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ink-jet head

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DE19517969C2
DE19517969C2 DE1995117969 DE19517969A DE19517969C2 DE 19517969 C2 DE19517969 C2 DE 19517969C2 DE 1995117969 DE1995117969 DE 1995117969 DE 19517969 A DE19517969 A DE 19517969A DE 19517969 C2 DE19517969 C2 DE 19517969C2
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Tetsuya Inui
Hirotsugu Matoba
Susumu Hirata
Yorishige Ishii
Shigeo Terashima
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    • B41J2002/14346Ejection by pressure produced by thermal deformation of ink chamber, e.g. buckling

Description

Die Erfindung betrifft einen Tintenstrahlkopf, in dem mittels eines sich aus beulenden Körpers Druck auf einen Behälter füllende Tinte ausgeübt wird, wodurch Tintentröpfchen aus dem Behälter ausgestoßen werden. The invention relates to an ink jet head in which ink filling is by means of a bump-out ends body pressure to a container applied, whereby ink droplets are ejected from the container.

Aus JP 2-30543 A ist ein Tintenstrahlkopf zum Ausstoßen von Tinte aus einer Tintenausstoßöffnung einer Tintenkammer bekannt, bei dem der Ausstoß druck mittels eines sich ausbeulenden Körpers auf die Tinte ausgeübt wird. From JP 2-30543 A, an ink jet head for ejecting ink from an ink ejection port of an ink chamber is known in which the discharge pressure is applied to the ink by means of a bulging body. Ein in der Tintenkammer angebrachter Beulkörper beult infolge einer in Längsrichtung wirkenden Druckkraft aus, wodurch ein Druck innerhalb der Tintenkammer erzeugt wird, der zum Ausstoß von Tinte durch die Tintenaus stoßöffnung führt. A sensor mounted in the ink chamber Beulkörper bulges due to a force acting in the longitudinal direction of the pressure force, whereby a pressure inside the ink chamber is produced, which leads to the ejection of ink through the opening Tintenaus shock. Der Beulkörper ist gegenüber der Tintenausstoßöffnung angeordnet. The Beulkörper is disposed opposite to the ink ejection port.

In DE 24 44 517 C3 wird ein Tintenspritz-Schreibwerk für einen Bildtelegra phen beschrieben. In DE 24 44 517 C3 an ink jet-recording mechanism for a Bildtelegra is described phen. Ein Piezokristall ist über einen elektrischen Impuls beauf schlagbar, worauf er sich ausdehnt und eine Durchbiegung einer schwin gungsfähigen Fläche erzeugt. A piezoelectric crystal is beauf beatable via an electrical pulse, whereupon it expands and produces a deflection of a supply oscillations capable surface. Bei jeder Durchbiegung der schwingungsfähigen Fläche wird ein Tintentröpfchen aus einer Auslaßdüse gestoßen. In each deflection of the oscillatory surface an ink droplet is ejected from an outlet nozzle. Zur Beein flussung der Tröpfchengröße sind zwei Piezokristalle vorgesehen, die unab hängig voneinander beaufschlagbar sind. For embedding flussung of droplet size two piezoelectric crystals are provided, which are inde pendent acted upon each other.

In der US 5,105,209 ist ein Tintenstrahlkopf beschrieben, bei dem ein Piezo element in der Nähe und gegenüber einer Tintenausstoßöffnung im Inneren ei ner Tintenkammer angeordet ist. In US 5,105,209 an ink jet head is described wherein a piezo ei ner ink chamber angeordet element near and opposite an ink ejection port inside.

Obwohl der auf die Tinte ausgeübte Ausstoßdruck bei Tintenstrahlköpfen die ser Art relativ hoch ist, sind weitere Verbesserungen hinsichtlich des Aus stoßdrucks und einer Verringerung der Größe des Tintenstrahlkopfes erfor derlich. Although the discharge pressure applied to the ink in the ink-jet heads ser type is relatively high, further improvements in the off are impact pressure and erfor sary a reduction in the size of the ink jet head.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Tintenstrahlkopf anzugeben, der trotz kleiner Größe mittels einer Beuleinrichtung als Tintenausstoßdruck- Erzeuger einen hohen Tintenausstoßdruck erzeugen kann. The object underlying the invention is to provide an ink jet head which can generate as Tintenausstoßdruck- generator a high ink discharge pressure in spite of small size by means of a Beuleinrichtung.

Die Aufgabe ist durch die Lehre des Patentanspruchs 1 gelöst. The object is solved by the teaching of patent claim 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind den Unteransprüchen zu entnehmen. Advantageous embodiments are given in the subclaims.

Der erfindungsgemäße Tintenstrahlkopf weist im Inneren einer Tintenkammer mehrere sich ausbeulende Beulkörper auf. The ink jet head according to the invention comprises in the interior of an ink chamber on a plurality of bulging Beulkörper. Der Beulkörper ist ein Bauelement, das durch Anwenden einer vorgegebenen Kompressionsbelastung ausgebeult wird. The Beulkörper is a component which is bulged by applying a predetermined compressive load. Dadurch, daß einer der Beulkörper in der Tintenkammer so befestigt ist, daß er sich über eine Tintenzufuhröffnung erstreckt, durch die frische Tinte aus einem Vorratstank zuführbar ist, kann sich der beim Ausbeulen des Beu lelements in der Tintenkammer entstehende Druck nicht über die Tintenzu führöffnung entspannen, wodurch der Druckverlust minimierbar ist. Characterized in that one of the Beulkörper is mounted in the ink chamber such that it covers an ink supply port, can be fed through the fresh ink from a storage tank, the resultant in the ink chamber during the bulging of the Beu lelements pressure can not-opening relax about the Tintenzu , whereby the pressure loss can be minimized.

Bei diesem Tintenstrahlkopf sind mehrere sich ausbeulende Körper im Innen raum zwischen einem Satz aus einer Tintenausstoßöffnung und einer Tinten zuführöffnung vorhanden. In this ink-jet head a plurality of bulging body in the indoor space are provided between a set of an ink ejection orifice and an ink supply port. An jedem der sich ausbeulenden Körper wird in dessen Längsrichtung durch eine Ausbeuleinheit eine Kompressionskraft an gelegt, woraufhin die Beulkörper in Richtung ihrer Dicke ausbeulen. At each of the bulging body a compressive force is applied to in the longitudinal direction thereof by a Ausbeuleinheit, whereupon the Beulkörper bulge in the direction of its thickness. Das heißt, daß dann, wenn mehrere Beulkörper ausgebeult werden, das Ausmaß der Auslenkung der mehreren Beulkörper in ihrer Längsrichtung in eine sol che in ihrer Dickenrichtung umgesetzt wird. That is, when a plurality of Beulkörper be bulged, the amount of deflection of said plurality of Beulkörper in its longitudinal direction in a sol che is reacted in its thickness direction. Bei einem derartigen Ausbeulen der mehreren sich ausbeulenden Körper, wie vorste hend genannt, kann selbst dann, wenn das Ausmaß der Auslen kung in ihrer Längsrichtung klein ist, dieses kleine Ausmaß der Auslenkung in eine große Auslenkung in Richtung ihrer Dicke umgesetzt werden. In such a bulging of the plurality of bulging body as vorste called basis, even if the extent of Auslen effect in its longitudinal direction, this small amount of deflection in a large deflection is small, are reacted in the direction of its thickness. Demgemäß kann das Ausüben hohen Drucks auf Tinte, die den Innenraum einer Kammer ausfüllt, dadurch erzielt werden, daß mehrere sich ausbeulende Körper angeordnet werden, wie vorstehend genannt. Accordingly, exerting high pressure on the ink that fills the interior of a chamber can be achieved in that a plurality of bulging body are arranged as mentioned above. Im Ergebnis kann ein hoher Tintenausstoßdruck erzeugt werden. As a result, a high ink ejection pressure can be generated. Es ist zu be achten, daß eine Verringerung der Größe eines sich ausbeu lenden Körpers erzielt werden kann, da selbst dann, wenn dessen Größe klein ist, eine große, vom Ausbeulvorgang her rührende Auslenkung erzielt werden kann. It is the eighth to be that a reduction in the size of a sirloin is ausbeu body can be achieved, since even if the size is small, a large, touching the bulging process ago deflection can be achieved. Ferner können meh rere sich ausbeulende Körper dadurch ausgebeult werden, daß lediglich beide Enden der mehreren sich ausbeulenden Körper fixiert werden. Further meh can eral bulging body thereby be bulged, that only both ends of the plurality of bulging body to be fixed. So wird der sich ausbeulende Körper relativ einfach. So which bulging body is relatively easy. Demgemäß kann die Größe dieses sich ausbeulenden Körpers leicht verringert werden. Accordingly the size of bulging body can easily be reduced. Im Ergebnis kann ein Tin tenstrahlkopf geschaffen werden, der hohen Tintenausstoß druck erzeugen kann, während seine Größe klein ist. As a result, a Tin can be created tenstrahlkopf, high ink ejection can generate pressure, while its size is small.

Die Merkmale der Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausgestaltungen wer den aus der folgenden detaillierten Beschreibung in Verbindung mit den bei gefügten Zeichnungen deutlicher. The features of the invention and further advantageous embodiments whoever the apparent from the following detailed description in conjunction with the attached drawings in.

Fig. 1 ist eine Schnittansicht durch einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Aus führungsbeispiel der Erfindung. Fig. 1 is a sectional view through an ink jet head in accordance with an off operation example of the invention.

Fig. 2 ist eine Schnittansicht, die einen Betriebszustand des in Fig. 1 darge stellten Tintenstrahlkopfs veranschaulicht. Fig. 2 is a sectional view illustrating an operating state of the set in Fig. 1 Darge ink jet head.

Fig. 3 ist eine perspektivische Explosionsansicht, die ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen integrierten Tintenstrahlkopfs zeigt. Fig. 3 is an exploded perspective view showing an embodiment of an integrated ink jet head according to the invention.

Fig. 4 ist eine Draufsicht auf eine Anordnung eines Ab standshalters und sich ausbeulender Körper in Fig. 3. Fig. 4 is a plan view of an arrangement of an Ab article holder and ausbeulender body in Fig. 3.

Fig. 5 ist eine Schnittansicht entlang der Linie XX in Fig. 4. Fig. 5 is a sectional view taken along line XX in Fig. 4.

Fig. 6 bis 10 sind Schnittansichten, die Schritt für Schritt ein Herstellverfahren für eine Kammer gemäß der Erfindung veranschaulichen. FIGS. 6 to 10 are sectional views illustrating step by step a method of manufacturing a chamber according to the invention.

Fig. 11A ist eine Seitenansicht, die einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt. FIG. 11A is a side view showing an ink jet head according to an embodiment of the invention.

Fig. 11B ist eine Schnittansicht entlang der Linie BB in Fig. 11A. FIG. 11B is a sectional view taken along line BB in Fig. 11A.

Fig. 12 ist eine Schnittansicht, die einen Tintenstrahlkopf gemäß einem Aus führungsbeispiel der Erfindung zeigt. Fig. 12 is a sectional view, the guide, for example an ink jet head according to any one from the invention.

Zu den Ausführungsbeispielen der Erfindung gehören zwei Typen von Tinten strahlköpfen, das heißt einerseits ein Typ mit einer einzelnen Tintenausstoß öffnung und mehreren sich ausbeulenden Körpern, und andererseits ein Typ mit mehreren Tintenausstoßöffnungen und mehreren sich ausbeulenden Kör pern. Among the embodiments of the invention includes two types of ink jet heads, that is, on the one hand of a type having a single ink ejection opening and a plurality of bulging bodies, and on the other hand, a type having a plurality of ink discharge ports and a plurality of bulging Kör pern. Hierzu werden Beispiele in Verbindung mit den beigefügten Zeichnun gen beschrieben. To this end, taken in conjunction with the accompanying Zeichnun describes gen.

Der in Fig. 1 dargestellte Tintenstrahlkopf 10 ist wie folgt aufgebaut. The ink jet head 10 shown in FIG. 1 is constructed as follows. Zwei sich ausbeulende Körper 1 und 1 sind an der Innenseite einer Kammer 5 mit tels dazwischenliegenden Befestigungsteilen 3 und 3 befestigt. Two bulging body 1 and 1 are fastened to the inside of a chamber 5 with means of intermediate fixing parts 3 and 3. FIG. Eine Tinten ausstoßöfnung 5 a und eine Tintenzuführöffnung 5 b sind an der Kammer 5 ausgebildet. An ink ausstoßöfnung 5 a and an ink supply port 5b are formed on the chamber. 5 Die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 sind über einen Schalter an einem Ende mit einer Spannungsversorgung 9 verbunden, und sie sind am anderen Ende geerdet. The two bulging body 1 and 1 are connected via a switch at one end to a power supply 9, and they are grounded at the other end. Die Tintenausstoßöffnung 5 a ist in einer Wand der Kammer 5 ausgebildet, die in der Richtung rechtwinklig zur Ausbeulrich tung der sich ausbeulenden Körper 1 und 1 liegt (Richtung, in der sich die sich ausbeulenden Körper ausbeulen). The ink ejection port 5a is formed in a wall of the chamber 5, which is located in the direction perpendicular to processing Ausbeulrich the bulging body 1 and 1 (direction in which the bulging body bulge). Genauer gesagt, beinhaltet die Kammer 5 einen ersten und einen zweiten Innenflächenabschnitt, die einander zuge wandt sind und an denen die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 einander gegenüberstehend befestigt sind. More specifically, the chamber 5 comprises a first and a second inner surface portion which are supplied Wandt each other and at which the two bulging bodies 1 and 1 is fixed opposite to each other. Außerdem verfügt die Kammer 5 über einen dritten Innenseitenabschnitt, der sich von den Umfangskantenabschnitten des ersten und des zweiten Innenflächenabschnitts in derjenigen Richtung er streckt, in der die sich ausbeulenden Körper 1 und 1 ausbeulen, und er ver bindet den ersten und den zweiten Innenflächenabschnitt, die einander gegen überstehen, miteinander. Furthermore, the chamber 5 has a third inner side portion of the peripheral edge portions of the first and second inner surface portion in the direction it extends, in which the bulging body 1 and 1 buckle, and he ver binds the first and the second inner surface portion, which facing each other, with each other. In diesem dritten Innenflächenabschnitt ist die Tintenausstoßöffnung 5 a ausgebildet. In this third inner surface portion, the ink discharge port 5a is formed. Eine Tintenzuführöffnung 5 b ist entgegengesetzt zu derjenigen Richtung angeordnet, in der sich der sich ausbeulende Körper 1 verformt (entgegengesetzt zur Richtung, in der sich der sich ausbeulende Körper 1 ausbeult; das heißt hinter dem sich aus beulenden Körper 1 ). An ink supply port 5 b is arranged opposite to the direction in which the body is bulging deformed 1 (opposite to the direction in which bulging body 1 bulges, that is behind the bump-off ends body 1). Der sich ausbeulende Körper 1 ist mittels eines Befe stigungsteils 3 an derselben Innenfläche befestigt, in der die Tintenzu führöffnung 5 b vorhanden ist, und die Befestigungsteile 3 liegen so, daß sie die Tintenzuführöffnung 5 b zwischen sich einbetten. Which bulging body 1 is fixed by means of a BEFE stigungsteils 3 on the same inner surface, in which the Tintenzu insertion opening 5 b is present, and the fixing members 3 are located so as to embed the ink supply port 5 b therebetween. Dadurch er streckt sich der sich ausbeulende Körper 1 über die Tintenzuführöffnung 5 b. Thus it extends to the bulging body 1 via the ink supply port 5 b. Der sich ausbeulende Körper 1 , der mittels der Befestigungsteile 3 wie vorstehend beschrieben befestigt ist, beult sich in derjenigen Richtung aus, die von der Innenwand wegzeigt, an der er befestigt ist, das heißt in der Richtung von der Tintenzuführöffnung 5 b weg. Which bulging body 1, which is attached as described above by means of the fixing members 3, bulges out in the direction which faces away from the inner wall to which it is attached, that is, in the direction away from the ink supply port 5 b. So kann verhindert werden, daß der durch die Verformung des sich ausbeulenden Körpers 1 auf die Tinte 100 ausgeübte Druck zu einem Auslecken von Tinte aus der Tintenzuführöffnung 5 b führt. Thus, it can be prevented that the pressure exerted by the deformation of the bulging body 1 to the ink 100 to a leakage of ink from the ink supply port 5 b leads. Demgemäß können Energieverluste beim Tintenausstoß verringert werden, was bedeutet, daß Tinte wirkungsvoller ausgestoßen werden kann. Accordingly, energy loss can be reduced in ink ejection, meaning that ink can be ejected effectively.

Vorzugsweise bestehen die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 aus leitendem Material, das elastisch verformt werden kann. Preferably, the two bulging bodies are 1 and 1 of conductive material that can be elastically deformed. Genauer gesagt, bestehen die sich ausbeulenden Körper 1 und 1 aus einem Material wie Metall oder dergleichen. Specifically, there are the bulging body 1 and 1 made of a material such as metal or the like. Aus serdem haben die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 vor zugsweise die Form eines Bands. From Serdem the two bulging body have one and one before preferably in the form of a tape. Ein Paar Elektroden 1 a und 1 b zum Zuführen von Strom sind an den beiden Enden der je weiligen sich ausbeulenden Körper 1 und 1 vorhanden. A pair of electrodes 1 a and 1 b for supplying current are provided at both ends of each weiligen bulging body 1 and the first Eine Elektrode 1 a kann über einen Schalter mit einer Spannungs versorgung 9 verbunden werden. An electrode 1 a can via a switch to a voltage supply 9 are connected. Das heißt, daß durch Öffnen oder Schließen des Schalters bestimmt werden kann, ob die eine Elektrode 1 a und die Spannungsversorgung 9 miteinander verbunden oder voneinander getrennt werden. That is, it can be determined by opening or closing the switch, if one of the electrodes 1 a and the power supply 9 connected to each other or be separated. Die andere Elek trode 1 b ist geerdet. The other Elek trode 1b is grounded.

Im Betrieb des Tintenstrahlkopfs 10 des ersten Ausführungs beispiels wird zunächst Tinte 100 von der Tintenzuführöff nung 5 b zugeführt. In operation of the ink jet head 10 of the first example of execution ink 100 is first dried from Tintenzuführöff 5 b, respectively. So wird ein Behälter mit Tinte 100 ge füllt und die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 werden in Tinte 100 eingetaucht. Thus, a container with ink is filled ge 100 and the two bulging body 1 and 1 are immersed in ink 100th

Wenn in diesem Zustand der Schalter geschlossen wird, fließt Strom durch die sich ausbeulenden Körper 1 und 1 , und diese werden durch die mittels des Widerstands der Körper erzeug te Wärme erwärmt, wodurch sie sich thermisch ausdehnen. If it is concluded in this state of the switches, current flows through the bulging body 1 and 1, and these are heated by the erzeug the body by means of the resistor te heat, so they thermally expand.

Da jedoch, wie es in Fig. 1 dargestellt ist, die jeweiligen beiden Enden der sich ausbeulenden Körper 1 und 1 mittels der Befestigungs teile 3 und 3 an der Kammer 5 befestigt sind, können sie durch die Expansion nicht verformt werden. However, as shown in Fig. 1, the respective both ends of the bulging body 1 and 1 by means of the mounting parts 3 and 3 are attached to the chamber 5, they can not be deformed by the expansion. Demgemäß wirkt auf beide sich ausbeulende Körper 1 und 1 von ihren beiden Längsenden her eine Kompressionskraft P 1 in der durch einen Pfeil F 1 veranschaulichten Richtung, wodurch elastische Energie eingespeichert wird. Accordingly acts on both located bulging body 1 and 1 of its two longitudinal ends thereof, a compression force P 1 in the illustrated by an arrow F 1 direction, thereby elastic energy is stored. Wenn diese Kompressionskraft P 1 die Ausbeulbelastung der zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 übersteigt, werden diese auf sol che Weise ausgebeult, wie es in Fig. 2 dargestellt ist. If this compressive force P 1 exceeds the Ausbeulbelastung the two bulging bodies 1 and 1, they are bulged on sol che manner, as shown in Fig. 2.

Wenn die zwei sich ausbeulenden Körper 1 und 1 gemäß Fig. 2 ausgebeult sind, wirkt Druck auf die Tinte 100 , die den Innenraum der Kammer 5 aus füllt. When the two bodies are bulging bulged 1 and 1 of FIG. 2, acts pressure to the ink 100 which fills the interior of the chamber 5 from. Da zwei sich ausbeulende Körper 1 und 1 einander gegenüberstehend vorhanden sind, kann Druck wirkungsvoll auf die Tinte 100 ausgeübt werden. Since two bulging body 1 and 1 are opposite to each other exist, pressure can be efficiently applied to the ink 100th Dieser auf die Tinte 100 ausgeübte Druck pflanzt sich durch diese fort, wo durch Tinte aus der Tintenausstoßöffnung 5 a aus dem Tintenstrahlkopf 10 herausgedrückt wird. This applied to the ink 100 pressure propagates through this, where it is pushed out of the ink jet head 10 with ink from the ink discharge port 5 a. So wird ein Tintentröpfchen 100 a vom Tintenstrahlkopf 10 nach außen ausgestoßen. Thus, an ink droplet 100a from the ink jet head 10 is discharged to the outside. Dabei kann das Tintentröpfchen 100 a wirkungs voller ausgestoßen werden, wenn die Tintenausstoßöffnung 5 a in derjenigen Wand (dem dritten Innenflächenabschnitt) vorhanden ist, die die Umfangskan tenabschnitte der zwei Innenflächenabschnitte miteinander verbindet, an de nen die sich ausbeulenden Körper 1 und 1 ausgebildet sind. Here, the ink droplets 100A are response ejected full when the ink discharge port 5 is present a in those wall (the third inner surface portion) tenabschnitte the Umfangskan connects the two inner surface portions to each other, to de NEN the bulging body 1 are formed and the first Darüber hinaus kann sich auf die Tinte 100 ausgeübter Druck wirkungvoller zur Tintenaus stoßöffnung 5 a ausbreiten, wenn zwei sich ausbeulende Körper 1 und 1 so vorhanden sind, daß sie gleich weit von der Tintenausstoßöffnung 5 a entfernt sind. Moreover, pressure applied to the ink 100 pressure can effectively push opening for Tintenaus 5 a spread when two bulging body are provided so 1 and 1 that they are equidistant from the ink discharge port 5 a. Demgemäß kann ein Tintentröpfchen 100 a wirkungsvoller ausgestoßen werden. Accordingly, an ink droplet 100 can be a more effective ejected. In dieser Hinsicht gilt dasselbe für die anderen Ausführungsbeispiele, die noch beschrieben werden. In this regard, the same applies to the other embodiments, to be described. Mittels des wie vorstehend beschrieben ausge stoßenen Tintentröpfchens 100 a wird ein Druckvorgang auf der Oberfläche ei nes Blatts ausgeführt. By means of the described above ejected ink droplet 100a is executed, a printing operation on the surface of egg nes sheet.

Wie in den Fig. 3 bis 5 dargestellt, verfügt ein erfindungsgemäßer inte grierter Tintenstrahlkopf 20 über einen Tintenkammerdeckel 12 , einen Ab standshalter 14 sowie Kammern 15 a und 15 b. 3 through 5 as shown in Figs., Has an inventive inte grated ink jet head 20 via an ink chamber lid 12, a From spacers 14 and chambers 15 a and 15 b.

Der Abstandshalter 14 besteht z. The spacer 14 consists z. B. aus einer Platte aus rostfreiem Stahl mit einer Dicke von 10 bis 50 µm. Example, from a stainless steel plate having a thickness of 10 to 50 microns. In ihm sind mehrere durch ihn hindurchgehen de Öffnungen 14 a enthalten, die eine Druckkammer und eine Tintenausstoß öffnung bilden. In it, a plurality of openings therethrough go de 14 a collectively forming a pressure chamber and an ink ejection opening. Diese Öffnungen 14 a werden z. These openings 14 a are such. B. durch einen Stanzprozeß hergestellt. As produced by a punching process.

Die Kammer 15 a verfügt über ein Substrat 16 , einen sich ausbeulenden Kör per 11 und Befestigungsteile 13 . The chamber 15 has a substrate 16, a bulging Kör by 11 and fastening members. 13 Das Substrat 16 besteht aus einkristallinem Silizium mit einer ( 100 )-Fläche als Hauptebene. The substrate 16 is made of single-crystal silicon having a (100) face as a main plane. Im Substrat 16 ist eine dieses durchsetzende, sich verjüngende Aussparung 16 a vorhanden. In this substrate 16 a is passing through, tapered recess 16 is provided a. Darüber hinaus ist ein sich ausbeulender Körper 11 mittels eines eingefügten Befestigungs teils 13 an einer Fläche des Substrats 16 befestigt. In addition to a ausbeulender body 11 is attached to a surface of the substrate 16 by means of an inserted fastening part. 13 Der sich ausbeulende Kör per 11 ist so geformt, daß er die Form eines Kammzahns aufweist, und eine Betriebselektrode 11 a und eine Sammelelektrode 11 b zum Anschließen einer externen Spannungsversorgung führen von jedem sich ausbeulenden Körper 11 weg. Which bulging Kör via 11 is formed so that it has the shape of a comb tooth, and an operating electrode 11 a and a bus electrode 11 b for connecting an external power supply lead from each bulging body 11 away. Die Betriebselektrode 11 a und die Sammelelektrode 11 b sind mittels des Befestigungsteils 13 am Substrat 16 befestigt. The operating electrode 11 a and the bus electrode 11 b are attached to the substrate 16 by means of the fastening part. 13 Jede Betriebselektrode 11 a ist über einen Schalter mit einer Spannungsversorgung 19 verbunden, durch den die Spannungsversorgung 19 mit der Betriebselektrode 11 a verbunden oder von dieser getrennt werden kann. Each operating electrode 11a is connected through a switch to a power supply 19, through which the power supply 19 can be connected to or with the operating electrode 11 a separated from the latter.

Die Kammer 15 b ist ähnlich aufgebaut wie die Kammer 15 a, mit der Ausnah me, daß im Substrat 16 keine sich verjüngende Aussparung 16 a ausgebildet ist. The chamber 15 b is similar to the chamber 15 a, with the exceptions me that is formed no tapered recess 16 in a substrate sixteenth Ein sich ausbeulender Körper 11 ist ebenfalls mittels eines eingefügten Befestigungsteils 13 an der Kammer 15 b befestigt. Log ausbeulender body 11 is fixed to the chamber 15 b, also by means of an inserted fastening part. 13

An der Oberfläche des Tintenkammerdeckels 12 ist eine Aussparung 12 a mit vorgegebener Tiefe ausgebildet, die über einen Tintenzuführpfad 12 b verfügt, der zu einem Seitenendabschnitt des Tintenkammerdeckels 12 führt. On the surface of the ink chamber lid 12 has a recess 12 with a predetermined depth is formed, which has an ink supply path 12 b, which leads to a side end of the ink chamber lid 12th

Die vorstehend genannten Kammern 15 a und 15 b sind z. The aforementioned chambers 15 a and 15 b are, for. B. mittels eines nichtleitenden Epoxidklebers mit dem zwischengefügten Abstandshalter 14 miteinander verbunden. Example by means of a non-conductive epoxy adhesive with the interposed spacers 14 are connected together. So bildet jede Öffnung 14 a einen Raum (eine Druck kammer), in der Druck mittels eines sich ausbeulenden Körpers 11 auf die in ihm enthaltene Tinte 100 ausgeübt wird, und es ist eine Tintenausstoßöff nung vorhanden. Thus, each aperture 14 forms a one chamber (a pressure chamber), in the pressure by means of a bulging body 11 is applied to the ink 100 contained in it, and it is a Tintenausstoßöff voltage is present.

Der Tintenkammerdeckel 12 ist z. The ink chamber lid 12 is for. B. mittels Epoxidklebers an der Kammer 15 a befestigt. B. fixed by means of epoxy adhesive to the chamber 15 a. So bilden die in der Kammer 15 a ausgebildete sich verjüngende Aussparung 16 a und die im Tintenkammerdeckel 12 ausgebildete Aussparung 12 a eine Tintenkammer 18 . To form in the chamber 15 a tapered recess 16 formed a and formed in the ink chamber cover 12 a recess 12, an ink chamber eighteenth Der Tintenzuführpfad 12 b ist so ausgebildet, daß er einen Anschluß zur Tintenkammer 18 hat und nach außen führt. The ink supply path 12 b is formed so that it has a connection to the ink chamber 18 and leads to the outside. Tinte 100 wird von einem extern vorhandenen Tintenvorratsbehälter durch den Tinten zuführpfad 12 b zur Tintenkammer 18 geführt. Ink 100 is an externally available ink reservoir by the ink supply path 12 b to the ink chamber 18 out.

Da jedes der vorstehend genannten Elemente so liegt, wie es vorstehend be schrieben wurde, ist durch die Tintenkammer 18 und die Öffnungen 14 a eine Reihe von Räumen gebildet. Since each of the above elements is located so as it was written above be, is through the ink chamber 18 and the openings 14 a a series of spaces formed. Tinte 100 kann durch den Tintenzuführpfad 12 b von außen in die Tintenkammer 18 geführt werden, und sie kann aus den Öff nungen 14 a durch die Tintenausstoßöffnung nach außen ausgestoßen werden. Ink 100 can be guided from the outside into the ink chamber 18 through the ink supply path 12 b, and they may be made of the calculations Publ 14a are discharged to the outside through the ink ejection opening. Die Tinte 100 wird durch das Paar sich ausbeulender Körper 11 und 11 , die vertikal angeordnet sind, unter Druck gesetzt. The ink 100 is ausbeulender body 11 and 11, which are vertically arranged, pressurized by the pair. Obwohl die Darstellung in Fig. 5 dergestalt ist, daß der Raum zwischen den Kammern 15 a und 15 b offen ist, ist tatsächlich das meiste des Raums abgedichtet. Although the illustration in Fig. 5 is such that the space between the chambers 15 a and 15 b is open, most of the space is in fact sealed. Darüber hinaus ist in Fig. 5 eine Tintenausstoßöffnung an einem Ende jeder Öffnung 14 a des Abstands halters 14 vorhanden. In addition, in Fig. 5, an ink ejection port at one end of each opening 14 a of the distance holder 14 is present.

Bei dem in den Fig. 3 bis 5 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Ein fachheit halber ein Kopf mit mehreren Düsen mit vier Paaren von sich aus beulenden Körpern 11 , die vertikal angeordnet sind, beschrieben. In the example shown in Figs. 3 to 5 An embodiment of the sake of simplicity, a head is described with a plurality of nozzles with four pairs of from bump ends bodies 11 which are arranged vertically. Jedoch ist die Anzahl sich ausbeulender Körper 11 nicht hierauf beschränkt, sondern sie kann beliebig gewählt werden. However, the number is located ausbeulender body 11 is not limited to this but it can be selected as desired.

In Verbindung mit den Fig. 6 bis 10 wird nun ein Beispiel für ein Herstell verfahren für die Kammer 15 a beschrieben. In connection with Figs. 6 to 10 an example of a producible will now proceed to the chamber 15 a described. Es ist zu beachten, daß das fol gende eine Beschreibung für das Herstellverfahren einer Kammer 15 a ist, wie sie in einem integrierten Tintenstrahlkopf verwendet wird. It should be noted that the fol constricting a description of the manufacturing process of a chamber 15 a is, as it is used in an integrated ink jet head.

Zunächst wird, wie es in Fig. 6 veranschaulicht ist, ein Substrat 16 bereitge stellt, das aus einkristallinem Silizium mit einer ( 100 )-Fläche als Hauptebene besteht. First, a substrate as is illustrated in Fig. 6, 16 bereitge is composed of single crystal silicon having a (100) face as a main plane. An der Ober- und der Unterseite wird eine Siliziumoxid(SiO 2 )-Schicht 17 mit 6 bis 8% Phosphor (P) (nachfolgend als PSG-Schicht be zeichnet) mittels einer LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)-Vorrichtung mit einer Dicke von z. A silicon oxide (SiO 2) layer 17 is 6 to 8% phosphorus (P) at the top and the bottom (hereinafter referred to as PSG layer be characterized) by means of a LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) device having a thickness from Z. B. 2 µm ab geschieden. B. divorced from 2 microns. Diese PSG-Schicht 17 dient bei einem späteren Schritt als Befestigungsteil 13 . This PSG layer 17 is used at a later step as the attachment part. 13

Danach wird, wie in Fig. 7 dargestellt, eine Nickel(Ni)- Schicht 18 mit einer Dicke von 6 µm durch z. Thereafter, as shown in Figure 7, a nickel (Ni) -. Layer 18 having a thickness of 6 microns by z. B. ein elektro lytisches Plattierverfahren auf der Oberseite des Substrats 16 abgeschieden. B. an electro lytic plating on the top surface of the substrate 16 is deposited. Diese Nickelschicht 18 wird später ein sich ausbeulender Körper. This nickel layer 18 is later to ausbeulender body.

Dann wird, wie es in Fig. 8 dargestellt ist, die Ni-Schicht 18 geätzt und so gemustert, daß vorgegebene Form aufweist. Then, as shown in Fig. 8, the Ni layer 18 is etched and patterned so that predetermined shape.

Dann wird, wie es in Fig. 9 dargestellt ist, die PSG-Schicht 17 an der Unterseite des Substrats 16 gemustert. Then, the PSG layer is as shown in Fig. 9, 17 patterned on the underside of the substrate 16. Das Sili ziumsubstrat 16 wird mit Kaliumhydroxid (KOH), das ein ani sotropes Ätzmittel ist, unter Verwendung dieser gemusterten PSG-Schicht 17 als Maske geätzt. The Sili ziumsubstrat 16 is treated with potassium hydroxide (KOH), which is a ani sotropes etchant etched using the patterned PSG layer 17 as a mask. Durch diesen Ätzvorgang wird die sich verjüngende Aussparung 16 a, die das Silizium substrat 16 durchsetzt, hergestellt. By this etching, the tapered recess 16 a, the substrate 16, the silicon is permeated prepared. Schließlich werden, wie es in Fig. 10 dargestellt ist, die PSG-Schicht 17 an der Un terseite des Siliziumsubstrats 16 , wie auch ein Teil der PSG-Schicht 17 an der Oberseite des Substrats 16 durch Ätzen entfernt. Finally, the PSG layer are as shown in Fig. 10, 17 on the Un underside of the silicon substrate 16 as a part of the PSG layer 17 removed at the top of the substrate 16 by etching. So wird das Befestigungsteil 13 ausgebildet, und es wird eine Kammer 15 a mit gewünschter Struktur erhalten. Thus, the fixing member 13 is formed and there is obtained a chamber 15a having a desired structure.

Fig. 11A ist eine Seitenansicht, die eine andere Modifizie rung des in Fig. 1 dargestellten Tintenstrahlkopfs zeigt. FIG. 11A is a side view showing another Modifizie tion of the ink jet head shown in FIG. 1. Fig. 11B ist eine Schnittansicht entlang der Linie BB in Fig. 11A. FIG. 11B is a sectional view taken along line BB in Fig. 11A. Gemäß den Fig. 11A und 11B unterscheidet sich bei dieser Modifizierung die Position einer Tintenausstoßöffnung 5 a von derjenigen beim in Fig. 1 dargestellten Ausführungs beispiel. Referring to FIGS. 11A and 11B, the position of an ink discharge port 5a of those execution illustrated 1 differs in this modification when in Fig. For example. Das heißt, daß die Tintenausstoßöffnung 5 a bei dieser Modifizierung an einer Position vorhanden ist, die in bezug auf die Mitte der Kammer 5 einer Rotation um 90° in bezug auf die Position in Fig. 1 entspricht. That is, the ink discharge port 5 a is present in this modification at a position which corresponds to 5 with respect to the center of the chamber to a rotation by 90 ° with respect to the position in FIG. 1. In diesem Fall wird beinahe dieselbe Wirkung wie im Fall von Fig. 1 er zielt. In this case is almost the same effect as in the case of FIG. 1 will he aims. Wie vorstehend beschrieben, kann die Tintenausstoß öffnung 5 a an verschiedenen Stellen in der Wand der Kammer 5 vorhanden sein. As described above, the ink ejection can opening 5a at various points in the wall of the chamber 5 may be present. So ist der Freiheitsgrad bei der Konstruk tion erhöht. Thus, the degree of freedom in constructing with increased. Jedoch ist es bevorzugt, wenn die Tintenaus stoßöffnung 5 a durch eine Innenwand geht, die ein Paar ein ander gegenüberstehender Innenwände verbindet, an denen je weilige sich ausbeulende Körper 1 befestigt sind, wie in den Fig. 11A und 11B dargestellt. However, it is preferred if the Tintenaus shock opening 5 a by an inner wall is that connects a pair of one other opposing inner walls to each of which is bulging body stays awhile are fastened 1, 11B as shown in FIGS. 11A and. Es ist bevorzugter, wenn die Tintenausstoßöffnung 5 a so liegt, daß sie gleich weit von den mehreren sich ausbeulenden Körpern 1 entfernt ist. It is more preferable when the ink discharge port 5 a so located that it is equidistant from the plurality of bulging bodies. 1 So kann Tinte 100 wirkungsvoller ausgestoßen werden. As such, ink can be ejected effective 100th

Fig. 12 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Tin tenstrahlkopf gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt. Fig. 12 is a schematic sectional view showing a Tin tenstrahlkopf according to another embodiment of the invention. Wie in Fig. 12 dargestellt, ist bei diesem Ausführungsbeispiel ein relativ langer sich ausbeulender Körper 11 an einer Fläche eines Paars sich gegenüberstehen der Innenflächen einer Kammer 5 mittels eingefügter Befesti gungsteile 3 befestigt, und ein Paar relativ kurzer sich ausbeulender Körper 11-1 und 11-1 ist an der anderen Innen fläche mittels eingefügter Befestigungsteile 3 so befestigt, daß sie voneinander beabstandet sind. As shown in Fig. 12, in this embodiment, is a relatively long to ausbeulender body 11 on a surface of a pair face each of the inner surfaces of a chamber 5 by means of inserted Fixed To supply parts 3 attached, and a pair of relatively short up ausbeulender body 11-1 and 11 -1 is secured by an inserted fastening members 3 so that they are spaced apart from each other at the inner surface. Eine Tintenausstoßöff nung 5 a ist zwischen dem Paar relativ kurzer sich ausbeulen der Körper 11-1 und 11-1 vorhanden. A voltage Tintenausstoßöff 5 a is provided between the pair of relatively short bulge the body 11-1 and 11-1 exist. Da die Tintenausstoßöff nung 5 a zwischen dem Paar sich ausbeulender Körper 11-1 und 11-1 vorhanden ist, wie vorstehend genannt, kann Druck, wie er mittels des Paars sich ausbeulender Körper 11-1 und 11-1 wie auch durch den relativ langen sich ausbeulenden Körper 11 auf die Tinte 100 ausgeübt wird, wirkungsvoll aus der Tintenausstoßöffnung 5 a ausgegeben werden. Since the voltage Tintenausstoßöff a 5 between the pair of ausbeulender body is present 11-1 and 11-1, as mentioned above, can pressure as to ausbeulender body relatively long 11-1 and 11-1 as well as by the means of the pair bulging body 11 is applied to the ink 100, effective output from the ink discharge port 5 a. Es ist zu beach ten, daß jeder der sich ausbeulenden Körper 1 , 11-1 und 11-1 über einen Schalter mit der Spannungsversorgung 9 verbunden ist. It is to beach th, that each of the bulging body 1, 11-1 and 11-1 connected via a switch to the power supply 9 is.

Wie im Fall der oben genannten Modifizierung kann beim vor liegenden Ausführungsbeispiel eines Tintenstrahlkopfs 10 die Tintenausstoßöffnung 5 a an einer beliebigen Fläche der Kam mer vorhanden sein. As in the case of the above modification, the ink ejection port 5a at any surface of the Kam mer may be present at the front lying embodiment of an ink jet head 10th Demgemäß kann der Tintenstrahlkopf auf flexible Weise konstruiert werden. Accordingly, the ink jet head can be constructed in a flexible manner.

Wie es beschrieben wurde, kann gemäß der Erfindung hoher Tintenausstoßdruck erzeugt werden, während die Größe eines Tintenstrahlkopfs klein bleibt, da mehrere sich ausbeulende Körper wirkungsvoll an einer beliebigen Fläche einer Kammer positioniert werden. As has been described, can be produced according to the invention high ink discharge pressure, while the size of an ink jet head is small, since a plurality of bulging body can be effectively positioned at any surface of a chamber. Darüber hinaus ist eine Tintenzuführ öffnung hinter einem sich ausbeulenden Körper angeordnet (entgegengesetzt zur Richtung, in der sich ein sich ausbeu lender Körper ausbeult), wodurch wirkungsvoll verhindert werden kann, daß der auf die Tinte ausgeübte Druck sich da durch abbaut, daß Tinte aus einer Tintenzuführöffnung aus leckt. In addition, an ink supply opening positioned behind a bulging body (opposite to the direction in which log ausbeu lender body bulges), which can be effectively prevented that the pressure applied to the ink degrades because by that ink from an licking ink from. So können Energieverluste beim Tintenausstoß verrin gert werden und Tinte kann wirkungsvoll ausgestoßen werden. So energy losses during ink ejection can be verrin siege and ink can be discharged effectively. Ferner kann gemäß der Erfindung eine Tintenausstoßöffnung an einer beliebigen Fläche einer Kammer vorhanden sein. Further according to the invention, an ink discharge opening may be present on any surface of a chamber. So ist der Freiheitsgrad bei der Konstruktion erhöht. Thus, the degree of freedom is increased in the construction. Außerdem müssen, wenn mehrere Tintenausstoßöffnungen in einer einzel nen Kammer enthalten sind und sich ausbeulende Körper, die den jeweiligen Tintenausstoßöffnungen zugeordnet sind, unab hängig voneinander betrieben werden, die Tintenausstoßöff nungen nicht voneinander durch Trennwände getrennt sein. Moreover, if need plurality of ink ejection openings are contained in a single NEN chamber and bulging body that are associated with the respective ink discharge ports are operated independently prosecute the Tintenausstoßöff voltages not be separated from each other by partition walls. So kann der gegenseitige Abstand der Tintenausstoßöffnungen verringert werden, was zu einer Verbesserung der Auflösung führt. So the distance between the ink discharge ports can be reduced, resulting in an improvement in resolution.

Claims (8)

1. Tintenstrahlkopf zum Ausstoßen von Tinte ( 100 ) aus minde stens einer Tintenausstoßöffnung ( 5 a) einer Tintenkam mer ( 5 ), mit 1. An ink jet head for ejecting ink (100) from minde least an ink ejection port (5 a) of a Tintenkam mer (5), with
  • - einem ersten und einem diesem gegenüberliegenden zweiten Innenflächenabschnitt der Tintenkammer ( 5 ), die einenends durch einen senkrecht zur ihrer Längserstreckung sich er streckenden dritten Innenflächenabschnitt verbunden sind, wobei der erste Innenflächenabschnitt eine Tintenzuführ öffnung ( 5 b) aufweist, - (b 5) has a first and this opposing second interior surface portion of the ink chamber (5) extending it are connected at one end by a perpendicular to their longitudinal extension stretching third inner surface portion, wherein the first inner surface portion has a ink supply opening,
  • - einer in der Tintenkammer ( 5 ) angebrachten, infolge in Längsrichtung wirkender Druckkraft beulenden Beuleinrich tung, - a in the ink chamber (5) mounted, as a result of acting in the longitudinal direction of the pressure force bump ends Beuleinrich tung,
dadurch gekennzeichnet , daß characterized in that
  • - ein einer Tintenausstoßöffnung ( 5 a) zugeordneter erster Beulkörper ( 1 ) der Beuleinrichtung mit einem Befestigungs teil ( 3 ) am ersten Innenflächenabschnitt mit Abstand un mittelbar benachbart zum ersten Innenflächenabschnitt so befestigt ist, daß er sich über die Tintenzuführöff nung ( 5 b) erstreckt, und daß - a an ink ejection port (5 a) associated first Beulkörper (1) of the Beuleinrichtung with a fastening part (3) is un indirectly adjacent to the first inner surface portion attached to the first inner surface portion spaced apart so as to be voltage on the Tintenzuführöff (5 b) extending , and that
  • - mindestens ein derselben Tintenausstoßöffnung ( 5 a) zuge ordneter zweiter Beulkörper ( 1 ) der Beuleinrichtung mit einem Befestigungsteil ( 3 ) am zweiten Innenflächenab schnitt mit Abstand unmittelbar benachbart zum zweiten In nenflächenabschnitt befestigt ist. - at least one of the same ink ejection port (5 a) of associated second Beulkörper (1) of the Beuleinrichtung with a fastening part (3) on the second Innenflächenab cut at a distance immediately adjacent the second is mounted in nenflächenabschnitt.
2. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Beulkörper ( 1 ) einander zuge wandt sind und auf ihren voneinander abgewandten Seiten mit den Befestigungsteilen ( 3 ) verbunden sind. 2. An ink jet head according to claim 1, characterized in that the first and second Beulkörper (1) are supplied Wandt each other and are connected on their sides facing away from each other with the fixing members (3).
3. Tintenstrahlkopf nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Tintenausstoßöffnung ( 5 a) im dritten Innenflächenabschnitt liegt. 3. An ink jet head according to any one of claims 1 or 2, characterized in that the ink ejection port (5 a) in the third inner surface portion is located.
4. Tintenstrahlkopf nach einem der Anspruche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Tintenausstoßöffnung ( 5 a) gleich weit vom ersten und zweiten Beulkörper ( 1 ) angeordnet ist. 4. An ink jet head according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the ink ejection port (5 a) equidistant from the first and second Beulkörper (1) is arranged.
5. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am zweiten Innenflächenabschnitt außer dem zweiten Beul körper ( 1 ) ein dritter Beulkörper ( 1 ) mit Abstand zu dem zweiten Beulkörper ( 1 ) angeordnet ist, wobei der zweite und der dritte Beulkörper ( 1 ) dem ersten Beulkörper ( 1 ) zuge wandt und jeweils kürzer sind als der erste Beulkörper ( 2 ), und wobei die Tintenausstoßöffnung ( 5 a) im zweiten Innenflä chenabschnitt zwischen dem zweiten und dem dritten Beulkör per ( 1 ) liegt. 5. An ink jet head according to claim 1, characterized in that apart from the second Beul body on the second inner surface portion (1), a third Beulkörper (1) is arranged at a distance from the second Beulkörper (1), wherein the second and the third Beulkörper (1) Beulkörper the first (1) fed Wandt and are each shorter than the first Beulkörper (2), and wherein said ink ejection port (5 a) in the second Innenflä chenabschnitt between the second and the third Beulkör by (1).
6. Tintenstrahlkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß 6. An ink jet head according to any one of claims 1 to 5, characterized in that
  • - jeder Beulkörper ( 1 ) an seinem einen Ende eine erste Elek trode ( 1 a) und an seinem anderen Ende eine zweite Elek trode ( 1 b) aufweist, - each Beulkörper (1) at its one end a first elec trode (1 a) and a second trode Elek at its other end (1 b) comprises,
  • - eine über einen Schalter mit der ersten Elektrode ( 1 a) verbindbare Spannungsversorgung ( 9 ) vorgesehen ist, - a via a switch to the first electrode (1 a) connectable power supply (9) is provided,
  • - eine mit der zweiten Elektrode ( 1 b) verbundene Erdungsein richtung vorgesehen ist. (B 1) is provided an electrode connected with the second direction Erdungsein -.
7. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Beulkörpern ( 1 ) der Tintenkammer ( 5 ) Trenn wände fehlen. 7. The inkjet head according to claim 1, characterized in that between the Beulkörpern (1) of the ink chamber (5) separation walls are missing.
8. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Tintenausstoßöffnungen ( 5 a) vorhanden sind und ein oder mehrere Beulkörper ( 1 ) der Tintenkammer ( 5 ) in Zu ordnung zu den jeweiligen Tintenausstoßöffnungen ( 5 a) arbei ten. 8. An ink jet head according to claim 1, characterized in that a plurality of ink ejection openings (5 a) are present and one or more Beulkörper (1) of the ink chamber (5) in to order to the respective ink ejection openings (5 a) processing th.
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