DE102016218659A1 - check valve - Google Patents

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Ian Moore
Christian Schmaler
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Ford Global Technologies LLC
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    • G01F1/56Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Rückschlagventil (1, 1a). Um ein einfach und kostengünstig herstellbares Rückschlagventil mit integriertem Durchflusssensor bereitzustellen, ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass das Rückschlagventil Folgendes aufweist: – einen Basiskörper (2) mit wenigstens einer Durchgangsöffnung (4, 5), – eine elektrisch leitfähige Membran (3), die entlang einer X-Richtung aufeinanderfolgend einen ersten, am Basiskörper befestigten Abschnitt (3.1) mit einem ersten elektrischen Kontakt (7), und einen zweiten, beweglichen Abschnitt (3.2) aufweist, wobei der Basiskörper (2) wenigstens eine sich in X-Richtung erstreckende Elektrode (6, 6a) aufweist, die mit einem zweiten elektrischen Kontakt (8) verbunden ist, und wobei in einer Schließstellung die Membran (3) die wenigstens eine Durchgangsöffnung (4, 5) abdeckt und der zweite Abschnitt (3.2) benachbart zur wenigstens einen Elektrode (6, 6a) angeordnet ist.The invention relates to a check valve (1, 1a). In order to provide a check valve with integrated flow sensor which can be produced simply and inexpensively, it is provided according to the invention that the check valve has the following: a base body (2) with at least one through-opening (4, 5), an electrically conductive membrane (3) along one X-direction in succession a first, fixed to the base body portion (3.1) having a first electrical contact (7), and a second, movable portion (3.2), wherein the base body (2) at least one extending in the X direction electrode ( 6, 6a) which is connected to a second electrical contact (8), and wherein in a closed position, the membrane (3) covers the at least one passage opening (4, 5) and the second section (3.2) adjacent to the at least one electrode (6, 6a) is arranged.

Description

Die Erfindung betrifft ein Rückschlagventil.The invention relates to a check valve.

Im Stand der Technik sind unterschiedliche Methoden bekannt, um den Durchfluss eines Fluids, also eines Gases oder einer Flüssigkeit, durch eine Leitung oder dergleichen zu messen. Als Durchfluss kann in diesem Zusammenhang der Volumenstrom (Volumen pro Zeiteinheit) oder auch der Massenstrom (Masse pro Zeiteinheit) angesehen werden. Messvorrichtungen, die hierfür verwendet werden, werden zum Teil als Durchflusssensoren oder Flowmeter bezeichnet. Abgesehen von mechanischen Lösungen, wie bspw. dem Ovalradzähler oder dem Turbinenradzähler ermöglichen verschiedene andere Messmethoden (optische, elektromagnetische, Ultraschall-basierte und andere) die Detektion des aktuellen Durchflusses eines Fluids. Die Mehrzahl der verfügbaren Methoden liefern qualitativ hochwertige Ergebnisse, sind aber in der Umsetzung normalerweise sehr kostenintensiv. Dies bedeutet insbesondere eine relevante Einschränkung für die Automobilindustrie, bei der die Kosten eine große Rolle spielen.In the prior art, various methods are known for measuring the flow of a fluid, ie a gas or a liquid, through a conduit or the like. As a flow in this context, the volume flow (volume per unit time) or the mass flow (mass per unit time) are considered. Measuring devices used for this purpose are sometimes referred to as flow meters or flow meters. Apart from mechanical solutions, such as the oval gear meter or the turbine wheel meter, various other measuring methods (optical, electromagnetic, ultrasonic-based and others) enable the detection of the current flow of a fluid. The majority of available methods provide high quality results, but are usually very costly to implement. This means, in particular, a relevant limitation for the automotive industry, where the cost plays a major role.

Es sind auch bereits Lösungen vorgeschlagen worden, bei denen ein Durchflusssensor in ein Rückschlagventil integriert wird. Ein solches Rückschlagventil, das den Durchfluss eines Fluids in eine Richtung verhindert und in der anderen Richtung zulässt, kann in unterschiedlichsten Bereichen eingesetzt werden. Falls eine Messung des Durchflusses gewünscht ist, ist die Integration eines entsprechenden Sensors in das Rückschlagventil vorteilhaft, da hierdurch in der Regel Platz gespart werden kann. Allerdings ist auch hierbei eine baulich möglichst einfache, kostengünstige Lösung wünschenswert.There have also been proposed solutions in which a flow sensor is integrated into a check valve. Such a check valve, which prevents the flow of a fluid in one direction and allows in the other direction, can be used in a variety of areas. If a measurement of the flow is desired, the integration of a corresponding sensor in the check valve is advantageous because this can usually be saved in space. However, here is a structurally simple as possible, cost-effective solution desirable.

Im Bereich des Kraftfahrzeugbaus könnte einen solches Rückschlagventil mit einem Durchflusssensor bspw. innerhalb eines Systems zur Bremskraftverstärkung eingesetzt werden, womit es möglich wäre, nicht nur die Richtung des Durchflusses der Luft von einem Bremskraftverstärker zu einer Vakuumquelle (bspw. eine Vakuumpumpe) zu kontrollieren, sondern zudem auch noch den Durchfluss zu messen.In the field of motor vehicle construction, such a check valve could be used with a flow sensor, for example. Within a system for brake booster, which would make it possible not only to control the direction of flow of air from a brake booster to a vacuum source (eg., A vacuum pump), but also to measure the flow.

Die GB 954,048 A offenbart ein Rückschlagventil mit einem Ventilkörper und einer in diesen eingesetzten ringförmigen Membran, die in einer Schließstellung an einem zentralen Einsatzelement des Ventilkörpers anliegt. Hierbei verschließt die Membran eine umlaufend um das Einsatzelement zwischen diesem und der Außenwandung des Ventilkörpers ausgebildete Öffnung. In einer Öffnungsstellung wird die Membran vom Einsatzelement abgehoben und gibt so die Öffnung frei. Die Membran wirkt mit einem verschieblich durch die Außenwandung geführten Stab zusammen, der seinerseits auf ein außenliegendes Potentiometer wirken kann, über dessen Widerstand die Durchflussmenge durch das Rückschlagventil bestimmbar ist.The GB 954.048 A discloses a check valve having a valve body and an annular diaphragm inserted therein, which abuts in a closed position on a central insert element of the valve body. Here, the membrane closes a circumferentially formed around the insert element between this and the outer wall of the valve body opening. In an open position, the membrane is lifted off the insert element and thus releases the opening. The membrane cooperates with a slidably guided by the outer wall rod, which in turn can act on an external potentiometer, through the resistance of the flow rate through the check valve can be determined.

Die US 3,587,326 A offenbart eine Vorrichtung zur Beschleunigungsmessung. Hierbei ist eine Probemasse mit einer elastischen Membran verbunden, die eine fluidgefüllte Kammer abschließt. Die Kammer steht über ein Rückschlagventil mit einer Röhre in Verbindung, in der ein Tropfen flüssigen Metalls angeordnet ist. Auf der gegenüberliegenden Seite des Tropfens geht die Röhre in eine geschlossene Kammer über und ist mit einem druckbeaufschlagten Gas befüllt. Gegenüberliegende Wandlungsabschnitte der Röhre sind mit einem Leiterelement bzw. einem Widerstandselement überzogen, die sich jeweils in axialer Richtung erstrecken. Die genannten Elemente bilden zusammen mit dem Metalltropfen Teile eines Stromkreises. Über den Widerstand desselben kann die Position des Metalltropfens bestimmt werden, die wiederum von der Position der Probemasse unter dem Einfluss einer Beschleunigung abhängt.The US 3,587,326 A discloses a device for measuring acceleration. Here, a sample mass is connected to an elastic membrane which closes a fluid-filled chamber. The chamber communicates via a check valve with a tube in which a drop of liquid metal is arranged. On the opposite side of the drop, the tube passes into a closed chamber and is filled with a pressurized gas. Opposite conversion sections of the tube are covered with a conductor element or a resistance element, which each extend in the axial direction. The elements mentioned form together with the metal droplets parts of a circuit. The resistance of the same can determine the position of the metal drop, which in turn depends on the position of the sample mass under the influence of an acceleration.

Die US 8,800,473 B1 beschreibt einen Strömungssensor mit einem Basisteil, das bspw. in ein Rohrsystem eingesetzt werden kann, sowie einem schwenkbar daran angeordneten, federbeaufschlagen Stauelement, das in einer Ruheposition einen Rohrquerschnitt wenigstens teilweise ausfüllen kann. An dem Stauelement ist ein bogenförmiger Anzeigeabschnitt angeordnet, der sich bei der Auslenkung des Stauelements aus der Ruheposition in eine Anzeigekammer des Basisteils hinein bewegt. Die Anzeigekammer kann bspw. durchsichtig ausgebildet sein, so dass die Position des Stauelements, die mit einer Flussrate korrespondiert, visuell abgelesen werden kann. Alternativ oder zusätzlich kann die Position elektrisch registriert werden, bspw. über einen Hallsensor an der Anzeigekammer und ein Magnetelement am Anzeigeabschnitt.The US 8,800,473 B1 describes a flow sensor with a base part, which can be used, for example. In a pipe system, and a pivotally mounted thereon, spring-loaded baffle element, which can at least partially fill a pipe cross-section in a rest position. Arranged on the baffle element is an arcuate display section, which moves from the rest position into a display chamber of the base part during the deflection of the baffle element. The display chamber may, for example, be designed to be transparent, so that the position of the damming element, which corresponds to a flow rate, can be read visually. Alternatively or additionally, the position can be registered electrically, for example via a Hall sensor on the display chamber and a magnetic element on the display section.

Die US 3,914,994 A offenbart einen Durchflusssensor mit einem rohrartigen Körper und einer darin schwenkbar angeordneten Ventilklappe, die in einer vollständig geschlossenen Position einen Schalter kontaktiert, und in einer teilweise oder vollständig geöffneten Position einen Widerstandsdraht in unterschiedlichen Positionen kontaktiert. Der Widerstandsdraht wirkt hierbei nach Art eines Potentiometers, so das über den Widerstand der Öffnungszustand und somit die Durchflussmenge festgestellt werden können.The US 3,914,994 A discloses a flow sensor having a tubular body and a valve flap pivotally mounted therein which contacts a switch in a fully closed position and contacts a resistance wire in different positions in a partially or fully opened position. The resistance wire acts in the manner of a potentiometer, so that the resistance of the opening state and thus the flow rate can be determined.

Die US 4,926,903 A zeigt eine Anordnung mit einer Absperrklappe, die um eine Achse schwenkbar ist, die über einen Aktor antreibbar ist. Die Achse ist über ein untersetzendes Getriebe an ein Potentiometer gekoppelt, mit dessen Hilfe der Schwenkwinkel gemessen wird. Des Weiteren wird das Drehmoment in der Achse gemessen. Über einen z. B. empirisch bestimmten Zusammenhang kann aus den Messwerten für Schwenkwinkel und Drehmoment die Durchflussmenge entlang der Absperrklappe bestimmt werden.The US 4,926,903 A shows an arrangement with a butterfly valve, which is pivotable about an axis which is drivable via an actuator. The axle is coupled via a gear reducer to a potentiometer, with the help of the swing angle is measured. Furthermore, the torque is measured in the axis. About a z. B. empirically determined relationship can be determined from the measured values for swivel angle and torque, the flow rate along the butterfly valve.

Die US 4,213,021 A offenbart ein Rückschlagventil mit einem Ventilkörper, in dem ein federbeaufschlagtes Schließelement angeordnet ist, mit welchem der Ventilkörper verschlossen werden kann. Das Schließelement weist einen Magneten auf und in der Wandung des Ventilkörpers ist ein Reedschalter angeordnet, der je nach Stellung des Schließelements durch den Magneten geschlossen wird bzw. sich öffnet. Hiermit kann vom Zustand des Reedschalters auf die Flussrate innerhalb des Ventils geschlossen werden. Um zu vermeiden, dass Hysterese Effekte zu einem Öffnen bzw. Schließen bei deutlich unterschiedlichen Flussraten führen, weist das Schließelement eine spezielle geometrische Ausgestaltung mit einem Nasenabschnitt auf. Dies führt dazu, dass die Flussrate über einen bestimmten Verschiebungsweg des Schließelements annähernd gleich bleibt.The US 4,213,021 A discloses a check valve with a valve body in which a spring-loaded closing element is arranged, with which the valve body can be closed. The closing element has a magnet and in the wall of the valve body, a reed switch is arranged, which is closed depending on the position of the closing element by the magnet or opens. This can be used to close the condition of the reed switch on the flow rate within the valve. To avoid hysteresis causing effects to open or close at significantly different flow rates, the closure member has a special geometric configuration with a nose portion. This results in that the flow rate remains approximately the same over a certain displacement path of the closing element.

Die US 2008/0053537 A1 offenbart ein Rückschlagventil mit einem Ventilkörper, der eine Öffnung aufweist, sowie einer Klappe, die schwenkbar am Ventilkörper angeordnet ist und die Öffnung freigeben oder verschließen kann. Am Ventilkörper sind erste und zweite Leiterelemente angeordnet, die voneinander beabstandet sind. Ein drittes Leiterelement ist an der Klappe angeordnet und so dimensioniert, dass es den Zwischenraum zwischen den ersten und zweiten Leiterelementen schließen kann. Je nach Anordnung ist es so möglich, über das Schließen eines Stromkreises den geöffneten oder geschlossenen Zustand der Klappe festzustellen.The US 2008/0053537 A1 discloses a check valve having a valve body having an opening and a flap which is pivotally mounted on the valve body and can release or close the opening. On the valve body first and second conductor elements are arranged, which are spaced from each other. A third conductor element is disposed on the flap and dimensioned to close the gap between the first and second conductor elements. Depending on the arrangement, it is possible to determine the closed or closed state of the flap by closing a circuit.

Angesichts des aufgezeigten Standes der Technik bietet die Bereitstellung eines einfach und kostengünstig herzustellenden Rückschlagventils, dass eine möglichst präzise Durchflussmessung erlaubt, noch Raum für Verbesserungen.In view of the state of the art, the provision of a check valve which can be produced simply and inexpensively and which permits the most accurate flow measurement still offers room for improvement.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein einfach und kostengünstig herstellbares Rückschlagventil mit integriertem Durchflusssensor bereitzustellen.The invention has for its object to provide a simple and inexpensive to produce check valve with integrated flow sensor.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch ein Rückschlagventil mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst, wobei die Unteransprüche vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung betreffen.According to the invention the object is achieved by a check valve having the features of claim 1, wherein the dependent claims relate to advantageous embodiments of the invention.

Es ist darauf hinzuweisen, dass die in der nachfolgenden Beschreibung einzeln aufgeführten Merkmale sowie Maßnahmen in beliebiger, technisch sinnvoller Weise miteinander kombiniert werden können und weitere Ausgestaltungen der Erfindung aufzeigen. Die Beschreibung charakterisiert und spezifiziert die Erfindung insbesondere im Zusammenhang mit den Figuren zusätzlich. It should be noted that the features listed in the following description as well as measures in any technically meaningful way can be combined with each other and show other embodiments of the invention. The description additionally characterizes and specifies the invention, in particular in connection with the figures.

Durch die Erfindung wird ein Rückschlagventil zur Verfügung gestellt. Als Rückschlagventil wird hierbei jeder Art von Ventil angesehen, die in Abhängigkeit von einer Druckdifferenz auf den beiden Seiten des Ventils den Durchgang eines Fluids, also eines Gases oder einer Flüssigkeit, in einer Richtung ermöglicht und in der Gegenrichtung unterbindet. Insbesondere kann das erfindungsgemäße Rückschlagventil zur Regelung des Durchflusses eines Gases, bspw. Luft, eingesetzt werden. Das Rückschlagventil weist einen Basiskörper mit wenigstens einer Durchgangsöffnung auf. Der Basiskörper kann auch als Ventilkörper bezeichnet werden und entspricht dem stationären Teil des Rückschlagventils, der bspw. an oder in einer Fluidleitung eingebaut wird. Zu diesem Zweck kann er Verbindungsmittel wie bspw. Gewinde oder Löcher zur Aufnahme von Schrauben aufweisen. Die wenigstens eine Durchgangsöffnung dient im Betriebszustand dazu, einen Durchgang des Fluids durch das Rückschlagventil zu ermöglichen. Hinsichtlich der Geometrie der wenigstens einen Durchgangsöffnung bestehen im Rahmen der Erfindung keinerlei Einschränkungen. Bspw. kann die Durchgangsöffnung in der vorgesehenen Durchgangsrichtung des Fluids lang gestreckt oder kurz sein.The invention provides a check valve. As a check valve in this case each type of valve is considered, which allows in dependence on a pressure difference on the two sides of the valve, the passage of a fluid, ie a gas or a liquid in one direction and prevents in the opposite direction. In particular, the check valve according to the invention can be used to regulate the flow of a gas, for example air. The check valve has a base body with at least one passage opening. The base body may also be referred to as a valve body and corresponds to the stationary part of the check valve, which is installed, for example, on or in a fluid line. For this purpose, it may comprise connecting means such as threads or holes for receiving screws. The at least one passage opening is used in the operating state to allow passage of the fluid through the check valve. With regard to the geometry of the at least one passage opening, there are no restrictions within the scope of the invention. For example. For example, the passage opening may be elongated or short in the intended passage direction of the fluid.

Weiterhin weist das Rückschlagventil eine elektrisch leitfähige Membran auf, die entlang einer X-Richtung aufeinanderfolgend einen ersten, am Basiskörper befestigten Abschnitt mit einem ersten elektrischen Kontakt, und einen zweiten, beweglichen Abschnitt aufweist. Der Begriff "Membran" impliziert hierbei, dass es sich um einen flexiblen, zumindest abschnittsweise flächig ausgebildeten Körper handelt. Der Begriff "X-Richtung" dient in diesem Zusammenhang nur als Bezugsgröße und impliziert keine Orientierung im Verhältnis zur Einbauposition innerhalb einer Fluidleitung, zur Durchgangsrichtung des Fluids oder dergleichen. Entlang dieser X-Richtung kann man also zwei Abschnitte unterscheiden, von denen der erste am Basiskörper befestigt ist, während der zweite gegenüber dem Basiskörper (und dem ersten Abschnitt) beweglich ist. Die Beweglichkeit geht hierbei selbstverständlich mit einer Verformung der flexiblen Membran einher. Der zweite Abschnitt kann hierbei insbesondere vom Basiskörper abgehoben werden, also sich senkrecht zu dessen Oberfläche bewegen. Der erste Abschnitt kann am Basiskörper bspw. stoffschlüssig durch Kleben oder Ultraschallschweißen, ggf. aber auch kraftschlüssig und/oder formschlüssig, bspw. durch Festklemmen, befestigt sein.Furthermore, the check valve has an electrically conductive membrane, which has along a X-direction successively a first, fixed to the base body portion having a first electrical contact, and a second, movable portion. The term "membrane" in this case implies that it is a flexible, at least partially planar body formed. The term "X-direction" in this context only serves as a reference and does not imply orientation in relation to the installation position within a fluid conduit, to the passage direction of the fluid or the like. Thus, along this X-direction one can distinguish two sections, the first of which is fixed to the base body, while the second is movable relative to the base body (and the first section). The mobility is of course accompanied by a deformation of the flexible membrane. In this case, the second section can in particular be lifted off the base body, that is, move perpendicularly to its surface. The first section may be fastened to the base body, for example, by material bonding by gluing or ultrasonic welding, but if necessary also by force-locking and / or positive locking, for example by clamping.

Die Membran ist elektrisch leitfähig, was sowohl die Möglichkeit einschließt, dass sie insgesamt aus einem elektrisch leitfähigen Material besteht (bspw. einer Polymermatrix, in die elektrisch leitfähige Partikel eingelagert sind) oder aber auch, dass sie nur teilweise elektrisch leitfähig ist, z. B. eine leitfähige Beschichtung aufweist. Dabei ist am ersten Abschnitt ein erster elektrischer Kontakt angeordnet, der bspw. die Verbindung mit einer Strom- oder Spannungsquelle ermöglicht. Der elektrische Kontakt kann sehr einfach ausgebildet sein, bspw. als metallischer Pin, an dem ein Kabel angelötet werden kann, oder als Steckverbinder. Es ist auch möglich, dass sich an den elektrischen Kontakt unmittelbar eine fest mit dem Rückschlagventil verbundene elektrische Leitung anschließt. Eine solche Leitung kann z. B. auch als Leiterbahn auf einer Platine ausgebildet sein, die zumindest einen Teil des Basiskörpers bildet. Auf einer solchen Platine können weitere Leiterbahnen aufgebracht sein, wobei auch eine schichtweise Anordnung mehrerer voneinander isolierter Leiterbahnen möglich ist. Es versteht sich, dass der erste elektrische Kontakt mit der Membran bzw. mit deren elektrisch leitfähigen Teil leitend verbunden ist.The membrane is electrically conductive, which includes both the possibility that it is made entirely of an electrically conductive material exists (for example, a polymer matrix, in which electrically conductive particles are incorporated) or even that it is only partially electrically conductive, z. B. has a conductive coating. In this case, a first electrical contact is arranged on the first section, which, for example, allows the connection to a current or voltage source. The electrical contact can be made very simple, for example. As a metallic pin to which a cable can be soldered, or as a connector. It is also possible that immediately adjoins the electrical contact an electrically connected to the check valve electrical line. Such a line can, for. B. may also be formed as a conductor on a circuit board, which forms at least a part of the base body. On such a circuit board further interconnects may be applied, whereby a layered arrangement of a plurality of mutually insulated interconnects is possible. It is understood that the first electrical contact with the membrane or with its electrically conductive part is conductively connected.

Weiterhin weist der Basiskörper wenigstens eine sich in X-Richtung erstreckende Elektrode auf, die mit einem zweiten elektrischen Kontakt verbunden ist. Die wenigstens eine Elektrode erstreckt sich in X-Richtung, was bedeutet, dass sie in X-Richtung eine nicht-vernachlässigbare Ausdehnung aufweist. Es ist auch möglich, dass in X-Richtung aufeinanderfolgend mehrere Elektroden vorgesehen sind. Ebenso können mehrere Elektroden vorgesehen sein, die quer zur X-Richtung voneinander beabstandet sind. Wenigstens eine Elektrode kann flächig an bzw. unterhalb der Oberfläche des Basiskörpers ausgebildet sein. Dabei ist die Elektrode bzw. jede Elektrode mit dem zweiten elektrischen Kontakt verbunden, was die Möglichkeit einschließt, dass der zweite elektrische Kontakt unmittelbar an einer Elektrode ausgebildet ist. Die wenigstens eine Elektrode kann – abgesehen von der Verbindung zum zweiten elektrischen Kontakt – nach außen hin elektrisch isoliert sein (bspw. durch ein Dielektrikum) oder aber sie kann wenigstens teilweise elektrisch kontaktierbar sein. Die wenigstens eine Elektrode ist in sich elektrisch leitfähig, so dass zumindest innerhalb derselben Ladungen verschoben werden bzw. Ströme fließen können. Die oben gemachten Aussagen hinsichtlich der Ausgestaltung des ersten Kontakts gelten auch bezüglich des zweiten Kontakts. Der zweite elektrische Kontakt ist selbstverständlich elektrisch mit der wenigstens einen Elektrode verbunden und erlaubt eine Verbindung mit einer Strom- oder Spannungsquelle. Er kann insbesondere am Basiskörper angeordnet sein.Furthermore, the base body has at least one extending in the X direction electrode, which is connected to a second electrical contact. The at least one electrode extends in the X direction, meaning that it has a non-negligible extent in the X direction. It is also possible that several electrodes are provided in succession in the X direction. Likewise, a plurality of electrodes may be provided, which are spaced apart transversely to the X direction. At least one electrode can be formed flat on or below the surface of the base body. In this case, the electrode or each electrode is connected to the second electrical contact, which includes the possibility that the second electrical contact is formed directly on an electrode. Apart from the connection to the second electrical contact, the at least one electrode can be electrically insulated toward the outside (for example, by a dielectric) or else it can be at least partially electrically contactable. The at least one electrode is electrically conductive in itself, so that at least within the same charges or currents can flow. The above statements regarding the design of the first contact also apply to the second contact. Of course, the second electrical contact is electrically connected to the at least one electrode and allows connection to a source of current or voltage. It can be arranged in particular on the base body.

Dabei deckt in einer Schließstellung die Membran die wenigstens eine Durchgangsöffnung ab und der zweite Abschnitt ist benachbart zur wenigstens einen Elektrode angeordnet. Es handelt sich hierbei selbstverständlich um die Schließstellung des Rückschlagventils, in welcher dieses einen Durchgang eines Fluids entgegen der vorgesehenen Richtung verhindert. Hierbei wirkt die Membran als Schließelement, das die wenigstens eine Durchgangsöffnung abdeckt. Man kann auch davon sprechen, dass die Membran die Durchgangsöffnung vollständig verschließt oder vollständig abdeckend verschließt. Um als bewegliches Schließelement wirken zu können, deckt die Membran die Durchgangsöffnung zumindest teilweise mit dem zweiten, also beweglichen Abschnitt ab. Bevorzugt ist die Durchgangsöffnung überwiegend, idealer Weise vollständig durch den zweiten Abschnitt abgedeckt. Weiterhin ist der zweite Abschnitt in der Schließstellung benachbart zur wenigstens einen Elektrode angeordnet, was die Möglichkeit einschließt, dass der zweite Abschnitt die wenigstens eine Elektrode kontaktiert. Durch die Nähe der elektrisch leitfähigen Membran zur wenigstens einen Elektrode ist die Schließstellung über eine Messung wenigstens einer elektrischen Größe feststellbar. Bspw. kann die wenigstens eine Elektrode durch ein Dielektrikum isoliert sein, wobei die elektrisch leitfähige Membran als Gegenelektrode fungiert. In Abhängigkeit von der Position des zweiten Abschnitts relativ zur wenigstens einen Elektrode verändert sich die Kapazität der Anordnung, wobei der Schließstellung eine bestimmte, oftmals charakteristische, Kapazität zugeordnet werden kann. In diesem Fall würden also der erste und der zweite elektrische Kontakt mit denen Polen einer Spannungsquelle verbunden, was zu einer kapazitätsabhängigen Aufladung der Anordnung führt. In this case, in a closed position, the membrane covers the at least one passage opening and the second section is arranged adjacent to the at least one electrode. Of course, this is the closed position of the check valve, in which this prevents passage of a fluid against the intended direction. In this case, the membrane acts as a closing element which covers the at least one passage opening. It can also be said that the membrane completely closes the passage opening or closes completely covering it. In order to be able to act as a movable closing element, the membrane at least partially covers the passage opening with the second, that is to say movable section. Preferably, the passage opening is predominantly, ideally completely covered by the second section. Furthermore, in the closed position, the second section is arranged adjacent to the at least one electrode, which includes the possibility that the second section contacts the at least one electrode. Due to the proximity of the electrically conductive membrane to the at least one electrode, the closed position can be detected by measuring at least one electrical variable. For example. For example, the at least one electrode may be insulated by a dielectric, wherein the electrically conductive membrane acts as a counterelectrode. Depending on the position of the second section relative to the at least one electrode, the capacitance of the arrangement changes, wherein the closed position, a certain, often characteristic, capacity can be assigned. In this case, therefore, the first and the second electrical contact would be connected to those of a voltage source, resulting in a capacitance-dependent charging of the arrangement.

In einer Durchlassstellung ist der zweite Abschnitt hingegen wenigstens teilweise vom Basiskörper abgehoben, was zum einen bedeutet, dass die wenigstens eine Durchgangsöffnung zumindest teilweise freigegeben ist, zum anderen aber auch, dass der zweite Abschnitt sich von wenigstens einer Elektrode entfernt. Dies führt in jedem Fall zu einer Veränderung der elektrischen Eigenschaften, bspw. zu einer Veränderung der Kapazität, wobei ein Zusammenhang zwischen einer sich verändernden elektrischen Messgröße und der freigegebenen Fläche der Durchgangsöffnung besteht. Bei dem erfindungsgemäßen Rückschlagventil ist es somit möglich, über eine Messung einer elektrischen Größe den Öffnungszustand des Ventils bzw. den Durchfluss durch dasselbe zu bestimmen. Je nach geometrischer und materieller Ausgestaltung der verschiedenen Elemente kann der Zusammenhang zwischen der Messgröße und dem Durchfluss kompliziert (insbesondere nicht-linear) sein, er kann aber z. B. in Versuchen durch Kalibrierung ermittelt werden.In a pass-through position, however, the second section is at least partially lifted from the base body, which means, on the one hand, that the at least one through-opening is at least partially released, and, on the other hand, that the second section moves away from at least one electrode. In any case, this leads to a change in the electrical properties, for example to a change in the capacitance, wherein there is a relationship between a changing electrical measured variable and the released area of the through opening. In the check valve according to the invention, it is thus possible to determine the opening state of the valve or the flow through the same via a measurement of an electrical variable. Depending on the geometric and material configuration of the various elements of the relationship between the measured variable and the flow can be complicated (especially non-linear), but it can be z. B. can be determined in tests by calibration.

Durch die Erfindung wird somit ein Rückschlagventil zur Verfügung gestellt, welches gleichzeitig als Durchflusssensor eingesetzt werden kann. Das Rückschlagventil kann dabei relativ einfach und somit kostengünstig konstruiert sein. Auch ist eine sehr platzsparende Konstruktion möglich. Zu beachten ist auch, dass normalerweise der zweite Abschnitt der Membran das einzige bewegliche Teil des Ventils darstellt, womit sich nahezu kein Verschleiß ergibt und auch eine Blockierung des Ventils kaum möglich ist. Normalerweise ist die einzige Bewegung das Abheben des zweiten Abschnitts vom Basiskörper, d. h. es gibt keinerlei Reibung von beweglichen Teilen gegeneinander.The invention thus provides a check valve which can be used simultaneously as a flow sensor. The check valve can be relatively simple and thus be constructed inexpensively. Also, a very space-saving design is possible. It should also be noted that normally the second section of the diaphragm is the only moving part of the valve, which results in virtually no wear and also hardly blocks the valve. Normally, the only movement is lifting the second section off the base body, ie there is no friction between moving parts against each other.

Beim Übergang von der Schließstellung in die Durchlassstellung löst sich bevorzugt zunächst derjenige Teil des zweiten Abschnitts vom Basiskörper, der am weitesten vom ersten Abschnitt entfernt ist, wobei sich mit zunehmender Druckdifferenz sukzessive weitere Teile des zweiten Abschnitts lösen und hierbei nach und nach die wenigstens eine Durchgangsöffnung freigeben. Dies wiederum führt dazu, dass sich der zweite Abschnitt nach und nach von der wenigstens einen Elektrode entfernt, was mit einer sukzessiven Änderung der Messgröße einhergeht. During the transition from the closed position into the passage position, the part of the second section which is farthest from the first section preferably first dissolves, whereby further parts of the second section successively dissolve with increasing pressure difference, and the at least one through-opening gradually becomes smaller release. This in turn causes the second section to gradually move away from the at least one electrode, which is accompanied by a successive change of the measured variable.

Bevorzugt ist als Elektrode wenigstens ein sich in X-Richtung erstreckendes Widerstandselement auf dem Basiskörper angeordnet, wobei in der Schließstellung der zweite Abschnitt an dem Widerstandselement anliegt. Der Begriff "Widerstandselement" impliziert hierbei selbstverständlich einen elektrischen Widerstand, ist jedoch nicht einschränkend hinsichtlich des Gesamtwiderstands oder des spezifischen Widerstands auszulegen. So kann der Widerstand bzw. der spezifische Widerstand des Widerstandselements unter Umständen geringer sein als der der elektrisch leitfähigen Membran. Das Widerstandselement kann bspw. schichtförmig als Kohle-, Metall- oder Metalloxid-Schichtwiderstand ausgebildet sein.Preferably, at least one resistance element extending in the X-direction is arranged on the base body as the electrode, wherein in the closed position the second portion bears against the resistance element. Of course, the term "resistive element" implies an electrical resistance, but is not to be construed as limiting the total resistance or resistivity. Thus, the resistance or the specific resistance of the resistance element may be less than that of the electrically conductive membrane. The resistance element may, for example, be formed in layer form as a carbon, metal or metal oxide sheet resistance.

Dabei liegt der zweite Abschnitt liegt in der Schließstellung am Widerstandselement an. Hierdurch wird eine elektrische Verbindung hergestellt, weshalb die Membran zumindest auf der dem Widerstandselement zugewandten Seite elektrisch leitfähig sein muss. In der Schließstellung ergibt sich also insgesamt eine elektrische Verbindung vom ersten elektrischen Kontakt über die elektrisch leitfähige Membran und das Widerstandselement zum zweiten elektrischen Kontakt. Somit kann ein elektrischer Strom fließen und aus dem Verhältnis von Spannung und Strom lässt sich ein Gesamtwiderstand ermitteln, der charakteristisch für die Schließstellung ist. In this case, the second section is located in the closed position on the resistance element. As a result, an electrical connection is made, which is why the membrane must be electrically conductive at least on the side facing the resistance element. In the closed position, therefore, an electrical connection results overall from the first electrical contact via the electrically conductive diaphragm and the resistance element to the second electrical contact. Thus, an electric current can flow and from the ratio of voltage and current, a total resistance can be determined, which is characteristic of the closed position.

In der Durchlassstellung ist der zweite Abschnitt wenigstens teilweise vom Basiskörper abgehoben, was zum einen bedeutet, dass die wenigstens eine Durchgangsöffnung zumindest teilweise freigegeben ist, zum anderen aber auch, dass der zweite Abschnitt unter Umständen nur noch teilweise oder gar nicht mehr am Widerstandselement anliegt. Hierdurch ändert sich der zwischen dem ersten und zweiten elektrischen Kontakt messbare Gesamtwiderstand, wobei ein Zusammenhang zwischen dem gemessenen Widerstand und der freigegebenen Fläche der Durchgangsöffnung besteht. Bei dieser Ausgestaltung ist es somit möglich, über eine Widerstandsmessung den Öffnungszustand des Ventils bzw. den Durchfluss durch dasselbe zu bestimmen. Der Zusammenhang zwischen dem Widerstand und dem Durchfluss kann dabei kompliziert (insbesondere nicht-linear) sein, er kann aber z. B. in Versuchen durch Kalibrierung ermittelt werden.In the passage position of the second portion is at least partially lifted from the base body, which means that the at least one through hole is at least partially released, on the other hand, but that the second portion may only partly or not at the resistance element. As a result, the total resistance that can be measured between the first and second electrical contacts changes, with a relationship between the measured resistance and the released area of the through opening. In this embodiment, it is thus possible to determine the opening state of the valve or the flow through the same via a resistance measurement. The relationship between the resistance and the flow can be complicated (especially non-linear), but it can be z. B. can be determined in tests by calibration.

Beim Übergang von der Schließstellung in die Durchlassstellung löst sich bevorzugt zunächst derjenige Teil des zweiten Abschnitts vom Basiskörper, der am weitesten vom ersten Abschnitt entfernt ist, wobei sich mit zunehmender Druckdifferenz sukzessive weitere Teile des zweiten Abschnitts lösen und hierbei nach und nach die wenigstens eine Durchgangsöffnung freigeben. Dies wiederum führt dazu, dass sich der zweite Abschnitt nach und nach vom Widerstandselement löst, was mit einer sukzessiven Änderung des Gesamtwiderstands einhergeht. In dieser Hinsicht wirkt das Rückschlagventil ähnlich wie ein Potentiometer, wobei die Membran bzw. der zweite Abschnitt derselben als Stellelement wirkt.During the transition from the closed position into the passage position, the part of the second section which is farthest from the first section preferably first dissolves, whereby further parts of the second section successively dissolve with increasing pressure difference, and the at least one through-opening gradually becomes smaller release. This in turn causes the second section to gradually separate from the resistance element, which is accompanied by a successive change in the total resistance. In this regard, the check valve acts much like a potentiometer, with the diaphragm or second portion acting as an actuator.

Bevorzugt ist das Widerstandselement in einer quer zur X-Richtung verlaufenden Y-Richtung neben einer Durchgangsöffnung angeordnet. Bei dem oben beschriebenen Vorgang des sukzessiven Lösens vom Basiskörper, das entlang der X-Richtung erfolgt, erfolgt die Freigabe von Teilen der Durchgangsöffnung gewissermaßen parallel zum Lösen vom Widerstandselement. D. h. die Vergrößerung der Durchflussmenge und die Veränderung des Gesamtwiderstands verlaufen ebenfalls parallel, wodurch sich ein Zusammenhang besser ermitteln lässt.The resistance element is preferably arranged in a Y-direction extending transversely to the X-direction next to a passage opening. In the above-described process of successively releasing the base body along the X-direction, the release of parts of the through-hole is, as it were, parallel to release from the resistance element. Ie. the increase in the flow rate and the change in the total resistance also run in parallel, which can better determine a relationship.

Ebenfalls bevorzugt ist das Widerstandselement benachbart zu einer Durchgangsöffnung angeordnet. D. h., entweder grenzt das Widerstandselement unmittelbar an die Durchgangsöffnung an, oder es besteht ein Zwischenraum, der allerdings deutlich kleiner ist als eine Ausdehnung des Widerstandselements oder der Durchgangsöffnung in der entsprechenden Richtung, also bspw. höchstens 20 % oder 30 %. Hierdurch besteht zum einen ein engerer Zusammenhang zwischen dem Lösen vom Widerstandselement und der Freigabe der Durchgangsöffnung, zum anderen kann die Membran hinsichtlich ihrer Fläche optimiert werden, da sie ja zumindest die Durchgangsöffnung abdecken und das Widerstandselement berühren muss. In diesem Zusammenhang ist es vorteilhaft, wenn zwischen der Durchgangsöffnung und dem Widerstandselement kein größerer Zwischenraum vorhanden ist.Also preferably, the resistance element is arranged adjacent to a passage opening. That is, either the resistance element directly adjoins the passage opening, or there is a gap which, however, is significantly smaller than an extension of the resistance element or the passage opening in the corresponding direction, ie, for example, at most 20% or 30%. On the one hand there is a closer relationship between the release of the resistance element and the release of the passage opening, on the other hand, the membrane can be optimized in terms of their area, since they cover at least the passage opening and must touch the resistance element. In this context, it is advantageous if there is no larger gap between the passage opening and the resistance element.

Vorteilhaft erstreckt sich ein vom ersten Abschnitt abgewandtes Ende des Widerstandselements in X-Richtung wenigstens so weit wie die wenigstens eine Durchgangsöffnung. Anders ausgedrückt, ist das in X-Richtung am weitesten vom ersten Abschnitt entfernte Ende des Widerstandselements wenigstens so weit entfernt wie das am weitesten entfernte Ende einer jeden Durchgangsöffnung. Der Vorteil bei dieser Anordnung ist, dass auch dann, wenn nur das am weitesten entfernte Ende der Durchgangsöffnung durch ein Abheben des zweiten Abschnitts der Membran freigegeben wird, dies auf jeden Fall zu einem Ablösen des zweiten Abschnitts von einem Teil des Widerstandselements führt. Dies wiederum bringt eine Veränderung des Gesamtwiderstands mit sich, so dass auch eine minimale Freigabe eines Teils einer Durchgangsöffnung elektrisch detektierbar ist. Advantageously, an end of the resistance element facing away from the first section in the X direction extends at least as far as the at least one passage opening. In other words, the end of the resistive element farthest from the first portion in the X direction is at least as far away as the farthest end of each through hole. The advantage with this arrangement is that even if only the farthest end of the through-hole is released by lifting off the second portion of the membrane, this will in any case lead to a detachment of the second portion from a part of the resistance element. This in turn brings about a change in the total resistance, so that even a minimum release of a part of a passage opening is electrically detectable.

Ebenso ist es vorteilhaft, wenn sich ein dem ersten Abschnitt der Membran zugewandtes Ende des Widerstandselements in X-Richtung wenigstens bis zum ersten Abschnitt erstreckt. D. h., das Widerstandselement erstreckt sich in dieser Richtung wenigstens bis zum Ende des zweiten Abschnitts. Dies führt dazu, dass auch dann, wenn der zweite Abschnitt nahezu vollständig vom Basiskörper gelöst ist, geringfügige Positionsänderungen des zweiten Abschnitts noch elektrisch detektierbar sind.It is likewise advantageous if an end of the resistance element facing the first section of the membrane extends in the X direction at least as far as the first section. That is, the resistance element extends in this direction at least to the end of the second portion. As a result, even if the second portion is almost completely detached from the base body, slight changes in position of the second portion are still electrically detectable.

Prinzipiell lässt sich die Erfindung mit genau einer Durchgangsöffnung und genau einem Widerstandselement realisieren. Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weist der Basiskörper wenigstens zwei Durchgangsöffnungen auf, zwischen denen das Widerstandselement angeordnet ist. Dabei ist es bevorzugt, dass das Widerstandselement entlang der Y-Richtung zwischen den beiden Durchgangsöffnungen angeordnet ist. Bei einer derartigen Anordnung kann die Membran bspw. symmetrisch angeströmt werden, was üblicherweise auch zu einem symmetrischen bzw. gleichmäßigen Abheben von den Durchgangsöffnungen führt. Die beiden Durchgangsöffnungen und das Widerstandselement können sich hierbei streifenartig nebeneinander liegend in X-Richtung erstrecken.In principle, the invention can be realized with exactly one passage opening and exactly one resistance element. In a preferred embodiment of the invention, the base body has at least two passage openings, between which the resistance element is arranged. It is preferred that the resistance element is arranged along the Y-direction between the two passage openings. In such an arrangement, the membrane can, for example, be flown symmetrically, which usually also leads to a symmetrical or uniform lifting of the through holes. The two passage openings and the resistance element can in this case extend strip-like adjacent to each other in the X direction.

Bei genau einer Durchgangsöffnung kann es ggf. vorteilhaft sein, zwei Widerstandselemente vorzusehen, zwischen denen die Durchgangsöffnung angeordnet ist. Bei nur einem Widerstandselement könnte es andernfalls bspw. bei einem geringfügigen, asymmetrischen Abheben der Membran dazu kommen, dass dieses nicht detektiert werden kann, weil es auf der dem Widerstandselement gegenüberliegenden Seite der Membran stattfindet.In the case of exactly one passage opening, it may be advantageous to provide two resistance elements, between which the passage opening is arranged. Otherwise, in the case of only one resistance element, it could happen, for example, in the case of a slight, asymmetrical lifting of the membrane, that this can not be detected because it takes place on the side of the membrane opposite the resistance element.

Grundsätzlich reicht es für die Funktion des Rückschlagventils aus, dass die Membran flexibel ist, wobei sie ggf. einfach durch das strömende Fluid bzw. die Druckdifferenz in die Schließstellung geführt werden kann bzw. in dieser gehalten werden kann. Um ein zuverlässiges Verschließen der Durchgangsöffnung zu ermöglichen, ist es allerdings bevorzugt, dass der zweite Abschnitt aus der Schließstellung elastisch auslenkbar ist. D. h., aufgrund einer Druckdifferenz durch ein Fluid kann der zweite Abschnitt derart ausgelenkt werden, dass er die Durchgangsöffnung freigibt, allerdings ist diese Auslenkung elastisch, was bedeutet, dass eine Rückstellkraft auftritt, durch die der zweite Abschnitt in die Schließstellung zurückgeführt wird, sobald keine äußere Druckdifferenz bzw. äußere Kraft mehr einwirkt. Die Schließstellung kann hierbei einer entspannten Position des zweiten Abschnitts entsprechen oder der zweite Abschnitt kann in der Schließstellung gegen den Basiskörper vorgespannt sein. Um die elastische Auslenkbarkeit zu realisieren, kann insbesondere die Membran selbst elastisch ausgebildet sein. Alternativ könnte auch ein zusätzliches Rückstellelement vorgesehen sein, dass auf die Membran einwirkt.Basically, it is sufficient for the function of the check valve that the membrane is flexible, where they can possibly be easily guided by the flowing fluid or the pressure difference in the closed position or can be held in this. In order to enable a reliable closing of the passage opening, however, it is preferred that the second section is elastically deflectable from the closed position. That is, due to a pressure difference across a fluid, the second portion may be deflected to release the through-hole, but this deflection is elastic, which means that a restoring force occurs, by which the second portion is returned to the closed position. as soon as no external pressure difference or external force is applied. The closed position may in this case correspond to a relaxed position of the second section or the second section may be biased in the closed position against the base body. In order to realize the elastic deflectability, in particular the membrane itself may be formed elastically. Alternatively, an additional return element could be provided that acts on the membrane.

Vorteilhaft ist der zweite elektrische Kontakt an einem dem ersten elektrischen Kontakt gegenüberliegenden Ende des Widerstandselements angeordnet. Man könnte also davon sprechen, dass der zweite elektrische Kontakt am äußersten Ende des Widerstandselements angeordnet ist. Hierdurch wird der räumliche Abstand zwischen den beiden elektrischen Kontakten maximiert. Normalerweise werden solche Teile des Widerstandselement, die vom ersten elektrischen Kontakt weiter entfernt sind als der zweite elektrische Kontakt, nicht oder nur in geringem Maße von Strom durchflossen bzw. haben kaum Einfluss auf den Gesamtwiderstand. Somit entspricht die hier beschriebene Ausgestaltung einer optimalen Ausnutzung des gesamten Widerstandselements.Advantageously, the second electrical contact is arranged on an end of the resistance element opposite the first electrical contact. One could therefore say that the second electrical contact is arranged at the outermost end of the resistance element. This maximizes the spatial distance between the two electrical contacts. Normally, those parts of the resistance element which are farther away from the first electrical contact than the second electrical contact are not or only to a small extent flowed through by current or have little influence on the total resistance. Thus, the embodiment described here corresponds to an optimal utilization of the entire resistance element.

Wie bereits oben angedeutet, kann das Rückschlagventil als eine Art Potentiometer wirken, über dessen Widerstand der Durchfluss gemessen werden kann. Hierbei ist es im Hinblick auf die Empfindlichkeit vorteilhaft, wenn eine möglichst kleine Änderung des Durchflusses zu einer möglichst großen Veränderung des Widerstandes führt. Einerseits lässt sich dies über die Wahl der spezifischen Widerstände des Widerstandselements und der leitfähigen Membran beeinflussen. Andererseits kann hier auch die Geometrie der wenigstens einen Durchgangsöffnung eine Rolle spielen. So ist es vorteilhaft, wenn wenigstens eine Durchgangsöffnung in X-Richtung eine größere Ausdehnung aufweist als in Y-Richtung. Insbesondere kann die entsprechende Ausdehnung bspw. wenigstens das Zweifache oder wenigstens das Fünffache betragen. Man könnte auch sagen, dass der Querschnitt der Durchgangsöffnung in X-Richtung langgestreckt bzw. in Y-Richtung schmal ist. Vorteilhaft ist hierbei auch, dass für den Fall, dass sich der zweite Abschnitt asymmetrisch ablöst (also auf einer Seite der Durchgangsöffnung weiter ablöst als auf der anderen Seite), ein hiermit verbundener Messfehler also geringer ausfällt. Oftmals ist es auch so, dass einen derartiges asymmetrisches Ablösen bei einer Mehrzahl von Durchgangsöffnungen seltener auftritt bzw. weniger ausgeprägt ist.As already indicated above, the check valve can act as a kind of potentiometer, through the resistance of which the flow can be measured. It is advantageous in terms of sensitivity, if the smallest possible change in the flow leads to the largest possible change in the resistance. On the one hand, this can be influenced by the choice of specific resistances of the resistive element and the conductive membrane. On the other hand, the geometry of the at least one passage opening can also play a role here. Thus, it is advantageous if at least one passage opening in the X direction has a greater extent than in the Y direction. In particular, the corresponding extent, for example, be at least twice or at least five times. It could also be said that the cross section of the passage opening is elongated in the X direction or narrow in the Y direction. It is also advantageous here that in the event that the second section separates asymmetrically (ie on one side of the through-hole further detaches than on the other side), thus an associated measurement error thus less. It is also often the case that such an asymmetrical detachment occurs less frequently or is less pronounced in the case of a plurality of through openings.

Unter dem Aspekt einer möglichen asymmetrischen Ablösung des zweiten Abschnitts kann es auch vorteilhaft sein, wenn wenigstens ein Widerstandselement in X-Richtung eine größere Ausdehnung aufweist als in Y-Richtung. Auch hierbei kann die entsprechende Ausdehnung bspw. wenigstens das Zweifache oder wenigstens das Fünffache betragen.From the aspect of a possible asymmetrical detachment of the second section, it may also be advantageous if at least one resistance element has a greater extent in the X direction than in the Y direction. Again, the corresponding extent, for example, be at least twice or at least five times.

Wie bereits oben erwähnt, bestehen hinsichtlich der spezifischen Widerstände der Membran und des Widerstandselements grundsätzlich keine besonderen Einschränkungen. Vorteilhaft weist die Membran allerdings einen kleineren spezifischen Widerstand auf als das Widerstandselement. Insbesondere kann der spezifische Widerstand deutlich kleiner sein, bspw. um das Zehnfache oder das Hundertfache. Bei einer derartigen Ausgestaltung wird der Gesamtwiderstand überwiegend durch den Anteil des Widerstandselements bestimmt, an dem der zweite Abschnitt der Membran nicht anliegt. Die übrigen Teile des Widerstandselements sind gewissermaßen durch die Membran überbrückt.As already mentioned above, with regard to the specific resistances of the membrane and of the resistance element, there are basically no particular restrictions. Advantageously, however, the membrane has a smaller specific resistance than the resistance element. In particular, the specific resistance can be significantly smaller, for example, ten times or one hundred times. In such an embodiment, the total resistance is determined predominantly by the proportion of the resistance element to which the second portion of the membrane is not applied. The remaining parts of the resistor element are effectively bridged by the membrane.

Die Art, wie sich der Gesamtwiderstand beim Ablösen des zweiten Abschnitts ändert, kann durch die Geometrie des Widerstandselements beeinflusst werden. So würde sich bspw. bei einem quaderförmigen Widerstandselement, dessen spezifischer Widerstand deutlich größer ist als der der Membran, ein im Wesentlichen linearer Zusammenhang ergeben. Gemäß einer alternativen Ausgestaltung weist wenigstens ein Widerstandselement eine Ausdehnung in Y-Richtung und/oder in Z-Richtung auf, die sich entlang der X-Richtung ändert. Sieht man die Ausdehnung in X-Richtung als Länge des Widerstandselements an, können sich also seine breite (in Y-Richtung) und/oder seine Dicke (in Z-Richtung) ändern. Die entsprechende Ausdehnung kann sich bspw. linear oder aber auch nicht-linear in Abhängigkeit von der X-Koordinate ändern.The way in which the total resistance changes upon detachment of the second section can be influenced by the geometry of the resistance element. Thus, for example, in the case of a parallelepiped-shaped resistance element whose specific resistance is significantly greater than that of the membrane, a substantially linear relationship would result. According to an alternative embodiment, at least one resistance element has an extension in the Y direction and / or in the Z direction, which changes along the X direction. If one looks at the extension in the X direction as the length of the resistance element, its width (in the Y direction) and / or its thickness (in the Z direction) can thus change. The corresponding extent may, for example, change linearly or else non-linearly as a function of the X coordinate.

Das erfindungsgemäße Rückschlagventil lässt sich in verschiedensten Systemen integrieren, bei denen die eigentliche Ventilfunktion in platzsparender und kostengünstiger Weise mit einer Messung des Durchflusses kombiniert werden soll. Bspw. kann in einem System zur Bremskraftverstärkung das Rückschlagventil in einer Verbindungsleitung zwischen einem Bremskraftverstärker und einer Vakuumquelle (einer mechanisch oder elektrisch betriebenen Vakuumpumpe oder dem Ansaugkrümmer des Motors) eingesetzt werden. Hierdurch ist es möglich, den Durchfluss in einfacher Weise zu bestimmen. Dies eröffnet verschiedene Möglichkeiten, bspw. ein Feststellen von Leckagen im System, ohne eine unmittelbare Druckmessung innerhalb des Bremskraftverstärkers vorzunehmen. So lässt sich der erwartete Druck im Bremskraftverstärker indirekt ermitteln bzw. abschätzen. Aus dem erwarteten Druck im Bremskraftverstärker und dem Druck in der Vakuumquelle lässt sich ein erwarteter Durchfluss ableiten. Stimmt dieser erwartete Durchfluss nicht mit dem gemessenen Durchfluss überein, kann hieraus auf das Vorliegen einer Leckage geschlossen werden. Dies ist vorteilhaft gegenüber Systemen im Stand der Technik, die für eine derartige Fehlerdiagnose auf eine unmittelbare Druckmessung im Bremskraftverstärker angewiesen sind, was aufgrund des dort zu integrierenden Drucksensors aufwendig und kostenintensiv ist. Demgegenüber ist das erfindungsgemäße Rückschlagventil kostengünstig und lässt sich leicht integrieren.The check valve according to the invention can be integrated in a variety of systems in which the actual valve function is to be combined in a space-saving and cost-effective manner with a measurement of the flow. For example. For example, in a brake booster system, the check valve may be inserted in a communication line between a brake booster and a vacuum source (a mechanically or electrically operated vacuum pump or the intake manifold of the engine). This makes it possible to determine the flow in a simple manner. This opens up various possibilities, for example a detection of leaks in the system, without making an immediate pressure measurement within the brake booster. Thus, the expected pressure in the brake booster can be indirectly determined or estimated. From the expected pressure in the brake booster and the pressure in the vacuum source, an expected flow can be derived. If this expected flow does not match the measured flow, it can be concluded that there is a leak. This is advantageous over systems in the prior art, which rely on an immediate pressure measurement in the brake booster for such a fault diagnosis, which is complicated and costly due to the pressure sensor to be integrated there. In contrast, the check valve according to the invention is inexpensive and can be easily integrated.

Weitere vorteilhafte Einzelheiten und Wirkungen der Erfindung sind im Folgenden anhand von in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:Further advantageous details and effects of the invention are explained in more detail below with reference to exemplary embodiments illustrated in the figures. Show it:

1 eine schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Rückschlagventils in einer Schließstellung; 1 a schematic representation of a first embodiment of a check valve according to the invention in a closed position;

2 eine schematische Darstellung eines Teils des Rückschlagventils aus 1; 2 a schematic representation of a portion of the check valve 1 ;

3 eine schematische Darstellung des Rückschlagventils aus 1 in einer ersten Durchlassstellung; 3 a schematic representation of the check valve 1 in a first passage position;

4 eine schematische Darstellung des Rückschlagventils aus 1 in einer zweiten Durchlassstellung; sowie 4 a schematic representation of the check valve 1 in a second passage position; such as

5 eine schematische Darstellung eines Teils einer zweiten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Rückschlagventils; 5 a schematic representation of part of a second embodiment of a check valve according to the invention;

In den unterschiedlichen Figuren sind gleiche Teile stets mit denselben Bezugszeichen versehen, weswegen diese in der Regel auch nur einmal beschrieben werden. In the different figures, the same parts are always provided with the same reference numerals, which is why these are usually described only once.

1 zeigt schematisiert eine perspektivische Darstellung einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Rückschlagventils 1. Das Rückschlagventil 1 weist einen Basiskörper 2 auf, auf dem eine elektrisch leitfähige Membran 3 befestigt ist. Genauer gesagt ist ein erster Abschnitt 3.1 der Membran bspw. durch Kleben am Basiskörper 2 befestigt, während ein im vorliegenden Beispiel flächenmäßig deutlich größerer zweiter Abschnitt 3.2 gegenüber dem Basiskörper 2 beweglich ist. Dabei kann der zweite Abschnitt 3.2 gebogen werden und so von einer Oberfläche 2.1 des Basiskörpers abgehoben werden. Die beiden Abschnitte 3.1, 3.2 sind in einer X-Richtung gesehen aufeinanderfolgend angeordnet. Der erste Abschnitt 3.1 weist einen ersten elektrischen Kontakt 7 auf, der mit einem Stromkreis 9 verbunden ist. 1 schematically shows a perspective view of a first embodiment of a check valve according to the invention 1 , The check valve 1 has a base body 2 on top of which an electrically conductive membrane 3 is attached. More precisely, this is a first section 3.1 the membrane, for example, by gluing on the base body 2 attached, while in the present example, in terms of area considerably larger second section 3.2 opposite the base body 2 is mobile. It can the second section 3.2 be bent and so on a surface 2.1 be lifted off the base body. The two sections 3.1 . 3.2 are arranged successively in an X direction. The first paragraph 3.1 has a first electrical contact 7 on that with a circuit 9 connected is.

Der Basiskörper 2 ist hier mit rechteckigem Querschnitt gezeigt, was allerdings rein schematisch zu verstehen ist. Er kann bspw. auch einen runden Querschnitt aufweisen und mit Gewindeelementen oder Bohrungen für Schrauben versehen sein, mittels derer er innerhalb einer Fluidleitung befestigt werden kann.The base body 2 is shown here with rectangular cross-section, which is to understand, however, purely schematic. It may, for example, also have a round cross section and be provided with threaded elements or holes for screws, by means of which it can be fastened within a fluid line.

Die weitere Struktur des Rückschlagventils 1 wird mit Bezug auf die Teilansicht in 2 erläutert, in der die Membran 3 weggelassen wurde. Der Basiskörper 2 weist zwei Durchgangsöffnungen 4, 5 mit jeweils rechteckigen Querschnitt auf, die in X-Richtung langgestreckt sind, was in diesem Fall bedeutet, dass ihre Ausdehnung in X-Richtung ungefähr das Fünffache einer Ausdehnung in quer dazu verlaufender Y-Richtung beträgt. Die beiden Durchgangsöffnungen 4, 5 dienen dazu, ein Fluid, bspw. Luft, durch den Basiskörper 2 hindurch zu lassen. Die vorgesehene Strömungsrichtung des Fluids entspricht dabei einer zur X-Richtung und zur Y-Richtung senkrechten Z-Richtung. Weist das Fluid allerdings auf der Seite der Membran 3 einen höheren Druck auf, werden die Durchgangsöffnungen 4, 5 durch die Membran 3 verschlossen, d. h. das Rückschlagventil 1 befindet in einer in der 1 dargestellten Schließstellung.The further structure of the check valve 1 is related to the partial view in 2 explains in which the membrane 3 was omitted. The base body 2 has two passage openings 4 . 5 each having a rectangular cross section, which are elongated in the X direction, which means in this case that their extension in the X direction is approximately five times an extension in transverse Y direction. The two passage openings 4 . 5 serve to a fluid, eg. Air, through the base body 2 let through. The intended flow direction of the fluid corresponds to a direction perpendicular to the X direction and the Y direction Z direction. However, the fluid is on the side of the membrane 3 a higher pressure on, the through holes 4 . 5 through the membrane 3 closed, ie the check valve 1 located in one of the 1 illustrated closed position.

Zwischen den Durchgangsöffnungen 4, 5 ist ein Steg ausgebildet, auf dem ein Widerstandselement 6 angeordnet ist. Das Widerstandselement 6 hat die Form einer rechteckigen, vergleichsweise dünnen Schicht (bspw. eine Metalloxidschicht), die auf die Oberfläche des Stegs aufgebracht ist. Der spezifische Widerstand des Widerstandselements 6 kann hierbei bspw. wenigstens um Faktor 10 größer sein als der spezifische Widerstand der Membran 3. Das Widerstandselement 6 erstreckt sich in X-Richtung über die gesamte Länge der Durchgangsöffnungen 4, 5. Dabei erstreckt sich ein vom ersten Abschnitt 3.1 abgewandtes Ende 6.2 des Widerstandselements 6 genauso weit in X-Richtung wie die Durchgangsöffnungen 4, 5, während ein dem ersten Abschnitt 3.1 zugewandtes Ende 6.1 sich bis zum ersten Abschnitt 3.1 hin erstreckt. Das Widerstandselement 6 füllt nahezu die gesamte Breite des Steges aus und ist somit zu beiden Durchgangsöffnungen 4, 5 benachbart. An dem Ende 6.2 ist ein zweiter elektrischer Kontakt 8 angeordnet, der ebenfalls mit dem Stromkreis 9 verbunden ist.Between the passage openings 4 . 5 a web is formed on which a resistance element 6 is arranged. The resistance element 6 has the shape of a rectangular, comparatively thin layer (for example, a metal oxide layer) applied to the surface of the ridge. The resistivity of the resistive element 6 may in this case, for example, at least by a factor of 10 be greater than the specific resistance of the membrane 3 , The resistance element 6 extends in the X direction over the entire length of the through holes 4 . 5 , It extends from the first section 3.1 opposite end 6.2 of the resistance element 6 as far in the X-direction as the through holes 4 . 5 while one the first section 3.1 facing end 6.1 up to the first section 3.1 extends. The resistance element 6 fills almost the entire width of the web and is thus to both through holes 4 . 5 adjacent. At the end 6.2 is a second electrical contact 8th arranged, which is also connected to the circuit 9 connected is.

Der Stromkreis 9 wird zwischen dem ersten elektrischen Kontakt 7 und dem zweiten elektrischen Kontakt 8 durch die leitfähige Membran 3 und das Widerstandselement 6 geschlossen, an dem die Membran 3 anliegt. Da der spezifische Widerstand des Widerstandselements 6 deutlich größer ist als derjenige der Membran 3, wird in der in 1 dargestellten Schließstellung das Widerstandselement 6 gewissermaßen durch die Membran 3 überbrückt. Somit bestimmt sich der Gesamtwiderstand zwischen den beiden elektrischen Kontakten 7, 8 hauptsächlich durch den Widerstand der Membran 3. Der Widerstand kann durch eine Messvorrichtung 10 ermittelt werden, die bspw. eine Spannungsquelle umfasst und den Strom im Stromkreis 9 misst.The circuit 9 is between the first electrical contact 7 and the second electrical contact 8th through the conductive membrane 3 and the resistance element 6 closed, on which the membrane 3 is applied. As the resistivity of the resistive element 6 is significantly larger than that of the membrane 3 , will be in the in 1 shown closed position the resistance element 6 in a sense through the membrane 3 bridged. Thus, the total resistance between the two electrical contacts determined 7 . 8th mainly due to the resistance of the membrane 3 , The resistance can be measured by a measuring device 10 be determined, for example, includes a voltage source and the current in the circuit 9 measures.

Die Membran 3 besteht aus einem elastischen Material, wobei der zweite Abschnitt 3.2 in der in 1 dargestellten Schließstellung gegen den Basiskörper 2 vorgespannt ist. Er ist allerdings durch einen von Seiten der Durchgangsöffnungen 4, 5 einwirkenden Fluiddruck elastisch aus der Schließstellung auslenkbar, so dass er sich ganz oder teilweise von der Oberfläche 2.1 des Basiskörpers 2 und des Widerstandselementes 6 abhebt. Ein solcher Zustand ist in 3 dargestellt, die das Rückschlagventil 1 in einer ersten Durchlassstellung zeigt. Hierbei ist der zweite Abschnitt 3.2 zu einem geringen Teil elastisch verbogen, so dass er von der Oberfläche 2.1 abgehoben ist. Hiermit ist ein Teil der Durchgangsöffnungen 4, 5 freigegeben, womit es zu einem Durchfluss des Fluids kommen kann. Ein (im Allgemeinen nicht linearer) Zusammenhang zwischen der freigegebenen Fläche und dem Durchfluss kann bspw. experimentell bestimmt werden. Dadurch, dass sich der zweite Abschnitt 3.2 von der Oberfläche 2.1 abhebt, erfolgt auch eine teilweise Ablösung vom Widerstandselement 6. Dies wiederum führt dazu, dass derjenige Teil des Widerstandselements 6, der nicht mehr in Kontakt mit der Membran 3 steht, nicht mehr überbrückt ist und somit in erheblichem Maße zum Gesamtwiderstand beiträgt. Eine entsprechende Erhöhung des Widerstands kann von der Messvorrichtung 10 registriert werden.The membrane 3 consists of an elastic material, the second section 3.2 in the in 1 shown closed position against the base body 2 is biased. He is, however, through one of the passageways 4 . 5 acting fluid pressure elastically deflected from the closed position, so that it is completely or partially from the surface 2.1 of the base body 2 and the resistance element 6 takes off. Such a condition is in 3 shown the the check valve 1 in a first passage position shows. Here is the second section 3.2 to a small extent elastically bent, leaving it from the surface 2.1 is lifted off. This is part of the passage openings 4 . 5 released, which can lead to a flow of the fluid. For example, a (generally non-linear) relationship between the released area and the flow may be determined experimentally. This makes the second section 3.2 from the surface 2.1 takes off, there is also a partial detachment from the resistance element 6 , This in turn leads to that part of the resistance element 6 who is no longer in contact with the membrane 3 is no longer bridged and thus contributes significantly to the overall resistance. A corresponding increase in resistance may be provided by the measuring device 10 be registered.

In 4 ist eine weitere Durchlassstellung gezeigt, bei der der Durchfluss gegenüber 3 erhöht ist, was mit einer weiteren Ablösung des zweiten Abschnitts 3.2 von der Oberfläche 2.1 und des Widerstandselementes 6 einhergeht. Einerseits ist hierdurch ein größerer Anteil der Durchgangsöffnungen 4, 5 freigegeben, andererseits liegt die Membran 3 an einem noch kleineren Teil des Widerstandselements 6 an. Nur dieser wiederum kleinere Teil ist somit im oben beschriebenen Sinne überbrückt, was zu einer weiteren Erhöhung des Gesamtwiderstands führt. In 4 is shown a further passage position, where the flow is opposite 3 is increased, resulting in a further replacement of the second section 3.2 from the surface 2.1 and the resistance element 6 accompanied. On the one hand, this results in a larger proportion of the passage openings 4 . 5 released, on the other hand is the membrane 3 on an even smaller part of the resistance element 6 at. Only this smaller part is thus bridged in the sense described above, which leads to a further increase in the total resistance.

Für den beschriebenen Fall, dass der spezifische Widerstand des Widerstandselements 6 wesentlich größer ist als derjenige der Membran 3, ist der Gesamtwiderstand bei dem in 14 gezeigten Rückschlagventil 1 annähernd proportional zur freigegebenen Fläche der Durchgangsöffnungen 4, 5. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Rückschlagventils 1a, bei dem dies nicht so ist. Dabei ist wiederum wie in 2 die Membran 3 weggelassen. Dieses Rückschlagventil 1a entspricht weitgehend dem in 14 gezeigten und wird insoweit nicht nochmals beschrieben. Allerdings weist hierbei einen Widerstandselement 6a eine Ausdehnung in Y-Richtung auf, die sich entlang der X-Richtung ändert. Dadurch hat das Widerstandselement 6a eine im Wesentlichen trapezförmige, dazu dreieckige Gestalt, wobei es sich in Richtung auf den ersten Abschnitt 3.1 hin verjüngt. Da der Widerstandsbeitrag der verjüngten Teile aufgrund des geringeren Querschnitts größer ist, ändert sich der Gesamtwiderstand insgesamt nicht-linear mit der freigegebenen Fläche der Durchgangsöffnungen 4, 5.For the case described that the resistivity of the resistive element 6 is much larger than that of the membrane 3 , the total resistance at the in 1 - 4 shown check valve 1 nearly proportional to the released area of the passage openings 4 . 5 , 5 shows a further embodiment of a check valve 1a in which this is not so. Here again is like in 2 the membrane 3 omitted. This check valve 1a is largely the same as in 1 - 4 shown and will not be described again. However, in this case has a resistance element 6a an extension in the Y direction that changes along the X direction. This has the resistance element 6a a substantially trapezoidal, triangular shape, wherein it is in the direction of the first section 3.1 rejuvenated. Since the resistance contribution of the tapered parts is greater due to the smaller cross section, the total resistance changes overall non-linearly with the released area of the through holes 4 . 5 ,

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1, 1a1, 1a
Rückschlagventil check valve
22
Basiskörper base body
2.1 2.1
Oberflächesurface
33
Membran membrane
3.1 3.1
erster Abschnittfirst section
3.2 3.2
zweiter Abschnittsecond part
4, 54, 5
Durchgangsöffnung Through opening
6, 6a6, 6a
Widerstandselement resistive element
6.1, 6.2 6.1, 6.2
Ende The End
7, 87, 8
elektrischer Kontakt  electric contact
99
Stromkreis circuit
1010
Messvorrichtung measuring device
XX
X-Richtung  X-direction
YY
Y-Richtung Y-direction
ZZ
Z-Richtung  Z-direction

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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  • US 8800473 B1 [0007] US 8800473 B1 [0007]
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  • US 4926903 A [0009] US 4926903 A [0009]
  • US 4213021 A [0010] US Pat. No. 4,213,021 A [0010]
  • US 2008/0053537 A1 [0011] US 2008/0053537 A1 [0011]

Claims (10)

Rückschlagventil (1, 1a) mit – einem Basiskörper (2) mit wenigstens einer Durchgangsöffnung (4, 5), – einer elektrisch leitfähigen Membran (3), die entlang einer X-Richtung aufeinanderfolgend einen ersten, am Basiskörper befestigten Abschnitt (3.1) mit einem ersten elektrischen Kontakt (7), und einen zweiten, beweglichen Abschnitt (3.2) aufweist, wobei der Basiskörper (2) wenigstens eine sich in X-Richtung erstreckende Elektrode (6, 6a) aufweist, die mit einem zweiten elektrischen Kontakt (8) verbunden ist, und wobei in einer Schließstellung die Membran (3) die wenigstens eine Durchgangsöffnung (4, 5) abdeckt und der zweite Abschnitt (3.2) benachbart zur wenigstens einen Elektrode (6, 6a) angeordnet ist.Check valve ( 1 . 1a ) with - a base body ( 2 ) with at least one passage opening ( 4 . 5 ), - an electrically conductive membrane ( 3 ), which successively along a X-direction a first, attached to the base body portion ( 3.1 ) with a first electrical contact ( 7 ), and a second, movable section ( 3.2 ), wherein the base body ( 2 ) at least one extending in the X direction electrode ( 6 . 6a ) which is connected to a second electrical contact ( 8th ), and wherein in a closed position the membrane ( 3 ) the at least one passage opening ( 4 . 5 ) and the second section ( 3.2 ) adjacent to the at least one electrode ( 6 . 6a ) is arranged. Rückschlagventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Elektrode wenigstens ein sich in X-Richtung erstreckendes Widerstandselement (6, 6a) auf dem Basiskörper (2) angeordnet ist, wobei in der Schließstellung der zweite Abschnitt (3.2) an dem Widerstandselement (6, 6a) anliegt.Check valve according to claim 1, characterized in that (as an electrode, at least one extending in the X-direction resistive element 6 . 6a ) on the base body ( 2 ) is arranged, wherein in the closed position of the second section ( 3.2 ) on the resistance element ( 6 . 6a ) is present. Rückschlagventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Widerstandselement (6, 6a) in einer quer zur X-Richtung verlaufenden Y-Richtung neben einer Durchgangsöffnung (4, 5) angeordnet ist.Check valve according to claim 2, characterized in that the resistance element ( 6 . 6a ) in a transverse to the X direction Y-direction next to a through hole ( 4 . 5 ) is arranged. Rückschlagventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein vom ersten Abschnitt (3.1) abgewandtes Ende (6.2) des Widerstandselements (6, 6a) sich in X-Richtung wenigstens so weit erstreckt wie die wenigstens eine Durchgangsöffnung (4, 5).Check valve according to one of the preceding claims, characterized in that one of the first section ( 3.1 ) opposite end ( 6.2 ) of the resistive element ( 6 . 6a ) extends in the X direction at least as far as the at least one passage opening ( 4 . 5 ). Rückschlagventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein dem ersten Abschnitt (3.1) zugewandtes Ende (6.1) des Widerstandselements (6, 6a) sich in X-Richtung wenigstens bis zum ersten Abschnitt (3.1) erstreckt.Check valve according to one of the preceding claims, characterized in that a first section ( 3.1 ) facing end ( 6.1 ) of the resistive element ( 6 . 6a ) in the X direction at least until the first section ( 3.1 ). Rückschlagventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Basiskörper (2) wenigstens zwei Durchgangsöffnungen (4, 5) aufweist, zwischen denen das Widerstandelement (6, 6a) angeordnet ist.Check valve according to one of the preceding claims, characterized in that the base body ( 2 ) at least two through holes ( 4 . 5 ), between which the resistance element ( 6 . 6a ) is arranged. Rückschlagventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Abschnitt (3.2) aus der Schließstellung elastisch auslenkbar ist.Check valve according to one of the preceding claims, characterized in that the second section ( 3.2 ) is elastically deflectable from the closed position. Rückschlagventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite elektrische Kontakt (8) an einem dem ersten elektrischen Kontakt (7) gegenüberliegenden Ende (6.2) des Widerstandselements (6, 6a) angeordnet ist.Check valve according to one of the preceding claims, characterized in that the second electrical contact ( 8th ) at a first electrical contact ( 7 ) opposite end ( 6.2 ) of the resistive element ( 6 . 6a ) is arranged. Rückschlagventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Durchgangsöffnung (4, 5) in X-Richtung eine größere Ausdehnung aufweist als in Y-Richtung.Check valve according to one of the preceding claims, characterized in that at least one passage opening ( 4 . 5 ) has a greater extent in the X direction than in the Y direction. Rückschlagventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Widerstandselement (6, 6a) eine Ausdehnung in Y-Richtung und/oder in Z-Richtung aufweist, die sich entlang der X-Richtung ändert.Check valve according to one of the preceding claims, characterized in that at least one resistance element ( 6 . 6a ) has an extension in the Y direction and / or in the Z direction, which changes along the X direction.
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