DE19805040A1

DE19805040A1 - Optical co-ordinate measuring machine using light transmission

Info

Publication number: DE19805040A1
Application number: DE1998105040
Authority: DE
Inventors: Werner Gurny; Norbert Steffens
Original assignee: Wegu Messtechnik GmbH
Current assignee: Mahr Multisensor GmbH
Priority date: 1998-02-09
Filing date: 1998-02-09
Publication date: 1999-08-12

Abstract

The machine has a measuring object support (3) made of transparent material, an illumination source (8) on one side of the support and an optical measuring device on the other side. The illumination source is fixed to illuminate the entire measuring region simultaneously. An Independent claim is given for a method of measuring an object.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Koordinatenmeßmaschine mit Durchlichtbeleuchtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 und ein Verfahren zur optischen Vermessung von Meßobjekten mit Durchlichtbeleuchtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 10.The present invention relates to an optical coordinate measuring machine Transmitted light illumination according to the preamble of claim 1 and a method for optical measurement of measuring objects with transmitted light illumination according to the Preamble of claim 10.

In der Praxis sind optische Koordinatenmeßmaschinen bekannt, wie sie beispielhaft in einer vereinfachten, perspektivischen Darstellung in Fig. 3 gezeigt ist. Bei diesen herkömmlichen Koordinatenmeßmaschinen ist in dem auf einer Grundplatte 1 montierten Meßtisch 2 eine durchsichtige Glasplatte 3 integriert, die als Auflage für ein zu vermessendes Meßobjekt (nicht gezeigt) dient und deren Auflagefläche der Größe des Meßobjektes angepaßt ist. Die Glasplatte 3 ermöglicht eine sogenannte Durchlicht messung des Meßobjektes, indem unterhalb des Meßtisches 2 eine Beleuchtungsquelle 8 und über dem auf dem Meßtisch 2 abgelegten Meßobjekt eine optische Meßeinheit 9, beispielsweise ein photoelektrischer Sensor oder eine komplette CCD-Kamera, installiert ist. Die optische Meßeinheit 9 ist in einer Achse (x-Achse) oder evt. auch in einer Ebene (x-y-Ebene) parallel zur Werkstückebene bzw. zur Glasplatte 3 üblicherweise CNC-gesteuert positionierbar. Die Beleuchtungsquelle 8 ist über einen Träger 5 starr mit der beweglichen optischen Meßeinheit 9 verbunden. Durch die mechanische Kopplung von Sensor- und Beleuchtungseinheit 8, 9 bewegen sich beide gleichzeitig über den gesamten Meßbereich der Anordnung, und die Beleuchtungsquelle 8 leuchtet dabei permanent das relativ zum gesamten Meßbereich kleine Objektfeld aus.In practice, optical coordinate measuring machines are known, as is shown by way of example in a simplified, perspective illustration in FIG. 3. In these conventional coordinate measuring machines, a transparent glass plate 3 is integrated in the measuring table 2 mounted on a base plate 1 , which serves as a support for a measurement object to be measured (not shown) and whose contact surface is adapted to the size of the measurement object. The glass plate 3 enables a so-called transmitted light measurement of the measurement object by installing an illumination source 8 below the measurement table 2 and an optical measurement unit 9 , for example a photoelectric sensor or a complete CCD camera, is installed above the measurement object placed on the measurement table 2 . The optical measuring unit 9 can usually be positioned in an axis (x-axis) or possibly also in a plane (xy-plane) parallel to the workpiece plane or to the glass plate 3 in a CNC-controlled manner. The illumination source 8 is rigidly connected to the movable optical measuring unit 9 via a carrier 5 . Due to the mechanical coupling of the sensor and lighting unit 8 , 9 , both move simultaneously over the entire measuring range of the arrangement, and the lighting source 8 permanently illuminates the object field, which is small relative to the entire measuring range.

Eine solche Koordinatenmeßmaschine ist beispielsweise auch aus der DE-C1-196 47 059 bekannt. Um die Meßgenauigkeit zu erhöhen, besteht die Auflage für das Meßobjekt bei der in dieser Druckschrift offenbarten Koordinatenmeßmaschine aus zumindest zwei parallel zueinander, beabstandet angeordneten durchsichtigen Glasplatten. Von den zwischen den Glasplatten eingeschlossenen Hohlräumen ist zumindest ein Hohlraum mit einem durchsichtigen Druckmedium gefüllt, wobei der Druck innerhalb dieses Hohlraumes größer ist als der Druck außerhalb des Hohlraumes. Der Überdruck im Hohlraum soll eine der durch das Gewicht des Meßobjekts verursachten Durchbiegung der Auflage entgegenwirkende Kraft erzeugen, um die maximal mögliche Traglast der Auflage zu erhöhen und eine sonst bei Durchbiegung der Glasplatte ständig erforderliche Nachfokussierung der optischen Meßeinheit zu vermeiden.Such a coordinate measuring machine is also known, for example, from DE-C1-196 47 059 known. In order to increase the measuring accuracy, there is a requirement for Measurement object in the coordinate measuring machine disclosed in this document at least two transparent spaced parallel to each other Glass plates. Of the cavities enclosed between the glass plates at least one cavity filled with a transparent pressure medium, the Pressure inside this cavity is greater than the pressure outside the cavity. The overpressure in the cavity is said to be one of the weight of the test object caused deflection of the support to generate counteracting force to increase the maximum possible load of the support and an otherwise with deflection the glass plate constantly requires refocusing of the optical measuring unit avoid.

Zur Erzielung kurzer Meßzeiten wird in der Praxis eine hohe Positionier geschwindigkeit der Einheit aus optischem Sensor und Beleuchtungsquelle gefordert. Die insbesondere beim Abbremsen auftretenden Beschleunigungen führen aufgrund der oben anhand von Fig. 3 erläuterten Konstruktion der Befeuchtungsquelle bei herkömmlichen Koordinatenmeßmaschinen zu unerwünschten Schwingungen, da insgesamt relativ große Massen bewegt werden und die Beleuchtungsquelle an einem etwa L-förmigen Tragarm befestigt ist. Sind hohe Meßgenauigkeiten gefordert, muß vor der Meßwertaufnahme an der Zielposition zunächst das Abklingen dieser Schwingungen abgewartet werden, was demzufolge zu längeren Meßzeiten führt.In order to achieve short measuring times, a high positioning speed of the unit consisting of the optical sensor and the illumination source is required in practice. The accelerations that occur in particular during braking lead to undesirable vibrations in conventional coordinate measuring machines due to the construction of the humidification source explained above with reference to FIG. 3, since overall relatively large masses are moved and the illumination source is fastened to an approximately L-shaped support arm. If high measuring accuracies are required, these vibrations must first be waited for before the measured values are recorded at the target position, which consequently leads to longer measuring times.

Ausgehend von dem vorgenannten Stand der Technik ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine optische Koordinatenmeßmaschine und ein optisches Meßverfahren jeweils mit Durchlichtbeleuchtung vorzusehen, die mit einfachen technischen Mitteln auch bei hohen Meßgenauigkeiten kurze Meßzeiten ermöglichen.Based on the aforementioned prior art, it is a task of present invention, an optical coordinate measuring machine and an optical To provide measurement methods each with transmitted light, the simple allow technical means short measuring times even with high measuring accuracy.

Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird diese Aufgabe durch eine optische Koordinatenmeßmaschine mit den Merkmalen von Patentanspruch 1 gelöst.According to a first aspect of the invention, this object is achieved by an optical Coordinate measuring machine with the features of claim 1 solved.

Durch die starr angeordnete Beleuchtungsquelle, die gleichzeitig den gesamten Meßbereich der Anordnung ausleuchtet, können die oben erläuterten Schwingungen nicht mehr auftreten, da die Beleuchtungsquelle zu keiner Zeit bewegt werden muß. Außerdem sind aufgrund der verringerten bewegten Masse, welche im wesentlichen nur von der optischen Meßeinheit gebildet wird, höhere Beschleunigungen und schnellere Positionierungen der optischen Meßeinheit und somit auch kürzere Meßzeiten möglich.Due to the rigidly arranged lighting source, which simultaneously the entire Illuminates the measuring range of the arrangement, the vibrations explained above no longer occur since the lighting source does not have to be moved at any time. In addition, due to the reduced moving mass, which are essentially only is formed by the optical measuring unit, higher accelerations and faster Positioning of the optical measuring unit and thus shorter measuring times possible.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn sich die Beleuchtungsquelle in der Ebene parallel zur Auflage im wesentlichen nur in einer Richtung (x-Achse) erstreckt und die optische Meßeinheit ebenfalls nur in dieser einen Richtung (x-Achse) in einer Ebene parallel zur Auflage positionierbar ist, wobei in diesem Fall das Meßobjekt bzw. der Meßtisch mit dem darauf angeordneten Meßobjekt vorzugsweise in der anderen Richtung (y-Achse) parallel zur Auflage positionierbar ist.It is particularly advantageous if the illumination source is parallel to the plane Edition essentially extends only in one direction (x-axis) and the optical Measuring unit also only in this one direction (x-axis) in a plane parallel to the Support can be positioned, in which case the measuring object or the measuring table is also the measuring object arranged on it, preferably in the other direction (y-axis) can be positioned parallel to the support.

Ebenso kann sich aber die Beleuchtungsquelle in der Ebene parallel zur Auflage auch in beide Richtungen erstrecken (x-y-Ebene) und die optische Meßeinheit ebenfalls in beide Richtungen (x-y-Ebene) in einer Ebene parallel zur Auflage positionierbar sein, so daß das Meßobjekt bzw. der Meßtisch mit dem darauf angeordneten Meßobjekt während der Vermessung des Meßobjektes nicht verschoben werden muß.However, the lighting source can also be in the plane parallel to the support extend in both directions (x-y plane) and the optical measuring unit also in both Directions (x-y plane) can be positioned in a plane parallel to the support, so that the measuring object or the measuring table with the measuring object arranged thereon during the Measurement of the measurement object does not have to be moved.

Vorzugsweise weist die Beleuchtungsquelle eine Anordnung von Faserlichtleitern, Leuchtstoffröhren und/oder Leuchtdioden auf, wobei die Beleuchtungsstärke durch eine Anordnung von Blenden, durch Steuerung des Beleuchtungsstromes, durch Steuerung der Belichtungszeit der optischen Meßeinheit und/oder durch Filteranordnungen eingestellt werden kann.The illumination source preferably has an arrangement of fiber light guides, Fluorescent tubes and / or LEDs, the illuminance by Arrangement of panels, by controlling the lighting current, by control the exposure time of the optical measuring unit and / or by filter arrangements can be adjusted.

Gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung wird die oben genannte Aufgabe durch ein optisches Meßverfahren gemäß Patentanspruch 10 gelöst.According to a second aspect of the invention, the above object is achieved by a Optical measurement method according to claim 10 solved.

Das Verfahren wird im Prinzip mit einer oben beschriebenen erfindungsgemäßen Koordinatenmeßmaschine durchgeführt, weshalb an dieser Stelle bezüglich der Vorteile und Weiterbildungen des Verfahrens nur auf die bereits erläuterten Vorteile und Weiterbildungen der Koordinatenmeßmaschine verwiesen werden soll.In principle, the method is carried out using an inventive method described above Coordinate measuring machine performed, which is why at this point with regard to the advantages and further developments of the method only to the advantages already explained and Further developments of the coordinate measuring machine should be referred.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand weiterer Unteransprüche.Further advantageous refinements and developments of the invention are Subject of further subclaims.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Koordinaten meßmaschine wird im folgenden anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. Darin zeigen:A preferred embodiment of a coordinate according to the invention measuring machine is explained in more detail below with reference to the accompanying drawing. In it show:

Fig. 1 eine vereinfachte Darstellung einer erfindungsgemäßen Koordinaten meßmaschine in Seitenansicht; Figure 1 is a simplified representation of a coordinate measuring machine according to the invention in side view.

Fig. 2 eine perspektivische Prinzipdarstellung der Koordinatenmeßmaschine von Fig. 1; und FIG. 2 shows a perspective basic illustration of the coordinate measuring machine from FIG. 1; FIG. and

Fig. 3 eine vereinfachte, perspektivische Darstellung einer herkömmlichen Koordinatenmeßmaschine. Fig. 3 is a simplified, perspective view of a conventional coordinate measuring machine.

In Fig. 1 ist ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel einer optischen Koordinaten meßmaschine mit Durchlichtbeleuchtung in Seitenansicht dargestellt; dabei sind gleiche Bauteile mit gleichen Bezugsziffern versehen wie in der oben beschriebenen herkömmlichen Koordinatenmeßmaschine von Fig. 3.In Fig. 1, a preferred embodiment of an optical coordinate measuring machine with transmitted light illumination is shown in side view; The same components are provided with the same reference numerals as in the conventional coordinate measuring machine from FIG. 3 described above.

Die Koordinatenmeßmaschine besteht aus einer Grundplatte 1, auf der ein Meßtisch 2 montiert ist. In den Meßtisch 2 ist eine Auflage 3 aus durchsichtigem Material, vorzugsweise eine durchsichtige Glasplatte, integriert, die als Auflage für das zu vermessende Meßobjekt 4 dient. Unter dem Meßtisch 2 ist eine Beleuchtungsquelle 8 angeordnet, die auf einem entsprechenden Träger 13 montiert ist und die Licht nach oben in Richtung auf die Glasplatte 3 bzw. das Meßobjekt 4 ausstrahlt. Der Träger 13 der Beleuchtungsquelle 8 ist fest mit der Grundplatte 1 verbunden, so daß die Beleuchtungsquelle starr und unbeweglich angeordnet ist.The coordinate measuring machine consists of a base plate 1 on which a measuring table 2 is mounted. A support 3 made of transparent material, preferably a transparent glass plate, is integrated into the measuring table 2 and serves as a support for the measurement object 4 to be measured. An illumination source 8 is arranged under the measuring table 2 , which is mounted on a corresponding carrier 13 and emits the light upwards in the direction of the glass plate 3 or the measurement object 4 . The carrier 13 of the lighting source 8 is firmly connected to the base plate 1 , so that the lighting source is rigid and immovable.

Die Beleuchtungsquelle 8 ist im Prinzip linienförmig aufgebaut, d. h. die Ausdehnung der Beleuchtungsquelle 8 in der Ebene parallel zur Auflage 3 erstreckt sich im wesentlichen nur in einer Richtung, vorzugsweise der x-Richtung der Anordnung, wie insbesondere aus der perspektivischen Darstellung von Fig. 2 gut zu erkennen ist. Die Länge der Beleuchtungsquelle 8 in x-Richtung entspricht etwa der Ausdehnung der Glasplatte 3 in x-Richtung, so daß von der starren Beleuchtungsquelle 8 gleichzeitig der gesamte Meßbereich der Anordnung ausgeleuchtet werden kann, der durch die möglichen Positionierungen der in x-Richtung verschiebbaren optischen Meßeinheit 9 bestimmt wird.In principle, the illumination source 8 is linear, ie the extension of the illumination source 8 in the plane parallel to the support 3 extends essentially only in one direction, preferably the x-direction of the arrangement, as shown particularly well in the perspective view in FIG. 2 can be seen. The length of the illumination source 8 in the x-direction corresponds approximately to the extent of the glass plate 3 in the x-direction, so that the entire measurement range of the arrangement can be illuminated by the rigid illumination source 8 , which is possible due to the possible positioning of the optical elements which can be displaced in the x-direction Measuring unit 9 is determined.

Für die Beleuchtungsquelle 8 können beispielsweise geeignete Anordnungen von Faserlichtleitern, Leuchtstoffröhren, Leuchtdioden oder auch Kombinationen derselben eingesetzt werden. Die Einstellung der Beleuchtungsstärke kann dabei auf verschiedene Weisen erfolgen. Bei der Verwendung von Faserlichtleitern und Leuchtdioden bietet sich hierzu eine Steuerung des Beleuchtungsstromes an, bei der Verwendung von Faserlichtleitern und Leuchtstoffröhren sind geeignete Blenden oder Blendensysteme denkbar. Ferner ist es auch möglich, die Belichtungszeit der optischen Meßeinheit 9, beispielsweise durch einen sogenannten Shutterbetrieb von CCD-Kameras, anzupassen oder die Einstellung der Beleuchtungsstärke durch geeignete Filter, wie zum Beispiel Polfilter zu realisieren. Außerdem ist es denkbar, das Meßobjekt 4 entweder diffus oder gerichtet durch die Beleuchtungsquelle 8 auszuleuchten.Suitable arrangements of fiber light guides, fluorescent tubes, light emitting diodes or combinations thereof can be used for the lighting source 8 , for example. The illuminance can be adjusted in different ways. When using fiber-optic cables and light-emitting diodes, it is advisable to control the lighting current; when using fiber-optic cables and fluorescent tubes, suitable diaphragms or diaphragm systems are conceivable. Furthermore, it is also possible to adapt the exposure time of the optical measuring unit 9 , for example by a so-called shutter operation of CCD cameras, or to implement the setting of the illuminance by means of suitable filters, such as polarizing filters. In addition, it is conceivable to illuminate the measurement object 4 either diffusely or directed by the illumination source 8 .

Zur Befestigung der optischen Meßeinheit 9, beispielsweise ein photoelektrischer Sensor mit vorgeschaltetem Objektiv 10 oder eine komplette CCD-Kamera, ist ein vertikaler Träger 6 vorgesehen, der starr mit der Grundplatte 1 der Koordinatenmeßmaschine verbunden ist. An seinem oberen Ende weist der Träger 6 einen Querträger 7 auf, der in einer Orientierung parallel zur Glasplatte 3, insbesondere in x-Richtung, angeordnet ist. Auf diesem Querträger 7 ist, in Längsrichtung des Querträgers 7 auf diesem verschiebbar, ein Schlitten 12 montiert. Der Schlitten 12 dient als Träger für die optische Meßeinheit 9, die zum Zwecke einer möglichen Fokussierung am Schlitten 12 auch in z-Richtung, d. h. in der Richtung senkrecht zur Ebene der Auflage 3, verschiebbar ist. Die Positionierung der optischen Meßeinheit 9 in z-Richtung sowie des Schlittens 12 in x-Richtung erfolgt vorzugsweise CNC-gesteuert. In y-Richtung ist die optische Meßeinheit in jeder Stellung so positioniert, daß die optische Achse 11 der Meßeinheit 9 exakt über der Beleuchtungsquelle 8 liegt.To attach the optical measuring unit 9 , for example a photoelectric sensor with an upstream lens 10 or a complete CCD camera, a vertical support 6 is provided which is rigidly connected to the base plate 1 of the coordinate measuring machine. At its upper end, the carrier 6 has a cross member 7 , which is arranged in an orientation parallel to the glass plate 3 , in particular in the x direction. On this cross member 7 , a slide 12 is mounted in the longitudinal direction of the cross member 7 on this. The carriage 12 serves as a carrier for the optical measuring unit 9 , which for the purpose of possible focusing on the carriage 12 can also be displaced in the z direction, ie in the direction perpendicular to the plane of the support 3 . The positioning of the optical measuring unit 9 in the z direction and of the carriage 12 in the x direction is preferably CNC-controlled. In each direction, the optical measuring unit is positioned in the y direction such that the optical axis 11 of the measuring unit 9 lies exactly above the illumination source 8 .

Da bei der in Fig. 1 und 2 gezeigten Konstruktion der Koordinatenmeßmaschine die Beleuchtungsquelle 8 starr angeordnet ist und während der Vermessung des Meßobjekts 4 nicht bewegt wird bzw. bewegt werden muß, werden die bei herkömmlichen Koordinatenmeßmaschinen aufgrund der Beschleunigung der Beleuchtungsquelle 8 auftretenden Schwingungen vollständig vermieden. Bei einer gewünschten hohen Meßgenauigkeit muß somit ein Abklingen solcher Schwingungen nicht abgewartet werden und es können auch bei hohen Meßgenauigkeiten kürzere Meßzeiten erzielt werden. Ferner wird bei der erfindungsgemäßen Konstruktion nur die optische Meßeinheit 9 mit dem Schlitten 12 bewegt, so daß im Vergleich zu den herkömmlichen Koordinatenmeßmaschinen die zu bewegende Masse deutlich verringert ist, was zu einer schnelleren Positionierung der optischen Meßeinheit 9 und somit ebenfalls zu kürzeren Meßzeiten führt.Since in the construction of the coordinate measuring machine shown in FIGS. 1 and 2, the illumination source 8 is rigidly arranged and does not have to be moved during the measurement of the measurement object 4 , the vibrations occurring in conventional coordinate measuring machines due to the acceleration of the illumination source 8 are completely avoided . With a desired high measuring accuracy, there is no need to wait for such vibrations to decay, and shorter measuring times can also be achieved with high measuring accuracies. Furthermore, in the construction according to the invention, only the optical measuring unit 9 is moved with the carriage 12 , so that the mass to be moved is significantly reduced in comparison to the conventional coordinate measuring machines, which leads to faster positioning of the optical measuring unit 9 and thus also to shorter measuring times.

Alternativ zu der oben anhand der Fig. 1 und 2 beschriebenen Anordnung einer linienförmigen Beleuchtungsquelle 8 und einer in x-Richtung positionierbaren optischen Meßeinheit 9 ist es im Sinne der Erfindung ebenso möglich, eine großflächige Beleuchtungsquelle 8 zu verwenden und die optische Meßeinheit 9 in x- und in y-Richtung zu verschieben, so daß es zur kompletten Vermessung eines Meßobjekts 4 nicht nötig ist, das Meßobjekt 4 auf der Auflage 3 oder den gesamten Meßtisch 2 in y-Richtung verschiebbar vorzusehen. In diesem Fall erstreckt sich die Ausdehnung der Beleuchtungsquelle 8 in der Ebene parallel zur Auflage 3 also sowohl in x-Richtung als auch in y-Richtung, wobei die Größe der Ausdehnung der Beleuchtungsquelle 8 vorzugsweise etwa der Größe der Glasplatte 3 entspricht, so daß als Meßbereich die gesamte Glasplatte 3 dienen kann. As an alternative to the arrangement of a linear illumination source 8 and an optical measuring unit 9 that can be positioned in the x-direction as described above with reference to FIGS. 1 and 2, it is also possible in the sense of the invention to use a large-area illumination source 8 and to use the optical measuring unit 9 in x and to move in the y-direction so that it is not necessary to a complete measurement of a measured object 4, the measured object 4 provided slidably on the support 3 or the entire measuring table 2 in the y direction. In this case, the extension of the illumination source 8 extends in the plane parallel to the support 3 , both in the x direction and in the y direction, the size of the extension of the illumination source 8 preferably corresponding approximately to the size of the glass plate 3 , so that as Measuring range, the entire glass plate 3 can serve.

Reference list

11

Grundplatte
Base plate

22nd

Meßtisch
Measuring table

33rd

Durchsichtige Auflage/Glasplatte
Clear pad / glass top

44th

Meßobjekt
Target

55

Träger
carrier

66

Träger
carrier

77

Querträger
Cross member

88th

Beleuchtungsquelle
Lighting source

99

Optische Meßeinheit
Optical measuring unit

1010th

Objektiv
lens

1111

Optische Achse
Optical axis

1212th

Schlitten
carriage

1313

Träger
carrier

Claims

1. Optical coordinate measuring machine with transmitted light illumination, with a support ( 3 ) made of transparent material for a measurement object ( 4 ), an illumination source ( 8 ) on one side of the support and an optical measuring unit ( 9 ) on the other side of the support, characterized in that that the lighting source ( 8 ) is rigidly arranged and constructed such that the entire measuring range can be illuminated at the same time.

2. Coordinate measuring machine according to claim 1, characterized in that the extension of the illumination source ( 8 ) extends in the plane parallel to the support ( 3 ) essentially only in one direction (x-direction).

3. Coordinate measuring machine according to claim 2, characterized in that the optical measuring unit ( 9 ) can be positioned in a plane parallel to the support ( 3 ) only in one direction (x direction) and the measurement object ( 4 ) in a different direction (y direction) ) can be positioned parallel to the support ( 3 ).

4. Coordinate measuring machine according to claim 1, characterized in that the extension of the illumination source ( 8 ) extends in the plane parallel to the support ( 3 ) in both directions (xy plane).

5. A coordinate measuring machine according to claim 4, characterized in that the size of the extent of the lighting source (8) corresponds in the plane parallel to the support (3) about the size of the support (3).

6. Coordinate measuring machine according to claim 4 or 5, characterized in that the optical measuring unit ( 9 ) can be positioned in a plane parallel to the support ( 3 ) in both directions (xy plane).

7. Coordinate measuring machine according to one of the preceding claims, characterized in that the illumination source ( 8 ) has an arrangement of fiber light guides, fluorescent tubes and / or light emitting diodes.

8. Coordinate measuring machine according to one of the preceding claims, characterized in that the illumination source ( 8 ) has an arrangement of diaphragms for adjusting the illuminance.

9. Coordinate measuring machine according to one of the preceding claims, characterized in that the lighting source ( 8 ) has a control device of the lighting current for adjusting the illuminance.

10. A method for the optical measurement of a measurement object ( 4 ) with transmitted light illumination, in which the measurement object ( 4 ) is arranged on a support ( 3 ) made of transparent material, an illumination source ( 8 ) illuminates the measurement object on one side of the support and an optical one Measuring unit ( 9 ) on the other side of the support detects the measuring signal, characterized in that the illumination source ( 8 ) simultaneously illuminates the entire measuring range.

11. The method according to claim 10, characterized in that the measuring range extends only in one direction (x direction) and the optical measuring unit ( 9 ) is positioned in a plane parallel to the support ( 3 ) in the same direction (x direction) becomes.

12. The method according to claim 10, characterized in that the measuring range extends in both directions of a plane (xy plane) and the optical measuring unit ( 9 ) positioned in a plane parallel to the support ( 3 ) in both directions (xy plane) becomes.

13. The method according to any one of claims 10 to 12, characterized in that the illuminance is adjusted by controlling the lighting current, by aperture or aperture systems, by controlling the exposure time of the optical measuring unit ( 9 ) and / or by filter.

14. The method according to any one of claims 10 to 13, characterized in that the measurement object ( 4 ) from the illumination source ( 8 ) is illuminated diffusely or directionally.