DE102012215239A1 - Bauteil und Verfahren zum Prüfen eines solchen Bauteils - Google Patents

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Abstract

Es werden Maßnahmen vorgeschlagen, die die Funktionsprüfung eines Bauteils (100) mit einem MEMS-Bauelement (10) mit einer druckempfindlichen Sensormembran (2) vereinfachen und eine Selbstkalibrierung des Bauteils auch noch am Einsatzort, also nach Abschluss des Fertigungsprozesses, ermöglichen. Das Bauteil (100) ist mit einem Gehäuse (101, 102) ausgestattet, in dem mindestens ein MEMS-Bauelement (10) mit einer druckempfindlichen Sensormembran (2) und mit Schaltungsmitteln zum Erfassen der Membranauslenkungen als Messsignale, Mittel (11) zum Auswerten der Messsignale und Mittel zum definierten Anregen der Sensormembran angeordnet sind, wobei das Gehäuse (101, 102) mindestens eine Druckanschlussöffnung (103) aufweist. Erfindungsgemäß umfassen die Mittel zum Anregen der Sensormembran (2) mindestens eine gezielt ansteuerbare Aktorkomponente (12) zum Erzeugen von definierten Druckimpulsen, die auf die Sensormembran (2) einwirken.

Description

  • Stand der Technik
  • Die Erfindung betrifft ein Bauteil mit einem Gehäuse, in dem mindestens ein MEMS-Bauelement mit einer druckempfindlichen Sensormembran und mit Schaltungsmitteln zum Erfassen der Membranauslenkungen als Messsignale, Mittel zum Auswerten der Messsignale und Mittel zum definierten Anregen der Sensormembran angeordnet sind. Das Gehäuse des Bauteils weist mindestens eine Druckanschlussöffnung auf. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Prüfen eines derartigen Bauteils.
  • Bei dem hier in Rede stehenden Bauteil handelt es sich bevorzugt um ein Mikrofonbauteil oder auch um ein Drucksensorbauteil.
  • In der Regel werden derartige Mikrofonbauteile nach der Fertigstellung einer akustischen Endmessung unterzogen. Dabei wird die Einhaltung von Spezifikationen, wie Empfindlichkeit, Rauschen, Frequenzgang und Stromverbrauch, überprüft. Eine Funktionsprüfung der einzelnen Bauteilkomponenten, insbesondere der MEMS- und ASIC-Bauelemente auf Waferlevel, die vergleichsweise kostengünstig ist, reicht hier nicht aus, da die Mikrofonverpackung, d.h. die Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) und das Bauteilgehäuse, einen wesentlichen Einfluss auf die Mikrofonperformance hat. Die Testkosten machen einen signifikanten Anteil an den Gesamtkosten des Bauteils aus.
  • In der DE 101 54 867 A1 wird eine Möglichkeit zum Überprüfen der Sensoreigenschaften eines mikromechanischen Drucksensorelements beschrieben. Dieses Drucksensorelement umfasst eine Sensormembran, die eine abgeschlossene Kaverne im Halbleitersubstrat des Bauelements überspannt. Am Kavernenboden befindet sich eine Elektrode, die zusammen mit einer Elektrode auf der Membran einen Kondensator bildet. Dieser Kondensator wird nicht nur zur kapazitiven Signalerfassung genutzt, sondern dient auch zur gezielten Anregung der Membran. Dazu wird eine definierte, ggf. zeitlich variierende Spannung an den Kondensator angelegt, um die Sensormembran in eine Schwingung zu versetzen. Die resultierenden Membranauslenkungen werden dann mit Hilfe desselben Kondensators quantitativ und qualitativ erfasst. Durch Analyse des so gewonnenen Messsignals können Aussagen über die Höhe und Ausdehnung der Kaverne gemacht werden sowie über die Beweglichkeit und Dicke der Membran, deren maximale Auslenkbarkeit und deren Elastizitätsmodul.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Mit der vorliegenden Erfindung werden Maßnahmen vorgeschlagen, die die Funktionsprüfung eines Bauteils der hier in Rede stehenden Art vereinfachen und eine Selbstkalibrierung des Bauteils auch noch am Einsatzort, also nach Abschluss des Fertigungsprozesses, ermöglichen.
  • Erfindungsgemäß wird das Bauteil dazu mit mindestens einer gezielt ansteuerbaren Aktorkomponente zum Erzeugen von definierten Druckimpulsen ausgestattet, die auf die Sensormembran einwirken.
  • Die Funktionsfähigkeit einer derartigen Aktorkomponente kann auf Waferebene geprüft werden, so wie die Funktionsfähigkeit der übrigen Komponenten des Bauteils. Die damit verbundenen Kosten sind vergleichsweise gering. Mit Hilfe der Aktorkomponente kann die Endprüfung des Bauteils, bei der dann auch der Einfluss der AVT zum Tragen kommt, für jedes Bauteil gesondert vorgenommen werden. Da diese Endprüfung keiner speziellen Prüfumgebung bedarf, halten sich auch die damit verbundenen Kosten im Rahmen, so dass die Testkosten für das erfindungsgemäße Bauteil insgesamt gering sind. Des Weiteren ermöglichen die erfindungsgemäßen Maßnahmen eine Funktionsprüfung unter authentischen Testbedingungen, was zur Aussagekraft der Testergebnisse beiträgt. Die Sensormembran wird hier nämlich nicht aktiv ausgelenkt, sondern mit einem Testsignal angeregt, das der Art der Messgröße entspricht und sich auch im Rahmen des zu erwartenden Signalpegels bewegt. Mit Hilfe der Aktorkomponente wird dazu ein entsprechendes Drucksignal erzeugt, das wie ein Messdruck oder eine Schallwelle auf die Sensormembran trifft. Die so hervorgerufenen Membranauslenkungen werden wie Messsignale erfasst. Lediglich die Auswertung der im Testmodus erfassten Signale unterscheidet sich von der Auswertung der Messsignale, die im Normalbetrieb erfasst werden. Das erfindungsgemäße Bauteil zeichnet sich durch eine geringe Fehleranfälligkeit aus, da die Funktionen der einzelnen Bauteilkomponenten klar voneinander getrennt sind. So wird die Sensorkomponente ausschließlich zur Signalerfassung genutzt. Die Aktorkomponente wird ausschließlich im Testmodus angesteuert, um die Sensormembran mit einem definierten Drucksignal zu beaufschlagen. Lediglich das Auswerten der Messsignale hängt vom Betriebsmodus des Bauteils ab.
  • Grundsätzlich gibt es verschiedene Möglichkeiten für die Realisierung eines erfindungsgemäßen Bauteils, insbesondere was die Aktorkomponente des Bauteils betrifft.
  • Um die einzelnen Bauteilkomponenten nicht nur funktionell sondern auch fertigungstechnisch zu entkoppeln, kann die Aktorkomponente in einem eigenständigen Bauteil implementiert werden, das unabhängig von dem MEMS-Bauelement mit der Sensormembran innerhalb des Bauteilgehäuses montiert wird. Dabei kann es sich um ein weiteres MEMS-Bauelement handeln. Die Aktorkomponente kann aber auch in einer anderen Technologie realisiert werden. Vorteilhafterweise sind die Mittel zum Ansteuern der Aktorkomponente und die Mittel zum Auswerten der Messsignale der Sensorkomponente auf einem gemeinsamen ASIC-Bauelement angeordnet, da diese Prozesse, wie voranstehend erläutert, koordiniert werden müssen.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Aktorkomponente zumindest teilweise in die Bauelementstruktur des MEMS-Bauelements integriert. Die Druckimpulse werden in diesem Fall mit Hilfe einer mikromechanischen Struktur erzeugt, die unabhängig von der Sensorstruktur des MEMS-Bauelements ansteuerbar ist. Vorteilhafterweise sind die Aktorstruktur und die Art der Sensorstruktur bei dieser Ausführungsform aufeinander abgestimmt. Zum einen kann so das Layout des MEMS-Bauelements optimiert werden, zum anderen können Aktorstruktur und Sensorstruktur dann zusammen in einem Herstellungsprozess im Schichtaufbau des MEMS-Bauelements erzeugt werden. Vorteilhafterweise umfasst die Aktorkomponente deshalb mindestens eine Aktormembran, die seitlich neben der Sensormembran ausgebildet ist. Des Weiteren müssen Schaltungsmittel vorgesehen werden, mit denen sich die Aktormembran unabhängig von der Sensormembran ansteuern und auslenken lässt. Auf diese Weise können gezielt definierte Druckimpulse erzeugt werden, die auf die Sensormembran einwirken. Bei den Schaltungsmitteln kann es sich beispielsweise um gezielt ansteuerbare piezoelektrische Schichten handeln, die vorzugsweise im Randbereich der Aktormembran angeordnet sind. Damit lassen sich vergleichsweise große Auslenkungen der Aktormembran hervorzurufen und damit auch relativ große Druckimpulse generieren. Die Ansteuerung der Aktormembran kann aber auch kapazitiv erfolgen. Diese Variante eignet sich insbesondere für kapazitive Mikrofonbauelemente mit einer Mikrofonmembran und einem feststehenden Gegenelement, auf denen die Elektroden eines Mikrofonkondensators angeordnet sind. In diesem Fall wird auch die Aktormembran mit mindestens einer Elektrode ausgestattet, die zusammen mit mindestens einer Elektrode auf dem feststehenden Gegenelement einen gezielt ansteuerbaren Aktorkondensator bildet. Im Hinblick auf eine gleichmäßige Anregung der Sensormembran erweist es sich als vorteilhaft, wenn die Aktormembran ringförmig ausgebildet ist und konzentrisch zur Sensormembran angeordnet ist.
  • Wie bereits erwähnt, wird die Aktorkomponente des erfindungsgemäßen Bauteils genutzt, um definierte Druckimpulse innerhalb des Bauteilgehäuses zu erzeugen und so die Sensormembran zu Testzwecken auszulenken bzw. zu Schwingungen anzuregen. Dazu kann die Membran der Aktorkomponente beispielsweise gezielt bis zu einem Anschlag in der Aktorstruktur ausgelenkt werden. Da der Aktorweg in diesem Fall definiert ist, ist auch der resultierende Druckimpuls definiert. Eine entsprechende Auswertung des so gewonnenen Messsignals ermöglicht eine Bewertung der funktionalen Eigenschaften des Bauteils. Auf diese Weise können Bauteile am Ende des Fertigungsprozesses als Gutteil oder als Schlechtteil deklariert werden, um die Schlechtteile zu identifizieren und auszusortieren. Die Auswertung der durch die definierten Druckimpulse hervorgerufenen Messsignale ermöglicht zudem eine Kalibrierung des Bauteils, bei der die elektrischen Sensorparameter, insbesondere die Polarisationsspannung und die mechanische Vorspannung der Sensormembran, in Abhängigkeit vom Auswerteergebnis angepasst werden, um die gewünschte Sensorspezifikation zu erzielen. Da die Aktorkomponente Bestandteil des Bauteils ist, können die Sensoreigenschaften des Bauteils so während seiner gesamten Lebensdauer immer wieder überprüft und „nachjustiert“ werden, um einem Wegdriften der Sensoreigenschaften entgegenzuwirken. Eine solche Funktionsprüfung mit anschließender Anpassung der elektrischen Sensorparameter kann automatisch, also beispielsweise in regelmäßigen zeitlichen Abständen, oder auch von außen aktiviert initiiert werden.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Wie bereits voranstehend erörtert, gibt es verschiedene Möglichkeiten, die vorliegende Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu wird einerseits auf die den unabhängigen Patentansprüchen nachgeordneten Patentansprüche verwiesen und andererseits auf die nachfolgende Beschreibung mehrerer Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Figuren.
  • 1 zeigt eine schematische Schnittdarstellung durch ein erfindungsgemäßes Mikrofonbauteil 100,
  • 2 zeigt eine schematische Schnittdarstellung durch das MEMS-Bauelement 20 eines erfindungsgemäßen Bauteils,
  • 3a, b zeigen schematische Schnittdarstellungen durch das MEMS-Bauelement 30 eines erfindungsgemäßen Bauteils mit aktivierter Aktorkomponente und
  • 4 zeigt ein Flussdiagramm des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Testen eines Bauteils der hier in Rede stehenden Art.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • Bei dem in 1 dargestellten Bauteil 100 handelt es sich um ein Mikrofonbauteil mit einem MEMS-Mikrofonbauelement 10. Die Mikrofonstruktur ist in einem Schichtaufbau auf einem Halbleitersubstrat 1 realisiert und umfasst eine Mikrofonmembran 2, die eine Kaverne 3 in der Substratrückseite überspannt. Im Schichtaufbau über der Mikrofonmembran 2 befindet sich ein feststehendes Gegenelement 4 mit Durchgangsöffnungen 5. Das Mikrofonbauelement 10 ist mit der Substratrückseite auf einem Träger 101 montiert, so dass der Träger 101 die Kaverne 3 unter der Mikrofonmembran 2 druckdicht abschließt. Der Träger 101 bildet zusammen mit einem Deckelteil 102 das Gehäuse des Bauteils 100. Im Deckelteil 102 befindet sich eine Druckanschlussöffnung 103. Die Schallbeaufschlagung der Mikrofonmembran 2 erfolgt über diese Druckanschlussöffnung 103 im Bauteilgehäuse und über die Durchgangsöffnungen 5 im Gegenelement 4 des Mikrofonbauelements 10. Die abgeschlossene Kaverne 3 dient als Rückvolumen. Die Auslenkungen der Mikrofonmembran 2 werden kapazitiv erfasst. Dazu sind die Mikrofonmembran 2 und das Gegenelement 4 jeweils mit mindestens einer Elektrode ausgestattet, die zusammen einen Mikrofonkondensator bilden. Das so gewonnene Mikrofonsignal wird mit Hilfe eines ASIC-Bauelements 11 ausgewertet, das neben dem Mikrofonbauelement 10 auf dem Träger 101 im Bauteilgehäuse angeordnet ist.
  • Erfindungsgemäß umfasst das Bauteil 100 ferner eine gezielt ansteuerbare Aktorkomponente 12, mit der innerhalb des Gehäuses definierte Druckimpulse erzeugt werden können. Diese wirken auf die Mikrofonmembran 2 ein und regen sie zu Schwingungen an, die mit Hilfe des Mikrofonkondensators erfasst und mit Hilfe des ASIC-Bauelements 11 ausgewertet werden.
  • Im hier dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Aktorkomponente 12 in Form eines eigenständigen Bauelements 12 realisiert, das ebenfalls auf dem Träger 101 innerhalb des Bauteilgehäuses montiert ist. Wie das Mikrofonbauelement 10 so ist auch das Aktorbauelement 12 über Bonddrähte 13 mit dem ASIC-Bauelement 11 elektrisch verbunden. Das ASIC-Bauelement koordiniert hier die Aktivierung der Aktorkomponente 12 und die Auswertung der vom Mikrofonkondensator erfassten Messsignale im Testmodus.
  • Das ASIC-Bauelement 11 ist außerdem über Bonddrähte 13 mit dem Träger 101 verbunden, über den die externe Kontaktierung bei der 2nd-Level-Montage des Bauteils 100 erfolgt.
  • In 2 ist ein MEMS-Bauelement 20 dargestellt, das speziell zur Verwendung in einem erfindungsgemäßen Bauteil konzipiert ist. Auch hier handelt es sich um eine Mikrofonbauelement 20 mit einer Mikrofonmembran 22 und einem feststehenden Gegenelement 24, die jeweils mit mindestens einer Elektrode eines Mikrofonkondensators ausgestattet sind. Die Mikrofonmembran 22 und das Gegenelement 24 sind in einem Schichtaufbau auf einem Halbleitersubstrat 1 realisiert, so dass die Mikrofonmembran 22 eine Kaverne 23 in der Substratrückseite überspannt. Das Gegenelement 24 ist im Schichtaufbau über der Mikrofonmembran 22 angeordnet und weist über dem Membranbereich Durchgangsöffnungen 251 auf. Zusätzlich zu dieser Mikrofonstruktur umfasst das MEMS-Bauelement 20 eine Aktorstruktur, mit der die Mikrofonmembran zur Funktionsprüfung des Bauteils gezielt angeregt werden kann. Diese Aktorstruktur umfasst eine Ringmembran 26, die konzentrisch zur Mikrofonmembran 22 angeordnet und in derselben Schicht des Schichtaufbaus ausgebildet ist. Auch über der Ringmembran 26 sind Durchgangsöffnungen 252 im feststehenden Gegenelement 24 ausgebildet. Wie die Mikrofonmembran 22 und der gegenüberliegende Bereich des Gegenelements 24, so sind auch die Ringmembran 26 und der dieser gegenüberliegende Bereich des Gegenelements 24 jeweils mit mindestens einer Elektrode einer Kondensatoranordnung ausgestattet. Im Unterschied zum Mikrofonkondensator, der zur Signalerfassung genutzt wird, dient die Kondensatoranordnung im Bereich der Ringmembran 26 zur gezielten Ansteuerung der Ringmembran 26, d.h. zum Erzeugen von definierten Druckimpulsen, die auf die Mikrofonmembran 22 einwirken. Die so induzierten Schwingungen der Mikrofonmembran 22 werden mit Hilfe des Mikrofonkondensators erfasst und können dann im Sinne der Funktionsprüfung des Bauteils ausgewertet werden. Das in 2 dargestellte Mikrofonbauelement 20 kann, wie das in 1 dargestellte Mikrofonbauelement 10, auf dem Bauelementträger eines Bauteilgehäuses montiert werden, so dass die rückseitige Kaverne 23 als Rückseitenvolumen druckdicht abgeschlossen wird. Aufgrund der konzentrischen Anordnung von Mikrofonmembran 22 und Aktor-Ringmembran 26 über der rückseitigen Kaverne 23 hat das Mikrofonbauelement 20 gegenüber dem in 1 dargestellten Mikrofonbauelement 10 ein vergrößertes Rückseitenvolumen, was sich positiv auf die Mikrofoneigenschaften eines so realisierten Bauteils auswirkt.
  • Auch das in den 3a und 3b dargestellte MEMS-Mikrofonbauelement 30 ist speziell zur Verwendung in einem erfindungsgemäßen Bauteil konzipiert und wurde dazu mit einer kapazitiv ansteuerbaren Aktorstruktur zusätzlich zur kapazitiven Mikrofonstruktur ausgestattet. Wie im Fall des Mikrofonbauelements 20 sind sowohl die Mikrofonstruktur als auch die Aktorstruktur in einem Schichtaufbau auf einem Halbleitersubstrat 1 realisiert. Die Mikrofonstruktur umfasst eine Mikrofonmembran 32 und ein feststehendes Gegenelement 34 mit Durchgangsöffnungen 351 im Bereich über der Mikrofonmembran 32. Auch die Aktorstruktur umfasst eine Membran 36, die hier seitlich neben der Mikrofonmembran 32 angeordnet und in derselben Schicht des Schichtaufbaus ausgebildet ist. Im Bereich über dieser Aktormembran 36 befinden sich Durchgangsöffnungen 362 im feststehenden Gegenelement 34. Die Aktormembran 36 und der dieser gegenüberliegende Bereich des Gegenelements 34 sind wie die Mikrofonmembran 32 und der dieser gegenüberliegende Bereich des Gegenelements 34 jeweils mit mindestens einer Elektrode einer Kondensatoranordnung ausgestattet. Der Mikrofonkondensator wird zur Signalerfassung genutzt, während die Kondensatoranordnung im Bereich der Aktormembran 36 zur gezielten Ansteuerung der Aktormembran 36 dient. Im Unterschied zum Mikrofonbauelement 20 erstreckt sich hier nur die Mikrofonmembran 32 über die Kaverne 33 in der Substratrückseite. Die Aktormembran 36 ist seitlich davon angeordnet und lediglich innerhalb des Schichtaufbaus auf dem Substrat 1 freigestellt. Auf dem Substrat 1 unterhalb der Aktormembran 36 ist eine weitere feststehende Elektrode der Kondensatoranordnung der Aktorstruktur angeordnet. Diese Elektrode kann in Form einer geeigneten Substratdotierung oder auch in Form einer gegen das Substrat elektrisch isolierten leitfähigen Beschichtung realisiert sein. Die 3a und 3b verdeutlichen, dass sich die Aktormembran 36 mit Hilfe dieser Kondensatoranordnung sowohl in Richtung Gegenelement 34 als auch in Richtung Substrat 1 gezielt auslenken lässt. Aufgrund des im Vergleich zum Mikrofonbauelement 20 größeren Membranhubs der Aktormembran 36 lassen sich so größere Druckimpulse zur Anregung der Mikrofonmembran 32 generieren.
  • Wie das in 1 dargestellte Mikrofonbauelement 10 wird auch das Mikrofonbauelement 30 bevorzugt auf dem Bauelementträger eines Bauteilgehäuses montiert, so dass die rückseitige Kaverne 33 als Rückseitenvolumen druckdicht abgeschlossen ist. An dieser Stelle sei noch darauf hingewiesen, dass für die Mittel zur Signalauswertung und Ansteuerung der Aktorkomponente nicht zwangsläufig ein eigenes ASIC-Bauelement vorgesehen werden muss. Es ist auch möglich, entsprechende Schaltungsmittel in das MEMS-Bauelement des erfindungsgemäßen Bauteils zu integrieren.
  • In Verbindung mit 4 wird nachfolgend noch das erfindungsgemäße Verfahren zum rein elektrischen Prüfen bzw. Charakterisieren und Anpassen der Sensoreigenschaften eines Mikrofonbauteils mit einem Mikrofonbauelement, wie in den 2 oder 3 dargestellt, beschrieben. Für diese Funktionsprüfung wird das Bauteil in einem Testmodus betrieben. In einem ersten Schritt 41 wird die Kondensatoranordnung der Aktorkomponente angesteuert, indem eine definierte Testspannung Vtest angelegt wird. Dadurch wird die Aktormembran definiert ausgelenkt. Im nächsten Schritt 42 wird die Testspannung abgeschaltet, wodurch die Aktormembran freigegeben wird und eine Schwingung ausführt. Die so induzierten definierten Druckimpulse treffen auf die Mikrofonmembran und regen diese ebenfalls zu Schwingungen an. Diese Auslenkungen der Mikrofonmembran werden im Schritt 43 mit Hilfe des Mikrofonkondensators erfasst und entsprechend dem Testmodus ausgewertet. Da in dem so gewonnenen Messsignal alle Informationen über die akustischen Eigenschaften des gehäusten Mikrofonbauelements enthalten sind, kann dann in Schritt 44 eine geeignete Anpassung der elektrischen Sensorparameter, wie z.B. der Polarisationsspannung und der mechanischen Membranvorspannung, durchgeführt werden. Danach kann der Testvorgang wiederholt werden, um zu prüfen, ob die vorgenommenen Anpassungen der Sensorparameter sich wie gewünscht auf die akustischen Eigenschaften des Mikrofonbauelements ausgewirkt haben. In einem letzten Verfahrensschritt 45 wird das Bauteil schließlich noch aufgrund der ermittelten akustischen Eigenschaften als Gutteil oder als Schlechtteil deklariert.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 10154867 A1 [0004]

Claims (12)

  1. Bauteil (100) mit einem Gehäuse (101, 102), in dem mindestens – ein MEMS-Bauelement (10) mit einer druckempfindlichen Sensormembran (2) und mit Schaltungsmitteln zum Erfassen der Membranauslenkungen als Messsignale, – Mittel (11) zum Auswerten der Messsignale und – Mittel zum definierten Anregen der Sensormembran angeordnet sind, wobei das Gehäuse (101, 102) mindestens eine Druckanschlussöffnung (103) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zum Anregen der Sensormembran (2) mindestens eine gezielt ansteuerbare Aktorkomponente (12) zum Erzeugen von definierten Druckimpulsen umfassen, die auf die Sensormembran (2) einwirken.
  2. Bauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Aktorkomponente zumindest teilweise in die Bauelementstruktur des MEMS-Bauelements (20; 30) integriert ist.
  3. Bauteil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Aktorkomponente mindestens umfasst – eine Aktormembran (26; 36), die seitlich neben der Sensormembran (22, 32) ausgebildet ist, und – Schaltungsmittel zum Auslenken der Aktormembran (26; 36) unabhängig von der Sensormembran (22; 32).
  4. Bauteil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Aktormembran mit gezielt ansteuerbaren Piezoschichten ausgestattet ist.
  5. Bauteil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Aktormembran (26; 36) mit mindestens einer Elektrode eines gezielt ansteuerbaren Aktorkondensators ausgestattet ist, dass in der Bauelementstruktur des MEMS-Bauelements (20; 30) mindestens ein feststehendes Gegenelement (24; 34) über und/oder unter der Aktormembran (26; 36) ausgebildet ist und dass das Gegenelement (24; 34) mit mindestens einer Gegenelektrode des Aktorkondensators ausgestattet ist.
  6. Bauteil nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Aktormembran (26) ringförmig ausgebildet ist und konzentrisch zur Sensormembran (22) angeordnet ist.
  7. Bauteil (100) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Aktorkomponente (12) unabhängig von dem ersten MEMS-Bauelement (10) mit der Sensormembran (2) in einem weiteren Bauelement realisiert ist, insbesondere in einem weiteren MEMS-Bauelement.
  8. Drucksensorbauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 7.
  9. Mikrofonbauteil (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 7
  10. Verfahren zum Prüfen eines Bauteils mit einem Gehäuse, in dem mindestens – ein MEMS-Bauelement mit einer druckempfindlichen Sensormembran und mit Schaltungsmitteln zum Erfassen der Membranauslenkungen und – Mittel zum Auswerten der Membranauslenkungen angeordnet sind, wobei das Gehäuse mindestens eine Druckanschlussöffnung aufweist, insbesondere zum Kalibrieren eines Bauteils nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei dem – mit Hilfe einer zusätzlichen Aktorkomponente mindestens ein definierter Druckimpuls innerhalb des Gehäuses erzeugt wird und – die dadurch induzierten Auslenkungen der Sensormembran erfasst und ausgewertet werden.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, bei dem die elektrischen Sensorparameter des Bauteils, insbesondere die Polarisationsspannung und die mechanische Vorspannung der Sensormembran, in Abhängigkeit vom Auswerteergebnis angepasst werden.
  12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, bei dem das Bauteil in Abhängigkeit vom Auswerteergebnis als Gutteil oder als Schlechtteil deklariert wird.
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