DE19858154A1 - Method and appliance for calibrating movable devices with at least one partially uncertain geometrical parameter, provides measurement parameters used in control algorithm for numerical control of device - Google Patents

Method and appliance for calibrating movable devices with at least one partially uncertain geometrical parameter, provides measurement parameters used in control algorithm for numerical control of device

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Abstract

A measurement probe is applied to a part of the device which can move relative to the test piece (1). The probe consists of a central bar linked to the movable device at one end has at the other three arms. Each terminates in a sphere, the whole fitting into measurement points (7,8,9) of the cutouts in the test piece and providing measurement parameters for use in a control algorithm. This is repeated for all measurement points of the test piece

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung zur Kalibrierung von beweg­ baren Vorrichtungen mit mindestens einem teilweise unbestimmten Geometriepara­ meter.The invention relates to a method and a device for the calibration of motion baren devices with at least one partially undetermined geometry para meter.

Solche Vorrichtungen werden zur Handhabung oder zur Fertigung von Werkstücken eingesetzt, beispielsweise in Werkzeugmaschinen. Im Zuge der Automatisierung kön­ nen Werkstücke aufgrund eines vorgegebenen Ablaufprogramms, das die Auswahl der Werkzeuge sowie die Relativbewegungen zwischen Werkzeug und Werkstück steuert, hergestellt werden. Solche Steuerungen berücksichtigen für die Bestimmung von Steuergrößen der Werkstück/Werkzeug-Relativbewegung Geometrieparameter der zu steuernden Vorrichtung selbst.Such devices are used for handling or manufacturing workpieces used, for example in machine tools. In the course of automation, workpieces based on a predefined sequence program that supports the selection of the tools and the relative movements between the tool and the workpiece controls, are manufactured. Such controls take into account for the determination of control variables of the workpiece / tool relative movement geometry parameters the device to be controlled itself.

Aufgrund von Fertigungs- und Montageungenauigkeiten sind diese Geometrieparame­ ter allerdings nicht exakt bekannt, sondern vielmehr mit Toleranzen (Maß-, Lage- und Winkeltoleranzen) behaftet. Aus diesen Toleranzen resultieren Abweichungen der Ki­ nematik der bewegbaren Vorrichtung, was sich wiederum in Ungenauigkeiten der Re­ lativbewegung bezüglich des zu fertigenden bzw. zu handhabenden Werkstückes nie­ derschlägt.These geometrical parameters are due to manufacturing and assembly inaccuracies ter not exactly known, but rather with tolerances (dimensions, position and Angular tolerances). Deviations in the Ki result from these tolerances nematics of the movable device, which in turn results in inaccuracies of the Re relative movement with respect to the workpiece to be manufactured or handled never strikes.

In der älteren DE 196 36 099 A1 ist beispielsweise eine Hexapod-Lagerungseinrich­ tung vorgeschlagen, bei der ein bewegbarer Träger über sechs Streben an einem Rahmen aufgehängt ist. Des weiteren ist aus der älteren DE 196 36 102 A1 ein Ver­ fahren zur Steuerung der Bewegung eines Trägers bekannt, bei dem die Vorgabe der Bewegung sowie die Regelung der Bewegung des Trägers in einem Orthogonal- Koordinatensystem erfolgt, wohingegen die Stellglieder zur Bewegung des Trägers ein weiteres, in dem konkreten Fall ein nicht-orthogonales, Koordinatensystem definie­ ren. Bei einer Parametertransformation zwischen-derrbeiden Koordinatensystemen müssen für die Bewegung der Vorrichtung relevante Geometrieparameter, d. h. vor allem Lage-, Längen- und Winkelmaße der Vorrichtung berücksichtigt werden. Es ist ohne weiteres ersichtlich, daß Toleranzen der Geometrieparameter zu Transformati­ onsfehlern und damit zu Fehlern in der Kinematik des Trägers führen.In the older DE 196 36 099 A1 there is, for example, a hexapod storage device device proposed, in which a movable support over six struts on one Frame is hung. Furthermore, from the older DE 196 36 102 A1 a Ver drive known to control the movement of a carrier, in which the default of Movement as well as the regulation of the movement of the wearer in an orthogonal Coordinate system takes place, whereas the actuators for moving the carrier another, in the specific case a non-orthogonal, coordinate system ren. With a parameter transformation between the two coordinate systems Geometric parameters relevant to the movement of the device, i. H. in front all location, length and angle dimensions of the device are taken into account. It is  readily apparent that tolerances of the geometry parameters to transformi errors and thus lead to errors in the kinematics of the wearer.

Zur exakten Bestimmung der Geometrieparameter, z. B. zur Ermittlung der genauen Lage der Gelenkpunkte einer Hexapod-Lagerung, muß die bewegbare Vorrichtung ka­ libriert werden.For the exact determination of the geometry parameters, e.g. B. to determine the exact Position of the pivot points of a hexapod bearing, the movable device ka be librated.

Der Gedanke, bewegbare Vorrichtungen oder Mechanismen hinsichtlich der exakten Bestimmung der Lage ausgewählter, die Kinematik bestimmender Parameter festzu­ legen (zu kalibrieren), ist im Bereich der Werkzeugmaschinen generell bekannt. Die bisher angewendeten Kalibrierverfahren eignen sich jedoch nicht für komplexe Vor­ richtungsstrukturen, da für diese eine hohe Anzahl von Parametern gleichzeitig be­ stimmt werden müssen. Insbesondere eignen sich die bekannten Kalibrierverfahren nicht für das Gebiet von Parallelstrukturen wie die genannten Hexapod-Lagerungen.The idea of moving devices or mechanisms regarding the exact Determination of the position of selected parameters determining the kinematics lay (to calibrate) is generally known in the field of machine tools. The However, previously used calibration procedures are not suitable for complex pre directional structures, since for this a large number of parameters can be used simultaneously must be agreed. The known calibration methods are particularly suitable not for the area of parallel structures like the mentioned hexapod bearings.

Gegenwärtig sind Verfahren bekannt, bei denen diejenigen Maschinenelemente einer Vorrichtung, die lediglich kleine Abmessungen aufweisen, im ausgebauten Zustand separat vermessen werden. Auf diese Weise wird ein Teil der für das Bewegungsver­ halten der Vorrichtung relevanten Geometrieparameter ermittelt, wobei jedoch Monta­ geungenauigkeiten nicht berücksichtigt werden. In einem zweiten Schritt wird dann die Vorrichtung im zusammengebauten Zustand vermessen, indem beispielsweise ein in seinen Abmessungen genau bekannter Prüfkörper mit einem Meßtaster abgetastet wird. Dieses Verfahren ist dahingehend nachteilig, daß ein separates mehrachsiges Vermessen von Geometrieparametern, beispielsweise Gelenkpunkten, mit unver­ meidlichen Fehlern behaftet ist. Durch die anschließende Montage der Vorrichtung werden weitere Ungenauigkeiten erzeugt, die mit den Messungen des zweiten Schrittes nicht mehr erkannt werden können.Methods are currently known in which those machine elements are one Device, which have only small dimensions, in the removed state be measured separately. In this way, part of the for the Bewegungsver keep the device relevant geometry parameters determined, however, Monta inaccuracies are not taken into account. In a second step the Measure the device in the assembled state, for example by an in its dimensions of precisely known test specimens are scanned with a probe becomes. This method is disadvantageous in that a separate multi-axis Measurement of geometry parameters, for example articulation points, with un is fraught with errors. Through the subsequent assembly of the device further inaccuracies are generated with the measurements of the second Step can no longer be recognized.

Weiterhin ist bekannt, mit mehreren Abtastorganen unterschiedlicher Länge zu arbei­ ten. Bei diesem Verfahren tritt jedoch der Nachteil auf, daß durch den Wechsel der Abtastorgane bei einer starken Verkopplung der Kinematik der zu bewegenden Vor­ richtung bereits kleine Meßfehler, die beispielsweise durch den Wechsel der Taster verursacht werden, zu großen Abweichungen bei der Bestimmung der Fehlergrößen der Geometrieparameter führen.It is also known to work with several scanning elements of different lengths However, this method has the disadvantage that the change of the Scanning elements with a strong coupling of the kinematics of the moving object direction already small measuring errors, for example, by changing the probe  caused too large deviations in the determination of the error sizes of the geometry parameters.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Einrichtung zur Kalibrierung von bewegbaren Vorrichtungen mit mindestens einem teilweise un­ bestimmten Geometrieparameter anzugeben, mit dem eine genaue kinematische Be­ schreibung des Bewegungsverhaltens der bewegbaren Vorrichtung ermöglicht wird.The invention is therefore based on the object of a method and a device for the calibration of movable devices with at least one partially un specify certain geometry parameters with which an exact kinematic Be Description of the movement behavior of the movable device is made possible.

Hinsichtlich des Verfahrens wird diese Aufgabe erfindungsgemäß durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.With regard to the method, this object is achieved according to the invention by a method solved with the features of claim 1.

Hinsichtlich der Einrichtung erfolgt die Aufgabenlösung erfindungsgemäß mit einer Einrichtung der Merkmale des Anspruches 17.With regard to the device, the task is solved according to the invention with a Establishment of the features of claim 17.

Mit der Erfindung wird erstmals ein industrietaugliches Verfahren zur Kalibrierung hochkomplexer bewegbarer Vorrichtungen, wie beispielsweise Vorrichtungen mit Parallelkinematik, bereitgestellt. Da das Verfahren bei einer bereits vollständig in Ein­ satzlage montierten Vorrichtung allein im zusammengebauten Zustand ausgeführt wird, können aus einem zuvor durchgeführten Vermessen resultierende Fehler nicht mehr auftreten. Überdies wird der für den Kalibriervorgang erforderliche Aufwand er­ heblich vereinfacht. Das Verfahren eignet sich daher auch besonders für den Zweck der Nachkalibrierung, um beispielsweise ein Setzen der Vorrichtung zu berücksichti­ gen. Durch die Verwendung eines einzigen Prüforgans können überdies Kopplungs­ fehler vermieden werden, so daß sich insgesamt mit dem erfindungsgemäßen Verfah­ ren eine wesentlich verbesserte Genauigkeit bei der Bestimmung der für das Bewe­ gungsverhalten der bewegbaren Vorrichtung relevanten Geometrieparameter ergibt.The invention for the first time becomes an industrial calibration method highly complex movable devices, such as devices with Parallel kinematics provided. Since the procedure is already fully in one Block-mounted device executed alone in the assembled state errors resulting from a previously performed measurement cannot occur more. In addition, the effort required for the calibration process is increased considerably simplified. The method is therefore particularly suitable for the purpose the recalibration to take into account, for example, setting of the device By using a single test device coupling can also errors are avoided, so that overall with the inventive method ren a significantly improved accuracy in determining the for the Bewe behavior of the movable device results in relevant geometry parameters.

Vorzugsweise wird ein in seinen Abmessungen bekannter Prüfkörper in der Vorrich­ tung angeordnet und als Prüforgan ein Abtastorgan verwendet, das eine ihm eigene Referenzstellung aufweist. Die Vorrichtung wird sodann bewegt, bis das Abtastorgan an eine als Abtaststelle des Prüfkörpers ausgebildeten Meßstelle seine ihm eigene Referenzstellung einnimmt. Aufgrund der Erfassung der Referenzstellung des Ab­ tastorgans zu in ihrer Lage bekannten Meßstellen lassen sich mit demselben Ab­ tastorgan Lage- bzw. Winkel-Istwerte bestimmen, die als bekannte Größen in ein li­ neares Gleichungssystem eingesetzt werden, das die gesuchten kinematischen Kor­ rekturgrößen als Unbekannte enthält.A specimen known in its dimensions is preferably used in the Vorrich device arranged and used as a test organ, a scanning element that is unique to it Has reference position. The device is then moved until the scanning member to a measuring point designed as a sampling point of the test specimen, its own Takes reference position. Based on the detection of the reference position of the Ab probe organ to known measuring points in their position can be used with the same  Determine actual position and angle values, which are known as variables in a li system of equations can be used, which the desired kinematic Cor contains correction sizes as unknowns.

Vorzugsweise wird ein Abtastorgan verwendet, das bei Auslenkung einen Impuls ab­ gibt. Das Abtasten einer Meßstelle erfolgt dadurch, daß zur Annäherung an eine Refe­ renzposition des Abtastorgans bezüglich einer ausgewählten Koordinatenrichtung, d. h. eine translatorische oder rotatorische Bewegung, das Abtastorgan nach Aussen­ dung eines Impulses zurückbewegt wird, bis keine Auslenkung mehr vorliegt, was an­ hand der Aussendung der Impulse feststellbar ist. Hierdurch läßt sich iterativ die Refe­ renzposition des Abtastorgans bezüglich einer ausgewählten Meßstelle einstellen, woraufhin dann die Erfassung der die Lage der Vorrichtung repräsentierenden Para­ meter erfolgt. Das Ansteuern der Referenzposition geschieht vorzugsweise automa­ tisch durch eine Steuervorrichtung der bewegbaren Vorrichtung in Abhängigkeit der von dem Abtastorgan erzeugten Impulse, wozu ein geeignetes Steuerprogramm in der Steuervorrichtung vorgesehen wird. Hierdurch läßt sich eine große Anzahl von Meß­ stellen automatisch abtasten, um die erforderliche Datenmenge zur Bestimmung der Korrekturgrößen bereitzustellen.Preferably, a scanning element is used which emits a pulse when deflected gives. The scanning of a measuring point takes place in that in order to approach a ref limit position of the scanning element with respect to a selected coordinate direction, d. H. a translatory or rotary movement, the scanning element to the outside tion of a pulse is moved back until there is no more deflection, which is hand the transmission of the impulses can be determined. This makes it possible to iteratively ref set the reference position of the scanning element with respect to a selected measuring point, whereupon the detection of the para representing the position of the device meters. The reference position is preferably controlled automatically table by a control device of the movable device depending on the pulses generated by the sensing element, for which purpose a suitable control program in the Control device is provided. This allows a large number of measuring set to automatically scan to determine the amount of data required To provide correction quantities.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird ein Werkstück in definierter Lage in der Vorrichtung als Prüfkörper angeordnet. Weiterhin wird ein Bearbeitungs­ werkzeug, beispielsweise ein Fräswerkzeug, als Prüforgan an der Vorrichtung relativ bewegbar zu dem Prüfkörper angebracht. Mit Hilfe des Bearbeitungswerkzeuges wer­ den dann an den Meßstellen Kalibrierbearbeitungen an dem Werkstück vorgenom­ men, wobei an den jeweiligen Endpositionen des Bearbeitungswerkzeuges, die auch als Meßstellen dienen, die Erfassung der die Lage der Vorrichtung repräsentierenden Parameter, beispielsweise der Stellgrößen der kinematischen Struktur, erfolgt. Nach­ dem sämtliche Kalibrierbearbeitungen an dem Werkstück durchgeführt worden sind, um so beispielsweise eine Vielzahl verschiedener Meßstellen zu erzeugen, wird das Werkstück bzw. die Endpositionen der jeweiligen Kalibrierbearbeitungen vermessen, um so Lage- und Winkelformationen als Ist-Werte für die jeweiligen Meßstellen zu bestimmen. Diese Ist-Werte finden dann wiederum Eingang in das bereits oben er­ wähnte, lineare Gleichungssystem, mit dem die Korrekturgrößen berechnet werden. According to a further embodiment of the invention, a workpiece is defined Positioned in the device as a test specimen. Furthermore, an editing tool, for example a milling tool, as a test organ on the device relative movably attached to the test specimen. With the help of the editing tool who which is then carried out on the workpiece at the measuring points men, at the respective end positions of the machining tool, which also serve as measuring points, the detection of the position of the device representing Parameters, for example the manipulated variables of the kinematic structure, are carried out. After after all calibration work has been carried out on the workpiece, in order to generate a large number of different measuring points, for example, the Measure the workpiece or the end positions of the respective calibration processes, position and angle formations as actual values for the respective measuring points determine. These actual values are then included in the above imagined linear system of equations with which the correction quantities are calculated.  

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung dieser Ausführungsform wird zur Anbringung der Kalibrierbearbeitungen ein Schaftfräser verwendet. Mit den hergestellten Kali­ brierbohrungen lassen sich fünf Koordinaten für eine Meßstelle bestimmen. Die feh­ lende sechste Koordinate kann während der Bearbeitung mit einer zusätzlichen Meßeinrichtung, z. B. unter Verwendung eines Spiegels und Messung der Ablenkung eines Laserstrahls, bestimmt werden.According to an advantageous development of this embodiment, the attachment uses an end mill for the calibration machining. With the potash produced Brier bores can determine five coordinates for a measuring point. The wrong lend sixth coordinate can be edited with an additional Measuring device, e.g. B. using a mirror and measuring the deflection of a laser beam can be determined.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den weiteren Unteransprü­ chen angegeben.Further advantageous embodiments of the invention are in the further subclaims Chen specified.

Im folgenden wird nun die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Diese zeigt inIn the following, the invention will now be described with reference to an exemplary embodiment described on the drawings. This shows in

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Abtastorgans, Fig. 1 is a schematic illustration of a scanning unit,

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer Meßstelle mit dem Abtastorgan in einer Endposition, Fig. 2 is a schematic representation of a measuring point with the scanning member in one end position,

Fig. 3 eine räumliche Darstellung eines Prüfkörpers mit mehreren Meßstellen, Fig. 3 shows a spatial representation of a test body with a plurality of measuring points,

Fig. 4 eine schematische Darstellung eines Beispiels einer Hexapod- Werkzeugmaschine, und Fig. 4 is a schematic representation of an example of a hexapod machine tool, and

Fig. 5 die Koordinatentransformationen der Maschine von Fig. 4. Fig. 5, the coordinate transformations of the machine of Fig. 4.

Das Verfahren wird im folgenden mit Bezug auf eine herkömmliche Hexapod- Werkzeugmaschine beschrieben, die ein Beispiel für eine Struktur mit Parallelkinema­ tik darstellt. Bei einer solchen Hexapod-Werkzeugmaschine, wie sie beispielsweise in der DE 196 36 099 oder der DE 196 36 102 vorgeschlagen ist, ist ein Träger, an dem beispielsweise ein Bearbeitungswerkzeug wie ein Fräser vorgesehen ist, über sechs in ihrer Länge verstellbare Streben an einer Gestellbasis gelenkig gelagert. Die Bewe­ gungsvorrichtungen zur Längenverstellung der einzelnen Streben können z. B. als Elektromotoren ausgebildet sein. An dem Träger ist eine Bearbeitungsvorrichtung vorgesehen, deren Hauptspindel durch einen weiteren Motor angetrieben wird. Zur Steuerung des Bewegungsablaufs des Trägers wird üblicherweise eine Bedieneinheit vorgesehen, die mit der Hexapod-Werkzeugmaschine gekoppelt ist. Über diese Be­ dieneinheit kann einerseits ein Ablaufprogramm eingegeben werden und andererseits während des Betriebs Einfluß auf den Bewegungsablauf genommen werden. Die Ein­ gabe des Ablaufprogramms sowie dessen Verarbeitung erfolgt dabei in den Koordina­ ten eines orthogonalen Koordinatensystems X, Y, Z, A, B, C (drei translatorische Koordi­ naten und drei rotatorische Koordinaten). Hingegen definieren die Streben ein nicht orthogonales Koordinatensystem L1, L2 bis L6, so daß zur Einstellung der Sollgrößen der Bewegungsregelung eine Koordinatentransformation J bzw. T erforderlich ist (vgl. Fig. 4 und 5). Die Parameter der Transformationsmatrizen hängen von Geometriepa­ rametern der bewegbaren Vorrichtung, hier beispielsweise den Positionen der Ge­ lenkmittelpunkte und der Offset-Werte der Streben der Hexapod-Werkzeugmaschine ab.The method is described below with reference to a conventional hexapod machine tool, which is an example of a structure with parallel kinematics. In such a hexapod machine tool, as is proposed, for example, in DE 196 36 099 or DE 196 36 102, a carrier on which, for example, a machining tool such as a milling cutter is provided, is on a frame base via six struts which are adjustable in length articulated. The movement devices for adjusting the length of the individual struts can, for. B. be designed as electric motors. A processing device is provided on the carrier, the main spindle of which is driven by a further motor. To control the movement sequence of the carrier, an operating unit is usually provided, which is coupled to the hexapod machine tool. Via this operating unit, a sequence program can be entered on the one hand and, on the other hand, the movement sequence can be influenced during operation. The input of the sequence program and its processing takes place in the coordinates of an orthogonal coordinate system X, Y, Z, A, B, C (three translational coordinates and three rotatory coordinates). In contrast, the struts define a non-orthogonal coordinate system L 1 , L 2 to L 6 , so that a coordinate transformation J or T is required to set the setpoints of the motion control (see FIGS. 4 and 5). The parameters of the transformation matrices depend on the geometry parameters of the movable device, here for example the positions of the center points of the joints and the offset values of the struts of the hexapod machine tool.

Die Lage dieser Gelenkmittelpunkte wird konstruktiv vorgegeben. Sie ist somit grund­ sätzlich bekannt, jedoch aufgrund von Fertigungs- und Montagetoleranzen bei der Vorrichtung im zusammengebauten Zustand teilweise unbestimmt. Aus diesen Grün­ den muß die Vorrichtung im fertig montierten Zustand kalibriert werden. Gleichfalls kann, beispielsweise nach einem längeren Betrieb oder nach einem Transport oder Umbau der Vorrichtung eine Nachkalibrierung notwendig werden, um Abweichungen von den konstruktiv vorgegebenen Geometrieparametern zu korrigieren. Die korrigier­ ten Werte werden dann in den Transformationsmatrizen berücksichtigt, die bei Paral­ lelstrukturen wie Hexapodaufhängungen eine starke Koordinatenverkoppelung bein­ halten.The position of these center points of the joint is specified in the design. It is therefore basic additionally known, but due to manufacturing and assembly tolerances at Device partially assembled in the assembled state. For this green the device must be calibrated in the fully assembled state. Likewise can, for example after a long period of operation or after transport or Modification of the device a recalibration may be necessary to detect deviations correct from the design geometry parameters. The correcting th values are then taken into account in the transformation matrices, which in Paral Structures such as hexapod suspensions have a strong coordinate link hold.

Zur Kalibrierung wird bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel ein in seinen geo­ metrischen Abmessungen genauestens bekannter Prüfkörper 1, wie in Fig. 3 darge­ stellt, verwendet. Dieser Prüfkörper 1 (Meßplatte) wird in der zu kalibrierenden, bereits vollständig in der Arbeitsposition montierten Vorrichtung in definierter Lage befestigt. Der Prüfkörper 1 weist eine Mehrzahl von Meßstellen auf, deren Lage zueinander, d. h. deren Abstände und Winkel, exakt bekannt sind. In dem gezeigten Ausführungs­ beispiel sind als Meßstellen Ausnehmungen vorgesehen, deren Wände zur Bestim­ mung von rotatorischen Koordinaten zum Teil gegeneinander geneigt sind. Anstelle der Ausnehmungen können auch Aufbauten verwendet werden.For calibration is used in the described embodiment in its geo metric dimensions very well known test specimen 1 , as shown in Fig. 3 Darge used. This test specimen 1 (measuring plate) is fastened in a defined position in the device to be calibrated, which is already fully assembled in the working position. The test specimen 1 has a plurality of measuring points, the position of which relative to one another, ie the distances and angles thereof, are exactly known. In the embodiment shown, recesses are provided as measuring points, the walls of which are partially inclined towards one another in order to determine rotational coordinates. Superstructures can also be used instead of the recesses.

Die Orte der Meßstellen befinden sich sowohl am Rand als auch in der Nähe der Mitte der Meßstelle. Mehrere dieser Meßstellen besitzen geneigte Grundplatten. Die Nei­ gungen erfolgen vorzugsweise um beide Achsen einer als Montageebene für den Prüfkörper, d. h. die Meßplatte, fungierenden Tischebene des Maschinenteils, jeweils in beide Richtungen.The locations of the measuring points are both at the edge and near the center the measuring point. Several of these measuring points have inclined base plates. The Nei  conditions are preferably around both axes as a mounting plane for the Test specimen, d. H. the measuring plate, acting table level of the machine part, each in both directions.

Zur Kalibrierung wird weiterhin an einem relativ zu dem Prüfkörper 1 bewegbaren Teil der Vorrichtung ein Prüforgan in Form eines Abtastorgans 2 (Meßtaster) angebracht, das mit dem Prüfkörper bzw. dessen Meßstellen zusammenwirkt. Bei einer Hexapod- Werkzeugmaschine kann der Meßtaster 2 in die Spindel des Bearbeitungswerkzeuges eingespannt werden. Der Meßtaster 2 zum Abtasten der Meßstellen des Prüfstücks ist in Fig. 1 schematisch dargestellt. Der Meßtaster 2 weist einen Mittelstab 3 auf, der mit einem Ende mit der bewegbaren Vorrichtung verbunden wird, und an seinem gegen­ überliegenden Ende drei sich gleich beabstandet radial erstreckende Arme bzw. Querstreben 4 aufweist. Die Querstreben sind sämtlich in einer gemeinsamen Ebene angebracht, vorzugsweise unter einem Winkelabstand von 120° und weisen jeweils an ihrem Ende als Taststück je eine Kugel 5 auf, wobei alle Kugeln 5 den gleichen Durchmesser und den gleichen Abstand zu dem Mittelstab 3 besitzen, so daß die Mittelpunkte der Kugeln 5 in einer Ebene senkrecht der Spindelachse liegen. Die Querstreben 4 und Kugeln 5 sind dabei so dimensioniert, daß diese in an dem Prüf­ körper (Meßplatte) vorgesehene Aussparungen an den Meßstellen eingreifen können, wie in Fig. 2 gezeigt. Diese Aussparungen besitzen eine sehr genau gefertigte Grund­ fläche 6, eine Seitenwand 7, an die zwei Kugeln 5 des Abtastorgans 2 angelegt wer­ den können, sowie eine weitere Seitenwand 8 senkrecht zu der ersten Seitenwand 7, die ebenfalls der Anlage der Kugeln 5 dient. Wie in Fig. 3 für die mittigen Meßstellen gezeigt, kann eine solche auch aus einer Fig. 2 entsprechenden Anordnung bestehen, die um eine in der Aufspannebene (Montageebene) des Prüfkörpers 1 verlaufende Achse gekippt ist.For calibration, a test element in the form of a scanning element 2 (measuring probe) is also attached to a part of the device which can be moved relative to the test specimen 1 and which cooperates with the test specimen or its measuring points. With a hexapod machine tool, the probe 2 can be clamped in the spindle of the machining tool. The probe 2 for scanning the measuring points of the test piece is shown schematically in Fig. 1. The measuring probe 2 has a central rod 3 , which is connected at one end to the movable device and has at its opposite end three equally spaced radially extending arms or cross struts 4 . The cross struts are all mounted in a common plane, preferably at an angular distance of 120 ° and each have a ball 5 at their end as a probe, all balls 5 having the same diameter and the same distance from the central rod 3 , so that the centers of the balls 5 lie in a plane perpendicular to the spindle axis. The cross struts 4 and balls 5 are dimensioned so that they can engage in the test body (measuring plate) provided recesses at the measuring points, as shown in Fig. 2. These recesses have a very precisely manufactured base area 6 , a side wall 7 , to which two balls 5 of the sensing element 2 can be placed, and a further side wall 8 perpendicular to the first side wall 7 , which also serves to support the balls 5 . As shown in FIG. 3 for the central measuring points, such an arrangement can also consist of an arrangement corresponding to FIG. 2, which is tilted about an axis running in the mounting plane of the test specimen 1 .

Nach dem Anbringen des Prüfkörpers 1 und des Prüforgans 2 in der bewegbaren Vorrichtung erfolgt der eigentliche Kalibriervorgang unter Verwendung eines Steueral­ gorithmus, mit dem das Prüforgan 2 nacheinander an verschiedenen Meßstellen des Prüfkörpers so positioniert wird, daß das Prüforgan-an jeder der Meßstellen eine in allen sechs Koordinaten definierte Stellung einnimmt, womit für jede Meßstelle die La­ ge-Istwerte des Tasters aufgrund der bekannten Geometrie des Prüfkörpers 1 eben­ falls bekannt sind.After attaching the test specimen 1 and the test element 2 in the movable device, the actual calibration process is carried out using a control algorithm with which the test element 2 is successively positioned at various measuring points of the test specimen so that the test element at each of the measuring points is one in all occupies six coordinates defined position, with which the actual position values of the probe for each measuring point are also known if known due to the known geometry of the test specimen 1 .

Das Prüforgan ist hier ein Abtastorgan 2 (Meßtaster) und derart ausgebildet, daß die­ ses bei Auslenkung aus seiner Referenzposition einen Impuls abgibt. Mit Hilfe der Im­ pulse des Abtastorgans 2 an den Steueralgorithmus wird die Vorrichtung solange ite­ rativ bewegt, bis das Abtastorgan 2 bezüglich einer Meßstelle seine ihm eigene Refe­ renzstellung einnimmt, d. h. gerade keinen Impuls mehr aussendet. Dazu wird das Abtastorgan 2 zunächst zügig in die Nähe einer abzutastenden Meßstelle des Prüf­ körpers 1 gefahren, in der bei Berücksichtigung von Toleranzen der nicht kalibrierten Anordnung noch keine Berührung des Abtastorgans 2 mit dem Prüfkörper 1 erfolgt bzw. erwartet wird.The test element here is a scanning element 2 (measuring probe) and is designed such that it emits a pulse when deflected from its reference position. With the help of the pulse of the scanning element 2 to the control algorithm, the device is moved iteratively until the scanning element 2 assumes its own reference position with respect to a measuring point, ie no longer emits a pulse. For this purpose, the scanning element 2 is first moved rapidly into the vicinity of a measuring point of the test specimen 1 to be scanned, in which, taking into account tolerances of the non-calibrated arrangement, no contact of the scanning element 2 with the test specimen 1 takes place or is expected.

Anschließend wird zunächst eine Koordinatenrichtung ausgewählt, z. B. die translatori­ sche Koordinatenrichtung senkrecht zu der Grundfläche der Meßstelle (vgl. Fig. 2). Danach wird das Abtastorgan geradlinig auf den Prüfkörper 1 zubewegt, bis dieses einen Impuls abgibt. Nach Auslösen des Impulses erfolgt sofort eine Bewegung in die Gegenrichtung, bis keine Berührung mehr vorliegt. Anschließend erfolgt nacheinander eine Bewegung um diejenigen Drehachsen, die parallel zu der Grundfläche der Meß­ stelle liegen. Durch die Auswertung der Stellen, an denen Berührungsimpulse erzeugt werden, werden die Winkel, die die Spindelachse bzw. der Mittelstab 3 des Abtastor­ gans mit der Grundfläche bildet, ermittelt. Die Stellung der Spindelachse wird dabei mit Hilfe des Steueralgorithmus solange iterativ korrigiert, bis die Achse des Mittelsta­ bes 3 senkrecht auf der Grundfläche steht, wie dies in Fig. 2 gezeigt ist.Then a coordinate direction is selected first, e.g. B. the translatori cal coordinate direction perpendicular to the base of the measuring point (see. Fig. 2). Then the scanning element is moved in a straight line towards the test specimen 1 until it emits a pulse. After triggering the impulse, there is an immediate movement in the opposite direction until there is no more contact. Subsequently, there is a successive movement around those axes of rotation which are parallel to the base of the measuring point. By evaluating the points at which touch pulses are generated, the angles that the spindle axis or the central rod 3 of the scanning gate forms with the base are determined. The position of the spindle axis is corrected iteratively with the aid of the control algorithm until the axis of the center rod 3 is perpendicular to the base surface, as shown in FIG. 2.

Anschließend erfolgt eine Annäherung des Abtastorgans 2 an die Seitenwand 7 in Fig. 2. Dabei wird die Winkelstellung zur Grundfläche 9 der Meßstelle wieder überprüft und gegebenenfalls korrigiert.Then the scanning element 2 approaches the side wall 7 in FIG. 2. The angular position to the base 9 of the measuring point is checked again and corrected if necessary.

In einem dritten Schritt wird das Abtastorgan an die weitere Seitenwand 8 in Fig. 2 an­ genähert. Die bisher eingestellten Lagen werden dabei nochmals geprüft und gegebe­ nenfalls mit Hilfe des Steueralgorithmus iterativ korrigiert. In a third step, the scanning element is brought closer to the further side wall 8 in FIG. 2. The positions previously set are checked again and if necessary corrected iteratively using the control algorithm.

Am Ende dieser Prozedur befindet sich das Abtastorgan dann in seiner Referenzstel­ lung für die betreffende Meßstelle, so daß die Lage-Istwerte des Abtastorgans 2 für alle sechs Koordinaten genau bekannt sind.At the end of this procedure, the scanning element is then in its reference position for the measuring point in question, so that the actual position values of the scanning element 2 for all six coordinates are known exactly.

In dieser Stellung werden dann die die Lage der Vorrichtung repräsentierenden Para­ meter, vorzugsweise die variablen Stellgrößen der kinematischen Struktur, z. B. die Meßwerte der Strebenlängen oder die Stellung der Linearmotoren der Hexapod- Lagerung erfaßt, für die betreffende Meßstelle gespeichert und den Ist-Werten des Abtastorgans für die betreffende Meßstelle zugeordnet.In this position, the para representing the position of the device meters, preferably the variable manipulated variables of the kinematic structure, e.g. B. the Measured values of the strut lengths or the position of the linear motors of the hexapod Storage recorded, saved for the measuring point concerned and the actual values of the Assigned sensing element for the measuring point concerned.

Dieser Vorgang der Datenerfassung wird für mehrere Meßstellen mit demselben Ab­ tastorgan 2 an der bewegbaren Vorrichtung im voll montierten Zustand durchgeführt.This process of data acquisition is carried out for several measuring points with the same sensing element 2 on the movable device in the fully assembled state.

Da die konstruktive Auslegung der bewegbaren Vorrichtung grundsätzlich bekannt ist, läßt sich ein das Bewegungsverhalten abbildendes Gleichungssystem aufstellen, in dem die fertigungs- bzw. montagebedingten Fehlergrößen als unbekannte Korrektur­ größen enthalten sind. Dieses Gleichungssystem kann in einem Korrekturmodul in die Steuervorrichtung integriert werden. Durch Einsetzen der für die einzelnen Meßstellen erfaßten Lageparameter lassen sich unter Berücksichtigung der Ist-Werte für das Ab­ tastorgan bei Abtastung einer ausreichenden Anzahl von Meßstellen die Korrektur­ werte durch Lösung des Gleichungssystems bestimmen.Since the design of the movable device is basically known, a system of equations depicting the movement behavior can be set up, in which the manufacturing or assembly-related error sizes as an unknown correction sizes are included. This system of equations can be converted into a correction module Control device can be integrated. By inserting the for the individual measuring points Position parameters recorded can be taken into account taking the actual values for the Ab feel the correction when scanning a sufficient number of measuring points determine values by solving the system of equations.

Die ermittelten Korrekturwerte werden dann in einem Speicher der Steuervorrichtung gespeichert. Von dort stehen sie für die mit der Steuerung zu verwirklichenden Koor­ dinaten-Transformationen J bzw. T zur Verfügung, so daß auf diese Weise fertigungs- und montagebedingte Lagetoleranzen von das Bewegungsverhalten der Vorrichtung beeinflussenden Geometrieparametern in der Steuerung kompensiert werden.The determined correction values are then stored in a memory of the control device saved. From there they stand for the Koor to be realized with the control dinate transformations J and T are available, so that and assembly-related positional tolerances of the movement behavior of the device influencing geometry parameters are compensated in the control.

In einer alternativen Ausführungsform wird anstelle des in definierter Lage befestigten, geometrisch genau bekannten Prüfkörpers ein Werkstück, beispielsweise eine Me­ tallplatte, in genau definierter Lage in der bewegbaren Vorrichtung aufgespannt und an mehreren Meßstellen einer Kalibrierbearbeitung unterworfen. In diesem Fall wird als Prüforgan ein Bearbeitungswerkzeug, beispielsweise im Fall einer Hexapod- Werkzeugmaschine, ein Schaftfräser verwendet, der in die Hauptspindel eines relativ zu dem Werkstück bewegbaren Teils der bewegbaren Vorrichtung eingespannt ist.In an alternative embodiment, instead of the fixed in a defined position, a workpiece, for example a Me, which is known geometrically precisely tallplatte, clamped in a precisely defined position in the movable device and subjected to calibration processing at several measuring points. In this case a processing tool as a test organ, for example in the case of a hexapod  Machine tool, an end mill used in the main spindle of a relative is clamped to the workpiece movable part of the movable device.

Mit dem Schaftfräser werden dann eine Anzahl von kreisförmigen Kalibrierausneh­ mungen bzw. an dem als Meßplatte fungierenden Werkstück hergestellt, die jeweils eine Meßstelle im Sinne des ersten Ausführungsbeispiels darstellen. Für jede Meß­ stelle wird das Bearbeitungswerkzeug ausschließlich geradlinig entlang einer Vor­ schubachse in das Werkstück vorgetrieben, bis der Vorschub an einer Endposition eingestellt wird. In dieser Stellung werden, wie in dem ersten Ausführungsbeispiel die die Lage der bewegbaren Vorrichtung repräsentierenden Parameter, beispielsweise die Stellgrößen der einzelnen Vorschubantriebe erfaßt und der betreffenden Meßstelle zugeordnet gespeichert. Dieser Vorgang wird wieder für eine Vielzahl von Meßstellen wiederholt, wobei die Vorschubachsen für verschiedene Meßstellen auch zueinander geneigt werden können.A number of circular calibrations are then made with the end mill mung or made on the workpiece acting as a measuring plate, each represent a measuring point in the sense of the first embodiment. For every measurement the machining tool is only rectilinear along a line thrust axis driven into the workpiece until the feed at an end position is set. In this position, as in the first embodiment parameters representing the position of the movable device, for example the manipulated variables of the individual feed drives are recorded and the measuring point concerned assigned saved. This process is again for a large number of measuring points repeated, the feed axes for different measuring points also to each other can be inclined.

Im Unterschied zu dem ersten Ausführungsbeispiel erfolgt die Bestimmung der Lage- Ist-Werte des Prüforgans in den Koordinatenrichtungen durch eine genaue Vermes­ sung der Kalibrierbearbeitungen zueinander. Zur Bestimmung der translatorischen Lageparameter werden die Mittelpunkte der gefrästen Aussparungen herangezogen. Aus der Neigung des Bodens der Aussparung lassen sich zwei weitere rotatorische Koordinaten bestimmen, so daß insgesamt jeder Aussparung fünf Koordinatenwerte zugeordnet werden können. Die fehlende sechste Koordinate kann während der Kali­ brierbearbeitung mit einer zusätzlichen Meßeinrichtung, z. B. unter Verwendung eines Spiegels, und Messung der Ablenkung eines Laserstrahls bestimmt wird. In diesem Fall wird die Entkopplung der resultierenden Gleichungen zur Berechnung der Korrek­ turwerte in gleicher Weise erreicht, wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel.In contrast to the first embodiment, the position is determined Actual values of the test device in the coordinate directions through an exact measurement solution of the calibration processing to each other. To determine the translational The center points of the milled recesses are used for location parameters. From the inclination of the bottom of the recess, two more rotary ones can be made Determine coordinates so that a total of five coordinate values for each recess can be assigned. The missing sixth coordinate can occur during the potash processing with an additional measuring device, e.g. B. using a Mirror, and measurement of the deflection of a laser beam is determined. In this Case is the decoupling of the resulting equations for calculating the correction achieved in the same way as in the first embodiment.

Wird auf die Bestimmung der sechsten Koordinate verzichtet, ist das resultierende Gleichungssystem ebenfalls lösbar, jedoch vergrößert sich der Restfehler etwas.If the determination of the sixth coordinate is dispensed with, the result is Equation system also solvable, but the residual error increases somewhat.

Claims (19)

1. Verfahren zur Kalibrierung einer bewegbaren Vorrichtung mit mindestens ei­ nem teilweise unbestimmten Geometrieparameter mit den folgenden Verfah­ rensschnritten:
  • 1. Anordnen eines Prüfkörpers in der zu kalibrierenden, montierten Vorrichtung;
  • 2. Anbringen eines Prüforgans an einem relativ zu dem Prüfkörper bewegbaren Teil der Vorrichtung, zum Zusammenwirken mit dem Prüfkörper an mehreren Meßstellen;
  • 3. Bewegen der Vorrichtung, bis das Prüforgan eine definierte Lage bezüglich ei­ ner Meßstelle einnimmt;
  • 4. Erfassen der die Lage der Vorrichtung repräsentierenden Parameter an dieser Meßstelle und Zuordnen dieser Lageparameter zu der Meßstelle;
  • 5. Wiederholen der Verfahrensschritte (3) und (4) für weitere Meßstellen;
  • 6. Ermittlung von Korrekturgrößen für das Bewegungsverhalten der Vorrichtung beeinflussende Geometrieparameter durch Einsetzen der für die Meßstellen erfaßten Lageparameter in ein Gleichungssystem, das das Bewegungsverhal­ ten der Vorrichtung repräsentiert;
  • 7. Korrigieren der Geometrieparameter des Gleichungssystems mit den Korrek­ turwerten.
1. Method for calibrating a movable device with at least one partially undefined geometry parameter using the following procedural steps:
  • 1. Placing a test specimen in the assembled device to be calibrated;
  • 2. Attaching a test device to a part of the device which can be moved relative to the test body, for cooperation with the test body at several measuring points;
  • 3. Moving the device until the test organ assumes a defined position with respect to a measuring point;
  • 4. Detecting the parameters representing the position of the device at this measuring point and assigning these position parameters to the measuring point;
  • 5. repeating the process steps (3) and (4) for further measuring points;
  • 6. Determination of correction variables for the movement behavior of the device influencing geometry parameters by inserting the position parameters acquired for the measuring points into an equation system which represents the movement behavior of the device;
  • 7. Correct the geometry parameters of the system of equations with the correction values.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein in seinen Ab­ messungen bekannter Prüfkörper an der Vorrichtung angeordnet wird; als Prüforgan ein Abtastorgan verwendet wird, das eine ihm eigene Referenzstellung aufweist; und die Vorrichtung bewegt wird, bis das Abtastorgan an einer als Abtaststel­ le des Prüfkörpers ausgebildeten Meßstelle seine ihm eigene Referenzstellung ein­ nimmt.2. The method according to claim 1, characterized in that one in its Ab measurements of known test specimens is arranged on the device; a scanning element is used as the test element, which has its own reference position having; and the device is moved until the scanning member at a scanning point le of the test specimen formed its own reference position takes. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Abta­ storgan verwendet wird, das bei Auslenkung einen Impuls abgibt, und daß zur Annä­ herung an die Referenzposition des Abtastorgans bezüglich einer ausgewählten Ko­ ordinatenrichtung das Abtastorgan nach Aussendung eines Impulses zurückbewegt wird, bis keine Auslenkung mehr vorliegt.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that a Abta storgan is used, which gives a pulse when deflected, and that for Annä to the reference position of the scanning element with respect to a selected Ko  ordinate direction the scanning element moves back after sending a pulse until there is no more deflection. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuervor­ richtung zur Bewegung der bewegbaren Vorrichtung mit dem Abtastorgan derart ge­ koppelt ist, daß erstere in Abhängigkeit der von dem Abtastorgan erzeugten Impulse bezüglich der jeweiligen Koordinatenrichtung bewegt wird.4. The method according to claim 3, characterized in that a Steueror direction for moving the movable device with the scanning member ge is coupled that the former depending on the pulses generated by the sensing element is moved with respect to the respective coordinate direction. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine translatorische Koordinate als Referenzposition des Abtastorgans ange­ fahren wird und anschließend diejenigen rotatorischen Koordinaten bestimmt werden, deren Achsen in einer Normalebene der zunächst angefahrenen translatorischen Ko­ ordinate liegen.5. The method according to any one of claims 2 to 4, characterized in that First, a translational coordinate is specified as the reference position of the scanning element will drive and then those rotary coordinates are determined, whose axes are in a normal plane of the translatory Ko first approached ordinate lie. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Abtastorgan zur Erfassung von allen sechs Raumkoordinaten verwendet wird.6. The method according to any one of claims 2 to 5, characterized in that a scanning element is used to record all six spatial coordinates. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein Prüfkörper verwendet wird, der mehrere Meßstellen aufweist.7. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that a test specimen is used which has several measuring points. 8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Werkstück in definierter Lage in der Vorrichtung als Prüfkörper angeordnet wird;
ein Bearbeitungswerkzeug, beispielsweise ein Fräswerkzeug als Prüforgan an der Vorrichtung angebracht wird;
an den Meßstellen mit dem Bearbeitungswerkzeug Kalibrierbearbeitungen an dem Werkstück vorgenommen werden und an jeweiligen Endpositionen des Bearbeitungs­ werkzeuges an den Meßstellen die Erfassung der die Lage der Vorrichtung repräsen­ tierenden Parameter erfolgt; und daß nach den Kalibrierbearbeitungen diese an dem Werkstück vermessen werden zur Bestimmung der Lage der Meßstellen zur Ermitt­ lung der Korrekturgrößen.8. The method according to claim 1, characterized in that a workpiece is arranged in a defined position in the device as a test specimen;
a machining tool, for example a milling tool, is attached to the device as a test organ;
at the measuring points with the machining tool, calibration operations are carried out on the workpiece and at the respective end positions of the machining tool at the measuring points, the detection of the parameters representing the position of the device takes place; and that after the calibration operations, these are measured on the workpiece to determine the position of the measuring points for determining the correction values. 9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß als Kalibrierbear­ beitung eine kreisförmige Aussparung hergestellt wird. 9. The method according to claim 8, characterized in that as calibration bar processing a circular recess is made.   10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die räumliche La­ ge des Mittelpunktes des Bodens der Aussparung vermessen wird, sowie die Neigung des Bodens in zwei Richtungen.10. The method according to claim 9, characterized in that the spatial La ge of the center of the bottom of the recess is measured, as well as the inclination of the floor in two directions. 11. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Koordinate für die jeweilige Meßstelle durch eine separate Meßeinrich­ tung während der Kalibrierbearbeitung ermittelt wird.11. The method according to any one of claims 8 to 10, characterized in that a further coordinate for the respective measuring point by a separate measuring device device is determined during calibration processing. 12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Kalibrierbearbeitungen entlang einer einachsigen, geradlinigen Vorschubrichtung des Bearbeitungswerkzeuges in die Endposition erfolgt.12. The method according to any one of claims 9 to 11, characterized in that calibration processing along a uniaxial, straight feed direction the machining tool into the end position. 13. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Vermessung des Werkstückes außerhalb der Vorrichtung erfolgt.13. The method according to any one of claims 8 to 12, characterized in that the workpiece is measured outside the device. 14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine Kalibrierbearbeitung an einer Meßstelle unter einem Anstellwinkel der Vorschubbewegung gegenüber einer Aufspannebene des Werkstückes ausgeführt wird, der sich von dem Anstellwinkel einer weiteren Meßstelle unterscheidet.14. The method according to any one of claims 9 to 13, characterized in that at least one calibration processing at a measuring point at an angle of attack Feed movement against a clamping plane of the workpiece which differs from the angle of attack of another measuring point. 15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungssteuerung der Vorrichtung durch ein Bewegungsablaufprogramm er­ folgt, wobei die mit dem Ablaufprogramm definierten Bewegungen in einem ersten Koordinatensystem, vorzugsweise einem orthogonalen Koordinatensystem, vorgege­ ben sind, hingegen die Stellglieder der Vorrichtung ein zweites Koordinatensystem, beispielsweise nicht-orthogonales Koordinatensystem bilden, und daß die Koordina­ tentransformation zwischen den beiden Koordinatensystemen die Korrekturwerte be­ rücksichtigt.15. The method according to any one of claims 1 to 14, characterized in that the movement control of the device through a movement sequence program follows, with the movements defined with the sequence program in a first Coordinate system, preferably an orthogonal coordinate system ben, whereas the actuators of the device are a second coordinate system, for example form non-orthogonal coordinate system, and that the coordinate transformation between the two coordinate systems be the correction values considered. 16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß als Stellgrößen der Stellglieder der Vorrichtung als die Lage der Vorrichtung repräsen­ tierenden Parameter verwendet werden. 16. The method according to any one of claims 1 to 15, characterized in that Represent as manipulated variables of the actuators of the device as the position of the device parameters are used.   17. Einrichtung zur Kalibrierung einer Vorrichtung nach zumindest einem der An­ sprüche 1 bis 16, gekennzeichnet durch ein Prüforgan in Einspannung in der Vor­ richtung und einen mit der Vorrichtung verbindbaren Prüfkörper mit Meßstellen, die mehrachsige Meßstellen bilden, und einer Positionserfassungseinrichtung für das Prüforgan unter Einsatz einer Maschinensteuerung der Vorrichtung.17. Device for calibrating a device according to at least one of the An Proverbs 1 to 16, characterized by a test device in the pre-clamping direction and a test body connectable to the device with measuring points, the form multiaxial measuring points, and a position detection device for the Test organ using machine control of the device. 18. Einrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Prüforgan ein Meßtaster (2) mit kugelförmigen, in einer Ebene angeordneten Taststücken (5) ist, wobei die Taststücke (5) äquidistant zu einer Hauptachse der Vorrichtung, vorzugs­ weise unter einem Winkelabstand von 120° in Umfangsrichtung, angeordnet sind.18. The device according to claim 17, characterized in that the test element is a probe ( 2 ) with spherical, in one plane arranged probe pieces ( 5 ), the probe pieces ( 5 ) equidistant to a main axis of the device, preferably at an angular distance of 120 ° in the circumferential direction. 19. Einrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Prüforgan ein Bearbeitungswerkzeug für ein Probewerkstück ist, zur Schaffung von Meßstellen an dem Probewerkstück unter einachsigem Vorschub des Bearbeitungswerkzeugs zur externen Vermessung der Meßstellen des Probewerkstückes.19. The device according to claim 17, characterized in that the test organ is a processing tool for a test workpiece, for creating measuring points on the test workpiece with uniaxial feed of the processing tool external measurement of the measuring points of the test workpiece.
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