DE1589929A1 - Elektronenstrahlerzeugungssystem - Google Patents

Elektronenstrahlerzeugungssystem

Info

Publication number
DE1589929A1
DE1589929A1 DE19671589929 DE1589929A DE1589929A1 DE 1589929 A1 DE1589929 A1 DE 1589929A1 DE 19671589929 DE19671589929 DE 19671589929 DE 1589929 A DE1589929 A DE 1589929A DE 1589929 A1 DE1589929 A1 DE 1589929A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
tube
electron beam
coils
magnetic field
electron gun
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19671589929
Other languages
English (en)
Other versions
DE1589929B2 (de
DE1589929C3 (de
Inventor
Salbu Erik Oivind Jarl
Karl-Heinz Loeffler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of DE1589929A1 publication Critical patent/DE1589929A1/de
Publication of DE1589929B2 publication Critical patent/DE1589929B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1589929C3 publication Critical patent/DE1589929C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/52—Arrangements for controlling intensity of ray or beam, e.g. for modulation
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
    • G11B7/0917—Focus-error methods other than those covered by G11B7/0909 - G11B7/0916
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
    • G11C13/04—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using optical elements ; using other beam accessed elements, e.g. electron or ion beam
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
    • G11C13/04—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using optical elements ; using other beam accessed elements, e.g. electron or ion beam
    • G11C13/048—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using optical elements ; using other beam accessed elements, e.g. electron or ion beam using other optical storage elements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/82—Mounting, supporting, spacing, or insulating electron-optical or ion-optical arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/21—Means for adjusting the focus
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
    • H01J2237/24507—Intensity, dose or other characteristics of particle beams or electromagnetic radiation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Earth Drilling (AREA)

Description

International Business Machines CcrperatlOft Araonk 10 504, N.Y. / USA
Elektronen» treble rs«uguile»«y· t*a
Erfindung betrifft «in
rait einer Kathodenanordnung, MagnesitIdniti*iß, «nth&ltend magnetisch« Mnoen, TokmmiGmpulvn usd/odey .&1>liRilDepal«B» iie hintereinander *uf äiet auf ein Siel £e?ieüt#t« Ach·· d*r ia
v»rlaiifimd«n Beim dee BX«fe:troA«netrahle
v@rl£iiift äl<s Mim änm Slektronenstrahl« i« ffüktttm. Se
Blüh niclit olane veitöres veroMiidont dee« ii» dieses Va- kmiM I^mamihGthnmn geraten. Handelt ea eich dabei a.B» um öl €}J@aL atide^u orgMiieehc Subetaneen» dann können dieee, ge-
dyrcii den .Clektroneiaetrahl au«poli««ri8ieren und Niederschlag auf alltm Teilen bilden, die- von dee £lek-* tr n)il getroffen worden können. Diese feile atüseen also, ■jmvn mm nicht Kinbunncn in dor Strnhlcreougung in Kauf nehMH
BADORlGfNAL
Ρ 15 806 / B 18
will, von Zeit zu Zait ausgewechselt oder gereinigt» repariert «erden·
Aufgafca ctei; 2rfir»duag tut es, ein Elaktremenstrahlerzeugungs« system der eingangs genannten Art. ?jo 3i*;*»ugestalt®n, dass die von den gßiüxnßteu Verübelt: !gto*?*?!»« &«g:I!@feerw9iBe betroffenen Teile leicht au^fswaefcgelt b-ss^o gereinigt werden könneno
Die Erfindung lz% ^.äv^ch gekerrir/#ie'&3fi6t, daes die Vakuum-* kasüBer β Ans» "Röhre s&e nicht ff.ags-.atisisr'bareia Material aufweist, die die hsm-^asehßfcR.?* iyyefc Spulen &®r Stagnetfeldmittel und
!Er «ili^sfß hi^dtiffcLgsetsckt iato Die Bahn dea Elek- ^ e-^ltluft dansri im Innern dieser Höhre und alle IeJIe9 dit*- :lii diceeis Bahnlsefföi<sh aus&erhalb der Röhre liegen, kunnefi von" 'iZöktrcssn dee Slektrc-nenstrahle nicht getroffen werdsn und unterliegen a-dthin auch. 7ileht den erwähnten Verunröinig'anger·. tiiia t'Jiüsr'n SlniXUaseru Ss handelt sich dabei auefc im WBQtkilλ,'.h%n ϊι;ϊϊ w. vAgnvtisr'h'? Zhltnkmlttel, die auch
es Vsk-.^Uiii«· Alivga^ k<5njr?!P?;, wie dits auch flir eine ;. .;-i^;I*üh;it ^--'leXnt -'.-^^.'Staltung der Vakuunikaaimer '■ .*,: ;;i pie HSljf« and mit ihr die Teile, die gegeder Mb/?® wnte.rgehracht oind, kann zu der - oder Auötauechswcckcn !sieht aus dem Elektronenßtrahl0rfci8Ug\mgosyet©!ii herausgezogen werden. Die magnetischen ?ei&ars die den Strahl fokuseieren und anderweitig beeinflussen, durch^otzen - aow@it sie auf der Höhe der Röhre angfcor&ßst ainß. - die Wandung d©r Röhre. Uo die betreffenden Felder genau auf die Bahnachse zu zentrieren, empfiehlt es sich, im Innern der Röhre Polschuhe zur magnetischen Verlängerung der Pole der Spulen der Magnetfeldmittel anzuordnen« Diese Polschuh** unterliegen natürlich unter umständen den bereite e-rvähjfjt»n schädlichen EinflUes»n« Sie können aber, da ei4 Ij l£ne!*n der Röhre liegen» !sieht gerneInaam mit der Röhre aus dem Sysltm herausgenommen werden. In entsprechender Weiee kann man au».h ia Innern der Röhre erforderliche Blendmittel
009825/0392
BAD ORIGINAL
3 P 15 806 /D 18
und/oder Elektroden zur elektrostatischen Strahlheeinflussung unterbringenc. Auch diese Teile unterliegen unter umständen den erwähnten 8cl&dlieh@n Einflüssen, können dann aber mit der Rohrs mis &®m Syst eis herausgenommen werden 0
Bi© Unterbringung &®r einzelnen Teile in der Röhre läset sich sahr einfach bewerkstelligen gemäss einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung, di@ dadurch gekennzeichnet let, dass Sie iss Inn@rn der Rühre untergebrachten, strahlbeeinfluoesnden ' Mittel in die Röhr© eingesteckt sind und durch gegenseitige
von den Enden der Röhre her gemeinsam durch an dem lösbar gelagert© Verspannungsmittel in ihrer axia-Lag® gehaltem eiad· Bie fraglichen Teile Βίηά ianra einfach ii isr yieMtigan Reihenfolge hintereinander gege"b#nenfalla dureh
r©n Abstaadahaltern in &ί® Höhre gestockt ^ispiel d^röh eine Druckfeder f alle &ά ^inam Znäe in Röhre *süit«rgeliiaüiit J-^t1 verspannt. Tie :ih:^:-ii:^a^r? kann &±®h auf Sprixtgrlagssn, die an biiiöeu Ißdera ia Τ:,^.'·;ϊ>:·η äer lahre
aiüd, abs^Utsen* Auf diaöö V«ia» lciiifinsa die fragfeile 'este ganau in ö*r erforderliches exialen Lage justiert werden., Su^ Justierung dar Tail© in ihx'er· richtigen
di* Erfindung Jvoti^rnittrii »wischen den aa Kitt ein ( die äis gegenseitig« Winkelgekanntem Mittel Innerhalb dar RQhre festlegen4
Auch dis Kathodenetrahlanoränung und das Ziel saü&B®n in dar Yaka'i'ifflkaiamar untergebracht sein. Diese beiden feile befinden eich an den beidtm Enden der Bahn d@& Elektronenstrahls. Beide Teile erfordern in radialer Richtung mehr Plat«, ale die erwähnten Polschuh©* Aus diesem Grunde ist eine sweckmäseiga Weiterbildung der Erfindung gekenneeichnet durch «in evakuier- ■ bares Gehäuse füf die Kathodenstrahlanordnung und «in eolehea für das Ziel» ¥&lsh@ Gehäuse an gegenüberliegenden Enden der
00 9825/0392 BAD ORIGINAL
P 15 806 / B 18
RÖhra angeordnet sind und in Flucht der Röhr© Je ©inen torueii aufweisen» ds? gegenüber a®m Innm^i der Röhre off®a uadl· nach a\sßö«ü abgs«Siw^*-3t i&t- Xe d©ti i"i?a,glieinen Qehäumn. kön
Auch <!io feile ;l:5;? Mr.göwtfeldmittnlt die atm E auf dem Baimstü&k im Innsrn der Höhrc iieeinf, sehr leicht verisittels der Bohre zentriert wurden, Eine
ein syliBsiöii'ör^igfea ishäuoc ^orgeseLcB ist, an ße&&©ii tsi.den Stirnseiten tie Gehäuse für das Ziel und «Sie Kathofienanoii-ttimr be." eiti^t .*;.:". "ί·. -v-^c-.si idfiieoi'?r<;·? täi £iri£& άί^ε^ι· GtLär^e üie Bt- :'e*n,Λί*υ ·,-: "*'ii.- :?t li't, !-'ϊγ; ?μρϊ; bei dt\t?^f^ Aucgeetirltisaf· ä*-;* Eiii2wung ttie ei".sr*--d.i:en leile c^z- Magiüekfeldair.ttel in dec1 syl.incer-Varmiere.- üi.i-üuse etax-ylr·. »ο ήίί^ί» αϊ« Mit^elcurc-^'brUc?· :? mi * -iir,t-zer- ν +.v.·.:^ μ und ae.2in -Ii^ 1?;ι:γ-- ' : . '-rcht iecii ts. ?o?gi r.'" i"' . ; /.-..rfciehenass Spiel swieeben der Wandung des syll^der· förmigen Gehäuses und den genamiten Mitteln, dann weiden äießf durch die hindurohgesteckte Röhre auf die Strablactoee sentrieiδ
Die Erfindung wird nun an Hand der foeilgefügten Ze näher erläutert; In der Zeichnung seigts
Figur 1 ein Aiißführungsfoeispiel nach der
Srfinduag teiiwöise geachriitfeen Ii perspektivischer Ansicht,
Figur 2 dae Auefüterungabeiepiel aas ifigui
im Querschnitt, und
Figur 3 einen Ausschnitt aus Figur 2,
stark vergröesert mit weiteran Details.
009825/0392
BAD ORIGINAL:
Ira Folgenden wird ein Elektronenstrahlerseugungseystem für einen Batesaufaeiöfoner beschrieben. JDie Erfindung ist aber MeM auf die Anwendimg "bei der Datenauf zeichnung !beschränkt.
§emä33 figur 1 wird ein Elektronenstrahl in der Kathodenanordnung erzeugt, Üeir entlang der Acliee 7 dureli die "Säule 8, ■lie imjsrhalb »tUjs Gehäuses 9 angeordnet ist, gerichtet iat.
S-DfeMi'ä f3ss? B?.ektKPn^stmhl üie Kathodenanordnung 6 verlässt, . wi^ö er iii drei Lin^eai 10, 11. und 12 konvergiert und paseiert äaim eiiie E^Mticale Öffniang ^ '5 einer ihcruöföraigi;ntiyna2!iseheii SOlöiBsierspitals 14 uM sine öffnung 15 eine^ thörueformigen At3li2ik3pMX-i "6. ,Die beiden Spulen 14 Tbezw, 16 fokueaieroM den 31a£irö:i©si3"i?rai)I ^ä·^ l'Siikea ite fiber ein als Speicherelement ' a?isg3biid€-tAs Ziel, daß in einem als Verlängs t-ung'dos Gehäuäf3 9 aüiSgsMlöiet'·»^ GeM^^-hS 18 untergebracht iot. Paß Speiche" 9leE;äKit "ßöstöhl; aas el?"»«i): Hnterlal, dna auf ElektronenRlnfall aas^rioLt c^^s? atis ^itisi.m '.hatiaoplaytiechen Film, auf dem durcl· in Strahl *"·:-ί!β lokale Uflssötzung vorgenommen wer* '/^.ep^e^hö^ie Modulation und Rseterw.ng des kennen also Inforraafcionen auf das Speicher«» •sieis^Ht "iV aiifgfji'eivl'aiei werden.
,PI© ^/$:ii:SA*7r.;irioTdY::.'/:'i£ v-'ltt trin Gehauen rf) tu<f, in iien: eine g^k'ii.Kte P/·;.·!CRlCi1^R""'de i1;'* innerhalb eines Gittere 21 Jintergeöra^iit :*,3"ξ' J1Ae 0i"r?'r>" v^it. t tiii?.en Duroh'bruch i%2 ?uif, durch el3Ä ;\ic fij_;;:ktrr*!".irrj ir.^^t-.· -^ ^a können. X&etn? K3.tt'.cdf;a,y]i;!oränung is* .^ΐΐ^ί;ΐί>:.;Λτ tr* ii^sTs iltil:.;:;Hrt<f 9 b«festigt-, ?oü ie·;:; Kathoden-
ia 03F WfI-IUi1^.: ei,a-~p ■i'-vf.auäi^r' 24 in ciie Säule .·;. ;'r;y Gehäuse Σ :igi! :;;:V5i ?;'^"λ??.ί7. 24a r:> .!"",■. ■.;■·.·>?'■ aus«-' 90 oefestigi Die öffnung 2; ύΐ >s.t -.-'J.:. vvr.iTtir»;s.u;·:.:-e ' ,;<ctitriert. I1K del· ϊ,^-ιΊΐ: H virä dar iiii^-i^^-i^st-ruiil ^hI c '-ο 1V?.:' se 7 eimtriert and aniKch'lieeeend e:;ia "--1B Ι^ΐ',-ιΧ 'Ä^ΤΗ'Ι-.'-Λ'ί'Λΐ ■' ''? f okifsnieptr un<1 »war vorzugsweise ,'?f ?ί^··ί "■u.'M'.-^d^r-.s^h;:·--^^;* ^1DIi wenigen 'tauaenöatel Millimeter.
■-. '''::ö-i':-:'■'-■:λ'υ'ύ^ UQH Yi\£\-'y,"iru<:inetrah\:a auf die Aßhno 7 sind .■.-■·■ -k'rLi *■■ -'fV-i-iü.lgti 7.i r: i-.'I'OTöp'a" .nf.» ?5 und 26 vorgesehen. Burch ■· :j - :'...-■ Γ·'·1·· ■ .'.■'.■ ■·■■ ■;='.',,■· ;;■·-,■; :ιί :}it dn.rgoa1
BAD ORIGfNAl
P 15 806 / D 18
der 9 die den
aiaf die Achse 7 'ate©ai©ri mti ihn
aef
t-'afl 12 tub© 23 "bas^c 29
s-ss
le ^pnlenasio'fSiamig 1? beatekt aias einer, ä dis swiaek©s s^©i iaagB@tis©fe@ia Pol-
0, 27,
4 s 3
28
siialat in &öali©la©s? ¥®is©
3 30 awei
aag@©i?aasii; sAaio la ©aissp^ssäsäil©!= ¥©ise Msm'S'&zmig 2§ aus ©iass1 "öliosrMsffeEägeB. p st/iscsla@a Sw;?.l J?©lsrha©te^ 4S κ! 43.<? mriB&ausn ä-s.iea siöh die
t^smmm WImss -siasr Spuals S7 h@mio 28 l©it»sn köaiat^i isai lisjsätgs® 35a tsa? 4ösi sms mielritaimgaütisissrlsa^ea Ma^j2i.al auf 9 elis ®ia@^i SwCiI^ ffe a@a safpa-s-feisslißja. Plws^ MM©a; lcsk lieseis B^alfe g©äfe äss sa|ca®-li:-';yfea fsäi as©,, ia® ä'i's Bl^Is^romoastralil Bü©w3E?t Μία $313 idefe IFiter M,@ J?@lä)©teälss; SS bscs'&o 88 sratrecktc las P©lä@efe 45 My£t@Saü am© iiieMnsga©"©!®©Siena fk^m^sl nuä Mist ^itSiiE '3äsfffi? SiBeoae^igefeeB Swel^ fte flä-s? ϊ?1μο& ISo Sie
M,- iieM f^'-itsag ä@w i^iileageSisB® 'T-. Bia^oir ώί-ΘΘ© IFeMes' wird
009825/0392
BAD ORiaiNAL
P 15 806 / D 18
Badflanaeh 48, ier as
0 ga
2?e& Ende
Θ ist im3<gls ©äsl® Vielsslil ims aida
Q£?@tr©ckea
segea
l) iss? iIMg ijtsgoaGfesns
tig
0# Mt 59 i
die
ffl@at
ΪΊ©
gslaaitoa
=· 11I ü^
ül& Stoi®
siaios©
Smtl® 60
des
l© 16 liegt
64 "
.aets-t '"
MtSf ier EiSi-
00982 5/0392
- «*- P 15 806 / D 18
Wirkung dee Elektronenstrahls und die Folge ist, dass sie siel; an den von dem Elektronenstrahl getroffenen Flächen absetzen. Man muss also einerseits dafür Vorsorge treffen» dass solche Fremdsubetanken nicht in das Yakuum beet*, den Säulenbereich gelangen können und andererseits die rom Elektronenstrahl belichteten Teile von Seit eu Zeit reparieren, reinigen oder austauschen.
Nach der vorliegenden Erfindung wird der Elektronenstrahl in einer hohlen. Rohrs gesteuert, die gleichseitig einen Teil der Vakuumkamm©? für &@n Elektronenstrahl bildet und herausnehmbai in den Spulenanordnungen gelagert ist. Biese Röhre trägt alle strahlformenden El®s«@nt© und hält sie in der auf diü Säulenashse ssntriert'e»-- Lag®. Die Instandhaltung* der Säule ist sehr siBfachj w©il <äi© Höhre leicht aus übt Säul® entfernt werden kann- uM die wa ll®ktronenstrahl beliebtsten feile l®ioht von i©s? lote© getrennt werden können. Di© nsagß@tiscliea Felder, Sie den Elektronenstrahl fokussieren und steuern, gehen von ?ol@lem@nt@n aus, die im Interesse einer präzisen Wirkung auf den Exektron©&Birahl sehr dicht entlang der Säulenachse angeordnet ßißd. Vorteilhaft ist auch, dass das ¥akuus3 nur inner- ·· halb der Röhr© aufrecht erhalten w®ri©ri sau8@s alao iß einem -verhältnismässig kleinen BsfeicfeG
Sie bereits erwähinte Eöhre iet mit 66 bexeiolmet und erstreckt sich durch das -Geh&uee 9. Der lichte Innenräuis 97 d@r Röhr® hat kreisrundes, Querschnitt i.md e^streskt ®±?Jä kons©ntrl®cfe eur Säul@nachse 7. Mit 68-ist ein fXs&äolh am «i.aea l&Se der Röhre b@s@iclm@te der ü2j> Seif I&-lhoS©nano?Siäissig 10 tmter'Swi-» sehen®chaltung eins® AMichtriage-s 69 anliegt, km ©atgegeageeetEfcen Ende der !öhre 66 liegt dies® unter lwi@cli®nechaltiis>g eines Diehtungsringes 70 an einer Scheibe 71 @as iie'am Polstück 43 befestigt ist. Zwischen der Scheibe 71 und dem Sehaus© 18 für das Speicherelement iet ein Bichtrlng 74 verklennt. Bas Gehäuse,-.1.9 der Kathodenanordnung, die !öhre 68 und das Gehäuse 18 für das Speicherelement bilden gerneinearo eine durc« ■«
00 9 8-2 5 /03 9 2 ' -'
BAD "
P 15 806 / D 18
gehende Vakuumkammer tür den Elektronenstrahl. Das Vakuum wird in dieaer Kannaer durch, ©ine in der Zeichnung nicht dargestellte Vakuumpumpe erzeugt.
Bi @ Röhre 66 erstreckt-©ich innerhalb der Säule dursh öff- nung®n in den Polstücken der Spulenanordnung 27, 28, 29» wodUEj©h .gleichzeitig .die gewünschte axiale Zentrierung dieser feil© herbeigefühtt wird · Me Infrage stehenden öffnungen eier Pol«» stüeke 51, 32,.' 37, 38» 42 beet/. 43 sind mit 31a, 32a, 37a,. 38a, 42a bezw. 43a bezeichnet» Aussenden» erstreck!; sieh die Röhre durch den lichten Innenreim 56a dar Muffe .56. Die infrage stehenden öffnungen im den Polstücken und der Muff® sind so !bemessen, dass die Böiare mg In diese Seile ©ingepasst ist * und dass di© genannten *Te1IIe auf diese Wdiae äureh die Röhre ihrer auf .die Säulenachs© 7 zentrierten axialen
Bie Böte© 66 -wird; durch ein pder ajehrere Hebel 75 .innerhalb der Spulenanordnungen-Terkieauat· Die Hebel'75 sind schwenkbar um ©in©» aiD Ileminriag 50 befestigten Dom gelagert. Das abseitig gelegene End© 75a des dargestellten Hebels. 75 ragt durch einen Biarehtauch 77 ä&T Muffe 56, in eine Ausnehmung 78 der. Wandung des» HcJtes 66. Das asad@r© IMe d©s Hebels 75 weist eine'Absetoägung 81 auf» die siefe auf einer Schraube 80 abstützt. Die Sehrau-be "80 ist la di@ laadimg de® ^@liäiaa@s 9 ©issgeäreht, ¥irö äi@ Scteamfea 80 stärker eingedreht, darm sohwensfet der Hebel.75-
auf die BlieteieMaag tee Be-\
äi@. Hötee ββ S®i©a $©a Uioht-LSet maa Sie .Sehsaube -80, iaua-ksna fier Hefeel im
g-ifet
66 &±nä elelctroneHstrahlf©riaenie wap- von äer .Kathoäenanofdnimg
85? Polschuhverlaageruageiaittel-86,' eine Polschuhverlang-erungefflittel 889- eine
eias Plattenanördnung 90 »wr Dunkeltastung
0 D 9 8 2 5 / 0 j Ö 2
- Kl - P 15 806 / D 18
und eine Blendenanordnung 91· Die genannten Elemente sind zwischen Federringe 92 und 93» die an beiden Enden der Röhre in entsprechend© innere Ringnuten eingepasst sind, eingesetzt«, Ausaierdem Isömiea gträ sehen den einzelnen genannten Elementen Mittel vorgesehen sein, die diese in der richtigen relativen Winkellage Em©iaamier justieren bests?» halten. EWisehen dem Federring 92 w&ü fie^ Blend ena&ordiaung 95 ist eine druckfeder eingesetzts äle dies® ötrahlformenden Elemente zusammenpresst waiä damit in axialer Ausrichtung zu den äusseren Spulenanord-Büiig@2i hälis8 wmm öl© EtSta© in die Sä&l© eiageBetSfe ist.
"fet@X 86 wetsea uagn®ti8che Pol® 95 dUar@h ®ia©a"siishtsaagn@tia©Sien Einsatz 97 getrennt ©lad9 awf β B@r liasats 97 Midst eiaoa Flußspalt d®r Line©· Entsprechet siaä für die Folaohtth-veviangerungenittel 88 Pol© 98 ^eS 99 iaiis ©ia@a dasiwis9h@aa
ß@Si@a liiisia-fea 100 ¥O2?g@s@h®3fto Bie g®Mmmtea Pölpaare leiten also i<sa nagaetlsekea flmss Ms iioSrfe aa Sie SäiÄleaachs® 7
«las aur F
Di® Bl<Bmä®immsTümmgßn BS9 ST9 89- Miä- 91 tsegreasea den Durch-» messer ä©g 351©kt5?ö2ä©!asti?a3ile B- lnäeü sie öi©3©Mgen Elektronen
©inen vort>eB%ip©te2i Qi£®sec!mitt Maaus·
101 mi^'©isüisff Msadsffi^ffSissBig 102 a«f9 die smf Sie Säulen&chse
lste Si© ^
9© swiseäea i@si Bleaasnsssordiiangea "89 uad
9i l@ät©t tei issQgaag <t©a llelt^s^aeäistraM soweit alis dass ©r nickt ataf iss Sp©ieiä©i?QlesB©nt 17 t^©ff@a kama» Bis 2iattsn-
ordnet β AM
befestigt sind. ¥©na sieh 8wi®e^eu.4eii Elejktrodenplattea «sin
00 982 57 03Ö'2:-'<!t-■·'"*" BADORtGIlVIAL
. P 15 806 / D 18
elektrostatisches Feld erstreckt, dann lenkt dieses den Elektronenstrahl soweit ab, dass er die Blendenöffnung der Blender l anordnung 91 nicht mehr erreicht.'-Sie Helligkeit des Elektronenstrahls kann durch entsprechende Erregung- des? Elektroden- - platten zur Aufzeichnung von Baten auf das Sp@i©h(SF@l©iaent 17 moduliert werden.
Bei Betrieb gelangen die von der geheilten Kathode 20 austretenden Elektronen durch die Öffnungen 22, 23 in- das Inner© der Säule 8. Dieser Elektronenstrahl wird durch die 'entsprechend erregten Zentrierspules 25 und 26 auf die Säialenaehse 7 sentriert vmä passiert ansehliessend die Blend©aanos?d:mang 85. -Elektronenstrahl wird .dann in den Linsen- 10 und -11 fo'kue-
passiert di@ sugefoiSrigen BlendemnorSzmngei&e Saoh-. dem- ä&r Biektronenetrahl die ?lattenanorSniang 90 passiert iiat{ wiTä ®t isf Mass 12 f©kassiert und gelangt ämm Im ä®n Bs«· r©ie5i der dynamischen Fotetssierspul© 14 tsai &®'£ üMesikspiil© ii und sclaliesslicih auf das Speicherelement 17.· '
All© strahlfonaenäem Elemente, die von dem Elektronenstrahl " getroffen werden ktenenj, liegen innerhaTb* der B3hre 66. Die P@lder der-Spwlesiaiciordnungeii. 27 'und 28 <äiareh©©i;sea ii© -Röhrenwände und öer ffi^gaetiseh© Pluse torchsetst öle. Solschuliver-■ läagemtngsmltfelc Ba. äi© Wandung-der HS^re ββ ^erhal^Biaiaassi|-·. fiüma tat, stellt sie - ©bwo&l sie aus aiehtiaagsietissliain Material te steht -^ Wuus· Bxtmn kleiaeia' uagpe ti-selaea liier©.tand für figa ewälffitea FImss fias?e Bie Bolsefei^verläagerÄgeKittel lie-
ä®T ISIsr-e S6 tiefet an pnal@asiaoafiawitsg©a aa und sind a®@li ii@s©n.
Iltis- die BÖh«
auf d®n v©a dem E
flä@fe©gi -£@i? iäule kSaaea aur .©«shwer ^erale« A^lagi&iiiaKgeaL können durch Äisf'SieissE der enl· Bl@m®sat@ . nr@r®!HigeriE w@rde:at, Ma® kasss aiaeli iie frag lleliea ®@il© ©!©kteisch 'leitend .ausgestaltet nnä iie elekferi-
®.hl®±t<an9 al® sich dort aisss&iaaielm,, 009825/0392
BADORlGiNAL
P 15 806 / D 18
Elektronenstrahl auf die betreffenden Teile trifft. Auch dadurch kann man die fraglichen Ablagerungen reduzieren. Die Blendenscheiben 101 werden aus diesem Grunde elektrisch aufgeheist und swar wird zu diesem Zweck ein Teil der betreffenden Blendenanordnung♦ der mit den Blendenscheiben in Wärmeaustausch steht, von elektrischem Heiastrom durchflossen. Aueserdem sind die Elektrodenplatten 103 und 104 von elektrischem Strom durchflossen, so dass sie immer die nach Massgäbe der gewünschten Heil- oder Dunkeltastung erforderliche elektrische Spannung aufweisen.
Mit 106 sind eine Vielzahl von elektrischen Leitern bezeichnet, die - umgeben von Isoliermuffen 107 - in Offnungen 109 in der Wandung der Röhre 66 die Rühre 66 durchsetzen (siehe Figur 3)· Die Leiter 106 sind über Federkontakte 110 an eine äussere Stromversorgung angeschlossen. Die Federkontakte 110 sind an Trägern 111 be zw. 112 befestigt, die ihrerseits entlang der Röhre 66 im Innern der Säule 8 montiert sind. Die beiden Träger 111 sind an Muffen 114 befestigt, die ihrerseits an den Polstücken 32 bezw. 3Θ befestigt sind. Die Träger 102 sind an der Muffe 56 bezw. dem Abstandshalter 54 befestigt.
Innerhalb der Röhre 66 sind Federkontakte 115 an den Muffen der Blendenanordnungen und am Tragkörper 105 der.Plattenanordnung 90 befestigt. Über die Federkontakte 115 gelangt elektrischer Heizstrom an Heizelemente oder Spulen 117 der Blenden- -anordnungen, die einen Heiewiderstand darstellen, so dass sie sich durch den elektrischen Heiretrom aufheizen und die Blendeneoheib« beheizen. In entsprechender Weise gelangt elektrischer Heiltetroa über den Federkontakt 115 an die Plattenanordnung 90« üb die Elektrodenplatten 103 und 104 aufzuheizen. .
00 9 825/0392 BAD
P 15 806 / D 18 345
Sie etrahlformenden Elemente können bei dea dargestellten AuefUhrungsheispiel schnell herauBgenoanien werden lind auch schnell wieder in der richtigen Lage in die Röhre 66 eingesetsst werden. Zwischen &en Federkontakten 110 und 115 und den «ugehörigen Leitern 114 besteht dabei ein Gleitkontakt, wodurch der elektrische Stromübergang an diesen Stellen begünstigt wird*
009825/0392
BADORIQINAt

Claims (2)

Akteϊ Ρ 15 806 . B 18 345 ANSPRÜCHE
1. Elektronenetrahleraeugungseystein mit einer Kathodenanordnung, Magnetfeldeltteln, enthaltend magnetische Linsen, Pokussierapulen und/oder Ablenkspulen, die hintereinander auf die» auf ein Siel gerichtete Achse der in einer Vakuumkammer verlaufenden Bahn des Elektronenstrahls «entriert sind« dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuum« kammer (18,19,66) ein· Röhre (66) aue nicht aagnetisierbaree Material aufweist, die herausnehmbar durch Spulen (27,28,29) der Magnetfeldffl^ttel (10,11,12,14,17) und kon- «entriech su diesen hindurchgeeteckt 1st.
2. ElektronenetrahlereeugungBoysteai nach Anspruoh 1, dadurch gekenneeiohnet, daee i» Innern der Röhre (66) Polschuhe (66) sur oagnetieohen Verlangerung der Pole von Spulen der Magnetfeldaittel angeordnet Bind. ■
- Λ ■ r
0 09 8 2.S / 0 39 2 BAD ORIGINAL
P 15 806 / D 18
3. Elektronenstrahleraeugungssystein nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass im Innern dar Röhre (66) Blendenmittel (85) angeordnet sind·
4. Elektronenstrahlerzeugungssystem nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dase im Innern der Röhre (66) Elektroden (103t104) zur elektrostatischen Strahlbeeinflussung untergebracht sind.
5* ElektronenBtrahlerzeugungssyatem nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die im Innern der Röhre (66) untergebrachten, strahlbeeinfXusöeaden Kittel in die Röhre (66) eingesteckt sind unä durch gegenseitige Verspannung (89) von den Enden der Rohre (66) her gemeinsam durch an den Röhrenenden lösbar gelagerte Verspannungsmittel (89ι92,93) in ihrer axialen Lage gehalten sind.
6. Elektronenstrahlerzeugungssystem nach Anspruch 5» gekennzeichnet durch Justiermittel zwischen den in die Röhre (66) gesteckten Mitteln, die die gegenseitige Winkellage der ge« nannten Mittel innerhalb der Röhre (66) festlegen.
7· Eiektronenstrahlerzeugungssystera nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch < . evakuierbaree. Gehäuse (19) für did Xathodtaistrahlaii (6) und ein solches (18) für das Ziel (17), welch· (18,19) an gegenüberliegenden Enden der Röhre (66) angeordnet sind und in Flucht der Röhre je einen Durchbruch aufweisen, der gegenüber dem Innern der Röhre offen und nach aussen abgedichtet (69*70) ist.
009825/0392
BAD ORIGINAL :
** P 15 806 / D 18
8. Elektronenstrahlerzeugungesystem nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufnahme von Spulen (25,26,27,28,29) der Magnetfeld» mittel ein sylinderförmiges Gehäuse (9) vorgesehen let, an dessen beiden Stirnseiten die Gehäuse (69t70) für das Ziel und die Kathodenanordnung befestigt sind, wobei mindestens bei einem dieser Gehäuse (69,70) die Befestigung lösbar ist.
009825/0392
BAD ORIGINAL
Leerseite
DE1589929A 1966-08-29 1967-03-02 Elektronenstrahlerzeugungssystern Expired DE1589929C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US575731A US3345529A (en) 1966-08-29 1966-08-29 Electron beam column with demountable flux-generating assembly and beam-forming elements

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1589929A1 true DE1589929A1 (de) 1970-06-18
DE1589929B2 DE1589929B2 (de) 1972-06-15
DE1589929C3 DE1589929C3 (de) 1973-01-04

Family

ID=24301472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1589929A Expired DE1589929C3 (de) 1966-08-29 1967-03-02 Elektronenstrahlerzeugungssystern

Country Status (8)

Country Link
US (1) US3345529A (de)
BE (1) BE699990A (de)
CH (1) CH460960A (de)
DE (1) DE1589929C3 (de)
FR (1) FR1529406A (de)
GB (1) GB1162732A (de)
NL (1) NL6710938A (de)
SE (1) SE318952B (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3480817A (en) * 1967-06-30 1969-11-25 Ibm Aperture assembly for electron beam device
US3686527A (en) * 1969-12-12 1972-08-22 Sanders Associates Inc High-speed synthesized field focus coil
US4000440A (en) * 1974-07-26 1976-12-28 International Business Machines Corporation Method and apparatus for controlling brightness and alignment of a beam of charged particles
DE3328172A1 (de) * 1983-08-04 1985-02-14 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Elektronenstrahlkanone
JPS60230343A (ja) * 1984-04-27 1985-11-15 Internatl Precision Inc 電子レンズアセンブリ及びこれを組込んだ電子線装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB615257A (en) * 1946-05-13 1949-01-04 Gerhard Liebmann Improvements in or relating to electron microscopes and other electronic apparatus employing electron lenses
NL294725A (de) * 1962-07-05

Also Published As

Publication number Publication date
BE699990A (de) 1967-11-16
CH460960A (de) 1968-08-15
NL6710938A (de) 1968-03-01
FR1529406A (fr) 1968-06-14
DE1589929B2 (de) 1972-06-15
GB1162732A (en) 1969-08-27
DE1589929C3 (de) 1973-01-04
SE318952B (de) 1969-12-22
US3345529A (en) 1967-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH355225A (de) Verfahren und Einrichtung zum Kontrollieren und Korrigieren der Lage des durch einen Kathodenstrahl erzeugten Brennflecks auf der Antikathode einer Röntgenröhre
DE1589929A1 (de) Elektronenstrahlerzeugungssystem
EP0150326A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Kompensation von Aufladungen bei der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) elektrisch schlecht leitender Proben
EP0490105B1 (de) Vorrichtung zur bildmässigen Beschreibung einer Druckform
DE10030340C2 (de) Vorrichtung zum Behandeln von Wasser
DE1191496B (de) Ablenkspulensystem fuer Fernsehbildroehren
DE750159C (de) Kathodenstrahlroehre mit einem abzutastenden Schirm
DE2142436C2 (de) Fernsehkameraröhre und Verfahren zum Betrieb
WO2003038829A2 (de) Speicheranordnung
DE3518270A1 (de) Wechselobjektiv
AT127556B (de) Strichfokusröhre mit beweglicher Anode.
DE2243217A1 (de) Ablenkanordnung fuer einen elektronenstrahl in einer elektronenstrahlroehre
DE1414808B2 (de) Kathodenstrahlröhre
DE1930618C (de) Konvergenz-Korrektursystem für eine Farbbild-Wiedergaberöhre mit Einfach-Elektronenkanone
AT155763B (de) Kathodenstrahlröhre zum Abtasten von Fernsehbildern.
DE1232273B (de) Kathodenstrahlroehre mit einem aus zwei Abschnitten bestehenden Vertikalablenksystem
DE1941466B2 (de) Vorrichtung mit saettigungsfaehiger spule zum ausgleich von verzerrungen insbesondere der kissenverzerrung bei farbfern sehroehren
AT154766B (de) Elektrische Entladungsröhre.
AT216646B (de) Röntgenschattenmikroskop mit einem elektronenoptischen System und einer Vorrichtung zur Beseitigung von Astigmatismus
DE970363C (de) Permanentmagnetische Fokussierungseinrichtung fuer den Elektronenstrahl von Kathodenstrahlroehren
AT149280B (de) Elektrische Entladungsröhre für die Übertragung von Bildern.
DE1805574A1 (de) Linse fuer Elektronenstrahlaufzeichnungsgeraete
AT279757B (de) Haltevorrichtung zur punktweisen Befestigung von Rohrspulen
DE683836C (de) Elektrische Entladungsvorrichtung
DE1285628B (de) Bildspeicherroehre mit Magnetspulenfokussierung

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)