DE112005000699B4

DE112005000699B4 - Drucksensor

Info

Publication number: DE112005000699B4
Application number: DE112005000699T
Authority: DE
Inventors: Haruhiko Miyagawa; Teruo Oda
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2004-03-30
Filing date: 2005-03-25
Publication date: 2013-10-10
Anticipated expiration: 2025-03-26
Also published as: KR20060032640A; JP3912400B2; KR100713897B1; US7225679B2; US20060090569A1; JP2005315833A; WO2005098388A1; DE112005000699T5

Abstract

Drucksensor, der aufweist: ein Gehäuse (10), das ein Druckeinlassloch (13) aufweist; einen Sockel (20), der eine hohle zylindrische Form aufweist, welche ein Membranteil (22), das durch einen Druck deformierbar ist, der in das Gehäuse eingebracht wird, an einem Ende in einer Achse der hohlen zylindrischen Form aufweist und einen Durchgang (23), der mit dem Druckeinlassloch in Verbindung steht, an einem anderen Ende der Achse aufweist; ein Erfassungsteil (24), das auf dem Membranteil vorgesehen ist und als Reaktion auf eine Deformation des Membranteils ein elektrisches Signal ausgibt; ein Substrat (30), das das elektrische Signal empfängt und ein Ausgangssignal als Reaktion auf das elektrische Signal erzeugt; einen Federanschluss (40), der eine Mehrzahl von Federabschnitten (41, 42) aufweist, welche eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz aufweisen, wobei Endabschnitte (41a, 42a) der Federabschnitte an dem Substrat befestigt sind; und einen Anschluss (50), gegen welchen andere Endabschnitte (41b, 42b) der Federabschnitte angrenzen und welcher das Ausgangssignal nach außen ausgibt.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drucksensor, der einen verbesserten Widerstand bezüglich Vibrationen aufweist, die von außen auf ihn ausgeübt werden.
Stand der Technik
Strukturen, die im Stande sind, einen kleinen Drucksensor durch Vereinfachung der inneren Struktur des Drucksensors zu realisieren, sind herkömmlich vorgeschlagen worden (siehe zum Beispiel die internationale Patentoffenlegungsschrift Nr. JP 2003-529070 ).
In 8 ist eine schematische Schnittansicht eines herkömmlichen Drucksensors gezeigt. Wie es in dieser Darstellung gezeigt ist, ist der Drucksensor derart aufgebaut, dass er ein Gehäuse J1, ein hexagonales Gehäuse J2 und einen Vorrichtungsverbinder J3 aufweist.
Das Gehäuse J1 ist auf eine derartige Weise an dem hexagonalen Gehäuse J2 befestigt, dass es durch dieses hindurchgeht. Eine Druckeinlassöffnung J4 ist in einem Ende dieses Gehäuses J2 vorgesehen und eine Druckmesszelle J5, die mit einer Membran versehen ist, ist an dem Anschlussabschnitt dieser Druckeinlassöffnung J4 angeordnet. Die Druckmesszelle J5 ist elektrisch über die Kontaktoberfläche J7 eines Substrats J6, das eine integrierte Schaltung aufweist, mit der integrierten Schaltung in dem Substrat J6 verbunden. Weiterhin ist die integrierte Schaltung in dem Substrat J6 elektrisch über eine Druckfeder (Tellerfeder, die in der Form eines Buchstabens S ausgebildet ist) J8 mit einem Verbinderkontakt J9 verbunden, der in dem Vorrichtungsverbinder J3 angeordnet ist. Noch weiterhin ist der Verbinderkontakt J9 elektrisch mit einem Anschluss J10 verbunden.
Der Vorrichtungsverbinder J3 ist auf eine derartige Weise an dem hexagonalen Gehäuse J2 befestigt, das er die Druckmesszelle J5, das Substrat J6 und die Druckfeder J8 bedeckt, um eine Gehäuse aufzubauen. Hierbei weist der Vorrichtungsverbinder J3 einen externen Verbinder (nicht gezeigt) auf, um dadurch elektrisch mit einer externen Vorrichtung verbunden zu sein.
In dem zuvor beschriebenen Aufbau ist die integrierte Schaltung in dem Substrat J6 über die Druckfeder J8, die in der Form eines Buchstabens S ausgebildet ist, elektrisch mit dem Verbinderkontakt J9 verbunden. Genauer gesagt ist ein Ende der Druckfeder J8 durch einen leitfähigen Klebstoff direkt mit dem Substrat J6 verbunden. Andererseits ist das andere Ende der Druckfeder J8 im Stande, in Kontakt mit dem Verbinderkontakt J9 zu sein, der in dem Vorrichtungsverbinder J3 angeordnet ist, wenn der Vorrichtungsverbinder J3 in das hexagonale Gehäuse J2 gepasst ist. Auf diese Weise wird der Zustand einer elektrischen Leitung zwischen der integrierten Schaltung in dem Substrat J6 und dem Verbinderkontakt J9 eingestellt.
Jedoch wird in der zuvor beschriebenen herkömmlichen Struktur, das den Zustand einer elektrischen Leitung durch die Druckfeder J8 aufweist, ein Problem vorhanden, dass, wenn der Drucksensor externen Vibrationen unterliegt, die Druckfeder J8 mit den externen Vibrationen in Resonanz ist. Hierbei ist ein Ende der Druckfeder J8 direkt mit dem Substrat J6 verbunden, ist aber das andere Ende der Druckfeder J8 lediglich auf den Verbinderkontakt J9 gepresst und an diesem befestigt. Daher gibt es eine Möglichkeit, dass, wenn die Druckfeder J8 externen Vibrationen unterliegt und mit ihnen in Resonanz ist, das andere Ende der Druckfeder J8 in einen Zustand gebracht werden könnte, in welchem es vom dem Verbinderkontakt J9 getrennt ist, das heißt nicht mit diesem in Kontakt ist. Wenn ein derartiger Zustand ausgebildet wird, ist das Substrat J6 elektrisch von dem Verbinderkontakt J9 getrennt. Daher kann das Signal des erfassten Druckwerts nicht nach außen ausgegeben werden.
Weiterhin vibriert, wenn die Druckfeder J8 in Resonanz ist, in einigen Fällen die Druckfeder J8 in Kontakt mit dem Verbinderkontakt J9 auf eine derartige Weise, dass sie an dem Verbinderkontakt J9 scheuert. Auf diese Weise werden, wenn das andere Ende der Druckfeder J8 vibriert, die Druckfeder J8 und der Verbinderkontakt J9 verschließen. Dies verursacht Defekte, dass das Ausgangssignal aus dem Substrat J6 instabil wird und dass ein Signal, das einen Druckwert zeigt, Rauschen beinhaltet.
Die vorhergehenden Probleme treten insbesondere einfach auf, wenn der Drucksensor an eine Stelle montiert ist, an der der Drucksensor anfällig bezüglich Vibrationen ist (zum Beispiel in dem Motorraum eines Fahrzeugs).
Weitere Drucksensoren sind aus DE 100 14 992 A1 und der US 6 212 955 B1 bekannt.
Offenbarung der Erfindung
In Hinblick auf die vorhergehenden Probleme ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Drucksensor zu schaffen, der auch dann im Stande ist, ein Signal mit einer hohen Zuverlässigkeit auszugeben, wenn der Drucksensor Vibrationen aufweist, die von außen auf diesen ausgeübt werden.
Um die vorhergehende Aufgabe zu lösen, beinhaltet in der Erfindung, die in Anspruch 1 beschrieben ist, der Drucksensor: ein Gehäuse (10), das ein Druckeinlassloch (13) aufweist; einen Sockel (20), der eine hohle zylindrische Form aufweist, welche ein Membranteil (22), das durch einen Druck deformbierbar ist, der in das Gehäuse eingebracht wird, an einem Ende in einer Achse der hohlen zylindrischen Form aufweist, und einen Durchgang (23), der mit dem Druckeinlassloch in Verbindung steht, an einem anderen Ende der Achse aufweist; ein Erfassungsteil (24), das auf dem Membranteil vorgesehen ist und eine elektrisches Signal als Reaktion auf eine Deformation des Membranteils ausgibt; ein Substrat (30), das das elektrische Signal empfängt und ein Ausgangssignal als Reaktion auf das elektrische Signal erzeugt; einen Federanschluss (40), der eine Mehrzahl von Federabschnitten (41, 42) aufweist, welche eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz aufweisen, wobei Endabschnitte (41a, 42a) der Federabschnitte mit dem Substrat verbunden sind; und einen Anschluss (50), gegen welche andere Endabschnitte (41b, 42b) der Federabschnitte angrenzen und welcher das Ausgangsignal nach außen ausgibt.
Wie es zuvor beschrieben worden ist, wird die elektrische Verbindung zwischen dem Substrat und dem Anschluss über den Federanschluss durchgeführt, der Federabschnitte aufweist, welche eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz aufweisen. Demgemäß kann, wenn der Drucksensor externe Vibrationen aufnimmt, auch dann, wenn einer der Federabschnitte mit den externen Vibrationen in Resonanz ist, verhindert werden, dass ein anderer Federabschnitt mit den externen Vibrationen in Resonanz ist. Deshalb kann die Schaltung in dem Substrat immer elektrisch verbunden mit dem Anschluss sein. Auf diese Weise ist es möglich, den Widerstand bezüglich einer Vibration des Drucksensors zu erhöhen und dass der Drucksensor ein Signal mit Stabilität ausgibt.
Weiterhin ist der Federanschluss in einem Zustand, in dem Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte direkt mit dem Substrat verbunden sind. Das heißt, auch dann, wenn der Drucksensor externen Vibrationen unterliegt, wird verhindert, dass die Federabschnitte zu der Oberfläche des Substrats verschoben werden. Auch dann, wenn die anderen Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte in Resonanz sind und vibrieren, sind die anderen Endabschnitte des jeweiligen Federabschnitts mit externen Vibrationen von unterschiedlichen Frequenzen in Resonanz und verschleißt daher der Anschluss in unterschiedlichen Zuständen. Daher weisen die jeweiligen Federabschnitte und der Anschluss ein unterschiedliches Forschreiten eines Verschleißes auf und weist der Fortschritt eines Verschleißes Redundanz auf. Deshalb ist es möglich, einen Verschleiß in den jeweiligen Federabschnitten und dem Anschluss zu verringern.
In der in Anspruch 2 beschriebenen Erfindung beinhaltet der Drucksensor: ein Gehäuse (10), das ein Druckeinlassloch (13) aufweist; einen Sockel (20), der eine hohle zylindrische aufweist, welche ein Membranteil (22), das durch einen Druck deformierbar ist, der in das Gehäuse eingebracht wird, an einem Ende in einer Achse der hohlen zylindrischen Form aufweist und einen mit dem Druckeinlassloch in Verbindung stehenden Durchgang (23) aufweist, der an dem anderen Ende der Achse aufgebildet ist; ein Erfassungsteil (24), das auf dem Membranteil vorgesehen ist und eine elektrisches Signal als Reaktion auf eine Deformation des Membranteils ausgibt; ein Substrat (30), das das elektrische Signal aufnimmt und ein Ausgangssignal als Reaktion auf das elektrische Signal erzeugt; einen Federanschluss (40), der eine Mehrzahl von Federabschnitten (41, 42) aufweist, welche zueinander unterschiedliche Eigenfrequenzen aufweisen; und einen Anschluss (50), welcher das Ausgangssignal nach außen ausgibt, wobei Endabschnitte (41a, 42a) der Federabschnitte mit dem Anschluss verbunden sind und die anderen Endabschnitte (41b, 42b) der Federabschnitte gegen Elektroden (33) angrenzen, die auf dem Substrat vorgesehen sind.
Auch dann, wenn die externen Vibrationen auf dem Drucksensor ausgegeben werden, unterliegt, da der Federanschluss die Mehrzahl von Federabschnitten aufweist, welche zueinander unterschiedlich Eigenfrequenzen aufweisen, lediglich einer der Federabschnitte dem Effekt einer Resonanz und die Schaltung in dem Substrat kann durch die anderen Federabschnitte, die nicht dem Effekt einer Resonanz unterliegen, immer elektrisch verbunden mit dem Anschluss sein. Deshalb kann der Drucksensor auch dann, wenn er Vibrationen von außen unterliegt, immer ein Signal ausgeben.
Weithin sind, da die einen Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte befestigt sind, auch dann, wenn der Drucksensor externen Vibrationen unterliegt, die anderen Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte mit externen Vibrationen von unterschiedlichen Frequenzen in Resonanz und verschleißen daher das Substrat in unterschiedlichen Zuständen. Deshalb weisen die jeweiligen Federabschnitte und das Substrat ein unterschiedliches Fortschreiten eines Verschleißes auf und das Fortschreiten eines Verschleißes weist Redundanz auf. Deshalb ist es möglich, einen Verschleiß in den jeweiligen Federabschnitten und dem Substrat zu verringern.
In der in Anspruch 3 beschriebenen Erfindung weist der Drucksensor weiterhin ein Verbindergehäuse (60) auf, das mit dem Gehäuse an einer Position verbunden ist, das einer Oberfläche gegenüberliegt, auf welcher der Sockel in dem Gehäuse angeordnet ist. Weiterhin ist das Substrat mit den Elektroden (33) versehen, gegen welche die anderen Endabschnitte der Federabschnitte angrenzen, und ist jede der Elektroden (33) in einer Fächerform ausgebildet, die sich einer Umfangsrichtung eines Kreises (E) ausdehnt, der eine Mitte einer Mittenachse eines Verbindens des Gehäuses mit dem Verbindergehäuse aufweist und einen beliebigen Radius aufweist.
Da die Elektroden in der Fächerform ausgebildet sind, ist die Elektrode auch dann, wenn sich das Verbindergehäuse um die Mittenachse eines Verbindens dreht, derart geformt, dass sie sich entlang der Drehrichtung ist. Daher kann dies den Grad eines Zulassens zum Verbinden erhöhen, bis der andere Endabschnitts des Federabschnitts des Federanschlusses, der mit dem Anschluss verbunden ist, aus der Elektrode geht. Deshalb ist es mühselig, den Widerstand gegenüber externen Vibrationen des Drucksensors zu erhöhen und eine Verringerung der Ausbeute des Drucksensors zu verhindern und die Zuverlässigkeit des Drucksensors zu verbessern, da der andere Endabschnitt des Federabschnitts nicht aus der Elektrode geht, wenn das Gehäuse mit dem Verbindergehäuse verbunden ist.
Die in Anspruch 4 beschriebene Erfindung ein Drucksensor, der beinhaltet: ein Gehäuse (10), das ein Druckeinlassloch (13) aufweist; einen Sockel (20), der eine hohle zylindrische Form aufweist, welche ein Membranteil (22), das durch einen Druck deformiert wird, der in das Gehäuse eingebracht wird, an einem Ende in einer Axialen der hohlen zylindrischen Form aufweist, und einen Durchgang (23), der mit dem Druckeinlassloch in Verbindung steht, an dem anderen Ende der Achse aufweist; ein Erfassungsteil (24), das auf dem Membranteil vorgesehen ist und ein elektrisches Signal als Reaktion auf eine Deformation des Membranteils ausgibt; ein Substrat (30), das das elektrische Signal empfängt und ein Ausgangssignal als Reaktion auf das elektrische Signal erzeugt; einen Federanschluss (43), der eine Mehrzahl von Federabschnitten (43a, 43b) aufweist, welche eine zueinander gleiche Eigenfrequenz aufweist, wobei Endabschnitte der Federabschnitte mit dem Substrat verbunden sind; und einen Anschluss (50, 53, 55), gegen welchen andere Endabschnitte der Federabschnitte angrenzen und welche das Ausgangssignal nach außen ausgeben. Weiterhin weisen die Federabschnitte des Federanschlusses eine zueinander unterschiedliche gekrümmte Form des Federabschnitts auf.
Um die elektrische Verbindung zwischen dem Substrat und dem Anschluss durchzuführen, ist der Federanschluss, der die Federabschnitte aufweist, welche eine zueinander gleiche Eigenfrequenzcharakteristiken aufweisen, zwischen dem Substrat und dem Anschluss auf eine derartige Weise angeordnet, dass die jeweiligen Federabschnitte eine zueinander unterschiedliche gekrümmte Form aufweisen. Daher kann die Eigenfrequenz der jeweiligen Federabschnitte zueinander unterschiedlich gemacht werden. Deshalb ist auch dann, wenn der Drucksensor externen Vibrationen unterliegt und einer der jeweiligen Federabschnitte mit den externen Vibrationen in Resonanz ist, der andere Federabschnitt nicht mit den externen Vibrationen in Resonanz, so dass die elektrische Verbindung zwischen dem Substrat und dem Anschluss immer gehalten werden kann. Auf diese Weise ist es möglich, den Widerstand gegenüber einer Vibration des Drucksensors zu erhöhen und, daher, dass der Drucksensor ein Signal mit Zuverlässigkeit ausgibt.
Weiterhin sind, da Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte an dem Substrat befestigt sind, auch wenn der Drucksensor externen Vibrationen unterliegt, die anderen Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte mit externen Vibrationen von unterschiedlichen Frequenzen Resonanz, so dass die anderen Endabschnitte der Federabschnitte voneinander in dem Zustand eines Verschleißens des Substrats unterschiedlich sind. Deshalb weisen die jeweiligen Federabschnitte und das Substrat ein zueinander unterschiedliches Forschreiten eines Verschleißes auf und weist das Forschreiten eines Verschleißes Redundanz auf. Demgemäß ist es möglich, einen Verschleiß in den jeweiligen Federabschnitten und dem Substrat zu verringern.
In der in Anspruch 5 beschriebenen Erfindung beinhaltet ein Drucksensor: ein Gehäuse (10), das Druckeinlassloch (13) aufweist; einen Sockel (20), der eine hohle zylindrische Form aufweist, welche ein Membranteil (22), das durch einen Druck deformierbar ist, der in das Gehäuse eingebracht wird, an einem Ende in einer Achse der hohlen zylindrischen Form aufweist, und einen mit dem Druckeinlassloch in Verbindung stehenden Durchgang (23) aufweist, der an dem anderen Ende der Achse ausgebildet ist; ein Erfassungsteil (24), das auf dem Membranteil vorgesehen ist und ein elektrisches Signal als Reaktion auf eine Deformation des Membranteils ausgibt; ein Substrat (30), das das elektrische Signal empfängt und ein Ausgangssignal als Reaktion auf das elektrische Signal erzeugt; einen Federanschluss (43), der eine Mehrzahl von Federabschnitten (43a, 43b) aufweist, welche eine zueinander gleiche Eigenfrequenz aufweisen; und einen Anschluss (50), welcher das Ausgangssignal nach außen ausgibt. Hierbei sind Endabschnitte der Federabschnitte mit dem Anschluss verbunden und grenzen andere Endabschnitte der Federabschnitte gegen Elektroden (33) an, die auf dem Substrat vorgesehen sind. Weiterhin weisen die Federabschnitte des Federanschlusses eine zueinander unterschiedliche gekrümmte Form des Federabschnitts auf.
Um die elektrische Verbindung zwischen den Substrat und dem Anschluss durchzuführen, ist der Federanschluss, der die Federabschnitte aufweist, welche eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenzcharakteristik aufweisen, zwischen dem Substrat und dem Anschluss auf eine derartige Weise angeordnet, dass die jeweiligen Federabschnitte eine zueinander unterschiedliche gekrümmte Form aufweisen. Damit können die Resonanzfrequenzen der jeweiligen Federabschnitte zueinander unterschiedlich gemacht werden. Daher unterliegt auch dann, wenn externe Vibrationen auf den Drucksensor ausgeübt werden, lediglich einer der jeweiligen Federabschnitte dem Effekt einer Resonanz. Deshalb kann das Substrat durch den anderen Federabschnitt, welcher dem Effekt einer Resonanz nicht unterliegt, immer elektrisch mit dem Anschluss verbunden sein und daher kann auch dann, wenn der Drucksensor Vibrationen von außen unterliegt, der Drucksensor immer ein Signal ausgeben.
Weiterhin sind, da Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte mit dem Substrat verbunden sind, auch dann, wenn der Drucksensor externen Vibrationen unterliegt, die anderen Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte mit externen Vibrationen von unterschiedlichen Frequenzen in Resonanz, so dass die Endabschnitte der Federabschnitte in dem Zustand eines Verschleißes des Substrats zueinander unterschiedlich sind. Deshalb weisen die jeweiligen Federabschnitte und das Substrat ein zueinander unterschiedliches Fortschreiten eines Verschleißes auf und weist das Fortschreiten eines Verschleißes Resonanz auf. Demgemäß ist es möglich, einen Verschleiß in den jeweiligen Federabschnitten und dem Substrat zu verringern.
In der in Anspruch 6 beschriebenen Erfindung beinhaltet der Drucksensor weiterhin ein Verbindergehäuse (30), das an einer Position mit dem Gehäuse verbunden ist, das einer Oberfläche gegenüberliegt, auf welcher der Sockel in dem Gehäuse angeordnet ist. Weiterhin ist das Substrat mit den Elektroden (33) versehen, gegen welche die anderen Endabschnitte der Federabschnitte angrenzen, und ist jede der Elektroden (33) in einer Fächerform ausgebildet, die sich in einer Umfangsrichtung eines Kreises (E) ausdehnt, der eine Mitte an einer Mittenachse eines Verbindens des Gehäuse mit dem Verbindergehäuse aufweist und einen beliebigen Radius aufweist.
Die Elektrode ist in der Fächerform ausgebildet und die Elektrode ist derart ausgebildet, dass sie entlang der Drehrichtung ist. Dies kann den Grad eines Zulassens zum Verbinden erhöhen, bis der andere Endabschnitt des Federabschnitts des Federanschlusses, der mit dem Anschluss verbunden ist, aus der Elektrode geht. Deshalb ist es möglich, den Widerstand gegenüber externen Vibrationen des Drucksensors zu erhöhen und eine Verringerung in der Ausbeute des Drucksensors zu verhindern und die Zuverlässigkeit des Drucksensors zu verbessern, da der Endabschnitt des Federabschnitts nicht aus der Elektrode geht, wenn das Gehäuse mit dem Verbindergehäuse verbunden ist.
In der in Anspruch 7 beschriebenen Erfindung ist der Federabschnitt in der Form eines Buchstabens V ausgebildet, der an dem einen Endabschnitt mit dem anderen Endabschnitt aufgebaut ist. Auf diese Weise kann der Federabschnitt in der Form eines Buchstabens V ausgebildet sein.
Die Bezugszeichen in den Klammern der jeweiligen Einrichtungen, die zuvor beschrieben worden sind, bezeichnen die entsprechende Beziehung zwischen den jeweiligen Einrichtungen und bestimmten Einrichtungen, die in den folgenden Ausführungsbeispielen beschrieben sind.
Kurze Beschreibung der Zeichnung
1 ist eine schematische Schnittansicht eines Drucksensors gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
Die 2(a) und 2(b) sind schematische Ansichten eines Federanschlusses in dem ersten Ausführungsbeispiel, in welchen 2(a) eine schematische Ansicht der Nähe des Federanschlusses ist und 2(b) eine Ansicht ist, wenn sie von einem Pfeil A in 2(a) betrachtet wird.
Die 3(a) und 3(b) sind schematische Ansichten eines Federanschlusses in einem zweiten Ausführungsbeispiel, in welchen 3(a) eine schematische Ansicht der Nähe des Federanschlusses ist und 3(b) eine Ansicht eines Substrats ist, wenn sie von einer Seite des Verbindergehäuses betrachtet wird.
4 eine schematische Ansicht der Nähe eines Federanschlusses in einem dritten Ausführungsbeispiel ist.
Die 5(a), 5(b) und 5(c) Ansichten sind, die Beispiele des Federanschlusses in dem ersten Ausführungsbeispiel zeigen.
Die 6(a), 6(b) und 6(c) Ansichten sind, die Beispiele des Federanschlusses in dem ersten Ausführungsbeispiel zeigen.
Die 7(a), 7(b) und 7(c) Ansichten sind, die Beispiele des Federanschlusses in dem dritten Ausführungsbeispiel zeigen.
8 eine schematische Schnittansicht eines Drucksensors im Stand der Technik ist.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung
(Erstes Ausführungsbeispiel)
Hier im weiteren Verlauf wird das erste Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung beschrieben. Ein Drucksensor, der in diesem Ausführungsbeispiel beschrieben ist, wird an einer Stelle verwendet, an der der Drucksensor Vibrationen von mehreren kHz unterliegt, zum Beispiel in einem Motorraum eines Fahrzeugs und dergleichen.
1 ist eine schematische Schnittansicht eines Drucksensors 100 in dem ersten Ausführungsbeispiel. Wie es in dieser Darstellung gezeigt ist, ist der Drucksensor 100 derart aufgebaut, dass er ein Gehäuse 10, einen Sockel 20, ein Substrat 30, einen Federanschluss 40, einen Anschluss 50 und ein Verbindergehäuse 60 beinhaltet.
Das Gehäuse 10 ist ein hohles Gehäuse, das aus Metall besteht, und durch Stanzen, Kaltpressen und dergleichen bearbeitet ist und einen Schraubenabschnitt 11 aufweist, welcher durch Schraubenkopplung mit einem zu messenden Körper verbunden werden kann. Der Schraubenabschnitt 11 ist auf einer Außenumfangsfläche von einer Endseite des Gehäuses 10 ausgebildet. Ein Loch, das sich von einer Öffnung 12, die an einem Ende des Gehäuses 10 ausgebildet ist, zu dem anderen Ende des Gehäuses 10 ausdehnt, das heißt ein Druckeinlassloch 13, ist in dem Gehäuse 10 ausgebildet und dieses Druckeinlassloch 13 wird als ein Druckeinlasseingang verwendet.
Der Sockel 20 ist ein Teil, das aus Metall besteht und in der Form eines hohlen Zylinders ausgebildet ist, und weist einen Außengewindeabschnitt 21 auf, welcher auf einem Außenumfangsabschnitt des Sockels 20 ausgebildet ist, um in einen Innengewindeabschnitt 14 geschraubt zu werden, der auf dem Druckeinlassloch 13 des Gehäuse 10 ausgebildet ist, um dadurch in dem Gehäuse 10 aufgenommen zu werden. Dieser Sockel 20 weist ein dünnes Membranteil 22, welches durch einen Druck deformiert werden kann, der in das Gehäuse 10 eingebracht wird, an einem Ende seiner Achse auf, und einen Durchgang 23, welcher mit dem Membranteil 22 in Verbindung steht, an dem anderen Ende von diesem auf. Der Durchgang 23 und das Druckeinlassloch 13 des Gehäuses 10 sind in dem Zustand einer Verbindung gebracht, wodurch der Druck eines zu messenden Körpers von dem Druckeinlassloch 13 zu dem Membranteil 22 übertragen wird.
Weiterhin ist ein Sensorchip 24, welcher aus einkristallinem Si (Silizium) besteht und für ein Erfassen des Drucks verwendet wird, auf dem Membranteil 22 dieses Sockels 20 befestigt. Dieser Sensorchip 24 weist eine integrierte Schaltung auf und dann, wenn das Membranteil 22 durch den Druck, der in den Sockel 20 eingebracht wird, deformiert wird, dient der Sensorchip 24 als ein Erfassungsteil (Dehnungsmessstreifen), der eine Widerstandsänderung als Reaktion auf eine Deformation zu einem elektrischen Signal wandelt und das elektrische Signal ausgibt.
Genauer gesagt wird, wenn das Membranteil 22 durch den Druck, der in den Sockel 20 eingebracht wird, deformiert wird, der Dehnungsmessstreifen auf dem Sensorchip 24, der auf dem Membranteil 22 angeordnet ist, gemäß der Deformation deformiert. Zu dieser Zeit wird der Widerstand des Dehnungsmessstreifens durch einen piezoelektrischen Widerstandseffekt geändert, der durch diese Deformation erzeugt wird. Deshalb kann durch Erfassen einer Änderung dieses Widerstands ein Druck, der auf dem Dehnungsmessstreifen ausgeübt wird, das heißt ein Druck, der in den Sockel 20 eingebracht wird, erfasst werden. Dann erzeugt der Sensorchip 24 ein elektrisches Signal als Reaktion auf den Druck, der zu dem Membranteil 22 übertragen wird. Dies weist einen Effekt auf das grundlegende Leistungsvermögen eines Drucksensors 100 auf.
Das Substrat 30 weist einen IC-Chip 31, der eine Funktion zum Wandeln eines Signals, das von dem Sensorchip 24 erfasst wird, zu einem Signal zum Ausgeben von Innen nach Außen aufweist, eine Schaltung zum Verarbeiten des Signals und ein Verdrahtungsmuster auf. Genauer gesagt sind der Sensorchip 24 und das Substrat 30 durch einen Draht 32 kontaktiert und elektrisch miteinander verbunden, wodurch das Signal des Sensorchips 24 in die Schaltung und den IC-Chip 31 eingegeben wird, der auf dem Substrat 30 angeordnet ist. Dieses Substrat 30 ist einem Zustand, in dem es durch einen Klebstoff und dergleichen auf dem Gehäuse 10 angeordnet ist, das den Sockel 20 aufnimmt.
Der Federanschluss 40 ist zum elektrischen Verbinden der Schaltung in dem Substrat 30 mit dem Anschluss 50 und ist auf einer Metallplatte ausgebildet, von der beide Seiten in der Form einer Feder gekrümmt sind. Weiterhin ist dieser Federanschluss 40 aus zum Beispiel Federbronze, Berylliumkupfer, Titankupfer, rostfreiem Stahl oder dergleichen ausgebildet und ist direkt an einer Position befestigt, an der die Elektrode des Substrats 30 durch einen leitfähigen Klebstoff angeordnet ist. Ein Abschnitt, der als die Feder des Federanschlusses 40 verwendet wird, wird gegen den Anschluss 50 angrenzend erzeugt, wodurch das Substrat 30 elektrisch mit dem Anschluss 50 verbunden werden kann.
Weiterhin sind, da die Anzahl von Anschlüssen 50, die für den Drucksensor 100 dieses Ausführungsbeispiels verwendet werden, drei ist, wie es später beschrieben wird, drei Federanschlüsse 40 auf dem Substrat 30 angeordnet. Jeder der Federanschlüsse 40 ist elektrisch mit jedem der Anschlüsse 50 verbunden.
Der Anschluss 50 ist aus einem balkenförmigen Teil aufgebaut, der in der Form eines Buchstabens L ausgebildet ist, und ist in dem Verbindergehäuse 60 angeordnet. Weiterhin ist der Bodenabschnitt 51 des Anschlusses 50 in einer flachen Form ausgebildet (siehe 2(a), welche später beschrieben wird) und ist ein Abschnitt, der als die Feder des zuvor beschriebenen Federanschlusses 40 verwendet wird, im Stande, gegen diesen Bodenabschnitt 51 anzugrenzen. In diesem Ausführungsbeispiel sind drei Anschlüsse 50 für eine Energieversorgung zum Betreiben des Drucksensors 50, zum Legen an Masse und zum Ausgeben eines Signals in dem Verbindergehäuse 60 angeordnet. Die Spitzenabschnitte der Anschlüsse 50 sind mit externen Verbindern (nicht gezeigt) verbunden und über Verdrahtungsteile mit der anderen Schaltung und dergleichen außerhalb des Drucksensors 100 elektrisch verbunden.
Das Verbindergehäuse 60 ist ein Verbinder zum Ausgeben des Signals eines Druckwerts, der von dem Drucksensor 100 erfasst wird, und ist aus Harz oder dergleichen ausgebildet. Das andere Ende des Gehäuses 10 ist auf eine derartige Weise befestigt, dass es dieses Verbindergehäuse 60 in einen Zustand presst, in dem das Verbindergehäuse 60 in das andere Ende des Gehäuses 10 über einen O-Ring 70 gepasst ist. Damit ist das Verbindergehäuse 60 mit dem Gehäuse 10 integriert, um ein Gehäuse aufzubauen, um den Sensorchip 24, das Substrat 30, die elektrischen Verbindungen und dergleichen, die in dem Gehäuse angeordnet sind, vor Feuchtigkeit und einer externen mechanischen Kraft zu schützen.
Als Nächstes wird der zuvor beschriebene Federanschluss 40 unter Bezugnahme auf 2 beschrieben. 2 ist eine schematische Ansicht des Federanschlusses 40, der in diesem Ausführungsbeispiel verwendet wird, in welcher 2(a) eine schematische Ansicht der Nähe des Federanschlusses 40 ist und 2(b) eine Ansicht ist, wenn sie von einem Pfeil A in 2(a) betrachtet wird.
Wie es zuvor beschrieben worden ist, ist der Federanschluss 40 aus einer einzelnen Metallplatte aufgebaut. Genauer gesagt weist der Federanschluss 40 eine Struktur auf, bei welcher beiden Seiten der Metallplatte gekrümmt sind, um eine Mehrzahl von Tellerfederabschnitten, das heißt zwei Federabschnitte 41, 42, auszubilden. Jeder der Federabschnitte 41, 42 ist mit einem Endabschnitt 41a und dem anderen Endabschnitt 41b oder einem Endabschnitt 42a und dem anderen Endabschnitt 42b in der Form eines Buchstabens V versehen. In diesem Ausführungsbeispiel wird, wie es in 2(a) gezeigt ist, da die gekrümmten Abschnitte auf beiden Endseiten der Metallplatte eine zueinander unterschiedliche Länge aufweisen, einer der Federabschnitte 41, 42 einfacher als der andere gekrümmt. Dann werden Endabschnitte 41a, 42a der Federabschnitte 41, 42 auf dem Substrat 30 befestigt.
In diesem Ausführungsbeispiel weist die Metallplatte, die den Federanschluss 40 aufbaut, eine Dicke von 0,08 mm auf. Weiterhin weist die Metallplatte eine Breite von 1,2 mm auf, aber jeder der gekrümmten Abschnitte auf beiden Endseiten der Metallplatte weist eine Breite von 1,0 mm auf. Dies ist so, da eine Kontaktierungsfläche mit dem Substrat 30 vergrößert ist, um den Federanschluss 40 an dem Substrat 30 mit Zuverlässigkeit zu befestigen, dass, wie es zuvor beschrieben worden ist, in der Metallplatte ein Abschnitt, der an dem Substrat befestigt ist, eine größere Breite als ein Abschnitt aufweist, der die Feder ausbildet.
Weiterhin weist einer der gekrümmten Abschnitte auf beiden Endseiten der Metallplatte eine Länge von zum Beispiel 2,5 mm auf und weist der andere Abschnitt eine Länge von 5,0 mm auf. Da die gekrümmten Abschnitte auf beiden Endseiten der Metallplatte eine zueinander unterschiedliche Länge aufweisen, weisen die jeweiligen Federabschnitte 41, 42 eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz auf.
In dem Federanschluss 40, der den Aufbau ähnlich diesem aufweist, werden, wie es in 2(b) gezeigt ist, wenn der Federanschluss 40, das heißt die anderen Endabschnitte 41b, 42b der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 in der Richtung des Substrats 30 durch den Anschluss 50 gepresst werden, die anderen Endabschnitte 41b, 42b der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 gegen den Anschluss 50 angrenzend gemacht. Kurz gesagt werden, wenn die jeweiligen Federabschnitte 41, 42 durch den Anschluss 50 gepresst werden, die anderen Endabschnitte 41b, 42b der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 durch die Rückstellkräfte der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 in engen Kontakt mit dem Bodenabschnitt 51 des Anschlusses 50 gebracht, wodurch der Federanschluss 40 elektrisch mit dem Anschluss 50 verbunden werden kann.
In dem Drucksensor 100, der den zuvor beschriebenen Aufbau aufweist, ist das Membranteil 22 durch den Druck, der durch das Druckeinlassloch 13 eingebracht wird, gespannt, so dass ein elektrisches Signal, das einen Widerstand als Reaktion auf seine Spannung ausweist, zu dem Substrat 30 ausgegeben wird. Dann wird dieses elektrische Signal durch die Schaltung in dem Substrat 30 zu einem Ausgangssignal gewandelt und wird dieses Ausgangssignal aus der Schaltung in dem Substrat 30 über den Federanschluss 40 zu dem Anschluss 50 ausgegeben, wodurch der Druck erfasst wird.
Wenn mechanische Vibrationen auf den Drucksensor 100 ähnlich diesem ausgeübt werden, können die Federabschnitte 41, 42 des Federanschlusses 40 mit den mechanischen Vibrationen in Resonanz sein. Eine Resonanz entwickelt sich, wenn die Frequenzen von mechanischen Vibrationen nahezu gleich der Eigenfrequenz des Federabschnitts sind. Jedoch ist, da der Federanschluss 40 mit zwei Federabschnitten 41, 42 versehen ist, welcher eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz aufweisen, auch dann, wenn einer der Federabschnitte 41, 42 mit den mechanischen Vibrationen in Resonanz ist, der andere Federabschnitt nicht mit den mechanischen Vibrationen in Resonanz. Daher kann auch dann, wenn die mechanischen Vibrationen auf den Drucksensor 100 ausgeübt werden, die elektrische Verbindung zwischen der Schaltung und dem Substrat 30 und dem Anschluss 50 gehalten werden und kann daher der Drucksensor 100 ein stabiles Signal ausgeben.
Die elektrische Verbindung zwischen der Schaltung in dem Substrat 30 und dem Anschluss 50 wird über den Federanschluss 40 ausgebildet, der zwei Federabschnitte 41, 42 aufweist, welche ein zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz aufweisen. Demgemäß ist, wenn der Drucksensor 100 externe Vibrationen aufnimmt, auch dann, wenn einer der zwei Federabschnitte 41, 42 mit den externen Vibrationen in Resonanz sein könnte, der andere Federabschnitt nicht mit den externen Vibrationen in Resonanz. Deshalb können die Schaltung in dem Substrat 30 und der Anschluss 50 mit Zuverlässigkeit miteinander elektrisch verbunden sein. Damit ist es möglich, den Widerstand gegenüber einer Vibration des Drucksensors 100 zu erhöhen und daher für den Drucksensor 100, ein stabiles Signal auszugeben.
Weiterhin sind in dem Federanschluss 40 die Breiten der Endabschnitte 41a, 42a der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 größer als diejenigen der anderen Endabschnitte 41b, 42b, um die Kontaktierungsfläche zu dem Substrat 30 zu erhöhen. Demgemäß vibrieren auch dann, wenn der Drucksensor 100 die externen Vibrationen aufnimmt, die Federabschnitte 41, 42 nicht bezüglich der Oberfläche des Substrats 30. Aus diesem Grund verschleißen auch dann, wenn die anderen Endabschnitte 41b, 42b der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 vibrieren, die anderen Endabschnitte 41b, 42b der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 nicht den Anschluss 50. Deshalb ist es möglich, einen Verschleiß bezüglich der Federabschnitte 41, 42 und des Anschlusses 50 zu verhindern.
(Zweites Ausführungsbeispiel)
In diesem Ausführungsbeispiel werden lediglich Abschnitte beschrieben, die zu dem ersten Ausführungsbeispiel unterschiedlich sind. Dieses Ausführungsbeispiel ist darin zu dem ersten Ausführungsbeispiel unterschiedlich, dass der Federanschluss 40 an dem Anschluss 50 befestigt ist.
3 ist eine schematische Ansicht des Federanschlusses 40 in diesem Ausführungsbeispiel, in welcher 3(a) eine schematische Ansicht der Nähe des Federanschlusses 40 ist und 3(B) eine Ansicht des Substrats 30 ist, wenn sie von der Seite des Verbinderkontakts 60 betrachtet wird.
Wie es in 3(a) gezeigt ist, ist der Federanschluss 40 in dem Zustand, in dem er an dem Bodenabschnitt 51 des Anschlusses 50 befestigt ist. Der Federanschluss 40 ist zum Beispiel durch Widerstandsschweißen an dem Bodenabschnitt 51 des Anschlusses 50 befestigt. Hierbei wird bezüglich des Federanschlusses 40, der in diesem Ausführungsbeispiel verwendet wird, das gleiche Teil wie in dem ersten Ausführungsbeispiel verwendet.
Weiterhin weist, wie es in 3(b) gezeigt ist, das Substrat 30 Elektroden 33 auf, die darauf auf eine derartige Weise angeordnet sind, dass die Elektroden 33 über den Federanschluss 40 elektrisch mit dem Anschluss 50 verbunden sind. Jede der Elektroden 33 ist in einer Form ausgebildet, die sich in der Umfangsrichtung eines Kreises E ausdehnt, welcher einen beliebigen Radius mit seiner Mitte an der Mittenachse eines Zusammenbauens des Gehäuses 10 mit dem Verbindergehäuse 60 aufweist, das heißt, in der Form eines Fächers. Die anderen Endabschnitte 41b, 42b der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 des Federanschlusses 40 grenzen gegen diese Elektroden 33 an, die jeweils in der Form eines Fächers ausgebildet sind, so dass die Schaltung in dem Substrat 30 elektrisch mit dem Anschluss 50 verbunden ist.
Auf diese Weise ist es wie in dem ersten Ausführungsbeispiel, da die Schaltung in dem Substrat 30 durch die Mehrzahl von Federabschnitten 41, 42, welche eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz aufweisen, elektrisch mit dem Anschluss 50 verbunden ist, möglich, den Widerstand bezüglich einer externen Vibration des Drucksensors 100 zu erhöhen.
Weiterhin ist jede der Elektroden 33 in der Form eines Fächers ausgebildet. Demgemäß bewegen sich auch dann, wenn sich das Verbindergehäuse 60 bezüglich der Mittenachse eines Zusammenbauens dreht, die anderen Endabschnitte 41b, 42b der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 des Federanschlusses 40, die an dem Anschluss 50 befestigt sind, entlang den Elektroden 33, da die Elektroden 33 in der Form entlang der Drehrichtung ausgebildet sind. Daher kann eine Zulässigkeit eines Zusammenbauens erhöht werden, bis die anderen Endabschnitte 41b, 42b der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 aus den Elektroden 33 gehen. Daher können die anderen Endabschnitte 41b, 42b der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 immer in Kontakt mit den fächerförmigen weiten Elektroden 33 gebracht werden, die auf dem Substrat 30 angeordnet sind, und daher kann der Drucksensor 100 ein Signal mit Zuverlässigkeit ausgeben.
Da die Endabschnitte 41a, 42a der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 in dem Zustand sind, in dem sie an dem Anschluss 50 befestigt sind, sind die Federabschnitte 41, 42 auch dann, wenn der Drucksensor 100 externe Vibrationen aufnimmt, mit externen Vibrationen von unterschiedlichen Frequenzen in Resonanz und weisen daher ein unterschiedliches Fortschreiten eines Verschleißes auf und weist das Fortschreiten eines Verschleißes Redundanz auf. Daher ist es möglich, einen Verschleiß des Federanschlusses 40 und der Elektroden 33 zu verhindern.
Weiterhin können, wenn das Gehäuse 10 mit dem Verbindergehäuse 60 verbunden ist, andere Endabschnitte 41b, 42b der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 zuverlässig in Kontakt mit den Elektroden 33 gebracht werden. Demgemäß ist es möglich, eine Verringerung einer Herstellungsausbeute des Drucksensors 100 zu verhindern und die Zuverlässigkeit des Drucksensors 100 zu erhöhen.
(Drittes Ausführungsbeispiel)
In diesem Ausführungsbeispiel werden lediglich Abschnitte beschrieben, die zu dem ersten Ausführungsbeispiel und dem zweiten Ausführungsbeispiel unterschiedlich sind. In dem vorhergehenden ersten und zweiten Ausführungsbeispiel wird der Federanschluss 40 verwendet, bei welchem die jeweiligen Federabschnitte 41, 42 unterschiedliche Eigenfrequenzen aufweisen. Jedoch wird in diesem Ausführungsbeispiel ein Federanschluss verwendet, bei welchem die jeweiligen Federabschnitte die gleiche Eigenfrequenzcharakteristik aufweisen, und dieser Federanschluss wird in dem Anordnungszustand geändert, so dass die Frequenzen, bei welchen die jeweiligen Federabschnitte mit den externen Vibrationen in Resonanz sind, zueinander unterschiedlich eingestellt werden. Hier im weiteren Verlauf wird dies unter Bezugnahme auf 4 beschrieben.
4 ist eine schematische Ansicht der Nähe eines Federanschlusses 43 gemäß diesem Ausführungsbeispiel. Zuerst ist in diesem Ausführungsbeispiel der Federanschluss 43 aus einer einzelnen Metallplatte aufgebaut und weist eine Struktur auf, bei welcher beide Seiten der Metallplatte gekrümmt sind, um eine Mehrzahl von, das heißt zwei, Federabschnitten 43a, 43b auszubilden. Weiterhin weisen die gekrümmten Abschnitte auf beiden Seiten der Metallplatte eine zueinander gleiche Länge auf und weisen die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b die gleiche Eigenfrequenz auf. Aus diesem Grund sind die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b an der gleichen Eigenfrequenz in Resonanz. Der Federanschluss 43 ähnlich diesem ist an dem Substrat 30 durch ein Lot S1, S2 befestigt. In dem Federanschluss 43 ist die Dicke der Metallplatte zum Beispiel 0,08 mm und ist die Breite der Metallplatte zum Beispiel 1,2 mm.
Wie es in 4 gezeigt ist, weisen diese Lote S1, S2 in einer Längsrichtung des Federanschlusses 43 eine zueinander unterschiedliche Länge auf. Genauer gesagt sind unter der Annahme, dass ein Mittelpunkt in der Längsrichtung in einem derartigen Abschnitt des Federanschlusses 43, der der Oberfläche des Substrats 30 gegenüberliegt, M1 ist, die jeweiligen Enden der Federabschnittsseiten der jeweiligen Lote S1, S2 an Positionen bezüglich dem Mittelpunkt M1 asymmetrisch.
Durch Anordnen der Lote S1, S2 auf diese Weise dienen in den jeweiligen Federabschnitten 43a, 43b jeweilige Abschnitte von den jeweiligen Enden der jeweiligen Federabschnittsseiten der jeweiligen Lote S1, S2 als Tellerfedern. Das heißt, die Positionen, die als die Tellerfedern dienen, sind zwischen den jeweiligen Federabschnitten 43a, 43b unterschiedlich und daher weisen die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b eine zueinander unterschiedliche gekrümmte Form auf. Deshalb sind die Frequenzen, von welchen die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b mit Vibrationen in Resonanz sind, die auf den Drucksensor 100 ausgeübt werden, zwischen den jeweiligen Federabschnitten 43a, 43b unterschiedlich. Daher können durch Anordnen des Federanschlusses 43, welcher mit den jeweiligen Federabschnitten 43a, 43b versehen ist, die die gleiche Eigenfrequenzcharakteristik aufweisen, auf dem Substrat 30 auf der Grundlage eines Anordnens der Lote S1, S2, die in 4 gezeigt sind, die Frequenzen, bei welchen die jeweiligen Federabschnitte 43, 43b in Resonanz sind, zu jeweils unterschiedlichen Frequenzen geändert werden.
Wie es zuvor beschrieben worden ist, sind in diesem Ausführungsbeispiel die Federabschnitte 43a, 43b, die die gleiche Eigenfrequenzcharakteristik aufweisen, zwischen dem Substrat 30 und dem Anschluss 50 auf eine derartige Weise angeordnet, dass sie eine zueinander unterschiedliche gekrümmte Form aufweisen. Damit ist es möglich, die Frequenzen, an welchen die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b in Resonanz sind, zueinander unterschiedlich zu machen. Daher ist auch dann, wenn der Drucksensor 100 externe Vibrationen aufnimmt und einer der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b mit den externen Vibrationen in Resonanz ist, der andere Federabschnitt nicht mit den externen Vibrationen in Resonanz, so dass die elektrische Verbindung zwischen dem Substrat 30 und dem Anschluss 50 immer gehalten werden kann. Auf diese Weise ist es möglich, den Widerstand gegenüber einer Vibration des Drucksensors 100 zu erhöhen und daher für den Drucksensor 100, eine Signal mit Zuverlässigkeit auszugeben.
Weiterhin sind, da Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b an dem Substrat 30 befestigt sind, auch dann, wenn der Drucksensor 100 externe Vibrationen aufnimmt, die anderen Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b mit den externen Vibrationen von unterschiedlichen Frequenzen in Resonanz, so dass die anderen Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b in dem Zustand zueinander unterschiedlich sind, in dem sie an dem Substrat 30 scheuern. Daher weisen die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b und das Substrat 30 einen zueinander unterschiedlichen Grad eines Fortschreitens eines Verschleißes auf und weist das Fortschreiten eines Verschleißes Redundanz auf. Deshalb ist es möglich, einen Verschleiß der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b und des Substrats 30 zu verringern.
(Viertes Ausführungsbeispiel)
In diesem Ausführungsbeispiel werden lediglich Abschnitte beschrieben, die zu dem ersten bis dritten Ausführungsbeispiel unterschiedlich sind. In dem vorhergehenden dritten Ausführungsbeispiel ist der Federanschluss 43 auf dem Substrat 30 über die Lote S1, S2 angeordnet. Jedoch kann ähnlich dem zweiten Ausführungsbeispiel der Federanschluss 43 an dem Bodenabschnitt des Anschlusses 50 in dem vorhergehenden dritten Ausführungsbeispiel befestigt sein. In diesem Fall kann, wie in dem dritten Ausführungsbeispiel, der Federanschluss 43 über die Lote S1, S2 an dem Bodenabschnitt 51 des Anschlusses 50 befestigt sein. Kurz gesagt sind, wenn Endabschnitte der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b an dem Bodenabschnitt 51 des Anschlusses 50 befestigt sind, die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b in unterschiedlichen gekrümmtem Formen zwischen dem Anschluss 50 und dem Substrat 30 angeordnet. In diesem Ausführungsbeispiel wird der Gleiche wie der Federanschluss 43 verwendet, der in dem dritten Ausführungsbeispiel verwendet wird.
Daher kann der Federanschluss 43, der in 4 gezeigt ist, an dem Bodenabschnitt 51 des Anschlusses 50 ähnlich dem zweiten Ausführungsbeispiel befestigt sein. In diesem Fall wird der Anschluss 50 verwendet, der in dem zweiten Ausführungsbeispiel verwendet wird.
Weiterhin weist in dem zweiten Ausführungsbeispiel das Substrat 30 die fächerförmigen Elektroden 33 auf, die darauf angeordnet sind (siehe 3(b)) und grenzen die anderen Endabschnitte der Federabschnitte 43a, 43b des Federanschlusses 43 gegen diese fächerförmigen Elektroden 33 an, um die Schaltung in dem Substrat 30 mit dem Anschluss 50 elektrisch zu verbinden.
Wie es vorhergehend bis zu diesem Punkt beschrieben worden ist, ist der Federanschluss 43, der die gleiche Eigenfrequenzcharakteristik aufweist, über die Lote S1, S2 an den Bodenabschnitten 51 des Anschlusses 50 befestigt und sind die Federabschnitte 43a, 43b in einer zueinander unterschiedlichen gekrümmten Form hergestellt. Damit sind die Frequenzen, bei welchen die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b in Resonanz sind, zueinander unterschiedlich. Deshalb kann auch dann, wenn der Drucksensor 100 externe Vibrationen aufweist, die darauf ausgeübt werden, die elektrische Verbindung zwischen der Schaltung in dem Substrat 30 und dem Anschluss 50 immer durch einen der Federabschnitte 43a, 43b gehalten werden, der durch den Effekt einer Resonanz nicht beeinträchtigt wird. Daher ist es möglich, den Widerstand gegenüber einer externen Vibration des Drucksensors 100 zu erhöhen.
Weiterhin sind, da die Endabschnitte der Federabschnitte 43a, 43b an dem Anschluss 50 befestigt sind, auch dann, wenn der Drucksensor 100 externen Vibrationen unterliegt, die anderen Endabschnitte der Federabschnitte 43a, 43b mit den externen Vibrationen von unterschiedlichen Frequenzen in Resonanz. Daher sind die anderen Endabschnitte der Federabschnitte 43a, 43b in dem Zustand zueinander unterschiedlich, in dem sie an dem Substrat 30 scheuern, und daher weisen die Federabschnitte 43a, 43b und das Substrat 30 ein zueinander unterschiedliches Fortschreiten eines Verschleißes auf und weist das Fortschreiten eines Verschleißes Redundanz auf. Deshalb ist es möglich, einen Verschleiß der Federabschnitte 43a, 43b und des Substrats 30 zu verringern.
(Andere Ausführungsbeispiele)
In den ersten und zweiten Ausführungsbeispielen sind die Federabschnitte 41, 42 auf beiden Seiten der Metallplatte in dem Federanschluss 40 mit unterschiedlichen Längen gekrümmt, um ihre Eigenfrequenzen zueinander unterschiedlich zu machen, aber dies ist lediglich ein Beispiel. Das heißt, die Eigenfrequenzen der jeweiligen Federabschnitte 41, 42 können ebenso durch andere Verfahren zueinander unterschiedlich gemacht werden. Hier im weiteren Verlauf sind Beispiele des Federanschlusses in 5 und 6 gezeigt. Hierbei sind 6(a) bis 6(c) Ansichten der Federanschlüsse 82, 83, wenn sie von der Seite des Anschlusses 50 betrachtet werden.
5(a) ist eine Ansicht, die einen Federanschluss 45 zeigt, in welchem die jeweiligen Federabschnitte 45a, 45b eine zueinander unterschiedliche Dicke aufweisen. Auf diese Weise können durch Erzeugen der jeweiligen Federabschnitte 45a, 45b, dass diese eine zueinander unterschiedliche Dicke aufweisen, die jeweiligen Federabschnitte 45a, 45b mit einer zueinander unterschiedlichen Eigenfrequenz erzeugt werden.
5(b) ist eine Ansicht, die einen Federanschluss 46 zeigt, in welchem die jeweiligen Federabschnitte 46a, 46b eine zueinander unterschiedliche Breite aufweisen. Auf diese Weise ist es ebenso empfehlenswert, die jeweiligen Federabschnitte 46a, 46b vorzusehen, welche eine zueinander unterschiedliche Breite aufweisen.
Weiterhin ist 5(c) eine Ansicht, die einen Federanschluss 47 zeigt, der zwei Federabschnitte 47a, 47b aufweist, in welchem der Federabschnitt 47a ein Loch H aufweist, das darin ausgebildet ist. Auf diese Weise ist es durch Ausbilden des Lochs H in einem der Federabschnitte 47a, 47b möglich, die jeweiligen Federabschnitte 47a, 47b mit zueinander unterschiedlichem Gewicht herzustellen und daher möglich, die jeweiligen Federabschnitte 47a, 47b mit einer zueinander unterschiedlichen Eigenfrequenz herzustellen.
Noch weiterhin ist 6(a) eine Ansicht eines Federanschlusses 82, in welchem die Form eines Federabschnitts 82b unterschiedlich zu der Form des anderen Federabschnitts 82a ist. Wie es in 6(a) gezeigt ist, weist der Federabschnitt 82b eine tiefe Vertiefung CU auf, die darin ausgebildet ist. Diese Vertiefung CU kann die Eigenfrequenzen der jeweiligen Federabschnitte 82a, 82b zueinander unterschiedlich machen. Hierbei ist die Vertiefung CU nicht auf die eine beschränkt, die in 6(a) gezeigt ist. Zum Beispiel können die Breiten der Metallplatten auf den linken und rechten Seiten der Vertiefung CU zueinander unterschiedlich gemacht werden und kann die Vertiefung CU flach gemacht werden.
6(b) ist eine Ansicht, die einen Federanschluss 83 zeigt, in welchem jeweilige Federabschnitte 83a, 83b aus Metallplatten von unterschiedlichen Materialien aufgebaut sind. Im Allgemeinen wird die Eigenfrequenz einer Metallplatte durch eine Änderung einer Elastizität (eines Elastizitätsmoduls) und Dichte geändert. Das Beispiel, das in 6(b) gezeigt ist, verwendet diese Eigenschaft. Das heißt, ein Abschnitt der jeweiligen Federabschnitte 83a, 83b ist aus zum Beispiel Federbronze ausgebildet und der andere Abschnitt ist aus zum Beispiel Berylliumkupfer ausgebildet. Dann werden diese Abschnitte mit den Enden der Metallplatte verbunden, um den Federanschluss 83 aufzubauen. Auf diese Weise können durch Ausbilden der jeweiligen Federabschnitte 83a, 83b aus unterschiedlichen Materialien die Eigenfrequenzen der Federabschnitte 83a, 83b zueinander unterschiedlich gemacht werden.
Die jeweiligen Federabschnitte 83a, 83b des Federanschlusses 83, der in 6(b) gezeigt ist, können aus dem gleichen Material aufgebaut sein. In diesem Fall können durch Aufbauen der jeweiligen Federabschnitte 83a, 83b aus Materialien von unterschiedlichen Dichteklassen, das heißt, Materialien, die ein unterschiedliches Elastizitätsmodul aufweisen, die Eigenfrequenzen der jeweiligen Federabschnitte 83a, 83b zueinander unterschiedlich gemacht werden.
6(c) ist eine Ansicht, die einen Federanschluss 84 zeigt, in welchem die Federabschnitte von jeweiligen Federabschnitten 84a, 84b eine zueinander unterschiedliche Krümmung aufweisen. Wie es in 6(c) gezeigt ist, ist ein Krümmungsradius R1 von einem Federabschnitt 84a zu der Krümmung R2 des anderen Federabschnitts 84b unterschiedlich. Damit können die Eigenfrequenzen der jeweiligen Federabschnitte 84a, 84b zueinander unterschiedlich gemacht werden.
Noch weiterhin verwenden die Federanschlüsse 40, 45 bis 47, 82 bis 84, die in 3, 3(a), 5 und 6 gezeigt sind, eine Struktur, in welcher beide Seiten von einer Metallplatte gekrümmt sind, aber die Strukturen der Federanschlüsse 40, 45 bis 47, 82 bis 84 sind nicht auf diese Struktur beschränkt. Das heißt, es kann möglich sein, zwei (oder eine Mehrzahl von) Federabschnitten vorzubereiten, welche eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz aufweisen. Zum Beispiel können die einfachen Federabschnitte 41, 42 des Federanschlusses 40, welche voneinander getrennt sind, jeweils an dem Substrat 30 befestigt sein. Wenn die Schaltung in dem Substrat 30 über die Federabschnitte, welche auf diese Weise eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz aufweisen, an dem Anschluss 50 elektrisch befestigt ist, kann auch dann, wenn der Drucksensor 100 Vibrationen von außen unterliegt, der Federabschnitt, welcher nicht mit den Vibrationen in Resonanz ist, die elektrische Verbindung zwischen dem Substrat 30 und dem Anschluss 50 halten. Ähnlich können in dem Federanschluss 43, der in 4 gezeigt, ist, die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b, welche voneinander getrennt ist, verwendet werden.
In den jeweiligen Federanschlüssen 40, 45 bis 47, die zuvor beschrieben worden sind, wird eine Struktur vorgesehen, in welcher beide Seiten der Metallplatte gekrümmt sind, aber der Federanschluss kann in einer Form ausgebildet sein, in welcher beide Seiten der Metallplatte gekrümmt sind. Auch dann, wenn die Federabschnitte in der gekrümmten Struktur ähnlich dieser ausgebildet sind, können diese, wenn die zwei gekrümmten Abschnitte eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz aufweisen, den gleichen Effekt wie die Federanschlüsse erzeugen, die zuvor beschrieben worden sind.
In dem dritten Ausführungsbeispiel werden die Lote S1, S2, die in dem Federanschluss 43 an dem Substrat 30 befestigt sind, in der Länge geändert und werden daher die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b in einer gekrümmten Form geändert, um dadurch die Resonanzfrequenz der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b zueinander unterschiedlich zu machen. Jedoch ist dies lediglich ein Beispiel. Das heißt, die Resonanzfrequenzen der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b können ebenso durch andere Verfahren zueinander unterschiedlich gemacht werden. Hier im weiteren Verlauf sind Beispiele von Federanschlüssen in 7 gezeigt.
7(a) ist eine Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b des Federanschlusses 43 gegen einen Anschluss 53 angrenzen, der eine Stufe ST an dem Bodenabschnitt des Anschlusses 53 aufweist. Wie es in 7(a) gezeigt ist, ist die Stufe ST an dem Bodenabschnitt des Anschlusses 53 ausgebildet.
Wenn die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b des Federanschlusses 43 gegen den Bodenabschnitt des Anschlusses 53 angrenzen, werden die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b in Kontakt mit dem Bodenabschnitt an unterschiedlichen Höhen durch diese Stufe ST gebracht. Damit ist es möglich, die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b zueinander in einer gekrümmten Form zu erzeugen und daher möglich, ihre Resonanzfrequenzen zueinander unterschiedlich zu machen. Die Höhe dieser Stufe ST ist zum Beispiel von 0,1 mm bis 1,0 mm.
7(b) ist eine Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem eine Vertiefung CL auf der Seite des Federabschnitts 43 der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b des Federanschlusses 43 ausgebildet ist. Wie es in 7(b) gezeigt ist, wird der Federabschnitt 43b durch Schneiden des Substrats 30 auf der Seite des Federabschnitts 43b, um die Vertiefung CL auszubilden, in einen schwebenden Zustand gebracht. Damit ist es möglich, die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b zueinander in einer gekrümmten Form zu erzeugen und daher möglich, die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b mit zueinander unterschiedlichen Resonanzfrequenzen in Resonanz zu erzeugen. Hierbei kann diese Vertiefung CL auf der Seite des Federabschnitts 43a ausgebildet werden. Weiterhin ist die Vertiefung CL auf der einen Seite der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b ausgebildet, aber sie kann in irgendeiner Form ausgebildet sein.
7(c) ist eine Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b des Federanschlusses 43 gegen den Bodenabschnitt des Anschlusses 55 angrenzen. Der Bodenabschnitt des Anschlusses 55 ist gekrümmt, um bezüglich der Oberfläche des Substrats 30 geneigt zu sein. Wie es in dieser Darstellung gezeigt ist, ist der Bodenabschnitt des Anschlusses 55 nicht parallel zu der Oberfläche des Substrats 30, sondern gekrümmt und geneigt. Das heißt, die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b des Federanschlusses 43 grenzen gegen den Bodenabschnitt des Anschlusses 55 an unterschiedlichen Höhen an. Damit werden die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b in einer zueinander unterschiedlichen gekrümmten Form hergestellt und daher können die jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b eine zueinander unterschiedliche Resonanzfrequenz aufweisen. Wenn der Bodenabschnitt des Anschlusses 55 in der Neigung bezüglich des Substrats 30 gekrümmt ist, wird die Höhendifferenz zwischen den Kontaktabschnitten der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b zum Beispiel ungefähr 0,05 mm gemacht.
7(d) ist eine Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem der Federanschluss 43 über ein Lot S3 an dem Substrat 30 befestigt ist. Wie es in 7(d) gezeigt ist, sind beide Enden des Lots S3 an asymmetrischen Positionen bezüglich des Mittelpunkts MI des Federanschlusses 43. Damit wird die gekrümmte Form der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b zueinander unterschiedlich gemacht und kann daher die Resonanzfrequenz der jeweiligen Federabschnitte 43a, 43b zueinander unterschiedlich gemacht werden.
Hierbei ist das Lot S3, das in 7(d) gezeigt ist, das Gleiche wie in einem Fall, in dem der Abschnitt zwischen den Loten S1, S2, die in 4 gezeigt sind, mit Lot gefüllt ist. Kurz gesagt ist es möglich, ein Löten in Übereinstimmung mit dem Schaltungsaufbau des Substrats 30 auszuführen, wie es in 4 oder 7(d) gezeigt ist.
In den Beispielen, die in 5 bis 7 gezeigt sind, können, ohne es zu sagen, ähnlich dem zweiten Ausführungsbeispiel die Federanschlüsse 43, 45 bis 47, 82 bis 84 an dem Bodenabschnitt 51 des Anschlusses 50 befestigt sein.
Wie es zuvor beschrieben worden ist, werden in den Ausführungsbeispielen, die beschrieben worden sind, die Federanschlüsse 40, 43, 45 bis 47, 82 bis 84 für einen Drucksensor 100 verwendet. Jedoch können die Federanschlüsse 40, 43, 45, bis 47, 82 bis 84 nicht nur für den zuvor beschriebenen Drucksensor 100, sondern ebenso für jede Stelle verwendet werden, die eine Umgebung mit sich bringt, die Vibrationen unterliegt.

Claims

Drucksensor, der aufweist: ein Gehäuse (10), das ein Druckeinlassloch (13) aufweist; einen Sockel (20), der eine hohle zylindrische Form aufweist, welche ein Membranteil (22), das durch einen Druck deformierbar ist, der in das Gehäuse eingebracht wird, an einem Ende in einer Achse der hohlen zylindrischen Form aufweist und einen Durchgang (23), der mit dem Druckeinlassloch in Verbindung steht, an einem anderen Ende der Achse aufweist; ein Erfassungsteil (24), das auf dem Membranteil vorgesehen ist und als Reaktion auf eine Deformation des Membranteils ein elektrisches Signal ausgibt; ein Substrat (30), das das elektrische Signal empfängt und ein Ausgangssignal als Reaktion auf das elektrische Signal erzeugt; einen Federanschluss (40), der eine Mehrzahl von Federabschnitten (41, 42) aufweist, welche eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz aufweisen, wobei Endabschnitte (41a, 42a) der Federabschnitte an dem Substrat befestigt sind; und einen Anschluss (50), gegen welchen andere Endabschnitte (41b, 42b) der Federabschnitte angrenzen und welcher das Ausgangssignal nach außen ausgibt.
Drucksensor, der aufweist: ein Gehäuse (10), das ein Druckeinlassloch (13) aufweist; einen Sockel (20), der eine hohle zylindrische Form aufweist, welche ein Membranteil (22), das durch einen Druck deformierbar ist, der in das Gehäuse eingebracht wird, an einem Ende in einer Achse der hohlen zylindrischen Form aufweist und einen Durchgang (23) der mit dem Druckeinlassloch in Verbindung steht, an dem anderen Ende der Achse aufweist; ein Erfassungsteil (24), das auf dem Membranteil vorgesehen ist und ein elektrisches Signal als Reaktion auf eine Deformation des Membranteils ausgibt; ein Substrat (30), das das elektrische Signal empfängt und ein Ausgangssignal als Reaktion auf das elektrische Signal erzeugt; einen Federanschluss (40), der eine Mehrzahl von Federabschnitten (41, 42) aufweist, welche eine zueinander unterschiedliche Eigenfrequenz aufweisen; und einen Anschluss (50) welcher das Ausgangssignal nach außen ausgibt, wobei Endabschnitte (41a, 42a) der Federabschnitte an dem Anschluss befestigt sind und andere Endabschnitte (41b, 42b) der Federabschnitte gegen die Elektroden (33) angrenzen, die auf dem Substrat vorgesehen sind.
Drucksensor nach Anspruch 2, der weiterhin ein Verbindergehäuse (60) aufweist, das an dem Gehäuse an einer Position befestigt ist, die einer Oberfläche gegenüberliegt, auf welcher der Sockel in dem Gehäuse angeordnet ist, wobei das Substrat mit den Elektroden (33) versehen ist, gegen welche die anderen Endabschnitte der Federabschnitte angrenzen, und jede der Elektroden (33) in einer Fächerform ausgebildet ist, die sich in einer Umfangsrichtung eines Kreises (E) ausdehnt, die eine Mitte an einer Mittenachse eines Verbindens des Gehäuses mit dem Verbindergehäuse aufweist und einen beliebigen Radius aufweist.
Drucksensor, der aufweist: ein Gehäuse (10), das ein Druckeinlassloch (13) aufweist; einen Sockel (20), der eine hohle zylindrische Form aufweist, welche ein Membranteil (22), das durch einen Druck deformierbar ist, der in das Gehäuse eingebracht wird, an einem Ende in einer Achse der hohlen zylindrischen Form aufweist und einen Durchgang (23), der mit dem Druckeinlassloch in Verbindung steht, an dem anderen Ende der Achse aufweist; ein Erfassungsteil (24), das auf dem Membranteil vorgesehen ist und als Reaktion auf eine Deformation des Membranteils ein elektrisches Signal ausgibt; ein Substrat (30), das das elektrische Signal empfängt und ein Ausgangssignal als Reaktion auf das elektrische Signal erzeugt; einen Federanschluss (43), der eine Mehrzahl von Federabschnitten (43a, 43b) aufweist, welche eine zueinander gleiche Eigenfrequenz aufweisen, wobei Endabschnitte der Federabschnitte an dem Substrat befestigt sind; und einen Anschluss (50, 53, 55), der gegen andere Endabschnitte der Federabschnitte angrenzt und welcher das Ausgangssignal nach außen ausgibt, wobei die Federabschnitte des Federanschlusses eine zueinander unterschiedliche gekrümmte Form des Federabschnitts aufweisen.
Drucksensor, der aufweist: ein Gehäuse (10), das ein Druckeinlassloch (13) aufweist; einen Sockel (20), der eine hohle zylindrische Form aufweist, welche ein Membranteil (22), das durch einen Druck deformierbar ist, der in das Gehäuse eingebracht wird, an einem Ende in einer Achse der hohlen zylindrischen Form aufweist und einen Durchgang (23), der mit dem Druckeinlassloch in Verbindung steht, an dem anderen Ende der Achse aufweist; ein Erfassungsteil (24), das auf dem Membranteil vorgesehen ist und ein elektrisches Signal als Reaktion auf eine Deformation des Membranteils ausgibt; ein Substrat (30), das das elektrische Signal empfängt und ein Ausgangssignal als Reaktion auf das elektrische Signal erzeugt; einen Federanschluss (43), der eine Mehrzahl von Federabschnitten (43a, 43b) aufweist, welche eine zueinander gleiche Eigenfrequenz aufweisen; und einen Anschluss (50), welcher das Ausgangssignal nach außen ausgibt, wobei Endabschnitte der Federabschnitte an dem Anschluss befestigt sind und andere Endabschnitte der Federabschnitte gegen Elektroden (33) angrenzen, die auf dem Substrat vorgesehen sind, wobei die Federabschnitte des Federanschlusses eine zueinander unterschiedliche gekrümmte Form des Federabschnitts aufweisen.
Drucksensor nach Anspruch 5, der weiterhin ein Verbindergehäuse (60) aufweist, das an einer Position mit dem Gehäuse verbunden ist, die einer Oberfläche gegenüberliegt, auf welcher der Sockel in dem Gehäuse angeordnet ist, wobei das Substrat mit den Elektroden (33) versehen ist, gegen welche die anderen Endabschnitte der Federabschnitte angrenzen, und jede der Elektroden (33) in einer Fächerform ausgebildet ist, die sich in einer Umfangsform eines Kreises (E) ausdehnt, die einen Mittelpunkt an einer Mittenachse eines Verbindens des Gehäuses mit dem Verbindergehäuse aufweist und einen beliebigen Radius aufweist.
Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei der Federabschnitt in einer Form eines Buchstabens V ausgebildet ist, der an dem einen Endabschnitt und dem anderen Endabschnitt aufgebaut ist.