DE102013223276A1 - Control method for a run-up of a vacuum pump - Google Patents

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Abstract

Regelungsverfahren für einen Hochlauf einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe, mit einem Elektromotor und einer Steuereinrichtung, bei welchem, in einer ersten Hochlaufphase der Eingangsstrom der Steuereinrichtung bis auf einen Maximalwert IS,max steigt und in einer zweiten Hochlaufphase die Steuereinrichtung bei dem Maximalwert IS,max des Eingangsstroms betrieben wird.Control method for a run-up of a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, with an electric motor and a control device, in which, in a first run-up phase of the input current of the control device to a maximum value IS, max and in a second run-up phase, the control device at the maximum value IS, max of the input current is operated.

Description

Die Erfindung betrifft ein Regelungsverfahren für einen Hochlauf einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe. The invention relates to a control method for a startup of a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump.

Vakuumpumpen wie Turbomolekularpumpen weisen in einem Pumpengehäuse eine drehbar gelagerte Rotorwelle auf. Die Rotorwelle trägt mindestens einen Rotor, der bei Turbomolekularpumpen mehrere Rotorscheiben aufweist. Der Rotor wirkt mit einem Stator zusammen, bei dem es sich bei einer Turbomolekularpumpe um einen mehrere Statorscheiben aufweisenden Stator handelt, wobei die Statorscheiben zwischen den Rotorscheiben angeordnet sind. Der Antrieb der Rotorwelle erfolgt über einen Elektromotor, welcher üblicherweise unmittelbar auf der Rotorwelle angeordnet ist. Desweiteren ist eine Steuereinrichtung vorgesehen, die entweder innerhalb oder außerhalb des Pumpengehäuses angeordnet ist und anhand unterschiedlicher Betriebsparameter.Vacuum pumps such as turbomolecular pumps have a rotatably mounted rotor shaft in a pump housing. The rotor shaft carries at least one rotor which has a plurality of rotor disks in turbomolecular pumps. The rotor cooperates with a stator, which is a stator having a plurality of stator disks in a turbomolecular pump, the stator disks being arranged between the rotor disks. The drive of the rotor shaft via an electric motor, which is usually arranged directly on the rotor shaft. Furthermore, a control device is provided, which is arranged either inside or outside of the pump housing and based on different operating parameters.

Ein besonders kritischer Moment ist die Steuerung des Hochlaufs der Vakuumpumpe. Hierbei wird die Pumpe vom Stillstand oder einer sehr geringen Drehzahl auf Nenndrehzahl bzw. Betriebsdrehzahl gebracht, in der die Vakuumpumpe die maximale Förderleistung aufweist. Insbesondere bei dynamischen Prozessen ist ein derartiger Hochlauf der Pumpe häufig erforderlich. Bei bekannten Pumpen, insbesondere Turbomolekularpumpen wird während des Hochlaufs ein Maximalstrom am Elektromotor zugelassen. Dieser Maximalstrom ist während des Hochlaufs konstant bis die Nenndrehzahl der Vakuumpumpe erreicht ist. Bei Betrieb der Vakuumpumpe auf Nenndrehzahl sinkt der Motorstrom auf einen Betriebswert. Dieser kann je nach zu fördernder Gasmenge und Gasart schwanken, erreicht den Maximalwert während des Hochlaufs jedoch nicht. A particularly critical moment is the control of the run-up of the vacuum pump. Here, the pump is brought from standstill or a very low speed to rated speed or operating speed, in which the vacuum pump has the maximum capacity. In particular, in dynamic processes, such a startup of the pump is often required. In known pumps, in particular turbomolecular pumps, a maximum current is allowed at the electric motor during startup. This maximum current is constant during startup until the rated speed of the vacuum pump is reached. When the vacuum pump is operated at nominal speed, the motor current drops to an operating value. This can vary depending on the amount of gas and gas to be conveyed, but does not reach the maximum value during startup.

Bisweilen besteht die Forderung kleinere leistungsschwächere Netzteile für die Vakuumpumpe vorzusehen. Hierbei handelt es sich um Netzteile, die im Unterschied zu herkömmlichen Netzteilen nicht auf die Nennleistung der Pumpe ausgelegt sind, sondern eine kleinere Nennleistung aufweisen. Um der Forderung nach kleineren Netzteilen nachzukommen, ist es bekannt, den im Hochlauf zulässigen Maximalstrom des Elektromotors zu verringern. Hierdurch ist es zwar möglich, kleinere Netzteile zu verwenden, die Hochlaufzeit bis zum Erreichen der Nenndrehzahl der Vakuumpumpe verlängert sich jedoch. Sometimes there is a requirement to provide smaller less powerful power supply units for the vacuum pump. These are power supplies that, unlike conventional power supplies, are not designed for the rated power of the pump, but have a lower rated power. In order to meet the demand for smaller power supplies, it is known to reduce the allowable during startup maximum current of the electric motor. This makes it possible to use smaller power supplies, but the run-up time to reach the rated speed of the vacuum pump is extended.

Aufgabe der Erfindung ist es, auch bei Verwendung von Netzteilen mit geringerer Nennleistung als diejenige der Pumpe bzw. der Pumpen-Elektronik die Verlängerung der Hochlaufzeit möglichst zu reduzieren bzw. bei Verwendung leistungsstarken Netzteilen die Hochlaufzeit zu verringern. The object of the invention is to reduce the extension of the run-up time as possible even when using power supplies with lower rated power than that of the pump or the pump electronics or to reduce the run-up time when using powerful power supplies.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.The object is achieved according to the invention by the features of claim 1.

Dem erfindungsgemäßen Regelungsverfahren für einen Hochlauf einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe liegt die Erkenntnis zugrunde, dass der Motorstrom hinsichtlich einer geforderten Verkleinerung des Netzteils oder einer Verringerung der Hochlaufzeit nicht den wesentlichen kritischen Parameter dargestellt. Der Motor muss insbesondere anhand mechanischer Bedingungen ausgelegt werden. Dies führt dazu, dass ein maximal zulässiger Motorstrom üblicherweise während des Hochlaufs und auch während des Betriebs der Vakuumpumpe nicht erreicht wird. Untersuchungen haben gezeigt, dass der hierfür wesentliche Parameter der Eingangsstrom der Steuereinrichtung ist. The control method according to the invention for a run-up of a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, is based on the finding that the motor current does not represent the essential critical parameters with regard to a required reduction of the power supply or a reduction of the run-up time. In particular, the engine must be designed according to mechanical conditions. This means that a maximum permissible motor current is usually not reached during startup and also during operation of the vacuum pump. Investigations have shown that the essential parameter for this is the input current of the control device.

Gemäß des erfindungsgemäßen Regelungsverfahrens erfolgt somit in einer ersten Hochlaufphase ein Begrenzen des Eingangsstroms der Steuereinrichtung auf einen Maximalwert. Der Eingangsstrom steigt somit in der ersten Hochlaufphase auf den Maximalwert an. Anschließend wird in einer zweiten Hochlaufphase die Steuereinrichtung bei dem Maximalwert des Eingangsstroms betrieben, wobei insbesondere am Ende der zweiten Hochlaufphase die Nenndrehzahl der Vakuumpumpe erreicht ist. Bei einem derartigen Regelungsverfahren wird der technisch zulässige Maximalstrom des Motors nicht überschritten. Insofern kann die Hochlaufzeit bei Verwendung eines kleineren Netzteils im Vergleich zu einer Begrenzung des Motorstroms reduziert werden. Ebenso kann hierdurch bei Verwendung eines leistungsstarken Netzteils die Hochlaufzeit verringert werden. According to the control method according to the invention thus takes place in a first run-up phase limiting the input current of the control device to a maximum value. The input current thus rises in the first run-up phase to the maximum value. Subsequently, in a second run-up phase, the control device is operated at the maximum value of the input current, wherein in particular at the end of the second run-up phase, the rated speed of the vacuum pump is reached. In such a control method, the technically permissible maximum current of the motor is not exceeded. In this respect, the run-up time can be reduced when using a smaller power supply compared to a limitation of the motor current. Likewise, this can be reduced when using a high-performance power supply, the run-up time.

Bevorzugt ist es, dass der Eingangsstrom in der Steuereinrichtung nach dem Durchlaufen der zweiten Hochlaufphase auf einen Betriebswert sinkt. Eine Überlastung der Steuereinrichtung tritt somit im normalen Betrieb auch bspw. bei wechselnden Gasarten oder Gasmengen nicht auf. It is preferable for the input current in the control device to drop to an operating value after passing through the second run-up phase. An overload of the control device thus does not occur in normal operation also, for example, with changing types of gas or gas quantities.

Desweiteren ist es bevorzugt, dass der Eingangsstrom der Steuereinrichtung der ersten Hochlaufphase steigt. Insbesondere handelt es sich um ein Ansteigen auf den vorgegebenen Maximalwert, wobei dieser Anstieg insbesondere konstant ist. Vorzugsweise erreicht der Eingangsstrom der Steuereinrichtung somit am Ende der ersten Hochlaufphase seinen Maximalwert. Furthermore, it is preferred that the input current of the control device of the first run-up phase increases. In particular, it is an increase to the predetermined maximum value, this increase is in particular constant. Preferably, the input current of the control device thus reaches its maximum value at the end of the first startup phase.

Ferner ist es bevorzugt, dass der Motorstrom in der ersten Hochlaufphase konstant ist. Insbesondere handelt es sich hierbei um einen Maximalwert des Motorstroms, der während des Betriebs ansonsten nicht überschritten wird. Hierbei muss es sich nicht um den maximal zulässigen Motorstrom handeln. Dieser liegt ggf. sogar höher sofern dies aufgrund mechanischer Bedingungen zulässig ist. Vorzugsweise nimmt der Motorstrom in der zweiten Hochlaufphase ab. Die Abnahme des Motorstroms in der zweiten Hochlaufphase entspricht vorzugsweise einer e-Funktion. Während des sich an die zweite Hochlaufphase anschließenden Betriebs sinkt der Motorstrom auf einen Betriebswert. Dieser kann insbesondere je nach Art und Menge des geförderten Gases schwanken, liegt jedoch stets unterhalb des in der ersten Hochlaufphase anliegenden Maximalwerts. Furthermore, it is preferred that the motor current in the first start-up phase is constant. In particular, this is a maximum value of the motor current, which is otherwise not exceeded during operation. This does not have to be the maximum permissible motor current. This is possibly even higher if this due to mechanical conditions. Preferably, the motor current decreases in the second run-up phase. The decrease of the motor current in the second run-up phase preferably corresponds to an e-function. During the operation following the second startup phase, the motor current drops to an operating value. This can in particular vary depending on the type and amount of the delivered gas, but is always below the voltage applied in the first start-up phase maximum value.

Die Drehzahl der Vakuumpumpe steigt vorzugsweise in beiden Hochlaufphasen an. Vorzugsweise erfolgt in der ersten Phase ein schnelleres bzw. steileres Ansteigen der Drehzahl als in der zweiten Hochlaufphase. Vorzugsweise ist der Anstieg der Drehzahl in der ersten Hochlaufphase linear. In der zweiten Hochlaufphase folgt der Anstieg der Drehzahl vorzugsweise einer e-Funktion.The speed of the vacuum pump preferably increases in both startup phases. Preferably, in the first phase, a faster or steeper increase in the speed than in the second run-up phase. Preferably, the increase in speed in the first start-up phase is linear. In the second run-up phase, the increase in the rotational speed preferably follows an e-function.

Vorzugsweise besteht während des erfindungsgemäßen Regelungsverfahrens die Randbedingung, dass die Systemleistung stets kleiner ist als die Motorleistung. Preferably, during the control method according to the invention, the boundary condition is that the system power is always smaller than the engine power.

Untersuchungen haben gezeigt, dass bei einer Vakuumpumpe ohne Reduzierung des Motorstroms, d.h. bei einem Verfahren nach dem herkömmlichen Stand der Technik der Eingangsstrom der Steuereinrichtung bis auf maximal 7,3 A steigt, während der Motorstrom einen Maximalwert von 7,8 A erreicht. Die Hochlaufzeit bis zur Maximaldrehzahl der Vakuumpumpe beträgt hierbei 350 s. Studies have shown that in a vacuum pump without reducing the motor current, i. in a method according to the conventional art, the input current of the controller increases up to a maximum of 7.3 A, while the motor current reaches a maximum value of 7.8 A. The ramp-up time up to the maximum speed of the vacuum pump is 350 s.

Erfolgt, wie weiter aus dem Stand der Technik bekannt, eine Reduzierung des maximal zulässigen Motorstroms, aufgrund der Forderung ein Netzteil mit geringerer Nennleistung einzusetzen, auf 2,8 A, so verringert sich auch der maximale Eingangsstrom auf 2,4 A. Die Hochlaufzeit verlängert sich jedoch auf 1244 s. If, as is further known from the prior art, a reduction of the maximum permissible motor current, due to the requirement to use a power pack with a lower rated power, to 2.8 A, so also reduces the maximum input current to 2.4 A. The run-up time extended but at 1244 s.

Eine beispielhafte Untersuchung hat gezeigt, dass bei Einsatz des erfindungsgemäßen Regelungsverfahrens die Hochlaufzeit deutlich auf 628 s verringert werden kann. Hierbei beträgt der maximale Eingangsstrom der Steuereinrichtung 2,5 A und der maximale Motorstrom 2,8 A. An exemplary investigation has shown that when using the control method according to the invention, the run-up time can be significantly reduced to 628 s. The maximum input current of the controller is 2.5 A and the maximum motor current is 2.8 A.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand unterschiedlicher Diagramme im Vergleich zum Stand der Technik näher erläutert. The invention will be explained in more detail below with reference to different diagrams in comparison to the prior art.

Es zeigen: Show it:

1 ein Diagramm des Hochlaufs nach dem Stand der Technik bei maximalem Motorstrom, 1 a diagram of the start-up according to the prior art at maximum motor current,

2 ein Diagramm des Hochlaufs nach dem Stand der Technik bei reduziertem Motorstrom, 2 a diagram of the startup according to the prior art with reduced motor current,

3 ein Diagramm eines Hochlaufs gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Regelungsverfahrens. 3 a diagram of a run-up according to a preferred embodiment of the control method according to the invention.

Ein Regelungsverfahren nach dem Stand der Technik, bei dem ein maximaler Motorstrom IM,max zugelassen wird, ist in 1 dargestellt. Zu Beginn des Hochlaufs steigt der als durchgezogene Linie dargestellte Motorstrom zu einem Zeitpunkt t1 auf IM,max an. Der Motorstrom wird sodann bis zu einem Zeitpunkt t3 konstant gehalten. Zu diesem Zeitpunkt hat die gepunktet dargestellte Drehzahl der Vakuumpumpe die Nenndrehzahl erreicht. Bis zu einem Zeitpunkt t6 läuft die Vakuumpumpe sodann im Normalbetrieb, wobei ggf. Schwankungen bei der geförderten Gasmenge oder Gasart auftreten können. Dies führt zu Schwankungen in dem Motorstrom. Desweiteren ist aus der 1 der Verlauf des Eingangsstroms gestrichelt dargestellt. Der Eingangsstrom der Steuereinrichtung steigt ab dem Beginn des Hochlaufs t1 kontinuierlich bis zum Zeitpunkt t3 an und schwankt während des Betriebs zwischen den Zeiten t3 und t6 ähnlich des Motorstroms in Abhängigkeit bspw. der geförderten Gasart oder Gasmenge. A control method according to the prior art in which a maximum motor current I M, max is permitted is in 1 shown. At the beginning of the run-up, the motor current shown as a solid line increases at a time t 1 to I M, max . The motor current is then kept constant until a time t 3 . At this time, the dotted speed of the vacuum pump has reached the rated speed. Up to a time t 6 , the vacuum pump then runs in normal operation, which may possibly cause fluctuations in the amount of gas delivered or type of gas. This leads to fluctuations in the motor current. Furthermore, from the 1 the course of the input current shown in dashed lines. The input current of the control device continuously increases from the beginning of the run-up t 1 until the time t 3 and fluctuates during operation between the times t 3 and t 6 similar to the motor current depending on, for example, the promoted gas or gas quantity.

Zur Verkleinerung des Netzteils ist es bekannt, den Motorstrom zu reduzieren. Dies ist schematisch in 2 dargestellt, wobei der Motorstrom auf IM,red reduziert ist. Zu einem Zeitpunkt t1 steigt der Motorstrom somit auf IM,red an und wird auf diesem Wert gehalten bis die Vakuumpumpe ihre Nenndrehzahl erreicht hat. Aufgrund der Reduzierung des Motorstroms wird die Nenndrehzahl nmax erst zu einem Zeitpunkt t5 erreicht. Zwischen den Zeitpunkten t5 und t6 ist wiederum schematisch der Betrieb dargestellt, in dem der Motorstrom schwanken kann. Entsprechend dem Betrieb bei maximalen Motorstrom steigt der gestrichelt dargestellte Eingangsstrom der Steuereinheit bei Reduzierung des Motorstroms auf IM,red von t1 kontinuierlich bis t5 an und schwankt sodann während des Betrieb zwischen t5 und t6. To reduce the power supply, it is known to reduce the motor current. This is schematically in 2 shown, wherein the motor current is reduced to I M, red . At a time t 1 , the motor current thus increases to I M, red and is maintained at this value until the vacuum pump has reached its rated speed. Due to the reduction of the motor current, the rated speed n max is reached only at a time t 5 . Between the times t 5 and t 6 , in turn, the operation is shown schematically, in which the motor current can fluctuate. Corresponding to the operation at maximum motor current, the input current of the control unit, shown in dashed lines, increases to I M, red continuously from t 1 to t 5 when the motor current is reduced , and then fluctuates between t 5 and t 6 during operation.

Aus den Diagrammen in 1 und 2 ergibt sich insbesondere auch dass der Eingangsstrom der Steuereinrichtung den Strom des Motors nicht überschreitet. Da ferner festgestellt wurde, dass ein maximal zulässiger Strom im Motor ggf. aufgrund mechanischer Anforderungen an den Motor höher als der Strom IM,max liegt, wurde das erfindungsmäße Regelungsverfahren wie in 3 schematisch dargestellt, entwickelt. Hierbei wurde der Hochlauf in zwei Phasen unterteilt. Die erste Phase ist der Zeitraum t1 bis t2 und die zweite Hochlaufphase t2 bis t4. Erfindungsgemäß wird in einer ersten Hochlaufphase der gestrichelte dargestellte Eingangsstrom der Steuereinrichtung auf einen Eingangsstrom IS,max begrenzt. In der ersten Hochlaufphase, d.h. bis zum Zeitpunkt t2 steigt der Eingangsstrom der Steuereinrichtung konstant bis auf den vorgegebenen Maximalwert IS,max an. Während dieser ersten Hochlaufphase steigt die Drehzahl ebenfalls konstant an, erreicht jedoch noch nicht die Nenndrehzahl nmax. Der Motorstrom Im ist während dieser ersten Phase konstant. From the diagrams in 1 and 2 also results in particular that the input current of the control device does not exceed the current of the motor. Further, since it has been found that a maximum allowable current in the motor may be higher than the current I M, max due to mechanical demands on the motor, the control method according to the invention as in 3 shown schematically developed. Here, the run-up was divided into two phases. The first phase is the time period t 1 to t 2 and the second startup phase t 2 to t 4 . According to the invention, the dashed illustrated input current of the control device is limited to an input current I S, max in a first run-up phase. In the first run-up phase, ie, until the time t 2 , the input current of the control device rises constantly to the predetermined maximum value I S, max . During this first start-up phase, the speed also increases constantly, but does not reach the rated speed n max . The motor current I m is constant during this first phase.

In der zweiten Phase wird der Eingangsstrom der Steuereinrichtung auf den Maximalwert IS,max begrenzt. Dies führt zu einem weiteren wenn auch langsameren Anstieg der Drehzahl der Vakuumpumpe bis zum Erreichen der Nenndrehzahl nmax. Der Anstieg der Nenndrehzahl folgt hierbei einer e-Funktion. Untersuchungen haben gezeigt, dass wie auch aus dem schematischen Diagrammen ersichtlich ist, die Hochlaufzeit somit bis zum Erreichen der Nenndrehzahl nmax reduziert werden kann. Die Maximaldrehzahl ist zu einem Zeitpunkt t4 erreicht. Dieser liegt vor dem Zeitpunkt t5 (2) bei Reduzierung des maximalen Motorstroms. Im Normalbetrieb zwischen den Zeitpunkten t4 und t6 bleibt die Nenndrehzahl konstant und der Eingangsstrom der Steuereinrichtung kann schwanken. In the second phase, the input current of the control device is limited to the maximum value I S, max . This leads to a further, albeit slower, increase in the speed of the vacuum pump until it reaches the rated speed n max . The increase of the rated speed follows an e-function. Investigations have shown that, as can also be seen from the schematic diagrams, the ramp-up time can thus be reduced until the nominal rotational speed n max is reached . The maximum speed is reached at a time t 4 . This is before the time t 5 ( 2 ) while reducing the maximum motor current. In normal operation between the times t 4 and t 6 , the rated speed remains constant and the input current of the controller may fluctuate.

Der Motorstrom fällt in der zweiten Hochlaufphase, d.h. zwischen den Zeitpunkten t2 und t4 insbesondere als e-Funktion ab und schwankt während des Betriebs zwischen den Zeitpunkten t4 und t6, sofern sich bspw. die Gasart oder die Gasmenge ändert. The motor current drops in the second start-up phase, ie between the times t 2 and t 4 in particular as e-function and fluctuates during operation between the times t 4 and t 6 , if, for example, the type of gas or the amount of gas changes.

Vorstehend ist das erfindungsgemäße Verfahren anhand der Forderung beschrieben ein kleineres Netzteil zu verwenden. Wie insbesondere anhand 3 erläutert, ist es bei Verwendung eines kleineren Netzteils möglich, die Hochlaufzeit gegenüber einer Hochlaufzeit mit reduziertem Motorstrom zu verringern. Above, the method according to the invention is described on the basis of the requirement to use a smaller power supply. As in particular 3 is explained, it is possible to reduce the run-up time compared to a run-up time with reduced motor current when using a smaller power supply.

Entsprechend kann das erfindungsgemäße Verfahren auch genutzt werden, um die Hochlaufzeit bei der Verwendung herkömmlicher Netzteile gegenüber der in 1 dargestellten Hochlaufzeit zu verringern.Accordingly, the inventive method can also be used to the run-up time when using conventional power supplies over the in 1 to reduce the startup time shown.

Claims (10)

Regelungsverfahren für einen Hochlauf einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe, mit einem Elektromotor und einer Steuereinrichtung, bei welchem, in einer ersten Hochlaufphase der Eingangsstrom der Steuereinrichtung bis auf einen Maximalwert IS,max steigt und in einer zweiten Hochlaufphase die Steuereinrichtung bei dem Maximalwert ISmax des Eingangsstroms betrieben wird. Control method for a run-up of a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, with an electric motor and a control device, in which, in a first run-up phase, the input current of the control device to a maximum value I S, max increases and in a second run-up phase, the control device at the maximum value I Smax of the input current is operated. Regelungsverfahren nach Anspruch 1, bei welchem am Ende der zweiten Hochlaufphase die Nenndrehzahl nmax der Vakuumpumpe erreicht ist. Control method according to claim 1, wherein at the end of the second run-up phase, the rated speed n max of the vacuum pump is reached. Regelungsverfahren nach Anspruch 2, bei welchem der Eingangsstrom der Steuereinrichtung nach der zweiten Hochlaufphase auf einen Betriebswert sinkt. A control method according to claim 2, wherein the input current of the control means decreases to an operating value after the second start-up phase. Regelungsverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei welchen der Eingangsstrom der Steuereinrichtung in der ersten Hochlaufphase, insbesondere konstant auf den Maximalwert ISmax steigt. Control method according to one of claims 1 to 3, wherein the input current of the control device in the first run-up phase , in particular constantly increases to the maximum value I Smax . Regelungsverfahren nach Anspruch 4, bei welchem der Eingangsstrom der Steuereinrichtung den Maximalwert IS,max am Ende der ersten Hochlaufphase erreicht. Control method according to Claim 4, in which the input current of the control device reaches the maximum value I S, max at the end of the first run-up phase. Regelungsverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei welchem während der ersten Hochlaufphase der Motorstrom konstant ist, insbesondere einen konstanten Maximalwert IM,max aufweist. Control method according to one of claims 1 to 5, wherein during the first run-up phase, the motor current is constant, in particular a constant maximum value I M, max . Regelungsverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei welchem der Motorstrom in der zweiten Hochlaufphase abnimmt. Control method according to one of claims 1 to 6, wherein the motor current decreases in the second run-up phase. Regelungsverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei welchem der Motorstrom nach der zweiten Hochlaufphase auf einen Betriebswert sinkt. Control method according to one of claims 1 to 7, wherein the motor current after the second run-up phase to an operating value decreases. Regelungsverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei welchem die Drehzahl der Vakuumpumpe in der ersten Hochlaufphase und in der zweiten Hochlaufphase steigt. Control method according to one of claims 1 to 8, wherein the speed of the vacuum pump in the first run-up phase and in the second run-up phase increases. Regelungsverfahren nach Anspruch 9, bei welchem die Drehzahl der Vakuumpumpe in der ersten Hochlaufphase schneller steigt als in der zweiten Hochlaufphase.Control method according to claim 9, wherein the speed of the vacuum pump in the first run-up phase increases faster than in the second run-up phase.
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