DE1512729B2

DE1512729B2 - Elektroakustischer wandler

Info

Publication number: DE1512729B2
Application number: DE19671512729
Authority: DE
Inventors: Hugo Willy Des Piaines 111. Schafft (V.StA.)
Original assignee: Motorola Inc
Current assignee: Motorola Solutions Inc
Priority date: 1966-06-13
Filing date: 1967-05-26
Publication date: 1972-09-21
Also published as: GB1159337A; DE1512729A1; FR1522700A; US3548116A

Description

Die Erfindung betrifft einen elektroakustischen Wandler mit einer Membran, die eine die Membranachse vorgebende Spitze aufweist, einen axial dazu beweglichen Abschnitt besitzt, der mechanische Schwingungen ausführt, und an der eine piezoelektrische Scheibe zur elektroakustischen Umwandlung freitragend befestigt ist.

Elektroakustische Wandler mit piezoelektrischen Kristallen besaßen bisher einen Montagerahmen für den Kristall. Lautsprecher mit derartigen Kristallen als Umwandlungselement erforderten daher außer einer Aufhängung für die Membran einen zusätzlichen Rahmen zur Halterung des Kristalls und der zu ihm gehörigen Teile. Bei derart gelagerten Kristallen muß man sehr darauf achten, daß die Umwandlung zwischen elektrischen und mechanischen bzw. akustischen Signalen ohne Verfälschung vor sich geht, d. h., daß bei der Umwandlung keine Störungen oder unerwünschten Verzerrungen entstehen. Ähnliche Schwierigkeiten bestehen bei elektrodynamischen Lautsprechern, welche ein Permanentmagnetfeld erfordern, das mit der Schwingspule, welche mit der Membran verbunden ist, zusammenwirkt. Auch hier benötigt die zusätzliche Lagerung Platz und vergrößert das Gewicht und die Kosten des Wandlers.

Man bemüht sich ferner, einen möglichst guten Kopplungsfaktor zwischen den elektrischen und mechanischen Reizen bzw. Signalen zu erhalten. Der Kopplungsfaktor ist folgendermaßen definiert:

in mechanische Energie umgewandelte elektrische Energie

Für die umgekehrte Umwandlung gilt:

elektrische Eingangsenergie

in elektrische Energie umgewandelte mechanische Energie mechanische Eingangsenergie

Aus der USA.-Patentschrift 3 206 558 ist ein Wandler mit einem scheibenförmigen Piezoelement bekannt, das an einer Membran, die dieses Element allein trägt, befestigt ist. Die Membran hat die Form eines Kegelstumpfes mit einer sehr breiten Schnittlinie am Stumpf, an der das Piezoelement befestigt ist. Die Anordnung ist dabei so getroffen, daß im Betrieb die äußeren Enden des Piezoelementes sich auf und ab bewegen und das Zentrum relativ stationär bleibt. Die Abstimmung dieser Anordnung wird durch die spezielle Ausbildung der Piezoplatte erreicht, insbesondere durch eine eingefräste Vertiefung im Zentrum. Bei dieser Ausbildung besteht der Kontakt zwischen der Membran und dem Piezoelement auf einer großen Fläche, so daß nur ein geringer Teil des Piezoelementes effektiv an der elektroakustischen Umwandlung beteiligt ist. Es ergibt sich ein verhältnismäßig niedriger Kopplungsfaktor mit relativ hohen Verzerrungen.

Aus der USA.-Patentschrift 2 045 404 ist ein Wandler mit einer konischen Membran bekannt, an deren Spitze ein Piezoelement befestigt ist. Das Piezoelement ist entweder stangenförmig oder besteht aus zwei quadratischen Plättchen. Auch bei dieser An-

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Ordnung ergibt sich ein relativ niedriger Kopplungs- Schichten piezoelektrischen Materials. Infolge der

faktor. Kombination mehrerer piezoelektrischer Schichten,

Aus der schweizerischen Patentschrift 396 100 ist von denen aneinanderliegende Schichten jeweils geein elektroakustischer Wandler bekannt, der eben- gensinnig orientiert sind, ergibt sich ein großes Verfalls eine konische Membran aufweist, die jedoch mit 5 hältnis von mechanischer Auslenkung zu zugeführter einem scheibenförmigen Piezoelement verbunden ist. elektrischer Energie bzw. umgekehrt.
Dabei ist die Spitze der Membran mit der Mitte des Weitere Vorteile und Anwendungsbeispiele er-Piezoelementes verklebt, das an den Rändern mit geben sich aus der folgenden Beschreibung in Ver-Justiergewichten beschwert ist. Dieser Druckschrift bindung mit den in den Zeichnungen dargestellten ist es als vorteilhaft zu entnehmen, die piezoelek- io Ausführungsbeispielen,
trische Scheibe stabförmig auszubilden. Es zeigt

Die Aufgabe der Erfindung liegt darin, einen F i g. 1 eine Draufsicht auf die Rückseite eines nach

Wandler der eingangs genannten Art so zu gestalten, den Lehren der Erfindung aufgebauten Laut-

daß mit ihm ein optimaler Wirkungsgrad bei gleich- Sprechers,

zeitig äußerst niedrigen Verzerrungen erzielt wird. 15 Fig. 2 einen vergrößerten Teilschnitt längs der

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die piezo- Linie 2-2 der F i g. 1,

elektrische Scheibe ein, einen in der Schichtebene F i g. 3 eine schematische Darstellung zur Verankreisförmigen Querschnitt aufweisendes Plättchen ist, schaulichung der Schwingungen des in Lautsprechern dessen eine Kreisfläche konzentrisch zu der Mem- nach F i g. 1 verwendeten Kristallplättchens,
branachse an dem Scheitel der Membran angebracht 20 F i g. 4 eine schematische vergrößerte Seitenanist und die mechanische Verbindung zwischen Platt- sieht eines bimorphen Plättchens, wie es im Lautchen und Membran herstellt, und daß die Masse des Sprecher nach F i g. 1 verwendet ist,
Plättchens erheblich größer als die Masse der Mem- F i g. 5 ein Kristallübertragungselement, das insbran ist. Infolge der Kreisform des Piezoelementes besondere für einen Übertrager mit niedriger Resoerreicht dieser Wandler einen wesentlich höheren 25 nanzfrequenz geeignet ist,

Kopplunggrad als die bekannten. Bei einem stab- F i g. 6 einen vergrößerten Querschnitt mit Teil-

förmigen Piezoelement trägt nur die Längsrichtung ansicht einer Abwandlung des in F i g. 2 dargestellten

des Stabes zur Kopplung bei, d. h., es wird nur eine Lautsprechers,

geringe Bewegung vom stabförmigen Teil auf die F i g. 7 den Frequenzgang des in F i g. 1 darge-

Membran übertragen. Bei einer kreisförmigen Scheibe 30 stellten Lautsprechers,

tragen dagegen alle Scheibenbereiche zur Kopplung Fig. 8 den Frequenzgang eines elektrodynamibei, wodurch einmal eine gleichmäßigere, d.h. ver- sehen Hochtonlautsprechers und den eines Lautzerrungsärmere und zugleich eine effektivere Kopp- Sprechers nach F i g. 1,
lung erreicht wird. F i g. 9 eine Draufsicht auf einen Exponential-Laut-

Bei gegebener Eigenfrequenz ist die Länge eines 35 Sprecher nach der Erfindung und

Stabes geringer als der Durchmesser der runden Fig. 10 einen Querschnitt durch den Lautsprecher

Scheibe, so daß der Stab eine höhere Impedanz als nach F i g. 9.

die Scheibe aufweist. Auch dies trägt zur Verbesse- Vorzugsweise ist die Masse des Plättchens größer rung des Wirkungsgrades des anmeldungsgemäßen als die der Membran, so daß beim Schwingen der Wandlers bei. Dieser wird darüber hinaus auch noch 40 Membran das Plättchen in einer Weise schwingt, in dadurch verbessert, daß bei vorgegebener Eigenfre- der es Wellenzügen längs seiner Abmessungen ausquenz die runde Scheibe eine größere Masse als ein gesetzt ist, die von der Achse radial nach außen verentsprechender Stab besitzt, so daß, wenn überhaupt, laufen, ähnlich wie die Schwingungen einer Masse bei der kreisförmigen Scheibe geringere Justierge- im freien Raum. Diese Schwingungen erzeugen entwichte erforderlich sind als bei einem Stab. 45 sprechend den mechanischen Signalen elektrische

Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfin- Spannungen in dem Plättchen, die durch Elektroden

dung hat die Scheibe eine Öffnung im Kreismittel- abgenommen werden können, welche dem Kristall

punkt, in die die Spitze der Membran hineinragt und aufplattiert oder in anderer Weise an ihm befestigt

dort befestigt ist. Hierdurch wird auf einfache Weise sind. Umgekehrt erzeugen elektrische Signale, die auf

eine starre, sichere Verbindung zwischen der Mem- 50 den Kristall gegeben werden, solche Biegeschwingun-

branspitze und der Scheibe erzielt. gen in ihm, die er an die Membran weitergibt. Das

Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist Verhältnis der Ausgangsenergie zur Eingangsenergie an der Membranspitze ein nachgiebiges Dämpfungs- des Kristalls wird als Koppelfaktor bezeichnet. Für material angebracht, das mit seinem andern Ende in ein scheibenförmiges Plättchen, das in der beschriedie Öffnung, diese ausfüllend und das Plättchen hai- 55 benen Weise arbeitet, ist dieser Faktor sehr hoch, da ternd, hineinragt. Diese Ausführungsform verhindert hier der Planarkoppelf aktor wirkt,
das Auftreten störender Reflexionswellen auf Grund In den F i g. 1 bis 4 ist ein piezoelektrischer Hocheiner erhöhten Dämpfung. tonlautsprecher auf einem Rahmen 10 montiert. Die

Bei einer anderen Ausgestaltung ist der Durch- nachgiebige Membran 12 besteht vorzugsweise aus messer der Öffnung genügend klein, so daß das Platt- 60 5/₁₀₀ mm starkem Aluminium konischer Form und chen elektrische und mechanische Signale in gleicher elliptischen Querschnittes, wie F i g. 2 zeigt. Die Weise umwandelt wie ein nicht mit Öffnungen ver- Membran hat eine Kegelspitze 14, die sich in oder sehenes Plättchen. Vorteilhafterweise ist das Ver- außer der Membranmitte befinden kann und sich hältnis des Durchmessers des Plättchens zum größten in eine Öffnung 16 eines bimorphen Kristalls 18 erDurchmesser der Öffnung nicht größer als etwa 65 streckt, den Kristall haltert und gleichzeitig eine me-6:1. chanische Kopplung mit ihm bildet. Der Kristall 18

Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der hat Außenelektroden 20 und 22, die elektrisch mit-

Erfindung besteht das Plättchen aus mehreren einander verbunden sind und ihrerseits mit Hilfe eines

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Drahtes 26 mit einem Anschluß 24 verbunden sind. knoten, an denen keine Axialbewegung stattfindet. Der Kristall 18 umfaßt zwei piezoelektrische Platt- Diese beiden Schwingungsknoten des Durchmessers chen 28 und 30, welche die Elektroden 20 und 22 tra- des Kristalles 18 bilden insgesamt einen Schwingungsgen und welche durch eine Metallfolie 32 aneinander knotenring 72 (Fig. 1). Bei dieser Schwingungsart befestigt sind, die den Kristall versteift und eine Mit- 5 führt kein Punkt des Knotenringes 72 eine Axialtelelektrode für die beiden Plättchen bildet. Jedes bewegung aus. Außerhalb des Knotenringes 72 be' Plättchen 28 und 30 hat ferner innere Elektroden wegt sich der Kristall 18 in entgegengesetzte Rich-20a und 22a (Fig. 4). Ein Draht 34 verbindet die tung wie innerhalb des Knotenringes. Beispielsweise Zwischenelektroden 32 mit einem zweiten Anschluß bewegt sich der Punkt 66 innerhalb des Knotenringes 36. Ein in und um die Öffnung herum vorgesehener io 72 nach oben, während der Punkt 64 außerhalb des Epoxyklebstoff verbindet den Kristall 18 fest mit der Knotenringes 72 (Knotenpunkt 62) sich nach unten Membran 12. Die Membran 12 ist auf dem Rahmen bewegt.

10 gelagert und mit einem Schwingungsdämpfungs- Durch das Befestigen der Membran 12 an der Mitte

Gummiring 40 versehen. Der Rahmen 10, der Ring 40 des Kristalls 18 wird die Schwingungsmasse ver-

und die Membran 12 sind in üblicher Weise anein- 15 größert, so daß die Resonanzfrequenz des Plättchens

ander befestigt. geringer wird. Die Schwingung des Plättchens 18 bei

Über die Anschlüsse 24 und 26 wird von der Si- seiner Resonanzfrequenz (s. F i g. 3) ändert sich in

gnalquelle 42 era umzuwandelndes elektrisches Signal der Weise, daß der Durchmesser des Knotenringes

geliefert. In die Zuleitung von der Signalquelle 42 zu 72 sich verringert, wie die Punkte 68 und 70 an-

einem der beiden Anschlüsse kann zur Verbesserung 20 deuten.

der Hochübertragung eine Induktivität 44 einge- Die beschriebene Schwingungsart entspricht der

schaltet sein. . Schwingung einer Masse im freien Raum. Die me-

Im folgenden ist die Betriebsweise des Kristalls 18 chanische Kupplung der Membran 12 an das Plättzur Umwandlung elektrischer Signale in entspre- chen 18 verändert die Schwingungen, hält jedoch die chende mechanische Signale zum Antrieb der Mem- 25 effektive Masse der Membran 12 klein, so daß die bran beschrieben: Der Kristall 18 ist.in Fig. 3 sehe- Schwingungsart als solche erhalten bleibt,
matisch durch eine ausgezogene Linie dargestellt. Werden von vorn auf den Lautsprecher Schall-Wenn zwischen den Elektroden 20 und 22 und der wellen gegeben, so schwingt die Membran 12 längs Mittelelektrode 32 elektrische Wechselspannungs- ihrer Achse 74, welche durch die Kegelspitze 14 versignale auftreten, entstehen im Kristall mechanische 30 läuft. Derartige Schwingungen der Membran 12 wer-Spannungen, auf Grund deren er mechanisch vibriert, den auf den Kristall 18 übertragen, der gleichfalls wie die gestrichelten Linien 52 und 54 in F i g. 3 an- in der oben erwähnten Weise schwingt. Diese Schwindeuten. Das piezoelektrische Verhalten der einzelnen gungen erzeugen elektrische Felder zwischen den Plättchen 28 und 30 bei Anlegen elektrischer Signale, Elektroden 20, 22 und der Mittelelektrode 32, die das die obenerwähnten Schwingungen hervorruft, 35 eine dem empfangenen Ton entsprechende Spannung ist im Zusammenhang mit F i g. 4 beschrieben. Es sei entstehen lassen. Es sind verschiedene Versuche mit angenommen, daß an den Elektroden 20 und 22 ein Kristallen 18, die in der in F i g. 4 dargestellten Weise gegenüber der Mittelelektrode 32 positives elektri- aufgebaut waren, durchgeführt worden. Bei einem sches Signal liege. Das Plättchen 28 werde als piezo- Versuch hatte der Kristall 18 einen äußeren Durchelektrisch-positiv bezeichnet. Es reagiert auf das posi- 40 messer (O. D.) von 1,98 cm (0,78 Zoll) und einen intive Feld durch eine radial nach außen gerichtete Aus- neren Durchmesser (I.D.) von 0,48 cm (0,19ZoIl) dehnung, wie es die Pfeile 46 anzeigen. Das Plättchen und erne Dicke von 0,61 cm (0,24 Zoll). Die Reso-30 ist piezoelektrisch-negativ und reagiert auf das nanzfrequenzen betrugen 6 kHz und 20 kHz. Diese angelegte Feld durch ein radial nach innen gerichte- Frequenzen veranschaulichen den Betriebsbereich tes Zusammenziehen, wie es die Pfeile 48 zeigen. Der- 45 eines derartigen Übertragungselementes. Bei einem artige gegeneinander arbeitende Kristalle sind in der anderen Versuch hatte das Plättchen einen äußeren Technik bekannt. Durchmesser von 1,35 cm (0,53 Zoll), einen inneren

Der Kristall 18 ist so aufgebaut, daß er zwischen Durchmesser von 0,41 cm (0,16ZoIl) und eine Dicke den Elektroden 20 und 22 bezüglich seiner seitlichen von 0,048 cm (0,019 Zoll); die Resonanzfrequenzen Ausdehnung relativ dünn ist, so daß er sich längs 5° betrugen 13,5 kHz und 79,3 kHz. Bei noch einem seiner Durchmesser biegen kann. Wird das soeben er- anderen Versuch betrug der Außendurchmesser wähnte Feld angelegt, so sucht sich der bimorphe 2,43 cm (0,955ZoIl), der Innendurchmesser 1,13 cm Kristall 18 in seiner Mitte axial nach oben zu ver- (0,445ZoIl) und die Dicke 0,048 cm (0,019ZoIl), biegen, wie der Pfeil 50 andeutet, und nimmt eine und die Resonanzfrequenzen betrugen 4,4 kHz und Stellung ein, wie sie durch die gestrichelte Linie 52 55 39,6 kHz. Bei diesem Versuch wurde ein Knotenin Fig. 3 gezeigt ist. Kehrt man das elektrische Feld ring 72 mit einem Durchmesser von 1,85 cm zwischen der Mittelelektrode 32 und den Außenelek- (0,73 Zoll) beobachtet. Weitere Versuche mit Plätttroden 20 und 22 um, so zieht sich das Plättchen 28 chen zeigten, daß der höchste Kopplungsfaktor bei nach innen zusammen, während das Plättchen 30 sich einem Plättchen erreicht wurde, das einen Außenradial ausdehnt und. die durch den Pfeil 54 ange- 60 durchmesser von 3,54 cm (1 Zoll) und einen Innendeutete axiale Kraft in der Mitte des bimorphen Kri- durchmesser von 0,41 cm (0,16ZoIl) hatte (Durchstalls 18 hervorgerufen wird. Infolge der Kraft 54 ver- messerverhältnis von 6 :1).

biegt sich der Kristall in der durch die Linie 56 in Die Öffnung 16 soll genügend klein sein, so daß

Fi g. 3 gezeigten Richtung. . . sie nicht die in F i g. 3 veranschaulichte Schwingungs-

Legt man an die Elektroden eine Wechselspan- 65 form beeinflußt. Andererseits soll die Öffnung 16 so

nung, so schwingt der bimorphe Kristall 18 zwischen groß sein, daß die Befestigung der Membran 12 keine

den gestrichelten Linien 52 und 56, wie der Doppel- Schwierigkeiten bereitet. Die Versuche zeigten, daß

pfeil 58 zeigt. Bei 60 und 62 entstehen Schwingungs- ein Durchmesserverhältnis von 6:1 ein günstiger

Kompromiß für beide Erfordernisse ist. Es sei jedoch ausdrücklich darauf hingewiesen, daß sich die Erfindung auch auf Plättchen bezieht, welche in der Mitte kein Loch haben. Ein solches nicht gelochtes Plättchen kann beispielsweise mit einem Epoxyklebstofi unmittelbar an den Kegelstützenabschnitt 14 der Membran angeklebt werden. In diesem Falle kann die Kegelspitze 14 flach anstatt abgerundet ausgebildet sein, muß es jedoch nicht.

F i g. 5 zeigt eine andere Ausführungsform, bei der eine Masse in Form eines Ringes 76 am äußeren Umfang des Plättchens mit Hilfe von Clips 78 befestigt ist. Der Ring 76 dient der Erniedrigung der Resonanzfrequenz des Plättchens 18 und erlaubt die Verwendung einer schwereren Membran 12, allerdings erhöht er die mechanischen Verluste.

Fig. 6 veranschaulicht ein weiteres Verfahren zur Befestigung des Plättchens 18 an der Membranspitze 14. Mit Hilfe eines geeigneten Klebstoffes ist ein Gummistopfen 80 an der Membranspitze 14 befestigt. Das Plättchen 18 wird über das Ende 82 des Stopfens 80 in eine Ringnut 84 geschoben, welche das Plättchen 18 festhält. Der Gummistopfen 80 dient zur Dämpfung von Schwingungen zwischen der Membran 12 und dem Plättchen 18. Er macht jedoch die Kopplung zwischen dem Plättchen und der Membran loser.

Fig. 7 zeigt den Frequenzgang einer Ausführungsform nach Fig. 1. Die Kurve90 gibt den Frequenzgang eines Lautsprechers wieder, wenn die Kapazität des Plättchens 18 nicht auf die Signalquelle 42 abgestimmt ist. Durch Einfügen einer Spule 44 in Reihe mit der Kapazität des Plättchens 18 und durch Abstimmen der beiden Blindwiderstände auf die Mittenfrequenz des zu übertragenden Frequenzbandes ergibt sich die Frequenzgangkurve 92. F i g. 8 vergleicht einen Lautsprecher nach Fig. 1 mit einem elektrodynamischen Lautsprecher vergleichbarer Abmessungen. Die Kurve 94 zeigt den Frequenzgang eines piezoelektrischen Lautsprechers, während die Kurve 96 die des elektrodynamischen Lautsprechers ist. Die Kurve 94 ist ohne Abstimmung der Kapazität des Plättchens 18 auf die Bandmittenfrequenz aufgenommen. Alle hier beschriebenen Versuche und Frequenzkurven sind bei konstanter Eingangsspannung für den Wandler aufgenommen.
In den Fig. 9 und 10 ist ein Exponential-Laut-Sprecher 98 dargestellt. Das Horn 100 verläuft in üblicher Weise exponentiell oder hyperbolisch. In ihm sind mehrere Schallkanäle 102 ausgebildet. Sie ergeben eine Anpassung des akustischen Widerstandes zwischen der Kompressionskammer und dem äußeren

ίο Raum.

Dicht am Horn 100 ist eine Membran 104 geringen Durchmessers beispielsweise mit HiKe eines ringförmigen Abstandhalters 106 montiert. Der Abstandhalter kann beispielsweise eine Dicke von 0,0025 mm haben. Eine an das Horn 100 genietete Ringklammer 108 hält die Membran 104 und den Abstandhalter 106 fest am Horn 100. Die Kompressionskammer wird durch den Raum zwischen der Membran 104 und dem Horn 100 gebildet und ist über die Kanäle 102 mit der Umgebung verbunden.

Ein piezoelektrisches Plättchen 110, das in gleicher Weise wie das Plättchen 18 (F i g. 4) ausgebildet sein kann, ist an der Membran 104 in der vorbeschriebenen Weise befestigt. Die elektrischen Verbindüngen zum Plättchen 110 erfolgen in üblicher Weise. Die Kegelspitze 112 der Membran 104 ragt in die öffnung des Plättchens 110.

Da das Plättchen 110 elektrisch zu Schwingungen der in Fig. 3 angedeuteten Art angeregt wird, schwingt die Membran 112 axial entsprechend. Die Luft in der Kompressionskammer zwischen der Membran 104 und dem Horn 100 wird durch die Kanäle 102 hin- und herbewegt, wobei die entstehenden Kompressionswellen die Schallschwingungen in üblicher Weise übertragen.

Die Membran, mit welcher das piezoelektrische Plättchen verbunden ist, hat zwar vorzugsweise die in den Fig. 2 und 10 dargestellte Form, jedoch stellen diese Darstellungen keine Einschränkungen dar. Ein piezoelektrisches Plättchen der beschriebenen Art kann ebenso an Membranen anderer Form befestigt werden und führt zu den vorteilhaften Ergebnissen der Erfindung.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

209 539/333

Claims

Patentansprüche:

1. Elektroakustischer Wandler mit einer Membran, die eine die Membranachse vorgebende Spitze aufweist, einen axial dazu beweglichen Abschnitt besitzt, der mechanische Schwingungen ausführt, und an der eine piezoelektrische Scheibe zur elektroakustischen Umwandlung freitragend befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die piezoelektrische Scheibe ein einen in der Schichtebene kreisförmigen Querschnitt aufweisendes Plättchen (18) ist, dessen eine Kreisfläche konzentrisch zu der Membranachse (74) an dem Scheitel (14) der Membran (12) angebracht ist und die mechanische Verbindung zwischen Plättchen (18) und Membran (12) hergestellt, und daß die Masse des Plättchens erheblich größer als die Masse der Membran ist.

2. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe eine öffnung (16) im Kreismittelpunkt hat, in die die Spitze (14) der Membran (12) hineinragt und dort befestigt ist (Fig. 1,2).

3. Wandler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß an der Membranspitze (14) ein nachgiebiges Dämpfungsmaterial (80) angebracht ist, das mit seinem anderen Ende in die öffnung (16), diese ausfüllend und das Plättchen halternd, hineinragt (F i g. 6).

4. Wandler nach Anspruch 2 oder 3, dadurch ίο gekennzeichnet, daß der Durchmesser der Öffnung (16) genügend klein ist, so daß das Plättchen (18) elektrische und mechanische Signale in gleicher Weise umwandelt wie ein nicht mit Öffnung versehenes Plättchen.

5. Wandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis des Durchmessers des Plättchens zum größten Durchmesser der Öffnung (16) nicht größer als etwa 6 :1 ist.

6. Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Plättchen (18) aus mehreren Schichten piezoelektrischen Materials besteht.