polierfläche an den Randkanten der Scheibe 2 anschwillt.

Die Drehantriebseinheit 16 des Poliertisches 10 wird angetrieben, um das Polierkissen 12 zusammen mit der Drehplatte 14 in einer waagerechten Polierrichtung zu drehen (Richtung des Pfeils A), und die Drehantriebseinheit 51 des Halterkopfes 20 wird angetrieben, um in der Richtung der Pfeils B zu drehen. Demgemäß wird die Scheibe 2 poliert.

Demgemäß kommt die Scheibe 2 nicht in direkten Kontakt mit dem harten keramischem Träger 32, während sie gehalten und poliert wird, sondern kommt in Kontakt mit der Schutzfolie 80. Daher wird die rückseitige Fläche 2b der Scheibe 2 nicht zerkratzt. Die Schutzfolie 80 ist aus einem Material gefertigt, das gegen den sauren Brei oder den alkalischen Brei widerstandsfähig ist. Zum Beispiel kann vorzugsweise Silikongummi, Polytetrafluorethylen (Teflon, Handelsmarke) oder ähnliches verwendet werden.

Die Schutzfolie 80 kann mit einer scheibenartigen Vertiefung 83 versehen sein, wie in Fig. 3 gezeigt, um den Luftstrom in einem ausreichenden Grad aufrecht zu erhalten und Unregelmäßigkeiten in der Schubkraft zu beseitigen, die von der Schutzfolie 80 verursacht werden, die eine unregelmäßige Stärke aufweist. Die Schutzfolie 80 hat entlang der Außenperipherie derselben den ringartigen dicken Abschnitt 81 gebildet und kann nicht entweichen. Die Schutzfolie 80, die auf die Scheibe 2 gedrückt wird, ist in der Lage, die Scheibe 2 selbst ohne die Löcher 82 zur Adsorption zu halten.

Die Austauscheinheit 42 des Halterrings 40 wird während des Poliervorgangs der Scheibe 2 auf das Polierkissen 12 gedrückt gehalten und ist Verschleiß unterworfen. Daher ist die Austauscheinheit 42 aus einem Material wie Vinylchlorid oder Polyetheretherketon gefertigt und wird relativ häufig ausgetauscht.

Bei der vorliegenden Erfindung werden der Halterring 40 und der Träger 32 vom O-Ring 31 sogar während des Austauschvorgangs der Austauscheinheit 42 des Halterrings 40 und der Schutzfolie 80 gehalten. Daher kann der Halterring 40 durch Ziehen leicht vom Träger 32 entfernt werden. Außerdem können der Halterkörper 41 und das Auffangelement 43, die mittels Schrauben befestigt sind, leicht entfernt werden, wodurch der einfache Austausch der Austauscheinheit 42 und der Schutzfolie 80 innerhalb kurzer Zeitspannen ermöglicht wird.

Während die Erfindung unter Bezugnahme auf spezifische Ausführungsformen beschrieben wurde, die zum Zweck der Veranschaulichung ausgewählt wurden, ist es offensichtlich, daß von Fachleuten zahlreiche Veränderungen daran vorgenommen werden können, ohne vom Grundkonzept und vom Bereich der Erfindung abzuweichen.

Claims (13)

1. Vorrichtung zum Polieren der Oberfläche einer Scheibe, indem die Scheibe von einem Halterkopf gehalten wird und indem die Scheibe auf ein Polierkissen auf einem Drehpoliertisch gedrückt wird, wobei:
der Halterkopf einen Kopfkörper umfaßt, der sich dreht und gegenüber dem Poliertisch angeordnet ist, einen Träger, der lose vom Körper getragen wird, um sich auf- und abwärts bewegen zu können, und einen Halterring, der die Peripherie der Scheibe umgibt und zusammen mit der Scheibe in Kontakt mit dem Polierkissen kommt; und
der Halterring unter Verwendung eines O-Ringes vom Träger gehalten wird.

2. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 1, wobei ein Luftblaselement auf der unteren Fläche des Trägers vorgesehen ist, eine Schutzfolie auf der Außenfläche des Luftblaselements vorgesehen ist, und wobei die Scheibe durch eine Luftschicht, die aus dem Luftblaselement über die Schutzfolie geblasen wird, auf das Polierkissen gedrückt wird.

3. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 2, wobei die Randkanten der Schutzfolie vom Halterring gehalten werden.

4. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 1, wobei der Halterring aus drei Elementen besteht, umfassend einen Halterkörper, eine Austauscheinheit und ein Auffangelement in einer Weise, daß er zusammengebaut und auseinandergenommen werden kann.

5. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 3, wobei der Halterring aus drei Elementen besteht, umfassend einen Halterkörper, eine Austauscheinheit und ein Auffangelement in einer Weise, daß er zusammengebaut und auseinandergenommen werden kann.

6. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 5, wobei eine ringartige Rille entweder auf der Innenseite der unteren Fläche des Halterkörpers oder auf der Innenseite der oberen Fläche der Austauscheinheit oder in beiden von ihnen gebildet ist, um einen Rand zur Verlängerung der Schutzfolie bereitzustellen.

7. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 3, wobei ein ringartiger dicker Abschnitt entlang der Außenperipherie der Schutzfolie gebildet ist, um zu verhindern, daß diese entweicht.

8. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 3, wobei eine scheibenartige Vertiefung in der Schutzfolie gebildet ist.

9. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 7, wobei eine scheibenartige Vertiefung in der Schutzfolie gebildet ist.

10. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 3, wobei Adsorptionslöcher in der Schutzfolie gebildet sind.

11. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 7, wobei Adsorptionslöcher in der Schutzfolie gebildet sind.

12. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 8, wobei Adsorptionslöcher in der Schutzfolie gebildet sind.

13. Vorrichtung zum Polieren von Scheiben nach Anspruch 9, wobei Adsorptionslöcher in der Schutzfolie gebildet sind.