DE102018113586A1 - Optischer Sensor und Verfahren zur Erkennung von Anomalien für einen optischen Sensor - Google Patents

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Tomonori Kondo
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10942257B2 (en) 2016-12-31 2021-03-09 Innovusion Ireland Limited 2D scanning high precision LiDAR using combination of rotating concave mirror and beam steering devices
JP6986235B2 (ja) * 2018-12-20 2021-12-22 オムロン株式会社 共焦点センサ
JP7645858B2 (ja) * 2020-02-20 2025-03-14 古河電気工業株式会社 光ファイバの接続状態判断システム及び光ファイバの接続状態判断方法
CN115876279B (zh) * 2021-09-28 2025-12-09 金宝电子工业股份有限公司 储存槽液面的侦测方法
CN120979546A (zh) * 2024-05-15 2025-11-18 华为技术有限公司 信号处理的方法、装置及系统

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017116493A (ja) 2015-12-25 2017-06-29 株式会社キーエンス 共焦点変位計

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4719341A (en) * 1986-10-01 1988-01-12 Mechanical Technology Incorporated Fiber optic displacement sensor with oscillating optical path length
US6486948B1 (en) * 1999-09-14 2002-11-26 Haishan Zeng Apparatus and methods relating to high speed Raman spectroscopy
US6704109B2 (en) * 2001-01-23 2004-03-09 Schlumberger Technology Corporation Downhole fluorescence detection apparatus
US7616986B2 (en) * 2001-05-07 2009-11-10 University Of Washington Optical fiber scanner for performing multimodal optical imaging
WO2004064627A1 (en) * 2003-01-21 2004-08-05 British Columbia Cancer Agency In vivo raman endoscopic probe and methods of use
US7477401B2 (en) * 2004-11-24 2009-01-13 Tamar Technology, Inc. Trench measurement system employing a chromatic confocal height sensor and a microscope
JP5001934B2 (ja) * 2005-04-15 2012-08-15 バイエル・ヘルスケア・エルエルシー 体内グルコースを測定する非侵襲的システム及び方法
US7876456B2 (en) * 2009-05-11 2011-01-25 Mitutoyo Corporation Intensity compensation for interchangeable chromatic point sensor components
MX2013002297A (es) * 2010-08-31 2013-04-24 Cabot Security Materials Inc Lector espectroscopico en linea y metodos.
CN103222134B (zh) * 2010-11-29 2015-08-19 古河电气工业株式会社 光纤激光装置以及光纤激光装置的异常检测方法
EP3029485B1 (en) * 2011-02-15 2019-12-11 Basf Se Detector for optically detecting at least one object
US8212997B1 (en) * 2011-02-23 2012-07-03 Mitutoyo Corporation Chromatic confocal point sensor optical pen with extended measuring range
JP5790178B2 (ja) * 2011-03-14 2015-10-07 オムロン株式会社 共焦点計測装置
CN104508462B (zh) * 2012-08-02 2018-04-24 奥林巴斯株式会社 使用共焦显微镜或多光子显微镜的光学系统的光分析装置、光分析方法以及光分析用计算机程序
JP6044315B2 (ja) * 2012-12-12 2016-12-14 オムロン株式会社 変位計測方法および変位計測装置
CN104426603A (zh) * 2013-08-30 2015-03-18 华为技术有限公司 光网络检测方法、装置、设备、系统及分光器
DE112015003040T5 (de) * 2014-06-27 2017-03-23 Keyence Corporation Fotoelektrisches Multi-Wellenlängen-Messgerät, konfokales Messgerät, Interferenz-Messgerät und Farbmessgerät
JP6520669B2 (ja) * 2015-12-03 2019-05-29 オムロン株式会社 光学計測装置
DE112016005953T5 (de) * 2015-12-25 2018-10-04 Keyence Corporation Konfokaler verschiebungssensor
JP6493265B2 (ja) * 2016-03-24 2019-04-03 オムロン株式会社 光学計測装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017116493A (ja) 2015-12-25 2017-06-29 株式会社キーエンス 共焦点変位計

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