DE19604802C2 - Imaging system and method for generating a cross sectional image of an object - Google Patents

Imaging system and method for generating a cross sectional image of an object

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine computerisierte Schicht bildaufnahme oder Laminographie und insbesondere auf Syste me, welche ein durchgehendes lineares Abtastverfahren für eine schnelle Untersuchung mit hoher Auflösung verwenden. The invention relates to a computerized tomographic image or laminography and more particularly to me Syste, which use a continuous linear scanning method for a fast investigation with high resolution.

Schichtbildaufnahmetechniken werden häufig verwendet, um Querschnittsabbildungen ausgewählter Ebenen innerhalb von Objekten zu erzeugen. Tomographic imaging techniques are often used to produce cross-sectional images of selected planes within objects. Die herkömmliche Schichtbildaufnahme benötigt eine koordinierte Bewegung beliebiger zwei oder drei Hauptkomponenten, die ein Schichtbildaufnahmesystem bilden, dh einer Strahlungsquelle, eines Objekts, das ge rade untersucht wird und eines Detektors. The conventional tomographic image requires a coordinated movement of any two or three main components that form a tomographic imaging system, ie a radiation source, an object that is GE rade is examined and a detector. Die koordinierte Bewegung der zwei Komponenten kann in einem beliebigen einer Vielzahl von Mustern sein, einschließlich der folgenden, je doch nicht auf diese begrenzt: z. The coordinated movement of the two components may be in any of a variety of patterns, including the following, as appropriate but not limited to: z. B. in einem linearen, einem kreisförmigen, einem elliptischen oder einem zufälligen Mu ster. B. in a linear, a circular, an elliptical, or a random Mu art. Unabhängig davon, welches Muster einer koordinierten Bewegung ausgewählt ist, ist die Konfiguration der Quelle, des Objekts und des Detektors derart, daß ein beliebiger Punkt in der Objektebene immer auf den gleichen Punkt in der Bildebene projiziert wird, und daß ein beliebiger Punkt außerhalb der Objektebene auf eine Mehrzahl von Punkten in der Bildebene während eines Zyklus der Musterbewegung pro jiziert wird. Regardless of which design is selected and coordinated movements, the configuration of the source of the object and the detector is such that an arbitrary point in the object plane is always projected onto the same point in the image plane, and that an arbitrary point outside the object plane is applied to a plurality of points in the image plane during a cycle of the pattern of movement per jiziert. Auf diese Art und Weise wird eine Quer schnittsabbildung der gewünschten Ebene innerhalb des Ob jekts auf dem Detektor gebildet. In this manner, a cross-sectional imaging is the desired level within the Whether jekts formed on the detector. Die Abbildungen anderer Ebenen innerhalb des Objekts erfahren eine Bewegung bezüg lich des Detektors, wodurch ein verwischter Hintergrund auf dem Detektor erzeugt wird, auf den die scharfe Querschnitts abbildung der gewünschten Brennpunktebene innerhalb des Ob jekts gelegt wird. The images of other planes within the object experience a movement bezüg Lich of the detector, creating a blurred background is produced on the detector to the sharp cross-sectional illustration of the desired focal plane is placed within the Ob jekts. Obwohl ein beliebiges Muster einer koor dinierten Bewegung verwendet werden kann, werden im allgemeinen kreisförmige Muster bevorzugt, da sie leichter er zeugt werden können. Although any pattern of a coor-ordinated movement can be used are generally preferred circular pattern, as it he can be generated easily.

Das US Patent Nr. 4,926,452 mit dem Titel "AUTOMATED LAMINOGRAPHY SYSTEM FOR INSPECTION OF ELECTRONICS", das an Baker ua erteilt worden ist, beschreibt ein durchgehend kreisförmig abgetastetes Schichtbildaufnahmesystem, bei dem das Objekt fest bleibt, während sich die Röntgenstrahlen quelle und der Detektor in einem koordinierten kreisförmigen Muster bewegen. The US Pat. No. 4,926,452, entitled "AUTOMATED LAMINOGRAPHY SYSTEM FOR INSPECTION OF ELECTRONICS", which issued to Baker et al, describes a continuous circular sampled tomographic imaging system in which the object remains fixed while the X-rays source and the detector in move a coordinated circular pattern. Die sich bewegende Röntgenstrahlenquelle weist eine Mikrofokus-Röntgenstrahlenröhre auf, bei der ein Elektronenstrahl in einem kreisförmigen Abtastmuster auf ein Anodenziel abgelenkt wird. The moving X-ray source has a microfocus X-ray tube in which an electron beam is deflected in a circular scan pattern on an anode target. Die resultierende Bewegung der Röntgenstrahlenquelle ist mit einem rotierenden Röntgen strahlendetektor synchronisiert, der die Röntgenstrahlen schattenabbildung in eine optische Abbildung umwandelt, da mit sie betrachtet und in eine feste Videokamera integriert werden kann, wodurch eine Querschnittsabbildung des Objekts gebildet wird. The resulting movement of the X-ray source is synchronized ray detector with a rotating X-ray, the X-ray shadow image in an optical image is converted, as can be seen with it and integrated into a fixed video camera, whereby a cross-sectional image of the object is formed. Ein Computersystem steuert ein automatisier tes Positionierungssystem, das das Objekt, das untersucht wird, trägt, und bewegt aufeinanderfolgende interessierende Bereiche in das Blickfeld. A computer system controls a automatable tes positioning system that supports the object that is examined, and moves successive regions of interest in the field of view. Um eine hohe Bildqualität beizu behalten, steuert ein Computersystem ferner die Synchroni sation der Elektronenstrahlablenkung und die Drehung des op tischen Systems, wodurch Ungenauigkeiten der mechanischen Anordnungen des Systems ausgeglichen werden. To beizu retain a high image quality, a computer system further controls the Synchroni sation of the electron beam deflection and rotation of the tables op system whereby inaccuracies in the mechanical arrangements of the system are balanced.

Schichtbildaufnahmen-Querschnittsabbildungen können ferner innerhalb des Datenspeichers eines Computers gebildet wer den, indem zwei oder mehrere einzelne Bilder, die durch ko ordiniertes Positionieren von zwei der drei Hauptkomponen ten, welche das Schichtbildaufnahmesystem aufweist, dh, einer Quelle, eines Objekts und eines Detektors, kombiniert werden. Layer image capture cross-sectional images may be further formed within the data store of a computer who is the by two or more individual images th through ko ordained positioning two of the three Hauptkomponen having the tomographic imaging system, ie, a source of an object and a detector combined become. Die Abbildungen werden innerhalb des Computerspei chers kombiniert, derart, daß ein beliebiger Punkt in der Objekt-Brennpunktebene in einer Abbildung immer mit demsel ben Punkt in der Objekt-Brennpunktebene einer anderen Abbil dung kombiniert wird, wobei diese andere Abbildung aus einer unterschiedlichen winkligen Ansicht des gleichen Objekts be steht. The images are combined within the Computerspei Chers, such that any point in the object focal plane in a picture is always combined dung with demsel ben point in the object focal plane of another Abbil, this other figure from a different angled view of the same object be available. Wenn die einzelnen Ansichten von dem Detektor aufge nommen werden, der einen kreisförmigen Weg beschreibt, dann bildet die kombinierte Abbildung, die aus den einzelnen Ab bildungen gebildet ist, näherungsweise eine durchgehend kreisförmig abgetastete Abbildung (wie es in dem US Patent Nr. 4,926,452 beschrieben ist, welches oben erörtert wurde), wenn die Anzahl einzelner Abbildungen sehr groß ist. If the individual views are set by the detector taken, which describes a circular path, then forms the combined image, which is formed formations from the individual Down approximately a continuous circular scanned image (as described in U.S. Pat. No. 4,926,452 which was discussed above) when the number of individual images is very large. Ein ma thematisches Verschieben der Pixelkombinationen der vielen einzelnen Abbildungen resultiert in der Veränderung der Po sition der Brennpunktebene in dem Objekt. A ma thematic shifting the pixel combinations of the many individual pictures results in the change in Po sition the focal plane in the object. Somit ist dieses Verfahren zum Erzeugen einer Querschnittsabbildung eines Ob jekts gegenüber Bewegungs- und Verwischungsverfahren vor teilhaft, da aus einem Satz von Abbildungen viele Schicht aufnahmen-Querschnittsabbildungen verschiedener Brennpunkt ebenen gebildet werden können. Thus, this method for producing a cross-sectional illustration of a Whether jekts against movement and blurring process before geous because of a set of pictures many tomograms cross-sectional images of different focal planes can be formed. Diese Technik wurde als syn thetische Schichtbildaufnahme oder als computerisierte syn thetische Querschnittsabbildung bezeichnet. This technique was called syn thetic tomographic imaging or computerized syn thetic cross-sectional imaging.

Die Schichtbildaufnahmetechniken, die oben beschrieben wur den, werden gegenwärtig in einem breiten Bereich von An wendungen einschließlich der medizinischen und industriellen Röntgenstrahlenabbildung verwendet. The tomographic imaging techniques WUR described above to be used today in a wide range of appli cations including medical and industrial X-ray imaging. Die Schichtbildaufnahme ist besonders zum Untersuchen von Objekten geeignet, welche verschiedene Schichten mit unterscheidbaren Merkmalen inner halb jeder Schicht aufweisen. The tomographic image is particularly suitable for examining of objects, inner half having different layers with distinct characteristics of each layer. Bestimmte frühere Schichtbild aufnahmesysteme, welche derartige Querschnittsabbildungen erzeugen, zeigen jedoch typischerweise Unzulänglichkeiten bei der Auflösung und/oder Untersuchungsgeschwindigkeit, weshalb sie selten verwendet werden. Certain prior layer imaging systems which produce such cross-sectional images, however, typically exhibit shortcomings in the resolution and / or scan speed, which is why they are seldom used. Diese Unzulänglichkei ten treten häufig aufgrund der Schwierigkeiten beim Errei chen einer koordinierten Hochgeschwindigkeitsbewegung der Quelle und des Detektors mit einem Genauigkeitsgrad auf, der ausreichend ist, um eine Querschnittsabbildung mit hoher Auflösung zu erzeugen. This Unzulänglichkei occur th common due to the difficulties in Errei chen on a coordinated high-speed movement of the source and detector with a degree of accuracy that is sufficient to generate a cross-sectional imaging with high resolution.

Bei einem Schichtbildaufnahmesystem, welches ein festes Ob jekt betrachtet und welches ein Gesichtsfeld aufweist, das kleiner als das untersuchte Objekt ist, kann es notwendig sein, das Objekt innerhalb des Gesichtsfeldes herum zu be wegen, wodurch viele Schichtbildaufnahmen erzeugt werden, welche, wenn sie zusammengestückelt werden, eine Abbildung des gesamten Objekts bilden. In a tomographic imaging system which considers a solid Whether ject and which has a field of view that is smaller than the object under examination, it may be necessary, the object within the field of view around to be due, causing many slice images are generated, which, when pieced will form an image of the entire object. Dies wird häufig durch Tragen des Objekts auf einem mechanischen Handhabungssystem, wie z. This is often by wearing the object on a mechanical handling system such. B. einem X, Y, Z-Positionierungstisch, erreicht. As an X, Y, Z positioning table achieved. Der Tisch wird dann bewegt, um die gewünschten Abschnitte des Objekts in das Gesichtsfeld zu bringen. The table is then moved to bring the desired portions of the object in the visual field. Eine Bewegung in der X- und der Y-Richtung positioniert den zu untersuchenden Bereich, während die Bewegung in der Z-Richtung das Objekt auf und nieder bewegt, um die Ebene innerhalb des Objekts auszuwäh len, in der die Querschnittsabbildung genommen werden soll. A movement in the X- and Y-direction positions the under examination area, while the movement in the Z-direction of the object moved up and down to len auszuwäh the plane within the object, in the cross-sectional image is to be taken. Während es dieses Verfahren effektiv ermöglicht, daß ver schiedene Bereiche und Ebenen des Objekts betrachtet werden können, existieren inhärente Begrenzungen, die der Geschwin digkeit und Genauigkeit derartiger mechanischer Bewegungen zugeordnet sind. While effective, this method enables that ver different areas and levels of the object can be seen, there are inherent limitations associated with the Geschwin speed and accuracy of such mechanical movements. Diese Begrenzungen wirken derart, daß sie die Zykluszeit wirksam erhöhen, wodurch die Raten reduziert werden, mit denen eine Untersuchung stattfinden kann. These limits act so as to increase the effective cycle time, making the rates are reduced, by which an investigation can take place. Ferner erzeugen diese mechanischen Bewegungen Schwingungen, welche dahin tendieren, die Systemauflösung und Genauigkeit zu re duzieren. Furthermore, these mechanical movements produce vibrations which tend to show duce the system resolution and accuracy to re.

Das US Patent Nr. 5,259,012 mit dem Titel "LAMINOGRAHY SYSTEM AND METHOD WITH ELECTROMAGNETICALLY DIRECTED MULTI PATH RADIATION SOURCE", das an Baker ua erteilt worden ist, beschreibt ein System, welches es ermöglicht, daß viele Positionen innerhalb eines Objekts ohne eine mechanische Bewegung des Objekts abgebildet werden. The US Pat. No. 5,259,012 entitled "LAMINOGRAHY SYSTEM AND METHOD WITH electromagnetically DIRECTED MULTI PATH RADIATION SOURCE", which issued to Baker et al, describes a system which makes it possible that many positions within an object without a mechanical movement of the are imaged object. Das Objekt wird zwischen eine rotierende Röntgenstrahlenquelle und einen synchronisiert rotierenden Detektor gelegt. The object is interposed between a rotating X-ray source and a synchronized rotating detector. Eine Brennpunkt ebene innerhalb des Objekts wird auf dem Detektor abgebil det, derart, daß eine Querschnittsabbildung des Objekts erzeugt wird. A focal plane within the object is abgebil det on the detector, such that a cross-sectional image of the object is generated. Die Röntgenstrahlenquelle wird durch Ablenken eines Elektronenstrahls auf eine Zielanode erzeugt. The X-ray source is produced by deflecting an electron beam onto a target anode. Die Zielanode emittiert Röntgenstrahlen, wo die Elektroden auf das Ziel fallen. The target anode emits X-rays, where the electrodes fall to the target. Der Elektronenstrahl wird durch eine Elektronenkanone erzeugt, welche X- und Y-Ablenkspulen zum Ab lenken des Elektronenstrahls in der X- und der Y-Richtung aufweist. The electron beam is generated by an electron gun which X and Y deflection coils for directing From the electron beam in the X and Y-direction has. Ablenkungsspannungssignale werden an die X- und an die Y-Ablenkspule angelegt und bewirken, daß die Röntgen strahlenquelle in einem kreisförmigen Spurenweg rotiert. Deflection voltage signals are applied to the X and to the Y-deflection coil and cause the X-ray source in a circular trace route rotates. Ei ne zusätzliche Gleichspannung, die an die X- oder an die Y-Ablenkungsspule angelegt wird, bewirkt, daß sich der kreisförmige Weg, den die Röntgenstrahlenquelle verfolgt, in der X- oder Y-Richtung um eine Strecke verschiebt, die der Größe der Gleichspannung proportional ist. Egg ne additional DC voltage is applied to the X or to the Y deflection coil will cause the circular path that the X-ray source traced in the X or Y direction is shifted by a distance corresponding to the magnitude of the DC voltage is proportional. Dies bewirkt ein anderes Gesichtsfeld, das abgebildet werden soll, welches in der X- oder in der Y-Richtung von der vorher abgebildeten Region verschoben ist. This causes a different field of view to be imaged, which is shifted in the X or in the Y direction from the previously imaged region. Veränderungen des Radius des Röntgen strahlenquellenwegs resultieren in einer Veränderung der Z-Höhe der abgebildeten Brennpunktebene. Changes in the radius of the X-ray source path result in a change in the Z level of the imaged focal plane. Dieses System löst viele Probleme früherer Schichtbildaufnahmesysteme beim Er zeugen von Querschnittsabbildungen mit hoher Auflösung und hoher Geschwindigkeit. This system solves many problems of previous tomographic imaging systems when he testify cross-section images of high resolution and high speed. Dieses System stellt eine Verbesse rung gegenüber dem dar, das in dem US Patent Nr. 4,926,452 beschrieben ist, da es die Untersuchung von Objekten er laubt, die größer als das Gesichtsfeld sind, indem Quer schnittsabbildungen außerhalb der Drehachse der Quelle und des Detektors erzeugt werden, wodurch eine Hauptquelle der mechanischen Bewegung eliminiert wird. This system represents a IMPROVE tion opposite to that which is described in U.S. Pat. No. 4,926,452, since it it laubt the examination of objects that are larger than the field to be by-section illustrations cross outside the rotational axis of the source and the detector generates whereby a major source of mechanical motion is eliminated. Zusätzlich wird die Auswahl der Brennpunktebene durch elektronische Größenein stellung des Durchmessers der kreisförmigen Abtastung er reicht, wodurch die mechanische Z-Bewegung von dem System, das in dem US Patent Nr. 4,926,452 beschrieben ist, elimi niert wird. In addition, the selection of the focal plane by electronic Größenein position of the diameter of the circular scan is it extends, whereby the mechanical Z-motion of the system which is described in U.S. Pat. No. 4,926,452, elimi ned. Das Verfahren zum Erzeugen von Querschnittsab bildungen, das in dem US Patent Nr. 5,259,012 beschrieben ist, kann theoretisch doppelt so schnell laufen wie das System, das in dem US Patent Nr. 4,926,452 beschrieben ist, da es nicht auf eine mechanische Bewegung warten muß. The method for generating Querschnittsab formations, described in U.S. Pat. No. 5,259,012, can theoretically run twice as fast as the system described in U.S. Pat. No. 4,926,452, since it need not wait for a mechanical movement. Es weist die gleichen Begrenzungen wie das System, das in dem US Patent Nr. 4.926,452 beschrieben ist, bezüglich der Quellenleistung und Lichtfleckengrößenbegrenzungen auf. It has the same limitations as the system described in U.S. Pat. No. 4,926.452, with respect to the source power and spot size limitations on. So mit stellt die Gesamtuntersuchungsgeschwindigkeit lediglich eine zwei- bis dreifache Verbesserung dar, während eine beträchtliche Komplexität an elektronischen Schaltungsanord nungen und Kalibrationsanstrengungen hinzugefügt werden. So with only provides a two to three fold improvement represents the total scan speed, while a considerable complexity of electronic voltages Schaltungsanord and Kalibrationsanstrengungen be added. Während das System, das in dem US Patent Nr. 5,259,012 beschrieben ist, zwar keinen X, Y, Z-Tisch benötigt, um das zu untersuchende Objekt zu positionieren, benötigt es immer noch eine sehr komplexe und große Röntgenstrahlenröhre, um es zu ermöglichen, daß das System arbeitet. During Although the system is described in US Pat. No. 5,259,012 requires no X, Y, Z table to position the examined object, it still requires a very complex and large X-ray tube to allow it, that the system operates. Der Durchmesser der Röntgenstrahlenröhre muß etwas größer als die größte horizontale Abmessung des zu untersuchenden Objekts bei der Querschnittsabbildung sein. The diameter of the X-ray tube must be slightly larger than the largest horizontal dimension of the object to be examined at the cross-sectional imaging. Andernfalls muß das Objekt oder der Detektor und die Röntgenstrahlenröhre in der X-Richtung und/oder der Y-Richtung bewegt werden, um das gesamte Objekt zu untersuchen. Otherwise, the object or the detector and the X-ray tube in the X direction and / or the Y direction must be moved in order to examine the entire object. Ein weiterer Nachteil dieses Systems ist die Anforderung, daß das rotierende Detektorabbildungssystem auf einer schnellen Rotation einer mechanischen Anordnung bei 600 oder mehr Umdrehungen pro Minute (RPM; RPM = Revolution per Minute) aufbaut. Another disadvantage of this system is the requirement that the rotating detector imaging system on a fast rotation of a mechanical assembly at 600 or more revolutions per minute; builds (RPM RPM = revolution per minute).

Das US Patent Nr. 5,020,086 mit dem Titel "Microfocus X-Ray System", das an Peugeot erteilt worden ist, offenbart ein System zur Tomosynthese, bei dem ein Objekt durch einen Röntgenstrahl aus einer kreisförmigen Position auf einem Ziel abgetastet wird, die daraus resultiert, daß der Elek tronenstrahl durch geeignete Steuerungssignale von einer Strahlensteuerung, welche an die Ablenkspulen einer Mikro fokus-Röntgenstrahlenröhre angelegt werden, in einem Kreis abgetastet wird. US Patent No. 5,020,086 entitled "Micro Focus X-Ray System," which issued to Peugeot., Discloses a system for tomosynthesis, in which an object is scanned by an X-ray beam from a circular position on a target resulting from that the Elek tronenstrahl is sampled by appropriate control signals from a control beam, which are applied to the deflection coils of a microfocus X-ray tube, in a circle. Die Tomosynthese wird durch das bekannte Verfahren einer In-Register-Kombination einer Serie von di gitalen Röntgenstrahlenabbildungen erreicht, die durch Rönt genstrahlen erzeugt worden sind, welche aus verschiedenen Positionen austreten. Tomosynthesis is achieved by the known method of in-register combination of a series of di gitalen X-ray images which have been generated by Rönt-rays which emanate from different positions. Dies wird erreicht, indem eine Rönt genstrahlenquelle an vielen Punkten auf einem Kreis um eine Mittelachse positioniert werden. This is achieved by a Rönt genstrahlenquelle be positioned at many points on a circle around a central axis. Dieses System eliminiert einiges an mechanischer Bewegung, die von dem System, das in dem US Patent Nr. 4,926,452 beschrieben worden ist, benö tigt wird, derart, daß der Detektor nicht rotieren muß. This system eliminates some mechanical motion of which is, Untitled Benö of the system which has been described in U.S. Pat. No. 4,926,452, such that the detector must not rotate. Praktische Begrenzungen der Pixelgröße und Auflösung tendie ren jedoch dahin, das System von Peugeot auf Untersuchungen von Objekten mit kleinen Gesichtsfeldern begrenzen. Practical limitations of the pixel size and resolution tendie However reindeer there, limiting the system of Peugeot on studies of objects with small fields of view. Zusätz lich benötigt das System immer noch einen X, Y-Tisch, um das Objekt unter das Gesichtsfeld zu positionieren. Zusätz Lich, the system still requires an X, Y table to position the object under the field. Die Ge schwindigkeit eines kommerziellen Prototypen dieses Systems ist nicht wesentlich höher als bei dem System, das in dem US Patent Nr. 5,259,012 beschrieben ist, dasselbe weist jedoch etwas niedrigere Herstellungskosten auf. The Ge speed of a commercial prototype of this system is not significantly higher than in the system, which is described in US Pat. No. 5,259,012, but the same has slightly lower manufacturing costs.

Obwohl das System, das in dem US Patent Nr. 4,926,452 be schrieben ist, einen ordentlichen kommerziellen Erfolg auf wies, und obwohl ein bestimmtes kommerzielles Interesse an den beiden Systemen vorhanden ist, die in dem US Patent Nr. 5,020,086 und in dem US Patent Nr. 5,259,012 be schrieben sind, wünscht die Industrie immer noch ein Quer schnittuntersuchungssystem, welches bei einer noch höheren Untersuchungsgeschwindigkeit arbeitet, wohingegen es weniger als die existierenden industriellen Querschnittuntersu chungssysteme kosten soll. Although the system that be in the US Pat. No. 4,926,452 is written, had a decent commercial success, and although a specific commercial interest in the two systems is provided in US Pat. No. 5,020,086 and US Patent No. be. 5,259,012 are enrolled, the industry still wants a cross-sectional investigation system, which operates at an even higher scan speed, whereas it is expected to cost less than the existing industrial Querschnittuntersu monitoring systems. Wenn ein neues Querschnittsabbil dungssystem die Forderungen nach niedrigen Kosten und hoher Leistungsfähigkeit erfüllen könnte, würden die kommerziellen Anwendungen und die Verwendung im Vergleich zur herkömmli chen Technologie rapide anwachsen, wodurch der Nutzen für die Elektronikindustrie zur Schaltungsplatinenuntersuchung wesentlich erhöht sein würde. When a new Querschnittsabbil education system demands could meet for low cost and high performance, would increase the commercial applications and use compared to herkömmli chen technology rapidly, whereby the benefit to the electronics industry for circuit board examination would be substantially increased.

Die US-A-4,064,440 betrifft ein Untersuchungsgerät für sich bewegende Objekte, welches Röntgen- oder Gamma-Strahlen ver wendet. The US-A-4,064,440 relates to an examination apparatus for moving objects which ver applies X-rays or gamma rays. Das Untersuchungsgerät umfaßt eine Strahlungsquelle und eine Mehrzahl von Detektoren. The examination apparatus comprises a radiation source and a plurality of detectors. Über eine Abschirmung wird Strahlung von der Quelle nur durch ein Objekt zu den Detek toren geleitet. A shielding radiation is passed from the source through an object only to the Detek factors.

Die GB 2 084 832 A betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung von Schnittbildern eines dreidimensionalen Objekts, die eine große Anzahl von Quellen in einer Strahlungsquellenebene um faßt, um beschränkte Strahlungsstrahlen zu bilden, welche sich schneiden und mit demselben Strahlquerschnitt in einer Bestrahlungsebene überlappen. GB 2084832 A relates to an apparatus for generating cross-sectional images of a three-dimensional object having a large number of sources in a radiation source plane in order construed to form limited radiation beams that intersect and overlap with the same beam cross-section in an irradiation plane. Ferner ist ein Strahlungsbildumwandlungsgerät vorgesehen um Abbildungen zu empfangen, die aufgrund der Strahlen 4 erzeugt wurden. Further, a radiation image conversion unit is provided to receive images that have been generated due to the radiation. 4

G. Roziere et al. G. Roziere et al. Halbleiterbildaufnehmer für die Röntgen technik, Elektronik 17 / 22 , 8 . Halbleiterbildaufnehmer for X-ray technology, electronics 17/22, 8th 1986, S. 62 bis 66 beschreibt Halbleiterbildaufnehmer für die Röntgentechnik, welche aus einer Mehrzahl von photoempfindlichen Elementen gebildet sind, wobei jedes der Elemente mit einer röntgenstrahlen empfindlichen Beschichtung versehen ist. 1986, pages 62 to 66 describes Halbleiterbildaufnehmer for the X-ray technology, which are formed of a plurality of photosensitive elements, each of said elements having an X-ray sensitive coating is provided.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Abbildungssystem und ein Verfahren zum Erzeugen einer Quer schnittsabbildung eines Objekts zu schaffen, um eine verbes serte, preisgünstigere und einfachere Querschnittsabbildung mit hoher Geschwindigkeit und Auflösung zu schaffen. The object of the present invention is an imaging system and a method for producing a cross-sectional illustration of creating an object to provide a verbes serte, cheaper and simpler cross-sectional imaging with high speed and resolution.

Diese Aufgabe wird durch ein Abbildungssystem gemäß Anspruch 1, durch ein Abbildungssystem gemäß Anspruch 2, durch ein Verfahren gemäß Anspruch 6 und durch ein Verfahren gemäß An spruch 7 gelöst. This object is achieved by an imaging system according to claim 1, by an imaging system according to claim 2, by a method according to claim 6 and by a method according to demanding. 7

Dementsprechend bestehen Vorteile der vor liegenden Erfindung darin, daß sie eine verbesserte, preis günstigere und einfachere Art und Weise schafft, um das Querschnittsabbilden mit hoher Geschwindigkeit und hoher Auflösung für die Untersuchung elektrischer Verbindungen zu erreichen, als es bei bekannten Systemen der Fall ist. Accordingly, advantages of the front lying invention are that it provides an improved, more economical and simpler way to achieve the cross-sectional imaging with high speed and high resolution for examining electrical connections, as is the case in known systems.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die teuere und komplexe Röntgenstrahlenröhre vom abgetasteten Strahlentyp, die in den US Patenten mit den Nummern 5,020,086 und 5,259,012 verwendet wird, vermieden wird und durch ein preisgünstiges Standard-Röntgenstrahlensystem ersetzen wird. An advantage of the present invention is that the expensive and complex X-ray tube from the beam scanning type, which is used in U.S. Patent Numbers 5,020,086 and 5,259,012, is avoided and replaced by a cheap standard x-ray system.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß der teuere X, Y-Positionierungstisch (US Patent Nr. 5,020,086) oder der X, Y, Z-Tisch (US Patent Nr. 5,259,012) durch ein preisgünstiges, hochzuverlässiges Einzelachsensystem mit durchgehender Bewegung ersetzt wird. Another advantage of the present invention is that the expensive X, Y-positioning table replaced (US Pat. No. 5,020,086) or of X, Y, Z-table (US Pat. No. 5,259,012) by a low-cost, high-reliability single axis system with continuous motion becomes.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die teuere und hochkomplexe Röntgenstrahlenröhre mit großem Durchmesser und das System, welche in dem US Patent Nr. 5,259,012 verwendet wird, durch ein preisgünstiges Standard-Röntgenstrahlensystem ersetzt wird. Another advantage of the present invention is that the expensive and highly complex X-ray tube is replaced with a large diameter and which is used in U.S. Pat. No. 5,259,012, the system, by a low-cost standard x-ray system.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die komplexen Drehdetektorsysteme, die in den US Patenten mit den Nummern 4,926,452 und 5,259,012 offenbart sind, und der teuere Vakuumröhrendetektor mit großem Durchmesser, der in dem US Patent Nr. 5,020,086 offenbart ist, durch herkömmliche, hochzuverlässige, massenproduzierte, preisgünstige Festkör per-Hochleistungsdetektoren vom linearen Linienabtasttyp ersetzt wird. Another advantage of the present invention is that the complex rotation detector systems which are disclosed in US Patent Numbers 4,926,452 and 5,259,012, and the expensive vacuum tube detector having a large diameter, which is disclosed in US Pat. No. 5,020,086, by conventional highly reliable, mass-produced, inexpensive Festkör will be replaced by high-performance detectors from linear Linienabtasttyp.

Die vorliegende Erfindung schafft ein wesentlich verbesser tes, computerisiertes Schichtbildaufnahmesystem oder auch Laminographiesystem, welches ein durchgehendes Abtastver fahren für eine Hochgeschwindigkeitsuntersuchung mit hoher Auflösung verwendet. The present invention provides a much Improvement tes, computerized tomographic imaging system or laminography which a continuous Abtastver drive used for high-speed analysis with high resolution. Gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung benötigt das System keine Bewegung des Detektors, der Röntgenstrahlenröhre, der Lichtflecke der Röntgenstrahlen oder des Röntgenstrahls selbst. Die einzige Bewegung, die benötigt wird, ist eine sanfte lineare Bewe gung des abzubildenden Objekts. According to an embodiment of the present invention, the system does not require any movement of the detector, the X-ray tube, the light spots of the X-rays or x-ray beam itself. The only movement that is required is a gentle linear BEWE supply of the object to be imaged. Die vorliegende Erfindung ist schneller als bekannte Schichtbildaufnahmesysteme für die Untersuchung elektrischer Verbindungen auf einer Schal tungsplatine. The present invention is faster than known tomographic imaging systems for the study of electrical connections on a TIC board.

Schaltungsplatinen werden mit einer Geschwindigkeit von etwa 7,62 mm (0,3 Zoll) pro Sekunde mit gleichmäßiger Geschwindigkeit in das Röntgenstrahlen-Schichtbildaufnahme-Abtastgerät einge speist. Circuit boards to be at a rate of about 7.62 mm (0.3 inches) per second fed at a uniform speed in the X-ray tomographic image scanner inserted. Die Schaltungsplatinen sind um etwa 17,78 mm (0,7 Zoll) voneinander getrennt. The circuit boards are approximately 17.78 mm (0.7 inches) apart. Die Vorrichtung, die die gleichförmige lineare Bewegung liefert, ist ein sich bewegender Kettenriemen, der die Schaltungsplatinen auf ihren zwei ge genüberliegenden parallelen Seiten trägt. The device that provides the uniform linear motion, is a moving chain-belt, which carries the circuit boards on their two ge genüberliegenden parallel sides.

Das Detektorsystem umfaßt minimal zwei lineare Abtastdetek toren (vorzugsweise vier lineare Abtastdetektoren), die in einer winkligen Beziehung zu der Schaltungsplatine symme trisch angeordnet sind. The detector system comprises a minimum of two linear motors Abtastdetek (preferably four linear Abtastdetektoren) which sym in an angular relationship to the circuit board are arranged symmetrical. Die linearen Abtastdetektoren sind derart befestigt, daß sie sehr nahe an der Unterseite der zu testenden Platine angeordnet sind. The linear Abtastdetektoren are mounted such that they are located very close to the underside of the board under test. Jeder lineare Abtastde tektor weist eine dünne Auflage aus Röntgenstrahlen-empfind lichem Phosphor auf der Detektoroberfläche auf und erreicht eine Auflösung von etwa 16 lp/mm (lp/mm = Linienpaare pro Millimeter). Each linear Abtastde Tektor has a thin overlay of X-ray SENS Lichem phosphorus on the detector surface and has a resolution of about 16 lp / mm (lp / mm = line pairs per millimeter). Zusätzlich weist jeder lineare Abtastdetektor eine eingebaute elektronische Anordnung auf, um einen 8- bis 16-Bit-Datenstrom mit einer Digitalelektronik zu schaffen, die direkt mit einem Personalcomputer (PC) in schnittstel lenmäßiger Verbindung steht. In addition, each linear scan detector to a built-in electronic assembly to create a 8- to 16-bit data stream with a digital electronics, directly to a personal computer (PC) is available in interface of lenmäßiger compound.

Die Röntgenstrahlenquelle umfaßt mindestens eine Quelle von Röntgenstrahlen (vorzugsweise zwei), die derart ausgerichtet sind, daß jede Röntgenstrahlenröhre zwei Fächerstrahlen aus Röntgenstrahlen abgibt. The X-ray source comprises at least one source of x-rays (preferably two), which are aligned such that each X-ray tube emits two fan beams of x-rays. Die Röntgenstrahlenquellen sind be züglich der Schaltungsplatine befestigt, um den bevorzugten Schichtbildaufnahmewinkel zu schaffen und sie sind in dem bevorzugten Abstand von der Schaltungsplatine und den line aren Abtastdetektoren befestigt, daß die Kombination ihrer Lichtfleckgröße und des Platine-zu-Detektor-Abstands und die verfügbare Röntgenstrahlenleistung derart zusammenwirken, um eine Abbildung mit hoher Auflösung mit ausreichenden Licht pegeln auf dem Detektor zu schaffen. The X-ray sources are be attached züglich the circuit board to provide the preferred tomographic image angle and are fixed in the preferred distance from the circuit board and the line arene Abtastdetektoren that the combination of their spot size and the board-to-detector distance and the X-ray power available cooperating such a high resolution image with sufficient light levels to provide on the detector.

Die bevorzugte Quelle ist eine Standard-Röntgenstrahlenröh re, die in der Lage ist, bei 125 Kilovolt (kV) mit einem Anodenstrom in dem Bereich von etwa 0,1 Milliampere (mA) bis 1,0 mA zu arbeiten. The preferred source is a standard re Röntgenstrahlenröh which is capable of operating at 125 kilovolt (kV) to operate with an anode current in the range of about 0.1 milliamperes (mA) to 1.0 mA. Wenn zwei Röhren verwendet werden, kön nen beide Röhren durch eine einzige Hochspannungs- Versorgung versorgt werden. When two tubes are used, Kings NEN both tubes are supplied by a single high voltage supply. Die bevorzugte Brennpunktgröße der Röntgenstrahlenröhre liegt in dem Bereich von etwa 100 µm bis 1000 µm im Durchmesser. The preferred focal spot size of the X-ray tube is in the range of about 100 microns to 1000 microns in diameter.

Die Daten von jedem linearen Abtastdetektor werden verwen det, um innerhalb einer Computerspeichers ein vollständiges Röntgenstrahlenbild der (21,59 cm × 30,48 cm)-Schaltungs platinen ((8,5 Zoll × 12 Zoll)-Schaltungsplatinen) zu erzeu gen. Bei einem Vier-Detektor-System beträgt die minimale Speicheranforderung etwa 260 Megabyte. The data from each linear scanning detector are USAGE det to boards a complete X-ray image of the (21.59 cm x 30.48 cm) -Schaltungs within a computer memory ((8.5 inch x 12 inch) -Schaltungsplatinen) gene to erzeu. In a four-detector system, the minimum memory requirement about 260 megabytes. Damit das System eine Schaltungsplatine analysieren kann, während eine andere Ab bildung einer zweiten Schaltungsplatine erfaßt wird, benö tigt es zusätzliche 260 Megabyte an Speicher. For the system to analyze a circuit board, while another from education a second circuit board is detected, it Need Beer Untitled additional 260 megabytes of memory. Somit werden insgesamt 520 Megabyte Speicher bei einem System benötigt, das vier lineare Abtastdetektoren aufweist und das einen Satz von vier Abbildungen erfaßt, während der vorher erfaßte Satz von vier Abbildungen gerade analysiert wird. Thus, a total of 520 megabytes of memory are required in a system having four linear Abtastdetektoren and which detects a set of four pictures, while the previously detected set of four pictures being analyzed. Es wird bevorzugt, daß der Computerspeicher derart entworfen ist, daß er den Detektoren zum Bilderfassen, und dann einem Ab bildungsanalysecomputer zugeschaltet werden kann, um die Scheibenabbildung oder -Abbildungen zur Analyse zu erzeugen, obwohl diese variable Speicherzuschaltung kein Merkmal dar stellt. It is preferred that the computer memory is designed such that it can detectors for image capturing, and then are switched one from formation analysis computer, to generate the slice map or maps for analysis, although this variable memory activation is not a feature represents.

Schichtbildaufnahmescheiben werden durch Kombinieren der vier getrennten Abbildungen durch Verschieben der Pixelposi tionen in X und Y erzeugt, damit sie einer spezifischen Brennpunktebene in dem Objekt entsprechen. Tomographic image slices are obtained by combining the four separate images by shifting the pixel posi tions in X and Y generated to correspond to a specific focal plane in the object. Eine beliebige Anzahl von Brennpunktebenen kann durch dieses Verfahren aus einem einzigen Satz von vier Abbildungen erzeugt werden. Any number of focal planes can be generated by this procedure from a single set of four pictures.

Die Schichtbildaufnahmeabbildungen werden dann auf eine her kömmliche Art und Weise analysiert, um Daten über die Quali tät der elektrischen Verbindung auf der Schaltungsplatine zu ergeben. The tomographic image pictures are then analyzed on a forth tional fashion to data on the Quali ty of the electrical connection on the circuit board to give.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich nungen detaillierter erläutert. Preferred embodiments of the present invention are discussed below with reference voltages in more detail to the accompanying drawing. Es zeigen: Show it:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Schichtbildauf nahmesystems mit durchgehender linearer Abtastung gemäß der vorliegenden Erfindung. Fig. 1 is a perspective view of a Schichtbildauf acquisition systems with continuous linear scanning in accordance with the present invention.

Fig. 2 eine Ansicht von oben des Schichtbildaufnahmesy stems mit durchgehender linearer Abtastung von Fig. 1. Fig. 2 is a view from above of the Schichtbildaufnahmesy stems with continuous linear scan of FIG. 1,.

Fig. 3 eine Seitenansicht des Schichtbildaufnahmesystems mit durchgehender linearer Abtastung, das in den Fig. 1 und 2 gezeigt ist. Fig. 3 is a side view of the tomographic imaging system with continuous linear scan shown in Figs. 1 and 2.

Fig. 4 eine Endansicht von dem Schaltungsglatinen-Ladungs ende des Schichtabbildungssystems mit durchgehender linearer Abtastung aus, das in den Fig. 1, 2 und 3 gezeigt ist. Fig. 4 is an end view of the Schaltungsglatinen-charge end of the layer of the imaging system with continuous linear scan of which is shown in Figs. 1, 2 and 3.

Fig. 5 ein Testobjekt zum Demonstrieren des Schichtbild aufnahmeverfahrens. Fig. 5 admission process a test object for demonstrating the slice image.

Fig. 6a bis 6d herkömmliche Schattenbildabbildungen des Testobjekts, das in Fig. 5 gezeigt ist, die in je dem der vier linearen Röntgenstrahlendetektoren ge bildet werden. FIG. 6a to 6d conventional silhouette images of the test object, shown in FIG. 5 that will be formed in which the ge four linear X-ray detectors each.

Fig. 7 eine Querschnitts-Schichtbildaufnahmeabbildung des Testobjekts in einer Brennpunktebene, die aus der Kombination der herkömmlichen Schichtbildaufnahme abbildungen, die in den Fig. 6a bis 6d gezeigt sind, abgeleitet ist. Fig. 7 is a cross-sectional layer image pickup image of the test object in a focal plane, the pictures from the combination of the conventional tomographic image which is derived in Figs. 6a to 6d are shown.

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht eines alternativen Ausführungsbeispiels eines Schichtbildaufnahmesy stems mit durchgehender linearer Abtastung gemäß der vorliegenden Erfindung. Fig. 8 is a perspective view of an alternative embodiment of a Schichtbildaufnahmesy stems with continuous linear scanning in accordance with the present invention.

In den Fig. 1, 2, 3 und 4 sind eine perspektivische Ansicht, eine Ansicht von oben, eine Seitenansicht bzw. eine Endan sicht eines Schichtbildaufnahmesystems mit durchgehender linearer Abtastung gemäß der vorliegenden Erfindung gezeigt. In Figs. 1, 2, 3 and 4 show a perspective view, a top view, a side view and an end stop are view of a tomographic imaging system with continuous linear scan according to the present invention is shown. Unter Bezugnahme auf die Fig. 1, 2, 3 und 4 sind eine erste Röntgenstrahlenquelle 10 und eine zweite Röntgenstrahlen quelle 20 über und entlang gegenüberliegender Seiten eines Fördersystems 30 positioniert. Referring to FIGS. 1, 2, 3 and 4, a first X-ray source 10 and a second X-ray source 20 positioned over and along opposite sides of a conveyor system 30. Die erste Röntgenstrahlen quelle 10 umfaßt einen vorderen Kollimator 32 und einen hin teren Kollimator 34 . The first X-ray source 10 includes a front collimator 32 and a collimator toward direct 34th Auf ähnliche Weise umfaßt die zweite Röntgenstrahlenquelle 20 einen vorderen Kollimator 36 und einen hinteren Kollimator 38 . Similarly, the second X-ray source 20 includes a front collimator and a rear collimator 36 38th Ein erster linearer Röntgen strahlendetektor 40 ist neben einem zweiten linearen Rönt genstrahlendetektor 50 auf der rechten Seite (in der posi tiven X-Richtung) einer Mittellinie (nicht gezeigt) entlang der Y-Richtung positioniert, welche durch Verbinden der er sten Röntgenstrahlenquelle 10 mit der zweiten Röntgenstrah lenquelle 20 definiert ist. A first linear X-ray detector 40 is positioned along the Y-direction next to a second linear Rönt genstrahlendetektor 50 on the right side (in the posi tive X-direction) of a center line (not shown) formed by connecting he most x-ray source 10 with the second X-Ray lenquelle defined 20th Ein dritter linearer Röntgen strahlendetektor 60 ist neben einem vierten linearen Rönt genstrahlendetektor 70 auf der linken Seite (in der negati ven X-Richtung) der Mittellinie, die die erste und die zwei te Röntgenstrahlenquelle 10 , 20 verbindet, positioniert. A third linear X-ray detector 60 is adjacent to a fourth linear Rönt genstrahlendetektor 70 on the left side (in the negati ven X direction) of the center line which connects the first and the two te X-ray source 10, 20 is positioned. Der erste, der zweite, der dritte und der vierte lineare Rönt genstrahlendetektor 40 , 50 , 60 , 70 sind unter dem Fördersy stem 30 positioniert. The first, the second, the third and fourth linear Rönt genstrahlendetektor 40, 50, 60, 70 are under the Fördersy stem 30 is positioned. Das Fördersystem 30 umfaßt eine erste Antriebskettenvorrichtung 80 und eine Führungsschiene 82 auf einer ersten Seite und eine zweite Kettenantriebsvorrichtung 84 und eine zweite Führungsschiene 86 auf einer zweiten Sei te. The conveyor system 30 includes a first drive linkage means 80 and a guide rail 82 on a first side and a second chain driving device 84 and a second guide rail 86 on a second Be te. Ein synchronisierter Antriebsmotor 90 ist mit der ersten und mit der zweiten Kettenantriebsvorrichtung 80 , 84 verbun den. A synchronized drive motor 90 is connected to the first and to the second chain drive means 80, 84-jointed. Der synchronisierte Antriebsmotor 90 ist mit einem Steuerungscomputer und einem Abbildungsanalysesystem 100 durch Motorversorgungs- und Steuerungsleitungen 104 verbun den. The synchronized drive motor 90 is verbun with a control computer and an image analysis system 100 through control lines 104 and Motorversorgungs- the. Der Steuerungscomputer und das Abbildungsanalysesystem 100 sind ferner mittels Detektorversorgungs-, Steuerungs- und Signal-Leitungen 106 mit dem ersten, dem zweiten, dem dritten und dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor 40 , 50 , 60 , 70 verbunden. The control computer and the imaging analysis system 100 are further connected to the first, the second, the third and fourth linear X-ray detector 40, 50, 60, 70 by means Detektorversorgungs-, control and signal lines 106th

Im Betrieb sind Schaltungsplatinen 120 a, 120 b, 120 c auf den Kettenantriebsvorrichtungen 80 , 84 positioniert und diesel ben werden durch die Führungsschienen 82 , 86 durch das För dersystem 30 geführt. In operation, circuit boards 120 a, 120 b, 120 c the chain drive devices 80, 84 and positioned diesel ben be by the guide rails 82, 86 carried out by the För dersystem 30th Zwecks des Beschreibens des Betriebs der Erfindung werden Schaltungsplatinen mit einer Größe von 21,59 cm × 30,48 cm (8,5 Zoll × 12 Zoll) angenommen. For the purpose of describing the operation of the invention, circuit boards to be 12 inches (8.5 inch x) is assumed with a size of 21.59 cm x 30.48 cm. Es kön nen ebenfalls andere Größen verwendet werden, wobei diese Abmessungen in keiner Weise irgendeine Begrenzung darstel len. It also Kgs NEN other sizes are used, with these dimensions is in no way limit any len depicting. Die Schaltungsplatinen 120 a, 120 b, 120 c werden durch die Antriebskettenvorrichtungen 80 , 84 mit einer konstanten Geschwindigkeit von etwa 7,62 mm/s (0,3 Zoll/s) durch den synchronisierten Antriebsmotor 90 sanft vorgeschoben. The circuit boards 120 a, 120 b, 120 c through the drive chain devices 80, (0.3 inch / s) gently advanced 84 with a constant rate of about 7.62 mm / s by the synchronized drive motor 90th Die Schaltungsplatinen 120 a, 120 b, 120 c sind voneinander um etwa 1,778 cm (0,7 Zoll) getrennt. The circuit boards 120 a, 120 b, 120 c are separated from one another by about 1.778 cm (0.7 inches). Der synchronisierte Antriebs motor 90 wird durch den Steuerungs- und Abbildungsanalyse computer 100 über die Motorversorgungs- und Steuerungslei tungen 104 betrieben. The synchronized drive motor 90 is controlled by the control and image analysis computer 100 via the obligations Motorversorgungs- and Steuerungslei 104 operated. Fig. 1 und 2 zeigen folgenden Zustand: a) die Untersuchung der Schaltungsplatine 120 c ist vollen det; Fig. 1 and 2 show the following condition: a) the study of the circuit board 120 c is full det; b) die Untersuchung der Schaltungsplatine 120 b wird ge rade durchgeführt; b) the examination of the circuit board 120 b is carried out rade ge; und c) die Schaltungsplatine 120 a wurde gerade auf das Fördersystem 30 geladen, wobei dieselbe un mittelbar nach der Vollendung der Untersuchung der Schal tungsplatine 120 b untersucht werden wird. and c) the circuit board 120 a has just been loaded onto the conveyor system 30, using the same un indirectly tung board after completion of the examination of the scarf 120 b will be examined.

Röntgenstrahlenerzeugung und -Ausrichtung X-ray production and alignment

Die Röntgenstrahlen aus den Quellen 10 und 20 werden durch Kollimato ren 32 , 34 , 36 , 38 ausgerichtet (dh kollimiert), um die Winkelausbreitung der Strahlung aus der ersten und zweiten Röntgenstrahlenquelle 10 , 20 in sowohl der X-Richtung als auch der Y-Richtung zu begrenzen, derart, daß jede Rönt genstrahlenquelle 10 , 20 zwei Fächerstrahlen von Röntgen strahlen erzeugt. The X-rays from the sources 10 and 20 are ren by Kollimato 32, 34, 36, 38 aligned (ie collimated) to the angular spread of the radiation from the first and second X-ray source 10, 20 in both the X direction and the Y produced to limit direction, such that each Rönt genstrahlenquelle 10, 20, two fan beams of x-rays. Die erste Röntgenstrahlenquelle 10 gibt Fächerstrahlen von Röntgenstrahlen 130 , 132 ab, während die zweite Röntgenstrahlenquelle 20 Fächerstrahlen von Röntgenstrahlen 134 , 136 abgibt. The first X-ray source 10 are fan beams of x-rays 130, 132, while the second x-ray source emits radiation of x-rays 20 compartments 134, 136th Die Röntgenstrahlenquellen 10 , 20 sind auf eine herkömmliche Art und Weise in einer Position befestigt, welche geeignete Schichtbildaufnahmewinkel zum Erzeugen von Querschnittsabbildungen der Schaltungsplatine 120 b schaffen. The x-ray sources 10, 20 are mounted in a conventional manner in a position which will create a suitable tomographic image angle for generating cross-sectional images of the circuit board 120 b. Die Röntgenstrahlenquellen 10 , 20 sind bei spielsweise, wie es in den Fig. 1 und 4 zu sehen ist, in Winkeln von etwa ±45° bezüglich der Normalen der Schal tungsplatine 120 b (der Z-Richtung) positioniert. The X-ray sources 10, 20 are at play as can be seen in FIGS. 1 and 4, at angles of about ± 45 ° with respect to the normal of the TIC board B (the Z direction) is positioned 120th Zusätzlich sind die Röntgenstrahlenquellen 10 , 20 in einem Abstand von der Schaltungsplatine 120 b und von den linearen Röntgen strahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 positioniert, derart, daß die Kombination folgender Größen zusammenwirkt, um ausrei chende Strahlungspegel an den linearen Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 zu schaffen, um Abbildungen mit hoher Auflö sung zu schaffen: 1) die Brennpunktlichtfleckgrößen der Röntgenstrahlenquellen 10 , 20 ; In addition, the X-ray sources 10, 20 at a distance from the circuit board 120 b and radiation detectors of the linear X-40, 50, 60, 70 positioned such that the combination of the following sizes cooperating to suffi-reaching radiation level to the linear X-ray detectors 40, 50 to provide 60, 70, to provide images of high resolu solution: 1) the focal spot sizes of the x-ray sources 10, 20; 2 ) der Abstand zwischen der Schaltungsplatine 120 b und den linearen Röntgenstrahlende tektoren 40 , 50 , 60 , 70 (typischerweise 2,54 cm (1 Zoll) oder weniger); 2) the distance between the circuit board 120 b and the linear X-ray detectors end 40, 50, 60, 70 (typically 2.54 cm (1 inch) or less); und 3) die Leistungsausgabe der Röntgenstrah lenquellen 10 , 20 . and 3) the power output of the X-Ray lenquellen 10, 20th

Die bevorzugten Röntgenstrahlenquellen 10 , 20 sind industri elle Standard-Röntgenstrahlenröhren, die bei Spannungen bis zu 120 Kilovolt mit einem Anodenstrom im Bereich von etwa 0,1 mA bis 1,0 mA betreibbar sind. The preferred X-ray sources 10, 20 are industri elle standard X-ray tubes, up to 120 kilovolts can be operated with an anode current in the range of about 0.1 mA to 1.0 mA at voltages. Die erste und die zweite Röntgenstrahlenröhre 10 , 20 können beide durch eine einzige Hochspannungs-Versorgung (nicht gezeigt) versorgt werden. The first and the second X-ray tube 10, 20 may both by a single high voltage power supply (not shown) are supplied. Die bevorzugte Brennpunktlichtfleckgröße der Rönt genstrahlen 10 , 20 liegt im Bereich von 100 µm bis 1000 µm im Durchmesser. The preferred focal spot size of the Rönt-rays 10, 20 is in the range of 100 microns to 1000 microns in diameter.

Die Schaltungsplatine 120 b, die gerade untersucht wird, wird von Röntgenstrahlen bestrahlt, die von den Röntgenstrahlen quellen 10 , 20 erzeugt werden. The circuit board 120 b, which is being examined is irradiated by x-rays are 10, 20 generates the sources of the X-rays. Die Winkelausbreitung der Röntgenstrahlen, die von der ersten Röntgenstrahlenquelle 10 emittiert werden, werden: 1) in der X-Richtung durch den vorderen Kollimator 32 in dem schmalen Fächerstrahl von Röntgenstrahlen 130 ausgerichtet, welcher konfiguriert ist, um nur einen ersten kleinen Abschnitt der Schaltungsplatine 120 b und eine vordere Oberfläche des ersten linearen Rönt genstrahlendetektor 40 zu beleuchten, nachdem er durch den beleuchteten ersten kleinen Abschnitt der Schaltungsplatine 120 b durchgelaufen ist; The angular spread of the X-rays that are emitted from the first X-ray source 10 are: Targets 1) in the X direction by the front collimator 32 in the narrow fan beam of X-rays 130, which is configured to only a first small portion of the circuit board 120 to illuminate b and a front surface of the first linear Rönt genstrahlendetektor 40 after he b has passed through the illuminated first small portion of the circuit board 120; und 2) in der X-Richtung durch den hinteren Kollimator 34 in den schmalen Fächerstrahl von Röntgenstrahlen 132 ausgerichtet, welcher konfiguriert ist, um nur einem dritten kleinen Abschnitt einer Schaltungspla tine 120 b und die vordere Oberfläche des dritten linearen Röntgenstrahlendetektors 60 zu beleuchten, nachdem er durch den dritten schmalen Abschnitt der Schaltungsplatine 120 b durchgelaufen ist. and 2) aligned in the X direction by the rear collimator 34 in the narrow fan beam of X-rays 132, which is configured to tine only a third small section of Schaltungspla 120 b and to illuminate the front surface of the third linear X-ray detector 60 after b he has passed through the third narrow portion of the circuit board 120th Auf ähnliche Weise werden Röntgenstrah len, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle 20 emittiert werden: 1) in der X-Richtung durch den vorderen Kollimator 36 in den schmalen Fächerstrahl von Röntgenstrahlen 134 aus gerichtet, der konfiguriert ist, um nur einen zweiten klei nen Abschnitt der Schaltungsplatine 120 b und die vordere Oberfläche des zweiten linearen Röntgenstrahlendetektors 50 zu beleuchten, nachdem er durch den zweiten kleinen Ab schnitt der Schaltungsplatine 120 b durchgelaufen ist; Similarly, X-Ray are len, which are emitted from the second x-ray source 20: 1) directed in the X direction by the front collimator 36 in the narrow fan beam of X-rays 134, which is configured for only a second klei NEN portion of the circuit board 120 b, and to illuminate the front surface of the second linear X-ray detector 50, after being cut to the circuit board by the second small Ab b has passed through 120; und 2) in der X-Richtung durch den hinteren Kollimator 38 in den schmalen Fächerstrahl von Röntgenstrahlen 136 ausgerichtet, welcher konfiguriert ist, um nur einen vierten kleinen Ab schnitt der Schaltungsplatine 120 b und die vordere Oberflä che des vierten linearen Röntgenstrahlendetektors 70 zu be leuchten, nachdem er durch den vierten kleinen Abschnitt der Schaltungsplatine 120 b durchgelaufen ist. and 2) aligned in the X direction by the rear collimator 38 in the narrow fan beam of X-rays 136, which is configured to just one fourth small From section of the circuit board 120 b and the front Oberflä surface of the fourth linear X-ray detector 70 to be lit after b has passed through the fourth small portion of the circuit board 120th Somit empfängt der erste lineare Röntgenstrahlendetektor 40 nur Röntgenstrah len, die von der ersten Röntgenstrahlenquelle 10 erzeugt werden und durch den vorderen Kollimator 32 emittiert wer den. Thus, the first linear X-ray detector 40 receives only generated from the first X-ray source 10 X-Ray len and emitted through the front collimator 32 who the. Der zweite lineare Röntgenstrahlendetektor 50 empfängt nur Röntgenstrahlen, die von der zweiten Röntgenstrahlen quelle 20 erzeugt und durch den vorderen Kollimator 36 emit tiert werden. The second linear X-ray detector 50 receives only the X-rays 20 are generated and emit advantage through the forward collimator 36 of the second source of X-rays. Der dritte lineare Röntgenstrahlendetektor 60 empfängt nur Röntgenstrahlen, die von der ersten Röntgen strahlenquelle 10 erzeugt und durch den hinteren Kollimator 34 emittiert werden. The third linear X-ray detector 60 receives only X-rays that are generated x-ray source from the first 10 and emitted through the rear collimator 34th Der vierte lineare Röntgenstrahlende tektor 70 empfängt nur Röntgenstrahlen, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle 20 erzeugt und durch den hinteren Kol limator 38 emittiert werden. The fourth linear X-ray end Tektor 70 receives only X-rays that are generated by the second X-ray source 20 and emitted through the rear Kol limator 38th Zusätzlich wird, wie es am be sten in den Fig. 2 und 4 dargestellt ist, jeder der schmalen Fächerstrahlen von Röntgenstrahlen 130 , 132 , 134 , 136 in der Y-Richtung durch seinen jeweiligen Kollimator 32 , 34 , 36 , 38 auf eine Art und Weise ausgerichtet, welche es verhindert, daß sich Röntgenstrahlen über die horizontale Ausdehnung (Y-Richtung) seines jeweiligen linearen Röntgenstrahlende tektors 40 , 50 , 60 , 70 hinaus erstrecken. In addition, as shown in FIGS. 2 and 4 on be sten, each of the narrow fan beam of X-rays 130, 132, 134, 136 in the Y direction by its respective collimator 32, 34, 36, 38 in a manner aligned manner, which prevents X-rays across the horizontal dimension (Y-direction) extending its respective linear X-ray end tektors addition, 40, 50, 60, 70th

Röntgenstrahlenerfassung, Abbildungsbildung und Datenhandhabung X-ray detection, image formation and data handling

Das Fördersystem 30 transportiert die zu testende Schal tungsplatine 120 b durch die vier ausgerichteten Fächer strahlen von Röntgenstrahlen 130 , 132 , 134 , 136 . The conveyor system 30 transports the to be tested TIC board 120 b through the four aligned fan beams of x-rays 130, 132, 134, 136th Röntgen strahlen, welche durch die Schaltungsplatine 120 b laufen, werden von den linearen Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 erfaßt. X-rays that pass through the circuit board 120 b, are detected by the linear X-ray detectors 40, 50, 60, 70th Jeder lineare Röntgenstrahlendetektor 40 , 50 , 60 , 70 wandelt das Muster von Röntgenstrahlen, die durch die zu testende Schaltungsplatine 120 b gelaufen sind, in ein elektrisches Signal um, das über die Detektorversorgungs-, Steuerungs- und Signalleitungen 106 zu dem Steuerungscom puter und zu dem Abbildungsanalysesystem 100 zum Verarbeiten gesendet wird. Each linear X-ray detector 40, 50, 60, 70 converts the pattern of X-rays that have passed through the tested circuit board 120 b, to an electrical signal, which computer on the Detektorversorgungs-, control and signal lines 106 to the Steuerungscom and the image analysis system 100 is sent for processing.

Die linearen Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 sind bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel etwa 21,59 cm (8,5 Zoll) breit und weisen eine horizontale Auflösung (X-Rich tung) von etwa 16 bis 20 Linienpaaren pro Millimeter (lp/mm) auf. The linear X-ray detectors 40, 50, 60, 70 are in the preferred embodiment is about 21,59 cm (8.5 inches) wide and have a horizontal resolution (X-Rich circuit) of about 16 to 20 line pairs per millimeter (lp / mm ) on. Dies entspricht etwa 400 bis 500 Linienpaaren pro Zoll (157,5 bis 197 Linienpaaren pro Zentimeter) oder 800 bis 1000 Punkten pro Zoll in der Terminologie des Desktopab tastens. This corresponds to about 400 to 500 line pairs per inch (157.5 to 197 line pairs per centimeter) or 800 to 1000 dots per inch in the terminology of Desktopab groping. Jeder der linearen Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 weist eine eingebaute Digitalisierungselektronik zum Schaffen eines digitalisierten Datenstroms von 8 Bit bis 16 Bit auf, wobei sie direkt mit dem Steuerungscomputer und dem Abbildungsanalysesystem 100 in schnittstellenmäßiger Verbindung stehen. Each of the linear X-ray detectors 40, 50, 60, 70 has a built-in digitizing electronics for providing a digitized data stream from 8 bits to 16 bits, where they are directly connected to the control computer and the image analysis system 100, in interface standards for connection. Die linearen Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 sind aus Standard-Linienabtastungsdetektoren gebildet, die bei Desktop-Publishing-Abtastgeräten verwendet werden. The linear X-ray detectors 40, 50, 60, 70 are formed from standard line scan detectors, which are used in desktop publishing scanners. Jeder lineare Röntgenstrahlendetektor 40 , 50 , 60 , 70 weist eine dünne Beschichtung aus Röntgenstrahlen-empfindli chem Phosphor auf, die direkt auf der Vorderseite des licht empfindlichen Bereichs des Detektors abgelegt ist. Each linear X-ray detector 40, 50, 60, 70 has a thin coating of X-ray empfindli chem phosphorus, which is deposited directly on the front of the photosensitive area of the detector. Typi scherweise ist der Röntgenstrahlen-empfindliche Phosphor Gadolinium-Oxysulfid, wobei jedoch ebenfalls weitere Ma terialien verwendet werden können, wie z. Typi cally, the X-ray sensitive phosphor, gadolinium oxysulfide, but also more Ma terialien can be used, such. B. Cadmium-Wolfra mat. B. cadmium Wolfra mat. Die Daten aus jedem linearen Röntgenstrahlendetektor 40 , 50 , 60 , 70 erzeugen eine vollständige Röntgenstrahlen- Schattenbildabbildung der zu testenden (21,59 cm × 30,48 cm)-Schaltungsplatine 120 b, während sie über den jeweiligen Detektor läuft. The data from each linear X-ray detector 40, 50, 60, 70 produce a complete X-ray shadow image of the image under test (21.59 cm x 30.48 cm) -Schaltungsplatine 120 b as it passes over the respective detector. (Siehe die Fig. 6a bis 6d). (See Figs. 6a to 6d).

Die linearen Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 sind Ladungs-gekoppelten Bauelementen (CCD; CCD = Charge Coupled Devices) ähnlich, die allgemein in Videokameras zu finden sind. The linear X-ray detectors 40, 50, 60, 70 are charge-coupled devices (CCD = Charge Coupled Devices) similar to those commonly found in video cameras. Die Ladungs-gekoppelten Bauelemente, die in Videoka meras verwendet werden, sind typischerweise integrierte Festkörper-Schaltungschips mit einem zweidimensionalen Array von diskreten lichtempfindlichen Elementen, die auf densel ben gebildet sind. The charge-coupled devices, which are used in Videoka meras are typically solid state integrated circuit chip with a two dimensional array of discrete light-sensitive elements that are formed on Densel ben. Die linearen Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 sind lineare oder eindimensionale Arrays von diskreten lichtempfindlichen Elementen, die auf einem einzi gen Chip gebildet sind. The linear X-ray detectors 40, 50, 60, 70 are linear or one-dimensional array of discrete light-sensitive elements that are formed on a chip only peo gen. Lineare Arrays werden üblicherweise in Taschenabtastgeräten bei Flughafensicherheitsstationen verwendet, um Röntgenstrahlen-Schattenbildabbildungen mit niedriger Auflösung einer Tasche zu erzeugen. Linear arrays are commonly used in Taschenabtastgeräten at airport security stations to generate X-ray shadow picture images with low resolution of a bag.

Ein geeigneter linearer Röntgenstrahlendetektor, der als der RLS-Detektor (RLS = Radiographic Line Scan = radiographische Linienabtastung) bekannt ist, ist kommerziell bei Bio-Ima ging Research, Inc. in Lincolnshire, Illinois erhältlich. A suitable linear X-ray detector as the RLS detector (RLS Radiographic Line Scan = radiographic line scanning) is known, is commercially available from Bio-Ima went Research, Inc. in Lincolnshire, Illinois available. Ein Artikel von Charles R. Smith und Joseph W. Erker, mit dem Titel "Low cost, high resolution x-ray detector system for digital radiography and computed tomography", SPIE X-Ray Detector Physics and Applications II, Bd. 2009, 1993, S. 31-35, umfaßt eine detaillierte Beschreibung dieses Bauele ments. An article by Charles R. Smith and Joseph W. bay, entitled "Low cost, high resolution x-ray detector system for digital radiography and computed tomography", SPIE X-Ray Detector Physics and Applications II, Vol. 2009, 1993 , p 31-35, includes a detailed description of this Bauele management. Ein weiterer geeigneter linearer Detektor, der als der IL-C8-6000 Turbosensor bekannt ist, ist bei Dalsa in Waterloo, Canada, erhältlich. Another suitable linear detector, which is known as the IL-C8-6000 turbo sensor is in Dalsa in Waterloo, Canada, available. Ein weiterer Hersteller von linearen Arrays ist EG & G Reticon, welcher ein Diodenarray der Modellnummer RL2048S herstellt, welches ein monolithi sches, selbstabtastendes lineares Photodiodenarray mit 2048 Photodiodensensorelementen mit einer 25 Mikrometer Mitte- zu-Mitte-Beabstandung ist. Another manufacturer of the linear array is EG & G Reticon, which establishes a diode array model number RL2048S, which is a monolithic ULTRASONIC, selbstabtastendes linear photodiode array with 2048 photodiode sensor elements with a 25 microns center-to-center spacing. Dieses Bauelement besteht aus einer Reihe von Photodioden, wobei jede einen zugeordneten Speicherkondensator aufweist, auf dem der Photostrom inte griert wird, und einen Multiplexschalter zum Auslesen durch ein unabhängiges integriertes Schieberegister aufweist. This device consists of a series of photodiodes, each having an associated storage capacitor on which the photocurrent is inte grated, and a multiplex switch for reading out by an independent integrated shift register. So mit existieren mehrere Bezugsquellen für kommerziell verfüg bare lineare Arraybauelemente, welche zur Verwendung bei der vorliegenden Erfindung angepaßt werden können. So exist with several sources of commercially verfüg bare linear array components, which can be adapted for use in the present invention.

Während es bevorzugt wird, daß jeder der 21,59 cm (8,5 Zoll) langen linearen Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 ei ne einzige Einheit ist, wird es für einen Fachmann offen sichtlich sein, daß kürzere Einheiten kombiniert werden kön nen, um jede beliebige gewünschte Gesamtlänge zu erhalten. While it is preferred that each of the 21.59 cm (8.5 inches) long linear X-ray detectors 40, 50, 60, 70 ei is ne single unit, it will be manifestly for a skilled person that shorter units Kgs be combined nen to obtain any desired total length. Das heißt, daß zwei der oben erwähnten IL-C8-6000-Turbosen soren, von denen jeder 15,24 cm (6 Zoll) lang ist, etwas versetzt befestigt werden können, derart, daß das Ende des einen mit dem Ende des anderen übereinstimmt, wodurch ein Erfassungsbereich für eine 30,48 cm (12 Zoll) breite Schal tungsplatine geschaffen ist. That is, two of the above-mentioned IL-C8-6000-Turbosen sensors, each of which is 15.24 cm (6 inches) long, may be secured slightly offset, such that the end of the one with the end of the other matches whereby a detection range for a 30.48 cm (12 inches) wide scarf is tung motherboard together. Alternativ kann ein Linsensy stem oder eine Glasfaseroptik-Reduziereinrichtung zwischen einem Röntgenstrahlen-Szintillationsbildschirm der gewünsch ten Länge und dem linearen Sensor einer kürzeren Länge posi tioniert sein. Alternatively it can be posi tioniert Linsensy a stem or a fiber optics reducer between an X-ray scintillation screen of gewünsch th length and the linear sensor of a shorter length. Die auf dem Bildschirm erzeugte Abbildung wird dann durch das Linsensystem auf den linearen Sensor mit einer kürzeren Länge fokussiert oder durch eine geeignete reduzierende Glasfaseroptik auf den linearen Sensor gerich tet. The image produced on the screen is then focused by the lens system to the linear sensor having a shorter length or court tet by a suitable reducing Fiber Optic on the linear sensor.

Die Daten von den linearen Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 werden in einer Speicherbank innerhalb des Steue rungscomputers und des Abbildungsanalysesystems 100 gespei chert. The data from the linear X-ray detectors 40, 50, 60, 70 are approximately computers in a memory bank within the Steue and imaging analysis system 100 chert vomit. Für ein System mit einer Auflösung von 800 DPI (DPI = Dots Per Inch = Punkte pro Zoll) und einer Breite von 21,59 cm (8,5 Zoll) existieren 6800 Pixel entlang der Breite (X- Richtung) von 21,59 cm (8,5 Zoll), welche der Breite der zu testenden Schaltungsplatine 120 b entspricht. For a system with a resolution of 800 DPI (DPI = dots per inch = dots per inch) and a width of 21.59 cm (8.5 inches), there are 6800 pixels along the width (X direction) of 21.59 cm (8.5 inches), which corresponds to the width b of the test circuit board 120th Bei einer Auf lösung von 800 DPI entspricht die Länge von 30,48 cm (12 Zoll) der zu testenden Schaltungsplatine 120b 9600 Pixeln entlang der Längenrichtung (Y-Richtung). In case of a resolution of 800 dpi, the length of 30.48 cm (12 inches) of the test circuit board 120b 9600 pixels along the length direction (Y-direction) corresponds. Somit muß die Spei cherbank, die verwendet wird, um die vollständige Abbildung der 21,59 cm × 30,48 cm (8,5 Zoll × 12 Zoll) - Schaltungs platine 120 b zu speichern, eine Speicherkapazität von 6800 × 9600 × 8 Bits oder etwa 65 Megabyte aufweisen. Thus, the SpeI must cherbank, which is used to the whole picture of the 21.59 cm x 30.48 cm (8.5 inch x 12 inch) - platine circuit 120 to store b, a storage capacity of 6800 × 9600 × 8 bits have or about 65 megabytes. Da vier li neare Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 vorhanden sind, ist ein Gesamtspeicher von 260 Megabyte notwendig. Since four li-linear X-ray detectors 40, 50, 60, 70 are present, a total memory of 260 megabytes is required. Wenn das System Abbildungen für eine Schaltungsplatine 120 c analysieren soll, während das System die Abbildungen der nächsten Schaltungsplatine 120 b erfaßt, muß die Speicherbank innerhalb des Steuerungscomputers und des Bildanalysesystems 100 verdoppelt werden, um eine Gesamtgröße von 520 Megabyte aufzuweisen. If the system is to pictures for a circuit board 120 c analyzed while the system images the next circuit board 120 b detected, the memory bank has to be doubled within the control computer and the image analysis system 100 to have an overall size of 520 megabytes. Die Speicherbank ist derart entworfen, daß eine erste Hälfte der Speicherbank mit den linearen Röntgenstrah lendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 verbunden ist, während ein Bild gerade erfaßt wird, während eine zweite Hälfte der Speicher bank, welche die Abbildungen für die vorherige Schaltungs platine enthält, mit dem Bildanalyseabschnitt des Steue rungscomputers und des Bildanalysesystems 100 verbunden ist. The memory bank is designed such that a first half of the memory bank lendetektoren with the linear X-Ray is 40, 50, 60, 70, while a picture is being detected, while a second half of the memory bank, which board the pictures for the previous circuit includes, connected to the image analysis section of the Steue approximately computers and the image analysis system 100th Wenn die Abbildungserfassung in der ersten Hälfte der Spei cherbank und die Abbildungsanalyse der Daten in der zweiten Hälfte der Speicherbank vollendet sind, wird die erste Hälf te der Speicherbank von den linearen Röntgenstrahlendetek toren 40 , 50 , 60 , 70 abgetrennt und mit dem Abbildungsana lyseabschnitt des Steuerungscomputers und Bildanalysesystems 100 verbunden, und die zweite Hälfte der Speicher bank wird von dem Bildanalyseabschnitt des Steuerungscomputers und Bildanalysesystems 100 abgetrennt und mit den linearen Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 verbunden. When the image sensing cherbank in the first half of the SpeI and the mapping analysis of the data is completed in the second half of the memory bank, the first Hälf is te of the memory bank of the linear Röntgenstrahlendetek gates 40, 50, 60, 70 separated and lyseabschnitt with the Abbildungsana of control computer and image analysis system 100 is connected, and the second half of the memory bank is separated from the image analysis section of the control computer and image analysis system 100 and connected to the linear X-ray detectors 40, 50, 60, 70th

Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildungsbildung Tomographic imaging cross-section image formation

Wie vorher beschrieben wurde, erzeugen der erste, der zwei te, der dritte und der vierte lineare Röntgenstrahlendetek tor 40 , 50 , 60 , 70 jeder für sich eine herkömmliche Röntgen strahl-Schattenbildabbildung des gerade untersuchten Ob jekts, das beispielsweise eine Schaltungsplatine 120 b ist. As previously described, produce the first te two, the third and fourth linear Röntgenstrahlendetek tor 40, 50, 60, 70 each for a conventional X-ray shadow picture image of the currently examined whether jekts, which is for example a circuit board 120 b , Eine Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildung des Objekts wird aus den vier resultierenden Schattenbildabbildungen auf eine herkömmliche Art und Weise gebildet. A layer of image-receiving cross-sectional image of the object is formed from the four resulting silhouette pictures in a conventional manner. Diese Technik ist detailliert in dem US Patent Nr. 3,818,220 mit dem Titel "Variable Depth Laminagraphy", das an Richards erteilt wor den ist, und in dem US Patent Nr. 3,499,146, mit dem Titel "VARIABLE DEPTH LAMINAGRAPHY WITH MEANS FOR HIGHLIGHTING THE DETAIL OF SELECTED LAMINA", beschrieben, das an Richards er teilt worden ist. This technique is described in detail in US Pat. No. 3,818,220, entitled "Variable Depth Laminagraphy" which issued to Richards wor is the, and US Pat. No. 3,499,146, entitled "VARIABLE DEPTH LAMINAGRAPHY WITH MEANS FOR HIGHLIGHTING THE DETAIL oF SELECTED described LAMINA ", which has been at Richards he shares.

Fig. 5 zeigt ein Testobjekt 140 zum Darstellen der Technik des Erzeugens einer Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbil dung einer ausgewählten Ebene innerhalb des Testobjekts 140 aus vier Schattenbildabbildungen 160 , 260 , 360 , 460 (siehe die Fig. 6a bis 6d). Fig. 5 shows a test object 140 for displaying the technique of generating a layer image pickup Querschnittsabbil extension of a selected plane within the test object 140 from four silhouette pictures 160, 260, 360, 460 (see Figs. 6a to 6d). Das Testobjekt 140 enthält Muster in der Gestalt eines Pfeils 142 , eines Kreises 144 und eines Kreuzes 146 , die innerhalb des Testobjekts 140 in drei ver schiedenen Ebenen 152 , 154 bzw. 156 eingebettet sind. The test object 140 includes pattern in the shape of an arrow 142, a circle 144 and a cross 146, which are embedded within the test object 140 in three ver different levels 152, 154 and 156th

In den Fig. 6a bis 6d sind die Schattenbildabbildungen ge zeigt, die von den vier linearen Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 erzeugt werden. In Figs. 6a to 6d, the silhouette pictures are ge is generated by the four linear X-ray detectors 40, 50, 60, 70. Das Testobjekt 140 ist auf dem Fördersystem 30 ausgerichtet, wie es in den Fig. 1 bis 4 gezeigt ist, wobei der Pfeil 142 in der negativen X-Richtung zeigt, dh zu der Schaltungsplatine 120 a hin. The test object 140 is aligned on the conveyor system 30, as shown in FIGS. 1 to 4, wherein the arrow 142 in the negative X-direction, ie to the circuit board 120 a back. Fig. 6b zeigt eine Schattenbildabbildung 160 des Testobjekts 140 , welche durch den ersten linearen Röntgenstrahlendetektor 40 erzeugt worden ist. 160 Fig. 6b shows a silhouette image of the test object 140, which has been generated by the first linear X-ray detector 40. Der Pfeil 142 bildet eine Abb. 162a (a = arrow = Pfeil), der Kreis 144 bildet eine Abb. 162c (c = circle = Kreis) und das Kreuz 146 bildet eine Abb. 162x (x = cross = Kreuz). The arrow 142 forms a Fig. 162 (a = = arrow arrow), the circle 144 forms a Fig. 162c (c = circle = circle) and the cross 146 forms a Fig. 162x (x = cross = cross). Fig. 6a zeigt eine Schattenbildab bildung 260 des Testobjekts 140 , das durch den zweiten li nearen Röntgenstrahlendetektor 50 erzeugt worden ist. FIG. 6a shows a Schattenbildab formation 260 of the test object 140, which has been generated by the second li-linear X-ray detector 50. Der Pfeil 142 bildet eine Abb. 262a, der Kreis 144 bildet eine Abb. 262c und das Kreuz 146 bildet eine Abb. 262x. The arrow 142 forms a Fig. 262a, the circuit 144 forms a Fig. 262c and the cross 146 forms a Fig. 262x. Fig. 6d zeigt eine Schattenbildabbildung 360 des Test objekts 140 , das durch den dritten linearen Röntgenstrahlen detektor 60 erzeugt worden ist. Fig. 6d 360 shows a silhouette image of the test object 140, which has been generated by the third linear X-ray detector 60. Der Pfeil 142 bildet eine Abb. 362a, der Kreis 144 bildet eine Abb. 362c und das Kreuz 146 bildet eine Abb. 362x. The arrow 142 forms a Fig. 362a, the circuit 144 forms a Fig. 362c and the cross 146 forms a Fig. 362x. Fig. 6c zeigt eine Schattenbildabbildung 460 des Testobjekts 140 , die durch den vierten linearen Röntgenstrahlendetektor 70 erzeugt worden ist. 460 Fig. 6c shows a silhouette image of the test object 140 that is generated by the fourth linear X-ray detector 70. Der Pfeil 142 bildet eine Abb. 462a, der Kreis 144 bildet eine Abb. 462c und das Kreuz 146 bildet eine Abb. 462x. The arrow 142 forms a Fig. 462a, the circuit 144 forms a Fig. 462c and the cross 146 forms a Fig. 462x.

Die Bildung einer Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildung einer ausgewählten Ebene innerhalb des Testobjekts 140 aus den vier Schattenbildabbildungen 160 , 260 , 360 , 460 wird durch Zusammenfügen der vier Schattenbildabbildungen 160 , 260 , 360 , 460 auf eine Art und Weise erreicht, welche die Abbildungen in einer ausgewählten Ebene auf Kosten der Ab bildungen in den anderen Ebenen verstärkt. The formation of a tomographic image cross-sectional illustration of a selected level within the test object 140 from the four shadow picture images 160, 260, 360, 460 is achieved by assembling the four shadow picture images 160, 260, 360, 460 in a manner which selected images in a level at the expense of formations from amplified in the other levels. Die Art und Wei se, auf die die vier Schattenbildabbildungen 160 , 260 , 360 , 460 zusammengefügt werden, um eine Schichtbildaufnahme-Quer schnittsabbildung 500 des Pfeils 142 in der Ebene 152 zu bilden, ist in Fig. 7 gezeigt. The type and Wei se, to which the four shadow picture images 160, 260, 360, 460 joined together to cut illustration a tomographic image cross 500 of the arrow 142 to form in the plane 152, is shown in Fig. 7. Wie es in Fig. 7 gezeigt ist, wird jede der vier Schattenbildabbildungen 160 , 260 , 360 , 460 um einen für jede jeweilige Abbildung in der X-Richtung und/oder der Y-Richtung geeigneten Abstand verschoben, wobei der Abstand bewirkt, daß die vier Abbildungen des Pfeils 162 a, 262 a, 362 a, 462 a sich im wesentlichen überlappen, wo durch eine verstärkte Abbildung des Pfeils 562 in der Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildung 500 erzeugt wird. As shown in Fig. 7, each of the four shadow picture images 160, 260, 360, shifted by a value suitable for each respective image in the X-direction and / or the Y-direction distance 460, the distance causes the four pictures of the arrow 162 a, 262 a, 362 a, a 462 overlap substantially, which is generated by an enhanced illustration of the arrow 562 in the image-receiving layer cross-sectional figure 500th Der Bereich, der die verstärkte Abbildung des Pfeils 562 umgibt, besteht aus den vier Abbildungen des Kreises 162 c, 262 c, 362 , 462 c und den vier Abbildungen des Kreuzes 162 x, 262 x, 362 x, 462 x. The region surrounding the increased figure of the arrow 562, consists of the four pictures of the circle 162 c, 262 c, 362, 462 c and the four pictures of the cross 162 x, 262 x, 362 x, 462 x. Da die Abbildungen des Kreises und des Kreuzes über verschiedene Positionen verstreut sind, ver stärken sie sich nicht untereinander, wie es dagegen die überlappenden Abbildungen des Pfeils 162 a, 262 a, 362 a, 462 a tun. As the pictures of the circle and the cross are scattered across various positions, ver they do not reinforce one another, as do about the overlapping images of the arrow 162 a, 262 a, 362 a, 462 a. Auf eine ähnliche Art und Weise können die vier Schat tenbildabbildungen 160 , 260 , 360 , 460 zusammengefügt werden, um Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildungen des Kreises 144 in der Ebene 154 oder des Kreuzes 146 in der Ebene 156 oder irgendeiner anderen vorher ausgewählten Ebene innerhalb des Testobjekts 140 zu bilden. In a similar manner, the four Schat 360 can tenbildabbildungen 160, 260, are assembled 460 to tomographic imaging cross-sectional pictures of the circle 144 in the plane 154 or the cross 146 in the plane 156 or any other pre-selected level within the test object 140 to build.

Das oben beschriebene bevorzugte Ausführungsbeispiel be schreibt eine Vorrichtung mit durchgehender Abtastung und ein Verfahren zur Hochgeschwindigkeitsuntersuchung mit hoher Auflösung, welches keine Bewegung des Detektors, der Rönt genstrahlenröhre, des Lichtflecks der Röntgenstrahlen oder des Röntgenstrahls selbst benötigt. The preferred embodiment described above writes be an apparatus with continuous scanning and to a method for high-speed analysis with high resolution, which genstrahlenröhre no movement of the detector, the Rönt, the light spot of the X-rays or x-ray beam itself requires. Die einzige benötigte Bewegung ist eine sanfte lineare Bewegung des abzubildenden Testobjekts. The only required movement is a gentle linear movement of the imaged test object. Ein Fachmann wird jedoch erkennen, daß ein äquivalentes System ein System ist, bei dem das Testobjekt, das abgebildet wird, fest bleibt und der Röntgenstrahlende tektor (die Röntgenstrahlendetektoren), die Röntgenstrahlen röhre (die Röntgenstrahlenröhren) und der Strahl (die Strah len) der Röntgenstrahlen eine sanfte lineare Bewegung bezüg lich des abzubildenden festen Testobjekts ausführen, wodurch Schattenbildabbildungen erzeugt werden, welche zusammenge fügt werden können, um Schichtbildaufnahme-Querschnittsab bildungen einer beliebigen vorher ausgewählten Ebene inner halb des festen Testobjekts zu bilden, wie vorher beschrie ben wurde. One skilled in the art will recognize, however, that an equivalent system is a system in which the test object being imaged remains stationary and the X-ray end Tektor (the X-ray detectors), the X-ray tube (X-ray tubes) and the beam (the Strah len) of X-rays a gentle linear movement bezüg Lich perform the imaged solid test object, whereby silhouette images are generated which together amount to be added in order formations layer image pickup Querschnittsab to form any pre-selected level within half of the solid test object, such beschrie previously ben was. Fig. 8 zeigt ein Beispiel eines derartigen äqui valenten Systems, bei dem das abzubildende Testobjekt fest bleibt und die Röntgenstrahlenröhre (die Röntgenstrahlenröh ren) und der Röntgenstrahlendetektor (die Röntgenstrahlende tektoren) eine sanfte lineare Bewegung bezüglich des festen abzubildenden Testobjekts ausführen. Fig. 8 shows an example of such an equi valent system in which the imaged test object remains fixed, and the X-ray tube (the Röntgenstrahlenröh ren) and the X-ray detector (X-ray end detectors) a smooth linear motion relative to the fixed imaged under test run. In Fig. 8 werden die gleichen Bezugszeichen für identische oder entsprechende Elemente der Ausführungsbeispiele, die in den vorherigen Fi guren gezeigt sind, verwendet. In FIG. 8, the same reference numerals for identical or corresponding elements of the embodiments shown in the previous guren Fi used.

Wie es in Fig. 8 gezeigt ist, sind die erste Röntgenstrah lenquelle 10 und die zweite Röntgenstrahlenquelle 20 auf einem oberen Arm 602 einer C-förmigen Kanalträgereinheit 604 befestigt, derart, daß sie über und entlang gegenüberlie gender Seiten der Schaltungsplatinen 120 positioniert sind, welche auf einer Schaltungsplatinen-Trägereinheit 608 ange ordnet sind. As shown in Fig. 8, the first X-Ray are lenquelle 10 and the second X-ray source 20 mounted on an upper arm 602 of a C-shaped channel support unit 604 such that they are positioned over and along gegenüberlie gender sides of the circuit boards 120 which are arranged attached to a circuit board support unit 608th Die Schaltungsplatinen-Trägereinheit 608 weist Öffnungen 610 auf, über denen die Schaltungsplatinen 120 an geordnet sind, derart, daß die Röntgenstrahlen 130 , 132 , 134 , 136 auf ihren Wegen von den Röntgenstrahlenquellen 10 , 20 zu den Röntgenstrahlendetektoren 40 , 50 , 60 , 70 nur durch die Schaltungsplatinen 120 laufen, dh nicht durch die Schaltungsplatinen-Trägereinheit 608 . The circuit board support unit 608 has openings 610, through which the circuit boards 120 are arranged in such a way that the X-rays 130, 132, 134, 136 on their way from the x-ray sources 10, 20 to the X-ray detectors 40, 50, 60, 70 run only through the circuit boards 120, that is, not through the circuit board support unit 608th Die erste Röntgen strahlenquelle 10 umfaßt den vorderen Kollimator 32 und den hinteren Kollimator 34 . The first X-ray source 10 includes the front collimator 32 and the rear collimator 34th Auf ähnliche Weise umfaßt die zweite Röntgenstrahlenquelle 20 den vorderen Kollimator 36 und den hinteren Kollimator 38 (in Fig. 8 nicht gezeigt). Similarly, the second X-ray source 20 includes the front collimator 36 and the rear collimator 38 (not shown in Fig. 8). Der erste, der zweite, der dritte und der vierte lineare Röntgenstrah lendetektor 40 , 50 , 60 , 70 sind auf einem unteren Arm 606 der C-förmigen Kanalträgereinheit 604 befestigt. The first, the second, the third and fourth linear X-Ray lendetektor 40, 50, 60, 70 channel carrier unit 604 are mounted on a lower arm 606 of the C-shaped. Der erste lineare Röntgenstrahlendetektor 40 ist neben dem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor 50 auf der rechten Seite (in der positiven X-Richtung) einer Mittellinie (nicht ge zeigt) entlang der Y-Richtung, die durch Verbinden der er sten Röntgenstrahlenquelle 10 mit der zweiten Röntgenstrah lenquelle 20 definiert ist, befestigt. The first linear X-ray detector 40 is adjacent to the second linear X-ray detector 50 to the right (in the positive X-direction) of a center line (not ge shows) along the Y-direction which he most x-ray source 10 to the second X-Ray lenquelle by connecting 20 is defined, attached. Der dritte lineare Röntgenstrahlendetektor 60 ist neben dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor 70 auf der linken Seite (in der ne gativen X-Richtung) der Mittellinie positioniert, die die erste und die zweite Röntgenstrahlenquelle 10 , 20 verbindet. The third linear X-ray detector 60 is adjacent to the fourth linear X-ray detector 70 on the left side (in the ne gativen X direction) of the center line positioned that connects the first and second X-ray source 10, 20th Der erste, der zweite, der dritte und der vierte lineare Röntgenstrahlendetektor 40 , 50 , 60 , 70 sind somit unter den Schaltungsplatinen 120 , unter den Schaltungsplatinen-Trä gereinheitsöffnungen 610 und unter der Schaltungsplatinenträgereinheit 608 positioniert. The first, the second, the third and fourth linear X-ray detector 40, 50, 60, 70 are thus among the circuit boards 120, gereinheitsöffnungen under the circuit board Trä 610 and positioned below the circuit board support unit 608th Die C-förmige Kanalträgereinheit 604 ist auf Gleitschienen 612 befestigt, wodurch es ermöglicht wird, daß sich die C-förmige Kanal trägereinheit 604 zusammen mit der befestigten ersten und der befestigten zweiten Röntgenstrahlenquelle 10 , 20 und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrah lendetektor 40 , 50 , 60 , 70 als eine Einheit in der positiven und der negativen X-Richtung bewegen. The C-shaped channel carrier unit 604 is mounted on slide rails 612, thereby making it possible that the C-shaped channel to support unit 604 together with the attached first and the attached second X-ray source 10, 20 and the first, second, third and fourth linear X-Ray lendetektor 40, 50, 60, 70 move as a unit in the positive and negative X direction. Der synchronisierte Antriebsmotor 9 ( Fig. 1) steuert die Bewegung der C-förmigen Kanalträgereinheit 604 auf den Gleitschienen 612 . The synchronized drive motor 9 (Fig. 1) controls the movement of the C-shaped channel support unit 604 on the slide rails 612th Wie vorher erörtert wurde, ist der synchronisierte Antriebsmotor 90 mit dem Steuerungscomputer und Bildanalysesystem 100 ( Fig. 1) verbunden. As previously discussed, the synchronized drive motor 90 is 100 (Fig. 1) to the control computer and image analysis system connected. Der Steuerungscomputer und das Bildanalysesystem 100 sind ferner mit dem ersten, dem zweiten, dem dritten und dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor 40 , 50 , 60 , 70 verbunden. The control computer and the image analysis system 100 are further connected to the first, the second, the third and fourth linear X-ray detector 40, 50, 60, 70th

Im Betrieb arbeitet das Ausführungsbeispiel von Fig. 8 auf dieselbe Art und Weise wie das Ausführungsbeispiel von Fig. 1, das vorher beschrieben wurde, wobei jedoch folgende Aus nahme besteht. In operation, the embodiment of FIG. 8 operates in the same manner as the embodiment of Fig. 1, described earlier, but the following is composed of acceptance. Bei dem Ausführungsbeispiel in Fig. 1 wird eine lineare Abtastung der Schaltungsplatinen durch Halten der ersten und der zweiten Röntgenstrahlenquelle 10 , 20 und des ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgen strahlendetektors 40 , 50 , 60 , 70 in einer befestigten oder festen Position und durch Bewegen der Schaltungsplatinen 120 a, 120 b, 120 c durch die Röntgenstrahlen 130 , 132 , 134 , 136 auf dem Fördersystem 30 durchgeführt. In the embodiment in Fig. 1 is a linear scan of the circuit boards by holding the first and second X-ray source 10, 20 and the first, second, third and fourth linear X-ray detector 40, 50, 60, 70 in a fixed or fixed position and by moving the circuit boards 120 a, 120 b, 120 c performed by the X-rays 130, 132, 134, 136 on the conveyor system 30th Bei dem Ausfüh rungsbeispiel in Fig. 8 wird eine lineare Abtastung der Schaltungsplatinen durch die Röntgenstrahlen 130 , 132 , 134 , 136 durch Halten der Schaltungsplatinen 120 a, 120 b, 120 c in einer befestigten oder festen Position auf der Schaltungs platinen-Trägereinheit 608 und durch Bewegen der C-förmigen Kanalträgereinheit 604 mit der befestigten ersten und zwei ten Röntgenstrahlenquelle 10 , 20 und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektor 40 , 50 , 60 , 70 entlang den Schaltungsplatinen 120 über die Gleit schienen 612 durchgeführt. In the exporting approximately example in Fig. 8 is a linear scan of the circuit boards by the X-rays 130, 132, 134, 136 by holding the circuit boards 120 a, 120 b, 120 c in a fastened or fixed position on the circuit board support unit 608 and by moving the C-shaped channel carrier unit 604 with the attached first and th two x-ray source 10, 20 and the first, second, third and fourth linear X-ray detector 40, 50, 60, 70 along the circuit boards 120 via the slide rails performed 612th Ein Fachmann wird erkennen, daß die linearen Abtastungen, die somit durch die Ausführungsbeispiele von Fig. 1 und Fig. 8 erzeugt werden, äquivalent sind. One skilled in the art will recognize that the linear samples, which are thus generated by the embodiments of FIG. 1 and FIG. 8, are equivalent.

Claims (9)

1. Abbildungssystem, gekennzeichnet durch 1. An imaging system, characterized by
eine erste Röntgenstrahlenquelle ( 10 ), die auf einer ersten Seite einer longitudinalen Achse (X) des Ab bildungssystems positioniert ist; a first X-ray source (10) disposed on a first side of a longitudinal axis (X) of the ex training system is positioned;
einen ersten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 60 ), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen ( 132 ) aufzufangen, die von der ersten Röntgenstrahlenquelle ( 10 ) in einem ersten Winkel emittiert werden; to collect a first linear X-ray detector (60) positioned X-rays (132) which are from the first X-ray source (10) emits at a first angle;
einen zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 40 ), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen ( 130 ) aufzufangen, die von der ersten Röntgenstrahlenquelle ( 10 ) in einem zweiten Winkel emittiert werden; a second linear X-ray detector (40) positioned to intercept X-rays (130) which are from the first X-ray source (10) emits at a second angle;
eine zweite Röntgenstrahlenquelle ( 20 ), die bezüglich der ersten Röntgenstrahlenquelle ( 10 ) auf einer zweiten Seite der longitudinalen Achse (X) des Abbildungssy stems gegenüber der ersten Seite der longitudinalen Achse (X) des Abbildungssystems positioniert ist; a second X-ray source (20) relative to the first X-ray source (10) on a second side of the longitudinal axis (X) of the Abbildungssy stems opposite the first side of the longitudinal axis (X) of the imaging system is positioned;
einen dritten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 70 ), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen ( 136 ) aufzu fangen, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle ( 20 ) in einem dritten Winkel emittiert werden; to catch aufzu X-rays (136) a third linear X-ray detector (70) which is positioned by the second X-ray source (20) are emitted at a third angle;
einen vierten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 50 ), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen ( 134 ) aufzu fangen, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle ( 20 ) in einem vierten Winkel emittiert werden; to catch aufzu X-rays (134) a fourth linear X-ray detector (50) which is positioned by the second X-ray source (20) are emitted in a fourth angle;
ein lineares Bewegungssystem ( 30 ), das zwischen der er sten und zweiten Röntgenstrahlenquelle ( 10 , 20 ) und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgen strahlendetektor ( 60 , 40 , 70 , 50 ) positioniert ist, wo bei das lineare Bewegungssystem ( 30 ) ferner einen Trä ger ( 80 , 84 ) für ein Testobjekt ( 140 ) aufweist, wobei das lineare Bewegungssystem ( 30 ) konfiguriert ist, um das Testobjekt ( 140 ) entlang der longitudinalen Achse (X) des Abbildungssystems durch die Röntgenstrahlen ( 130 , 132 , 134 , 136 ) zu transportieren, die in dem er sten Winkel, in dem zweiten Winkel, in dem dritten Win kel und in dem vierten Winkel emittiert werden, und, nachdem sie durch das Testobjekt ( 140 ) gelaufen sind, von dem ersten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 60 ), dem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 40 ), dem dritten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 70 ) bzw. dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 50 ) erfaßt werden, wodurch erste, zweite, dr a linear motion system (30) between the he sten and second X-ray source (10, 20) and the first, second, third and fourth linear X-ray detector (60, 40, 70, 50) is positioned, where (in the linear motion system 30) further includes a Trä ger (80, 84) for a test object (140), wherein the linear motion system (30) is configured to generate the test object (140) along the longitudinal axis (X) of the imaging system (by the X-rays 130, 132, 134, transport 136) in which it most angle at the second angle are emitted in the third Win angle and the fourth angle, and after they have passed through the test object (140) from the first linear X-ray detector (60), the second linear X-ray detector (40), the third linear X-ray detector (70) and the fourth linear X-ray detector (50) are detected, whereby first, second, dr itte und vierte Schat tenbildabbildungen ( 360 , 160 , 460 , 260 ) des Testobjekts ( 140 ) gebildet werden; itte and fourth Schat tenbildabbildungen (360, 160, 460, 260) of the test object (140) are formed; und and
ein Steuerungssystem ( 100 ), das mit dem linearen Bewe gungssystem ( 30 ) und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 60 , 40 , 70 , 50 ) verbunden ist, wobei das Steuerungssystem ( 100 ) das lineare Bewegungssystem ( 30 ) und die Bildung der er sten, zweiten, dritten und vierten Schattenbildabbil dungen ( 360 , 160 , 460 , 260 ) regelt, um eine Schicht bildaufnahme-Querschnittsabbildung ( 500 ) einer Schnitt ebene ( 152 , 154 , 156 ) des Testobjekts ( 140 ) zu erzeu gen. a control system (100) which is connected supply system with the linear BEWE (30) and the first, second, third and fourth linear X-ray detector (60, 40, 70, 50), wherein the control system (100), the linear motion system (30) and the formation of he most, second, third and fourth Schattenbildabbil applications (360, 160, 460, 260) regulates to a tomographic imaging cross-section map (500) a cutting plane (152, 154, 156) of the test object (140) to produce.
2. Abbildungssystem, gekennzeichnet durch 2. An imaging system, characterized by
eine erste Röntgenstrahlenquelle ( 10 ), die auf einer ersten Seite einer longitudinalen Achse (X) des Ab bildungssystems positioniert ist; a first X-ray source (10) disposed on a first side of a longitudinal axis (X) of the ex training system is positioned;
eine zweite Röntgenstrahlenquelle ( 20 ), die auf einer zweiten Seite der longitudinalen Achse (X) des Abbildungssystems positioniert ist; a second X-ray source (20) on a second side of the longitudinal axis (X) of the imaging system is positioned;
einen ersten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 60 ), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen ( 132 ) aufzufangen, die von der ersten Röntgenstrahlenquelle ( 10 ) in einem ersten Winkel emittiert werden; to collect a first linear X-ray detector (60) positioned X-rays (132) which are from the first X-ray source (10) emits at a first angle;
einen zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 40 ), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen ( 130 ), die von der ersten Röntgenstrahlenquelle ( 10 ) in einem zweiten Winkel emittiert werden, aufzufangen; a second linear X-ray detector (40) positioned to intercept X-rays (130) which are from the first X-ray source (10) emits at a second angle;
einen dritten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 70 ), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen ( 136 ) aufzu fangen, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle ( 20 ) in einem dritten Winkel emittiert werden; to catch aufzu X-rays (136) a third linear X-ray detector (70) which is positioned by the second X-ray source (20) are emitted at a third angle;
einen vierten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 50 ), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen ( 134 ) aufzu fangen, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle ( 20 ) in einem vierten Winkel emittiert werden; to catch aufzu X-rays (134) a fourth linear X-ray detector (50) which is positioned by the second X-ray source (20) are emitted in a fourth angle;
ein lineares Bewegungssystem ( 604 , 612 ), an dem die er ste und die zweite Röntgenstrahlenquelle ( 10 , 20 ) und der erste, zweite, dritte und vierte lineare Röntgen strahlendetektor ( 60 , 40 , 70 , 50 ) befestigt sind, wobei das lineare Bewegungssystem ( 604 , 612 ) ferner einen Weg aufweist, durch den ein stationäres Testobjekt ( 140 ) durchläuft, wobei das lineare Bewegungssystem ( 604 , 612 ) konfiguriert ist, um die erste und die zweite Röntgenstrahlenquelle ( 10 , 20 ) und den ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 60 , 40 , 70 , 50 ) an dem stationären Testobjekt ( 140 ) derart vorbei zu bewegen, daß die Röntgenstrahlen, die in dem ersten, zweiten, dritten und vierten Winkel ( 132 , 130 , 136 , 134 ) emittiert werden, von dem ersten, zweiten, dritten bzw. vierten linearen Röntgenstrahlen detektor ( 60 , 40 , 70 , 50 ) erfaßt werden, nachdem sie durch das stationäre Testobjekt ( 140 ) gelaufen sind, wodurch eine erste Schattenbildab a linear motion system (604, 612) on which he ste and the second X-ray source (10, 20) and the first, second, third and fourth linear X-ray detector (60, 40, 70, 50) are fixed, said linear movement system (604, 612) further includes a path through which a stationary test object (140) passes, wherein the linear motion system (604, 612) is configured to receive the first and second X-ray source (10, 20) and the first, second , third and fourth linear X-ray detector (60, 40, 70, 50) to the stationary test object (140) in such a way past to move, that the X-rays (in the first, second, third and fourth angles 132, 130, 136, 134 be) emitted are detected by the first, second, third and fourth linear X-ray detector (60, 40, 70, 50), after passing through the stationary test object (140), whereby a first Schattenbildab bildung ( 360 ), eine zweite Schattenbildabbildung ( 160 ), eine dritte Schat tenbildabbildung ( 460 ) und eine vierte Schattenbildab bildung ( 260 ) des stationären Testobjekts ( 140 ) gebil det wird; education (360), a second silhouette image (160), a third Schat tenbildabbildung (460) and a fourth Schattenbildab formation (260) of the stationary test object (140) is gebil det; und and
ein Steuerungssystem ( 100 ), das mit dem linearen Bewe gungssystem ( 604 , 612 ) und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 60 , 40 , 70 , 50 ) verbunden ist, wobei das Steuerungssystem ( 100 ) das lineare Bewegungssystem ( 602 , 612 ) und das Bilden der ersten, zweiten, dritten und vierten Schattenbild abbildungen ( 360 , 160 , 460 , 260 ) steuert, um eine Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildung ( 500 ) einer Schnittebene ( 152 , 154 , 156 ) des stationären Test objekts ( 140 ) zu erzeugen. a control system (100), the supply system with the linear BEWE (604, 612) and the first, second, third and fourth linear X-ray detector (60, 40, 70, 50) is connected, wherein the control system (100), the linear motion system ( 602, 612) and forming the first, second, third and fourth shadow picture images (360, 160, 460, 260) controls a tomographic image cross-section map (500) a cutting plane (152, 154, 156) of the stationary test object ( to produce 140).
3. Abbildungssystem gemäß Anspruch 1 oder 2, das ferner folgende Merkmale aufweist: 3. The imaging system of claim 1 or 2, further comprising:
einen ersten Kollimator ( 34 ), der bezüglich der ersten Röntgenstrahlenquelle ( 10 ) derart positioniert ist, daß der erste Kollimator ( 34 ) konfiguriert ist, um Röntgen strahlen ( 132 ), die von der ersten Röntgenstrahlenquel le ( 10 ) emittiert werden, zu dem ersten linearen Rönt genstrahlendetektor ( 60 ) zu richten, und um Röntgen strahlen, die sich in anderen Richtungen ausbreiten, zu blockieren; a first collimator (34) positioned relative to the first X-ray source (10) such that the first collimator (34) is configured to radiate x-ray (132) emitted le from the first Röntgenstrahlenquel (10), to the to direct the first linear Rönt genstrahlendetektor (60), and radiate to X-rays, which propagate in other directions to block;
einen zweiten Kollimator ( 32 ), der bezüglich der ersten Röntgenstrahlenquelle ( 10 ) derart positioniert ist, daß der zweite Kollimator ( 32 ) konfiguriert ist, um Rönt genstrahlen ( 130 ), die von der ersten Röntgenstrahlen quelle ( 10 ) emittiert werden, zu dem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 40 ) zu richten und um Röntgen strahlen, die sich in anderen Richtungen ausbreiten, zu blockieren; a second collimator (32) which is positioned with respect to the first X-ray source (10) such that the second collimator (32) is configured to Rönt-rays (130) emitted source from the first X-ray beams (10), to the to direct the second linear X-ray detector (40) and radiation at X-rays, which propagate in other directions to block;
einen dritten Kollimator ( 38 ), der bezüglich der zwei ten Röntgenstrahlenquelle ( 20 ) derart positioniert ist, daß der dritte Kollimator ( 38 ) konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen ( 136 ), die von der zweiten Röntgen strahlenquelle ( 20 ) emittiert werden, zu dem dritten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 70 ) zu richten, und um Strahlen, die sich in anderen Richtungen ausbreiten, zu blockieren; a third collimator (38) with respect to the two ten X-ray source (20) positioned such that the third collimator (38) is configured to X-rays (136) emitted radiation source by the second ray (20), to the to judge third linear X-ray detector (70), and to rays that propagate in other directions to block; und and
einen vierten Kollimator ( 36 ), der bezüglich der zwei ten Röntgenstrahlenquelle ( 20 ) derart positioniert ist, daß der vierte Kollimator ( 36 ) konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen ( 134 ), die von der zweiten Röntgen strahlenquelle ( 20 ) emittiert werden, zu dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 50 ) zu richten, und um Röntgenstrahlen, die sich in anderen Richtungen aus breiten, zu blockieren. a fourth collimator (36) with respect to the two ten X-ray source (20) positioned so that the fourth collimator (36) is configured to X-rays (134) emitted radiation source by the second ray (20), to the to judge fourth linear X-ray detector (50), and to X-rays to block in other directions from wide.
4. Abbildungssystem gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem der erste, zweite, dritte und vierte lineare Röntgenstrahlendetektor ( 60 , 40 , 70 , 50 ) ferner durch monolithische, selbst-abtastende, lineare Photodioden arrays gekennzeichnet sind. 4. The imaging system according to claim 1 or 2, wherein the first, second, third and fourth linear X-ray detector (60, 40, 70, 50) are further characterized by monolithic self scanning linear photodiode array.
5. Abbildungssystem gemäß Anspruch 4, ferner gekennzeich net durch ein Röntgenstrahlen-Szintillationsmaterial, das auf dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Photo diodenarray-Röntgenstrahlendetektor aufgebracht ist. 5. An imaging system according to claim 4, further gekennzeich net by an X-ray scintillating material that is deposited on the first, second, third and fourth linear photodiode array X-ray detector.
6. Verfahren zum Erzeugen einer Querschnittsabbildung ( 500 ) eines Objekts ( 140 ), gekennzeichnet durch folgende Schritte: 6. A method for generating a cross sectional image (500) of an object (140), characterized by the following steps:
Bereitstellen einer ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ), die auf einer ersten Seite einer longitudinalen Achse (X) eines linearen Bewegungssystems ( 30 ) posi tioniert ist; Providing a first source of X-rays (10) disposed on a first side of a longitudinal axis (X) of a linear motion system (30) is tioniert posi;
Erfassen von Röntgenstrahlen ( 132 ), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) erzeugt werden, mit ei nem ersten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 60 ), nach dem die Röntgenstrahlen ( 132 ) aus einer ersten Winkel ausrichtung auf das Objekt ( 140 ) aufgetroffen sind und dasselbe durchdrungen haben; Are detecting X-rays (132) from the first source of X-rays (10) are produced with egg nem first linear X-ray detector (60) after the X-rays (132) from a first angular orientation to the object (140) impinged and the same have penetrated;
Erfassen von Röntgenstrahlen ( 130 ), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) erzeugt werden, mit ei nem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 40 ), nachdem die Röntgenstrahlen ( 130 ) aus einer zweiten Winkelausrichtung auf das Objekt ( 140 ) aufgetroffen sind und dasselbe durchdrungen haben; Detecting X-rays (130) from the first source of X-rays (10) are produced with egg nem second linear X-ray detector (40) after the X-rays (130) from a second angular orientation to the object (140) are impinged and the same have penetrated;
Bereitstellen einer zweiten Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ), die bezüglich der ersten Röntgenstrahlenquelle ( 10 ) auf einer zweiten Seite der longitudinalen Achse (X) des linearen Bewegungssystems ( 30 ) positioniert ist; Is positioned to provide a second source of X-rays (20) relative to the first X-ray source (10) on a second side of the longitudinal axis (X) of the linear motion system (30);
Erfassen von Röntgenstrahlen ( 136 ), die durch die zwei te Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) erzeugt werden, mit einem dritten Röntgenstrahlendetektor ( 70 ), nachdem die Röntgenstrahlen ( 136 ) aus einer dritten Winkelausrich tung auf das Objekt ( 140 ) aufgetroffen sind und das selbe durchdrungen haben; Detecting X-rays (136) produced by the two te source of X-rays (20), with a third X-ray detector (70) after the X-rays (136) from a third Winkelausrich processing to the object (140) are impinged and have same penetrated;
Erfassen von Röntgenstrahlen ( 134 ), die durch die zwei te Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) erzeugt werden, mit einem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 50 ), nachdem die Röntgenstrahlen ( 134 ) aus einer vierten Winkelausrichtung auf das Objekt ( 140 ) aufgetroffen sind und dasselbe durchdrungen haben; Detecting X-rays (134) produced by the two te source of X-rays (20), with a fourth linear X-ray detector (50) after the X-rays (134) from a fourth angular orientation of the object (140) are impinged and the same have penetrated;
Bewegen des Objekts ( 140 ) zwischen der ersten und zwei ten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 , 20 ) und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlen detektor ( 60 , 40 , 70 , 50 ) entlang eines im wesentlichen linearen Wegs, der im wesentlichen parallel zu der longitudinalen Achse (X) des linearen Bewegungssystems ( 30 ) ist; Moving the object (140) between the first and two th source of X-rays (10, 20) and the first, second, third and fourth linear X-ray detector (60, 40, 70, 50) along a substantially linear path, which in the substantially parallel to the longitudinal axis (X) of the linear motion system (30);
Erzeugen einer ersten Röntgenstrahlen-Schattenbildab bildung ( 360 ) des Objekts ( 140 ) mit den Röntgenstrah len, die von dem ersten linearen Röntgenstrahlendetek tor ( 60 ) erfaßt werden, während das Objekt ( 140 ) den im wesentlichen linearen Weg zwischen der ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) und dem ersten linearen Rönt genstrahlendetektor ( 60 ) durchquert; Generating a first X-ray Schattenbildab formation (360) of the object (140) with the parts that X-Ray, which are detected by the first linear Röntgenstrahlendetek gate (60) while the object (140) the substantially linear path between said first source of X-rays (10) and the first linear Rönt genstrahlendetektor (60) passes through;
Erzeugen einer zweiten Röntgenstrahlen-Schattenbildab bildung ( 160 ) des Objekts ( 140 ) mit den Röntgenstrah len, die von dem zweiten linearen Röntgenstrahlendetek tor ( 40 ) erfaßt werden, während das Objekt ( 140 ) den im wesentlichen linearen Weg zwischen der ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) und dem zweiten linearen Rönt genstrahlendetektor ( 40 ) durchquert; Generating a second X-ray Schattenbildab formation (160) of the object (140) with the parts that X-Ray, the gate of the second linear Röntgenstrahlendetek (40) are detected while the object (140) the substantially linear path between said first source of X-rays (10) and the second linear Rönt genstrahlendetektor (40) passes through;
Erzeugen einer dritten Röntgenstrahlen-Schattenbildab bildung ( 460 ) des Objekts ( 140 ) mit den Röntgenstrah len, die von dem dritten linearen Röntgenstrahlendetek tor ( 70 ) erfaßt werden, während das Objekt ( 140 ) den im wesentlichen linearen Weg zwischen der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) und dem dritten linearen Rönt genstrahlendetektor ( 70 ) durchquert; Generating a third X-ray Schattenbildab formation (460) of the object (140) with the parts that X-Ray, which are detected gate of the third linear Röntgenstrahlendetek (70) while the object (140) the substantially linear path between the second source of X-rays (20) and the third linear Rönt genstrahlendetektor (70) passes through;
Erzeugen einer vierten Röntgenstrahlen-Schattenbildab bildung ( 260 ) des Objekts ( 140 ) mit den Röntgenstrah len, die von dem vierten linearen Röntgenstrahlendetek tor ( 50 ) erfaßt werden, während das Objekt ( 140 ) den im wesentlichen linearen Weg zwischen der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) und dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 50 ) durchquert; Generating a fourth X-ray Schattenbildab formation (260) of the object (140) with the parts that X-Ray, which are detected gate of the fourth linear Röntgenstrahlendetek (50) while the object (140) the substantially linear path between the second source of X-rays (20) and the fourth linear X-ray detector (50) passes through; und and
Kombinieren der ersten, der zweiten, der dritten und der vierten Röntgenstrahlen-Schattenbildabbildung ( 360 , 160 , 460 , 260 ) des Objekts ( 140 ), um eine Querschnitts abbildung ( 500 ) des Objekts ( 140 ) zu bilden. Combining the first, second, third and fourth X-ray shadow picture image (360, 160, 460, 260) of the object (140) to a cross-sectional illustration (500) of the object (140) to be formed.
7. Verfahren zum Erzeugen einer Querschnittsabbildung ( 500 ) eines stationären Objekts ( 140 ) gekennzeichnet durch folgende Schritte: 7. A method for generating a cross sectional image (500) of a stationary object (140) characterized by the following steps:
Bereitstellen einer ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ), die auf einer ersten Seite einer longitudinalen Achse (X) eines linearen Bewegungssystems ( 604 , 612 ) po sitioniert ist; Providing a first source of X-rays (10) disposed on a first side of a longitudinal axis (X) of a linear motor system (604, 612) is po sitioned;
Erfassen von Röntgenstrahlen ( 132 ), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) erzeugt werden, mit ei nem ersten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 60 ), nach dem die Röntgenstrahlen ( 132 ) aus einer ersten Winkel ausrichtung auf das stationäre Objekt ( 140 ) aufgetrof fen sind und dasselbe durchdrungen haben; Detecting X-rays (132) from the first source of X-rays (10) are produced with egg nem first linear X-ray detector (60) after the X-rays (132) from a first angular orientation to the stationary object (140) aufgetrof fen are and have penetrated the same;
Erfassen von Röntgenstrahlen ( 130 ), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) erzeugt werden, mit ei nem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 40 ), nachdem die Röntgenstrahlen ( 130 ) aus einer zweiten Winkelausrichtung auf das stationäre Objekt ( 140 ) auf getroffen sind und dasselbe durchdrungen haben; Are detecting X-rays (130) from the first source of X-rays (10) are produced with egg nem second linear X-ray detector (40) after the X-rays (130) from a second angular orientation to the stationary object (140) to hit and the same have penetrated;
Bereitstellen einer zweiten Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ), die auf einer zweiten Seite der longitudinalen Achse (X) des linearen Bewegungssystems ( 604 , 612 ) posi tioniert ist; Providing a second source of X-rays (20) on a second side of the longitudinal axis (X) of the linear motion system (604, 612) is tioniert posi;
Erfassen von Röntgenstrahlen ( 136 ), die durch die zwei te Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) erzeugt werden, mit einem dritten Röntgenstrahlendetektor ( 70 ), nachdem die Röntgenstrahlen ( 136 ) aus einer dritten Winkelausrich tung auf das Objekt ( 140 ) aufgetroffen sind und dassel be durchdrungen haben; Detecting X-rays (136) produced by the two te source of X-rays (20), with a third X-ray detector (70) after the X-rays (136) from a third Winkelausrich processing to the object (140) are impinged and dassel have permeated be;
Erfassen von Röntgenstrahlen ( 134 ), die durch die zwei te Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) erzeugt werden, mit einem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 50 ), nachdem die Röntgenstrahlen ( 134 ) aus einer vierten Winkelausrichtung auf das Objekt ( 140 ) aufgetroffen sind und dasselbe durchdrungen haben; Detecting X-rays (134) produced by the two te source of X-rays (20), with a fourth linear X-ray detector (50) after the X-rays (134) from a fourth angular orientation of the object (140) are impinged and the same have penetrated;
Bewegen der ersten und der zweiten Quelle von Röntgen strahlen ( 10 , 20 ) und des ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektors ( 60 , 40 , 70 , 50 ) entlang eines im wesentlichen linearen Wegs an dem stationären Objekt ( 140 ) vorbei, derart, daß die Rönt genstrahlen ( 132 , 130 , 136 , 134 ) der ersten und der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 , 20 ) das sta tionäre Objekt ( 140 ) durchdringen und von dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlen detektor ( 60 , 40 ) erfaßt werden; Moving the first and the second source of X-rays (10, 20) and the first, second, third and fourth linear X-ray detector (60, 40, 70, 50) along a substantially linear path to the stationary object (140) by, such that the Rönt-rays (132, 130, 136, 134) of the first and the second source of X-rays (10, 20) the sta tionary object permeate (140) and detector of the first, second, third and fourth linear X-rays ( 60, 40) are detected;
Erzeugen einer ersten Röntgenstrahlen-Schattenbildab bildung ( 360 ) des stationären Objekts ( 140 ) mit den Röntgenstrahlen, die von dem ersten linearen Röntgen strahlendetektor ( 60 ) erfaßt werden, während der erste lineare Röntgenstrahlendetektor ( 60 ) und die erste Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) den im wesentlichen li nearen Weg an dem stationären Objekt ( 140 ) vorbei durchqueren; Generating a first X-ray Schattenbildab formation (360) of the stationary object (140) with the X-rays that are detected by the first linear X-ray detector (60), while the first linear X-ray detector (60) and the first source of X-rays (10) traverse the substantially li-linear way to the stationary object (140) pass;
Erzeugen einer zweiten Röntgenstrahlen-Schattenbildab bildung ( 160 ) des stationären Objekts ( 140 ) mit den Röntgenstrahlen, die von dem zweiten linearen Röntgen strahlendetektor ( 40 ) erfaßt werden, während der zweite lineare Röntgenstrahlendetektor ( 40 ) und die erste Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) den im wesentlichen li nearen Weg an dem stationären Objekt ( 140 ) vorbei durchqueren; Generating a second X-ray Schattenbildab formation (160) of the stationary object (140) with the X-rays, the radiation detector of the second linear X-ray (40) are detected, while the second linear X-ray detector (40) and the first source of X-rays (10) traverse the substantially li-linear way to the stationary object (140) pass;
Erzeugen einer dritten Röntgenstrahlen-Schattenbildab bildung ( 460 ) des Objekts ( 140 ) mit den Röntgenstrah len, die von dem dritten linearen Röntgenstrahlendetek tor ( 70 ) erfaßt werden, während der dritte lineare Röntgenstrahlendetektor ( 70 ) und die zweite Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) den im wesentlichen linearen Weg an dem stationären Objekt ( 140 ) vorbei durchqueren; Generating a third X-ray Schattenbildab formation (460) of the object (140) with the parts that X-Ray, which are detected gate of the third linear Röntgenstrahlendetek (70), while the third linear X-ray detector (70) and the second source of X-rays (20) traverse the essentially linear path on the stationary object (140) pass;
Erzeugen einer vierten Röntgenstrahlen-Schattenbildab bildung ( 260 ) des Objekts ( 140 ) mit den Röntgenstrah len, die von dem vierten linearen Röntgenstrahlendetek tor ( 50 ) erfaßt werden, während der vierte lineare Röntgenstrahlendetektor ( 50 ) und die zweite Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) den im wesentlichen linearen Weg an dem stationären Objekt ( 140 ) vorbei durchqueren; Generating a fourth X-ray Schattenbildab formation (260) of the object (140) with the parts that X-Ray, which are detected gate of the fourth linear Röntgenstrahlendetek (50), while the fourth linear X-ray detector (50) and the second source of X-rays (20) traverse the essentially linear path on the stationary object (140) pass; und and
Kombinieren der ersten, der zweiten, der dritten und der vierten Röntgenstrahlen-Schattenbildabbildung ( 360 , 160 , 460 , 260 ) des stationären Objekts ( 140 ), um eine Querschnittsabbildung ( 500 ) des stationären Objekts ( 140 ) zu bilden. Combining the first, second, third and fourth X-ray shadow picture image (360, 160, 460, 260) of the stationary object (140) to form a cross-sectional image (500) of the stationary object (140).
8. Verfahren gemäß Anspruch 6 oder 7, das ferner durch folgende Schritte gekennzeichnet ist: 8. The method according to claim 6 or 7, further characterized by the steps of:
Ausrichten der ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) mit einem ersten Kollimator ( 34 ), der konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen ( 132 ), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) emittiert werden, zu dem ersten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 60 ) zu richten, und um Röntgenstrahlen, die sich in anderen Richtungen aus breiten, zu blockieren; Aligning the first source of X-rays (10) having a first collimator (34) is configured to X-rays (132) from the first source of X-rays (10) are emitted to direct to the first linear X-ray detector (60) and to X-rays to block in other directions of wide;
Ausrichten der ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) mit einem zweiten Kollimator ( 32 ), der konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen ( 130 ), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen ( 10 ) emittiert werden, zu dem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 40 ) zu rich ten, und um Röntgenstrahlen, die sich in anderen Rich tungen ausbreiten, zu blockieren; Aligning the first source of X-rays (10) with a second collimator (32) is configured to X-rays (130) from the first source of X-rays (10) are emitted to the second linear X-ray detector (40) to rich th, and spread to X-rays, the obligations in other rich block;
Ausrichten der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) mit einem dritten Kollimator ( 38 ), der konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen ( 136 ), die von der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) emittiert werden, zu dem dritten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 70 ) zu richten, und um Röntgenstrahlen, die sich in anderen Richtungen ausbreiten, zu blockieren; Aligning the second source of X-rays (20) having a third collimator (38) that is configured to direct x-rays (136) emitted from the second source of X-rays (20) to the third linear X-ray detector (70) x-rays, which propagate in other directions to block, and; und and
Ausrichten der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) mit einem vierten Kollimator ( 36 ) der konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen ( 134 ), die von der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen ( 20 ) emittiert werden, zu dem vier ten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 50 ) zu richten, und um Röntgenstrahlen, die sich in anderen Richtungen ausbreiten, zu blockieren. Aligning the second source of X-rays (20) having a fourth collimator (36) is configured to direct x-rays (134) emitted from the second source of X-rays (20) to the four th linear X-ray detector (50) and x-rays, which propagate in other directions to block.
9. Verfahren gemäß Anspruch 6 oder 7, bei dem die Schritte des Erfassens von Röntgenstrahlen mit dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektor ( 60 , 40 , 70 , 50 ) ferner den Schritt des Bereitstellens von Röntgenstrahlen-empfind lichen, monolithischen, selbst-abtastenden, linearen Photodiodenarrays aufweisen. 9. The method according to claim 6 or 7, wherein the steps of detecting X-rays having the first, second, third and fourth linear X-ray detector (60, 40, 70, 50) further union the step of providing an X-ray SENS, monolithic, have self-scanning linear photodiode array.
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