DE102017115658A1 - Flickering angle variable lighting - Google Patents

Flickering angle variable lighting

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DE102017115658A1
DE102017115658A1 DE102017115658.5A DE102017115658A DE102017115658A1 DE 102017115658 A1 DE102017115658 A1 DE 102017115658A1 DE 102017115658 A DE102017115658 A DE 102017115658A DE 102017115658 A1 DE102017115658 A1 DE 102017115658A1
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light
plurality
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light sources
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Lars Stoppe
Thomas Ohrt
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Carl Zeiss Microscopy GmbH
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    • G05D25/02Control of light, e.g. intensity, colour, phase characterised by the use of electric means

Abstract

Es wurde beobachtet, dass bei der Verwendung verschiedener Beleuchtungsgeometrien (300-1, 300-2) im Zusammenhang mit der Winkel-variablen Beleuchtung ein Flackern wahrgenommen werden kann, welches durch das Umschalten zwischen den Beleuchtungsgeometrien verursacht wird. It has been observed that with the use of various illumination geometries (300-1, 300-2) a flicker can be perceived in connection with the angle-variable illumination, which is caused by the switching between the lighting geometries. Entsprechend ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, dass Flackern zu reduzieren. Accordingly, it is an object of the present invention that reduce flicker. In verschiedenen Beispielen wird dies durch das Erzeugen eines Grund-Helligkeitswerts erreicht. this is achieved by generating a basic brightness value in various examples.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET TECHNICAL FIELD
  • Verschiedene Beispiele betreffen im Allgemeinen das Beleuchten eines Probenobjekts mittels mehrerer Beleuchtungsgeometrien, die eine Winkel-variable Beleuchtung implementieren. Various examples relate generally to illuminating a sample object by a plurality of illumination geometries that implement a variable-angle illumination. Verschiedene Beispiele betreffen insbesondere das Beleuchten des Probenobjekts oder eines Umfeld des Probenobjekts mittels einer kontinuierlichen Beleuchtung. Various examples relate in particular illuminating the sample object or an environment of the sample object by means of a continuous illumination. Dadurch kann Flackern aufgrund des Beleuchtens mittels der mehreren Beleuchtungsgeometrien reduziert werden. As a result, flicker can be reduced by means of the plurality of illumination geometries because of lighting.
  • HINTERGRUND BACKGROUND
  • In verschiedenen Anwendungen wird eine Winkel-variable bzw. strukturierte Beleuchtung eines Probenobjekts bei der Bildgebung verwendet. In various applications, a variable-angle or structured illumination of a sample object in imaging is used. Bei der Winkel-variablen Beleuchtung variiert die Lichtstärke als Funktion des Einfallswinkels. In the angle-variable illumination, the light intensity varies as a function of incidence angle. Durch die Winkel-variable Beleuchtung können unterschiedliche Beleuchtungsgeometrien implementiert werden. By the angle variable lighting different lighting geometries can be implemented. Beispielsweise können unterschiedliche Beleuchtungsgeometrien ein Probenobjekt aus unterschiedlichen Winkeln oder Bereichen beleuchten, was durch eine Ortsraumstruktur der Lichtquellen eines Beleuchtungsmoduls implementiert werden kann. For example, different lighting geometries can illuminate a sample object from different angles or ranges, which can be implemented by a local spatial structure of the light sources of a lighting module.
  • Die Winkel-variable Beleuchtung mittels verschiedener Beleuchtungsgeometrien kann im Zusammenhang mit unterschiedlichen Anwendungsfällen erstrebenswert sein. The angle-variable illumination by various lighting geometries may be desirable in connection with different applications. Beispielsweise kann es mittels Winkel-variabler Beleuchtung möglich sein, einen Phasenkontrast zu erzielen. For example, it may be possible by means of the variable-angle illumination to obtain a phase contrast. Siehe zum Beispiel See, for example, DE 10 2014 112 242 A1 DE 10 2014 112 242 A1 oder beispielsweise L. Tian und L. Waller: „Quantitative differential phase contrast imaging in an LED array microscope“, Optics Express 23 (2015), 11394. Ein weiterer Anwendungsfall der Winkel-variablen Beleuchtung betrifft die automatische Fokussierung des Probenobjekts, siehe zum Beispiel or, for example L. Tian and L. Waller: "Quantitative differential phase-contrast imaging in a LED array microscope", Optics Express 23 (2015), the 11,394th A further application of the angle-variable illumination relates to the automatic focusing of the sample object, see for example WO 2016/005571 A1 WO 2016/005571 A1 . , Noch ein weiterer Anwendungsfall der Winkel-variablen Beleuchtung betrifft die Erstellung eines Höhenprofils bei der Materialprüfung, siehe zum Beispiel Yet another application of the variable-angle illumination relates to the creation of a height profile in the material testing, for example, see Deutsche Patentanmeldung 10 2017 106 984.4 German patent application 10 2017 106 984.4 . ,
  • Vorbekannte Techniken der Winkel-variablen Beleuchtung eines Probenobjekts mittels verschiedener Beleuchtungsgeometrien können jedoch den Nachteil aufweisen, dass das Umschalten zwischen den unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien von einem Benutzer als „Flackern“ wahrgenommen wird. However, previously known techniques of the angle-variable illumination of a sample object by means of various lighting geometries can have the disadvantage that the switching between the different lighting geometries is perceived by a user as "flicker". Die Helligkeit bzw. Lichtverteilung ändert sich typischerweise von Beleuchtungsgeometrie zu Beleuchtungsgeometrie. The brightness or light distribution typically changes from geometry to illumination light geometry. Je nach Geschwindigkeit, mit der zwischen den unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien umgeschaltet wird, kann das Flackern eine Frequenz im Bereich von 10 Hz bis 200 Hz aufweisen. Depending on the speed, is used to switch between the different lighting geometries, the flicker may have a frequency ranging from 10 Hz to 200 Hz. Ein solches Flackern kann vom Benutzer als unangenehm empfunden werden. Such flicker can be perceived by the user as unpleasant.
  • KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG BRIEF SUMMARY OF THE INVENTION
  • Deshalb besteht ein Bedarf für verbesserte Techniken der Winkel-variablen Beleuchtung. Therefore, there is a need for improved techniques of variable-angle illumination. Insbesondere besteht ein Bedarf für solche Techniken, die zumindest einige der oben genannten Einschränkungen und Nachteile beheben. In particular, there is a need for such techniques that address at least some of the above limitations and disadvantages.
  • Diese Aufgabe wird von den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche gelöst. This problem is solved by the features of the independent claims. Die Merkmale der abhängigen Patentansprüche definieren Ausführungsformen. The features of the dependent claims define embodiments.
  • In einem Beispiel ist eine Steuerung für eine optische Vorrichtung eingerichtet, um eine Vielzahl von ersten Lichtquellen der optischen Vorrichtung zur sequenziellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter der optischen Vorrichtung angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien anzusteuern. In one example, a controller for an optical device is adapted to drive a plurality of first light sources of the optical device for sequentially illuminating an object placed on a sample holder of the optical device sample object by means of a plurality of illumination geometries. Die Steuerung ist auch eingerichtet, um mindestens eine zweite Lichtquelle zur Beleuchtung des Probenobjekts oder eines Umfelds des Probenobjekts mittels einer kontinuierlichen Beleuchtung während dem Beleuchten mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien anzusteuern. The controller is also arranged to drive at least a second light source for illuminating the sample object or an environment of the sample object by means of a continuous illumination during the illuminating means of the plurality of illumination geometries.
  • In einem solchen Beispiel ist es möglich, dass die Verwendung der kontinuierlichen Beleuchtung die Wahrnehmung von Flackern, das mit dem sequenziellen Beleuchten mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien assoziiert ist, reduziert. In such an example, it is possible that the use of continuous illumination the perception of flicker that is associated with the sequential illuminating means of the plurality of illumination geometries reduced. Beispielsweise kann die kontinuierliche Beleuchtung für einen vergleichsweise großen Grund-Helligkeitswert sorgen, so dass eine Modulation dieses Grund-Helligkeitswerts aufgrund der sequenziellen Beleuchtung mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien keinen starken Einfluss auf das Helligkeitsempfinden eines Benutzers aufweist. For example, the continuous illumination of a comparatively large ground brightness value may provide, so that a modulation of this basic brightness value which, due to the sequential illumination by means of the plurality of illumination geometries not have a strong influence on the perception of brightness of a user.
  • Ein Verfahren umfasst das Ansteuern einer Vielzahl von ersten Lichtquellen einer optischen Vorrichtung zur sequenziellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter der optischen Vorrichtung angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. A method comprises driving a plurality of first light sources of an optical device for sequentially illuminating an object placed on a sample holder of the optical device sample object by means of a plurality of illumination geometries. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern mindestens einer zweiten Lichtquelle zur Beleuchtung des Probenobjekts oder eines Umfelds des Probenobjekts mittels einer kontinuierlichen Beleuchtung während der Beleuchtung mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. The method also includes controlling at least a second light source for illuminating the sample object or an environment of the sample object by means of a continuous illumination during the illumination by means of the plurality of illumination geometries.
  • Ein Computerprogrammprodukt umfasst Programm-Code, der von mindestens einem Prozessor ausgeführt werden kann. A computer program product comprising program code that can be executed by at least one processor. Das Ausführen des Programm-Codes bewirkt, dass der mindestens eine Prozessor ein Verfahren ausführt. causes the execution of the program code, the at least one processor to perform a method. Das Verfahren umfasst das Ansteuern einer Vielzahl von ersten Lichtquellen einer optischen Vorrichtung zur sequenziellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter der optischen Vorrichtung angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. The method includes driving a plurality of first light sources of an optical device for sequentially illuminating an object placed on a sample holder of the optical device sample object by means of a plurality of illumination geometries. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern mindestens einer zweiten Lichtquelle zur Beleuchtung des Probenobjekts oder eines Umfelds des Probenobjekts mittels einer kontinuierlichen Beleuchtung während der Beleuchtung mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. The method also includes controlling at least a second light source for illuminating the sample object or an environment of the sample object by means of a continuous illumination during the illumination by means of the plurality of illumination geometries.
  • Ein Computerprogramm umfasst Programm-Code, der von mindestens einem Prozessor ausgeführt werden kann. A computer program comprising program code which can be executed by at least one processor. Das Ausführen des Programm-Codes bewirkt, dass der mindestens eine Prozessor ein Verfahren ausführt. causes the execution of the program code, the at least one processor to perform a method. Das Verfahren umfasst das Ansteuern einer Vielzahl von ersten Lichtquellen einer optischen Vorrichtung zur sequenziellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter der optischen Vorrichtung angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. The method includes driving a plurality of first light sources of an optical device for sequentially illuminating an object placed on a sample holder of the optical device sample object by means of a plurality of illumination geometries. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern mindestens einer zweiten Lichtquelle zur Beleuchtung des Probenobjekts oder eines Umfelds des Probenobjekts mittels einer kontinuierlichen Beleuchtung während der Beleuchtung mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. The method also includes controlling at least a second light source for illuminating the sample object or an environment of the sample object by means of a continuous illumination during the illumination by means of the plurality of illumination geometries.
  • In einem weiteren Beispiel ist eine Steuerung für eine optische Vorrichtung ist eingerichtet, um eine Vielzahl von Lichtquellen der optischen Vorrichtung zur sequenziellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter der optischen Vorrichtung angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien anzusteuern. In another example, a controller for an optical device is adapted to drive a plurality of light sources of the optical apparatus for sequentially illuminating an object placed on a sample holder of the optical device sample object by means of a plurality of illumination geometries. Zumindest eine Teilmenge der Vielzahl von Lichtquellen wird bei zu mindestens zwei Beleuchtungsgeometrien der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien bei mindestens einer Lichtstärke betrieben, die verschieden von null ist. At least a subset of the plurality of light sources is operated at at least two illumination geometries of the plurality of illumination geometries at least one light intensity, which is different from zero.
  • In einem solchen Beispiel ist es möglich, dass die Lichtstärke der Lichtquellen der Teilmenge beim Umschalten zwischen unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien nicht auf null gesetzt wird. In such an example, it is possible that the light intensity of the light sources of the subset when switching between different lighting geometries is not set to zero. Dadurch wird wiederum ein Grund-Helligkeitswert erzeugt, der es ermöglicht die Wahrnehmung des Flackerns zu reduzieren. Thus, a basic brightness value is generated again, which makes it possible to reduce the perception of flicker.
  • Ein Verfahren umfasst das Ansteuern einer Vielzahl von Lichtquellen einer optischen Vorrichtung zur sequenziellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter der optischen Vorrichtung angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. A method comprises driving a plurality of light sources of an optical device for sequentially illuminating an object placed on a sample holder of the optical device sample object by means of a plurality of illumination geometries. Zumindest eine Teilmenge - oder alle - der Vielzahl von Lichtquellen wird bei zumindest zwei Beleuchtungsgeometrien der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien bei mindestens einer Lichtstärke betrieben, die verschieden von null ist. At least a subset - or all - of the plurality of light sources is operated at at least two illumination geometries of the plurality of illumination geometries at least one light intensity, which is different from zero. Die Vielzahl von Lichtquellen ist dem Hellfeld einer Detektorapertur einer Detektionsoptik der optischen Vorrichtung angeordnet. The plurality of light sources is arranged to the bright field detector aperture of a detection optical system of the optical device.
  • Ein Computerprogrammprodukt umfasst Programm-Code, der von mindestens einem Prozessor ausgeführt werden kann. A computer program product comprising program code that can be executed by at least one processor. Das Ausführen des Programm-Codes bewirkt, dass der mindestens eine Prozessor ein Verfahren ausführt. causes the execution of the program code, the at least one processor to perform a method. Das Verfahren umfasst das Ansteuern einer Vielzahl von Lichtquellen einer optischen Vorrichtung zur sequenziellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter der optischen Vorrichtung angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. The method includes driving a plurality of light sources of an optical device for sequentially illuminating an object placed on a sample holder of the optical device sample object by means of a plurality of illumination geometries. Zumindest eine Teilmenge der Vielzahl von Lichtquellen wird bei zumindest zwei Beleuchtungsgeometrien der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien bei mindestens einer Lichtstärke betrieben, die verschieden von null ist. At least a subset of the plurality of light sources is operated at at least two illumination geometries of the plurality of illumination geometries at least one light intensity, which is different from zero. Die Vielzahl von Lichtquellen ist dem Hellfeld einer Detektorapertur einer Detektionsoptik der optischen Vorrichtung angeordnet. The plurality of light sources is arranged to the bright field detector aperture of a detection optical system of the optical device.
  • Ein Computerprogramm umfasst Programm-Code, der von mindestens einem Prozessor ausgeführt werden kann. A computer program comprising program code which can be executed by at least one processor. Das Ausführen des Programm-Codes bewirkt, dass der mindestens eine Prozessor ein Verfahren ausführt. causes the execution of the program code, the at least one processor to perform a method. Das Verfahren umfasst das Ansteuern einer Vielzahl von Lichtquellen einer optischen Vorrichtung zur sequenziellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter der optischen Vorrichtung angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. The method includes driving a plurality of light sources of an optical device for sequentially illuminating an object placed on a sample holder of the optical device sample object by means of a plurality of illumination geometries. Zumindest eine Teilmenge der Vielzahl von Lichtquellen wird bei zumindest zwei Beleuchtungsgeometrien der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien bei mindestens einer Lichtstärke betrieben, die verschieden von null ist. At least a subset of the plurality of light sources is operated at at least two illumination geometries of the plurality of illumination geometries at least one light intensity, which is different from zero. Die Vielzahl von Lichtquellen ist dem Hellfeld einer Detektorapertur einer Detektionsoptik der optischen Vorrichtung angeordnet. The plurality of light sources is arranged to the bright field detector aperture of a detection optical system of the optical device.
  • Ein Verfahren umfasst das Ansteuern einer Vielzahl von ersten Lichtquellen einer optischen Vorrichtung zur sequenziellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter der optischen Vorrichtung angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. A method comprises driving a plurality of first light sources of an optical device for sequentially illuminating an object placed on a sample holder of the optical device sample object by means of a plurality of illumination geometries. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern mindestens einer zweiten Lichtquelle zur Beleuchtung des Probenobjekts oder eines Umfelds des Probenobjekts mittels einer Dauerstrichbeleuchtung. The method also includes controlling at least a second light source for illuminating the sample object or an environment of the sample object by means of a continuous-wave illumination. Dabei kann die Dauerstrichbeleuchtung eine - im Vergleich zur sequenziellen Beleuchtung - kontinuierliche Beleuchtung bezeichnen. Here, the continuous wave illumination a - compared to the sequential lighting - called continuous lighting.
  • Ein Computerprogrammprodukt umfasst Programm-Code, der von mindestens einem Prozessor ausgeführt werden kann. A computer program product comprising program code that can be executed by at least one processor. Das Ausführen des Programm-Codes bewirkt, dass der mindestens eine Prozessor ein Verfahren ausführt. causes the execution of the program code, the at least one processor to perform a method. Das Verfahren umfasst das Ansteuern einer Vielzahl von ersten Lichtquellen einer optischen Vorrichtung zur sequenziellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter der optischen Vorrichtung angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. The method includes driving a plurality of first light sources of an optical device for sequentially illuminating an object placed on a sample holder of the optical device sample object by means of a plurality of illumination geometries. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern mindestens einer zweiten Lichtquelle zur Beleuchtung des Probenobjekts oder eines Umfelds des Probenobjekts mittels einer Dauerstrichbeleuchtung. The method also includes controlling at least a second light source for illuminating the sample object or an environment of the sample object by means of a continuous-wave illumination.
  • Ein Computerprogramm umfasst Programm-Code, der von mindestens einem Prozessor ausgeführt werden kann. A computer program comprising program code which can be executed by at least one processor. Das Ausführen des Programm-Codes bewirkt, dass der mindestens eine Prozessor ein Verfahren ausführt. causes the execution of the program code, the at least one processor to perform a method. Das Verfahren umfasst das Ansteuern einer Vielzahl von ersten Lichtquellen einer optischen Vorrichtung zur sequenziellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter der optischen Vorrichtung angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien. The method includes driving a plurality of first light sources of an optical device for sequentially illuminating an object placed on a sample holder of the optical device sample object by means of a plurality of illumination geometries. Das Verfahren umfasst auch das Ansteuern mindestens einer zweiten Lichtquelle zur Beleuchtung des Probenobjekts oder eines Umfelds des Probenobjekts mittels einer Dauerstrichbeleuchtung. The method also includes controlling at least a second light source for illuminating the sample object or an environment of the sample object by means of a continuous-wave illumination.
  • Die oben dargelegten Merkmale und Merkmale, die nachfolgend beschrieben werden, können nicht nur in den entsprechenden explizit dargelegten Kombinationen verwendet werden, sondern auch in weiteren Kombinationen oder isoliert, ohne den Schutzumfang der vorliegenden Erfindung zu verlassen. The features set forth above, and features which will be described below, can be used not only in the respective combinations explicitly set out, but also in other combinations or in isolation, without departing from the scope of the present invention.
  • Figurenliste list of figures
    • 1 1 illustriert schematisch eine optische Vorrichtung und eine Steuerung für die optische Vorrichtung gemäß verschiedener Beispiele. schematically illustrates an optical device and a controller for the optical device according to various examples.
    • 2 2 illustriert schematisch ein Beleuchtungsmodul der optischen Vorrichtung gemäß verschiedener Beispiele, welches eine Vielzahl von Lichtquellen in einer Gitterstruktur aufweist. schematically illustrates a lighting module of the optical device in accordance with various examples, which has a plurality of light sources in a lattice structure.
    • 3 3 illustriert schematisch die Lichtstärke, mit der verschiedenen Lichtquellen des Beleuchtungsmoduls in einer beispielhaften Beleuchtungsgeometrien betrieben werden. schematically illustrates the light intensity, are operated with the different light sources of the illumination module in an exemplary lighting geometries.
    • 4 4 illustriert schematisch Beleuchtungsgeometrien gemäß Referenzimplementierungen. schematically illustrates illumination geometries according to reference implementations.
    • 5 5 illustriert schematisch Beleuchtungsgeometrien gemäß verschiedener Beispiele. schematically illustrates illumination geometries according to various examples.
    • 6 6 illustriert schematisch Beleuchtungsgeometrien gemäß verschiedener Beispiele. schematically illustrates illumination geometries according to various examples.
    • 7 7 illustriert schematisch Helligkeitswerte für die Beleuchtungsgeometrien gemäß dem Beispiel der schematically illustrates brightness values ​​for the lighting geometries according to the example of 5 5 . ,
    • 8 8th illustriert schematisch Helligkeitswerte für die Beleuchtungsgeometrien gemäß dem Beispiel der schematically illustrates brightness values ​​for the lighting geometries according to the example of 6 6 . ,
    • 9 9 illustriert schematisch Beleuchtungsgeometrien und zugehörige Helligkeitswerte gemäß verschiedener Beispiele. schematically illustrates illumination geometries and associated brightness values ​​according to various examples.
    • 10 10 illustriert schematisch Beleuchtungsgeometrien und zugehörige Helligkeitswerte gemäß verschiedener Beispiele. schematically illustrates illumination geometries and associated brightness values ​​according to various examples.
    • 11 11 illustriert schematisch Beleuchtungsgeometrien gemäß Referenzimplementierungen. schematically illustrates illumination geometries according to reference implementations.
    • 12 12 illustriert schematisch Beleuchtungsgeometrien gemäß verschiedener Beispiele. schematically illustrates illumination geometries according to various examples.
    • 13 13 illustriert schematisch ein Beleuchtungsmodul und einen Probenhalter gemäß verschiedener Beispiele. schematically illustrates a lighting module and a sample holder according to various examples.
    • 14 14 illustriert schematisch ein Beleuchtungsmodul und einem Probenhalter gemäß verschiedener Beispiele. schematically illustrates a lighting module and a sample holder according to various examples.
    • 15 15 illustriert schematisch die spektrale Trennung von Licht gemäß verschiedener Beispiele. schematically illustrates the spectral separation of light according to various examples.
    • 16 16 ist ein Flussdiagramm eines beispielhaften Verfahrens is a flowchart of an exemplary method
    • 17 17 ist ein Flussdiagramm eines beispielhaften Verfahrens. is a flowchart of an exemplary method.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG VON AUSFÜHRUNGSFORMEN DETAILED DESCRIPTION OF EMBODIMENTS
  • Die oben beschriebenen Eigenschaften, Merkmale und Vorteile dieser Erfindung sowie die Art und Weise, wie diese erreicht werden, werden klarer und deutlicher verständlich im Zusammenhang mit der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele, die im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläutert werden. The above-described characteristics, features and advantages of this invention and the manner of attaining them, will become more apparent and clearly understood in connection with the following description of embodiments, which are explained in connection with the drawings.
  • In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder ähnliche Elemente. In the figures, like reference numerals designate like or similar elements. Die Figuren sind schematische Repräsentationen verschiedener Ausführungsformen der Erfindung. The figures are schematic representations of various embodiments of the invention. In den Figuren dargestellte Elemente sind nicht notwendigerweise maßstabsgetreu dargestellt. In the figures, elements illustrated have not necessarily been drawn to scale. Vielmehr sind die verschiedenen in den Figuren dargestellten Elemente derart wiedergegeben, dass ihre Funktion und genereller Zweck dem Fachmann verständlich wird. Rather, the various elements shown in the figures are rendered such that their function and general purpose will be understood in the art. In den Figuren dargestellte Verbindungen und Kopplungen zwischen funktionellen Einheiten und Elementen können auch als indirekte Verbindung oder Kopplung implementiert werden. In the figures, connections and couplings shown between functional units and elements may also be implemented as an indirect connection or coupling. Eine Verbindung oder Kopplung kann drahtgebunden oder drahtlos implementiert sein. A connection or coupling can be wired or wireless implemented. Funktionale Einheiten können als Hardware, Software oder eine Kombination aus Hardware und Software implementiert werden. Functional units can be implemented in hardware, software or a combination of hardware and software.
  • Nachfolgend werden Techniken beschrieben, um ein Probenobjekt mittels mehrerer verschiedener Beleuchtungsgeometrien zu beleuchten. Subsequently, techniques are described to illuminate a sample object by means of a plurality of different lighting geometries. In anderen Worten werden nachfolgend Techniken beschrieben, die es ermöglichen, eine Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien durch eine Winkel-variable Beleuchtung eines Probeobjekts umzusetzen. In other words, techniques are described below which make it possible to implement a plurality of illumination geometries by a variable-angle illumination of a sample object. Dabei kann zum Beispiel ein Beleuchtungsmodul verwendet werden, welches eine Vielzahl von Lichtquellen aufweist, die beabstandet zueinander beispielsweise in einer Gitterstruktur angeordnet sind. Here, a lighting module can be used which has a plurality of light sources spaced from each other, for example in a lattice structure are arranged for example. Dann kann durch das Ansteuern der verschiedenen Lichtquellen bei unterschiedlichen Lichtstärken eine bestimmte Beleuchtungsgeometrie implementiert werden. Then a specific lighting geometry can be implemented by controlling the various light sources with different light intensities.
  • Eine Beleuchtungsgeometrie kann charakterisiert sein durch die Menge an Winkeln bzw. Richtungen, unter welchen das Probenobjekt beleuchtet wird. An illumination geometry can be characterized by the amount of angles or directions, under which the sample object is illuminated. Die Beleuchtungsgeometrie kann insbesondere die Beleuchtung des Probenobjekts im Hellfeld bezeichnen, dh diejenigen Winkel bzw. Richtungen im Hellfeld, unter denen das Probenobjekt beleuchtet wird. The illumination geometry may in particular denote the illumination of the sample object in the bright field, that is, those angles or directions in the bright field in which the sample object is illuminated. Dabei können in den verschiedenen hierin beschriebenen Techniken unterschiedlichste Beleuchtungsgeometrien implementiert werden. Here, different lighting geometries can be implemented in the various techniques described herein. Beispielsweise könnten Beleuchtungsgeometrien implementiert werden, die halbkreisförmige oder linienförmige Beleuchtung des Probenobjekts bereitstellen. For example, lighting geometries could be implemented that provide semi-circular or linear illumination of the sample object. Es könnten Beleuchtungsgeometrien verwendet werden, die das Probenobjekt aus unterschiedlichen Beleuchtungsrichtungen beleuchten, wobei die unterschiedlichen Beleuchtungsrichtungen zum Beispiel an der optischen Achse gespiegelt sein können. It could be used to illuminate the sample object from different directions of illumination lighting geometries, wherein the different illumination directions can be mirrored, for example, on the optical axis. Es könnten auch solche Beleuchtungsrichtungen verwendet werden, die an einer senkrecht zur optischen Achse orientierten Symmetrieachse gespiegelt werden -wie es zum Beispiel bei komplementären halbkreisförmigen oder linienförmigen Beleuchtungsgeometrien der Fall sein kann. also those directions of illumination could also be used, which are mirrored about a vertically oriented axis of symmetry to the optical axis -As it for example with complementary semi-circular or linear illumination geometries may be the case.
  • Die hierin beschriebenen Techniken können zum Beispiel Anwendungen Zusammenhang mit einem Mikroskop finden. The techniques described herein can be found, for example, applications associated with a microscope. Beispielsweise könnte das Probenobjekt eine biologische Probe sein. For example, the sample object may be a biological sample. Beispielsweise könnte das Probenobjekt auf einem Probenhalter des Mikroskops angeordnet sein. For example, the sample object may be arranged on a sample holder of the microscope. Die hierin beschriebenen Techniken könnten zum Beispiel aber auch Anwendung im Zusammenhang mit der Materialprüfung binden. The techniques described herein could, for example, but also bind application in connection with the materials testing. Dabei könnte in Auflichtgeometrie ein Höhenprofil eines Probenobjekts - beispielsweise eines Textilgewebes - überprüft werden. Here in Auflichtgeometrie could a height profile of a sample object - for example, a textile fabric - are reviewed.
  • Verschiedenen hierin beschriebenen Techniken liegt die Erkenntnis zugrunde, dass das sequenzielle Beleuchten eines Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien gemäß Referenzimplementierungen ein unangenehmes Flackern bewirken kann. Various techniques described herein is based on the insight that the sequential illumination of a specimen object can cause an unpleasant flicker by means of a plurality of illumination geometries according to reference implementations. Wenn zwischen unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien umgeschaltet wird, verändert sich nämlich typischerweise die Beleuchtung der umliegenden Szene. When switching between different lighting geometries, lighting the surrounding scene is changing namely typically. Die Helligkeitswerte können schwanken Oftmals kann ein solches Flackern Frequenzanteile im Bereich von 10 Hz - 200 Hz aufweisen, was im Zusammenhang mit Epilepsie vermieden werden sollte. The brightness values ​​can fluctuate often such a flicker can frequency components in the range of 10 Hz - 200 Hz have what should be avoided in connection with epilepsy.
  • In den verschiedenen beschriebenen Techniken kann es möglich sein, ein solches Flackern zu verringern. In the various techniques described, it may be possible to reduce such a flicker. Insbesondere kann die physische Wahrnehmung des Flackerns beim Umschalten zwischen unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien reduziert werden. In particular, the physical perception of flickering when switching between different lighting geometries can be reduced.
  • In manchen Beispielen wird dies durch Schaffung eines Grund-Helligkeitswerts ermöglicht. In some examples, this is made possible by creating a basic brightness value. Dieser Grund-Helligkeitswert wird dann durch das Umschalten zwischen unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien moduliert, wobei die Amplitude der Modulation beispielsweise gegenüber der Amplitude des Grund-Helligkeitswerts vergleichbar klein sein kann, zum Beispiel nicht >50 %, optional nicht größer als 15 %, weiter optional nicht größer als 5 %. This basic brightness value is then modulated by switching between different illumination geometries, wherein the amplitude of modulation may be comparatively small, for example with respect to the amplitude of the basic luminance value, for example, not> 50%, optionally no greater than 15%, further optionally not more than 5%. Dadurch wird die Wahrnehmung des Flackerns reduziert. Thus, the perception of flicker is reduced.
  • Der Grund-Helligkeitswert kann beispielsweise durch die Verwendung einer kontinuierlichen Beleuchtung - manchmal auch als Dauerstrichbeleuchtung bezeichnet - geschaffen werden. The basic brightness value, for example, by the use of a continuous lighting - to create - sometimes referred to as continuous wave illumination. Dabei kann kontinuierliche Beleuchtung bedeuten, dass eine mögliche Frequenz mit der die kontinuierliche Beleuchtung ein- und ausgeschaltet wird signifikant geringer ist, als die Frequenz, mit der zwischen unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien der Winkel-variablen Beleuchtung umgeschaltet wird. It can mean continuous illumination, that a possible frequency with the single continuous lighting is turned on and is significantly lower than the frequency is switched between the different lighting geometries of the variable-angle illumination. Beispielsweise kann eine Frequenz mit der die kontinuierliche Beleuchtung ein- und ausgeschaltet wird nicht größer als 5 % der Frequenz, mit der zwischen unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien der Winkel-variablen Beleuchtung umgeschaltet wird, sein, optional nicht größer als 0,5 %, weiter optional nicht größer als 0,05 %. For example, a frequency with the single continuous lighting on and off is not greater than 5% of the frequency is switched to that between different lighting geometries of the angle-variable illumination, being, optionally not greater than 0.5%, further optionally not more than 0.05%.
  • Zum Beispiel könnte der Grund-Helligkeitswert durch ein oder mehrere Lichtquellen erzeugt werden, die nahe bei denjenigen Lichtquellen angeordnet sind, die zur Beleuchtung des Probenobjekts mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien verwendet werden. For example, the basic brightness value could by one or more light sources are generated, which are arranged close to those of light sources used for illuminating the sample object by means of the plurality of illumination geometries. In manchen Beispielen, könnte die eine oder die mehreren Lichtquellen, die für die kontinuierliche Beleuchtung verwendet werden, zum Beispiel in die optische Vorrichtung integriert sein. In some examples, could be the one or more light sources that are used for continuous lighting, for example, be integrated into the optical apparatus. Insbesondere wäre es möglich, dass diese ein oder mehreren Lichtquellen in ein Beleuchtungsmodul integriert sind, das auch für die Beleuchtung des Probenobjekts mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien der Winkel-variablen Beleuchtung verwendet wird. In particular, it would be possible that these one or more light sources are integrated in a lighting module, which is also used for the illumination of the sample object by means of the plurality of illumination geometries of the variable-angle illumination. In anderen Fällen könnte aber auch eine externe Lichtquelle zur Schaffung des Grund-Helligkeitswerts verwendet werden. In other cases, however, an external light source to create the basic brightness value could be used. Zum Beispiel könnte eine externe Lichtquelle als Teil eines Projektors verwendet werden, so das mittels des Projektors eine Außenfläche der optischen Vorrichtung beleuchtet werden kann. For example, an external light source could be used as part of a projector that can be illuminated by the projector an outer surface of the optical device. Solche Lichtquellen zur kontinuierlichen Beleuchtung können in einem Dunkelfeld einer Detektorapertur einer Detektionsoptik der optischen Vorrichtung angeordnet sein. Such light sources for the continuous lighting can be disposed in a dark field of a detector aperture of a detection optical system of the optical device.
  • In weiteren Beispielen könnte der Grund-Helligkeitswert auch durch Begrenzung der Differenz zwischen den bei verschiedenen Beleuchtungsgeometrien verwendeten Lichtstärke verschiedener Lichtquellen erzielt werden. In other examples, the basic brightness value could also be achieved by limiting the difference between those used in different lighting geometries light intensity of various light sources. Dies bedeutet, dass die Lichtquellen zumindest teilweise nicht aus- und angeschaltet werden, wenn zwischen Beleuchtungsgeometrien umgeschaltet wird; This means that the light sources at least partially off and turned on when switching between lighting geometries; vielmehr wäre es möglich, dass zumindest einige der Lichtquellen beim Umschalten zwischen Beleuchtungsgeometrien zwischen unterschiedlichen endlichen Lichtstärken hin- und her geschaltet werden. Rather, it would be possible that at least some of the light sources when switching between lighting geometries switch between different finite light levels and are switched forth. Dies begrenzt den Hub der Veränderung des Helligkeitswerts und schafft damit einen Grund-Helligkeitswert, der die Wahrnehmung des Flackerns begrenzt. This limits the travel of the change in the brightness value, resulting in a basic brightness that limits the perception of flicker.
  • In weiteren Beispielen könnte der Grund-Helligkeitswert durch Betreiben von ein oder mehreren im Hellfeld der Detektorapertur angeordneten Lichtquellen bei einer konstanten Lichtstärke erreicht werden. In other examples, the basic brightness value could be achieved at a constant luminous intensity by operating one or several arranged in the bright field of the detector aperture light sources. In einem solchen Bild kann eine Referenz-Beleuchtungsgeometrie verwendet werden, um einen Einfluss dieser bei konstanter Lichtstärke betriebenen Lichtquellen auf die Bildgebung zu kompensieren. In such an image, a reference illumination geometry can be used to compensate for an influence of this driven at a constant luminous intensity light sources to the imaging.
  • Solche unterschiedlichen Ansätze zur Begrenzung der Wahrnehmung des Flackerns können miteinander kombiniert werden. Such different approaches to limiting the perception of flicker can be combined. Durch solche Techniken kann es möglich sein, die optische Vorrichtung mit einem offenen und damit leicht zugänglichen Probenhalter und Beleuchtungsmoduls auszustatten, ohne dass die Verwendung von mehreren Beleuchtungsgeometrien bei der Winkel-variablen Beleuchtung einen negativen Einfluss auf die Arbeitsumgebung aufweisen würde. By such techniques it may be possible to provide the optical device with an open and thus easily accessible sample holder and the lighting module without the use of multiple lighting geometries for the angle-variable illumination would have a negative influence on the working environment.
  • Das Flackern kann insbesondere dann besonders effizient reduziert werden, wenn zur Beleuchtung des Probenobjekts mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien der Winkel-variablen Beleuchtung und zur Schaffung des Grund-Helligkeitswert Licht derselben Farbe verwendet wird. The flicker can be more efficiently reduced in particular when the same color is used for illuminating the sample object by means of the plurality of illumination geometries of the angle-variable illumination and for the creation of the basic brightness light. Dies kann bedeuten, dass Licht verwendet wird, welches keinen oder nur einen vergleichsweise geringen spektralen Abstand aufweist, zB einen spektralen Abstand von nicht mehr als 100 nm, optional nicht mehr als 50 nm, weiter optional nicht mehr als 5 nm. Dadurch kann nämlich eine Unterscheidung der verschiedenen Lichtquellen durch den Benutzer vermieden werden, sodass das Flackern besonders effizient unterdrückt werden kann. This may mean that light is used which has no or has only a comparatively small spectral distance, for example a spectral distance of not more than 100 nm, optionally not more than 50 nm, further optionally not more than 5 nm. As a result, namely, a distinguish between the different light sources can be avoided by the user, so the flicker can be suppressed particularly effectively.
  • 1 1 illustriert ein beispielhaftes optisches System illustrates an exemplary optical system 100 100 . , Beispielsweise könnte das optische System For example, the optical system could 100 100 gemäß dem Beispiel der according to the example of 1 1 ein Lichtmikroskop implementieren beispielsweise in Durchlichtgeometrie. an optical microscope for example, implement in transmitted light geometry. Ein solches Mikroskop könnte zur Phasenkontrast-Bildgebung verwendet werden. Such a microscope could be used for phase contrast imaging. In anderen Beispielen könnte das optische System In other examples, the optical system could 100 100 gemäß dem Beispiel der according to the example of 1 1 auch ein Lichtmikroskop implementieren, in Auflichtgeometrie. also implement an optical microscope in Auflichtgeometrie. Beispielsweise könnte ein entsprechendes Lichtmikroskop in Auflichtgeometrie zur Materialprüfung verwendet werden. For example, an appropriate light microscope could be used in Auflichtgeometrie for material testing. Dazu kann ein Höhenprofil des Probenobjekts erstellt werden. To a height profile of the sample object can be created.
  • Mittels des optischen Systems By means of the optical system 100 100 kann es möglich sein, kleine Strukturen eines von einem Probenhalter it may be possible, small structures is one of a sample holder 113 113 fixierten Probenobjekts vergrößert darzustellen. fixed specimens object enlarged display. Beispielsweise könnte das optische System For example, the optical system could 100 100 ein Weitfeldmikroskop implementieren, bei welchem eine Probe vollflächig beleuchtet wird. a wide-field microscope implement, in which a sample full surface illuminated. In manchen Beispielen kann die Detektionsoptik In some examples, the detection optics 112 112 ein Abbild des Probenobjekts auf einem Detektor an image of the sample object on a detector 114 114 erzeugen. produce. Der Detektor the detector 114 114 kann dann eingerichtet sein, um ein oder mehrere Bilder des Probenobjekts zu erfassen. can then be adapted to capture multiple images of the sample object on or off. Auch eine Betrachtung durch ein Okular ist denkbar. Also, observation by an ocular is conceivable.
  • Die Detektionsoptik The detection optics 112 112 weist eine Detektorapertur auf. has a detector aperture. Die Größe der Detektorapertur definiert, welche Lichtquellen eines Beleuchtungsmoduls The size of the detector aperture defines which light sources of a lighting module 111 111 im Hellfeld oder im Dunkelfeld angeordnet sind. are arranged in the bright field or dark field.
  • Das Beleuchtungsmodul The illumination module 111 111 ist eingerichtet, um das Probenobjekt, das auf dem Probenhalter is arranged around the sample object on the sample holder 113 113 fixiert ist, zu beleuchten. is fixed to light. Beispielsweise könnte diese Beleuchtung mittels der Köhler'schen Beleuchtung implementiert werden. For example, these lights could be implemented by the Kohler illumination. Dabei wird eine Kondensorlinse und eine Kondensor-Aperturblende verwendet. In this case, a condenser lens and a condenser aperture diaphragm is used. Dies führt zu einer besonders homogenen Intensitätsverteilung des zur Beleuchtung verwendeten Lichts in der Ebene des Probenobjekts. This leads to a particularly homogeneous intensity distribution of the light used for illumination in the plane of the sample object. Beispielsweise kann eine partiell inkohärente Beleuchtung implementiert werden. For example, a partially incoherent illumination can be implemented.
  • In dem Beispiel der In the example of 1 1 ist das Beleuchtungsmodul the lighting module 111 111 eingerichtet, um eine Winkel-variable Beleuchtung zu ermöglichen. arranged to allow an angular variable lighting. Dies bedeutet, dass mittels des Beleuchtungsmoduls This means that by means of the lighting module 111 111 unterschiedliche Beleuchtungsgeometrien des zur Beleuchtung des Probenobjekts verwendeten Lichts implementiert werden können. different lighting geometry of the light used to illuminate the sample object can be implemented. Die unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien können einer Beleuchtung des Probenobjekts aus unterschiedlichen Beleuchtungsrichtungen entsprechen. The different lighting geometries can correspond to a lighting of the sample object from different illumination directions.
  • Dabei sind in den verschiedenen hierin beschriebenen Beispielen unterschiedliche Hardware-Implementierungen möglich, um die unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien bereitzustellen. In this case, in the various examples described herein, different hardware implementations are possible to provide the different lighting geometries. Beispielsweise könnte das Beleuchtungsmodul For example, the lighting module 111 111 mehrere einstellbare Lichtquellen umfassen, die eingerichtet sind, um lokal Licht zu modifizieren und/oder zu erzeugen. comprise a plurality of adjustable light sources adapted to modify locally light and / or to produce.
  • Eine Steuerung a controller 115 115 kann das Beleuchtungsmodul can the lighting module 111 111 bzw. die Beleuchtungselemente zum Implementieren einer bestimmten Beleuchtungsgeometrie ansteuern. drive or the illumination elements to implement a specific illumination geometry. Beispielsweise könnten die Steuerung For example, could control 115 115 als Mikroprozessor oder Mikrocontroller implementiert sein. be implemented as a microprocessor or microcontroller. Alternativ oder zusätzlich könnte die Steuerung Alternatively or additionally, the controller could 115 115 beispielsweise einen FPGA oder ASIC umfassen. for example, a FPGA or ASIC. Die Steuerung The control 115 115 kann alternativ oder zusätzlich auch den Probenhalter alternatively or additionally, the sample holder 113 113 , die Abbildungsoptik , The imaging optics 112 112 , und / oder den Detektor And / or the detector 114 114 ansteuern. drive. In manchen Beispielen ist es möglich, dass die Steuerung In some examples, it is possible that the controller 115 115 in ein Gehäuse der optischen Vorrichtung in a housing of the optical device 100 100 integriert ist. is integrated. In anderen Beispielen wäre es aber auch möglich, dass die Steuerung but in other instances, it would also be possible that the controller 115 115 extern von der optischen Vorrichtung externally from the optical device 100 100 vorgesehen ist. is provided. Beispielsweise könnte die Steuerung For example, the control 115 115 durch ein entsprechendes Computerprogramm, das auf einem PC ausgeführt wird, implementiert sein. be implemented by an appropriate computer program that runs on a PC.
  • 2 2 illustriert Aspekte in Bezug auf das Beleuchtungsmodul illustrates aspects relating to the lighting module 111 111 . , In In 2 2 ist dargestellt, dass das Beleuchtungsmodul it is shown that the lighting module 111 111 eine Vielzahl von einstellbaren Lichtquellen a plurality of adjustable light sources 121-1 121-1 , . 121-2 121-2 in einer Matrixstruktur (Gitterstruktur mit quadratischer Einheitszelle) aufweist. having a matrix structure (grating structure with a square unit cell). Die Matrixstruktur ist dabei in einer Ebene senkrecht zum Strahlengang des Lichts orientiert (laterale Ebene; Ortsraumkoordinaten The matrix structure is in a plane perpendicular to the beam path of the light oriented (lateral plane; local spatial coordinates x x , y). , Y). Diese Ebene ist dem Probenhalter zugewendet (der Probenhalter ist in This plane is the sample holder facing (the sample holder is in 2 2 nicht dargestellt). not shown).
  • Anstatt einer Matrixstruktur wäre es in anderen Beispielen auch möglich, andere geometrische Anordnungen der einstellbaren Elemente zu verwenden, beispielsweise ringförmig, halbkreisförmig etc. Im Allgemeinen können die Lichtquellen Instead of a matrix structure it would be in other examples also possible to use other geometric configurations of the adjustable elements, for example annular, semicircular, etc. In general, the light sources 121-1 121-1 , . 121-2 121-2 also in einer Gitterstruktur angeordnet sein. be so arranged in a lattice structure.
  • In einem Beispiel könnten die einstellbaren Lichtquellen In one example, the adjustable light sources could 121-1 121-1 , . 121-2 121-2 als Leuchten, beispielsweise als Leuchtdioden, implementiert sein. be implemented as lights, for example, as light-emitting diodes. Dann wäre es zum Beispiel möglich, dass unterschiedliche Leuchtdioden mit unterschiedlicher Lichtstärke Licht zur Beleuchtung des Probenobjekts emittieren. Then it would be possible, for example, various types of light-emitting diodes emit light of different intensity light for illuminating the sample object. Dadurch kann eine Beleuchtungsgeometrie implementiert werden. This can be implemented a lighting geometry. In einer weiteren Implementierung könnte das Beleuchtungsmodul In another implementation, the lighting module could 111 111 als räumlicher Lichtmodulator (Engl., spatial light modulator, SLM) implementiert sein. as a spatial light modulator (Engl., SLM spatial light modulator) may be implemented. Der SLM kann ortsaufgelöst einen Eingriff in eine Kondensorpupille nehmen, was eine direkte Auswirkung auf die Bildgebung - zum Beispiel formalisiert mittels der TCC abgebildet - haben kann. The SLM can spatially resolved accept an intervention in a Kondensorpupille what a direct effect on imaging - can have - displayed formalized, for example by means of the TCC. Dabei können die unterschiedlichen Lichtquellen zB durch Mikrospiegel oder schaltbare lichtabsorbierende Moleküle implementiert sein. Here, for example, may be implemented by micromirrors or switchable light-absorbing molecules, the different light sources.
  • In In 2 2 ist auch die doppelte Detektorapertur is also twice the detector aperture 399 399 der Detektionsoptik the detection optics 114 114 dargestellt. shown. Diejenigen Lichtquellen Those light sources 121-1 121-1 , die innerhalb der doppelten Detektorapertur Which within the double detector aperture 399 399 - dh im Hellfeld - angeordnet sind, bilden die Hellfeld-Beleuchtung des Probenobjekts; - ie in the bright field - are arranged, forming the bright-field illumination of the sample object; diejenigen Lichtquellen those light sources 121-2 121-2 , die außerhalb der doppelten Detektorapertur That outside the double detector aperture 399 399 - dh im Dunkelfeld - angeordnet sind, bilden die Dunkelfeld-Beleuchtung des Probenobjekts. - ie in the dark field - are arranged, constituting the dark field illumination of the sample object.
  • 3 3 illustriert Aspekte in Bezug auf eine beispielhafte Beleuchtungsgeometrie illustrates aspects relating to an exemplary illumination geometry 300 300 . , In In 3 3 ist die bereitgestellte Lichtstärke is the provided light intensity 301 301 für die verschiedenen einstellbaren Lichtquellen for the various adjustable light sources 121 121 des Beleuchtungsmoduls the lighting module 111 111 entlang der Achse along the axis X X - - X' X ' aus out 2 2 dargestellt. shown. Die Beleuchtungsgeometrie The illumination geometry 300 300 ist durch eine Abhängigkeit der Lichtstärke is defined by a function of the light intensity 301 301 von der Position entlang der Achse from the position along the axis X X - - X' X ' - dh entsprechend durch eine Abhängigkeit der Lichtstärke - ie corresponding to by a function of the light intensity 301 301 vom Einfallswinkel auf das Probenobjekt - charakterisiert; characterized - by the angle of incidence on the sample object; deshalb wird eine Winkel-variable Beleuchtung durch die Beleuchtungsgeometrie therefore, a variable-angle illumination by the illumination geometry 300 300 bereitgestellt. provided.
  • Aufgrund des vergleichsweise geringen Einflusses der Dunkelfeld-Beleuchtung, ist die Beleuchtungsgeometrie Due to the relatively small influence of the dark-field illumination, the illumination geometry 300 300 typischerweise charakterisiert durch die Lichtstärke typically characterized by the light intensity 301 301 der Lichtquellen the light sources 121-1 121-1 , die die Hellfeld-Beleuchtung bilden. That form the bright-field illumination.
  • 4 4 illustriert Aspekte in Bezug auf komplementäre Beleuchtungsgeometrien illustrates aspects relating to complementary lighting geometries 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 , die im Zusammenhang mit der Winkel-variablen Beleuchtung verwendet werden können. That can be used in conjunction with the angle variable lighting. Dabei ist in It is in 4 4 ein Szenario dargestellt, in welchem jeweils lediglich Teile der Lichtquellen a scenario illustrated in each of which only parts of the light sources 121-1 121-1 des Beleuchtungsmodule the lighting modules 111 111 zur Beleuchtung mittels der Beleuchtungsgeometrien for illumination by means of illumination geometries 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 beitragen. contribute. Gleiche Schraffuren bezeichnen dabei gleiche Lichtstärken. Same hatching denote identical light intensities.
  • In dem Beispiel der In the example of 4 4 wurde ein großes Flackern beobachtet. a large flicker was observed. Dies kommt daher, dass die Beleuchtungsgeometrie Therefore, this is because the illumination geometry 300-1 300-1 voll komplementär zur Beleuchtungsgeometrie fully complementary to the illumination geometry 300-2 300-2 ist. is. Es gibt insbesondere keine Lichtquellen There is no particular light sources 121-1 121-1 , . 121-2 121-2 , die sowohl während des Beleuchtens des Probenobjekts mittels der Beleuchtungsgeometrie That during both of illuminating the sample object by means of the illumination geometry 300-1 300-1 , als auch während des Beleuchtens des Probenobjekts mittels der Beleuchtungsgeometrie As well as during illumination of the sample object by means of the illumination geometry 300-2 300-2 angeschaltet werden. are turned on. Dadurch ist der Grund-Helligkeitswert gleich null. Thus, the basic brightness value is zero. Das Umschalten zwischen den Beleuchtungsgeometrien The switching between the lighting geometries 300-1 300-1 , . 300-1 300-1 verursacht eine starke Schwankung des Helligkeitswerts im Umfeld der optischen Vorrichtung causes a strong variation of the brightness value in the vicinity of the optical device 100 100 . ,
  • 5 5 illustriert Aspekte in Bezug auf Beleuchtungsgeometrien illustrates aspects relating to lighting geometries 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 die im Zusammenhang mit der Winkel-variablen Beleuchtung verwendet werden können. which can be used in conjunction with the angle variable lighting. Die Beleuchtungsgeometrien The lighting geometries 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 sind in den Szenarien der are in the scenarios of 4 4 und and 5 5 identisch, denn im Hellfeld werden dieselben halbkreisförmigen Muster zur Beleuchtung verwendet. identical, because in bright field, the same semi-circular patterns are used for illumination.
  • 5 5 illustriert insbesondere Aspekte in Bezug auf die Flacker-Reduktion mittels einer kontinuierlichen Beleuchtung durch im Dunkelfeld angeordnete Lichtquellen illustrates particular aspects relating to the flicker reduction by means of a continuous illumination by disposed in the dark field light sources 121-2 121-2 . ,
  • Während die Lichtquellen While the light sources 121-1 121-1 im Hellfeld die Beleuchtungsgeometrien in bright field illumination geometries 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 umsetzen, werden implement, be 5 5 weiterhin Lichtquellen further light sources 121-2 121-2 im Dunkelfeld verwendet, um mittels einer kontinuierlichen Beleuchtung einen Grund-Helligkeitswert bereit zu stellen. used in the dark field in order to provide means of a continuous lighting a basic brightness value. Dadurch wird das Flackern reduziert. This flickering is reduced.
  • Aus Out 5 5 ist ersichtlich, dass diejenigen Lichtquellen It can be seen that those light sources 121-2 121-2 , die im Dunkelfeld angeordnet sind, während des Beleuchtens mit den Beleuchtungsgeometrien Which are disposed in the dark field, during illumination with the lighting geometries 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 durchgängig angeschaltet sind und damit den konstanten Grund-Helligkeitswert schaffen. are continuously connected and thus create the constant basic brightness value. Dies bedeutet, dass diese im Dunkelfeld der Detektorapertur angeordneten Lichtquellen This means that this is arranged in the dark field of the detector aperture light sources 121-2 121-2 des Beleuchtungsmoduls the lighting module 111 111 nicht oder nur vergleichsweise langsam an- und ausgeschaltet werden. or only relatively slowly switched on and off. Damit implementieren diese im Dunkelfeld der Detektorapertur angeordneten Lichtquellen In order to implement these arranged in a dark field detector aperture of light sources 121-2 121-2 die kontinuierliche Beleuchtung. the continuous lighting.
  • In dem Beispiel der In the example of 5 5 werden also die Lichtquellen So are the light sources 121-1 121-1 , . 121-2 121-2 des Beleuchtungsmoduls the lighting module 111 111 sowohl für die Beleuchtung des Probenobjekts mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien der Winkel-variablen Beleuchtung verwendet, als auch für das Implementieren der kontinuierlichen Beleuchtung. used both for the illumination of the sample object by means of the plurality of illumination geometries of the angle-variable illumination, and for implementing the continuous lighting. Beispielsweise könnten die Lichtquellen For example, could the light sources 121-1 121-1 des Beleuchtungsmoduls the lighting module 111 111 , die die Beleuchtung des Probenobjekts mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien der Winkel-variablen Beleuchtung bereitstellen, als auch die Lichtquellen Providing the illumination of the sample object by means of the plurality of illumination geometries of the angle-variable illumination, and the light sources 121-2 121-2 des Beleuchtungsmoduls the lighting module 111 111 , die die kontinuierliche Beleuchtung des Probenobjekts bereitstellen, in einer gemeinsamen Gitterstruktur auf einer entsprechenden dem Probenhalter zu gewendeten Fläche des Beleuchtungsmoduls That provide continuous illumination of the sample object, in a common grid structure on a corresponding said sample holder to-turned surface of the lighting module 111 111 angeordnet sein (vergleiche be arranged (see 2 2 ): zB könnten die Lichtquellen ): For example, could the light sources 121-2 121-2 in einem oder mehreren äußeren Ringen einer Ring-Gitterstruktur angeordnet sein, während die Lichtquellen be arranged in one or more outer rings of a ring-lattice structure, while the light sources 121-1 121-1 in einem oder mehreren inneren Ringen einer Ring-Gitterstruktur angeordnet sein könnten. could be arranged in one or more inner rings of a ring-lattice structure. Dabei erfolgt eine räumliche Trennung des Lichts der verschiedenen Lichtquellen In this takes place, a spatial separation of light from the different light sources 121-1 121-1 , . 121-2 121-2 durch die Detektorapertur through the detector aperture 399 399 nach Auftreffen des Lichts auf das Probenobjekt. upon incidence of light on the sample object. Dies ermöglicht eine Reduktion des Flackerns mit einem herkömmlichen Beleuchtungsmodul, beispielsweise einem Beleuchtungsmodul wie es aus der This allows a reduction of the flicker with a conventional lighting module, such as a lighting module as from the deutschen Patentanmeldung 10 2016 116 311.2 German patent application 10 2016 116 311.2 bekannt ist. is known. Es ist insbesondere nicht erforderlich, zusätzliche Hardware vorzusehen. It is not particularly necessary to provide additional hardware. Außerdem kann das Flackern besonders effizient reduziert werden, weil die Lichtquellen, die die kontinuierliche Beleuchtung bereitstellen, nahe bei den Lichtquellen angeordnet sind, die zur Implementierung der verschiedenen Beleuchtungsgeometrien verwendet werden. In addition, the flicker can be very efficiently reduced because the light sources that provide continuous lighting, are arranged close to the light sources that are used to implement the different lighting geometries. Dies bedeutet, dass im wesentlichen gleiche Bereiche durch die verschiedenen Lichtquellen beleuchtet werden und damit der Grund-Helligkeitswert auch örtlich überlappend mit dem durch die Verwendung der unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien modulierten Helligkeitswert bereitgestellt wird. This means that are substantially equal areas illuminated by the different light sources and thus the basic brightness value is also provided locally overlapping with the modulated through the use of different lighting geometries brightness value.
  • Zum Beispiel könnten die Beleuchtungsgeometrien For example, the lighting geometries could 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 gemäß dem Beispiel nach according to the example 5 5 dazu verwendet werden, um ein Ergebnisbild zu erzeugen, welches das beleuchtete Probenobjekt mit einem Phasenkontrast abbildet. be used to generate a result image, which images the illuminated sample object with a phase contrast. Dazu könnte für jede Beleuchtungsgeometrie This could for each illumination geometry 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 jeweils ein Bild des Probenobjekts mittels des Detektors in each case an image of the sample object by means of the detector 114 114 erfasst werden, und dann basierend auf diesen zwei Bildern ein Ergebnisbild bestimmt werden. are recognized and are then determined based on these two images a resulting image. Das Ergebnisbild kann durch Kombination der beiden Bilder bestimmt werden, etwa gemäß der folgenden Gleichung: The resulting image can be determined by combination of the two images, for example according to the following equation: I I 1 1 - I I 2 2 I I 1 1 + + I I 2 2 , .
    Figure DE102017115658A1_0001
    wobei hier I 1 das Bild bei Beleuchtung mittels der Beleuchtungsgeometrie wherein I 1 here the image when illuminated by the illumination geometry 300-1 300-1 bezeichnet und I 2 das Bild bei Beleuchtung mittels der Beleuchtungsgeometrie and I 2 denotes the image when illuminated by the illumination geometry 300-2 300-2 bezeichnet. designated. Entsprechende Techniken sind im Grundsatz bekannt aus Corresponding techniques are known in principle from DE 10 2014 112 242 A1 DE 10 2014 112 242 A1 . , Weitere Techniken zum Bestimmen eines Bilds mit Phasenkontrast sind zB beschrieben in der Other techniques for determining an image with phase contrast are described, for example in the deutschen Patentanmeldung 10 2017 108 873.3 German patent application 10 2017 108 873.3 . , Es könnte auch ein Höhenprofil eines Probenobjekts bestimmt werden, siehe It could also be determined a height profile of a sample object, see deutsche Patentanmeldung 10 2017 108 874.1 German patent application 10 2017 108 874.1 . ,
  • 6 6 illustriert Aspekte in Bezug auf Beleuchtungsgeometrien illustrates aspects relating to lighting geometries 300-3 300-3 , . 300-4 300-4 , die im Zusammenhang mit der Winkel-variablen Beleuchtung verwendet werden können. That can be used in conjunction with the angle variable lighting.
  • Das Beispiel der The example of 6 6 entspricht dabei grundsätzlich dem Beispiel der this basically corresponds to the example of 5 5 . , Jedoch werden anstatt halbkreisförmigen Beleuchtungsgeometrien But are instead semicircular lighting geometries 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 linienförmige Beleuchtungsgeometrien linear illumination geometries 300-3 300-3 , . 300-4 300-4 verwendet. used. Dies bedeutet, das eine geringere Anzahl von Lichtquellen This means that a smaller number of light sources 121-1 121-1 innerhalb der Detektorapertur within the detector aperture 399 399 an- und ausgeschaltet wird. turned on and off.
  • 6 6 illustriert insbesondere Aspekte in Bezug auf die Flacker-Reduktion mittels einer kontinuierlichen Beleuchtung durch im Dunkelfeld angeordnete Lichtquellen illustrates particular aspects relating to the flicker reduction by means of a continuous illumination by disposed in the dark field light sources 121-2 121-2 . ,
  • Zum Beispiel könnten die Beleuchtungsgeometrien For example, the lighting geometries could 300-3 300-3 , . 300-4 300-4 gemäß dem Beispiel der according to the example of 6 6 für eine Autofokus-Anwendung verwendet werden. be used for an auto-focus application. Dazu kann eine Verschiebung der Abbildung des Probenobjekts zwischen Bildern, die bei der Beleuchtungsgeometrie This can shift the image of the sample object between images in the illumination geometry 300-3 300-3 und bei der Beleuchtungsgeometrie and the illumination geometry 300-4 300-4 , betrachtet werden. , to be viewed as. Diese Verschiebung kann proportional zur Defokussierung sein. This shift can be proportional to the defocusing. Aus der Kenntnis des Abstands der Linien der Beleuchtungsgeometrien From a knowledge of the spacing of the lines of the illumination geometries 300-3 300-3 , . 300-4 300-4 voneinander bzw. von der optischen Achse kann die Defokussierung auch quantitativ bestimmt werden. from each other and from the optical axis is the defocus can be determined quantitatively. Entsprechende Techniken sind zB in Corresponding techniques are described eg in DE10 2014 109 687 A1 DE10 2014 109 687 A1 beschrieben. described.
  • 7 7 und and 8 8th illustrieren Aspekte in Bezug auf Helligkeitswerte illustrate aspects in terms of brightness values 181 181 , . 182 182 , die mit der Winkel-variablen Beleuchtung im Hellfeld einerseits und mit der kontinuierlichen Beleuchtung im Dunkelfeld andererseits gemäß den Beispielen der Associated with the variable-angle illumination in the bright field on the one hand and with the continuous lighting in the dark field on the other hand according to the examples of the 5 5 und and 6 6 assoziiert sind. are associated. Beispielsweise ist in For example, in 7 7 der Grund-Helligkeitswert the basic brightness value 181 181 dargestellt, der im Szenario der shown that in the scenario of 5 5 durch die kontinuierliche Beleuchtung mittels der Lichtquellen by the continuous illumination by the light sources 121-2 121-2 , die außerhalb der doppelten Detektorapertur That outside the double detector aperture 399 399 angeordnet sind, erzielt wird. are arranged, is obtained. Außerdem ist in Moreover, in 7 7 auch der Helligkeitswert also the brightness value 182 182 angegeben, der durch die halbkreisförmigen Beleuchtungsgeometrien der Lichtquellen indicated by the semi-circular geometries illumination of the light sources 121-1 121-1 , die innerhalb der doppelten Detektorapertur Which within the double detector aperture 399 399 angeordnet sind, gemäß dem Szenario der are arranged, according to the scenario of 5 5 erzielt wird. is achieved. Die Modulation des Grund-Helligkeitswerts The modulation of the basic brightness value 181 181 durch das Umschalten zwischen den Beleuchtungsgeometrien by switching between the lighting geometries 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 beträgt dabei ca. 25 %. amounts to about 25%.
  • Beispielsweise wäre es möglich, dass die Lichtquellen For example, it is possible that the light sources 121-2 121-2 , die die kontinuierliche Beleuchtung bereitstellen, derart angesteuert werden, dass ein solches Verhältnis zwischen den Helligkeitswerten Providing continuous lighting, are driven such that such a relationship between the brightness values 181 181 , . 182 182 erzielt wird. is achieved. Beispiel könnte also der Grund-Helligkeitswert So for example could be the reason brightness value 181 181 basierend auf dem Helligkeitswert based on the brightness value 182 182 der verschiedenen Beleuchtungsgeometrien the different lighting geometries 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 implementiert werden. be implemented. Es könnte zum Beispiel ein entsprechender Regelkreis implementiert werden, der einen Helligkeitssensor, beispielsweise eine Fotodiode, umfasst und das Verhältnis zwischen den Helligkeitswerten for example, it could be implemented, a corresponding control loop, which includes a brightness sensor, for example a photodiode, and the ratio between the brightness values 181 181 , . 182 182 als Soll-Größe berücksichtigt und die Lichtstärke, mit der jede der Lichtquellen considered as the target size and the light intensity, with each of said light sources 121-2 121-2 Licht aussendet, und/oder die Anzahl der Lichtquellen Emits light, and / or the number of light sources 121-2 121-2 als Stell-Größe berücksichtigt. considered as adjusting size. In anderen Beispielen könnte aber auch der Helligkeitswert In other examples, but could also be the brightness value 182 182 durch eine vorgegebene Steuertabelle bestimmt werden, zB in Abhängigkeit der verwendeten Beleuchtungsgeometrie und/oder der Lichtstärken, mit denen die verschiedenen Lichtquellen be determined by a given control table, for example in dependence of the illumination geometry used and / or the light intensity with which the various light sources 121-1 121-1 Licht aussenden. Emit light.
  • Entsprechend wird ein solches Verhältnis von 25 % zwischen dem Helligkeitswert Accordingly, such ratio of 25% between the brightness value 182 182 und dem Helligkeitswert and the brightness value 181 181 auch in dem Szenario der in the scenario of 8 8th beibehalten, wie in maintained as in 8 8th dargestellt. shown. Dabei ist der Helligkeitswert Here, the brightness value 182 182 in in 8 8th absolut kleiner als der Helligkeitswert absolutely smaller than the brightness value 182 182 in in 7 7 , weil in dem Szenario der Because in the scenario of 6 6 eine linienförmige Beleuchtung der Lichtquellen a linear illumination of the light sources 121-1 121-1 als Beleuchtungsgeometrien as illumination geometries 300-3 300-3 , . 300-4 300-4 verwendet wird, in dem Szenario der is used in the scenario of 5 5 aber eine halbkreisförmige Beleuchtung der Lichtquellen but a semi-circular illumination of the light sources 121-1 121-1 als Beleuchtungsgeometrien as illumination geometries 300-1 300-1 , . 300-2 300-2 verwendet wird. is used.
  • Durch ein solches Bestimmen des Grund-Helligkeitswert Through such a determination of the basic brightness value 181 181 in Abhängigkeit der Helligkeitswerte in dependence of the brightness values 182 182 der verschiedenen Beleuchtungsgeometrien kann eine Exposition der Probe mit Licht reduziert werden. the various lighting geometries can be reduced with a light exposure of the sample. Bleichen oder fototoxische Effekte können vermieden werden. Bleaching or phototoxic effects can be avoided. Gleichzeitig kann das Flackern aber effizient reduziert werden. At the same time the flicker can be effectively reduced.
  • In manchen Beispielen könnte beim Bestimmen des Grund-Helligkeitswert In some examples in determining could the basic brightness value 181 181 auch eine Umgebungshelligkeit berücksichtigt werden, dh der Helligkeitswert in der Umgebung, der nicht auf das Beleuchten mittels der Beleuchtungsgeometrien zurückzuführen ist. a surrounding brightness into account, ie the brightness value in the area, which is not due to the illumination means of the illumination geometries. Dazu kann beispielsweise ein Sensor vorgesehen sein, der an der optischen Vorrichtung For this purpose a sensor may be provided for example, the optical device at the 100 100 - beispielsweise am Probenhalter, am Stativ oder in der Nähe des Beleuchtungsmoduls - for example, the sample holder on the stand or in the vicinity of the lighting module 111 111 - angeordnet ist. - is arranged. Dies beruht auf der Erkenntnis, dass auch die Umgebungshelligkeit die Wahrnehmung des Flackerns beeinflusst. This is based on the realization that the ambient light influences the perception of flicker.
  • 9 9 illustriert Aspekte in Bezug auf Beleuchtungsgeometrien illustrates aspects relating to lighting geometries 300-5 300-5 , . 300-6 300-6 die im Zusammenhang mit der Winkel-variablen Beleuchtung verwendet werden können. which can be used in conjunction with the angle variable lighting. In dem Beispiel der In the example of 9 9 werden auch halbkreisförmige Beleuchtungsgeometrien also semicircular lighting geometries 300-5 300-5 , . 300-6 300-6 eingesetzt, wobei Lichtquellen used, said light sources 121-1 121-1 im Hellfeld gedimmt zur Schaffung eines Grund-Helligkeitswerts verwendet werden. be dimmed in bright field used to provide a basic brightness value.
  • 9 9 . , illustriert also insbesondere Aspekte in Bezug auf die Flacker-Reduktion mittels einer Modulation der Lichtstärke von im Hellfeld angeordnete Lichtquellen thus illustrates particular aspects relating to the flicker reduction by means of a modulation of the light intensity of arranged in the bright field light source 121-1 121-1 zwischen Lichtstärken größer null. between light intensities greater than zero.
  • Aus Out 9 9 ist ersichtlich, dass die verschiedenen Lichtquellen It can be seen that the different light sources 121-1 121-1 im Hellfeld bei beiden Beleuchtungsgeometrien in bright field illumination for both geometries 300-5 300-5 , . 300-6 300-6 mit einer Lichtstärke betrieben werden, die größer als null ist. be operated with a light intensity which is greater than zero. Beispielsweise werden bei der Beleuchtungsgeometrie For example, in the illumination geometry 300-5 300-5 die im linken Halbkreis befindlichen Lichtquellen the light sources present in the left semicircle 121-1 121-1 bei einer ersten Lichtstärke betrieben (Schraffuren von unten links nach oben rechts) und die im rechten Halbkreis befindlichen Lichtquellen operated at a first light intensity (hatching from bottom left to top right), the light sources and located in the right semicircle 121-1 121-1 bei einer zweiten Lichtstärke betrieben (Schraffuren von oben links nach unten rechts); operated at a second light intensity (hatching from top left to bottom right); hingegen werden bei der Beleuchtungsgeometrie however, are in the illumination geometry 300-6 300-6 die im linken Halbkreis befindlichen Lichtquellen the light sources present in the left semicircle 121-1 121-1 bei der zweiten Lichtstärke betrieben und die im rechten Halbkreis befindlichen Lichtquellen operated at the second light intensity and the light sources located in the right semicircle 121-1 121-1 bei der ersten Lichtstärke betrieben. operated at the first light intensity. Im Allgemeinen könnten auch vier unterschiedliche Lichtstärken verwendet werden. In general, four different light intensities could be used. Die örtliche Variation der Helligkeitswerte The local variation of the brightness values 182 182 , . 183 183 ist dann bei Umschalten zwischen den verschiedenen Beleuchtungsgeometrien is then at switching between the different lighting geometries 300-5 300-5 , . 300-6 300-6 vergleichsweise gering und damit wir die Wahrnehmung des Flackerns reduziert. relatively low, we reduced the perception of flicker.
  • ZB ließe sich in diesem Beispiel das Ergebnisbild mit Phasenkontrast bestimmen zu: For example, the resulting image with phase contrast could be determined to be in this example: ( ( 1 1 + + x x ) ) ( ( I I 1 1 - I I 2 2 ) ) ( ( 1 1 - x x ) ) ( ( I I 1 1 + + I I 2 2 ) ) , .
    Figure DE102017115658A1_0002
    wobei in which x x dem Verhältnis zwischen den Helligkeitswerten the ratio between the brightness values 182 182 , . 183 183 entspricht und 0<x<1 gilt. equal and 0 <x <1.
  • 10 10 entspricht grundsätzlich is basically 9 9 , wobei in Wherein in 10 10 noch eine Beleuchtungsgeometrie another illumination geometry 300-7 300-7 verwendet wird. is used. Auch für die Beleuchtungsgeometrien Including lighting geometries 300-7 300-7 kann ein Bild des Probenobjekts erfasst werden. can be detected in an image of the sample object. In diesem Beispiel kann das Ergebnisbild mit Phasenkontrast gemäß folgender Gleichung bestimmt werden: In this example, the resulting image can be determined by phase contrast according to the following equation: ( ( I I 1 1 - α α I I 3 3 ) ) - ( ( I I 2 2 - α α I I 3 3 ) ) ( ( I I 1 1 - α α I I 3 3 ) ) + + ( ( I I 2 2 - α α I I 3 3 ) )
    Figure DE102017115658A1_0003
  • Dabei bezeichnet α den Helligkeitswert Here, α denotes the brightness value 184 184 , der mit der Beleuchtungsgeometrie That the illumination geometry 300-7 300-7 assoziiert ist. is associated. Aus Gl. From Eq. 3 ist ersichtlich, dass die Beleuchtungsgeometrie 3 it can be seen that the illumination geometry 300-7 300-7 als Referenz-Beleuchtungsgeometrie dient, wobei Serves as a reference illumination geometry wherein I1 I1 und and I2 I2 durch Differenzbildung mit αI 3 korrigiert werden. be corrected by difference with .alpha..sub.i. 3 Es werden dadurch Differenzbilder I 1 - α · I 3 sowie I 2 - α · I 3 erhalten. There are characterized difference images I 1 - α · I 3 and I 2 - obtained α · I. 3
  • Auch in den Beispielen der Also in the examples of 9 9 und and 10 10 könnten die Lichtquellen could the light sources 121-2 121-2 zur Bereitstellung einer kontinuierlichen Beleuchtung verwendet werden (in be used to provide continuous illumination (in 9 9 und and 10 10 nicht illustriert). not illustrated).
  • In den Beispielen der In the examples of 9 9 und and 10 10 werden 100 % aller Lichtquellen 100% of all light sources 121-1 121-1 im Hellfeld bei allen Beleuchtungsgeometrien in bright field illumination for all geometries 300-5 300-5 , . 300-6 300-6 , . 300-7 300-7 bei Lichtstärken größer als null betrieben. operated at greater than zero light intensities. Deshalb wird das Flackern besonders gut reduziert. Therefore, the flicker is particularly reduced.
  • Es ist nicht immer notwendig, dass 100 % aller Lichtquellen It is not always necessary that 100% of all light sources 121-1 121-1 im Hellfeld durchgängig bei einer Lichtstärke von größer als null betrieben werden, um eine Reduktion des Flackerns zu erzielen. be operated in bright field throughout at a light intensity of greater than zero, in order to achieve a reduction of flicker. Dies ist im Zusammengang mit den Beispielen der This is in conjunction with the examples of the transition 11 11 und and 12 12 dargestellt. shown.
  • 11 11 illustriert Aspekte in Bezug auf Beleuchtungsgeometrien illustrates aspects relating to lighting geometries 300-3 300-3 , . 300-4 300-4 , die im Zusammenhang mit der Winkel-variablen Beleuchtung verwendet werden können. That can be used in conjunction with the angle variable lighting. In In 11 11 werden zwei linienförmige Beleuchtungsgeometrien two linear illumination geometries 300-3 300-3 , . 300-4 300-4 verwendet, wobei die Beleuchtungslinien gleiche Abstände zur optischen Achse (im Zentrum der Detektorapertur used, whereby the illumination lines equal distances (to the optical axis in the center of the detector aperture 399 399 und senkrecht zur Zeichenebene, jedoch nicht dargestellt) aufweisen. and perpendicular to the plane of the drawing, but not shown). Solche Beleuchtungsgeometrien können insbesondere im Zusammenhang mit Autofokus-Anwendungen besonders erstrebenswert sein. Such illumination geometries can in particular be particularly desirable in connection with auto focus applications.
  • Im Zusammenhang mit den Beleuchtungsgeometrien In connection with the lighting geometries 300-3 300-3 , . 300-4 300-4 , die in , in the 11 11 dargestellt sind, wurde auch ein erhöhtes Flackern beobachtet. are shown at an increased flicker was also observed. Um dieses Flackern zu reduzieren, können Beleuchtungsgeometrien To reduce the flickering illumination geometries 300-8 300-8 - - 300-10 300-10 gemäß dem Beispiel der according to the example of 12 12 verwendet werden. be used. Optional könnte auch eine kontinuierliche Beleuchtung durch die Lichtquellen Optionally, a continuous lighting could by the light sources 121-2 121-2 bereitgestellt werden (cf. are provided (cf. 6 6 ). ).
  • 12 12 illustriert Aspekte in Bezug auf Beleuchtungsgeometrien illustrates aspects relating to lighting geometries 300-8 300-8 , . 300-9 300-9 , 300-10, die im Zusammenhang mit der Winkel-variablen Beleuchtung verwendet werden können. , 300-10, which can be used in conjunction with the angle variable lighting. In dem Beispiel der In the example of 12 12 wird eine Beleuchtungsgeometrie is an illumination geometry 300-8 300-8 verwendet, die im Hellfeld invers zu der Beleuchtungsgeometrie used in the bright field inverse to the illumination geometry 300-3 300-3 gemäß dem Beispiel der according to the example of 11 11 ist; is; entsprechend wird in dem Beispiel der Accordingly, in the example of 12 12 auch eine Beleuchtungsgeometrie a lighting geometry 300-9 300-9 verwendet, die im Hellfeld invers zu der Beleuchtungsgeometrie used in the bright field inverse to the illumination geometry 300-4 300-4 gemäß dem Beispiel der according to the example of 11 11 ist. is.
  • Dies bedeutet, dass im allgemeinen eine Teilmenge der Vielzahl von Lichtquellen This means that in general a subset of the plurality of light sources 121-1 121-1 im Hellfeld der Detektorapertur in the bright field detector aperture 399 399 bei zumindest zwei der Vielzahl von verwendeten Beleuchtungsgeometrien bei einer konstanten Lichtstärke, die verschieden von null ist, betrieben wird. is operated at at least two of the plurality of illumination geometries used at a constant light intensity, which is different from zero. In dem Beispiel der In the example of 12 12 werden beispielsweise alle Lichtquellen For example, all light sources 121-1 121-1 im Hellfeld, die nicht auf eine der beiden Beleuchtungslinien fallen, bei einer konstanten Lichtstärke betrieben. operated in the bright field which does not fall on one of the two illumination lines, at a constant light intensity. Dadurch wird der Grund-Helligkeitswert geschaffen, der die Wahrnehmung des Flackerns reduziert. Thus, the basic brightness value is created that reduces the perception of flicker.
  • Beispielsweise kann durch Differenzbildung zwischen einem bei Beleuchtung mittels der Referenz-Beleuchtungsgeometrie For example, by forming the difference between one with illumination of the reference illumination geometry 300-10 300-10 erfassten Bild und einem bei Beleuchtung mittels der Beleuchtungsgeometrie captured image and when illuminated by the illumination geometry 300-8 300-8 erfassten Bild ein Differenzbild erhalten werden, welches der Beleuchtung des Probenobjekts mittels der linienförmigen Beleuchtungsgeometrie captured image a difference image are obtained, which the illumination of the sample object by means of the line-shaped illumination geometry 300-3 300-3 entspricht. equivalent. Entsprechend kann durch Differenzbildung zwischen einem bei Beleuchtung mittels der Referenz-Beleuchtungsgeometrie Accordingly, by forming the difference between one with illumination of the reference illumination geometry 300-10 300-10 erfassten Bild und einem bei Beleuchtung mittels der Beleuchtungsgeometrie captured image and when illuminated by the illumination geometry 300-9 300-9 erfassten Bild ein Differenzbild erhalten werden, welches der Beleuchtung des Probenobjekts mittels der linienförmigen Beleuchtungsgeometrie captured image a difference image are obtained, which the illumination of the sample object by means of the line-shaped illumination geometry 300-4 300-4 entspricht. equivalent. Durch eine solche Vorverarbeitung der Bilder können dann basierend auf entsprechenden Differenzbildern etablierte Autofokus-Techniken, wie sie beispielsweise in By such pre-processing of images can then based on established corresponding difference images autofocus techniques such as those described in DE 10 2014 109 687 A1 DE 10 2014 109 687 A1 beschrieben sind, eingesetzt werden. are described, be used.
  • Dabei kann es in solchen Techniken erstrebenswert sein, dass die Teilmenge der Lichtquellen It may be desirable in such techniques is that the subset of light sources 121-1 121-1 im Hellfeld, die eine konstante Lichtstärke verschieden von null bei den verschiedenen Beleuchtungsgeometrien aufweisen und damit einen Grund-Helligkeitswert bereitstellen, vergleichsweise groß dimensioniert ist. in the bright field, having a constant light intensity different from zero at the different lighting geometries and thus provide a basic brightness value is comparatively large sized. Beispielsweise könnte die Teilmenge nicht weniger als 50 % aller Lichtquellen innerhalb des Hellfelds umfassen, optional nicht weniger als 75 %, weiter optional nicht weniger als 90 %, weiter optional nicht weniger als 95 %, weiter optional nicht weniger als 100 %. For example, the subset may comprise not less than 50% of all light sources within the light field, optionally not less than 75%, further optionally not less than 90%, further optionally not less than 95%, further optionally not less than 100%. Um eine kontinuierliche Beleuchtung zu erzielen, kann es erstrebenswert sein, dass diese Lichtquellen der Teilmenge bei allen verwendeten Beleuchtungsgeometrien mit der konstanten Lichtstärke betrieben werden. In order to achieve continuous lighting, it may be desirable that these light sources the subset used for all illumination geometries with constant light intensity can be operated.
  • In den verschiedenen voranstehend beschriebenen Beispielen können die Lichtquellen In the various examples described above, the light sources 121-1 121-1 , . 121-2 121-2 des Beleuchtungsmoduls the lighting module 111 111 dazu verwendet werden, um einen Grund-Helligkeitswert zu schaffen, der die Wahrnehmung des Flackerns reduziert. be used to create a basic brightness value that reduces the perception of flicker. Dabei kann der Grund-Helligkeitswert beispielsweise durch Ansteuern der Lichtquellen However, the basic brightness value, for example, by controlling the light sources 121-2 121-2 im Dunkelfeld implementiert werden oder auch durch geeignete Ausbildung der Beleuchtungsgeometrien, die durch die verwendeten Lichtstärken der Lichtquellen be implemented in the dark field or by suitable design of the illumination geometries that used by the luminous intensities of the light sources 121-1 121-1 im Hellfeld charakterisiert sind. are characterized in the bright field.
  • In anderen Beispielen wäre es aber auch möglich, anstatt von Lichtquellen but in other instances, it would also be possible, instead of light sources 121-1 121-1 , . 121-2 121-2 des Beleuchtungsmoduls the lighting module 111 111 , die hinzu dem Probenhalter beziehungsweise dem Probenobjekt orientiert sind, andere Lichtquellen zur Bereitstellung des Grund-Helligkeitswerts zu verwenden. Which are added based the sample holder or the sample object to use other light sources to provide the basic brightness value. Beispielsweise könnten Lichtquellen verwendet werden, die räumlich getrennt von den Lichtquellen For example, light sources may be used separately from the light sources 100 100 einem 20-1, a 20-1 121-2 121-2 angeordnet sind. are arranged. Es könnten sogar Lichtquellen verwendet werden, die nicht Teil der optischen Vorrichtung It could even light sources are used that are not part of the optical device 100 100 sind, sondern vielmehr Teil einer externen Vorrichtung, beispielsweise eines Projektors. are, but rather part of an external device such as a projector. Solche Beispiele sind in Bezug auf die Such examples are in relation to the 13 13 und and 14 14 dargestellt und beschrieben. shown and described.
  • 13 13 illustriert Aspekte in Bezug auf ein Beleuchtungsmodul illustrates aspects related to a lighting module 111 111 . , In dem Beispiel der In the example of 13 13 ist ein Szenario dargestellt, in welchem auf einer Seitenfläche des Beleuchtungsmoduls a scenario is illustrated in which on a side surface of the lighting module 111 111 Lichtquellen light sources 126 126 vorgesehen sind, die ein Umfeld des Probenobjekts mittels einer kontinuierlichen Beleuchtung beleuchten. are provided that illuminate an environment of the sample object by means of a continuous illumination. Dadurch kann der Grund-Helligkeitswert bereitgestellt werden, sodass das Flackern reduziert werden kann. Thus, the basic brightness value can be provided so that the flicker can be reduced.
  • Aus Out 13 13 ist ersichtlich, dass die Lichtquellen It can be seen that the light sources 121 121 , die zur Beleuchtung eines auf dem Probenhalter Which for illuminating a on the sample holder 113 113 angeordneten Probenobjekts dienen, auf einer dem Probenhalter zugewendeten Fläche des Beleuchtungsmoduls serve samples placed object on a surface facing the sample holder of the lighting module 111 111 - und damit räumlich getrennt von den Lichtquellen - and thus spatially separated from the light sources 126 126 - angeordnet sind. - are arranged. Durch wir durch die Orientierung und/oder Anordnung der Lichtquellen By going through the orientation and / or arrangement of light sources 121 121 , . 126 126 eine räumliche Trennung des entsprechenden Lichts erreicht, insbesondere bevor das Licht der Lichtquellen achieves a spatial separation of the corresponding light, in particular before the light of the light sources 126 126 auf das Probenobjekt auftrifft. impinges on the sample object. Dadurch kann eine Exposition des Probenobjekts mit Licht aus den Lichtquellen This allows exposure of the sample object with light from the light sources 126 126 vermieden werden. be avoided.
  • 14 14 illustriert Aspekte in Bezug auf einen Probenhaltern illustrates aspects relating to a sample holders 113 113 . , In dem Beispiel der In the example of 13 13 ist ein Szenario dargestellt, in welchem die Lichtquellen shows a scenario in which the light sources 126 126 vorgesehen sind, die ein Umfeld des Probenobjekts mittels kontinuierlicher Beleuchtung beleuchten. are provided that illuminate an environment of the sample object by means of continuous illumination. Dadurch kann der Grund-Helligkeitswert bereitgestellt werden, so dass Flackern reduziert werden kann. Thus, the basic brightness value can be provided so that flicker can be reduced.
  • Die Lichtquellen The light sources 126 126 sind auf dem Probenhalter are on the sample holder 123 123 angeordnet. arranged. Die Lichtquellen The light sources 126 126 sind eingerichtet, um Licht weg von einem auf dem Probenhalter angeordneten Probenobjekt auszusenden. are arranged to emit light away from a arranged on the sample holder sample object. Dadurch erfolgt wiederum durch die Anordnung und/oder Orientierung der Lichtquellen This results, in turn, by the arrangement and / or orientation of light sources 126 126 eine räumliche Trennung zwischen von den Lichtquellen a spatial separation between the light sources by 121 121 ausgesendetem Licht und von den Lichtquellen and light emitted from the light sources 126 126 ausgesendetem Licht durch die Orientierung der Lichtquellen light emitted by the orientation of the light sources 126 126 erreicht. reached. Dadurch kann eine Exposition des Probenobjekts mit Licht aus den Lichtquellen This allows exposure of the sample object with light from the light sources 106 106 und and 20 20 vermieden werden. be avoided.
  • In den Beispielen der In the examples of 13 13 und and 14 14 wurden Techniken beschrieben, um eine räumliche Trennung des Lichts, das zur Beleuchtung des Probenobjekts mittels unterschiedlicher Beleuchtungsgeometrien verwendet wird, und des Lichts, das zum Bereitstellen einer kontinuierlichen Beleuchtung verwendet wird, vor dem Auftreffen auf das Probenobjekt zu erzielen. described techniques to provide a spatial separation which is used for illuminating the sample object by means of different lighting geometries of the light, and is used to provide a continuous illumination of the light, prior to impinging on the sample object.
  • In diesen Techniken wurden die Lichtquellen In these techniques, the light sources 126 126 als Teil der optischen Vorrichtung as part of the optical device 100 100 vorgesehen. intended. In anderen Implementierungen wäre es auch möglich, dass die Lichtquellen, die eingerichtet sind, um das Licht zur kontinuierlichen Beleuchtung bereitzustellen, nicht in der optischen Vorrichtung In other implementations, it would also be possible that the light sources are arranged to provide the light to the continuous lighting, not in the optical device 100 100 angeordnet sind, sondern separat. are arranged, but separately. Beispielsweise wäre es möglich, dass eine gerichtete kontinuierliche Beleuchtung geeigneter Lichtquellen verwendet wird, zum Beispiel mit einem Projektor oder Laser. For example, it would be possible for a directional continuous illumination of suitable light sources is used, for example, to a projector or laser. Dann könnten selektiv ein oder mehrere Gegenstände im Umfeld der optischen Vorrichtung beleuchtet werden, um derart einen Grund-Helligkeitswert bereitzustellen, der das Flackern reduziert. Then one or more objects may be illuminated in the vicinity of the optical device to provide such a basic brightness value, which reduces the flicker selectively. Eine Exposition der Probe mit dem Licht wird durch die gerichtete Natur der Lichtquelle vermieden. Exposure of the sample to the light is avoided by the directional nature of the light source.
  • Beispielsweise könnte eine Außenfläche der optischen Vorrichtung beleuchtet werden. For example, an outer surface of the optical device could be illuminated. Zum Beispiel könnten Oberflächen des Stativs der optischen Vorrichtung beleuchtet werden. For example, surfaces of the tripod of the optical device could be illuminated. Dadurch kann eine Homogenisierung der Helligkeit erzielt werden. Can be achieved by homogenization of the brightness. Zum Beispiel könnten Mikro-Projektoren verwendet werden, die mehrere Lichtquellen mit einstellbaren Farben aufweisen. For example, micro-projectors could be used which have a plurality of light sources with adjustable colors. Dann wäre es möglich, dass die Farbe des von den Mikro-Projektoren ausgesendeten Lichts abgestimmt wird auf die Farbe des Lichts, das zur Beleuchtung des Probenobjekt mittels der verschiedenen Beleuchtungsgeometrien verwendet wird. Then it would be possible that the color of light emitted from the micro-projection light is matched to the color of the light used for illuminating the sample object by means of the various lighting geometries.
  • Voranstehend wurden verschiedene Beispiele beschrieben, bei denen eine räumliche Trennung zwischen Licht, welches zur Implementierung verschiedener Beleuchtungsgeometrien der Winkel-variablen Beleuchtung verwendet wird, und weiteren Licht, welches zum Bereitstellen einer kontinuierlichen Beleuchtung verwendet wird, erzielt wird. In the foregoing, several examples have been described in which a spatial separation between light which is used for implementing various lighting geometries of the angle-variable illumination, and which is used to provide a continuous illumination light further, is achieved. Beispielsweise kann die räumliche Trennung gemäß verschiedener Beispiele durch eine Detektorapertur implementiert werden, wobei das weitere Licht von Lichtquellen im Dunkelfeld der Detektorapertur ausgesendet wird. For example, the spatial separation according to various examples can be implemented through a detector aperture, the more light from light sources in the dark field of the detector aperture is emitted. Weitere Beispiele, die obenstehend beschrieben wurden, ermöglichen die räumliche Trennung durch die Orientierung und/oder Anordnung der Lichtquellen. Other examples that have been described above, the spatial separation provide by the orientation and / or arrangement of light sources. Beispielweise können Lichtquellen verwendet werden, die auf unterschiedlichen Flächen des Beleuchtungsmoduls angeordnet sind. For example, light sources may be used, which are arranged on different surfaces of the illumination module. Es könnte auch eine externe Lichtquelle zum Bereitstellen des weiteren Lichts verwendet werden, zum Beispiel im Zusammenhang mit einem Projektor. It could also be an external light source used to provide the other light, for example in connection with a projector. In manchen Beispielen, wäre es aber möglich, auf eine solche räumliche Trennung von Licht zu verzichten. In some examples, but it would be possible to dispense with such a spatial separation of light. Dies ist im Zusammenhang mit This is in connection with 15 15 illustriert. illustrated.
  • In In 15 15 ist das Spektrum von Licht is the spectrum of light 621 621 dargestellt, das von Lichtquellen illustrated, the light sources 121 121 auf einem Beleuchtungsmodule on a lighting modules 111 111 ausgesendet wird. is emitted. Diese Lichtquellen These light sources 121 121 auf dem Beleuchtungsmodule on the lighting modules 111 111 senden ferner Licht further emit light 622 622 aus. out. Beispielsweise könnten Doppelpixel-Leuchtdioden verwendet werden. For example, double-pixel light-emitting diodes could be used. Dies bedeutet, dass keine räumliche Trennung zwischen dem Licht This means that no physical separation between the light 621 621 und dem Licht and the light 622 622 vorliegt. is present.
  • Aus Out 15 15 ist jedoch ersichtlich, dass eine spektrale Trennung zwischen dem Licht However, it can be seen that a spectral separation between the light 621 621 und dem Licht and the light 622 622 vorliegt. is present. Insbesondere existiert ein Frequenz-Offset In particular, a frequency offset exists 651 651 zwischen einem Maximum der Intensität des Lichts between a maximum of the intensity of light 621 621 und einem Maximum der Intensität des Lichts and a maximum intensity of the light 622 622 . , Es ist möglich, dass dieser Frequenz-Offset It is possible that this frequency offset 651 651 vergleichsweise klein dimensioniert wird, beispielsweise so klein, dass das Licht is dimensioned comparatively small, for example, so small that the light 641 641 und das Licht and the light 642 642 die gleiche Farbe aufweisen - und damit vom menschlichen Auge nicht gut getrennt werden kann. the same color - and thus can not be well separated from the human eye. Beispielsweise könnte der Frequenz-Offset einer Wellenlängendifferenz von nicht mehr als 5 nm, optional von nicht mehr als 2 nm, weiter optional von nicht mehr als 1 nm entsprechen. For example, the frequency offset of a wavelength difference of not more than 5 nm, optionally not more than 2 nm, further correspond optionally of not more than 1 nm.
  • Das Licht The light 622 622 kann dabei die kontinuierliche Beleuchtung implementieren und das Licht can thereby implement the continuous lighting and the light 621 621 kann zur Implementierung unterschiedlicher Beleuchtungsgeometrien verwendet werden. can be used to implement various lighting geometries. Durch einen Bandpassfilter kann dann verhindert werden, dass das Licht that the light can then be prevented by a band-pass filter, 622 622 auf den Detektor on the detector 114 114 fällt. falls. Gleichzeitig kann das Licht At the same time, the light can 622 622 aber in eine Umgebung der optischen Vorrichtung but in a surrounding area of ​​the optical device 100 100 abstrahlen, sodass mittels des Lichts radiate, so that by means of the light 622 622 ein Grund-Helligkeitswert geschaffen wird, der zur Reduktion des Flackerns dient. a basic brightness value is created, which is used to reduce the flicker. In In 15 15 ist der Durchlassbereich is the passband 652 652 eines entsprechenden Bandpassfilters dargestellt. represented a corresponding bandpass filter. Dadurch wird die spektrale Trennung erreicht. Thus, the spectral separation is achieved.
  • 16 16 ist ein Flussdiagramm eines beispielhaften Verfahrens. is a flowchart of an exemplary method. Zunächst wird in Block First, in block 1001 1001 eine Vielzahl von ersten Lichtquellen angesteuert, um ein Probenobjekt mittels mehrerer Beleuchtungsgeometrien zu beleuchten. driven a plurality of first light sources to illuminate a sample object by a plurality of lighting geometries. Dadurch kann eine Winkel-variable Beleuchtung des Probenobjekts bereitgestellt werden. This can provide an angle-variable illumination of the sample object.
  • In Block in block 1002 1002 wird mindestens eine zweite Lichtquelle angesteuert, um das Probenobjekt oder ein Umfeld des Probenobjekts mittels einer kontinuierlichen Beleuchtung zu beleuchten. is driven at least a second light source for illuminating the sample object or an environment of the sample object by means of a continuous illumination. Dies ermöglicht das Schaffen eines Grund-Helligkeitswerts, sodass das Flackern, welches mit dem Umschalten zwischen den unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien assoziiert ist, vergleichsweise schwach wahrgenommen wird. This enables the provision of a basic brightness value so that flicker, which is associated with the switching between the different lighting geometries is relatively slightly perceived. Beispielsweise wäre es möglich, dass die kontinuierliche Beleuchtung durch Aussenden von Licht mittels der mindestens einen zweiten Lichtquelle bei einer konstanten Lichtstärke während des gesamten Durchführens von Block For example, it would be possible that the continuous lighting by emitting light by means of the at least one second light source at a constant light intensity over the entire performing block 1001 1001 umgesetzt wird. is implemented.
  • Wenn mittels der Vielzahl von ersten Lichtquellen das Probenobjekt beleuchtet wird und mittels der mindestens einen zweiten Lichtquelle das Umfeld des Probenobjekts beleuchtet wird (und nicht das Probenobjekt selber), kann eine räumliche Trennung des entsprechenden Lichts stattfinden. When the sample object is illuminated by means of the plurality of first light sources and by means of the at least one second light source, the environment of the sample object is illuminated (and not the sample object itself), a spatial separation of the corresponding light can take place. Es wäre auch möglich, dass eine räumliche Trennung des Lichts stattfindet, in dem sowohl die Vielzahl von ersten Lichtquellen, als auch die mindestens eine zweite Lichtquelle das Probenobjekt beleuchten, wobei jedoch die mindestens eine zweite Lichtquelle im Dunkelfeld einer Detektorapertur der Detektionsoptik angeordnet ist. It would also be possible that a spatial separation of the light takes place, in which both the plurality of first light sources, and the at least one second light source illuminating the sample object, but which is arranged at least one second light source in the dark field of a detector aperture of the detection optics. Es wäre auch möglich, eine spektrale Trennung des Lichts durchzuführen, beispielsweise durch einen Bandpassfilter. It would also be possible to perform a spectral separation of the light, for example through a band pass filter.
  • Eine beispielhafte Implementierung des Verfahrens gemäß An exemplary implementation of the method according 16 16 ist zum Beispiel im Zusammenhang mit den for example, in connection with the 4 4 - - 8 8th dargestellt. shown.
  • 17 17 ist ein Flussdiagramm eines beispielhaften Verfahrens. is a flowchart of an exemplary method. In Block in block 1011 1011 wird eine Vielzahl von Lichtquellen zur Beleuchtung eines Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien angesteuert. a plurality of light sources for illuminating a sample object is driven by means of a plurality of illumination geometries. Dabei wird zumindest eine Teilmenge - oder alle - der Vielzahl von Lichtquellen derart angesteuert, dass diese bei den unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien jeweils Licht mit mindestens einer Lichtstärke von größer als aussendet - beispielsweise kann eine einzige konstante Lichtstärke verwendet werden oder aber mehrere verschiedene Lichtstärken. or all - - in this case at least a subset of the plurality of light sources driven in such a way that these at the different lighting geometries respectively emit light having at least a light intensity of greater than emits - for example, a single, constant light intensity can be used, or a plurality of different light intensities. Die Vielzahl von Lichtquellen können im Hellfeld einer Detektorapertur einer Detektionsoptik der optischen Vorrichtung angeordnet sein. The plurality of light sources may be arranged in a bright field detector aperture of a detection optical system of the optical device.
  • Beispielsweise wäre es möglich, dass eine erste Beleuchtungsgeometrie der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien dem Betreiben mindestens einer ersten Lichtquelle der Teilmenge der Vielzahl von Lichtquellen bei einer ersten Lichtstärke entspricht. For example, it would be possible that a first illumination geometry of the plurality of illumination geometries corresponding to the operation of at least a first light source of the subset of the plurality of light sources at a first light intensity. Die erste Beleuchtungsgeometrie kann auch dem Betreiben mindestens einer zweiten Lichtquelle der Teilmenge der Vielzahl von Lichtquellen bei einer zweiten Lichtstärke entsprechen. The first illumination geometry can also correspond to the operation of at least a second light source of the subset of the plurality of light sources at a second light level. Eine zweite Beleuchtungsgeometrie der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien kann dem Betreiben der mindestens einen ersten Lichtquelle bei einer dritten Lichtstärke und dem Betreiben der mindestens einen zweiten Lichtquelle bei einer vierten Lichtstärke entsprechen. A second illumination geometry of the plurality of illumination geometries may correspond to the operation of the at least one first light source at a third light intensity and the operation of the at least one second light source in a fourth light intensity.
  • Dabei kann jeder von der ersten Lichtstärke, der zweiten Lichtstärke, der dritten Lichtstärke und der vierten Lichtstärke größer als Null sein. Each may be of the first light intensity, the second light intensity, the third light intensity and the fourth light intensity greater than zero.
  • Die erste Lichtstärke kann verschieden von der zweiten Lichtstärke sein und die dritte Lichtstärke kann verschieden von der vierten Lichtstärke sein. The first light intensity may be different from the second light intensity and the third light intensity may be different from the fourth light intensity.
  • Zum Beispiel wäre es möglich, dass die erste Lichtstärke gleich der vierten Lichtstärke ist und dass die zweite Lichtstärke gleich der dritten Lichtstärke ist. For example, it would be possible that the first light intensity is equal to the fourth light intensity and the second light intensity is equal to the third light intensity.
  • Zum Beispiel wäre es möglich, dass die erste Lichtstärke verschieden von der dritten Lichtstärke ist und dass die zweite Lichtstärke verschieden von der vierten Lichtstärke ist. For example, it would be possible that the first light intensity is different from the third light intensity and the second intensity is different from the fourth light intensity.
  • In solchen Techniken wird eine Veränderung der Beleuchtungsgeometrie also durch umschalten zwischen unterschiedlichen Lichtstärken erzielt; In such techniques, a change in the illumination geometry that is, by switching between different light intensities is obtained; dabei werden unterschiedliche Lichtquellen jedoch nicht gänzlich ausgeschaltet, sodass ein Grund-Helligkeitswert moduliert wird, was die Wahrnehmung des Flackerns reduziert. while different light sources are not entirely off so that a basic brightness value is modulated, which reduces the perception of flicker.
  • Eine beispielhafte Implementierung des Verfahrens gemäß An exemplary implementation of the method according 16 16 ist zum Beispiel im Zusammenhang mit den for example, in connection with the 9 9 - - 12 12 dargestellt. shown.
  • Beispielsweise könnte in den Verfahren gemäß For example, according to the method 16 16 - - 17 17 auch ein Detektor angesteuert werden, um durch eine Detektionsoptik für jede Beleuchtungsgeometrie ein Bild des Probenobjekts zu erfassen. a detector are actuated in order to be detected by a detection optical system for each illumination geometry an image of the sample object. Basierend auf diesen Bildern könnten dann unterschiedliche Anwendungen implementiert werden: beispielsweise könnte ein Ergebnisbild durch Kombination der Bilder bestimmt werden, wobei das Ergebnisbild einen Phasenkontrast aufweist; Based on these images, different applications could be implemented then: for example, a resulting image could be determined by combining the images, the resulting image has a phase contrast; es könnte auch die Defokussierung des Probenobjekts entlang der optischen Achse bestimmt werden, beispielsweise durch einen Vergleich der Positionen an welchen das Probenobjekt in den unterschiedlichen Bildern abgebildet wird; it could also be determined defocus of the sample object along the optical axis, for example, by comparing the positions to which the sample object displayed in the different images; es wäre auch möglich, ein Höhenprofil des Probenobjekts zu bestimmen. it would also be possible to determine a height profile of the sample object.
  • Zusammenfassend wurden obenstehend Techniken beschrieben, die es ermöglichen, das Flackern bei der Verwendung mehrerer Beleuchtungsgeometrien zur Winkel-variablen Beleuchtung zu reduzieren. In summary, techniques have been described above, making it possible to reduce the vibration of the use of multiple lighting geometries for variable-angle illumination. Zum Beispiel ist es möglich, Lichtquellen im Dunkelfeld einer Detektorapertur als aktives Gegenlicht zu verwenden (vergleiche For example, it is possible to use light sources in a dark field detector aperture as an active backlight (see 5 5 und and 6 6 ). ). Es ist auch möglich, Zusatzlichtquellen, die außerhalb einer Gitter-Struktur von Lichtquellen, die für die Winkel-variable Beleuchtung verwendet wird, angeordnet sind, zu verwenden (vergleiche It is also possible, additional light sources which are disposed outside of a lattice structure of light sources is used for the angle-variable illumination, compare to use ( 13 13 und and 14 14 ). ). Diese Lichtquellen können Licht weg vom Probenobjekt aussenden. These light sources can emit away from the sample object light. Beispielsweise könnten Lichtquellen auf einem Probenhaltern mit aufwärts gerichteten Lichtkegel verwendet werden. For example, light sources could be used on a sample holders with upwardly directed beam. Es könnte auch eingedämmtes Hellfeld als Gegenlichtquelle verwendet werden (vergleiche It could also be-insulated brightfield be used as back light source (cf. 9 9 ). ). Es können auch Techniken der inversen Implementierung von Beleuchtungsgeometrien verwendet werden (vergleiche It may also be the inverse techniques implementation of lighting geometries used (see 10 10 ). ). Auch Lichtmuster mittels Lichtquellen, die extern von der optischen Vorrichtung angeordnet sind, sind möglich, beispielsweise mittels Projektoren. Also pattern of light by means of light sources which are arranged externally of the optical device are possible, for example by means of projectors.
  • In manchen Beispielen kann der Einfluss der Zusatzlichtquellen, die die kontinuierliche Beleuchtung bereitstellen, kompensiert werden, beispielsweise durch das Verwenden eines entsprechenden Kompensationsbilds bei einer geeigneten Beleuchtungsgeometrien (vergleiche zum Beispiel In some examples, the influence of the additional light sources that provide continuous illumination can be compensated, for example by using a corresponding compensation image at an appropriate illumination geometries (see, for example 10 10 und and 12 12 ). ).
  • Solche voranstehend beschriebenen Techniken weisen den Vorteil auf, dass die Reduktion des Flackerns einfach für bestehende optische Systeme, die für die Winkel-variable Beleuchtung eingerichtet sind, umgesetzt werden können. Such techniques described above have the advantage that the reduction of flicker can be implemented on existing optical systems adapted for the angle-variable illumination simple. Beispielsweise ist es in manchen Beispielen sogar möglich, dass keine Zusatzlichtquellen benötigt werden, sondern - zum Beispiel durch Berücksichtigung der Detektorapertur - Lichtquellen des Beleuchtungsmoduls verwendet werden können. For example, it is even possible in some examples that no additional light sources are needed, but - for example, by considering the detector aperture - light sources of the lighting module can be used. Die hierin beschriebenen Techniken können es ermöglichen, flexibel für unterschiedliche Detektoraperturen eine Reduktion des Flackerns zu erreichen. The techniques described herein may make it possible to achieve flexible for different detector apertures a reduction of flicker. Insbesondere solche Techniken, die nicht auf der Verwendung von Lichtquellen im Dunkelfeld der Detektorapertur angewiesen sind, können flexibel für unterschiedliche Detektoraperturen verwendet werden. In particular, such techniques that do not rely on the use of light sources in the dark field of the detector aperture can be flexibly used for different detector apertures. Mittels der hierin beschriebenen Techniken kann es auch möglich sein, die Stärke des Flackerns flexibel in Abhängigkeit der tolerierbaren Lichtexposition des Probenobjekts einzustellen. By means of the techniques described herein, it may also be possible to adjust the strength of the flicker flexible depending on the tolerable light exposure of the sample object. Beispielsweise kann der Grund-Helligkeitswert durch geeignete Wahl der Lichtstärke und/oder der Anzahl von Lichtquellen, die zur kontinuierlichen Beleuchtung beitragen, eingestellt werden; For example, the basic brightness value can be adjusted by suitable choice of the light intensity and / or the number of light sources which contribute to the continuous lighting; das Verhältnis zwischen Grund-Helligkeitswert und Modulation aufgrund des Umschaltens zwischen unterschiedlichen Beleuchtungsgeometrien kann wiederum ein Maß für die Stärke des Flackerns sein. the relationship between basic brightness and modulation due to the switching between different lighting geometries can also be another measure of the strength of flicker. Verschiedene hierin beschriebene Techniken können auch flexibel bei der Auflichtbeleuchtung oder Durchlichtbeleuchtung eingesetzt werden. Various techniques described herein can also be used flexibly in the incident-light illumination or light illumination.
  • Selbstverständlich können die Merkmale der vorab beschriebenen Ausführungsformen und Aspekte der Erfindung miteinander kombiniert werden. Of course, the features of the above-described embodiments and aspects of the invention may be combined with each other. Insbesondere können die Merkmale nicht nur in den beschriebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder für sich genommen verwendet werden, ohne das Gebiet der Erfindung zu verlassen. In particular, the features can be used not only in the described combinations but also in other combinations or by themselves, without leaving the field of the invention.
  • Beispielsweise wäre es möglich, die oben beschriebenen Techniken, die auf einer räumlichen Trennung des Lichts für die Implementierung der Beleuchtungsgeometrien einerseits und für die kontinuierliche Beleuchtung andererseits beruhen, mit Techniken zu kombinieren, die auf einer spektralen Trennung des Lichts beruhen. For example, it would be possible to combine the above-described techniques, which are based on a spatial separation of the light for the implementation of the illumination geometry of a part, and for the continuous lighting on the other hand, with techniques based on a spectral separation of the light.
  • Es könnten auch Techniken kombiniert werden, wie sie beispielsweise in Bezug auf die It could also be combined techniques as for example in relation to 13 13 und and 14 14 voranstehend beschrieben wurden. described above. Es könnten auch Techniken kombiniert werden, wie sie in Bezug auf It could also be combined techniques as in terms of 13/14 13/14 , sowie , such as 5 5 und and 6 6 beschrieben wurden. have been described.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION
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Claims (19)

  1. Steuerung (115) für eine optische Vorrichtung (100), wobei die Steuerung (115) eingerichtet ist, um eine Vielzahl von ersten Lichtquellen (121, 121-1) der optischen Vorrichtung (100) zur sequentiellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter (113) der optischen Vorrichtung (100) angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-1, 300-2, 300-3, 300-4) anzusteuern, und wobei die Steuerung (115) weiterhin eingerichtet ist, um während der sequentiellen Beleuchtung mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-1, 300-2, 300-3, 300-4) mindestens eine zweite Lichtquelle (121-2, 126) zur kontinuierlichen Beleuchtung des Probenobjekts oder eines Umfelds des Probenobjekts anzusteuern. Controller (115) for an optical device (100), wherein the controller (115) is adapted to a plurality of first light sources (121, 121-1) of the optical device (100) for sequentially illuminating a on a sample holder (113) disposed of the optical device (100) samples of the object by means of a plurality of illumination geometries (300-1, 300-2, 300-3, 300-4) to be driven, and wherein the controller (115) is further adapted to during the sequential illumination means plurality of lighting geometries (300-1, 300-2, 300-3, 300-4) to drive at least one second light source (121-2, 126) for the continuous illumination of the sample object or an environment of the sample object.
  2. System, das umfasst: - die Steuerung (115) nach the controller (115) according to: - system comprising Anspruch 1 claim 1 , und - ein Beleuchtungsmodul (111) der optischen Vorrichtung (100), das die Vielzahl von ersten Lichtquellen (121, 121-1) umfasst. And - a lighting module (111) of the optical device (100) comprising the plurality of first light sources (121, 121-1).
  3. System nach system for Anspruch 2 claim 2 , wobei die Vielzahl von ersten Lichtquellen (121, 121-1) und die mindestens eine zweite Lichtquelle (121-2) in einer gemeinsamen Gitterstruktur auf einer dem Probenhalter (113) zugewendeten Fläche des Beleuchtungsmoduls (111) angeordnet sind. Wherein the plurality of first light sources (121, 121-1) and the at least one second light source (121-2) facing in a common grid structure on a sample holder (113) surface of the lighting module (111) are arranged.
  4. System nach system for Anspruch 3 claim 3 , das weiterhin umfasst: - eine Detektionsoptik (112) mit einer Detektorapertur, die eingerichtet ist, um Abbilder des mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-1, 300-2, 300-3, 300-4) beleuchteten Probenobjekts zu erfassen, wobei die mindestens eine zweite Lichtquelle (121-2) im Dunkelfeld der Detektorapertur angeordnet ist. Further comprising: - a detection optics (112) with a detector aperture, which is adapted to capture images of the means of the plurality of illumination geometries (300-1, 300-2, 300-3, 300-4) illuminated sample object, at least one second light source (121-2) is disposed in the dark field of the detector aperture.
  5. System nach system for Anspruch 2 claim 2 , wobei die Vielzahl von ersten Lichtquellen (121, 121-1) auf einer dem Probenhalter (113) zugewendeten ersten Fläche des Beleuchtungsmoduls (111) angeordnet ist, wobei die mindestens eine zweite Lichtquelle (126) auf einer dem Probenhalter (113) abgewendeten zweiten Fläche des Beleuchtungsmoduls (111) angeordnet ist, die verschieden von der ersten Fläche ist. Wherein the plurality of first light sources (121, 121-1) was applied to a sample holder (113) first surface of the lighting module (111) is arranged, wherein the at least one second light source (126) facing away on a sample holder (113) second surface of the lighting module (111) is arranged, which is different from the first surface.
  6. System nach system for Anspruch 2 claim 2 , das weiterhin umfasst: - den Probenhalter (113), der eingerichtet ist, um das Probenobjekt lösbar zu fixieren, wobei die mindestens eine zweite Lichtquelle (126) auf dem Probenhalter (113) angeordnet ist. Further comprising: - a sample holder (113) adapted to fix the sample object detachably, wherein the at least one second light source (126) is arranged on the sample holder (113).
  7. Steuerung (115) nach Controller (115) according to Anspruch 1 claim 1 , wobei die Steuerung (115) eingerichtet ist, um einen Grund-Helligkeitswert (181) der kontinuierlichen Beleuchtung basierend auf Helligkeitswerten der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-1, 300-2, 300-3, 300-4) und/oder einer Umgebungshelligkeit zu bestimmen. Wherein the controller (115) is adapted to provide a basic brightness value (181) of the continuous lighting based on brightness values ​​of the plurality of illumination geometries (300-1, 300-2, 300-3, 300-4) and / or an ambient brightness to be determined.
  8. Steuerung (115) nach Controller (115) according to Anspruch 1 claim 1 oder or 7 7 , wobei die Vielzahl von ersten Lichtquellen (121, 121-1) im Hellfeld einer Detektorapertur einer Detektionsoptik (112) der optischen Vorrichtung (100) angeordnet sind, wobei die mindestens eine zweite Lichtquelle (121-2) im Dunkelfeld der Detektorapertur angeordnet ist. Wherein the plurality of first light sources (121, 121-1) in the bright field of a detector aperture of a detection optical system (112) of the optical device (100) are arranged, wherein the at least one second light source (121-2) is disposed in the dark field of the detector aperture.
  9. System, das umfasst: - die Steuerung (115) nach the controller (115) according to: - system comprising Anspruch 1 claim 1 , - die Vielzahl von ersten Lichtquellen, wobei die ersten Lichtquellen eingerichtet sind, um erstes Licht (621) auszusenden, und - die mindestens eine zweite Lichtquelle, die eingerichtet ist, um zweites Licht (622) auszusenden, wobei das erste Licht und das zweite Licht optional die gleiche Farbe aufweisen. - the plurality of first light sources, the first light sources are adapted to emit first light (621), and - at least one second light source which is adapted to emit second light (622), wherein the first light and the second light optionally have the same color.
  10. System nach system for Anspruch 9 claim 9 , wobei das System eingerichtet ist, um zumindest eines von einer spektrale Trennung des ersten Lichts und des zweiten Lichts, einer räumlich Trennung des ersten Lichts und des zweiten Lichts vor Auftreffen auf das Probenobjekt, und einer räumlichen Trennung des ersten Lichts und des zweiten Lichts nach Auftreffen auf das Probenobjekt zu bewirken. Wherein the system is arranged to at least one of a spectral separation of the first light and the second light, a spatial separation of the first light and the second light before impinging on the sample object, and a spatial separation of the first light and the second light after to cause impingement on the sample object.
  11. System, das umfasst: - die Steuerung (115) nach the controller (115) according to: - system comprising Anspruch 1 claim 1 , und - einen Projektor, der die mindestens eine zweite Lichtquelle umfasst und der eingerichtet ist, um zweites Licht auf eine Außenfläche der optischen Vorrichtung (100) zu projizieren. And - a projector which includes the at least one second light source and adapted to project light onto a second outer surface of the optical device (100).
  12. Steuerung (115) für eine optische Vorrichtung (100), wobei die Steuerung (115) eingerichtet ist, um eine Vielzahl von Lichtquellen (121, 121-1) der optischen Vorrichtung (100) zur sequentiellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter (113) der optischen Vorrichtung (100) angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-5, 300-6, 300-8, 300-9) anzusteuern, wobei zumindest eine Teilmenge der Vielzahl von Lichtquellen (121, 121-1) bei zumindest zwei Beleuchtungsgeometrien (300-5, 300-6, 300-8, 300-9) der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-5, 300-6, 300-8, 300-9) bei mindestens einer Lichtstärke betrieben wird, die verschieden von Null ist, wobei die Vielzahl von Lichtquellen (121, 121-1) im Hellfeld einer Detektorapertur eine Detektionsoptik (112) der optischen Vorrichtung (100) angeordnet sind. Controller (115) for an optical device (100), wherein the controller (115) is arranged to form a plurality of light sources (121, 121-1) of the optical device (100) for sequentially illuminating a on a sample holder (113) of the optical apparatus (100) arranged sample object by means of a plurality of illumination geometries (300-5, 300-6, 300-8, 300-9) to be driven, wherein at least a subset of the plurality of light sources (121, 121-1) at at least two lighting geometries (300-5, 300-6, 300-8, 300-9) of the plurality of illumination geometries (300-5, 300-6, 300-8, 300-9) is operated at least a light intensity that is different from zero wherein the plurality of light sources (121, 121-1) comprises a detection optics (112) are arranged in the optical device (100) in the bright field of a detector aperture.
  13. Steuerung (115) nach Controller (115) according to Anspruch 12 claim 12 , wobei eine erste Beleuchtungsgeometrie (300-5, 300-6, 300-7) der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-5, 300-6, 300-7) dem Betreiben mindestens einer ersten Lichtquelle der Vielzahl von Lichtquellen (121-1) bei einer ersten Lichtstärke und dem Betreiben mindestens einer zweiten Lichtquelle der Vielzahl von Lichtquellen (121-1) bei einer zweiten Lichtstärke entspricht, wobei eine zweite Beleuchtungsgeometrie (300-5, 300-6, 300-7) der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-5, 300-6, 300-7) dem Betreiben der mindestens einen ersten Lichtquelle bei einer dritten Lichtstärke und dem Betreiben der mindestens einen zweiten Lichtquelle bei einer vierten Lichtstärke entspricht, wobei jede von der ersten Lichtstärke, der zweiten Lichtstärke, der dritten Lichtstärke und der vierten Lichtstärke größer als Null ist, wobei die erste Lichtstärke verschieden von der zweiten Lichtstärke ist, wobei die dritte Lichtstärke verschieden von der vierten Lichtstärke ist. Wherein a first illumination geometry (300-5, 300-6, 300-7) of the plurality of illumination geometries (300-5, 300-6, 300-7) the operation of at least a first light source of the plurality of light sources (121-1) at a first light intensity and the operation of at least a second light source of the plurality of light sources (121-1) at a second light intensity corresponds to a second illumination geometry (300-5, 300-6, 300-7) of the plurality of illumination geometries (300- 5, 300-6, 300-7) operating said at least corresponds to a first light source at a third light intensity and the operation of the at least one second light source in a fourth light intensity, wherein each of the first light intensity, the second light intensity, the third light intensity and is the fourth light intensity is greater than zero, wherein the first light intensity is different than the second light intensity, the third light intensity is different from the fourth light intensity.
  14. Steuerung nach control by Anspruch 13 claim 13 , wobei die erste Lichtstärke verschieden von der dritten Lichtstärke ist, wobei die zweite Lichtstärke verschieden von der vierten Lichtstärke ist. Wherein the first light intensity is different from the third light intensity, said second intensity is different from the fourth light intensity.
  15. Steuerung nach control by Anspruch 12 claim 12 , wobei die Teilmenge der Vielzahl von Lichtquellen (121, 121-1) bei den zumindest zwei Beleuchtungsgeometrien (300-8, 300-9) bei einer konstanten Lichtstärke betrieben wird, die verschieden von Null ist. Wherein the subset of the plurality of light sources (121, 121-1) at the at least two illumination geometries (300-8, 300-9) is operated at a constant intensity, which is different from zero.
  16. Steuerung (115) nach einem der Controller (115) of any of Ansprüche 12 12 claims - - 15 15 , wobei die Teilmenge nicht weniger als 50 % aller Lichtquellen (121, 121-1) der Vielzahl von Lichtquellen (121, 121-1) umfasst, optional nicht weniger als 75 %, weiter optional nicht weniger als 90 %. Wherein the subset comprises not less than 50% of all light sources (121, 121-1) of the plurality of light sources (121, 121-1), optionally not less than 75%, further optionally not less than 90%.
  17. Steuerung (115) nach einem der Controller (115) of any of Ansprüche 12 12 claims - - 16 16 , wobei die Steuerung (115) eingerichtet ist, um einen Detektor (114) der optischen Vorrichtung (100) zum Erfassen eines Bilds durch die Detektionsoptik (112) für jede Beleuchtungsgeometrie (300-5, 300-6, 300-8, 300-9) der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-5, 300-6, 300-8, 300-9) anzusteuern, wobei die Steuerung (115) weiterhin eingerichtet ist, um die Vielzahl von Lichtquellen (121, 121-1) zur Beleuchtung des Probenobjekts mittels einer Referenz-Beleuchtungsgeometrie (300-7, 300-10) anzusteuern, wobei die Vielzahl von Lichtquellen (121, 121-1) bei der Referenz-Beleuchtungsgeometrie (300-7, 300-10)) alle bei einer von null verschiedenen Lichtstärke betrieben werden, wobei die Steuerung (115) weiterhin eingerichtet ist, um den Detektor (114) zum Erfassen eines Referenzbilds durch die Detektionsoptik (112) für die Referenz-Beleuchtungsgeometrie (300-7, 300-10)) anzusteuern, wobei die Steuerung (115) weiterhin eingerichtet ist, um Differenzbilder basierend auf einer Kombination Wherein the controller (115) is adapted to a detector (114) of the optical device (100) for capturing an image by the detection optics (112) for each illumination geometry (300-5, 300-6, 300-8, 300- 9) of the plurality of illumination geometries (300-5, 300-6, 300-8 to control, 300-9), wherein the controller (115) is further arranged to control the plurality of light sources (121, 121-1) for illuminating the samples object wherein the plurality of light sources (121, 121-1) at the reference lighting geometry (300-7, 300-10)) all non-zero by means of a reference illumination geometry (300-7, 300-10) to control, at a light intensity can be operated, wherein the controller (115) is further adapted to control the detector (114) for acquiring a reference image by the detection optics (112) for the reference lighting geometry (300-7, 300-10)), wherein the controller (115) is further adapted to difference images based on a combination der mit der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-5, 300-6, 300-8, 300-9) assoziierten Bilder einerseits und dem Referenzbild andererseits zu erzeugen. to produce the the plurality of illumination geometries (300-5, 300-6, 300-8, 300-9) associated images on the one hand and the reference image on the other.
  18. Verfahren, das umfasst: - Ansteuern einer Vielzahl von ersten Lichtquellen (121, 121-1) einer optischen Vorrichtung (100) zur sequentiellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter (113) der optischen Vorrichtung (100) angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-1, 300-2, 300-3, 300-4), und - Ansteuern mindestens einer zweiten Lichtquelle (121-2, 126) zur kontinuierlichen Beleuchtung des Probenobjekts oder eines Umfelds des Probenobjekts während der sequentiellen Beleuchtung mittels der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-1, 300-2, 300-3, 300-4). A method comprising: - driving a plurality of first light sources (121, 121-1) of an optical device (100) for sequentially illuminating a on a sample holder (113) of the optical device (100) arranged sample object (by means of a plurality of illumination geometries 300 -1, 300-2, 300-3, 300-4), and - controlling at least a second light source (121-2, 126) (for the continuous illumination of the sample object or an environment of the sample object during the sequential illumination by means of the plurality of illumination geometries 300-1, 300-2, 300-3, 300-4).
  19. Verfahren, das umfasst: - Ansteuern einer Vielzahl von Lichtquellen (121, 121-1) einer optischen Vorrichtung (100) zur sequentiellen Beleuchtung eines auf einem Probenhalter (113) der optischen Vorrichtung (100) angeordneten Probenobjekts mittels einer Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-5, 300-6, 300-8, 300-9), wobei zumindest eine Teilmenge der Vielzahl von Lichtquellen (121, 121-1) bei zumindest zwei Beleuchtungsgeometrien (300-5, 300-6, 300-8, 300-9) der Vielzahl von Beleuchtungsgeometrien (300-8, 300-9) bei mindestens einer Lichtstärke betrieben wird, die verschieden von Null ist, wobei die Vielzahl von Lichtquellen (121, 121-1) im Hellfeld einer Detektorapertur eine Detektionsoptik (112) der optischen Vorrichtung (100) angeordnet sind. A method comprising: - driving a plurality of light sources (121, 121-1) of an optical device (100) for sequentially illuminating a on a sample holder (113) of the optical device (100) arranged sample object by means of a plurality of illumination geometries (300- 5, 300-6, 300-8, 300-9), wherein at least a subset of the plurality of light sources (121, 121-1) (for at least two illumination geometries 300-5, 300-6, 300-8, 300-9 ) of the plurality of illumination geometries (300-8, 300-9) is operated at least a light intensity that is different from zero, wherein the plurality of light sources (121, 121-1) in the bright field detector aperture of a detection optical system (112) of the optical means (100) are arranged.
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