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DE19840927A1 - Laser radiation source of high power density and high energy for material processing - Google Patents

Laser radiation source of high power density and high energy for material processing

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DE19840927A1
DE19840927A1 DE1998140927 DE19840927A DE19840927A1 DE 19840927 A1 DE19840927 A1 DE 19840927A1 DE 1998140927 DE1998140927 DE 1998140927 DE 19840927 A DE19840927 A DE 19840927A DE 19840927 A1 DE19840927 A1 DE 19840927A1
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Abstract

Laserstrahlungsquelle hoher Leistungsdichte und hoher Energie, die vorzugsweise zur Materialbearbeitung verwendet werden kann. Laser radiation source of high power density and high energy, which can be preferably used for material processing. Es ist eine optische Einheit (8) zur Formung des Laserstrahls auf einer Bearbeitungsfläche (81) vorgesehen. It is an optical unit (8) for shaping the laser beam on a working surface (81). Es werden mehrere direkt modulierbare diodengepumpte Fiberlaser (Faserlaser) (2) verwendet, deren Ausgänge (13) in einem Bündel angeordnet sind und daß die aus den Lasern (2) austretenden Strahlen (13) mittels der optischen Einheit (8) so zusammengefaßt und gebündelt werden, daß die Strahlen in einem Punkt auf einer Bearbeitungsfläche (81) auftreffen. It can be used more directly modulated diode pumped fiber lasers (fiber laser) (2) whose outputs (13) are arranged in a bundle and that from the lasers (2) emergent beams (13) by means of the optical unit (8) so combined and bundled be that the beams are incident at a point on a machining surface (81).

Description

Die Erfindung betrifft eine Laserstrahlungsquelle hoher Leistungsdichte und hoher Energie, vorzugsweise zur Materialbearbeitung, die mehrere diodengepumpte Fiberlaser aufweist, die über Abschlußstücke mit einer optischen Einheit verbunden sind. The invention relates to a laser radiation source of high power density and high energy, preferably for material processing, having a plurality of diode-pumped fiber lasers, which are connected by end pieces with an optical unit. Die optische Einheit enthält Mittel zur Formung des Laserstrahls, eine Modulationseinrichtung und eine Übertragungseinheit zur Übertragung der Laserstrahlen auf eine Bearbeitungsfläche. The optical unit includes means for shaping the laser beam, a modulation device and a transmission unit for transmitting the laser beams onto a working surface. Weiterhin sind Mittel zum Unschädlichmachen der unerwünschten Laserstrahlung, die auf der Bearbeitungsfläche keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, und eine Anordnung zum Entfernen des von der Bearbeitungsfläche abgetragenen Materials vorgesehen. Further, means for rendering harmless the undesired laser radiation to produce on the processing surface no editing effect, and provided an arrangement of the eroded from the processing surface of the material for removing.

Bei der Materialbearbeitung mit gebündelten Laserstrahlen gibt es Anwendungsfälle beispielsweise in der Drucktechnik bei der Erstellung von Druckformen für den Tiefdruck, bei denen Strukturen, nämlich sogenannte Näpfchen, in der Oberfläche eines Kupferzylinders erzeugt werden müssen, die hohe Anforderungen an den gebündelten Energiestrahl bezüglich seiner Strahlgeometrie und der Fokussierbarkeit des Strahls stellen. During material processing with bundled laser beams, there are applications, for example in the printing industry in the preparation of printing plates for intaglio printing, in which structures, namely so-called wells have to be generated in the surface of a copper cylinder, the high demands on the focused energy beam with respect to its beam geometry and provide the focusing ability of the beam. Gleichzeitig wird eine große Stahlleistung benötigt. At the same time a large steel capacity is required. Es sind aus der Fachliteratur und aus der Patentliteratur Anordnungen bekannt, bei denen versucht wird, einen einzelnen Laserstrahl zu bündeln und damit Material abzutragen. There are known from the literature and from the patent literature arrangements in which an attempt is made to combine a single laser beam and thereby remove material. Mit einer solchen Laseranordnung, die aus einem einzigen Festkörperlaser besteht, ist es zwar möglich, Tiefdruckzylinder mit einer Zinkoberfläche zu bearbeiten, will man aber die Vorteile der Kupferoberfläche nutzen und bei Kupferzylindern bleiben und diese mit einem Laser gravieren, ist es unabdingbar, die zum Eindringen in die Oberfläche des Kupfers erforderliche hohe Leistungsdichte und die zum Aufschmelzen des Kupfers erforderliche hohe Energie bei gleichzeitig präzise steuerbarer Strahlgeometrie aufzubringen. With such a laser array that consists of a single solid-state laser, it is possible to edit gravure cylinder with a zinc surface, but you want to take advantage of the copper surface and stay with copper cylinders and engrave them with a laser, it is essential that the penetration applying to the surface of the copper required high power density and the time required for melting of copper at the same time precisely controllable high energy beam geometry. Dies ist aber bisher mit Festkörperlasern nicht gelungen. This, however, has not yet succeeded with solid-state lasers.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Laserstrahlungsquelle extrem hoher Leistungsdichte und sehr hoher Energie zu schaffen. Object of the present invention is therefore to provide a laser radiation source extremely high power density and very high energy. Die Nachteile der bekannten Anordnungen und Verfahren sollen grundsätzlich vermieden werden. The disadvantages of the known arrangements and procedures are to be avoided. Außerdem soll es möglich sein, sowohl die Strahlform, was die Flexibilität, Präzision und die Strahlpositionierung betrifft, als auch die Strahlleistung selbst bei wesentlich höheren Laserleistungen exakt zu steuern. In addition, it should be possible to have the beam shape, in terms of flexibility, precision and beam positioning, and the beam power, even at much higher laser powers to control precisely.

Diese Aufgabe wird durch die erfindungsgemäße Laserstrahlungsquelle gemäß Anspruch 1 gelöst. This object is achieved by the inventive laser radiation source according to claim. 1 Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen 2 bis 101 beschrieben. Advantageous developments of the invention are described in the subclaims 2 to the one hundred and first In der parallellaufenden, gleichzeitig mit der vorliegenden Anmeldung eingereichten deutschen Patentanmeldung "Verfahren und Anordnung zur Materialbearbeitung mittels Laserstrahlen", Zeichen der Anmelderin 98/1035, wird eine solche Laserstrahlungsquelle beschrieben, welche die Nachteile der bekannten Anordnungen und Verfahren grundsätzlich vermeidet. In the parallel-running, concurrently filed with the present application, German patent application "Method and apparatus for material processing by means of laser beams," mark of the Applicant 98/1035, such a source of laser radiation is described, which avoids the disadvantages of the known arrangements and methods in principle. Außerdem ist es möglich, sowohl die Strahlform, was die Flexibilität, Präzision und die Strahlpositionierung betrifft, als auch die Strahlleistung selbst bei wesentlich höheren Laserleistungen exakt zu steuern. Moreover, it is possible to have the beam shape, in terms of flexibility, precision and beam positioning, and the beam power, even at much higher laser powers to control precisely.

Die Laserstrahlungsquelle besteht aus mehreren diodengepumpten Fiberlasern, auch Faserlaser genannt, deren Ausgangsstrahlenbündel mittels der optischen Einheit am Bearbeitungsort nebeneinander und/oder übereinander oder in einem Punkt oder Bündel auftreffen und somit die Erzeugung eines in Form und Größe gezielt variablen Bearbeitungsflecks auch bei sehr hohen Laserleistungen und extrem hohen Leistungsdichten ermöglichen. The laser radiation source comprises a plurality of diode-pumped fiber lasers, also called fiber laser, the output beams impinge side by side by means of the optical unit at the machining and / or above one another or in a point or bundles and thus the generation of a selectively variable in size and shape processing spot even at very high laser powers and allow extremely high power densities. Diese Fiberlaser können gemäß der Erfindung als Dauerstrichlaser oder als gütegeschaltete Laser, auch Q-switch- Laser genannt, ausgeführt sein, wobei sie in vorteilhafter Weise intern oder extern moduliert werden und/oder einen zusätzlichen Modulator aufweisen. These fiber lasers can be constructed according to the invention as a continuous wave laser or a Q-switched lasers, also called Q-switch laser, wherein they are modulated internally or externally in an advantageous manner and / or have an additional modulator. Q-switch- Laser haben den Vorteil, daß sie kurze Pulse hoher Leistung aussenden, was kurzzeitig zu einer hohen Leistungsdichte führt. Q-switch- lasers have the advantage that they emit short pulses of high power, which briefly leads to a high power density. Es wird im gepulsten Betrieb durch die kurzzeitigen Unterbrechungen im Bearbeitungsvorgang eine vorteilhafte Abführung des geschmolzenen und verdampften Materials ermöglicht. It is caused by the short-term interruptions in the machining operation permits an advantageous transfer of the melted and vaporized material in pulsed operation. Man kann statt der Schaltung der Güte auch mittels interner oder externer Modulation einen gepulsten Betrieb erzeugen. One can generate a pulsed operation of the circuit instead of the quality by means of internal or external modulation. Der Bearbeitungsfleck kann gezielt in Form und Größe verändert werden, indem von den vorgesehenen Lasern verschieden viele zur Formgebung des Bearbeitungsflecks eingeschaltet werden können. The processing spot can be selectively changed in size and shape by a different number can be switched to the shape of the processing spot of the intended lasers. Hierbei ist besonders vorteilhaft, daß die Tiefe der ausgehobenen Näpfchen unabhängig von ihrer Form und Größe durch die Lasererenergie bestimmt werden kann. It is particularly advantageous that the depth of the excavated wells can be determined regardless of their shape and size by the Lasererenergie. Weiterhin kann durch eine Steuerung der Energie der einzelnen Laser jedes beliebige Strahlprofil innerhalb des Bearbeitungsflecks und damit auch innerhalb der Näpfchen erzeugt werden. Further, any beam profile generated within the processing spot and hence within the wells by controlling the power of the individual lasers.

Bei der Materialbearbeitung ist es erwünscht, die Laserenergie mittels Lichtleitfasern möglichst nahe an die Bearbeitungsfläche heranzuführen. During material processing, it is desirable to bring the laser energy by means of optical fibers close as possible to the working surface. Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung gegenüber den bekannten Laserstrahlungsquellen besteht darin, daß das Einkoppeln der Strahlung von einem Festkörperlaser in eine Lichtleitfaser entfallen kann, aber der Ausgang des Fiberlasers, der bereits die Faser darstellt, beugungsbegrenzte Strahlung liefert, die gemäß der Erfindung auf unter 10 µm Fleckdurchmesser fokussiert werden kann, wodurch eine extrem hohe Leistungsdichte bei größtmöglicher Schärfentiefe erreicht wird. An advantage of the present invention over the known laser radiation sources is that the coupling of the radiation can be omitted from a solid state laser into an optical fiber, but the output of the fiber laser, which already represents the fiber diffraction limited, delivers radiation according to the invention to less than 10 microns spot diameter can be focused, whereby an extremely high power density is achieved at the greatest depth of field.

Bei einer herkömmlichen Anordnung mit Festkörperlasern liegt die Größe des Bearbeitungsflecks im Bereich von etwa 100 µm. In a conventional arrangement with solid-state lasers, the size of the processing spot in the range of about 100 microns. Es ergibt sich also bei der vorliegenden Erfindung eine etwa um den Faktor 100 verbesserte Leistungsdichte und eine etwa um den Faktor 100 verbesserte Gestaltungsmöglichkeit des Bearbeitungsflecks. Accordingly, there is in the present invention, an improved approximately by a factor of 100 power density and improved by about a factor of 100 design possibility of the processing spot.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung liegt darin, daß der Wirkungsgrad einer solchen Anordnung mit Fiberlasern wesentlich höher ist, als der Wirkungsgrad von Festkörperlasern, denn für Fiberlaser werden Absorptionswirkungsgrade von über 60% erreicht, die bei herkömmlichen diodengepumpten Festkörperlasern nur bei etwa bei der Hälfte liegen und bei lampengepumpten Festkörperlasern noch geringer sind. A further advantage of the invention is that the efficiency of such an arrangement is much higher with fiber lasers, than the efficiency of solid state lasers, as for fiber laser absorption efficiencies of over 60% are achieved, with conventional diode pumped solid-state lasers only about half lie and are still lower in lamp-pumped solid-state lasers.

Desweiteren ergibt sich bei einer Mehrfachanordnung von Lasern der Vorteil, daß der Ausfall eines Lasers weniger kritisch ist als bei einer einkanaligen Anordnung. Furthermore, results from an array of lasers is an advantage that the failure of a laser is less critical than in a single-channel arrangement. Fällt bei der einkanaligen Anordnung der eine Laser während der Gravur eines Druckzylinders aus, ist der gesamte Druckzylinder unbrauchbar. Falls in the single-channel arrangement of a laser during the engraving of a printing cylinder, the entire printing cylinder is unusable. Fällt aber bei einer Mehrfachanordnung ein Laser aus, dann kann man die Leistung der verbleibenden Laser geringfügig erhöhen, um den Ausfall zu kompensieren. but falls in a multiple arrangement of a laser, then one can increase the power of the remaining laser slightly to compensate for the failure. Nach dem Abschluß der Gravur kann dann der ausgefallene Laser ersetzt werden. After the completion of the engraving of the failed laser can then be replaced.

Die Laserstrahlungsquelle gemäß der Erfindung kann mit Vorteil auch für alle anderen Arten der Materialbearbeitung oder Materialübertragung eingesetzt werden, bei denen es auf hohe Leistungsdichte, hohe Energie und große Präzision oder auch auf hohe optische Auflösung ankommt. The laser radiation source according to the invention can advantageously be used for all other types of material processing or material transfer, which require high power density, high energy and great precision or on high optical resolution. Neben der Gravur von Tiefdruckformen aus Kupfer können andere Materialien wie z. In addition to the engraving of gravure printing plates of copper, other materials such as can. B. alle Metalle, Keramik, Glas, Halbleitermaterialien, Gummi oder Kunststoffe bearbeitet werden und/oder Materialien von speziell präparierten Trägermaterialien abgelöst und auf andere Materialien mit hoher Geschwindigkeit und hoher Präzision übertragen werden. B. be processed all metals, ceramics, glass, semiconductor materials, rubber or plastics and / or materials detached from specially prepared substrates and be transferred to other materials with high speed and high precision. Außerdem können neben unbeschichteten auch mit Masken beschichtete Tiefdruckzylinder, Druckplatten oder Druckzylinder sowie alle Arten von Druckformen mit hoher Geschwindigkeit und mit hoher Auflösung für den Offset-, Hoch-, Sieb-, Flexodruck und alle anderen Druckverfahren hergestellt bzw. bearbeitet werden. Furthermore, can be prepared or processed next uncoated coated with masks gravure printing cylinder, printing plates or printing cylinders as well as all types of printing plates with a high speed and with high resolution for the offset, letterpress, screen-, flexo printing, and any other printing process. Beispielsweise können ebenfalls die für den Druck sehr hoher Auflagen im Offsetdruck verwendeten Offsetdruckplatten mit Metallbeschichtung (Bimetallplatten) und ähnliche Artikel umweltfreundlich bebildert werden, die bisher nur mittels Ätzung hergestellt werden konnten. For example, the offset printing plates used for printing very large editions in offset printing with metal coating (bimetallic) and similar products can be imaged also environmentally friendly, which could only be produced by etching before.

Weiterhin können Materialien bearbeitet werden, die eine magnetisierbare Oberfläche enthalten, indem die durch einen Vormagnetisierungsprozeß großflächig magnetisierten Partien des Materials durch kurzzeitiges Erhitzen ausgewählter Bearbeitungspunkte auf Temperaturen, die über dem Curiepunkt liegen, mittels der Laserstrahlungsquelle gemäß der Erfindung entmagnetisiert werden. Further materials can be processed containing a magnetizable surface by the large area magnetized by a Vormagnetisierungsprozeß parts of the material to be demagnetized by brief heating of selected edit points to temperatures which are above the Curie point by means of the laser radiation source according to the invention. Für Anwendungen in der Drucktechnik kann das in solcher Weise bebilderte Material in Verbindung mit einem entsprechenden Toner als Druckvorlage dienen. For applications in printing, the imaged in such manner material can serve as a master in communication with a corresponding toner.

Die Anwendung der Laserstrahlungsquelle gemäß der Erfindung ist aber nicht auf Anwendungen in der Druckindustrie beschränkt, sondern sie kann überall dort eingesetzt werden, wo es darauf ankommt, mit Lasern bei hoher Auflösung und hoher Geschwindigkeit durch Energieeinstrahlung Material abzutragen oder in seinen Eigenschaften zu verändern. The application of the laser radiation source according to the invention is not limited to applications in the printing industry, but can be used anywhere where it is necessary to remove material with lasers at high resolution and high speed through energy irradiation or change in its properties.

Ein erheblicher Vorteil der Laserstrahlungsquelle gemäß der Erfindung ist, daß sie ein geringes Volumen hat und über eine flexible Verbindung, nämlich den Laserfibern oder angeschlossener Fasern zwischen der Pumpquelle und dem Austritt der Strahlung am Bearbeitungsort verfügt und dadurch alle denkbaren Betriebslagen zuläßt. is a significant advantage of the laser radiation source according to the invention is that it has a small volume and has a flexible connection, namely, the laser fibers or connected fibers between the pump source and the outlet of the radiation at the machining site, thereby allowing all possible operating positions. Deshalb gibt es auch für die Anordnung der Bearbeitungsfläche keine Grenzen, sie kann beliebig angeordnet werden. Therefore, there are no limits for the arrangement of the working surface, it can be arranged as desired.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß die Strahlenbündel der einzelnen Laser mit definierten Werten in Strahldurchmesser, Strahldivergenz, Zentrierung und Winkelrichtung in den Abschlußstücken genau und dauerhaft gefaßt werden können, um eine fertigungs- und servicegerechte Anordnung zu erhalten und die Laserstrahlung gezielt auf die Bearbeitungsfläche zu führen. Another advantage of the invention is that the beams of the individual lasers can be combined with defined values ​​in beam diameter, beam divergence, centering and angular direction in the terminators exactly and permanently in order to obtain a manufacturing and service-oriented arrangement, and the laser radiation specifically to the lead processing surface. In der parallellaufenden, gleichzeitig mit der vorliegenden Anmeldung eingereichten deutschen Patentanmeldung "Abschlußstück für Lichtleitfasern", Zeichen der Anmelderin 98/1037, und in der parallellaufenden, gleichzeitig mit der vorliegenden Anmeldung eingereichten deutschen Gebrauchsmusteranmeldung "Abschlußstück für Lichtleitfasern", Zeichen der Anmelderin 98/1037 GM, sind verschiedene Ausführungsbeispiele für solche Abschlußstücke beschrieben. In the parallel-running, filed simultaneously with the present application German patent application "end piece for optical fibers," number of the applicant 98/1037, and in the parallel-running, filed simultaneously with the present application, the German utility model application "end piece for optical fibers," number of the applicant 98/1037 GM are various embodiments of such terminators described. Die Strahlenbündel können gemäß der Erfindung dabei je nach Anwendungsfall z. The beams may according to the invention, depending on the application, z. B. als parallele Laserstrahlen ausgekoppelt werden, divergieren oder z. B. be coupled out as parallel laser beams diverge or such. B. in einem gewissen Abstand von der Austrittsstelle fokussiert sein. B. be focused at a certain distance from the exit point. Durch diese Abschlußstücke wird die Lage der jeweiligen Faser, aus der die Laserenergie austritt, in dem Abschlußstück (Terminator) genau fixiert und die Lage des austretenden Strahlenbündels genau zu justiert. Through these end pieces the position of the respective fiber from which the laser energy emerges, in the terminating piece (terminator) precisely fixed and adjusts the position of the emergent beam is exactly. Mit dieser genauen Justierung und einer gemäß der Erfindung entsprechend räumlich kleinen Ausführung der Abschlußstücke, die infolge einer besonderen Formgebung zudem noch besonders einfach aneinander gereiht werden können, wird es möglich, die Strahlenbündel mehrerer Fiberlaser so zusammenzufassen und zu bündeln, daß die jeweils gestellte Aufgabe gelöst wird und gleichzeitig eine wirtschaftliche Fertigung sowie eine kostengünstige Wartung der Laserstrahlungsquelle ermöglicht wird. This precise adjustment and a spatially small correspondingly according to the invention execution of the terminators which can be also more particularly simply lined up due to a special design, it is possible, the beams of several fiber lasers so summarize and combine that each set object achieved and by simultaneously economical production and a cost-effective maintenance of the laser radiation source is made possible.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der Fig. 1 bis 14a näher erläutert. The invention is explained in more detail below with reference to FIGS. 1 to 14a. Es zeigen: Show it:

Fig. 1 eine Prinzipdarstellung der Laserstrahlungsquelle, Fig. 1 is a schematic representation of the laser radiation source,

Fig. 2 eine Prinzipdarstellung eines Fiberlasers (Stand der Technik), Fig. 2 is a schematic representation of a fiber laser (prior art)

Fig. 2a eine verkürzte Darstellung der Fiber des Fiberlasers (Stand der Technik), FIG. 2a is a condensed representation of the fiber of the fiber laser (prior art),

Fig. 3 eine Darstellung der optischen Einheit in einer mehrteiligen Aufnahme zu einer Laserstrahlungsquelle mit einer Mehrfachanordnung von Fiberlasern, Fig. 3 is an illustration of the optical unit in a multi-part recording at a laser radiation source having an array of fiber lasers,

Fig. 3a eine perspektivische Darstellung zu der Fig. 3, Fig. 3a shows a perspective view to Fig. 3,

Fig. 3b eine Erweiterungsmöglichkeit zu Fig. 3, FIG. 3b is an enlargement possibility of Fig. 3,

Fig. 3c eine andere Erweiterungsmöglichkeit zu Fig. 3, FIG. 3c another extension possibility to Fig. 3,

Fig. 3d ein Beispiel für eine Mehrfachfassung für mehrere Abschlußstücke, Fig. 3d is an example of a multiple socket for a plurality of terminators,

Fig. 3e eine Linse, die von einem Kühlmittel umflossen wird, Fig. 3e, a lens, which is flowed around by a coolant,

Fig. 3f einen Schnitt durch eine Fassung für die Objektivlinse, Fig. 3f shows a section through a holder for the objective lens,

Fig. 4 eine Variante zur Fig. 3, Fig. 4 shows a variant of Fig. 3,

Fig. 5 eine weitere Variante zu Fig. 3 und 4, Fig. 5 shows a further variant of FIG. 3 and 4,

Fig. 6 ein Beispiel für ein Abschlußstück mit quadratischem Querschnitt, Fig. 6 shows an example of an end piece with a square cross-section,

Fig. 6a ein Querschnitt durch das Abschlußstück gemäß Fig. 6, FIG. 6a shows a cross section through the end piece of FIG. 6,

Fig. 7 ein Beispiel für ein Abschlußstück mit rechteckförmigem Querschnitt und einer trapezförmigen Draufsicht, Fig. 7 shows an example of an end piece with a rectangular cross section and a trapezoidal plan view,

Fig. 7a einen Längsschnitt durch das Abschlußstück gemäß Fig. 7, Fig. 7a shows a longitudinal section through the end piece of FIG. 7,

Fig. 7b einen Querschnitt durch das Abschlußstück gemäß Fig. 7, Fig. 7b shows a cross section through the end piece of FIG. 7,

Fig. 8 eine Anordnung mit einem elektrooptischen Modulator, Fig. 8 shows an arrangement with an electro-optical modulator,

Fig. 9 eine Draufsicht auf einen vierkanaligen akustooptischen Modulator, Fig. 9 is a plan view of a four-channel acousto-optical modulator,

Fig. 9a einen Schnitt durch den Modulator nach Fig. 9, Fig. 9a shows a section through the modulator of FIG. 9,

Fig. 10 einen prinzipiellen Strahlengang für eine Draufsicht zu Fig. 3, Fig. 10 shows a basic light path for a top view of FIG. 3,

Fig. 11 einen prinzipiellen Strahlengang für eine Draufsicht zu Fig. 4, Fig. 11 is a principal beam path for a plan view of Fig. 4,

Fig. 12 einen prinzipiellen Strahlengang für eine Draufsicht zu Fig. 5, Fig. 12 shows a basic light path for a top view of FIG. 5,

Fig. 13 einen Strahlengang für Abschlußstücke, die unter einem Winkel zueinander angeordnet sind, Fig. 13 shows a beam path for end pieces which are arranged at an angle to each other,

Fig. 14 eine Variante der Fig. 13, die einen mehrkanaligen akustooptischen Modulator enthält, und Fig. 14 shows a variant of Fig. 13, which includes a multi-channel acousto-optical modulator, and

Fig. 14a ein Detail zu Fig. 14. Fig. 14a a detail of Fig. 14.

In Fig. 1 ist eine Laserstrahlungsquelle 1 dargestellt, die aus mehreren, gemäß der Erfindung vorzugsweise als Module ausgeführten, diodengepumpten Fiberlasern bzw. Faserlasern S ( 2 ) besteht, die von einer vorzugsweise modularen Versorgung 32 mit elektrischer Energie beaufschlagt werden, die teilweise in Laserstrahlung umgesetzt wird. In Fig. 1 is a laser radiation source 1 is shown, which consists of several, preferably constructed in accordance with the invention as modules, diode-pumped fiber lasers and fiber lasers S (2), which are acted upon by a preferably modular supply 32 with electrical energy, some of which in the laser radiation is implemented. Weiterhin ist eine Steuerung 33 vorgesehen, über die die Modulation der Strahlung vorgenommen wird und die für das Zusammenwirken der Laserstrahlungsquelle mit ihrer Peripherie sorgt. Furthermore, a controller 33 is provided, via which the modulation of the radiation is performed, and which provides for the interaction of the laser radiation source with its periphery. Die Ausgangsstrahlen der Laser treten am Strahlungseingang 9 in die optische Einheit 8 ein und am Strahlungsausgang 10 aus der optischen Einheit aus. The output beams of the laser radiation input at the contact 9 in the optical unit 8 and the output radiation 10 from the optical unit. Durch die optischen Einheit 8 wird die Laserstrahlung zu einem Bearbeitungsfleck 24 auf einer Bearbeitungsfläche 81 geformt. By the optical unit 8, the laser radiation is shaped into a processing spot 24 on a working surface 81st

In den Fig. 2 und 2a wird der prinzipielle Aufbau einer Fiberlaser-Anordnung 2 , auch Faserlaser genannt, gezeigt. In Figs. 2 and 2a of the basic structure of a fiber laser array 2, also called fiber laser is shown. In Fig. 2 wird die Energie einer Pumpquelle wie z. In FIG. 2, the energy of a pumping source, such is. B. einer Laserdiode, hier Pumpquelle 2 genannt, über eine Einkoppeloptik 3 zu einem geeigneten Pumpfleck 4 geformt und in die Laserfiber 5 eingekoppelt. As a laser diode, here called pump source 2, formed through a coupling lens 3 to a suitable pump spot 4 and coupled into the laser fiber. 5 Solche Pumpquellen sind z. Such pump sources are, for. B. in der parallel laufenden deutschen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen P 196 03 704 beschrieben. As described in the parallel German patent application with the file number P 196 03 704th Typische Pumpquerschnitte der Laserfibern liegen etwa zwischen 100 µm und 600 µm bei einer numerischen Apertur von etwa 0,4. Typical cross sections of the pumping laser fibers are between about 100 microns and 600 microns, with a numerical aperture of about 0.4. Der Laserfiber 5 ist auf der Einkoppelseite 6 mit einem Einkoppelspiegel 7 versehen, der die Pumpstrahlung ungehindert durchläßt, für die Laserstrahlung aber eine 100%ige Reflexion aufweist. The laser fiber 5 is provided on the coupling side 6 with a coupling mirror 7 which transmits the pump radiation freely, but has a 100% reflection of the laser radiation. Der Einkoppelspiegel 7 kann mit einer geeigneten Halterung oder durch Kleben an dem Faserende befestigt sein, er kann aber auch durch direktes Aufdampfen einer geeigneten Schicht, wie sie bei Einkoppelspiegeln für Laser verwendet wird, auf das Faserende realisiert werden. The coupling mirror 7 may be attached to a suitable bracket or by bonding at the fiber end, but it may also by direct vapor deposition as used in laser Einkoppelspiegeln for a suitable layer, can be realized on the fiber end. Auf der Auskoppelseite 11 der Laserfiber 5 ist ein für die Laserstrahlung teildurchlässiger Auskoppelspiegel 12 angebracht, durch den die Laserstrahlung 13 ausgekoppelt wird. On the coupling-out 11 of the laser fiber 5 a partially transmissive for the laser radiation out-coupling mirror 12 is mounted, through which the laser radiation is coupled. 13 In vorteilhafter Weise weist der Auskoppelspiegel für die Pumpstrahlung eine 100%ige Reflexion auf. Advantageously, the output mirror for the pump radiation has a 100% reflection. Hierdurch wird die restliche Pumpstrahlung wieder zurück in die Lichtleitfaser reflektiert, was vorteilhaft ist, da die Pumpenergie besser ausgenutzt wird und außerdem nicht bei der Anwendung der Laserstrahlung stört. In this way, the remaining pump radiation is reflected back into the optical fiber, which is advantageous because the pump energy is utilized better and also does not interfere with the application of laser radiation. Der Auskoppelspiegel kann wie der Einkoppelspiegel, ebenfalls durch Aufdampfen hergestellt werden. The output mirror can be also prepared as the input mirror by vapor deposition.

In Fig. 2a ist der Einkoppelvorgang der Pumpstrahlung in den Pumpquerschnitt 14 der Laserfiber 5 näher dargestellt. In Fig. 2a the Einkoppelvorgang the pump radiation into the pumping cross-section 14 of the laser fiber is shown in detail. 5 Die Energie im Pumpfleck 4 regt auf ihrem Weg durch die Faser die Laserstrahlung im Kern 15 der Laserfiber 5 an. The energy in the pump spot 4 stimulates on their way through the fiber to the laser radiation in the core 15 of the laser fiber. 5 Der Pumpkern 16 ist von einem Mantel 17 umgeben. The pump core 16 is surrounded by a jacket 17th Der etwa 5 µm bis 10 µm starke Kern der Laserfiber ist vorwiegend mit Seltenen Erden dotiert. Of about 5 microns to 10 microns thick core of the laser fiber is predominantly doped with rare earths. Infolge des gezielt hergestellten, sehr geringen Faserkerndurchmessers liefert der Fiberlaser am Austritt eine praktisch beugungsbegrenzte Laserstrahlung 13 . As a result of specifically produced very small fiber core diameter of the fiber lasers supplies at the outlet a practically diffraction-limited laser radiation. 13 Man kann man an den aktiven Ausgang von Fiberlasern auch passive Fasern 28 ankoppeln. It can couple to the active output of fiber lasers and passive fibers 28th

In Fig. 3 ist ein Schnitt durch ein Anwendungsbeispiel für eine mehrteilige Aufnahme zur Adaption der optischen Einheit einer Laserstrahlungsquelle mit sechzehn Fiberlasern, die über Abschlußstücke 26 angekoppelt sind, und mit zwei mehrkanaligen akustooptischen Modulatoren 34 gezeigt. In Fig. 3 a section through an application example of a multi-part receptacle for adaptation of the optical unit of a laser radiation source having sixteen fiber lasers which are coupled via terminators 26, and two multi-channel acousto-optical modulators 34th Die Aufnahme enthält Fassungen 29 ( Fig. 3a) mit Paßflächen für die Passung oder Passungen der Abschlußstücke 26 , Mittel zum Zusammenführen der einzelnen Laserstrahlen, die Modulationseinheit, die Übertragungseinheit zum Übertragen der Laserstrahlung, die einen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, auf die Bearbeitungsfläche 81 sowie eine Anordnung zum Unschädlichmachen der Laserstrahlung, die keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll. The receptacle includes sockets 29 (Fig. 3a) with mating surfaces for the fitting or fittings of the end pieces 26, means for combining the individual laser beams, the modulation unit, the transmission unit for transmitting the laser radiation to cause a processing effect on the working surface 81 and a arrangement for rendering harmless of the laser radiation that will not cause a processing effect. An der mehrteiligen Aufnahme kann die Anordnung zum Entfernen des von der Bearbeitungsfläche abgetragenen Materials angeordnet sein, die aber auch auf andere Weise in der Nähe der Bearbeitungsfläche angebracht werden kann. At the multiple receiving the arrangement of the eroded from the processing surface material removal can be arranged, but which can be mounted in other ways in the vicinity of the working surface.

Fig. 3a ist eine perspektivische Darstellung zu Fig. 3. Fig. 3a is a perspective view to FIG. 3.

In Fig. 4 ist eine Variante zu Fig. 3 gezeigt, bei der die Strahlenbündel der einzelnen Fiberlaser nicht wie in Fig. 3 parallel verlaufen, sondern unter einem Winkel zueinander, was aber aus der Schnittzeichnung in Fig. 3 nicht ersichtlich ist und deshalb in den Fig. 10 bis 14 näher erläutert wird. In FIG. 4 is a variant of FIG. 3, in which not extend the beams of the individual fiber laser as in Fig. 3 in parallel but at an angle to each other, which is not visible but from the sectional drawing in Fig. 3 and therefore in 10 to 14 is illustrated in detail in FIGS..

In Fig. 5 ist eine Variante zu Fig. 4 gezeigt, die infolge einer anders ausgeführten Übertragungseinheit eine vorteilhafte, wesentlich kompaktere Bauform ermöglicht. In Fig. 5 a variant of FIG. 4 is shown, which enables an advantageous, significantly more compact design due to a differently designed transmission unit.

Es wird zunächst die Fig. 3 unter Zuhilfenahme der Fig. 3a ausführlich erläutert. FIG. 3 is first explained in detail with the aid of Fig. 3a. Diese Erläuterungen gelten sinngemäß auch für die Fig. 4 und 5. These comments apply mutatis mutandis to FIGS. 4 and 5.

In einem Gehäuse 35 sind am Strahlungseintritt 9 ( Fig. 1) jeweils 4 Fiberlaser F HD1 bis F HD4 , F VD1 bis F VD4 , F HR1 bis F HR4 , F VR1 bis F VR4 über F HD1 bis F HD4 , F VD1 bis F VD4 , F HR1 bis F HR4 , F VR1 bis F VR4 über die Abschlußstücke 26 mittels der Fassungen 29 in jeweils vier Spuren zu je einem Strahlenpaket nebeneinander in einer Ebene angeordnet. In a housing 35 are on the radiation inlet 9 (Fig. 1) every 4 Fiber Laser F HD1 to F HD4, F VD1 through F VD4, F HR1 to F HR4, F VR1 through F VR4 through F HD1 to F HD4, F VD1 to F VD4, F HR1 arranged by means of holders 29 in each of four tracks, each with a beam packet next to one another in a plane to F HR4, F VR1 to VR4 F on the end pieces 26th Die Ausführungsform der in Fig. 3 verwendeten Abschlußstücke 26 , ist in den Fig. 6, 6a, 7, 7a und 7b näher beschrieben. The embodiment of the terminators 26 used in Fig. 3, is shown in Figs. 6, 6a, 7, 7a and 7b described in detail. Die Abschlußstücke sollen vorzugsweise gasdicht in das Gehäuse 35 eingesetzt werden, wozu Dichtungen 36 ( Fig. 3a) verwendet werden können. The terminators are preferably to be used in the gas-tight housing 35, for which purpose seals 36 (Fig. 3a) may be used. Es können anstelle der dargestellten Abschlußstücke auch anders geformte Abschlußstücke verwendet werden, wenn entsprechende Fassungen 29 im Gehäuse 35 vorgesehen sind. It can be used instead of the illustrated terminators differently shaped end pieces, if appropriate sockets 29 are provided in the housing 35th Die Fiberlaser F HD1 bis F HD4 bzw. F VR1 bis F VR4 sollen beispielsweise eine andere Wellenlänge haben, als die Fiberlaser F VD1 bis F VD4 bzw. F HR1 bis F HR4 . The fiber lasers F HD1 to HD4 F or F VR1 to VR4 F should have for example a different wavelength than the fiber lasers F VD1 to VD4 F or F HR1 to HR4 F. Zum Beispiel sollen F HD1 bis F HD4 und F VR1 bis F VR4 eine Wellenlänge von 1100 nm haben, während F VD1 bis F VD4 bzw. F HR1 bis F HR4 eine Wellenlänge von 1060 nm haben sollen, was durch eine entsprechende Dotierung des laseraktiven Kernmaterials der Laserfiber 5 erreicht werden kann. For example, F HD1 to VR4 have a wavelength of 1100 nm, while F VD1 intended to F VD4 or F HR1 to F HR4 have a wavelength of 1060 nm, by appropriate doping of the laser-active core material to F HD4 and F VR1 to F the laser fiber 5 can be achieved. Es können aber auch alle Fiberlaser unterschiedliche Wellenlängen aufweisen, wenn sie entsprechend zusammengestellt werden. But it is also all fiber lasers have different wavelengths when they are compiled accordingly.

Über wellenlängenabhängige Spiegel 37 als Mittel zum Zusammenführen werden die Strahlenpakete der Fiberlaser F HD1 bis F HD4 mit denen der Fiberlaser F VD1 bis F VD4 sowie die Strahlenpakete der Fiberlaser F VR1 bis F VR4 mit denen der Fiberlaser F HR1 bis F HR4 zu jeweils einem Strahlenpaket F D1 bis F D4 sowie F R1 , bis F R4 ( Fig. 3a) vereinigt. Via wavelength-dependent mirror 37 as a means for combining the beams packets of the fiber lasers F HD1 to F HD4 with those of the fiber lasers F VD1 through F VD4 and the beam packets of the fiber lasers F VR1 through F VR4 with those of the fiber lasers F HR1 to F HR4 to a respective beam packet F F D1 to D4 and F R1, F and R4 (Fig. 3a) combined. Es gibt auch andere Möglichkeiten, die Wellenlänge der Fiberlaser zu beeinflussen, zum Beispiel können im Bereich der Laserfiber zwischen Einkoppelspiegel 7 und Auskoppelspiegel 12 wellenlängenselektierende Elemente wie Brewsterplatten, Beugungsgitter oder Schmalbandfilter eingebracht werden. There are also other ways to influence the wavelength of the fiber lasers, for example, 12 wavelength-selecting elements such as Brewster plates, diffraction gratings or narrow band filters are introduced in the region of the laser fiber between input mirror 7 and the output mirror. Auch ist es möglich, mindestens einen der beiden Laserspiegel 7 oder 12 mit einer solchen Spiegelschicht zu versehen, die nur für die gewünschte Wellenlänge ausreichend hoch reflektierend ist. It is also possible to provide at least one of the two laser mirror 7 or 12 with such a mirror layer which is sufficiently highly reflective only for the desired wavelength. Die Ausführung der Strahlzusammenführung ist aber gemäß der Erfindung nicht auf die Verwendung von Fiberlasern unterschiedlicher Wellenlänge beschränkt. but the embodiment of the beam combination is not limited to the use of fiber lasers of different wavelengths in accordance with the invention. Neben Fiberlasern, die keine Vorzugsrichtung in der Polarisation der abgegebenen Laserstrahlung haben, können auch Fiberlaser verwendet werden, die polarisierte Laserstrahlung abgeben. In addition to fiber lasers that have no preferred direction in the polarization of the laser radiation delivered, and fiber lasers may be used that emit polarized laser radiation. Wenn man den wellenlängenabhängigen Spiegel durch einen solchen ersetzt, der so polarisationsabhängig ist, daß er eine Polarisationsrichtung durchläßt, während er die andere Polarisationsrichtung reflektiert, müssen nur zwei unterschiedlich polarisierte Lasertypen verwendet werden, um beide mittels des polarisationsabhängigen Spiegels zu vereinigen. If the wavelength dependent mirror is replaced by one which is polarization dependent, that it lets through a polarization direction, while reflecting the other polarization direction, only two differently polarized laser types have to be used to combine the two means of polarization dependent mirror. In diesem Fall ist die Verwendung des Abschlußstückes 26 nach den Fig. 6 und 6a mit quadratischem Querschnitt besonders geeignet, da man durch Wenden des Abschlußstücks um 90° vor der Montage in das Gehäuse 35 jeweils die eine oder die andere Polarisationsrichtung mit dem gleichen Fiberlaser erzeugen kann. In this case, the use of the end piece 26 of Figs. 6 and 6a particularly suitable with square cross section, since one each of which generate by turning of the end piece by 90 ° prior to assembly into the housing 35 one or the other direction of polarization with the same fiber laser can.

Ein besonderer Vorteil der Zusammenführung mehrerer Laser zu einem einzigen Fleck, nämlich zu jedem der den einzelnen Bearbeitungspunkte B 1 bis B n (zum Beispiel B 1 bis B 4 in Fig. 10 bis 12) ist die Erzielung einer höheren Leistungsdichte bei vorgegebener Fleckgröße auf der Bearbeitungsfläche 81 . A particular advantage of merging several lasers into a single spot, namely to each of the individual processing points B 1 to B n (for example, B 1 to B 4 in Fig. 10 to 12) is to achieve a higher power density at a predetermined spot size on the machining surface 81st

Man kann durch Weglassen von Fiberlasern bzw. Spuren je nach Bedarf die Anschaffungskosten für eine solche Anordnung senken und später je nach Bedarf Fiberlaser nachrüsten. One can reduce the cost of such an arrangement according to need and be retrofitted later as needed Fiber Laser by omitting fiber lasers or tracks. Man kann zum Beispiel mit einem Fiberlaser und einer Spur beginnen. One can start, for example, with a fiber laser and a track. Die fehlenden Abschlußstücke der nicht eingesetzten Fiberlaser werden dazu durch baugleiche Abschlußstücke, die aber keine durchgehende Öffnung und keine Laserfiber enthalten und nur zum Verschluß dienen, ersetzt, um das Gehäuse 35 so zu verschließen, als ob es mit allen Abschlußstücken bestückt wäre. The missing end pieces of the fiber laser is not used are to be replaced by identical end pieces, but do not contain any opening therethrough and no laser fiber and used solely for closing, by 35 to close the casing as if it were equipped with all the terminators.

Die Anzahl der Ebenen, in denen die Abschlußstücke angeordnet sind, ist nicht auf die beschriebene eine Ebene beschränkt und die Anzahl der Spuren nicht auf die beschriebenen 4 Spuren. The number of planes in which the end pieces are arranged is not limited to the one level and the number of tracks not limited to the 4 tracks. In Fig. 3b ist z. In Fig. 3b z. B. eine Anordnung mit 3 Ebenen und n Spuren angegeben. B. given an arrangement with 3 levels and n tracks.

Über je einen vierkanaligen akustooptischen Modulator 34 , dessen Wirkungsweise und Ausführungsform in den Fig. 9 und 9a näher erläutert wird, werden die jeweiligen Strahlenpakete der Fiberlaser moduliert. Via a respective four-channel acousto-optical modulator 34, whose mode of operation and embodiment shown in Figs. 9 and 9a is explained in detail, the respective beams of the fiber lasers are modulated packets. Durch den akustooptischen Modulator 34 , der vom Prinzip her ein Ablenker ist, wird in dem dargestellten Fall die nicht erwünschte Energie aus der ursprünglichen Strahlrichtung 10 in die Srahlrichtung I 1 abgelenkt ( Fig. 3a), so daß sie später im Strahlengang einfach abgefangen und unschädlich gemacht werden kann. By the acousto-optic modulator 34, which is basically a deflector, in the illustrated case, the undesirable energy is deflected from the original beam direction 10 in the Srahlrichtung I 1 (Fig. 3a), so as to later easily caught in the beam path and innocuous can be made. Die Modulation kann vorzugsweise digital erfolgen, dh es wird in den einzelnen Modulatorkanälen nur zwischen zwei Zuständen, nämlich "EIN" und "AUS" unterschieden, was besonders einfach zu steuern ist; The modulation can preferably be done digitally, meaning it is distinguished in the individual modulator channels only between two states, "ON" and "OFF", which is particularly easy to control; sie kann aber auch analog erfolgen, indem die Laserleistung in jedem Modulatorkanal auf beliebige Werte eingestellt werden kann. but it can also be carried out analogously by the laser power can be set in each modulator channel to any values. Die Modulation ist nicht darauf beschränkt, daß die Energie aus der Strahlrichtung 10 für die Bearbeitung verwendet wird und die Energie aus der Richtung I 1 unschädlich gemacht wird. The modulation is not limited thereto, that the energy is from the direction of the beam 10 is used for the processing and the power is taken from the direction I 1 harmless. In der parallellaufenden, gleichzeitig mit der vorliegenden Anmeldung eingereichten deutschen Patentanmeldung "Verfahren und Anordnung zur Materialbearbeitung mittels Laserstrahlen", Zeichen der Anmelderin 98/1035, sind Beispiele angegeben, in denen die abgebeugte Strahlrichtung I 1 zur Bearbeitung verwendet wird und die Energie aus der Richtung I 0 unschädlich gemacht wird. In the parallel-running, concurrently filed with the present application, German patent application "Method and apparatus for material processing by means of laser beams," mark of the Applicant 98/1035, examples are given in which the diffracted beam direction is I 1 is used for editing and the energy from the direction I 0 is rendered harmless.

Der mehrkanalige akustooptische Modulator 34 ist vorzugsweise auf einem zylindrischen Modulatorgehäuse 41 befestigt, das verdrehbar in einer Öffnung 48 in dem Gehäuse 35 gelagert ist. The multi-channel acousto-optical modulator 34 is preferably mounted on a cylindrical housing modulator 41 which is rotatably mounted in an opening 48 in the housing 35th Nach dem Einjustieren des Modulatorgehäuses auf den erforderlichen Bragg-Winkel α B wird das Modulatorgehäuse mittels einer Verbindung 42 fixiert. After adjustment of the modulator housing to the required Bragg angle α B, the modulator housing is fixed by means of a compound 42nd Mittels einer Dichtung 43 ist dafür gesorgt, daß jedes Modulatorgehäuse gasdicht zum Gehäuse 35 abschließt. By means of a seal 43 is arranged that each modulator casing gas-tight to the housing 35 completes. Aus dem Modulatorgehäuse 41 ragt eine speziell präparierte Leiterplatte 171 in den inneren Raum 44 des Gehäuses 35 , über die die elektrischen Verbindungen zu den piezoelektrischen Wandlern 45 hergestellt werden. From the modulator housing 41 a specially prepared circuit board 171 extends into the inner space 44 of the housing 35, through which the electrical connections to the piezoelectric transducers 45 are manufactured. Die vorzugsweise Ausführung der Modulatoren wird in den Fig. 9 und 9a ausführlicher beschrieben. The preferred embodiment of the modulators is described in FIGS. 9 and 9a detail.

Nach dem Durchlaufen der akustooptischen Modulatoren werden die Strahlenpakete F D1 bis F D4 und F R1 bis F R4 zu einem Streifenspiegel 46 geführt, der streifenförmig in Abständen abwechselnd transparent und verspiegelt ist. After passing through the acousto-optic modulators, the beam packets F F D1 to D4 and F R1 to R4 F are fed to a strip mirror 46, which is strip-shaped alternately transparent and mirrored at intervals. Das Strahlenpaket F D1 bis F D4 ist bezüglich des Streifenspiegels 46 so angeordnet, daß es den Streifenspiegel unbehindert durchlaufen kann. The beam packet F D1 to D4 F with respect to the strip mirror 46 arranged so that it can pass through the strip mirror unobstructed. Die Laserstrahlenbündel des Strahlenpaketes F R1 bis F R4 sind aber gegenüber dem Strahlenpaket F D1 bis F D4 um einen halben Spurabstand versetzt und treffen auf die streifenförmig angeordneten verspiegelten Streifen des Streifenspiegels. However, the laser beam of the optical packet F F R1 to R4 are offset from the beam packet F D1 to D4 F by half a track pitch and strike the strip-shaped arranged mirror-coated strips of the strip mirror. Dadurch werden sie in ihrer Richtung umgelenkt und liegen nun in einer Ebene mit den Laserstrahlbündeln F D1 bis F D4 . Thus they are deflected in its direction and now in a plane with the laser beam bundles F F D1 to D4. Damit ergibt sich nunmehr eine achtspurige Anordnung, bei der in jeder Spur außerdem noch zwei Laser verschiedener Wellenlänge überlagert sind, so daß insgesamt 16 Laser zusammengeführt worden sind und zur Wirkung kommen. This results in a now eight-lane arrangement, in which also two lasers of different wavelengths are superposed on each track so that a total of 16 lasers have been brought together and come into action. Oberhalb dieser Ebene I 0 befinden sich die im akustooptischen Modulator 34 abgebeugten Strahlen I 1 . Above this level I 0 are the diffracted in the acousto-optic modulator 34 I beams. 1 Bei einer anderen Justierung des akustooptischen Modulators 34 können die abgebeugten Strahlen auch unterhalb der Ebene von I 0 liegen, wie in den Fig. 4 und 5 gezeigt wird. In another adjustment of the acousto-optical modulator 34, the diffracted beams 4 and 5 may also be below the level of I 0, as shown in Figs. Is shown.

Ein bedeutender Vorteil der Anordnung nach der Erfindung ist, daß die Symmetrieachse der Strahlenpakete F HD1 bis F HD4 und F D1 bis F D4 auf der Achse des Gehäuses 35 liegen, die durch die Bohrung 47 definiert ist und die Strahlachsen der zugehörigen Strahlenpakete jeweils parallel oder rechtwinklig zu dieser Achse liegen, was eine einfache und präzise Herstellung erlaubt. A significant advantage of the arrangement according to the invention, that the symmetry axis of the beam packets F HD1 to F HD4 and F D1 through F D4 on the axis of the housing 35 are defined by the bore 47 and the beam axes of the associated beam packets in parallel or are perpendicular to this axis, resulting in a simple and precise manufacture allowed. Es ist aber auch möglich, die Strahlenpakete unsymmetrisch und unter anderen Winkeln anzuordnen. but it is also possible to arrange the beam packets asymmetrically and at different angles.

Weiterhin ist es möglich, kleine Differenzen in der Lage der Strahlenpakete durch Verstellung der wellenlängenabhängigen Spiegel 37 und des Streifenspiegels 46 zu korrigieren. Furthermore, it is possible to correct small differences in the position of the beam packets by adjusting the wavelength-dependent mirror 37 and strip mirror 46th Es ist möglich, die Abschlußstücke nach der Montage in ihrer Lage und ihrer Winkelzuordnung noch nachzujustieren, was aber in den Figuren nicht gezeigt ist. It is possible to still readjust the terminators after assembly in its position and its angle assignment, but this is not shown in the figures.

Es liegt im Rahmen der Erfindung, daß die Anzahl der Spuren reduziert, aber auch weiter erhöht werden kann, z. It is within the scope of the invention that the number of tracks is reduced, but also can be further increased, for example. B. kann durch Aneinanderreihen von jeweils acht statt vier Abschlußstücken, die mit Fiberlasern verbunden sind, zu einem Strahlenpaket eine Verdopplung der Spurenzahl vorgenommen werden. B., by stringing together each eight instead of four terminators that are associated with fiber lasers, a doubling of the number of tracks to be made to a beam packet. Dazu müßten zwei 8-kanalige akustooptische Modulatoren eingesetzt werden. These two 8-channel acousto-optical modulators must be used. Es sind akustooptische Modulatoren mit 128 getrennten Kanälen auf einem Kristall erhältlich. There are acousto-optical modulators with 128 separate channels on a crystal obtainable.

Ebenfalls ist es gemäß der Erfindung möglich, zur Erhöhung der Leistung je Spur, die Fiberlaser in verschiedenen Ebenen anzuordnen und ihre Leistung auf der Bearbeitungsfläche zu überlagern, was in der Fig. 3b dargestellt wird. It is also possible according to the invention for increasing the capacity per track, to arrange the fiber laser in different planes and to superimpose their performance on the processing surface, which is shown in Fig. 3b.

Es können auch direkt modulierbare Fiberlaser eingesetzt werden. It can also be used directly modulated fiber lasers. In diesem Fall entfallen die akustooptischen Modulatoren und es ergibt sich ein besonders einfacher Aufbau. In this case, the acousto-optic modulators eliminated and the result is a particularly simple construction.

Der Betrieb mit mehreren Spuren von Lasern und mehreren Lasern in einer Spur ermöglicht hohe Bearbeitungsgeschwindigkeiten bei geringer Relativgeschwindigkeit zwischen dem Laserstrahl und dem des Werkstück. Operation with multiple tracks of lasers and a plurality of lasers in a track allows high processing speeds at low relative speed between the laser beam and that of the workpiece. Auch kann hiermit die Bearbeitungsgeschwindigkeit optimal an die Zeitkonstante der Wärmeableitung des Materials angepaßt werden. Even with this, the processing speed can be optimally adapted to the time constant of the heat dissipation of the material. Bei längerer Bearbeitungszeit fließt nämlich zuviel Energie nutzlos in die Umgebung ab. With longer processing time that is too much energy flows uselessly into the environment.

Das Gehäuse 35 ist mit einem Deckel und einer Dichtung, die beide nicht in den Figuren gezeigt sind, gasdicht verschlossen. The housing 35 is gas-tightly sealed with a lid and a seal, both of which are not shown in the figures. An das Gehäuse 35 ist im Bereich der Bohrung 47 ein zylindrisches Rohr 51 angeflanscht und über eine Dichtung 52 abgedichtet. To the housing 35, a cylindrical tube 51 is flange-mounted and sealed via a gasket 52 in the region of the bore 47th Das zylindrische Rohr enthält als Übertragungseinheit eine Optik, nämlich zwei Tuben 53 und 54 mit je einem optischen Abbildungssystem, die die acht Laserstrahlenbündel F D1 bis F D4 und F R1 bis F R4 am Strahlungsaustritt 10 ( Fig. 1) auf die Bearbeitungsfläche im richtigen Maßstab abbilden. The cylindrical tube containing a transfer unit, an optical, namely two tubes 53 and 54, each with an optical imaging system, the eight laser beams F D1 through F D4 and F R1-F R4 on the radiation exit 10 (Fig. 1) to the processing surface in the correct scale depict. Es sind vorzugsweise zwei optische Abbildungssysteme hintereinander angeordnet, da sich sonst insgesamt eine sehr große Baulänge oder ein sehr geringer Abstand zwischen der Objektivlinse und der Bearbeitungsfläche ergeben würden, was beides nachteilig ist, da ein langer Strahlengang mittels Spiegel gefaltet werden müßte und ein zu geringer Abstand zwischen Objektivlinse und Bearbeitungsfläche zu einer zu großen Gefahr für die Verunreinigung der Objektivlinse führen könnte. There are preferably two optical imaging systems arranged one behind another, as otherwise a total of a very large length or a very short distance between the objective lens and the working surface would arise, both of which are disadvantageous in that a long optical path must be folded by means of mirrors, and a too small distance could lead between the objective lens and processing surface in too much danger to the contamination of the objective lens.

Der Strahlengang ist in Fig. 3 als Seitenansicht dargestellt. The beam path is shown in Fig. 3 as a side view. In Fig. 10 ist der prinzipielle Strahlengang als Draufsicht für das Strahlenpaket F HD1 bis F HD4 gezeigt. In Fig. 10, the principal ray path is shown as a top view of the beam packet F HD1 to HD4 F. Die wellenlängenabhängigen Spiegel, die Modulatoren und der Streifenspiegel sind dort nicht gezeigt. The wavelength-dependent mirrors, the modulators and the strip mirrors are not shown there. In den Figuren sind vorwiegend Plankonvexlinsen dargestellt, es ist jedoch auch möglich, in allen Figuren andere Linsenformen wie z. In the figures, plano-convex lenses are mainly shown, but it is also possible, in all figures other lens shapes such. B. bikonvexe oder konkav-konvexe Linsen oder solche mit asphärischer Form einzusetzen. B. biconvex or use concavo-convex lenses, or those with an aspherical shape. Es können auch Linsensysteme, die jeweils aus mehreren Linsenkombinationen bestehen, zur Verwendung kommen. It can also lens systems, each consisting of a plurality of lens combinations come to use.

Um die Laserenergie so effizient wie möglich zu übertragen und die Erwärmung der optischen Bauelemente in Grenzen zu halten, sind alle in den verschiedenen Ausführungen der Laserstrahlungsquelle vorkommenden optischen Flächen für den in Frage kommenden Wellenlängenbereich mit höchster Qualität entspiegelt. In order to transmit the laser energy as efficiently as possible and to keep the heating of the optical elements within limits, all of which are non-reflective occurring in the various embodiments of the laser radiation source optical surfaces for the candidate wavelength range with the highest quality.

Es gibt noch weitere vorteilhafte Lösungen für die Übertragungseinheit, um die Baulänge der Übertragungseinheit zu verkürzen und dabei trotzdem einen ausreichend großen Abstand zwischen der Objektivlinse und der Bearbeitungsfläche zu erzielen, wie unter anderem in den Fig. 4 und 5 noch näher dargestellt wird. There are still other advantageous solutions for the transmission unit to shorten the overall length of the transmission unit, while still achieving a sufficiently large distance between the objective lens and the work surface, such as, but in Figs. 4 and is represented in more detail. 5

Die Linsen 55 und 56 können durch Verschraubungen oder durch Verklebungen mit dem Tubus 53 verbunden sein, sie können aber vorzugsweise an ihren Rändern metallisiert und an den Tubus 53 gelötet sein. The lenses 55 and 56 may be joined by screw or by bonding with the tube 53, but they can preferably be metallized on their edges and soldered to the tube 53rd Das gleiche gilt für die Linsen 57 und 61 in dem Tubus 54 . The same is true for the lenses 57 and 61 in the tube 54th Damit ergibt sich eine gasdichte Abdichtung der Linsen und eine gute Wärmeübertragung von den Linsen zu den Tuben. This results in a gas-tight seal of the lenses and a good heat transfer from the lenses to the tubes. Der Tubus 54 ist vorzugsweise mit einer Dichtung 62 gegenüber dem zylindrischen Rohr 51 gasdicht abgeschlossen. The tube 54 is preferably closed with a seal 62 against the cylindrical pipe 51 gas-tight. Für den Raum 63 gelten bezüglich der Dichtheit und Sauberkeit die gleichen Bedingungen, wie für den Raum 44 und ebenso für die Räume 64 und 65 innerhalb der Tuben 53 und 54 . For the space 63 of the sealing and cleanliness the same conditions as for the space 44 and also for the spaces 64 and 65 within the tubes 53 and 54 apply with respect to. Die Kammern 66 und 67 sind vorzugsweise über Bohrungen 71 mit den Räumen 44 und 63 verbunden. The chambers 66 and 67 are preferably connected via holes 71 with the spaces 44 and 63rd Die Tuben 53 und 54 können vorzugsweise Öffnungen 72 aufweisen. The tubes 53 and 54 may preferably have openings 72nd

Eine Abfanganordnung 73 zum Unschädlichmachen der Laserstrahlung, die auf der Bearbeitungsfläche keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll und die einen hoch reflektierenden Spiegel 74 und eine Zerstreuungslinse (Konkavlinse) 75 aufweist, ragt in den Raum 63 hinein. A 73 intercept the abatement of the laser radiation that will cause no effect processing on the processing surface and a highly reflective mirror 74 and a diverging lens (concave lens) 75 which projects into the space 63rd Die Abfanganordnung 73 ist mit einer Dichtung 76 eingesetzt, und die Konkavlinse 75 , die auch durch ein anderes optisches Element, beispielsweise eine Glasplatte ersetzt werden kann, in die Abfanganordnung eingeklebt oder vorzugsweise in ihrer Randzone metallisiert und zur besseren Wärmeableitung an die Abfanganordnung angelötet. The intercept 73 is fitted with a seal 76, and the concave lens 75, which can also be replaced by another optical element, for example a glass plate, is glued into the intercept or preferably metallized in its edge zone and for better heat dissipation to the intercept soldered. Damit ist der Raum 63 gasdicht von der Umgebung abgeschlossen. So that the space 63 is gas-tightly sealed from the environment. Durch die beschriebenen Maßnahmen ergibt sich, daß der gesamte Innenraum der mehrteiligen Aufnahme gasdicht von der Umgebung abgeschlossen ist. The measures described, it follows that the entire interior of the multiple receiving gas-tight sealed from the environment. Die Räume 44 , 63 , 64 und 65 und die Kammern 66 und 67 , also der gesamte Innenraum der mehrteiligen Aufnahme, können vorzugsweise evakuiert oder mit einem Schutzgas gefüllt werden. The spaces 44, 63, 64 and 65 and the chambers 66 and 67, so the entire interior of the multiple receiving may preferably be evacuated or filled with a protective gas. Die Räume und Kammern sollen möglichst frei von solchen Komponenten sein, die Gase oder Partikel absondern, weil sich damit Schmutz auf den hochbelasteten optischen Flächen absetzen könnte, was zum frühzeitigen Ausfall der Anordnung führen würde. The rooms and chambers should be as free of such components that emit gases or particles because so dirt on the highly stressed optical surfaces could settle, which would lead to premature failure of the assembly. Deshalb wird auch an die zu verwendenden Dichtungen die Forderung gestellt, daß sie keine Partikel oder Gase absondern. Therefore, the demand is also placed on the seals to be used, that they release any particles or gases. Bei der Montage wird auf größte Reinheit der zu montierenden Teile und der Umgebung Wert gelegt, bis die optische Einheit verschlossen ist. During the assembly is placed on greatest purity of the parts to be mounted and the ambient value until the optical unit is locked. Nach dem Verschließen der optischen Einheit kann über das Ventil 77 eine Evakuierung des gesamten Innenraumes der mehrteiligen Aufnahme vorgenommen werden, oder ein Schutzgas eingefüllt werden. After sealing, the optical unit, an evacuation of the entire interior of the multiple receiving can be carried out via the valve 77, or an inert gas are introduced. Der Vorteil einer Füllung des Innenraumes mit einem Schutzgas ist, daß sie einfacher erneuert werden kann, indem man im Betrieb an das Ventil 77 eine nicht gezeigte Gasflasche über ein Druckminderventil anschließt, aus der bei Bedarf Gas in das Gehäuse nachgefüllt werden kann. The advantage of filling the interior space with an inert gas so that it can be replaced easily by connecting a gas cylinder via a pressure reducing valve, not shown, in operation of the valve 77 from the gas can be replenished in the housing if required. Ein weiterer Vorteil ist, daß, wenn zum Tausch eines Fiberlasers ein Abschlußstück aus dem Gehäuse entfernt und durch ein anderes ersetzt werden soll oder wenn das Gehäuse bzw. das zylindrische Rohr aus irgend einem Grund beim Anwender geöffnet werden muß, man während des Vorgangs ständig eine geringe Menge des Schutzgases durch das Gehäuse strömen lassen kann, um so das Eindringen von Schmutzpartikeln in den geschützten Raum zu verhindern. A further advantage is that if the replacement of a fiber laser, an end piece to be removed from the housing and replaced with another, or if the housing or the cylindrical tube must be opened for some reason the user, one constantly during the process a can make small amount of the protective gas flow through the housing so as to prevent the ingress of debris into the protected space. Man kann auch ständig eine geringe Menge des Gases durch das Gehäuse strömen lassen und durch Öffnungen 120 ( Fig. 3f), vorzugsweise in der Nähe der Objektivlinse, so entweichen lassen, so daß diese Strömung auch eine Verunreinigung der Objektivlinse durch solche Schmutzpartikel verhindert, die bei dem Bearbeitungsvorgang freigesetzt werden. One can also constantly for flowing a small amount of gas through the housing and through openings 120 (Fig. 3f), preferably allowed to escape so close to the objective lens, so that this flow is also a contamination of the objective lens is prevented by such dirt particles which are released in the machining operation. Man kann auch auf die Evakuierung oder die Schutzgasfüllung verzichten, wenn man eine kürzere Lebensdauer der Laserstrahlungsquelle in Kauf nimmt. You can also dispense with the evacuation or the protective gas filling, if you take a shorter life of the laser radiation source into account.

Vorteilhaft in der Anordnung nach Fig. 3 ist, daß der Winkel zwischen den Strahlenpaketen der ursprünglichen Strahlrichtung I 0 des akustooptischen Modulators und der abgebeugten Strahlrichtung I 1 durch das Abbildungssystem aus den Linsen 55 und 56 deutlich vergrößert wird, so daß es einfach ist, mittels des hochreflektierenden Spiegels 74 an der Abfanganordnung 73 das unerwünschte Strahlenpaket der abgelenkten Strahlrichtung abzufangen. Is advantageous in the arrangement according to Fig. 3, that the angle between the optical packets of the original beam direction I 0 of the acousto-optic modulator and the diffracted beam direction I 1 by the imaging system of lenses 55 and 56 is increased considerably, so that it is easy, by means of 74 at the intercept 73 to trap the highly reflective mirror, the undesired radiation package of the deflected beam direction. Der Spiegel 74 ist vorzugsweise aus Metall gefertigt und mit einer hoch reflektierenden Schicht versehen, um die Erwärmung infolge absorbierter Laserenergie gering zu halten. The mirror 74 is preferably made of metal and provided with a highly reflective layer, to hold the heating as a result of absorbed laser energy low. Er ist zur besseren Wärmeableitung über einen kräftigen Flansch der Abfanganordnung 73 mit dem Rohr 51 verbunden. It is connected for better heat dissipation over a strong flange of intercept 73 with the tube 51st Der Vorteil der Anordnung nach Fig. 3 besteht darin, daß an die optischen Bauelemente in den beiden Tuben geringe Anforderungen gestellt werden. The advantage of the arrangement according to Fig. 3 is that imposed on the optical components in the two tubes low requirements. Man könnte sogar beide Tuben völlig gleich ausführen. You might even run both tubes identical. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß die Achsen der Abschlußstücke 26 parallel zueinander liegen. A further advantage is that the axes of the end pieces 26 are parallel to each other. Der Abstand zwischen der Objektivlinse 61 und der Bearbeitungsfläche 81 darf nicht zu klein sein, damit wegfliegende Partikel aus der Materialoberfläche nicht auf die Objektivlinse gelangen. The distance between the objective lens 61 and the processing surface 81 must not be too small, so that fly-away particles from getting out of the material surface on the objective lens. Verschmutzt sie nämlich, dann absorbiert die hindurchtretende Laserenergie und wird zerstört und damit unbrauchbar. Dirty she namely, then absorbs the laser energy and passing is destroyed and unusable. Um die Verschmutzung zu verhindern, ist zwischen der Objektivlinse 61 und der Bearbeitungsfläche 81 ein besonderes Mundstück 82 angeordnet, das in der parallellaufenden, gleichzeitig mit der vorliegenden Anmeldung eingereichten deutschen Gebrauchsmusteranmeldung "Anordnung zum Entfernen von Material, das durch eine Laserstrahlungsquelle bei der Materialbearbeitung von einer Bearbeitungsfläche abgetragen wird", Zeichen der Anmelderin 98/1039 GM, beschrieben ist. To prevent pollution, between the objective lens 61 and the working surface 81 is arranged a special mouthpiece 82 which in co-running, concurrently filed with the present application, German utility model application "arrangement for removal of material, which is one by a laser radiation source for material processing is ablated processing surface "mark of the applicant 98/1039 GM, is described.

Die mehrteilige Aufnahme der optischen Einheit ist innerhalb der Anordnung zur Materialbearbeitung beispielsweise auf einem Prisma 83 um die durch die Objektivlinse 61 bestimmte optische Achse, die der Achse des Rohres entspricht, drehbar und in Richtung der optischen Achse verschiebbar gelagert und beispielsweise mit einem Spannband 85 oder mit mehreren Spannbändern in ihrer Lage fixiert. The multi-part housing the optical unit is within the assembly for material processing, for example, on a prism 83 to the position determined by the objective lens 61 optical axis corresponding rotatable the axis of the tube and slidably mounted in the optical axis direction, and for example with a clamping band 85 or with a plurality of straps fixed in their position. Dadurch ist eine genaue Zustellung der optischen Einheit zu der Bearbeitungsfläche 81 möglich. This enables accurate delivery of the optical unit is possible to the working surface of the 81st Durch die Verdrehung kann der Spurabstand der einzelnen Bearbeitungsspuren der Laser auf der Bearbeitungsfläche 81 verändert werden. By the twist of the track pitch of the individual traces of the laser processing can be changed on the processing surface 81st Außerhalb des Prismas 83 befindet sich eine Platte 86 , die Öffnungen 87 aufweist, durch die ein Kühlmittel gepumpt werden kann. Outside of the prism 83 is a plate 86 which has openings 87, can be pumped through which a coolant. Die Aufgabe dieser Platte 86 ist es, die aus dem Strahlengang abgefangene Laserenergie, die keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, aufzufangen und abzuleiten. The object of this plate 86 is to absorb the intercepted from the beam path laser energy to cause no effect processing, and to derive. Zwischen der Platte 86 und dem Rohr 51 , 95 , 113 befindet sich eine Wärmedämmung, die aber nicht in den Figuren dargestellt ist. Between the plate 86 and the pipe 51, 95, 113 is a thermal insulation, which is not shown in the figures. Die Platte ist über isolierende Flansche 91 mit dem Rohr 51 , 95 , 113 verbunden. The plate is connected through insulating flanges 91 to the pipe 51, 95, 113th Die Flansche 91 verhindern auch das Austreten von Laserstrahlung. The flanges 91 also prevent the escape of laser radiation.

Infolge der hohen Laserleistung werden sich die optischen Elemente im Strahlengang erwärmen, da sie einen, wenn auch sehr geringen, Teil der Laserenergie absorbieren. Due to the high laser power, the optical elements in the beam path are heat because they absorb some, albeit very small, part of the laser energy. Vorzugsweise werden daher die kritischen optischen Bauelemente statt aus Glas aus einem Material mit besserer Wärmeleitfähigkeit, zum Beispiel aus Saphir hergestellt. therefore, the critical optical components are preferably made of glass instead of a material with better thermal conductivity, for example, of sapphire. Die Verlustwärme wird bei Metallisierung der Verbindungsflächen der optischen Bauelemente durch die Lötverbindungen zu den Fassungen und an das Gehäuse abgeleitet. The heat loss is dissipated through the solder connections to the frames and to the housing in the metallization of the bonding surfaces of the optical components. Das Gehäuse wird zur besseren Wärmeabgabe mit Kühlrippen 92 ausgeführt, die durch einen nicht dargestellten Lüfter gekühlt werden können. The housing is designed for better heat transfer with cooling fins 92 which can be cooled by a not shown fan. Ebenfalls ist eine Durchsetzung des Gehäuses 35 sowie der übrigen Bauteile der Laserstrahlungsquelle mit Bohrungen, insbesondere in den kritischen Bereichen an den Linsenfassungen und Fassungen für die Abschlußstücke 26 , möglich, durch die ein Kühlmittel gepumpt werden kann, was in den Fig. 3d und 3e dargestellt ist. Is also an enforcement of the housing 35 and the other components of the laser radiation source with holes, particularly in the critical areas of the lens frames and frames for the end pieces 26, it is possible, a coolant can be pumped through the what shown in Figs. 3d and 3e is.

Da bei der Materialbearbeitung, wie im Vorangehenden dargelegt, sehr hohe Laserleistungen erforderlich sind, ist es gemäß der Erfindung wesentlich, die Anzahl der optischen Elemente, insbesondere der Linsen, im Strahlengang so gering wie möglich zu halten, um die optischen Verluste und die Gefahr der Verschmutzung der Optik, die immer zu einem frühzeitigen Ausfall führen würde, so gering wie möglich zu halten. Since, very high laser powers required in the material processing, as set forth in the foregoing, it is according to the invention substantially, the number of optical elements, in particular of the lenses to keep as low as possible in the beam path to the optical losses and the risk of contamination of the optics that would always lead to premature failure to keep as low as possible. Es liegt auch im Rahmen der Erfindung, daß die Objektivlinse ( 61 , 103 und 112 ) mit einer Wechselfassung ( Fig. 3f) ausgestattet ist, damit sie vom Benutzer der Laserstrahlungsquelle bei Bedarf rasch getauscht werden kann, sei es, daß sie im Betrieb verschmutzt worden ist oder, daß ein anderer Abbildungsmaßstab gewünscht wird. It is also within the scope of the invention that the objective lens (61, 103, and 112) to an AC socket (Fig. 3f) is equipped so that they can be exchanged rapidly by the user of the laser radiation source, if necessary, be it that they fouled in operation has been or that a different imaging scale is desired. Es liegt weiterhin im Rahmen der Erfindung, daß im optischen Strahlengang Maßnahmen getroffen werden, daß keine Laserenergie zurück in die Laser gelangen kann. It lies within the scope of the invention that measures are taken in the optical path that no laser energy can leak back into the laser. Es ist angebracht, daß die Laserstrahlung nicht senkrecht, sondern unter einem Winkel auf das zu bearbeitende Material auftrifft, so daß die an der Materialoberfläche reflektierte Strahlung nicht in die Laserstrahlungsquelle zurück gelangen kann. It is appropriate that the laser radiation is not perpendicular, but rather is incident at an angle to the material to be processed, so that the can get back to the material surface not reflected radiation in the laser radiation source. Weiterhin ist in den Fig. 3, 4, 5 und 8 gezeigt, daß die zu vernichtende Laserstrahlung durch eine schräg gestellte Konkavlinse 75 in einen Sumpf, bestehend aus einer schräg gestellte Platte 86 , die gekühlt werden kann, geleitet wird. Further, in Figs. 3, 4, 5 and 8, that the laser radiation to be destroyed by an inclined concave lens 75 in a sump, is composed of an inclined plate 86, which can be cooled is passed. Gemäß der Erfindung kann statt der Konkavlinse 75 auch ein anderes optisches Bauelement, beispielsweise eine Platte oder eine Blende verwendet werden. According to the invention, another optical component, for example a plate or a diaphragm may be used instead of the concave lens 75 miles. Dabei ist dieses optische Bauelement in seinem wirksamen Durchmesser so bemessen, daß die in den Sumpf geleitete Laserstrahlung gerade passieren kann, während solche Strahlung, die vom dem Sumpf zurück reflektiert oder zurück gestreut wird, weitgehend zurückgehalten wird, so daß keine Energie zurück in die Laser gelangen kann. In this case, this optical device is dimensioned in its effective diameter so that the led into the sump laser radiation can just pass, while such radiation which is reflected or from the sump back scattered back, is largely retained, so that no energy back into the laser can pass.

Gemäß der Erfindung kann die Oberfläche der Platte 86 , die in den Figuren als ebene Oberfläche dargestellt ist, auch ballig oder hohl ausgeführt werden und vorzugsweise aufgerauht werden, um ein Höchstmaß an Strahlung zu absorbieren und ein Minimum an Strahlung zu reflektieren bzw. zu streuen. According to the invention the surface of the plate 86, which is shown as a flat surface in the figures, also be carried out spherical or hollow and are preferably roughened to absorb a high level of radiation and to reflect a minimum of radiation or to scatter.

Es liegt im Rahmen der Erfindung, von der beschriebenen Ausführung abweichende Ausführungen der optischen, mechanischen und elektrischen Anordnung zur Fig. 3 zu wählen. It is within the scope of the invention to select from the different embodiments described embodiments of the optical, mechanical and electrical assembly for FIG. 3. Beispielsweise könnte man alle parallel angeordneten Strahlenpakete F D1 bis F D4 und F R1 bis F R4 mit einer Linse so auf die Bearbeitungsfläche fokussieren, daß alle Bearbeitungspunkte auf den gleichen Fleck treffen, was zwar eine sehr hohe Leistungsdichte ergibt, aber nicht so gut die Form des Bearbeitungsflecks darstellen kann, da alle Bearbeitungspunkte aufeinander liegen und zu einem gemeinsamen Fleck vereinigt sind. For example, one could so focus all parallel beam packets F D1 through F D4 and F R1-F R4 with a lens onto the processing surface that all machining points hit the same spot, which indeed results in a very high power density, but not as well in the form of the processing spot can represent, since all processing points lie on one another and are joined to a common spot.

Das Prinzip der beschriebenen Anordnung von Laserausgängen in mehreren Ebenen oder in mehreren Spuren oder in mehreren Spuren und in mehreren Ebenen oder überlappend in einem Punkt gilt gemäß der Erfindung auch für die auf der Bearbeitungsfläche 81 auftreffenden Laserstrahlen. The principle of the described arrangement of laser outputs in a plurality of planes or in a plurality of tracks or a plurality of tracks and in several layers, or overlapping in a point applies according to the invention also for the incident on the processing surface 81 laser beams. Nach diesem Ordnungsprinzip können auf der Bearbeitungsfläche ebenfalls mehrere Spuren oder mehrere Ebenen oder mehrere Spuren und mehrere Ebenen von Laserstrahlen angeordnet werden, oder es können die Laserstrahlen überlappend in einem Punkt angeordnet werden. This classification principle also a plurality of tracks or a plurality of layers or a plurality of tracks and multiple levels of laser beams can be arranged on the processing surface, or there may be overlapping at some point, the laser beams.

In Fig. 3b ist gezeigt, wie die Abstände der Strahlen aus den Abschlußstücken in einer Richtung verändert werden können, beispielsweise, um die Strahlen aus mehreren Ebenen durch den gleichen Modulator zu leiten. In Fig. 3b it is shown how the spacing of the beams can be changed from the terminators in a direction such as to direct the rays from a plurality of levels by the same modulator. Bei der parallelen Anordnung der Spuren kann das dargestellte Abbildungssystem mit den zylindrischen Linsen 202 und 203 , auch Zylinderoptik genannt, beispielsweise sinngemäß zu einer Anordnung wie die der Fig. 3 hinzugefügt werden. In the parallel arrangement of the traces of the imaging system shown with the cylindrical lenses 202 and 203 may, also called cylindrical lens, for example, mutatis mutandis, to an arrangement such as that of FIG be added. 3,. Wenn die einzelnen Spuren aber unter einem Winkel gemäß den Fig. 13 oder 14 verlaufen sollen, werden vorzugsweise Abschlußstücke 94 nach den Fig. 7, 7a und 7b verwendet. If the individual tracks to extend 13 or 14 but at an angle as shown in FIGS., Preferably terminators 94 are shown in Figs. 7, 7a and 7b used. Auch in dieser Anordnung bleiben die Strahlenbündel der einzelnen Ebenen parallel, die Passungen der Abschlußstücke 94 sollen hierfür in der Seitenansicht Fig. 7a parallel verlaufen. Also in this arrangement the beams of the individual planes remain parallel, the fits of the terminators 94 to extend in parallel for this purpose in the side view of Fig. 7a. Wenn die Achsen der Strahlenbündel für die Spuren unter einem Winkel zueinander verlaufen, kann die Zylinderoptik mit den Linsen 203 und 203 beispielsweise sinngemäß zu Anordnungen gemäß den Fig. 5 oder 6 hinzugefügt werden. If the axes of the beams for the tracks extend at an angle to each other, the cylindrical lens system with the lenses 203 and 203 may be added 5 or 6, for example, analogously to the arrangements according to Fig.. Die aus den Abschlußstücken austretenden Strahlenbündel 144 sind auf die konvexe Zylinderlinse 202 gerichtet, die die Strahlen aus den einzelnen Ebenen in ihrem Fokus zu einem Strich mit der Länge des Strahldurchmessers vereinigen würde. The exiting from the terminators radiation beam 144 are directed to the convex cylindrical lens 202, which would combine the beams from the individual layers in their focus to a line with the length of the beam diameter. Im Bereich des Fokus ist eine konkave Zylinderlinse 203 mit geringerer Brennweite als sie die Zylinderlinse 202 hat, so angebracht, daß ihr Fokus mit dem Fokus der Zylinderlinse 202 übereinstimmt. In the area of focus, a concave cylindrical lens is mounted with a smaller focal length 203 as it has the cylindrical lens 202 so that its focus coincident with the focus of the cylindrical lens 202nd Dadurch werden die Strahlen, die die Linse 203 verlassen, wieder parallel. Thereby, the rays leaving the lens 203, again in parallel. Die Abstände zwischen den einzelnen Ebenen haben sich aber gegenüber den Abständen, den die Strahlenbündel beim Verlassen der Abschlußstücke 26 , 94 hatten, um das Verhältnis der Brennweiten der beiden Zylinderlinsen reduziert. The distances between the individual levels have, however, compared to the distances to the beams leaving the terminators 26, 94 had to reduce the ratio of the focal lengths of the two cylindrical lenses. In Richtung der Spuren sind die Abstände der Strahlenbündel unverändert geblieben, da in die Zylinderlinsen in dieser Richtung keine Wirkung zeigen. In the direction of the tracks, the distances of the beams have remained unchanged since the cylindrical lenses in this direction have no effect. Dadurch ergeben sich in dem Modulator elliptische Strahlquerschnitte. This results in the modulator elliptical beam cross sections. Der Zweck dieser Anordnung ist beispielsweise, die gesamte Höhe der 3 übereinander liegenden Ellipsen so klein zu machen, daß sie in etwa der langen Achse der Ellipsen entspricht, um in den Kanälen des akustooptischen Modulators ähnliche Verhältnisse zu schaffen, wie bei einem runden Strahlquerschnitt, damit beispielsweise ähnlich kurze Schaltzeiten erzielt werden. The purpose of this arrangement is, for example, to make the entire height of the ellipses 3 superposed so small that it approximately corresponds to the long axis of the ellipse to create similar conditions in the channels of the acousto-optical modulator, as in a round beam cross section, so that for example, similar short response times are achieved.

Die Zylinderoptik ( 202 , 203 ) wird in Fig. 3b zwischen den Abschlußstücken ( 26 , 94 ) und dem Modulator ( 34 ) gezeigt. The cylindrical lens (202, 203) in Fig. 3b between the end pieces (26, 94) and the modulator (34) is shown. Es kann aber in Strahlrichtung vor oder nach der Zylinderoptik ein wellenlängen- oder polarisationsabhängiger Spiegel 37 angeordnet sein. But it may be a wavelength or polarization dependent mirror 37 may be arranged in beam direction before or after the cylindrical lens. Es kann auch eine Zylinderoptik ( 202 , 203 ) im Strahlengang nach dem Modulator, vor oder nach dem Streifenspiegel 46 angeordnet sein. It can also be a cylindrical lens (202, 203) in the beam path after the modulator, may be arranged before or after the strip mirror 46th Vorzugsweise wird die Zwischenabbildung im Strahlengang an den in Fig. 4a mit "E" bezeichneten Orten eingesetzt. Preferably, the intermediate image is inserted in the beam path at the locations designated in FIG. 4a "E" locations.

In Fig. 3c ist gezeigt, wie die Abstände der Strahlen aus den Abschlußstücken in beiden Richtungen verändert werden können. In Fig. 3c shows how the spacing of the beams can be changed from the terminators in both directions. Es wird eine verkleinernde Zwischenabbildung mittels der Linsen 191 und 192 angegeben, so daß der Abstand zwischen den einzelnen Abschlußstücken 26 , 94 größer sein darf, als der Abstand zwischen den einzelnen Modulatorkanälen T1 bis T4 auf dem mehrkanaligen akustooptischen Modulator 34 . There is provided a demagnifying the intermediate image by means of the lenses 191 and 192, so that the distance between the individual terminators 26, 94 may be larger than the distance between the individual modulator channels T1 to T4 in the multi-channel acousto-optical modulator 34th Das Abbildungsverhältnis entspricht dem Verhältnis der Brennweiten der beiden Linsen 191 und 192 . The magnification ratio is the ratio of the focal lengths of the two lenses 191 and 192nd Die Zwischenabbildung wird vorzugsweise telezentrisch ausgebildet, indem der Abstand der Linse 191 zu den Linsen 133 der Abschlußstücke 26 bzw. 94 und zu dem Überkreuzungspunkt 193 gleich ihrer Brennweite ist und indem der Abstand vom Überkreuzungspunkt 193 zu der Linse 192 sowie der Abstand der Linse 192 zum Modulatorkristall 34 gleich ihrer Brennweite ist. The intermediate image is formed preferably telecentric, by adjusting the distance of the lens 191 to the lens 133 of the terminators 26 and 94 and the crossover point 193 is its focal length equal to and by the distance from the crossing point 193 to the lens 192 and the distance of the lens 192 for modulator crystal 34 is equal to its focal length. Es kann durch Verstellen des Abstands zwischen den beiden Linsen aber auch erreicht werden, daß die aus der Linse 192 austretenden Strahlen nicht mehr parallel verlaufen, sondern in einem Winkel zueinander, um daran einen Strahlengang gemäß den Fig. 11 oder Fig. 12 anzuschließen. It can be also achieved by adjusting the distance between the two lenses, that the emerging from the lens 192 jets no longer run parallel, but at an angle to each other, to connect thereto a beam path according to the Fig. 11 or Fig. 12. Die Zwischenabbildung ( 191 , 192 ) wird in Fig. 3c zwischen den Abschlußstücken ( 26 , 94 ) und dem Modulator ( 34 ) gezeigt. The intermediate image (191, 192) is in Fig. 3c between the end pieces (26, 94) and the modulator (34) is shown. Es kann aber in Strahlrichtung vor oder nach der Zwischenabbildung ein wellenlängen- oder polarisationsabhängiger Spiegel 37 angeordnet sein. But it may be a wavelength or polarization dependent mirror 37 may be arranged in beam direction before or after the intermediate image. Es kann auch eine Zwischenabbildung ( 191 , 192 ) im Strahlengang nach dem Modulator, vor oder nach dem Streifenspiegel 46 angeordnet sein. It can also be an intermediate image (191, 192) in the beam path after the modulator, may be arranged before or after the strip mirror 46th Vorzugsweise wird die Zwischenabbildung im Strahlengang an den in Fig. 3a mit "E" bezeichneten Orten eingesetzt. Preferably, the intermediate image is inserted in the beam path at the locations designated in FIG. 3 by "E" locations.

In Fig. 3d sind Fassungen 29 in einem Gehäuse 145 für mehrere konisch ausgeführte Abschlußstücke 26 gezeigt, wie sie in Fig. 13 dargestellt sind und die eine zylindrische Form und zwei zylindrische Passungen aufweisen, von denen die der Linse 133 zugewendete Passung eine konische Form hat. Shown in Fig. 3d are sockets 29 in a case 145 for a plurality of conically running terminators 26, as shown in Fig. 13 and having a cylindrical shape and two cylindrical fittings, of which the lens 133 facing towards fitting has a conical shape , Es ist eine Anordnung in 2 parallelen Ebenen ausschnittsweise vorgesehen. It is an arrangement in two parallel planes fragmentary provided. Die Achsen der Abschlußstücke können in Richtung der Spuren parallel oder in einem Winkel zu einander verlaufen. The axes of the terminators may extend to each other in the direction of the tracks in parallel or at an angle. Das Gehäuse 145 mit den Fassungen 27 für die Abschlußstücke ist Bestandteil des Gehäuses 35 , 93 , es kann mit ihm aus einem Stück gefertigt oder als getrenntes Stück hergestellt und gasdicht mit ihm verbunden sein. The housing 145 with the mounts 27 for the end pieces is part of the housing 35, 93, it can be manufactured with it in one piece, or manufactured as a separate piece and gas tight connected thereto. Um die Verlustwärme abzuführen, kann das Gehäuse 145 gemäß der Erfindung mit Bohrungen 87 versehen sein, durch die ein Kühlmittel geleitet wird. To dissipate the heat loss, the housing may be provided 145 according to the invention with bores 87 through which a coolant is passed.

Fig. 3e zeigt eine Linse 101 , deren Fassung Bohrungen 87 enthält, die die Linse vorzugsweise in mehreren Windungen umschließen sollen und von einem Kühlmittel durchflossen sind. Fig. 3e shows a lens 101 whose version contains holes 87, the lens should preferably enclose a plurality of turns and are traversed by a coolant. Bei Anordnungen mit hoher Leistung kann man die Absorption des optischen Mediums der Linsen nicht außer acht lassen. In arrangements with high power can not allow the absorption of the optical medium of the lens into account. Außerdem wird von jeder optischen Fläche auch bei bester Vergütung eine geringer Anteil der Strahlung gestreut und von den Fassungsteilen absorbiert. In addition, scattered from each optical surface even with the best compensation a small proportion of the radiation and absorbed by the holding parts. Deshalb ist eine Kühlung der Linsenfassungen sinnvoll. Therefore, a cooling of the lens mounts makes sense. Es wurde bereits erwähnt, daß für die am höchsten beanspruchten Linsen Materialien mit hoher Wärmeleitfähigkeit und geringer Absorption wie z. It has already been mentioned that for the most highly stressed lens materials having high thermal conductivity and low absorption such. B. Saphir vorteilhaft sind. As sapphire are advantageous. Saphir hat außerdem den Vorteil, daß die Linsenoberfläche infolge der großen Härte des Materials beim Reinigen nicht verkratzt. Sapphire also has the advantage that the lens surface is not scratched due to the great hardness of the material when cleaning the advantage. Auch ist für eine gute Kontaktierung des optischen Mediums zu der Fassung zu sorgen, was vorteilhaft durch eine Metallisierung der Randzone des optischen Elementes und eine Verlötung 223 mit der Fassung vorgenommen wird, da metallische Lote eine bessere Wärmeleitung haben als Glaslote, zumal diese auch nur bei bestimmten Glassorten verwendet werden können. Also, is to ensure a good contact of the optical medium to the socket, which is advantageously carried out by a metallization of the edge zone of the optical element, and a soldering 223 to the socket as metallic alloys have a better heat conductivity than glass solders, particularly since this also only for certain types of glass can be used.

Fig. 3f zeigt einen Schnitt durch eine Fassung 118 gemäß der Erfindung für die Objektivlinse 61 , 103 , 112 , die beispielsweise mit einem Gewinde an dem Tubus 65 , 96 , oder der Fassung 116 befestigt und mit einer Dichtung 125 gedichtet wird. Fig. 3f shows a section through a socket 118 according to the invention for the objective lens 61, 103, 112, which is fixed, for example with a thread on the tube 65, 96, or socket 116 and sealed with a seal 125th Die Objektivlinse kann in die Fassung geklebt oder vorzugsweise an ihrem Rand metallisiert und in die Fassung gelötet werden ( 223 ). The objective lens can be glued into the socket, or preferably metallised on its edge and soldered into the socket (223). Die Fassung kann mit einer oder mehreren Bohrungen 120 versehen sein, durch die ein Schutzgas, das aus dem Innenraum der optischen Einheit 8 kommt, ausströmt und beispielsweise mittels einer Nut 119 über die zu der Bearbeitungsfläche weisende Seite der Objektivlinse 61 , 103 , 112 geleitet wird, um eine Verunreinigung der Objektivlinse durch Materialpartikel oder Gase, die bei der Bearbeitung freigesetzt werden zu vermeiden. The socket may be provided with one or more holes 120 through which a protective gas coming from the interior of the optical unit 8 flows out and, for example by means of a groove 119 on the side facing to the processing surface side of the objective lens 61, 103, is passed 112 in order to avoid contamination of the objective lens by material particles or gases which are released during processing.

In Fig. 4 wird eine weitere mehrteilige Aufnahme für die optische Einheit einer Laserstrahlungsquelle gezeigt, die sich in folgenden Punkten von der in Fig. 3 dargestellten unterscheidet: In FIG. 4, another multi-piece receptacle for the optical unit of a laser radiation source, there is shown in Figure 3 is illustrated in the following different points from the.:

  • - Gehäuse 93 , - housing 93,
  • - Abschlußstücke 94 , - end pieces 94,
  • - zylindrisches Rohr 95 , - cylindrical tube 95,
  • - Tubus 96 und - tube 96 and
  • - hoch reflektierender Spiegel 97 - highly reflective mirror 97

Das Gehäuse 93 hat zu den Abschlußstücken 94 passende Fassungen 29 . The housing 93 has right to the terminators 94 versions 29th Die Abschlußstücke 94 entsprechen vorzugsweise denen der Fig. 7, 7a und 7b, die Achsen Strahlenbündel laufen bei Aneinanderreihung der Abschlußstücke in den betreffenden Strahlenpaketen nicht parallel, sondern etwa auf das Zentrum der Konkavlinse 101 zu, was in der Draufsicht Fig. 11 gezeigt ist. The end pieces 94 preferably correspond to those of Fig. 7, 7a and 7b, the axes ray beam running at juxtaposition of the terminators in the respective beams packets not parallel, but approximately at the center of the concave lens 101, which is shown in the plan view Fig. 11. Es können aber auch andere Formen der Abschlußstücke verwendet werden, wenn dafür gesorgt ist, daß die Fassungen 29 dafür unter einem entsprechenden Winkel angeordnet sind, wie beispielsweise in Fig. 13 gezeigt. But it can also be used other forms of the terminators, if it is ensured that the frames 29 are arranged for at a corresponding angle, such as shown in Fig. 13. In dem Tubus 96 befindet sich als Übertragungseinheit eine Abbildungsoptik, die aus 3 Linsen besteht, nämlich eine Zerstreuungslinse, also eine Konkavlinse 101 und zwei Sammellinsen, also Konvexlinsen 102 und 103 , wobei die Linse 103 vorzugsweise als auswechselbare Objektivlinse ausgeführt ist. In the tube 96 is located as a transmission unit, a imaging optical system which consists of 3 lenses, namely a concave lens, that is a concave lens 101 and two converging lenses, so convex lenses 102 and 103, the lens 103 is preferably designed as interchangeable objective lens. Für die Montage der Linsen bezüglich Dichtheit und Wärmeableitung gilt das unter Fig. 3 Gesagte, ebenso für die Materialwahl bezüglich der Wärmeleitung. This is true for FIG. 3 has been said for the assembly of the lenses with respect to leaks and heat dissipation, as well as for the choice of materials with regard to the heat conduction. Der Tubus 96 kann in dem Raum zwischen den Linsen 101 und 102 evakuiert sein oder mit einem Schutzgas gefüllt sein oder vorzugsweise über eine Bohrung 104 mit dem Raum 105 verbunden sein, der seinerseits über eine Bohrung 106 mit dem Raum 107 verbunden ist. The tube 96 may be evacuated in the space between the lenses 101 and 102, or be filled with an inert gas or may be connected via a bore 104 with the space 105 preferably is in turn connected via a bore 106 with the space 107th Der Raum 107 ist mit dem Raum 111 über die Bohrung 47 verbunden, der seinerseits gasdicht abgeschlossen ist, wie unter Fig. 3 beschrieben. The space 107 is connected to the space 111 via the bore 47, which in turn is sealed gas-tight, as described in FIG. 3. Der Raum zwischen den Linsen 102 und 103 kann über eine Bohrung 72 , 104 ( Fig. 3f) mit dem Raum 105 verbunden sein, insbesondere wenn die Fassung des Objektives gasdicht abgeschlossen ist oder wie unter Fig. 3 beschrieben ständig eine geringe Menge des Schutzgases durch die optische Einheit fließt und in der Nähe der Objektivlinse austritt, was in Fig. 3f gezeigt ist. The space between the lenses 102 and 103 may have a bore 72, 104 (Fig. 3f) to be connected to the space 105, particularly if the version of the lens is sealed gas-tight, or as in FIG. 3, a small amount of the protective gas described continuously by the optical unit flows and exits in the vicinity of the objective lens, which is shown in Fig. 3f. Der gesamte Innenraum der Aufnahme für die optische Einheit, bestehend aus den Räumen 111 , 105 , 107 , ist vorzugsweise evakuiert oder mit einem Schutzgas gefüllt bzw. von einem Schutzgas durchströmt, wie unter Fig. 3 detailliert beschrieben wurde. The entire interior of the receptacle for the optical unit, consisting of the spaces 111, 105, 107 is described in detail was preferably evacuated or filled with a protective gas and through which a protective gas, with FIG. 3. Die nicht gewünschten Strahlenbündel werden mit einem hoch reflektierenden Spiegel 97 abgefangen. The non-desired beams are scavenged with a highly reflective mirror 97th Der Abstand zwischen dem hochreflektierenden Spiegel und den Modulatoren ist entsprechend groß gehalten, um eine ausreichende räumliche Trennung der Strahlenpakete I 0 und I 1 zu erzielen. The distance between the high reflectivity mirror and the modulators is kept correspondingly large to achieve a sufficient spatial separation of the beam packets I 0 and I. 1 Der optische Strahlengang der Übertragungseinheit in Fig. 4 stellt eine Seitenansicht dar, in Fig. 11 ist ein prinzipieller Strahlengang für eine Draufsicht zu Fig. 4 a 33113 00070 552 001000280000000200012000285913300200040 0002019840927 00004 32994ngegeben. The optical beam path of the transmission unit in Fig. 4 illustrates a side view in FIG. 11 is a principal beam path for a plan view of Fig. 4 a 33113 00070 552 00004 001000280000000200012000285913300200040 0002019840927 is 32994ngegeben. Der Strahlengang der Linsen 101 und 102 entspricht dem eines umgekehrten Galilei- Teleskops; The optical path of the lenses 101 and 102 corresponding to an inverted Galilean telescope; er läßt sich aber auch als ein umgekehrtes Kepler-Teleskop ausführen, wenn man die kurzbrennweitige Konkavlinse 101 gegen eine Konvexlinse austauscht. but he can also run as an inverted Kepler telescope when exchanging the short focal length concave lens 101 against a convex lens. Solche Teleskope sind beschrieben in dem Lehrbuch "Optik" von Klein und Furtak, Springer 1988, S. 140 bis 141. Der Vorteil der Anordnung nach Fig. 4 ist, daß für die Übertragungseinheit nur 3 Linsen erforderlich sind. Such telescopes are described in the text book "Optics" by Klein and Furtak, Springer 1988, pp 140 to 141. The advantage of the arrangement according to FIG. 4 is that only 3 lenses are required for the transmission unit. Der Nachteil, daß die Strahlenbündel der einzelnen Abschlußstücke nicht parallel verlaufen, wird durch Abschlußstücke gemäß den Fig. 7, 7a und 7b behoben. The disadvantage is that the beams of the different terminators are not parallel is resolved by end pieces according to FIGS. 7, 7a and 7b.

Man könnte auch eine Linse 55 verwenden, um die Strahlenbündel in die gewünschte Richtung umzulenken, wie in Fig. 10 dargestellt wurde. One could also use a lens 55 to deflect the beams in the desired direction, as shown in Fig. 10. Dann würden die einzelnen Laserstrahlenbündel zwischen den Abschlußstücken 26 und der Linse 55 , die wie in Fig. 3 angeordnet wird, parallel zueinander verlaufen und es ergibt sich bezüglich des Gehäuses und der Abschlußstücke bzw. ihrer Anordnung kein Unterschied zu Fig. 3. Da aber die Linse 55 neben der ablenkenden Wirkung auch eine sammelnde Wirkung auf die einzelnen Strahlenbündel ausübt, würden am Ort der Konkavlinse 101 nicht die gleichen Verhältnisse entstehen wie in Fig. 11. Dies kann aber durch eine andere Justierung des Abstands der Faser 28 bzw. der Laserfiber 5 zu der Linse 133 oder eine Modifikation der Linse 133 in den Abschlußstücken 26 ausgeglichen werden, dh der Strahlenkegel der Laserstrahlenbündel aus den einzelnen Abschlußstücken würde jeweils so eingestellt, daß sich auf der Bearbeitungsfläche am Ort der Punkte B 1 bis B n jeweils ein scharfes Bild ergibt. Then would the individual laser beams between the end pieces 26 and the lens 55 which is arranged as shown in Fig. 3, parallel to each other and there is relative to the housing and the end pieces and of their arrangement, no difference to Fig. 3. However, since the lens 55 in addition to the bending force also exerts a converging effect on the single beam would at the location of the concave lens 101 is not the same conditions arise as in Fig. 11. however, this can by a different adjustment of the distance of the fiber 28 and the laser fiber 5 to be compensated to the lens 133 or a modification of the lens 133 in the terminators 26, ie the cone of rays of the laser beams from the individual terminators would be adjusted such that on the processing surface at the location of the points B 1 n to B in each case results in a sharp image , Es ist gemäß der Erfindung auch möglich, die Linsen 102 und 103 zu einer einzigen, gemeinsamen Linse zusammenzufassen. It is also possible according to the invention, the lenses 102 and 103 together to a single common lens. Dann ergibt sich eine Übertragungseinheit mit nur 2 Linsen. Then there is a transmission unit with just two lenses.

An der mehrteiligen Aufnahme ist ein besonderes Mundstück 82 vorgesehen, das eine Verschmutzung der Objektivlinse 112 verhindern soll und das in der parallellaufenden, gleichzeitig mit der vorliegenden Anmeldung eingereichten deutschen Gebrauchsmusteranmeldung "Anordnung zum Entfernen von Material, das durch eine Laserstrahlungsquelle bei der Materialbearbeitung von einer Bearbeitungsfläche abgetragen wird", Zeichen der Anmelderin 98/1039 GM, beschrieben ist. At the multiple receiving a special mouthpiece 82 is provided, which is to prevent contamination of the objective lens 112 and the German in the parallel-running, concurrently filed with the present application utility model application "arrangement for the removal of material by a laser radiation source for material processing of a machining area is removed, "mark of the applicant 98/1039 GM, is described.

Fig. 5 zeigt eine mehrteilige Aufnahme, die noch wesentlich kompakter ausgeführt ist, als die der Fig. 3 und 4. Als Übertragungseinheit wird in Verbindung mit einer Spiegelanordnung eine Objektivlinse 112 verwendet, die zum Erzielen verschiedener Abbildungsmaßstäbe ausgetauscht werden kann. Fig. 5 shows a multi-part receptacle, which is still performed much more compact than that of Fig. 3 and 4. As a transfer unit, an objective lens 112 is used in conjunction with a mirror arrangement which can be exchanged for obtaining different imaging scales. Fig. 5 unterscheidet sich von Fig. 4 in folgenden Punkten. Fig. 5 is different from Fig. 4 in the following points. Das zylindrische Rohr 95 wird ersetzt durch ein exzentrisches Rohr 113 . The cylindrical tube 95 is replaced by an eccentric tube 113th Der Tubus 96 wird vorzugsweise ersetzt durch eine Platte 114 mit einem Hohlspiegel 115 und eine Fassung 116 mit einer Objektivlinse 112 und einer hoch vergüteten Platte 117 . The tube 96 is preferably replaced by a plate 114 having a concave mirror 115 and a socket 116 with an objective lens 112 and a high-temper plate 117th Die Abfangeinheit 73 erhält oberhalb des hochreflektierenden Spiegels 97 einen gewölbten (konvexen) Spiegel 121 . The interceptor 73 receives an arched (convex) mirror 121 above the high-reflecting mirror 97th Das exzentrische Rohr ist auf einer Seite mit dem Gehäuse 93 verbunden. The eccentric pipe is connected on one side to the housing 93rd Eine Dichtung 52 sorgt für die erforderliche Dichtheit. A seal 52 ensures the required tightness. In das exzentrische Rohr 113 ist eine Platte 114 eingesetzt, die einen Durchlaß für die Strahlenpakete I 0 und I 1 , enthält und den Hohlspiegel 115 trägt, dessen Verlustwärme damit gut an das exzentrische Rohr abgeleitet wird. In the eccentric tube 113, a plate 114 is used which includes a passage for the beam packets I 0 and I 1, and carries the concave mirror 115, the waste heat is thus dissipated well to the eccentric tube. Das exzentrische Rohr hat zwei zueinander vorzugsweise parallele Achsen, nämlich erstens die Symmetrieachse der eintretenden Strahlenpakete mit der Richtung 10 , die auf den gewölbte Spiegel gerichtet sind und zweitens die Achse zwischen Hohlspiegel und Objektivlinse 112 , die als optische Symmetrieachse für die austretende Laserstrahlung betrachtet werden kann. The eccentric tube has two mutually preferably parallel axes, namely, first, the axis of symmetry of the incoming beam packets with the direction 10, which are directed to the curved mirror, and second, the axis between the concave mirror and the objective lens 112, which are considered as the optical axis of symmetry for the emerging laser radiation can , Gemäß der Erfindung ist der Strahlengang mittels der beiden Spiegel 121 und 115 gefaltet. According to the invention, the beam path by means of the two mirrors 121 and 115 folded. Der gewölbte Spiegel 121 ist vorzugsweise aus Metall gefertigt. The curved mirror 121 is preferably made of metal. Er ist eng mit dem hoch reflektierenden Spiegel 97 verbunden und vorzugsweise mit ihm zusammen aus einem Stück gefertigt. It is closely associated with the high reflection mirror 97 and made preferably together with it in one piece. Die konvexe Fläche des gewölbten Spiegels kann sphärisch oder asphärisch geformt sein. The convex surface of the curved mirror may be spherical or aspherical shape. Der Spiegel 115 ist konkav geformt, also ein Hohlspiegel. The mirror 115 is concave in shape, so a concave mirror. Seine Fläche kann sphärisch geformt sein, ist aber vorzugsweise asphärisch geformt. Its surface can be spherical in shape, but is preferably formed aspherical. Er besteht vorzugsweise aus Metall. It is preferably made of metal. Metall hat den Vorteil der guten Abführung der Verlustwärme. Metal has the advantage of being easily dissipating the heat loss. Weiterhin ergibt sich bei der Herstellung aus Metall ein erheblicher Vorteil bei der Erzeugung asphärischer Flächen, die in diesem Fall nämlich, wie auch sphärische und plane Flächen, durch bekannte Diamant-Polierdrehverfahren erzeugt werden können. Furthermore, a considerable advantage in the production of aspheric surfaces that can be generated in this case, namely, as well as spherical and flat surfaces by known diamond turning polishing method results in the production of metal. Dadurch können der hoch reflektierende Spiegel 97 und der gewölbte Spiegel 121 aus einem Stück und vorzugsweise in einem Arbeitsgang mit der gleichen Form der Oberfläche hergestellt und gemeinsam verspiegelt werden, was besonders einfach in der Herstellung und sehr vorteilhaft für die Positionsstabilität des gewölbten Spiegels ist, denn bei der Modulation der Laserenergie mittels des akustooptischen Modulators trifft sie entweder auf den gewölbten Spiegel 121 oder auf den hochreflektierenden Spiegel 97 . Thereby, the highly reflective mirror 97 and the curved mirrors may be in one piece and preferably made in one operation with the same shape of the surface and mirror together 121, which is particularly simple to manufacture and very advantageous for the positional stability of the curved mirror, for in the modulation of laser energy by means of the acousto-optic modulator it meets either of the curved mirror 121 or on the highly reflective mirror 97th Die erzeugte Verlustwärme bleibt in jedem Fall gleich und der gewölbte Spiegel behält seine Temperatur und damit seine Position bei, was sehr wichtig ist, da er vorzugsweise mit einer kurzen Brennweite ausgeführt ist und deshalb die Abbildungsgüte der Anordnung sehr von seiner exakten Position abhängig ist. The heat produced remains the same in each case and the curved mirrors maintains its temperature and thus its position in what is very important because it is preferably carried out with a short focal length and therefore the image quality of the device is very dependent on its exact position. In diesem Fall hat der gewölbte Spiegel 121 die Funktion des hochreflektierenden Spiegels 97 in vorteilhafter Weise mit übernommen. In this case, the curved mirror has taken 121 the function of the highly reflective mirror 97 advantageously with. Der hochreflektierende Spiegel 97 kann aber auch eine andere Form der Oberfläche haben als der gewölbte Spiegel 121 und beispielsweise ein Planspiegel sein. But the highly reflective mirror 97 can also have a different shape of the surface have than the curved mirrors 121 and for example, a plane mirror to be. Der Strahlengang ähnelt dem eines umgekehrten Spiegelteleskops nach Herschel, das statt des gewölbten Spiegels aber eine Konvexlinse enthält, und ist in Fig. 12 näher beschrieben. The beam path is similar to an inverted telescope mirror according to Herschel, but which includes a convex lens instead of the curved mirror, and is described in more detail in Fig. 12. Spiegelteleskope sind in dem "Lehrbuch der Experimentalphysik Band III, Optik" von Bergmann-Schäfer, 7. Auflage, De Gruyter 1978, auf der Seite 152 beschrieben. Reflector telescopes are in the "Textbook of Experimental Physics Volume III, optics" by Bergmann-Schäfer, 7th edition, De Gruyter, 1978, on the side of the 152nd Man kann auch den gewölbten Spiegel durch einen kurzbrennweitigen Hohlspiegel ersetzen. You can also replace the curved mirror with a short focal length concave mirror. Dadurch würde die Baulänge geringfügig vergrößert und es wären andere Strahlenkegel der aus dem Abschlußstück austretenden Strahlenbündel einzustellen, um in der Bildebene ein scharfes Bild zu erhalten. Thereby, the length would be increased slightly and were set other cone of rays emerging from the end piece radiation beam in order to obtain a sharp image in the image plane. An dem exzentrischen Rohr ist die Abfanganordnung 73 über eine Dichtung 76 gasdicht angebracht, über die die nicht erwünschte Laserenergie, wie unter den Fig. 3 und 4 beschrieben, zu einer Kühlplatte 86 mit Bohrungen 87 abgeleitet und unschädlich gemacht wird. To the eccentric tube, the intercept 73 is attached gas-tight manner via a gasket 76, through which the unwanted laser energy as described in Figs. 3 and 4, is diverted to a cooling plate 86 with holes 87 and rendered harmless. Es ist auch möglich, bereits am Ort der Platte 114 die nicht erwünschte Laserstrahlung aus dem Strahlenpaket I, abzufangen und unschädlich zu machen. It is also possible from the optical package I intercept the undesired laser radiation already at the site of the plate 114 and render them harmless.

Der Raum 111 in dem Gehäuse 93 ist über die Bohrung 122 mit dem Holhlraum 123 verbunden. The space 111 in the housing 93 is connected via the bore 122 with the Holhlraum 123rd Beide Räume können evakuiert oder vorzugsweise mit einem Schutzgas gefüllt bzw. von einem Schutzgas durchströmt werden wie bereits beschrieben. Both chambers can be evacuated or preferably filled with a protective gas and through which a protective gas as previously described. An dem Ende des exzentrischen Rohres 113 , das dem Gehäuse 93 gegenüberliegt, ist die Fassung 116 angebracht, die die auswechselbare Objektivlinse 112 aufnimmt. At the end of the eccentric tube 113, opposite to the housing 93, the socket 116 is mounted that receives the interchangeable objective lens 112th Eine Dichtung 124 schließt den Hohlraum 123 gasdicht ab. A seal 124 closes the cavity 123 in a gastight manner. Weiterhin kann die Fassung eine vergütete Platte 117 aufnehmen, deren Rand vorzugsweise metallisiert ist, und die mit der Fassung vorzugsweise gasdicht verlötet ist. Furthermore, the socket may accept a tempered plate 117, the edge of which is preferably metallized, and which is preferably soldered gas-tight to the socket. Ihre Aufgabe es ist, den Hohlraum 123 gasdicht zu halten, wenn die Objektivlinse zum Reinigen entfernt wurde oder wenn eine Objektivlinse mit anderer Brennweite eingesetzt werden soll, um einen anderen Abbildungsmaßstab zu erzeugen. Your job is to keep the cavity 123 gas-tight, when the objective lens has been removed for cleaning or if an objective lens with a different focal length to be used to generate a different magnification. Der Raum zwischen der Objektivlinse 112 und der hoch vergüteten Platte 117 kann auch über eine Bohrung 104 mit dem Raum 123 verbunden sein, insbesondere dann, wenn die gesamte optische Einheit wie unter Fig. 4 beschrieben, ständig von einem Schutzgas durchströmt wird, das in der Nähe der Objektivlinse 112 austritt, was in der Fig. 3f gezeigt ist. The space between the objective lens 112 and the high temper plate 117 may also be connected via a bore 104 with the space 123, particularly when the total optical unit as described in Fig. 4 described is continuously flowed through by a protective gas in the vicinity of the objective lens 112 exits, as shown in Fig. 3f. Die hoch vergütete Platte 117 kann aber auch optische Korrekturfunktionen enthalten, wie sie von der aus der Literatur bekannten Schmidt-Optik bekannt sind, um damit die optische Abbildungsqualität der Anordnung zu verbessern. But the high quality coated plate 117 may also include optical correction functions, as they are known from the famous fictional Schmidt optics in order to improve the optical imaging quality of the assembly. Es ist aber auch möglich, die hoch vergütete Platte wegzulassen, insbesondere, wenn sie keine optische Korrekturfunktion enthält und die Objektivlinse gasdicht eingesetzt wurde oder durch ein hindurch strömendes Schutzgas dafür gesorgt ist, daß beim Wechseln der Objektivlinse kein Schmutz in den Raum 123 eintreten kann. It is also possible to omit the high-coated plate, especially when it contains no optical correction function and the objective lens was used a gas-tight or is provided by a flowing therethrough protective gas that can enter into the space 123 when replacing the objective lens dirt.

An der mehrteiligen Aufnahme ist ein besonderes Mundstück 82 vorgesehen, das eine Verschmutzung der Objektivlinse 112 verhindern soll, wie es in der parallellaufenden, gleichzeitig mit der vorliegenden Anmeldung eingereichten deutschen Gebrauchsmusteranmeldung "Anordnung zum Entfernen von Material, das durch eine Laserstrahlungsquelle bei der Materialbearbeitung von einer Bearbeitungsfläche abgetragen wird", Zeichen der Anmelderin 98/1039 GM, beschrieben ist. At the multiple receiving a special mouthpiece 82 is provided, which is to prevent contamination of the objective lens 112 as in the parallel-running, concurrently filed with the present application, German utility model application "arrangement for removal of material, which is one by a laser radiation source for material processing is ablated processing surface "mark of the applicant 98/1039 GM, is described.

Das exzentrische Rohr kann mit Kühlrippen 92 versehen sein, die von einem nicht dargestellten Lüfter angeblasen werden können, um die Verlustwärme besser an die Umgebung abzugeben. The eccentric tube can be provided with cooling fins 92 that can be blown by a fan, not shown, to discharge the waste heat better to the environment. Die mehrteilige Aufnahme ist in einem Prisma um eine durch die Objektivlinse definierte Achse zwischen Hohlspiegel und Objektivlinse drehbar gelagert, um den Spurabstand wie unter Fig. 3 beschrieben einstellbar zu machen und den richtigen Abstand zu der Bearbeitungsfläche 81 einzustellen. The multi-part receptacle is mounted in a prism to a plane defined by the objective lens axis between the concave mirror and the objective lens rotatable to make the track pitch be set as described in Fig. 3 and adjust the distance to the processing surface 81. Die mehrteilige Aufnahme kann mit einem Spannband 85 fixiert werden. The multi-piece receptacle can be fixed with a clamping band 85th

Weiterhin gelten alle Beschreibungen, die zu den Fig. 3, 3a und 4 gegeben wurden, sinngemäß. Furthermore, all the descriptions that have been added to Figs. 3, 3a and 4 apply, mutatis mutandis.

Es ist aber auch möglich, anstelle des akustooptischen Modulators 34 andere Modulatoren, z. But it is also possible, instead of the acousto-optic modulator 34 other modulators such. B. sogenannte elektrooptische Modulatoren einzusetzen. use as so-called electro-optical modulators. Elektrooptische Modulatoren sind unter den Begriffen "Lasermodulatoren", "Phasen-Modulatoren" und "Pockels-Zellen" auf den Seiten F16 bis F33 des Gesamtkatalogs G3, Bestell Nr. 650020 der Firma Laser Spindler & Hoyer, Göttingen beschrieben. Electro-optical modulators are the terms "laser modulators", "phase modulators" and "Pockels cell" on pages F16 to F33 of the complete catalog G3, Cat. No. 650020 of Laser Spindler & Hoyer, Göttingen described. Es sind auch mehrkanalige elektrooptische Modulatoren verwendet worden, was in der Druckschrift "Der Laser in der Druckindustrie" von Werner Hülsbuch, Verlag W. Hülsbusch, Konstanz, auf Seite 523 in Abbildung 8- 90a gezeigt ist. There have been used, "The laser in the printing industry" by Werner sleeve book, published by W. Hülsenbusch, Constance, is on page 523 shown in Figure 8 90a in the publication and multi-channel electro-optical modulators. Verwendet man ein- oder mehrkanalige elektrooptische Modulatoren in Zusammenhang mit einem doppelbrechenden Material, dann kann man jeden Laserstrahl in zwei Strahlen aufspalten, die über weitere Modulatoren getrennt moduliert werden können. Using, or multi-channel electro-optic modulators switched on in connection with a birefringent material, then one can split each laser beam into two beams, which can be separately modulated on other modulators. Eine solche Anordnung wird in der Literatur auch als elektrooptischer Ablenker bezeichnet. Such an arrangement is referred to in the literature as electro-optic deflector.

Man kann aber auch die Fiberlaser direkt modulieren. But you can also modulate the laser fiber directly. Solche direkt modulierbaren Fiberlaser, die über einen separaten Modulationseingang verfügen, werden beispielsweise von der Firma IPG Laser GmbH D-57299 Burbach, unter der Bezeichnung "Modell YPLM Series", angeboten. Such directly modulated fiber lasers, which have a separate modulation input are, for example, offered by the company IPG Laser GmbH D-57299 Burbach, under the name "Model YPLM Series". Der Vorteil ist, daß die Modulatoren und die zugehörige Elektronik entfallen können, wie in Fig. 13 gezeigt ist. The advantage is that the modulators and the associated electronics can be omitted, as shown in Fig. 13.

In Fig. 6 ist eine Ausführungsform eines Abschlußstücks 26 (Terminator) für eine Faser gezeigt. In FIG. 6, an embodiment of a final piece 26 (terminator) for a fiber is shown. Solche Abschlußstücke können mit Vorteil für die Auskopplung der Laserstrahlung aus einer Faser verwendet werden, wie sie in der parallellaufenden, gleichzeitig mit der vorliegenden Anmeldung eingereichten deutschen Patentanmeldung "Abschlußstück für Lichtleitfasern", Zeichen der Anmelderin 98/1037, und in der parallellaufenden, gleichzeitig mit der vorliegenden Anmeldung eingereichten deutschen Gebrauchsmusteranmeldung "Abschlußstück für Lichtleitfasern", Zeichen der Anmelderin 9811037 GM, beschrieben sind. Such terminators can be used with advantage for outcoupling the laser radiation from a fiber, as in the parallel-running, concurrently filed with the present application, German patent application "end piece for optical fibers", number of the applicant 98/1037, and in co-running, simultaneously with the present application filed German utility model application "end piece for optical fibers," number of the applicant 9811037 GM, are described. Dieses Abschlußstück 26 kann grundsätzlich für alle Anwendungsfälle benutzt werden, bei denen es darauf ankommt, das aus einer Faser 28 oder einer zu einem Fiberlaser gehörenden Laserfiber 5 austretende Strahlenbündel mit einer lösbaren Verbindung präzise anzukoppeln. This end piece 26 can in principle be used for all applications in which it is important to couple the emerging beam 5 with a detachable connection of a fiber 28 or belonging to a Fiber Laser Laser Fiber precisely. Ebenso ist es mit Hilfe dieses Abschlußstücks möglich, eine präzise lösbare Verbindung der Faser 5 , 28 mit der übrigen Optik zu erzeugen. It is also possible by means of this terminator, a precise releasable connection of the fiber 5, to form with the rest of the optics 28th Das Gehäuse weist eine oder mehrere äußere Passungen 134 auf, mit denen das Gehäuse in einer Fassung 29 genau eingesetzt werden kann. The housing has one or more outer fittings 134, with which the housing can be accurately inserted in a socket 29th An einem Ende des Gehäuses wird das Ende der Faser 28 bzw. der Laserfiber 5 aufgenommen und innerhalb des Gehäuses in der Öffnung 130 geführt. The end of the fiber 28 and the laser fiber 5 is accommodated and guided inside the housing in the opening 130 at one end of the housing. Am anderen Ende des Gehäuses ist eine kurzbrennweitige Linse 133 befestigt. At the other end of the housing a short focal length lens 133 is mounted. Es können Mittel zum Justieren der Lage der Faser 28 bzw. Laserfiber 5 innerhalb des Abschlußstückes vorgesehen werden, um die Lage der Faser 28 bzw. Laserfiber 5 zu der Linse 133 innerhalb des Abschlußstückes und in Bezug auf die Passungen 134 zu justieren. It can be provided within the end piece means for adjusting the position of the fiber 28 and laser fiber 5 to adjust the position of the fiber 28 and laser fiber 5 to the lens 133 within the end piece and in relation to the fits 134th Es kann auch die Lage der Linse zu der Faser justiert werden. It can be adjusted, the position of the lens to the fiber. Durch die Justierung soll erreicht werden, daß das aus der Linse 133 austretende Strahlenbündel 144 in eine vorgegebene Achs- und Fokuslage mit einem definierten Kegel gebracht wird. By adjusting that the light exiting the lens 133 beam is placed 144 in a predetermined spacing and focal position with a defined cone is to be achieved.

In Fig. 6a ist ein Querschnitt durch das Abschlußstück 26 im Bereich der Justierschrauben gezeigt. In Fig. 6a shows a cross section through the end piece 26 in the region of the adjusting screws is shown.

Die in Fig. 6 dargestellte Ausführungsform des Abschlußstücks 26 hat einen quadratischen oder rechteckigen Querschnitt, bei dem alle gegenüberliegenden Aussenflächen parallel verlaufen und Passungen 134 sein können. The embodiment of the end piece 26 shown in FIG. 6 has a square or rectangular cross-section in which all run parallel opposite exterior surfaces and fits 134 may be. Um zu verhindern, daß die optischen Flächen auf der Lichtleitfaser und der Seite der Linse 133 , die der Lichtleitfaser zugewendet ist, durch Partikel in der umgebenden Luft verschmutzen, können die Verbindungen in den Fig. 6, 6a, 7, 7a und 7b zwischen der Linse 133 und dem Gehäuse sowie zwischen den Justierschrauben und dem Gehäuse hermetisch verschlossen werden. In order to prevent the optical surfaces on the optical fiber and the side of the lens 133, which faces the optical fiber, dirty by particles in the surrounding air, the compounds shown in Figs. 6, 6a, 7, 7a and 7b between the lens 133 and the housing and between the adjustment screws and the housing are hermetically sealed. Fig. 7 zeigt eine Ausführungsform des Abschlußstücks 94 mit rechteckigem Querschnitt, wobei zwei gegenüberliegende Außenflächen trapezförmig und zwei gegenüberliegende Außenflächen parallel zueinander verlaufen. Fig. 7 shows an embodiment of the terminator 94 with a rectangular cross-section, with two opposing outer surfaces are trapezoidal and two opposing outer surfaces parallel to each other. Es können auch alle gegenüberliegenden Außenflächen trapezförmig zueinander verlaufen. It may extend to each other all opposite outer surfaces trapezoidal. Die Außenflächen können Passungen 134 sein. The outer surfaces can be fits 134th

In Fig. 7a ist ein Längsschnitt und in Fig. 7b ist ein Querschnitt durch das Abschlußstück gemäß Fig. 7 gezeigt. In Fig. 7a is a longitudinal sectional view in FIG. 7b is a cross-section through the end piece of FIG. 7 is shown.

Es ist grundsätzlich möglich, mehrere der im vorangehenden beschriebenen Abschlußstücke in mehreren Spuren nebeneinander und in mehreren Ebenen übereinander zu einem Paket zusammenzufassen. It is possible in principle over each other combine a plurality of the terminators described in the preceding in a plurality of tracks next to one another and in several layers to form a package. Es ist weiterhin möglich, die Form der Abschlußstücke und der zugehörigen Fassungen anders als in den Figuren dargestellt auszuführen, beispielsweise kann eine zylindrische Form mit einer zylindrischen und einer konischen Passung gemäß den Fassungen in Fig. 3d verwendet werden oder eine ausschließlich zylindrische Passung eingesetzt werden, oder es kann eine beispielsweise zylindrische Form des Abschlußstücks rechteckförmige oder trapezförmige Passungen nach Fig. 6 oder 7 erhalten. It is further possible to make the shape of the end pieces and the associated frames different than shown in the figures, for example, a cylindrical shape with a cylindrical and a conical fit in accordance with the versions in Fig. 3d are used, or an exclusively cylindrical fit are used, or it may receive 6 or 7 a rectangular cylindrical shape, for example, of the terminator or trapezoidal fits according to Fig..

In Fig. 8 ist eine Anordnung mit einem elektrooptischen Modulator 168 dargestellt. In FIG. 8 illustrates an arrangement comprising an electro-optical modulator 168th In einem elektrooptischen Modulator wird beispielsweise die Polarisationsrichtung der nicht zur Bearbeitung erwünschten Laserstrahlung aus dem auftreffenden Strahlenbündel 163 gedreht (P b ) und anschließend in einem polarisationsabhängigen Strahlteiler, der auch als polararisationsabhängiger Spiegel 169 bezeichnet wird, die nicht zur Bearbeitung erwünschte Laserstrahlung P b abgetrennt und in einen Sumpf, beispielsweise in einen Wärmetauscher, der aus einer gekühlten Platte 86 bestehen kann, geleitet. In an electro-optical modulator, the polarization direction of the non desired for machining laser radiation is for example turned out of the incident radiation beam 163 (P b) and then in a polarization dependent beam splitter, which is also referred to as polararisationsabhängiger mirror 169, the undesirable for processing laser radiation P b separated and in a sump, for example in a heat exchanger, which may consist of a cooled plate 86 is passed. Die zur Bearbeitung erwünschte Strahlung P a wird nicht in der Polarisationsrichtung gedreht und über die Linse 165 der Bearbeitungsfläche zugeführt. The desired radiation for processing a P is not rotated in the polarization direction and supplied via the lens 165 of the processing surface. In den Ausführungsbeispielen nach den Fig. 3, 4, und 5 können die ein- oder mehrkanaligen akustooptischen Modulatoren 34 durch entsprechende ein- oder mehrkanalige elektrooptische Modulatoren ersetzt werden. In the embodiments according to FIGS. 3, 4, and 5, the single or multi-channel acousto-optical modulators 34 may be replaced by corresponding single or multi-channel electro-optic modulators. Ebenso kann in den Ausführungsbeispielen nach den Fig. 3, 4, und 5 der hochreflektierende Spiegel 74 , 97 durch den polarisationsabhängigen Spiegel 169 ersetzt werden ( Fig. 18a), woraus sich eine Abfanganordnung 78 ergibt und wobei der polarisationsabhängige Spiegel in den zur Bearbeitung erwünschten Strahlengang hinein reicht. Likewise, (18a Fig.) Can be used in the embodiments according to FIGS. 3, 4, and 5 of the highly reflective mirror 74, 97 are replaced by the polarization dependent mirror 169, resulting in an intercept gives 78, and wherein the polarization dependent mirror desired in the editing beam path extends into.

Fig. 9 zeigt eine Draufsicht auf einen vierkanaligen akustooptischen Ablenker bzw. Modulator, bei dem der Abstand von Kanal zu Kanal beispielsweise 2,5 mm beträgt. Fig. 9 shows a plan view of a four-channel acousto-optical deflector or modulator, wherein the spacing from channel to channel is for example 2.5 mm. In der Beschreibung zu den Fig. 3, 3a, 4 und 5 wird erwähnt, daß der Raum 44 bzw. 111 , in dem die Modulatoren angeordnet sind, möglichst frei von solchen Komponenten sein soll, die Partikel oder Gase absondern, weil sich damit Partikel auf den hochbelasteten optischen Flächen absetzen könnten, was zum frühzeitigen Ausfall der Anordnung führen würde. In the description of Figs. 3, 3a, 4 and 5 it is noted that the chamber 44 or 111 in which the modulators are arranged to be as free as possible of such components that secrete particles or gases, because they allow particles could settle on the highly stressed optical surfaces, which would lead to premature failure of the assembly. Aus diesem Grunde sind die elektrischen Komponenten der Anordnung in Fig. 9 und 9a auf einer separaten Leiterplatte 171 angeordnet, die nur mit zwei Armen in den gedichteten Raum hineinragt und die elektrischen Anschlüsse zu den piezoelektrischen Gebern 45 herstellt. For this reason, the electrical components of the assembly in Fig. 9 and 9a arranged on a separate printed circuit board 171, which protrudes only with two arms in the sealed space and making the electrical connections to the piezoelectric transducers 45th Die Leiterplatte 171 ist zum Modulatorgehäuse 172 vorzugsweise mittels einer Lötstelle 173 abgedichtet. The circuit board 171 is preferably sealed to the modulator housing 172 by means of a solder joint 173rd Anstelle einer Leiterplatte kann auch eine andere Leitungsanordnung eingesetzt werden. Instead of a printed circuit board, a different line arrangement can be used. Beispielsweise kann jeder Hochfrequenzkanal durch eine eigene abgeschirmte Leitung angeschlossen werden. For example, each radio frequency channel can be connected by a dedicated shielded cable. Das Modulatorgehäuse 172 enthält eine Zugangsöffnung 174 zu den elektrischen Bauelementen. The modulator housing 172 includes an access opening 174 to the electrical components. Der Modulatorkristall 34 kann an seiner Grundfläche metallisiert sein und ist vorzugsweise mittels einer Lötstelle oder einer Klebung 175 auf dem Modulatorgehäuse befestigt. The modulator crystal 34 may be metallized at its base, and is preferably 175 attached to the modulator housing by means of a soldering or gluing. Direkt unterhalb der Befestigungsstelle kann sich ein Anschluß 176 an ein Kühlsystem befinden, um die Verlustwärme über die Öffnungen 87 durch ein Kühlmittel abzutransportieren. Directly below the point of attachment, a connection may be located at a cooling system 176, to carry away the heat loss via the openings 87 by a coolant. Das Modulatorgehäuse 172 ist vorzugsweise durch einen Deckel 177 verschlossen, der die elektrischen Anschlüsse 181 trägt und auch die Anschlüsse für das Kühlsystem enthält, was aber nicht dargestellt ist. The modulator housing 172 is preferably closed by a lid 177 which carries the electrical connections 181 and also contains the connections for the cooling system, which is not shown. Mittels einer Dichtung 43 ist dafür gesorgt, daß das Modulatorgehäuse 172 gasdicht in das Gehäuse 35 bzw. 93 der Fig. 3, 3a, 4, und 5 eingesetzt und mittels der Verbindung 42 befestigt wird. By means of a seal 43 is arranged that the modulator housing 172 sealed in the housing 35 or 93 of Fig. 3, 3a, 4, and 5 are inserted and fastened by means of the connection 42.

Es ist möglich, den elektrooptischen Modulator 168 in ähnlicher Weise an dem Modulatorgehäuse ( 172 ) zu befestigen und über die Leiterplatte 171 zu kontaktieren. It is possible to fix the electro-optic modulator 168 in a similar manner to the modulator housing (172) and to contact on the printed circuit board 171st

In Fig. 10 ist der prinzipielle Strahlengang zu dem Ausführungsbeispiel Fig. 3 für die Strahlenbündel 144 der zugehörigen Fiberlaser F HD1 bis F HD4 angegeben. In Fig. 10, the principal beam path to the embodiment of FIG. 3 for the beams 144 of the associated fiber lasers F HD1 to HD4 F is specified. Die Strahlenbündel der Fiberlaser F VD1 bis F VD4 verlaufen teilweise deckungsgleich mit den gezeichneten Strahlen, haben aber gemäß der Erfindung eine andere Wellenlänge und werden, wie aus Fig. 4a zu ersehen, über einen in Fig. 10 nicht dargestellten wellenlängenabhängigen Spiegel 37 mit dem Strahlenpaket F HD1 bis F HD4 zu dem Strahlenpaket F D1 bis F D4 vereinigt. The beams of the fiber lasers F VD1 through F VD4 extend partially congruent with the drawn-rays, but have to be of a different wavelength, and according to the invention, as can be seen from Fig. 4a, a in Fig. 10, not shown, wavelength-dependent mirror 37 with the beam packet F HD1 to HD4 F combined package to the beam F F D1 to D4. Weiterhin sind in Fig. 10 nicht die Strahlenpakete der Fiberlaser F VR1 bis F VR4 und F HR1 bis F HR4 dargestellt, die, wie aus Fig. 3a zu ersehen, ebenfalls über einen wellenlängenabhängigen Spiegel zu dem Strahlenpaket F R1 bis F R4 vereinigt werden. Furthermore, not illustrated, the beam packets of the fiber lasers F VR1 through F VR4 and F HR1 to F HR4 in Fig. 10 which, as can be seen from Fig. 3a, also have a wavelength-dependent mirror united to the beam packet F R1-F R4 are. Wie aus der Anordnung des Streifenspiegels 46 in Fig. 4a zu erkennen ist, würden die Strahlenbündel des Strahlenpaketes F R1 bis F R4 in Fig. 10 um einen halben Spurabstand versetzt zu den gezeichneten Strahlen verlaufen. As can be seen from the arrangement of the strip mirror 46 in Fig. 4a, the beams of radiation packet F F R1 to R4 in Fig. 10 would be reduced by half a track pitch offset extend to the drawn-rays. Damit enthält der vollständige Strahlengang statt der gezeichneten 4 Strahlenbündel insgesamt 8 Strahlenbündel, die auf der Bearbeitungsfläche insgesamt 8 getrennte Spuren ergeben. So that the whole beam path instead of 4-drawn bundle of rays contains a total of 8 beams which result on the processing surface a total of 8 separate tracks. Es sind in Fig. 10 nur die beiden Strahlenbündel 144 der Fiberlaser F HD1 und F HD4 dargestellt. It is only the two beams 144 of the fiber lasers F HD1 and HD4 F shown in Fig. 10. Wie bereits erwähnt, können aber auch mehr Spuren angeordnet werden, zum Beispiel kann die Anzahl der Spuren auf der Bearbeitungsfläche auch auf 16 getrennt modulierbare Spuren erhöht werden. As mentioned above, but also more tracks can be arranged, for example, the number of tracks on the processing surface, separated on 16 tracks modulatable be increased. Diese Anordnung ermöglicht durch eine digitale Modulation des jeweiligen Lasers, dh der Laser wird durch Ein- und Ausschalten in nur zwei Zuständen betrieben, eine besonders einfache Steuerung und eine gute Formgebung des Bearbeitungsflecks auf der Bearbeitungsfläche. This arrangement enables by a digital modulation of the respective laser, ie the laser is operated by switching in only two states, a particularly simple control and a good shape of the processing spot on the processing surface.

Diese digitale Modulationsart erfordert nur ein besonders einfaches Modulationssystem. This digital modulation requires only a very simple modulation system. In Fig. 10 sind die Modulatoren 34 sowie der Streifenspiegel 46 nicht dargestellt. In Fig. 10, the modulators 34 and the strip mirror are not shown 46th Zur besseren Veranschaulichung ist der Querschnitt des Strahlenbündels 144 aus dem Abschlußstück des Fiberlasers F HD1 , das nach Passieren des wellenlängenabhängigen Spiegels deckungsgleich mit dem Strahlenbündel F D1 ist, mit einer Schraffur ausgelegt. To better illustrate the cross-section of the beam is designed 144 from the end piece of the fiber laser F HD1 which is congruent with the beam F D1 after passing through the wavelength-dependent mirror with a hatching. Die Darstellung ist, wie alle anderen auch, nicht maßstäblich. The presentation is, like everyone else, not to scale. Die beiden gezeichneten Strahlenbündel 144 ergeben auf der Bearbeitungsfläche 81 die Bearbeitungspunkte B 1 und B 4 , die zum Aufbau des Bearbeitungsflecks 24 beitragen und auf der Bearbeitungsfläche 81 entsprechende Bearbeitungsspuren erzeugen. The two drawn-ray beam 144 arise on the processing surface 81, the working points B 1 and B 4 that contribute to the structure of the processing spot 24 and 81 generate corresponding processing traces on the processing surface. Die Achsen der Abschlußstücke 26 und der Strahlenbündel 144 der einzelnen Fiberlaser verlaufen in Fig. 10 parallel zueinander. The axes of the end pieces 26 and of the beams 144 of the individual fiber lasers parallel to each other in Fig. 10. Die Strahlenkegel der Abschlußstücke, dh die Form der Strahlenbündel 144 , sind schwach divergierend dargestellt. The beam cone of the terminators, ie, the shape of the beams 144 are shown slightly divergent. In der Figur wird eine Strahltaille innerhalb der Linse 133 angenommen. In the figure, a beam waist is assumed within the lens 133rd Der Divergenzwinkel ist zum Durchmesser des Strahlenbündels in der zugehörigen Strahltaille umgekehrt proportional. The divergence angle is inversely proportional to the diameter of the beam in the associated beam waist. Die Lage der Strahltaille und ihr Durchmesser kann aber durch Verändern der Linse 133 im Abschlußstück 26 , und/oder ihrem Abstand zu der Faser 28 oder der Laserfiber 5 beeinflußt werden. But the location of the beam waist and its diameter, by varying the lens 133 in the terminator 26, and / or their distance to the fiber 28 or the laser fiber 5 can be influenced.

Die Berechnung des Strahlengangs erfolgt in der bekannten Weise, siehe technische Erläuterungen auf den Seiten K16 und K17 des Gesamtkatalogs G3, Bestell Nr. 650020 der Firma Laser Spindler & Hoyer, Göttingen. The calculation of the beam path is done in the usual way, see technical notes on pages K16 and K17 the complete catalog G3, Order no. 650020 of Laser Spindler & Hoyer, Göttingen. Ziel ist, daß jeweils die Bearbeitungspunkte B 1 bis B n auf der Bearbeitungsfläche 81 zu Strahltaillen werden, um die höchste Leistungsdichte in den Bearbeitungspunkten zu erhalten. The goal is that each of the edit points B 1 to B n are to beam waists in order to obtain the highest power density in the machining points on the processing surface 81st Mit Hilfe der beiden Linsen 55 und 56 werden Strahltaillen und Spurabstände aus der Objektebene 182 , in der die Linsen 133 der Abschlußstücke 26 liegen, entsprechend dem Verhältnis der Brennweiten der Linsen 55 und 56 in eine Zwischenbildebene 183 verkleinert abgebildet. Using the two lenses 55 and 56 are beam waists and track pitches from the object plane 182, in which are the lenses 133 of the end pieces 26, ready to 55 and 56, reduced in an intermediate image plane 183 corresponding to the ratio of the focal lengths of the lenses. Wenn in diesem Fall der Abstand der Linse 55 von dem Abschlußstück 26 und von dem Überkreuzungspunkt 184 gleich ihrer Brennweite ist und wenn der Abstand der Linse 56 von der Zwischenbildebene 183 gleich ihrer Brennweite und gleich ihrem Abstand von dem Überkreuzungspunkt 184 ist, erhält man eine sogenannte telezentrische Abbildung, dh in der Zwischenbildebene verlaufen die Achsen der zu den einzelnen Spuren gehörenden Strahlenbündel wieder parallel. If in this case the distance of the lens 55 is its focal length from the end piece 26 and the crossover point 184 equal, and if the distance of the lens 56 from the intermediate image plane 183 is equal to its focal length and equal to its distance from the crossing point 184, one obtains a so-called telecentric imaging, ie in the intermediate image plane the axes of the tracks belonging to the individual beams of rays back in parallel. Die Divergenz ist aber deutlich vergrößert. The divergence is, however, significantly increased. Die vorzugsweise telezentrische Abbildung hat den Vorteil, daß die Durchmesser der nachfolgenden Linsen 57 und 131 nur unwesentlich größer sein müssen, als der Durchmesser eines Strahlenbündels. The preferably telecentric imaging has the advantage that the diameters of the subsequent lenses 57 and 131 must be only slightly larger than the diameter of a beam. Die Linsen 57 und 61 verkleinern in einer zweiten Stufe das Bild aus der Zwischenbildebene 183 auf die Bearbeitungsfläche 81 in der beschriebenen Weise. The lenses 57 and 61 reduce the image from the intermediate image plane 183 on the working surface 81 in the manner described in a second stage. Eine vorzugsweise telezentrische Abbildung, nämlich daß die Achsen der einzelnen Strahlenbündel zwischen der Objektivlinse 61 und der Bearbeitungsfläche 81 parallel verlaufen, hat hier den Vorteil, daß Abstandsveränderungen zwischen der Bearbeitungsfläche und der Objektivlinse keine Veränderung im Spurabstand bringen, was sehr wichtig für eine präzise Bearbeitung ist. A preferably telecentric imaging, namely, that the axes of the individual radiation beam between the objective lens 61 and the processing surface 81 are parallel, this has the advantage that changes in the distance between the processing surface and the objective lens bring no change in the track pitch, which is very important for a precision machining , Die Abbildung muß nicht unbedingt wie beschrieben in 2 Stufen mit je 2 Linsen erfolgen, es gibt andere Anordnungen, die auch parallele Strahlachsen zwischen Objektivlinse und Bearbeitungsfläche erzeugen können, wie in Fig. 11 und 12 gezeigt wird. The figure is not necessarily carried out as described in stages 2 with 2 lenses, there are other arrangements which can also generate parallel beam axes between the objective lens and processing surface, as is shown in Fig. 11 and 12. Auch sind Abweichungen in der Parallelität der Strahlachsen zwischen der Objektivlinse 61 und der Bearbeitungsfläche 81 tolerierbar, solange das Ergebnis der Materialbearbeitung zufriedenstellend ist. Deviations in the parallelism of the beam axes between the objective lens 61 and the processing surface 81 are tolerable, as long as the result of the processing material is satisfactory.

In Fig. 11 ist ein prinzipieller Strahlengang zu dem Ausführungsbeispiel Fig. 4 angegeben. In Fig. 11, a principal beam path to the embodiment of Fig. 4 is specified. Die Darstellung ist nicht maßstäblich. The illustration is not to scale. Wie bereits in Fig. 10 handelt es sich bei den beiden Strahlenbündeln 144 der Laser F HD1 und F HD4 nur um eine Teilmenge der Strahlenbündel aller vorhandenen Laser, um das Prinzip zu erläutern. As in FIG. 10 is in the two beams 144 of the lasers F HD1 and F HD4 only a subset of the beams of all existing laser to explain the principle. Im Gegensatz zu Fig. 10 sind aber in Fig. 11 die Achsen der einzelnen Strahlenbündel der Abschlußstücke nicht parallel, sondern unter einem Winkel zueinander angeordnet, was in den Fig. 13 und 14 näher dargestellt wird und vorteilhaft durch Abschlußstücke 94 gemäß den Fig. 7, 7a und 7b erreicht wird. In contrast to FIG. 10, but 11 are shown in Fig., The axes of the individual beams of the end pieces not parallel but arranged at an angle to each other, which is shown in more detail in FIGS. 13 and 14 and advantageously by end pieces 94 shown in FIGS. 7 is achieved 7a and 7b. Durch diese Anordnung würden sich die einzelnen Strahlenbündel 144 ähnlich wie in Fig. 10 überkreuzen, ohne daß eine Linse 55 erforderlich ist. By this arrangement, the individual radiation beam 144 would be similar to FIG. 10 cross over without a lens is required 55th Im Bereich des gedachten Überkreuzungspunktes ist die kurzbrennweitige Zerstreuungslinse, also eine Konkavlinse 101 eingefügt, die die ankommenden Strahlen wie dargestellt abknickt und die Strahlenbündel divergent macht, dh aufweitet. In the area of the imaginary crossover point, the short focal length diverging lens, which is a concave lens 101 is inserted, which bends the incoming rays as shown and makes the beams diverge, that widens. Die Konvexlinse 102 ist vorzugsweise im Schnittpunkt der Achsenstrahlen angeordnet und bildet zusammen mit der Linse 101 ein umgekehrtes Galileisches Teleskop. The convex lens 102 is preferably arranged in the intersection of the axis rays and forms together with the lens 101 a reverse Galilean telescope. Dadurch werden beispielsweise parallele Eingangsstrahlenbündel in parallele Ausgangsstrahlenbündel mit vergrößertem Durchmesser zwischen den Linsen 102 und 103 umgewandelt. Thereby parallel input beam into parallel output beams are converted, for example of increased diameter between the lenses 102 and 103rd Die gewünschte Parallelität jedes Eingangsstrahlenbündels kann wie bereits beschrieben durch geeignete Wahl von Brennweite und Abstand der Linse 133 zur Faser 28 bzw. Laserfiber 5 in den Abschlußstücken 26 , 94 vorgenommen werden. The desired parallelism of each input beam as already described by a suitable choice of the focal length and distance of the lens 133 to the fiber 28 and laser fiber 5 are made in the terminators 26, 94th Die Objektivlinse 103 fokussiert die vergrößerten Strahlenbündel auf die Bearbeitungsfläche 81 zu den Bearbeitungspunkten B 1 bis B 4 , die zum Aufbau des Bearbeitungsflecks 24 beitragen und auf der Bearbeitungsfläche 81 entsprechende Bearbeitungsspuren erzeugen. The objective lens 103 focuses the expanded beam onto the processing surface 81 to the processing points B 1 to B 4 that contribute to the structure of the processing spot 24 and 81 generate corresponding processing traces on the processing surface. Durch Veränderung der Brennweite der Linse 103 kann der Abbildungsmaßstab auf einfache Art verändert werden. By changing the focal length of the lens 103, the magnification can be changed easily. Deshalb ist es vorteilhaft, wenn die Linse 103 als austauschbare Objektivlinse ausgeführt wird. Therefore, it is advantageous if the lens 103 is designed as interchangeable objective lens. Wenn die Position der Linse 103 so gewählt wird, daß der Abstand zwischen den Linsen 102 und 103 der Brennweite der Linse 103 entspricht, sind die Achsen der Strahlenbündel zwischen der Linse 103 und der Bearbeitungsfläche parallel und ergeben konstante Abstände der Spuren auf der Bearbeitungsfläche, auch bei verändertem Abstand zwischen der Objektivlinse und der Bearbeitungsfläche. If the position of the lens 103 is chosen so that the distance between the lenses 102 and 103 corresponding to the focal length of the lens 103, the axes of the beams between the lens 103 and the processing surface are parallel and provide constant distances of the tracks on the processing surface, and with changed spacing between the objective lens and the working surface.

In Fig. 12 ist der prinzipielle Strahlengang zu dem Ausführungsbeispiel Fig. 5 angegeben. In Fig. 12, the principal beam path to the embodiment of FIG. 5 is given. Die Darstellung ist, wie in allen anderen Figuren, nicht maßstäblich. The presentation is, as in all other figures, not to scale. Der Strahlengang ist dem der Fig. 11 sehr ähnlich, mit dem Unterschied, daß statt der Linse 101 ein gewölbter Spiegel 121 und statt der Linse 102 ein Hohlspiegel 115 verwendet werden. The beam path is that of FIG. 11 is very similar, with the difference that instead of the lens 101 is a convex mirror 121 and a lens 102 instead of the concave mirror 115 can be used. Durch die sich ergebende Faltung ist der Strahlengang erheblich kürzer. Due to the resultant folding of the optical path is considerably shorter. Der Strahlengang entspricht etwa dem eines umgekehrten Spiegelteleskops. The beam path corresponds to approximately an inverted mirror telescope. Spiegelteleskope sind unabhängig von der Wellenlänge, was bei der Verwendung von Lasern mit unterschiedlicher Wellenlänge vorteilhaft ist. Mirror telescopes are independent of the wavelength, which is advantageous in the use of lasers with different wavelengths. Die Abbildungsfehler können durch die Verwendung von asphärischen Flächen reduziert werden oder mit einer optischen Korrekturplatte 117 , die aber nicht in Fig. 12 gezeigt ist, korrigiert werden. The aberrations can be reduced or an optical correcting plate 117, but which is not shown in Fig. 12, to be corrected by the use of aspherical surfaces. Es ist vorteilhaft, wenn die Brennweite der Objektivlinse 112 gleich ihrem Abstand zu dem Hohlspiegel ist. It is advantageous if the focal length of the objective lens 112 is equal to its distance to the concave mirror. Dann werden die Achsen der Strahlenbündel zwischen der Objektivlinse 112 und der Bearbeitungsfläche 81 parallel und ergeben konstante Abstände der Spuren auf der Bearbeitungsfläche, auch bei verändertem Abstand zwischen der Objektivlinse und der Bearbeitungsfläche. Then, the axes of the beams between the objective lens 112 and the processing surface 81 are parallel and result in constant distances of the tracks on the processing surface, also with changed spacing between the objective lens and the working surface. Außerdem ergibt sich ein vorteilhaft großer Abstand von der Objektivlinse zu der Bearbeitungsfläche. In addition, an advantageously large distance from the objective lens to the processing surface is obtained.

In Fig. 13 ist eine Anordnung mit mehreren Lasern gezeigt, bei der die einzelnen Laserausgänge in Form der Abschlußstücke 26 auf einem Kreissegment angeordnet sind und auf einen gemeinsamen Überkreuzungspunkt 185 zielen. In Fig. 13 an arrangement is shown with a plurality of lasers, in which the individual laser outputs are arranged in the form of the terminators 26 to a circular segment and are aimed at a common crossing point 185th Diese Anordnung ist besonders für direkt modulierbare Laser geeignet, da sich dann ein sehr geringer Aufwand ergibt. This arrangement is particularly suitable for directly modulated lasers, because then results in a very low cost. In einer solchen Anordnung kann die Abbildung auf die Bearbeitungsfläche 81 mit nur einer einzigen Linse 186 erfolgen. In such an arrangement, the mapping to the processing surface 81 with only a single lens 186 can take place. Es kann aber auch eine Anordnung nach den Fig. 4 oder 5 zur Abbildung verwendet werden. But it can be used for imaging an arrangement according to FIGS. 4 or 5. Die Strahlenkegel der Strahlenbündel aus den Abschlußstücken sind so eingestellt, daß sich für alle Laser auf der Bearbeitungsfläche 81 eine Strahltaille und somit ein scharfes Bild ergibt. The cone of rays of the beams from the terminators are set so that a beam waist and thus a clear image is obtained for all the lasers on the processing surface 81st

In Fig. 14 ist eine Variante zur Fig. 13 angegeben. In Fig. 14 shows a variant to Fig. Specified. 13 Es sind 4 Fiberlaser F HD1 , F HD2 , F HD3 , F HD4 mit ihren Abschlußstücken 94 , die in den Fig. 10, 10a, und 10b näher beschrieben werden, auf einem Kreissegment aneinander gereiht. There are 4 Fiber Laser F HD1, HD2 F, F HD3, HD4 F with their terminators 94, the ranked in FIGS. 10, 10a, and 10b will be described in more detail, on a circle segment together. Die Abschlußstücke 94 sind infolge ihrer Form besonders zum Aneinanderreihen geeignet. The end pieces 94 are particularly suitable for lining up because of their shape. Da hier keine direkt modulierbaren Fiberlaser verwendet werden, ist ein vierkanaliger akustooptischer Modulator 34 eingefügt. Since no directly modulatable Fiber lasers are used herein, a four-channel acousto-optic modulator 34 is inserted. Die piezoelektrischen Geber 45 können, wie in Fig. 14 gezeigt, ebenfalls auf einem Kreissegment angeordnet sein, sie können aber auch, wie in Fig. 14a dargestellt, parallel angeordnet sein, solange die Strahlenbündel noch ausreichend von dem akustischen Feld der piezoelektrischen Geber 45 erfaßt werden. The piezoelectric transducer 45, as shown in Fig. 14, also be located on a segment of a circle, but they may also, as shown in Fig. 14a, be arranged in parallel, as long as the beams yet sufficiently detected by the acoustic field of the piezoelectric transducer 45 become. Anstelle der Linse 186 wird vorteilhaft eine Übertragungseinheit verwendet, wie sie in den Fig. 4 und 5 beschrieben ist. Instead of the lens 186 a transmission unit is advantageously used, as described in FIGS. 4 and 5.

Claims (101)

  1. 1. Laserstrahlungsquelle hoher Leistungsdichte und hoher Energie, vorzugsweise zur Materialbearbeitung, mit einer optischen Einheit zur Formung des Laserstrahls auf einer Bearbeitungsfläche, dadurch gekennzeichnet , daß 1. Laser radiation source of high power density and high energy, preferably for material processing, having an optical unit for shaping the laser beam on a machining surface, characterized in that
    mehrere diodengepumpte Fiberlaser (Faserlaser) ( 2 ) vorgesehen sind, deren Ausgänge mittels Abschlußstücken ( 26 , 94 ) mit einer optischen Einheit ( 8 ) zur Formung des Laserstrahls verbunden sind, wobei die Ausgänge der Abschlußstücke in einem ersten Teil und die optische Einheit im ersten Teil und in einem zweiten Teil einer mehrteiligen Aufnahme angeordnet sind, a plurality of diode pumped fiber lasers (fiber laser) (2) are provided whose outputs by means of termination pieces (26, 94) with an optical unit (8) are connected to form the laser beam, the outputs of the terminators in a first part and the optical unit in the first part and are arranged in a second part of a multi-part receptacle,
    die optische Einheit ( 8 ) eine Modulationseinheit ( Fig. 3a, Fig. 9, Fig. 9a) aufweist, auf deren Eingang die Ausgangsstrahlen der einzelnen Fiberlaser ( 2 ) gerichtet sind und durch die die einzelnen Laserstrahlen jeweils moduliert werden, the optical unit (8) comprises a modulation unit (Fig. 3a, Fig. 9, Fig. 9a), whose input is the output beams of the individual fiber lasers (2) are directed and by which the individual laser beams are respectively modulated,
    die aus der Modulationseinheit ( Fig. 3a, Fig. 9, Fig. 9a) austretenden Laserstrahlen mittels der optischen Einheit ( 8 ) so zusammengefaßt und gebündelt werden, daß die Strahlen auf der Bearbeitungsfläche ( 81 ) auftreffen, from the modulation unit (Fig. 3a, Fig. 9, Fig. 9a) exiting laser beams by means of the optical unit (8) are so combined and bundled, that the rays on the processing surface (81) impinge,
    die optische Einheit ( 8 ) zur Formung des Laserstrahls eine Übertragungseinheit zur Übertragung der aus den Abschlußstücken austretenden Laserstrahlen auf die Bearbeitungsfläche ( 81 ) aufweist und daß and said optical unit (8) for shaping the laser beam a transmission unit for transmitting the outgoing laser beams from the terminators on the working surface (81) that
    zum Unschädlichmachen der unerwünschten Laserstrahlung, die auf der Bearbeitungsfläche ( 81 ) keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, eine Abfanganordnung ( 73 , 78 ) vorgesehen ist, durch die die unerwünschte Strahlung von der Bearbeitungsfläche ( 81 ) ferngehalten wird. abatement of undesirable laser radiation to on the processing surface (81) does not cause a processing effect, an intercept arrangement (73, 78) is provided, through which the unwanted radiation from the working surface (81) is kept away.
  2. 2. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Übertragungseinheit zweistufig ausgebildet ist und in dem zweiten Teil der mehrstufigen Aufnahme, das als Rohr ( 51 ) ausgebildet ist, angeordnet ist, wobei die erste Stufe die in der Sammellinse ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) gebildeten Strahlenbündel ( 144 ) verkleinert in eine Zwischenbildebene ( 183 ) überträgt und die zweite Stufe die Strahlenbündel der Zwischenbildebene ( 183 ) verkleinert auf die Bearbeitungsfläche ( 81 ) überträgt. 2. Laser radiation source according to claim 1, characterized in that the transmission unit is designed in two stages and is arranged in the second part of the multilevel recording, which is designed as a tube (51), wherein the first stage in the condensing lens (133) of the terminators (26, 94) formed ray bundle (144) transmits reduced in an intermediate image plane (183) and the second stage the beams of the intermediate image plane (183) reduced to the working surface (81) transfers.
  3. 3. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, 3. Laser radiation source according to any one of claims 1 or 2, characterized in that
    daß an dem Ende des Rohrs ( 51 ), das an dem als Gehäuse ( 35 ) ausgebildeten ersten Teil der mehrstufigen Aufnahme angeflanscht ist, ein erster Tubus ( 53 ) mit zwei Sammellinsen ( 55 , 56 ) vorgesehen ist ( Fig. 3), der zentrisch zur Strahlachse an dem, dem Gehäuse zugewandten Ende des Rohrs ( 51 ), und innerhalb des Rohrs an seinen Enden befestigt ist, durch den innerhalb des Rohrs ( 51 ) ein Zwischenbild ( 183 ) erzeugt wird, that is flanged to the end of the tube (51) formed on the the housing (35) the first part of the multilevel recording, a first tube (53) with two converging lenses (55, 56) is provided (Fig. 3) is centered at the one facing the housing to the beam axis of the tube end (51) and fixed within the tube at its ends, an intermediate image (183) produced by the inside of the tube (51),
    daß an dem anderen Ende des Rohrs ( 51 ), das der Bearbeitungsfläche zugewandt ist, ein zweiter Tubus ( 54 ) mit zwei Sammellinsen ( 57 , 61 ) vorgesehen ist, der zentrisch zur Strahlachse an dem, der Bearbeitungsfläche ( 81 ) zugewandten Ende des Rohrs ( 51 ) und innerhalb des Rohrs an seinen Enden befestigt ist, durch den auf der Bearbeitungsfläche ( 81 ) ein Bearbeitungsfleck ( 24 ) erzeugt wird und daß that at the other end of the tube (51) facing the machining surface, a second tube (54) with two converging lenses (57, 61) is provided centrically to the beam axis at which the working surface (81) facing the end of the tube (51) and secured within the tube at its ends is a processing spot (24) generated by the on the processing surface (81), and that
    die Laserstrahlung, die keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, mittels eines Spiegels ( 74 , 169 ), der zwischen dem ersten Tubus ( 53 ) und dem zweiten Tubus ( 54 ) angeordnet ist, in die Anordnung ( 73 , 86 ) zum Abfangen und Unschädlichmachen der unerwünschten Laserstrahlung, die auf der Bearbeitungsfläche ( 81 ) keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, umgelenkt wird. the laser radiation to cause no processing effect, by means of a mirror (74, 169) connected between the first tube (53) and the second tube (54) is arranged in the arrangement (73, 86) for intercepting and neutralization of the unwanted laser radiation (81) should not cause a processing effect on the processing surface, is deflected.
  4. 4. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß 4. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 3, characterized in that
    im Strahlengang ( Fig. 10) nach den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ), die in einer oder mehreren Ebenen und in einer oder mehreren Spuren 1 bis n ( Fig. 3b) angeordnet sind, eine erste Übertragungseinheit mit einer Sammellinse ( 55 ) und einer Sammellinse ( 56 ) mit kleinerer Brennweite als die Sammellinse ( 55 ) angeordnet ist, durch das die aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretenden Strahlenbündel ( 144 ), deren Symmetrieachsen in den einzelnen Spuren zu einander etwa parallel verlaufen, so abgelenkt werden, daß die Strahlen sich an einem Ort ( 184 ) überkreuzen und daß durch die Sammellinse ( 56 ) die Ablenkung der Sammellinse ( 55 ) rückgängig gemacht wird, wobei in einer im Strahlengang folgenden Zwischenbildebene ( 183 ) ein im Verhältnis der Brennweiten der Linsen ( 55 und 56 ) verkleinertes Abbild der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 ) austretenden Strahlenbündel ( 144 ) entsteht und die Strahle in the beam path (FIG. 10) of converging lenses (133) of the terminators (26, 94) which are arranged in one or more planes and in one or more tracks 1 to n (Fig. 3b), a first transmission unit with a convergent lens (55) and a convergent lens (56) with a smaller focal length than the converging lens (55) is arranged, through which the from the condenser lenses (133) of the terminators (26, 94) emerging beams (144) whose axes of symmetry in the individual tracks to are approximately parallel to each other deflected so that the beams intersect at a location (184) and that by the condenser lens (56) is made the deflection of the convergent lens (55) reversed, wherein in a following in the beam path intermediate image plane (183), a the ratio of the focal lengths of the lenses (55 and 56) of the reduced image from the condenser lenses (133) of the end pieces (26) emerging beams (144) is formed and the beam nbündel einen im Verhältnis der Brennweiten vergrößerten Divergenzwinkel aufweisen und daß nbündel have an enlarged in the ratio of the focal lengths divergence angle, and that
    im Strahlengang nach der Zwischenbildebene ( 183 ) eine zweite Übertragungseinheit mit einer Sammellinse ( 57 ) und einer Sammellinse ( 61 ) mit kleiner Brennweite als die Sammellinse ( 57 ) angeordnet ist, durch das das verkleinerte Abbild der Strahlenbündel aus der Zwischenbildebene ( 183 ) auf die Bearbeitungsfläche ( 81 ) übertragen wird, wobei jedes aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 ) austretende Strahlenbündel einen Bearbeitungspunkt (B 1 bis B n ) erzeugt. a second transmission unit with a convergent lens (57) and a convergent lens (61) with smaller focal length than the converging lens (57) is arranged in the beam path after the intermediate image plane (183) through which the reduced image of the radiation beam from the intermediate image plane (183) to the working surface (81) is transferred from each of the condenser lenses (133) of the terminators is generated (26) emerging beam a processing point (B 1 to B n).
  5. 5. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß 5. Laser Radiation source according to one of claims 1 to 4, characterized in that
    der Abstand zwischen der Linse ( 55 ) und dem Überkreuzungspunkt ( 184 ) etwa gleich der Brennweite der Linse ( 55 ) ist, the distance between the lens (55) and the cross-over point (184) approximately equal to the focal length of the lens (55),
    der Abstand zwischen dem Überkreuzungspunkt ( 184 ) und der Linse ( 56 ) sowie zwischen der Linse ( 56 ) und der Zwischenbildebene ( 183 ) etwa gleich der Brennweite der Linse ( 56 ) ist, the distance between the cross-over point (184) and the lens (56) and between the lens (56) and the intermediate image plane (183) is approximately equal to the focal length of the lens (56),
    der Abstand zwischen der Zwischenbildebene ( 183 ) und der Linse ( 57 ) sowie der Abstand zwischen dem Überkreuzungspunkt ( 187 ) und der Linse ( 57 ) etwa gleich der Brennweite der Linse ( 57 ) ist und daß is the distance between the intermediate image plane (183) and the lens (57) and the distance between the cross-over point (187) and the lens (57) is approximately equal to the focal length of the lens (57), and that
    der Abstand zwischen dem Überkreuzungspunkt ( 187 ) und der Linse ( 61 ) sowie zwischen der Bearbeitungsfläche ( 81 ) und der Linse ( 61 ) etwa gleich der Brennweite der Linse ( 61 ) ist und daß die Abstände der Linsen so gewählt werden, daß die Symmetrieachsen der Strahlenbündel, die auf die Bearbeitungsfläche ( 81 ) auftreten, etwa parallel zu einander sind. the distance between the cross-over point (187) and the lens (61) and between the working surface (81) and the lens (61) is approximately equal to the focal length of the lens (61) and in that the distances of the lenses are selected so that the axes of symmetry the beam on the working surface (81) occur are substantially parallel to each other.
  6. 6. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Übertragungseinheit aus einer Zerstreuungslinse ( 101 ) und mindestens einer Sammellinse ( 102 , 103 ) besteht, wobei die Zerstreuungslinse ( 101 ) die in der Sammellinse ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) gebildeten Strahlenbündel ( 144 ) aufweitet und die Sammellinse oder Sammellinsen ( 102 , 103 ) die aufgeweiteten Strahlenbündel fokussiert und auf die Bearbeitungsfläche ( 81 ) überträgt. 6. Laser radiation source according to claim 1, characterized in that the transfer unit consists of a negative lens (101) and at least one converging lens (102, 103), wherein the diverging lens (101) in the collecting lens (133) of the terminators (26, 94) radiation beam formed (144) expands and the converging lens or condenser lenses (102, 103) focuses the widened beam and the working surface (81) transfers.
  7. 7. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß 7. Laser radiation source according to claim 6, characterized in that
    in dem als Rohr ( 95 ) ausgebildeten zweiten Teil der mehrstufigen Aufnahme, zwischen der Anordnung ( 73 , 86 ) zum Abfangen und Unschädlichmachen der Laserstrahlung und dem Ende des Rohrs, das der Bearbeitungsfläche ( 81 ) zugewandt ist, innerhalb des Rohrs im Strahlengang ein sich in Längsrichtung des Rohrs erstreckender Tubus ( 96 ), der die Übertragungseinheit enthält, vorgesehen ist, der innerhalb des Rohrs zentrisch gehaltert ist, formed in the as a tube (95) the second part of the multilevel recording, between the arrangement (73, 86) for intercepting and neutralization of the laser radiation and the end of the tube, which faces the working surface (81) within the tube in the beam path log in the longitudinal direction of the tube extending tube (96) containing the transmission unit is provided which is supported within the pipe centrally,
    wobei die Übertragungseinheit eine Zerstreuungslinse ( 101 ) aufweist, die an dem Ende des Tubus angeordnet ist, das zu dem Gehäuse ( 93 ) weist und die Laserstrahlung, die einen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll aufnimmt und aufweitet, wherein the transmission unit comprises a diverging lens (101) which is arranged at the end of the tube, that to the housing (93) has and receives the laser radiation to cause a processing effect and expands,
    wobei die Übertragungseinheit eine Sammellinse ( 102 ) aufweist, die die aufgeweitete Laserstrahlung zu etwa parallelen Strahlenbündeln formt und wobei an dem der Bearbeitungsfläche ( 81 ) zugewandten Ende des Tubus ( 96 ) ein Objektiv ( 103 ) vorgesehen ist, auf das die Laserstrahlung, die einen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, gerichtet ist, wobei das Objektiv auf der Bearbeitungsfläche ( 81 ) einen Bearbeitungsfleck ( 24 ) erzeugt und wherein the transmission unit comprises a collimating lens (102), which forms the expanded laser radiation substantially parallel beams, and wherein at the end facing the working surface (81) end of the tube (96) a lens (103) is provided, to which the laser radiation having a is meant to invoke processing effect, directed with the lens on the processing surface (81) generates a processing spot (24) and
    wobei die unerwünschte Laserstrahlung, die keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, mittels eines Spiegels ( 97 , 169 ) in die Anordnung ( 73 , 86 ) zum Abfangen und Unschädlichmachen der Laserstrahlung umgelenkt wird. wherein the undesired laser radiation to cause no processing effect, by means of a mirror (97, 169) in the arrangement (73, 86) is deflected to intercept and neutralization of the laser radiation.
  8. 8. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß 8. A laser apparatus according to any one of claims 6 or 7, characterized in that
    im Strahlengang ( Fig. 11) nach den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 94 ), die in einer oder mehreren Ebenen und in einer oder mehreren Spuren 1 bis n ( Fig. 3b) angeordnet sind, eine Übertragungseinheit mit einer Zerstreuungslinse ( 101 ) und zwei Sammellinsen ( 102 und 103 ) angeordnet ist, durch das die aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 94 ) austretenden Strahlenbündll ( 144 ), deren Symmetrieachsen in den einzelnen Spuren zu einander unter einem Winkel verlaufen, so abgelenkt und aufgeweitet werden, daß die Strahlen sich in der Linse ( 102 ) überkreuzen, wobei die divergierenden Strahlenbündel ( 144 ) durch die Linse ( 102 ) etwa parallel gerichtet werden und die Linse ( 102 ) jeweils unter einem Winkel verlassen, und daß in the beam path (FIG. 11) of the condenser lenses (133) of the end pieces (94) which are arranged in one or more planes and in one or more tracks 1 to n (Fig. 3b), a transfer unit having a negative lens (101) is disposed, and two converging lenses (102 and 103) through which the from the condenser lenses (133) of the end pieces (94) exiting Strahlenbündll (144) whose axes of symmetry are so deflected and expanded run in the individual tracks to each other at an angle, that the beams intersect in said lens (102), wherein the diverging bundle of rays (144) through the lens (102) are directed approximately parallel and the lens (102) respectively to leave at an angle, and in that
    im Strahlengang nach der Linse ( 102 ) eine Linse ( 103 ) angeordnet ist, durch die die etwa parallelen Strahlenbündel auf die Bearbeitungsfläche ( 81 ) fokussiert werden, wobei jedes aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretende Strahlenbündel einen Bearbeitungspunkt (B 1 bis B n ) erzeugt. a lens (103) is arranged in the beam path after the lens (102) are focused by the substantially parallel beam onto the working surface (81), each of the condenser lenses (133) of the terminators (26, 94) emerging beam a processing point (B 1 to B n).
  9. 9. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß 9. A laser apparatus according to any one of claims 6 to 8, characterized in that
    die Brennweite der Zerstreuungslinse ( 101 ) wesentlich kleiner als die der Sammellinse ( 102 ) ist, the focal distance of the diverging lens (101) is substantially smaller than that of the collecting lens (102),
    der Abstand der Linsen ( 103 ) und ( 102 ) etwa gleich der Brennweite der Linse ( 103 ) ist, und daß the distance of the lenses (103) and (102) is approximately equal to the focal length of the lens (103), and in that
    der Abstand zwischen der Bearbeitungsfläche ( 81 ) und der Linse ( 103 ) etwa gleich der Brennweite der Linse ( 103 ) ist, wobei die Abstände der Linsen so gewählt werden, daß die Symmetrieachsen der Strahlenbündel, die auf die Bearbeitungsfläche ( 81 ) auftreffen, etwa parallel zu einander sind. the distance between the working surface (81) and the lens (103) approximately equal to the focal length of the lens (103), wherein the distances of the lenses are selected so that the axes of symmetry of the beams incident on the working surface (81), about are parallel to each other.
  10. 10. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Übertragungseinheit aus einem aus einem gewölbten Spiegel ( 121 ) und einem Hohlspiegel ( 115 ) besteht, wobei der gewölbte Spiegel die in der Sammellinse ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) gebildeten Strahlenbündel ( 144 ) aufweitet und umlenkt und der Hohlspiegel die aufgeweiteten Strahlenbündel umlenkt, fokussiert und auf die Bearbeitungsfläche ( 81 ) überträgt. 10. Laser radiation source according to claim 1, characterized in that the transmission unit comprises one of a curved mirror (121) and a concave mirror (115), wherein the curved mirror formed in the collecting lens (133) of the terminators (26, 94) beam bundle (144) expands and deflects and the concave mirror deflects the expanded beam is focused and the working surface (81) transfers.
  11. 11. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß 11. Laser radiation source according to claim 10, characterized in that
    an dem Ende des als Rohr ( 113 ) ausgebildeten zweiten Teils der mehrteiligen Aufnahme, das an dem als Gehäuse ( 93 ) ausgebildeten ersten Teil der Aufnahme angeflanscht ist, eine Platte ( 114 ) vorgesehen ist, die einen Hohlspiegel ( 115 ) aufnimmt und eine Bohrung ( 122 ) enthält, durch die die Laserstrahlung von dem Gehäuse in das Rohr ( 113 ) eintritt, is flange formed at the end of a tube (113) second portion of the multi-part receptacle, which formed on the as a housing (93) the first part of the receptacle, a plate (114) is provided, which receives a concave mirror (115) and a bore (122), by entering the laser radiation from the housing into the tube (113)
    daß an dem anderen Ende des Rohrs ( 113 ), an dem die Anordnung ( 73 , 86 ) zum Abfangen und Unschädlichmachen der Laserstrahlung, angebracht ist, ein gewölbter Spiegel ( 121 ) angeordnet ist, auf den die durch die Öffnung ( 122 ) in das Rohr eintretende Laserstrahlung auftrifft, wobei die Laserstrahlung, die einen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, auf den Hohlspiegel ( 115 ) reflektiert wird und die unerwünschte Laserstrahlung, die keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, in die Anordnung ( 73 , 86 ) zum Abfangen und Unschädlichmachen der Laserstrahlung mittels des gewölbten Spiegels ( 121 ) oder eines Planspiegels ( 97 ) oder eines polarisationsabhängigen Spiegels ( 169 ) ( Fig. 18a) umgelenkt wird, und daß that is disposed at the other end of the tube (113) is attached to the assembly (73, 86) for intercepting and neutralization of the laser radiation, appropriate to a curved mirror (121) on which the through opening (122) in the pipe laser radiation entering incident, said laser radiation to cause a processing effect, is reflected on the concave mirror (115) and the undesired laser radiation to cause no processing effect, in the arrangement (73, 86) for intercepting and neutralization of the laser radiation by means of the curved mirror (121) or a plane mirror (97) or a polarization-dependent mirror (169) (Fig. 18a) is deflected, and that
    an dem der Bearbeitungsfläche ( 81 ) zugewandten Ende des Rohrs ein Objektiv ( 112 ) vorgesehen ist, auf das die Laserstrahlung, die einen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, mittels des Hohlspiegels ( 115 ) gerichtet wird, wobei das Objektiv auf der Bearbeitungsfläche ( 81 ) einen Bearbeitungsfleck ( 24 ) erzeugt. at which the working surface (81) facing the end of the tube is a lens (112) is provided, to which the laser radiation to cause a processing effect, by means of the concave mirror (115) is directed with the lens on the processing surface (81) of a processing spot (24) generated.
  12. 12. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, 12. Laser radiation source according to claim 10 or 11, characterized in that
    daß im Strahlengang ( Fig. 12) nach den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 94 ), die in einer oder mehreren Ebenen und in einer oder mehreren Spuren 1 bis n ( Fig. 3a) angeordnet sind, eine Übertragungseinheit mit einem gewölbten Spiegel ( 121 ), einem Hohlspiegel ( 115 ) und einer Sammellinse ( 112 ) angeordnet ist, durch das die aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 94 ) austretenden Strahlenbündel ( 144 ), deren Symmetrieachsen in den einzelnen Spuren zu einander unter einem Winkel verlaufen, so abgelenkt und aufgeweitet werden, daß die Strahlenbündel sich auf dem Hohlspiegel ( 115 ) überkreuzen, wobei die divergierenden Strahlenbündel ( 144 ) durch den Hohlspiegel ( 115 ) etwa parallel ausgerichtet werden und den Hohlspiegel jeweils unter einem Winkel verlassen, und daß that in the beam path (FIG. 12) of the condenser lenses (133) of the end pieces (94) which are arranged in one or more planes and in one or more tracks 1 to n (Fig. 3a), a transfer unit with a curved mirror ( 121), a concave mirror (115) and a collecting lens (112) is arranged through which exiting the (from the condenser lenses 133) of the end pieces (94) beams (144) extend their axes of symmetry in the individual tracks to each other at an angle, are so deflected and widened, that the beams intersect on the concave mirror (115), wherein the diverging bundle of rays (144) through the concave mirror (115) are oriented approximately parallel and leave the hollow mirror in each case at an angle, and in that
    im Strahlengang nach dem Hohlspiegel ( 115 ) eine Linse ( 112 ) angeordnet ist, durch die die etwa parallelen Strahlenbündel auf die Bearbeitungsfläche ( 81 ) fokussiert werden, wobei jedes aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretende Strahlenbündel einen Bearbeitungspunkt (B 1 bis B n ) erzeugt. a lens (112) is arranged in the beam path after the concave mirror (115) are focused by the substantially parallel beam onto the working surface (81), each of the condenser lenses (133) of the terminators (26, 94) emerging beam a processing point (B 1 to B n).
  13. 13. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß 13. Laser radiation source according to any one of claims 10 to 12, characterized in that
    die Brennweite des gewölbten Spiegels ( 121 ) wesentlich kleiner als die des Hohlspiegels ( 115 ) ist, the focal length of the curved mirror (121) is substantially smaller than that of the concave mirror (115),
    der Abstand zwischen dem Hohlspiegel ( 115 ) und dem gewölbten Spiegel ( 121 ) etwa gleich der Summe der Brennweiten von Hohlspiegel und gewölbtem Spiegel ist, und daß the distance between the concave mirror (115) and the curved mirror (121) is approximately equal to the sum of the focal lengths of hollow mirrors and curved mirror, and in that
    der Abstand zwischen der Bearbeitungsfläche ( 81 ) und der Linse ( 112 ) etwa gleich der Brennweite der Linse ( 112 ) ist, wobei die Abstände der Linsen und Spiegel so gewählt werden, daß die Symmetrieachsen der Strahlenbündel, die auf die Bearbeitungsfläche ( 81 ) auftreten, etwa parallel zu einander sind. the distance between the working surface (81) and the lens (112) approximately equal to the focal length of the lens (112), wherein the distances of the lenses and mirrors are selected such that the symmetry axes of the beam on the working surface (81) occur are approximately parallel to each other.
  14. 14. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einheit ( 8 ) Fassungen ( 29 ) aufweist, die die Abschlußstücke ( 26 , 94 ) der Laser so aufnehmen, daß die Ausgangsstrahlen der Laser am Strahlungsaustritt ( 10 ) der optischen Einheit ( 8 ) zur Formung des Strahls auf der Bearbeitungsfläche ( 81 ) auftreffen. 14. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 13, characterized in that the optical unit (8) comprises holders (29), the end pieces (26, 94) receiving the laser so that the output beams of the laser on the radiation exit (10) the optical unit (8) for shaping the beam on the working surface (81) impinge.
  15. 15. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Fassungen ( 29 ) Paßflächen für die Passung oder Passungen ( 134 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) aufweisen, die so angeordnet sind, daß die Symmetrieachsen der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretenden Laserstrahlen in mindestens einer Spur und/oder einer Ebene ( Fig. 3b) angeordnet sind. 15. Laser radiation source according to claim 14, characterized in that the sockets (29) mating surfaces for the fitting or fittings (134) of the terminators (26, 94) which are arranged so that the axes of symmetry of the convergent lenses (133) of the end pieces (26, 94) outgoing laser beams are arranged in at least one track and / or a plane (FIG. 3b).
  16. 16. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Symmetrieachsen der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 ) austretenden Strahlenbündel ( 144 ) in den einzelnen Ebenen zu einander etwa parallel verlaufen. 16. Laser radiation source according to claim 15, characterized in that the axes of symmetry of the convergent lenses (133) of the end pieces run (26) emerging beams (144) in the individual planes approximately parallel to each other.
  17. 17. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Symmetrieachsen der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 ) austretenden Strahlenbündel ( 144 ) in den einzelnen Ebenen zu einander unter einem Winkel verlaufen. 17. Laser radiation source according to claim 15, characterized in that the axes of symmetry of the convergent lenses (133) of the end pieces run (26) emerging beams (144) in the individual planes to each other at an angle.
  18. 18. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Paßflächen der Fassungen ( 29 ) für die Passung oder Passungen ( 134 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) für die einzelnen Spuren und Ebenen so angeordnet sind, daß die Symmetrieachsen der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretenden Laserstrahlen ( 144 ) für die einzelnen Spuren sowie für die einzelnen Ebenen unter einem Winkel zueinander verlaufen. 18. Laser radiation source according to claim 15, characterized in that the mating surfaces of the sockets (29) for the fitting or fittings (134) of the terminators (26, 94) for the individual tracks and layers are arranged so that the axes of symmetry of the convergent lenses (133) of the terminators (26, 94) exiting laser beams (144) for each track as well as for the individual planes at an angle to each other extend.
  19. 19. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Paßflächen der Fassungen ( 29 ) für die Passung oder Passungen ( 134 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) für die einzelnen Spuren so angeordnet sind, daß die Symmetrieachsen der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretenden Laserstrahlen unter einem Winkel zueinander verlaufen, und daß die Paßflächen der Fassungen ( 29 ) für die Passung oder Passungen ( 134 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) für die einzelnen Ebenen so angeordnet sind, daß die Symmetrieachsen der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretenden Laserstrahlen zu einander parallel sind. 19. Laser radiation source according to claim 15, characterized in that the mating surfaces of the sockets (29) for the fitting or fittings (134) of the terminators (26, 94) for the individual tracks are arranged so that the axes of symmetry (of the collecting lenses 133 ) of the terminators (26, extend) outgoing laser beams at an angle 94 to each other, and in that the mating surfaces of the sockets (29) for the fitting or fittings (134) of the terminators (26, 94) are arranged for each layer so that the axes of symmetry of the convergent lenses (133) of the terminators (26, 94) outgoing laser beams are parallel to each other.
  20. 20. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Paßflächen der Fassungen ( 29 ) für die Passung oder Passungen ( 134 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) für die einzelnen Ebenen so angeordnet sind, daß die Symmetrieachsen der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretenden Laserstrahlen ( 144 ) unter einem Winkel zueinander verlaufen, und daß die Paßflächen der Fassungen ( 29 ) für die Passung oder Passungen ( 134 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) für die einzelnen Spuren so angeordnet sind, daß die Symmetrieachsen der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretenden Laserstrahlen ( 144 ) zu einander parallel sind. 20. Laser radiation source according to claim 15, characterized in that the mating surfaces of the sockets (29) for the fitting or fittings (134) of the terminators (26, 94) are arranged for each layer so that the axes of symmetry (of the collecting lenses 133 ) of the terminators (26, 94) exiting laser beams (144) extend at an angle to one another, and in that the mating surfaces of the sockets (29) (for the fitting or fittings 134) of the end pieces (26, 94) for the individual tracks are arranged so that the axes of symmetry of the convergent lenses (133) of the terminators (26, 94) exiting laser beams (144) to each other are parallel.
  21. 21. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Fassungen ( 29 ) Paßflächen für die Passung oder Passungen ( 134 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) aufweisen, die so angeordnet sind, daß die Symmetrieachsen der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretenden Laserstrahlen zu einander parallel sind. 21. Laser radiation source according to claim 15, characterized in that the sockets (29) mating surfaces for the fitting or fittings (134) of the terminators (26, 94) which are arranged so that the axes of symmetry of the convergent lenses (133) of the end pieces (26, 94) exiting laser beams to each other are parallel.
  22. 22. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationseinheit ( Fig. 3a, Fig. 9, Fig. 9a) einen oder mehrere getrennte Modulatoren aufweist. 22. Laser radiation source according to one of claims 1 to 21, characterized in that said modulation unit (Fig. 3a, Fig. 9, Fig. 9a) one or more separate modulators.
  23. 23. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationseinheit ( Fig. 4a, Fig. 19, Fig. 19a) aus einem oder mehreren mehrkanaligen Modulatoren ( 34 ) besteht. 23. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 22, characterized in that the modulation unit (Fig. 4a, Fig. 19, Fig. 19a) of one or more multi-channel modulators (34).
  24. 24. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß elektrooptische Modulatoren und /oder elektrooptische Ablenker ( 168 ) eingesetzt sind. 24. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 23, characterized in that electro-optic modulators and / or electro-optical deflector (168) are inserted.
  25. 25. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß akustooptische Modulatoren und oder akustooptische Ablenker ( 34 ) eingesetzt sind. 25. Laser radiation source according to claim 1 to 23, characterized in that acousto-optic modulators, and acousto-optical deflector or (34) are inserted.
  26. 26. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einheit ( 8 ) zur Formung des Laserstrahls im Bereich zwischen dem Strahlungseintritt ( 9 ) und dem Strahlungsaustritt ( 10 ) Mittel zum Zusammenführen der einzelnen Laserstrahlen ( 13 ) enthält. 26. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 25, characterized in that the optical unit (8) (10) for shaping the laser beam in the region between the radiation inlet (9) and the radiation exit means for merging of the individual laser beams (13).
  27. 27. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zusammenführen der einzelnen Laserstrahlen Mittel zur Verringerung des Abstands der Symmetrieachsen der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretenden Strahlenbündel (Strahlen der Laserausgänge) ( 144 ) in Richtung der Spuren und/oder in Richtung der Ebenen vorgesehen sind. 27. Laser radiation source according to claim 26, characterized in that for bringing together the individual laser beams means for reducing the distance between the axes of symmetry of the convergent lenses (133) of the terminators (26, 94) emerging beams (beams of laser outputs) (144) in the direction of tracks and / or are provided in the direction of the planes.
  28. 28. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zur Verringerung des Abstands der Symmetrieachsen der Strahlen der Laserausgänge ( 144 ) mindestens eine Linse vorgesehen ist. 28. Laser radiation source according to claim 27, characterized in that at least one lens is provided as means for reducing the distance between the axes of symmetry of the radiation of the laser output (144).
  29. 29. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zur Verringerung des Abstands der Symmetrieachsen der Strahlen der Laserausgänge ( 144 ) zwei Sammellinsen ( 191 , 192 ) vorgesehen sind. 29. Laser radiation source according to claim 27, characterized in that as a means for reducing the distance between the axes of symmetry of the radiation of the laser output (144) comprises two converging lenses (191, 192) are provided.
  30. 30. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zur Verringerung des Abstands der Symmetrieachsen der Strahlen der Laserausgänge ( 144 ) eine Sammellinse ( 202 ) und eine Zerstreuungslinse ( 203 ) vorgesehen sind. 30. Laser radiation source according to claim 27, characterized in that as a means for reducing the distance between the axes of symmetry of the radiation of the laser output (144) a condenser lens (202) and a diverging lens (203) are provided.
  31. 31. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß sphärische Linsen ( 191 , 192 ) oder zylindrische Linsen ( 202 , 203 ) vorgesehen sind. 31. Laser radiation source according to claim 27, characterized in that spherical lenses (191, 192) or cylindrical lenses (202, 203) are provided.
  32. 32. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 29 bis 31 dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand der beiden Linsen etwa gleich der Summe aus ihren beiden Brennweiten beträgt. 32. Laser radiation source according to one of claims 29 to 31 characterized in that the distance of the two lenses is approximately equal to the sum of both focal lengths.
  33. 33. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 29 bis 32 dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand der beiden Linsen so eingestellt ist, daß die Strahlenbündel sich im Modulator ( 34 ) überschneiden. 33. Laser radiation source according to one of claims 29 to 32 characterized in that the distance of the two lenses is set such that the beams intersect in the modulator (34).
  34. 34. Laserstrahlungsquelle nach den Ansprüchen 26 oder 27, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zum Zusammenführen der Strahlen der Strahlen der Laserausgänge ( 133 ) Spiegel und/oder Linsen und/oder wellenlängen- und/oder polarisationsabhängige Elemente verwendet werden. 34. Laser radiation source according to claims 26 or 27, characterized in that as means for combining the beams of the rays of the laser output (133) mirrors and / or lenses and / or wavelength and / or polarization dependent elements are used.
  35. 35. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zusammenführen der Strahlen von mindesten zwei Laserausgängen ein wellenlängenabhängiges Element verwendet wird. 35. Laser radiation source according to claim 34, characterized in that for joining the beams from at least two laser outputs a wavelength-dependent element is used.
  36. 36. Laserstrahlungsquelle nach den Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, daß als wellenlängenabhängiges Element ein Filter ( 37 ) verwendet wird, das die Strahlung eines der Laserausgänge durchläßt und die Strahlung des anderen Laserausgangs reflektiert. 36. Laser radiation source according to claim 35, characterized in that a filter (37) is used as a wavelength-dependent element, which transmits the radiation of the laser outputs and the reflected radiation of the other laser output.
  37. 37. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zusammenführen der Strahlen von mindesten zwei Laserausgängen mit polarisierter Strahlung ein polarisationsabhängiges Element verwendet wird. 37. Laser radiation source according to claim 34, characterized in that for joining the beams from at least two laser outputs with polarized radiation is a polarization-dependent element is used.
  38. 38. Laserstrahlungsquelle Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, daß als polarisationsabhängiges Element ein polarisationsabhängiger Spiegel verwendet wird, der die polarisationsgerichtete Strahlung eines der Laserausgänge durchläßt und die polarisationsgerichtete Strahlung des anderen Laserausgangs reflektiert. 38. Laser radiation source of claim 37, characterized in that a polarization-dependent mirror is used as a polarization-dependent element which transmits the polarization-directional radiation of the laser outputs and the reflected radiation directed polarization of the other laser output.
  39. 39. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zusammenführen der Strahlen mindestens zweier Laserausgänge ein Streifenspiegel ( 46 ) verwendet wird, der die Strahlen der Laserausgänge aus einer ersten Richtung durchläßt und die Strahlen der Laserausgänge aus einer zweiten Richtung reflektiert. 39. Laser radiation source according to claim 34, characterized in that is used a strip mirror for combining the beams of at least two laser outputs (46) which transmits the rays of the laser outputs from a first direction and reflects the beams from the laser outputs from a second direction.
  40. 40. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 26 bis 39, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Zusammenführen der Strahlen in Strahlrichtung vor und oder nach der Modulationseinheit ( Fig. 3a) angeordnet sind. 40. Laser radiation source according to any one of claims 26 to 39, characterized in that the means for combining the beams in the beam direction, and before or after the modulation unit (Fig. 3a) are arranged.
  41. 41. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zum Zusammenführen der Strahlen innerhalb der Modulationseinheit ein oder mehrere ein- oder mehrkanalige akustooptische Ablenker ( 34 ) vorgesehen sind ( Fig. 3a, Fig. 9, Fig. 9a). 41. Laser radiation source according to claim 26, characterized in that as means for combining the beams within the modulation unit (34) one or more single or multi-channel acousto-optic deflectors are provided (Fig. 3a, Fig. 9, Fig. 9a).
  42. 42. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 41, dadurch gekennzeichnet, daß die Übertragungseinheit zur Übertragung der aus den Abschlußstücken austretenden Laserstrahlen auf die Bearbeitungsfläche ( 81 ) mindestens eine Linse ( 165 , 186 , 197 ) aufweist. Having 42 laser radiation source according to any one of claims 1 to 41, characterized in that the transmission unit for transmitting the outgoing laser beams from the terminators on the working surface (81) at least one lens (165, 186, 197).
  43. 43. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 10 bis 42, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Hohlspiegel ( 115 ) und der Bearbeitungsfläche ( 81 ) eine transparente Platte ( 117 ) vorgesehen ist. 43. Laser radiation source according to any one of claims 10 to 42, characterized in that a transparent plate (117) is provided between the concave mirror (115) and the working surface (81).
  44. 44. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 43, dadurch gekennzeichnet, daß die transparente Platte ( 117 ) eine optische Korrekturplatte ist. 44. Laser radiation source according to claim 43, characterized in that the transparent plate (117) is an optical correction plate.
  45. 45. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 2 bis 44 dadurch gekennzeichnet, daß die Linsen als Linsensysteme ausgebildet sind. 45. Laser radiation source according to any one of claims 2 to 44 characterized in that the lenses are designed as a lens systems.
  46. 46. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 10 bis 45, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegel ( 115 , 121 ) sphärische und/oder asphärische Oberflächen aufweisen. 46. Laser radiation source according to any one of claims 10 to 45, characterized in that having the mirror (115, 121) spherical and / or aspherical surfaces.
  47. 47. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 10 bis 46, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer der Spiegel aus Metall ist. 47. Laser radiation source according to any one of claims 10 to 46, characterized in that at least one of the mirrors is made of metal.
  48. 48. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 47, dadurch gekennzeichnet, daß die Übertragungseinheit ein auswechselbares Objektiv ( 61 , 103 , 112 ) aufweist. Having 48 laser radiation source according to any one of claims 1 to 47, characterized in that the transfer unit a replaceable lens (61, 103, 112).
  49. 49. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 48, dadurch gekennzeichnet, daß die aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretenden Strahlenbündel ( 144 ) einen Austrittskegel aufweisen, der durch den Abstand der Sammellinse ( 133 ) zum Faserende innerhalb der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) so einstellbar ist, daß sich für die Bearbeitungspunkte B 1 bis B n auf der Bearbeitungsfläche ( 81 ) eine optimale Schärfe ergibt. 49. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 48, characterized in that exiting from the condenser lenses (133) of the terminators (26, 94) beams (144) have an exit cone defined by the distance between the collecting lens (133) to the fiber end within of the terminators (26, 94) is adjustable so that optimum focus is obtained for the edit points B 1 to B n on the processing surface (81).
  50. 50. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 49, dadurch gekennzeichnet, daß die Abfanganordnung ( 78 ) einen im Strahlengang angeordneten polarisationsabhängigen Spiegel ( 169 ) aufweist, durch den die unerwünschte Laserstrahlung, die auf der Bearbeitungsfläche keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, von der Bearbeitungsfläche ( 81 ) ferngehalten wird. 50. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 49, characterized in that the intercept (78) has a arranged in the beam path polarization dependent mirror (169) through which the undesired laser radiation to cause no processing effect on the processing surface, (from the processing surface 81) is kept away.
  51. 51. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 49, dadurch gekennzeichnet, daß die Abfanganordnung ( 73 ) einen im Strahlengang angeordneten Umlenkspiegel ( 74 , 97 , 121 ) aufweist, durch den die unerwünschte Laserstrahlung, die auf der Bearbeitungsfläche keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, von der Bearbeitungsfläche ( 81 ) ferngehalten wird. 51. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 49, characterized in that the intercept (73) a arranged in the beam path deflecting mirror (74, 97, 121) through which the undesired laser radiation to produce on the processing surface no editing effect of the working surface (81) is kept away.
  52. 52. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 51, dadurch gekennzeichnet, daß der Umlenkspiegel ( 74 , 97 , 121 ) aus Metall gefertigt ist. 52. Laser radiation source according to claim 51, characterized in that the deflecting mirror (74, 97, 121) is made of metal.
  53. 53. ( 113 ). 53. (113). Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 51 oder 52, dadurch gekennzeichnet, daß der gewölbte Spiegel ( 121 ) und der Umlenkspiegel ( 97 ) aus einem Teil gefertigt sind. Laser radiation source according to claim 51 or 52, characterized in that the convex mirror (121) and the deflection mirror (97) are made of one part.
  54. 54. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 53, dadurch gekennzeichnet, daß der gewölbte Spiegel ( 121 ) auch als Umlenkspiegel für die unerwünschte Strahlung ausgebildet ist. 54. Laser radiation source according to claim 53, characterized in that the convex mirror (121) is formed as a deflecting mirror for the undesired radiation.
  55. 55. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 54, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Flächen entspiegelt sind. 55. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 54, characterized in that the optical surfaces are antireflection coated.
  56. 56. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 55, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Bauelemente in ihre Fassungen eingeklebt sind. 56. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 55, characterized in that the optical components are bonded into their sockets.
  57. 57. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 55, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Bauelemente in ihre Fassungen gelötet sind. 57. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 55, characterized in that the optical components are soldered in their sockets.
  58. 58. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 57, dadurch gekennzeichnet, daß von den optischen Bauelementen mindestens eines aus einem Material, insbesondere aus Saphir gefertigt ist, das eine höhere Wärmeleitfähigkeit als Glas besitzt. 58. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 57, characterized in that is manufactured from the optical components at least one of a material, in particular of sapphire, which has a higher thermal conductivity than glass.
  59. 59. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 26 bis 58, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Zusammenführen der einzelnen Laserstrahlen ( 37 ) innerhalb des Gehäuses ( 35 , 93 ) angeordnet sind. 59. Laser radiation source according to any one of claims 26 to 58, characterized in that the means for bringing together the individual laser beams (37) within the housing (35, 93) are arranged.
  60. 60. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 14 bis 59, dadurch gekennzeichnet, daß die Fassungen ( 29 ) für die Abschlußstücke ( 26 , 94 ) so in dem Gehäuse ( 35 , 93 ) angeordnet und ausgerichtet sind, daß die einzelnen Laserstrahlen auf der Bearbeitungsfläche ( 81 ) zusammengeführt werden. 60. Laser radiation source according to any one of claims 14 to 59, characterized in that the sockets (29) for the end pieces (26, 94) in the housing (35, 93) are arranged and oriented such that the individual laser beams (on the processing surface 81) are merged.
  61. 61. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 60, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Verringerung des Abstandes der Symmetrieachsen der aus den Sammellinsen ( 133 ) der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) austretenden Strahlenbündel ( 46 , 191 , 192 , 202 , 203 ) im Gehäuse ( 35 , 93 ) angeordnet sind. 61. Laser radiation source according to claim 60, characterized in that the means for reducing the distance between the axes of symmetry of the convergent lenses (133) of the terminators (26, 94) emerging beams (46, 191, 192, 202, 203) in the housing (35 are arranged 93).
  62. 62. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 3 bis 61, dadurch gekennzeichnet, daß 62. Laser radiation source according to any one of claims 3 to 61, characterized in that
    im Gehäuse ( 36 , 93 ) eine zylindrische Öffnung ( 48 ) für ein auswechselbares Modulatorgehäuse ( 172 ) vorgesehen ist, das innerhalb der zylindrischen Öffnung durch Verdrehen justier- und fixierbar ist ( 48 ) und das an seiner nach außen weisenden Seite elektrische Anschlüsse ( 181 ) aufweist, die mit einer Steuerelektronik und mit einer Leitungsanordnung ( 171 ) für die elektrische Ansteuerung des Modulators und/oder Ablenkers ( 34 , 168 ) verbunden sind, und in the housing (36, 93) has a cylindrical opening (48) for a replaceable modulator housing (172) is provided, the adjustment within the cylindrical opening by rotation and fixed (48) and the electrical on its outwardly facing side terminals (181 ), which, with an electronic control system, and including conduit means (171) for the electrical control of the modulator and / or the deflector (34, 168 are connected), and
    daß das Modulatorgehäuse an seiner in den Innenraum ( 44 , 111 ) des Gehäuses ( 35 , 93 ) weisenden Stirnseite eine Halterung für den Modulator und/oder Ablenker ( 34 , 168 ) aufweist und in seinem Inneren die Leitungsanordnung ( 171 ) enthält, wobei die Leitungsanordnung aus dem Inneren des Modulatorgehäuses ( 172 ) durch die zum Innenraum des Gehäuses ( 35 , 93 ) weisende Stirnseite in den Innenraum ( 44 , 111 ) ragt und elektrisch mit dem Modulator verbunden ist. that the modulator housing at its in the interior (44, 111) of the housing (35, 93) facing the end face of a holder for the modulator and / or deflectors (34, 168) and inside said conduit assembly (171), wherein the conduit means from inside the modulator housing (172) through the interior of the housing (35, 93) facing end face into the interior (44, 111) projects, and is electrically connected to the modulator.
  63. 63. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 62, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse ( 35 , 93 ) mehrere zylindrische Öffnungen ( 48 ) für mehrere Modulatorgehäuse ( 172 ) aufweist. 63. Laser radiation source according to claim 62, characterized in that the housing (35, 93) a plurality of cylindrical openings (48) for a plurality of modulator housing (172).
  64. 64. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 2 bis 63, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr ( 51 , 95 , 113 ) durch eine an der Strahlaustrittsseite des Gehäuses ( 35 , 93 ) angeordnete Bohrung ( 47 ) zentriert wird und an dem Gehäuse ( 35 , 93 ) angeflanscht ist. 64. Laser radiation source according to any one of claims 2 to 63, characterized in that the tube (51, 95, 113) arranged by one at the beam exit side of the housing (35, 93) bore (47) is centered and on the housing (35, 93) is flanged.
  65. 65. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 64, dadurch gekennzeichnet, daß die Anordnung ( 73 , 86 ) zum Abfangen und Unschädlichmachen der Laserstrahlung, die auf der Bearbeitungsfläche ( 81 ) keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, seitlich an dem Rohr ( 51 , 95 , 113 ) angeflanscht ist. 65. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 64, characterized in that the arrangement (73, 86) for intercepting and neutralization of the laser radiation (81) should not cause a processing effect on the processing surface, on the side of the tube (51, 95, 113) is flanged.
  66. 66. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 64, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anordnung ( 82 ) zum Entfernen des von der Bearbeitungsfläche ( 81 ) abgetragenen Materials zwischen dem Strahlungsaustritt aus der Übertragungseinheit am Ende des Rohrs ( 51 , 95 , 113 ) und der Bearbeitungsfläche ( 81 ) vorgesehen ist. 66. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 64, characterized in that an arrangement (82) of the working surface (81) of removed material between the radiation exit from the transfer unit to remove at the end of the tube (51, 95, 113) and the working surface (81) is provided.
  67. 67. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 2 bis 67, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr ( 51 , 95 , 113 ) um seine durch die Objektivlinse ( 61 , 103 , 112 ) bestimmte Achse drehbar und/oder in seiner Längsrichtung verschiebbar gelagert ist. 67. Laser radiation source according to any one of claims 2 to 67, characterized in that the tube (51, 95, 113) around its through the objective lens (61, 103, 112) is slidably mounted rotatably and / or in its longitudinal direction certain axis.
  68. 68. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 67, dadurch gekennzeichnet, daß zum Auffangen der unerwünschten Strahlung ein Sumpf vorgesehen ist, in den die unerwünschte Strahlung geleitet wird. 68. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 67, characterized in that a sump is provided for collecting the undesired radiation, the undesired radiation is conducted.
  69. 69. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 68, dadurch gekennzeichnet, daß der Sumpf aus einem Medium besteht, das die unerwünschte Strahlung absorbiert, indem die Energie der Strahlung in Wärme umgesetzt wird. 69. Laser radiation source according to claim 68, characterized in that the sump consists of a medium which absorbs the unwanted radiation, by the energy of the radiation is converted into heat.
  70. 70. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 68 oder 69, dadurch gekennzeichnet, daß der Sumpf als Wärmetauscher ausgebildet ist. 70. Laser radiation source according to claim 68 or 69, characterized in that the sump is formed as a heat exchanger.
  71. 71. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 68 bis 70, dadurch gekennzeichnet, daß die Anordnung zum Abfangen und Unschädlichmachen der unerwünschten Laserstrahlung zwischen dem Umlenkspiegel ( 74 , 97 , 121 ) oder dem polarisationsabhängigen Spiegel ( 169 ) und dem Sumpf zum Auffangen der unerwünschten Laserstrahlung ein optisches Bauelement ( 75 ) enthält, das den Innenraum des Rohrs ( 51 , 95 , 113 ) von dem Sumpf abtrennt und in seinem Durchmesser so bemessen ist, daß die in den Sumpf geleitete Laserstrahlung gerade passieren kann, während solche Strahlung, die vom dem Sumpf zurück reflektiert oder zurück gestreut wird, weitgehend im Sumpf zurückgehalten wird. 71. Laser radiation source according to any one of claims 68 to 70, characterized in that the arrangement for intercepting and neutralization of the undesired laser radiation between the deflecting mirror (74, 97, 121) or the polarization dependent mirror (169) and the sump for collecting the undesired laser radiation a optical component (75), that the interior of the tube (51, 95, 113) is separated from the sump and is dimensioned in its diameter such that the directed into the sump laser radiation can just pass, while such radiation from the sump is reflected or scattered back, is largely retained in the swamp.
  72. 72. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 71, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Bauelement ( 75 ) eine Glasplatte oder eine Linse ist. 72. Laser radiation source according to claim 71, characterized in that the optical component (75) is a glass plate or a lens.
  73. 73. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 72, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Bauelement ( 75 ) entspiegelt ist. 73. Laser radiation source according to claim 72, characterized in that the optical component (75) is non-reflective.
  74. 74. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 71 bis 73, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Bauelement ( 75 ) in seine Fassung geklebt oder gelötet ist. 74. Laser radiation source according to any one of claims 71 to 73, characterized in that the optical component (75) is glued or brazed into its socket.
  75. 75. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 50 bis 54, dadurch gekennzeichnet, daß die Anordnung ( 73 , 86 ) zum Abfangen der unerwünschten Laserstrahlung aus einer zylindrisch ausgebildeten Abfanganordnung ( 73 ) mit dem Umlenkspiegel ( 74 , 97 , 121 ) - oder aus einer zylindrisch ausgebildeten Abfanganordnung ( 86 ) oder mit dem polarisationsabhängigen Spiegel ( 169 ) - mit dem optischen Element ( 75 ), und einem Flansch zur Befestigung an dem Rohr ( 51 , 95 , 113 ) besteht. 75. Laser radiation source according to any one of claims 50 to 54, characterized in that the arrangement (73, 86) for intercepting the undesired laser radiation from a cylindrically shaped intercept (73) with the deflecting mirror (74, 97, 121) - or a cylindrical formed intercept (86) or the polarization dependent mirror (169) - with the optical element (75), and a flange for attachment to the tube (51, 95, 113) is made.
  76. 76. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 68 bis 70, dadurch gekennzeichnet, daß der Sumpf zum Auffangen der unerwünschten Strahlung aus einer Platte 86 besteht, die Öffnungen 87 enthält, durch die ein Kühlmittel geleitet werden kann. 76. Laser radiation source according to any one of claims 68 to 70, characterized in that the sump is for collecting the undesired radiation from a plate 86 which includes openings 87, may be passed through which a coolant.
  77. 77. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 76, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte ( 86 ) auf der Seite, die der Laserstrahlung zugewendet ist, eine ebene Oberfläche hat, die zu der auftreffenden Laserstrahlung geneigt ist. 77. Laser radiation source according to claim 76, characterized in that the plate (86) on the side which faces the laser radiation has a flat surface which is inclined to the incident laser radiation.
  78. 78. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 76, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche der Platte ballig oder hohl ausgeformt ist. 78. Laser radiation source according to claim 76, characterized in that the surface of the plate is spherical or hollow molded.
  79. 79. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 76 bis 78, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche aufgerauht ist. 79. Laser radiation source according to any one of claims 76 to 78, characterized in that the surface is roughened.
  80. 80. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 79, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einheit ( 8 ) zur Formung des Laserstrahls so ausgeführt ist, daß sich auf der Bearbeitungsfläche ( 81 ) Strahltaillen ergeben. 80. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 79, characterized in that the optical unit (8) is designed for shaping the laser beam so that on the working surface (81) provide beam waists.
  81. 81. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 80, dadurch gekennzeichnet, daß die optisch wirksamen Flächen der Bauelemente mit reflexmindernden Schichten versehen sind. 81. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 80, characterized in that the optically effective surfaces of the components are provided with antireflection layers.
  82. 82. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 81, dadurch gekennzeichnet, daß die optisch wirksamen Flächen gegenüber der Laserstrahlung zur Vermeidung von Rückreflexionen und Rückstreuungen in die Laser geneigt angeordnet sind. 82. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 81, characterized in that the optically effective surfaces relative to the laser radiation in order to avoid back-reflections and backscatter are arranged inclined in the laser.
  83. 83. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 25 bis 82, dadurch gekennzeichnet, daß die akustooptischen Modulatoren in Bezug auf die einfallende Laserstrahlung so angeordnet sind, daß die gerade hindurchgehende, nicht abgelenkte Strahlung (I 0 ) einen Bearbeitungseffekt hervorruft und daß die abgelenkte Strahlung (I 1 ) keinen Bearbeitungseffekt hervorruft. 83. Laser radiation source according to any one of claims 25 to 82, characterized in that the acousto-optical modulators are arranged in relation to the incident laser radiation so that the straight-through, non-deflected radiation (I 0) causes a processing effect, and that the deflected radiation (I 1) does not cause processing effect.
  84. 84. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 25 bis 82, dadurch gekennzeichnet, daß die akustooptischen Modulatoren ( 34 ) in bezug auf die einfallende Laserstrahlung so angeordnet sind, daß die abgelenkte Strahlung (I 1 ) einen Bearbeitungseffekt hervorruft und daß die gerade hindurchgehende, nicht abgelenkte Strahlung (l 0 ) keinen Bearbeitungseffekt hervorruft. 84. Laser radiation source according to any one of claims 25 to 82, characterized in that the acousto-optic modulators (34) are arranged with respect to the incident laser radiation so that the deflected rays (I 1) induces a processing effect, and that the straight-through, non-deflected radiation (l 0) does not cause processing effect.
  85. 85. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 84, dadurch gekennzeichnet, daß an der optischen Einheit ( 8 ) zur Formung des Laserstrahls Mittel vorgesehen sind, die eine Verunreinigung der optischen Flächen verhindern. 85. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 84, characterized in that means are provided on the optical unit (8) for shaping the laser beam, which prevent contamination of the optical surfaces.
  86. 86. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 85, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Verhinderung der Verunreinigung der optischen Flächen darin bestehen, daß die Aufnahme und/oder die optische Einheit ( 8 ) frei von ausgasenden Materialien sind, gasdicht verschließbar sind, und daß optische Fenster zum Austritt der Laserstrahlung vorgesehen sind. 86. Laser radiation source according to claim 85, characterized in that the means for preventing the contamination of the optical surfaces consist in that the receptacle and / or the optical unit (8) are free of outgassing materials gastight, can be closed, and in that optical windows for exit of the laser radiation are provided.
  87. 87. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 86 dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Fenster, durch die die Laserstrahlung austritt, Glasplatten sind. 87. Laser radiation source according to claim 86 characterized in that the optical window through which exits the laser radiation are glass plates.
  88. 88. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 86, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Fenster, durch die die Laserstrahlung austritt, Glasplatten oder Linsen sind. 88. Laser radiation source according to claim 86, characterized in that the optical window through which exits the laser radiation are glass plates or lenses.
  89. 89. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 88, dadurch gekennzeichnet, daß die Objektivlinse ( 61 , 103 , 112 ) als optisches Fenster zum Durchtreten der Laserstrahlung, die einen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, vorgesehen ist. 89. Laser radiation source according to claim 88, characterized in that the objective lens (61, 103, 112) is provided as an optical window for passing the laser radiation to cause a processing effect.
  90. 90. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 88, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte ( 117 ) als optisches Fenster zum Durchtreten der Laserstrahlung, die einen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, vorgesehen ist. 90. Laser radiation source according to claim 88, characterized in that the plate (117) is provided as an optical window for passing the laser radiation to cause a processing effect.
  91. 91. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 88 dadurch gekennzeichnet, daß die Linse ( 75 ) als optisches Fenster zum Durchtreten der Laserstrahlung, die keinen Bearbeitungseffekt hervorrufen soll, vorgesehen ist. 91. Laser radiation source according to claim 88 characterized in that the lens (75) is provided as an optical window for passing the laser radiation to cause no processing effect.
  92. 92. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 86, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile der Aufnahme zur Adaption der optischen Einheit ( 8 ) ( 35 , 93 , 51 , 95 , 113 ) gasdicht miteinander verbunden sind und daß die mit ihr verbundenen Baugruppen ( 26 , 94 , 37 , 41 , 46 , 73 , 54 , 96 , 116 , 118 ) gasdicht angebracht sind. 92. Laser radiation source according to claim 86, characterized in that the parts of the recording for the adaptation of the optical unit (8) (35, 93, 51, 95, 113) are gas-tightly connected to each other and that the (with their associated assemblies 26, 94, 37, 41, 46, 73, 54, 96, 116, 118) are gas-tightly attached.
  93. 93. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 92, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zum Dichten Dichtungen ( 36 , 43 , 52 , 76 , 62 , 124 , 125 ) vorgesehen sind. 93. Laser radiation source according to claim 92, characterized in that as means for sealing seals (36, 43, 52, 76, 62, 124, 125) are provided.
  94. 94. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 92, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zum Dichten Verklebungen ( 223 ) vorgesehen sind. 94. Laser radiation source according to claim 92, characterized in that there are provided as means for sealing bonds (223).
  95. 95. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 92, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zum Dichten Verlötungen ( 223 ) vorgesehen sind. 95. Laser radiation source according to claim 92, characterized in that there are provided as means for sealing soldered joints (223).
  96. 96. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 95, dadurch gekennzeichnet, daß an dem Gehäuse ( 35 , 93 ) ein Ventil ( 77 ) vorgesehen ist, über das der Innenraum der mehrteiligen Aufnahme und der optischen Einheit ( 8 ) evakuierbar oder mit einem Schutzgas beaufschlagbar ist. 96. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 95, characterized in that on the housing (35, 93) a valve (77) is provided, via the or with the interior of the multi-part receptacle and the optical unit (8) evacuated a protective gas can be acted upon.
  97. 97. Laserstrahlungsquelle nach Anspruch 96, dadurch gekennzeichnet, daß die Fassung der Objektivlinse ( 61 , 103 , 112 ) auf ihrem Umfang verteilt eine oder mehrere Öffnungen ( 120 ) aufweist, durch die ein Schutzgas ausströmen kann ( Fig. 3f). 97. Laser radiation source according to claim 96, characterized in that the holder of the objective lens (61, 103, 112) on its periphery distributed one or more apertures (120) can flow out through which a shielding gas (Fig. 3f).
  98. 98. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 97, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahme zur Adaption der optischen Einheit ( 8 ) an dem Gehäuse ( 35 , 93 ) im Bereich der Abschlußstücke ( 26 , 94 ) mit Kühlrippen versehen ist. 98. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 97, characterized in that the receptacle for the adaptation of the optical unit (8) to the housing (35, 93) in the region of the end pieces (26, 94) is provided with cooling ribs.
  99. 99. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 98, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahme zur Adaption der optischen Einheit ( 8 ) an dem Rohr ( 118 ) im Bereich der Abfangeinheit ( 73 ) und der Objektivlinse 112 mit Kühlrippen versehen ist. 99. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 98, characterized in that the receptacle for the adaptation of the optical unit (8) to the pipe (118) in the interception unit (73) and the objective lens is provided with cooling fins 112th
  100. 100. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 99, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einheit ( 8 ) im Bereich der Abschlußstücke und /oder der Linsen mit Bohrungen ( 87 ) zur Zufuhr eines Kühlmittels versehen ist ( Fig. 3d, Fig. 3e). 100. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 99, characterized in that the optical unit (8) is provided in the region of the end pieces and / or the lenses with holes (87) for supplying a cooling medium (Fig. 3d, Fig. 3e) ,
  101. 101. Laserstrahlungsquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 100, dadurch gekennzeichnet, daß das Modulatorgehäuse ( 172 ) im Bereich des Modulators ( 34 ) mit Bohrungen ( 87 ) zur Zufuhr eines Kühlmittels versehen ist. 101. Laser radiation source according to any one of claims 1 to 100, characterized in that the modulator housing (172) in the region of the modulator (34) is provided with bores (87) for supplying a coolant.
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