DE19510535A1

DE19510535A1 - Defect detection method for glass or plastic body

Info

Publication number: DE19510535A1
Application number: DE1995110535
Authority: DE
Inventors: Thomas Dipl Phys Flauger
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1995-03-23
Filing date: 1995-03-23
Publication date: 1996-09-26

Abstract

A defect (7) is detected in an object (4) by illuminating the object with a light source (1) emitting parallel light (9). The defect may be e.g. a small indent in the object surface. The parallel light (b,d) emitted from the object is focussed by a collimator (5) and passed through a screen. Light reflected from a defect on the object bypasses the screen and hits the image surface. The light received by the image surface provides an indication of a defect.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erkennen eines De fekts an einem Körper. Die Erfindung betrifft auch eine Ein richtung zum Erkennen eines Defekts an einem Körper.The invention relates to a method for detecting a De on one body. The invention also relates to a direction for detecting a defect in a body.

Bisher war es üblich relativ kleine Defektstellen an einem relativ großen Körper mit Hilfe eines optischen Gerätes zu suchen, das jeweils nur einen sehr kleinen Teil des Körpers abbilden konnte. Das war notwendig, da das Auflösungsvermögen bekannter optischer Geräte nicht ausreichte, um bei einer Ab bildung des gesamten Körpers einen kleinen Defekt erkennen zu können. Beim Einsatz bekannter Geräte konnte folglich der zu untersuchende Körper niemals mit nur einem Vorgang in seiner Gesamtheit erfaßt werden.So far, it was common for relatively small defects on one relatively large body with the help of an optical device looking for that each only a very small part of the body could map. That was necessary because of the resolving power known optical devices was not sufficient to with an Ab formation of the entire body to recognize a small defect can. When using known devices, the examining body never with just one process in its Totality can be recorded.

Um mit einem bekannten Verfahren zuverlässig feststellen zu können, ob ein Körper Defekte aufweist, waren stets sehr viele Untersuchungen von jeweils sehr kleinen Teilen des Kör pers erforderlich. Üblicherweise wurde als optisches Gerät ein Mikroskop eingesetzt, das einerseits einen sehr kleinen Defekt gut erkennen läßt, andererseits aber nur ein sehr kleines Gesichtsfeld hat. Zur Untersuchung der gesamten Ober fläche eines Körpers war deshalb sehr viel Zeit erforderlich.To reliably determine with a known method whether a body has defects was always very good many examinations of very small parts of the body pers required. Usually used as an optical device a microscope is used, on the one hand, a very small Defect can be seen well, but on the other hand only a very has a small field of vision. To examine the entire waiter The area of a body was therefore very time-consuming.

Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und ei ne Einrichtung zum Erkennen eines Defekts an einem Körper an zugeben, die bei guter Genauigkeit einen Körper, der relativ groß sein kann, mit nur einer Durchführung des Verfahrens zu untersuchen gestatten.The invention was based on the object, a method and egg ne device for detecting a defect in a body admit that with good accuracy a body that is relative can be large with just one procedure allow to investigate.

Die als erste genannte Aufgabe, ein geeignetes Verfahren an zugeben, wird nach der Erfindung dadurch gelöst, daß der Kör per mit parallelem Licht bestrahlt wird, daß dadurch vom Kör per wieder ausgehendes paralleles Licht fokussiert und dann ausgeblendet wird und daß an einem Defekt am Körper gestreu tes oder reflektiertes vom Körper wieder ausgehendes Licht mit einer Bildebene aufgefangen wird.The first mentioned task is a suitable method admit is solved according to the invention in that the Kör is irradiated by with parallel light, that thereby the Kör focused again with outgoing parallel light and then is hidden and that is scattered on a defect on the body Light emitted or reflected by the body is captured with an image layer.

Statt sichtbarem Licht kann auch eine andere elektromagneti sche Strahlung eingesetzt werden.Instead of visible light, another electromagnetic one can be used be used radiation.

Das Verfahren nach der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß dann, wenn kein Defekt am Körper vorhanden ist, kein Licht auf die Bildebene gelangt. Ein Körper, der keinen De fekt aufweist, streut nämlich das auftreffende parallele Licht nicht. Vom Körper geht, wenn er keinen Defekt aufweist, wieder nur paralleles Licht aus. Dieses wird auf einen Punkt fokussiert und dort ausgeblendet. Aufgrund der Fokussierung benötigt man vorteilhafterweise nur eine sehr kleine Blende, die im Fokus angeordnet ist, um das gesamte parallele Licht, das vom Körper ausgeht, auszublenden. Da die Bildebene in Strahlungsrichtung weiter als der Fokus vom Körper entfernt ist, gelangen keine Anteile des parallelen Lichtes auf die Bildebene.The method according to the invention is characterized in that that if there is no defect in the body, none Light reaches the image plane. A body that has no De shows the parallel that strikes Light not. From the body, if there is no defect, again only parallel light off. This gets to one point focused and hidden there. Because of the focus you only need a very small aperture, which is placed in focus to get all the parallel light, that emanates from the body. Since the image plane in Radiation direction further than the focus away from the body , no portions of the parallel light reach the Image plane.

Falls jedoch der Körper einen Defekt aufweist, der beispiels weise eine sehr kleine Vertiefung in seiner Oberfläche sein kann, wird das Licht, das den Körper am Defekt erreicht, dort gestreut oder unter einem anderen Winkel als das übrige Licht reflektiert. Dieses gestreute Licht ist dann nicht mehr parallel zum nicht gestreuten vom Körper ausgehenden, paral lelen Licht und kann daher nicht zusammen mit diesem paralle len Licht im selben Fokus vereinigt werden. Das gestreute Licht geht am Fokus und damit an der dort angeordneten Blende vorbei und trifft auf die Bildebene.However, if the body has a defect, for example be a very small depression in its surface the light that reaches the body from the defect becomes there scattered or at a different angle than the rest of the light reflected. This scattered light is then no longer parallel to the non-scattered, parallel body lelen light and therefore cannot paralle with this len light in the same focus. The scattered Light goes at the focus and thus at the aperture arranged there over and meets the image plane.

Das Auftreffen von Licht auf der Bildebene zeigt vorteilhaf terweise an, daß der bestrahlte Körper einen Defekt aufweist. Dabei wird bei nur einem Einsatz des Verfahrens der gesamte im Strahlengang angeordnete Körper untersucht. Falls der Kör per zwei Defekte aufweisen würde, würde an zwei verschiedenen Positionen der Bildebene Licht auftreffen. Die Anzahl der Lichtpunkte bzw. Abbildungen auf der Bildebene gibt die An zahl der erkannten Defekte am Körper an.The impact of light on the image plane is advantageous indicates that the irradiated body has a defect. With only one use of the method, the entire body in the beam path examined. If the body would have two defects, would be on two different ones Positions of the image plane striking light. The number of Points of light or images on the image plane indicate the indication number of detected defects on the body.

Beispielsweise besteht der Körper aus einem transparenten oder teilweise transparenten Material. Das auf den Körper auftreffende parallele Licht durchdringt dann den Körper und geht von der von der bestrahlten Seite abgewandten Seite des Körpers wieder aus. Sollte der Körper einen Defekt aufweisen, wird das den Defekt berührende Licht am Körper gestreut.For example, the body consists of a transparent one or partially transparent material. That on the body incident parallel light then penetrates the body and goes from the side of the Body again. If the body has a defect, the light touching the defect is scattered on the body.

Beispielsweise besteht der Körper aus einem nicht transparen ten oder teilweise transparenten Material oder ist transpa rent oder teilweise transparent und auf seiner nicht be strahlten Seite mit einem Spiegel versehen. Dann wird das auf den Körper auftreffende parallele Licht zumindest teilweise reflektiert und geht von der bestrahlten Seite des Körpers wieder aus. Es wird dann aus dem Strahlengang des den Körper bestrahlenden Lichtes herausgelenkt. Erst dadurch ist es mög lich, das parallele reflektierte Licht zu fokussieren und an einem Defekt am Körper unter einem Winkel reflektiertes Licht an der im Fokus angeordneten Blende vorbei auf die Bildebene zu lenken, ohne daß das Licht, das den Körper bestrahlt, ge stört wird.For example, the body consists of a non-transparent one ten or partially transparent material or is transparent rent or partially transparent and not be on his beamed side with a mirror. Then that turns on parallel light hitting the body at least partially reflects and goes from the irradiated side of the body out again. It then comes out of the ray path of the body directing irradiating light. Only then is it possible Lich to focus and turn on the parallel reflected light a defect in the body light reflected at an angle past the aperture arranged in focus onto the image plane to steer without the light that illuminates the body ge is disturbed.

Die zweite genannte Aufgabe, eine Einrichtung zum Erkennen eines Defekts an einem Körper anzugeben, wird nach der Erfin dung dadurch gelöst, daß im Strahlengang einer Lichtquelle für paralleles Licht hintereinander der Körper, ein Kolli mator zum Fokussieren von vom Körper ausgehenden parallelen Licht in einem Punkt, eine Blende in diesem Punkt und eine Bildebene zur Aufnahme von durch einen Defekt am Körper an der Blende vorbei gelenktem Licht angeordnet sind.The second task, a device for recognition to indicate a defect in a body, according to the inven tion solved in that in the beam path of a light source the body for a parallel light, a package mator for focusing parallel emanations from the body Light at one point, an aperture at that point and one Image plane to record from a defect on the body the aperture are arranged past directed light.

Der Kollimator ist z. B. eine Linse, die das auf ihn treffende parallele Licht in einem Punkt, nämlich im Fokus der Linse, vereinigt. Eine Blende in diesem Punkt blendet das gesamte parallel auf den Kollimator auftreffende Licht aus. Dieses Licht kann nicht auf die Bildebene gelangen. Ein an einem De fekt am Körper gestreuter oder reflektierter Lichtstrahl ver läuft nicht parallel zu den übrigen auf den Kollimator tref fenden Lichtstrahlen. Er wird vom Kollimator nicht zur Blende gelenkt, sondern gelangt an der Blende vorbei zur Bildebene. Ein Lichtpunkt (Abbildung) auf der Bildebene zeigt folglich die Existenz eines Defekts am Körper an. Mehrere Lichtpunkte zeigen die Existenz mehrerer Defekte an.The collimator is e.g. B. a lens that meets it parallel light in one point, namely in the focus of the lens, united. An aperture at this point blinds the whole light incident on the collimator in parallel. This Light cannot get onto the image plane. One on a De light beam scattered or reflected on the body does not run parallel to the others on the collimator tref light rays. It does not become an aperture from the collimator steered, but passes the aperture to the image plane. A point of light (illustration) on the image plane therefore shows the existence of a defect on the body. Multiple points of light indicate the existence of multiple defects.

Falls der Körper nur teilweise oder nicht transparent ist, ist beispielsweise im Strahlengang zwischen der Lichtquelle und dem Körper ein Strahlenteiler schräg zum Strahlengang an geordnet. Dieser Strahlenteiler ist von der der Lichtquelle zugewandten Seite her durchlässig und ist auf der dem Körper zugewandten Seite reflektierend. Im Strahlengang des am Strahlenteiler reflektierten Lichts sind hintereinander der Kollimator, die Blende und die Bildebene angeordnet.If the body is only partially or not transparent, is, for example, in the beam path between the light source and a beam splitter to the body at an angle to the beam path orderly. This beam splitter is from that of the light source facing side permeable and is on the body facing side reflective. In the beam path of the Beam splitters of reflected light are the one behind the other Collimator, the aperture and the image plane arranged.

Wenn kein Defekt vorhanden ist, wird das auf den Körper auf treffende parallele Licht zumindest teilweise reflektiert. Der reflektierte Anteil breitet sich entgegengesetzt zur Richtung des einfallenden Lichtes aus, sofern die reflektie rende Oberfläche des Körpers senkrecht auf der Richtung des einfallenden parallelen Lichts steht (Reflexionswinkel 0°), und gelangt auf die reflektierende Seite des Strahlenteilers. Dort wird das reflektierte Licht erneut reflektiert und ge langt dadurch aus dem Raum zwischen der Lichtquelle und dem Körper heraus. Außerhalb dieses Raumes, aber im Strahlengang des zweimal reflektierten Lichtes, sind der Kollimator, die Blende und die Bildebene angeordnet und in gleicher Weise wie bei der zuvor beschriebenen Einrichtungsform einander zuge ordnet. Alle parallel verlaufenden Lichtstrahlen werden durch den Kollimator in einem Punkt fokussiert und durch die Blende ausgeblendet. If there is no defect, it will affect the body striking parallel light at least partially reflected. The reflected part spreads in the opposite direction Direction of the incident light, provided that the reflection surface of the body perpendicular to the direction of the incident parallel light (reflection angle 0 °), and gets to the reflective side of the beam splitter. There the reflected light is reflected again and ge thereby reaches from the space between the light source and the Body out. Outside this room, but in the beam path of the twice reflected light are the collimator Aperture and the image plane arranged and in the same way as with each other in the previously described furnishing form arranges. All parallel rays of light are through the collimator is focused at one point and through the aperture hidden.

Falls am Körper ein Defekt vorhanden sein sollte, wird ein dort auftreffender Lichtstrahl unter einem Winkel, der sich vom Reflexionswinkel an einer nicht defekten Stelle unter scheidet, reflektiert und gelangt nach Reflexion am Strahlen teiler über den Kollimator an der Blende vorbei auf die Bild ebene. Wie beim zuvor beschriebenen Beispiel gibt ein Licht punkt (Abbildung) auf der Bildebene einen Defekt am Körper an.If there is a defect on the body, a beam of light hitting there at an angle that changes from the angle of reflection at a non-defective point below separates, reflects and arrives after reflection on the rays divider over the collimator past the aperture on the picture level. As in the previous example, there is a light point (figure) on the image plane a defect on the body at.

Falls die reflektierende Oberfläche des Körpers einen Winkel, der z. B. 45° ist, mit der Richtung des einfallenden paralle len Lichts bildet, stören sich das einfallende und das re flektierte Licht nicht und man kommt ohne Strahlenteiler aus.If the reflective surface of the body is at an angle, the z. B. is 45 °, with the direction of the incident parallel len light forms, the incident and the right interfere does not reflect light and you can do without a beam splitter.

Beispielsweise ist auf der von der Lichtquelle abgewandten Seite des Körpers ein dem Körper zugewandter Spiegel angeord net. Damit wird Licht, das einen ganz oder teilweise transpa renten Körper durchdringt, unmittelbar hinter dem Körper re flektiert und wird dadurch für das Erkennen eines Defekts ge wonnen. Es wird vorteilhafterweise das gesamte auf den Körper auftreffende Licht zum Kollimator und damit entweder auf die Blende oder auf die Bildebene geleitet. Man erhält dadurch insbesondere auf der Bildebene besser zu erkennende, hellere Punkte.For example, the one facing away from the light source A mirror facing the body is arranged on the side of the body net. This makes light completely or partially transparent penetrates body, right behind the body right inflected and is thereby used for the detection of a defect won. It will advantageously be all on the body incident light to the collimator and thus either to the Aperture or directed to the image plane. You get through it Brighter ones that are easier to see, especially on the image plane Points.

Die Lichtquelle für paralleles Licht besteht beispielsweise aus einer Lampe und einem Kondensor. Der Kondensor ist in der Regel eine Linse, die aus dem von der Lampe ausgehenden Licht ein paralleles Lichtbündel macht.The light source for parallel light is, for example from a lamp and a condenser. The condenser is in the Usually a lens made from the light coming from the lamp a parallel beam of light.

Die Bildebene ist beispielsweise ein fotografischer Film oder ein CCD-Sensor. Es kommt darauf an, daß ein auf die Bildebene auftreffender Lichtstrahl dort registriert werden kann.The image plane is, for example, a photographic film or a CCD sensor. It depends on one on the picture plane incident light beam can be registered there.

Mit dem Verfahren und der Einrichtung nach der Erfindung wird insbesondere der Vorteil erzielt, daß ein Defekt oder auch mehrere Defekte an einem großen Körper, der insbesondere transparent ist, mit nur einem einmaligen Durchführen des Verfahrens erkannt werden können.With the method and the device according to the invention in particular the advantage achieved that a defect or multiple defects on a large body, in particular is transparent, with only a single execution of the Procedure can be recognized.

Das Verfahren und die Einrichtung nach der Erfindung werden anhand der Zeichnung näher erläutert:The method and the device according to the invention explained in more detail using the drawing:

Fig. 1 zeigt eine Einrichtung zum Erkennen eines Defekts an einem Körper, der transparent ist. Fig. 1 shows a device for detecting a defect in a body that is transparent.

Fig. 2 zeigt eine Einrichtung zum Erkennen eines Defekts an einem Körper, der nicht transparent zu sein braucht. Fig. 2 shows a device for detecting a defect in a body which does not need to be transparent.

Fig. 1 zeigt eine Lichtquelle 1, die aus einer Lampe 2 und einem nachgeschalteten Kondensor 3, der eine Linse sein kann, besteht. Von der Lichtquelle 1 wird paralleles Licht a ausge sandt. Im Strahlengang dieses parallelen Lichtes a ist ein Körper 4 aus transparentem Material, z. B. aus Glas oder Kunststoff, angeordnet, der untersucht werden soll. Dazu ist der Körper 4 so ausgerichtet, daß das parallele Licht a auf eine seiner ebenen Flächen senkrecht auftrifft. Eine andere ebene Fläche des Körpers 4 ist parallel zur erstgenannten Fläche ausgerichtet. Durch diese andere Fläche verläßt das Licht den Körper 4 als vom Körper 4 ausgehendes paralleles Licht b. Dieses trifft dann auf einen Kollimator 5, der eine Linse sein kann und das parallele Licht b in einem Punkt fo kussiert. In diesem Punkt ist eine undurchsichtige Blende 6 angeordnet, so daß das parallele Licht b vollständig aufge fangen wird. Fig. 1 shows a light source 1 , which consists of a lamp 2 and a downstream condenser 3 , which can be a lens. From the light source 1 , parallel light a is sent out. In the beam path of this parallel light a is a body 4 made of transparent material, e.g. B. made of glass or plastic, which is to be examined. For this purpose, the body 4 is oriented so that the parallel light a strikes one of its flat surfaces perpendicularly. Another flat surface of the body 4 is aligned parallel to the first-mentioned surface. Through this other surface, the light leaves the body 4 as a parallel light b emanating from the body 4 . This then strikes a collimator 5 , which can be a lens and kiss the parallel light b at a point fo. At this point, an opaque diaphragm 6 is arranged so that the parallel light b is completely caught.

Falls der Körper 4 einen Defekt 7, z. B. eine kleine Mulde in seiner Oberfläche, aufweist, wird der Lichtstrahl des paral lelen Lichtes a, der auf den Defekt 7 trifft, gestreut. Ein gestreuter Lichtstrahl c verläßt den Körper 4 unter einem Winkel zur Richtung des parallelen Lichtes b und gelangt über den Kollimator 5 an der Blende 6 vorbei und trifft auf eine einem Fotoapparat ist. Die Abbildung auf der Bildebene 8, die durch den Lichtstrahl c erzeugt wird, gibt einen Hinweis auf die Existenz eines Defektes 7 am Körper 4. Falls mehrere Defekte 7 vorhanden sein sollten, ergeben sich entsprechend viele Abbildungen auf der Bildebene 8. Der gesamte Körper 4 wird dabei durch nur einen Durchgang des Verfahrens mit guter Genauigkeit untersucht.If the body 4 has a defect 7 , e.g. B. has a small trough in its surface, the light beam of paral lel light a, which strikes the defect 7 , is scattered. A scattered light beam c leaves the body 4 at an angle to the direction of the parallel light b and passes the collimator 5 past the diaphragm 6 and strikes a camera. The image on the image plane 8 , which is generated by the light beam c, gives an indication of the existence of a defect 7 on the body 4 . If there are several defects 7 , there are a corresponding number of images on the image plane 8 . The entire body 4 is examined with good accuracy by only one pass of the method.

In Fig. 2 sind für gleiche Teile die gleichen Bezugszeichen wie in Fig. 1 verwendet. Falls der Körper 4 das auftreffende parallele Licht a teilweise reflektiert, wird das an der ebe nen Oberfläche des Bauteiles 4 reflektierte ebenfalls paral lele Licht d durch einen Strahlenteiler 9 aus dem Strahlen gang des einfallenden parallelen Lichtes a herausgelenkt. Das ist notwendig, da sonst das einfallende parallele Licht a durch den Kollimator 5, die Blende 6 und die Bildebene 8 be hindert würden. Diese sind in Fig. 2 außerhalb des Strahlen gangs des einfallenden parallelen Lichts a im Strahlengang des am Strahlenteiler 9 reflektierten parallelen Lichts d an geordnet.In Fig. 2, the same reference numerals as in Fig. 1 are used for the same parts. If the body 4 partially reflects the incident parallel light a, the reflected on the even surface of the component 4 also parallel light d is deflected by a beam splitter 9 out of the beam path of the incident parallel light a. This is necessary because otherwise the incident parallel light a would be prevented by the collimator 5 , the aperture 6 and the image plane 8 . These are arranged in FIG. 2 outside the beam path of the incident parallel light a in the beam path of the parallel light reflected on the beam splitter 9 .

Ein Lichtstrahl a, der auf einen Defekt 7 am Körper 4 trifft wird dort unter einem Winkel zum parallelen Licht d reflek tiert. Dieser unter einem Winkel reflektierte Lichtstrahl e wird am Strahlenteiler 9 reflektiert und gelangt über den Kollimator 5 an der Blende 6 vorbei auf die Bildebene 8. Eine Abbildung auf der Bildebene 8 gibt dann, wie bei der Ausfüh rungsform nach Fig. 1, einen Hinweis auf einen Defekt 7 am Körper 4.A light beam a, which strikes a defect 7 on the body 4 , is reflected there at an angle to the parallel light d. This light beam e reflected at an angle is reflected at the beam splitter 9 and passes via the collimator 5 past the diaphragm 6 onto the image plane 8 . An image on the image plane 8 then gives, as in the embodiment according to FIG. 1, an indication of a defect 7 on the body 4 .

Der Strahlenteiler 9 ist beispielsweise unter einem Winkel von 45° zum Strahlengang zwischen der Lichtquelle 1 und dem Körper 4 angeordnet. Er läßt das parallele Licht a durch und reflektiert das seine gegenüberliegende Seite erreichende Licht d und e. The beam splitter 9 is arranged, for example, at an angle of 45 ° to the beam path between the light source 1 and the body 4 . It transmits the parallel light a and reflects the light d and e reaching its opposite side.

Auf der vom Strahlenteiler 9 abgewandten Seite des Körpers 4 kann ein dem Körper 4 zugewandter Spiegel 10 angeordnet sein. Durch diesen Spiegel 10 werden Lichtanteile, die vom Körper 4 durchgelassen werden, erneut in den Körper 4 eingestrahlt, so daß sie zum Erkennen eines Defekts 7 beitragen können.A mirror 10 facing the body 4 can be arranged on the side of the body 4 facing away from the beam splitter 9 . By means of this mirror 10 , light components which are let through by the body 4 are again radiated into the body 4 so that they can contribute to the detection of a defect 7 .

Wenn in der geschilderten Weise ein Spiegel 10 eingesetzt wird, darf der Körper 4 transparent sein.If a mirror 10 is used in the manner described, the body 4 may be transparent.

Der Körper 4 kann aus Glas oder Kunststoff bestehen.The body 4 can consist of glass or plastic.

Mit dem Verfahren und der Einrichtung nach der Erfindung kön nen Defekte an einem Körper 4 schnell und zuverlässig erkannt werden.With the method and the device according to the invention, defects on a body 4 can be detected quickly and reliably.

Claims

1. A method for recognizing a defect ( 7 ) on a body ( 4 ), characterized in that the body ( 4 ) is irradiated with parallel light (a), that since by the body ( 4 ) again outgoing parallel light (b, d) focused and then faded out and that a defect ( 7 ) on the body ( 4 ) scattered or reflected light from the body ( 4 ) emanating again (c, e) is captured with an image plane ( 8 ).

2. The method according to claim 1, characterized in that the light (a), with the body (4) is irradiated to penetrate the body (4) and starts again from the side opposite to the irradiated side of the body (4).

3. The method according to claim 1, characterized in that light (a), with which the body ( 4 ) is irradiated, is at least partially reflected on the body ( 4 ) and comes out again from the irradiated side of the body ( 4 ) and that the reflected light (d, e) is deflected out of the beam path of the body ( 4 ) irradiating light (a).

4. Device for detecting a defect ( 7 ) on a body ( 4 ), characterized in that in the beam path of a light source ( 1 ) for parallel light (a) one behind the other the body ( 4 ), a collimator ( 5 ) to focus on parallel light (b, d) emanating from the body ( 4 ) at one point, a diaphragm ( 6 ) at this point and an image plane ( 8 ) for receiving a defect ( 7 ) on the body ( 4 ) on the diaphragm ( 6 ) directed light (c, e) are arranged.

5. Device according to claim 4, characterized in that in the beam path between the light source ( 1 ) and body ( 4 ) a beam splitter ( 9 ) is arranged obliquely to the beam path, that the beam splitter ( 9 ) from the light source ( 1 ) facing side permeable and reflective on the side facing the body ( 4 ) and that in the beam path of light reflected from the beam splitter ( 9 ) the collimator ( 5 ), the diaphragm ( 6 ) and the image plane ( 8 ) are arranged one behind the other.

6. Device according to one of claims 4 or 5, characterized in that a body (4) facing the mirror (10) is arranged on the side facing away from the light source (1) side of the body (4).

7. Device according to one of claims 4 to 6, characterized in that the light source ( 1 ) for parallel light (a) consists of a lamp ( 2 ) and a condenser ( 3 ).

8. Device according to one of claims 4 to 7, characterized in that the image plane ( 8 ) is a photographic film or a CCD sensor.