DE102023001438A1

DE102023001438A1 - Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks mit Laserstrahlungen mehrerer Laser oder eines Lasers und Verwendung mehrerer Laser oder einer Laserquelle mit einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern

Info

Publication number: DE102023001438A1
Application number: DE102023001438.9A
Authority: DE
Inventors: Florian Rössler; André Streek
Original assignee: MOEWE Optical Solutions GmbH
Current assignee: MOEWE Optical Solutions GmbH
Priority date: 2023-04-04
Filing date: 2023-04-04
Publication date: 2024-10-10

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks mit Laserstrahlungen mehrerer Laser oder eines Lasers mit einer Laserquelle, einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern und eine Verwendung mehrerer Laser oder einer Laserquelle mit einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern. Die Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung und die Verwendung mehrerer Laser oder einer Laserquelle mit einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass mittels Laserstrahlung eine hohe Energiekonzentration zur Lasermaterialbearbeitung bereitstellbar ist. Dazu sind die Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers in Phase und Frequenz synchrone Laserstrahlungen. Weiterhin sind in den Strahlengängen der Laser oder des Lasers wenigstens eine die Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers zusammen ablenkende Einrichtung und eine die Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers auf einen Punkt des Werkstücks fokussierende Einrichtung angeordnet, so dass das Werkstück mit den Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers punktweise beaufschlagt wird.

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks mit Laserstrahlungen mehrerer Laser oder eines Lasers mit einer Laserquelle, einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern und eine Verwendung mehrerer Laser oder einer Laserquelle mit einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern.
Die Druckschrift DE 10 2015 014 143 A1 offenbart eine Laserstrahlung ablenkende und fokussierende optische Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung. Dazu weist die optische Einrichtung wenigstens zwei angetrieben rotierende Polygonspiegel und eine die reflektierte Laserstrahlung fokussierende Optik im Strahlengang nach den Polygonspiegeln auf. Die zueinander weisenden Facettenflächen der Polygonspiegel sind als gerade Spiegelflächen bezüglich der Drehachse geneigt und weisen zueinander, so dass die einfallende Laserstrahlung nacheinander an zwei Spiegelflächen reflektiert wird. Eine die reflektierte Laserstrahlung fokussierende Optik ist im Strahlengang vor und/oder nach den Polygonspiegeln angeordnet. Damit stellt die optische Einrichtung einen verzerrungsarmen zweidimensional arbeitenden Polygonspiegelscanner zur Lasermaterialbearbeitung dar, in welchem ein komplex geformter mehrfach reflektierender Polygonspiegel zur Minimierung und Kompensation störender optischer Einflüsse eingebracht ist. Die Lösung bezieht sich auf die optische Einrichtung an sich.
Durch die Druckschrift DE 10 2019 006 932 A1 ist eine Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks mit Laserstrahlungen mehrerer Laser bekannt, die mit einer Steuereinrichtung verbunden sind. In den Strahlengängen der Laser befinden sich nacheinander ein angetrieben rotierender Polygonspiegel und das Werkstück. Die Laserstrahlungen der Laser sind auf einen Bereich des Polygonspiegels gerichtet. Die Laser und der Antrieb des Polygonspiegels sind mit der Steuereinrichtung so verbunden, dass die Laserstrahlungen der Laser jeweils mit einem Winkel auf eine Spiegelfläche des Polygonspiegels gelangen und von dieser reflektiert werden, so dass das Werkstück je Spiegelfläche des Polygonspiegels mit einer Reihe reflektierter Laserstrahlungen der Laser beaufschlagt wird. Die Laserstrahlungen der Laser sind vorteilhafterweise mit zueinander unterschiedlichen Winkeln auf einen Bereich des Polygonspiegels gerichtet. Die Laserstrahlungen bilden so quasi einen Fächer aus. Die an den Spiegelflächen reflektierenden Laserstrahlungen behalten die Fächerform bei, so dass das Werkstück mit einer Reihe reflektierter Laserstrahlungen der Laser beaufschlagt wird.
Der in den Patentansprüchen 1 und 13 angegebenen Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, mittels Laserstrahlung eine hohe Energiekonzentration zur Lasermaterialbearbeitung bereitzustellen.
Diese Aufgabe wird mit den in den Patentansprüchen 1 und 13 aufgeführten Merkmalen gelöst.
Die Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks mit Laserstrahlungen mehrerer Laser oder eines Lasers mit einer Laserquelle, einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern und die Verwendung mehrerer Laser oder einer Laserquelle mit einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass mittels Laserstrahlung eine hohe Energiekonzentration zur Lasermaterialbearbeitung bereitstellbar ist. Dazu sind die Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers in Phase und Frequenz synchrone Laserstrahlungen. Weiterhin sind in den Strahlengängen der Laser oder des Lasers wenigstens eine die Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers zusammen ablenkende Einrichtung und eine die Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers auf einen Punkt des Werkstücks fokussierende Einrichtung angeordnet, so dass das Werkstück mit den Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers punktweise beaufschlagt wird.
Dabei werden in Phase und Frequenz synchrone Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers und in den Strahlengängen der Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers angeordnete Einrichtungen zur Ablenkung der Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers und zur Fokussierung der Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers auf einen Punkt eines Werkstücks, so dass das Werkstück mit den Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers punktweise beaufschlagt wird, zur Lasermaterialbearbeitung des Werkstücks mit Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers mit einer Laserquelle, einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern verwendet.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den folgenden Weiterbildungen und Ausführungsformen aufgeführt. Diese können die Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks mit Laserstrahlungen mehrerer Laser oder eines Lasers und die Verwendung mehrerer Laser oder einer Laserquelle mit einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern einzeln oder in einer Kombination fortbilden.
Die Laser besitzen oder der Laser besitzt in einer Ausführungsform Laserstrahlungen auskoppelnde Einrichtungen, welche mit Antriebsanordnungen verbunden sind. Die Antriebsanordnungen sind mit einer Steuereinrichtung so verbunden, dass der Abstand der Laserstrahlungen zueinander und die Abstände der Laserstrahlungen auskoppelnden Einrichtungen zu der die Laserstrahlungen ablenkenden Einrichtung unabhängig voneinander veränderbar und damit einstellbar sind. Die einzelnen Laserstrahlen können so in ihrer Position zueinander eingestellt werden. Damit kann der Punkt der Beaufschlagung des Werkstücks mit den Laserstrahlungen im Querschnitt kreisförmig, linienförmig oder rotationssymmetrisch zur Mitte oder freiförmig ausgebildet sein. Die Antriebsanordnungen können dazu Linearantriebe sein, so dass Bewegungen in einer Richtung und/oder in zwei Richtungen je Antriebsanordnung möglich sind.
Im Strahlengang der Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers ist in einer Ausführungsform wenigstens eine die Laserstrahlungen polarisierende Einrichtung angeordnet.
Die die Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers polarisierende Einrichtung ist in einer Ausführungsform so ausgebildet, dass sich die Amplituden der elektromagnetischen Wellen der Laserstrahlungen im beaufschlagten Punkt des Werkstücks verstärken.
Die die Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers polarisierende Einrichtung ist in einer Ausführungsform so ausgebildet, dass die elektromagnetischen Wellen der Laserstrahlungen in voneinander unterscheidlichen Ebenen polarisiert sind. Die Ebenen können horizontal und/oder vertikal verschieden voneinander sein. Die elektromagnetischen Wellen interagieren so nicht miteinander. Das Material absorbiert aber trotzdem die Photonen aus den verschiedenen Laserstrahlungen und es kommt zu einer verstärkten Energieeinbringung. Das Abtragsmuster entspricht dann einem normalen fokussierten Laserstrahl ohne Interferenzmuster.
In den Strahlengängen der Laser oder des Lasers sind in einer Ausführungsform jeweils wenigstens eine die Phasenlage der jeweiligen Laserstrahlung korrigierende Einrichtungen angeordnet. Das kann eine justierbare Verzögerungsstrecke oder eine Verzögerungsplatte sein. Letztere kann insbesondere aus Glas bestehen.
Die Laserstrahlen ablenkende Einrichtung ist in einer Ausführungsform ein Galvanometerscanner, welcher mit der Steuereinrichtung verbunden ist.
Die die Laserstrahlungen der Laser oder des Lasers zusammen ablenkende Einrichtung ist in einer Ausführungsform ein angetrieben rotierender Polygonspiegel.
Der Polygonspiegel ist in einer Ausführungsform ein Doppelpolygonspiegel. Die Anzahl der Spiegelflächen der Polygonspiegel des Doppelpolygonspiegels ist gleich und die Facettenflächen des Doppelpolygonspiegels sind als gerade Spiegelflächen bezüglich der Drehachse geneigt und weisen zueinander.
Der Polygonspiegel und dessen Antrieb als Polygonspiegelscanner sind in einer Ausführungsform mit einer Antriebsvorrichtung verbunden.
In einer Ausführungsform ist die Antriebsvorrichtung ein Linearantrieb oder Linearantriebe zur Höhenverstellung und/oder zur Bewegung in einer Ebene.
Das Werkstück ist in einer Ausführungsform mit einer Antriebseinrichtung verbunden, welche weiterhin zur Bewegung in einer Ebene mit der Steuereinrichtung verbunden ist.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen jeweils prinzipiell dargestellt und wird im Folgenden näher beschrieben.
Es zeigen:

1 eine Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks mit Laserstrahlungen mehrerer Laser in einer ersten Ansicht,
2 die Einrichtung in einer zweiten Ansicht,
3 eine Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks mit Laserstrahlungen mehrerer Laser mit einem Polygonspiegel und
4 eine Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks mit Laserstrahlungen mehrerer Laser mit einem Doppelpolygonspiegel.

Eine Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks 7 mit Laserstrahlungen 3, 4 mehrerer Laser 1, 2 besteht im Wesentlichen aus einer einer die Laserstrahlungen 3, 4 zusammen ablenkenden Einrichtung 5 und einer die Laserstrahlungen 3, 4 auf einen Punkt des Werkstücks 7 fokussierenden Einrichtung 6.
Dazu zeigen
die 1 eine Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks 7 mit Laserstrahlungen 3, 4 mehrerer Laser 1, 2 in einer ersten prinzipiellen Ansicht und die 2 die Einrichtung in einer zweiten prinzipiellen Ansicht.
Die Einrichtung besitzt in einer Ausführungsform mehrere Laser 1, 2. Diese sind mit einer Steuereinrichtung 8 so verbunden, dass die Laserstrahlungen der Laser in Phase und Frequenz synchrone Laserstrahlungen sind. In den Strahlengängen der Laser sind nacheinander wenigstens eine die Laserstrahlungen 3, 4 der Laser 1, 2 zusammen ablenkende Einrichtung 5 und eine die Laserstrahlungen 3, 4 der Laser 1, 2 auf einen Punkt des Werkstücks 7 fokussierende Einrichtung 6 angeordnet, so dass das Werkstück 7 mit den Laserstrahlungen 3, 4 der Laser 1, 2 punktweise beaufschlagt wird.
Die 3 zeigt eine Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks 7 mit Laserstrahlungen 3, 4 mehrerer Laser 1, 2 mit einem Polygonspiegel 13 in einer prinzipiellen Darstellung.
In einer Ausführungsform der Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks 7 mit Laserstrahlungen 3, 4 mehrerer Laser 1, 2 ist die die Laserstrahlungen 3, 4 der Laser 1, 2 zusammen ablenkende Einrichtung 5 ein angetrieben rotierender Polygonspiegel 13, dessen Antrieb 12 mit der Steuereinrichtung 8 verbunden ist. Die Laser 1, 2 sind mit die Laserstrahlungen 3, 4 auskoppelnden Einrichtungen 9 verbunden, welche mit Antriebsanordnungen 10 verbunden sind. Diese sind weiterhin mit der Steuereinrichtung 8 so verbunden, dass der Abstand der Laserstrahlungen 3, 4 zueinander und die Abstände der die Laserstrahlungen 3, 4 auskoppelnden Einrichtungen 9 zu dem Polygonspiegel 13 unabhängig voneinander veränderbar und damit einstellbar sind. Die Antriebsanordnungen 10 können dazu Positioniereinheiten sein, welche wenigstens in einer Ebene in x- und in y-Richtung wirken. In den Strahlengängen der Laser 1, 2 sind darüber hinaus jeweils wenigstens eine die Phasenlage der jeweiligen Laserstrahlung 3, 4 korrigierende Einrichtungen 11 angeordnet. Die die Laserstrahlungen 3, 4 der Laser 1, 2 auf einen Punkt des Werkstücks 7 fokussierende Einrichtung 6 kann eine Sammellinse 6 sein. In der 3 ist nur ein Laser 1, 2, eine die Laserstrahlungen 3, 4 auskoppelnde Einrichtung 9 mit deren Antriebsanordnung 10 und eine die Phasenlage der jeweiligen Laserstrahlung 3, 4 korrigierende Einrichtung 11 gezeigt. Die jeweilig anderen sind parallel dazu angeordnet.
Die 4 zeigt eine Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks 7 mit Laserstrahlungen 3, 4 mehrerer Laser 1, 2 mit einem Doppelpolygonspiegel 14 in einer prinzipiellen Darstellung.
In einer weiteren Ausführungsform der Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks 7 mit Laserstrahlungen 3, 4 mehrerer Laser 1, 2 kann die die Laserstrahlungen 3, 4 der Laser 1, 2 zusammen ablenkende Einrichtung 5 ein angetrieben rotierender Doppelpolygonspiegel 14 sein, dessen Antrieb 12 mit der Steuereinrichtung 8 verbunden ist. Dabei ist die Anzahl der Spiegelflächen der Polygonspiegel des Doppelpolygonspiegels 14 gleich. Die Facettenflächen des Doppelpolygonspiegels 14 als gerade Spiegelflächen sind bezüglich der Drehachse geneigt und weisen zueinander. In den Strahlengängen nach dem Doppelpolygonspiegel 14 und damit zwischen diesem und der die Laserstrahlungen 3, 4 auf einen Punkt des Werkstücks 7 fokussierenden Einrichtung 6 ist ein Galvanometerscanner 15 angeordnet. Durch Rotation des Doppelpolygonspiegels 14 erfolgt so eine zeilenweise Beaufschlagung des Werkstücks 7. Der Galvanometerscanner 15 dient zur Weiterschaltung der jeweiligen Zeile, wozu dieser mit der Steuereinrichtung 8 verbunden ist.
Die die Laserstrahlungen 3, 4 auskoppelnden Einrichtungen 9 mit deren Antriebsanordnungen 10, die die Phasenlage der Laserstrahlungen 3, 4 korrigierende Einrichtungen 11, der Doppelpolygonspiegel 9 mit seinem Antrieb 12, der Galvanometerscanner 15 und die fokussierende Einrichtung 6 können als Polygonspiegelscanner ausgebildet sein, der mit einer Antriebsvorrichtung verbunden ist. Diese kann ein Linearantrieb oder Linearantriebe zur Höhenverstellung und/oder zur Bewegung in einer Ebene sein.
In einer Ausführungsform der Einrichtung kann das Werkstück 7 mit einer Antriebseinrichtung verbunden sein, welche zur Bewegung in einer Ebene mit der Steuereinrichtung 8 verbunden sein kann.
In einer Ausführungsform kann die Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks 7 mit Laserstrahlungen 3, 4 einen Laser mit einer Laserquelle, einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern aufweisen.
Mehrere Laser 1, 2 oder eine Laserquelle mit einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern, wobei in Phase und Frequenz synchrone Laserstrahlungen der Laser 1, 2 oder des Lasers und in den Strahlengängen der Laserstrahlungen 3, 4 der Laser 1, 2 oder des Lasers angeordnete Einrichtungen 5 zur Ablenkung der Laserstrahlungen der Laser 1, 2 oder des Lasers und zur Fokussierung der Laserstrahlungen 3, 4 der Laser 1, 2 oder des Lasers auf einen Punkt des Werkstücks 7, so dass das Werkstück 7 mit den Laserstrahlungen 3, 4 der Laser 1, 2 oder des Lasers punktweise beaufschlagt wird, können oder kann zur Lasermaterialbearbeitung des Werkstücks 7 mit Laserstrahlungen 3, 4 der Laser 1, 2 oder des Lasers mit einer Laserquelle, einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern verwendet werden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

DE 102015014143 A1 [0002]
DE 102019006932 A1 [0003]

Claims

Einrichtung zur Lasermaterialbearbeitung eines Werkstücks (7) mit Laserstrahlungen (3, 4) mehrerer Laser (1, 2) oder eines Lasers mit einer Laserquelle, einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers in Phase und Frequenz synchrone Laserstrahlungen sind und dass in den Strahlengängen der Laser (1, 2) oder des Lasers wenigstens eine die Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers zusammen ablenkende Einrichtung (5) und eine die Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers auf einen Punkt des Werkstücks (7) fokussierende Einrichtung (6) angeordnet sind, so dass das Werkstück (7) mit den Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers punktweise beaufschlagt wird.
Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Laser (1, 2) oder der Laser Laserstrahlungen (3, 4) auskoppelnde Einrichtungen (9) besitzen oder besitzt, welche mit Antriebsanordnungen (10) verbunden sind, und dass die Antriebsanordnungen (10) mit einer Steuereinrichtung (8) so verbunden sind, dass der Abstand der Laserstrahlungen (3, 4) zueinander und die Abstände der Laserstrahlungen (3, 4) auskoppelnden Einrichtungen (9) zu der die Laserstrahlungen (3, 4) ablenkenden Einrichtung (5) unabhängig voneinander veränderbar und damit einstellbar sind.
Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im Strahlengang der Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers wenigstens eine die Laserstrahlungen (3, 4) polarisierende Einrichtung angeordnet ist.
Einrichtung nach den Patentansprüchen 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass die die Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers polarisierende Einrichtung so ausgebildet ist, dass sich die Amplituden der elektromagnetischen Wellen der Laserstrahlungen (3, 4) im beaufschlagten Punkt des Werkstücks (7) verstärken.
Einrichtung nach den Patentansprüchen 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass die die Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers polarisierende Einrichtung so ausgebildet ist, dass die elektromagnetischen Wellen der Laserstrahlungen (3, 4) in voneinander unterscheidlichen Ebenen polarisiert sind.
Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in den Strahlengängen der Laser (1, 2) oder des Lasers jeweils wenigstens eine die Phasenlage der jeweiligen Laserstrahlung (3, 4) korrigierende Einrichtungen (11) angeordnet sind.
Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserstrahlen ablenkende Einrichtung (5) ein Galvanometerscanner ist, welcher mit der Steuereinrichtung (8) verbunden ist.
Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die die Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers zusammen ablenkende Einrichtung (5) ein angetrieben rotierender Polygonspiegel (13) ist.
Einrichtung nach Patentanspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Polygonspiegel (13) ein Doppelpolygonspiegel (14) ist, dass die Anzahl der Spiegelflächen der Polygonspiegel (13) des Doppelpolygonspiegels (14) gleich ist und dass die Facettenflächen des Doppelpolygonspiegels (14) als gerade Spiegelflächen bezüglich der Drehachse geneigt sind und zueinander weisen.
Einrichtung nach Patentanspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Polygonspiegel (13) und dessen Antrieb (12) als Polygonspiegelscanner mit einer Antriebsvorrichtung verbunden sind.
Einrichtung nach Patentanspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebsvorrichtung ein Linearantrieb oder Linearantriebe zur Höhenverstellung und/oder zur Bewegung in einer Ebene sind.
Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück (7) mit einer Antriebseinrichtung verbunden ist und dass die Antriebseinrichtung zur Bewegung in einer Ebene mit der Steuereinrichtung (8) verbunden ist.
Verwendung mehrerer Laser (1, 2) oder einer Laserquelle mit einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern, dadurch gekennzeichnet, dass in Phase und Frequenz synchrone Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers und in den Strahlengängen der Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers angeordnete Einrichtungen (5, 6) zur Ablenkung der Laserstrahlungen der Laser (1, 2) oder des Lasers und zur Fokussierung der Laserstrahlungen der Laser (1, 2) oder des Lasers auf einen Punkt eines Werkstücks (7), so dass das Werkstück (7) mit den Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers punktweise beaufschlagt wird, zur Lasermaterialbearbeitung des Werkstücks (7) mit Laserstrahlungen (3, 4) der Laser (1, 2) oder des Lasers mit einer Laserquelle, einem Strahlteiler und mehreren optischen Verstärkern verwendet werden.