DE102010004269B4

DE102010004269B4 - Gear pairing and gearbox, in particular eccentric gear, planetary gear or stress wave gear

Info

Publication number: DE102010004269B4
Application number: DE102010004269.2A
Authority: DE
Inventors: Dr. Degen Reinhard
Original assignee: Micromotion GmbH
Current assignee: Micromotion GmbH
Priority date: 2010-01-09
Filing date: 2010-01-09
Publication date: 2018-06-28
Anticipated expiration: 2030-01-10
Also published as: DE102010004269A1

Abstract

Verzahnungspaarung (100; 100') mit einem eine Verzahnung (1) aufweisenden Bauteil (2) und einem eine Gegenverzahnung (3) aufweisenden Bauteil (4), wobei der Zahnmodul von Verzahnung (1) und Gegenverzahnung (3) kleiner als 200 µm ist oder 200 µm entspricht, dadurch gekennzeichnet, dass die Verzahnung (1) und das die Verzahnung (1) aufweisende Bauteil (2) durch wenigstens zwei benachbarte Zahnräder (5.1, 5.2, 5.3, 5.4; 5.1', 5.2', 5.3') gleichen Zahnmoduls und gleicher Zähnezahl gebildet ist, die gemeinsam mit der Gegenverzahnung (3) kämmen.A toothing pairing (100, 100 ') having a component (2) having a toothing (1) and a component (4) having a counter-toothing (3), the toothed module of toothing (1) and counter-toothing (3) being smaller than 200 μm or 200 microns, characterized in that the toothing (1) and the toothing (1) having component (2) by at least two adjacent gears (5.1, 5.2, 5.3, 5.4, 5.1 ', 5.2', 5.3 ') are the same Tooth module and the same number of teeth is formed, which mesh with the counter-toothing (3).

Description

Die Erfindung betrifft eine Verzahnungspaarung mit einem eine Verzahnung aufweisenden Bauteil und einem eine Gegenverzahnung aufweisenden Bauteil nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Die Erfindung betrifft ferner ein Getriebe, insbesondere Exzentergetriebe, Umlaufrädergetriebe oder Spannungswellengetriebe, mit einer solchen Verzahnungspaarung.The invention relates to a gear pairing with a component having a toothing and a component having a counter-toothing according to the preamble of claim 1. The invention further relates to a gear, in particular eccentric gear, epicyclic gear or stress wave gear, with such a pair of teeth.

Technologischer Hintergrund und Stand der TechnikTechnological background and state of the art

Die Zähne einer Verzahnung der hier angesprochenen Art weisen üblicherweise Zahnflanken auf, welche über die Breite des Zahnes ballig ausgebildet sind. Durch eine solche nach außen gerichtete Wölbung der Zahnflanken wird vermieden, dass die Zahnflanken der Verzahnung an ihren Enden gegen die Zahnflanken einer mit der Verzahnung kämmenden Gegenverzahnung drücken und es somit zu einer Flächenpressung kommt. Dies ist im Bereich der Zahnflankenenden unerwünscht, da anderenfalls erhöhter Verschleiß die Folge wäre. Die tragende Fläche der Verzahnung, welche mit der Gegenverzahriung in Berührung tritt, ist üblicherweise dadurch viel geringer als die Verzahnung über die Zahnbreite tatsächlich tragen könnte. Dies wiederum hat jedoch den unerwünschten Effekt einer höheren Flächenpressung in der verbleibenden tragenden Fläche der Zahnflanken. Denn eine höhere Flächenpressung kann ein vorzeitiges Bauteilversagen begünstigen.The teeth of a toothing of the type discussed here usually have tooth flanks which are formed spherically over the width of the tooth. By such an outward curvature of the tooth flanks is avoided that the tooth flanks of the toothing press at their ends against the tooth flanks of a meshing with the toothing counter-toothing and thus it comes to a surface pressure. This is undesirable in the region of the tooth flank ends, since otherwise increased wear would result. The bearing surface of the toothing, which comes into contact with the Gegenverzahriung is usually characterized much less than the teeth over the tooth width could actually wear. However, this in turn has the undesirable effect of higher surface pressure in the remaining bearing surface of the tooth flanks. Because a higher surface pressure can promote premature component failure.

Auch bei Verzahnungspaarungen in Mikrobauweise ist nur ein Teil der Zahnflanke über die Breite des Zahnes gesehen, zur Übertragung einer Kraft von der Verzahnung auf die Gegenverzahnung wirksam. Insofern kommt es auch bei solchen Verzahnungspaarungen zu dem unerwünschten Effekt einer höheren Flächenpressung in der verbleibenden tragenden Fläche der Zahnflanken. Even with tooth pairings in micro construction only part of the tooth flank is seen across the width of the tooth, effective for transmitting a force from the toothing to the counter toothing. In this respect, even with such tooth pairings to the undesirable effect of a higher surface pressure in the remaining bearing surface of the tooth flanks.

Verursacht ist dies bei der Mikrobauweise durch das Herstellungsverfahren, welche üblicherweise ein fotolithografisches Verfahren ist. Bei der Fotolithografie erfolgt die Belichtung einer Urform, aus welcher das eine Verzahnung aufweisende Bauteil gebildet wird, von einer einzigen Seite aus. Aufgrund der teilweise absorbierenden Eigenschaften des Fotolacks verändert sich die im Fotolack abgelegte Dosis über die Lackdicke. Dadurch erfolgt die Vernetzung der Fotolackstruktur in Richtung der Eindringtiefe ungleichförmig, so dass mit zunehmender Breite der Zähne die Geometrie der Zahnflanken von der erforderlichen Geometrie immer stärker abweicht, um mit den Zahnflanken der Gegenverzahnung in Berührung treten zu können. Bei Verzahnungspaarungen in Mikrobauweise tritt daher kaum eine Verbesserung des maximal übertragbaren Drehmomentes mit zunehmender Baugröße der Verzahnungspaarung auf, da über die Breite des Zahnes gesehen, die tatsächlich tragende Fläche der Zahnflanken annähernd gleich bleibt.This is caused in the microstructure by the manufacturing process, which is usually a photolithographic process. In photolithography, the exposure of an original form from which the toothed component is formed takes place from a single side. Due to the partially absorbing properties of the photoresist, the dose deposited in the photoresist changes over the thickness of the varnish. As a result, the crosslinking of the photoresist structure in the direction of the penetration depth is nonuniform, so that with increasing width of the teeth, the geometry of the tooth flanks deviates more and more from the required geometry in order to be able to come into contact with the tooth flanks of the counter teeth. In the case of tooth pairings in microstructure, there is therefore hardly any improvement in the maximum transmittable torque with increasing size of the toothed pairing, since, viewed over the width of the tooth, the actually bearing surface of the tooth flanks remains approximately the same.

Aus DE 697 07 634 T2 ist ein Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen durch Mehrschicht-Strukturierung eines Fotolackes und damit hergestellte Mikrostrukturen bekannt. Beispielsweise ist mit dem Verfahren ein Zahnrad herstellbar, das von einem Ritzel überragt wird, wobei die Gesamtheit von einem Achsloch durchquert ist. Das Zahnrad und das Ritzel weisen unterschiedliche Zähnezahl und ein unterschiedliches Zahnmodul auf.Out DE 697 07 634 T2 is a method for producing microstructures by multilayer structuring of a photoresist and microstructures produced therewith known. For example, with the method, a gear can be produced, which is surmounted by a pinion, wherein the entirety of an axle hole is traversed. The gear and the pinion have different numbers of teeth and a different tooth module.

Aus DE 925 296 B ist ein Schichtzahnrad aus gestanzten, einzeln miteinander verklebten Metall-Lamellenscheiben bekannt. Das Schichtzahnrad zeichnet sich durch geringe Herstellkosten aus. Zum Ausgleich von Toleranzen ist vorgesehen, dass die Metall-Lamellenscheiben mit Zwischenlagen aus Kunstharz oder dergleichen versehen sind.Out DE 925 296 B is a layer gear of stamped, individually glued together metal disk discs known. The layer gear is characterized by low production costs. To compensate for tolerances is provided that the metal plate discs are provided with intermediate layers of synthetic resin or the like.

Aus DE 294 654 A ist ein Verfahren zur Herstellung eines nachgiebigen, aus einzelnen Lamellen bestehenden Zahnrades mit nicht senkrecht auf der Ebene der Lamellen stehenden Zähnen bekannt. Das Zahnrad zeichnet sich durch unter dem Zahndruck nachgebende Zähne aus.Out DE 294 654 A is a method for producing a resilient, consisting of individual disks gear known with not perpendicular to the plane of the slats teeth. The gear is characterized by under the tooth pressure yielding teeth.

Aus DE 191 570 A ist ein Zahnrad aus einer Anzahl ausgestanzter Stahlblechscheiben mit dazwischen gelagerten Lederscheiben bekannt. Die Lederscheiben haben die Aufgabe, die Geräuschlosigkeit des Ganges zu steigern. Insbesondere kann vorgesehen sein, dass die Zähne der Lederscheiben etwas größer sind als die Zähne der Stahlblechscheiben, sodass nach dem Zusammennieten der Scheiben ein Zahnrad gebildet wird, das an den Zähnen mit vorstehenden Lederkanten versehen ist.Out DE 191 570 A is a gear of a number of punched sheet steel discs with stored therebetween leather discs known. The leather discs have the task to increase the quietness of the aisle. In particular, it can be provided that the teeth of the leather discs are slightly larger than the teeth of the sheet steel discs, so that after the riveting of the discs, a gear is formed, which is provided on the teeth with protruding leather edges.

Die EP 2 259 997 B1 offenbart ein mikromechanisches Bauteil aus einem Silizium-Metall-Verbund sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Verbundes. Das Silizium-Metall-Verbund-Bauteil ist aus mehreren aufeinander abgeschiedenen Schichten aus Silizium und Metall aufgebaut. Das Herstellungsverfahren kombiniert unterschiedliche Mikrostrukturierverfahren, wie das LIGA-Verfahren und Ätzverfahren, wie das Deep-Reactive-Ion-Etching (DRIE).The EP 2 259 997 B1 discloses a micromechanical component made of a silicon-metal composite and a method for producing such a composite. The silicon-metal composite component is composed of a plurality of successively deposited layers of silicon and metal. The manufacturing process combines different microstructuring methods, such as the LIGA method and etching methods, such as Deep Reactive Ion Etching (DRIE).

Die US 2002/0096018 A1 offenbart ein drehbares Element, wie ein Zahnrad, welches mittels Oberflächenmikrobearbeitung hergestellt ist, wobei zur Herstellung der mikromechanischen Struktur mehrere Schichten aus Silizium und Opfermaterialien aufeinander abgeschieden und nachfolgend mittels eines selektiven Ätzmittels bearbeitet werden.The US 2002/0096018 A1 discloses a rotatable element such as a gear made by surface micromachining wherein, to form the micromechanical structure, multiple layers of silicon and sacrificial materials are deposited on each other and subsequently processed by means of a selective etchant.

Die gattungsgemäße US 2009/0019691 A1 offenbart ein mikroelektromechanisches System, welches mehrere Schichten von Teilen oder Baugruppen aus einfacheren Strukturen auf einem einzigen Substrat mittels CMOS-Technik herstellen soll. Das Ausführungsbeispiel offenbart ein zusammengesetztes Stirnrad mit einem Zahnrad und einem Ritzel, welches eine Getriebestufe in einem Stirnradgetriebe bildet. The generic US 2009/0019691 A1 discloses a microelectromechanical system which is intended to produce multiple layers of parts or assemblies of simpler structures on a single substrate by CMOS technology. The embodiment discloses a composite spur gear with a gear and a pinion, which forms a gear stage in a spur gear.

Der Artikel "Micro-rapid-prototyping via multi-layered photo-lithography", Springer-Verlag London Limited 2005, Int J Adv Manuf Technol (2006) 29: 1026-1032 , offenbart die Herstellung eines Mikrozahnrades durch Fotolithografie, wobei die fotolithografisch hergestellte Positivform durch Auftragen und Vernetzen mehrerer Schichten als ein monolithisch zusammenhängendes Gebilde hergestellt wird. Von der so hergestellten Urform wird in einem Folgeschritt Nickel oder Kupfer auf der Urform abgeschieden und so eine monolithische Negativform oder ein monolithisches Bauteil hergestellt.The item "Micro-rapid prototyping via multi-layered photo-lithography", Springer-Verlag London Limited 2005, Int J Adv. Manuf Technol (2006) 29: 1026-1032 discloses the production of a microgear by photolithography, wherein the photolithographically produced positive mold is prepared by applying and crosslinking several layers as a monolithic coherent structure. From the original mold thus produced, nickel or copper is deposited on the master mold in a subsequent step, thus producing a monolithic negative mold or a monolithic component.

Aufgabenstellungtask

Davon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Verzahnungspaarung bereitzustellen, welche die Übertragung von Kräften mit geringerer Flächenpressung als bisher ermöglicht. Ferner soll ein entsprechendes Getriebe vorgeschlagen werden.Based on this, the present invention seeks to provide a pair of teeth, which allows the transmission of forces with less surface pressure than before. Furthermore, a corresponding transmission to be proposed.

Erfindung und vorteilhafte WirkungenInvention and advantageous effects

Zur Lösung der Aufgabe wird eine Verzahnungspaarung vorgeschlagen, welche die in Anspruch 1 genannten Merkmale aufweist. Ferner wird ein Getriebe, insbesondere Exzentergetriebe, Umlaufrädergetriebe oder Spannungswellengetriebe, mit den Merkmalen des Anspruches 13 vorgeschlagen. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie der nachfolgenden Beschreibung.To solve the problem, a tooth pairing is proposed, which has the features mentioned in claim 1. Further, a transmission, in particular eccentric, epicyclic or stress wave transmission, proposed with the features of claim 13. Advantageous embodiments of the invention will become apparent from the dependent claims and the following description.

Die erfindungsgemäße Verzahnungspaarung weist wenigstens zwei Bauteile auf, von denen das eine Bauteil eine Verzahnung und das andere Bauteil eine Gegenverzahnung hat. Verzahnung und Gegenverzahnung sind dazu ausgebildet, miteinander zu kämmen. Im montierten Zustand der Bauteile, beispielsweise in einem Getriebe, sind Verzahnung und Gegenverzahnung miteinander im Kämmeingriff. Als Bauteile der Verzahnungspaarung sind zwei Zahnräder denkbar. Auch können die Bauteile durch ein Zahnrad und eine Zahnstange gebildet sein.The toothed pairing according to the invention has at least two components, of which one component has a toothing and the other component has a counter-toothing. Teeth and counter teeth are designed to mesh with each other. In the assembled state of the components, for example in a transmission, teeth and counter teeth are in mesh with each other. As components of the gear pairing two gears are conceivable. Also, the components may be formed by a gear and a rack.

Erfindungsgemäß ist es vorgesehen, dass das die Verzahnung aufweisende Bauteil durch wenigstens zwei Zahnräder gleichen Moduls und gleicher Zähnezahl gebildet ist. Anstelle der bisher durch ein einzigen Bauteil gebildeten Verzahnung, welche mit der Gegenverzahnung kämmt, ist somit erfindungsgemäß die Verzahnung durch mehrere Bauteile realisiert, welche in der Summe im Wesentlichen die gleiche Zahnbreite als das bisherige eine einzige Bauteil aufweisen.According to the invention, it is provided that the component having the toothing is formed by at least two toothed wheels of the same module and the same number of teeth. Instead of the previously formed by a single component toothing, which meshes with the counter-toothing, the toothing is thus realized according to the invention by a plurality of components, which in sum have substantially the same tooth width as the previous one single component.

Durch diese Maßnahme ist der wirksame Tragbereich der Verzahnung über die Breite der Zähne vergrößert. Folglich kommt es bei der Übertragung von Kräften zu einer geringeren Flächenpressung als bisher. Insofern lassen sich dadurch hohe mechanische Spannungen in der Verzahnungspaarung vermeiden. Die erfindungsgemäße Maßnahme ist daher verschleißmindernd und trägt wesentlich zu einer Erhöhung der Lebensdauer der Verzahnungspaarung bei. Im Sinne der Erfindung ist unter dem Modul bzw. Zahnmodul der Quotient aus dem Teilkreisdurchmesser des Zahnrades und der Zähnezahl zu verstehen, wobei der Modul auch durch den Quotienten aus der Teilung des Zahnrades und der Kreiszahl π ermittelt werden kann.By this measure, the effective support area of the toothing is increased over the width of the teeth. Consequently, it comes in the transmission of forces to a lower surface pressure than before. In this respect, high mechanical stresses in the toothed pairing can be avoided as a result. The inventive measure is therefore wear-reducing and contributes significantly to an increase in the life of the gear pairing. For the purposes of the invention, the quotient of the pitch circle diameter of the toothed wheel and the number of teeth is to be understood by the module or tooth module, wherein the modulus can also be determined by the quotient of the pitch of the toothed wheel and the circle number π.

Nach der Erfindung ist es vorgesehen, dass die Zahnräder gemeinsam mit der Gegenverzahnung des anderen Bauteiles kämmen bzw. zum Kämmen mit dem anderen Bauteil ausgebildet sind. Es bietet sich dabei an, dass die Zahnräder in Richtung ihrer Drehachse gesehen, zueinander im Wesentlichen fluchtend angeordnet sind und vorzugsweise koaxial bezüglich einer gemeinsamen Drehachse liegen.According to the invention, it is provided that the gears mesh together with the counter-toothing of the other component or are formed for combing with the other component. It is advisable that the gears are seen in the direction of their axis of rotation, arranged substantially in alignment with each other and are preferably coaxial with respect to a common axis of rotation.

Es bietet sich ferner an, dass die gemeinsame Drehachse im Zentrum der Zahnräder liegt. Es kann selbstverständlich auch sein, dass die Zahnräder um eine gemeinsame Drehachse drehen, welche exzentrisch bezüglich des Zentrums der Zahnräder angeordnet ist.It also makes sense that the common axis of rotation is located in the center of the gears. It may of course also be that the gears rotate about a common axis of rotation which is arranged eccentrically with respect to the center of the gears.

Nach einer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorgesehen, dass die Zahnräder im Wesentlichen gleiche Breite bzw. Zahnbreite aufweisen. Dadurch ist eine gleichmäßige Verteilung der bei der Kraftübertragung auftretenden Flächenpressung auf die einzelnen Zahnräder gegeben, so dass eine erhöhte Belastung einzelner Zahnräder gegenüber den anderen Zahnrädern vermieden werden kann. Ferner ist es dadurch möglich, bei der Realisierung der erfindungsgemäßen Verzahnungspaarung auf die gleichen Zahnräder zurückgreifen zu können. Eine Bevorratung mehrerer Zahnräder mit unterschiedlicher Breite kann dadurch vermieden werden.According to one embodiment of the invention, it is provided that the gears have substantially the same width or tooth width. As a result, a uniform distribution of the surface pressure occurring in the transmission of force is given to the individual gears, so that an increased load of individual gears compared to the other gears can be avoided. Furthermore, it is thereby possible to be able to resort to the same gears in the realization of the toothing pairing according to the invention. A storage of several gears with different width can be avoided.

In die gleiche Richtung zielt die Maßnahme einer Ausgestaltung der Erfindung, wonach die Zahnräder einander gleichartig sind. Die Verzahnungspaarung ist dadurch zudem besonders einfach und kostengünstig realisierbar.In the same direction, the measure of an embodiment of the invention, according to which the gears are similar to each other. The gear pairing is thereby also particularly simple and inexpensive to implement.

Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist es vorgesehen, dass die Zahnräder zueinander drehfest sind. Es kann dadurch ein Klappern der Zahnräder aufgrund einer Relativbewegung der Zahnräder zueinander vermieden werden. According to a further embodiment of the invention, it is provided that the gears are rotationally fixed to each other. It can thereby be avoided rattling of the gears due to a relative movement of the gears to each other.

Die Zahnräder können dazu mit einer gemeinsamen Welle drehfest verbunden sein.The gears can be rotatably connected to a common shaft.

Alternativ oder ergänzend kann es vorgesehen sein, dass die Zahnräder auf einer gemeinsamen Welle drehbar gelagert sind. In diesem Fall können die Zahnräder zueinander drehfest sein, indem die Zahnräder stoffschlüssig, formschlüssig und/oder kraftschlüssig miteinander verbunden sind.Alternatively or additionally, it may be provided that the gears are rotatably mounted on a common shaft. In this case, the gears can be non-rotatable to each other by the gears are cohesively, positively and / or non-positively connected to each other.

Es können die Zahnräder auf einer gemeinsamen Welle angeordnet sein, indem beispielsweise die Zahnräder auf ein gemeinsames Lager, insbesondere Wälzlager oder Gleitlager, in Wirkkontakt gebracht sind, insbesondere aufgeschrumpft oder aufgepresst vorliegen.It can be arranged on a common shaft, the gears, for example, by the gears are brought into operative contact on a common bearing, in particular rolling bearings or plain bearings, in particular shrunk or pressed present.

Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist es vorgesehen, dass in axialer Richtung die Zahnräder zueinander beabstandet sind. Es ist dadurch zwischen den Getrieberädern ein Spalt gebildet. Der Spalt kann zur Bevorratung von Schmierstoff eingesetzt werden. Dies ermöglicht eine Reduzierung der Planschverluste im Bereich der Verzahnungen, da beim gegenseitigen Eingreifen der Zähne von Verzahnung und Gegenverzahnung der in den Spalten befindliche Schmierstoff über kurze Wege zwischen die Zähne bzw. in die Zahnlücken gedrückt werden kann. Der bisherige lange Fließweg des Schmierstoffes über die komplette Zahnbreite wird vermieden. Unter Planschverlust ist die Verlustarbeit zu verstehen, die das Getriebe verrichten muss, um den Schmierstoff aus den Zahnzwischenräumen beziehungsweise dem Kontaktbereich zu drücken.According to a further embodiment of the invention, it is provided that in the axial direction, the gears are spaced from each other. It is characterized formed a gap between the gears. The gap can be used to store lubricant. This allows a reduction of churning losses in the area of the toothings, since the mutual engagement of the teeth of toothing and counter toothing of the lubricant in the gaps can be pressed over short distances between the teeth or in the tooth gaps. The previous long flow path of the lubricant over the entire tooth width is avoided. Planing loss is understood to mean the loss work which the transmission must perform in order to push the lubricant out of the spaces between the teeth or the contact area.

Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist es vorgesehen, dass zwischen benachbarten Zahnrädern ein Distanzelement angeordnet ist. Es ist dadurch möglich, die Zahnräder in axialer Richtung auf einen vorgegebenen Abstand zueinander festzulegen. Ein solches Distanzelement kann beispielsweise scheibenförmig ausgebildet sein.According to an advantageous embodiment of the invention, it is provided that a spacer element is arranged between adjacent gears. It is thereby possible to fix the gears in the axial direction to a predetermined distance from each other. Such a spacer element may for example be disc-shaped.

Es bietet sich dabei an, dass der Außendurchmesser des Distanzelementes kleiner als der Fußkreisdurchmesser der Zahnräder ist. Durch die Differenz der Durchmesser zwischen dem Distanzelement und den Zahnrädern ist in dem radial außen liegenden Bereich ein Hohlraum bzw. Zwischenraum gebildet, welcher zur Bevorratung für Schmierstoff dienen kann. Zugleich können die Zahnräder mittels des Distanzelementes in axialer Richtung in einen vorgegebenen Abstandes zueinander gebracht werden.It is advisable that the outer diameter of the spacer element is smaller than the Fußkreisdurchmesser the gears. Due to the difference in the diameter between the spacer element and the gears, a cavity or gap is formed in the radially outer region, which can serve for storage for lubricant. At the same time, the gears can be brought by means of the spacer element in the axial direction in a predetermined distance from each other.

Nach einer alternativen Ausgestaltung der Erfindung kann es vorgesehen sein, dass der Außendurchmesser des Distanzelementes größer als der Fußkreisdurchmesser der Zähnräder ist. Dadurch können sich die Zähne der Zahnräder in axialer Richtung gegenüber dem Distanzelement abstützen. Insofern wirkt das Distanzelement auch als Verstärkungselement gegen eine Verformung der Zähne in axialer Richtung.According to an alternative embodiment of the invention, it may be provided that the outer diameter of the spacer element is greater than the root diameter of the toothed wheels. As a result, the teeth of the gears can be supported in the axial direction relative to the spacer element. In this respect, the spacer element also acts as a reinforcing element against deformation of the teeth in the axial direction.

Bevorzugt sollte sich dazu der Außendurchmesser des Distanzelementes bis in den Bereich der Verzahnung der Getrieberäder erstrecken.Preferably, the outer diameter of the spacer element should extend to the region of the toothing of the gear wheels.

Selbstverständlich ist es auch denkbar, dass der Außendurchmesser des Distanzelementes dem Fußkreisdurchmesser der Zahnräder im Wesentlichen entspricht.Of course, it is also conceivable that the outer diameter of the spacer element corresponds to the Fußkreisdurchmesser the gears substantially.

Das Distanzelement kann kreisrund ausgebildet sein. Auch ist eine ovale, elliptische oder unrunde Form denkbar.The spacer element may be circular. Also, an oval, elliptical or non-circular shape is conceivable.

Es bietet sich an, dass das Distanzelement eine Verzahnung aufweist. Sofern das Distanzelement sich bis in die Verzahnung der Getrieberäder erstreckt, kann durch die Verzahnung des Distanzelementes ein störungsfreier Eingriff von Verzahnung und Gegenverzahnung der Verzahnungspaarung gewährleistet werden, indem die Verzahnung des Distanzelementes die Zähne der Verzahnung bzw. Gegenverzahnung nicht überragt. Indem in diesem Fall das Distanzelement in seiner radialen Erstreckung kleiner dimensioniert ist als die Zahnräder ist vermieden, dass es zu einer Flächenpressung zwischen dem Distanzelement und der Gegenverzahnung kommt. Gleichzeitig kann genügend Raum zur Bevorratung von Schmierstoffen zur Verfügung gestellt werden.It is advisable that the spacer element has a toothing. If the spacer element extends into the toothing of the gear wheels, a trouble-free engagement of teeth and counter teeth of the teeth pairing can be ensured by the toothing of the spacer element by the teeth of the spacer element does not exceed the teeth of the toothing or counter teeth. By in this case the spacer element is dimensioned smaller in its radial extent than the gears is avoided that there is a surface pressure between the spacer element and the counter-toothing. At the same time, enough space can be provided for the storage of lubricants.

Bevorzugt sollte im Querschnitt gesehen, die Kontur der Verzahnung des Distanzelementes von der Kontur der Verzahnung der Zahnräder überdeckt sein. Die Verzahnung des Distanzelementes sollte also innerhalb der Verzahnung der Zahnräder liegen.Preferably, the contour of the toothing of the spacer element should be covered by the contour of the toothing of the gears in cross-section. The toothing of the spacer element should therefore lie within the toothing of the gears.

Es bietet sich an, dass sich die Zahnräder gegen das zwischen liegende Distanzelement abstützen. Dadurch sind die Zahnräder in axialer Richtung in ihrem Abstand zueinander auf einfache Weise festlegbar.It is advisable that the gears are supported against the intermediate spacer element. As a result, the gears in the axial direction in their distance from each other in a simple manner can be fixed.

Es ist denkbar, dass das Distanzelement zwischen den Zahnrädern lose angeordnet ist. Auch kann das Distanzelement drehfest mit wenigstens einem der Zahnräder oder einer gemeinsamen Welle der Zahnräder drehfest verbunden sein. Erfindungsgemäß ist es vorgesehen, dass der Zahnmodul von Verzahnung und Gegenverzahnung kleiner als 200 µm ist oder im Wesentlichen 200 µm entspricht. Bauteile mit einer derartigen Verzahnungspaarung werden üblicherweise als sogenannte Mikrobauteile bezeichnet. Insofern ist die erfindungsgemäße Verzahnungspaarung auch für den Einsatz bei Mikrobauteilen geeignet.It is conceivable that the spacer element between the gears is arranged loosely. Also, the spacer element rotatably connected to at least one of the gears or a common shaft of the gears rotatably connected. According to the invention, it is provided that the tooth module of toothing and counter toothing is smaller than 200 μm or substantially equal to 200 μm. Components with such a tooth pairing are commonly referred to as so-called microcomponents. In this respect, the inventive toothing pairing is also suitable for use in microcomponents.

Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist es vorgesehen, dass Verzahnung und Gegenverzahnung an fotolithografisch erzeugten Bauteilen gebildet sind. Hierdurch ist eine einfache Herstellung möglich, insbesondere wenn es sich bei der Verzahnungspaarung um eine Mikro-Verzahnungspaarung handelt. Bevorzugt sollte der fotolithografische Schritt mit einer Galvanoformung ergänzt sein.According to a further embodiment of the invention, it is provided that toothing and counter toothing are formed on photolithographically produced components. As a result, a simple production is possible, in particular when the pairing of teeth is a micro-toothed pairing. Preferably, the photolithographic step should be supplemented with an electroforming.

Bei der Herstellung der Verzahnungspaarung können die fotolithografisch erzeugten Bauteile mit der Verzahnung oder Gegenverzahnung galvanogeformt und mechanisch abgeformt sein.In the production of the toothed pairing, the photolithographically produced components can be electroformed with the toothing or counter toothing and mechanically shaped.

Die Erfindung umfasst weiterhin ein Getriebe, insbesondere Exzentergetriebe, Umlaufrädergetriebe oder Spannungswellengetriebe, welches eine Verzahnungspaarung der vorstehend beschriebenen Art aufweist. Es ist denkbar, dass ein solches Getriebe als Mikrogetriebe ausgebildet ist.The invention further comprises a gear, in particular eccentric gear, epicyclic gear or stress wave gear, which has a gear pairing of the type described above. It is conceivable that such a transmission is designed as a microgear.

Ausführungsbeispieleembodiments

Weitere Ziele, Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung mehrerer Ausführungsbeispiele anhand der Zeichnungen. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger sinnvoller Kombination den Gegenstand der vorliegenden Erfindung, auch unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.Other objects, advantages, features and applications of the present invention will become apparent from the following description of several embodiments with reference to the drawings. All described and / or illustrated features alone or in any meaningful combination form the subject matter of the present invention, also independent of their summary in the claims or their dependency.

Figurenlistelist of figures

1 a gear in front view,
2 the profile of the tooth flank of a first known pair of teeth in a sectional view along the section line AA according to the 1 .
3 the profile of the tooth flank of a second known tooth pairing in a sectional view along the section line AA according to the 1 .
4 a possible embodiment of a toothed pairing according to the invention in front view.
5 the profile of the tooth flank of a possible embodiment of a tooth pairing according to the invention in a sectional view along the section line AA according to the 4 .
6 a further embodiment of the toothing pairing according to the invention, shown using the example of a gear shown in cross-section of the toothing pairing, and
7 the profile of the tooth flank of the gear according to the 6 in section along the section line AA according to the 6 ,

Die 1 zeigt - in schematischer Darstellung - eine Verzahnungspaarung 200 mit einem um eine Drehachse 260 drehbaren Zahnrad 210 in Vorderansicht, wie es aus dem Stand der Technik bekannt ist. Das Zahnrad 210 weist eine Verzahnung 220 auf, welche durch eine Vielzahl über den Außenumfang verteilt angeordneter Zähne 230 gebildet ist. Die Zähne 230 sind jeweils charakterisierbar durch deren Dicke D, Höhe H und Breite B. Im Zuge der vorliegenden Patentanmeldung wird unter der Zahndicke bzw. Dicke D die räumliche Ausdehnung der Zähne 230 in Umfangsrichtung des Zahnrades 210 und unter der Zahnhöhe bzw. Höhe H die räumliche Ausdehnung der Zähne 230 in radialer Richtung des Zahnrades 210 verstanden. Die Zähne 230 beginnen in ihrer räumlichen Ausdehnung in radialer Richtung im Wesentlichen ab dem Zahngrund 240 und enden am radialen Ende ihres Zahnkopfes 250.The 1 shows - in a schematic representation - a gear pairing 200 with one around a rotation axis 260 rotatable gear 210 in front view, as it is known from the prior art. The gear 210 has a toothing 220, which by a plurality distributed over the outer circumference arranged teeth 230 is formed. The teeth 230 are each characterized by their thickness D , Height H and width B , In the course of the present patent application is under the tooth thickness or thickness D the spatial extent of the teeth 230 in the circumferential direction of the gear 210 and below the tooth height or height H the spatial extent of the teeth 230 in the radial direction of the gear 210 Understood. The teeth 230 begin in their spatial extent in the radial direction substantially from the tooth base 240 and end at the radial end of its tooth tip 250 ,

In der 2 ist ein Teil des sich über die Zahnbreite B erstreckenden Profils der Zahnflanke 270 eines der Zähne 230 im Schnitt entlang der Schnittlinie A-A gemäß der 1 dargestellt. Das Profil der Zahnflanke 270 ist dort am Beispiel der durch den Schnitt entlang der Schnittlinie A-A erzeugten Kante K ersichtlich.In the 2 is part of the tooth width B extending profile of the tooth flank 270 one of the teeth 230 in section along the section line AA according to the 1 shown. The profile of the tooth flank 270 There is the example of the edge generated by the section along the section line AA K seen.

Wie der Verlauf der Kante K über die Zahnbreite B zeigt, weist die Zahnflanke 270 des bekannten Zahnrades 210 gemäß 1 ein balliges bzw. ein nach außen gewölbtes Profil auf. Aufgrund dieser Balligkeit gelangt die Verzahnung 220 des Zahnrades 210 bei einem Kämmeingriff mit einer Gegenverzahnung 290 eines anderen Zahnrades 300, über die Zahnbreite B gesehen, nur mit einem Teil mit der Gegenverzahnung 290 in Berührung. In 2 ist der mit dem Zahn 230 korrespondierende Zahn 280 der Gegenverzahnung 290 beispielhaft mittels gestrichelter Linien dargestellt. Dabei ist das Profil der Zahnflanke des Zahnes 280 idealisiert dargestellt, welches anhand der gerade gezeichneten Gegenkante K” verdeutlicht ist. In der Praxis weisen auch die Zähne 280 der bekannten Gegenverzahnung 290 Zahnflanken auf, welche über die Zahnbreite B ballig ausgebildet sind. Durch die Balligkeit kommen bei einer Übertragung einer Kraft von der Verzahnung 220 auf die Gegenverzahnung 290 die Zahnflanken von Verzahnung 220 und Gegenverzahnung 290 über die Zahnbreite B gesehen, nur teilweise in Berührung. Wie die 1 zeigt, treten die Zähne 230 und 280 von Verzahnung 220 und Gegenverzahnung 290 dabei über die Zahnbreite B gesehen, an ihren Enden nicht in Berührungskontakt. Dies ist üblicherweise ein gewünschter Effekt, um einen unerwünscht hohen Verschleiß aufgrund hoher Flächenpressung an diesen Endbereichen der Zähne 230 bzw. 280 zu vermeiden. Demgegenüber führt diese verringerte Berührungsfläche der Zähne zu einer erhöhten Flächenpressung bei dem in Berührung tretenden Flächenabschnitt der Zähne 230 bzw. 280 von Verzahnung 220 und Gegenverzahnung 290.Like the course of the edge K over the tooth width B shows, points the tooth flank 270 the known gear 210 according to 1 a convex or an outwardly curved profile. Due to this crowning the gearing comes 220 of the gear 210 in a meshing engagement with a counter-toothing 290 another gear 300 , about the tooth width B seen, only with a part with the counter teeth 290 in touch. In 2 is the one with the tooth 230 corresponding tooth 280 the counter teeth 290 exemplified by dashed lines. Here is the profile of the tooth flank of the tooth 280 illustrated idealized, which is illustrated by the just drawn opposite edge K ". In practice, the teeth also point 280 the known counter-toothing 290 Tooth flanks, which over the tooth width B are formed spherical. Due to the crowning come with a transmission of a force from the teeth 220 on the counter teeth 290 the tooth flanks of gearing 220 and counter teeth 290 over the tooth width B seen, only partially in contact. As the 1 shows, the teeth kick 230 and 280 of toothing 220 and counter teeth 290 over the tooth width B seen, at their ends not in touch contact. This is usually a desired effect to undesirably high wear due to high surface pressure at these end portions of the teeth 230 respectively. 280 to avoid. In contrast, this reduced contact surface of the teeth leads to increased surface pressure in the contacting surface portion of the teeth 230 respectively. 280 of toothing 220 and counter teeth 290 ,

Sofern es sich bei der Verzahnungspaarung um Mikrobauteile handelt, ist das Profil der Zahnflanken über die Zahnbreite gesehen, ebenfalls - wie bei den 1 und 2 - nicht gleichförmig ausgebildet. Das Profil der Zahnflanke einer Verzahnungspaarung 200' in Mikrobauweise ist beispielhaft und schematisch in 3 dargestellt. 3 ist ein Schnitt entlang der Schnittlinie A-A gemäß der 1. Zum besseren Verständnis sind in 3 ebenfalls die Bezugszeichen der 1 und 2 zugeordnet, welche funktionsgleich mit den Bauteilen gemäß der Ausführung von 3 sind. Am Beispiel der Kante K’, welche durch den Schnitt entlang der Schnittlinie A-A gemäß 1 erzeugt ist, wird sichtbar, dass auch bei der Verzahnungspaarung 220' in Mikrobauweise die Zahnflanke nur zum Teil zur Übertragung der Kräfte genutzt werden kann. Die wirksame Breite der Zähne 230, welche mit der Gegenverzahnung 290 in Berührung tritt, entspricht lediglich einem Teil der gesamten Zahnbreite B. Dadurch kommt es zu einer hohen Flächenpressung in dem in Wirkkontakt tretenden Bereich der Zähne 230.Insofar as the pairing of teeth is microcomponents, the profile of the tooth flanks is seen over the tooth width, likewise - as with the 1 and 2 - Not uniform. The profile of the tooth flank of a toothed pairing 200 ' in micro construction is exemplary and schematic in 3 shown. 3 is a section along the section line AA according to the 1 , For better understanding are in 3 also the reference numerals of 1 and 2 assigned, which functionally identical to the components according to the execution of 3 are. Using the example of the edge K ', which by the section along the section line AA according to 1 is generated, it is visible that even with the teeth pair 220 'in micro construction, the tooth flank can be used only partially for transmitting the forces. The effective width of the teeth 230 , which with the counter-toothing 290 comes into contact, corresponds to only a part of the total tooth width B , This leads to a high surface pressure in the area of the teeth that comes into operative contact 230 ,

Die 4 zeigt - in schematischer Darstellung - eine mögliche Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Verzahnungspaarung 100. Die 5 zeigt das Profil eines der Zähne 8 der Verzahnungspaarung 100 im Bereich ihrer Zahnflanken 9 entlang der Schnittlinie A-A gemäß der 4. Bauteile der erfindungsgemäßen Verzahnungspaarung 100 gemäß der 4 und 5, welche mit Bauteilen der bekannten Verzahnungspaarungen 200, 200' gemäß der 1 bis 3 identisch oder funktionsgleich sind, sind mit gleichen Bezugszeichen versehen; insofern wird auf die Beschreibung zu den 1 bis 3 verwiesen.The 4 shows - in a schematic representation - a possible embodiment of a toothing pairing according to the invention 100 , The 5 shows the profile of one of the teeth 8th the toothing pairing 100 in the area of their tooth flanks 9 along the section line AA according to the 4 , Components of the toothing pairing according to the invention 100 according to the 4 and 5 , which with components of the known gearing pairings 200 . 200 ' according to the 1 to 3 are identical or functionally identical, are provided with the same reference numerals; in this respect, the description of the 1 to 3 directed.

Die erfindungsgemäße Verzahnungspaarung 100 hat ein eine Verzahnung 1 aufweisendes Bauteil 2 und ein eine Gegenverzahnung 3 aufweisendes Bauteil 4. Bevorzugt sind die Bauteile 2, 4 als Zahnräder ausgebildet, wobei auch eine Kombination bestehend aus Zahnrad und Zahnstange denkbar ist.The toothing pairing according to the invention 100 has a gearing 1 having component 2 and a counter-toothing 3 having component 4 , The components are preferred 2 . 4 designed as gears, with a combination consisting of gear and rack is conceivable.

Bei der erfindungsgemäßen Verzahnungspaarung 100 ist es vorgesehen, dass die Verzahnung 1, welche mit der Gegenverzahnung 3 in Wirkkontakt tritt, durch wenigstens zwei, insbesondere vier Zahnräder 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 gleichen Zahnmoduls und gleicher Zähnezahl gebildet ist. Dadurch ist bei einer Gesamtbreite B, welche durch die Summe der Einzelbreiten b der Zahnräder 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 resultiert und der Breite B gemäß der 3 im Wesentlichen entspricht, durch die erfindungsgemäße Aufteilung der Verzahnung 1 auf die mehreren Zahnräder 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 die mit der Gegenverzahnung 4 in Berührung tretende Fläche über die Gesamtzahnbreite B vergrößert. Dadurch verringert sich die Bauteilbelastung, da die Flächenpressung lokal reduziert ist.In the gear pairing according to the invention 100 it is envisaged that the gearing 1 , which with the counter-toothing 3 comes into operative contact, by at least two, in particular four gears 5.1 . 5.2 . 5.3 . 5.4 same tooth module and the same number of teeth is formed. This is at a total width B , which is the sum of the individual widths b the gears 5.1 , 5.2, 5.3, 5.4 results and the width B according to the 3 essentially corresponds, by the inventive division of the teeth 1 on the several gears 5.1 . 5.2 . 5.3 . 5.4 with the counter teeth 4 in contact surface over the total tooth width B increased. This reduces the component load as the surface pressure is reduced locally.

Bevorzugt weisen die Zahnräder 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 im Wesentlichen zueinander gleiche Zahnbreiten b auf. Bevorzugt sind die Zahnräder 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 zueinander gleichartig ausgebildet, insbesondere zueinander im Wesentlichen deckungsgleich. Bevorzugt sind die Zahnräder 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 zueinander in Richtung ihrer gemeinsamen Drehachse 260 im Wesentlichen fluchtend angeordnet, so dass die Zahnräder 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 gemeinsam mit der Gegenverzahnung 4 kämmen können. Die Zahnräder 5.1, 5.2, 5.3, 5.4 können dabei zueinander drehfest oder relativ zueinander verdrehbar angeordnet sein.Preferably, the gears 5.1 . 5.2 . 5.3 . 5.4 substantially equal tooth widths b on. The gears are preferred 5.1 . 5.2 . 5.3 . 5.4 formed similar to each other, in particular to each other substantially congruent. The gears are preferred 5.1 . 5.2 . 5.3 . 5.4 towards each other in the direction of their common axis of rotation 260 arranged substantially flush, so that the gears 5.1 . 5.2 . 5.3 . 5.4 together with the counter teeth 4 can comb. The gears 5.1 . 5.2 . 5.3 . 5.4 can be rotatably or mutually rotatable relative to each other.

6 zeigt eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Verzahnungspaarung 100' in Querschnittsdarstellung. Bauteile der Verzahnungspaarung 100' gemäß der 6, welche mit den Bauteilen der Verzahnungspaarung 200, 200' gemäß der 1 bis 3 und der Verzahnungspaarung 100 gemäß der 4 und 5 identisch oder funktionsgleich sind, sind mit gleichen Bezugszeichen versehen; insofern wird auf die Beschreibung zu den 1 bis 5 verwiesen. 6 shows a further embodiment of a toothed pairing according to the invention 100 ' in cross-section. Components of the toothed pairing 100 ' according to the 6 , which with the components of the toothed pairing 200 . 200 ' according to the 1 to 3 and the gear pairing 100 according to the 4 and 5 are identical or functionally identical, are provided with the same reference numerals; in this respect, the description of the 1 to 5 directed.

In 7 ist das Profil der Zahnflanken der Verzahnungspaarung 100' im Schnitt entlang der Schnittlinie A-A gemäß der 6 dargestellt. Die Verzahnung 1 ist bei dieser Verzahnungspaarung 100' wie bei der Ausführungsform gemäß 4 durch wenigstens zwei, insbesondere drei Zahnräder 5.1', 5.2', 5.3' gleichen Zahnmoduls und gleicher Zähnezahl gebildet, wobei zwischen benachbarten Zahnrädern 5.1' und 5.2' sowie 5.2' und 5.3' jeweils wenigstens ein Distanzelement 6.1 bzw. 6.2 angeordnet ist. Die Distanzelemente 6.1, 6.2 weisen bevorzugt eine Verzahnung 7 auf, welche sich bis in den Bereich der Verzahnung 1 der Getrieberäder 5.1', 5.2', 5.3' erstreckt. Bevorzugt hat dabei die Verzahnung 7 des Distanzelementes 6.1, 6.2 die gleiche Zähnezahl wie die Getrieberäder 5.1', 5.2' und 5.3'. Durch das Distanzelement 6.1 bzw. 6.2 ist zwischen benachbarten Zahnrädern 5.1' und 5.2' bzw. 5.2' und 5.3' im radial äußeren Bereich ein Spalt 10 bzw. Zwischenraum gebildet, welcher beispielsweise zur Bevorratung von Schmierstoff benutzt werden kann.In 7 is the profile of the tooth flanks of the toothed pairing 100 ' in section along the section line AA according to the 6 shown. The gearing 1 is with this gear pairing 100 ' as in the embodiment according to 4 by at least two, in particular three gears 5.1 ' . 5.2 ' . 5.3 ' same tooth module and the same number of teeth, wherein between adjacent gears 5.1 ' and 5.2 ' such as 5.2 ' and 5.3 ' in each case at least one spacer element 6.1 or 6.2 is arranged. The spacer elements 6.1 . 6.2 preferably have a toothing 7 on, which extends to the area of gearing 1 the gears 5.1 ' . 5.2 ' . 5.3 ' extends. The toothing preferably has this 7 of the spacer element 6.1 . 6.2 the same number of teeth as the gears 5.1 ' . 5.2 ' and 5.3 ' , Through the spacer element 6.1 respectively. 6.2 is between adjacent gears 5.1 ' and 5.2 ' respectively. 5.2 ' and 5.3 ' in the radially outer region a gap 10 or intermediate space formed, which can be used for example for storing lubricant.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: Verzahnunggearing
22: Bauteil, ZahnradComponent, gear
33: Gegenverzahnungcounter teeth
44: Bauteil, ZahnradComponent, gear
5.15.1: Zahnradgear
5.25.2: Zahnradgear
5.35.3: Zahnradgear
5.45.4: Zahnradgear
5.1'5.1 ': Zahnradgear
5.2'5.2 ': Zahnradgear
5.3'5.3 ': Zahnradgear
6.16.1: Distanzelementspacer
6.26.2: Distanzelementspacer
77: Verzahnunggearing
88th: Zahntooth
99: Zahnflanketooth flank
1010: Spalt gap
100100: Verzahnungspaarungtoothing pairing
100'100 ': Verzahnungspaarung toothing pairing
200200: bekannte Verzahnungspaarungknown gearing pairing
200'200 ': bekannte Verzahnungspaarungknown gearing pairing
210210: Zahnradgear
220220: Verzahnunggearing
230230: Zahntooth
240240: Zahngrundtooth root
250250: Zahnkopfaddendum
260260: Drehachseaxis of rotation
270270: Zahnflanketooth flank
280280: Zahntooth
290290: Gegenverzahnungcounter teeth
300300: Zahnrad gear
DD: Zahndicketooth thickness
HH: Zahnhöhetooth height
B, bB, b: Zahnbreitetooth width
K, K’, K”K, K ', K ": Kanteedge

Claims

A toothing pairing (100, 100 ') having a component (2) having a toothing (1) and a component (4) having a counter-toothing (3), the toothed module of toothing (1) and counter-toothing (3) being smaller than 200 μm or 200 microns, characterized in that the toothing (1) and the toothing (1) having component (2) by at least two adjacent gears (5.1, 5.2, 5.3, 5.4, 5.1 ', 5.2', 5.3 ') are the same Tooth module and the same number of teeth is formed, which mesh with the counter-toothing (3).

Gear pairing after Claim 1 , characterized in that the gears (5.1, 5.2, 5.3, 5.4, 5.1 ', 5.2', 5.3 ') have substantially the same width (b).

Gear pairing after Claim 1 or 2 , characterized in that the gears (5.1, 5.2, 5.3, 5.4, 5.1 ', 5.2', 5.3 ') are similar to each other.

Gear pairing according to one of the preceding claims, characterized in that the gear wheels (5.1, 5.2, 5.3, 5.4, 5.1 ', 5.2', 5.3 ') are non-rotatable relative to one another.

Pairing gears according to one of the preceding claims, characterized in that the gears lie on a common shaft, in particular rotatably mounted on a common shaft or rotatably connected to the common shaft.

Pairing gears according to one of the preceding claims, characterized in that in the axial direction, the gears (5.1 ', 5.2', 5.3 ') are spaced from each other, in particular between adjacent gears (5.1', 5.2 ', 5.3') formed a gap (10) is.

Pairing of gears according to one of the preceding claims, characterized in that at least one spacer element (6.1, 6.2) is arranged between adjacent toothed wheels (5.1 ', 5.2', 5.3 '),

Gear pairing after Claim 7 , characterized in that the outer diameter of the spacer element is smaller than the root diameter of the gears.

Gear pairing after Claim 7 , characterized in that the outer diameter of the spacer element (6.1, 6.2) is greater than the root diameter of the gears (5.1 ', 5.2', 5.3 '), preferably up to the region of the toothing of the gears (5.1', 5.2 ', 5.3 ') extends.

Gear pairing after Claim 7 , characterized in that the outer diameter of the spacer element corresponds to the Fußkreisdurchmesser the gears substantially.

Gear pairing according to one of the Claims 7 to 10 , characterized in that the spacer element (6.1, 6.2) has a toothing (7).

Gear pairing according to one of the Claims 7 to 11 , characterized in that the gears (5.1 ', 5.2', 5.3 ') are supported against the intermediate spacer element (6.1, 6.2).

Gear pairing according to one of the preceding claims, characterized in that toothing (1) and counter toothing (3) are formed on photolithographically produced components.

Transmission, in particular eccentric gear, planetary gear or stress wave transmission, with a pair of teeth (100, 100 ') according to one of the preceding claims.