DE102013209246A1 - A process for preparing a false-light-suppressing apparatus having the same structure and - Google Patents

A process for preparing a false-light-suppressing apparatus having the same structure and

Info

Publication number
DE102013209246A1
DE102013209246A1 DE201310209246 DE102013209246A DE102013209246A1 DE 102013209246 A1 DE102013209246 A1 DE 102013209246A1 DE 201310209246 DE201310209246 DE 201310209246 DE 102013209246 A DE102013209246 A DE 102013209246A DE 102013209246 A1 DE102013209246 A1 DE 102013209246A1
Authority
DE
Grant status
Application
Patent type
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE201310209246
Other languages
German (de)
Inventor
Frank Wippermann
Andreas Brückner
Nicolas Lange
Andreas Bräuer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/003Light absorbing elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/005Diaphragms

Abstract

Bei einem Verfahren zur Herstellung eines mehrkanaligen optischen Moduls wird ein aushärtbares Material (12) kanalweise mit unterschiedlichem Bestrahlungswinkel (α; β) bestrahlt oder kanalweise maskiert und mit unterschiedlichem Bestrahlungswinkel (α; β) bestrahlt. In a method for producing a multi-channel optical module a curable material (12) for each channel with a different irradiation angle (α; β) or irradiated by channel masked and with varying irradiation angle (α; β) irradiated. Bereiche des nicht bestrahlten oder des nicht maskierten Bereichs des Materials (12) werden durch ein lichtundurchlässiges Material (16) ersetzt. Areas of non-irradiated or non-masked area of ​​the material (12) are replaced by an opaque material (16).

Description

  • [0001]
    Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer falschlichtunterdrückende Struktur und eine Vorrichtung mit derselben. The present invention relates to a process for preparing a false light-suppressing structure and a device having the same.
  • [0002]
    Zur Vermeidung von Falschlicht in den Abbildungskanälen von Multiaperturoptiken werden möglichst lichtabsorbierende Strukturen in den Bereichen zwischen den für die optische Abbildung erforderlichen Arealen, beispielsweise Linsen oder Linsenausschnitte, angeordnet, um die Kanäle optisch von einander zu isolieren. In order to avoid stray light in the imaging channels of Multiaperturoptiken light absorbing possible structures in the regions between the areas necessary for optical imaging, such as lenses or lens cutouts are arranged so as to isolate the passages from each other visually. Um den Gesamtflächenbedarf des Aufbaus möglichst klein zu halten, werden die vorzugsweise lichtabsorbierenden Strukturen möglichst schmal und in der dritten Dimension, der Richtung der optischen Achse der Kamera, durchgehend ausgebildet. In order to keep the overall footprint of the assembly as small as possible, preferably the light absorbing structures and as narrow as possible in the third dimension, the direction of the optical axis of the camera are designed to be continuous. Infolge der unterschiedlichen Neigungen der optischen Achsen benachbarter Kanäle ergibt sich eine optimale Flächenausnutzung, wenn die vorzugsweise absorbierenden Strukturen hinterschnittene Kanten oder Oberflächen aufweisen. As a result of the different inclinations of the optical axes of neighboring channels results in an optimum utilization of the area when the absorbent structures preferably undercut edges or surfaces have.
  • [0003]
    Bekannte Aufbauten basieren entweder auf in Planartechnik lithografisch hergestellten Blendenarrays aus Chrom, Schwarzchrom oder photostrukturierbaren Polymeren oder auf geprägten oder gegossenen Komponenten unter Nutzung von Abformverfahren. -Known structures are based on either in planar lithographically produced diaphragm array of chrome, black chrome or photopatternable polymers or embossed or cast components with the use of molding processes.
  • [0004]
    Um die gewünschte Kanalisolation bei lithografisch hergestellten Blendenarrays erzielen zu können, werden mehrere Blendenlagen mit angepasster Geometrie, wie beispielsweise Blendenform, -größe oder -position, in mehreren Lagen übereinander angeordnet und ahmen so den Effekt einer in der Höhe durchgehend Falschlicht unterdrückenden Struktur nach. In order to achieve the desired channel isolation in lithographically produced diaphragm array, a plurality of aperture positions with adapted geometry, such as aperture shape are, size or position, arranged in several layers one above the other and thus mimic the effect of suppressing the height throughout stray light structure according to. Die Bereiche ober- und unterhalb der Blenden sind jedoch transparent und gestatten bei ungünstiger Dimensionierung der Blenden das Übersprechen zwischen Kanälen. The areas above and below the aperture, however, are transparent and allow at unfavorable dimensioning of the diaphragm, the crosstalk between channels. Bei einer optimalen Falschlichtunterdrückung resultiert hingegen ein erhöhter Flächenbedarf, da die nicht transparenten Bereiche zwischen den Abbildungskanälen lateral vergrößert werden, um das Übersprechen zwischen den Kanälen zu verhindern. In an optimum stray light suppression, however, results in increased surface area requirement, since the non-transparent regions between the imaging channels are enlarged laterally to prevent the crosstalk between the channels. Für die Beibehaltung der optimalen Falschlichtunterdrückung werden aus Fertigungstoleranzen resultierende variierende laterale Positionen der einzelnen lithografischen Lagen untereinander durch verbreitete lichtabsorbierende Bereiche kompensiert, so dass sich die laterale Abmessung des Aufbaus vergrößert und somit vom gewünschten Minimum entfernt. For maintaining the optimum stray light suppression resulting varying lateral positions of the individual lithographic layers are each other offset by non-light-absorbing areas of manufacturing tolerances, so that the lateral dimension of the structure is enlarged and thus removed from the desired minimum. Zudem beinhalten lithografische, lagenweise Herstellungsverfahren gegenüber Abformverfahren oft eine erhöhte Anzahl von Prozessschritten und damit einen erhöhten Prozessaufwand. Also include lithographic, layer-wise manufacturing method over molding processes often an increased number of process steps and thus an increased process complexity.
  • [0005]
    Geprägte oder gegossene Komponenten unter Nutzung von Abformverfahren ermöglichen keinen optimalen und mithin minimalen Abstand zwischen den Kanälen. Embossed or cast components with the use of molding processes do not allow optimal and therefore minimum distance between channels. Eine optimale Flächenausnutzung führt aufgrund der unterschiedlichen Neigungen der optischen Achsen benachbarter Kanäle zu hinterschnittenen Kanten oder Oberflächen der optischen Kanäle. An optimum use of space owing to the different inclinations of the optical axes of adjacent channels to undercut edges or surfaces of the optical channels. Hinterschnittene Kanten oder Oberflächen verhindern jedoch eine Entformung der Werkstücke von den Abformwerkzeugen. However, undercut edges or surfaces prevent demoulding the workpiece from the molding tools. Folglich resultiert in nachteiliger Weise ein insgesamt größerer Flächenbedarf für die Gesamtanordnung. Thus, disadvantageously, an overall larger surface area requirements for the overall arrangement results.
  • [0006]
    Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung zu schaffen, mit denen optische Kanäle derart zueinander angeordnet werden können, dass eine optimale Flächenausnutzung unter Umgehung der vorgenannten Nachteile ermöglicht wird. The object of the present invention is to provide a method and an apparatus with which optical channels can be arranged to one another such that an optimum use of space is made possible by circumventing the aforementioned disadvantages.
  • [0007]
    Diese Aufgabe wird durch Verfahren gemäß Anspruch 1 und eine Vorrichtung gemäß Anspruch 10 gelöst. This object is achieved by method according to claim 1 and an apparatus according to claim 10 degrees.
  • [0008]
    Der vorliegenden Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass die oben beschriebenen Probleme bei herkömmlichen Herstellungsverfahren dadurch vermieden werden, dass ausgehend von einem einstückigen Trägermaterial aus einem durch Bestrahlung aushärtbaren Material die optischen Kanäle mit unterschiedlichen Winkeln in einem Bearbeitungsprozess durch Bestrahlung des Materials hergestellt werden. The present invention is based on the finding that the above-described problems in conventional production methods are avoided by starting the optical channels are manufactured with different angles in a machining process by irradiation of the material from a one-piece substrate made of a radiation curable material.
  • [0009]
    Dies vermeidet den aufwendigen Aufbau aus mehreren Lagen und ermöglicht hinterschnittene Kanten oder Oberflächen der optischen Kanäle. This avoids the expensive construction of several layers and permits undercut edges or surfaces of the optical channels. Ferner lassen sich absorbierende Strukturen mit minimalen Dimensionen definieren. Furthermore, absorbent structures with minimal dimensions can be defined.
  • [0010]
    Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist der Träger aus aushärtbarem Polymer gebildet, in welchem die auszubildenden optischen Kanäle mittels Bestrahlung ausgehärtet werden. According to one embodiment of the carrier of curable polymer is formed, in which the optical channels to be formed can be cured by means of irradiation.
  • [0011]
    Gemäß einem alternativen Ausführungsbeispiel ist der Träger aus photoempfindlichem Polymer gebildet, so dass Bereiche zwischen den optischen Kanälen entwickelt werden können und Bereiche, in denen optische Kanäle ausgebildet werden, unbestrahlt bleiben. According to an alternative embodiment of the carrier of photosensitive polymer is formed so that regions between the optical channels can be developed and areas in which optical channels are formed, remain unirradiated.
  • [0012]
    Gemäß Ausführungsbeispielen erfolgt die Herstellung der falschlichtunterdrückenden Struktur durch selektive Aushärtung oder Belichtung einer geeigneten Polymerschicht, beispielsweise ein härtendes Polymer oder ein Photolack, welcher eine lichtempfindliche Löslichkeit nach der Belichtung umfasst, wobei die selektive Aushärtung oder Belichtung durch ein Blendenarray unter Nutzung optischer Strukturen erfolgt, welche eine kanalweise Strahlformung durchführen. According to embodiments, the production of false-light-suppressing structure by selective curing or exposure of a suitable polymer layer, for example a hardening polymer or a photoresist comprising a photosensitive solubility after exposure is performed, wherein the selective curing or exposure is effected through a diaphragm array using optical structures a channel by channel beamforming perform.
  • [0013]
    Bei einem ersten Ausführungsbeispiel wird ein härtendes Polymer in einer Schicht angeordnet und lokal selektiv und mit kanalweise unterschiedlichem Winkel durch Bestrahlung ausgehärtet. In a first embodiment, a curable polymer is placed in one layer and cured locally selectively and with each channel a different angle by irradiation. Nachfolgend wird das nicht gehärtete Polymer mit einem geeigneten Lösungsmittel herausgespült. Subsequently, the non-cured polymer is rinsed with a suitable solvent. Die so entstandenen Zwischenräume zwischen den ausgehärteten Bereichen, welche die optischen Kanäle definieren, werden mit einem möglichst Licht- oder strahlungsabsorbierenden Material aufgefüllt. The interspaces thus formed between the cured portions which define the optical channels are filled with a possible light or radiation-absorbing material. In einem weiteren, optionalen Schritt können die zuvor ausgehärteten Polymerbereiche, die die optischen Kanäle definieren, unter Nutzung eines geeigneten Lösungsmittels entfernt werden. In a further, optional step, the previously cured polymeric regions that define the optical channels can be removed using a suitable solvent.
  • [0014]
    Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel wird ein lichtempfindliches Polymer, welches bei Bestrahlung seine Löslichkeit ändert, in einer Schicht angeordnet und lokal selektiv mit kanalweise unterschiedlichem Winkel durch Bestrahlung belichtet. In a second embodiment, a light-sensitive polymer which changes its solubility under irradiation, is placed in one layer and locally selectively exposed to each channel a different angle by irradiation. Nachfolgend wird das belichtete oder das nicht belichtete Polymer mit einem geeigneten Lösungsmittel entwickelt und damit herausgespült. Subsequently, the exposed or the unexposed polymer is developed with an appropriate solvent and flushed with it. Anschließend werden die so entstandenen Zwischenräume zwischen den ausgehärteten Bereichen mit einem möglichst licht- oder strahlungsabsorbierenden Material aufgefüllt. Subsequently, the interstices thus formed between the cured areas will be filled with a possible light- or radiation-absorbing material. Hierfür können insbesondere thermisch oder zeitlich härtende Polymere genutzt werden. For this purpose, thermally or time-curable polymers can be used in particular. In einem weiteren, optionalen Schritt können die nach der Entwicklung zunächst verbliebenen Polymerbereiche unter Nutzung eines geeigneten Lösungsmittels entfernt werden. In a further, optional step after the development initially remaining polymer areas can be removed using a suitable solvent.
  • [0015]
    Bei der Herstellung kann gemäß Ausführungsbeispielen eine Strahlformungsoptik, die eine makroskopische Linse, die über alle Kanäle des Aufbaus ausgedehnt ist, und ein vor dem zu belichtenden oder auszuhärtenden Polymer angeordnetes Blendenarray, das eine Blende pro Kanal umfasst, verwendet werden. In the production in accordance with embodiments, a beam shaping optics, which are a macroscopic lens which is extended over all the channels of the structure, and to be exposed in front of the or cured polymer disposed aperture array that includes a diaphragm for each channel used can. Alternativ kann die Strahlformungsoptik bei anderen Ausführungsbeispielen ein Mikrolinsenarray mit einer Linse pro Kanal und ein Blendenarray mit jeweils einer Blende pro Kanal umfassen, wobei die Blenden bezüglich der Zentren der Mikrolinsen kanalweise unterschiedlich versetzt sind. Alternatively, the beam shaping optics, a micro-lens array with a lens for each channel and an aperture array, each having an aperture for each channel comprise, in other embodiments, the aperture with respect to the centers of the microlenses offset for each channel differently.
  • [0016]
    Bei wiederum anderen Ausführungsbeispielen umfasst die Strahlformungsoptik ein Array aus in lateraler oder axialer Richtung unstetig geformten Ausschnitten dezentrierter Linsen mit einem Ausschnitt und einer Blende pro Kanal, wobei die Blenden bezüglich der Zentren der Linsenausschnitte unversetzt angeordnet sein können. In still other embodiments, the beam shaping optics includes an array of in the lateral or axial direction discontinuously shaped cutouts decentered lenses having a neck and an aperture per channel, wherein the aperture may be arranged non-sets with respect to the centers of the lens cutouts.
  • [0017]
    Weitere Ausführungsbeispiele zeigen eine mehrlagige Anordnung von Linsen- und/oder Blendenarrays, insbesondere auch eine Kombination von Linsenarrays und makroskopischen Linsen. Further embodiments show a multi-layer arrangement of lens and / or aperture arrays, in particular, a combination of lens arrays and macroscopic lenses.
  • [0018]
    Die Strahlformungsoptiken können sowohl refraktive als auch diffraktive optische Elemente in den makroskopischen Linsen oder den Linsenarrays aufweisen. The beam shaping optics may both refractive and diffractive optical elements have in the macroscopic lenses or the lens arrays. Damit kann sowohl eine bündelnde als auch eine strahlablenkende Funktion der Strahlformungsoptik realisiert werden. Thus can be realized both a collimating and a beam deflecting function of the beam-shaping optics.
  • [0019]
    Die falschlichtunterdrückende Struktur kann im Mehrfachnutzen auf Waferlevel mit einem optimalen respektive minimalen Flächenbedarf hergestellt werden, wobei durch die Ausgestaltung der falschlichtunterdrückenden Struktur gleichzeitig eine optimale Falschlichtunterdrückung ermöglicht wird. The stray light suppressing structure may be produced in multiple at the wafer level with an optimal minimum area requirement respectively, at the same time an optimal stray light suppression is made possible by the configuration of the incorrect light-suppressing structure.
  • [0020]
    Weitere vorteilhafte Ausführungsformen sind der Gegenstand der abhängigen Patentansprüche. Further advantageous embodiments are the subject of the dependent claims.
  • [0021]
    Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beiliegenden Zeichnungen erläutert. Embodiments of the present invention, reference will be explained with the accompanying drawings. Es zeigen: Show it:
  • [0022]
    1a 1a –f ein erstes Ausführungsbeispiel zum kanalweisen Bestrahlen eines Polymers mit unterschiedlichem Bestrahlungswinkel; f a first embodiment of the channel-wise irradiation of a polymer with a different irradiation angle;
  • [0023]
    2a 2a –c ein zweites Ausführungsbeispiel zum kanalweisen Bestrahlen eines lichtempfindlichen Polymers mit unterschiedlichem Bestrahlungswinkel; -c, a second embodiment for the channel by channel, irradiating a photosensitive polymer with a different irradiation angle;
  • [0024]
    3a 3a –h Verfahrensschritte zum Herstellen einer falschlichtunterdrückenden Struktur mit hinterschnittenen Kanten/Oberflächen für eine Multiaperturoptik gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung; -h process steps for producing a false-light-suppressing structure with undercut edges / surfaces for Multiaperturoptik according to a third embodiment of the invention;
  • [0025]
    4 4 den Verfahrensschritt des kanalweise selektiven Bestrahlens mit kanalweise unterschiedlichem Winkel gemäß the step of selectively irradiating with each channel by channel according to different angles 3a 3a durch Anordnen einer makroskopischen Linse und eines Blendenarrays; by arranging a macroscopic lens and an aperture array;
  • [0026]
    5 5 den Verfahrensschritt des kanalweisen Bestrahlens gemäß the step of irradiating channel by channel, according to 3a 3a mit unterschiedlichem Winkel durch Anordnen eines Mikrolinsenarrays aus Linsenausschnitten; at different angles by arranging a microlens array of lens cutouts;
  • [0027]
    6 6 den Verfahrensschritt des lokal selektiven Bestrahlens gemäß the step of locally selectively irradiating accordance 3a 3a , bei dem das Bestrahlen durch ein Mikrolinsenarray und eine makroskopische Linse erfolgt; Wherein said irradiating is performed by a microlens array and a macroscopic lens;
  • [0028]
    7 7 die kanalweise Bestrahlung mehrerer nebeneinander angeordneter Multiaperturoptiken durch Anordnen makroskopischer Linsen und Mikrolinsenarrays; the channel-wise irradiation of several juxtaposed Multiaperturoptiken by arranging macroscopic and microlens array;
  • [0029]
    8 8th die kanalweise Bestrahlung mehrerer nebeneinander angeordneter falschlichtunterdrückender Strukturen gemäß the channel-wise irradiation of several juxtaposed stray light suppressing structures according to 7 7 unter Verwendung von Mikrolinsenarrays mit daran angeordneten Blendenstrukturen; using micro-lens arrays arranged thereon diaphragm structures;
  • [0030]
    9 9 die kanalweise Bestrahlung mehrerer nebeneinander angeordneter falschlichtunterdrückender Strukturen gemäß the channel-wise irradiation of several juxtaposed stray light suppressing structures according to 8 8th unter Verwendung zusätzlicher makroskopischer Linsen; using additional macroscopic lenses;
  • [0031]
    10 10 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung mit einer falschlichtunterdrückenden Struktur und einer beabstandet zur falschlichtunterdrückenden Struktur angeordneten Bildfläche; a cross-sectional view of an apparatus with a wrong light-suppressing structure and a spaced-apart to the wrong light-suppressing structural image area;
  • [0032]
    11 11 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung analog a cross-sectional view of a device analogous to 10 10 , bei der die Bildfläche direkt benachbart zur falschlichtunterdrückenden Struktur angeordnet ist; Wherein the image area is arranged directly adjacent to the wrong light-suppressing structure;
  • [0033]
    12 12 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung analog a cross-sectional view of a device analogous to 10 10 , bei der zusätzliches lichtabsorbierendes oder opakes Material zwischen der falschlichtunterdrückenden Struktur und dem Linsenfeld angeordnet ist; Is arranged in the additional light-absorbing or opaque material between the false-light-suppressing structure and the lens array;
  • [0034]
    13 13 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung analog a cross-sectional view of a device analogous to 12 12 , bei der bei der die Bildfläche direkt benachbart zur falschlichtunterdrückenden Struktur angeordnet ist; In which in which the image surface is arranged directly adjacent to the wrong light-suppressing structure;
  • [0035]
    14 14 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung analog a cross-sectional view of a device analogous to 12 12 , bei der das zusätzliche Material zusätzlich zwischen den Linsen des Linsenfeldes angeordnet ist; Wherein the additional material is additionally arranged between the lenses of the lens array;
  • [0036]
    15 15 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung analog a cross-sectional view of a device analogous to 14 14 , bei der bei der die Bildfläche direkt benachbart zur falschlichtunterdrückenden Struktur angeordnet ist; In which in which the image surface is arranged directly adjacent to the wrong light-suppressing structure;
  • [0037]
    16 16 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung analog a cross-sectional view of a device analogous to 12 12 , bei der anstelle des lichtabsorbierenden oder opaken Materials transparentes Material angeordnet ist; Is arranged in place of the light-absorbing or opaque material transparent material;
  • [0038]
    17 17 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung analog a cross-sectional view of a device analogous to 16 16 , bei der bei der die Bildfläche direkt benachbart zur falschlichtunterdrückenden Struktur angeordnet ist; In which in which the image surface is arranged directly adjacent to the wrong light-suppressing structure;
  • [0039]
    18 18 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung analog a cross-sectional view of a device analogous to 14 14 , bei der anstelle des lichtabsorbierenden oder opaken Materials transparentes Material angeordnet ist; Is arranged in place of the light-absorbing or opaque material transparent material;
  • [0040]
    19 19 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung analog a cross-sectional view of a device analogous to 18 18 , bei der bei der die Bildfläche direkt benachbart zur falschlichtunterdrückenden Struktur angeordnet ist; In which in which the image surface is arranged directly adjacent to the wrong light-suppressing structure;
  • [0041]
    20 20 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung analog a cross-sectional view of a device analogous to 14 14 mit einer zwischen der falschlichtunterdrückenden Struktur und dem Linsenfeld angeordneten Glasschicht; with, arranged between the false-light-suppressing structure and the lens array glass layer;
  • [0042]
    21 21 eine Querschnittansicht einer Vorrichtung analog a cross-sectional view of a device analogous to 20 20 , bei der die Glasschicht zwischen falschlichtunterdrückender Struktur und Bildfläche angeordnet ist; Wherein the glass layer between stray light suppressing structure and image surface is disposed; und and
  • [0043]
    22 22 eine Vorrichtung mit zwei falschlichtunterdrückenden Strukturen, zwischen denen die Glasschicht angeordnet ist. a device with two stray light suppressing structures between which the glass layer is arranged.
  • [0044]
    1 1 zeigt erstes Ausführungsbeispiel zur Herstellung einer falschlichtunterdrückenden Struktur mit hinterschnittenen Kanten/Oberflächen für eine Multiaperturanordnung. shows first embodiment for producing a false-light-suppressing structure with undercut edges / surfaces for Multiaperturanordnung. 1a 1a zeigt die Bereitstellung eines einstückigen Trägers, welcher durch Bestrahlung aushärtbares oder polymerisierendes Materials shows the provision of an integral carrier which curable by irradiation or polymerizing material 12 12 umfasst. includes.
  • [0045]
    1b 1b zeigt ein kanalweises Bestrahlen des aushärtbaren Materials shows a channel-wise irradiating the curable material 12 12 derart, dass Bereiche des aushärtbaren Materials such that portions of the curable material 12 12 , die optische Kanäle The optical channels 14a 14a und and 14b 14b definieren, durch eine Bestrahlung define, by irradiation 15a 15a und and 15b 15b ausgehärtet werden, wobei die Bestrahlung are cured, wherein the irradiation 15a 15a in einem Winkel α und die Strahlung α at an angle and the radiation 15b 15b in einem Winkel β bezüglich einer Oberfläche des aushärtbaren Materials at an angle β relative to a surface of the curable material 12 12 erfolgt, wobei die Winkel α und β voneinander verschieden sind. takes place, wherein the angle α and β different from each other. Daraus resultiert, dass die Oberflächen der ausgehärteten optischen Kanäle As a result, the surfaces of the cured optical channels 14a 14a und and 14b 14b zueinander hinterschnittene Oberflächen aufweisen. have mutually undercut surfaces. Durch die Bestrahlung The irradiation 15a 15a und and 15b 15b härtet das aushärtbare Material curing the curable material 12 12 durch Polymerisation aus, sodass die Volumina der optischen Kanäle from the polymerization of, so that the volumes of the optical channels 14a 14a und and 14b 14b nach der Bestrahlung after irradiation 15a 15a und and 15b 15b ausgehärtetes Material Uncured material 13 13 umfassen. include.
  • [0046]
    1c 1c zeigt die optischen Kanäle shows the optical channels 14a 14a und and 14b 14b nach Entfernen des nicht bestrahlten aushärtbaren Materials after removing the non-irradiated curable material 12 12 . , Das nicht bestrahlte und mithin nicht polymerisierte aushärtbare Material The unexposed and therefore non-polymerized curable material 12 12 wird dabei mit einem Lösungsmittel entfernt. will be removed with a solvent. Nach dem Entfernen des aushärtbaren Materials After removal of the hardenable material 12 12 sind lediglich die beiden optischen Kanäle Only the two optical channels 14a 14a und and 14b 14b , deren Volumina ausgehärtetes Material Whose volumes cured material 13 13 umfassen, ausgebildet. include formed.
  • [0047]
    1d 1d zeigt das Einbringen lichtundurchlässigen Materials shows the introduction opaque material 16 16 in die Bereiche, aus denen in in the areas from which in 1c 1c das aushärtbare Material the curable material 12 12 entfernt wurde. was removed. Hierfür können beispielsweise thermisch oder zeitlich härtende oder durch Strahlung aushärtbare Polymere genutzt werden. For this purpose, for example, thermally curing or time or used radiation curable polymers can. Das lichtundurchlässige Material The opaque material 16 16 verhindert Falschlichteffekte oder Übersprechen zwischen den optischen Kanälen prevent stray light effects, or crosstalk between the optical channels 14a 14a und and 14b 14b . , Dadurch sind die optischen Kanäle Thereby, the optical channels 14a 14a und and 14b 14b optisch voneinander isoliert. optically isolated from each other.
  • [0048]
    1e 1e zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem aus dem Träger der shows a further embodiment in which the support of the 1d 1d ausgehärtete Material cured material 13 13 , das in , this in 1b 1b durch Bestrahlung ausgehärtet wurde und die optischen Kanäle was cured by irradiation, and the optical channels 14a 14a und and 14b 14b definiert, entfernt ist. is defined removed. Nach dem Entfernen des Materials der optischen Kanäle After the removal of the material of the optical channels 14a 14a und and 14b 14b sind die optischen Kanäle the optical channels 14'a 14'a und and 14'b 14'b als Freiräume ausgebildet. formed as open spaces. Das Entfernen kann beispielsweise mit einem das ausgehärtete Material The removal may, for example, with a the cured material 13 13 , nicht jedoch das lichtundurchlässige Material But not the opaque material 16 16 lösende Lösungsmittel erfolgen. dissolving solvents done.
  • [0049]
    Die optischen Eigenschaften der freigelegten optischen Kanäle The optical properties of the exposed optical channels 14'a 14'a und and 14'b 14'b sind gegenüber Temperaturschwankungen konstanter als die optischen Eigenschaften von optischen Kanälen are constant as the optical properties of optical channels to temperature variations 14a 14a und and 14b 14b in denen das Material verbleibt. in which the material remains. Insbesondere findet im Falle einer Temperaturänderung keine durch zwischen lichtundurchlässigem Material In particular place in the case of a temperature change between any of opaque material 16 16 und ausgehärtetem Material and cured material 13 13 verschiedenen thermischen Ausdehnungskoeffizienten induzierte Verformung von optischen Oberflächen statt, sodass durch die optischen Kanäle different coefficient of thermal expansion-induced deformation instead of optical surfaces, so by the optical channels 14'a 14'a und and 14'b 14'b transmittiertes Licht keine unerwünschte Beeinflussung, wie bspw. eine Brechung an der Oberfläche, erfährt. transmitted light no undesirable influence, such as. refraction at the surface undergoes.
  • [0050]
    1f 1f zeigt ein nächstes Ausführungsbeispiel, in welchem in die in shows a next embodiment in which, in the in 1e 1e bereitgestellten Freiräume in einem weiteren Schritt transparentes Material provided free spaces in a further step transparent material 18 18 eingebracht wird. is introduced. Dieses transparente Material This transparent material 18 18 ist entlang der so hergestellten optischen Kanäle is along the thus prepared optical channels 14''a 14''a und and 14''b 14''b für Licht oder Strahlung, beispielsweise in einem definierten Wellenlängenbereich, durchlässig und kann eine vom ausgehärteten Material for light or radiation, for example in a defined wavelength range, permeable and can be a material from the hardened 13 13 oder von den Freiräumen verschiedene optische Eigenschaft umfassen. or include various optical property of the free spaces. Gemäß Ausführungsbeispielen kann vorgesehen sein, dass Anteile eines bestimmten Lichtspektrums aus Licht, welches die optischen Kanäle According to embodiments, it may be provided that units of a particular light spectrum of light which the optical channels 14''a 14''a und and 14''b 14''b durchquert, herausgefiltert wird. crosses, is filtered out.
  • [0051]
    Die Verfahrensschritte der The process steps of 1e 1e und and 1f 1f des Entfernens des ausgehärteten Materials removing the cured material 13 13 in den optischen Kanälen in the optical channels 14a 14a und and 14b 14b und/oder des Ersetzens des ausgehärteten Materials and / or the replacement of the cured material 13 13 durch das transparente Material through the transparent material 18 18 können gemäß Ausführungsbeispielen auch lediglich an einem der beiden optischen Kanäle , according to exemplary embodiments, only one of the two optical channels 14a 14a , . 14b 14b durchgeführt werden. be performed.
  • [0052]
    Durch die von einander unabhängigen Bestrahlungswinkel der optischen Kanäle By independent from each irradiation angle of the optical channels 14a 14a und and 14b 14b weisen die optischen Kanäle voneinander unabhängige Verläufe innerhalb des Trägermaterials auf. , the optical channels from one another in an independent gradients within the carrier material. Damit ist es möglich, unter Verzicht auf lithografische oder Abformverfahren Aperturen herzustellen, deren optische Kanäle hinterschnittene Kanten oder Oberflächen aufweisen und deren Oberflächenbedarf im Material minimal ist, da keinerlei Positionierungstoleranzen einzelner lithografischer Schichten oder zusätzliche, während eines Abformvorganges benötige, Zwischenräume benötigt werden. Thus, it is possible to produce waiving lithographic or molding processes apertures whose optical channels have undercut edges or surfaces and the surface required in the material is minimal, since no positioning tolerances of individual lithographic layers or additional need for a Abformvorganges, gaps are needed.
  • [0053]
    Die Definition der Bereiche, in denen die optischen Kanäle ausgebildet werden, erfolgt durch lokal variierendes Bestrahlen derart, dass manche Bereiche des im ersten Schritt bereitgestellten Materials bestrahlt werden und andere Bereiche unbestrahlt bleiben. The definition of the areas where the optical channels are formed takes place by locally varying irradiation such that some areas of the material provided in the first step are irradiated and other areas remain unirradiated. Die Trennung von bestrahlten und unbestrahlten Bereichen kann beispielsweise über eine Maskierung der Oberfläche des bereitgestellten Materials oder die Verwendung von Linsen- oder Blendenstrukturen erfolgen, wie nachfolgend erläuterte Ausführungsbeispiele darlegen. The separation of the exposed and unexposed areas can for example take place via a masking of the surface of the material provided or the use of lens or aperture structures, as set forth explained in the following embodiments.
  • [0054]
    2 2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel, in welchem optische Kanäle shows a second embodiment in which optical channels 21a 21a und and 21b 21b in einem photoaktiven Positivlack ausgebildet werden. be formed in a photoactive positive resist.
  • [0055]
    Der in in 2a 2a bereitgestellte einstückige Träger umfasst einen Positivlack provided integral carrier comprises a positive resist 22 22 und wird in and is in 2b 2 B ebenfalls lokal selektiv bestrahlt. also locally selectively irradiated. Anders als im vorangegangenem ersten Ausführungsbeispiel werden die Bereiche, in denen die optischen Kanäle Unlike In the previous first embodiment, the areas in which the optical channels 21a 21a und and 21b 21b vorgesehen sind, mit einer Maske are provided with a mask 23 23 maskiert, so dass die Bestrahlung in den Bereichen masked, so that the radiation in the areas 24a 24a –c erfolgt und in den Bereichen der optischen Kanäle -c is carried out and in the areas of the optical channels 14a 14a und and 14b 14b verhindert ist. is prevented. Durch die Bestrahlung ändert sich die Löslichkeit des Positivlacks By irradiating the solubility of the positive tone photoresist changes 22 22 in den nicht maskierten und belichteten Bereichen in the unmasked and exposed areas 24a 24a –c durch eine photochemische Reaktion, so dass, wie in -c by a photochemical reaction, so that, as in 2c 2c dargestellt, die belichteten Bereiche von den optischen Kanälen shown, the exposed areas of the optical channels 21a 21a und and 21b 21b räumlich getrennt sind, entfernt werden können und nach der Entfernung die aus Positivlack are spatially separated and may be removed after removal of the positive resist 22 22 gebildeten optischen Kanäle optical channels formed 21a 21a und and 21b 21b bereitstehen. ready.
  • [0056]
    Die weiteren Schritte des Herstellungsverfahrens beinhalten analog zu den The further steps of the manufacturing method include analogous to the 1d 1d das Einbringen lichtundurchlässigen Materials im Bereich zwischen den optischen Kanälen. placing opaque material in the region between the optical channels. In weiteren Ausführungsbeispielen wird der Positivlack analog In further embodiments, the positive resist is analogous 1e 1e aus den Bereichen der optischen Kanäle entfernt und durch ein transparentes Material ersetzt. removed from the areas of the optical channels and replaced by a transparent material.
  • [0057]
    Zur Definition der Bestrahlungswinkel und der Bereiche der optischen Kanäle werden gemäß Ausführungsbeispielen Blendenstrukturen und/oder Linsen bzw. Linsenstrukturen genutzt, wie nachfolgend darlegt wird. according to embodiments of diaphragm structures and / or lenses or lens structures are used to define the irradiation angle and the portions of the optical channels, as setting forth below.
  • [0058]
    3 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel zur Herstellung einer falschlichtunterdrückenden Struktur mit hinterschnittenen Kanten/Oberflächen für eine Multiaperturoptik, bei dem eine Kombination aus Linsen und Blenden zur Definition der optischen Kanäle verwendet wird. shows a further embodiment for preparing a false-light-suppressing structure with undercut edges / surfaces for Multiaperturoptik in which a combination of lenses and aperture is used to define the optical channels.
  • [0059]
    3a 3a zeigt den Verfahrensschritt des lokal selektiven Bestrahlens eines auf einem Substrat shows the method step of selectively irradiating a locally on a substrate 28 28 angeordneten aushärtbaren Materials arranged curable material 12 12 . , Beabstandet zu der, dem Substrat Spaced apart from the, substrate 28 28 abgewandten Hauptseite bzw. Hauptoberfläche des aushärtbaren Materials Main or major surface of the curable material facing away 12 12 wird eine Linsenstruktur a lens structure 32 32 angeordnet. arranged. Die Linsenstruktur The lens structure 32 32 umfasst einen Glasträger comprises a glass substrate 34 34 mit zwei Hauptseiten, wobei an den beiden Hauptseiten je eine Polymerschicht with two main sides, wherein at its two main sides a polymer layer 36a 36a und and 36b 36b angeordnet ist. is arranged. Über die Polymerschichten On the polymer layers 36a 36a und and 36b 36b sind Linsenstrukturen are lens structures 38a 38a –e und e and 38f 38f –j mit dem Glasträger j with the glass support 34 34 verbunden. connected. Eine Blendenstruktur An aperture structure 44 44 umfasst Blendenelemente includes diaphragm elements 42a 42a –f, wobei die Blendenstruktur -f, wherein said aperture structure 44 44 derart zwischen der Linsenstruktur arranged between the lens structure 32 32 und dem aushärtbaren Material and the curable material 12 12 angeordnet ist, dass die Blendenelemente is arranged such that the shutter elements 42a 42a –f bezüglich der Zentren f with respect to the centers 46a 46a –e der Linsenstrukturen -e the lens structures 38a 38a –j versetzt sind. j are offset. Durch die Kombination der Linsenstruktur By combining the lens structure 32 32 mit der Blendenstruktur with the aperture structure 44 44 wird die Bestrahlung is the irradiation 48 48 für jeden optischen Kanal for each optical channel 14a 14a –e individuell abgelenkt, so dass die optischen Achsen -e individually deflected, so that the optical axes 52a 52a –e der optischen Kanäle -e of the optical channels 14a 14a –e bezüglich einer Hauptseite des aushärtbaren Materials -e respect to a major side of the curable material 12 12 individuelle Winkel α–ε aufweisen. have individual angles α-ε. Die Linsenstruktur The lens structure 32 32 in Kombination mit der Blendenstruktur in combination with the aperture structure 44 44 ermöglicht die Aushärtung des aushärtbaren Materials enables the curing of the curable material 12 12 im Bereich der optischen Kanäle in the field of optical channels 14a 14a –e derart, dass sich entlang eines optischen Kanals -e such that along an optical channel 14a 14a –e ein erster Durchmesser D1a–e von einem zweiten Durchmesser D2a–e unterscheidet und ein Durchmesser des jeweiligen optischen Kanals -e distinguishes a first diameter D1a-e of a second diameter D2a-e, and a diameter of the respective optical channel 14a 14a –e im Verlauf des optischen Kanals -e in the course of the optical channel 14a 14a –e variabel ist. -e is variable. Alternativ kann der Durchmesser eines optischen Kanals Alternatively, the diameter of an optical channel 14a 14a –e über seinen Verlauf konstant sein, so dass die Durchmesser D1a–e und D2a–e gleich sind. -e be constant over its extent, so that the diameter D1a and D2a-e-e are equal.
  • [0060]
    3b 3b zeigt die an dem Substrat shows to the substrate 28 28 angeordneten optischen Kanäle arranged optical channels 14a 14a –e aus ausgehärtetem Material -e of cured material 13 13 , nachdem das unbelichtete aushärtbare Material After the unexposed curable material 12 12 analog analogous 1c 1c aus den Bereichen zwischen den optischen Kanälen from the areas between the optical channels 14a 14a –e entfernt ist. -e is removed.
  • [0061]
    Ist das aushärtbare Material If the curable material 12 12 beispielsweise ein unter Strahlung polymerisierendes und in seinem Ausgangszustand hochviskoses Material, so verbleibt es in den Bereichen, in denen keine optischen Kanäle For example, a polymerizing under radiation and highly viscous material in its initial state, it remains in those areas in which no optical channels 14a 14a –e ausgebildet werden, hochviskos. -e be formed highly viscous. Nach erfolgtem Aushärten kann das unbestrahlte aushärtbare Material After the curing, the non-irradiated curable material can 12 12 mit einem Lösungsmittel entfernt werden. are removed with a solvent. Die polymerisierten optischen Kanäle The polymerized optical channels 14a 14a –e werden dadurch nicht gelöst und verbleiben an dem Substrat -e are not solved and remain on the substrate 28 28 . ,
  • [0062]
    3c 3c zeigt das Anordnen eines durch Bestrahlung aushärtbarem Materials shows the placement of a curable material by irradiation 54 54 in den freigelegten Zwischenräumen zwischen den optischen Kanälen in the exposed spaces between the optical channels 14a 14a –e. e. Das aushärtbare Material The curable material 54 54 hat im ausgehärteten Zustand lichtabsorbierende Eigenschaften. has light-absorbing properties in the cured state.
  • [0063]
    Eine in one in 3d 3d dargestellte Bestrahlung irradiation shown 56 56 des aushärtbaren Materials the curable material 54 54 bewirkt dessen Aushärtung zum lichtundurchlässigen Material causes the hardening of the opaque material 16 16 , so dass die Bereiche zwischen den optischen Kanälen So that the areas between the optical channels 14a 14a –e das lichtundurchlässige Material -e the opaque material 16 16 umfassen und die optischen Kanäle and include the optical channels 14a 14a –e durch das lichtundurchlässige Material -e by the opaque material 16 16 voneinander isoliert sind. are isolated from each other.
  • [0064]
    Bei alternativen Ausführungsbeispielen erfolgt die Aushärtung des aushärtbaren Materials In alternative embodiments, the curing of the curable material takes place 54 54 durch einen zeitlich oder thermisch gesteuerten Prozess. by a controlled temporally or thermal process.
  • [0065]
    3e 3e zeigt die Anwendung eines Lösungsmittels shows the application of a solvent 58 58 , auf die in Referred to in 3d 3d gezeigte Struktur, um das ausgehärtete Material Structure shown to the cured material 13 13 in den optischen Kanälen in the optical channels 14a 14a –e zu lösen, so dass, wie in to solve -e so that, as in 3f 3f dargestellt, die optischen Kanäle shown, the optical channels 14'a 14'a –e freigelegt werden. -e are exposed.
  • [0066]
    3g 3g zeigt die Applikation eines Lösungsmittels shows the application of a solvent 62 62 , das eine Ablösung des die optischen Kanäle , The detachment of the optical channels 14'a 14'a –e von einander isolierenden lichtundurchlässigen Materials -e from each other insulating opaque material 16 16 vom Substrat from the substrate 28 28 bewirkt, so dass nach der Applikation des Lösungsmittels effected so that after application of the solvent 62 62 , wie in , as in 3h 3h dargestellt, das Substrat illustrated, the substrate 28 28 vom lichtundurchlässigen Material from opaque material 16 16 getrennt ist. is separated.
  • [0067]
    Eine so hergestellte falschlichtunterdrückende Struktur A wrong light-suppressing structure thus prepared 64 64 mit hinterschnittenen Kanten/Oberflächen für eine Multiaperturoptik umfasst die optischen Kanäle with undercut edges / surfaces for the optical channels comprises Multiaperturoptik 14'a 14'a –e und das lichtundurchlässige Material -e and the opaque material 16 16 , welches im Bereich außerhalb der optischen Kanäle Which in the region outside of the optical channels 14'a 14'a –e ausgebildet ist. -e is formed.
  • [0068]
    Diese falschlichtunterdrückende Struktur mit hinterschnittenen Kanten/Oberflächen für eine Multiaperturoptik kann zur Definition von Abbildungskanälen von optischen Systemen genutzt werden. These false light-suppressing structure with undercut edges / surfaces for Multiaperturoptik can be used to define imaging channels of optical systems.
  • [0069]
    Die in In the 3a 3a dargestellte Definition der optischen Kanäle durch die mehrere Linsen umfassende Linsenstruktur Definition of the optical channels represented by the plurality of lenses comprehensive lens structure 32 32 in Kombination mit der Blendenstruktur in combination with the aperture structure 44 44 kann auch, wie in nachfolgendem Ausführungsbeispiel erläutert, durch Anordnen einer makroskopischen Linse erfolgen. may also, as discussed in a subsequent embodiment, be carried out by arranging a macroscopic lens.
  • [0070]
    4 4 zeigt das Anordnen einer über die laterale Ausdehnung der optischen Kanäle shows the arrangement of a over the lateral extent of the optical channels 14a 14a –e angeordnete makroskopischen Linse -e arranged macroscopic lens 66 66 . , Die makroskopische Linse The macroscopic lens 66 66 bündelt die Bestrahlung bundles the radiation 48 48 in Richtung des an dem Substrat in the direction of to the substrate 28 28 in Richtung der makroskopischen Linse in the direction of the macroscopic lens 66 66 angeordneten aushärtbaren Materials arranged curable material 12 12 . , Durch Anordnen einer Glasschicht By arranging a glass layer 68 68 und daran angeordneten Blendeelementen and aperture elements arranged thereon 42a 42a –f wird die Bestrahlung -f is the irradiation 48 48 in den Bereichen der Blendenelemente in the areas of the diaphragm elements 42a 42a –f an einer Durchquerung des Glasschicht -f at a crossing of the glass layer 68 68 und mithin einer Bestrahlung des aushärtbaren Materials and therefore, an irradiation of the curable material 12 12 gehindert. prevented. Dadurch, dass die Bestrahlung Because the radiation 48 48 die Glasschicht the glass layer 68 68 lediglich in den Bereichen zwischen den Blendenelementen only in the areas between the diaphragm elements 42a 42a –f durchqueren kann, definieren optische Eigenschaften der makroskopischen Linse -f can traverse defining optical properties of the macroscopic lens 66 66 , beispielsweise eine Brennweite oder ein Abstand der makroskopischen Linse , For example, a focal length or a distance of the macroscopic lens 66 66 zum aushärtbaren Material the curable material 12 12 , in Kombination mit der Anordnung der Blendenelemente , In combination with the arrangement of the diaphragm elements 42a 42a –f, beispielsweise die lateralen Ausdehnungen der Bereiche zwischen den Blendenelementen -f, for example, the lateral extents of the areas between the diaphragm elements 42a 42a –f oder ein Abstand der Blendenelemente -f or a distance of the diaphragm elements 42a 42a –f zum aushärtbaren Material -f the curable material 12 12 Position, die Winkel α–ε und die laterale Ausdehnung der optischen Kanäle Position, the angles α-ε and the lateral extent of the optical channels 14a 14a –e. e.
  • [0071]
    Die makroskopische Linse The macroscopic lens 66 66 führt in Kombination mit den Blendenelementen leads in combination with the diaphragm elements 42a 42a –f eine Strahlformung der Bestrahlung -f beam shaping of the radiation 48 48 derart durch, dass das aushärtbare Material in such a way by that the curable material 12 12 durch einzelne Strahlenbündel by single ray bundle 74a 74a –e bestrahlt wird und die Strahlenbündel -e is irradiated and the beam bundle 74a 74a –e die optischen Kanäle -e the optical channels 14a 14a –e definieren. define -e.
  • [0072]
    Bei Ausführungsbeispielen werden Blendenelemente alternativ oder zusätzlich zu den an der dem aushärtbaren Material In embodiments of diaphragm elements may alternatively or in addition to the curable material on the 12 12 abgewandten Hauptseite der Glasschicht facing away from main side of the glass layer 68 68 angeordneten Blendenelemente arranged shutter elements 42a 42a –f an der dem aushärtbaren 12 zugewandten Hauptseite bzw. Hauptoberfläche der Glasschicht -f of the curable 12 facing main or major surface of the glass layer 68 68 angeordnet, um eine exaktere Formung und Steuerung der Bestrahlung zu ermöglichen. arranged to allow a more accurate shaping and controlling the irradiation.
  • [0073]
    Bei weiteren Ausführungsbeispielen werden Blendenelemente oder -strukturen alternativ oder zusätzlich zu vorigen Ausführungsbeispielen beabstandet von der Glasschicht In further embodiments of diaphragm elements or structures are alternatively or additionally to the preceding embodiments, spaced from the glass layer 68 68 oder Blendenelemente ohne eine Glasschicht or diaphragm elements without a glass layer 68 68 angeordnet. arranged.
  • [0074]
    5 5 zeigt einen Verfahrensschritt analog showing a method step analogous to 3a 3a , bei dem eine Linsenstruktur In which a lens structure 32' 32 ' , durch welche die Bestrahlung Through which the radiation 48 48 durchgeführt wird, die Bestrahlungswinkel α–ε definiert. the irradiation angle is performed, α-ε defined. Die Linsenstruktur The lens structure 32' 32 ' umfasst den Glasträger includes the glass support 34 34 , an welchem die Polymerschichten At which the polymer layers 36a 36a und and 36b 36b sowie die optischen Elemente and the optical elements 38a 38a –j angeordnet sind. -j are arranged. Die Blendenelemente The diaphragm elements 42a 42a –l sind ebenfalls an dem Glasträger -l are also attached to the glass slide 34 34 angeordnet und bilden eine zweilagige Blendenstruktur arranged to form a two-layer diaphragm structure 75 75 , deren eine Lage an der dem aushärtbaren Material Which a location on the curable material 12 12 zugewandten Hauptseite und deren andere Lage an der dem aushärtbaren Material facing main and the other location on the curable material 12 12 abgewandten Hauptseite des Glasträgers remote from the glass support main 34 34 angeordnet wird, wobei die Linsenstruktur is arranged, the lens structure 32' 32 ' und die Blendenstruktur and the aperture structure 44 44 benachbart zueinander angeordnet sind. are arranged adjacent to each other. Alternativ kann die Blendenstruktur auch beabstandet von der Linsenstruktur angeordnet sein, wie es vorangegangene Ausführungsbeispiele zeigen. Alternatively, the diaphragm structure may also be arranged spaced apart from the lens structure, as shown by previous embodiments. Auch kann die angeordnete Blendenstruktur Also, the arranged aperture structure 44 44 einlagig ausgebildet sein und lediglich an einer der Hauptseiten des oder beabstandet zum Glasträger be a single layer formed and only on one of the main sides of the glass substrate or spaced apart from the 34 34 angeordnet sein. be disposed.
  • [0075]
    Die Linsenstrukturen The lens structures 38a 38a und and 38f 38f , . 38b 38b und and 38g 38g , . 38c 38c und and 38h 38h , . 38d 38d und and 38i 38i sowie as 38e 38e und and 38j 38j bilden je eine Linse form a lens per 72a 72a –e, die aufgrund der Formung Linsenstrukturen -e, by virtue of forming lens structures 38a 38a –j eine Formung bzw. Ablenkung der Bestrahlung -j shaping or deflection of the radiation 48 48 bewirken. cause. Dabei ist die Linse Here, the lens 72a 72a dem optischen Kanal the optical channel 17a 17a , die Linse , the Lens 72b 72b dem optischen Kanal the optical channel 14b 14b , die Linse , the Lens 72c 72c dem optischen Kanal the optical channel 14c 14c , die Linse , the Lens 72d 72d dem optischen Kanal the optical channel 14d 14d sowie die Linse and the lens 72e 72e dem optischen Kanal the optical channel 14e 14e zugeordnet. assigned.
  • [0076]
    6 6 zeigt, dass die Anordnung von Linsen, Linsenstrukturen oder Blendenstrukturen so gewählt werden kann, dass neben mehrlagigen Blendenstrukturen auch Linsen bzw. Linsenstrukturen mehrlagig angeordnet sind. shows that the array of lenses, lens structures or diaphragm structures can be chosen so that in addition to multi-layer structures also iris lenses or lens structures are arranged in multiple layers.
  • [0077]
    Der in in 5 5 dargestellte Bestrahlungsvorgang wird in Irradiation procedure shown is in 6 6 derart erweitert, dass mit einem größeren Abstand zum aushärtbaren Material extends such that with a larger distance to the curable material 12 12 als die Linsenstruktur as the lens structure 32' 32 ' eine zusätzliche makroskopische Linse an additional macroscopic lens 66 66 angeordnet wird, so dass die Bestrahlung is arranged so that the irradiation 48 48 in einer Strahlungsrichtung hin zum aushärtbaren Material in a direction towards the radiation curable material 12 12 zuerst die makroskopische Linse first the macroscopic lens 66 66 und anschließend die Linsenstruktur and then the lens structure 32' 32 ' mit der daran angeordneten zweilagigen Blendenstruktur with the two-layer diaphragm structure disposed thereon 75 75 durchquert. crosses.
  • [0078]
    Eine derartige mehrlagige Linsenanordnung kann beispielsweise dazu genutzt werden, eine divergente Strahlung durch eine makroskopische Linse zu kollimieren und anschließend diese kollimierte Strahlung mittels einer Linsenstruktur in eine kanalweise Strahlung zu unterteilen oder auszurichten. Such a multi-layered lens array can for example be used to collimate a divergent radiation by a macroscopic lens and then to divide these collimated radiation by means of a lens structure in a channel as radiation or align.
  • [0079]
    7 7 zeigt den Schritt des kanalweisen Bestrahlens während eines Verfahrens, in welchem mehrere falschlichtunterdrückende Strukturen shows the step of irradiating channel by channel, during a process in which a plurality of stray light suppressing structures 64a 64a –c für Multiaperturoptiken hergestellt werden. c are made for Multiaperturoptiken. Eine Glasschicht A glass layer 77 77 , an welcher makroskopische Linsen At which macroscopic lenses 66a 66a –c angeordnet sind, wird so angeordnet, dass sich die Glasschicht c are arranged is disposed so that the glass layer 77 77 über die laterale Ausdehnung sämtlicher zu fertigenden Strukturen over the lateral extent of all to be fabricated structures 64a 64a –c erstreckt und jeder Struktur -c extends and each structure 64a 64a –c eine makroskopische Linse -c macroscopic lens 66a 66a –c zugeordnet wird. is assigned c. Zwischen den makroskopischen Linsen The macroscopic lens 66a 66a –c und dem aushärtbaren Material c and the curable material 12 12 werden die Linsenstrukturen , the lens structures 32a 32a –c sowie die einlagigen Blendenstrukturen c as well as the single-layer diaphragm structures 44a 44a –c angeordnet. -c arranged.
  • [0080]
    Der Schritt des kanalweisen Bestrahlens aus The step of irradiating channel by channel, from 3a 3a wird für jede bestrahlte falschlichtunterdrückende Struktur is irradiated for each wrong light-suppressing structure 64a 64a –c analog c analog 6 6 durch eine makroskopische Linse by a macroscopic lens 66a 66a –c erweitert. -c expanded.
  • [0081]
    Das in This in 3 3 beschriebene Herstellungsverfahren kann analog Described manufacturing method can be analog 5 5 mit einer mehrlagigen Anordnung von Linsen durchgeführt werden und so erweitert werden, dass gleichzeitig mehrere Multiaperturoptiken nebeneinander und gleichzeitig auf einem Wafer gefertigt werden. be carried out with a multi-layer array of lenses and extended in such a way that a plurality of Multiaperturoptiken next to each other and manufactured simultaneously on a wafer. Der Abstand der zu realisierenden Strukturen und mithin Strahlformungsoptiken ist beliebig. The distance to each unique structures and therefore beam shaping optics is arbitrary.
  • [0082]
    8 8th zeigt, dass der in shows that the in 5 5 beschriebene Fertigungsschritt des kanalweisen Bestrahlens auch gleichzeitig für mehrere falschlichtunterdrückende Strukturen Production step of the channel-wise irradiating described at the same time for several wrong light-suppressing structures 64a 64a –c mit hinterschnittenen Kanten/Oberflächen für Multiaperturoptiken durchgeführt werden kann. -c can be done with undercut edges / surfaces for Multiaperturoptiken. Hierfür wird aushärtbares Material This will be curable material 12 12 über die laterale Ausdehnung mit Linsenstrukturen than the lateral extent of lens structures 32'a 32'a –c bedeckt, so dass Bestrahlung -c covered so that irradiation 48a 48a –c derart geformt und/oder gelenkt wird, dass mehrere Strukturen c is so shaped and / or directed that a plurality of structures 64a 64a –c aus dem aushärtbaren Material c from the curable material 12 12 ausgebildet werden. be formed.
  • [0083]
    Die Herstellung mehrerer falschlichtunterdrückender Strukturen mit hinterschnittenen Kanten/Oberflächen für Multiaperturoptiken gleichzeitig nebeneinander ermöglicht es beispielsweise, dass derartige Module aus einem gesamten Wafer ausgeformt und anschließend voneinander getrennt werden. The preparation of several stray light suppressing structures having undercut edges / surfaces for Multiaperturoptiken simultaneously side by side allows for example, that such modules formed from a whole wafer and are then separated from one another. Somit kann durch die gleichzeitige Fertigung mit geringem operativen Aufwand eine große Stückzahl an falschlichtunterdrückenden Strukturen gefertigt werden. Thus, a large number of false-light-suppressing structures can be produced by the simultaneous production with low operating expenses.
  • [0084]
    9 9 zeigt den Verfahrensschritt des kanalweisen Bestrahlens analog shows the step of irradiating analog channel by channel, 6 6 mit an einem gemeinsamen Träger with on a common carrier 77 77 angeordneten makroskopischen Linsen arranged macroscopic lenses 66a 66a –c sowie den Linsenstrukturen c and the lens structures 32'a 32'a –c und den Blendenstrukturen c and aperture structures 75a 75a –c, bei dem analog den c, in which the analog 7 7 und and 8 8th gleichzeitig mehrere falschlichtunterdrückenden Strukturen nebeneinander bestrahlt werden. a plurality of false-light-suppressing structures are adjacent to each other simultaneously irradiated.
  • [0085]
    Generell ermöglichen Ausführungsbeispiele eine beliebige Kombination von makroskopischen Linsen, Linsenstrukturen sowie Blendenstrukturen zur Definition der optischen Kanäle. In general, embodiments allow any combination of macroscopic lenses, lens structures and diaphragm structures for the definition of the optical channels.
  • [0086]
    10 10 zeigt eine Vorrichtung shows a device 10 10 mit einer falschlichtunterdrückenden Struktur with a wrong light-suppressing structure 64 64 mit hinterschnittenen Kanten/Oberflächen für eine Multiaperturoptik, die z. with undercut edges / surfaces for Multiaperturoptik which z. B. durch das oben beschriebene Verfahren hergestellt wurde. B. was prepared by the method described above. Die falschlichtunterdrückende Struktur umfasst optische Kanäle The stray light suppressing structure comprises optical channels 14'a 14'a –e, die Freiräume umfassen und an deren einer Hauptseite eine Bildfläche -e include the clearances and on the one main surface of an image 76 76 beabstandet angeordnet ist. spaced apart. Die Bildfläche The image area 76 76 ist ausgebildet, um durch die optischen Kanäle is formed to pass through the optical channels 14'a 14'a –e transmittiertes Licht oder Strahlung zu erfassen oder abzubilden. -e to detect transmitted light or radiation or map. Beispielsweise kann es sich bei der Bildfläche For example, it can be at the scene 76 76 um einen CCD(Charge-Coupled-Device)-Sensor handeln, so dass jeder der optischen Kanäle a CCD (Charge-Coupled Device) sensor to act, so that each of the optical channels 14'a 14'a –e das Licht auf einen Bereich des Bildsensors transmittiert. -e transmits the light to a range of the image sensor. An der der Bildfläche At the scene 76 76 abgewandten Hauptseite der falschlichtunterdrückenden Struktur facing away from the main wrong light-suppressing structure 64 64 ist ebenfalls beabstandet ein Linsenfeld is also spaced a lens array 78 78 angeordnet. arranged. Das Linsenfeld The lens field 78 78 umfasst einen Glasträger comprises a glass substrate 82 82 , an dessen beiden Hauptseiten je eine Polymerschicht , At its two main sides a polymer layer 84a 84a und and 84b 84b angeordnet sind, wobei an der Polymerschicht are arranged, wherein on the polymer layer 84a 84a die Linsenelemente the lens elements 86a 86a –e und an der gegenüberliegend angeordneten Polymerschicht -e and at the oppositely disposed polymer layer 84b 84b die Linsenelemente the lens elements 86f 86f –j angeordnet sind. -j are arranged. Durch die jeweils gegenüberliegende Anordnung zweier Linsenelemente Through the respective opposite arrangement of two lens elements 86a 86a und and 86f 86f , . 86b 86b und and 86g 86g , . 86c 86c und and 86h 86h , . 86d 86d und and 86i 86i sowie as 86e 86e und and 86j 86j werden durch die jeweils zwei Linsenelemente und die Abschnitte der dazwischen angeordneten Polymerschichten are represented by the two lens elements and the portions of the interposed polymer layers 84a 84a und and 84b 84b sowie des Glasträgers and the glass substrate 82 82 die Linsen the lenses 88a 88a –e ausgebildet, wobei jede der Linsen -e formed, wherein each of the lenses 88a 88a –e dem axial benachbarten optischen Kanal -e the axially adjacent optical channel 14'a 14'a –e zugeordnet ist. is assigned to -e.
  • [0087]
    Die optischen Achsen The optical axes 92a 92a –e der optischen Kanäle -e of the optical channels 14'a 14'a –e weisen bezüglich der parallel zueinander verlaufenden Hauptseiten des lichtundurchlässigen Materials -e have with respect to the mutually parallel main faces of opaque material 16 16 voneinander verschiedene Winkel α–ε auf. mutually different angles on α-ε. Das Linsenfeld The lens field 78 78 ist bezüglich der falschlichtunterdrückenden Struktur with respect to the false-light-suppressing structure 64 64 sowie der Bildfläche and the scene 76 76 derart angeordnet, dass die dem optischen Kanal arranged such that the optical channel 14'a 14'a –e zugeordnete Linse -e associated lens 88a 88a –e entlang der optischen Achse -e along the optical axis 92a 92a –e positioniert ist und der Brennpunkt der jeweiligen Linse -e is positioned and the focal point of the respective lens 88a 88a –e benachbart zur Bildfläche -e adjacent to the image surface 76 76 positioniert ist. is positioned.
  • [0088]
    10 10 beschreibt eine mögliche Anwendung der durch die Verfahrensschritte vorheriger Ausführungsbeispiele hergestellten falschlichtunterdrückenden Struktur describes a possible application of the incorrect light-suppressing structure produced by the method steps in previous embodiments 64 64 . , Die falschlichtunterdrückenden Struktur The wrong light-suppressing structure 64 64 ist derart angeordnet, dass sie bezüglich der Linsen is arranged so that it with respect to the lenses 88a 88a –e des Linsenfeldes -e of the lens field 78 78 respektive der Brenn- oder Bildpunkte eine Falschlichtunterdrückung zwischen benachbarten Brenn- oder Bildpunkten ermöglicht. respectively the focal or image points allows stray light rejection between adjacent focal or image points. Durch die Anordnung der falschlichtunterdrückenden Struktur The arrangement of the incorrect light-suppressing structure 64 64 zwischen der Bildfläche between the image surface 76 76 und den Linsen and the lenses 88a 88a –e kann damit die Aufnahmequalität der Bildfläche -e can prevent the recording quality of the image surface 76 76 oder die Güte eines projizierten Bildes erhöht werden. or the quality of a projected image can be increased. Das zwischen den optischen Kanälen The channels between the optical 14'a 14'a –e angeordnete lichtabsorbierende Material -e arranged light absorbing material 16 16 verhindert das Übersprechen zwischen den optischen Kanälen preventing the crosstalk between the optical channels 14'a 14'a –e, so dass jeder optische Kanal -e, so that each optical channel 14'a 14'a –e eine Licht- oder Strahlungstransmission mit einer möglichst großen Unabhängigkeit von benachbarten optischen Kanälen -e a light or radiation transmission with the greatest possible independence from adjacent optical channels 14'a 14'a –e zulassen kann. can allow -e.
  • [0089]
    11 11 zeigt Vorrichtung shows apparatus 10 10 analog analogous 10 10 , wobei die falschlichtunterdrückende Struktur Wherein the stray light suppressing structure 64 64 direkt benachbart und ohne einen Abstand zur Bildfläche directly adjacent and without a distance from the image surface 76 76 angeordnet ist. is arranged. Das Linsenfeld The lens field 78 78 ist weiterhin derart positioniert, dass je eine Linse is further positioned such that each lens 88a 88a –e des Linsenfeldes -e of the lens field 78 78 entlang der optischen Achse des ihr zugeordneten optischen Kanals along the optical axis of its associated optical channel 14'a 14'a –e positioniert ist und der Brenn- oder Bildpunkt der jeweiligen Linse -e is positioned and the focal or image point of the respective lens 88a 88a –e an der der Linse -e where the lens 88a 88a –e zugewandten Oberfläche der Bildfläche -e surface facing the image surface 76 76 positioniert ist. is positioned.
  • [0090]
    Im Gegensatz zu In contrast to 10 10 , wo die falschlichtunterdrückende Struktur beabstandet von der Bildfläche angeordnet ist, ist die falschlichtunterdrückende Struktur in Where the stray light suppressing structure is spaced apart from the image surface, is the false light-suppressing structure in 11 11 direkt auf der Bildfläche angeordnet. disposed directly on the image surface. Eventuelle, durch die Spalte zwischen der falschlichtunterdrückenden Struktur und der Bildfläche ausgebildeten optischen Transmissionspfade zwischen optischen Kanälen sind im Ausführungsbeispiel der Any, formed by the gap between the wrong light-suppressing structure and the image surface optical transmission paths between optical channels in the embodiment of 11 11 geschlossen. closed. Der Grad der Falschlichtunterdrückung kann durch Minimierung bzw. Entfernung des Abstandes zwischen der falschlichtunterdrückenden Struktur und der Bildfläche zusätzlich erhöht sein. The degree of false light suppression may additionally be increased by minimizing or removal of the spacing between the false-light-suppressing structure and the image surface.
  • [0091]
    12 12 zeigt eine Vorrichtung analog Vorrichtung shows a device analogous to device 10 10 aus out 10 10 , bei der in dem Abstand zwischen dem Linsenfeld Wherein in the distance between the lens array 78 78 und der falschlichtunterdrückenden Struktur and the false-light-suppressing structure 64 64 an lateral außenliegenden Stellen zusätzliches Material at laterally outboard locations additional material 96 96 angeordnet ist, welches ausgebildet ist, um den Abstand zwischen dem Linsenfeld is arranged, which is adapted to the distance between the lens array 78 78 und der falschlichtunterdrückenden Struktur and the false-light-suppressing structure 64 64 zu fixieren. to fix. Bei dem zusätzlichen Material The additional material 96 96 handelt es sich beispielsweise um einen thermisch oder unter UV-Strahlung härtenden Klebstoff, um eine Relativbewegung zwischen dem Linsenfeld is, for example, be a curing thermally or under UV radiation adhesive to a relative movement between the lens array 78 78 und der falschlichtunterdrückenden Struktir and the false-light-suppressing Struktir 64 64 zu reduzieren oder zu verhindern und um beispielsweise die Fokussierung der Linsen to reduce or prevent, and for example, the focus of the lenses 88 88 auf die Bildfläche on the scene 76 76 beizubehalten. maintain. Das zusätzliche Material The additional material 96 96 weist lichtabsorbierende oder opake Eigenschaften auf. has light-absorbing or opaque properties. Damit wird Falschlicht von Orten, die lateral zur Vorrichtung angeordnet sind, zusätzlich reduziert oder unterdrückt. This will stray light from locations that are laterally disposed to the apparatus in addition is reduced or suppressed. Das zusätzliche Material The additional material 96 96 kann beispielsweise einen umlaufenden Rahmen an der den Linsen zugewandten Hauptseite der falschlichtunterdrückenden Struktur may for example be a circumferential frame on the lenses facing the wrong main light-suppressing structure 64 64 bilden. form.
  • [0092]
    13 13 zeigt eine Vorrichtung, wie sie in shows an apparatus as shown in 12 12 gezeigt ist, wobei die falschlichtunterdrückende Struktur As shown, the stray light suppressing structure 64 64 auf der Bildfläche on the scene 76 76 angeordnet ist, wie es anhand is arranged as reference 11 11 beschrieben wurde. described.
  • [0093]
    14 14 zeigt eine Vorrichtung analog zur Vorrichtung aus shows a device similar to the device of 12 12 , bei der das lichtabsorbierende oder opake zusätzliche Material Wherein the light-absorbing or opaque material additional 96 96 zusätzlich zwischen den Linsen in addition between the lenses 88a 88a –e angeordnet ist. -e is arranged. Durch das zusätzlicher Material By the additional material 96 96 werden die optischen Kanäle the optical channels are 14'a 14'a –e durch in axialer Richtung verlängert und eine Falschlichtunterdrückung zwischen den optischen Kanälen -e extended through in the axial direction, and a stray light rejection between the optical channels 14'a 14'a –e im Bereich zwischen dem Linsenfeld e is in the range between the lens array 78 78 und der falschlichtunterdrückenden Struktur and the false-light-suppressing structure 64 64 verbessert. improved. Die beschriebene zusätzliche Isolation der optischen Kanäle ermöglicht eine weitere Erhöhung der Projektions- oder Bildqualität. The additional insulation of the optical channels described enables a further increase in the projection or image quality. Zudem stabilisiert das zusätzliche Material Moreover, the additional material stabilized 96 96 das Linsenfeld the lens field 78 78 gegenüber der falschlichtunterdrückenden Struktur opposite to the wrong light-suppressing structure 64 64 durch mehrere Stützstellen derart, dass Durchbiegungen des Linsenfeldes by a plurality of support points such that deflections of the lens field 78 78 und mithin eine Verschiebung von Brenn- oder Bildpunkten einzelner Linsen and thus a shift of focal or image points of individual lenses 88 88 verhindert ist. is prevented.
  • [0094]
    15 15 zeigt eine Vorrichtung, wie sie in shows an apparatus as shown in 14 14 gezeigt ist, wobei die falschlichtunterdrückenden Struktur As shown, the stray light suppressing structure 64 64 auf der Bildfläche on the scene 76 76 angeordnet ist, wie es anhand is arranged as reference 11 11 beschrieben wurde. described.
  • [0095]
    16 16 zeigt eine Vorrichtung, wie sie in shows an apparatus as shown in 12 12 gezeigt ist, wobei anstelle des lichtabsorbierenden Materials is shown where instead of light absorbing material 96 96 ein transparentes Material a transparent material 98 98 verwendet wird. is used. Ist in einem späteren Einsatzbereich der Multiaperturoptik keine Unterdrückung von lateral zur falschlichtunterdrückenden Struktur eintreffendem Falschlicht erforderlich, so kann die Ausgestaltung der Beabstandung des Linsenfeldes In a later application range of Multiaperturoptik no suppression of lateral to the wrong light-suppressing structure eintreffendem stray light is required, then the configuration of the spacing of the lens field 78 78 zur falschlichtunterdrückenden Struktur to the wrong light-suppressing structure 64 64 durch ein transparentes zusätzliches Material through a transparent additional material 98 98 einfacher oder kostengünstiger sein als bei der Anordnung von lichtabsorbierendem oder opaken Material be easier or more cost-effective than in the arrangement of light-absorbing or opaque material 96 96 . ,
  • [0096]
    17 17 zeigt eine Vorrichtung, wie sie in shows an apparatus as shown in 16 16 gezeigt ist, wobei die falschlichtunterdrückende Struktur As shown, the stray light suppressing structure 64 64 auf der Bildfläche on the scene 76 76 angeordnet ist, wie es anhand is arranged as reference 11 11 beschrieben wurde. described.
  • [0097]
    18 18 zeigt eine Vorrichtung, wie sie in shows an apparatus as shown in 14 14 gezeigt ist, wobei alternativ zu dem lichtabsorbierendem oder opaken zusätzlichen Material is shown, an alternative to the light-absorbing or opaque material added 96 96 transparentes Material transparent material 98 98 angeordnet ist, wie es anhand is arranged as reference 16 16 beschrieben wurde. described.
  • [0098]
    19 19 zeigt eine Vorrichtung wie sie in shows an apparatus as shown in 18 18 gezeigt ist, wobei die falschlichtunterdrückende Struktur As shown, the stray light suppressing structure 64 64 auf der Bildfläche on the scene 76 76 angeordnet ist, wie es anhand is arranged as reference 11 11 beschrieben wurde. described.
  • [0099]
    20 20 zeigt eine Vorrichtung analog der Vorrichtung aus shows a device analogous to the device of 14 14 , bei der zwischen der falschlichtunterdrückenden Struktur Wherein between the false-light-suppressing structure 64 64 und dem zusätzlichen Material and the additional material 96 96 eine Glasschicht a glass layer 102 102 angeordnet ist, welche sich über die gesamte laterale Ausdehnung der falschlichtunterdrückende Struktur is arranged, which extends over the entire lateral extent of the stray light suppressing structure 64 64 erstreckt. extends. Die Glasschicht kann beispielsweise zur Stabilisierung der optischen Kanäle ausgebildet sein. The glass layer may be formed, for example, to stabilize the optical channels. Alternativ oder zusätzlich können optische Strukturen in oder an der Glasschicht angeordnet sein, beispielsweise diffraktive oder refraktive optische Elemente. Alternatively or additionally, optical structures may be arranged in or on the glass layer, for example, diffractive or refractive optical elements. Diese ermöglichen eine weitere, bezüglich des Linsenfeldes These allow further with respect to the lens field 78 78 zusätzliche, optische Formung oder Filterung von durch die optischen Kanäle transmittiertem Licht oder Strahlung. additional optical shaping or filtering optical channels by the transmitted light or radiation.
  • [0100]
    21 21 zeigt die Vorrichtung aus shows the device of 20 20 , bei der die Glasschicht In which the glass layer 102 102 an der dem Linsenfeld at the lens array 78 78 abgewandten Hauptseite der falschlichtunterdrückenden Struktur facing away from the main wrong light-suppressing structure 64 64 und direkt benachbart zur Bildfläche and directly adjacent to the image surface 76 76 angeordnet ist. is arranged.
  • [0101]
    22 22 zeigt eine Vorrichtung, bei der an einer ersten falschlichtunterdrückenden Struktur shows a device in which the stray light suppressing to a first structure 64a 64a zusätzliches Material additional material 96 96 und das Linsenfeld and the lens field 78 78 analog analogous 14 14 angeordnet sind, wobei zwischen der ersten falschlichtunterdrückenden Struktur , said stray light suppressing between the first structure 64a 64a und einer, in Richtung der Bildfläche and a, in the direction of the image surface 76 76 angeordneten, zweiten falschlichtunterdrückenden Struktur arranged, the second incorrectly-light-suppressing structure 64b 64b die Glasschicht the glass layer 102 102 direkt benachbart zu den falschlichtunterdrückenden Strukturen directly adjacent to the wrong light-suppressing structures 64a 64a und and 64b 64b angeordnet ist. is arranged.
  • [0102]
    Bei alternativen Ausführungsbeispielen ist eine, mit Verfahren vorheriger Ausführungsbeispiele hergestellte, falschlichtunterdrückende Struktur In alternative embodiments is one prepared by methods in previous embodiments, stray light suppressing structure 64 64 in einer lateralen Schnittebene durchtrennt und die Glasschicht cut in a lateral sectional plane and the glass layer 102 102 zwischen den beiden entstehenden Schnittflächen angeordnet. arranged between the two resulting cut surfaces. Prinzipiell kann die Glasschicht In principle, the glass layer 102 102 mit stabilisierender und/oder optischer Wirkung an einer beliebigen Stelle entlang des axialen Verlaufs der optischen Kanäle with stabilizing and / or optical effect at any location along the axial profile of the optical channels 14a 14a –e angeordnet sein. -e be disposed.
  • [0103]
    Obwohl das Linsenfeld Although the lens field 78 78 in vorangegangenen Ausführungsbeispielen der in the previous embodiments of the 10 10 bis to 22 22 eine Glasschicht umfasst, sind die Linsen comprises a layer of glass, the lenses 88 88 in alternativen Ausführungsbeispielen an einer polymeren Schicht in Abwesenheit von Glas gebildet sein. be formed in alternative embodiments, to a polymeric layer in the absence of glass.
  • [0104]
    Obwohl in vorangegangenen Ausführungsbeispielen die Linsen Although in the previous embodiments, the lenses 88 88 und die Schichten and the layers 84 84 als aus Polymerstoffen gebildet beschrieben sind, können die Linsen are described as being formed of polymer materials, the lenses may 88 88 und/oder die Schichten and / or the layers 84 84 in alternativen Ausführungsbeispielen aus einem anderen optischen Werkstoff, beispielsweise Glas, gefertigt sein. be made in alternative embodiments, from another optical material such as glass. In weiteren Ausführungsbeispielen sind die Linsen In further embodiments, the lenses are 88 88 und die Schichten and the layers 84 84 einstückig gebildet. integrally formed. In weiteren Ausführungsbeispielen sind die Linsen In further embodiments, the lenses are 88 88 , die Schichten , the layers 84 84 und die Schicht and the layer 82 82 aus einem identischen Material und sämtliche dieser Komponenten einstückig gebildet. formed of an identical material and all of these components integrally.
  • [0105]
    Obwohl manche Aspekte im Zusammenhang mit einer Vorrichtung beschrieben wurden, versteht es sich, dass diese Aspekte auch eine Beschreibung des entsprechenden Verfahrens darstellen, sodass ein Block oder ein Bauelement einer Vorrichtung auch als ein entsprechender Verfahrensschritt oder als ein Merkmal eines Verfahrensschrittes zu verstehen ist. Although some aspects related to a device have been described, it should be understood that these aspects also represent a description of the corresponding method, so that a block or component of a device is also to be understood as a corresponding method step or a feature of a method step. Analog dazu stellen Aspekte, die im Zusammenhang mit einem oder als ein Verfahrensschritt beschrieben wurden, auch eine Beschreibung eines entsprechenden Blocks oder Details oder Merkmals einer entsprechenden Vorrichtung dar. Analogously, aspects described in connection with or as a method step also represent a description of a corresponding block or details or feature of a corresponding apparatus.
  • [0106]
    Die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele stellen lediglich eine Veranschaulichung der Prinzipien der vorliegenden Erfindung dar. Es versteht sich, dass Modifikationen und Variationen der hierin beschriebenen Anordnungen und Einzelheiten anderen Fachleuten einleuchten werden. The embodiments described above are merely illustrative of the principles of the present invention. It is understood that modifications and variations of the arrangements and the details described herein will be apparent to others skilled. Deshalb ist beabsichtigt, dass die Erfindung lediglich durch den Schutzumfang der nachstehenden Patentansprüche und nicht durch die spezifischen Einzelheiten, die anhand der Beschreibung und der Erläuterung der Ausführungsbeispiele hierin präsentiert wurden, beschränkt sei. Therefore, it is intended that the invention be limited only by the scope of the following claims and not by the specific details presented herein with reference to the description and explanation of the embodiments.

Claims (18)

  1. Verfahren zur Herstellung einer falschlichtunterdrückenden Struktur ( A process for preparing a false-light-suppressing structure ( 64 64 ; ; 64a 64a –c) mit zumindest zwei optischen Kanälen ( c) (comprising at least two optical channels 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e), mit folgenden Schritten: Bereitstellung eines durch Bestrahlung aushärtbaren Materials ( (Providing a radiation curable material: -e), with the following steps 12 12 ) oder eines durch Bestrahlung seine Löslichkeit ändernden Materials ( ) Or a change by irradiation its solubility material ( 22 22 ); ); kanalweises Bestrahlen des Materials ( (Channel-wise irradiating the material 12 12 ; ; 22 22 ) mit unterschiedlichem Bestrahlungswinkel (α–ε) oder kanalweises Maskieren des Materials ( ) (With varying irradiation angle (α-ε) or channel-wise masking of the material 12 12 ; ; 22 22 ) und Bestrahlen des Materials ( ) And irradiating the material ( 12 12 ; ; 22 22 ) mit unterschiedlichem Bestrahlungswinkel (α–ε); ) With varying irradiation angle (α-ε); und Ersetzen des nicht bestrahlten oder des nicht maskierten Bereichs des Materials ( and replacing the non-irradiated or non-masked area of ​​the material ( 12 12 ) durch ein lichtundurchlässiges Material ( ) (By an opaque material 16 16 ). ).
  2. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem der Bestrahlungswinkel (α–ε) derart gewählt ist, dass die sich ergebenden optischen Kanäle ( The method of claim 1, wherein the irradiation angle (α-ε) is chosen such that the resulting optical channels ( 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e) zueinander hinterschnittene Kanten oder Oberflächen aufweisen. have -e) to each other undercut edges or surfaces.
  3. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem das Bestrahlen folgende Schritte umfasst: Anordnen zumindest einer Linse ( A method according to claim 1 or 2, wherein said irradiating comprises the steps of: arranging at least one lens ( 66 66 ; ; 66a 66a –c; c; 38a 38a –j; j; 72a 72a –e) mit einem Abstand zum aushärtbaren Material ( e) (a distance from the curable material 12 12 ; ; 22 22 ); ); Anordnen einer zumindest zwei Blenden ( Arranging a at least two diaphragms ( 42a 42a –l) umfassenden Blendenstruktur ( -l) comprising aperture structure ( 44 44 ; ; 44a 44a –c; c; 75 75 ; ; 75a 75a –c) zwischen dem aushärtbaren Material ( c) (between the curable material 12 12 ; ; 22 22 ) und der Linsenstruktur ( ) And the lens structure ( 32 32 ; ; 32' 32 ' ; ; 32'a 32'a –c), wobei die Blenden ( -c), wherein the aperture ( 42a 42a –l) die Bestrahlungswinkel (α–ε) festlegen; -l) set the irradiation angle (α-ε); und Bestrahlen des Materials ( and irradiating the material ( 12 12 ; ; 22 22 ) durch die zumindest eine Linse ( ) (By the at least one lens 66 66 ; ; 66a 66a –c; c; 38a 38a –j; j; 72a 72a –e). -e).
  4. Verfahren gemäß Anspruch 3, bei dem die zumindest eine Linse ( The method of claim 3, wherein said (at least one lens 66 66 ; ; 66a 66a –c) eine laterale Ausdehnung aufweist, um sich über die optischen Kanäle ( c) has a lateral extent in order to (via the optical channels 14a 14a –e) zu erstrecken, wobei jedem der optischen Kanäle ( e) extend, each of the optical channels ( 14a 14a –e) jeweils eine Blende ( e) in each case a diaphragm ( 42a 42a –l) der Blendenstruktur ( -l) of the aperture structure ( 44 44 ; ; 44a 44a –c; c; 75 75 ; ; 75a 75a –c) zugeordnet ist. -c) is assigned.
  5. Verfahren gemäß Anspruch 3, mit: mehreren Linsen ( The method of claim 3, comprising: a plurality of lenses ( 38aj 38aj ; ; 72a 72a –e), wobei jedem optischen Kanal ( -e), wherein each optical channel ( 14a 14a –e) zumindest eine Linse ( e) at least one lens ( 38a 38a –j; j; 72a 72a –e) und eine Blende ( -e) and a diaphragm ( 42a 42a –l) der Blendenstruktur ( -l) of the aperture structure ( 44 44 ; ; 44a 44a –c; c; 75 75 ; ; 75a 75a –c) zugeordnet ist, wobei die einem optischen Kanal ( -c) is assigned, said one optical port ( 14a 14a –e) zugeordnete Blende ( -e) associated aperture ( 42a 42a –l) bezüglich eines Zentrums einer diesem optischen Kanal ( -l) relative to a center of a this optical channel ( 14a 14a –e) zugeordneten Linse ( -e) associated lens ( 38a 38a –j) versetzt angeordnet ist, und wobei die versetzte Anordnung zu einer versetzten Anordnung von Linsen ( -j) is offset and wherein the offset arrangement to a staggered arrangement of lenses ( 38a 38a –j) und Blenden ( -j) and aperture ( 42a 42a –l) anderer optischer Kanäle ( -l) of other optical channels ( 14a 14a –e) verschieden ist. -e) is different.
  6. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem das Bestrahlen folgende Schritte umfasst: Anordnen von zumindest zwei Linsen ( A method according to claim 1 or 2, wherein the irradiating includes the steps of: disposing at least two lenses ( 38a 38a –j; j; 72a 72a –e), die die unterschiedlichen Bestrahlungswinkel bewirken, beabstandet zu dem aushärtbaren Material, wobei jedem der optischen Kanäle ( -e), which cause the various irradiation angle, a distance from the curable material, wherein each of the optical channels ( 14a 14a –e) jeweils eine Linse ( e) in each case a lens ( 38a 38a –j; j; 72a 72a –e) zugeordnet ist; -e) is associated; und Bestrahlen des Materials durch die Linsenstruktur ( and irradiating the material (through the lens structure 32 32 ; ; 32' 32 ' ; ; 32'a 32'a –c). c).
  7. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem die falschlichtunterdrückende Struktur ( Process according to one of claims 1 to 6, in which (the wrong light-suppressing structure 64 64 ; ; 64a 64a –c) einen weiteren optischen Kanal ( c) (another optical channel 14a 14a –e) mit einer optischen Achse ( e) (having an optical axis 52a 52a –e) umfasst, wobei die optische Achse ( -e), wherein the optical axis ( 52a 52a –e) des weiteren Kanals ( -e) further channel ( 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e) bezüglich einer optischen Achse ( e) (with respect to an optical axis 52a 52a –e) des ersten oder des zweiten optischen Kanals ( e) the first or the second optical channel ( 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e) einen gleichen oder verschiedenen Winkel (α–ε) aufweist. e) having an identical or different angle (α-ε).
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei dem das aushärtbare Material ( Method according to one of claims 1 to 7, wherein (the curable material 12 12 ) oder das durch Bestrahlung seine Löslichkeit ändernde Material ( ) Or the change material by irradiating its solubility ( 22 22 ) ein unter Strahlungseinwirkung polymerisierendes Material oder einen photoaktiven Positivlack oder Negativlack umfasst. ) Comprises a polymerizing under the action of radiation material or a photoactive positive resist or negative resist.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei dem die optischen Kanäle ( Method according to one of claims 1 to 8, wherein (the optical channels 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e) mit einem entlang ihres Verlaufs im aushärtbaren Material veränderlichen oder konstanten Durchmesser (D1a–e; D2a–e) gebildet werden. -e) with a variable or constant along their course in the curable material diameter (D1a-e; are formed D2a-e).
  10. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, welches ferner folgenden Schritt umfasst: Entfernen des die optischen Kanäle ( A method according to any one of claims 1 to 9, further comprising the step of removing the optical channels ( 14a 14a –e) definierenden bestrahlten oder maskierten Materials ( e) defining irradiated or masked material ( 13 13 ; ; 22 22 ); ); oder Ersetzen des die optischen Kanäle definierenden bestrahlten oder maskierten Materials ( or replacement of the irradiated defining the optical channels or masked material ( 13 13 ; ; 22 22 ) durch ein transparentes Material ( ) (By a transparent material 18 18 ). ).
  11. Vorrichtung, mit: einem lichtabsorbierenden oder opaken Material ( Apparatus comprising: a light-absorbing or opaque material ( 16 16 ); ); zumindest zwei optischen Kanälen ( (At least two optical channels 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e), wobei die optischen Achsen ( -e), wherein the optical axes ( 52a 52a –e) zumindest zweier optischer Kanäle ( e) at least two optical channels ( 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e) einen von einander verschiedenen Winkel (α–ε) zu einer Ebene einer Hauptseite des lichtabsorbierenden oder opaken Materials ( -e) a (of mutually different angles α-ε) (to a plane of a main side of the light-absorbing or opaque material 16 16 ) aufweisen. ) respectively.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 11, bei der zumindest zwei der optischen Kanäle ( The apparatus of claim 11, wherein the (at least two of the optical channels 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e) zueinander hinterschnittene Kanten oder Oberflächen umfassen. e) each undercut edges or surfaces include.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, bei der ein Durchmesser (D1a–e; D2a–e) der optischen Kanäle ( Device according to claim 11 or 12, wherein a diameter (D1a-e; D2a-e) of the optical channels ( 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e) entlang eines Verlaufs innerhalb des lichtabsorbierenden oder opaken Materials ( -e) along a gradient within the light-absorbing or opaque material ( 16 16 ) veränderlich oder konstant ist. ) Is variable or constant.
  14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, bei der das lichtabsorbierende oder opake Material ( Device according to one of claims 11 to 13, wherein the light-absorbing or opaque material ( 16 16 ) eine Glasschicht ( ) A glass layer ( 102 102 ) an einer Hauptseite des lichtabsorbierenden oder opaken Materials oder zwischen zwei Hauptseiten des lichtabsorbierenden oder opaken Materials ( ) (On one main side of the light-absorbing or opaque material or between two main sides of the light-absorbing or opaque material 16 16 ) umfasst. ) Includes.
  15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 14, die ferner eine Bildfläche ( (A device according to any one of claims 11 to 14, further comprising an image area 76 76 ) einer optischen Struktur umfasst, die mit einem Abstand oder direkt angrenzend an eine Hauptseite des lichtabsorbierenden oder opaken Materials ( includes) an optical structure (at a distance or directly adjacent to a main face of the light-absorbing or opaque material 16 16 ) angeordnet ist. ) Is arranged.
  16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 15, bei der an einer Hauptseite des lichtabsorbierenden oder opaken Materials ( Device according to one of claims 11 to 15, in which (on a main side of the light-absorbing or opaque material 16 16 ) eine Glasschicht ( ) A glass layer ( 82 82 ) mit daran angeordneten Linsen ( ) (With lenses arranged thereon 86a 86a –j; j; 88a 88a –e) derart angeordnet ist, dass die Linsen ( , -e) is arranged so that the lenses ( 86a 86a –j; j; 88a 88a –e) entlang der optischen Achsen ( e) (along the optical axes 52a 52a –e) der optischen Kanäle ( e) (of the optical channels 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e) angeordnet sind. -e) are arranged.
  17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 16, bei der die optischen Achsen ( Device according to one of claims 11 to 16, wherein (the optical axes 52a 52a –e) der optischen Kanäle ( e) (of the optical channels 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e) eine Bildfläche ( e) an image area ( 76 76 ) eines optischen Systems treffen. make) an optical system.
  18. Optisches System, mit einer Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 10 bis 16, bei der die optischen Kanäle ( An optical system with an apparatus according to any one of claims 10 to 16, wherein (the optical channels 14a 14a –e; -e; 14'a 14'a –e; -e; 14''a 14''a –e) derart angeordnet sind, dass eine Bildebene auf eine Bilderfassungsfläche des optischen Systems projiziert wird. -e) are arranged such that an image plane is projected onto an image capturing surface of the optical system.
DE201310209246 2013-05-17 2013-05-17 A process for preparing a false-light-suppressing apparatus having the same structure and Pending DE102013209246A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE201310209246 DE102013209246A1 (en) 2013-05-17 2013-05-17 A process for preparing a false-light-suppressing apparatus having the same structure and

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE201310209246 DE102013209246A1 (en) 2013-05-17 2013-05-17 A process for preparing a false-light-suppressing apparatus having the same structure and
PCT/EP2014/059212 WO2014184055A1 (en) 2013-05-17 2014-05-06 Method for the production of a stray-light-suppressing structure and device having same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102013209246A1 true true DE102013209246A1 (en) 2014-11-20

Family

ID=50729481

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE201310209246 Pending DE102013209246A1 (en) 2013-05-17 2013-05-17 A process for preparing a false-light-suppressing apparatus having the same structure and

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102013209246A1 (en)
WO (1) WO2014184055A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016204148A1 (en) * 2016-03-14 2017-09-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Multiaperturabbildungsvorrichtung, imaging system and method for detecting an object area

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050002105A1 (en) * 2003-07-01 2005-01-06 Hiroyuki Nemoto Lens plate, method for manufacturing the same and image transfer device
US20060158587A1 (en) * 2005-01-20 2006-07-20 Au Optronics Corporation Transflective liquid crystal display
US20070139765A1 (en) * 2005-12-21 2007-06-21 Xerox Corporation Microfabricated light collimating screen
US20080144174A1 (en) * 2006-03-15 2008-06-19 Zebra Imaging, Inc. Dynamic autostereoscopic displays

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5796522A (en) * 1996-12-20 1998-08-18 Eastman Kodak Company Lenslet array system with a baffle structure and a shutter
JPH1187319A (en) * 1997-09-08 1999-03-30 Mitsubishi Materials Corp Silicon electrode board for plasma etching having inclined fine through-hole
DE102009049387B4 (en) * 2009-10-14 2016-05-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Apparatus, image processing apparatus and method for optical imaging
JP5970770B2 (en) * 2011-10-18 2016-08-17 セイコーエプソン株式会社 Imaging optics and an image reading apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050002105A1 (en) * 2003-07-01 2005-01-06 Hiroyuki Nemoto Lens plate, method for manufacturing the same and image transfer device
US20060158587A1 (en) * 2005-01-20 2006-07-20 Au Optronics Corporation Transflective liquid crystal display
US20070139765A1 (en) * 2005-12-21 2007-06-21 Xerox Corporation Microfabricated light collimating screen
US20080144174A1 (en) * 2006-03-15 2008-06-19 Zebra Imaging, Inc. Dynamic autostereoscopic displays

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016204148A1 (en) * 2016-03-14 2017-09-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Multiaperturabbildungsvorrichtung, imaging system and method for detecting an object area
WO2017157724A1 (en) * 2016-03-14 2017-09-21 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Multi-aperture imaging apparatus, imaging system and method for detecting an object region

Also Published As

Publication number Publication date Type
WO2014184055A1 (en) 2014-11-20 application

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1403695A1 (en) Device for exposure of an original comprising homogenised and superposed multiple point light sources
DE10343333A1 (en) Illumination system for microlithography projection exposure system, has mirror arrangement with array of individual mirrors that is controlled individually by changing angular distribution of light incident on mirror arrangement
DE19545163A1 (en) Phase shift mask to form contact holes with micro dimensions
DE102008002749A1 (en) Illumination optics for microlithography
DE19717015A1 (en) Miniaturized optical component and method for its preparation
DE4203464A1 (en) Catadioptric redn. lens with beam splitter and concave mirror - has no additional lens gp. inserted between mirror and beams splitter giving 4:1 redn. in telecentric system
DE102006036064A1 (en) An illumination system for a projection exposure system with wavelength ≦ 193 nm
EP1489438A1 (en) Device for shaping a light beam
DE19717014A1 (en) Method and mold for making miniaturized form body
DE19812803A1 (en) Spatial filter array manufacture
DE102006015213A1 (en) Polarization influencing optical arrangement for e.g. projection lens system, has optical unit changing distribution in central area of beam cross section, where beam has approximate tangential polarization distribution in central area
DE10317662A1 (en) Projection lens, microlithographic projection exposure apparatus and method for manufacturing a semiconductor circuit
DE4113968A1 (en) Mask structure for semiconductor component prodn. - has transparent support plate on which are periodically set given groups of component structures with phase shift structures
DE19635942A1 (en) Optical beam shaping system
DE102008013229A1 (en) Illumination optics for microlithography
EP0658810A1 (en) Illumination device for an optical system with a reticle masking system
DE102010029905A1 (en) An optical system of a microlithographic projection exposure apparatus
DE102012212753A1 (en) Projection optics for forming object field of optics plane in projection exposure system for microlithography, has blinding unit presetting outer boundary of optics with respect to diaphragm direction that is set parallel to planes
DE102009029471A1 (en) Mirror for use in a microlithography projection exposure apparatus
DE102008042917A1 (en) Imaging optics and projection exposure system for microlithography with such imaging optics
DE102009055080A1 (en) Method and apparatus for manufacturing a structure forming tool
DE102006032053A1 (en) Method for periodically modifying a surface of a substrate in a sample surface for structuring e.g. semiconductors comprises producing an illuminating pattern by bending a converging input beam and superimposing resulting bent partial beams
EP0242574A2 (en) Procedure for the manufacture of an optical component having one or more echelette-gratings and device thereby obtained
DE10346561A1 (en) Manufacturing photomask for photolithography involves selecting transparency-adjusting pattern features during exposure process, and ascertaining densities of pattern features
DE19757074A1 (en) Projection exposure apparatus and exposure method

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication