DE1238307B

DE1238307B - Method and device for operating an evaporator boat

Info

Publication number: DE1238307B
Application number: DE1960H0038832
Authority: DE
Inventors: Dr Paul Mueller
Original assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Current assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Priority date: 1960-03-05
Filing date: 1960-03-05
Publication date: 1967-04-06

Description

Verfahren und Vorrichtung zum Betrieb eines Verdampferschiffehens Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Betrieb eines Verdampferschiffehens, vorzugsweise zur Bedampfung von bandförinigen Gegenständen im Vakuum.Method and device for operating an evaporator ship The invention relates to a method and an apparatus for operating a Evaporator ship, preferably for the evaporation of belt-shaped objects in a vacuum.

Bekannt ist eine Verdampferanordnung, bei welcher der Verdampfer von einem zweiten Körper umgeben ist, wobei nicht beide, sondern nur der äußere Teil beheizt werden kann.An evaporator arrangement is known in which the evaporator of a second body is surrounded, not both, but only the outer part can be heated.

Ferner ist es bekannt, einem mittels Stromdurchgang erhitzten Verdampfer einen Zusatzheizkörper zuzuordnen, der dann nach Erreichen einer bestimmten Temperatur abgeschaltet wird. Eine andere bekannte, zusätzliche Heizeinrichtung dient zur Anheizung und wird bei Erreichen einer genügend großen Leitfähigkeit des Verdampfers abgeschaltet.It is also known to use an evaporator heated by means of a passage of current to assign an additional heater, which then after reaching a certain temperature is switched off. Another known, additional heating device is used for heating and is switched off when a sufficiently high conductivity of the evaporator is reached.

Auch ist es bei Verdampferanordnungen bekannt, das Verdampfungsgut in geschmolzenem Zustand der Mitte des Verdampferschiffchens bzw. unterhalb des Metallbadspiegels zuzuführen.It is also known in the case of evaporator arrangements, the evaporation material in the molten state of the center of the evaporation boat or below the Supply metal bath mirror.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Verfahren, das eine schnelle Aufheizung des Verdampfungsgutes erlaubt, die unerwünschten Kriecheffekte des flüssigen Verdampfungsgutes herabzusetzen sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zu schaffen.The invention is based on the object in a method that rapid heating of the material to be evaporated allows undesirable creep effects reduce the liquid evaporation and a device for implementation of the process.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird ein Verfahren zum Betrieb eines Verdampferschiffchens, vorzugsweise zur Bedampfung bandfönniger Gegenstände im Vakuum, das von einem Heizschiffchen umgeben ist, wobei beide Schiffchen elektrisch durch direkten Stromdurchgang beheizt werden, vorgeschlagen, welches erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet ist, daß durch das Verdampferschiffchen während der eigentlichen Bedampfung nur ein so geringer Strom geschickt wird, daß das Kriechen von flüssigem Verdampfungsgut über den Rand des Verdampferschiffchens verhindert wird. Nach Erreichen der Schmelz- und/oder Verdampfungstemperatur wird die Heizung des eigentlichen, inneren Verdampferschiffchens getrennt von der des äußeren Schiffchens heruntergeregelt, wozu die Stromzuführungen zu den Schiffchen mindestens an einer Seite voneinander isoliert sind. Der Abstand zwischen den Schiffchen beträgt nur einige Millimeter, so daß das innere Schiffchen durch die Strahlung des äußeren weiter beheizt bleibt, auch wenn das innere Schiffchen nur mehr von einem geringen Strom durchflossen wird. Für einen besseren und konstanteren Übergang der Strahlungsenergie vom äußeren zum inneren Schiffchen kann die äußere Seite des inneren und die innere Seite des äußeren Schiffchens in besonderer Weise, beispielsweise durch Sandstrahlgebläse,behandelt werden. Vorteile und vorteilhafte Merkmale der erfindungsgemäßen Verfahrens sowie der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens werden an Hand der F i g. 1 bis 7 erläutert.To solve this problem, a method for operating an evaporation boat, preferably for the steaming of bandfönniger objects in a vacuum, which is surrounded by a heating boat, both boats are heated electrically by direct current passage, is proposed, which is characterized according to the invention that by the evaporation boat during the actual vaporization is only sent such a small current that the creeping of liquid vaporization material over the edge of the vaporization boat is prevented. After the melting and / or evaporation temperature has been reached, the heating of the actual inner evaporation boat is turned down separately from that of the outer boat, for which purpose the power supply lines to the boats are insulated from one another at least on one side. The distance between the boats is only a few millimeters, so that the inner boat remains heated by the radiation from the outer one, even if the inner boat only has a small current flowing through it. For a better and more constant transition of the radiation energy from the outer to the inner boat, the outer side of the inner and the inner side of the outer boat can be treated in a special way, for example by sandblasting. Advantages and advantageous features of the method according to the invention and of the device according to the invention for carrying out the method are illustrated with reference to FIGS . 1 to 7 explained.

F i g. 1 zeigt ein Doppelschiffehen im Längsschnitt; F i g. 2 zeigt ein Doppelschiffchen gemäß F i g. 1 im Querschnitt; F i g. 3 zeigt ein Schaltbild für die Beheizung eines Doppelschiffchens mit Wechselstrom; F i g. 4 zeigt eine Verdampfungsvorrichtung mit Nachführungseinrichtung für Verdampfungsgut im Schnitt; F i g. 5 zeigt eine Vorrichtung gemäß F i g. 4 in Aufsicht; F i g. 6 zeigt ein Schaltbild für die Beheizung einer Vorrichtung gemäß F i g. 4; F i g. 7 zeigt ein Schaltbild für die Beheizung einer im Schnitt dargestellten Verdampfervorrichtung mit kreisföriniger oder ovaler Verdampfungsfläche und mit einer Nachführeinrichtung.F i g. 1 shows a double aisle in longitudinal section; F i g. 2 shows a double boat according to FIG. 1 in cross section; F i g. 3 shows a circuit diagram for the heating of a double boat with alternating current; F i g. 4 shows an evaporation device with tracking device for evaporation material in section; F i g. 5 shows a device according to FIG. 4 under supervision; F i g. 6 shows a circuit diagram for the heating of a device according to FIG. 4; F i g. 7 shows a circuit diagram for the heating of an evaporator device shown in section with a circular or oval evaporation surface and with a tracking device.

In F i g. 1 und 2 ist das eigentliche Schiffchen 1 mit dem Verdampfungsgut 2 gefüllt. Es befindet sich innerhalb eines zweiten Heizschiffchens 3. Das innere Verdampferschiffchen ist mit zickzackförmigen Stromzuführungen 4 versehen, die in den eigentlichen Stromzuführungsfahnen 5 enden. Auch das Schiffchen 3 besitzt Stromzuführungsfahnen 6. In Fig. 1 and 2, the actual boat 1 is filled with the evaporation material 2. It is located within a second heating boat 3. The inner evaporation boat is provided with zigzag-shaped power supply lines 4 which end in the actual power supply lugs 5. The shuttle 3 also has power supply lugs 6.

In F i g. 3 wird das Doppelschiffchen durch Wechselstrom beheizt, der von einem Hochstromtransformator 7 geliefert wird. Die Sekundärwicklung dieses Transformators ist durch die Leitung 8 mit den rechten Anschlußfahnen 5 und 6 verbunden, während die andere Seite des Transformators über den Widerstand 9 zur Anschlußfahne 6 des äußeren Heizschiffchens 3 und über den Schalter 10 und den Regulierwiderstand 11 zur Anschlußfahne 5 des inneren Schiffchens 1 führt. Die Heizung des Schiffchens kann natürlich auch mit Gleichstrom erfolgen, das Schaltbild ist dann sehr ähnlich, es wird nur an Stelle des Transformators 7 eine Gleichstromquelle benutzt.In Fig. 3 , the double boat is heated by alternating current which is supplied by a high-current transformer 7. The secondary winding of this transformer is connected by the line 8 to the right connection lugs 5 and 6 , while the other side of the transformer via the resistor 9 to the connection lug 6 of the outer heating boat 3 and via the switch 10 and the regulating resistor 11 to the connection lug 5 of the inner boat 1 leads. The boat can of course also be heated with direct current, the circuit diagram is then very similar, only a direct current source is used instead of the transformer 7.

Die Benutzung des Schiffchens geschieht nun so, daß zunächst das Verdampfungsgut 2 in das Schiffchen 1 eingefüllt wird und dann über den Transformator 7 bei geschlossenem Schalter 10 sowohl das Schiffchen 3 als auch das Schiffchen 1 geheizt werden. Die Stromstärke kann an den Widerständen 9 und 11 eingestellt werden. Die Anschlußfahnen 4 des Schiffchens 1 sind im Querschnitt so bemessen, daß sie höheren Widerstand haben als das Schiffchen selbst oder die Schiffchenwände. Die Temperatur der Zuleitung liegt dann um eine gewisse Temperaturspanne, z. B. einige hundert Grad Celsius, höher als die des Schiffchens, und das Schiffchen 1 selbst wird sowohl durch die Wärinestrahlung vom Schiffchen 3, die Wärmeleitung der Anschlußfahnen 4, als auch durch den eigenen Widerstand geheizt. Das Aufheizen geschieht daher verhältnismäßig schnell. Nachdem die Schmelz- oder Verdampfungstemperatur des Verdampfungsgutes erreicht ist, wird mit Hilfe des Widerstandes 11 die Stromstärke, die durch das Schiffchen 1 fließt, wesentlich herabgesetzt. Der größere Heizstrom fließt dann weiterhin nur durch das Schiffchen 3 und heizt das Schiffchen 1 durch Strahlun- auf.The boat is now used in such a way that first the material to be evaporated 2 is poured into the boat 1 and then both the boat 3 and the boat 1 are heated via the transformer 7 with the switch 10 closed. The current intensity can be adjusted with the resistors 9 and 11. The connecting lugs 4 of the shuttle 1 are dimensioned in cross section so that they have a higher resistance than the shuttle itself or the shuttle walls. The temperature of the supply line is then around a certain temperature range, e.g. B. a few hundred degrees Celsius, higher than that of the boat, and the boat 1 itself is heated both by the thermal radiation from the boat 3, the heat conduction of the terminal lugs 4, and by its own resistance. The heating therefore takes place relatively quickly. After the melting or evaporation temperature of the material to be evaporated has been reached, the current intensity flowing through the boat 1 is significantly reduced with the aid of the resistor 11. The larger heating current then continues to flow only through the boat 3 and heats the boat 1 by radiation.

Eine kleine Stromstärke in dem Stromkreis des inneren Schiffchens 1 hat den großen Vorteil, daß auch durch das Verdampfungsgut, das sich in dem Schiffchen befindet, nur ein sehr geringer Strom fließt. Das Verdampfungsgut hat üblicherweise eine gewissen Leitfähigkeit, da es meist in geschmolzenem Zustand vorliegt und selbst in kaltem Zustand nichtleitende Verbindungen, im geschmolzenen Zustand normalerweise eine gewisse, ziemlich große elektrische Leitfähigkeit zeigt. Wenn nun, wie üblich, durch das Verdampfungsgut ein Strom fließt und dieses Verdampfungsgut in flüssiger, also leichtbeweglicher Form vorliegt, unterliegt es sehr leicht dem Einfluß von vorhandenen Magnetfeldern. Die Stromstärke, die normalerweise zum Heizen eines Verdampfungsschiffchens notwendig ist, ist relativ groß. So sind die Magnetfelder, die durch den äußeren Anschlußkreis und auch durch den durch das Schiffchen fließenden Strom erzeugt werden, relativ stark. Dadurch wird oft verursacht, daß das flüssige Verdampfungsgut nach der einen oder - je nach der Stromrichtung - nach der anderen Seite des Schiffchens über den Rand hinausläuft. Dieses wird erfindungsgemäß dadurch verhindert, daß durch das Schiffchen und insbesondere also auch durch das leitende Bedampfungsgut nur ein Strom geringer Stärke fließt oder bei geöffnetem Schalter 10 gar kein Strom hindurchgeht.A small current strength in the circuit of the inner boat 1 has the great advantage that only a very small current flows through the material to be evaporated, which is located in the boat. The evaporation material usually has a certain conductivity, since it is mostly in a molten state and shows non-conductive compounds even in the cold state, and in the molten state normally shows a certain, fairly high electrical conductivity. If, as usual, a current flows through the material to be evaporated and this material to be evaporated is in a liquid, that is to say easily movable, form, it is very easily subject to the influence of existing magnetic fields. The amperage that is normally necessary to heat an evaporation boat is relatively large. The magnetic fields that are generated by the external connection circuit and also by the current flowing through the boat are relatively strong. This often causes the liquid to be evaporated to one side or - depending on the direction of flow - to the other side of the boat overflowing the edge. According to the invention, this is prevented by the fact that only a small current flows through the boat and in particular also through the conductive vapor-depositing material, or no current at all passes through when the switch 10 is open.

Das Fließen eines Stromes geringer Stärke durch das innere Verdampfungsschiffchen hat sich als sehr nützlich erwiesen. Hierdurch ergibt sich der weitere Vorteil, daß die Stromzuführungen 4 sich auf einer ziemlich hohen Temperatur befinden und dadurch keine Kondensation des Verdampfungsmaterials auf diesen Zuleitungen möglich ist.The flow of a current of low strength through the inner evaporation boat has proven to be very useful. This has the further advantage of that the power supply lines 4 are at a fairly high temperature and as a result, no condensation of the evaporation material is possible on these feed lines is.

Das erfindungsgemäße Verfahren und die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens besitzen noch den Vorteil, daß sich die Temperatur des eigentlichen Verdampfungsschiffchens 1 sehr genau einregeln läßt. Das liegt daran, daß man zwei Kreise parallel geschaltet hat, von denen der eine, der das äußere Schiffchen enthält, einen geringen Widerstand enthält, so daß eine sehr große Stromstärke fließt. Der andere Stromkreis, der das innere Verdampferschiffchen 1 enthält, hat einen relativ großen Widerstand, so daß nur eine kleine Stromstärke durch ihn fließt. Es ist also leicht, die Temperatur des Schiffchens sehr genau einzuregeln. Obwohl die Verdampfungsrate von der Temperatur des Verdampferschiffchens nach einer Exponentialfunktion abhängt, kann also trotzdem die Verdampfungsrate sehr genau eingestellt werden.The method according to the invention and the device for carrying out the method also have the advantage that the temperature of the actual evaporation boat 1 can be regulated very precisely. This is due to the fact that two circuits have been connected in parallel, one of which, which contains the outer boat, contains a low resistance, so that a very large current flows. The other circuit, which contains the inner evaporation boat 1 , has a relatively high resistance, so that only a small amount of current flows through it. So it is easy to regulate the temperature of the boat very precisely. Although the evaporation rate depends on the temperature of the evaporation boat according to an exponential function, the evaporation rate can nevertheless be set very precisely.

Das ist von besonderer Bedeutung in den Fällen, in denen bei kontinuierlicher Bedampfung von Bändem eine Konstanz der aufzubringenden Schichtdicke sehr wesentlich ist. Das erfindungsgemäße Verfahren und die Vorrichtung ermöglichen also eine sehr viel genauere und einfachere Regelung der Schichtdicke als dies bei bekannten Verdampferanordnungen möglich war.This is of particular importance in those cases where continuous Vapor deposition of tapes a constancy of the layer thickness to be applied is very essential is. The method according to the invention and the device thus enable a very much more precise and simpler control of the layer thickness than is the case with known evaporator arrangements was possible.

Ein bevorzugtes Material für die Herstellung von Doppelschiffchen ist Tantal, das zur Verdampfung von Metallen wie Silber und Aluminium oder von Verbindungen, wie beispielsweise Magnesiumfluorid, benutzt wird.A preferred material for making twin boats is tantalum, which is used to vaporize metals such as silver and aluminum or compounds, such as magnesium fluoride is used.

Wie im vorstehenden dargestellt, sind die beschriebenen Schiffchen besonders geeignet zur kontinuierlichen Bedampfung bandförmiger Gegenstände, weil die Verdampfungsrate sehr genau eingeregelt und über längere Zeiten konstant gehalten werden kann. Bei der Bedampfung längerer Bänder von beispielsweise einigen hundert Metern in einer Charge reicht der einmal eingefüllte Inhalt eines Schiffchens für die Bedampfung der ganzen Länge solcher Bänder nicht aus. Daher ist es für diese Zwecke wichtig, Verdampfungsmaterial in das Schiffchen nachzuliefern, und zwar während eines wesentlichen Teiles des gesamten Bedampfungsprozesses.As shown above, the boats described are particularly suitable for the continuous vapor deposition of strip-shaped objects, because the evaporation rate is regulated very precisely and kept constant over long periods of time can be. When steaming longer strips of, for example, a few hundred Meters in a batch, the once filled contents of a boat are sufficient for the steaming of the entire length of such tapes does not stop. Hence it is for this Purposes important to supply evaporation material in the boat, during an essential part of the entire vapor deposition process.

Es sind vielfältige Anordnungen für diese Zwecke bekanntgeworden, bei denen das Verdampfungs,-material in fester, flüssiger oder auch Tröpfchenform nachgeliefert wird. Bei der Nachlieferung in fester Form an die Verdampfungsstelle stören die beim Schmelzen frei werdenden Gase, die ein Aufwallen des Schiffcheninhaltes und dadurch eine für den Dauerbetrieb ungeeignete Bedampfung hervorrufen können. Außerdem ist dabei die Temperatur des Schiffchens nicht überall gleichmäßig; denn sie ist an der Nachführungsstelle selbst etwas niedriger als an anderen Teilen des Schiffchens, was sich ebenfalls sehr nachteilig auswirkt. Die bisher bekannten Verfahren für die Nachlieferung in flüssiger Form bedingen entweder ein teilweises Verdecken der Austrittsöffnung des Schiffchens und damit eine nur teilweise Ausnutzung der Dämpfe, oder das Verdmpfungsmaterial wird am einen Ende des Schiffchens zugeführt, so daß die Versorgung seines anderen Endes mit genügendem und einwandfreiem Verdampfungsmaterial nicht unbedingt gewährleistet ist. Bei tropfenweiser Nachführung wird ebenfalls ein Teil der Ausbreitungszone des Dampfes verdeckt. Die nachstehend vorgeschlagene Nachführungseinrichtung, die besonders vorteilhaft mit der vorstehend beschriebenen Verdampfungsvorrichtung benutzt wird, vermeidet alle diese Nachteile.Various arrangements have become known for these purposes, where the evaporation material is in solid, liquid or droplet form is subsequently delivered. In the case of subsequent delivery in solid form to the evaporation point interfere with the gases released during melting, which cause the contents of the boat to bulge and as a result can cause steaming that is unsuitable for continuous operation. In addition, the temperature of the boat is not uniform everywhere; because it is slightly lower at the tracking point itself than at other parts of the Schiffchens, which is also very disadvantageous. The previously known procedures for subsequent delivery in liquid form either require partial concealment the outlet opening of the shuttle and thus only a partial utilization of the Vapors, or the evaporation material is fed at one end of the boat, so that its other end is supplied with sufficient and proper evaporation material is not necessarily guaranteed. In the case of dropwise tracking, is also part of the vapor propagation zone is covered. the below proposed tracking device, which is particularly advantageous with the above is used as described evaporation device, avoids all these disadvantages.

Es wird vorgeschlagen, bei der Bedampfung bandförmiger Gegenstände mittels eines Verdampferschiffchens das Verdampfungsgut in geschmolzenem Zustand der Mitte des Verdampfungsschiffchens unterhalb des Spiegels des geschmolzenen Verdampfungsgutes durch eine beheizte Nachlieferungseinrichtung zuzuführen. Eine solche beheizte Nachführungseinrichtung besteht aus zwei im wesentlichen konzentrischen, beheizten Rohren, wobei das Bedampfungsgut sich im inneren Rohr befindet und gegebenenfalls dort geschmolzen wird. Die beiden Rohre sind zweckmäßi-erweise an der Stelle, an der die Nachlieferung in das Schiffchen hinein erfolgt, miteinander verbunden, während an ihren beiden anderen Enden die Stromzuführung getrennt erfolgt. Dadurch ist eine einfache Verbindung der Nachlieferungseinrichtung mit einem strombeheizten Schiffchen möglich.It is proposed when steaming strip-shaped objects the evaporation material in a molten state by means of an evaporation boat the center of the evaporation boat below the level of the molten evaporation material to be supplied by a heated subsequent delivery device. Such a heated tracking device consists of two essentially concentric, heated tubes, with the vaporized material is located in the inner tube and is possibly melted there. The two Pipes are expediently at the point where the subsequent delivery in the boat into it, connected to one another, while at its other two ends the Power supply takes place separately. This enables a simple connection of the subsequent delivery device possible with an electrically heated boat.

In F i g. 4 und 5 ist die erfindungsgemäße Nachlieferungseinrichtung in Verbindung mit dem vorstehend beschriebenen Doppelschiffchen 1, 3 der F i g. 1 und 2 gezeigt. Sie besteht aus einem Innenrohr 20, das über die Anschlußfahnen 21 und 22 mittels eines durchgehenden Stromes geheizt werden kann. Dieses innere Rohr ist umgeben von einem äußeren Rohr 25, an das die Anschlußfahne 26 angesetzt ist und das ebenfalls durch die gemeinsame Anschlußfahne 22 und seine Anschlußfahne 26 mittels durchgehenden Stromes geheizt werden kann.In Fig. 4 and 5 is the subsequent delivery device according to the invention in connection with the double boat 1, 3 of FIG. 3 described above. 1 and 2 shown. It consists of an inner tube 20 which can be heated via the connecting lugs 21 and 22 by means of a continuous current. This inner tube is surrounded by an outer tube 25 to which the connecting lug 26 is attached and which can also be heated by the common connecting lug 22 and its connecting lug 26 by means of a continuous current.

In F i g. 6 ist ein Schaltbild gezeichnet, mit dessen Hilfe die Heizung der Nachlieferungseinrichtung betrieben werden kann. Zur besseren Deutlichkeit sind die Anschlußfahnen 21 und 26 gegenüber F i g. 5 um 901 gedreht gezeichnet. Zur Heizung dient ein Transforinator 30, dessen Sekundärwicklung unterteilt ist. Die Mitteleinzapfung 31 führt zu der Anschlußfahne 22, die für die beiden Rohre 20 und 25 gemeinsam ist. Das eine Ende 32 der Sekundärwicklung führt über den Schalter 33 und den Regelwiderstand 34 zur Anschlußfahne 26 des äußeren Rohres 25. Durch diesen Teil des Kreises wird also das äußere Rohr 25 beheizt.In Fig. 6 a circuit diagram is drawn with the aid of which the heating of the subsequent delivery device can be operated. For better clarity, the terminal lugs 21 and 26 are opposite FIG. 5 drawn rotated by 901. A transformer 30, the secondary winding of which is subdivided, is used for heating. The center tap 31 leads to the connecting lug 22, which is common to the two tubes 20 and 25 . One end 32 of the secondary winding leads via the switch 33 and the regulating resistor 34 to the connecting lug 26 of the outer tube 25. The outer tube 25 is therefore heated by this part of the circle.

Das andere Ende 33 der Sekundärwicklung führt über den Schalter 36 und den Widerstand 37 zur Anschlußfahne 21 des inneren Rohres 20. Dieser Stromkreis dient also der Heizung des inneren Rohres, in dem das Metall -eschmolzen wird und dem Schiffchen 1 zugeführt wird.The other end 33 of the secondary winding via the switch 36 and therefore the resistor 37 to the connecting lug 21 of the inner tube 20. This circuit is used for the heating of the inner tube, in which the metal is -eschmolzen and is supplied to the shuttle. 1

Das innere Rohr 20 führt entsprechend F i g. 4 bis in den inneren Tiegel 1 hinein. In die trichterförmige Öffnung des Rohres 20 wird das Material in Forrn eines Drahtes 27 eingeführt, der entweder in der Mitte des Rohrteiles mit größerem Durchmesser schmilzt oder erst bei der Berührung mit der Wand, so wie es in F i g. 4 dargestellt ist. Das Nachführungsmaterial bildet dabei Tropfen 28, die herunterfallen und durch das Rohr 20 bis in den eigentlichen Verdampfungstiegel 1 hineingelangen. Dabei stellt sich im Rohr 20 natürlich derselbe Spiegel für das verflüssigte Bedampfungsgut 2 ein, wie er im Tiegel 1 herrscht.The inner tube 20 leads according to FIG. 4 into the inner crucible 1 . The material is introduced into the funnel-shaped opening of the tube 20 in the form of a wire 27 which either melts in the middle of the tube part with a larger diameter or only when it comes into contact with the wall, as shown in FIG. 4 is shown. The tracking material forms droplets 28, which fall down and get through the tube 20 into the actual evaporation crucible 1 . In the process, the same level for the liquefied material to be vaporized 2 is of course established in the tube 20 as is prevailing in the crucible 1.

Eine solche Nachlieferungseinrichtung hat den Vorteil, daß das eigentliche Nachführungsrohr 20 vor der Wärmeabstrahlung geschützt ist und die Heizleistung dort gering gehalten werden kann. Dadurch sind elektrochemische Vorgänge innerhalb des Rohres 20 praktisch völlig vermieden, und das Verdampfungsgut 2 gelangt in völlig einwandfreier Form in das Verdampferschiffehen 1. Such a subsequent delivery device has the advantage that the actual tracking tube 20 is protected from heat radiation and the heating output there can be kept low. As a result, electrochemical processes within the tube 20 are practically completely avoided, and the material to be evaporated 2 reaches the evaporator ship 1 in a completely perfect form.

Bei langen Schiffchen reicht eine Zuführung in der Mitte nicht aus. Es wird vorgeschlagen, dann mehrere, über die Schiffchenlänge verteilte Nachführungseinrichtungen zu verwenden.In the case of long boats, a feed in the middle is not sufficient. It is proposed, then, several tracking devices distributed over the length of the boat to use.

F i -. 7 zeigt einen Verdampfer, der einen etwa kreisformigen, ovalen oder einen ähnlichen Querschnitt besitzt. Es sind hier - trotz der anderen geometrischen Form - dieselben Bezugszeichen wie bisher gewählt worden.F i -. 7 shows an evaporator which has an approximately circular, oval or similar cross section. There are here - have the same reference numerals as chosen before - in spite of the other geometric shape.

Der Verdampfer besteht bei kreisförmigem Querschnitt aus dem inneren Rohr 1 und dem äußeren Rohr 3, wobei das Verdampfungsgut sich innerhalb des Rohres 1 befindet und als Flüssigkeit das Rohr 1 fast bis zum oberen Rand füllt. Das innere Rohr 1 geht in das Zuführungsröhrchen 20, das äußere Rohr 3 in das Rohr 25 über. Dieser in der F i g. 7 dargestellte linke Teil der Verdampfervorrichtung, ,wird. über den Transformator 7, den Schalter 10 sowie die Widerstände 9 und 11 durch einen Wechselstrom direkt beheizt. Die Vorschmelzeinrichtung im rechten Teil der F i g. 7 entspricht in seinem Aufbau der schon oben besprochenen Ausführung. In ihn wird das Nachlieferungsmaterial 27 durch das Schutzröhrchen 43 zugeführt. Der Draht 27 schmilzt beim Eintauchen in den Metallspiegel ab. Die Standhöhe kann durch die haarnadelförmigen Fühler 41 und 42 ,gemessen und konstant gehalten werden.With a circular cross section, the evaporator consists of the inner tube 1 and the outer tube 3, the evaporation material being located inside the tube 1 and, as a liquid, filling the tube 1 almost to the upper edge. The inner tube 1 merges into the feed tube 20, the outer tube 3 into the tube 25 . This in FIG. 7 shown left part of the evaporator device,,. Directly heated by an alternating current via the transformer 7, the switch 10 and the resistors 9 and 11. The premelting device in the right part of FIG . 7 corresponds in its structure to the design already discussed above. The subsequent delivery material 27 is fed into it through the protective tube 43. The wire 27 melts when it is immersed in the metal mirror. The standing height can be measured and kept constant by the hairpin-shaped feelers 41 and 42.

Claims

Claims: 1. A method for operating an evaporation boat, preferably for steaming band-shaped objects in a vacuum, which is surrounded by a heating boat, both boats being heated electrically by direct current passage, characterized in that the evaporator ship (1) during the actual steaming only such a low current is sent that the creeping of liquid evaporation material (2) over the edge of the evaporation boat (1) is prevented.

2. The method of claim 1, characterized denotes Ge, that the current intensity in the evaporator (1) during the vapor deposition is controlled by a resistor (11). 3. A device for performing the method according to claim 1 and 2, characterized in that the evaporator (1) is surrounded by a Heizschiffchen (3) and the power supply to the two shuttles together, JE but to the evaporator (1) via power supply lines (4 ) takes place, which have a higher resistance per unit length than the evaporation boat (1). 4. Apparatus according to claim 3, characterized by separate lines (5. 6) for the power supply to the two boats (1, 3) and the arrangement of a switch (10) in the power line for the evaporator boat (1). 5. Apparatus according to claim 3 and 4 with a subsequent delivery device in which the evaporation material is pre-melted and then fed to the interior of the evaporation boat, characterized in that the subsequent delivery device (20, 25) is double-walled and heated by electric current, a switch ( 36) is provided for switching off the heating current to the inner part (20). Considered publications: German Patent Nos. 765 487, 880 529, 953 677; German patent application S 12454 VI a / 48 b (published on November 13, 1952); British Patent Nos. 762 941, 770 753.