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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer
Platte aus einem dielektrischen Material mit einer ESD-geschützten Oberfläche. Ferner
betrifft die Erfindung auch eine nach diesem Verfahren hergestellte
beschichtete Platte aus dielektrischem Material mit einem Substrat
aus Glas oder Glaskeramik, an dessen Rückseite elektronische Bauelemente
angeordnet sind.
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ESD
(Electrostatic Discharge) steht für elektrostatische Entladung
und ist ein durch große
Potentialdifferenz in einem elektrisch isolierenden Material entstehender
Funke oder Durchschlag, der einen sehr kurzen hohen elektrischen
Stromimpuls verursacht. Berührt
ein Benutzer, der elektrostatisch aufgeladen ist, eine nicht ESD-geschützte Oberfläche einer
Platte aus einem dielektrischen Material, z. B. einer Bedienplatte,
so kann schon ein Bruchteil dieser Spannung (statische Aufladung)
elektronische Bauteile beschädigen
oder zerstören.
Die Spannung kann bis zu mehreren tausend Volt betragen. Für bestimmte
Geräte
wird daher ein ESD-Schutz gefordert, so dass keine schädlichen
Ladungen entstehen und bei Berührung
des Geräts
durch einen Benutzer eventuell vorhandene Ladungen umgehend abgeleitet
werden.
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Es
ist bereits bekannt, Platten bzw. Bedienplatten aus Kunststoffmaterialien
herzustellen, die einen ESD-Schutz aufweisen. Dazu wird der Kunststoff aus
Mischgranulaten, die elektrisch leitfähige Partikel, wie beispielsweise
Grafit enthalten, hergestellt.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, alternative Herstellverfahren
zum Herstellen robuster Platten aus einem dielektrischen Material,
z. B. Bedienplatten, aufzuzeigen, wobei die Sensorik der Bedienplatten
nicht beeinflusst werden soll. Hierzu ist erfindungsgemäß vorgesehen,
dass das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:
- – Bereitstellen
eines Substrats aus Glas oder Glaskeramik,
- – Aufbringen
einer hochohmigen Beschichtung mit einem elektrisch leitenden Material
auf mindestens eine Oberfläche
des Substrats, wobei der Widerstand der hochohmigen Beschichtung
in einem Bereich von 106 bis 1010 Ohm
liegt,
- – Beschichten
des Substrats mit Farbe und/oder Leitpaste, wobei die Leitpastenschichten
zumindest teilweise so ausgebildet sind, dass ein kapazitiver Sensor
ausgebildet wird, und
- – gleichzeitiges
Einbrennen der Farb- und Leitpastenschichten mit der hochohmigen
Beschichtung aus elektrisch leitendem Material.
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Eine
Berührung
der Oberfläche
der Platte, die z. B. in einem Bildschirm eingesetzt werden kann, durch
einen elektrostatisch aufgeladenen Benutzer verursacht nun keine
Schäden
an der Platte bzw. an elektronischen Bauteilen, die der Benutzer
berührt bzw.
in Händen
hält, da
die Ladung über
die spezielle hochohmige Beschichtung sehr schnell abgeleitet wird.
Da der Widerstand der hochohmigen Beschichtung im oben genannten
Bereich liegt, wird die Sensorik der Bedienplatte nicht beeinflusst.
Dennoch ist ein guter Schutz möglich.
Die Beschichtung besteht vorzugsweise aus einem elektrisch ableitenden
Material metallischer, organischer oder anorganischer Natur, das
keine Ladungen entstehen lässt.
Durch die Beschichtung aus elektrostatisch ableitendem Material
wird auch eine Antistatik-Wirkung erreicht. Die Platte lädt sich
nicht auf. Schmutz und Staub bleiben nicht so leicht an der Oberfläche haften.
Oberflächen
bzw. Teile kleben nicht so leicht aneinander, es ist ein leichteres
Handling möglich.
Als Material für das
Substrat sind selbstverständlich
auch Sicherheitsglas sowie Verbundglas eingeschlossen. Das Substrat
ist daher sehr stabil und weist eine glatte, leicht reinigbare Oberfläche auf.
Dies ist insbesondere bei dem Einsatz der Bedienplatte in sensibler
Umgebung, beispielsweise in Labors, vorteilhaft. Da nur ein Einbrennschritt
durchgeführt
werden muss, wird eine optimierte, kostengünstige Fertigung ermöglicht. Es
ist kein mechanischer Schalter an der Bedienplatte notwendig, wodurch
eine geschlossene Bedienoberfläche
ausgebildet wird. Dadurch ist eine gute Reinigbarkeit der Bedienoberfläche möglich, Verschmutzungen
können
nicht an die elektronischen Bauelemente der Bedienplatte vordringen.
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Zwar
ist aus der
DE 24 50
260 A1 bereits bekannt, Glasgegenstände, beispielsweise Glasflaschen,
mit einer elektrisch leitfähigen
Zinndioxidschicht zu versehen. Hierdurch soll es aber ermöglicht werden,
die Glassubstrate mittels elektrostatischer Pulverbeschichtung mit
Kunststoffpulver zu beschichten. Hierbei wird das aufgeladene Kunststoffpulver
im elektrischen Feld von einer Sprühpistole zum Glassubstrat hin
transportiert. Der Feldaufbau erfolgt hierbei mit Bezug auf das
Substrat. Um diesen Feldaufbau zu ermöglichen, weist die Zinndioxidschicht
auf dem Glassubstrat eine reziproke Oberflächenleitfähigkeit zwischen 10
6 und 10
8 Ohm auf.
Die
DE 39 32 343 C2 zeigt
ein Ver fahren zum Erzeugen einer antistatischen Beschichtung aus
Zinndioxid auf einer Kathodenstrahlröhre. Um eine Vibration der
Kathodenstrahlröhre
im Betrieb zu vermeiden, soll der Oberflächenwiderstand der Beschichtung
in einem Bereich von 5·10
7 bis 1·10
11 Ohm liegen. Die
US 6,087,769 A zeigt ebenfalls
ein Verfahren zum Beschichten einer Kathodenstrahlröhre mit
einer antistatischen Beschichtung aus Zinndioxid. Die Beschichtung
soll auch antistatisch wirken und weist daher einen Oberflächenwiderstand
in einem Bereich von 1·10
4 bis 1·10
10 Ohm auf.
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Vorzugsweise
kann vorgesehen werden, dass der Widerstand der hochohmigen Beschichtung in
einem Bereich von 107 bis 108 Ohm
liegt. Versuche haben gezeigt, dass bei einem Widerstand der hochohmigen
Beschichtung im Bereich von 107 bis 108 Ohm eine sehr kurze Entladezeit erreicht
wird.
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In
einer zweckmäßigen Variante
des Verfahrens kann vorgesehen werden, dass das elektrisch leitende
Material durch Aufsprühen,
Sputtern, Aufdampfen oder Tauchen auf das Substrat aufgebracht wird.
Dadurch wird eine gute und homogene Verteilung des Materials auf
dem Substrat erreicht und die Beschichtung weist eine gleichmäßige Schichtdicke auf.
Das Material haftet gut an der Oberfläche des Substrats an und ist
nach dem Aufbringen bereits vorgefestigt und funktionsfähig.
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Um
eine höhere
Festigkeit der Beschichtung zu erhalten, kann in einer weiteren
Verfahrensvariante vorgesehen werden, dass das Substrat mit der darauf
aufgebrachten hochohmigen Beschichtung aus elektrisch leitendem
Material einer Temperaturbehandlung unterworfen wird, so dass das
elektrisch leitende Material zumindest teilweise in das Substrat einbrennt.
Die Beschichtung verschmilzt dadurch besser mit der Substratoberfläche, zudem
kann durch die Temperaturbehandlung der gewünschte Widerstand eingestellt
bzw. optimiert werden.
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Gemäß noch einer
weiteren Variante des Verfahrens kann vorgesehen werden, dass die
Oberfläche
des Substrats vor dem Aufbringen der hochohmigen Beschichtung aus
elektrisch leitendem Material bearbeitet wird. Dadurch kann die
Benutzerfreundlichkeit der Bedienplatte erhöht werden. Beispielsweise können Markierungen
oder Vertiefungen, wie Fingerkuppenschliffe oder Slider, in die
Oberfläche eingefräst werden,
so dass eine verbesserte Benutzerführung ermöglicht wird. Es können auch
strukturierte Oberflächen
z. B. mit Ornamenten versehene oder chemisch behandelte (geätzte) Oberflächen, transparente,
transluzente oder matte Oberflächen erzeugt
und beschichtet werden.
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In
einer weiteren Verfahrensvariante kann vorgesehen werden, dass die
Oberfläche
des Substrats vollflächig
beschichtet wird. Die Oberfläche
des Substrats kann auch im Bereich von Markierungen oder Vertiefungen,
wie z. B. Fingerkuppenschliffen oder Slidern, beschichtet werden.
Dadurch wird ein guter und gleichmäßiger Schutz der gesamten Bedienoberfläche erzielt.
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Alternativ
kann auch vorgesehen werden, dass die Oberfläche des Substrats nur bereichsweise beschichtet
wird. Der Schutz wird daher nur in den benötigten Bereichen, in denen
eine Berührung durch
einen Benutzer stattfindet, aufgebracht.
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Besonders
bevorzugt ist es, wenn die Beschichtung des Substrats mit Zinndioxid
(SnO2) erfolgt. Durch eine Beschichtung
des Substrats mit Zinndioxid wird eine transparente, hitzebeständige Schicht
erzielt, die sehr kratzfest und zudem noch chemisch beständig ist.
Zudem ist die Zinndioxidschicht durch Einbrennen härtefähig, so
dass eine sehr robuste Bedienoberfläche erhalten wird. Der Widerstand
der Beschichtung aus Zinndioxid erhöht sich beim Einbrennen, so
dass der gewünschte
Widerstandsbereich noch etwas angepasst werden kann.
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Ferner
bezieht sich die Erfindung auch auf eine beschichtete Platte aus
dielektrischem Material, die gemäß dem oben
beschriebenen Verfahren hergestellt wird, mit einem Substrat aus
Glas oder Glaskeramik, an dessen Rückseite elektronische Bauteile angeordnet
sind.
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Es
ist auch hier die Aufgabe, robuste Platten, bzw. Bedienplatten,
bereitzustellen.
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Hierzu
ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass
die Vorderseite des Substrats zumindest teilweise eine hochohmige
Beschichtung aus einem elektrisch leitenden Material mit einem Widerstand
im Bereich von 106 bis 1010,
vorzugsweise 107 bis 108, Ohm
aufweist. Wie bereits beschrieben, zeichnet sich eine solche Platte
dadurch aus, dass eine Berührung
der Oberfläche
durch elektrostatisch aufgeladene Benutzer keine Schäden an der
Platte und an elektronischen Bauteilen, die der Benutzer berührt bzw.
in Händen
hält, verursacht,
da die Ladung über die
hochohmige Beschichtung abgeleitet wird. Die Ableitung erfolgt sehr
schnell. Selbstverständlich kann
als Material für
das Substrat auch Sicherheitsglas eingesetzt werden. Es kann dann
eine stabile, glatte Oberfläche
der Bedienplatte erzielt werden, die leicht reinigbar ist und daher
auch gut in sensiblen Umgebungen eingesetzt werden kann. Zwar besitzt Glas
selbst schlechte ESD-Eigenschaften, durch die Beschichtung mit dem
elektrisch leitenden Material wird aber ein ESD-Schutz erzielt.
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In
einer bevorzugten Ausgestaltung ist vorgesehen, dass die Beschichtung
zumindest teilweise aus Zinndioxid (SnO2)
besteht. Die Beschichtung ist dann transparent und weist nur eine
sehr leichte Tönung
im Bereich von wenigen Prozent auf. Die Farbe der Beschichtung ist
typischerweise gelblich, bräunlich
oder auch gräulich,
was von Benutzern üblicherweise
als nicht störend
empfunden wird. Im Gegenteil, es wird eine gewisse Kontrasterhöhung erzielt. Zudem
ist die Beschichtung aus Zinndioxid hitzebeständig, sehr kratzfest, chemisch
beständig
und härtefähig, so
dass durch einen zusätzlichen
Temperprozess eine Oberflächengüte ähnlich wie
bei Hartcoating erreicht wird. Durch die Härtung erhöht sich der Widerstand der
Beschichtung, so dass leicht ein Widerstand im gewünschten
Bereich eingestellt werden kann.
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Noch
eine weitere Ausgestaltung sieht vor, dass die hochohmige Beschichtung
eine Schichtdicke im Bereich von 10 bis 500 Nanometer, vorzugsweise
30 bis 180 Nanometer, aufweist. Bei einer zu dünnen Schicht erfolgt keine
ausreichende Ableitung der Ladung. Bei zu dicker Schicht reduziert
sich die Transmission extrem und bewirkt ggf. eine Teilreflexion ähnlich eines
Spionspiegels. Dadurch wird die Sensorik der Platte stark be einflusst.
Versuche haben gezeigt, dass eine Schichtdicke der Beschichtung
im Bereich von 30 bis 180 Nanometern eine optimale Funktion der
Platte ermöglicht.
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In
einer weiteren bevorzugten Ausführungsform
kann vorgesehen werden, dass die Glas- oder Glaskeramikplatte als
Bedienplatte ausgebildet ist. Durch die Einstellung des Widerstands
in dem genannten Bereich wird die Sensorik der Bedienplatte nicht
beeinflusst. Versuche haben gezeigt, dass vor allem in dem Bereich
von 107 bis 108 Ohm
eine sehr kurze Entladezeit erzielt wird. Die Beschichtung kann aus
einem Material metallischer, organischer oder anorganischer Natur
bestehen und lässt
keine Ladungen auf der Bedienoberfläche entstehen.
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Vorzugsweise
kann vorgesehen werden, dass auf der Rückseite des Substrats mindestens
ein kapazitiver Sensor angebracht ist. Durch die wie beschrieben
ausgebildete Beschichtung wird die Sensorik nicht beeinflusst, der
kapazitive Sensor kann störungsfrei
funktionieren. Es sind keine mechanischen Schalter an der Bedienplatte
notwendig, wodurch eine geschlossene Bedienoberfläche ausgebildet
wird, die eine gute Reinigbarkeit ermöglicht.
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Im
Folgenden wird die Erfindung anhand einer Zeichnung näher beschrieben.
Es zeigen:
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1 Draufsicht
auf eine Bedienplatte,
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2 Schnitt
durch die Bedienplatte aus 1 entlang
der Linie II-II und
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3 Schnitt
durch eine weitere Ausführungsform
einer Bedienplatte mit Vertiefung, wie z. B. Fingerkuppe, in Längsrichtung.
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1 zeigt
eine Draufsicht auf eine Bedienplatte 1 mit einer ESD-geschützten Bedienoberfläche 2.
Auf der Bedienoberfläche 2 kann
ein Tastfeld 3 vorgesehen sein, dessen Berührung durch
einen Benutzer einen Schaltvorgang auslöst. Neben dem Tastfeld 3 kann
eine Anzeige 4 vorgesehen sein, die beispielsweise einen
durch das Tastfeld 3 zu verändernden Parameter anzeigt.
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In 2 ist
ein Schnitt in Längsrichtung
der Bedienplatte 1 entlang der Linie II-II aus 1 dargestellt.
Die Bedienplatte 1 umfasst ein Substrat 5 aus einem
dielektrischen Material, auf dessen Vorderseite 6 eine
hochohmige Beschichtung 7 angebracht ist. Als Substrat 5 wird
eine Platte aus Glas oder Glaskeramik eingesetzt. Das Substrat 5,
bzw. die Platte, kann eine beliebige Geometrie aufweisen. Es können unterschiedlichste
Vered lungen des Substratmaterials, z. B. Sicherheitsglas oder Verbundglas,
eingesetzt werden. Die hochohmige Beschichtung 7 besteht
aus einem elektrisch leitenden Material metallischer, organischer
oder anorganischer Natur und weist einen Widerstand im Bereich von
106 bis 1010 Ohm
auf. Vorzugsweise liegt der Widerstand der hochohmigen Beschichtung 7 im
Bereich von 107 bis 108 Ohm.
An der Rückseite 8 des
Substrats 5 können weitere
Beschichtungen angebracht werden. Es sind aber auch diverse Kombinationen
von zusätzlichen Schichten
auf Vorder- und/oder Rückseite
des Substrats möglich.
Im dargestellten Beispiel ist auf der Rückseite 8 des Substrats
eine Farbschicht 9 aufgebracht. Auf der Farbschicht 9 ist
eine Schicht 10 aus Leitpaste aufgebracht. Die Schicht 10 aus
Leitpaste erstreckt sich vorzugsweise nicht über die gesamte Rückseite 8 des
Substrats 5, sondern ist nur in gewissen Bereichen aufgebracht
und bildet Leiterbahnen aus. Im Bereich des Tastfelds 3 ist
die Leitpastenschicht 10 auf der Rückseite 8 des Substrats
vorzugsweise so ausgebildet, dass sie zumindest einen kapazitiven
Sensor 11 ausbildet.
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Berührt ein
Benutzer die Bedienplatte 1 im Bereich des Tastfelds 3,
so wird dies durch den kapazitiven Sensor 11 registriert
und ein Schaltvorgang ausgelöst.
Damit die Sensorik nicht beeinflusst wird und der kapazitive Sensor 11 trotz
der ESD-Schutzbeschichtung 7 noch funktioniert, muss der Ohm'sche Widerstand der
Beschichtung 7 ausreichend hoch sein. Liegt der Ohm'sche Widerstand der Beschichtung 7 in
dem oben genannten Bereich von 106 bis 1010, vorzugsweise 107 bis
108, Ohm, so funktioniert der kapazitive
Sensor noch einwandfrei und detektiert Kapazitätsänderungen, z. B. bei der Berührung mit
einem Finger.
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Auf
der Rückseite 8 des
Substrats 5 können weitere
Bauelemente angebracht werden, beispielsweise die Anzeige 4 und
ein Auswerte- bzw. Steuerchip 12. Der Steuerchip 12 ist
durch in der Leitpastenschicht 10 ausgebildete Leiterbahnen
mit dem kapazitiven Sensor 11 und der Anzeige 4 verbunden, wertet
die Signale des Sensors 11 aus und gibt Befehle an die
Anzeige 4.
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Die
Beschichtung 7 besteht vorzugsweise aus Zinndioxid (SnO2). Die Zinndioxidbeschichtung 7 ist
transparent und hat nur eine sehr leichte Tönung im Bereich von wenigen
Prozent. Dadurch erhält
die Bedienplatte einen angenehmen bräunlichen, gräulichen
Farbstich. Die Beschichtung 7 ist hitzebeständig, sehr
kratzfest, chemisch beständig
und härtefähig. Die
Schichtdicke d der Beschichtung 7 liegt in einem Bereich
von 10 bis 500 Nanometer. Bei dieser Schichtdicke d wird eine gute
ESD-Ableitung der Bedienplatte 1 gewährleistet. Bei einer zu dünnen Schicht
kann keine Ladungsableitung mehr gewähr leistet werden. Eine zu dicke
Schicht reduziert die Transmission extrem und bewirkt ggf. eine
Teilreflexion ähnlich
einem Spionspiegelm. Der kapazitive Sensor 11 funktioniert
dann nicht mehr optimal. Vorzugsweise liegt die Schichtdicke in
einem Bereich von 30 bis 180 Nanometern, besonders bevorzugt in einem
Gereicht von 30 bis 60 Nanometern. In diesem Bereich wird eine sehr
gute Funktion des kapazitiven Sensors 11 ermöglicht.
Berührt
ein elektrostatisch aufgeladener Benutzer die Bedienplatte 1,
so beträgt die
Entladezeit weniger als 1 Sekunde, vorzugsweise ca. 0,2 bis 0,5
Sekunden. Die Messung der Entladezeit erfolgt gemäß der ESD-Anforderungen üblicherweise
bei 100 bis 1.000 Volt. Eine Anpassung der Beschichtung aus elektrisch
ableitendem Material auf eine höhere
Spannung (bis ggf. mehrere Tausend Volt) ist möglich. Die Ableitung der Ladung
erfolgt bei einer hochohmigen Zinndioxidbeschichtung mit einem Widerstand
von ca. 107 bis 108 Ohm
also innerhalb des gewünschten
Zeitfensters von ≤ 1
Sekunde. Die allgemeinen Anforderungen zum Schutz von Bauelementen
gegen elektrostatische Entladung sind beispielsweise in DIN EN 61340-5-1
und in VDE 0300 festgelegt.
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3 zeigt
einen Schnitt durch eine weitere Ausführungsform einer Bedienplatte 1' in Längsrichtung
der Bedienplatte 1'.
Die Bedienplatte 1' ist
im Wesentlichen wie oben beschrieben ausgebildet. Die Bedienplatte 1' umfasst ebenfalls
ein Substrat 5 aus einem dielektrischen Material. Vorzugsweise
ist das Substrat 5 aus Glas oder Glaskeramik ausgebildet. Um
eine erhöhte
Betriebssicherheit zu erreichen, kann vorgesehen sein das Substrat 5 aus
Sicherheitsglas, beispielsweise Einscheibensicherheitsglas, auszubilden.
Die Vorderseite 6 des Substrats 5 weist ebenfalls
eine hochohmige Beschichtung 7 aus einem elektrisch leitendem
Material auf. Vorzugsweise wird als Material Zinndioxid (SnO2) eingesetzt. Die Beschichtung kann aber
aus einem beliebigen, elektrisch ableitenden Material metallischer,
organischer oder anorganischer Natur bestehen. Dies gilt auch für das erste
Ausführungsbeispiel.
Wesentlich ist, dass die Beschichtung einen Widerstand im Bereich
von 106 bis 1010,
vorzugsweise 107 bis 108,
Ohm aufweist. Die Schichtdicke d der hochohmigen Beschichtung 7 liegt
vorzugsweise in einem Bereich von 30 bis 180 Nanometern. Bei dem
in der 3 beschriebenen Ausführungsbeispiel weist die Vorderseite 6 des
Substrats im Bereich des Tastfelds 3 eine Vertiefung 13 auf.
Diese Vertiefung kann als Fingerkuppenschliff oder Slider ausgebildet
sein. Dadurch wird eine hohe Benutzerfreundlichkeit erzielt.
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In
dem in 3 gezeigten Ausführungsbeispiel sind keine weiteren
Beschichtungen auf der Rückseite 8 des
Substrats 5 vorgesehen. Der kapazitive Sensor 11 und
der Steuerchip 12 sind direkt an der Rückseite des Substrats 5 angebracht.
Vorzugsweise sind der kapazitive Sensor 11 und der Steuerchip 12 über mindestens
eine Leiterbahn verbunden.
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Kombinationen
der beiden beschriebenen Ausführungsbeispiele
sind möglich.
So kann vorgesehen sein, dass das erste in 2 beschriebene Ausführungsbeispiel
eine bearbeitete Oberfläche aufweist,
so dass an der Vorderseite des Substrats Vertiefungen zur Benutzerführung oder
Mattierungen vorgesehen sind. Vorzugsweise ist die hochohmige Beschichtung
vollflächig
auf der Vorderseite des Substrats ausgebildet. Es kann aber auch
vorgesehen sein, dass die hochohmige Beschichtung nur Teile der
Vorderseite des Substrats überdeckt
und/oder weitere Seiten des Substrats bedeckt.
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Durch
die hochohmige Schicht ist die Platte auch mit einer Antistatik-Wirkung
versehen. Staub und Schmutz bleiben nicht an der Oberfläche haften. Oberflächen bzw.
mehrere Platten bleiben nicht so leicht aneinander haften. Es ist
ein leichteres Handling möglich.
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Ferner
ist es auch möglich,
lediglich eine erfindungsgemäß beschichtete
Platte aus Glas oder Glaskeramik herzustellen. Die beschichtete
Platte weist dann an ihrer Oberfläche einen ESD-Schutz auf und
kann beispielsweise in einem Bildschirm eingesetzt werden.
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Im
Folgenden wird das Verfahren zur Herstellung einer beschichteten
Platte, z. B. einer Bedienplatte, beschrieben. Bei dem Verfahren
wird zunächst
ein Substrat 5 aus einem dielektrischen Material bereitgestellt.
Als Material wird Glas oder Glaskeramik, besonders bevorzugt Sicherheitsglas,
eingesetzt. Auf das Substrat 5 wird eine hochohmige Beschichtung 7 aus
einem elektrisch leitenden Material aufgebracht. Vorzugsweise wird
die Vorderseite 6 des Substrats 5 beschichtet.
Der Widerstand der hochohmigen Beschichtung 7 liegt in
einem Bereich von 106 bis 1010 Ohm,
vorzugsweise 107 bis 108, Ohm.
Als Material für
hochohmige Beschichtung 7 wird vorzugsweise Zinndioxid
(SnO2) eingesetzt. Dieses elektrisch leitende
Material wird partikelförmig bereitgestellt
und durch Aufsprühen,
Sputtern, Aufdampfen oder Tauchen auf das Substrat 5 bzw.
auf die Vorderseite 6 des Substrates 5 aufgebracht.
Es bildet sich auf der Vorderseite 6 des Substrats 5 eine Schicht 7 aus
dem elektrisch leitenden Material aus, die eine Schichtdicke von
10 bis 500 Nanometern, vorzugsweise 30 bis 180 Nanometern aufweist.
Diese Schicht bzw. Beschichtung 7 ist nach dem Aufbringen
bereits vorgefestigt und funktionsfähig.
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Anschließend kann
das Substrat mit der darauf angebrachten hochohmigen Beschichtung 7 aus Zinndioxid
einem Temperprozess bzw. einer Temperaturbehandlung bei einer Temperatur
bei 600° bis 700°C unterworfen
werden. Dadurch wird das Zinndioxid zumindest teilweise in das Substrat 5 eingebrannt.
Gleichzeitig wird das Substrat aus Glas oder Glaskeramik gehärtet. Bei
dem Einbrennen der Zinndioxid-Beschichtung 7, d. h. dem
thermischen Härten,
erhöht
sich der Widerstand der Beschichtung 7 üblicherweise um eine Potenz.
Beträgt
der Widerstand der Beschichtung vor dem Härten 107 Ohm,
so erhöht
er sich durch das Härten
auf ca. 108 Ohm. Dieser Hartcoatingschritt
ist nicht zwingend notwendig, da durch das Aufsprühen, Sputtern,
Aufdampfen oder Tauchen des partikelförmigen Zinndioxids auf das
Substrat bereits eine vorverfestigte Beschichtung 7 erreicht
wird, die sehr gut auf der Vorderseite 6 des Substrates 5 anhaftet
und auch bereits funktionsfähig
ist.
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Es
kann ferner vorgesehen werden, dass das Substrat 5 mit
Farbe und/oder Leitpaste beschichtet wird. Sind Farbschichten und/oder
Leitpastenschichten 10 auf dem Substrat 5 aufgebracht,
so werden vorzugsweise sowohl die hochohmige Beschichtung 7 aus
Zinndioxid, die Farbschicht 9 und die Schicht aus Leitpaste 10 gleichzeitig
eingebrannt. In diesem Schritt wird das Substrat auch gehärtet. Es ist
dann nur ein Einbrennschritt notwendig. Die Farbschicht 9 kann
auch auf der Vorderseite des Substrates 5 angebracht werden.
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Die
Schicht aus Leitpaste 10 wird vorzugsweise so aufgebracht,
dass Leiterbahnen ausgebildet werden. Dabei kann auch vorgesehen
werden, dass die Schicht 10 aus Leitpaste einen kapazitiven Sensor 11 ausbildet.
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Vorzugsweise
wird die Vorderseite 6 des Substrates 5 vollflächig mit
der hochohmigen Beschichtung 7 überzogen. Es kann aber auch
vorgesehen werden, dass die Vorderseite 6 des Substrats 5 nur
bereichsweise beschichtet wird. Zudem kann vorgesehen werden, dass
das Substrat an mehreren Seiten mit der hochohmigen Beschichtung
versehen ist.
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Bevor
das Substrat 5 mit der hochohmigen Beschichtung 7 und
den Farbschichten 9 sowie der Schicht 10 aus Leitpaste
beschichtet wird, kann die Vorderseite 6 des Substrates 5 bearbeitet
werden. Beispielsweise können
Mattierungen angebracht werden oder Vertiefungen 13 in
Form von Slidern oder Fingerkuppenschliffen eingefräst werden.
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Durch
die hochohmige ESD-Beschichtung mit einem Widerstand in Bereich
von 106 bis 1010, vorzugsweise
107 bis 108, Ohm
ist es möglich,
Kapazitätsänderungen,
beispielsweise durch einen Finger, mittels des kapazitiven Sensors 11 zu
detektieren.
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Bei
einer niederohmigen Beschichtung mit einem geringeren Widerstand
wird das kapazitive Feld des Sensors größtenteils durch die Beschichtung
abgeschirmt. Auch Feldänderungen
durch Berührung
würden
durch die Beschichtung abgeschirmt werden, der kapazitive Sensor
würde nicht
reagieren.