DE102018127651A1 - Elektromechanischer Wandler mit einem Schichtaufbau - Google Patents

Elektromechanischer Wandler mit einem Schichtaufbau Download PDF

Info

Publication number
DE102018127651A1
DE102018127651A1 DE102018127651.6A DE102018127651A DE102018127651A1 DE 102018127651 A1 DE102018127651 A1 DE 102018127651A1 DE 102018127651 A DE102018127651 A DE 102018127651A DE 102018127651 A1 DE102018127651 A1 DE 102018127651A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layer
electromechanical
electrically conductive
sensor
electromechanical transducer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102018127651.6A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Raino Petricevic
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Indtact GmbH
Original Assignee
Indtact GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Indtact GmbH filed Critical Indtact GmbH
Priority to DE102018127651.6A priority Critical patent/DE102018127651A1/de
Priority to US17/283,810 priority patent/US12137615B2/en
Priority to PCT/EP2019/080081 priority patent/WO2020094559A1/de
Priority to CN201980069501.6A priority patent/CN113039656B/zh
Priority to BR112021007772-3A priority patent/BR112021007772B1/pt
Priority to JP2021523646A priority patent/JP2022506331A/ja
Priority to KR1020217017118A priority patent/KR102827418B1/ko
Priority to EP19798269.7A priority patent/EP3853915B1/de
Publication of DE102018127651A1 publication Critical patent/DE102018127651A1/de
Priority to JP2024112512A priority patent/JP2024153687A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302—Sensors
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H04R17/02—Microphones
    • H04R17/025—Microphones using a piezoelectric polymer
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/02—Forming enclosures or casings
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
DE102018127651.6A 2018-11-06 2018-11-06 Elektromechanischer Wandler mit einem Schichtaufbau Withdrawn DE102018127651A1 (de)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018127651.6A DE102018127651A1 (de) 2018-11-06 2018-11-06 Elektromechanischer Wandler mit einem Schichtaufbau
US17/283,810 US12137615B2 (en) 2018-11-06 2019-11-04 Electromechanical transducer with a layer structure
PCT/EP2019/080081 WO2020094559A1 (de) 2018-11-06 2019-11-04 Elektromechanischer wandler mit einem schichtaufbau
CN201980069501.6A CN113039656B (zh) 2018-11-06 2019-11-04 具有层结构的机电换能器
BR112021007772-3A BR112021007772B1 (pt) 2018-11-06 2019-11-04 Transdutor eletromecânico, e método de fabricação de transdutores eletromecânicos
JP2021523646A JP2022506331A (ja) 2018-11-06 2019-11-04 層状構造の電気機械変換器
KR1020217017118A KR102827418B1 (ko) 2018-11-06 2019-11-04 층상 구조를 갖는 전기 기계 변환기
EP19798269.7A EP3853915B1 (de) 2018-11-06 2019-11-04 Elektromechanischer wandler mit einem schichtaufbau
JP2024112512A JP2024153687A (ja) 2018-11-06 2024-07-12 層状構造の電気機械変換器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018127651.6A DE102018127651A1 (de) 2018-11-06 2018-11-06 Elektromechanischer Wandler mit einem Schichtaufbau

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102018127651A1 true DE102018127651A1 (de) 2020-05-07

Family

ID=68468725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102018127651.6A Withdrawn DE102018127651A1 (de) 2018-11-06 2018-11-06 Elektromechanischer Wandler mit einem Schichtaufbau

Country Status (7)

Country Link
US (1) US12137615B2 (https=)
EP (1) EP3853915B1 (https=)
JP (2) JP2022506331A (https=)
KR (1) KR102827418B1 (https=)
CN (1) CN113039656B (https=)
DE (1) DE102018127651A1 (https=)
WO (1) WO2020094559A1 (https=)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102020107028A1 (de) 2020-03-13 2021-09-16 Technische Universität Chemnitz Piezoelektrische Vorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2025037302A (ja) * 2023-09-06 2025-03-18 株式会社村田製作所 電子機器

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080202664A1 (en) * 2007-02-27 2008-08-28 Iptrade, Inc. Method of manufacturing a piezoelectric package having a composite structure
US20100013352A1 (en) * 2008-07-15 2010-01-21 Baruch Pletner Unimorph/bimorph piezoelectric package
EP2372802A2 (de) 2010-03-30 2011-10-05 Raino Petricevic Elektromechanischer Wandler und Verfahren zur Herstellung des elektromechanischen Wandlers

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1114478A (ja) * 1997-06-26 1999-01-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧力検出装置
GB2375175A (en) 2001-05-03 2002-11-06 Electro Mechanical Assembly Lt Peizoelectric device for detecting or measuring the bending of objects
DE10136402C2 (de) * 2001-07-26 2003-07-31 Fraunhofer Ges Forschung Physikalisch aktives Pflaster und Verfahren zur Herstellung
JP4126960B2 (ja) * 2002-05-24 2008-07-30 住友電気工業株式会社 異方導電材料
JP4617078B2 (ja) * 2003-12-08 2011-01-19 北陸電気工業株式会社 積層圧電体及び圧電型振動素子
JP2008135886A (ja) * 2006-11-27 2008-06-12 Matsushita Electric Works Ltd Ｂａｗ共振器の製造方法
US7858440B2 (en) * 2007-09-21 2010-12-28 Infineon Technologies Ag Stacked semiconductor chips
EP2144290A1 (en) 2008-07-08 2010-01-13 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Electronic device and method of manufacturing the same
DE102010041129A1 (de) * 2010-09-21 2012-03-22 Robert Bosch Gmbh Multifunktionssensor als PoP-mWLP
US8614724B2 (en) * 2011-08-17 2013-12-24 The Boeing Company Method and system of fabricating PZT nanoparticle ink based piezoelectric sensor
DE102011086042A1 (de) * 2011-11-09 2013-05-16 Johnson Matthey Catalysts (Germany) Gmbh Biegewandler sowie Mikropumpe mit einem Biegewandler
JP2014169945A (ja) * 2013-03-04 2014-09-18 Sekisui Chem Co Ltd 圧電センサ
JP6066773B2 (ja) * 2013-03-05 2017-01-25 積水化学工業株式会社 圧電センサの製造方法
WO2015041049A1 (ja) 2013-09-20 2015-03-26 株式会社村田製作所 圧電センサ
CN104881193B (zh) 2015-06-02 2018-11-27 南昌欧菲光科技有限公司 触控显示装置、压力触控单元及其制作方法
DE102016214607B4 (de) * 2016-08-05 2023-02-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Elektronisches Modul und Verfahren zu seiner Herstellung
JP6764759B2 (ja) * 2016-10-28 2020-10-07 日本特殊陶業株式会社 圧電アクチュエータ
JP2017034290A (ja) * 2016-11-16 2017-02-09 タツタ電線株式会社 圧電フィルム積層体

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080202664A1 (en) * 2007-02-27 2008-08-28 Iptrade, Inc. Method of manufacturing a piezoelectric package having a composite structure
US20100013352A1 (en) * 2008-07-15 2010-01-21 Baruch Pletner Unimorph/bimorph piezoelectric package
EP2372802A2 (de) 2010-03-30 2011-10-05 Raino Petricevic Elektromechanischer Wandler und Verfahren zur Herstellung des elektromechanischen Wandlers

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102020107028A1 (de) 2020-03-13 2021-09-16 Technische Universität Chemnitz Piezoelektrische Vorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
DE102020107028B4 (de) 2020-03-13 2022-12-29 Technische Universität Chemnitz Piezoelektrische Vorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung

Also Published As

Publication number Publication date
EP3853915B1 (de) 2022-11-30
WO2020094559A1 (de) 2020-05-14
CN113039656A (zh) 2021-06-25
JP2022506331A (ja) 2022-01-17
US12137615B2 (en) 2024-11-05
KR20210084623A (ko) 2021-07-07
CN113039656B (zh) 2025-02-07
US20210343926A1 (en) 2021-11-04
BR112021007772A2 (pt) 2021-07-27
EP3853915A1 (de) 2021-07-28
JP2024153687A (ja) 2024-10-29
KR102827418B1 (ko) 2025-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2010034820A1 (de) Rfid-transponderantenne
EP3853915B1 (de) Elektromechanischer wandler mit einem schichtaufbau
DE102019117476A1 (de) Leistungselektronische Schalteinrichtung mit einem Anschlusselement
WO2005031296A1 (de) Datenerfassungs- und verarbeitungssystem für ein wälzlager und wälzlager mit einem solchen system
DE102020122784A1 (de) Leistungselektronische Schalteinrichtung mit einem dreidimensional vorgeformten Isolationsformkörper und Verfahren zu deren Herstellung
DE102020121337A1 (de) Piezoelektrischer Wandler und Verfahren zur Einstellung der elektromechanischen Eigenschaften eines piezoelektrischen Wandlers
DE102010013565A1 (de) Elektromechanischer Wandler und Verfahren zur Herstellung des elektromechanischen Wandlers
DE102014207890A1 (de) Fremdkörpererfassungsvorrichtung und Leistungs-Induktivladevorrichtung
DE102012019860A1 (de) Dielektrischer Rollenaktor
EP3189242B1 (de) Wälzlager mit einer elektrischen schaltung sowie herstellungsverfahren einer elektrischen schaltung für ein wälzlager
DE102017004430A1 (de) Piezoelektrisches Element und Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Elements
EP2340693A1 (de) Elektrische schaltungsanordnung sowie verfahren zum herstellen einer elektrischen schaltungsanordnung
DE102013212064A1 (de) Elektrische Anordnung, Sensorsystem, Verwendung einer elektronisch anisotropen Klebstoffverbindung in der elektrischen Anordnung sowie Verfahren zur Herstellung der elektrischen Anordnung
AT504406B1 (de) Messvorrichtung
DE102007059988A1 (de) Positionssensor
DE102016112352A1 (de) Differenzdrucksensor zur Bestimmung eines Druckmesssignals
DE102006059229B4 (de) Kapazitiver Sensorkopf
DE102014222346A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Sensorelements
DE102016215072B4 (de) Leiterplatte und Schaltungsbaugruppe mit einer Leiterplatte
DE102011003368A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Sensors und Sensor
EP2646952B1 (de) Portabler datenträger mit tastatur
DE202021105079U1 (de) Elektronisches Bauelement aus pflanzlichem Material
DE102009037627A1 (de) Portabler Datenträger
DE202009013350U1 (de) Kapazitives Bedienteil mit starrem und erhabenem Berührteil
DE102012204012A1 (de) Verfahren zum Erzeugen einer Lötverbindung und Bauteileverbund

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified
R079 Amendment of ipc main class

Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0041047000

Ipc: H10N0030870000

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee