DE102009058282B3 - Vorrichtung und Verfahren zur Temperaturmessung - Google Patents

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    • G01K7/18Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Temperaturmessung mit mehreren Temperaturmesswiderständen (TM1, TM2) und einer mehrkanaligen elektronischen Auswerteeinheit (4). Erfindungsgemäß sind mindestens zwei gleiche Temperaturmesswiderstände (TM1, TM2) jeweils auf einem Keramiksubstrat (K1, K2) angebracht, wobei ein erstes Keramiksubstrat (K1) eines ersten Temperaturmesswiderstandes (TM1) einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, der unterhalb eines linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände (TM1, TM2) liegt und ein zweites Keramiksubstrat (K2) eines zweiten Temperaturmesswiderstandes (TM2) einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, der oberhalb des linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände (TM1, TM2) liegt. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Temperaturmessung.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Temperaturmessung nach den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1 und ein Verfahren zur Temperaturmessung nach den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 7.
  • Zu Mess-, Prüf- und Überwachungszwecken ist regelmäßig die zuverlässige Erfassung von Temperaturen von in Leitung geführten gasförmigen und flüssigen Medien erforderlich. Dazu werden an bestimmten Stellen der Leitung Temperatursensoren angeordnet. Zur Erfüllung bestehender Verfahrensvorschriften ist die häufige Kontrolle dieser Messstellen erforderlich.
  • Die Genauigkeit von Temperatursensorsystemen wird im Allgemeinen mit Vergleichsnormalen überwacht. Dazu ist es erforderlich, in zeitlich festgelegten Abschnitten das Temperatursensorsystem bzw. das temperatursensitive Element des Systems zusammen mit dem Vergleichsnormal in ein spezielles Temperaturmedium einzubringen und die Messwerte zu vergleichen. Werden dabei Differenzen festgestellt, erfolgt ein Nachkalibrieren des Temperatursensorsystems. Nachteilig bei diesem Verfahren ist, dass das Temperatursensorsystem aus der eigentlichen Prozessmessanlage ausgebaut und in ein spezielles Temperaturmedium gebracht werden muss. Im Allgemeinen ist es erforderlich, zu diesem Zwecke die Prozessmessanlage abzuschalten.
  • Es sind auch Temperaturfühler bekannt, bei denen der Temperaturfühler mit Hilfe eines zusätzlichen zweiten Fühlers im eingebauten Zustand kontrolliert werden kann. Bei zweikanaligen Temperaturmesssystemen mit zwei Primärsensoren wird ein Messkanal zur Überwachung des anderen Kanals eingesetzt. Liegt an beiden Kanälen die gleiche Temperatur an, darf es keine Differenzen in den Messwertanzeigen beider Messkanäle geben.
  • Nachteilig ist jedoch, dass die Drift der Sensoren, die die Genauigkeit der Sensoren nicht unwesentlich beeinflusst, systematisch von der Temperaturlast abhängt.
  • Deshalb werden beide Temperatursensoren vorzeichengleich und meist auch in gleicher Größe bei gleicher Temperaturlast driften. Damit wird die Drift im Messkanalvergleich nicht sichtbar.
  • Weiterhin ist es bekannt, elektronische Messverfahren einzusetzen, die die Messkanäle auf einen Normwiderstand umschalten und dabei einen Kanalvergleich durchführen. Dies ist wirkungsvoll, um die elektronische Signalumsetzung in beiden Kanälen zu vergleichen. Die Drift des eigentlichen primären Temperatursensors kann damit jedoch nicht erfasst werden.
  • Ferner werden zur Überprüfung von Alterungsprozessen so genannte In-Line-Temperaturmesssystemen, die auch als prozessprüfbare Temperaturmesssysteme bezeichnet werden, eingesetzt. Solche Systeme sind in DE 10 2006 040 135 A1 und DE 35 21 203 C2 beschrieben. Diese Systeme verfügen über einen Prüfkanal, in den in bestimmten zeitlichen Abständen ein Vergleichsnormal eingeführt wird, um eine Vergleichsmessung vorzunehmen, ohne dass der Prozess mit der Prozessmessanlage abgeschaltet werden muss. Nachteilig ist hierbei jedoch, dass immer ein gesonderter diskreter Messvorgang erforderlich ist. Das prozessprüfbare Verfahren ist immer nur dann anwendbar, wenn die Messstelle mit dem prozessprüfbaren Messsystem bzw. dem Prüfkanal frei zugänglich ist.
  • Ein Verfahren zum Bestimmen der Kennlinie einer Fühleranordnung ist aus DE 10 2006 040 409 A1 bekannt. Hierbei wird mit einem Messfühler und einem Vergleichsfühler eine physikalische Größe ermittelt, wobei mit der erstmaligen Inbetriebnahme der Fühleranordnung bei erstmaligem prozessualen Erreichen eines vorgebbaren Messpunktes ein Kennlinienpunkt aufgenommen wird, wenn die Messwertänderungen im Zeitverlauf des Messfühlers und im Zeitverlauf des Vergleichsfühlers innerhalb eines vorgebbaren Zeitintervalls innerhalb eines vorgebbaren Grenzbereichs bleiben. Der ermittelte Kennwert wird dem Messpunkt zugeordnet und abgespeichert. Das Verfahren setzt voraus, dass der Messfühler bei der erstmaligen Inbetriebnahme driftfrei ist.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Vorrichtung und ein verbessertes Verfahren zur Temperaturmessung anzugeben.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung zur Temperaturmessung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und ein Verfahren zur Temperaturmessung mit den Merkmalen des Anspruchs 7.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
  • Eine Vorrichtung zur Temperaturmessung weist mehrere Temperaturmesswiderstände und eine mehrkanalige elektronische Auswerteeinheit auf.
  • Erfindungsgemäß sind mindestens zwei gleiche Temperaturmesswiderstände jeweils auf einem Keramiksubstrat angebracht, wobei ein erstes Keramiksubstrat eines ersten Temperaturmesswiderstandes einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, der unterhalb des linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände liegt und ein zweites Keramiksubstrat eines zweiten Temperaturmesswiderstandes einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, der oberhalb des linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände liegt.
  • Derartige Temperaturmesswiderstände unterliegen in der Regel einer Drift. Diese Drift ist beispielsweise auf Materialveränderungen und -verschleiß, insbesondere aufgrund von Alterungsprozessen, zurückzuführen. Die Drift ist unerwünscht, da sie einen Nullpunkt und/oder eine Steigung eines Sensorsignals der Temperaturmesswiderstände verschiebt, wodurch das Sensorsignal verfälscht ist. Um dauerhaft eine exakte Temperaturmessung sicherzustellen, ist daher die Drift exakt zu ermitteln und durch eine Kalibrierung der Temperaturmesswiderstände zu kompensieren.
  • Zu diesem Zweck umfasst die Vorrichtung mindestens zwei gleiche Temperaturmesswiderstände, deren Drift somit identisch ist. Durch einen Vergleich von mittels der Temperaturmesswiderstände ermittelter Temperaturmesswerte wäre eine Drift der Temperaturmesswiderstände nicht ermittelbar, da die Drift bei beiden Temperaturmesswiderständen identisch wäre. Erfindungsgemäß sind diese Temperaturmesswiderstände aber jeweils auf einem Keramiksubstrat angeordnet, wobei die Keramiksubstrate unterschiedliche lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen.
  • Da das erstes Keramiksubstrat einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, der unterhalb des linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände liegt und das zweite Keramiksubstrat einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, der oberhalb des linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände liegt, dehnen sich die Temperaturmesswiderstände bei Temperaturerhöhungen unterschiedlich stark aus. So entstehen bei Temperaturlast Driftkurven mit unterschiedlichen Vorzeichen bzw. ein vorzeichengleiches Driften der Temperaturmesswiderstände ist nicht möglich. Nach einer Drift von so unterschiedlichen Temperaturmesswiderständen entsteht zwischen Temperaturmesswerten der beiden Temperaturmesswiderstände immer eine merkliche Differenz, auch wenn beide auf gleicher Temperatur liegen.
  • Da die linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände und der Keramiksubstrate bekannt sind, sind diese unterschiedlichen Temperaturmesswerte bzw. die ermittelten Driftkurven nutzbar, um einen exakten Temperaturmesswert, welcher zwischen den beiden von den Temperaturmesswiderständen ermittelten Temperaturmesswerten liegt, zu ermitteln und die beiden Temperaturmesswiderstände dadurch exakt zu kalibrieren.
  • Vorzugsweise ist eine betragsmäßige Abweichung der linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Keramiksubstrate vom linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände annähernd gleich groß, wobei unter annähernd gleich groß eine Abweichung voneinander von bis fünf Prozent verstanden wird. Auf diese Weise ist eine Ermittlung des exakten Temperaturwertes auf besonders einfache Weise möglich, da der exakte Temperaturwert der Mittelwert der beiden ermittelten Temperaturmesswerte ist. Aufgrund der einfachen Ermittlung des exakten Temperaturwertes und der Abweichung der ermittelten Temperaturmesswerte von diesem ist auch ein Korrekturwert zur Kalibrierung der Temperaturmesswiderstände und daraus resultierend zur Kompensierung der Differenz der Temperaturmesswerte der beiden Temperaturmesswiderstände auf einfache Weise möglich.
  • Zweckmäßigerweise sind die Temperaturmesswiderstände an einer gemeinsamen Messstelle angeordnet. Auf diese Weise sind Messfehler beispielsweise aufgrund von Umwelteinflüssen oder durch unterschiedliche Temperaturen eines zu messenden Mediums an verschiedenen Messstellen ausgeschlossen.
  • In einer vorteilhaften Ausführungsform sind die Temperaturmesswiderstände in einem gemeinsamen Gehäuse angeordnet. Auf diese Weise sind die Temperaturmesswiderstände einfach zu installieren. Zudem ist auf diese Weise sichergestellt, dass die beiden Temperaturmesswiderstände in unmittelbarer Nähe zueinander angeordnet sind und daher Messfehler aufgrund unterschiedlicher Messstellen ausgeschlossen sind. Des Weiteren wirken auf diese Weise alle Faktoren, welche Ursache einer Drift der Temperaturmesswiderstände sind, gleichmäßig auf beide Temperaturmesswiderstände ein.
  • Bevorzugt sind die Temperaturmesswiderstände Platinmesswiderstände. Derartige Platinmesswiderstände eignen sich besonders gut zur Temperaturmessung von Flüssigkeiten oder Gasen.
  • Vorzugsweise ist das erste Keramiksubstrat aus Aluminiumoxid gebildet, da Aluminiumoxid einen geringeren linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten als Platin aufweist. Das zweite Keramiksubstrat ist vorzugsweise aus Magnesiumtitanat gebildet, da dieses einen höheren linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten als Platin aufweist.
  • In einem Verfahren zur Temperaturmessung unter Verwendung der Vorrichtung zur Temperaturmessung mit mehreren Temperaturmesswiderständen und einer mehrkanaligen elektronischen Auswerteeinheit, wobei jedem Temperaturmesswiderstand ein Kanal zugeordnet ist, werden erfindungsgemäß Temperaturmesswerte der Kanäle überwacht und zyklisch eine Differenz der Temperaturmesswerte bei einer vorher festgelegten Temperatur oder einem Temperaturbereich bestimmt, wobei aus dieser Differenz für jeden Kanal ein Korrekturwert zur Kompensierung der Differenz ermittelt und verwendet wird.
  • Mittels dieses Verfahrens werden die Temperaturmesswiderstände während eines laufenden Einsatzes zyklisch oder ständig überwacht, so dass eine Drift der Temperaturmesswiderstände sofort festgestellt und korrigiert werden kann. Eine derartige Driftkorrektur ist online-fähig, d. h. während des laufenden Einsatzes automatisch durchführbar. Die Drift kann mit internen Korrektur- und Prüfvorgängen erkannt und korrigiert werden. Auf diese Weise ist eine derartige Driftkorrektur auch an nicht zugänglichen Stellen einer Anlage, in welcher die Temperaturmesswiderstände eingesetzt werden, durchführbar.
  • Bevorzugt wird die Differenz bei einer Temperatur nahe des Eispunktes und/oder des Gefrierpunktes von Wasser ermittelt, da bei diesen Temperaturwerten die Temperaturmesswiderstände besonders einfach exakt kalibriert werden können.
  • Die Vorrichtung und das Verfahrens sind insbesondere zu Temperaturmessung von Flüssigkeiten oder Gasen verwendbar.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im Folgenden anhand von Zeichnungen näher erläutert.
  • Darin zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung einer Anlage mit einer Temperaturmesseinrichtung,
  • 2 ein Diagramm mit Driftkurven,
  • 3a eine schematische Darstellung eines ersten Temperaturmesswiderstand auf einem ersten Keramiksubstrat, und
  • 3b eine schematische Darstellung eines zweiten Temperaturmesswiderstand auf einem zweiten Keramiksubstrat.
  • Einander entsprechende Teile sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
  • 1 zeigt eine schematische Darstellung einer Anlage mit einer Temperaturmesseinrichtung 1. Aus Gründen der Vereinfachung ist von der Anlage lediglich ein Teil eines Rohres 2 dargestellt, welches von einem flüssigen oder gasförmigen Medium 7 durchflossen ist, dessen Temperatur zu ermitteln ist. Zur Temperaturmessung sind in einem Schutzrohr 5 Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 angeordnet, welche mittels Innenleiter 6 mit einer mehrkanaligen elektronischen Auswerteeinheit 4 verbunden sind, wobei jedem Temperaturmesswiderstand TM1, TM2 ein Kanal zugeordnet ist. Um eine genaue Temperaturmessung jederzeit sicherzustellen, sind diese Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 regelmäßig zu überprüfen und gegebenenfalls zu kalibrieren. Das Schutzohr 5 ist mit einem Prozessanschluss 3 am Rohr 2, in dem das zu überprüfende Medium 2 strömt, befestigt.
  • Derartige Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 unterliegen in der Regel einer Drift. Diese Drift ist beispielsweise auf Materialveränderungen und -verschleiß, insbesondere aufgrund von Alterungsprozessen, zurückzuführen. Die Drift ist unerwünscht, da sie den Nullpunkt und/oder die Steigung eines Sensorsignals der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 verschiebt, wodurch das Sensorsignal verfälscht ist. Um dauerhaft eine exakte Temperaturmessung sicherzustellen, ist daher die Drift exakt zu ermitteln und durch eine Kalibrierung der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 zu kompensieren.
  • Zu diesem Zweck umfasst die Temperaturmesseinrichtung 1 mindestens zwei gleiche Temperaturmesswiderstände TM1, TM2, deren Drift somit identisch ist. Die Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 sind vorzugsweise Platinmesswiderstände, da diese sich aufgrund ihrer Messgenauigkeit und zulässiger Einsatzbedingungen besonders gut zur Temperaturmessung von Flüssigkeiten oder Gasen eignen. Eine Temperaturmessung mittels dieser Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 erfolgt durch Bestimmung ihres jeweiligen ohmschen Widerstandswertes R1, R2, welcher aufgrund einer wärmebedingten Längenänderung der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 temperaturabhängig ist.
  • Die wärmebedingte Längenänderung ist dabei abhängig von einem linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten eines Materials der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2. Über die Bestimmung des aktuellen ohmschen Widerstandswertes R1, R2 der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 sind daher Temperaturmesswerte T1, T2 ermittelbar. Durch einen Vergleich von mittels der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 ermittelter Temperaturmesswerte T1, T2 wäre allerdings eine in der 2 in einem Widerstand R – Zeit t – Diagramm bzw. Temperatur T – Zeit t – Diagramm dargestellte Drift der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 nicht ermittelbar, da die Drift bei beiden Temperaturmesswiderständen TM1, TM2 identisch wäre.
  • Daher sind diese Temperaturmesswiderstände TM1, TM2, wie in den 3a und 3b näher dargestellt, jeweils auf einem Keramiksubstrat K1, K2 angeordnet, wobei die Keramiksubstrate K1, K2 unterschiedliche lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen. Ein erstes Keramiksubstrat K1, welches vorzugsweise aus Aluminiumoxid gebildet ist, weist einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf, der unterhalb des linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 liegt und ein zweites Keramiksubstrat K2, welches vorzugsweise aus Magnesiumtitanat gebildet ist, weist einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf, der oberhalb des linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 liegt.
  • Dadurch dehnen sich die Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 bei Temperaturerhöhungen unterschiedlich stark aus. So entstehen bei Temperaturlast, wie in 2 dargestellt, Driftkurven DK1, DK2 der Temperaturmesswerte T1, T2 bzw. der ohmschen Widerstandswerte R1, R2 der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 mit unterschiedlichen Vorzeichen bzw. ein vorzeichengleiches Driften der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 ist nicht möglich.
  • Die Driftkurven DK1, DK2 sind gebildet aus von einem tatsächlichen Temperaturwert T0 bzw. Widerstandswert R0 abweichenden Temperaturwerten T1, T2 bzw. ohmschen Widerstandswerten R1, R2 der beiden Temperaturmesswiderstände TM1, TM2, wobei sich diese Abweichungen beispielsweise aufgrund von Alterungsprozessen mit zunehmender Zeit t vergrößern und die Driftkurven DK1, DK2 der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 ausbilden. Nach einer Drift von so unterschiedlichen Temperaturmesswiderständen TM1, TM2 entsteht daher zwischen den Temperaturmesswerten T1, T2 der beiden Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 immer eine merkliche Differenz, auch wenn beide auf gleicher Temperatur liegen.
  • Da die linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 und der Keramiksubstrate K1, K2 bekannt sind, sind diese unterschiedlichen Temperaturmesswerte T1, T2 bzw. die ermittelten Driftkurven DK1, DK2 nutzbar, um einen exakten tatsächlichen Temperaturwert T0, welcher zwischen den beiden von den Temperaturmesswiderständen TM1, TM2 ermittelten Temperaturmesswerten T1, T2 liegt, zu ermitteln und die beiden Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 dadurch exakt zu kalibrieren.
  • Um Messfehler, beispielsweise aufgrund unterschiedlicher Umgebungseinflüsse auf die Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 oder durch unterschiedliche Temperaturen eines zu messenden Mediums an verschiedenen Stellen auszuschließen, sind die Temperaturmesswiderstände TM1, TM2, wie in 1 dargestellt, an einer gemeinsamen Messstelle in unmittelbarer Nähe zueinander und vorzugsweise in einem gemeinsamen Gehäuse angeordnet, welches im dargestellten Beispiel aus einem Schutzrohr 5 besteht.
  • In dem gemeinsamen Schutzrohr 5 sind die Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 einfach zu installieren. Des Weiteren wirken auf diese Weise alle Faktoren, welche Ursache der Drift der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 sind, gleichmäßig auf beide Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 ein.
  • Das Verfahren zur Temperaturmessung wird unter Verwendung der Temperaturmesseinrichtung 1 und der mehrkanaligen elektronischen Auswerteeinheit 4 durchgeführt, wobei jedem Temperaturmesswiderstand TM1, TM2 ein Kanal zugeordnet ist. Es werden Temperaturmesswerte T1, T2 der Kanäle überwacht und zyklisch eine Differenz der Temperaturmesswerte T1, T2 bei einer vorher festgelegten Temperatur oder einem Temperaturbereich bestimmt, wobei aus dieser Differenz für jeden Kanal ein Korrekturwert zur Kompensierung der Differenz ermittelt und verwendet wird.
  • Dabei ist es besonders vorteilhaft, wenn eine betragsmäßige Abweichung der linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Keramiksubstrate K1, K2 vom linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 annähernd gleich groß ist, da auf diese Weise auch die Drift der Temperaturmesswerte T1, T2 gleich groß ist, so dass ein Mittelwert der mittels der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 ermittelten Temperaturmesswerte T1, T2 der tatsächliche Temperaturwert T0 ist. Unter annähernd gleich groß wird eine Abweichung voneinander von bis zu fünf Prozent verstanden.
  • Mittels dieses Verfahrens werden die Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 während eines laufenden Einsatzes zyklisch oder ständig überwacht, so dass die Drift der Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 sofort festgestellt und korrigiert werden kann. Eine derartige Driftkorrektur ist online-fähig, d. h. während des laufenden Einsatzes automatisch durchführbar. Die Drift kann mit internen Korrektur- und Prüfvorgängen erkannt und korrigiert werden. Auf diese Weise ist eine derartige Driftkorrektur auch an nicht zugänglichen Stellen von Anlagen, in denen die Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 eingesetzt werden, durchführbar.
  • Bevorzugt wird die Differenz bei einer Temperatur nahe des Eispunktes und/oder des Gefrierpunktes von Wasser ermittelt, da bei diesen Temperaturwerten die Temperaturmesswiderstände TM1, TM2 besonders einfach exakt kalibriert werden können.
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    Temperaturmesseinrichtung
    2
    Führungsrohr für Medium
    3
    Prozessanschluss
    4
    Auswerteeinheit
    5
    Schutzrohr
    6
    Innenleiter
    7
    Medium
    K1, K2
    Keramiksubstrat
    TM1, TM2
    Temperaturmesswiderstand
    DK1, DK2
    Driftkurven
    T
    Temperatur
    R
    ohmscher Widerstand
    t
    Zeit
    T1, T2
    Temperaturmesswerte
    R1, R2
    ohmsche Widerstandswerte
    T0
    tatsächlicher Temperaturwert
    R0
    tatsächlicher Widerstandswert

Claims (9)

  1. Vorrichtung zur Temperaturmessung mit mehreren Temperaturmesswiderständen (TM1, TM2) und einer mehrkanaligen elektronischen Auswerteeinheit (4), dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei gleiche Temperaturmesswiderstände (TM1, TM2) jeweils auf einem Keramiksubstrat (K1, K2) angebracht sind, wobei ein erstes Keramiksubstrat (K1) eines ersten Temperaturmesswiderstandes (TM1) einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, der unterhalb des linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände (TM1, TM2) liegt und ein zweites Keramiksubstrat (K2) eines zweiten Temperaturmesswiderstandes (TM2) einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, der oberhalb des linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände (TM1, TM2) liegt.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die betragsmäßige Abweichung der linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Keramiksubstrate (K1, K2) vom linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Temperaturmesswiderstände (TM1, TM2) annähernd gleich groß ist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperaturmesswiderstände (TM1, TM2) an einer gemeinsamen Messstelle angeordnet sind.
  4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperaturmesswiderstände (TM1, TM2) in einem gemeinsamen Schutzrohr (5) angeordnet sind.
  5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperaturmesswiderstände (TM1, TM2) Platinmesswiderstände sind.
  6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Keramiksubstrat (K1) aus Aluminiumoxid gebildet ist und das zweite Keramiksubstrat (K2) aus Magnesiumtitanat gebildet ist.
  7. Verfahren zur Temperaturmessung unter Verwendung der Vorrichtung zur Temperaturmessung nach einem der Ansprüche 1 bis 6 mit mehreren Temperaturmesswiderständen (TM1, TM2) und einer mehrkanaligen elektronischen Auswerteeinheit (4), wobei jedem Temperaturmesswiderstand (TM1, TM2) ein Kanal zugeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass Temperaturmesswerte (T1, T2) der Kanäle überwacht werden und zyklisch eine Differenz der Temperaturmesswerte (T1, T2) bei einer vorher festgelegten Temperatur oder einem Temperaturbereich bestimmt wird, wobei aus dieser Differenz für jeden Kanal ein Korrekturwert zur Kompensierung der Differenz ermittelt und verwendet wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Differenz bei einer Temperatur nahe des Eispunktes und/oder des Gefrierpunktes von Wasser ermittelt wird.
  9. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6 und des Verfahrens nach Anspruch 7 oder 8 zur Temperaturmessung von Flüssigkeiten oder Gasen.
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