DE102012215564A1 - Radiation detector and method of manufacturing a radiation detector - Google Patents

Radiation detector and method of manufacturing a radiation detector

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DE102012215564A1
DE102012215564A1 DE201210215564 DE102012215564A DE102012215564A1 DE 102012215564 A1 DE102012215564 A1 DE 102012215564A1 DE 201210215564 DE201210215564 DE 201210215564 DE 102012215564 A DE102012215564 A DE 102012215564A DE 102012215564 A1 DE102012215564 A1 DE 102012215564A1
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filler
radiation detector
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Günter Schmid
Oliver Schmidt
Sandro Francesco Tedde
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Strahlendetektor mit einer hybrid-organischen Photodiode zur Röntgendetektion. The invention relates to a radiation detector with a hybrid organic-photodiode for x-ray detection. Für eine möglichst gleichmäßige Ladungsträgerverteilung innerhalb der gesamten Absorptionsschicht wird der anorganische Füllstoff innerhalb der organischen Absorptionsschicht variiert. For the most uniform possible distribution of charge carriers within the whole of the absorbent layer, the inorganic filler is varied within the organic absorption layer. Auf diese Weise ergibt sich über die gesamte Dicke der Absorptionsschicht eine annähernd gleiche Absorptionsrate. In this way, there is over the entire thickness of the absorption layer an approximately equal rate of absorption.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Strahlungsdetektor zur Konvertierung einfallender Strahlung und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Strahlungsdetektors. The invention relates to a radiation detector for converting incident radiation and a method of manufacturing such a radiation detector.
  • Bei der Detektion von Strahlungen, beispielsweise sichtbarem oder infrarotem Licht, Röntgen- oder Gammastrahlung, kann die zu detektierende Strahlung in eine Absorptionsschicht eindringen, von dieser Schicht absorbiert werden und dabei während der Absorption die Strahlungsenergie in eine Energieform umgewandelt werden, die zur weiteren Signalverarbeitung herangezogen werden kann. In the detection of radiation, such as visible or infrared light, X-ray or gamma radiation, the radiation to be detected can penetrate into an absorption layer, be absorbed by this layer, while the radiation energy is converted into a form of energy during the absorption, which used for the further signal processing can be. Vorzugsweise werden dabei die Strahlungsenergien in elektrische Impulse umgewandelt. here the radiation energies are preferably converted into electrical impulses. Man unterscheidet dabei zwischen direkter und indirekter Konversion. A distinction between direct and indirect conversion. Bei der direkten Konversion wird die einfallende Strahlung durch die Absorptionsschicht unmittelbar in Ladungsträger in Form von Elektron-Loch-Paare umgewandelt. In direct conversion, the incident radiation is converted by the absorption layer directly into charge carriers in form of electron-hole pairs. Bei der indirekten Konversion dagegen wird die eintreffende Strahlung zunächst in sichtbares Licht konvertiert und anschließend durch die Photonen dieses Licht wiederum Ladungsträger in Form von Elektron-Loch-Paaren erzeugt. In the indirect conversion, however the incident radiation is first converted into visible light, and then, in turn, generated by the photons of this light charge carriers in form of electron-hole pairs.
  • In der deutschen Patentanmeldung In German Patent Application DE 10 2008 029 782 A DE 10 2008 029 782 A wird eine Absorptionsschicht aus organischem Trägermaterial mit anorganischen Füllstoffen beschrieben. an absorption layer of organic carrier material is described with inorganic fillers. Dabei erfolgt die Absorption und Umwandlung der Strahlungsenergie in elektrische Ladungsträger durch die anorganischen Füllstoffe, während sich anschließend diese Ladungsträger innerhalb der organischen Trägermatrix zu den an den Außenseiten der Absorptionsschicht angebrachten Elektroden bewegen. The absorption and conversion of radiation energy into electrical charge carriers through the inorganic fillers is carried out while then move these charge carriers within the organic carrier matrix to the attached to the outer sides of the absorption layer electrodes.
  • Üblicherweise besitzt dabei die organische Trägermatrix eine hinsichtlich Konzentration und Größe der Füllstoffe gleichmäßige Verteilung. Customarily, the organic support matrix has a uniform with respect to concentration and size distribution of the fillers. Bei einer solch gleichmäßigen Verteilung nimmt die Menge der absorbierten Strahlung exponentiell mit der Eindringtiefe ab. With such a uniform distribution of the amount of radiation absorbed decreases exponentially with the penetration depth. Dadurch wird in der Absorptionsschicht eine ungleiche Ladungsträgerverteilung erzeugt. Thereby uneven distribution of charge carriers produced in the absorption layer. Diese ungleichmäßige Ladungsträgerverteilung beeinflusst daraufhin die Leitfähigkeit der Absorptionsschicht und wirkt sich somit negativ auf den Abtransport der Ladungsträger aus der Absorptionsschicht aus. This uneven carrier distribution will affect the conductivity of the absorbent layer and thus negatively affects the transport of charge carriers from the absorption layer.
  • Wird ein Strahlungsdetektor im Photoleiter-Modus betrieben, so besteht ein Ungleichgewicht der Ladungsträgerbeweglichkeit zwischen Elektronen und Löchern. Is a radiation detector in the photoconductor mode operated, there is an imbalance of charge carrier mobility between electrons and holes. Beispielsweise können Elektronen aufgrund ihrer niedrigen intrinsischen Beweglichkeit oder aufgrund von Trapping sich nur sehr langsam fortbewegen. For example, electrons can only move very slowly due to its low intrinsic mobility or due to trapping. Auf der anderen Seite können in diesem Fall die generierten Löcher eine sehr hohe Beweglichkeit aufweisen. On the other hand, the holes generated can have a very high mobility in this case. Erreicht nun ein Loch seine Elektrode bevor das entsprechende Elektron auf der gegenüberliegenden Elektrode ankommt, so kann an der Elektrode ein neues Loch generiert werden. now reached a hole its electrode before the corresponding electron to the opposing electrode arrives, a new hole can be generated at the electrode. Dieser Vorgang zur Generierung neuer Löcher wird solange aufrechterhalten bis auch das Elektron ebenfalls seine Elektrode erreicht hat oder mit einem Loch rekombiniert. This process of generating new holes is maintained until also the electron has also reached its electrode or recombined with a hole. Durch diesen Effekt kann aus einem einzigen Elektron-Loch-Paar eine Vielzahl von Ladungsträgern generieren und somit ein stärkeres Signal erzeugt werden. Due to this effect may be made of a single electron-hole pair to generate a plurality of charge carriers and thus a stronger signal to be generated. Ist nun jedoch die Konzentration der getrappten Elektroden über den Querschnitt der Schicht inhomogen, so beschränkt die niedrigste Konzentration der getrappten Elektroden den Photoleitereffekt. However, now the concentration of the trapped electrode inhomogeneous over the cross section of the layer, the lowest concentration of the trapped electrodes limits the photoconductor effect.
  • Es besteht daher ein Bedarf nach einem Photodetektor, der eine hohe Quanteneffizienz aufweisen. There is therefore a need for a photodetector, which have a high quantum efficiency.
  • Weiterhin besteht ein Bedarf nach einem Photodetektor, bei dem innerhalb der gesamten Absorptionsschicht eine möglichst gleichmäßige Absorption und somit Ladungsträgerverteilung erreicht wird. Furthermore, there is a need for a photodetector, in which the most uniform possible absorption and hence charge carrier distribution is achieved throughout the absorbing layer.
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG DISCLOSURE OF INVENTION
  • Die Erfindung schafft hierzu gemäß einem Aspekt einen Strahlungsdetektor zur Konversion einfallender Strahlung umfassend ein Substrat mit einer ersten Elektrode; The invention provides for this purpose according to one aspect a radiation detector for the conversion of incident radiation comprising a substrate having a first electrode; eine zweite Elektrode; a second electrode; und eine organische Absorptionsschicht mit einem nanoskaligen Füllstoff, wobei die organische Absorptionsschicht zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode angeordnet ist und eine inhomogene Verteilung des nanoskaligen Füllstoffes aufweist. and an organic absorbent sheet having a nanoscale filler, wherein the organic absorbing layer between the first electrode and the second electrode is disposed and having an inhomogeneous distribution of the nanoscale filler.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung eines Strahlungsdetektors geschaffen mit den Schritten des Bereitstellens eines Substrats; According to a further aspect of the present invention, a method of manufacturing a radiation detector is provided comprising the steps of providing a substrate; des Aufbringens einer ersten Elektrode auf das Substrat; applying a first electrode on the substrate; des Aufbringens einer organischen Absorptionsschicht mit einer inhomogenen Verteilung von nanoskaligem Füllstoff; applying an organic absorbing layer having an inhomogeneous distribution of nanoscale filler; und dem Aufbringen einer zweiten Elektrode auf die organische Absorptionsschicht. and depositing a second electrode on the organic absorption layer.
  • Eine Idee der vorliegenden Erfindung besteht darin, den Füllstoff innerhalb der organischen Trägermatrix der Absorptionsschicht innerhalb dieser Absorptionsschicht absichtlich ungleichmäßig zu verteilen. An idea of ​​the present invention is to distribute the filler within the organic carrier matrix of the absorbent layer within this absorption layer intentionally unevenly. Durch die Verteilung des Füllstoffes innerhalb der Trägermatrix kann gezielt Einfluss auf das Absorptionsverhalten genommen werden. Through the distribution of the filler within the matrix can be influenced on the absorption behavior specifically.
  • Ein Vorteil dieser ungleichmäßigen Füllstoffverteilung besteht darin, durch eine gezielte Steuerung der Füllstoffverteilung dem mit zunehmender Eindringtiefe abnehmenden Absorptionsverhalten der Schicht entgegenzuwirken. An advantage of this uneven filler distribution is to counteract by targeted control of filler the decreasing with increasing depth of penetration behavior of the absorption layer. Somit kann ein größerer Anteil der zu detektierenden Strahlung weiter in die Absorptionsschicht eindringen. Thus, a greater proportion of the radiation to be detected penetrate further into the absorption layer.
  • Ein weiterer Vorteil dieser Ungleichverteilung des Füllstoffes besteht in der damit einhergehenden gleichmäßigeren Verteilung der Ladungsträger innerhalb der Absorptionsschicht. Another advantage of this unequal distribution of the filler is in the resulting uniform distribution of charge carriers within the absorption layer. Im günstigsten Fall kann durch eine gezielt gesteuerte Verteilung der nanoskaligen Füllstoffe eine homogene Ladungsträgerverteilung über die gesamte Dicke der Absorptionsschicht erreicht werden. In the best case, a homogeneous charge carrier distribution can be achieved over the entire thickness of the absorbent layer by selectively controlled distribution of the nanoscale fillers.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist der nanoskalige Füllstoff ein Stoff zur Direktumwandlung von Strahlung in elektrische Ladungsträger. According to one embodiment of the present invention the nanoscale filler is a substance for the direct conversion of radiation into electric charge carriers. Somit kann die absorbierte Strahlung unmittelbar in ein elektrisches Signal umgewandelt werden. Thus, the absorbed radiation can be directly converted into an electrical signal.
  • Gemäß einer alternativen Ausführungsform der Erfindung ist der nanoskalige Füllstoff ein Nanoszintillator. According to an alternative embodiment of the invention the nanoscale filler is a Nanoszintillator. Dabei wird die einfallende Strahlung zunächst in sichtbares Licht umgewandelt und anschließend kann dieses Licht in ein elektrisches Signal zu Weiterverarbeitung umgewandelt werden. In this case the incident radiation is first converted into visible light, and then this light can be converted into an electrical signal for further processing.
  • Gemäß eines Aspektes der vorliegenden Erfindung wird die Verteilung des nanoskaligen Füllstoffes innerhalb der organischen Absorptionsschicht in Abhängigkeit des Abstandes von der zweiten Elektrode variiert. According to one aspect of the present invention, the distribution of the nanoscale filler within the organic absorbing layer depending on the distance is varied from the second electrode. Dieser Abstand von der zweiten Elektrode entspricht der Eindringtiefe der zu detektierenden Strahlung. This distance from the second electrode corresponds to the penetration depth of the radiation to be detected. Durch Anpassung der Füllstoffverteilung an den Abstand von dieser Elektrode kann daher gezielt eine homogenere Absorption durch den gesamten Querschnitt der Absorptionsschicht und somit eine gleichmäßigere Ladungsträgerverteilung erreicht werden. By adapting the filler to the distance from the electrode, therefore, a more homogeneous absorption by the entire cross section of the absorbent layer and thus a more uniform carrier distribution can be obtained selectively.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist das Absorptionsverhalten der Absorptionsschicht für eine zu detektierende Strahlung in der Nähe der ersten Elektrode größer als in der Nähe der zweiten Elektrode. According to one embodiment of the present invention, the absorption characteristics of the absorption layer is greater for a radiation to be detected in the vicinity of the first electrode as in the vicinity of the second electrode. Durch diese gezielte Steuerung des Absorptionsverhaltens kann dem ansonsten exponentiellen Abfall der Absorption und somit der Ladungsträgergeneration entgegengewirkt werden. By means of this targeted control the absorption behavior of the otherwise exponential decrease of the absorption and thus the generation of charge carriers can be counteracted.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist die Konzentration des nanoskaligen Füllstoffes in der Nähe der ersten Elektrode größer als in der Nähe der zweiten Elektrode. According to one embodiment of the present invention, the concentration of the nanoscale filler in the vicinity of the first electrode is greater than near the second electrode. Durch die Anpassung der Konzentration des Füllstoffes innerhalb der organischen Matrix kann gezielt Einfluss auf das Absorptionsverhalten der Absorptionsschicht genommen werden. By adjusting the concentration of the filler within the organic matrix can be influenced on the absorption behavior of the absorbent layer specifically. Somit ist eine gute Steuerung des Absorptionsverhaltens möglich. Thus, a good control of the absorption behavior is possible.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform variiert die Partikelgröße des nanoskalige Füllstoffs in Abhängigkeit des Abstandes von der zweiten Elektrode. According to a further embodiment, the particle size of the nanoscale filler, will vary depending on the distance from the second electrode. Der nanoskalige Füllstoff weist dabei in der Nähe der ersten Elektrode größere Partikel auf als in der Nähe der zweiten Elektrode. The nanoscale filler has in this case in the vicinity of the first electrode larger particles than in the vicinity of the second electrode. Da das Absorptionsvermögen der Füllstoffe auch von der Größe der jeweiligen Partikel abhängt, kann durch Steuerung der Partikelgröße ebenfalls Einfluss auf das Absorptionsverhalten genommen werden. Since the absorptivity of the fillers also depends on the size of the respective particles, influence can also be made to the absorption behavior by controlling the particle size.
  • In einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung enthält die Absorptionsschicht mindestens einen ersten nanoskaligen Füllstoff und einen zweiten nanoskaligen Füllstoff, wobei der erste nanoskalige Füllstoff ein von dem zweiten nanoskaligen Füllstoff verschiedenes Absorptionsvermögen für die zu detektierende Strahlung aufweist. In one embodiment of the present invention, the absorption layer contains at least a first and a second nanoscale filler nanoscale filler, wherein the first nanoscale filler has a different from the second nanoscale filler absorbance for the radiation to be detected. Durch die Verwendung von mindestens zwei unterschiedlichen Füllstoffen mit verschiedenen Absorptionsvermögen und einem gezielten Einbringen dieser unterschiedlichen Füllstoffe in die organische Matrix kann ebenfalls Einfluss auf das Absorptionsvermögen innerhalb der Absorptionsschicht genommen werden und somit bei einfallender Strahlung eine möglichst gleichmäßige Ladungsträgerverteilung erreicht werden. By using at least two different fillers with different absorbency and a targeted incorporation of these different fillers in the organic matrix influence on the absorption capacity in the absorption layer as uniformly as possible carrier distribution can also be taken and therefore with incident radiation to be achieved.
  • In einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird die Absorptionsschicht durch Aufsprühen eines Gemisches einer organischen Substanz für die Trägermatrix mit einem nanoskaligen Füllstoff aufgebracht. In one embodiment of the present invention, the absorption layer is applied by spraying a mixture of an organic substance for the carrier matrix with a nanoscale filler. Dieses Aufsprühen ist eine besonders geeignete Art zur Steuerung einer inhomogenen Verteilung nanoskaliger Füllstoffe entlang der Absorptionsschicht. This spraying is a particularly suitable type for controlling an inhomogeneous distribution of nanoscale fillers along the absorption layer.
  • In einer Ausführungsform wird dabei die Konzentration des nanoskaligen Füllstoffes in dem Gemisch während des Aufbringens variiert. In one embodiment, while the concentration of the nanoscale filler is varied in the mixture during the application. Durch die Variation der Konzentration des Füllstoffes während des Aufbringens ergibt sich somit auch eine Variation der Konzentration in der Absorptionsschicht. By varying the concentration of the filler during the application, this results in a variation of the concentration in the absorption layer. Dies wiederum führt zu einer Veränderung des Absorptionsverhaltens entlang der Absorptionsschicht. This in turn leads to a change in the absorption behavior along the absorption layer.
  • In einer weiteren Ausführungsform wird die Größe der Partikel des nanoskaligen Füllstoffes während des Aufbringens variiert. In a further embodiment, the size of the particles of nanoscale filler is varied during the application. Auch durch die Variation der Partikelgröße kann das Absorptionsverhalten beeinflusst werden und somit Einfluss auf die Eigenschaften der daraus resultierenden Absorptionsschicht genommen werden. Also, by varying the particle size of the absorption behavior can be influenced and thus exert an influence on the properties of the resulting absorbing layer.
  • Weitere Merkmale und Vorteile von Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen. Other features and advantages of embodiments of the invention will become apparent from the following description with reference to the accompanying drawings.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
  • Es zeigen: Show it:
  • 1 1 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch einen Strahlungsdetektor gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; a schematic representation of a cross section through a radiation detector according to a first embodiment of the present invention;
  • 2 2 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch einen erfindungsgemäßen Strahlungsdetektor gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; a schematic representation of a cross section through an inventive radiation detector according to another embodiment of the present invention;
  • 3 3 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch einen Strahlungsdetektor der vorliegenden Erfindung gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; a schematic representation of a cross section by a radiation detector of the present invention according to another embodiment of the present invention; und and
  • 4 4 eine schematische Darstellung eines Verfahrens zur Herstellung eines Strahlungsdetektors gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. a schematic representation of a method of manufacturing a radiation detector according to an embodiment of the invention.
  • Die im Folgenden verwendete Richtungsterminologie, das heißt Begriffe wie „links“, „rechts“, „oben“, „unten“ und dergleichen werden lediglich zum besseren Verständnis der Zeichnungen verwendet. The direction of the terminology used in the following, that is, terms such as "left", "right", "top", "bottom" and the like are used only to better understand the drawings. Dies soll in keinem Fall eine Beschränkung der Allgemeinheit darstellen. This should constitute a restriction of the general public in any case. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen im Allgemeinen gleichartige oder gleichwirkende Komponenten. Like reference numerals denote identical or equivalent components in general. Die in den Figuren gezeigten Darstellungen sind zum Teil aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht notwendigerweise maßstabsgetreu abgebildet. The representations shown in the figures are not necessarily drawn to scale partly for reasons of clarity.
  • 1 1 zeigt eine schematische Darstellung eines Querschnitts eines erfindungsgemäßen Strahlungsdetektors. shows a schematic representation of a cross section of a radiation detector according to the invention. Auf einem Substrat On a substrate 1 1 ist zunächst eine erste Elektrode is initially a first electrode 2 2 angeordnet. arranged. Darüber befindet sich eine Absorptionsschicht Above is an absorption layer 3 3 . , Weiterhin ist über diese Absorptionsschicht Furthermore, this absorption layer 3 3 eine weitere Elektrode a further electrode 4 4 angeordnet. arranged. Optional kann zwischen der ersten Elektrode und der Absorptionsschicht zur Erniedrigung des Dunkelstroms ein sogenanntes Interlayer Optionally, between the first electrode and the absorption layer for lowering the dark current a so-called Inter Layer 5 5 angeordnet sein. be disposed.
  • Bei dem Substrat The substrate 1 1 handelt es sich üblicherweise um ein Trägersubstrat in Form einer Glasplatte. it is typically a supporting substrate in the form of a glass plate. Alternativ sind jedoch auch andere Trägersubstrate denkbar. Alternatively, other carrier substrates are conceivable. Beispielsweise kann es sich bei dem Substrat For example, it may be at the substrate 1 1 ebenso um eine geeignete Trägerschicht aus einem organischen Polymer handeln. also be a suitable backing layer of an organic polymer. Insbesondere durch die Verwendung von im Vergleich zu Glas weniger spröden Materialien kann bei Substraten mit einer geeigneten Flexibilität eine höhere Robustheit des Strahlungsdetektors erreicht werden. In particular, by the use of glass as compared to less brittle materials a higher robustness of the radiation detector can be achieved with substrates with a suitable flexibility. Weiterhin ist beispielsweise eine Metallfolie mit einer auf dieser Metallfolie aufgebrachten Isolationsschicht möglich. Further, a metal foil having a layer applied to this metal foil insulating layer is for example possible. Somit kann die Gefahr, dass der Strahlungsdetektor bei mechanischer Beanspruchung zerstört oder beschädigt wird, herabgesetzt werden. Thus, the danger that the radiation detector is destroyed or damaged when subjected to mechanical stress can be reduced.
  • Auf dieses Substrat On this substrate 1 1 ist auf einer Seite ein elektrisch leitfähiger Kontakt in Form einer Elektrode is on one side of an electrically conductive contact in the form of an electrode 2 2 angeordnet. arranged. Diese Elektrode kann beispielsweise aus einem Metall wie Aluminium, Kalzium, Silber, Gold, Titan, Nickel, Kobalt, Chromium, Kupfer oder einer Legierung mit diesen Elementen bestehen. This electrode can for example be made of a metal such as aluminum, calcium, silver, gold, titanium, nickel, cobalt, chromium, copper or an alloy with these elements. Andere Elektrodenmaterialien sind leitfähige Oxide wie zB Zinkoxid, Indium Tin Oxid (ITO), Chalkogenide oder Silizide. Other electrode materials are conductive oxides such as zinc oxide, indium tin oxide (ITO), chalcogenides or silicides. Andere elektrische leitfähige Beschichtungen wie PEDOT:PSS, PANI etc. des Substrats zur Ausbildung einer Elektrode sind jedoch ebenso möglich. Other electrically conductive coatings such as PEDOT: PSS, however, PANI, etc. of the substrate to form an electrode are also possible.
  • Soll lediglich ein einziger Strahlungswert für die gesamte in den Strahlungsdetektor einfallende Strahlungsenergie bestimmt werden, so kann die Elektrode vollflächig ausgeführt werden. Target only a single value for the whole radiation to the radiation detector incident radiant energy to be determined, the electrode can be executed over the entire surface. Dies kann beispielsweise für die Bestimmung einer eintreffenden Strahlungsdosis über die gesamte Detektorfläche angebracht sein. This may be appropriate for example for the determination of an incoming radiation dose over the entire detector surface.
  • Alternativ ist es jedoch auch möglich, die erste Elektrode Alternatively, however, it is also possible that the first electrode 2 2 in mehrere getrennte Bereiche zu strukturieren. structuring into several separate areas. Somit kann für jeden dieser Bereiche separat die einfallende Strahlungsmenge detektiert werden. Thus, the incident amount of radiation can be detected for each of these areas separately. Durch eine gezielte Auswertung und Weiterverarbeitung kann in diesem Falle eine räumliche Verteilung der Strahlungsmenge ermittelt werden. A targeted evaluation and further processing in this case a spatial distribution of the amount of radiation can be determined. In diesem Fall ist es jedoch erforderlich, jeden einzelnen Teilbereich der Elektrode In this case, however, it is necessary for each portion of the electrode 2 2 separat nach außen zu führen und getrennt weiterzuverarbeiten. lead separately to the outside and to process separately.
  • Das sich optional über die Elektrode anschließende Interlayer This is optional on the electrode subsequent interlayer 5 5 dient zur Reduktion des Dunkelstroms und einer besseren Extraktion de Ladungsträger (Löcher). serves to reduce the dark current and a better extraction de charge carriers (holes). Als Materialien für dieses Interlayer As materials for this interlayer 5 5 sind beispielsweise PEDOT, P3HT, TFB oder PCPDTBT möglich. for example PEDOT, P3HT, TFB or PCPDTBT are possible.
  • Darüber schließt sich die Absorptionsschicht In addition, the absorption layer includes 3 3 und eine weitere Elektrode and another electrode 4 4 an. at. Als zweite Elektrode As a second electrode 4 4 eignen sich besonders Beschichtungen aus Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder Gold. especially coatings of indium-tin-oxide (ITO) or gold, are suitable. Jedoch sind auch andere elektrisch leitfähige Substanzen denkbar, die möglichst wenig der zu detektierenden Strahlung absorbieren. However, other electrically conductive substances are conceivable, which absorb as little as possible of the radiation to be detected.
  • Bei der Absorptionsschicht In the absorption layer 3 3 handelt es sich um eine organische photoleitfähige Schicht in Form einer Bulk-Heterojunktion (BHJ), bei der es sich um ein Gemisch aus einem Elektronendonator und einem Elektronenakzeptor handelt. If it is an organic photoconductive layer in the form of a bulk heterojunction (BHJ), wherein it is a mixture of an electron donor and an electron acceptor. Bei dieser BHJ kann es sich beispielsweise um einen halbleitenden Polymer oder Kleinmolekül handeln. In this BHJ may be for example a semiconducting polymer or small molecule. Diesem organischen Halbleitergemisch sind nanoskalige Füllstoffe This organic semiconductor mixture are nanoscale fillers 3a 3a zugesetzt. added.
  • Die BHJ als Trägermatrix für die Füllstoffe besteht beispielsweise aus P3HT und PCBM. The BHJ as a carrier matrix for the filler consists for example of P3HT and PCBM. Alternativ können auch andere Halbleiter zum Einsatz kommen, die vorzugsweise flüssig prozessiert werden können und somit eine gute Integration von Füllstoffen ermöglichen. Alternatively, other semiconductors can be used, which can be processed preferably liquid, thus enabling a good integration of fillers. Dabei muss nicht zwingend auf eine Photosensitivität geachtet werden, da die Absorption der Strahlung über die Füllstoffe It must not necessarily be paid to a photosensitivity because the absorption of the radiation on the fillers 3a 3a erfolgt. he follows. Entscheidend ist jedoch das Bandalignment zwischen dem Füllstoff What matters, however, the band alignment between the filler 3a 3a und dem Halbleiter der BHJ. and the semiconductor of BHJ.
  • Bei einer geeigneten Wahl des Durchmessers der Füllstoffpartikel With a suitable choice of the diameter of the filler 3a 3a kann das Energieniveau des niedrigsten angeregten Zustands der Füllstoffpartikel can the energy level of the lowest excited state of the filler 3a 3a unterhalb des niedrigstens unbesetzten Orbitals (LUMO) des PCBM-Moleküls liegen. below the niedrigstens unoccupied orbital (LUMO) of the molecule PCBM lie. Somit können Elektronen getrappt werden. Thus can be trapped electrons. Dagegen liegt das höchste besetzte Orbital (HOMO) des P3HT-Moleküls weit über dem höchsten besetzten Energieniveau des Füllstoffpartikels In contrast, the highest occupied molecular orbital (HOMO) of P3HT molecule is far above the highest occupied energy level of the filler particle 3a 3a im Grundzustand und erlaubt damit einen effizienten Lochtransfer. in the ground state, and thus permits efficient hole transfer.
  • Als nanoskalige Füllstoffpartikel Nanoscale filler 3a 3a kommen dabei insbesondere Bleisulfid (PbS), Bleiselenid (PbSe) oder Zinkoxid (ZnO) in Frage. come, in particular, lead sulfide (PbS), lead selenide (PbSe) or zinc oxide (ZnO) in question. Diese Füllstoffe bilden Quantenpunkte zur direkten Umwandlung einfallender Strahlung in Elektronen-Loch-Paare. These fillers constitute quantum dots for directly converting incident radiation into electron-hole pairs. Alternativ sind auch Nanoszintillatoren wie zum Beispiel dotiertes Gadoliniumoxysulfid (GOS), Cäsium-Iodid (CsI) oder YAG möglich, die die einfallende Strahlung zunächst in Licht umwandeln und anschließend dieses sichtbare Licht in Elektronen-Loch-Paare umgewandelt wird. Alternatively Nanoszintillatoren such as doped gadolinium are (GOS), cesium iodide (CsI) or YAG possible to first convert the incident radiation into light and then this visible light is converted into electron-hole pairs.
  • Auf diese Weise kann sowohl elektromagnetische Strahlung in Form von Röntgenquanten oder aber auch Photonen in sichtbarem oder infrarotem Licht detektiert werden. In this way, both electromagnetic radiation in the form of x-ray quanta or photons in the visible or infrared light can be detected.
  • Wie nun in How now 1 1 dargestellt ist, sind die nanoskaligen Füllstoffe is shown, the nanoscale fillers 3a 3a in der Absorptionsschicht in the absorption layer 3 3 nicht gleichmäßig verteilt. not evenly distributed. Unter der Annahme, dass die zu detektierende Strahlung Assuming that the radiation to be detected 10 10 von oben über die erste Elektrode from above over the first electrode 4 4 in die Absorptionsschicht in the absorption layer 3 3 eindringt, weist die Absorptionsschicht penetrates, the absorbent layer 3 3 eine von der zweiten Elektrode one of the second electrode 4 4 in Richtung der ersten Elektrode in the direction of the first electrode 2 2 zunehmende Konzentration von Füllstoffpartikeln increasing concentration of filler 3a 3a auf. on.
  • Dabei wird die Verteilung der Füllstoffkonzentration so gewählt, dass sich innerhalb der gesamten Dicke der Absorptionsschicht The distribution of the filler is chosen so that within the entire thickness of the absorbent layer 3 3 bei Eintreffen einer zur detektierenden Strahlung upon arrival of a to be detected radiation 10 10 über die gesamte Dicke eine möglichst gleichmäßige Absorption einstellt. setting a uniform absorption as possible over the entire thickness. Somit ergibt sich in der Nähe der ersten Elektrode This results in the vicinity of the first electrode 2 2 eine höhere Konzentration an nanoskaligen Füllstoffen a higher concentration of nanoscale fillers 3a 3a , als in der Nähe der zweiten Elektrode Than in the vicinity of the second electrode 4 4 . ,
  • Durch die inhomogene Verteilung der nanoskaligen Füllstoffe Due to the inhomogeneous distribution of nanoscale fillers 3a 3a und der sich damit einstellenden gleichmäßigen Absorption über die gesamte Schichtdicke der Absorptionsschicht and thus adjusting uniform absorption over the entire thickness of the absorbent layer 3 3 ergibt sich somit auch über die gesamte Schichtdicke eine gleichmäßige Erzeugung von Ladungsträgern in Form von Elektronen-Loch-Paaren. is thus obtained over the entire layer thickness uniform generation of charge carriers in form of electron-hole pairs. Somit wird im Photoleiter eine konstante und homogene Leitfähigkeit erzeugt. Thus, in the photoconductor, a constant and homogeneous conductivity is generated.
  • 2 2 zeigt eine alternative Form für einen Strahlungsdetektor mit einer gleichmäßigen Absorption der einfallenden Strahlung über die gesamte Dicke der Absorptionsschicht shows an alternative form for a radiation detector having a uniform absorption of the incident radiation over the entire thickness of the absorbent layer 3 3 . ,
  • Hierbei erfolgt die Steuerung der Absorption innerhalb der Schichtdicke der Absorptionsschicht Here, the control of the absorption takes place within the thickness of the absorbent layer 3 3 durch Variation der Partikelgröße des nanoskaligen Füllstoffs by varying the particle size of the nanoscale filler, 3a 3a . , Da Füllstoffpartikel since filler 3a 3a mit einem größeren Durchmesser ein höheres Absorptionsverhalten aufweisen, als Füllstoffe having a larger diameter have a higher absorption behavior, as fillers 3a 3a mit einem kleineren Durchmesser, kann auch auf diese Weise durch geeignete Variation der Füllstoffverteilung eine homogene Absorption innerhalb der gesamten Schicht with a smaller diameter can also in this manner by suitable variation of the filler a homogeneous absorption within the whole layer 3 3 erreicht werden. be achieved.
  • 3 3 zeigt eine weitere Alternative zur Ausbildung einer möglichst konstanten Absorption durch Variation des Füllstoffes innerhalb der Absorptionsschicht. shows a further alternative to forming a constant absorption as possible by variation of the filler within the absorption layer. Wie hier dargestellt, sind in der Absorptionsschicht As shown here, are in the absorption layer 3 3 in diesem Fall Füllstoff in this case, filler 3a 3a und and 3b 3b aus unterschiedlichen Materialien eingebettet. embedded from different materials. Dabei muss die Auswahl der Füllstoffe The selection of the fillers must 3a 3a und and 3b 3b nicht auf nur zwei Materialien beschränkt bleiben. not be limited to only two materials. Es kann auch eine größere Anzahl von unterschiedlichen Materialien als Füllstoff It can also be a larger number of different materials as a filler 3a 3a , . 3b 3b eingesetzt werden. be used.
  • Wesentlich dabei ist jedoch, dass die unterschiedlichen Füllstoffe However, It is essential that the different fillers 3a 3a und and 3b 3b ein unterschiedliches Absorptionsverhalten aufweisen. have a different absorption behavior. Durch gezieltes Verteilen dieser unterschiedlichen Füllstoffe By selectively distributing these different fillers 3a 3a und and 3b 3b innerhalb der Absorptionsschicht within the absorption layer 3 3 kann somit das Absorptionsvermögen innerhalb dieser Schicht gezielt gesteuert werden, auch wenn zunächst über der gesamten Absorptionsschicht Thus, the absorption capacity can be specifically controlled within this layer, even if initially over the entire absorption layer 3 3 eine augenscheinlich gleiche Konzentration von Füllstoffen an apparently same concentration of fillers 3a 3a und and 3b 3b vorherrscht. prevails.
  • Durch die hier beschriebene Variation der Füllstoffmaterialien, wie auch durch die zuvor beschriebene Variation der Füllstoffgröße kann insbesondere auch der Tatsache Rechnung getragen werden, dass hochenergetische Röntgenstrahlung zunächst tiefer in den Detektor eindringt als niederenergetische Strahlung. The described here variation of the filler materials, as well as by the previously described variation of the filler size of the fact account can be taken in particular that high energy x-rays penetrate deeper into the first detector as a low-energy radiation.
  • Die zuvor in Bezug auf die The previously in relation to the 1 1 bis to 3 3 beschriebenen Ausführungsformen variieren zunächst für sich genommen lediglich einen Parameter wie Füllstoffkonzentration, Füllstoffgröße oder Füllstoffmaterial. Embodiments described initially vary in itself only one parameter such as filler, filler size or filler material. Darüber hinaus ist es jedoch auch möglich, gleichzeitig mehrere oder alle der genannten Parameter zu variieren. In addition, however, it is also possible to vary several or all of these parameters simultaneously.
  • Weiterhin ist es auch möglich, andere Parameter der Füllstoffe Furthermore, it is also possible to use other parameters of the fillers 3a 3a innerhalb der Absorptionsschicht within the absorption layer 3 3 zu variieren, um damit über die Eindringtiefe der Strahlung zunehmende Absorptionseigenschaften zu erhalten und damit eine möglichst gleichmäßige resultierende Absorption über die gesamte Distanz zwischen den beiden Elektroden to vary, in order to obtain increased absorption characteristics over the depth of penetration of the radiation and thus the most uniform possible resulting absorption over the entire distance between the two electrodes 2 2 und and 4 4 zu erzielen. to achieve.
  • Zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Strahlungsdetektors mit einer inhomogenen Verteilung von Füllstoffen To produce an inventive radiation detector with an inhomogeneous distribution of fillers 3a 3a innerhalb der Absorptionsschicht within the absorption layer 3 3 kann dabei wie folgt vorgegangen werden. can then be carried out as follows. Zunächst wird in einem ersten Schritt First, in a first step 110 110 eine erste Elektrode a first electrode 2 2 bereitgestellt. provided. Vorzugsweise wird diese Elektrode Preferably this electrode is 2 2 auf einem Substrat on a substrate 1 1 bereitgestellt. provided. anschließend wird in Schritt Subsequently, in step 120 120 auf die dem Substrat on the substrate 1 1 abgewandte Seite der Elektrode side facing away from the electrode 2 2 die BHJ-Substanz mit den nanoskaligen Füllstoffen BHJ the substance with the nanoscale fillers 3a 3a aufgebracht. applied. Die BHJ-Substanz liegt dabei vorzugsweise in flüssiger Phase vor. The BHJ substance is preferably present in the liquid phase. Somit ist eine besonders einfache Weiterverarbeitung möglich. Thus, a particularly simple further processing is possible.
  • Zur Variation mit der Konzentration des Füllstoffes In order to vary with the concentration of the filler 3a 3a während des Aufbringens der BHJ-Substanz kann zunächst in der Substanz die Konzentration an Füllstoff during application of the BHJ substance may initially in the substance, the concentration of filler 3a 3a eingestellt werden, die unmittelbar in der Nähe der ersten Elektrode be set that in the immediate vicinity of the first electrode 2 2 gewünscht wird. it is asked for. Die so vorliegende Mischung wird daraufhin auf die Elektrode The blend is then so present on the electrode 2 2 aufgesprüht. sprayed. Während des weiteren Sprühvorgangs wird der bereitgestellten Mischung aus BHJ-Substanz und Füllstoff During the further spraying of the mixture provided from BHJ substance and filler 3a 3a kontinuierlich mehr BHJ-Substanz zugegeben, so dass sich die Konzentration an Füllstoff continuously more BHJ substance is added so that the concentration of filler 3a 3a während des weiteren Sprühvorgangs sukzessive erniedrigt. gradually lowered during the further spraying. Am Ende des Sprühvorgangs sollte dabei die Konzentration an Füllstoff At the end of the spraying process should examine the concentration of filler 3a 3a so eingestellt sein, dass sie der gewünschten Konzentration an der oberen Elektrode be set so as to the desired concentration of the upper electrode 4 4 entspricht. equivalent.
  • Alternativ ist es auch möglich, die BHJ-Substanz und den Füllstoff Alternatively, it is also possible to BHJ substance and the filler 3a 3a aus getrennten Reservoirs bereitzustellen. provide from separate reservoirs. In diesem Fall wird aus dem einen Reservoir kontinuierlich BHJ-Substanz auf die Elektrode In this case, continuously BHJ substance from a reservoir to the electrode 2 2 aufgesprüht und dabei gleichzeitig aus einem weiteren Füllstoffreservoir ebenfalls Füllstoff sprayed and at the same time from a further filler likewise Füllstoffreservoir 3a 3a aufgesprüht. sprayed. Während des Sprühvorgangs wird dabei die Dosis an Füllstoff During the spraying while the dose of filler 3a 3a kontinuierlich variiert, so dass sich bei der aufgesprühten Absorptionsschicht varies continuously, so that when the sprayed absorption layer 3 3 eine Variation der Füllstoffkonzentration ergibt. a variation in the filler concentration results.
  • Soll dabei während des Aufbaus der Absorptionsschicht nicht nur ein Füllstoff Is intended to during construction of the absorbent layer not only a filler 3a 3a , sondern auch ein weiterer Füllstoff But also a further filler 3b 3b mit in die Absorptionsschicht with the absorption layer 3 3 integriert werden, so können diese aus getrennten Reservoirs bereitgestellt werden und während des Aufbringens die jeweilige Dosis an Füllstoff be integrated, these can be provided from separate reservoirs and during the application of each dose of filler 3a 3a und and 3b 3b in gewünschten Maße variiert werden. be varied in the desired extent. Beispielsweise kann kontinuierlich während des Aufsprühens die Füllstoffmenge For example, continuously during the spraying of the amount of filler 3a 3a reduziert werden und parallel dazu die Menge an Füllstoff be reduced, and in parallel, the amount of filler 3b 3b erhöht werden. increase.
  • Andere Verfahren zum Aufbringen einer Absorptionsschicht mit inhomogener Füllstoffverteilung sind darüber hinaus ebenso möglich. Other methods of applying an absorbing layer having an inhomogeneous filler distribution are also possible beyond. Beispielsweise können mehrere dünne Schichten mit jeweils unterschiedlichen Füllstoffkonzentrationen, Füllstoffgrößen oder Füllstoffmaterialien nacheinander auf die erste Elektrode For example, several thin layers, each with different filler concentrations, filler sizes or filler materials may successively to the first electrode 2 2 aufgebracht werden. be applied. Hierzu sind beispielsweise Verfahren wie Drucken, Walzen, Rakeln usw. denkbar. For this purpose, for example, methods such as printing, rolling, knife coating, etc. conceivable.
  • Nach Aufbringen der Absorptionsschicht After application of the absorption layer 3 3 und gegebenenfalls einem weiteren Prozessschritt zum Aushärten der in flüssiger Phase aufgebrachten Substanzen, erfolgt abschließend das Aufbringen der zweiten Elektrode and optionally a further process step of hardening the applied liquid phase substances are, finally, the application of the second electrode 4 4 . ,
  • Zusammenfassend betrifft die vorliegende Erfindung eine Photodiode oder ein Photoleiter für eine Strahlungsdetektion mit einer inhomogenen Verteilung von nanoskaligen Füllstoffen. In summary, the present invention is a photodiode or a photoconductor for a radiation detection with an inhomogeneous distribution of nanoscale fillers relates. Durch eine gezielte Ungleichverteilung dieser nanoskaligen Füllstoffe By specifically unequal distribution of these nanoscale fillers 3a 3a kann eine gleichmäßigere Verteilung der Absorption der einfallenden Strahlung über die gesamte Absorptionsschicht erreicht werden. can be achieved a more even distribution of the absorption of incident radiation over the entire absorption layer. Bei dem Betrieb eines solchen Strahlungsdetektors im Photoleitermodus kann somit eine deutliche Steigerung der externen Quanteneffizienz erreicht werden. In the operation of such a radiation detector in photoconductor mode a significant increase in the external quantum efficiency can thus be achieved.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION
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  • Zitierte Patentliteratur Cited patent literature
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Claims (13)

  1. Strahlungsdetektor zur Konversion einfallender Strahlung, umfassend ein Substrat ( A radiation detector for converting incident radiation comprising a substrate ( 1 1 ) mit einer ersten Elektrode ( ) (With a first electrode 2 2 ), eine zweite Elektrode ( ), A second electrode ( 4 4 ), eine organische Absorptionsschicht ( (), An organic absorption layer 3 3 ) mit einem nanoskaligen Füllstoff ( ) (With a nanoscale filler 3a 3a ), wobei die organische Absorptionsschicht ( ), Wherein the organic absorbing layer ( 3 3 ) zwischen der ersten Elektrode ( ) (Between the first electrode 2 2 ) und der zweiten Elektrode ( ) And the second electrode ( 4 4 ) angeordnet ist und eine inhomogene Verteilung des nanoskaligen Füllstoffs ( ) And (an inhomogeneous distribution of the nanoscale filler, 3a 3a , . 3b 3b ) aufweist. ) having.
  2. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, wobei der nanoskalige Füllstoff ( The radiation detector of claim 1 wherein said nanoscale filler ( 3a 3a , . 3b 3b ) ein Stoff zur Direktumwandlung von Strahlung in elektrische Ladungsträger ist. ) Is a substance for the direct conversion of radiation into electric charge carriers.
  3. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, wobei der nanoskalige Füllstoff ( The radiation detector of claim 1 wherein said nanoscale filler ( 3a 3a ) ein Nanoszintillator ist. ) Is a Nanoszintillator.
  4. Strahlungsdetektor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Verteilung des nanoskaligen Füllstoffes ( The radiation detector according to any one of claims 1 to 3, wherein the distribution of the nanoscale filler ( 3a 3a , . 3b 3b ) in Abhängigkeit des Abstandes von der ersten Elektrode ( ) As a function of the distance (from the first electrode 2 2 ) variiert. ) Varied.
  5. Strahlungsdetektor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das Absorptionsverhalten der Absorptionsschicht ( The radiation detector according to any one of claims 1 to 4, wherein the absorption behavior of the absorbent layer ( 3 3 ) für eine zu detektierende Strahlung in der Nähe der ersten Elektrode ( ) (For a radiation to be detected in the vicinity of the first electrode 2 2 ) größer ist, als in der Nähe der zweiten Elektrode ( is greater) as (in the vicinity of the second electrode 4 4 ). ).
  6. Strahlungsdetektor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Konzentration des nanoskaligen Füllstoffs ( The radiation detector according to any one of claims 1 to 5, wherein the concentration of the nanoscale filler ( 3a 3a , . 3b 3b ) in der Nähe der ersten Elektrode ( ) (In the vicinity of the first electrode 2 2 ) größer ist, als in der Nähe der zweiten Elektrode ( is greater) as (in the vicinity of the second electrode 4 4 ). ).
  7. Strahlungsdetektor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Partikelgröße des nanoskalige Füllstoffs ( The radiation detector according to any one of claims 1 to 6, wherein the particle size of the nanoscale filler ( 3a 3a , . 3b 3b ) in Abhängigkeit des Abstandes von der zweiten Elektrode ( ) As a function of the distance (from the second electrode 4 4 ) variiert. ) Varied.
  8. Strahlungsdetektor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Absorptionsschicht mindestens einen ersten nanoskaligen Füllstoff ( The radiation detector according to any one of claims 1 to 7, wherein the absorption layer (at least one first nanoscale filler 3a 3a ) und einen zweiten nanoskaligen Füllstoff ( ) And a second nanoscale filler ( 3b 3b ) enthält, und der erste nanoskalige Füllstoff ( ), And the first nanoscale filler ( 3a 3a ) ein von dem zweiten nanoskaligen Füllstoff ( ) (From the second nanoscale filler 3b 3b ) verschiedenes Absorptionsvermögen für die zu detektierende Strahlung aufweist. having) different absorption capacity for the radiation to be detected.
  9. Verfahren zur Herstellung eines Strahlungsdetektors mit den Schritten: Bereitstellen ( A process for producing a radiation detector comprising the steps of: providing ( 110 110 ) einer ersten Elektrode ( ) A first electrode ( 2 2 ); ); Aufbringen ( applying ( 120 120 ) einer organischen Absorptionsschicht ( () Of an organic absorption layer 3 3 ) mit einem nanoskaligen Füllstoff ( ) (With a nanoscale filler 3a 3a , . 3b 3b ); ); Aufbringen ( applying ( 130 130 ) einer zweiten Elektrode ( () A second electrode 4 4 ) auf die organische Absorptionsschicht ( ) (On the organic absorbent layer 3 3 ). ).
  10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei die Absorptionsschicht ( The method of claim 9, wherein the absorption layer ( 3 3 ) durch Aufsprühen aufgebracht wird. ) Is applied by spraying.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, wobei die Konzentration des nanoskaligen Füllstoffes ( The method of claim 10, wherein the concentration of the nanoscale filler ( 3a 3a , . 3b 3b ) während des Aufbringens variiert wird. ) Is varied during the application.
  12. Verfahren nach Anspruch 9, wobei die Größe der Partikel des nanoskaligen Füllstoffes ( The method of claim 9, wherein the particle size of the nanoscale filler ( 3a 3a , . 3b 3b ) während des Aufbringens variiert wird. ) Is varied during the application.
  13. Verfahren nach Anspruch 10, wobei der nanoskalige Füllstoff ( The method of claim 10, wherein said nanoscale filler ( 3a 3a , . 3b 3b ) und eine organische Trägersubstanz getrennt aufgesprüht werden. ), And an organic vehicle are sprayed separately.
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