DE102019216301A1

DE102019216301A1 - Baugruppe in einem optischen System, insbesondere einer mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage

Info

Publication number: DE102019216301A1
Application number: DE102019216301.7A
Authority: DE
Inventors: Joachim Hartjes; Toralf Gruner; Alexander Wolf
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2019-10-23
Filing date: 2019-10-23
Publication date: 2021-04-29
Also published as: KR20220086567A; EP4049088C0; WO2021078421A1; EP4049088B1; TW202129429A; US20220214627A1; EP4049088A1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Baugruppe in einem optischen System, insbesondere einer mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage, mit wenigstens einem optischen Element, wenigstens einem von einem Kühlfluid (103, 303) zur Kühlung dieses optischen Elements im Betrieb des optischen Systems durchströmbaren Kühlkanal, und wenigstens einem Korrosionsdetektor (110, 310) zur Detektion einer vorhandenen oder bevorstehenden Korrosion basierend auf der Bestimmung wenigstens einer Messgröße, welche auf eine korrosionsbedingte Zustandsänderung des Kühlfluids (103, 303) hinweist.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft eine Baugruppe in einem optischen System, insbesondere einer mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage.
Stand der Technik
Mikrolithographie wird zur Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise oder LCD's, angewendet. Der Mikrolithographieprozess wird in einer sogenannten Projektionsbelichtungsanlage durchgeführt, welche eine Beleuchtungseinrichtung und ein Projektionsobjektiv aufweist. Das Bild einer mittels der Beleuchtungseinrichtung beleuchteten Maske (= Retikel) wird hierbei mittels des Projektionsobjektivs auf ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes und in der Bildebene des Projektionsobjektivs angeordnetes Substrat (z.B. ein Siliziumwafer) projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche Beschichtung des Substrats zu übertragen.
In für den EUV-Bereich ausgelegten Projektionsobjektiven, d.h. bei Wellenlängen von z.B. etwa 13 nm oder etwa 7 nm, werden mangels Verfügbarkeit geeigneter lichtdurchlässiger refraktiver Materialien Spiegel als optische Komponenten für den Abbildungsprozess verwendet.
Ein in der Praxis auftretendes Problem ist, dass die EUV-Spiegel insbesondere infolge der Absorption der von der EUV-Lichtquelle emittierten Strahlung eine Erwärmung und eine damit einhergehende thermische Ausdehnung bzw. Deformation erfahren, welche wiederum eine Beeinträchtigung der Abbildungseigenschaften des optischen Systems zur Folge haben kann. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn Beleuchtungssettings mit vergleichsweise kleinen Beleuchtungspolen (z.B. in Dipol- oder Quadrupol-Beleuchtungssettings) eingesetzt werden, in welchen die Spiegelerwärmung bzw. -deformation über die optische Wirkfläche des Spiegels hinweg stark variiert.
Eine Übertragung von für VUV-Lithographiesysteme (mit einer Arbeitswellenlänge z.B. von ca. 200nm oder ca. 160nm) bekannten Lösungsansätzen zur Überwindung des vorstehend beschriebenen Problems der Spiegelerwärmung auf EUV-Systeme gestaltet sich u.a. insofern teilweise als schwierig, als die Anzahl an für eine aktive Deformationskompensation zur Verfügung stehenden optischen Wirkflächen infolge der (zur Vermeidung zu großer Lichtverluste aufgrund der notwendigen Reflexionen) vergleichsweise geringeren Anzahl von optischen Elementen bzw. Spiegeln relativ stark begrenzt ist.
Bekannte Ansätze zur Abführung von Wärmelasten von optischen Komponenten insbesondere einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage beinhalten u.a. den Einsatz von Kühlkanälen, welche zum Wärmeabtransport mit einem Kühlfluid wie z.B. Wasser durchströmt werden und an einen Zulauf sowie einen Ablauf für das Kühlfluid angeschlossen sind.
Hierbei kann jedoch in der Praxis das weitere Problem auftreten, dass je nach konstruktiver Ausgestaltung dieser Kühlkanäle (welche z.B. auf der Spiegelrückseite oder in einer mechanischen Tragstruktur verlaufen können) korrosionsbedingte Schäden durch das Kühlfluid innerhalb der Kühlleitungen selbst und/oder im Bereich von Flanschverbindungen auftreten und dann zu einer Einschränkung der Lebensdauer der Baugruppe führen können. Insbesondere kann bei Aufbau der Baugruppe aus voneinander separierten Komponenten das Kühlfluid einen zwischen solchen Komponenten vorhandenen Spalt überströmen und korrosionsbedingte Undichtigkeiten im Bereich der Flanschverbindungen verursachen. Bei korrosionsbedingt auftretenden Undichtigkeiten kann ein Kühlflüssigkeitseintritt in das jeweilige optische System dort gravierende Schädigungen zur Folge haben.
Die Vermeidung der vorstehend beschriebenen korrosionsbedingten Probleme erweist sich in der Praxis u.a. deshalb als schwierig, weil z.B. die Durchführung von Ultraschallmessungen zur Korrosionsdetektion in einem EUV-System wegen der Gefahr von Schichtablösungen an den optischen Komponenten ausscheidet.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Baugruppe in einem optischen System, insbesondere einer mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage, bereitzustellen, welche eine wirksame Vermeidung korrosionsbedingter Probleme und damit einhergehender Beschädigungen des optischen Systems ermöglicht.
Diese Aufgabe wird durch die Baugruppe gemäß den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 1 gelöst.
Eine erfindungsgemäße Baugruppe in einem optischen System, insbesondere einer mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage weist auf:

- wenigstens ein optisches Element;
- wenigstens einen von einem Kühlfluid zur Kühlung dieses optischen Elements im Betrieb des optischen Systems durchströmbaren Kühlkanal; und
- wenigstens einen Korrosionsdetektor zur Detektion einer vorhandenen oder bevorstehenden Korrosion basierend auf der Bestimmung wenigstens einer Messgröße, welche auf eine korrosionsbedingte Zustandsänderung des Kühlfluids hinweist.

Der Erfindung liegt insbesondere das Konzept zugrunde, eine Feststellung einsetzender Korrosion und die entsprechend frühzeitige Einleitung geeigneter Gegenmaßnahmen basierend auf einer Detektion korrosionsbedingter Änderungszustände der innerhalb wenigstens eines Kühlkanals der Baugruppe befindlichen Kühlflüssigkeit zu realisieren.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die wenigstens eine Messgröße eine elektrische Leitfähigkeit des Kühlfluids.
Gemäß einer Ausführungsform ist der Korrosionsdetektor zur Detektion einer vorhandenen oder bevorstehenden Korrosion basierend auf einer berührungslosen induktiven Leitfähigkeitsmessung des Kühlfluids ausgestaltet.
Die Erfindung beinhaltet somit insbesondere das Konzept, basierend auf einer berührungslosen induktiven Leitfähigkeitsmessung des Kühlfluids auf eine einsetzende Korrosion zu schließen. Hierbei werden Ionisationszustand bzw. elektrische Leitfähigkeit des Kühlfluids messtechnisch erfasst, indem bei Beaufschlagung einer Sendespule mit einer Wechselspannung die an einer Empfängerspule gemessene elektrische Spannung mit der Sendespannung verglichen wird, wobei eine bei diesem Vergleich festgestellte Amplitudenabschwächung bzw. Phasenverschiebung indikativ für den Ionisations- bzw. Leitfähigkeitszustand der Kühlflüssigkeit ist.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Korrosionsdetektor zur Detektion einer vorhandenen oder bevorstehenden Korrosion basierend auf einer magnetisch induktiven Durchflussmessung ausgestaltet. Dabei kann insbesondere bei Anlegen eines konstanten externen Magnetfeldes an ein die elektrisch leitfähige Kühlflüssigkeit führendes isoliertes Rohr die mit einer korrosionsbedingten Änderung der Strömungsgeschwindigkeit einhergehende Spannungsänderung basierend auf dem Hall-Effekt gemessen werden.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die wenigstens eine Messgröße einen Strömungswiderstand des Kühlfluids.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die wenigstens eine Messgröße dynamische Anregungen oder Vibrationen, welche durch eine korrosionsbedingte Änderung des Strömungszustandes des Kühlfluids verursacht werden.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die wenigstens eine Messgröße einen in dem Kühlfluid vorhandenen Anteil von Indikatormolekülen oder -teilchen, wobei ein Vorhandensein dieser Moleküle bzw. Teilchen im Kühlfluid auf deren korrosionsbedingtes Herauslösen aus einem Material der Baugruppe hinweist.
Gemäß einer Ausführungsform weist die Baugruppe eine Mehrzahl von an unterschiedlichen Positionen angeordneten Korrosionsdetektoren zur ortsaufgelöste Korrosionsdetektion auf.
Des Weiteren beinhaltet die Erfindung auch das Konzept, eine Kombination der vorstehend genannten Maßnahmen zu realisieren. Dies kann z.B. in solcher Weise erfolgen, dass zunächst im Wege der berührungslosen induktiven Leitfähigkeitsmessung das Vorhandensein von Korrosion überhaupt (jedoch noch ohne konkrete Ortsinformation) festgestellt wird und dann eine ortsaufgelöste Korrosionsdetektion anhand einer magnetischen induktiven Durchflussmessung dadurch erhalten wird, dass zonale Veränderungen der Strömungsgeschwindigkeit mit Hilfe von an geeigneten Positionen (insbesondere korrosionskritischen Orten wie Kühlflüssigkeitsumleitpunkten und Flanschverbindungen) festgestellt werden.
Die Erfindung beinhaltet hierbei insbesondere auch das Prinzip, eine einsetzende Korrosion nicht lediglich durch Analyse der Kühlflüssigkeit an einer externen Anlage (wie z.B. im Bereich der Kühlmittelaufbereitung) festzustellen, sondern durch eine geeignete Messung an geeigneten Positionen im Bereich des zu kühlenden Elements selbst.
Gemäß einer Ausführungsform ist das optische Element ein Spiegel oder eine Spiegelanordnung mit einer Mehrzahl von Spiegelelementen.
Gemäß einer Ausführungsform ist das optische Element für eine Arbeitswellenlänge von weniger als 30nm, insbesondere weniger als 15nm, ausgelegt. Die Erfindung ist jedoch hierauf nicht beschränkt, so dass in weiteren Anwendungen die Erfindung auch in einem optischen System mit einer Arbeitswellenlänge im VUV-Bereich (z.B. von weniger als 200nm oder weniger als 160nm) vorteilhaft realisiert werden kann.
Die Erfindung betrifft weiter ein optisches System einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, insbesondere eine Beleuchtungseinrichtung oder ein Projektionsobjektiv, mit wenigstens einer Baugruppe mit den vorstehend beschriebenen Merkmalen.
Die Erfindung betrifft weiter auch ein Verfahren zum Betreiben eines optischen Systems, insbesondere einer mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage, wobei das optische System eine Baugruppe mit wenigstens einem optischen Element und wenigstens einem von einem Kühlfluid zur Kühlung dieses optischen Elements im Betrieb des optischen Systems durchströmbaren Kühlkanal aufweist, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:

a) Detektieren einer vorhandenen oder bevorstehenden Korrosion basierend auf der Bestimmung wenigstens einer Messgröße, welche auf eine korrosionsbedingte Zustandsänderung des Kühlfluids hinweist; und
b) Durchführen, in Reaktion auf die Detektion einer vorhandenen oder bevorstehenden Korrosion, einer Gegenmaßnahme zur Vermeidung einer korrosionsbedingten Schädigung des optischen Systems durch das Kühlfluid.

Das Durchführen der Gegenmaßnahme kann insbesondere wenigstens einen der folgenden Schritte umfassen:

- Austausch einer Komponente des optischen Systems;
- Abdichten des Kühlkanals; und
- Einstellen oder Unterbrechen eines Kühlbetriebs des optischen Systems.

Gemäß einer Ausführungsform ist die Baugruppe gemäß den vorstehend beschriebenen Merkmalen ausgestaltet.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind der Beschreibung sowie den Unteransprüchen zu entnehmen.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von in den beigefügten Abbildungen dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert.
Figurenliste
Es zeigen:

1 eine schematische Darstellung zur Erläuterung des Aufbaus einer Baugruppe gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;
2 ein Diagramm zur Erläuterung einer möglichen Auswertung von in der Baugruppe von 1 erhaltenen Messergebnissen;
3 eine schematische Darstellung zur Erläuterung des Aufbaus einer Baugruppe gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung; und
4 eine schematische Darstellung zur Erläuterung des möglichen Aufbaus einer für den Betrieb im EUV ausgelegten mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Im Weiteren werden mögliche Ausführungsformen einer erfindungsgemäßen Baugruppe unter Bezugnahme auf die schematischen Darstellungen von 1-3 beschrieben.
In 1 ist mit „101“ eine zu kühlende Struktur in der erfindungsgemäßen Baugruppe bezeichnet. Diese zu kühlende Struktur kann z.B. einen als Träger für wenigstens ein (nicht dargestelltes) optisches Element dienenden Kühlkörper aufweisen, innerhalb dessen ein im Betrieb von einem Kühlfluid 103 wie z.B. Wasser durchströmter Kühlkanal vorgesehen ist. Dieser Kühlkanal weist einen Einlass sowie einen Auslass für das Kühlfluid 103 auf und ist an eine entsprechende Kühlfluidquelle zur Realisierung eines geschlossenen Kühlkreislaufes angeschlossen. Mit „102“ ist eine an den wenigstens einen Kühlkanal angeschlossene Kühlleitung bezeichnet.
Der Kühlkörper kann aus einem beliebigen geeigneten Material mit guter Wärmeleitung wie z.B. Stahl, Aluminium oder Kupfer hergestellt sein. Eine den Kühlkanal bildende Komponente kann grundsätzlich aus dem gleichen oder einem anderen geeigneten Material hergestellt sein.
Bei dem optischen Element kann es sich - ohne dass die Erfindung hierauf beschränkt wäre - um einen Spiegel oder eine Spiegelanordnung (insbesondere einen Facettenspiegel) einer für den Betrieb im EUV ausgelegten mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage handeln. Die Erfindung ist jedoch grundsätzlich auch in beliebigen anderen Anwendungen (auch außerhalb der Lithographie) vorteilhaft einsetzbar, in denen ein effektiver Abtransport von Wärme unter Vermeidung der eingangs beschriebenen korrosionsbedingten Probleme realisiert werden soll.
Den im Weiteren beschriebenen Ausführungsformen ist gemeinsam, dass im Betrieb der Baugruppe bzw. des die Baugruppe aufweisenden optischen Systems eine vorhandene oder bestehende Korrosion basierend auf der Bestimmung wenigstens einer auf eine korrosionsbedingte Zustandsänderung des Kühlfluids 103 hinweisenden Messgröße erfolgt. Hierzu weist die erfindungsgemäße Baugruppe wenigstens einen Korrosionsdetektor auf, welcher je nach Art der als indikativ für die vorhandene oder bevorstehende Korrosion herangezogenen Messgröße in unterschiedlicher Weise ausgestaltet sein kann.
Gemäß dem Ausführungsbeispiel von 1 weist ein mit „110“ bezeichneter Korrosionsdetektor im Bereich der Kühlmittelzuführung bzw. der an den wenigstens einen Kühlkanal angeschlossenen Kühlleitung 102 zum Aufbau eines Impedanz-Messsystems in einem Gehäuse 111 eine Sendespule 112 sowie Empfängerspulen 113 auf. Das durch den Korrosionsdetektor 110 gemäß 1 bereitgestellte Impedanz-Messsystem ermöglicht eine messtechnische Erfassung des Ionisationszustandes bzw. der elektrischen Leitfähigkeit des Kühlfluids 103 durch Vergleich zwischen der von der Empfängerspule 112 erzeugten Sendespannung (bzw. dem durch die Sendespule 112 fließenden elektrischen Strom I(t)) und der an den Empfängerspulen 113 auftretenden Empfängerspannung.
2 zeigt ein beispielhaftes Diagramm zeitabhängiger Spannungsverläufe, wobei die zwischen Sendespannung und Empfängerspannung messbare Amplitudenabschwächung sowie Phasenverschiebung als Indikator für die elektrische Leitfähigkeit und damit den (Korrosions-) Zustand der Kühlflüssigkeit herangezogen wird.
3 zeigt in schematischer Darstellung einen weiteren möglichen Aufbau einer erfindungsgemäßen Baugruppe, wobei im Vergleich zu 1 analoge bzw. im Wesentlichen funktionsgleiche Komponenten mit um „200“ erhöhten Bezugsziffern bezeichnet sind. Gemäß 3 wird im Unterschied zu 1 eine magnetisch-induktive Durchflussmessung basierend auf dem Hall-Effekt durchgeführt. Hierbei wird über eine Magnetanordnung 312 ein homogenes Magnetfeld an ein die Kühlleitung 302 umgebendes isoliertes Rohr 311 angelegt, wobei die zur Stärke des Magnetfeldes und der Strömungsgeschwindigkeit proportionale elektrische Spannung gemessen wird. Von dieser gemessenen elektrischen Spannung kann somit auf die Strömungsgeschwindigkeit des Kühlfluids 303 geschlossen werden. Dabei gilt: $U = B \cdot d \cdot v$
wobei U die elektrische Spannung, B das Magnetfeld, d den Abstand zwischen Elektroden (d.h. den Durchmesser des isolierten Rohrs 311) und v die Geschwindigkeit der Ionen (also die Strömungsgeschwindigkeit des Kühlfluids 303) bezeichnet.
In weiteren Ausführungsformen können - zusätzlich oder alternativ zur Bestimmung der anhand von 1 bzw. 3 beschriebenen Messgrößen bzw. dem Einsatz entsprechender Korrosionsdetektoren - auch weitere, auf eine korrosionsbedingte Zustandsänderung des Kühlfluids hinweisende Messgrößen bestimmt werden. Beispielsweise kann auch eine Detektion von Schallanregungen, die durch korrosionsinduzierte Verwirbelungen und andere Strömungscharakteristika des Kühlfluids verursacht werden, durch entsprechende akustische Detektoren erfolgen. In weiteren Ausführungsformen kann zusätzlich oder alternativ auch eine permanente oder stichprobenartige chemische Analyse des Kühlfluids im Hinblick auf das Vorhandensein von Indikatormolekülen oder -teilchen welche bei Korrosion aus einem Material der Baugruppe herausgelöst werden (z.B. Eisen-Ionen), automatisiert durchgeführt werden.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung kann die erfindungsgemäße Korrosionsdetektion auch in ortsaufgelöster Weise erfolgen, indem z.B. an hinsichtlich Korrosion besonders kritischen Positionen wie z.B. Flanschverbindungen entsprechende Korrosionsdetektoren angeordnet werden. Dabei kann erfindungsgemäß z.B. in einem ersten (nicht ortsaufgelösten) Schritt im Wege einer Leitfähigkeitsmessung gemäß 1 das Vorhandensein oder Bevorstehen einer Korrosion überhaupt ermittelt werden, woraufhin in einem zweiten, ortsaufgelösten Schritt (z.B. durch Ermittlung einer zonalen Veränderung der Strömungsgeschwindigkeit) mit einem Aufbau gemäß 3 die genaue Position innerhalb der Baugruppe ermittelt wird, an der die betreffende Korrosion aufgetreten ist oder bevorsteht.
In der Praxis kann in dem Kühlerdesign ein Simulationsmodell bzw. mathematisches Modell hinterlegt sein, mit dem anhand von CFD-Simulationen (CFD= „Computed Fluid Dynamics“ = Numerische Strömungsmechanik) die durch Korrosion verursachten Flussänderungen bzw. Verwirbelungen an signifikanten, mit Sensoren bzw. Korrosionsdetektoren bestückten Stellen errechnet werden. Dieses Modell kann mit Probanden verifiziert werden, so dass Messdaten mit den Erwartungswerten verglichen werden können.
4 zeigt eine schematische Darstellung einer beispielhaften für den Betrieb im EUV ausgelegten Projektionsbelichtungsanlage, in welcher die vorliegende Erfindung beispielsweise realisierbar ist.
Gemäß 4 weist eine Beleuchtungseinrichtung in einer für EUV ausgelegten Projektionsbelichtungsanlage 400 einen Feldfacettenspiegel 403 und einen Pupillenfacettenspiegel 404 auf. Auf den Feldfacettenspiegel 403 wird das Licht einer Lichtquelleneinheit, welche eine Plasmalichtquelle 401 und einen Kollektorspiegel 402 umfasst, gelenkt. Im Lichtweg nach dem Pupillenfacettenspiegel 404 sind ein erster Teleskopspiegel 405 und ein zweiter Teleskopspiegel 406 angeordnet. Im Lichtweg nachfolgend ist ein Umlenkspiegel 407 angeordnet, der die auf ihn treffende Strahlung auf ein Objektfeld in der Objektebene eines in diesem Fall z.B. sechs Spiegel 451-456 umfassenden Projektionsobjektivs lenkt. Am Ort des Objektfeldes ist eine reflektive strukturtragende Maske 421 auf einem Maskentisch 420 angeordnet, die mit Hilfe des Projektionsobjektivs in eine Bildebene abgebildet wird, in welcher sich ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes Substrat 461 auf einem Wafertisch 460 befindet.
Die erfindungsgemäße Baugruppe kann zur Kühlung eines beliebigen optischen Elements der Projektionsbelichtungsanlage 400, beispielsweise eines Spiegels oder Facettenspiegels innerhalb der Beleuchtungseinrichtung oder auch eines der Spiegel des Projektionsobjektivs, dienen.
Wenn die Erfindung auch anhand spezieller Ausführungsformen beschrieben wurde, erschließen sich für den Fachmann zahlreiche Variationen und alternative Ausführungsformen, z.B. durch Kombination und/oder Austausch von Merkmalen einzelner Ausführungsformen. Dementsprechend versteht es sich für den Fachmann, dass derartige Variationen und alternative Ausführungsformen von der vorliegenden Erfindung mit umfasst sind, und die Reichweite der Erfindung nur im Sinne der beigefügten Patentansprüche und deren Äquivalente beschränkt ist.

Claims

Baugruppe in einem optischen System, insbesondere einer mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage, mit: • wenigstens einem optischen Element; • wenigstens einem von einem Kühlfluid (103, 303) zur Kühlung dieses optischen Elements im Betrieb des optischen Systems durchströmbaren Kühlkanal; und • wenigstens einem Korrosionsdetektor (110, 310) zur Detektion einer vorhandenen oder bevorstehenden Korrosion basierend auf der Bestimmung wenigstens einer Messgröße, welche auf eine korrosionsbedingte Zustandsänderung des Kühlfluids (103, 303) hinweist.
Baugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Messgröße eine elektrische Leitfähigkeit des Kühlfluids (103, 303) umfasst.
Baugruppe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Korrosionsdetektor (110) zur Detektion einer vorhandenen oder bevorstehenden Korrosion basierend auf einer berührungslosen induktiven Leitfähigkeitsmessung des Kühlfluids (103) ausgestaltet ist.
Baugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Messgröße eine Strömungsgeschwindigkeit des Kühlfluids (103, 303) umfasst.
Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Korrosionsdetektor (310) zur Detektion einer vorhandenen oder bevorstehenden Korrosion basierend auf einer magnetisch induktiven Durchflussmessung ausgestaltet ist.
Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Messgröße einen Strömungswiderstand des Kühlfluids (103, 303) umfasst.
Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Messgröße dynamische Anregungen oder Vibrationen umfasst, welche durch eine korrosionsbedingte Änderung des Strömungszustandes des Kühlfluids (103, 303) verursacht werden.
Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Messgröße einen in dem Kühlfluid (103, 303) vorhandenen Anteil von Indikatormolekülen oder -teilchen umfasst, wobei ein Vorhandensein dieser Indikatormoleküle oder -teilchen im Kühlfluid (103, 303) auf deren korrosionsbedingtes Herauslösen aus einem Material der Baugruppe hinweist.
Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese eine Mehrzahl von an unterschiedlichen Positionen der Baugruppe angeordneten Korrosionsdetektoren (110, 310) zur ortsaufgelöste Korrosionsdetektion aufweist.
Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element ein Spiegel oder eine Spiegelanordnung mit einer Mehrzahl von Spiegelelementen ist.
Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element für eine Arbeitswellenlänge von weniger als 30 nm, insbesondere weniger als 15 nm, ausgelegt ist.
Optisches System einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, insbesondere Beleuchtungseinrichtung oder Projektionsobjektiv, mit wenigstens einer Baugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 11.
Verfahren zum Betreiben eines optischen Systems, insbesondere einer mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage, wobei das optische System eine Baugruppe mit wenigstens einem optischen Element und wenigstens einem von einem Kühlfluid (103, 303) zur Kühlung dieses optischen Elements im Betrieb des optischen Systems durchströmbaren Kühlkanal aufweist, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: a) Detektieren einer vorhandenen oder bevorstehenden Korrosion basierend auf der Bestimmung wenigstens einer Messgröße, welche auf eine korrosionsbedingte Zustandsänderung des Kühlfluids hinweist; und b) Durchführen, in Reaktion auf die Detektion einer vorhandenen oder bevorstehenden Korrosion, einer Gegenmaßnahme zur Vermeidung einer korrosionsbedingten Schädigung des optischen Systems durch das Kühlfluid.
Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Durchführen der Gegenmaßnahme wenigstens einen der folgenden Schritte umfasst: - Austausch einer Komponente des optischen Systems; - Abdichten des Kühlkanals; und - Einstellen oder Unterbrechen eines Kühlbetriebs des optischen Systems.
Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Baugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 11 ausgestaltet ist.