DE102009044618A1 - Kapazitive Codiervorrichtung - Google Patents

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Hiroyuki Oshino-mura Uchida
Mitsuyuki Oshino-mura Taniguchi
Shunichi Oshino-mura Odaka
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Hidetoshi Oshino-mura Mitsui
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Abstract

Kapazitive Codiervorrichtung, umfassend einen Stator, ein bewegliches Bauteil, eine Anregevorrichtung, eine Signalverarbeitungsvorrichtung zur Gewinnung von Daten mit niedrigem Stromverbrauch. Der Stator hat Anregeelektrodensätze, die elektrisch unabhängig voneinander sind, und die so zueinander versetzt sind, dass sie Phasendifferenzen zueinander aufweisen, und eine festgelegte Zahl von Anregeelektrodengruppen ausmachen. Das bewegliche Bauteil hat genauso viele Verbindungselektroden wie Verbindungselektrodengruppen. Die Anregevorrichtung legt gleichzeitig ein erstes Paar von positiven bzw. negativen Impulsspannungen an zwei der Anregeelektrodensätze mit einer Phasendifferenz von 180° an, und legt dann gleichzeitig einen zweiten Satz von positiven bzw. negativen Impulsspannungen an die übrigen Anregeelektrodensätze an. Die Signalverarbeitungsvorrichtung bestimmt, in welchem der vier geteilten Bereiche sich das bewegliche Bauteil befindet, und zwar auf der Basis einer Kombination der Erfassungssignale, wenn die ersten bzw. zweiten Impulsspannungspaare angelegt werden.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft eine Codiervorrichtung zum Erfassen einer relativen Position eines beweglichen Bauteils, wie eines Rotors, in Bezug auf einen festen Stator, und insbesondere eine kapazitive Codiervorrichtung, die die Positionsinformation bei einem niedrigen Stromverbrauch unter Verwendung einer kapazitiven Kopplung erhalten kann.
  • 2. Beschreibung des dazu gehörigen Fachgebiets.
  • Es gibt eine kapazitive Codiervorrichtung als Sensor zum Erfassen der Drehinformation über einen Drehkörper. Die kapazitive Codiervorrichtung kann die Drehinformation des Drehkörpers mit hoher Empfindlichkeit mit Hochfrequenzsignalen erfassen und ebenfalls mit einer dünnen Struktur, die ein Prinzip der kapazitiven Kopplung nutzt, so dass die Codiervorrichtung klein gehalten werden kann.
  • Eine kapazitive Codiervorrichtung wie sie in JP61-105421A offenbart ist, umfasst eine rotierende Platte 10, die so auf einer rotierenden Welle befestigt ist, dass sie sich gegenüber einem Körper und einer ortsfesten Platte 12 dreht, die so auf dem Körper befestigt ist, dass sie sich gegenüber der rotierenden Platte 10 befindet, damit eine Rotationsfehlstellung der rotierenden Platte gegenüber der ortsfesten Platte erfasst wird.
  • Eine Anzahl Sendeelektroden ist in regelmäßigen Abständen in Umfangsrichtung auf einer Oberfläche der ortsfesten Platte angeordnet. Ein Spannungskreis liefert sinusförmige Wellen oder Rechteckwellen, wobei ihre Phasen sukzessive um einen festgelegten Grad zu den Sendeelektroden versetzt sind, so dass eine Anzahl von Elektrodengruppen mit acht Phasenelektroden als Einheit gebildet wird. Zum Anwenden sinusförmiger Wellen benötigt man einen komplizierten Analog-Verstärker, der Zwischenspannungen erzeugen kann, wodurch der Stromverbrauch erhöht wird.
  • Es sind genauso viele Empfangselektroden wie Elektrodengruppen auf einer Oberfläche der rotierenden Platte angeordnet, so dass sich die Empfangselektroden jeweils sukzessive gegenüber von Sendeelektroden in jeder Elektrodengruppe auf der ortsfesten Platte befinden.
  • In der kapazitiven Codiervorrichtung wurde wie beschrieben eine Konfiguration angenommen, in der eine Anzahl Sendeelektroden in regelmäßigen Abständen angeordnet ist, Wechselspannungen mit festgelegten versetzten Phasen an die jeweiligen Anregeelektroden angelegt werden, und die Empfangselektroden so angelegt sind, dass sie sich gegenüber den Anregeelektroden befinden, so dass ein relatives Bewegungsausmaß zwischen den Sendeelektroden und den Empfangselektroden durch Analysieren der Phasendifferenzen der kapazitiven Signale, die von den Empfangselektroden erfasst werden, und den angelegten Wechselspannungen erhalten wird. Man muss die Position eines beweglichen Bauteils, wie eines Drehkörpers, mit hoher Genauigkeit erfassen, wobei eine kleine und leichte kapazitive Codiervorrichtung verwendet wird, die zudem hinsichtlich der Sicherung der Stromquelle der kapazitiven Codiervorrichtung durch eine Batterie, die eine Funktion der Codiervorrichtung aufrecht erhält, wenn die Stromquelle abgeschaltet ist einen niedrigen Stromverbrauch aufweist.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung stellt eine kapazitive Codiervorrichtung bereit, die Positionsdaten auf der Basis von Signalen von einem beweglichen Bauteil mit niedrigem Stromverbrauch erhält.
  • Eine erfindungsgemäße kapazitive Codiervorrichtung umfasst: einen Stator mit einer Anzahl Anregeelektrodensätzen, die voneinander elektrisch unabhängig und versetzt angeordnet sind, so dass sie Phasendifferenzen zueinander aufweisen, wobei jeder Satz aus Anregeelektroden besteht, die zyklisch angeordnet sind, und die miteinander elektrisch verbunden sind, so dass eine festgelegte Zahl von Anregeelektrodengruppen gebildet wird, und eine Empfangselektrode aufweisen, die von den Anregeelektroden elektrisch unabhängig ist; ein bewegliches Bauteil, das in Bezug auf den Stator beweglich ist und Verbindungselektroden aufweist, die derart angeordnet sind, dass sie sich zyklisch gegenüber den Anregeelektroden des Stators befinden, und sie die gleiche Zahl wie Anregeelektrodengruppen aufweisen, und eine Sendeelektrode, die elektrisch mit den Verbindungselektroden verbunden ist und die so angeordnet ist, dass sie sich gegenüber der Empfangselektrode des Stators befindet; Anregeeinrichtungen zum Anregen der Anregeelektroden des Stators; und Signalverarbeitungseinrichtungen zum Verarbeiten der Erfassungssignale, die in den Verbindungselektroden des beweglichen Bauteils erzeugt werden und durch die Empfangselektrode über die Sendeelektrode empfangen werden.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung fegt die Anregeeinrichtung in einem Zustand, in dem die Spannungen der Anregeelektroden auf entsprechende Referenzspannungen eingestellt werden, gleichzeitig eine erste Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze an und eine zweite Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze an, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf einen oder mehrere Anregeelektrodensätze haben, an denen die erste Impulsspannung anliegt, wobei die Änderungsrichtungen der ersten und zweiten Impulsspannung entgegen gesetzt zueinander sind, und nach Beendigung des Anlegens der ersten und zweiten Impulsspannungen legt die Anregeeinrichtung gleichzeitig eine dritte Impulsspannung an eine oder mehrere der Anregeelektrodensätze an, die sich von den Anregeelektrodensätzen unterscheiden, an denen die ersten und zweiten Impulsspannungen anliegen, und eine vierte Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze haben, an denen die dritte Impulsspannung anliegt, wobei die Änderungsrichtungen der dritten und vierten Impulsspannung entgegengesetzt zueinander sind, und wobei die Signalverarbeitungseinrichtung ein erstes Erfassungssignal speichert, das von der Empfangselektrode empfangen wird, wenn die ersten und zweiten Impulsspannungen angelegt werden, und ein zweites Erfassungssignal speichert, das von der Empfangselektrode empfangen wird, wenn die dritten und vierten Impulsspannungen angelegt werden, so dass bestimmt wird, in welchem der geteilten Bereiche sich eine Referenzlinie der Verbindungselektroden befindet, und zwar auf der Basis der Kombination der ersten und zweiten Erfassungssignale, wobei die geteilten Bereiche durch Teilen eines Anordnungskreises der Anregeelektroden in jeder Anregeelektrodengruppe durch 4 festgelegt werden.
  • Die Anregeeinrichtung kann gleichzeitig die dritte Impulsspannung an eine oder mehrere der Anregeelektrodensätze anlegen, die Phasendifferenzen von 90° in Bezug auf die einen oder mehreren der Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die erste oder zweite Impulsspannung anliegt, und die vierte Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze anlegen, die Phasendifferenzen von 180° in Bezug auf die einen oder mehreren Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die dritte Impulsspannung anliegt.
  • Die Anregeeinrichtung kann gleichzeitig die erste Impulsspannung an einen der Anregeelektrodensätze und die zweite Impulsspannung an einen der Anregeelektrodensätze anlegen, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz haben, an dem die erste Impulsspannung anliegt, und gleichzeitig die dritte Impulsspannung an einen der Anregeelektrodensätze anlegen, die eine Phasendifferenz von 90° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz haben, an dem die dritte Impulsspannung anliegt.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung legt die Anregeeinrichtung in einem Zustand, in dem die Spannungen der Anregeelektroden auf entsprechende Referenzspannungen eingestellt sind, gleichzeitig eine erste Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze an und eine zweite Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze an, die so angeordnet sind, dass sie äquivalent zu einer Anordnung sind, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf einen oder mehrere Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen eine erste Impulsspannung anliegt, wobei die Änderungsrichtungen der ersten Impulsspannung und der zweiten Impulsspannung entgegengesetzt zueinander sind, und nach beendigtem Anlegen der ersten und zweiten Impulsspannungen legt die Anregeeinrichtung gleichzeitig eine dritte Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze an, die sich von den Anregeelektrodensätzen unterscheiden, an denen die ersten und zweiten Impulsspannungen anliegen, und eine vierte Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze, die so angeordnet sind, dass sie äquivalent zu einer Anordnung sind, dass sie Phasendifferenzen von 180° in Bezug auf einen oder mehrere Anregeelektrodensätze haben, an denen die dritte Impulsspannung anliegt, wobei die Änderungsrichtungen der dritten Impulsspannung und der vierten Impulsspannung entgegengesetzt zueinander sind und wobei die Signalverarbeitungseinrichtung ein erstes Erfassungssignal speichert, das von den Empfangselektroden empfangen wird, wenn die ersten und zweiten Impulsspannungen angelegt werden, und ein zweites Erfassungssignal speichert, das von der Empfangselektrode empfangen wird, wenn die dritten und vierten Impulsspannungen angelegt werden, so dass bestimmt wird, in welchem der geteilten Bereiche sich eine Referenzlinie der Verbindungselektroden befindet, auf der Basis einer Kombination der ersten und zweiten Erfassungssignale, wobei die geteilten Bereiche festgelegt werden durch Teilen von einem Anordnungskreis der Anregeelektroden in jeder Anregeelektrodengruppe durch 4.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung beginnt die Anregeeinrichtung in einem Zustand, in dem die Spannungen der Anregeelektrodensätze auf entsprechende Referenzspannungen eingestellt werden, gleichzeitig das Anlegen einer ersten Spannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze und einer zweiten Spannung an eine oder mehrere der Anregeelektrodensätze, die Phasendifferenzen von 180° in Bezug auf einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die erste Spannung anliegt, wobei eine Änderungsrichtung zur ersten Impulsspannung von ihrer Referenzspannung und eine Änderungsrichtung zur zweiten Impulsspannung von ihrer Referenzspannung entgegengesetzt zueinander sind und beendet das Anlegen der ersten und zweiten Spannungen nach einem ersten festgelegten Zeitraum, nach dem Beginn des Anlegens der ersten und zweiten Impulsspannungen, wobei die Anregeeinrichtung gleichzeitig das Anlegen einer dritten Spannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze startet, die sich von den Anregeelektrodensätzen unterscheiden, an denen die ersten und zweiten Impulsspannungen anliegen, und einer vierten Impulsspannung an eine oder mehrere der Anregeelektrodensätze, die Phasendifferenzen von 180° in Bezug auf einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die dritte Impulsspannung anliegt, wobei eine Änderungsrichtung von einer Referenzspannung zur dritten Impulsspannung und eine Änderungsrichtung von einer Referenzspannung zur vierten Impulsspannung entgegengesetzt zueinander sind, und beendet das Anlegen der dritten und vierten Spannungen nach einer zweiten festgelegten Zeitspanne, und die Signalverarbeitungseinrichtung speichert ein erstes Erfassungssignal, das von der Empfangselektrode empfangen wird, wenn das Anlegen der ersten und zweiten Anregesignale gestartet wird, und speichert ein zweites Erfassungssignal, wenn das Anlegen der dritten und vierten Anregesignale gestartet wird, so dass bestimmt wird, in welchem der geteilten Bereiche sich das bewegliche Bauteil befindet, auf der Basis einer Kombination der ersten und zweiten Erfassungssignale, wobei die geteilten Bereiche durch Teilen eines Anordnungskreises der Anregeelektroden in Jeder Anregeelektrodengruppe durch 4 festgelegt werden, und wobei weiter die Signalverarbeitungseinrichtung ein drittes Erfassungssignal speichert, wenn das Anlegen der ersten und zweiten Anregesignale beendet wird, und ein viertes Erfassungssignal speichert, wenn das Anlegen der dritten und vierten Anregesignale beendet wird, so dass man bestimmt, in welchem der vier geteilten Bereiche sich das bewegliche Bauteil befindet, auf der Basis einer Kombination der dritten und vierten Erfassungssignale.
  • Die Anregeeinrichtung kann gleichzeitig das Anlegen der dritten Spannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze, die Phasendifferenzen von 90° in Bezug auf einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die erste und zweite Spannung anliegt, und der vierten Spannung an eine oder mehrere der Anregeelektrodensätze starten, die Phasendifferenzen von 180° in Bezug auf einen oder mehrere Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die dritte Impulsspannung anliegt.
  • Die Anregeeinrichtung kann gleichzeitig das Anlegen der ersten Spannung an einen der Anregeelektrodensätze und der zweiten Spannung an einen der Anregeelektrodensätze starten, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz aufweisen, an denen die erste Spannung anliegt, und gleichzeitig die dritte Spannung an einen der Anregeelektrodensätze anlegen, die eine Phasendifferenz von 90° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz aufweisen, an denen die erste Spannung oder die zweite Spannung anliegt, und die vierte Spannung an den Anregeelektrodensatz, der eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz aufweist, an dem die dritte Spannung anliegt.
  • Das bewegliche Bauteil kann ein Rotor sein, der eine Drehbewegung ausführt, oder ein Linearbewegungsbauteil, das eine lineare Bewegung in Bezug auf den Stator ausführt.
  • Im Gegensatz zu der kapazitiven Codiervorrichtung des Standes der Technik, in der hochfrequente Wechselstromsignale stetig an die Sendeelektroden angelegt werden, werden die Positionsdaten des beweglichen Bauteils bei der erfindungsgemäßen kapazitiven Codiervorrichtung auf der Basis der Signale aus dem beweglichen Bauteil unter niedrigem Stromverbrauch erhalten, indem einzelne Spannungen an die Anregeelektroden mit der geeigneten Frequenz angelegt werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Es zeigt/zeigen:
  • 1 eine Vorderansicht auf einen Stator der erfindungsgemäßen kapazitiven Codiervorrichtung;
  • 2 eine Vorderansicht auf ein bewegliches Bauteil der kapazitiven Codiervorrichtung;
  • 3 eine schematische Darstellung der kapazitiven Codiervorrichtung;
  • 4 ein Schaubild der Positionen einer Verbindungselektrode auf dem beweglichen Bauteil in Bezug auf die Anregeelektroden auf dem Stator, Wellenformen der Anregesignale, die an die Anregeelektroden angelegt werden, und Erfassungssignale gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 5a eine Tabelle der Beziehung zwischen Kombinationen der Erfassungssignale und der geteilten Bereiche, in denen sich die Verbindungselektrode befindet, und
  • 5b ein Schaubild der geteilten Bereiche von einem Anordnungskreis der Anregeelektroden in der ersten Ausführungsform;
  • 6 ein Schaubild der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, in der drei Anregeelektrodensätze bereitgestellt sind;
  • 7a eine Tabelle der Beziehung zwischen Kombinationen der Erfassungssignale und der geteilten Bereiche, in denen sich die Verbindungselektrode befindet,
  • 7b ein Schaubild der geteilten Bereiche von einem Anordnungskreis der Anregeelektroden in der zweiten Ausführungsform;
  • 7c eine Kreisdarstellung von einem Anordnungskreis der Anregeelektroden und der Verbindungselektrode,
  • 7d und 7e Kreisdarstellungen von einem Anordnungskreis der Anregeelektroden in einer ersten Anregung bzw. einer zweiten Anregung;
  • 7f und 7g Kreisdarstellungen der geteilten Bereiche von einem Anordnungskreis der Anregeelektroden in der ersten Anregung bzw. der zweiten Anregung; und
  • 7h bis 7s relative Positionen der Anregeelektroden und der Verbindungselektrode, wenn sich die Verbindungselektrode um 30° dreht.
  • 8 ein Blockdiagramm einer Anordnung eines Signalverarbeitungsabschnitts;
  • 9 ein Fließschema eines Algorithmus der Verarbeitung, die durch den Signalverarbeitungsabschnitt bewerkstelligt werden soll;
  • 10 ein Schaubild einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, in der die λ-Zahl gezählt wird;
  • 11 ein Fließschema eines Algorithmus der Verarbeitung in der dritten Ausführungsform;
  • 12 ein Schaubild der Anordnung der geteilten Bereiche in der dritten Ausführungsform;
  • 13 ein Schaubild einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, in der Anregesignale mit anderen Wellenformen als in der 4 an die Anregeelektrodensätze übermittelt werden;
  • 14a14c Schaubilder der Zeit der Aufnahme der Erfassungssignale; und
  • 15 ein Fließschema eines Algorithmus der Verarbeitung, die in der in 13 gezeigten dritten Ausführungsform bewerkstelligt werden soll.
  • EINGEHENDE BESCHREIBUNG
  • Die 1 zeigt einen Stator zur Verwendung in einer erfindungsgemäßen kapazitiven Codiervorrichtung. Ein Stator 10 ist eine stationäre scheibenförmige Platte mit einer mittigen Durchgangsbohrung 15 und einer Anzahl von Anregeelektroden 11, die so angeordnet sind, dass sie sich in Radialrichtungen in konstanten Abständen auf einer Oberfläche des Stators 10 erstrecken. Die Anregeelektroden 11 sind so angeordnet, dass sie eine Anzahl Anregeelektrodensätze bilden, die elektrisch unabhängig voneinander sind, und jeder der Anregeelektrodensätze aus Anregeelektroden besteht, die zyklisch angeordnet sind und miteinander elektrisch verbunden sind, wie es später beschrieben wird.
  • Der Stator 10 besteht aus eine Kartonmaterial mit einer Isolierfläche und geeigneter Festigkeit, wie Glasepoxymaterial, mit Papier-Bakelit (Warenzeichen) laminiertes Material, Material, das durch Aufbringen von geschmolzener Keramik auf Glas erhalten wird, Keramiken, wie Aluminiumoxid, Metalle, wie Eisen und Aluminium, oder Halbleiter, wie Silizium, oder durch Beschichten dieses Materials mit Isolierharz, oder durch Isolieren eines solchen Materials mit Luftschichten, die durch Isolierkügelchen gebildet werden.
  • Eine leitende Schicht, wie die Anregeelektroden 11 auf dem Stator 10 kann durch Photoätzen einer leitenden Schicht aus gewalzter Kupferfolie, Aufdampfen von Chrom usw. oder durch Bilden einer leitenden Schicht aus leitender Farbe durch Tintenstrahl-, Siebdruck oder Offsetdruck erhalten werden.
  • Vier aufeinander folgende Anregeelektroden 11a, 11b, 11c, und 11d bilden eine Anregeelektrodengruppe 16, so dass insgesamt zehn Anregeelektrodengruppen in diesem Beispiel gebildet werden. Die Anregeelektroden 11a, 11b, 11c oder 11d in der gleichen Reihenfolge in den unterschiedlichen Gruppen 16 sind elektrisch miteinander verbunden, durch Leitungen, die durch durchgezogene oder gepunktete Linien in der 1 dargestellt sind, so dass vier Anregeelektrodensätze 11A, 11B, 11C und 11D erhalten werden. Die durch die durchgezogenen Linien dargestellten Leitungen sind auf der Oberfläche angeordnet, auf der sich die Anregeelektroden 11 befinden, und die durch die gepunkteten Linien gezeigten Leitungen sind auf einer Oberfläche gegenüber der Oberfläche angeordnet, auf der sich die Anregeelektroden 11 befinden.
  • In der 1 bildet jede vierte Anregeelektrode 11a, 11b, 11c oder 11d vier Anregeelektroensätze 11A, 11B, 11C und 11D für vier Phasen. Die Anregeelektroden in jedem Satz sind über ringförmige Leiter 12a, 12b, 12c oder 12d und Versorgungsleiter 13 elektrisch miteinander verbunden. Die jeweiligen Phasen der Anregeelektroden werden elektrisch durch Anregeeinrichtungen mit vier Phasen angeregt. Zur elektrischen Verbindung jeder vierten Anregeelektrode 11a, 11b, 11c oder 11d in den jeweiligen Anregeelektrodengruppen 16, so dass die vier Anregeelektroden in jeder Anregeelektrodengruppe 16 elektrisch unabhängig voneinander sind, werden die Anregeelektroden, die ringförmigen Leiter, die Versorgungsleiter über die Durchstecktechnik elektrisch verbunden. Die Durchstecktechnik ist als Produktionstechnik von Platinen allgemein bekannt.
  • Eine ringförmige Empfangselektrode 14 ist elektrisch unabhängig von den Anregeelektroden 11 an einem inneren Abschnitt des Stators 10 auf der Oberfläche bereitgestellt, auf der sich die Anregeelektroden 31 befinden. Die Empfangselektrode 14 ist mit einem Erfassungssignal-Ausgangs-Terminal 17 zum Ausgeben der Erfassungssignale ausgestattet, die von der Empfangselektrode 14 empfangen werden.
  • In 1 ist die Empfangselektrode 14 auf der Oberfläche, auf der die Anregeelektroden 11 gebildet sind, und in dem Abschnitt, der sich innerhalb der Anregeelektroden 11 befindet, angeordnet. Die Empfangselektrode 14 kann sich jedoch auf einer Oberfläche gegenüber der Oberfläche befinden, auf der die Anregeelektroden 11 ausgebildet sind, so lange die Empfangselektrode 14 Erfassungssignale durch elektrostatische Induktion mit der Sendeelektrode 22 auf dem beweglichen Bauteil 20 empfängt. In der 1 befindet sich die Empfangselektrode 14 auf dem inneren Abschnitt des Stators 10, so dass sie der Sendeelektrode 22 des beweglichen Bauteils 20 gegenüber liegt, jedoch kann sich die Empfangselektrode 14 an einem äußeren Abschnitt des Stators 10 befinden, und zwar wenn die Sendeelektrode 22 in einem äußeren Abschnitt des beweglichen Bauteils 20 angeordnet ist.
  • Die Bohrung 15 in der Mitte des Stators 10 ist kein wesentliches Bauteil der kapazitiven Codiervorrichtung und kann weggelassen werden, wenn sie für den Gebrauch nicht notwendig ist.
  • Die 2 zeigt ein bewegliches Bauteil 20 zur Verwendung in der kapazitiven Codiervorrichtung. Das bewegliche Bauteil 20 ist ein scheibenförmiger Rotor mit einer Bohrung 23. Eine Anzahl Verbindungselektroden 21 befindet sich auf einer Oberfläche des beweglichen Bauteils 20 und erstreckt sich in Radialrichtungen. Das in 2 gezeigte Beispiel weist zehn Verbindungselektroden 21 auf. Diese Verbindungselektroden 21 sind elektrisch mit einer Sendeelektrode 22 verbunden, die sich in einem mittigen Abschnitt des beweglichen Bauteils 20 befindet, so dass eine Erfassungselektrode einer einzelnen Phase mit der Sendeelektrode 22 erzeugt wird.
  • Der Stator 10 und das bewegliche Bauteil 20 sind derart angeordnet, dass die Oberfläche des Stators 10, auf der sich die Anregeelektroden 11 befinden, gegenüber der Oberfläche des beweglichen Bauteils 20 liegt, auf der sich die Verbindungselektroden 21 befinden, so dass die Erfassungselektrode, die aus der Anzahl Verbindungselektroden 21 besteht, Anregesignale erfasst, die den Anregeelektroden 11 des Stators 10 gemäß dem Prinzip der elektrostatischen Induktion übermittelt werden.
  • Die in der Erfassungselektrode erzeugten Signale variieren je nach der relativen Position des beweglichen Bauteils 20 in Bezug auf den Stator 10 und den an die Anregeelektroden 11 übermittelten Anregesignalen.
  • Ein Wechselstromsignal einer einzelnen Phase, das von der Erfassungselektrode des beweglichen Bauteils 20 erfasst wird, wird durch elektrostatische Induktion zwischen der Sendeelektrode 22 des beweglichen Bauteiles 20 und der Empfangselektrode 14 des Stators 10 an die Empfangselektrode 14 des Stators 10 gesendet. Somit können die Sendeelektrode 22 und die Empfangselektrode 14 die Erfassungssignale in einer kontaktlosen Weise übertragen. Ein Gleitring oder ein Drehwandler kann zum Übertragen der Erfassungssignale vom beweglichen Bauteil 20 auf den Stator 10 eingesetzt werden. Dies unterscheidet sich von der Vorrichtung, die die elektrostatische Induktion verwendet.
  • Die 3 zeigt schematisch eine kapazitive Codiervorrichtung mit dem Stator und dem beweglichen Bauteil gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Oberfläche des beweglichen Bauteils 20 mit den darauf bereitgestellten Verbindungselektroden 21 befindet sich gegenüber den Anregeelektroden 11 des Stators 10 mit einer festgelegten Lücke dazwischen, und das bewegliche Bauteil 20 ist drehbar gelagert, so dass es mit dem Stator 10 koaxial ist. Die Lücke zwischen dem Stator 10 und dem beweglichen Bauteil 20 ist im Allgemeinen auf 150 μm bis 200 μm eingestellt, wenn der Anordnungsabstand der Anregeelektroden beispielsweise 200 μm ist.
  • Die Ausgänge der Anregeeinrichtungen 30 sind für die entsprechenden Phasen auf dem Stator 10 mit den entsprechenden Versorgungs-Terminals 18a, 18b, 18c und 18d verbunden. Die Anregeeinrichtung 30 umfasst einen Sequenzer 31 zum Erzeugen von Signalen mit festgelegten Wellenformen und einen Treiber 32 zum Verstärken der vom Sequenzer 31 ausgegebenen Signale. Der Sequenzer 31 gibt Einzelimpulsspannungen in festgelegten Intervallen aus. Die Referenzspannungen der Impulsspannungen werden nicht notwendigerweise auf den gleichen Wert eingestellt, können aber für die jeweiligen Anregeelektrodensätze unterschiedlich eingestellt werden Es werden beispielsweise Referenzspannungen der Anregeelektrodensätze 11A und 11B auf 0 V eingestellt, und die Referenzspannungen der Anregeelektrodensätze 11C und 11D werden auf 5 V eingestellt. In diesem Fall werden die durch das Anlegen der Impulsspannungen erzeugten Erfassungssignale eindeutig von einer allmählich zunehmenden Spannung unterschieden, die verursacht wird, wenn sich die Verbindungselektrode 21 von einem Zustand, in dem sie sich gegenüber dem einen Anregeelektrodensatz befindet, über einen Signalverarbeitungsabschnitt 40 zu einem anderen Anregeelektrodensatz bewegt. Das Erfassungssignal-Ausgabe-Terminal 17 des Stators 10 und der Signalverarbeitungsabschnitt 40 sind elektrisch verbunden, und die Erfassungssignale SG, die von der Empfangselektrode 14 des Stators 10 empfangen werden, werden in den Signalverarbeitungsabschnitt 40 eingegeben.
  • Ein Weg zur Erfassung einer Drehposition (Winkel) des beweglichen Bauteils durch die vorstehend genannte kapazitive Codiervorrichtung wird nachstehend erläutert.
  • Der Stator 10 hat wie beschrieben vier Anregeelektrodensätze 11A, 11B, 11C und 11D, die im Uhrzeigersinn zueinander versetzt sind, so dass die vier aufeinanderfolgenden Anregeelektroden 11a, 11b, 11c, und 11d in dieser Reihenfolge zyklisch angeordnet sind, so dass eine Anzahl Anregeelektrodengruppen erhalten wird. Bei einem Anordnungskreis der Anregeelektroden 11a, 11b, 11c und 11d hat die Anregeelektrode 11a eine Anordnungsphase von 0°, die Anregeelektrode 11b hat eine Anordnungsphase von 90°, die Anregeelektrode 11c hat eine Anordnungsphase von 180°, und die Anregeelektrode 11d hat eine Anordnungsphase von 270° in jeder Anregeelektrodengruppe.
  • In der 3 wird die linke der beiden Seiten 21L und 21R der Verbindungselektroden, die sich jeweils in Radialrichtungen des beweglichen Bauteils 20 erstrecken, auf eine Referenzlinie 21L der Drehposition des beweglichen Bauteils 20 eingestellt, und die linke der beiden Seiten 11L und 11R von einer Anregeelektrode 11, die sich in Radialrichtungen erstreckt, wird auf eine Referenzlinie 11L der Position des Stators 10 eingestellt.
  • Ein Anordnungskreis der Anregeelektroden 11a, 11b, 11c und 11d in jeder Anregeelektrodengruppe 16 wird durch 4 geteilt, so dass die vier geteilten Bereiche, d. h. Quadranten, zur Erfassung der Position der Verbindungselektroden 21 bestimmt werden, wobei die Referenzlinie 11L des Stators 10 verwendet wird. Die kapazitive Codiervorrichtung der vorliegenden Ausführungsform bestimmt, in welchem geteilten Bereich sich die Referenzlinie 21L der Verbindungselektrode 21 zur Referenzlinie 11L des Stators 10 befindet, und gibt die Bestimmungsergebnisse aus.
  • Der Sequenzer 31 der Anregeeinrichtung 30 übermittelt Anregesignale entsprechend der folgenden Schritte an die Anregeelektroden 11. Der Sequenzer 31 startet die Übermittlung der Anregesignale, wenn die Spannungen der Anregeelektroden gleich der entsprechenden Referenzspannungen sind.
  • Im ersten Schritt werden Anregesignale SA, SC mit verschiedenen Polaritäten an einen der beiden Anregeelektrodensätze (11A, 11C in dem Beispiel von 4), deren Anordnungsphase sich um 180° bei den vier Anregeelektrodensätzen (11A, 11B, 11C, 11D) unterscheidet, übermittelt, so dass man ein erstes Erfassungssignal SG erhält. Mit diesem ersten Schritt kann man bestimmen, in welchem der geteilten Bereiche, die durch Teilen eines Anordnungskreises der Anregeelektroden in jeder Anregeelektrodengruppe durch 2 (versetzt um 180°) erhalten werden, sich die Referenzlinie 21L der Verbindungslektroden 21 befindet.
  • Die Erfassungssignale SG umfassen positive Spannungen und negative Spannungen, die auf vordere und hintere Ränder der Impulsspannungen der Anregesignale ansprechen. In diesem Beispiel übernimmt der Signalverarbeitungsabschnitt 40 positive Spannungen der Erfassungssignale SG als effiziente Signale und ignoriert die negativen Spannungen.
  • Im zweiten Schritt werden nach beendigter Übermittlung der Anregesignale SA, SC, die Anregesignale SB, SD mit verschiedenen Polaritäten an den Rest (11B, 11D) der Anregeelektroden in den vier Anregeelektrodensätzen (11A, 11B, 11C, 11D) übermittelt, so dass ein zweites Erfassungssignal SG erhalten wird. Auf der Basis der Kombination der Erfassungssignale, die bei der ersten und zweiten Übermittlung der Anregesignale erhalten wurden, wird bestimmt, in welchem der vier geteilten Bereiche sich die Referenzlinie 21L der Verbindungselektroden 21 befindet.
  • Nach beendigter Übermittlung der Anregesignale SB, SD wird die Referenzspannung von 0 V für einen festgelegten Zeitraum an die vier Anregeelektrodensätze ausgegeben.
  • Gemäß dieser Ausführungsform kann mit der Anordnung von vier Sätzen und zehn Gruppen der Anregeelektroden 11 eine Drehposition des beweglichen Bauteils 20 mit der Auflösung eines vierzigstel Teils pro Drehung des beweglichen Bauteils 20 bestimmt werden.
  • In der 4 wird genauer erläutert, wie man bestimmt, in welchem der vier geteilten Bereiche sich die Referenzlinie 21L der Verbindungselektroden 21 befindet.
  • Die 4 zeigt verschiedene Positionen der Verbindungselektrode 21 des beweglichen Bauteils 20 in Bezug auf die Anregeelektroden 11 des Stators 10 und ebenfalls die an die Anregeelektroden 11 übermittelten Anregesignale, und Erfassungssignale, die an entsprechenden Positionen der Verbindungselektrode 21 erzeugt werden.
  • Im vorstehend genannten ersten Schritt gibt der Sequenzer 31 ein Anregesignal SA einer positiven Impulsspannung an den Anregeelektrodensatz 11A, sowie ein Anregesignal SC einer negativen Impulsspannung mit der gleichen Amplitude wie das Anregesignal SA an den Anregeelektrodensatz 11C mit 180° Phasendifferenz in Bezug auf den Anregeelektrodensatz 11A aus. Somit sind die Änderungsrichtung der ersten Impulsspannung zum Anregeelektrodensatz 11A und die Änderungsrichtung der zweiten Impulsspannung zum Anregeelektrodensatz 11C entgegengesetzt zueinander.
  • Im vorstehend genannten zweiten Schritt gibt der Sequenzer 31 gleichzeitig ein Anregesignal SB einer positiven Impulsspannung an den Anregeelektrodensatz 11B, sowie ein Anregesignal SD einer negativen Impulsspannung mit der gleichen Amplitude wie das Anregesignal SB an den Anregeelektrodensatz 11D mit 180° Phasendifferenz in Bezug auf den Anregeelektrodensatz 11B aus. Somit sind die Änderungsrichtung der dritten Impulsspannung zum Anregeelektrodensatz 11B und eine Änderungsrichtung der vierten Impulsspannung zum Anregeelektrodensatz 11D entgegengesetzt zueinander.
  • Die Phasenwinkel in der Anordnung der Anregeelektroden sind im unteren Abschnitt von 4 gezeigt. In dem Beispiel von 4 hat der Anregeelektrodensatz 11A einen Phasenwinkel von 0, 360, ... Grad, der Elektrodensatz 11B hat einen Phasenwinkel von 90, 450, ... Grad, der Elektrodensatz 11C hat einen Phasenwinkel von 180, 540, ... Grad, und der Elektrodensatz 11D hat einen Phasenwinkel von 270, 630, ... Grad.
  • In 4 wird die linke Seite 11L einer Anregeelektrode in dem Anregeelektrodensatz 11A als Referenzlinie der Erfassung einer Drehposition der Verbindungselektrode 21 verwendet. Bei der an der obersten Position (n1) gezeigten Verbindungselektrode 21 ist die Referenzlinie 21L bei 0° positioniert. Da sich die Verbindungselektrode 21 gegenüber dem Anregeelektrodensatz 11A und dem Anregeelektrodensatz 11B befindet, erscheint an dieser Position ein positives Erfassungssignal SG (ein erstes Signal in sg1) im ersten Schritt, und anschließend erscheint ein zweites positives Erfassungssignal SG (ein zweites Signal in sg1) im zweiten Schritt.
  • Wird dann die Referenzlinie 21L der Verbindungselektrode 21 so verschoben, dass sie bei 22,5° (n2) positioniert ist, liegt die Verbindungselektrode gegenüber einem Teil des Anregeelektrodensatzes 11A, wobei ein Teil des Anregeelektrodensatzes 11C die gleiche Fläche wie der Teil des Anregeelektrodensatzes 11A aufweist, und dem gesamten Anregeelektrodensatz 11B. Somit erscheint kein Erfassungssignal (0 V) im ersten Schritt als Folge einer Auslöschung, und anschließend erscheint ein positives Erfassungssignal SG (ein zweiter Peak in sg2) im zweiten Schritt.
  • Bei einer Position, bei der die Referenzlinie 21L der Verbindungselektrode 21 bei 45° (n3) positioniert ist, liegt anschließend die Verbindungselektrode 21 gegenüber dem Anregeelektrodensatz 11B und dem Anregeelektrodensatz 11C. Somit erscheint ein negatives Erfassungssignal (ein erstes Signal in sg3) im ersten Schritt, und anschließend erscheint ein positives Erfassungssignal SG (ein zweites Signal in sg3) im zweiten Schritt. Dieser Zustand wird aufrecht erhalten, bis die Referenzlinie 21L die Position von 112,5° erreicht.
  • Wird die Referenzlinie 21L der Verbindungselektrode 21 so verschoben, dass sie bei 112,5° (n5) positioniert ist, liegt die Verbindungselektrode 21 gegenüber dem Anregeelektrodensatz 11B, dem Anregeelektrodensatz 11C und dem Anregeelektrodensatz 11D. Somit erscheint ein negatives Erfassungssignal (ein erstes Signal in sg5) im ersten Schritt, und anschließend erscheint kein Erfassungssignal im zweiten Schritt, da die Anregung durch den Anregeelektrodensatz 11B und die Anregung durch den Anregeelektrodensatz 11D entfallen.
  • Anschließend erscheinen in der beschriebenen Weise in dem Bereich zwischen 112,5° bis 202,5° negative Erfassungssignale in den ersten und zweiten Schritten, im Bereich zwischen 202,5 und 292,5 erscheint ein positives Erfassungssignal im ersten Schritt, und ein negatives Erfassungssignal erscheint im zweiten Schritt, und im Bereich zwischen 292,5 und 360° erscheinen positive Erfassungssignale in den ersten und zweiten Schritten.
  • Die 5a zeigt eine Zustandsdatentabelle, die die Beziehung zwischen Kombinationen der Erfassungssignale SG und geteilten Bereichen speichert, in denen sich die Referenzlinie der Verbindungselektroden befindet, wie es in der 4 gezeigt ist. Aus der Zustandsdatentabelle kann bestimmt werden, in welchem Bereich sich die Referenzlinie 21L der Verbindungselektrode 21 befindet, und zwar auf der Basis der Kombination der Erfassungssignale SG, die in dem ersten und zweiten Schritt erhalten wurden. Die in der 5b gezeigten Linien Z1 bis Z4 sind Grenzen der geteilten Bereiche, und diese Linien sind jeweils in den ersten bis vierten Bereichen enthalten. In 5a veranschaulichen X1 bzw. X2 die ersten und zweiten Erfassungssignale, die in der Empfangselektrode 14 erscheinen, mit einem positiven Vorzeichen(+) und einem negativen Vorzeichen (–).
  • In den 6 und 7a7s ist eine zweite Ausführungsform erläutert, in der drei Anregeelektrodensätze bereitgestellt sind. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der in den 4, 5a und 5b gezeigten ersten Ausführungsform hinsichtlich der Kombinationen der anzuregenden Anregeelektrodensätze und Signalhöhen der Anregesignale im ersten und zweiten Schritt.
  • In dieser Ausführungsform umfasst der Stator drei Anregeelektrodensätze 11A, 11B und 11C, die in dieser Reihenfolge im Uhrzeigersinn angeordnet sind. Da die Anregeelektrodensätze 11A, 11B und 11C so angeordnet sind, dass sie um 120° versetzt werden können, unterscheidet sich eine Kombination von anzuregenden Anregeelektroden von derjenigen der ersten Ausführungsform.
  • In dieser Ausführungsform übermittelt der Sequenzer 31 der Anregeeinrichtung 30 Anregesignale an die Anregeelektroden 11 gemäß den folgenden Schritten.
  • In einem ersten Schritt werden alle drei Anregeelektrodensätze angeregt. Der Sequenzer 31 übermittelt gleichzeitig ein Anregesignal SA einer positiven Impulsspannung an den Anregeelektrodensatz 11A und die Anregesignale SE und SF der negativen Spannungen an den Anregeelektrodensatz 11B und den Anregeelektrodensatz 11C, die kurzgeschlossen sind. Die Amplitude der negativen Spannungen, die an die Anregeelektrodensätze 11B und 11C angelegt werden, wird halb so groß wie die Amplitude der positiven Spannung eingestellt, die an den Anregeelektrodensatz 11A angelegt wird. Ein ersten Erfassungssignal wird in Reaktion auf die gleichzeitige Anlegung einer ersten Impulsspannung des Anregesignals SA und einer zweiten Impulsspannung der Anregesignale SE und SF erhalten.
  • Dann wird in einem zweiten Schritt keine Impulsspannung an den Anregeelektrodensatz 11A angelegt (d. h. er wird bei der Referenzspannung gehalten), eine positive Impulsspannung wird an den Anregeelektrodensatz 11B angelegt, und gleichzeitig wird eine negative Impulsspannung mit der gleichen Amplitude wie die positive Spannung an den Anregeelektrodensatz 11C angelegt. Ein zweites Erfassungssignal wird in Reaktion auf die gleichzeitige Anlegung einer dritten Impulsspannung des Anregesignals SE und einer vierten Impulsspannung des Anregesignals SF erhalten. Mit den beiden vorstehend genannten Schritten kann man auf die gleiche Weise wie in der ersten Ausführungsform bestimmen, in welchem der vier geteilten Bereiche sich die Referenzlinie 21L der Verbindungselektroden 21 befindet.
  • Man nimmt an, dass die Spannungen der jeweiligen Anregeelektrodensätze als Vektoren auf einem X-Y-Koordinatensystem dargestellt werden. In den 7b und 7d7g wird eine durch die Grenzen Z1 und Z3 definierte Linie als X-Achse angesehen, wobei ihre positive Richtung als Richtung von der Grenze Z3 zur Grenze Z1 definiert ist, und eine durch die Grenzen Z2 und Z4 definierte Linie wird als Y-Achse angesehen, wobei ihre positive Richtung als Richtung von der Grenze Z4 zur Grenze Z2 definiert ist. Wird die Referenzlinie 21L der Verbindungselektrode 21 zur X-Achse ausgerichtet, ist kein Erfassungssignal in Reaktion auf die gleichzeitige Anlegung der ersten und zweiten Impulsspannungen vorhanden. Wird die Referenzlinie 21L der Verbindungselektrode 21 zur Y-Achse ausgerichtet, ist kein Erfassungssignal in Reaktion auf die gleichzeitige Anlegung der dritten und vierten Impulsspannungen vorhanden. Somit sind die durch die Grenzen Z1 und Z3 definierte X-Achse und die durch die Grenzen Z2 und Z4 definierte Y-Achse Grenzen eines Bereichs, in dem sich ein positives Erfassungssignal befindet, und eines Bereichs, in dem sich ein negatives Erfassungssignal befindet. Angenommen, die Verbindungselektrode 21 dreht sich in einer Richtung, wie es durch einen Pfeil in 7d angegeben ist, ändert sich das Vorzeichen des ersten Erfassungssignals von positiv zu negativ und negativ zu positiv, wenn die Referenzlinie 21L der Verbindungselektrode 21 die Grenze Z1 bzw. Grenze Z3 überschreitet. Entsprechend ändert sich das Vorzeichen des zweiten Erfassungssignals von positiv zu negativ, wenn die Referenzlinie 21L der Verbindungselektrode 21 die Grenze Z2 und die Grenze Z4 überschreitet. Somit werden der Übergang der Grenze Z1 und der Übergang der Grenze Z3 der Referenzlinie 21L durch das erste Erfassungssignal unterschieden, und der Übergang der Grenze Z2 und der Übergang der Grenze Z4 der Referenzlinie 21L werden durch das zweite Erfassungssignal unterschieden, so dass bestimmt wird, in welchem der ersten bis vierten geteilten Bereiche sich die Referenzlinie 21L der Verbindungselektrode 21, bezogen auf eine Kombination der ersten und zweiten Erfassungssignale, befindet. Ist zudem das erste Erfassungssignal gleich Null, kann auf der Basis des zweiten Erfassungssignals unterschieden werden, in welcher Hälfte des einen Kreises sich die Verbindungselektrode befindet, und ist das zweite Erfassungssignal gleich Null, kann auf der Basis des ersten Erfassungssignals unterschieden werden, in welcher Hälfte des einen Kreises sich die Verbindungselektrode befindet. Da im ersten Schritt die Änderungsrichtung der Impulsspannung des Anregesignals SA zum Anregeelektrodensatz 11A zu den Änderungsrichtungen der Impulsspannungen der Anregesignale SE und SF zu den Anregeelektrodensätzen 11B bzw. 11C entgegengesetzt sind, und die Spannungsänderungen der jeweiligen Anregeelektrodensätze über kapazitive Kupplung an die Verbindungselektrode 21 übertragen werden, entspricht die gleichzeitige Übermittlung der Anregesignale SA, SE und SF einer gleichzeitigen Anlegung einer positiven Spannung und einer negativen Spannung mit der gleichen Amplitude wie die positive Spannung auf der X-Achse. Somit werden die erste Impulsspannung an den Anregeelektrodensatz 11A und die zweite Impulsspannung an die Anregeelektrodensätze 11B und 11C, die so angeordnet sind, dass sie zu einer Anordnung äquivalent ist, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz 11A haben soll, gleichzeitig angelegt. Entsprechend ist im zweiten Schritt die gleichzeitige Übermittlung der Anregesignale SE und SF äquivalent zu einer gleichzeitigen Anlegung einer positiven Spannung und einer negativen Spannung mit der gleichen Amplitude wie die positive Spannung auf der Y-Achse. Somit werden die dritte Impulsspannung an den Anregeelektrodensatz 11B und die vierte Impulsspannung an den Anregeelektrodensatz 11C, der so angeordnet ist, dass er zu einer Anordnung äquivalent ist, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz 11B haben soll, gleichzeitig angelegt.
  • Im ersten Schritt entspricht die gleichzeitige Übermittlung der Anregesignale SA, SE und SF einer gleichzeitigen Übermittlung eines Anregesignals, das höher ist als die Referenzspannung, und eines Anregesignals, das niedriger ist als die Referenzspannung, an die beiden Bereiche (die durch die Y-Achse geteilt sind), die den beiden Hälften des einen Kreises (360° in elektrischen Grad) der Anordnung der Anregeelektroden entsprechen, wie es in 7f gezeigt ist. Da die Verbindungselektrode 21 einen Halbkreis der Anordnung der Anregeelektroden wie in 7c gezeigt, abdeckt, wird das Vorzeichen des ersten Erfassungssignals je nach der Drehposition der Verbindungselektrode 21 positiv, negativ oder Null. Insbesondere wechselt das Vorzeichen des ersten Erfassungssignals auf positiv, Null, negativ, Null, positiv, ... zyklisch mit der Drehung der Verbindungselektrode 21 in einer Richtung, wie es in den 7h7s gezeigt ist. Somit wird der eine Anordnungskreis der Anregeelektroden in zwei Bereiche unterteilt, wobei das erste Erfassungssignal einen positiven Wert und einen negativen Wert aufweist, mit den Grenzen Z1 und Z3, wobei das erste Erfassungssignal Null ist.
  • Im zweiten Schritt entspricht die gleichzeitige Übermittlung der Anregesignale SE und SF einer gleichzeitigen Übermittlung eines Anregesignals, das höher ist als die Referenzspannung und eines Anregesignals, das niedriger ist, als die Referenzspannung, an die beiden Bereiche (die durch die X-Achse geteilt sind), die den beiden Hälften des einen Kreises (360° in elektrischen Grad) der Anordnung der Anregeelektroden, wie in der 7g gezeigt, entsprechen. Das Vorzeichen des zweiten Erfassungssignals wird je nach der Drehposition der Verbindungselektrode 21 positiv, negativ oder Null. Insbesondere wechselt das Vorzeichen des zweiten Erfassungssignal auf positiv, Null, negativ, Null, positiv, ...zyklisch mit der Drehung der Verbindungselektrode 21 in einer Richtung, wie in den 7h7s gezeigt. Somit wird der eine Anordnungskreis der Anregeelektroden in zwei Bereiche unterteilt, in denen das zweite Erfassungssignal einen positiven Wert und einen negativen Wert mit den Grenzen Z2 und Z4 hat, wobei das zweite Erfassungssignal Null ist.
  • In der vorstehend beschriebenen Weise wird bestimmt, in welchem der vier geteilten Bereiche sich die Referenzlinie 21L der Verbindungselektroden 21 auf der Basis der Kombination des ersten Erfassungssignals und des zweiten Erfassungssignals befindet.
  • In der vorstehend genannten zweiten Ausführungsform werden die Referenzspannungen der Anregeelektrodensätze 11A, 11B, und 11C auf den gleichen Wert von 0 V eingestellt, die Referenzspannungen werden jedoch nicht unbedingt auf den gleichen Wert eingestellt, sondern können für die jeweiligen Anregeelektrodensätze unterschiedlich eingestellt werden.
  • Die 7a zeigt eine Zustandsdatentabelle, die die Beziehung zwischen den Kombinationen der Erfassungssignale und der geteilten Bereiche speichert, in denen die Verbindungselektrode wie in 6 positioniert ist. In Bezug auf die Zustandsdatentabelle kann man bestimmen, in welchem der vier geteilten Bereiche wie in 7b gezeigt, sich die Referenzlinie 21L der Verbindungselektroden 21, bezogen auf die Kombination der Erfassungssignale SG, die in den ersten und zweiten Schritten erhalten werden, befinden. Die Linien Z1 bis Z4 in der 7b sind Grenzen der geteilten Bereiche, und diese Linien sind in den ersten bis vierten Bereichen jeweils enthalten. X1 bzw. X2 veranschaulichen jeweils die ersten und zweiten Erfassungssignale, die in der Empfangselektrode 14 erscheinen, mit einem positiven Vorzeichen (+), 0 und einem negativen Vorzeichen (–).
  • Eine Ausführungsform des Signalverarbeitungsabschnitts 40 wird anhand von 8 beschrieben, und die von dem Signalverarbeitungsabschnitt 40 durchzuführende Verarbeitung wird anhand von 9 erläutert. Der Signalverarbeitungsabschnitt 40 empfängt das erste Erfassungssignal von der kapazitiven Codiervorrichtung 100 und speichert das empfangene Signal in dem RAM 42. Dann wird das erhaltene zweite Erfassungssignal mit dem gespeicherten ersten Erfassungssignal kombiniert, und Zustandsdaten werden aus der Zustandsdatentabelle in ROM 43 auf der Basis der kombinierten Daten gelesen. Diese arithmetischen Rechenoperationen werden von der CPU 41 durchgeführt.
  • Ein Algorithmus der in 9 gezeigten Verarbeitung wird erläutert.
  • [Schritt SA1] Die Ausführung des ersten Schritts wird dem Sequenzer befohlen.
  • [Schritt SA2] Es wird bestimmt, ob ein Signal der Beendigung des ersten Schritts aus dem Sequenzer ausgegeben wurde. Wird die Ausgabe des Beendigungssignals bestimmt, wird ein Erfassungssignal erhalten, und wenn nicht, wird die Bestimmung fortgesetzt.
  • [Schritt SA3] Das Erfassungssignal wird codiert. Jedes Erfassungssignal kann einen von drei Zuständen annehmen, nämlich einen positiven Wert, Null und einen negativen Wert, und kann somit durch 2-Bit-Information veranschaulicht werden. Das codierte Signal wird gespeichert.
  • [Schritt SA4] Die Ausführung des zweiten Schritts wird dem Sequenzer befohlen.
  • [Schritt SA5] Es wird bestimmt, ob ein Signal der Beendigung des zweiten Schritts aus dem Sequenzer ausgegeben wird. Wird die Ausgabe des Beendigungssignals bestimmt, wird ein Erfassungssignal von der Empfangselektrode erhalten, und wenn nicht, wird die Bestimmung wiederholt.
  • [Schritt SA6] Das Erfassungssignal wird codiert. Jedes Erfassungssignal kann einen von drei Zuständen annehmen, nämlich einen positiven Wert, Null und einen negativen Wert, und kann somit durch 2-Bit-Information veranschaulicht werden.
  • [Schritt SA7] Das in Schritt SA3 erhaltene Erfassungssignal und das in Schritt SA6 erhaltene Erfassungssignal werden gemäß einer festgelegten Regel kombiniert, so dass man Bestimmungsdaten erhält.
  • [Schritt SA8] Es wird bestimmt, in welchem geteilten Bereich sich die Referenzlinie der Verbindungselektroden befindet, auf der Basis der Bestimmungsdaten, bezogen auf die Zustandsdatentabelle, die die Beziehung zwischen der Kombination der Erfassungssignale und dem entsprechenden geteilten Bereich speichert, und die bestimmten Daten des geteilten Bereichs werden ausgegeben.
  • Eine dritte erfindungsgemäße Ausführungsform wird anhand von 1012 beschrieben.
  • Die 10 zeigt eine kapazitive Codiervorrichtung mit Vierphasen-Anregeelektroden (11), worin ein Signalverarbeitungsabschnitt 40 aufweist ein Bereichsregister 45 zum Speichern der vorhergehenden Daten bezüglich des geteilten Bereichs, und eine λ-Zählvorrichtung 46 zum Speichern der λ-Zahl, die jedes Mal aktualisiert wird, wenn die Bewegung des beweglichen Bauteils 20 ein λ überschreitet (ein Anordnungskreis der Anregeelektroden). Die Art der Zählung der λ-Zahl mit dem Bereichsregister und der λ-Zählvorrichtung wird anhand von 11 erläutert.
  • Wie in der 12 gezeigt werden die ersten bis vierten geteilten Bereiche im Gegenuhrzeigersinn festgelegt. In diesem Beispiel wird eine Grenze zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich auf einen Changeover der λ-Zahl eingestellt, so dass es bestimmt wird, dass sich das bewegliche Bauteil 20 um 1 λ bewegt hat, wenn die Referenzlinie 21L der Verbindungselektrode 21 von dem ersten Bereich in den zweiten Bereich übertritt. Die Bewegung von dem ersten Bereich zum zweiten Bereich im Uhrzeigersinn ist innerhalb von einem λ, so dass die λ-Zählvorrichtung nicht aktualisiert wird. Bei einem ersten Bestimmungsschritt wird bestimmt, ob der Wert des Bereichsregisters den ersten oder zweiten Bereich anzeigt. Im zweiten Schritt wird bestimmt, ob die in dem aktuellen Verarbeitungszeitraum erhaltenen Bereichsdaten den ersten oder zweiten Bereich anzeigen.
  • Die jeweiligen Schritte des in 11 gezeigten Fließschemas werden erläutert.
  • [Schritt SC1]: Die vorherigen Bereichsdaten werden gelesen.
  • [Schritt SC2]: Es wird bestimmt, ob die vorhergehende Bereichsdaten den ersten Bereich anzeigen oder nicht. Zeigen die vorhergehenden Bereichsdaten den Bestimmungen zufolge den ersten Bereich an, läuft das Verfahren weiter bei Schritt SC3, und wenn nicht, läuft das Verfahren weiter bei Schritt SC5.
  • [Schritt SC3]: Es wird bestimmt, ob die aktuellen Bereichsdaten den zweiten Bereich anzeigen. Zeigen die aktuellen Bereichsdaten den Bestimmungen zufolge den zweiten Bereich an, läuft das Verfahren weiter bei Schritt SC4, und wenn nicht, wird das Verfahren beendet.
  • [Schritt SC4]: Die λ-Zählvorrichtung wird um ”1” erhöht und gespeichert.
  • [Schritt SC5]: Es wird bestimmt, ob die vorhergehenden Bereichsdaten den zweiten Bereich anzeigen. Zeigen die vorhergehenden Bereichsdaten den Bestimmungen zufolge den zweiten Bereich an, läuft das Verfahren weiter bei Schritt SC6, und wenn nicht, wird das Verfahren beendet.
  • [Schritt SC6]: Es wird bestimmt, ob die aktuellen Bereichsdaten den ersten Bereich anzeigen. Zeigen die aktuellen Bereichsdaten den Bestimmungen zufolge den ersten Bereich an, läuft das Verfahren weiter bei Schritt SC7, und wenn nicht, wird das Verfahren beendet.
  • [Schritt SC7]: Die λ-Zählvorrichtung wird um ”1” gesenkt und gespeichert, und das Verfahren wird beendet.
  • Mit dieser Ausführungsform kann eine Drehposition des beweglichen Bauteils 20 über eine Anzahl von Anordnungskreisen der Anregeelektroden 11 sicher bestimmt werden.
  • Die 13 zeigt eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, in der Anregesignale, die sich von den in 4 gezeigten Anregesignalen unterscheiden, an die Anregeelektrodensätze der kapazitiven Codiervorrichtung mit der in 3 gezeigten Hardware-Konfiguration übermittelt werden.
  • In dem Beispiel von 4 werden die Impulsspannungen in dem zweiten Schritt angelegt, nachdem die im ersten Schritt angelegten Impulsspannungen zurück auf Null gestellt wurden, jedoch überlappen sich die jeweiligen Impulse in dem Beispiel von 13.
  • In dem Beispiel von 4 nimmt der Signalverarbeitungsabschnitt 40 positive Spannungen der Erfassungssignale SG als effektiv an, jedoch nimmt der Signalverarbeitungsabschnitt 40 in diesem Beispiel sowohl die positiven als auch die negativen Spannungen der Erfassungssignale SG als effektiv an.
  • In dem Beispiel von 4 wird ein Bestimmungsergebnis von einer Ausgabe von Anregesignalen erhalten, jedoch können je nach der Art der Übermittlung der Anregesignale, wie in 13 gezeigt, zwei Bestimmungsergebnisse, d. h. ein Bestimmungsergebnis auf der Basis der Erfassungssignale, die die auf die vorderen Ränder der Impulse der Anregesignale ansprechen, und ein Bestimmungsergebnis auf der Basis der Erfassungssignale, die auf die hinteren Ränder der Impulse der Anregesignale ansprechen, erhalten werden.
  • Man beachte, dass man die umgekehrten Vorzeichen der Erfassungssignale bearbeiten muss, die auf die hinteren Ränder der Anregesignale ansprechen, oder den Inhalt der gespeicherten Daten usw. modifizieren muss, da das Erfassungssignal, das dem vorderen Rand entspricht, und das Erfassungssignal, das dem hinteren Rand des Anregesignals entspricht, umgekehrt sind.
  • Die 14a bis 14c zeigen die Zeit der Erfassungen von (1) dem ersten Erfassungssignal und (2) dem zweiten Erfassungssignal an. Die 14d zeigt die Zeit der Erfassungen von (1) dem ersten Erfassungssignal, (2) dem zweiten Erfassungssignal, (3) dem dritten Erfassungssignal und (4) dem vierten Erfassungssignal an.
  • Es werden die jeweiligen Schritte des in 15 gezeigten Fließschemas erläutert.
  • [Schritt SB1]–[Schritt SB4]: Ein Start der gleichzeitigen Anlegung der ersten und zweiten Spannungen wird dem Sequenzer befohlen, ein erster Zeitgeber wird gestartet, der die Zeitspanne misst, die vom Start der gleichzeitigen Anlegung der ersten und zweiten Spannungen vergangen ist, ein erstes Erfassungssignal wird erhalten und das erhaltene erste Erfassungssignal wird codiert und gespeichert.
  • [Schritt SB5]–[Schritt SB8]: Ein Start der gleichzeitigen Anlegung der dritten und vierten Spannungen wird dem Sequenzer befohlen, ein zweiter Zeitgeber wird gestartet, der die Zeitspanne misst, die vom Start der gleichzeitigen Anlegung der vierten und fünften Spannungen vergangen ist, ein zweites Erfassungssignal wird erhalten und das erhaltene zweite Erfassungssignal wird codiert und gespeichert.
  • [Schritt SB9], [Schritt SB10]: Das erste und zweite Erfassungssignal werden kombiniert, so dass erste Bestimmungsdaten erhalten werden, und es wird bestimmt, in welchem geteilten Bereich sich die Referenzlinie der Verbindungselektroden befindet, indem man auf die Datentabelle zurückgreift.
  • [Schritt SB11]–[Schritt SB14]: Es wird bestimmt, ob der erste Zeitgeber eine erste festgelegte Zeitspanne gemessen hat oder nicht, und wenn es bestimmt wird, dass die erste festgelegte Zeitspanne verstrichen ist, wird dem Sequenzer ein Anhalten der Anlegung der dritten und vierten Spannungen befohlen, ein drittes Erfassungssignal wird erhalten, und das erhaltene dritte Erfassungssignal wird codiert und gespeichert.
  • [Schritt SB15]–[Schritt SB18]: Es wird bestimmt, ob die zweite Zeitspanne verstrichen ist oder nicht, und wenn es bestimmt wird, dass die zweite Zeitspanne verstrichen ist, wird dem Sequenzer ein Anhalten der Anlegung der dritten und vierten Spannungen befohlen, ein viertes Erfassungssignal wird erhalten, und das erhaltene vierte Erfassungssignal wird codiert und gespeichert.
  • [Schritt SB19], [Schritt SB20]: Das dritte und vierte Erfassungssignal werden kombiniert, so dass zweite Bestimmungsdaten erhalten werden, und es wird bestimmt, in welchem geteilten Bereich sich die Referenzlinie der Verbindungselektroden befindet, indem man auf die Datentabelle zurückgreift.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 61-105421 A [0003]

Claims (7)

  1. Kapazitive Codiervorrichtung, umfassend: einen Stator mit einer Anzahl Anregeelektrodensätzen, die voneinander elektrisch unabhängig und versetzt angeordnet sind, so dass sie Phasendifferenzen zueinander aufweisen, wobei jeder Satz aus Anregeelektroden besteht, die zyklisch angeordnet sind, und die miteinander elektrisch verbunden sind, so dass eine festgelegte Zahl von Anregeelektrodengruppen gebildet wird, und eine Empfangselektrode aufweisen, die von den Anregeelektroden elektrisch unabhängig ist; ein bewegliches Bauteil, das in Bezug auf den Stator beweglich ist und Verbindungselektroden aufweist, die derart angeordnet sind, dass sie sich zyklisch gegenüber den Anregeelektroden des Stators befinden, und sie die gleiche Zahl wie Anregeelektrodengruppen aufweisen, und eine Sendeelektrode, die elektrisch mit den Verbindungselektroden verbunden ist und die so angeordnet ist, dass sie sich gegenüber der Empfangselektrode des Stators befindet; Anregeeinrichtungen zum Anregen der Anregeelektroden des Stators; und Signalverarbeitungseinrichtungen zum Verarbeiten der Erfassungssignale, die in den Verbindungselektroden des beweglichen Bauteils erzeugt werden und durch die Empfangselektrode über die Sendeelektrode empfangen werden, wobei in einem Zustand, in dem die Spannungen der Anregeelektroden auf entsprechende Referenzspannungen eingestellt werden, die Anregeeinrichtung gleichzeitig eine erste Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze anlegt und eine zweite Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze anlegt, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf einen oder mehrere Anregeelektrodensätze haben, an dem die erste Impulsspannung anliegt, wobei die Änderungsrichtungen der ersten und zweiten Impulsspannung entgegen gesetzt zueinander sind, und nach Beendigung des Anlegens der ersten und zweiten Impulsspannungen legt die Anregeeinrichtung gleichzeitig eine dritte Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze an, die sich von den Anregeelektrodensätzen unterscheiden, an denen die ersten und zweiten Impulsspannungen anliegen, und eine vierte Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze haben, an denen die dritte Impulsspannung anliegt, wobei die Änderungsrichtungen der dritten und vierten Impulsspannung entgegengesetzt zueinander sind, und die Signalverarbeitungseinrichtung ein erstes Erfassungssignal speichert, das von der Empfangselektrode empfangen wird, wenn die ersten und zweiten Impulsspannungen angelegt werden, und ein zweites Erfassungssignal speichert, das von der Empfangselektrode empfangen wird, wenn die dritten und vierten Impulsspannungen angelegt werden, so dass bestimmt wird, in welchem der geteilten Bereiche sich eine Referenzlinie der Verbindungselektroden befindet, und zwar auf der Basis der Kombination der ersten und zweiten Erfassungssignale, wobei die geteilten Bereiche durch Teilen eines Anordnungskreises der Anregeelektroden in jeder Anregeelektrodengruppe durch 4 festgelegt werden.
  2. Kapazitive Codiervorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Anregeeinrichtung gleichzeitig die dritte Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze, die Phasendifferenzen von 90° in Bezug auf die einen oder mehreren Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die erste oder zweite Impulsspannung anliegt, und die vierte Impulsspannung an eine oder mehrere der Anregeelektrodensätze anlegt, die Phasendifferenzen von 180° in Bezug auf die einen oder mehreren Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die dritte Impulsspannung anliegt.
  3. Kapazitive Codiervorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Anregeeinrichtung gleichzeitig die erste Impulsspannung an einen der Anregeelektrodensätze und die zweite Impulsspannung an einen der Anregeelektrodensätze anlegt, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz haben, an dem die erste Impulsspannung anliegt, und gleichzeitig die dritte Impulsspannung an einen der Anregeelektrodensätze anlegt, die eine Phasendifferenz von 90° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz haben, an dem die dritte Impulsspannung anliegt.
  4. Kapazitive Codiervorrichtung, umfassend: einen Stator mit einer Anzahl Anregeelektrodensätzen, die voneinander elektrisch unabhängig und versetzt angeordnet sind, so dass sie Phasendifferenzen zueinander aufweisen, wobei jeder Satz aus Anregeelektroden besteht, die zyklisch angeordnet sind, und die miteinander elektrisch verbunden sind, so dass eine festgelegte Zahl von Anregeelektrodengruppen gebildet wird, und eine Empfangselektrode aufweisen, die von den Anregeelektroden elektrisch unabhängig ist; ein bewegliches Bauteil, das in Bezug auf den Stator beweglich ist und Verbindungselektroden aufweist, die derart angeordnet sind, dass sie sich zyklisch gegenüber den Anregeelektroden des Stators befinden, und sie die gleiche Zahl wie Anregeelektrodengruppen aufweisen, und eine Sendeelektrode, die elektrisch mit den Verbindungselektroden verbunden ist und die so angeordnet ist, dass sie sich gegenüber der Empfangselektrode des Stators befindet Anregeeinrichtungen zum Anregen der Anregeelektroden des Stators; und Signalverarbeitungseinrichtungen zum Verarbeiten der Erfassungssignale, die in den Verbindungselektroden des beweglichen Bauteils erzeugt werden und durch die Empfangselektrode über die Sendeelektrode empfangen werden, wobei in einem Zustand, in dem die Spannungen der Anregeelektroden auf entsprechende Referenzspannungen eingestellt sind, die Anregeeinrichtung gleichzeitig eine erste Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze anlegt und eine zweite Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze anlegt, die so angeordnet sind, dass sie äquivalent zu einer Anordnung sind, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf einen oder mehrere Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die erste Impulsspannung anliegt, wobei die Änderungsrichtungen der ersten Impulsspannung und der zweiten Impulsspannung entgegengesetzt zueinander sind, und nach beendigtem Anlegen der ersten und zweiten Impulsspannungen legt die Anregeeinrichtung gleichzeitig eine dritte Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze an, die sich von den Anregeelektrodensätzen unterscheiden, an denen die ersten und zweiten Impulsspannungen anliegen, und eine vierte Impulsspannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze, die so angeordnet sind, dass sie äquivalent zu einer Anordnung sind, dass sie Phasendifferenzen von 180° in Bezug auf den einen oder mehrere Anregeelektrodensätze haben, an denen die dritte Impulsspannung anliegt, wobei die Änderungsrichtungen der dritten Impulsspannung und der vierten Impulsspannung entgegengesetzt zueinander sind, und die Signalverarbeitungseinrichtung ein erstes Erfassungssignal speichert, das von den Empfangselektroden empfangen wird, wenn die ersten und zweiten Impulsspannungen angelegt werden, und ein zweites Erfassungssignal speichert, das von der Empfangselektrode empfangen wird, wenn die dritten und vierten Impulsspannungen angelegt werden, so dass bestimmt wird, in welchem der geteilten Bereiche sich eine Referenzlinie der Verbindungselektroden befindet, auf der Basis einer Kombination der ersten und zweiten Erfassungssignale, wobei die geteilten Bereiche durch Teilen von einem Anordnungskreis der Anregeelektroden in jeder Anregeelektrodengruppe durch 4 festgelegt werden.
  5. Kapazitive Codiervorrichtung, umfassend: einen Stator mit einer Anzahl Anregeelektrodensätzen, die voneinander elektrisch unabhängig und versetzt angeordnet sind, so dass sie Phasendifferenzen zueinander aufweisen, wobei jeder Satz aus Anregeelektroden besteht, die zyklisch angeordnet sind, und die miteinander elektrisch verbunden sind, so dass eine festgelegte Zahl von Anregeelektrodengruppen gebildet wird, und eine Empfangselektrode aufweisen, die von den Anregeelektroden elektrisch unabhängig ist; ein bewegliches Bauteil, das in Bezug auf den Stator beweglich ist und Verbindungselektroden aufweist, die derart angeordnet sind, dass sie sich zyklisch gegenüber den Anregeelektroden des Stators befinden, und sie die gleiche Zahl wie Anregeelektrodengruppen aufweisen, und eine Sendeelektrode, die elektrisch mit den Verbindungselektroden verbunden ist und die so angeordnet ist, dass sie sich gegenüber der Empfangselektrode des Stators befindet; Anregeeinrichtungen zum Anregen der Anregeelektroden des Stators; und Signalverarbeitungseinrichtungen zum Verarbeiten der Erfassungssignale, die in den Verbindungselektroden des beweglichen Bauteils erzeugt werden und durch die Empfangselektrode über die Sendeelektrode empfangen werden, wobei in einem Zustand, in dem die Spannungen der Anregeelektrodensätze auf entsprechende Referenzspannungen eingestellt werden, die Anregeeinrichtung gleichzeitig das Anlegen einer ersten Spannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze und einer zweiten Spannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze beginnt, die Phasendifferenzen von 180° in Bezug auf einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die erste Spannung anliegt, wobei eine Änderungsrichtung zur ersten Impulsspannung von ihrer Referenzspannung und eine Änderungsrichtung zur zweiten Impulsspannung von ihrer Referenzspannung entgegengesetzt zueinander sind, und das Anlegen der ersten und zweiten Spannungen nach einem ersten festgelegten Zeitraum beendet, nach dem Beginn des Anlegens der ersten und zweiten Impulsspannungen, wobei die Anregeeinrichtung gleichzeitig das Anlegen einer dritten Spannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze startet, die sich von den Anregeelektrodensätzen unterscheiden, an denen die ersten und zweiten Impulsspannungen anliegen, und einer vierten Impulsspannung an eine oder mehrere der Anregeelektrodensätze, die Phasendifferenzen von 180° in Bezug auf einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die dritte Impulsspannung anliegt, wobei eine Änderungsrichtung von einer Referenzspannung zur dritten Impulsspannung und eine Änderungsrichtung von einer Referenzspannung zur vierten Impulsspannung entgegengesetzt zueinander sind, und beendet das Anlegen der dritten und vierten Spannungen nach einer zweiten festgelegten Zeitspanne, und die Signalverarbeitungseinrichtung ein erstes Erfassungssignal speichert, das von der Empfangselektrode empfangen wird, wenn das Anlegen der ersten und zweiten Anregesignale gestartet wird, und ein zweites Erfassungssignal speichert, wenn das Anlegen der dritten und vierten Anregesignale gestartet wird, so dass bestimmt wird, in welchem der geteilten Bereiche sich das bewegliche Bauteil befindet, auf der Basis einer Kombination der ersten und zweiten Erfassungssignale, wobei die geteilten Bereiche durch Teilen eines Anordnungskreises der Anregeelektroden in jeder Anregeelektrodengruppe durch 4 festgelegt werden, und weiter die Signalverarbeitungseinrichtung ein drittes Erfassungssignal speichert, wenn das Anlegen der ersten und zweiten Anregesignale beendet wird, und ein viertes Erfassungssignal speichert, wenn das Anlegen der dritten und vierten Anregesignale beendet wird, so dass man auf der Basis einer Kombination der dritten und vierten Erfassungssignale bestimmt, in welchem der vier geteilten Bereiche sich das bewegliche Bauteil befindet.
  6. Kapazitive Codiervorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Anregeeinrichtung gleichzeitig das Anlegen der dritten Spannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze, die Phasendifferenzen von 90° in Bezug auf einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die erste oder zweite Spannung anliegt, und der vierten Spannung an einen oder mehrere der Anregeelektrodensätze startet, die Phasendifferenzen von 180° in Bezug auf einen oder mehrere Anregeelektrodensätze aufweisen, an denen die dritte Impulsspannung anliegt.
  7. Kapazitive Codiervorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Anregeeinrichtung gleichzeitig das Anlegen der ersten Spannung an einen der Anregeelektrodensätze und der zweiten Spannung an einen der Anregeelektrodensätze startet, die eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz aufweisen, an denen die erste Spannung anliegt, und gleichzeitig die dritte Spannung an einen der Anregeelektrodensätze, die eine Phasendifferenz von 90° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz aufweisen, an denen die erste Spannung oder die zweite Spannung anliegt, und die vierte Spannung an den Anregeelektrodensatz anlegt, der eine Phasendifferenz von 180° in Bezug auf den Anregeelektrodensatz aufweist, an dem die dritte Spannung anliegt.
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