DE1675484A1

DE1675484A1 - Vacuum valve, especially ultra-high vacuum valve

Info

Publication number: DE1675484A1
Application number: DE19681675484
Authority: DE
Inventors: Hermann Woessner
Original assignee: Balzers AG
Current assignee: OC Oerlikon Balzers AG
Priority date: 1967-03-28
Filing date: 1968-03-02
Publication date: 1971-02-04
Also published as: NL6708877A; GB1177313A; NL133569C; CH446840A; FR1559401A

Description

BALZJtW TAIOW QMB, hortr, U, 6 - 'noütfurt / M₉-Jp BALZJtW TAIOW QMB, hortr, U, 6 - 'noütfurt / M ₉ -Jp Vakuuaventil, inebeeondere UltrahochvakuuaventllVacuum valve, in particular ultra-high vacuum valve

Di« Erfindung betrifft ein Vakuumventil insbesondere Ultrahoohvakuuaventil mit elnea in eine« Ventilgehäuse angeordneten} durch eine Hubetange bet&tigbaren Ventilkörper, wobei die Hubetange nit dee Ventilkörper beweglich verbunden let und Maaanahaen vorgeaehen sind, ua bein 8ohlleaeen dee Ventile an des Tentilkörper eelbettXtlg die fUr einen riohtlgen SItK la Sohlleaeungesuatand erforierliehen eeitllehen Tereehiebungen und/oder Klppbevegungen hervorzurufen·The invention particularly relates to a vacuum valve Ultra-high vacuum valve with elnea in a «valve housing arranged} valve body which can be actuated by a lifting rod, the lifting rod being movably connected to the valve body and being provided for, among other things Bein 8ohlleaeen the valves on the valve body eelbettXtlg which for a riohtlgen SItK la Sohlleaeungesuatand explored eeitllehen tea chopping and / or To cause clapping movements

Besonder· eel ultrahoohfmJtuuediohttn Ventilen, bei denen die Abdichtung durch Berührung netAllleeher Flachen, vorxugBweiae in Fora einer von einer harten Schneide auf einer weicheren ebenen PlMohe gebildeten Diehtungallnie erfolgt, let ee wichtig, daee die Schneide bei» Schlleeeen etete genau avf dieeelbe Plehtungellni· auf dar weicheren Oegenflfioh· auf trifft und neon d«a Aufeetsen auf dl··· kein«Special · eel ultrahoohfmJtuuediohttn valves where The sealing by touching net softer flat plMohe formed diehtungallnie takes place, Let ee important that the cutting edge at »Schlleeeen etete exactly avf the same Plehtungellni · on the softer Oegenflfioh · on meets and neon d «a Aufeetsen on dl · ·· no«

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selUlshe» Tersehiebuagen asfer erfahrt. Wri «1··· leelngmag ttlofat erfüllt, ergeben aioh «a dm 8tellen, wo di· durch eine frUliere «tad «1· —g—bllekllsM Dieatmngellnle gebildeten llakerbuagen la dar welchen Dichtung*· flache «leb schneide», Undichtigkeiten.lela Anpressen •in·· VcBtllk8rp«r« auf «1η·η «.Β. iweek· aelbettntlfer S«ntri«Tunikonieoh «uaeeblldetwi SItB elnd echerend· B·- v«fuc««B d·· 7«ntllkurp«r· auf der DiohtuneeflSch· aloht BU TenMlden. Duroh «oloh« 01ttltb«v«euoe«n d·· Ttntllkörper· können die DlehtanfeflBohen berietet und dmdureh undloht werden· ferner let e«, vie die Erfahrung eeigt, bei UltrahoohTakuuBYentllen auch wichtig, das« dae Auf« eetsen der Sohneide auf die Gegenfläohe an allen Punkten »öfliehet tl«lchxeltlc erfolgt. Bei eine· «bhrfigen Auf* eetsen dee TentllkOrpere auf seinen SIt* ergeben eloh un· ▼enMldlloh kleine eeltllehe Tereohlebungen, die aus dea erwähnten Gründen zu Undichtigkeiten Anläse geben.selUlshe »Tersehiebuagen asfer. Wri «1 ··· leelngmag ttlofat fulfilled, result in aioh« a dm 8tellen, where di · through a frUlier "tad" 1 · —g — bllekllsM Dieatmngellnle lakerbuagen la represent which poetry * · flat «leb schneide», leaks.lela pressing • in ·· VcBtllk8rp «r« to «1η · η« .Β. iweek · bed covers S «ntri« Tunikonieoh «uaeeblldetwi SItB elnd echerend · B · - v «fuc« «B d ·· 7« ntllkurp «r · on the DiohtuneeflSchaloht BU TenMlden. Duroh «oloh« 01ttltb «v« euoe «n d ·· Ttntllkörper · the DlehtanfeflBohen can be advised and dmdureh and be rewarded · furthermore let us «how experience tends to with UltrahoohTakuuBYentllen also important, the "dae Auf" eetsen the son's silk on the opposite surface at all points "Öfliehet tl" lchxeltlc takes place. In the case of a eetsen dee TentllkOrpere on his seat * surrender eloh un · ▼ enMldlloh kleine eeltllehe Tereohlebungen, which come from dea give reasons for leaks mentioned above.

Bei den bekannten tentllkonstruktlonen können die genannten Forderungen nur durch eine eehr hohe Genauigkeit der Ten» tillcerperfUhrung erreicht werden, was kostspielig ist und auss«rden bei Ventilen, die, wie UltrahochYakuim-rentllSi bei einer Temperatur ble cu 40υ⁽ «ar nleht bu verwirklichen 1st.In the case of the known tent structures, the requirements mentioned can only be achieved by a very high accuracy of the tensile performance, which is costly and unnecessary in the case of valves which, like ultra-high yakuim-rentllSi, can be realized at a temperature of blue 40u ⁽ arnleht bu .

bei einer Teaperatur ble cu 4OU⁰C ausgehelet werden aUeeen,at a tea temperature ble cu 4OU ⁰ C you can go out,

Die vorliegende Erfindung hat sloh sub Ziel gseetst, eins Konstruktion eines VaJnranrefttils ansugeben, bei de· die genennten Schwierigkeiten wesentlich verringert elnd. Da· erfindungsgeaMase Tentil der eingangs besehriebenen Art 1st dadurch gekennselchnct, da·· ein alt den Ventllkurper elastieoh verbundener Hilfekurper vorgesehen let, an welche· die Bur Auariohtvinc; des VentllkBrpers vor de· Schlieeeen erforderlichen Juetlerbewegungen erseugt und von diesenThe present invention aims to achieve one To indicate the construction of a VaJnranrefttils, in which the These difficulties are considerably reduced. There· Invention geaMase valve of the type described at the beginning Is characterized by the fact that an old valve body elastically connected aid body is provided, to which the Bur Auariohtvinc; of the valve body before closing necessary Juetler movements and of these

Οθ9&ββ/0>Μ5Οθ9 & ββ / 0> Μ5

auf den Ventilkörper übertragen werden und dues die elastische Verbindung zwischen dem Hilfekörper und dem Ventilkerper so ausgebildet ist, daee sie nur eine nchoiale Relativbewegung zvieehen den beiden zul'set.are transferred to the valve body and the elastic connection between the auxiliary body and the valve body is designed so that it allows only a nchoial relative movement between the two.

das Vorsehen des erwähnten HilfaktfrperR zur vorf;Hn&ipen ^rzeutfUi-n der Juatierbew=(jung wird im Gegensatz zur '.'rzeui un£ dieser Justierbewegun{;en unmittelbar am Ventil- !cörner selbst erreicht, auee diuser ini Augenblick des Auf— rttzena auf den Ventileits bereits voHßt*«indig aue^orichtet ist. Lamit wird eicher eetelIt₁ dfos stets dieselben Tolle der Pichtui ofl"chen aufeinnndertr« ffen, bei eiro*»; Ventil mit dichtender J'chneide aleo stets dieeelbe 1 ichtun(i8linie uuf der weichen Gegenfliiche benutst wird.the provision of the mentioned HilfaktfrperR to Vorf; Hn & pen i ^ rzeutfUi-n of Juatierbew = (young, in contrast to 'un .'rzeui £ this Justierbewegun {;! en directly on the valve itself cörner achieved, diuser Aüe ini moment of assembly rttzena on the valve side is already pre-arranged. Lamit is eicher eetelIt ₁ dfos always the same greats of the Pichtui open encounter one another, with eiro * "; valve with sealing blade aleo always the same 1 ichtun (line is used on the soft opposing surface.

lie nur in acheialer hichtung gegebene Möglichkeit einer Kelativbewegun^; «wischen dem Hilfekörper und dem Ventilictrprr iet wich ti r_f damit eineroeite aie «Juetierbowegungen von ereterem auf letzteren ^enau übertragen veröen (z.B* auch dann, wenn auf den Veritilicorper infolge Schwerkraft eiine seitliche ^rf-ftkomponente wirkt) und andererEeite di.niit die Anpreeounf, ate Vontilkörpere auf den Üite nach der Justierung möglich iet.Only possible in acheial direction of a relative movement; "Wipe iet the aid body and the Ventilictrprr more ti r _f thus eineroeite aie" Juetierbowegungen of ereterem to the latter ^ transferred enau veröen (eg * even when acting on the Veritilicorper due to gravity eiine lateral ^ rf-ftkomponente) and andererEeite di.niit the adjustment of the Vontile bodies on the Üite is possible after the adjustment.

Zum betu-trcn VerBttindnie werden Ewei Aueftihrun, «beisplele dir Krfindunp, arliend anliegender Zeichnungen richer erläutert·Ewei Aueftihrun become a betu-trcn bond, "for example dir Krfindunp, arliend of the attached drawings richer explained

In Fip. 1 bedeutet 1 das Geh' ur,e des Ventils mit den swei £ ns chi U F»B en für ein durchströmendes Medium 2 und 3 . 4 bezeichnet den Ventilkörper, der durch die Vermittele einer hydraulischen Einrichtung 5 angetriebene Hubetange 6 betitigt werden kann. Der Ventilkörper ist aiit der Hubstange nicht starr verbunden sondern von dieser beweglich getragen, bo dbBB er gleichcoitig sowohl kleine β itliche als auchIn Fip. 1 means 1 the housing of the valve with the swei ns chi UF »B s for a flowing medium 2 and 3. 4 denotes the valve body which can be actuated by the means of a hydraulic device 5 driven lifting rod 6. The valve body is not rigidly connected to the lifting rod but is movably supported by it, so it is equally small as well as small

BAD ORIGINAL 009886/0715BATH ORIGINAL 009886/0715

Kippbewegungen ausführen kann· Zu diesem Zweck weist die Hubetange an Ihrem unteren Knde, mit welchem sie in eine Ausnehmung 7 dee Vtntilkörpere hineinragt, eine Schulter 8 auf, welche den Ventillcörper vermitteln des liineeB 9 trügt. 10 bedeutet eine druckfeder,welche die genannte Schulter uua uen itin^ ⁽J federnd gegeneinander preset ·Can perform tilting movements · For this purpose, the lifting rod has a shoulder 8 at its lower end, with which it protrudes into a recess 7 of the valve body, which deceives the valve body of the line 9. 10 means a compression spring, which uua uen itin ^ ⁽ J resiliently preset against each other

Beim .ichlioBöun wird der Ventilkürper auf den als ücnneide 11 ausgebildeten Ventilsitz gefuhrt. Um eine genaue Justierung schon vor dem aufsetzen auf die Schneide zu erzielen, ist erflndung8KemHBB der Zylindermantel 12 vorgesehen, der von dem Ventilkb'rper 4 durch dl· elastische Membran 13 getragen wird· Dieser Zylindermantel überragt die ebene Dlchtungefl^y.che des Ventilkörper« in solchem Nasse, dase bei der 3chl ieesbewegung euerst der untere Itand 14 des Justier-Eylinders die konicche FUhrungefiriche auf dem Ventileite bertUirt und die zur Ausrichtung nötigen seitlichen und Kippbowegungen erfahrt. j?rst vom Justierrylinder werden diese Bewegungen tiber dl· elastische Verbindung 13 auf den Ventilkörper selbst übertragen. Der Zylindermantel 12 βteilt also in dem beschriebenen Ausftihrungsbeispisl den Hilfekörper im Ginne der Erfindung dar. Pieser Hilfekörper und «ein· elastische Verbindung mit dem Ventilkörper bewirken, dass eine vollständige und genaue Ausrichtung des Ventilkörpere beim Schliessen zustand« koeat, bevor dieser dl« dichtend« Schneide überhaupt berührt· Ia Augenblick des Aufsetzen« auf die Schneide und beim weiter-en Anpressen findet keine Ausrichtbewegung sehr stattι woelt die eingangs erwähnten Erfor— dernisse erfüllt werden.With the .ichlioBöun, the valve body is guided onto the valve seat designed as ücnneide 11. To achieve a precise adjustment before being placed on the cutting edge, erflndung8KemHBB the cylinder jacket 12 is provided, which is supported by the Ventilkb'rper 4 by dl · elastic membrane 13 · This cylinder jacket projects beyond the plane Dlchtungefl ^y .che of the valve body "in Such wetness that during the closing movement, the lower part 14 of the adjusting cylinder overrides the conical guide area on the valve side and experiences the lateral and tilting movements necessary for alignment. These movements are only transmitted by the adjustment cylinder via the elastic connection 13 to the valve body itself. In the embodiment described, the cylinder jacket 12 divides the auxiliary body within the scope of the invention. This auxiliary body and an elastic connection with the valve body ensure that the valve body is completely and precisely aligned when it closes before it seals. The cutting edge touched at all - the moment it is placed on the cutting edge and during further pressing there is no alignment movement very much where the requirements mentioned at the beginning are met.

KIn weitere« AusfUhrungebeiepiel der Erfindung teigt die FIg* 2 . Di·«· «eigt einen V«ntilkörp«r 8υ, der «It «einer Hubetang· In gleicher Weist beweglieh verbunden «ein kann, wie in »raten Au«fUhrung«««i«pi«l. The FIg * 2 does not include any further embodiments of the invention. Di · «·« has a valve body «r 8½, which« it «can be connected to a lifting rod in the same way as in» advice «execution« «i« pi «l.

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Als Hilfekörper zur selbsttätigen Justierung ist jedoch im
zweiten Ausführung sbeispiel an der Unterseite des Ventilkörpers eine dünne Ccheibe 21 zentral befestigt, deren Museerer Rand verstärkt ausgebildet und mit der koniochen Justierflliche 22 versehen iot, welche mit der angepaeeten Gogeuflf'che 23 am VentileitE im iJinnö einer selbsttätigen Justierung i.ueaminunwirkt« Auch in diesem Beispielafalle ist das Kennzeichnende, dass υΐη eigener HilfskÖrper flir diu Justierung benutzt wird, an welchem die Juatierbewegunt? erzeugt und verraittela
einor elaotiochen Verbindung euf den Ventilktirper vor dem
Schliesson übertragen wird·As an aid for automatic adjustment, however, is in the
In the second embodiment, a thin disk 21 is attached centrally to the underside of the valve body, the museerer edge of which is reinforced and provided with the conical adjustment surface 22 which, with the matching surface 23 on the valve side in the iJinno, has no effect on automatic adjustment The characteristic of this example case is that υΐη own auxiliary body is used for the adjustment, on which the juating movement? generated and verraittela
an elaotiochen connection euf the Ventilktirper before the
Schliesson is transferred

BAD OBlGlNALBATHROOM OBlGlNAL

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Claims

Claims 1 B 7 F) 4 8

1. Vacuum valve, especially ultra-high vacuum valve with a arranged in a valve housing, actuatable by a lifting rod Valve body, wherein the lifting rod is movably connected to the valve body and measures are provided, when closing the valve on the valve body automatically the necessary for a correct seat in the closed state cause lateral shifts and / or tilting movements, characterized in that a with the Valve body elastically connected auxiliary body is provided, on which the adjustment movements required to align the valve body prior to closing are generated and from this are transferred to the valve body and that the elastic connection between the auxiliary body and the valve body so is designed that they only have an axial relative movement between allows the two.

2. Vacuum valve according to claim 1, in particular Ultrahochvakuumventii, characterized in that the elastic connection is designed as a thin disk whose axis coincides with the axis of the valve body.

3. Vacuum valve, especially Ultrahochvakuumventii according to claim 1, characterized in that the valve body is movably attached to the lifting rod in such a way that that both tilting movements and lateral displacements of the valve body are possible at the same time.

4. Vacuum valve, especially Ultrahochvakuumventii according to claim 1, characterized in that the auxiliary body as a valve body surrounding, of this is formed by an elastic membrane supported cylinder jacket, which when closing the valve with an on Valve seat provided conical adjustment surface cooperates.

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5. Vacuum valve, especially ultra-high vacuum valve according to Patent claim 1, characterized in that the auxiliary body as a coaxial with the valve body on this centrally attached, thin elastic disc is formed, the outer edge of which with an adjustment surface cooperates on the valve seat.

PR 6725 d

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