DE102014202737A1 - BEARING SYSTEM AND SYSTEM FOR STORING AN OPTICAL ELEMENT - Google Patents

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Abstract

Ein Lagerelement für ein Lagersystem zum Lagern eines optischen Elements umfasst ein erstes Koppelende (52), an dem es mit dem optischen Element (34) koppelbar ist, und ein zweites Koppelende (56), an dem es einer Tragstruktur (38) koppelbar ist, sowie wenigstens eine Trageinheit (48, 50), welche sich zwischen dem ersten Koppelende (52) und dem zweiten Koppelende (56) erstreckt. Die Trageinheit (48, 50) umfasst ein Stützelement (66), welches überwiegend eine Stützfunktion hat, und wenigstens ein Funktionselement (64), welches im Vergleich zu dem Stützelement (66) überwiegend eine andere Funktion als eine Stützfunktion hat. Bei einem System zum Lagern eines optischen Elements (34) in Halbleiterreinräumen oder im Vakuum, insbesondere in einer Beleuchtungseinrichtung für eine mikrolithographische EUV-Projektionsbelichtungsanlage, ist wenigstens ein derartiges Lagerelement (42) vorhanden.A bearing element for a bearing system for supporting an optical element comprises a first coupling end (52), to which it can be coupled with the optical element (34), and a second coupling end (56), to which it can be coupled to a support structure (38), and at least one support unit (48, 50) extending between the first coupling end (52) and the second coupling end (56). The support unit (48, 50) comprises a support element (66), which predominantly has a support function, and at least one functional element (64), which in comparison to the support element (66) predominantly has a different function than a support function. In a system for storing an optical element (34) in semiconductor clean rooms or in a vacuum, in particular in an illumination device for a microlithographic EUV projection exposure apparatus, at least one such bearing element (42) is present.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

1. Gebiet der Erfindung1. Field of the invention

Die Erfindung betrifft ein Lagerelement für ein Lagersystem zum Lagern eines optischen Elements, mit

  • a) einem ersten Koppelende, an dem es mit dem optischen Element koppelbar ist;
  • b) einem zweiten Koppelende, an dem es mit einer Tragstruktur koppelbar ist;
  • c) wenigstens einer Trageinheit, welche sich zwischen dem ersten Koppelende und dem zweiten Koppelende erstreckt.
The invention relates to a bearing element for a bearing system for supporting an optical element, with
  • a) a first coupling end, to which it can be coupled to the optical element;
  • b) a second coupling end, on which it can be coupled to a support structure;
  • c) at least one support unit, which extends between the first coupling end and the second coupling end.

Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein System zum Lagern eines optischen Elements in Halbleiterreinräumen oder im Vakuum, insbesondere in einer Beleuchtungseinrichtung oder einem Projektionsobjektiv für eine mikrolithographische EUV-Projektionsbelichtungsanlage, mit
wenigstens einem Lagerelement, welches jeweils an einem ersten Koppelende mit dem optischen Element und an einem zweiten Koppelende mit einer Tragstruktur koppelbar ist.
Moreover, the invention relates to a system for storing an optical element in semiconductor clean rooms or in vacuum, in particular in a lighting device or a projection objective for a microlithographic EUV projection exposure apparatus, with
at least one bearing element, which is in each case coupled to a first coupling end with the optical element and at a second coupling end with a support structure.

2. Beschreibung des Standes der Technik2. Description of the Related Art

Mittels mikrolithographischer Projektionsbelichtungsanlagen werden Strukturen, die auf einer Maske angeordnet sind, auf eine lichtempfindliche Schicht wie beispielsweise einen Photolack oder dergleichen übertragen. Hierzu umfasst die Projektionsbelichtungsanlage eine Beleuchtungseinrichtung mit einer Lichtquelle und einem Beleuchtungssystem, welches von der Lichtquelle erzeugtes Projektionslicht aufbereitet und auf die Maske richtet. Die von der Beleuchtungseinrichtung beleuchtete Maske wird durch ein Projektionsobjektiv auf die lichtempfindliche Schicht abgebildet.By means of microlithographic projection exposure apparatus, structures arranged on a mask are transferred to a photosensitive layer such as a photoresist or the like. For this purpose, the projection exposure apparatus comprises an illumination device with a light source and an illumination system, which processes the projection light generated by the light source and directs it to the mask. The illuminated by the illumination device mask is imaged by a projection lens on the photosensitive layer.

Je kürzer die Wellenlänge des Projektionslichtes ist, desto kleinere Strukturen lassen sich mit Hilfe der Projektionsbelichtungsanlage auf der lichtempfindlichen Schicht definieren. Aus diesem Grund wird heutzutage vermehrt Projektionslicht im extremen ultravioletten Spektralbereich, also so genannte EUV-Strahlung, verwendet, dessen mittlere Wellenlänge bei 13,5 nm liegt. Derartige Projektionsbelichtungsanlagen werden daher häufig kurz als EUV-Projektionsbelichtungsanlagen bezeichnet.The shorter the wavelength of the projection light, the smaller structures can be defined on the photosensitive layer with the aid of the projection exposure apparatus. For this reason, projection light in the extreme ultraviolet spectral range, so-called EUV radiation, whose mean wavelength is 13.5 nm is increasingly used today. Such projection exposure systems are therefore often referred to briefly as EUV projection exposure systems.

Da es keine optischen Materialien gibt, die für derart kurze Wellenlängen ein ausreichend hohes Transmissionsvermögen haben, umfasst eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage reflektierende optische Elemente in Form von Spiegeln. Mittels der in der Beleuchtungseinrichtung der EUV-Projektionsbelichtungsanlage angeordneten Spiegel wird das Projektionslicht auf die Maske gelenkt und diese ausgeleuchtet. Mit Hilfe der Spiegel des zugehörigen Projektionsobjektivs wird entsprechend die ausgeleuchtete Maske auf die lichtempfindliche Schicht abgebildet.Since there are no optical materials having sufficiently high transmittance for such short wavelengths, an EUV projection exposure apparatus comprises reflecting optical elements in the form of mirrors. By means of the mirror arranged in the illumination device of the EUV projection exposure apparatus, the projection light is directed onto the mask and these are illuminated. With the help of the mirror of the associated projection lens, the illuminated mask is correspondingly imaged onto the photosensitive layer.

Um dies jeweils mit der erforderlichen Genauigkeit zu bewirken, müssen die Spiegel in allen sechs Freiheitsgraden präzise ausgerichtet sein.To accomplish this with the required accuracy, the mirrors must be precisely aligned in all six degrees of freedom.

Für eine präzise Ausrichtung und Lagerung von Spiegeln in einem Projektionsobjektiv sind unter anderen Hexapod-Systeme bekannt, bei denen ein optisches Element mit Hilfe von drei Bipoden an einer Tragstruktur gelagert wird. Die Bipoden umfassen zwei der eingangs genannten Trageinheiten und haben bei der Lagerung des optischen Elements meist zugleich die Aufgabe, neben der Stützfunktion wenigstens eine weitere Funktion auszuüben. Hierzu zählt vorrangig die weitere Funktion, Wärme von dem optischen Element an die Tragstruktur abzuleiten, von wo die Wärme schließlich abgeführt werden kann. Aber auch eine elektrische Isolation zwischen der Tragstruktur und dem optischem Element oder dessen Kühlung kann als weitere Funktion der Bipoden gewünscht oder erforderlich sein.For a precise alignment and storage of mirrors in a projection lens, hexapod systems are known, among others, in which an optical element is mounted on a support structure by means of three bipods. The bipods comprise two of the above-mentioned support units and usually have at the same time during the storage of the optical element at least the task of exercising at least one additional function in addition to the support function. This primarily includes the further function of dissipating heat from the optical element to the support structure, from where the heat can finally be dissipated. But also an electrical insulation between the support structure and the optical element or its cooling may be desired or required as a further function of the bipods.

Das Innere einer EUV-Beleuchtungseinrichtung oder eines EUV-Projektionsobjektivs ist üblicherweise evakuiert, insbesondere herrscht dort ein Hochvakuum. Aus diesem Grund – und grundsätzlich, wenn eine Beleuchtungseinrichtung in einem Halbleiterreinraum eingesetzt wird – ist der Einsatz von Antriebsmitteln zur Änderungen der Lage eines Spiegels, z.B. in Form von Aktuatoren, Mikrometerschrauben oder auch Differentialgewindevorrichtung, nicht oder nur sehr eingeschränkt möglich. Bei Aktuatoren sind in der Regel aufwendige Einkapselungen notwendig, um ein Ausgasen von Aktuatormaterialien zu verhindern. Auch hier werden Hexapod-Systeme für eine präzise Ausrichtung und Lagerung von Spiegeln eingesetzt.The interior of an EUV lighting device or an EUV projection lens is usually evacuated, in particular, there is a high vacuum. For this reason - and in principle, when a lighting device is used in a semiconductor clean room - the use of drive means for changing the position of a mirror, e.g. in the form of actuators, micrometer screws or differential threading device, not or only very limited possible. In actuators elaborate encapsulation are usually necessary to prevent outgassing of actuator materials. Again, hexapod systems are used for precise alignment and storage of mirrors.

Die Tragstruktur ist in der Regel stationär in dem Gehäuse der Beleuchtungseinrichtung oder des Projektionsobjektivs installiert und kann auch durch das Gehäuse oder einen Rahmen der Beleuchtungseinrichtung oder des Projektionsobjektivs selbst ausgebildet sein.The support structure is usually stationary installed in the housing of the illumination device or the projection lens and can also be formed by the housing or a frame of the illumination device or the projection lens itself.

Insbesondere bei EUV-Systemen herrschen höhere Betriebstemperaturen, weshalb es im Betrieb an den Bipoden zu Temperaturveränderungen kommen kann, die auf Grund einer Wärmeausdehnung des Bipodenmaterials eine Längenveränderung der Trageinheiten der Bipoden verursachen kann. Darüber hinaus können Längenveränderungen an den Bipoden auch zu Starrkörperverschiebungen und zu Deformationen des optischen Elements führen.In particular, in EUV systems prevail higher operating temperatures, which is why it can cause temperature changes during operation on the bipods, which can cause a change in length of the support units of the bipods due to a thermal expansion of the bipod material. In addition, changes in length on the bipods can also lead to rigid body displacements and to deformations of the optical element.

Insgesamt wird dadurch die Lage und Orientierung des mit den Bipoden gekoppelten optischen Elements im Raum verändert, wodurch die geforderte genaue Ausrichtung der Komponenten nicht mehr gewährleistet ist. Overall, this changes the position and orientation of the optical element coupled to the bipods in space, as a result of which the required precise alignment of the components is no longer guaranteed.

Das Ausmaß der Längenveränderung der Bipoden ist dabei maßgeblich von dem Material der Bipoden und dessen Wärmeausdehnungskoeffizient abhängig, der nachfolgend auch als CTE (Coefficient of Thermal Expansion) bezeichnet wird und sowohl den Längenausdehnungskoeffizienten als auch den Raumausdehnungskoeffizienten berücksichtigen soll.The extent of the change in length of the bipods is significantly dependent on the material of the bipods and its coefficient of thermal expansion, which is hereinafter also referred to as CTE (Coefficient of Thermal Expansion) and should take into account both the coefficient of linear expansion and the expansion coefficient.

Es gibt Ansätze, die Bipoden hauptsächlich aus einem Keramikmaterial mit geringem CTE im Betriebstemperaturbereich der Projektionsbelichtungsanlagen zu fertigen. Dabei sind lediglich Biegebereiche der Bipoden aus einem metallischen Material hergestellt. Das heißt, in diesem Fall ist die Trageinheit zwischen dem ersten und dem zweiten Koppelende des Lagerelements aus solchem Keramikmaterial gefertigt und über metallische Biegeelemente an gegenüberliegenden Enden mit den Koppelenden des Lagerelements verbunden. There are attempts to fabricate the bipods mainly from a low CTE ceramic material in the operating temperature range of the projection exposure equipment. Only bending areas of the bipods are made of a metallic material. That is, in this case, the support unit between the first and the second coupling end of the bearing element is made of such ceramic material and connected via metallic bending elements at opposite ends to the coupling ends of the bearing element.

Aufgrund der schlechten Wärmeleitfähigkeit von Keramikmaterialien kann dann jedoch keine oder nur noch eine sehr geringe Wärmemenge von dem optischen Element an die Tragstruktur abgeleitet werden.Due to the poor thermal conductivity of ceramic materials, however, no or only a very small amount of heat can be dissipated from the optical element to the support structure.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Lagerelement sowie ein System der eingangs genannten Art zu schaffen, welche diesen Gedanken Rechnung tragen.It is an object of the invention to provide a bearing element and a system of the type mentioned, which take into account this idea.

Diese Aufgabe wird bei einem Lagerelement der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass

  • d) die Trageinheit ein Stützelement, welches überwiegend eine Stützfunktion hat, und wenigstens ein Funktionselement umfasst, welches im Vergleich zu dem Stützelement überwiegend eine andere Funktion als eine Stützfunktion hat.
This object is achieved with a bearing element of the type mentioned above in that
  • d) the support unit comprises a support element, which predominantly has a support function, and at least one functional element which, in comparison to the support element predominantly has a different function than a support function.

Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, dass verschiedene von der Trageinheit zu erfüllende Aufgaben voneinander entkoppelt werden und durch unterschiedliche Bauteile bewirkt werden können, ohne dass dies die präzise Ausrichtung und Lagerung des optischen Elements negativ beeinflusst. The invention is based on the recognition that different tasks to be performed by the support unit can be decoupled from one another and can be effected by different components, without this adversely affecting the precise alignment and mounting of the optical element.

Vorzugsweise unterscheiden sich das Stützelement und das Funktionselement in ihren für die Funktion relevanten Eigenschaften wenigstens um den Faktor 5. Relevante Parameter sind dabei insbesondere die Steifigkeit, das Elastizitätsmodul, der elektrische Widerstand, der thermische Widerstand oder die Wärmeleitfähigkeit.Preferably, the support element and the functional element differ in their properties relevant to the function at least by a factor of 5. Relevant parameters are in particular the rigidity, the modulus of elasticity, the electrical resistance, the thermal resistance or the thermal conductivity.

Wie eingangs angesprochen, ist es insbesondere wichtig, Wärme von dem optischen Element abzuleiten. Daher ist das Funktionselement vorzugsweise ein Wärmeleitelement, wobei das Stützelement und das Wärmeleitelement in einem Betriebstemperaturbereich derart unterschiedliche Wärmeleitfähigkeitskoeffizienten haben, dass das Wärmeleitelement im Vergleich zu dem Stützelement überwiegend eine Wärmeleitfunktion hat. Dies eröffnet die Möglichkeit, eine temperaturabhängige Längenänderung insbesondere der Trageinheit des Lagerelements zu verringern und zugleich sicherzustellen, dass eine ausreichende Wärmemenge von dem optischen Element abgeleitet werden kann.As mentioned above, it is particularly important to dissipate heat from the optical element. Therefore, the functional element is preferably a heat-conducting element, wherein the support element and the heat-conducting element have such different thermal conductivity coefficients in an operating temperature range that the heat-conducting element predominantly has a heat-conducting function compared to the support element. This opens up the possibility of reducing a temperature-dependent change in length in particular of the support unit of the bearing element and at the same time to ensure that a sufficient amount of heat can be derived from the optical element.

Bei bekannten Lagerelementen wird das Ableiten von Wärme von dem optischen Element zugleich durch das Stützelement bewirkt. Es ist jedoch wünschenswert, dass das Stützelement möglichst keine Längenänderungen bei Temperaturänderungen erfährt. Dies kann zwar erreicht werden, wenn das Stützelement aus Materialien mit kleinem CTE gefertigt ist. Dann ist jedoch in der Regel auch die Wärmeleitfähigkeit nur gering. Erfindungsgemäß kann nun dennoch für das Stützelement ein solches Material gewählt werden, da die Wärmeübertragung unabhängig durch das Wärmeleitelement sichergestellt ist.In known bearing elements, the dissipation of heat from the optical element is simultaneously effected by the support element. However, it is desirable that the support element learns as possible no changes in length with temperature changes. Although this can be achieved if the support element is made of materials with a small CTE. Then, however, the thermal conductivity is usually low. According to the invention can now be selected for the support element such a material, since the heat transfer is ensured independently by the heat conducting element.

Es hat sich insbesondere als effektiv erwiesen, wenn das Wärmeleitelement aus einem Metallmaterial, insbesondere aus einer Legierung aus 64% Eisen und 36% Nickel, und das Stützelement aus einem Keramikmaterial, insbesondere aus Zerodur® oder einem Cordierit, ist.It has proved to be particularly effective when the heat conducting element of a metal material, in particular of an alloy of 64% iron and 36% nickel, and the support member of a ceramic material, in particular Zerodur ® or a cordierite is.

Insbesondere bei der Verwendung von Keramikmaterialien für das Stützelement ist das Lagerelement auch unempfindlicher gegen magnetische Felder, so dass Deformationen durch Magnetostriktion geringer ausfallen können.In particular, in the use of ceramic materials for the support element, the bearing element is also less sensitive to magnetic fields, so that deformations by magnetostriction can turn out lower.

Fertigungstechnisch ist es günstig, wenn das Stützelement von dem Funktionselement oder das Funktionselement von dem Stützelement getragen ist. Im Falle des Wärmeleitelements trägt vorzugsweise das Wärmeleitelement das Stützelement, so dass das Stützelement eine Art mechanische Verstärkung des Wärmeleitelements bildet.Manufacturing technology, it is advantageous if the support element is supported by the functional element or the functional element of the support element. In the case of the heat-conducting element, the heat-conducting element preferably carries the support element, so that the support element forms a type of mechanical reinforcement of the heat-conducting element.

Es ist günstig, wenn das Stützelement einen Brückenteil umfasst, welcher sich zwischen wenigstens einem ersten Befestigungsbereich und einem zweiten Befestigungsbereich des Lagerelements erstreckt.It is favorable if the support element comprises a bridge part which extends between at least a first attachment region and a second attachment region of the bearing element.

Für eine effektive Funktion ist es von Vorteil, wenn das Funktionselement den ersten und den zweiten Befestigungsbereich für den Brückenteil bereitstellt. For an effective function, it is advantageous if the functional element provides the first and the second attachment area for the bridge part.

Vorzugsweise bilden das Stützelement und das Funktionselement eine Parallelstruktur aus.Preferably, the support element and the functional element form a parallel structure.

Die Lagestabilität des optischen Elements kann verbessert werden, wenn Entkopplungsmittel vorhanden sind, durch welche Änderungen der Länge und/oder des Volumens des Stützelements oder des Funktionselements von dem jeweils anderen Element entkoppelt sind. Insbesondere sollen sich im Falle eines Wärmeleitelements dort erzeugte Längenänderungen nicht auf das Stützelement auswirken, welches hauptsächlich die Lage und Ausrichtung des optischen Elements bestimmt.The positional stability of the optical element can be improved if there are decoupling means by which changes in the length and / or the volume of the support element or of the functional element are decoupled from the respective other element. In particular, in the case of a heat-conducting element, changes in length produced there should not affect the support element, which mainly determines the position and orientation of the optical element.

Dies kann vorteilhaft dadurch bewirkt werden, dass die Entkopplungsmittel durch Gelenkbereiche des Stützelements oder des Funktionselements ausgebildet sind.This can advantageously be effected in that the decoupling means are formed by hinge regions of the support element or of the functional element.

Es ist außerdem günstig, wenn Kühlmittel vorhanden sind, um das Lagerelement zu kühlen.It is also beneficial if there are coolant to cool the bearing element.

Die Kühlmittel sind dabei vorzugsweise durch Kühlrippen am Stützelement Funktionselement bereitgestellt. Alternativ kann auch eine aktive Kühlung mit Hilfe eines Kühlmittels vorgesehen sein.The cooling means are preferably provided by cooling ribs on the support element functional element. Alternatively, active cooling by means of a coolant can also be provided.

Im Hinblick auf die eingangs erläuterten und etablierten Bipoden ist es besonders von Vorteil, wenn das Lagerelement eine Bipodeinheit mit einer ersten Trageinheit und einer zweiten Trageinheit ist.With regard to the initially explained and established bipods, it is particularly advantageous if the bearing element is a bipod unit with a first support unit and a second support unit.

Bei einem System zum Lagern eines optischen Elements der eingangs genannten Art wird die oben angegeben Aufgabe dadurch gelöst, dass
das wenigstens eine Lagerelement nach einem der Ansprüche 1 bis 13 ausgebildet ist. Folglich weist das Lagerelement einige oder alle der oben erläuterten Merkmale mit den dazu genannten Vorteilen auf.
In a system for supporting an optical element of the type mentioned above, the above-mentioned object is achieved in that
the at least one bearing element according to one of claims 1 to 13 is formed. Consequently, the bearing element has some or all of the features explained above with the advantages mentioned above.

Dabei ist es besonders günstig, wenn drei ein Hexapod bildende Bipodeinheiten nach Anspruch 13 vorhanden sind.It is particularly advantageous if three hexapod forming bipod units according to claim 13 are present.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. In diesen zeigen:Embodiments of the invention will be explained in more detail with reference to the drawings. In these show:

1 eine perspektivische Ansicht einer schematischen mikrolithographischen EUV-Projektionsbelichtungsanlage mit einer Beleuchtungseinheit und einem Projektionsobjektiv; 1 a perspective view of a schematic microlithographic EUV projection exposure apparatus with a lighting unit and a projection lens;

2 einen Teilschnitt der EUV-Projektionsbelichtungsanlage von 1, wobei bei der Beleuchtungseinheit schematisch zwei Lagereinrichtungen gezeigt sind, die jeweils einen Spiegel tragen; 2 a partial section of the EUV projection exposure of 1 , wherein the illumination unit schematically shows two storage facilities, each carrying a mirror;

3 eine schematische perspektivische Ansicht einer als Hexapod ausgebildeten Lagereinrichtung von 2 mit drei Bipodeinheiten; 3 a schematic perspective view of a designed as a hexapod bearing device of 2 with three bipod units;

4 eine perspektivische Detailansicht einer Bipodeinheit mit zwei Trageinheiten, die jeweils ein Stützelement und ein Wärmeleitelement umfassen; 4 a detailed perspective view of a bipod unit with two support units, each comprising a support member and a heat conducting element;

5 eine perspektivische Detailansicht der Bipodeinheit ohne Stützelemente; 5 a detailed perspective view of the bipod unit without support elements;

6 eine perspektivische Detailansicht einer abgewandelten Bipodeinheit mit Kühlmitteln. 6 a detailed perspective view of a modified bipod unit with cooling means.

BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSBEISPIELEDESCRIPTION OF PREFERRED EMBODIMENTS

In 1 ist schematisch eine mikrolithographische EUV-Projektionsbelichtungsanlage 10 gezeigt, welche eine Beleuchtungseinrichtung 12 und ein Projektionsobjektiv 14 umfasst.In 1 schematically is a microlithographic EUV projection exposure system 10 shown which a lighting device 12 and a projection lens 14 includes.

Mit dem Projektionsobjektiv 14 werden reflektierende Strukturen 16, die auf einer Maske 18 angeordnet sind, auf eine lichtempfindliche Schicht 20 übertragen. Die lichtempfindliche Schicht 20 ist meist ein Photolack und befindet sich auf einem Wafer 22 oder einem anderen Substrat.With the projection lens 14 become reflective structures 16 on a mask 18 are arranged on a photosensitive layer 20 transfer. The photosensitive layer 20 is usually a photoresist and is located on a wafer 22 or another substrate.

Zur Übertragung der reflektierenden Strukturen 16 der Maske 18 auf die lichtempfindliche Schicht 20 wird die Maske 18 mittels der Beleuchtungseinrichtung 12 mit EUV-Strahlung 24 beleuchtet. Die Beleuchtungseinrichtung 12 erzeugt EUV-Strahlung, welche beim vorliegenden Ausführungsbeispiel eine Mittenwellenlänge von 13,5 nm und eine spektrale Halbwertsbreite von etwa 1% hat, so dass der größte Teil der die Beleuchtungseinrichtung 12 verlassenden EUV-Strahlung 24 Wellenlängen zwischen 13,36 nm und 13,64 nm hat. For transmission of the reflective structures 16 the mask 18 on the photosensitive layer 20 becomes the mask 18 by means of the illumination device 12 with EUV radiation 24 illuminated. The lighting device 12 generates EUV radiation, which in the present embodiment has a center wavelength of 13.5 nm and a spectral half-width of about 1%, so that the largest part of the illumination device 12 leaving EUV radiation 24 Wavelengths between 13.36 nm and 13.64 nm.

Die Beleuchtungseinrichtung 12 leuchtet auf der Unterseite der Maske 18 ein stationäres Feld 26 aus, welches beim vorliegenden Ausführungsbeispiel einem Ringsegment entspricht. Das Projektionsobjektiv 14 erzeugt auf dem Wafer 22 ein verkleinertes Bild 28 der Strukturen 16, die auf der Maske 18 im Feld 26 ausgeleuchtet werden. The lighting device 12 lights up on the underside of the mask 18 a stationary field 26 from, which corresponds to a ring segment in the present embodiment. The projection lens 14 generated on the wafer 22 a reduced picture 28 the structures 16 on the mask 18 in The Field 26 be lit up.

Das Projektionsobjektiv 14 ist für einen Scanbetrieb ausgelegt, bei dem die Maske 18 und der Wafer 22 in an und für sich bekannter Art und Weise mit durch den Abbildungsmaßstab des Projektionsobjektivs 14 vorgegebenen Geschwindigkeiten gegenläufig bewegt werden. Dies ist in den 1 und 2 durch die Pfeile P1 und P2 angedeutet.The projection lens 14 is designed for a scan mode in which the mask 18 and the wafer 22 in a manner known per se with the magnification of the projection lens 14 predetermined speeds be moved in opposite directions. This is in the 1 and 2 indicated by the arrows P1 and P2.

Die Beleuchtungseinrichtung 12 umfasst ein Gehäuse 30, in dem eine in 2 zu erkennende Lichtquelle 32 für die EUV-Strahlung 24 angeordnet ist. Die von der Lichtquelle 32 erzeugte EUV-Strahlung 24 wird mittels optischer Elemente in Form von Spiegeln 34 auf die Maske 18 projiziert. In der stark schematischen Darstellung von 2 sind lediglich zwei Spiegel 34 und kein Zwischenfokus gezeigt.The lighting device 12 includes a housing 30 in which a in 2 to be recognized light source 32 for the EUV radiation 24 is arranged. The of the light source 32 generated EUV radiation 24 is by means of optical elements in the form of mirrors 34 on the mask 18 projected. In the highly schematic representation of 2 are just two mirrors 34 and no intermediate focus shown.

Jeder Spiegel 34 ist mit einer ihm zugeordneten Lagereinrichtung 36 verbunden, die im Gehäuse 30 angeordnet ist und dazu dient, den jeweiligen Spiegel 34 derart im Raum auszurichten und zu halten, dass die EUV-Strahlung 24 mit der erforderlichen Genauigkeit auf das Feld 26 zur Ausleuchtung der Maske 18 trifft.Every mirror 34 is with a bearing device associated with it 36 connected in the housing 30 is arranged and serves the respective mirror 34 to align and hold in space so that the EUV radiation 24 with the required accuracy to the field 26 to illuminate the mask 18 meets.

Entsprechende Spiegel 34 mit jeweils einer Lagereinrichtung 36 befinden sich auch im Projektionsobjektiv 14. Mittels der dortigen Lagereinrichtungen 36 werden die Spiegel 34 des Projektionsobjektivs 14 derart im Raum ausgerichtet, dass die EUV-Strahlung 24 mit der erforderlichen Genauigkeit auf den Wafer 22 trifft. Die nachfolgenden Erläuterungen gelten dementsprechend für Spiegel 34 und Lagereinrichtungen 36 sowohl der Beleuchtungseinrichtung 12 als auch des Projektionsobjektivs 14.Corresponding mirrors 34 each with a storage facility 36 are also in the projection lens 14 , By means of the local storage facilities 36 become the mirrors 34 of the projection lens 14 aligned in space so that the EUV radiation 24 with the required accuracy on the wafer 22 meets. The following explanations apply accordingly to mirrors 34 and storage facilities 36 both the lighting device 12 as well as the projection lens 14 ,

Eine solche Lagereinrichtung 36 ist stark schematisch in 3 gezeigt und umfasst eine Tragstruktur 38, die beim vorliegenden Ausführungsbeispiel als Grundplatte 40 ausgebildet ist. Das optische Element, d.h. vorliegend der Spiegel 34, ist über Lagerelemente 42 mit der Grundplatte 40 gekoppelt. Die Lagerelemente 42 sind als Bipodeinheit 44 ausgebildet, von denen drei ein Hexapod-System 46 definieren, das somit von der Tragstruktur 38 getragen ist. Die drei Bipodeinheiten 44 sind vorzugsweise baugleich und vorzugsweise an den Eckpunkten eines gleichseitigen Dreiecks positioniert. Such a storage facility 36 is strongly schematic in 3 shown and includes a support structure 38 in the present embodiment as a base plate 40 is trained. The optical element, ie in this case the mirror 34 , is about storage elements 42 with the base plate 40 coupled. The bearing elements 42 are as a bipod unit 44 three of which are a hexapod system 46 thus define the support structure 38 worn. The three bipod units 44 are preferably identical in construction and preferably positioned at the vertices of an equilateral triangle.

Diese Bipodeinheiten 44 umfassen ihrerseits jeweils eine erste Trageinheit 48 und eine zweite Trageinheit 50, die an einem Ende über einen als erstes Koppelende 52 wirkenden gemeinsamen Lagersockel 54 zu einer V-förmigen Anordnung und mit dem Spiegel 34 verbunden sind. Somit umfassen die Trageinheiten 48, 50 jeweils den Lagersockel 54 als erstes Koppelende 52 und bilden einen Schenkel des "V".These bipod units 44 each in turn comprise a first support unit 48 and a second carrying unit 50 , which at one end over a first coupling end 52 acting common storage base 54 to a V-shaped arrangement and with the mirror 34 are connected. Thus, the carrying units include 48 . 50 each the storage base 54 as the first coupling end 52 and form a leg of the "V".

An einem von dem Lagersockel 54 abliegenden zweiten Koppelende 56 sind die Trageinheiten 48, 50 jeweils mit der Grundplatte 38 gekoppelt. Das jeweilige zweite Koppelende 56 ist in den 4 bis 6 in Form eines Verbindungssockels 58 zu erkennen. At one of the storage pedestal 54 remote second coupling end 56 are the carrying units 48 . 50 each with the base plate 38 coupled. The respective second coupling end 56 is in the 4 to 6 in the form of a connection socket 58 to recognize.

Die Lagerelemente 42 in Form der Bipodeinheiten 44 werden nun zunächst mit Bezug auf die 4 und 5 und anhand der ersten Trageinheit 48 beschrieben. Das hierzu Gesagte gilt für die zweite Trageinheit 50 sinngemäß entsprechend.The bearing elements 42 in the form of bipod units 44 will be first with reference to the 4 and 5 and the first carrying unit 48 described. The above applies to the second support unit 50 mutatis mutandis.

Wie in den 4 und 5 zu erkennen ist, erstreckt sich die Trageinheit 48 zwischen dem ersten Koppelende 52 und dem ihr zugeordneten zweiten Koppelende 56 und ist mit jedem Koppelende 52 bzw. 56 über Gelenke in Form von Biegeelementen 60 beweglich verbunden, so dass dort jeweils ein Biegebereich 62 der Bipodeinheit 44 definiert ist.As in the 4 and 5 can be seen, the support unit extends 48 between the first coupling end 52 and the second coupling end associated therewith 56 and is with each coupling end 52 respectively. 56 over joints in the form of bending elements 60 movably connected, so that there is a bending area 62 the bipod unit 44 is defined.

Die Trageinheit 48 umfasst ein Funktionselement 64 und ein Stützelement 66. Diese haben in einem Betriebstemperaturbereich derart unterschiedliche Wärmeleitfähigkeitskoeffizienten dass das Funktionselement 64 ein Wärmeleitelement 65 ist und im Vergleich zu dem Stützelement 66 überwiegend eine Wärmeleitfunktion hat.The carrying unit 48 includes a functional element 64 and a support element 66 , These have such different thermal conductivity coefficients in an operating temperature range that the functional element 64 a heat conducting element 65 is and compared to the support element 66 predominantly has a heat conduction function.

Hierzu ist das Wärmeleitelement 65 aus einem Metallmaterial gebildet. Es liegt als metallischer Wärmeleitarm 68 vor, der beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Form eines Metallstreifens 70 hat.For this purpose, the heat-conducting element 65 formed from a metal material. It lies as a metallic Wärmeleitarm 68 before, in the present embodiment, the shape of a metal strip 70 Has.

Als Metallmaterial kommen insbesondere eine unter dem Markennamen Invar® bekannte Eisen-Nickel-Legierung mit 64% Eisen und 36% Nickel oder auch hierauf basierende Legierungen in Betracht. Letztere können beispielsweise einen Cobaltanteil aufweisen.As the metal material, in particular, a known under the brand name Invar ® iron-nickel alloy with 64% iron and 36% nickel or alloys based thereon into consideration. The latter can for example have a cobalt content.

Das Stützelement 66 hat dementsprechend im Vergleich zu dem Wärmeleitelement 65 überwiegend eine Stützfunktion. Das Stützelement 66 ist aus einem Keramikmaterial gefertigt, wobei insbesondere so genannte "Null-CTE-Keramiken" wie die Glaskeramik Zerodur® oder Cordierit in Frage kommen, die einen besonders kleinen Wärmeausdehnungskoeffizienten haben.The support element 66 has accordingly compared to the heat conducting element 65 mainly a support function. The support element 66 is made of a ceramic material, in particular so-called "zero-CTE ceramics" such as the glass-ceramic Zerodur ® or cordierite come into question, which have a particularly small coefficient of thermal expansion.

Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel trägt der Leitarm 68 das Stützelement 66. Die Biegeelemente 60 zum Lagersockel 54 und zum Verbindungssockel 58 sind mit dem Leitarm 68 verbunden. In the present embodiment carries the Leitarm 68 the support element 66 , The bending elements 60 to the storage base 54 and to the connection socket 58 are with the guide arm 68 connected.

Das Stützelement 66 bildet gleichsam eine mechanische Verstärkung des Wärmeleitelements 65 in Form des Leitarms 68; das Wärmeleitelement hat im Vergleich zu dem Stützelement 66 neben dem größeren Wärmeausdehnungskoeffizienten ein kleineres Elastizitätsmodul.The support element 66 forms as it were a mechanical reinforcement of the heat conducting element 65 in the form of the Leitarms 68 ; the heat-conducting element has compared to the support element 66 in addition to the larger coefficient of thermal expansion, a smaller modulus of elasticity.

Bei bekannten Lagerelementen fehlt eine solche Verstärkung und es ist nur das hier als Wärmeleitelement 65 wirkende Funktionselement 64 vorhanden, das dann folglich auch allein die Stützfunktion für das optische Element 34 bietet.In known bearing elements such a gain is missing and it is only this as a heat conducting element 65 acting functional element 64 This then also alone the support function for the optical element 34 offers.

Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel umfasst das Stützelement 66 einen Brückenteil 72, welcher sich zwischen einem ersten Befestigungsbereich 74 und einem zweiten Befestigungsbereich 76 des Lagerelements 42 erstreckt. Diese Befestigungsbereiche 74, 76 werden von dem Leitarm 68 bereitgestellt. Dort können der Leitarm 68 und der Brückenteil 72 durch Schrauben, Bonden oder Klemmen aneinander befestigt werden.In the present embodiment, the support element comprises 66 a bridge part 72 which extends between a first attachment area 74 and a second attachment area 76 of the bearing element 42 extends. These attachment areas 74 . 76 be from the guide arm 68 provided. There can be the Leitarm 68 and the bridge part 72 by screws, bonding or clamped together.

Bei einer Abwandlung kann auch das Stützelement 66 das Funktionselement 64 tragen, wobei letzteres dann in entsprechender Weise an dem Stützelement 66 befestigt sein kann.In a modification may also be the support element 66 the functional element 64 wear, the latter then in a corresponding manner on the support element 66 can be attached.

Die Längsachsen des Leitarms 68 und des Brückenteils 72 verlaufen in dieselbe Richtung, so dass das Wärmeleitelement 65 und das Stützelement 66 insgesamt eine Parallelstruktur 78 ausbilden. Abgesehen von der Geometrie in den Befestigungsbereichen 74 und 76 verlaufen das erste und das Stützelement 64, 66 somit weitgehend parallel.The longitudinal axes of the Leitarms 68 and the bridge part 72 extend in the same direction, so that the heat-conducting element 65 and the support element 66 overall a parallel structure 78 form. Apart from the geometry in the attachment areas 74 and 76 run the first and the support element 64 . 66 thus largely parallel.

Im Betrieb verändert sich abhängig von der herrschenden Temperatur und den jeweiligen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Bauteile die Länge und/oder das Volumen des Wärmeleitelements 64 und des Stützelements 66 in unterschiedlichem Maße. Wenn die Kraft, die durch solche Längen- und oder Volumenänderungen auf die Befestigungsbereiche 74 und 76 wirkt, zu groß ist, kann es zu einem mechanischen Bruch zwischen dem Stützelement 66 und dem Wärmeleitelement 65 an den Befestigungsbereichen 74, 76 kommen. Um dies zu verhindern, sind nur in 5 gezeigte Entkopplungsmittel 80 vorhanden, durch welche Änderungen der Länge und/oder des Volumens des Stützelements 66 oder des Wärmeleitelements 64 von dem jeweils anderen Element entkoppelt sind.In operation, depending on the prevailing temperature and the respective coefficients of thermal expansion of the components, the length and / or the volume of the heat-conducting element changes 64 and the support element 66 to varying degrees. When the force caused by such changes in length and or volume on the attachment areas 74 and 76 acting, too large, there may be a mechanical break between the support element 66 and the heat conducting element 65 at the attachment areas 74 . 76 come. To prevent this, are only in 5 shown decoupling agent 80 present, through which changes in the length and / or the volume of the support element 66 or the Wärmeleitelements 64 are decoupled from the other element.

Hierzu umfasst das Wärmeleitelement 65 zwei Gelenkbereiche 82, die dessen Ausweichen in radiale Richtung bezogen auf die Längsachse des Wärmeleitelements 65 ermöglichen, die in 5 als gestrichelte Linie ohne Bezugszeichen angedeutet ist. Die Gelenkbereiche 82 sind bei dem Metallstreifen 70 konkret durch radiale Schlitze 84 erzeugt, die aus gegenüberliegenden Richtungen von radial außen in den Metallstreifen 70 eingearbeitet sind, so dass an seitlichen Randbereichen der gegenüberliegenden Ränder des Metallstreifens 70 nur noch in den Gelenkbereichen 82 Material stehen bleibt. For this purpose, the heat-conducting element comprises 65 two joint areas 82 , the deflection thereof in the radial direction with respect to the longitudinal axis of the heat conducting element 65 allow that in 5 is indicated as a dashed line without reference numerals. The joint areas 82 are at the metal strip 70 specifically through radial slots 84 generated from opposite directions from radially outside into the metal strip 70 are incorporated, so that at lateral edge regions of the opposite edges of the metal strip 70 only in the joint areas 82 Material stops.

Wenn sich der Metallstreifen 70 nun in Richtung zwischen den Befestigungsbereichen 74, 76 längt, können die Gelenkbereiche 82 jeweils in die von den Schlitzen 84 abliegende Richten wandern, so dass der Metallstreifen 70 sich drehen kann, ohne dass sich der Abstand zwischen den Befestigungsbereichen 74, 76 ändert.When the metal strip 70 now in the direction between the attachment areas 74 . 76 lengthens, the joint areas 82 each in the from the slots 84 wander off straightened straightening, leaving the metal strip 70 can rotate without changing the distance between the mounting areas 74 . 76 changes.

Bei diese Ausbildung kann bei einer Materialkombination von Invar® mit 64% Eisen und 36% Nickel für das Wärmeleitelement 65 und Zerodur® für das Stützelement 66 eine Wärmeausdehnung der Funktionseinheiten 48, 50 erreicht werden, die etwa 60% geringer ist als ohne die Verstärkung durch das Stützelement 66 aus Zerodur®.In this training, with a material combination of Invar ® with 64% iron and 36% nickel for the heat-conducting element 65 and Zerodur ® for the support element 66 a thermal expansion of the functional units 48 . 50 which is about 60% less than without the reinforcement by the support element 66 Zerodur ®.

6 zeigt nun ein abgewandeltes Lagerelement 42, bei dem ergänzend Kühlmittel 86 vorhanden sind, um dieses zu kühlen. Beim in 6 gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Kühlmittel 86 als passive Kühlung konzipiert. Hierzu trägt das Stützelement 66 mehrere Kühlrippen 88, von denen lediglich zwei ein Bezugszeichen tragen. 6 now shows a modified bearing element 42 , in which additional coolant 86 are available to cool this. When in 6 embodiment shown are the coolant 86 designed as passive cooling. For this contributes the support element 66 several cooling fins 88 of which only two bear a reference number.

Alternativ kann die Kühlung der Lagerelemente 42 auch durch eine aktive Kühleinrichtung mit Hilfe eines Kühlmediums bewirkt werden.Alternatively, the cooling of the bearing elements 42 be effected by an active cooling device with the aid of a cooling medium.

Claims (15)

Lagerelement für ein Lagersystem zum Lagern eines optischen Elements, mit a) einem ersten Koppelende (52), an dem es mit dem optischen Element (34) koppelbar ist; b) einem zweiten Koppelende (56), an dem es mit einer Tragstruktur (38) koppelbar ist; c) wenigstens einer Trageinheit (48, 50), welche sich zwischen dem ersten Koppelende (52) und dem zweiten Koppelende (56) erstreckt, dadurch gekennzeichnet, dass d) die Trageinheit (48, 50) ein Stützelement (66), welches überwiegend eine Stützfunktion hat, und wenigstens ein Funktionselement (64) umfasst, welches im Vergleich zu dem Stützelement (66) überwiegend eine andere Funktion als eine Stützfunktion hat. Bearing element for a bearing system for supporting an optical element, with a) a first coupling end ( 52 ) at which it is connected to the optical element ( 34 ) can be coupled; b) a second coupling end ( 56 ), to which it is connected with a supporting structure ( 38 ) can be coupled; c) at least one carrying unit ( 48 . 50 ) located between the first coupling end ( 52 ) and the second coupling end ( 56 ), characterized in that d) the carrying unit ( 48 . 50 ) a support element ( 66 ), which predominantly has a support function, and at least one functional element ( 64 ), which compared to the support element ( 66 ) predominantly has a different function than a support function. Lagerelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich das Stützelement (66) und das Funktionselement (64) in ihren für ihre Funktion relevanten Eigenschaften, insbesondere der Steifigkeit, dem Elastizitätsmodul, dem elektrischen Widerstand, dem thermischen Widerstand oder der Wärmeleitfähigkeit, wenigstens um den Faktor 5 unterscheiden.Bearing element according to claim 1, characterized in that the support element ( 66 ) and the functional element ( 64 ) differ in their properties relevant to their function, in particular the rigidity, the modulus of elasticity, the electrical resistance, the thermal resistance or the thermal conductivity, at least by a factor of 5. Lagerelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, das Funktionselement (64) ein Wärmeleitelement (65) ist und das Stützelement (66) und das Wärmeleitelement (65) in einem Betriebstemperaturbereich derart unterschiedliche Wärmeleitfähigkeitskoeffizienten haben, dass das Wärmeleitelement (65) im Vergleich zu dem Stützelement (66) überwiegend eine Wärmeleitfunktion hat. Bearing element according to claim 1 or 2, characterized in that the functional element ( 64 ) a heat conducting element ( 65 ) and the support element ( 66 ) and the heat conducting element ( 65 ) have such different thermal conductivity coefficients in an operating temperature range that the heat conducting element ( 65 ) compared to the support element ( 66 ) predominantly has a thermal conductivity function. Lagerelement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Wärmeleitelement (65) aus einem Metallmaterial, insbesondere aus einer Legierung aus 64% Eisen und 36% Nickel, und das Stützelement (66) aus einem Keramikmaterial, insbesondere aus Zerodur® oder einem Cordierit, ist.Bearing element according to claim 3, characterized in that the heat-conducting element ( 65 ) of a metal material, in particular of an alloy of 64% iron and 36% nickel, and the Support element ( 66 ) Of a ceramic material, in particular made of Zerodur ® or cordierite. Lagerelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Stützelement (66) von dem Funktionselement (64) oder das Funktionselement (64) von dem Stützelement (66) getragen ist.Bearing element according to one of claims 1 to 4, characterized in that the supporting element ( 66 ) of the functional element ( 64 ) or the functional element ( 64 ) of the support element ( 66 ) is worn. Lagerelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Stützelement (66) einen Brückenteil (72) umfasst, welcher sich zwischen wenigstens einem ersten Befestigungsbereich (74) und einem zweiten Befestigungsbereich (76) des Lagerelements (42) erstreckt.Bearing element according to one of claims 1 to 5, characterized in that the supporting element ( 66 ) a bridge part ( 72 ), which extends between at least one first attachment region ( 74 ) and a second attachment area ( 76 ) of the bearing element ( 42 ). Lagerelement nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Funktionselement (64) den ersten und den zweiten Befestigungsbereich (74, 76) für den Brückenteil (72) bereitstellt.Bearing element according to claim 6, characterized in that the functional element ( 64 ) the first and the second attachment area ( 74 . 76 ) for the bridge part ( 72 ). Lagerelement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Stützelement (66) und das Funktionselement (64) eine Parallelstruktur (78) ausbilden.Bearing element according to one of claims 1 to 7, characterized in that the supporting element ( 66 ) and the functional element ( 64 ) a parallel structure ( 78 ) train. Lagerelement nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass Entkopplungsmittel (80) vorhanden sind, durch welche Änderungen der Länge und/oder des Volumens des Stützelements (66) oder des Funktionselements (64) von dem jeweils anderen Element (66, 64) entkoppelt sind.Bearing element according to one of claims 1 to 8, characterized in that decoupling means ( 80 ), by which changes in the length and / or the volume of the support element ( 66 ) or the functional element ( 64 ) from the other element ( 66 . 64 ) are decoupled. Lagerelement nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Entkopplungsmittel (80) durch Gelenkbereiche (82) des Stützelements (66) oder des Funktionselements (64) ausgebildet sind.Bearing element according to claim 9, characterized in that the decoupling means ( 80 ) through joint areas ( 82 ) of the support element ( 66 ) or the functional element ( 64 ) are formed. Lagerelement nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass Kühlmittel (86) vorhanden sind, um das Lagerelement (42) zu kühlen.Bearing element according to one of claims 1 to 10, characterized in that coolant ( 86 ) are present to the bearing element ( 42 ) to cool. Lagerelement nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlmittel (86) durch Kühlrippen (88) am Stützelement (66) Funktionselement bereitgestellt sind. Bearing element according to claim 11, characterized in that the coolant ( 86 ) by cooling fins ( 88 ) on the support element ( 66 ) Functional element are provided. Lagerelement nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Lagerelement (42) eine Bipodeinheit (44) mit einer ersten Trageinheit (48) und einer zweiten Trageinheit (50) ist.Bearing element according to one of claims 1 to 12, characterized in that the bearing element ( 42 ) a bipod unit ( 44 ) with a first carrying unit ( 48 ) and a second support unit ( 50 ). System zum Lagern eines optischen Elements (34) in Halbleiterreinräumen oder im Vakuum, insbesondere in einer Beleuchtungseinrichtung oder einem Projektionsobjektiv für eine mikrolithographische EUV-Projektionsbelichtungsanlage, mit wenigstens einem Lagerelement (42), welches jeweils an einem ersten Koppelende (52) mit dem optischen Element (34) und an einem zweiten Koppelende (56) mit einer Tragstruktur (38) koppelbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine Lagerelement (42) nach einem der Ansprüche 1 bis 13 ausgebildet ist. System for storing an optical element ( 34 ) in semiconductor clean rooms or in a vacuum, in particular in a lighting device or a projection objective for a microlithographic EUV projection exposure apparatus, with at least one bearing element ( 42 ), which in each case at a first coupling end ( 52 ) with the optical element ( 34 ) and at a second coupling end ( 56 ) with a supporting structure ( 38 ) is coupled, characterized in that the at least one bearing element ( 42 ) is designed according to one of claims 1 to 13. System nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass drei ein Hexapod bildende Bipodeinheiten (44) nach Anspruch 13 vorhanden sind.System according to claim 13, characterized in that three bipod units forming a hexapod ( 44 ) are present according to claim 13.
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