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Die
vorliegende erste und zweite Erfindung gemäß den unabhängigen Ansprüchen 1 und
17 bezieht sich jeweils auf eine Leistungshalbleitervorrichtung,
die hohen Spannungen standhalten kann.
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29 zeigt
eine Schnittansicht der Konstruktion einer Halbleitervorrichtung
M70 als ein Beispiel für
eine herkömmliche
Halbleitervorrichtung, wie sie sehr ähnlich aus der
US 5 920 119 bekannt ist. Wie in
29 gezeigt,
ist bei der Halbleitervorrichtung M70 zum Beispiel ein isolierendes
Substrat
102 auf einer Basisplatte
104 angebracht,
die aus sauerstofffreiem Kupfer gebildet ist, und ein Halbleiterelemente
101,
bei dem es sich um ein Schaltelement handelt, ist auf diesem isolierenden
Substrat
102 angebracht.
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Auf
dem isolierenden Substrat 102 ist ein vorbestimmtes Leitermuster
auf der einen Hauptfläche
des isolierenden Substrats vorgesehen, und auf diesem Leitermuster
ist ein Halbleiterelement oder dergleichen vorgesehen. Ferner ist
auf der anderen Hauptfläche
eine Leiterschicht vorgesehen, um dadurch eine Konstruktion zu bilden,
die sich durch Löten
oder dergleichen haftend mit einer Leiterplatte oder dergleichen
verbinden lässt.
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Ein
Harzgehäuse 105,
das zum Beispiel aus PPS (Polyphenylensulfid) gebildet ist, ist
die peripheren Bereiche der Basisplatte 104 umschließend vorgesehen.
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Das
Harzgehäuse 105 ist
mit einer Elektrodenplatte DE versehen, die aus einer äußeren Anschlußelektrodenplatte 108,
einem Verbindungsleiter 106 und einer inneren Anschlußelektrode 107 in
teilweise versenkter Weise ausgebildet ist. Die innere Anschlußelektrode 107 ist
mit dem Halbleiterelement 101 oder mit dem Leitermuster
des isolierenden Substrats 102 durch einen Aluminiumdraht 109 mit
einem Durchmesser von 200 μm
bis 300 μm
elektrisch verbunden.
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Der
durch die Basisplatte 104 und das Harzgehäuse 105 gebildete
Innenraum wird dann zum Beispiel mit Silikongel 110 gefüllt, um
die Isolierung sicherzustellen, und eine Abdeckung 111 wird über der Öffnung des
Harzgehäuses 105 vorgesehen,
um das Silikongel 110 gegenüber der Außenluft bzw. Außenumgebung
einzuschließen.
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Ferner
liegt ein Teil der Hauptfläche
der äußeren Anschlußelektrodenplatte 108 auf
der Hauptfläche
des Harzgehäuses 105 frei,
und in diesem Bereich ist eine Durchgangsöffnung für die Verbindung mit einem
externen Leiter (nicht gezeigt) vorgesehen, während eine Mutter 102 an
der dieser Durchgangsöffnung
entsprechenden Stelle in dem Harzgehäuse 105 versenkt angeordnet
ist.
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Somit
können
die äußere Anschlußelektrodenplatte 108 und
der externe Leiter unter Verwendung eines Bolzens bzw. einer Schraube
(nicht gezeigt) miteinander verbunden werden, so dass der Kontaktwiderstand
durch Festziehen der Schraube niedrig gehalten werden kann.
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Bei
Verwendung dieser Konfiguration der Halbleitervorrichtung M70, bei
der das Halbleiterelement 101 in dem Harzgehäuse 105 enthalten
ist, wird der Herstellungsprozeß somit
kompliziert, die Abmessungen der äußeren Konfiguration werden
groß, und
eine Miniaturisierung oder Kostenreduzierung sind nur begrenzt möglich.
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Ferner
zeigt 30 eine Schnittansicht der Konfiguration
einer Halbleitervorrichtung M80 als ein weiteres Beispiel einer
herkömmlichen
Halbleitervorrichtung.
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Wie
in 30 gezeigt, ist bei der Halbleitervorrichtung
M80 ein Halbleiterelement 201, bei dem es sich um ein Schaltelement
handelt, auf einem Rahmen 213 angebracht, der beispielsweise
aus einer Kupferlegierung gebildet ist, und das Halbleiterelement 201 ist
durch einen Aluminiumdraht 209 mit der Anschlußleitung 207 elektrisch
verbunden.
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Das
Halbleiterelement 201, die Anschlußleitung 207 und der
Rahmen 213 werden unter Verwendung eines Preßspritzvorgangs
in ein Formharz 214 derart eingeschlossen, dass sie in
integrierter Weise miteinander ausgebildet sind. Danach ragen ein
Teil der Anschlußleitung 207 sowie
ein Teil einer Anschlußleitung 215,
die sich von dem Rahmen 213 wegerstreckt, aus dem Formharz 214 heraus
nach außen,
um zum Beispiel mit einer gedruckten Schaltungsplatte verlötet zu werden,
die Durchgangsöffnungen
aufweist.
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Bei
der Halbleitervorrichtung M80 ist das Halbleiterelement 201 zwar
durch einen Preßspritzvorgang
in ein Harzmaterial eingekapselt, so daß die Anzahl der Teile niedrig
ist und die Kosten niedrig gehalten werden können, jedoch wird die von dem Halbleiterelement 201 während seines
Betriebs abgegebene Wärme
durch das Formharz 214 abgestrahlt, dessen Wärmeleitfähigkeit
mehrere WmEK bei einem hohen Wärmewiderstand
beträgt,
so dass sich ein Problem hinsichtlich der Wärmeabstrahlung ergibt.
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Außerdem ist
die Anschlußleitung 207 dünn, und
die Querschnittsfläche
der Leitung 207 sowie die Querschnittsfläche des
Schaltungsmusters auf der gedruckten Schaltungsplatte, mit der die
Anschlußleitung 207 verbunden
ist, können
das Fließen
eines hohen Stromes nicht in ausreichender Weise sicherstellen.
Somit ist der Verlust aufgrund des elektrischen Widerstands nicht
zu ignorieren, und es besteht ein Problem dahingehend, dass die
Anschlußleitung
für eine
Halbleitervorrichtung für
einen starken Strom nicht geeignet ist.
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Ferner
zeigt 31 eine Schnittansicht der Konfiguration
einer Halbleitervorrichtung M90 als ein weiteres Beispiel einer
herkömmlichen
Halbleitervorrichtung.
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Wie
in 31 gezeigt, ist bei der Halbleitervorrichtung
M90 ein Halbleiterelement 301, bei dem es sich um ein Schaltelement
handelt, auf einem isolierenden Substrat 302 angebracht,
und das Halbleiterelement 301 ist durch einen Aluminiumdraht 309 mit
einer Anschlußleitung 315 elektrisch
verbunden. Das isolierende Substrat 302, das Halbleiterelement 301 und
die Anschlußleitung 315 werden
dann durch Preßspritzen
in ein Formharz 314 eingekapselt, so dass sie in integrierter
Weise miteinander ausgebildet sind.
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Eine
Hauptfläche
des isolierenden Substrats 302, die derjenigen Hauptfläche gegenüber liegt,
auf dem das Halbleiterelement 301 angebracht ist, liegt von
dem Formharz 314 frei und ist mit einem Metallsubstrat 304 verlötet. Ferner
ist auch ein Steuerschaltungssubstrat 317 oder ein Relaissubstrat 318 auf
dem Metallsubstrat 304 vorgesehen.
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Bei
dem Steuerschaltungssubstrat 317 handelt es sich um ein
Substrat, auf dem eine Steuerschaltung oder dergleichen zum Steuern
des Betriebs des Halbleiterelements 301 vorgesehen ist, und
bei dem Relaissubstrat 318 handelt es sich um ein Substrat,
auf dem ein Relaispunkt der Anschlußleitung 315 vorgesehen
ist.
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Die
sich aus dem Formharz 314 heraus erstreckenden Anschlußleitungen 315 sind
mit dem Relaissubstrat 318 sowie mit einer auf dem Steuerschaltungssubstrat 317 vorgesehenen
Leiterschicht 319 verbunden, und die mit dem Relaissubstrat 318 verbundene
Anschlußleitung 315 ist über eine
leitfähige
Schicht 319 mit der äußeren Anschlußelektrodenplatte 316 verbunden,
während
die mit dem Steuerschaltungssubstrat 317 verbundene Anschlußleitung 315 über die
leitfähige
Schicht 319 mit einem Steueranschluß 320 verbunden ist.
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Bei
der Halbleitervorrichtung M90 befindet sich somit das isolierende
Substrat 302, auf dem das Halbleiterelement 301 angebracht
ist, in Kontakt mit dem Metallsubstrat 304, so dass die
Halbleitervorrichtung M90 hinsichtlich der Abstrahlung von Wärme der
Halbleitervorrichtung M80 somit überlegen ist.
Das Steuerschaltungssubstrat 317 und das Relaissubstrat 318 sind
jedoch separat auf dem Metallsubstrat 304 vorgesehen, und
somit ergibt sich eine schlechte Auslegungseffizienz, und ferner
besteht das Problem, dass eine Miniaturisierung schwierig ist.
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Ferner
wird die Fläche
der Schleifenschaltung, die ausgehend von der äußeren Anschlußelektrodenplatte 316 über das
Relaissubstrat 318, die Anschlußleitung 315, eine
der Hauptelektroden des Halbleiterelements 301, die andere
Hauptelektrode, das Relaissubstrat 318 und die Anschlußleitung 315 wieder
zurück
zu der äußeren Anschlußelektrodenplatte 316 gebildet
ist, groß,
so dass sie eine hohe Induktivität
aufweist, wobei dieser Faktor dazu führt, dass hohe Stoßspannungen
auftreten.
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Das Änderungsverhältnis des
Stroms wird somit in dem Fall hoch, in dem das Halbleiterelement 301 in
schaltender Weise betrieben wird, und somit muß ein Element bereitgestellt
werden, das hohen Spannungen standhält, wobei dies zu einer Steigerung
der Kosten führt.
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Aus
der vorstehenden Beschreibung ist zu erkennen, dass es bei den herkömmlichen
Halbleitervorrichtungen schwierig ist, sowohl die Erfordernisse hinsichtlich der
Abstrahlung von Wärme
als auch die Erfordernisse hinsichtlich einer Miniaturisierung in zufriedenstellender
Weise zu erfüllen.
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Die
Aufgaben der vorliegenden Erfindungen bestehen in der Lösung der
eingangs geschilderten Probleme sowie in der Angabe jeweils einer
Leistungshalbleitervorrichtung, die sowohl die Erfordernisse hinsichtlich
der Wärmeabstrahlung
als auch hinsichtlich der Miniaturisierung erfüllt, während sie gleichzeitig ein
Halbleiterelement für
große
Ströme aufweist.
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Die
gestellten Aufgaben werden mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche 1 und
17 gelöst.
Weiterbildungen befinden sich in den Unteransprüchen.
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Bei
einer Leistungshalbleitervorrichtung gemäß Anspruch 1 der vorliegenden
ersten Erfindung liegt das andere Ende einer jeden der mehreren Hauptelektrodenplatten
zur Außenseite
der oberen Oberfläche
des Harzgehäuses
frei, und es ist das Harzgehäuse
in integraler Weise durch einen Formvorgang gebildet, so dass die
Komponenten somit in effektiver Weise angeordnet werden können und
die Abmessungen der äußeren Konfiguration
des Strahlungssubstrats in etwa genau so groß wie die Abmessungen der äußeren Konfiguration
des Harzgehäuses
gemacht werden können,
so dass eine Miniaturisierung unter Aufrechterhaltung der Abstrahlungseffizienz
möglich
wird.
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Da
ferner die mehreren Hauptelektrodenplatten derart vorgesehen sind,
dass sie an der oberen Oberfläche
des Harzgehäuses
freiliegen und sich somit die Fläche
der aus den mehreren Hauptelektrodenplatten gebildeten Ringschaltung
sowie ein elektrischer Weg, der diese Elektroden elektrisch verbindet,
klein ausbilden lassen, läßt sich
die Induktivität der
Ringschaltung klein halten.
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Da
bei einer Halbleitervorrichtung gemäß einem ersten Gesichtspunkt
der vorliegenden ersten Erfindung das Harzgehäuse kastenförmig ausgebildet ist und nur
die Hauptfläche
des anderen Endes von jeder der mehreren Hauptelektrodenplatten
auf der oberen Oberfläche
des Harzgehäuses
freiliegt, weist das Gehäuse
somit eine einfache Formgebung auf, die in ihrer Konstruktion physisch
stabil ist.
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Da
bei einer Halbleitervorrichtung gemäß einem zweiten Gesichtspunkt
der vorliegenden ersten Erfindung die Position, an der die Hauptfläche des anderen
Endes jeder der mehreren Hauptelektrodenplatten freiliegt, eine
Position ist, die in einer Distanz von einem Rand auf der oberen
Oberfläche
des Harzgehäuses
angeordnet ist, läßt sich
bei Anbringung des Harzgehäuses
an einem Kühlkörper die Distanz
für eine
Isolierung von dem Kühlkörper zu den
Hauptelektrodenplatten in einfacher Weise sicherstellen, so dass
sich eine Halbleitervorrichtung schaffen läßt, die hohen Spannungen standhalten kann,
obwohl die Dicke ihres Harzgehäuses
gering ist.
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Da
bei einer Halbleitervorrichtung gemäß einem dritten Gesichtspunkt
der vorliegenden ersten Erfindung das Harzgehäuse einen kastenförmigen Körperbereich
sowie eine Vielzahl von vorspringenden Elektrodenbereichen aufweist,
die jeweils von der oberen Oberfläche des Körperbereichs wegragen, kann
bei Anbringung des Harzgehäuses
an einem Kühlkörper die
Isolierungsdistanz von dem Kühlkörper zu
den Hauptelektrodenplatten in einfacherer Weise sichergestellt werden,
so dass eine Halbleitervorrichtung geschaffen werden kann, die selbst
bei geringer Dicke ihres Körperbereichs
einer hohen Spannung standhalten kann.
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Aufgrund
des Vorhandenseins der vorspringenden Elektrodenbereiche läßt sich
die Dicke des Körperbereichs,
in dem das Strahlungssubstrat eingebettet angeordnet ist, ferner
auf ein Minimum setzen, so daß selbst
bei Auftreten einer Temperaturänderung
aufgrund der Wärmeabgabe
zum Zeitpunkt der Verwendung der Vorrichtung das Auftreten eines Verziehens
bzw. Verwerfens über
das gesamte Harzgehäuse
verhindert werden kann und eine Reduzierung der Effizienz der Wärmeabstrahlung
von der Halbleitervorrichtung zu dem Kühlkörper ebenfalls verhindert werden
kann, so daß ein
Ansteigen der Temperatur der Halbleitervorrichtung auf den zulässigen Grenzwert
oder einen noch höheren
Wert verhindert werden kann.
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Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem vierten
Gesichtspunkt der vorliegenden ersten Erfindung sind die mehreren
vorspringenden Elektrodenbereiche derart ausgebildet, dass die Grenzbereiche gegenüber dem
Körperbereich
gekrümmte
Oberflächen
aufweisen, so dass zum Beispiel bei Befestigung einer Hauptelektrodenplatte
und eines externen Leiters unter Verwendung einer Schraube in einem vorspringenden
Elektrodenbereich selbst bei Festziehen der Schraube mit einem hohen
Drehmoment die in diesem Grenzbereich zwischen dem Körperbereich
und dem vorspringenden Elektrodenbereich hervorgerufene Spannung
gering wird, so dass der vorspringende Elektrodenbereich dem Quetschdruck der
Schraube standhalten kann, selbst wenn der vorspringende Elektrodenbereich
kleine Abmessun gen aufweist, so dass sich eine Miniaturisierung
der Halbleitervorrichtung erzielen läßt.
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Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem fünften Gesichtspunkt
der vorliegenden ersten Erfindung weisen die mehreren vorspringenden
Elektrodenbereiche in ihrem Inneren Hohlräume auf, so dass es möglich wird,
Muttern in den Hohlräumen derart
vorzusehen, daß eine
Hauptelektrodenplatte und ein externer Leiter unter Verwendung einer Schraube
aneinander befestigt werden, so dass hierdurch der externe Leiter
und die Hauptelektrodenplatte mit einem geringen Kontaktwiderstand
miteinander verbunden werden können.
-
Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem sechsten
Gesichtspunkt der vorliegenden ersten Erfindung weist das andere
Ende jeder der mehreren Hauptelektrodenplatten eine Durchgangsöffnung auf, und
die Durchgangsöffnung
besitzt ein Innengewinde an ihrer Innenfläche, so dass bei Befestigung
einer Hauptelektrodenplatte und eines externen Leiters unter Verwendung
einer Schraube keine Notwendigkeit besteht, eine Mutter bereitzustellen,
so dass sich die einfache Montierbarkeit verbessern läßt.
-
Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem siebten
Gesichtspunkt der vorliegenden ersten Erfindung wird die Durchgangsöffnung mittels
eines gratbildenden Verfahrens erzeugt, wobei das Gewinde in einem
gratbildenden Bereich vorgesehen wird, so dass sich das Gewinde
selbst dann bilden läßt, wenn die
Dicke der Hauptelektrodenplatte gering ist.
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Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem achten
Gesichtspunkt der vorliegenden ersten Erfindung sind in den mehreren
vorspringenden Elektrodenbereichen Muttern eingebettet angeordnet,
so dass das Gewinde einer jeden Mutter mit der Durchgangsöffnung der
jeweiligen Hauptelektrodenplatte in Verbindung steht, so dass bei
Befestigung einer Hauptelektrodenplatte und eines externen Leiters
aneinander unter Verwendung einer Schraube keine Notwendigkeit besteht,
eine Mutter bereitzustellen, so dass sich die Montage vereinfacht.
-
Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem neunten
Gesichtspunkt der vorliegenden ersten Erfindung weist die Halbleitervorrichtung
eine Steuerschaltung auf, die auf dem Strahlungssubstrat vorgesehen
ist und die eine Treibersteuerung der Halbleiterelemente ausführt, und
somit ist die Steuerschaltung in der Nähe der Halbleiterelemente vorgesehen, so
dass sich die Fläche
eines zwischen der Steuerschaltung und den Halbleiterelementen gebildeten Steuerkreises
im Vergleich zu dem Fall klein ausbilden läßt, in dem die Steuerschaltung
außerhalb
der Halbleitervorrichtung vorgesehen ist, wobei selbst im Fall eines
Auftretens eines hohen Maßes
an elektromagnetischem Rauschen, beispielsweise bei einem Schaltelement
für starken
Strom, das Auftreten einer Spannungsschwankung in dem Steuersignal
verhindert werden kann.
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Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem zehnten
Gesichtspunkt der vorliegenden ersten Erfindung ist die Steuerschaltung
mit einem Harz überdeckt,
dessen Viskosität
geringer ist als die des Formharzes des Harzgehäuses, und somit kann selbst
eine Steuerschaltung in dem Zustand eines Halbleiterchips, der nicht
gekapselt ist, vor dem Druck des Formharzes zum Zeitpunkt der Bildung des
Harzgehäuses
geschützt
werden.
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Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem elften
Gesichtspunkt der vorliegenden ersten Erfindung liegt die Bodenfläche des
Strahlungssubstrats von der Bodenfläche des Harzgehäuses frei,
und es ist eine Isolierschicht derart vorgesehen, daß sie zumindest
die Bodenfläche
des Strahlungssubstrats vollständig
bedeckt, so dass keine Lücken
in dem Formharz auftreten, wie dies möglicherweise bei einer Konstruktion
auftreten kann, bei der das Strahlungssubstrat in das Harzgehäuse versenkt
ist, so dass sich die Produktivität steigern läßt.
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Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem zwölften Gesichtspunkt
der vorliegenden ersten Erfindung ist die Isolierschicht aus einem
Isoliermaterial in Flächenkörperform
gebildet, das an der Bodenfläche
des Harzgehäuses
angebracht ist, und somit ist die Ausbildung der Isolierschicht
einfach und ihre Dicke läßt sich
gleichmäßig machen.
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Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem dreizehnten
Gesichtspunkt der vorliegenden ersten Erfindung weist die Bodenfläche des
Harzgehäuses einen
Stufenbereich auf, der vertieft ausgebildet ist und dem freiliegenden
Bereich der Bodenfläche
des Strahlungssubstrats entspricht, wobei die Tiefe des Stufenbereichs
geringer ist als die Dicke der Isolierschicht; zum Zeitpunkt der
Befestigung der Halbleitervorrichtung an einem Kühlkörper beispielsweise unter Verwendung
einer Schraube oder dergleichen bis das Harzgehäuse um den Stufenbereich herum vollständig mit
dem Kühlkörper in
Berührung
ist, wird somit die Isolierschicht zusammengedrückt, so dass ihre Dicke gleich
der Tiefe des Stufenbereichs wird.
-
Somit
wird die Tiefe des Stufenbereichs auf einen Wert gesetzt, der gleich
der Mindestdicke der Isolierschicht zum Sicherstellen der Isolierung
ist, wobei die Schraube festgezogen wird, bis das Harzgehäuse vollständig mit
dem Kühlkörper in
Kontakt steht und somit verhindert werden kann, dass die Isolierschicht
aufgrund von Ungleichmäßigkeiten
bei der Befestigung dünner
als die Mindestdicke wird, wobei es ferner überflüssig wird, einen zusätzlichen
Spielraum für
die Dicke der Isolierschicht vorzusehen, so dass sich die Wärmeabstrahlung
erhöhen
läßt.
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Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem vierzehnten
Gesichtspunkt der vorliegenden ersten Erfindung weist die Bodenfläche des
Harzgehäuses eine
Vielzahl von vorspringenden Teilen auf, die den freiliegenden Bereich
der Bodenfläche
des Strahlungssubstrats umgebend vorgesehen sind, wobei die Höhe der vorspringenden
Teile geringer ist als die Dicke der Isolierschicht, so daß zum Beispiel
bei der Befestigung der Halbleitervorrichtung an einem Kühlkörper diese
unter Verwendung einer Schraube oder dergleichen befestigt werden,
bis die vorspringenden Teile den Kühlkörper vollständig berühren, so dass die Isolierschicht
zusammengedrückt
wird, so dass ihre Dicke entsprechend der Höhe der vorspringenden Teile
ausgebildet wird, und folglich läßt sich
verhindern, daß die
Isolierschicht aufgrund von Ungleichmäßigkeiten bei der Befestigung
dünner
wird als die Mindestdicke, wobei es außerdem überflüssig wird, einen Spielraum
hinsichtlich der Dicke der Isolierschicht über ein erforderliches Maß hinaus
vorzusehen, so dass sich die Wärmeabstrahlung
steigern läßt.
-
Bei
einer Halbleitervorrichtung gemäß einem fünfzehnten
Gesichtspunkt der vorliegenden ersten Erfindung weist die Halbleitervorrichtung
ferner eine Strahlungsplatte bzw. Abstrahlplatte auf, die in engem
Kontakt mit der Isolierschicht steht und deren Fläche größer ist
als die der Isolierschicht, so dass zum Beispiel bei der Befestigung
der Halbleitervorrichtung an einem Kühlkörper die Kontaktfläche mit dem
Kühlkörper zunimmt
und die Abstrahlung erhöht werden
kann.
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Bei
eine Zeitungshalbleitervorrichtung gemäß einer vorliegenden zweiten
Erfindung kann durch eine kleine Ausbildung der Abstände zwischen den
mehreren Strahlungssubstraten die Fläche der Halbleitervorrichtung
im Vergleich zu dem Fall klein gehalten werden, in dem eine Vielzahl
voneinander unabhängiger
Halbleitervorrichtungen miteinander kombiniert sind, so dass eine
Miniaturisierung, Gewichtsverminderung sowie Kostenreduzierung erzielt werden
können.
-
Dabei
läßt sich
die Fläche
einer Ringschaltung, die aus einem Hauptstromweg eines Halbleiterelements
ausgehend von einer Hauptelektrodenplatte und unter Erreichung einer
anderen Hauptelektrodenplatte über
das Halbleiterelement und ein Strahlungssubstrat hinweg sowie aus
einem Hauptstromweg hinsichtlich des auf der benachbarten Strahlungsplatte
vorgesehenen Halbleiterelements gebildet ist, klein ausbilden, so
dass sich die Induktivität der
Ringschaltung niedrig machen läßt. Folglich
wird der Energieverlust bei den Halbleiterelementen vermindert,
so dass die bei der Halbleitervorrichtung abgegebene Wärmemenge
niedrig gehalten werden kann.
-
Die
Erfindungen und Weiterbildungen der Erfindungen werden im Folgenden
anhand der zeichnerischen Darstellungen mehrerer Ausführungsbeispiele
noch näher
erläutert.
In den Figuren zeigen:
-
1 eine
Perspektivansicht zur Erläuterung
der Konfiguration einer Halbleitervorrichtung gemäß einem
ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden ersten Erfindung;
-
2 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration der Halbleitervorrichtung gemäß dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
3 ein
Ersatzschaltbild der Halbleitervorrichtung gemäß dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
4 eine
schematische Darstellung zur Erläuterung
der Wirkung, die mit dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden
ersten Erfindung zu erzielen ist;
-
5 eine
Perspektivansicht zur Erläuterung
einer Verwendungsform der Halbleitervorrichtung gemäß dem ersten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
6 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration eines modifizierten Beispiels der Halbleitervorrichtung
gemäß dem ersten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
7 eine
Perspektivansicht zur Erläuterung
der Konfiguration der Halbleitervorrichtung gemäß einem zweiten bevorzugten
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
8 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration der Halbleitervorrichtung gemäß dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
9 eine
Schnittansicht zur Erläuterung
eines Herstellungsvorgangs der Halbleitervorrichtung gemäß dem zweiten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
10 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration eines modifizierten Beispiels 1 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem zweiten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
11 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration eines modifizierten Beispiels 2 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem zweiten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
12 eine
schematische Darstellung zur Erläuterung
eines Herstellungsvorgangs des modifizierten Beispiels 2 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem zweiten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
13 eine
schematische Darstellung zur Erläuterung
eines Herstellungsvorgangs des modifizierten Beispiels 2 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem zweiten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
14 eine
schematische Darstellung zur Erläuterung
eines Herstellungsvorgangs des modifizierten Beispiels 2 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem zweiten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
15 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration eines modifizierten Beispiels 3 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem zweiten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
16 eine
Schnittansicht zur Erläuterung eines
Herstellungsvorgangs des modifizierten Beispiels 3 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem zweiten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
17 eine
Perspektivansicht zur Erläuterung
der Konfiguration einer Halbleitervorrichtung gemäß einem
ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden zweiten Erfindung;
-
18 ein
Ersatzschaltbild der Halbleitervorrichtung gemäß dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden zweiten Erfindung;
-
19 eine
Schnittansicht zur Erläuterung eines
Herstellungsvorgangs der Halbleitervorrichtung gemäß dem ersten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden zweiten Erfindung;
-
20 eine
Perspektivansicht zur Erläuterung
der Konfiguration eines modifizierten Beispiels der Halbleitervorrichtung
gemäß dem ersten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden zweiten Erfindung;
-
21 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration einer Halbleitervorrichtung gemäß einem dritten bevorzugten
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
22 eine
schematische Darstellung zur Erläuterung
der Wirkungsweise des dritten bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden
ersten Erfindung;
-
23 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration eines modifizierten Beispiels 1 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem dritten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
24 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration eines modifizierten Beispiels 2 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem dritten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
25 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration einer Halbleitervorrichtung gemäß einem vierten bevorzugten
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
26 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration eines modifizierten Beispiels 1 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem vierten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
27 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration eines modifizierten Beispiels 2 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem vierten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung;
-
28 eine
Schnittansicht zur Erläuterung der
Konfiguration des modifizierten Beispiels 1 der Halbleitervorrichtung
gemäß dem vierten
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden ersten Erfindung auf einer Abstrahlplatte; und
-
29 bis 31 Schnittansichten
zur Erläuterung
der Konfiguration von Halbleitervorrichtungen des Standes der Technik.
-
Im
Folgenden werden bevorzugten Ausführungsbeispiele der vorliegenden
Erfindungen unter Bezugnahme auf die Figuren ausführlich beschrieben.
-
A. Erstes bevorzugtes Ausführungsbeispiel
der ersten Erfindung
-
A-1. Vorrichtungskonfiguration
-
1 zeigt
eine Perspektivansicht der Konfiguration einer Halbleitervorrichtung
M100 als erstes bevorzugtes Ausführungsbeispiel
gemäß der vorliegenden
ersten Erfindung. In 1 ist dabei ein Bereich des
Harzgehäuses 23 bzw.
der Harzkapselung aus Gründen
der Veranschaulichung weggelassen, um die innere Konfiguration deutlich
zu zeigen.
-
Wie
in 1 zu sehen ist, besitzt die Halbleitervorrichtung
M100 ein IGBT-Element 1 (Bipolar-Transistorelement mit
isoliertem Gate), sowie ein Diodenelement 2, die auf der
Hauptfläche
eines Wärmeverteilers 25 (Strahlungssubstrat)
in länglicher Form
vorgesehen sind, der aus einem Metall mit ausgezeichneter Wärmeleitfähigkeit
und elektrischer Leitfähigkeit
gebildet ist, wobei die Gesamtkonstruktion der Halbleitervorrichtung
M100 in das Harzgehäuse 23 eingebettet
ist.
-
Auf
der Hauptfläche
des Wärmeverteilers 25 ist
ein Relaisanschlußblock 20 außerhalb
von dem IGBT-Element 1 vorgesehen, und der Relaisanschlußblock 20,
das IGBT-Element 1 und das Diodenelement 2 sind
miteinander ausgefluchtet. Anschließend werden äußere Anschlußelektrodenplatten 81 und 82 beidseits
dieser ausgefluchteten Anordnung vorgesehen. Die äußeren Anschlußelektrodenplatten 81 und 82 werden
im Folgenden auch insgesamt allgemein mit dem Begriff "äußere Anschlußelektrodenplatte 8" (Hauptelektrodenplatte)
bezeichnet.
-
Eine
Vielzahl von Aluminiumdrähten
WR stellt die elektrischen Verbindungen zwischen dem IGBT-Element 1 und
dem Diodenelement 2, zwischen dem IGBT-Element 1 und
dem Relaisanschlußblock 20 sowie
auch zwischen dem Diodenelement 2 und der äußeren Anschlußelektrodenplatte 82 her.
Die Hauptelektrode liegt hierbei an den jeweiligen unteren Hauptflächen des
IGBT-Elements 1 und des Diodenelements 2 frei,
so dass sie mit dem Wärmeverteiler 25 verlötet werden
kann.
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Der
Relaisanschlußblock 20 ist
mit einer Relaisanschlußplattengruppe 21,
mit der eine Vielzahl von mit dem IGBT-Element 1 elektrisch
verbundenen Aluminiumdrähten
WR verbunden sind, sowie mit einer Relaisstiftanschlußgruppe 22 versehen,
die Steuersignale des IGBT-Elements 1 zu einer externen Vorrichtung
führt und
von dieser erhält,
wobei sich die Relaisstiftanschlußgruppe 22 senkrecht
zu der Hauptfläche
des Wärmeverteilers 25 erstreckt.
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Die
Relaisanschlußplattengruppe 21 beinhaltet
eine Gate-Relaisanschlußplatte 3 und
eine Steueremitter-Relaisanschlußplatte 4, die mit
dem Gate bzw. dem Emitter des IGBT-Elements 1 elektrisch
verbunden sind, während
die Relaisstiftanschlußgruppe 22 einen
Gate-Relaisstift 13 und einen Steueremitter-Relaisstift 14 beinhaltet,
die jeweils entsprechend der Gate-Relaisanschlußplatte 3 und der
Steueremitter-Relaisanschlußplatte 4 vorgesehen
sind.
-
Die äußere Anschlußelektrodenplatte 81 ist derart
vorgesehen, daß sie
mit dem einen Ende mit der Hauptfläche des Wärmeverteilers 25 verbunden ist,
während
die Hauptfläche
an ihrem anderen Ende an der oberen Oberfläche des Harzgehäuses 23 freiliegt.
-
Die äußere Anschlußelektrodenplatte 82 besitzt
eine ähnliche
Formgebung wie die äußere Anschlußelektrodenplatte 81,
ist jedoch mit dem Wärmeverteiler 25 nicht
elektrisch verbunden, so dass sich ihr Endbereich oberhalb der Hauptfläche des Wärmeverteilers 25 befindet.
Dabei ist eine Durchgangsöffnung
in demjenigen Bereich gebildet, der von dem Harzgehäuse 23 der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8 freiliegt,
um eine Verbindung mit einem nicht gezeigten Sammelschienendraht
herzustellen.
-
Der
Wärmeverteiler 25,
das IGBT-Element 1, das Diodenelement 2, der Relaisanschlußblock 20 und
die äußere Anschlußelektrodenplatte 8,
wie sie vorstehend erläutert
worden sind, werden durch Preßspritzen
in Harzmaterial mit kastenförmiger
Gestalt eingekapselt, so dass das Harzgehäuse 23 die äußere Konfiguration
der Halbleitervorrichtung M100 bildet.
-
Hierbei
werden Durchgangsöffnungen 24 in den
vier Ecken des Harzgehäuses 23 gebildet,
um die Halbleitervorrichtung M100 an einem nicht gezeigten Kühlkörper oder
dergleichen zu befestigen.
-
2 zeigt
eine Schnittansicht in Längsrichtung
der Konfiguration der Halbleitervorrichtung M100. Wie in 2 zu
sehen ist, ist der Wärmeverteiler 25 vollständig in
dem Harzgehäuse 23 eingebettet.
-
3 zeigt
die Verbindungsbeziehungen des IGBT-Elements 1 und des
Diodenelements 2. Wie in 3 gezeigt,
ist das Diodenelement 2 dem IGBT-Element 1 in
der Richtung parallel geschaltet, in der der Durchlaßstrom zurückfließt, so dass
es als Freilaufdiode wirkt.
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Der
Emitter des IGBT-Elements 1 ist mit der äußeren Anschlußelektrodenplatte 81 verbunden und
ist ferner über
die Steueremitter-Relaisanschlußplatte 4 mit
dem Steueremitter-Relaisstift 14 verbunden.
-
Weiterhin
ist das Gate des IGBT-Elements 1 über die Gate-Relaisanschlußplatte 3 mit
dem Gate-Relaisstift 13 verbunden.
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Der
Steueremitter-Relaisstift 14 wird zum Zeitpunkt der Ansteuerung
des IGBT-Elements 1 verwendet,
und das IGBT-Element 1 kann dadurch angesteuert werden,
daß eine
Spannung zwischen dem Gate und dem Emitter (von beispielsweise 15
V), d. h. zwischen dem Steueremitter-Relaisstift 14 und dem
Gate-Relaisstift 13, angelegt wird.
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Der
Steueremitter-Relaisstift 14 und der Gate-Relaisstift 13 sind
mit einer Steuerschaltung, einer Treiberschaltung und dergleichen
verbunden, die in der Zeichnung nicht dargestellt sind.
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Das
IGBT-Element 1 weist eine Stromerfassungselektrode auf,
die derart ausgebildet ist, dass ein Strom (Erfassungsstrom) fließen kann,
der einige Tausendstel des Stroms beträgt, der durch den Emitter fließt, wobei
ferner ein Relaisstift zum Abgeben des Erfassungsstroms vorhanden
ist, der mit dieser Stromerfassungselektrode sowie der Relaisstiftanschlußgruppe 22 für die Temperaturerfassung
elektrisch verbunden ist, wobei dies in der Beschreibung nicht weiter
erläutert
wird.
-
A-2. Herstellungsvorgang
-
Im
Folgenden wird ein Prozeß für die Herstellung
der Halbleitervorrichtung M100 unter Bezugnahme auf die 1 und 2 erläutert.
-
Zuerst
werden das IGBT-Element 1, das Diodenelement 2,
der Relaisanschlußblock 20 und
die äußere Anschlußelektrodenplatte 81 durch
Löten mit dem
Wärmeverteiler 25 verbunden.
Dann werden die Aluminiumdrähte
WR durch Drahtbonden mit den jeweiligen Komponenten verbunden, um
diese miteinander zu verbinden.
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Die äußere Anschlußelektrodenplatte 81 ist derart
ausgebildet, dass sie in einen nicht gezeigten Leitungsrahmen integriert
wird, der den Wärmeverteiler 25 umschließt, und
der Leitungsrahmen sowie der Wärmeverteiler 25 werden
durch Verbinden der äußeren Anschlußelektrodenplatte 81 mit
dem Wärmeverteiler 25 in
Form einer integralen Einheit ausgebildet. Obwohl auch die äußere Anschlußelektrodenplatte 82 in
integraler Weise mit dem Leitungsrahmen ausgebildet ist, wird diese
nicht mit dem Wärmeverteiler 25 verbunden.
-
Der
Leitungsrahmen wird in dem vorstehend beschriebenen Zustand in ein
Formwerkzeug für
einen Preßspritzvorgang
gesetzt, und durch Einfließenlassen eines geschmolzenen Harzes in das Formwerkzeug
wird der Harzformgebungsvorgang abgeschlossen. Danach wird das Formwerkzeug
entfernt, und die äußeren Anschlußelektrodenplatten 81 und 82 werden
von dem Leitungsrahmen getrennt, so daß sich dadurch die in das Harzgehäuse 23 eingekapselte
Halbleitervorrichtung M100 ergibt.
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A-3. Funktionsweise
-
Wie
vorstehend beschrieben worden ist, sind bei der Halbleitervorrichtung
M100 gemäß der vorliegenden
ersten Erfindung das IGBT-Element 1, das Diodenelement 2,
der Relaisanschlußblock 20,
die äußere Anschlußelektrodenplatte 8 sowie
der Wärmeverteiler 25 durch
einen Preßspritzvorgang
in integraler Weise in ein Harzmaterial eingekapselt, so dass sich
eine ausgezeichnete Layout-Effizienz ergibt und die Abmessungen
der äußeren Form
des Wärmeverteilers 25 sich
in etwa ebenso groß wie
die Abmessungen der äußeren Form
des Harzgehäuses 23 ausbilden
lassen, so dass sich eine Miniaturisierung unter Aufrechterhaltung
der Abstrahlungseffizienz erzielen läßt.
-
Ferner
ist die äußere Anschlußelektrodenplatte 8 derart
vorgesehen, dass der Verbindungsbereich mit einem externen Leiter
auf der oberen Oberfläche
des Harzgehäuses 23 freiliegt,
und somit wird der Bereich einer Schleifen- bzw. Ringschaltung,
die aus den beiden äußeren Anschlußelektrodenplatten 8 und
den beiden Hauptelektroden des IGBT-Elements 1 sowie einem
Stromweg oder eine elektrische Verbindung derselben gebildet ist,
klein, so daß sich die
Induktivität
dieser Ringschaltung niedrig halten läßt.
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Die
Spitzenspannung des Spannungsstoßes, der zusammen mit einer
Stromänderung
zum Zeitpunkt des Betriebs des Schaltungselements in schaltender
Weise auftritt, wird proportional zu der Induktivität geringer,
und als Ergebnis hiervon wird auch der Schaltverlust gering. Die
von dem IGBT-Element 1 abgegebene Wärme wird somit gering, und
es wird ein breiter Arbeitsbereich hinsichtlich der Wärmeauslegung
selbst dann erzielt, wenn die Fläche
des Wärmeverteilers 25 reduziert
wird. Als Ergebnis hiervon läßt sich
eine Miniaturisierung der Vorrichtung insgesamt erzielen, wobei
die Stoßspannung
reduziert wird, so dass die Spannungsfestigkeit vermindert werden
kann und die Kosten für
die Halbleitervorrichtung günstiger
werden.
-
Da
ferner der Anschlußbereich
der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8 zur
Verbindung mit einem externen Leiter an der oberen Oberfläche des Harzgehäuses 23 vorgesehen
ist, läßt sich
die Isolierdistanz von dem Kühlkörper zu
der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8 in
einfacher Weise sicherstellen, so dass sich eine Halbleitervorrichtung
erzielen läßt, die
ausgezeichnete Spannungsfestigkeitsei genschaften aufweist. Diese
Eigenschaften werden nachfolgend unter Bezugnahme auf 4 erläutert.
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4 zeigt
eine schematische Darstellung zur Erläuterung einer Änderung
der Dicke des Formharzes in Abhängigkeit
von der Montageposition der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8.
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Wie
in 4 zu sehen ist, ist die äußere Anschlußelektrodenplatte 8 in
der Nähe
des Randbereichs der oberen Oberfläche des Harzgehäuses 23A der
linken Halbleitervorrichtung vorgesehen, so dass die Isolierdistanz
L von dem Kühlkörper HS
bis zu der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8 durch
die Dicke des Harzgehäuses 23A definiert
ist.
-
Dagegen
ist die äußere Anschlußelektrodenplatte 8 bei
der rechten Halbleitervorrichtung näher zur Mitte hin auf der oberen
Oberfläche
des Harzgehäuses 23 angeordnet,
so dass die Isolierdistanz L von dem Kühlkörper HS bis zu der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8 durch
die Dicke des Harzgehäuses 23 plus
die Distanz von dem Randbereich an der oberen Oberfläche des
Harzgehäuses 23 bis
zu der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8 definiert
ist.
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Durch
Anordnen des Verbindungsbereichs der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8 zur
Verbindung mit einem externen Leiter auf der oberen Oberfläche des
Harzgehäuses 23 läßt sich
somit die Isolierdistanz L von dem Kühlkörper HS bis zu der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8 in
einfacher Weise sicherstellen, und somit läßt sich eine Halbleitervorrichtung
schaffen, die hohen Spannungen standhalten kann, selbst wenn die
Dicke des Harzgehäuses 23 gering
ist.
-
Aufgrund
der Möglichkeit,
die Dicke des Harzgehäuses 23 dünner auszubilden,
kann ferner ein Verziehen des Harzgehäuses 23 aufgrund einer Wärmeabgabe
zum Zeitpunkt der Verwendung der Vorrichtung verhindert werden.
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Das
heißt,
es besteht ein großer
Unterschied in dem linearen Ausdehnungsverhältnis zwischen dem Formharz
und dem Wärmeverteiler 25 aufgrund der
unterschiedlichen Materialien. Wenn eine Temperaturänderung
aufgrund von Wärmeabgabe
zum Zeitpunkt der Verwendung der Vorrichtung auftritt, findet somit
ein Verziehen des gesamten Harzgehäuses 23 statt.
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In
dem Fall, in dem das Ausmaß dieses
Verziehens beispielsweise mehrere hundert μm übersteigt, wird ein Spalt zwischen
dem Harzgehäuse 23 und
dem Kühlkörper (nicht
gezeigt), an dem das Harzgehäuse 23 befestigt
ist, erzeugt, so dass die Wärmeabgabe
von der Halbleitervorrichtung zu dem Kühlkörper blockiert wird und die
Möglichkeit
besteht, daß die
Temperatur der Halbleitervorrichtung den zulässigen Wert oder einen höheren Wert
erreicht.
-
Wenn
jedoch die Dicke des Harzgehäuses 23 im
Vergleich zu der Dicke des Wärmeverteilers 25 gering
ist, ist das Verziehen selbst in dem Fall gering, in dem die gleiche
Temperaturänderung
stattfindet. Folglich läßt sich
der Wärmewiderstand
in dem mit dem Kühlkörper in
Berührung
stehenden Bereich auf einem niedrigen Wert halten, so dass sich
die Abstrahlungseffizienz aufrechterhalten läßt.
-
Da
sich die Abstrahlungseffizienz aufrechterhalten läßt, kann
ferner der Temperaturanstieg bei der Halbleitervorrichtung begrenzt
werden, und somit ist eine größere Auswahl
an Materialien für
das Formharz verfügbar,
so dass auch ein kostengünstigeres
Formharz verwendet werden kann und dadurch wiederum die Kosten der
Vorrichtung insgesamt reduziert werden können.
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Durch
Plazieren des Kontaktbereichs der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8 zur
Verbindung mit einem externen Leiter in einem Abstand von einem
Rand auf der oberen Oberfläche
des Harzgehäuses 23 läßt sich
somit eine ausreichende Isolierdistanz selbst dann sicherstellen,
wenn das Harzgehäuse 23 dünn ist,
und es läßt sich
eine Spannungsfestigkeit von mehreren 100 Volt oder mehr sogar für eine Halbleitervorrichtung
erzielen, durch die ein hoher Strom fließt, so dass eine Temperaturänderung von
mehreren zehn °C
stattfindet.
-
Hierbei
ist es wünschenswert,
daß das
lineare Ausdehnungsverhältnis
des Formharzes nahe bei dem linearen Ausdehnungsverhältnis des
Wärmeverteilers 25 liegt,
um das Verziehen des Harzgehäuses 23 zu
begrenzen, und wenn der Wärmeverteiler 25 beispielsweise
aus Kupfer (Cu) besteht, ist es wünschenswert, dass das lineare
Ausdehnungsverhältnis
des Formharzes in etwa 16 × 10–6/K
beträgt.
-
Die
Konfiguration der vorstehend beschriebenen Halbleitervorrichtung
M100 weist zwar nur ein IGBT-Element 1 und ein Diodenelement 2 auf,
doch selbstverständlich
kann die Konfiguration eine Vielzahl einer gleichen Anzahl von IGBT-Elementen 1 und
Diodenelementen 2 aufweisen, oder es kann eine Vielzahl
von Halbleitervorrichtungen M100 gesammelt vorgesehen sein, um durch
elektrisches Parallelschalten derselben eine Einheit zu bilden,
wobei diese entsprechend einer Halbleitervorrichtung mit einer Vielzahl
von zueinander parallel geschalteten IGBT-Elementen ausgebildet
sein kann. Somit läßt sich
in einfacher Weise eine Halbleitervorrichtung schaffen, die einem
beliebigen Wert an Stromkapazität
entsprechend ausgebildet ist. Dies ist Gegenstand der zweiten Erfindung
gemäß Anspruch
17.
-
Ferner
können
die Halbleitervorrichtungen M100 in Kombination nach Maßgabe der
jeweiligen Anwendung verwendet werden, so daß im Fall der Verwendung derselben
für einen
Inverter eines Dreiphasenmotors sechs Halbleitervorrichtungen M100 verwendet
werden, so dass sich somit die Produktivität ohne Erweiterung der Produkttypen
steigern läßt.
-
Im
vorliegenden Fall sind zwei äußere Anschlußelektrodenplatten 8 auf
der oberen Oberfläche des
Harzgehäuses 23 derart
vorgesehen, dass die Verbindungsbereiche zur Verbindung mit einem
externen Leiter freiliegen, und eine Befestigungselektrode OE für einen
externen Leiter, wie sie in 5 gezeigt
ist, wird mittels Schrauben zur Verbindung mit einem externen Leiter
angebracht, so dass eine Verbindung mit einer Vielzahl verschiedener
externer Leiter sowie eine Verwendung für eine Vielzahl von Zwecken
möglich
wird.
-
A-4. Modifiziertes Beispiel
-
Bei
der vorstehend beschriebenen Halbleitervorrichtung M100 ist zwar
eine Konfiguration dargestellt, bei der zwei äußere Anschlußelektrodenplatten 8 vollständig in
das Formharz eingebettet sind und die Verbindungsbereiche zur Verbindung
mit einem externen Leiter auf der oberen Oberfläche des Harzgehäuses 23 freiliegen,
jedoch ist auch eine Konfiguration möglich, wie diese bei der in 6 gezeigten
Halbleitervorrichtung M101 vorliegt.
-
Dabei
sind zwei äußere Anschlußelektrodenplatten 8A mit
einer derartigen Formgebung ausgebildet, dass sie durch die Seiten
des Harzgehäuses 23 hindurch
nach außen
ragen und sich in etwa von der Mitte des Harzgehäuses 23 in Richtung
der Dicke des Harzgehäuses 23 erstrecken,
und zwar genauer gesagt ausgehend von der Position, die der oberen Hauptfläche des
Wärmeverteilers 25 entspricht,
wobei die äußeren Anschlußelektrodenplatten 8A den Seiten
des Harzgehäuses 23 folgend
umgebogen sind und dann wiederum an der Stelle umgebogen sind, an
der sie die obere Oberfläche
des Harzgehäuses 23 erreichen,
so dass sie wiederum dieser oberen Oberfläche folgen.
-
Dadurch,
dass die beiden äußeren Anschlußelektrodenplatten 8A durch
die Seiten des Harzgehäuses 23 nach
außen
ragend ausgebildet werden, wird es überflüssig, äußere Anschlußelektrodenplatten
mit komplizierter Formgebung in dem Harzgehäuse 23 versenkt anzuordnen,
so dass der Vorteil besteht, daß kein
Formwerkzeug mit komplizierter Konstruktion für den Preßspritzvorgang bereitgestellt werden
muß.
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Folglich
vereinfachen sich die Ausbildung des Formwerkzeugs sowie die Ausführung des
Herstellungsvorgangs, so dass sich die Kosten reduzieren lassen,
Einschränkungen
hinsichtlich der Produktionseinrichtungen vermindert werden können und ferner
die Produktivität
gesteigert werden kann.
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Da
die beiden äußeren Anschlußelektrodenplatten 8A ferner
Bereiche aufweisen, die sich parallel zu dem Wärmeverteiler 25 erstrecken,
sowie Bereiche aufweisen, die sich parallel zu der oberen Oberfläche des
Harzgehäuses 23 erstrecken,
läßt sich
die zum Zeitpunkt des Einschaltens der Energie auftretende Induktivität in diesen
beiden Bereichen aufheben, so dass die Induktivität, die zum
Zeitpunkt des Einschaltens der Energie an den äußeren Anschlußelektrodenplatten 8A auftritt,
reduziert werden kann.
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Aufgrund
der Reduzierung der Induktivität wird
dann der Schaltverlust geringer, und die von dem IGBT-Element 1 abgegebene
Wärme wird
vermindert, wobei als Ergebnis hiervon die Vorrichtung insgesamt
miniaturisiert werden kann, wie dies vorstehend beschrieben wurde.
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Hierbei
ist die minimale Distanz zwischen dem Kühlkörper (nicht gezeigt), an dem
die Halbleitervorrichtung M101 angebracht ist, und den äußeren Anschlußelektrodenplatten 8A auf
einen Wert festgelegt, der keine Kriechentladung für die Leistungsspannung
der Halbleitervorrichtung M101 verursacht, und zwar von dem Standpunkt
her, dass die isolierende Spannungsfestigkeit zum Zeitpunkt der Verwendung
der Halbleitervorrichtung M101 sichergestellt ist.
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B. Zweites bevorzugtes Ausführungsbeispiel
der ersten Erfindung
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B-1. Vorrichtungskonfiguration
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7 zeigt
eine Perspektivansicht der Konfiguration der Halbleitervorrichtung
M200 als zweites bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegenden ersten
Erfindung. In 7 ist dabei ein Teil des Harzgehäuses 23Β aus
Gründen
der Klarheit weggelassen, so dass die innere Konfiguration deutlich
zu sehen ist.
-
Wie
in 7 gezeigt, ist die innere Konfiguration der Halbleitervorrichtung
M200 im wesentlichen die gleiche wie die der Halbleitervorrichtung M100,
die unter Bezugnahme auf 1 beschrieben worden ist, wobei
entsprechende Komponenten mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet
sind und auf eine nochmalige Beschreibung derselben verzichtet wird.
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Bei
der Halbleitervorrichtung M200 weist das Harzgehäuse 23B keine einfache
Kastenform wie das in 1 gezeigte Harzgehäuse 23 auf,
sondern es besitzt eine Formgebung von zwei vorspringenden Elektrodenbereichen 232B auf
der oberen Oberfläche
des Körperbereichs 231B,
der dem Harzgehäuse 23 entspricht.
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Die
vorspringenden Elektrodenbereiche 232B sind quaderförmig ausgebildet
und enthalten in ihrem Inneren äußere Anschlußelektrodenplatten 8B,
die sich von dem Körperbereich 231B wegerstrecken.
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Obwohl
die äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B im
wesentlichen die gleiche Formgebung wie die äußeren Anschlußelektrodenplatten 8 der Halbleitervorrichtung
M100 aufweisen, erstrecken sie sich weiter in Richtung der Höhe als die äußeren Anschlußelektrodenplatten 8.
Von den beiden äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B wird
die eine, die mit dem Wärmeverteiler 25 verbunden
ist, auch als äußere Anschlußelektrodenplatte 81B bezeichnet,
und die andere, die mit dem Diodenelement 2 verbunden ist,
wird auch als äußere Anschlußelektrodenplatte 826 bezeichnet.
-
8 zeigt
eine Schnittansicht in Längsrichtung
der Konstruktion der Halbleitervorrichtung M200. Wie in 8 gezeigt,
ist das eine Ende der äußeren Anschlußelektrodenplatte 81B mit
der Hauptfläche
des Wärmeverteilers 25 verbunden,
während die
Hauptfläche
von dem anderen Ende der äußeren Anschlußelektro den
platte 81B auf der oberen Oberfläche des vorspringenden Elektrodenbereichs 232B freiliegt.
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Die äußere Anschlußelektrodenplatte 82B besitzt
zwar die gleiche Formgebung wie die äußere Anschlußelektrodenplatte 81B,
jedoch ist sie mit dem Wärmeverteiler 25 nicht
elektrisch verbunden, und ihr entsprechender Randbereich befindet
sich oberhalb der Hauptfläche
des Wärmeverteilers 25.
-
Ferner
bilden die vorspringenden Elektrodenbereiche 232B in ihrem
Inneren Hohlräume
OS, so daß eine
Konfiguration geschaffen wird, bei der die äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B die
oberen Öffnungen
der Hohlräume
OS überdecken.
Anschließend
werden Durchgangsöffnungen 28 in
den freiliegenden Bereichen der äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B gebildet.
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8-2. Herstellungsvorgang
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Im
Folgenden wird ein Verfahren zum Herstellen der vorspringenden Elektrodenbereiche 232B unter
Bezugnahme auf 9 beschrieben. Das Harzgehäuse 23B wird
durch Preßspritzen
gebildet, und somit wird in der in 9 gezeigten
Weise ein oberes Formteil 51 vorgesehen, bei dem eine Aussparung 511 entsprechend
der Außenform
der vorspringenden Elektrodenbereiche 232B in dem den vorspringenden
Elektrodenbereichen 232B entsprechenden Bereich gebildet
ist und bei dem ferner ein unteres Formteil 52B vorgesehen
wird, bei dem ein konvexer Bereich 521 der Außenform
der Hohlräume OS
entsprechend vorgesehen ist.
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Dann
wird der Leitungsrahmen, mit dem der Wärmeverteiler 25 verbunden
ist, zwischen dem oberen Formteil 51 und dem unteren Formteil 52 plaziert, und
man lässt
geschmolzenes Harz in die Formteile einfließen, um auf diese Weise die
Harzkapselung fertigzustellen.
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8-3. Funktionsweise
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Durch
Ausbilden der äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B in
von der oberen Oberfläche
des Körperbereichs 231B des
Harzgehäuses 23B vorspringender
Weise läßt sich
somit die Distanz zwischen dem nicht gezeigten Kühlkörper, an dem die Halbleitervorrichtung
M200 angebracht ist, und den freiliegenden Bereichen der äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B,
d. h. die Isolierdistanz, in ausreichender Weise sicherstellen,
so daß es
dadurch möglich
wird, die Spannungsfestigkeit auf einen höheren Wert zu setzen.
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Aufgrund
des Vorhandenseins der vorspringenden Elektrodenbereiche 232B lässt sich
ferner die Dicke des Körperbereichs 231B,
in dem der Wärmeverteiler 25 eingebettet
ist, auf ein Minimum setzen, und selbst beim Auftreten einer Temperaturänderung
aufgrund von Wärmeabgabe
zum Zeitpunkt der Verwendung der Vorrichtung kann ein Verziehen bzw.
Verwerfen des gesamten Harzgehäuses 23B verhindert
werden, und eine Reduzierung der Wirkung der Wärmeabstrahlung von der Halbleitervorrichtung
zu dem Kühlkörper läßt sich
ebenfalls verhindern, so daß somit
verhindert werden kann, daß die
Temperatur der Halbleitervorrichtung den zulässigen Wert bzw. Grenzwert
oder einen höheren
Wert erreicht.
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Da
es sich bei dem Inneren der vorspringenden Elektrodenbereiche 232B um
Hohlräume
OS handelt, können
durch Vorsehen von nicht gezeigten externen Leitern auf den freiliegenden
Bereichen der äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B sowie
durch Vorsehen von nicht gezeigten Muttern in den Hohlräumen OS
die externen Leiter und die äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B durch
Befestigen der externen Leiter mittels Schrauben (nicht gezeigt)
sowie mittels der Muttern mit einem geringen Kontaktwiderstand angeschlossen
werden.
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B-4. Modifiziertes Beispiel 1
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10 zeigt
eine Schnittansicht der Konfiguration der Halbleitervorrichtung
M201 als modifiziertes Beispiel der Halbleitervorrichtung M200.
Die Konfiguration der Halbleitervorrichtung M201 ist im wesentlichen
die gleiche wie die der Halbleitervorrichtung M200, die unter Bezugnahme
auf die 7 und 8 beschrieben
worden ist, wobei entsprechende Teile mit den gleichen Bezugszeichen
bezeichnet sind und auf eine nochmalige Erläuterung derselben verzichtet
worden ist.
-
Die
Halbleitervorrichtung M201 unterscheidet sich von der Halbleitervorrichtung
M200 darin, daß die
Grenzbereiche zwischen dem Körperbereich 231B und
den vorspringenden Elektrodenbereichen 232B Bereiche sind,
die abgerundete Oberflächen RP
mit einer Krümmung
aufweisen.
-
Durch
Verwendung einer solchen Ausrundungskonfiguration wird in dem Fall,
in dem die externen Leiter und die äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B mittels
Schrauben in den vorspringenden Elektrodenbereichen 232B befestigt
sind, die in den Grenzbereichen zwischen dem Körperbereich 231B und
den vorspringenden Elektrodenbereichen 232B erzeugte Spannung
selbst dann gering, wenn eine Schraube mit einem hohen Drehmoment
befestigt wird, so daß die
Anordnung der Befestigung von Schrauben selbst dann standhalten
kann, wenn die Abmessungen der vorspringenden Elektrodenbereiche 232B klein
sind, so dass sich somit eine Miniaturisierung der Halbleitervorrichtung
erzielen läßt.
-
Zusätzlich ist
es in Folge eines ähnlichen Grunds
nicht notwendig, den Körperbereich 231B mit einer
großen
Dicke auszubilden, selbst wenn eine Temperaturänderung aufgrund einer Wärmeabgabe zum
Zeitpunkt der Verwendung der Vorrichtung auftritt, und das Auftreten
eines Verziehens des gesamten Harzgehäuses 23B läßt sich
verhindern, so dass eine Verminderung der Wärmeabstrahlungseffekte von
der Halbleitervorrichtung auf den Kühlkörper verhindert werden kann
und dadurch ein Ansteigen der Temperatur der Halbleitervorrichtung
auf den zulässigen
oder einen höheren
Wert verhindert werden kann.
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Außerdem wird
die Widerstandsfähigkeit
hinsichtlich der Befestigung von Schrauben gesteigert, und eine
Handhabung des Drehmoments zum Befestigen der Schrauben wird in
einfacher Weise möglich, so
dass sich wiederum die Montage vereinfachen läßt.
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B-5. Modifiziertes Beispiel 2
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11 zeigt
eine Schnittansicht der Konfiguration der Halbleitervorrichtung
M202 als modifiziertes Beispiel der Halbleitervorrichtung M200.
Die Konfiguration der Halbleitervorrichtung M202 ist im wesentlichen
die gleiche wie die der Halbleitervorrichtung M200, die unter Bezugnahme
auf die 7 und 8 beschrieben
worden ist, wobei entsprechende Komponenten mit den gleichen Bezugszeichen
bezeichnet sind und auf eine nochmalige Beschreibung derselben verzichtet
worden ist.
-
Ferner
handelt es sich bei den Grenzbereichen zwischen dem Körperbereich 231Β und
den vorspringenden Elektrodenbereichen 232B um Bereiche
mit abgerundeten Oberflächen
RP, und zwar in der gleichen Weise, wie dies auch bei der unter
Bezugnahme auf 10 beschriebenen Halbleitervorrichtung
M201 der Fall ist.
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Die
Halbleitervorrichtung M202 weist Gratbereiche BP auf, die durch
einen Gratbildungsvorgang um die Durchgangsöffnungen 28 gebildet
sind, die in den freiliegenden Bereichen der äußeren Anschlußelektroden 8B gebildet
werden.
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Anschließend werden
in diesen Gratbereichen BP Gewinde eingearbeitet, so dass eine Schraubenbefestigung
ohne Verwendung von Muttern ermöglicht
wird.
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Im
Folgenden wird ein Gratbildungsprozeß unter Bezugnahme auf die 12 bis 14 beschrieben.
Wie in 12 gezeigt ist, wird ein Loch unter
Verwendung einer Stanzpresse PO oder dergleichen in denjenigen Bereichen
gebildet, die zu den freiliegenden Bereichen der äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B werden.
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Dabei
werden durch Druckbeaufschlagung und Aufspreizen der äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B anstatt
durch Entfernen der entsprechenden Bereiche Wände um die Durchgangsöffnungen 28 herum
gebildet.
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Wie
in 13 gezeigt ist, werden dann unter Verwendung eines
Innengewindeschneiders TP für die
Gewindebearbeitung durch Ausbilden von Gewinden in den um die Öffnungen
herum verbleibenden Wandbereichen die Gratbereiche BP jeweils mit einem
Gewinde ausgebildet, wie dies in 14 zu sehen
ist.
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B-6. Modifiziertes Beispiel 3
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15 zeigt
eine Schnittansicht der Konfiguration der Halbleitervorrichtung
M203 als modifiziertes Beispiel der Halbleitervorrichtung M200.
Die Konfiguration der Halbleitervorrichtung M203 ist im wesentlichen
die gleiche wie die der Halbleitervorrichtung M200, die unter Bezugnahme
auf die 7 und 8 beschrieben
worden ist, wobei entsprechende Komponenten mit den gleichen Bezugszeichen
bezeichnet sind und auf eine nochmalige Beschreibung derselben verzichtet
worden ist.
-
Ferner
handelt es sich bei den Grenzbereichen zwischen dem Körperbereich 231Β und
den vorspringenden Elektrodenbereichen 232B wiederum um
Bereiche mit abgerundeten Oberflächen
RP, und zwar in der gleichen Weise wie bei der Halbleitervorrichtung
M201, die unter Bezugnahme auf 10 beschrieben
worden ist.
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Die
Halbleitervorrichtung M203 weist Muttern 31 auf der Seite
der unteren Oberfläche
der freiliegenden Teile der äußeren Anschlußelektrodenplatten 8B auf,
so dass es nicht notwendig ist, Muttern bereitzustellen, wenn externe
Leiter mittels Schrauben (nicht gezeigt) befestigt werden, die durch
die Durchgangsöffnungen 28 eingeführt werden,
so daß sich
die Montage weiter vereinfacht.
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Die
Muttern 31 können
durch Löten
oder dergleichen mit der unteren Oberfläche der äußeren Anschlußelektroden 8B verbunden
werden oder können zum
Zeitpunkt der Bildung des Harzgehäuses 23B durch Preßspritzen
in den Hohlräumen
OS versenkt werden.
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Im
Folgenden wird das Verfahren zum Versenken der Muttern 31 in
dem Harzgehäuse 23Β unter
Bezugnahme auf 16 erläutert.
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Wie
in 16 gezeigt ist, werden ein oberes Formteil 61,
in dem eine der äußeren Form
der vorspringenden Elektrodenbereiche 232Β entsprechende Aussparung 611 vorgesehen
ist, sowie ein unteres Formteil 62, bei dem ein der äußeren Form
der Hohlräume
OS entsprechender konvexer Bereich 621 vorgesehen ist,
in dem den vorspringenden Elektrodenbereichen 232Β entsprechenden
Bereich bereitgestellt.
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Stifte 623 mit
zylindrischer Formgebung und einem Durchmesser, der geringfügig geringer
ist als der Durchmesser der Schrauböffnung der Muttern 31,
sind an den äußeren Enden
des unteren Formteils 62 und des konvexen Teils 621 vorgesehen,
so daß die
Muttern 31 auf diese Stifte 623 aufgesetzt werden
können.
Die Länge
der Stifte 623 ist derart gewählt, daß die Stifte 623 geringfügig aus
der Endfläche
der Muttern 31 herausragen, wenn die Stifte 623 in
die Muttern 31 eingeführt
sind.
-
Bei
dem konvexen Bereich 621 handelt es sich um den Bereich,
auf dem eine Mutter 31 angebracht wird und der eine Basis 622 zylindrischer Formgebung
aufweist, deren Durchmesser größer ist als
der Durchmesser der Schrauböffnung
der Mutter 31 und kleiner als der Außendurchmesser der Mutter.
-
Zum
Zeitpunkt des Preßspritzens
wird der Leitungsrahmen, mit dem der Wärmeverteiler 25 verbunden
ist, zwischen dem oberen Formteil 61 und dem unteren Formteil 62 plaziert,
und zwar in einem Zustand, in dem der Stift 623 in eine
Mutter 31 eingeführt
ist.
-
Wenn
das obere Formteil 61 und das untere Formteil 62 geschlossen
werden, wird die Mutter 31 dadurch fixiert, daß sie zwischen
der Basis 622 und der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8B plaziert wird,
während
der Stift 623, der aus der Endfläche der Mutter 31 herausgeragt
hat, in das Durchgangsloch 28 in der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8B eingeführt wird.
Dabei ist die Länge
des Stifts 623 derart gewählt, dass die Länge des
Bereichs des Stifts 623, der aus der Endfläche der
Mutter 31 herausragt, kürzer
ist als die Dicke der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8B.
-
Auf
diese Weise ist der Stift 623 in dem Durchgangsloch 28 enthalten
und führt
zu keiner Beeinträchtigung
des oberen Formteils 61. Wenn man in diesem Zustand ein
geschmolzenes Harz in die Formteile einfließen läßt, wird die Harzkapselung
auf diese Weise abgeschlossen.
-
Da
die Mutter 31 hierbei zwischen der Basis 622 und
der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8B angeordnet
ist, ist das Formharz an einem Eindringen in das Innere der Mutter 31 gehindert.
-
Da
ferner die obere Oberfläche
der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8B auf
das obere Formteil 61 gedrückt ist, kann verhindert werden,
dass das Formharz die obere Oberfläche der äußeren Anschlußelektrodenplatte 8B bedeckt.
-
Nach
dem Aushärten
des eingespritzten Formharzes werden das obere Formteil 61 und
das untere Formteil 62 geöffnet, und die Stifte 623 werden
aus dem Inneren der Muttern 31 entfernt, so daß die Randfläche und
die Gewindeöffnung
der Muttern 31 freiliegen.
-
Da
die Muttern 31 hierbei in das Formharz eingebettet sind,
ist es nicht erforderlich, die Muttern 31 bei der Befestigung
von Schrauben unter Verwendung von Werkzeug zu fixieren, so daß sich die
Befestigung von Schrauben in einfacher Weise ausführen läßt.
-
C. Erstes bevorzugtes Ausführungsbeispiel
der zweiten Erfindung
-
C-1. Vorrichtungskonfiguration
-
17 zeigt
eine Perspektivansicht der Konfiguration der Halbleitervorrichtung
M300 als erstes bevorzugtes Ausführungsbeispiel
gemäß der vorliegenden
zweiten Erfindung. In 17 ist ein Teil eines Harzgehäuses 23C aus
Gründen
der Klarheit weggelassen, so dass die innere Konfiguration deutlich
zu sehen ist.
-
Wie
in 17 dargestellt, zeigt die Halbleitervorrichtung
M300 eine Dreiphasen-Brückenschaltung,
die sechs IGBT-Elemente und sechs Diodenelemente aufweist.
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Ferner
besitzt die Halbleitervorrichtung M300 drei Wärmeverteiler 251,
auf denen jeweils eines der sechs IGBT-Elemente und eines der sechs Diodenelemente
vorgesehen sind, sowie einen Wärmeverteiler 252,
auf dem jeweils drei der sechs IGBT-Elemente sowie der sechs Diodenelemente
vorgesehen sind.
-
Die
Wärmeverteiler 251 und 252 besitzen alle
eine rechteckige Formgebung, wobei die Wärmeverteiler 251 parallel
zueinander derart angeordnet sind, dass ihre kürzeren Seiten miteinander ausgefluchtet
sind, während
der Wärmeverteiler 252 in etwa
die gleiche Größe aufweist
wie die angeordneten Wärmeverteiler 251 und
der Wärmeverteiler 252 derart
angeordnet ist, dass seine Längsseiten
parallel zu den ausgefluchteten Wärmeverteilern 251 sind.
-
Außerdem weist
die Halbleitervorrichtung M300 eine Leiterplatte 26 zwischen
den angeordneten Wärmeverteilern 251 und
dem Wärmeverteiler 252 auf.
-
Im
vorliegenden Fall werden die IGBT-Elemente und die Diodenelemente,
die auf den Wärmeverteilern 251 vorgesehen
sind, als IGBT-Elemente 1P und Diodenelemente 2P bezeichnet,
während
die IGBT-Elemente und die Diodenelemente, die auf dem Wärmeverteiler 252 vorgesehen
sind, als IGBT-Elemente 1N und Diodenelemente 2N bezeichnet werden.
-
Auf
der Hauptfläche
jedes Wärmeverteilers 251 ist
ein Relaisanschlußblock 20P außenseitig
von dem IGBT-Element 1P vorgesehen, wobei der Relaisanschlußblock 20P,
das IGBT-Element 1P und das Diodenelement 2P miteinander
ausgefluchtet sind. Ferner ist eine äußere Anschlußelektrodenplatte 8 mit
der Außenseite
des Relaisanschlußblocks 20P verbunden.
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Im
vorliegenden Fall wird die mit jedem der Wärmeverteiler 251 verbundene äußere Anschlußelektrodenplatte 8 zum
Zweck der Erläuterung
durch Hinzufügen
der Symbole 8U, 8V und 8W von links nach
rechts unterschiedlich bezeichnet.
-
Außerdem sind
auf der Hauptfläche
des Wärmeverteilers 252 drei
Paare der IGBT-Elemente 1N und der Diodenelemente 2N vorgesehen,
die in Intervallen derart ausgefluchtet sind, daß sie parallel zu den kürzeren Seiten
des Wärmeverteilers 252 angeordnet
sind.
-
Ein
Relaisanschlußblock 20N ist
außenseitig von
jedem der IGBT-Elemente 1N vorgesehen.
-
Ferner
ist eine äußere Anschlußelektrodenplatte 8N mit
dem Randbereich von einer der kürzeren
Seiten des Wärmeverteilers 252 verbunden. Hierbei
ist eine äußere Anschlußelektrodenplatte 8P mit
dem Randbereich von einer der kürzeren
Seiten der Leiterplatte 26 verbunden, so dass die äußeren Anschlußelektrodenplatten 8N bis 8P parallel
angeordnet sind. Die äußeren Anschlußelektrodenplatten 8N und 8P werden
auch allgemein als äußere Anschlußelektrodenplatte 8 bezeichnet.
-
Hierbei
stellen eine Vielzahl von Aluminiumdrähten WR elektrische Verbindungen
zwischen dem IGBT-Element 1P und dem Diodenelement 2P,
zwischen dem IGBT-Element 1P und
dem Relaisanschlußblock 20P,
zwischen dem Diodenelement 2P und dem Leiterelement 26,
zwischen dem IGBT-Element 1N und dem Diodenelement 2N,
zwischen dem IGBT-Element 1N und dem Relaisanschlußblock 20N sowie
zwischen dem Diodenelement 2N und jedem der Wärmeverteiler 251 her.
-
Das
Harzgehäuse 23C besitzt
eine Formgebung, bei der fünf
vorspringende Elektrodenbereiche 232C an der oberen Oberfläche des
Körperbereichs 231C kastenförmig ausgebildet
sind, wie dies auch bei dem in 7 gezeigten
Harzgehäuse 23Β der Fall
ist, wobei aus dem Harzgehäuse 23C fünf äußere Anschlußelektrodenplatten 8 herausragen.
-
Als
Nächstes
wird die Konfiguration der Dreiphasen-Brückenschaltung unter Bezugnahme
auf 18 erläutert.
Wie in 18 gezeigt ist, sind drei Paare
von IGBT-Elementen 2P und 2N in Totempole-Schaltung
zwischen P-N-Leitungen (wobei jeweilige Eingangsanschlusse mit 8P und 8N bezeichnet werden) geschaltet,
so dass eine Versorgungsleitung gebildet wird. Hierbei werden die
Eingangsanschlüsse 8P und 8N zu
den in 17 gezeigten äußeren Anschlußelektrodenplatten 8P und 8N.
-
Jeder
der Verbindungspunkte der IGBT-Elemente, die jeweils in Totempole-Weise
geschaltet sind, sind mit einer in der Zeichnung nicht dargestellten
Last verbunden. Diese Verbindungspunkte werden hierbei jeweils zu
den Ausgangsanschlüssen
der U-Phase, der V-Phase und der W-Phase, die zu den in 17 gezeigten äußeren Anschlußelektrodenplatten 8U, 8V und 8W werden.
-
Zusätzlich sind
Freilaufdioden 2P und 2N jeweils umgekehrt parallel
mit jedem der IGBT-Elemente 1P und 1N verbunden.
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C2. Herstellungsverfahren
-
Im
Folgenden wird ein Herstellungsvorgang für die Halbleitervorrichtung
M300 unter Bezugnahme auf 19 erläutert.
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Zuerst
werden das IGBT-Element 1P, das Diodenelement 2P und
der Relaisanschlußblock 20P durch
Löten mit
jedem der drei Wärmeverteiler 251 verbunden,
und die IGBT-Elemente 1N, die Diodenelemente 2N und
die Relaisanschlußblöcke 20N werden
durch Löten
mit dem Wärmeverteiler 252 verbunden.
-
Außerdem werden
die äußeren Anschlußelektrodenplatten 8U, 8V und 8W jeweils
mit den drei Wärmeverteilern 251 durch
Löten verbunden,
und die äußere Anschlußelektrodenplatte 8N wird
durch Löten
mit dem Wärmeverteiler 252 verbunden,
und die äußere Anschlußelektrodenplatte 8P wird
durch Löten
mit der Leiterplatte verbunden. Ferner werden Aluminiumdrähte WR durch
Drahtbunden mit jeder Komponente verbunden, so dass die Komponenten jeweils
elektrisch miteinander verbunden sind.
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Jede
der äußeren Anschlußelektrodenplatten 8 ist
in integraler Weise in dem die Wärmeverteiler 251 und 252 umgebenden
Leitungsrahmen (nicht gezeigt) ausgebildet, und der Leitungsrahmen,
die Wärmeverteiler 251, 252 und
die Leiterplatte 26 sind durch Verbinden jeder der äußeren Anschlußelektrodenplatten 8 mit
den Wärmeverteilern 251, 252 und der
Leiterplatte 26 in integraler Weise ausgebildet.
-
Der
Leiterrahmen wird in diesem Zustand in ein Formwerkzeug für einen
Preßspritzvorgang
gesetzt, und man lässt
geschmolzenes Harz in das Formwerkzeug einfließen, um auf diese Weise die Harzkapselung
in vollständiger
Weise auszuführen. 19 zeigt
eine Schnittansicht entlang der Linie B-B der 17 des
Leiterrahmens in dem Zustand der Anordnung in dem Formwerkzeug.
-
Wie
in 19 zu sehen ist, besteht das Formwerkzeug für den Preßspritzvorgang
aus einem oberen Formteil 71 und einem unteren Formteil 72, wobei
das obere Formteil 71 eine Aussparung 711 aufweist,
die der Außenform
des vorspringenden Elektrodenteils 232C entsprechend ausgebildet
ist, und wobei das untere Formteil 72 in dem dem vorspringenden
Elektrodenbereich 232C entsprechenden Bereich einen konvexen
Bereich 721 aufweist, der der Außenform des Hohlraums in dem
vorspringenden Elektrodenbereich 232C entsprechend ausgebildet
ist.
-
Ferner
ist eine Vielzahl von Durchgangsöffnungen 723 in
den den Wärmeverteilern 251, 252 und
der Leiterplatte 26 entsprechenden Bereichen in dem unteren
Formteil 72 gebildet, und in die Durchgangsöffnungen 723 sind
bewegliche Stifte MP eingeführt,
die von außen
her eingeführt
und entfernt werden können.
-
Da
die beweglichen Stifte MP die Wärmeverteiler 251, 252 und
die Leiterplatte 26 vorübergehend abstützen, kann
ihr Durchmesser in etwa 1 mm bis 2 mm betragen, wobei die Durchgangsöffnungen 723 die
gleiche Größe aufweisen.
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In
dem Zustand, in dem die Wärmeverteiler 251, 252 und
die Leiterplatte 26 in dem von dem oberen Formteil 71 und
dem unteren Formteil 72 gebildeten Hohlraum plaziert sind,
werden die Wärmeverteiler 251, 252 und
die Leiterplatte 26 von den beweglichen Stiften MP abgestützt, die
mit der Bodenfläche derselben
in Berührung
stehen, wobei diese auch jeweils durch die äußeren Anschlußelektrodenplatten 8 abgestützt sind,
so daß sie
sicher gehalten werden.
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Im
vorliegenden Fall ist in dem nicht gezeigten Leitungsrahmen eine
Durchgangsöffnung
für die Positionierung
gebildet, wobei die Position durch Einführen eines nicht gezeigten
Positionierstifts in die Durchgangsöffnung festgelegt wird.
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Dann
wird ein geschmolzenes Formharz derart in den Hohlraum eingespritzt,
daß die
Wärmeverteiler 251, 252 und
die Leiterplatte 26 durch das Formharz gehalten werden,
und anschließend
werden die beweglichen Stifte MP nach unten gezogen, bis die Spitzen
der beweglichen Stifte MP die gleiche Position wie die innere Wandoberfläche des
unteren Formteils 72 erreichen. Das geschmolzene Harz fließt in die
Räume,
aus denen die beweglichen Stifte MP entfernt worden sind, so daß eine Harzschicht ohne
jegliche Spalte in den Bereichen unter den Wärmeverteilern 251, 252 und
der Leiterplatte 26 gebildet werden.
-
Danach
wird das Formwerkzeug entfernt, und die jeweiligen äußeren Anschlußelektrodenplatten 8 werden
von dem Leitungsrahmen entfernt, und auf diese Weise läßt sich
die in das Harzgehäuse 23C gekapselte
Halbleitervorrichtung M300 erzielen.
-
C-3. Funktionsweise
-
Bei
der vorstehend beschriebenen Halbleitervorrichtung M300 ist eine
aus einer Vielzahl von IGBT-Elementen und Diodenelementen gebildete Dreiphasen-Brückenschaltung
in sehr kompakter Weise gekapselt, und die Vorrichtungsfläche läßt sich durch
kleine Abstände
zwischen den aneinander angrenzenden Wärmeverteilern im Vergleich
zu dem Fall, in dem eine Vielzahl voneinander unabhängiger Halbleitervorrichtungen
in der in 1 gezeigten Weise miteinander
kombiniert sind, klein halten, so dass eine Miniaturisierung, eine
leichtere Ausbildung sowie eine Kostenreduzierung erzielbar sind.
-
C-4. Modifiziertes Beispiel
-
Hinsichtlich
der Konfiguration, bei der eine aus einer Vielzahl von IGBT-Elementen
und Diodenelementen gebildete Dreiphasen-Brückenschaltung gehäusemäßig gekapselt
ist, läßt sich
auch eine Konfiguration in Form einer Halbleitervorrichtung M301 erzielen,
wie sie in 20 gezeigt ist.
-
Das
heißt,
die Halbleitervorrichtung M301 entspricht einer Konfiguration, bei
der sechs Halbleitervorrichtungen M200 des in 7 gezeigten
Typs in einander abwechselnder Weise angeordnet sind, so dass die
Längsseiten
zueinander parallel sind und eine Miniaturisierung durch Integrieren
derselben in ein Harzgehäuse 23B möglich ist.
-
Bei
Verwendung einer derartigen Konfiguration ist ferner eine kleine
Ausbildung der Fläche
einer Ringschaltung (in 20 in
Form eines Pfeils dargestellter Weg) möglich, die aus einem Stromweg
gebildet ist, der an der äußeren Anschlußelektrodenplatte 82B beginnt
und die äußere Anschlußelektrodenplatte 81B unter Durchlaufung
der Aluminiumdrähte
WR, des IGBT-Elements 1 und des Wärmeverteilers 25 plus
eines nicht gezeigten äußeren Leiters
erreicht, der eine Verbindung zwischen der äußeren Anschlußelektrodenplatte 81B und
der angrenzenden äußeren Anschlußelektrodenplatte 82B bildet,
sowie ferner aus einem Stromweg gebildet ist, der an der benachbarten äußeren Anschlußelektrodenplatte 82B beginnt
und die äußere Anschlußelektrodenplatte 81B unter
Durchlaufung der Aluminiumdrähte
WR, des IGBT-Elements 1 und des Wärmeverteilers 25 erreicht;
auf diese Weise läßt sich
die von der Halbleitervorrichtung M301 abgegebene Wärmemenge klein
halten, und somit läßt sich
die Fläche
des Wärmeverteilers 25 klein
ausbilden, so dass eine Miniaturisierung, eine Gewichtsreduzierung
sowie eine Kostenreduzierung der Vorrichtung insgesamt erzielt werden
können.
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Zur
Verwendung der Halbleitervorrichtung M301 als Dreiphasen-Brückenschaltung
werden die äußeren Anschlußelektrodenplatten 82B und
die äußeren Anschlußelektrodenplatten 81B jeweils
unter Verwendung eines externen Leiters parallel geschaltet.
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D. Drittes bevorzugtes Ausführungsbeispiel
der ersten Erfindung
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D-1. Vorrichtungskonfiguration
-
21 zeigt
eine Schnittansicht einer Konfiguration der Halbleitervorrichtung
M400 als drittes bevorzugtes Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden
ersten Erfindung. In 21 werden entsprechende Komponenten
der unter Bezugnahme auf 7 beschriebenen Halbleitervorrichtung
M200 mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, wobei auf eine nochmalige
Beschreibung derselben verzichtet worden ist.
-
Wie
in 21 zu sehen ist, weist die Halbleitervorrichtung
M400 ein Steuerschaltungssubstrat 17 anstatt des Relaisanschlußblocks 20 zwischen
dem IGBT-Element 1 und
der äußeren Anschlußelektrodenplatte 81B auf
der Hauptfläche
des Wärmeverteilers 25 auf.
Bei dem Steuerschaltungssubstrat 17 ist ein vorbestimmtes
Leitermuster auf der Hauptfläche eines
isolierenden Substrats vorgesehen, und eine Steuerschaltung 40 ist
mit diesem Leitermuster elektrisch verbunden.
-
Die
Steuerschaltung 40 ist gekapselt und weist eine Vielzahl
von Anschlußleitungen
auf. Einige der Anschlußleitungen
sind über
das vorstehend beschriebene Leitermuster mit dem IGBT-Element 1 verbunden,
und einige Anschlußleitungen
ragen von dem Harzgehäuse 23Β als
Relaisstiftanschlußgruppe 41 nach
außen.
-
D-2. Funktionsweise
-
Bei
der Steuerschaltung 40 handelt es sich um eine Schaltung,
die den Schaltvorgang des IGBT-Elements 1 steuert, und
durch Anordnen dieser Steuerschaltung 40 in der Nähe des IGBT-Elements 1 lässt sich
die Fläche
des zwischen der Steuerschaltung 40 und dem IGBT-Element 1 gebildeten
Steuerkreises im Vergleich zu dem Fall, in dem dieser außerhalb
der Halbleitervorrichtung gebildet ist, klein ausbilden.
-
22 zeigt
den vorstehend beschriebenen Leitungssteuerkreis. In 22 ist
das Gate des IGBT-Elements 1 mit einer der Anschlußleitungen 42 der
Steuerschaltung 40 verbunden, und der Emitter des IGBT-Elements 1 ist
ebenfalls mit einer der Anschlußleitungen 42 der
Steuerschaltung 40 verbunden.
-
Somit
wird ein Steuerkreis durch das Gate und den Emitter des IGBT-Elements 1 und
die Steuerschaltung 40 gebildet.
-
Elektromagnetisches
Rauschen tritt nicht nur aufgrund des IGBT-Elements 1 auf,
sondern auch aufgrund von verschiedenen Arten von Schaltelementen,
wenn diese einschaltmäßig oder
ausschaltmäßig betätigt werden.
Das elektromagnetische Rauschen wird proportional zu dem Hauptstrom
größer, der
das Element durchfließt,
und wenn diese Art von elektromagnetischem Rauschen den vorstehend beschriebenen
Steuerkreis passiert, tritt eine Spannungsschwankung in dem Steuersignal
auf. Wenn diese Spannungsschwankung den betriebsmäßigen Schwellenwert
eines Schaltelements übersteigt, kommt
es zu einer Fehlfunktion.
-
Durch
Ausbilden der Steuerschaltung 40 in der Nähe des IGBT-Elements 1 kann
jedoch die Fläche
des zwischen der Steuerschaltung 40 und dem IGBT-Element 1 gebildeten
Steuerkreises klein gestaltet werden, so dass das Auftreten einer
Spannungsschwankung in dem Steuersignal selbst dann verhindert werden
kann, wenn ein starkes Ausmaß an
elektromagnetischem Rauschen in dem Schaltelement für einen
starken Strom auftritt, wie es sich die vorliegende Erfindung zum
Ziel gesetzt hat.
-
Ferner
wird es durch Integrieren der Steuerschaltung 40 überflüssig, ein
Steuerschaltungssubstrat separat außerhalb der Vorrichtung vorzusehen, so
dass sich die Handhabung der Vorrichtung einfach gestaltet.
-
D-3. Modifiziertes Beispiel 1
-
Obwohl
bei der vorstehend beschriebenen Halbleitervorrichtung M400 eine
Konfiguration dargestellt ist, bei der einige der Anschlußleitungen 42 der Steuerschaltung 40 als
Relaisstiftanschlußgruppe 41 aus
dem Harzgehäuse 23Β nach
außen
ragend ausgebildet sind, ist die Länge der Anschlußleitungen nicht
so lang wie bei einem Halbleiterbaustein im allgemeinen.
-
Somit
ist es notwendig, die Halbleitervorrichtung aufgrund spezieller
Spezifikationen herzustellen, um eine Konfiguration wie die der
Steuerschaltung 40 zu erzielen, und bei Verwendung einer
solchen Konfiguration wie der in 23 gezeigten
Halbleitervorrichtung M401 kann eine Steuerschaltung im Zustand
eines Halbleiterchips verwendet werden, der nicht gekapselt ist.
-
Das
heißt,
die Halbleitervorrichtung M401 weist ein Steuerschaltungssubstrat 17 zwischen
dem IGBT-Element 1 und dem Relaisanschlußblock 20 auf
der Hauptfläche
des Wärmeverteilers 25 auf,
und eine Steuerschaltung 40A ist mit dem Leitermuster auf
dem Steuerschaltungssubstrat 17 elektrisch verbunden.
-
Die
Steuerschaltung 40A liegt im Zustand eines Halbleiterchips
vor, der nicht gekapselt ist. Die Steuerschaltung 40A wird
dann über
das vorstehend beschriebene Leitermuster mit dem IGBT-Element elektrisch
verbunden und wird auch mit der Relaisanschlußplattengruppe 28 des
Relaisanschlußblocks 20 elektrisch
verbunden, so daß sie über die
Relaisstiftanschlußgruppe 22 mit
der Außenumgebung verbunden
ist.
-
Die
Steuerschaltung 40A und das Leitermuster auf dem Steuerschaltungssubstrat 17 sind
durch einen Golddraht AW elektrisch verbunden, und die Steuerschaltung 40A ist
mit einem Abdeckharz 30 kuppelförmig bedeckt, so daß sie gegenüber dem Druck
des Formharzes zum Zeitpunkt des dichten Einschließen bzw.
Einkapselns des Golddrahts AW geschützt ist.
-
Das
heißt,
zur Bildung des Harzgehäuses 23B läßt man ein
Formharz in ein Formwerkzeug für einen
Pressspritzvorgang einfließen,
wobei ein Verfahren ver wendet wird, bei dem das vorliegend verwendete
Formharz mit einem feinen Pulver aus Siliziumoxid gemischt wird,
um die Wärme
zu erhöhen, wobei
mit steigendem Gehalt des Siliziumoxids die Viskosität zunimmt.
-
Um
ferner das Wärmeausdehnungsverhältnis des
Formharzes nahe zu dem Wärmeausdehnungsverhältnis des
Wärmeverteilers 25 zu
bringen, ist es erforderlich, den Siliziumoxidgehalt zu erhöhen, was
wiederum zu einer hohen Viskosität
führt.
-
Anschließend wird
ein vergleichsweise dicker Aluminiumdraht WR für jede Verbindung zwischen
den Komponenten auf dem Wärmeverteiler 25 verwendet,
um ein Verziehen oder Verbiegen selbst bei einer Druckbeaufschlagung
durch das Formharz zu vermeiden, wobei der Golddraht AW dünner als der
Aluminiumdraht WR sowie leichter verformbar als dieser ist, so dass
eine Möglichkeit
eines Verziehens, Verbiegens oder in manchen Fällen eines Brechens aufgrund
einer Druckbeaufschlagung zum Zeitpunkt des Einbringens des Formharzes
besteht, das eine hohe Viskosität
aufweist.
-
Aus
diesem Grund ist bei der Halbleitervorrichtung M401 die Steuerschaltung 40A mit
dem Abdeckharz 30 überdeckt,
so dass die Golddrähte
AW geschützt
sind.
-
Hierbei
ist es bevorzugt, das Drahtbonden der Golddrähte AW sowie die Bildung des
Abdeckharzes 30 vor der Anbringung des Steuerschaltungssubstrats 17 auf
dem Wärmeverteiler 25 auszuführen, und
zwar unter dem Aspekt, eine Verzerrung und Beschädigung der Golddrähte AW zum
Zeitpunkt der Bearbeitung zu verhindern.
-
Ferner
ist es notwendig, daß das
Material des Abdeckharzes 30 eine Viskosität aufweist,
die geringer ist als die des Formharzes des Harzgehäuses 23B,
so dass es selbst zum Zeitpunkt des Preissspritzvorgangs nicht verformt
wird, wobei zum Beispiel ein Harz des unter Wärme aushärtenden Typs bevorzugt ist,
dessen Glasübergangstemperatur 200°C oder höher ist,
wobei es sich um die Umgebungstemperatur zum Zeitpunkt des Pressspritzens handelt,
wobei in konkreterer Weise ein Harz auf Epoxy-Basis oder ein Harz
auf Polyimid-Basis verwendet wird. Hierbei kann eine Konstruktion
verwendet werden, bei der eine Metallabdeckung anstatt von Harz
als Abdeckung dient.
-
Ferner
braucht das Abdeckharz 30 nicht unbedingt kuppelförmig ausgebildet
zu werden, sondern es kann zum Beispiel ein dammartiges Gebilde um
die Steuerschaltung 40A herum vorgesehen werden, so dass
ein Harz in den Bereich innerhalb des Damms eingefüllt wird.
-
Bei
Verwendung von Aluminiumdrähten
anstatt von Golddrähten
AW ist es ferner effektiv, das Abdeckharz 30 vorzusehen.
-
Obwohl
das Steuerschaltungssubstrat 17 auf dem Wärmeverteiler 25 vorgesehen
ist, ist es bevorzugt, daß die
Wärme von
dem Wärmeverteiler 25 nicht
zu der Steuerschaltung 40A geleitet wird, um die Zuverlässigkeit
der Steuerschaltung 40A für eine lange Zeitdauer zu erhalten.
-
Aus
diesem Grund ist ein Vorsprung an der Stelle vorgesehen, an der
das Steuerschaltungssubstrat 17 auf dem Wärmeverteiler 25 angebracht
ist, so daß ein
Spalt von mehreren hundert μm
zwischen dem Wärmeverteiler 25 und
dem Steuerschaltungssubstrat 17 gebildet ist, um den Wärmewiderstand zwischen
dem Wärmeverteiler 25 und
dem Steuerschaltungssubstrat 17 zu erhöhen, so dass die Temperatur
der Steuerschaltung 40A auf einem niedrigen Niveau gehalten
wird.
-
Hierbei
wird das Formharz selbstverständlich
in den Spalt zwischen dem Wärmeverteiler 25 und
dem Steuerschaltungssubstrat 17 eingefüllt, und ein Vorsprung kann
selbstverständlich
auch an dem Steuerschaltungssubstrat 17 anstatt dem Wärmeverteiler 25 vorgesehen
werden.
-
D-4. Modifiziertes Beispiel 2
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Obwohl
bei der Halbleitervorrichtung M401 mit der vorstehend beschriebenen
Konfiguration nur die Steuerschaltung 40A auf dem Steuerschaltungssubstrat 17 vorgesehen
ist und der Relaisanschlußblock 20 auf
dem Wärmeverteiler 25 vorgesehen
ist, kann auch eine solche Konfiguration der Halbleitervorrichtung
M402, wie sie in 24 dargestellt ist, verwendet
werden, bei der auch der Relaisanschlußblock 20 auf dem
Steuerschaltungssubstrat 17 vorgesehen ist.
-
E. Viertes bevorzugtes Ausführungsbeispiel
der ersten Erfindung
-
E-1. Vorrichtungskonfiguration
-
25 zeigt
eine Schnittansicht der Konfiguration der Halbleitervorrichtung
M500 als viertes bevorzugtes Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden
ersten Erfindung. In 25 sind entsprechende Komponenten
wie bei der unter Bezugnahme auf 7 beschriebenen
Halbleitervorrichtung M200 mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet,
wobei auf eine nochmalige Beschreibung derselben verzichtet worden
ist.
-
Wie
in 25 gezeigt ist, liegt bei der Halbleitervorrichtung
M500 die Bodenfläche
des Wärmeverteilers 25 von
der Bodenfläche
des Harzgehäuses 23B frei.
Auf dieser Bodenfläche
des Harzgehäuses 23B ist
eine Isolierschicht 91 vorgesehen, so dass der freiliegende
Wärmeverteiler 25 überdeckt
ist.
-
Für die Isolierschicht 91 wird
ein Haftmaterial verwendet, das zum Beispiel auf die Oberfläche eines
Flächenkörpers aus
isolierendem Material, wie zum Beispiel ein Silikonharz, aufgebracht
ist, und dieses wird an der Bodenfläche des Harzbausteins 23B haftend
angebracht.
-
Da
das Silikonharz mit einer Dicke von etwa 500 μm eine Spannungsfestigkeit von
mehreren kV erzielen kann, kann die Isolierung der Halbleitervorrichtung
M500 unter Verwendung eines Silikonharzes mit der genannten Dicke
die gewünschte
Spannungsfestigkeit selbst in dem Fall erzielen, dass die Halbleitervorrichtung
M500 auf einem nicht gezeigten Kühlkörper angebracht
ist.
-
Zum
Verhindern einer Entladung an der Grenzfläche des Harzgehäuses 23B und
des Silikonharz-Flächenkörpers ist
es bevorzugt, den Silikonharz-Flächenkörper derart
haftend anzubringen, dass seine Fläche größer ist als die Fläche des
Wärmeverteilers 25.
-
E-2. Funktionsweise
-
Beim
Preßspritzen
besteht ein technisches Problem darin, daß ein Spalt von etwa mehreren
100 μm zwischen
dem unteren Teil des Wärmeverteilers 25 und
dem Formwerkzeug gebildet wird, so dass ein Formharz in den Spalt
eingefüllt
wird, ohne daß Platz verbleibt.
-
Das
heißt,
es besteht ein Spalt von mehreren Millimetern oder mehr zwischen
dem oberen Teil des Wärmeverteilers 25 und
dem Formwerkzeug im Vergleich zu dem Spalt von mehreren 100 μm zwischen dem
unteren Teil des Wärmeverteilers 25 und
dem Formwerkzeug. Die Strömungsgeschwindigkeit
des Formharzes entlang des oberen Teils des Wärmeverteilers 25 ist
somit schneller als die Strömungsgeschwindigkeit
entlang des unteren Teils, so daß es zu dem Phänomen kommt,
daß das
Formharz durch den Spalt in dem oberen Teil des Wärmeverteilers 25 hindurch
fließt
und in den Spalt in dem unteren Teil eintritt.
-
Folglich
fließt
das Formharz in den Spalt in dem unteren Teil des Wärmeverteilers 25 unter Durchlaufung
verschiedener Wege, so dass eine als Schweißstelle bezeichnete Region
in dem Bereich gebildet wird, in dem die Strömungen miteinander in Kontakt
treten. In diesem Fall besteht die Möglichkeit der Bildung eines
Hohlraums an der Schweißstelle, wobei
dies eine Ursache dafür
bilden kann, dass eine vorbestimmte Spannungsfestigkeit nicht aufrechterhalten
werden kann und dadurch wiederum das Problem entsteht, daß die Produktivität sinkt.
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Durch
Freilegen der Bodenfläche
des Wärmeverteilers 25 von
der Bodenfläche
des Harzgehäuses 23B,
wo die Isolierschicht 91 vorgesehen ist, läßt sich
im Gegensatz dazu das vorstehend beschriebene Problem vermeiden,
so dass sich die Produktivität
erhöhen
läßt.
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E-3. Modifiziertes Beispiel 1
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Obwohl
bei der vorstehend beschriebenen Halbleitervorrichtung M500 eine
Konfiguration dargestellt ist, bei der die Isolierschicht 91 an
der Bodenfläche
des Harzgehäuses 23B vorgesehen
ist, läßt sich hierbei
auch eine Konfiguration der Halbleitervorrichtung M501 verwenden,
wie sie in 26 dargestellt ist. Das heißt, das
Harzgehäuse 23B weist
einen Stufenbereich SP auf, dessen Bodenfläche sich über einen Bereich erstreckt,
der geringfügig
breiter ist als die Fläche
des Wärmeverteilers 25,
wobei die Bodenfläche
des Wärmeverteilers 25 in
diesem Stufenbereich SP freiliegt. Hierbei ist die Höhe des Stufenbereichs
SP geringer als die Dicke der Isolierschicht 91, d. h.
die Dicke des isolierenden Flächenkörpers.
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Wenn
die Isolierschicht 91 in dem Stufenbereich SP vorgesehen
wird, ragt die Hauptfläche
der Isolierschicht 91 somit von dem Stufenbereich SP nach
außen,
und die Isolierschicht 91 wird durch Befestigen des Harzgehäuses 23B um
den Stufenbereich SP herum auf einen nicht gezeigten Kühlkörper zusammengedrückt, so
dass ihre Dicke mit der Höhe des
Stufenbereichs SP identisch wird, bis ein vollständiger Kontakt mit dem Kühlkörper zum
Zeitpunkt der Befestigung der Halbleitervorrichtung M501 an dem
Kühlkörper mittels
Schrauben oder dergleichen hergestellt wird.
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Durch
Vorgeben der Höhe
des Stufenbereichs SP gleich der Mindestdicke des isolierenden Flächenkörpers zum
Sicherstellen der Isolierung sowie durch Befestigung der Schrauben,
bis das Harzgehäuse 23B vollständig mit
dem Kühlkörper in
Kontakt ist, läßt sich
eine dünnere
Ausbildung des isolierenden Flächenkörpers als
der Mindestdicke aufgrund von Unebenheiten bei der Befestigung verhindern,
und es wird somit überflüssig, einen
zusätzlichen
Spielraum für
die Dicke des isolierenden Flächenkörpers vorzusehen,
um die Abstrahlung zu erhöhen.
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Da
die Abstrahlung erhöht
ist, braucht die Bodenfläche
des Wärmeverteilers 25 nicht
unbedingt größer ausgebildet
zu werden, so dass eine Vergrößerung der
Vorrichtung verhindert werden kann.
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E-4. Modifiziertes Beispiel 2
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Bei
der Halbleitervorrichtung M500 ist zwar eine Konfiguration gezeigt,
bei der die Isolierschicht 91 an der Bodenfläche des
Harzgehäuses 23B vorgesehen
ist, jedoch kann hierbei auch eine Konfiguration der Halbleitervorrichtung
M502 verwendet werden, wie sie in 27 gezeigt
ist.
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Hierbei
sind an der Bodenfläche
des Harzgehäuses 23B eine
Vielzahl von vorspringenden Teilen NP in die Bodenfläche des
Wärmeverteilers 25 umgebender
Weise vorgesehen, und die Isolierschicht 91, d. h. der
isolierende Flächenkörper, ist
derart vorgesehen, dass er die Bodenfläche des Wärmeverteilers 25 in
dem von der Vielzahl von vorspringenden Teilen NP umgebenden Bereich
bedeckt. Die Höhe der
vorspringenden Teile NP ist geringer als die Dicke der Isolierschicht 91,
d. h. die Dicke des isolierenden Flächenkörpers.
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Wenn
die Isolierschicht 91 in dem von den vorspringenden Teilen
NP umgebenen Bereich vorgesehen wird, ragt die Hauptfläche der
Isolierschicht 91 von den Spitzen der vorspringenden Teile
NP nach außen,
und bei Anbringung der Halbleitervorrichtung M502 an dem Kühlkörper wird
die Isolierschicht 91 zusammengedrückt, so dass ihre Dicke mit
der Höhe
der vorspringenden Teile NP identisch wird, wenn Befestigungsschrauben
oder dergleichen angebracht werden, bis die Spitzen der vorspringenden
Teile NP vollständig
mit dem Kühlkörper in
Berührung
treten.
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Durch
Vorgeben der Höhe
der vorspringenden Teile NP mit dem gleichen Wert wie die minimale Dicke
des isolierenden Flächenkörpers zur
Sicherstellung der Isolierung sowie durch Befestigen von Schrauben,
bis die vorspringenden Teile NP vollständig mit dem Kühlkörper in
Berührung
stehen, läßt sich
verhindern, daß der
isolierende Flächenkörper aufgrund
von Ungleichmäßigkeiten
bei der Befestigung dünner
wird als die Mindestdicke, so daß es überflüssig wird, einen zusätzlichen
Spielraum hinsichtlich der Dicke des isolierenden Flächenkörpers vorzusehen,
um die Abstrahlung zu steigern.
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Da
die Abstrahlung erhöht
wird, braucht die Bodenfläche
des Wärmeverteilers 25 nicht
notwendigerweise größer ausgebildet
zu werden, so dass eine Erhöhung
der Größe der Vorrichtung
vermieden werden kann.
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Bei
den vorspringenden Teilen NP kann es sich um Zylinder handeln, deren
Durchmesser ca. 2 mm beträgt,
wobei vier bis sechs solche Zylinder für jede Seite des Wärmeverteilers 25 vorgesehen
sein können.
Außerdem
können
die vorspringenden Teile NP in integraler Weise mit dem Harzgehäuse 23B ausgebildet
werden.
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E-5. Modifiziertes Beispiel 3
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Bei
der Halbleitervorrichtung M500 ist zwar eine Konfiguration gezeigt,
bei der die Isolierschicht 91 an der Bodenfläche des
Harzgehäuses 23B vorgesehen
ist, jedoch kann hierbei auch eine Konfiguration der Halbleitervorrichtung
M503 verwendet werden, wie sie in 28 gezeigt
ist.
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Dabei
weist das Harzgehäuse 23B einen Stufenbereich
SP auf, dessen Bodenfläche
sich über einen
Bereich erstreckt, der geringfügig
breiter ist als die Fläche
des Wärmeverteilers 25,
wobei die Bodenfläche
des Wärmeverteilers 25 in
diesem Stufenbereich SP freiliegt. Die Höhe des Stufenbereichs SP ist ferner
geringfügig
kleiner als die Dicke der Isolierschicht 91.
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Die
Isolierschicht 91 kann durch haftendes Anbringen des vorstehend
beschriebenen isolierenden Flächenkörpers gebildet
sein, und zwar unter Verwendung eines Verfahrens, bei dem eine vorbestimmte
Menge eines isolierenden Harzes durch Aufdrucken aufgebracht wird
und eine Abstrahlplatte BS auf das isolierende Harz gedrückt wird,
so dass das isolierende Harz auf eine gleichmäßige Dicke verteilt wird. Durch
Ausführen
dieses Prozesses in einer Umgebung mit geringem Druck läßt sich
somit das Auftreten von Lücken
in der Isolierschicht 91 vermeiden.
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Durch
Aufbringen des Harzes mittels einer Druckeinrichtung, um eine geschmolzenes
isolierendes Harz einem Zielbereich zuzuführen und das Harz z. B. unter
Verwendung eines Spatels zu verteilen, wird bei der Halbleitervorrichtung
M503 die Höhe
des Stufenbereichs SP gleich der Mindestdicke der Isolierschicht 91 ausgebildet,
und das isolierende Harz wird in einem Ausmaß verteilt, in dem seine Dicke
geringfügig
größer ist
als die Höhe
des Stufenbereichs SP; ferner wird das isolierende Harz durch Druckbeaufschlagung
von der Abstrahlplatte BS gleichmäßig verteilt, wobei die Isolierschicht 91 gleichzeitig
mit der Abstrahlplatte BS sicher in Berührung tritt.
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Hierbei
sorgt die Abstrahlplatte BS nicht nur für die Verteilung des isolierenden
Harzes, sondern sie kann auch das Abstrahlvermögen erhöhen, da die Kontaktfläche mit
dem Kühlkörper durch
Anbringen der Abstrahlplatte BS erhöht wird, deren Fläche größer ist
als die Fläche
des Wärmeverteilers 25.