DE102012203137A1

DE102012203137A1 - Method for determining the maximum of the mass peak in mass spectrometry

Info

Publication number: DE102012203137A1
Application number: DE102012203137A
Authority: DE
Inventors: Norbert Rolff
Original assignee: Inficon GmbH Deutschland
Current assignee: Inficon GmbH Deutschland
Priority date: 2012-02-29
Filing date: 2012-02-29
Publication date: 2013-08-29
Also published as: JP6263132B2; IN2014DN07155A; US20150014523A1; EP2820667A2; TW201341793A; EP2820667B1; US9147561B2; RU2633513C2; WO2013127933A3; CN104137222A; TWI589871B; CN104137222B; JP2015508898A; WO2013127933A2; RU2014138548A

Abstract

Ein schnelles Verfahren zur Bestimmung der Molekülmasse mit Hilfe der Massenspektrometrie weist die Schritte auf: Vorgabe eines ersten Einstellwerts (M1) des Massenspektrometers, Aufnehmen der zugehörigen Signalamplitude (A1), Vorgabe eines zweiten, von dem ersten verschiedenen Einstellwerts (M2), Messen der zugehörigen zweiten Signalamplitude (A2), Vorgabe eines dritten, von dem ersten (M1) und dem zweiten (M2) Einstellwert abweichenden Einstellwert (M3), Messen der zugehörigen dritten Signalamplitude (A3), Ermitteln einer die gemessenen Amplitudenwerte als y-Werte und die vorgegebenen Einstellwerte als x-Werte enthaltenden quadratischen Funktion, Bestimmen des Maximums der quadratischen Funktion, wobei der gesuchte Einstellwert aus dem x-Wert des Maximums ermittelt wird.A rapid method for determining the molecular mass by means of mass spectrometry comprises the steps of: specifying a first set value (M1) of the mass spectrometer, recording the associated signal amplitude (A1), specifying a second, different from the first set value (M2), measuring the associated second signal amplitude (A2), specification of a third setting value (M3) deviating from the first (M1) and the second (M2) setting value, measurement of the associated third signal amplitude (A3), determination of the measured amplitude values as y values and the predefined values Setting values as a quadratic function containing x values, determining the maximum of the quadratic function, wherein the desired set value is determined from the x value of the maximum.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung des Maximums des Massenpeaks der mit Hilfe der Massenspektrometrie gemessenen Molekülen.The invention relates to a method for determining the maximum of the mass peak of the molecules measured by means of mass spectrometry.

Massenspektrometer dienen zur Analyse von Gasen und finden insbesondere in Lecksuchgeräten Anwendung. Hierbei wird die zu untersuchende Substanz in der Gasphase durch Elektronen ionisiert und einem Analysator zugeführt. Bei Sektorfeldmassenspektrometern bestimmt die Anodenspannung den Einstellwert für die Massenlage. Zwischen einer Kathode und einer Anode wir ein elektrisches Feld erzeugt, welches die aus der Kathode austretenden Elektronen beschleunigt, die die vorhandenen Gasmoleküle ionisieren. Die geladenen Ionen werden durch das Anodenpotenzial beschleunigt und gelangen, wenn sie das Trennsystem passiert haben zum Fänger. Im Trennsystem befindet sich ein Magnetfeld, das die Ionen ablenkt. Die zu schweren Ionen werden durch das Magnetfeld zu gering abgelenkt, während die zu leichten Ionen zu stark abgelenkt werden. Nur die Ionen die im richtigen Massebereich liegen gelangen durch das Trennsystem hindurch. Das Anodenpotenzial bestimmt die Masse die durch das Trennsystem gelangt. Im Bereich einer Masse ergibt sich eine Signalamplitude, die vom genauen Anodenpotenzial abhängt, derart, dass die Signalamplitude bei etwas zu kleinem oder etwas zu großem Anodenpotenzial kleiner als das Maximum wird. Bei anderen Massenspektrometern z. B. Quadrupol-Massenspektrometer sind die Verhältnisse vergleichbar, wodurch das gleiche Verfahren anwendbar ist.Mass spectrometers are used for the analysis of gases and are used in particular in leak detectors. Here, the substance to be examined is ionized by electrons in the gas phase and fed to an analyzer. For sector field mass spectrometers, the anode voltage determines the setpoint for the mass position. Between a cathode and an anode, an electric field is generated which accelerates the electrons leaving the cathode, which ionize the gas molecules present. The charged ions are accelerated by the anode potential and, when they have passed the separation system, reach the catcher. The separation system contains a magnetic field that deflects the ions. The too heavy ions are deflected too small by the magnetic field, while the too light ions are too much distracted. Only the ions in the correct mass range pass through the separation system. The anode potential determines the mass that passes through the separation system. In the region of a mass results in a signal amplitude, which depends on the exact anode potential, such that the signal amplitude at a little too small or a little too large anode potential is less than the maximum. For other mass spectrometers z. B. quadrupole mass spectrometer, the ratios are comparable, whereby the same method is applicable.

Ein Abgleich ist erforderlich, damit man jeweils die größtmögliche Signalamplitude der jeweiligen Masse erhält. Um das Massenspektrometer auf das Massenmaximum abzugleichen, werden herkömmlicherweise Massenscans mit jeweils ca. 20–100 Messpunkten durchgeführt. Gewissermaßen wird also der Verlauf der Signalamplituden zu den zugehörigen Einstellwerten in engen Abständen gemessen. Nach einer Messung wird der maximale Amplitudenwert der Messung ermittelt und um diesen herum in engeren Abständen eine erneute Messung mit jeweils ca. 20–100 Messpunkten durchgeführt. Auf diese Weise wird in mehreren, aufeinander folgenden Messungen das Maximum des Amplitudenverlaufs ermittelt, bis die Auflösung der Messung von ausreichender Genauigkeit ist. Ein Scan ausreichender Auflösung ist auch möglich, nimmt allerdings viel Zeit in Anspruch. Der Einstellwert des maximalen Amplitudenwerts der letzten Messung wird anschließend als Einstellwert zur Identifikation der Molekülmasse verwendet. Aufgrund der Vielzahl der aufzunehmenden Messpunkte und der mehrfach nacheinander durchzuführenden Messungen sind die herkömmlichen Verfahren zur Bestimmung des Massenmaximums zeitaufwendig.An adjustment is required to obtain the maximum possible signal amplitude of the respective mass. In order to match the mass spectrometer to the mass maximum, mass scans with approximately 20-100 measuring points are conventionally carried out. In a sense, therefore, the course of the signal amplitudes to the associated setting values is measured at close intervals. After a measurement, the maximum amplitude value of the measurement is determined and a renewed measurement is carried out around it at intervals of approximately 20-100 measuring points. In this way, the maximum of the amplitude curve is determined in several successive measurements until the resolution of the measurement is of sufficient accuracy. A scan of sufficient resolution is also possible, but takes a lot of time. The set value of the maximum amplitude value of the last measurement is then used as a set value for molecular weight identification. Due to the large number of measurement points to be recorded and the measurements to be performed several times in succession, the conventional methods for determining the mass maximum are time-consuming.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein schnelleres Verfahren zur Bestimmung des Massenabgleichs für die Massenspektrometrie bereitzustellen.The invention has for its object to provide a faster method for determining the mass balance for mass spectrometry.

Das erfindungsgemäße Verfahren wird definiert durch die Merkmale von Anspruch 1.The method according to the invention is defined by the features of claim 1.

Demnach werden zu mindestens drei verschiedenen Einstellwerten bzw. Anodenspannungen die jeweiligen Signalwerte aufgenommen. Falls der erste oder der letzte Amplitudenwert maximal ist, wird die Messung für andere Einstellwerte solange wiederholt, bis eine gemessene Signalamplitude zwischen der ersten und der letzten gemessenen Signalamplitude maximal ist. Vor der Aufnahme eines jeden Messpunkts wird vorzugsweise gewartet, bis das Amplitudensignal eingeschwungen ist. Die gemessenen Amplitudenwerte und die zugehörigen Einstellwerte werden als Messpunkte gespeichert. Anschließend wird eine quadratische Funktion ermittelt, die die Messpunkte enthält. Das Maximum der quadratischen Funktion wird ermittelt und zur Bestimmung des Maximums der Einstellwerte zu der gewünschten Molekülmasse verwendet.Accordingly, the respective signal values are recorded for at least three different setting values or anode voltages. If the first or the last amplitude value is maximum, the measurement is repeated for other setting values until a measured signal amplitude between the first and the last measured signal amplitude is maximum. Before the recording of each measuring point, it is preferable to wait until the amplitude signal has settled. The measured amplitude values and the associated setting values are stored as measuring points. Subsequently, a quadratic function is determined, which contains the measuring points. The maximum of the quadratic function is determined and used to determine the maximum of the set values for the desired molecular weight.

Die Messung wird erfindungsgemäß mit mindestens drei verschiedenen Einstellwerten und mit nicht mehr als zehn Einstellwerten durchgeführt. Vorzugsweise werden bei einer Messung nur drei Messpunkte aufgenommen. Gegenüber den herkömmlichen Verfahren werden also deutlich weniger Messpunkte aufgenommen, wodurch die Messungen deutlich schneller sind. Zudem entfällt durch die Bestimmung des Maximums einer die Messpunkte enthaltenden quadratischen Funktion die Notwendigkeit von aufeinander folgenden Messungen, was ebenfalls zu einer schnelleren Bestimmung der Molekülmasse führt. Die Erfindung basiert auf dem Gedanken, aus nur wenigen Messwerten auf den tatsächlichen Verlauf des Messsignals zu schließen, ohne den Verlauf vollständig zu messen.The measurement is carried out according to the invention with at least three different setting values and with no more than ten setting values. Preferably, only three measurement points are recorded during a measurement. Compared to conventional methods, significantly fewer measuring points are recorded, which makes the measurements significantly faster. In addition, the determination of the maximum of a square function containing the measurement points eliminates the need for successive measurements, which also results in a faster determination of molecular weight. The invention is based on the idea to conclude from only a few measured values on the actual course of the measurement signal without completely measuring the course.

Die quadratische Funktion ist typischerweise eine Parabel des Typs y = ax² + bx + c. Hierbei sind die x-Werte die Massenachse, d. h. die vorgegebenen Einstellwerte, und die y-Werte die gemessenen Amplitudenwerte zu jedem Einstellwert. Die Konstanten a und b können nach Aufstellen eines Gleichungssystems für die Messpunkte bestimmt werden. Anschließend wird der x-Wert des Maximums der Funktion durch Bilden der ersten Ableitung der quadratischen Funktion ermittelt. Der dem Maximum entsprechende x-Wert ist der Einstellwert der gesuchten Molekülmasse.The quadratic function is typically a parabola of the type y = ax ² + bx + c. Here, the x-values are the mass axis, ie, the predetermined set values, and the y-values are the measured amplitude values for each set value. The constants a and b can be determined after establishing a system of equations for the measuring points. Subsequently, the x-value of the maximum of the function is determined by forming the first derivative of the quadratic function. The x value corresponding to the maximum is the set value of the molecular weight sought.

Falls der erste oder der letzte der aufgenommenen Amplitudenwerte maximal sein sollte, ist dies ein Hinweis darauf, dass das gesuchte Maximum nicht zwischen diesen beiden Messwerten liegt. Da die Amplitudenfunktion nicht exakt einer Parabel entspricht, empfiehlt es sich, die Messung für einen neuen Bereich von Einstellwerten zu wiederholen, wobei der erste Einstellwert dem letzten Einstellwert der jeweils vorherigen Messung entspricht. Auf diese Weise werden die Messungen solange wiederholt, bis sich ein maximaler Amplitudenmesswert zwischen dem jeweils ersten und dem jeweils letzten Einstellwert einer Messung einstellt. Bei richtiger Wahl der Einstellwerte ist normalerweise bereits bei der ersten Messung der mittlere Wert größer als die benachbarten Werte. Für die Messwerte dieser letzten Messung wird dann das Maximum nach dem oben beschriebenen Verfahren bestimmt.If the first or the last of the recorded amplitude values should be maximum, this is an indication that the searched maximum does not lie between these two measured values. Since the amplitude function does not exactly correspond to a parabola, it is advisable to repeat the measurement for a new range of setting values, the first setting value corresponding to the last setting value of the previous measurement. In this way, the measurements are repeated until a maximum amplitude measured value is established between the respective first and the last setting value of a measurement. If the setting values have been selected correctly, the average value is usually greater than the neighboring values already during the first measurement. For the measured values of this last measurement, the maximum is then determined according to the method described above.

Die Genauigkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens kann dadurch erhöht werden, dass, sobald ein maximaler Amplitudenwert zwischen dem ersten und dem letzten Einstellwert vorliegt, um diesen Amplitudenwert herum weitere Amplitudenwerte für näher beieinander liegende Einstellwerte aufgenommen werden. Das heißt also mit anderen Worten, dass die Abstände der Einstellwerte der wiederholten Messung zu dem Einstellwert des maximalen Amplitudenwerts geringer sind als bei der jeweils vorherigen Messung.The accuracy of the method according to the invention can be increased by the fact that, as soon as there is a maximum amplitude value between the first and the last setting value, further amplitude values for setting values located closer to one another are recorded around this amplitude value. In other words, in other words, the distances between the setting values of the repeated measurement and the setting value of the maximum amplitude value are smaller than in the respective previous measurement.

Im Folgenden wird anhand der Figur ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert. Die Figur zeigt eine graphische Darstellung der erfindungsgemäßen Messwerte.In the following an embodiment of the invention will be explained in more detail with reference to FIG. The figure shows a graphical representation of the measured values according to the invention.

Zunächst werden zu drei verschiedenen Einstellwerten M1, M2 und M3 die sich einstellenden Amplitudenwerte A1, A2 und A3 gemessen. Die gemessenen Amplitudenwerte A1, A2, A3 werden zusammen mit den zugehörigen Einstellwerten M1, M2, M3 als Koordinatenpaare (M1, A1), (M2, A2) und (M3, A3) gespeichert. Die Koordinatenpaare sind in der Figur als Punkte in einem Koordinatensystem aufgetragen. In diesem Koordinatensystem entspricht die x-Achse den Einstellwerten, d. h. der Massenachse M, und die y-Achse die zugehörige Amplitudenachse A.First, the self-adjusting amplitude values A1, A2 and A3 are measured at three different setting values M1, M2 and M3. The measured amplitude values A1, A2, A3 are stored together with the associated adjustment values M1, M2, M3 as coordinate pairs (M1, A1), (M2, A2) and (M3, A3). The coordinate pairs are plotted in the figure as points in a coordinate system. In this coordinate system, the x-axis corresponds to the setting values, i. H. the mass axis M, and the y-axis the associated amplitude axis A.

Die Figur zeigt, dass der Amplitudenwert A2 des mittleren Einstellwerts M2 größer ist als die Amplitudenwerte A1 und A3 des ersten Einstellwerts M1 und des letzten Einstellwerts M3. Dies bedeutet, dass sich das Maximum des gesuchten Verlaufs zwischen dem ersten Einstellwert M1 und dem dritten Einstellwert M3 befindet. Falls dies nicht der Fall sein sollte, müsste die Messung wiederholt werden, wobei der erste Einstellwert M1 einer nachfolgenden Messung der Einstellwert M3 der jeweils vorherigen Messung entspricht, um keinen Bereich auszulassen.The figure shows that the amplitude value A2 of the average set value M2 is larger than the amplitude values A1 and A3 of the first set value M1 and the last set value M3. This means that the maximum of the curve sought is between the first set value M1 and the third set value M3. If this is not the case, the measurement would have to be repeated, with the first set value M1 of a subsequent measurement corresponding to the set value M3 of the respective previous measurement in order to omit any range.

Nach Aufnahme der drei Messpunkte (M1, A1), (M2, A2), (M3, A3) wird eine Parabel gesucht, die diese Messpunkte enthält. Als Parabel wird hierbei die quadratische Funktion y = ax² + bx + c mit den mathematischen Konstanten a, b, c aufgestellt. Die x-Werte entsprechen den Einstellwerten, welches bei Sektorfeld-Massenspektrometern der Anodenspannung entspricht und die y-Werte den zugehörigen Amplitudenwerten. Sodann wird ein Gleichungssystem unter Verwendung der Messpunkte aufgestellt und nach den Konstanten a und b aufgelöst. Hierbei ergibt sich für b b = (((A1 – A3)/(M1² – M3²)) – ((A1 – A2)/(M1² – M2²)))/(((M1 – M3)/(M1² – M3²)) – ((M1 – M2)/(M1² – M2²))) sowie für die Konstante a a = (A1 – A2 – b(M1 – M2))/(M1² – M2²). After recording the three measuring points (M1, A1), (M2, A2), (M3, A3), a parabola is sought containing these measuring points. In this case, the quadratic function y = ax ² + bx + c with the mathematical constants a, b, c is set up as a parabola. The x values correspond to the setting values, which in the case of sector field mass spectrometers corresponds to the anode voltage and the y values correspond to the associated amplitude values. Then, a system of equations is set up using the measurement points and resolved according to the constants a and b. This results for b b = (((A1 - A3) / (M1 ² - M3 ² )) - ((A1 - A2) / (M1 ² - M2 ² ))) / (((M1 - M3) / (M1 ² - M3 ² )) - ((M1-M2) / (M1 ² - M2 ² ))) as well as for the constant a a = (A1-A2-b (M1-M2)) / (M1 ² -M2 ² ).

Anschließend wird zur Bestimmung der Position des Maximums die erste Ableitung y' = 2ax + b der quadratischen Funktion y aufgestellt und nach Einsetzen der berechneten Konstanten a, b nach x aufgelöst. x ergibt dann den Einstellwert Mmax, bei dem der Verlauf der Funktion maximal ist. Der Einstellwert des Maximums ist Mmax = –b/2a. Anhand dieses Einstellwerts wird die Amplitude des gesuchten Moleküls maximal.Subsequently, to determine the position of the maximum, the first derivative y '= 2ax + b of the quadratic function y is set up and, after inserting the calculated constants a, b, resolved to x. x then gives the set value Mmax at which the course of the function is maximum. The set value of the maximum is Mmax = -b / 2a. Based on this set value, the amplitude of the searched molecule becomes maximum.

Claims

Method of determining molecular mass by mass spectrometry, comprising the steps of: Predetermining a first set value (M1) of the mass spectrometer, Recording the associated signal amplitude (A1), Predetermining a second, different from the first set value (M2), Measuring the associated second signal amplitude (A2), Predetermining a third setting value (M3) deviating from the first (M1) and the second (M2) setting value, Measuring the associated third signal amplitude (A3), Determining a quadratic function containing the measured amplitude values as y values and the preset setting values as x values, Determining the maximum of the quadratic function, whereby the desired set value for the molecular mass is determined from the x-value of the maximum.

A method according to claim 1, characterized in that the quadratic function is a parabola of the type y = ax ² + bx + c whose x values correspond to the predetermined setting values and their y values correspond to the measured amplitude values and where a, b and c are mathematical constants.

A method according to claim 1 or 2, characterized in that amplitude values are measured at least three different setting values and not more than ten setting values.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that after the measurement of the three amplitude values (A1, A2, A3) and before the determination of the parabola it is checked whether the second amplitude value (A2) is greater than the first (A1) and the third amplitude value (A3), wherein the measurements are optionally repeated until the second amplitude value (A2) is greater than the first (A1) and the third amplitude value (A3) of a measurement.

A method according to claim 4, characterized in that the first set value (M1) of a repeated measurement corresponds to the third set value (M3) of the respective previous measurement.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the measurement of the first (A1) and third amplitude value (A3) is repeated with setting values (M1, M3) whose distance from the second set value (M2) is lower than in the respective previous one Measurement.

A method according to claim 6, characterized in that in the repetition of the measurement, the maximum found in the first measurement is used as the second set value (M2).

Method according to one of the preceding claims, characterized in that before each measurement of an amplitude value after the specification of the respective set value is first waited until the amplitude signal is settled.