DE102008049879A1 - Air-supported object carrier positioning arrangement for measuring microscope, has control unit for reduction of air gaps defined by surfaces in coordinate direction while reaching target position up to contact of surfaces - Google Patents

Air-supported object carrier positioning arrangement for measuring microscope, has control unit for reduction of air gaps defined by surfaces in coordinate direction while reaching target position up to contact of surfaces

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DE102008049879A1
DE102008049879A1 DE200810049879 DE102008049879A DE102008049879A1 DE 102008049879 A1 DE102008049879 A1 DE 102008049879A1 DE 200810049879 DE200810049879 DE 200810049879 DE 102008049879 A DE102008049879 A DE 102008049879A DE 102008049879 A1 DE102008049879 A1 DE 102008049879A1
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DE
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Application
Patent type
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surfaces
air
position
target
gaps
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE200810049879
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German (de)
Inventor
Karl-Heinz Bechstein
Norbert Rosenkranz
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Carl Zeiss SMS GmbH
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Carl Zeiss SMS GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
    • G01B9/04Measuring microscopes
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/49Nc machine tool, till multiple
    • G05B2219/49276Floating, air, magnetic suspension xy table, sawyer motor, xenetics

Abstract

The arrangement has air gaps defined by support surfaces, and actuating drives e.g. linear drives, for shifting an air-supported object carrier (1) from an actual position to a target position. Measuring devices e.g. laser interferometers, are provided for determination of the actual position, and a regulation device (12) corrects deviations between the actual and target positions. A control unit (11) is formed for reduction of the air gaps defined by the support surfaces in a coordinate direction (Z) while reaching the target position up to a contact of the support surfaces.

Description

  • [0001]
    Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur schwingungsfreien Positionierung eines luftgelagerten, in den Koordinatenrichtungen X und/oder Y verschiebbar angeordneten Objektträgers in einer Sollposition Sx, y. The invention relates to an arrangement for the vibration-free positioning of an air bearing, in the coordinate directions X and / or Y slidably arranged slide in a target position Sx, y. Die erfindungsgemäße Anordnung ist insbesondere zur Verwendung an Meßmikroskopen geeignet, die zur Maskenprüfung in der Halbleiter-Industrie genutzt werden. The arrangement is particularly suitable for use in measuring microscopes, which are used to mask testing in the semiconductor industry.
  • [0002]
    Bei positionsempfindlichen Antriebs- und Bewegungssystemen sind die beweglichen Komponenten meist so zu lagern, daß hohe Beschleunigungen und Bewegungsgeschwindigkeiten bei geringen Reibungsverlusten, aber auch präzise Positionierungen möglich sind. In position sensitive drive and motion systems, the moving components are usually stored so that high accelerations and travel speeds with low friction losses, but also precise positioning is possible.
  • [0003]
    Der Einsatz von reibungsmindernden Luftlagern in diesem Zusammenhang ist an sich bekannt. The use of anti-friction air bearings in this context is known. So sind beispielsweise Komponenten von Linearantrieben mit Luftaustrittsdüsen versehen, durch die hindurch Druckluft in eine Luftspalte zwischen einer ruhenden Komponente und einer beweglichen Komponente gepreßt wird. For example, components of linear drives are provided with air outlet nozzles, is pressed through which compressed air in an air gap between a stationary component and a movable component. Dadurch entsteht ein Luftkissen, auf dem die Komponenten bei minimaler Reibung gegeneinander gleiten können. This creates an air cushion on which the components can slide with minimal friction against each other.
  • [0004]
    Darunter sind Ausführungen bekannt, bei denen eine Luftspalte in Schwerkraftrichtung gemessen eine Dicke von 100 nm bis 200 nm aufweist, so daß eine bewegliche Komponente, durch das Luftkissen gegen die Schwerkraft abgestützt, über eine ebene Fläche gleiten kann. Among these designs are known in which an air gap in the direction of gravity measured having a thickness of 100 nm to 200 nm, so that a movable component, supported by the air cushion against the force of gravity, to slide over a flat surface. Seitlich zu dieser beweglichen Komponente können Linearantriebe angeordnet sein, mit denen die Bewegung in den Koordinatenrichtungen X und Y, also senkrecht zur Schwerkraftrichtung, veranlaßt und gesteuert wird. Laterally to said movable component of linear actuators may be arranged, with which the movement is X and Y, thus, causes in the coordinate directions perpendicular to the direction of gravity and controlled. Auch hier sind Luftspalte vorgesehen, deren Dicken sinngemäß in den Koordinatenrichtungen X und Y meßbar sind. Here too, air gaps are provided, whose thicknesses are to be appropriately measured in the coordinate directions X and Y.
  • [0005]
    Auf die letztgenannte Ausführung von Luftlagerungen, insbesondere im Zusammenhang mit der präzisen Verschiebung von Objektträgern an Meßmikroskopen, bezieht sich die hier vorliegende und nachfolgend beschriebene Erfindung. In the latter embodiment of air bearings, in particular in connection with the precise displacement of slides to measuring microscopes, the present invention relates and described herein below.
  • [0006]
    Derartige Präzisions-X, Y-Tische, die vornehmlich in Maschinen zur Maskenprüfung der Halbleiter-Industrie zum Einsatz kommen, müssen höchsten Ansprüchen an die Positionier-Genauigkeit und Einhaltung der Sollposition während des Meßvorgangs genügen. Such precision X, Y-tables, which are used primarily in machines for mask testing of the semiconductor industry for use, must satisfy the highest requirements of the positioning accuracy and compliance with the desired position during the measurement process.
  • [0007]
    Hierbei besteht nun das Problem, daß infolge der zwischen den gegeneinander gleitenden Lagerflächen strömenden Luft mechanische Schwingungen entstehen, die sich auf den Tisch übertragen und daher zu Ungenauigkeiten bei der Vermessung des auf dem Tisch abgelegten Objektes führen. Here, there is now the problem that as a result of the air flowing between the mutually sliding bearing surfaces air mechanical vibrations are created that are transferred on the table, and thus lead to inaccuracies in the measurement of the dropped object on the table.
  • [0008]
    Davon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zur schwingungsfreien Positionierung eines luftgelagerten, in den Koordinatenrichtungen X und/oder Y verschiebbar angeordneten Objektträgers in einer Sollposition Sx, y zu schaffen. On this basis the invention has for its object to provide an arrangement for the vibration-free positioning of an air bearing, in the coordinate directions X and / or Y slidably arranged slide in a target position Sx, y.
  • [0009]
    Bei einer derartigen Anordnung, die ausgestattet ist mit In such an arrangement, which is equipped with
    • – in den Koordinatenrichtungen X, Y und Z den Objektträger abstützende, jeweils von einer beweglichen und einer relativ dazu ruhenden Lagerfläche begrenzte Luftspalten, - supporting the slide in the coordinate directions X, Y and Z, in each case by a movable and limited to a relatively stationary bearing surface air gaps,
    • – Zuführleitungen für Druckluft zu den Luftspalten, - supply lines for compressed air to the air gaps,
    • – Stellantriebe zum Verschieben des Objektträgers von einer Istposition Ix, y zu einer Sollposition Sx, y, - actuators for displacing the slide from an actual position x, y to a target position Sx, y,
    • – eine Meßeinrichtung zur Bestimmung der jeweiligen Istposition Ix, y, und - a measuring device for determining the respective actual position x, y, and
    • – eine Regeleinrichtung zur Korrektur von Abweichungen zwischen der Istposition Ix, y und der Sollposition Sx, y, - a control device for correcting deviations between the actual position x, y and the target position Sx, y,
    sind erfindungsgemäß Mittel vorgesehen zur Reduzierung des in der Koordinatenrichtung Z zwischen zwei gegeneinander beweglichen Lagerflächen ausgebildeten Luftspaltes bei Erreichen der Sollposition Sx, y. Means are provided according to the invention for reducing formed in the coordinate direction Z between two mutually moveable bearing surfaces the air gap when reaching the target position Sx, y.
  • [0010]
    In einer ersten bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung ist die Regeleinrichtung ausgebildet zur Korrektur von Abweichungen zwischen der Istposition Ix, y und der Sollposition Sx, y In a first preferred embodiment of the inventive arrangement, the control device is designed for the correction of deviations between the actual position x, y and the target position Sx, y
    • – während der Verschiebung des Objektträgers in den Koordinatenrichtungen X und/oder Y, und - during the displacement of the slide in the coordinate directions X and / or Y, and
    • – während der Reduzierung des Luftspaltes, und - during the reduction of the air gap, and
    mit der Regeleinrichtung ist eine Steuereinheit gekoppelt, die zur Reduzierung des Luftspaltes bis zur Berührung der beiden Lagerflächen ausgebildet ist. with the control device, a control unit is coupled, which is designed to reduce the air gap until it contacts the two bearing surfaces.
  • [0011]
    Dabei ist die Koordinatenrichtung Z parallel zur Schwerkraftrichtung ausgerichtet, und die Reduzierung des Luftspaltes ist durch Verringerung des zwischen den beiden Lagerflächen herrschenden Luftdruckes vorgesehen, so daß sich der Objektträger infolge der Schwerkraft bis zur Berührung der beiden Lagerflächen absenkt. Here, the Z coordinate direction is oriented parallel to the gravity direction, and the reduction of the air gap is provided by reducing the pressure prevailing between the two bearing surfaces of air pressure, so that the slide descends due to gravity to the contact of the two bearing surfaces.
  • [0012]
    Bei einer derartigen Anordnung, bei welcher der Luftspalt zum Beispiel eine Dicke Δz > 150 nm hat, kann die Regeleinrichtung vorteilhaft so ausgebildet sein, daß Abweichungen zwischen der Istposition Ix, y und der Sollposition Sx, y, bis zu dem Zeitpunkt korrigiert werden, bei dem die Dicke Δz des Luftspaltes auf einen Betrag im Bereich von 50 nm bis 100 nm reduziert ist. In such an arrangement, in which the air gap, for example, a thickness Az has> 150 nm, the control means may advantageously be formed so that deviations between the actual position x, y and the target position Sx, y, up to the time corrected, wherein the thickness Az of the air gap is reduced to an amount in the range of 50 nm to 100 nm.
  • [0013]
    Zum vorgenannten Zweck ist in die Zuführleitung ein Wegeventil eingeordnet, bei dem in einer ersten Schaltstellung der Durchgang für die Druckluft zum Luftspalt freigegeben ist, dagegen in einer zweiten Schaltstellung dieser Durchgang blockiert ist, wobei jedoch der Luftspalt mit der freien Atmosphäre in Verbindung steht, so daß ein Druckabfall in dem Luftspalt eintritt. The above mentioned purpose in the supply line a control valve is arranged in which is released in a first switch position the passage for the compressed air to the air gap, however, is blocked in a second switching position of this passage, but the air gap with the free atmosphere is in communication, so that a pressure drop in the air gap occurs.
  • [0014]
    Vorteilhaft ist das Wegeventil als elektrisch ansteuerbares 3/2-Wegeventil ausgeführt und steht mit der Regeleinrichtung in Verbindung, welche zur Ausgabe von Steuerbefehlen für das Wegeventil in Abhängigkeit vom Erreichen der Sollposition Sx, y ausgebildet ist. the directional control valve is advantageously designed as an electrically controllable 3/2-way valve and is in communication, which is designed to issue control commands for the directional control valve in dependence on the attainment of the target position Sx, y to the control device.
  • [0015]
    Als Meßeinrichtung kann ein Laserinterferometer vorgesehen sein, und als Stellantriebe kommen bevorzugt Linearantriebe zur Anwendung. When a laser interferometer measuring device can be provided, and as actuators preferably linear drives are used.
  • [0016]
    In einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist die erfindungsgemäßen Anordnung nicht nur zur Reduzierung des in der Koordinatenrichtung Z von zwei Lagerflächen begrenzten Luftspaltes, sondern darüber hinaus auch zur Verringerung des Luftdruckes in den in Koordinatenrichtung X und/oder in Koordinatenrichtung Y von Lagerflächen begrenzten Luftspalten bei Erreichen der Sollposition Sx, y ausgebildet. In a particularly preferred embodiment of assembly according to the invention not only for reducing the limited in the coordinate direction Z of two bearing surfaces of the air gap, but in addition also to reduce the air pressure in the in coordinate direction X and / or in coordinate direction Y of storage areas is limited air gaps on reaching the target position Sx, y formed.
  • [0017]
    Hierbei kann alternativ entweder vorgesehen sein, daß die Verringerung des Luftdruckes bereits erfolgt, sobald der Objektträger die Sollposition Sx, y erreicht hat und die Dicke Δz des in der Koordinatenrichtung Z von zwei Lagerflächen begrenzten Luftspaltes noch nicht reduziert ist, oder die Verringerung des Luftdruckes erst dann veranlaßt wird, wenn der Objektträger bis auf eine vorgegebene Dicke Δz des in Koordinatenrichtung Z ausgebildeten Luftspaltes oder auch bis zur Berührung der sich gegenüberstehenden Lagerflächen abgesenkt ist. Here, alternatively, may be provided either that the reduction of the air pressure already takes place when the slide has reached the target position Sx, y and a thickness Az to limited in the coordinate direction Z of two bearing surfaces of the air gap is not reduced, or the reduction of the air pressure only is then caused when the slide until a predetermined thickness of the formed Az in Z coordinate direction the air gap or to contact the opposing bearing surfaces lowered.
  • [0018]
    Die Verringerung des Luftdruckes mit Hilfe des Wegeventiles erfolgt dabei vorteilhaft bis auf den atmosphärischen Luftdruck. The reduction of the air pressure with the aid of the directional control valve is advantageously carried out to atmospheric air pressure.
  • [0019]
    Bei der letztgenannten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung sind in die Zuführleitungen zu den Luftspalten mit der Dicke Δx bzw. Δy ebenfalls elektrisch ansteuerbarer Wegeventile eingeordnet, bei denen In the latter embodiment of the inventive arrangement are also arranged electrically controllable directional control valves in the supply lines to the air gaps with the thickness of Ax and Ay, where
    • – in einer ersten Schaltstellung der Durchgang für die Druckluft zum jeweiligen Luftspalt freigegeben ist, und - is released in a first switching position of the passage for the compressed air to the respective air gap and
    • – in einer zweiten Schaltstellung dieser Durchgang blockiert, dafür jedoch der jeweilige Luftspalt mit der freien Atmosphäre verbunden ist. - blocked in a second switching position of this passage, however, for the respective air gap is connected to the free atmosphere.
  • [0020]
    Dabei sind auch diese Wegeventile mit der Regeleinrichtung verbunden. Here, these valves are connected to the control device.
  • [0021]
    Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. The invention will be explained in more detail using an exemplary embodiment. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen In the accompanying drawings
  • [0022]
    1 1 das Prinzip einer Luftlagerung für einen Objektträger nach Stand der Technik in einer Perspektivdarstellung, the principle of an air bearing for a slide according to the prior art in a perspective view,
  • [0023]
    2 2 das Prinzip der erfindungsgemäßen Luftlagerung für einen Objektträger, ebenfalls in Perspektivdarstellung, the principle of the air bearing according to the invention for a slide, also in perspective view,
  • [0024]
    3 3 eine Darstellung einer erfindungsgemäß vorgesehenen pneumatischen Steuereinheit zur Verringerung des Luftdruckes in den Luftspalten mit Wegeventilen in einer ersten Schaltstellung, an illustration of an inventively provided pneumatic control unit for reducing the air pressure in the air gaps with directional control valves in a first switching position,
  • [0025]
    4 4 eine Darstellung der erfindungsgemäß vorgesehenen pneumatischen Steuereinheit zur Verringerung des Luftdruckes in den Luftspalten mit Wegeventilen in einer zweiten Schaltstellung. a representation of the inventively provided pneumatic control unit for reducing the air pressure in the air gaps with directional control valves in a second switching position.
  • [0026]
    1 1 zeigt den prinzipiellen Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung zur Positionierung eines luftgelagerten, in den Koordinatenrichtungen X und/oder Y verschiebbar angeordneten Objektträgers shows the basic structure of the arrangement according to the invention for positioning an air bearing, in the coordinate directions X and / or Y slidably arranged slide 1 1 am Beispiel der Anwendung in einem Meßmikroskop zur Maskenprüfung in der Halbleiterindustrie. the example of application in a measuring microscope to the mask inspection in the semiconductor industry.
  • [0027]
    Diesbezüglich ist auf dem Objektträger In this regard, on the slide 1 1 eine Maske a mask 2 2 abgelegt. stored. Das Meßmikroskop ist durch ein Meßobjektiv The measuring microscope is through a measurement objective 3 3 symbolisch angedeutet. symbolically indicated. Die Detektionsrichtung des Meßobjektivs The detection direction of the measurement objective 3 3 verläuft in der Koordinatenrichtung Z eines kartesischen Koordinatensystems X, Y, Z. extends in the Z coordinate direction of a Cartesian coordinate system X, Y, Z.
  • [0028]
    Um mit dem Meßmikroskop jeden zu prüfenden Oberflächenbereich der Maske To use the measuring microscope every surface to be tested portion of the mask 2 2 erfassen zu können, ist der Objektträger to capture the slide 1 1 in den Koordinatenrichtungen X und Y relativ zur Detektionsrichtung des Meßobjektivs in the coordinate directions X and Y relative to the detection direction of the measurement objective 3 3 verschiebbar gelagert. displaceably mounted. Zur Auslösung der Verschiebebewegung sind Linearantriebe vorgesehen. To initiate the sliding movement are provided linear drives.
  • [0029]
    So dient ein erster Linearantrieb zur Verschiebung des Objektträgers Thus, a first linear drive is used for the displacement of the slide 1 1 in der Koordinatenrichtung X. Der Objektträger in the coordinate direction X. The slide 1 1 bildet die bewegliche Komponente dieses ersten Linearantriebes, die Komponente forming the movable component of said first linear drive, the component 4 4 steht dem Objektträger is the slide 1 1 bei dessen Verschiebung in der Koordinatenrichtung X in relativer Ruhe gegenüber. during its displacement in the X coordinate direction in relative rest against.
  • [0030]
    Zugleich bildet die Komponente At the same time forms the component 4 4 die bewegliche Baugruppe eines zweiten Linearantriebes. the moveable assembly of a second linear actuator. Eine Komponente a component 5 5 des zweiten Linearantriebes steht der Komponente of the second linear drive is the component 4 4 bei deren Verschiebung in der Koordinatenrichtung Y in relativer Ruhe gegenüber. in their displacement in the Y coordinate direction in relative rest against. Die Komponente the component 4 4 und der Objektträger and the slide 1 1 sind miteinander so gekoppelt, daß der Objektträger are coupled together so that the slide 1 1 bei der Verschiebung der Komponente during the displacement of the component 4 4 in der Koordinatenrichtung Y mitgenommen wird. is carried along in the Y coordinate direction.
  • [0031]
    Auf diese Weise erfolgt mit der Ansteuerung des ersten Linearantriebes die Verschiebung des Objektträgers In this way, the displacement of the slide occurs with the driving of the first linear drive 1 1 in der Koordinatenrichtung X, mit der Ansteuerung des zweiten Linearantriebes die Verschiebung des Objektträgers in the coordinate direction X, with the driving of the second linear drive, the displacement of the slide 1 1 in der Koordinatenrichtung Y. in the coordinate direction Y.
  • [0032]
    Die Komponente the component 4 4 gleitet bei ihrer Bewegung in der Koordinatenrichtung Y und der Objektträger slides during its movement in the Y coordinate direction, and the slide 1 1 bei seiner Bewegung in Koordinatenrichtungen X und Y auf einem Grundkörper during its movement in X and Y coordinate directions on a base body 6 6 , der mit dem Meßmikroskop bzw. dem Meßobjektiv Connected to the measuring microscope or the measurement objective 3 3 gestellfest verbunden ist. is fixed to the frame connected.
  • [0033]
    Damit die Verschiebebewegungen mit minimaler Reibung möglich sind, sind zwischen den sich jeweils gegeneinander bewegenden Lagerflächen Luftspalten ausgebildet. Thus, the displacement movements are possible with minimal friction, air gaps are formed between the respective moving against each other bearing surfaces. So befindet sich So is
    • – in der Koordinatenrichtung Z ein Luftspalt mit der Dicke Δz zwischen der Komponente - in the coordinate direction Z, an air gap of thickness Az between the component 4 4 und dem Objektträger and the slide 1 1 einerseits und dem Grundkörper on the one hand and the base body 6 6 andererseits, On the other hand,
    • – in der Koordinatenrichtung Y ein Luftspalt mit der Dicke Δy zwischen dem Objektträger - in the Y coordinate direction, an air gap with the thickness of Dy between the object carrier 1 1 und der Komponente and the component 4 4 , und , and
    • – in der Koordinatenrichtung X ein Luftspalt mit der Dicke Δx zwischen den Komponenten - in the X coordinate direction, an air gap with the thickness Ax between the components 4 4 und and 5 5 . ,
  • [0034]
    Zur Aufrechterhaltung der Dicken Δx, Δy und Δz der Luftspalten wird Druckluft zwischen die sich jeweils gegenüberstehenden Lagerflächen gepreßt. In order to maintain the thicknesses of Ax, Ay and Az of the air gaps compressed air is pressed between the respectively opposed bearing surfaces. Zu diesem Zweck sind die Luftspalten über Zuführleitungen For this purpose, the air column via feed 7 7 , . 8 8th und and 9 9 mit einer Druckluftquelle with a compressed air source 10 10 verbunden. connected. Die Luft wird an anderer Stelle wieder abgesaugt, so daß sich eine vorgespannte Luftlagerung ergibt. The air is sucked off at another location, so that a preloaded air bearing results.
  • [0035]
    Nachteilig bei derartigen, aus dem Stand der Technik bekannten Anordnung ist, daß infolge der zwischen die Lagerflächen gepreßten und darin strömenden Luft der Objektträger A disadvantage of such known from the prior art arrangement is that as a result of the pressed between the bearing surfaces and the air flowing therein, the slide 1 1 in mechanische Schwingungen gerät, die zu Ungenauigkeiten bei der Detektion und Vermessung der auf dem Objektträger comes into mechanical vibrations, the inaccuracies in the detection and measurement of the on the slide 1 1 liegenden Probe, hier der Maske Sample lying here the mask 2 2 , führen. , to lead.
  • [0036]
    Um den Objektträger To the slide 1 1 mit der Maske with the mask 2 2 relativ zur Detektionsrichtung zu verschieben und in der Sollposition Sx, y auch schwingungsfrei zu positionieren, ist, wie in to move relative to the detection direction and the target position Sx, y also to position vibration-free, is, as in 2 2 dargestellt, erfindungsgemäß eine Steuereinheit shown, according to the invention a control unit 11 11 vorgesehen, die ausgebildet ist zur Reduzierung der Dicke Δz des in der Koordinatenrichtung Z ausgebildeten Luftspaltes, sobald der Objektträger provided that is formed to reduce the thickness of the formed Az in the Z coordinate direction the air gap when the slide 1 1 die vorgegebene Sollposition Sx, y erreicht hat. the predetermined target position Sx, y has reached.
  • [0037]
    Und zwar ist die Reduzierung der Dicke Δz des Luftspaltes vorgesehen bis zur Berührung der sich am Grundkörper Namely, the reduction of thickness Az of the air gap is provided to contact the body at the base 6 6 einerseits und am Objektträger on the one hand and on the object carrier 1 1 und der Komponente and the component 4 4 andererseits gegenüberstehenden Lagerflächen, so daß der Objektträger on the other hand opposing bearing surfaces, so that the slide 1 1 und die Komponente and the component 4 4 auf dem Grundkörper on the base 6 6 aufsitzen. seated. Aufgrund der Berührung der Lagerflächen ist die Reibung zwischen den Lagerflächen erhöht. Due to the contact of the bearing surfaces, the friction is increased between the bearing surfaces. Die erhöhte Reibung wirkt schwingungsdämpfend, verhindert so die unerwünschten Schwingungen des Objektträgers The increased friction has a vibration damping, thus preventing the undesirable vibrations of the slide 1 1 relativ zum Grundkörper relative to the base body 6 6 und damit auch Schwingungen der Maske and therefore vibrations of the mask 2 2 relativ zur Detektionsrichtung des Meßobjektivs relative to the detection direction of the measurement objective 3 3 . ,
  • [0038]
    Die Koordinatenrichtung Z und damit ebenfalls die Detektionsrichtung des Meßobjektivs The Z coordinate direction and thus also the detection direction of the measurement objective 3 3 sind parallel zur Schwerkraftrichtung ausgerichtet, so daß die Reduzierung der Dicke Δz des Luftspaltes dazu führt, daß sich der Objektträger are aligned parallel to the direction of gravity so that the reduction of thickness Az of the air gap causes the slide 1 1 und die Komponente and the component 4 4 in Folge der Schwerkraftwirkung bis zur Auflage auf dem Grundkörper in consequence of the action of gravity until it rests on the base body 6 6 absenken. Lower.
  • [0039]
    Erfindungsgemäß ist weiterhin eine Positionsmeßeinrichtung vorhanden zur Bestimmung der jeweils aktuellen Position des Objektträgers According to the invention further comprises a position measuring device provided for determining the current position of the slide 1 1 in den Koordinatenrichtungen X und Y (zeichnerisch nicht dargestellt). in the coordinate directions X and Y (not graphically illustrated). Derartige Positionsmeßeinrichtungen sind aus dem Stand der Technik an sich bekannt und müssen daher an dieser Stelle nicht naher erläutert werden. Such position measuring are known from the prior art per se and therefore need not be explained in the near here. Beispielsweise können die Linearantriebe mit Längenmeßeinrichtungen gekoppelt sein, die Auskunft über die jeweils erreichte Position des Objektträgers For example, the linear actuators can be coupled with length measuring, the information on the position reached in each case of the slide 1 1 geben. give. Vorteilhaft werden Laserinterferometer zur Längenmessung genutzt. Laser interferometers are used for length measurement beneficial.
  • [0040]
    Die Positionsmeßeinrichtung ist Bestandteil einer Regeleinrichtung The position measuring device is part of a control device 12 12 zur Korrektur von Abweichungen zwischen der Istposition Ix, y und der angestrebten Sollposition Sx, y. for correcting deviations between the actual position x, y and the desired target position Sx, y. Die Regeleinrichtung The control device 12 12 sorgt dafür, daß die Differenz der mit Hilfe der Positionsmeßeinrichtung erfaßten Istposition Ix, y zu der angestrebten Sollposition Sx, y solange korrigiert wird, bis die Sollposition Sx, y erreicht ist. ensures that the difference between the detected actual position with the aid of the position x, y to the desired target position Sx, y is corrected until the target position Sx, y is reached. Solche Regeleinrichtungen sind ebenfalls aus dem Stand der Technik bekannt. Such control devices are also known from the prior art.
  • [0041]
    Die Regeleinrichtung The control device 12 12 steht über einen Signalweg is connected via a signal path 13 13 mit der Steuereinheit with the control unit 11 11 in Verbindung und gibt einen Steuerbefehl zur Reduzierung der Dicke des Luftspaltes Δz an die Steuereinheit in connection and outputs a control command for reducing the thickness of the air gap Az to the control unit 11 11 aus, wenn der Objektträger off when the slide 1 1 die Sollposition Sx, y erreicht hat. has reached the target position Sx, y. Die Funktionsweise der Steuereinheit The operation of the control unit 11 11 wird nachfolgend anhand is below with reference to 3 3 und and 4 4 näher erläutert. explained.
  • [0042]
    Wie aus as from 3 3 ersichtlich, umfaßt die Steuereinheit visible, the control unit comprises 11 11 ein in die Zuführleitung into the supply line 7 7 eingeordnetes Wegeventil is located way valve 14 14 , ein in die Zuführleitung , One in the supply line 8 8th eingeordnetes Wegeventil is located way valve 15 15 , und ein in die Zuführleitung And a into the supply line 9 9 eingeordnetes Wegeventil is located way valve 16 16 . , Bei den Wegeventilen When the directional control valves 14 14 , . 15 15 , . 16 16 handelt es sich beispielsweise um aus der Fluidtechnik (Pneumatik, Hydraulik) bekannte Wegeventile, die dazu dienen, den Weg für die Druckluft freizugeben, zu sperren oder die Durchflußrichtung zu ändern. is it, for example, from the fluid power (pneumatic, hydraulic) known way valves that are used to free the way for the compressed air to terminate or change the direction of flow. Die hier beispielhaft vorgesehenen 3/2-Wegeventile besitzen drei Leitungsanschlüsse und zwei Schaltstellungen, die durch Ansteuerung gegeneinander getauscht werden können. The exemplarily provided 3/2-way valves have three pipe connections and two switching positions, which can be exchanged by driving up to today. In In 3 3 ist bei jedem der Wegeventile is at each of the directional control valves 14 14 , . 15 15 , . 16 16 eine erste Schaltstellung dargestellt. shown a first switching position.
  • [0043]
    Die Funktion soll zunächst anhand der Beeinflussung der Dicke Δz des Luftspaltes erläutert werden, auf dem der Objektträger The function will first be explained with reference to the influence of the thickness Az of the air gap, on which the slide 1 1 und die Komponente and the component 4 4 während der Verschiebung in den Koordinatenrichtungen X und Y gleiten. slide during the displacement in the coordinate directions X and Y.
  • [0044]
    In In 3 3 ist die Schaltstellung des Wegeventils is the position of the directional valve 14 14 so gewählt, daß der Durchfluß der Druckluft durch die Zuführleitung chosen so that the flow of pressurized air through the supply line 7 7 zum Luftspalt freigegeben ist und Druckluft so zwischen die betreffenden Lagerflächen gepreßt wird, daß der Luftspalt die Dicke Δz hat und der Objektträger is released to the air gap and compressed air is then pressed between the respective bearing surfaces, that the air gap has a thickness Az and the slide 1 1 und die Komponente and the component 4 4 reibungsvermindert auf dem Grundkörper reduced friction on the base body 6 6 gleiten können. can slide. Die Luft wird an anderer Stelle wieder abgesaugt, so daß sich eine vorgespannte Luftlagerung ergibt. The air is sucked off at another location, so that a preloaded air bearing results.
  • [0045]
    Wird mittels der Positionsmeßeinrichtung festgestellt, daß der Objektträger Is determined by means of the position that the slide 1 1 die Sollposition Sx, y erreicht hat, wird über den Signalweg the target position Sx, y has reached, via the signal path 13 13 (vgl. (see. 2 2 ) die Ansteuerung des Wegeventils ) The activation of the directional valve 14 14 veranlaßt und damit die Umschaltung von der in causes and thus the switching from the in 3 3 gezeigten Schaltstellung in die in Switching position shown in the in 4 4 gezeigte Schaltstellung. Switching position shown.
  • [0046]
    Damit ist jetzt der Durchfluß der Druckluft durch die Zuführleitung That is now the flow of compressed air through the supply line 7 7 zum Luftspalt gesperrt, zugleich verbindet das Wegeventil locked to the air gap, at the same time connects the directional control valve 14 14 den sich zwischen dem Luftspalt und dem Wegeventil the extending between the air gap and the directional control valve 14 14 befindenden Abschnitt der Zuführleitung located portion of the supply line 7 7 über eine Entlüftungsleitung a vent line 17 17 mit der freien Atmosphäre, so daß der Luftdruck im Luftspalt abfällt und sich dem Atmosphärendruck angleicht. with the free atmosphere, so that the air pressure drops in the air gap and to equalize the atmospheric pressure. Infolge dessen senken sich der Objektträger As a result, the slide lower 1 1 und die Komponente and the component 4 4 wie beabsichtigt bis zur Berührung auf den Grundkörper as intended to contact to the base body 6 6 ab. from.
  • [0047]
    In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist weiterhin vorgesehen, daß die Regeleinrichtung In a particularly advantageous embodiment of the invention it is further provided that the control device 12 12 nicht nur zur Korrektur von Abweichungen zwischen der Istposition Ix, y und der Sollposition Sx, y während der Verschiebung des Objektträgers in den Koordinatenrichtungen X und Y ausgebildet ist, sondern auch zur Korrektur der Positionsabweichungen während der Reduzierung des Luftspaltes Δz bzw. der Absenkbewegung des Objektträgers is formed not only for correcting deviations between the actual position x, y and the target position Sx, y during the displacement of the slide in the coordinate directions X and Y, but also for correcting the positional deviations during the reduction of the air gap Az or the lowering movement of the slide 1 1 und der Komponente and the component 4 4 . , So wird sichergestellt, daß der Objektträger This ensures that the specimen slide 1 1 nach Absenkung bis zur Berührung der sich gegenüberstehenden Lagerflächen auch tatsächlich die angestrebte Sollposition Sx, y eingenommen hat. has actually taken the desired target position Sx, y to decrease until contact of the confronting bearing surfaces.
  • [0048]
    Wie aus as from 3 3 und and 4 4 weiterhin hervorgeht, ist dazu in die Entlüftungsleitung can further be seen, is this in the vent line 17 17 ein Drosselventil a throttle valve 18 18 eingeordnet, welches dafür sorgt, daß der Druckausgleich verzögert stattfindet und sich der Objektträger arranged, which ensures that the pressure equalization takes place delayed, and the slide 1 1 und die Komponente and the component 4 4 aufgrund des verzögerten Druckabfalls langsam absenken. Slowly lower due to the delayed pressure drop.
  • [0049]
    Im Rahmen der Erfindung liegt es auch, wenn die Regelung zur Korrektur von Abweichungen zwischen der Istposition Ix, y und der Sollposition Sx, y soweit vorgenommen wird, bis die Dicke Δz des Luftspaltes auf einen Betrag im Bereich von 50 nm bis 100 nm reduziert ist und die Regelung dann beendet wird. In the present invention, it is also when the control for correcting deviations between the actual position x, y and the target position Sx y, as far as is done until the thickness Az of the air gap is reduced to an amount in the range of 50 nm to 100 nm and the control is terminated.
  • [0050]
    In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist, wie in In a further advantageous embodiment, as in 3 3 und and 4 4 dargestellt, auch in die Zuführleitung illustrated, in the supply line 8 8th ein Wegeventil a directional control valve 19 19 mit drei Leitungsanschlüssen und zwei Schaltstellungen eingeordnet. classified with three pipe connections and two switching positions. Hiermit ist in einer ersten Schaltstellung (vgl. Means (see in a first switch position. 3 3 ) der Durchfluß von der Druckluftquelle ) Of the flow of the compressed air source 10 10 zum Luftspalt zwischen dem Objektträger the air gap between the object carrier 1 1 und der Komponente and the component 4 4 geöffnet, und es baut sich der Luftspalt mit der Dicke Δy auf. opened, and it builds up the air gap to the thickness of Dy on. In der zweiten Schaltstellung (vgl. In the second switching position, see (. 4 4 ) verbindet das Wegeventil ) Connects the directional control valve 19 19 diesen Luftspalt über ein Drosselventil this air gap via a throttle valve 19 19 mit der freien Atmosphäre, so daß der Luftspalt entlüftet wird. , So that the air gap is vented to the open atmosphere.
  • [0051]
    Das Wegeventil The directional control valve 19 19 wird zeitlich nach dem Wegeventil is a time after the directional control valve 14 14 angesteuert, so daß die Entlüftung des Luftspaltes zwischen dem Objektträger driven, so that the venting of the air gap between the object carrier 1 1 und der Komponente and the component 4 4 erst dann erfolgt, wenn der Objektträger only takes place when the slide 1 1 bereits auf die Grundplatte already on the base plate 6 6 abgesenkt ist. is lowered. Hierdurch verringert sich die Dicke Δy des Luftspaltes nicht, jedoch wird mit der Entlüftung eine noch weitergehende stabilisierte, schwingungsfreie Lagerung des Objektträgers In this way, the thickness of Dy of the air gap is not reduced, but it is with the vent even further stabilized, vibration-free support of the object support 1 1 in der Sollposition Sx, y erreicht, da nun auch die auf den Objektträger achieved in the target position Sx, y, as now also on the slide 1 1 in Richtung der Koordinate Y keine Schwingungen verursachenden Kräfte mehr wirken. act no vibrations causing toward the Y coordinate forces more.
  • [0052]
    Ein weiteres, in die Zuführleitung Another, in the supply line 9 9 eingeordnetes Wegeventil is located way valve 21 21 mit einem zugeordneten Drosselventil with an associated throttle valve 20 20 dient im übertragenen Sinn demselben Zweck wie das Wegeventil used figuratively same purpose as the directional control valve 19 19 , jedoch bezogen auf den zwischen den Komponenten But with respect to the between the components 4 4 und and 5 5 ausgebildeten Luftspalt mit der Dicke Δx. air gap formed with the thickness Ax. Damit wird eine noch weitergehende stabilisierte, schwingungsfreie Lagerung des Objektträgers This will even further stabilized, vibration-free mounting of the slide 1 1 erreicht. reached.
  • 1 1
    Objektträger slides
    2 2
    Maske mask
    3 3
    Meßobjektiv measurement objective
    4, 5 4, 5
    Komponente component
    6 6
    Grundkörper body
    7, 8, 9 7, 8, 9
    Zuführleitung feed
    10 10
    Druckluftquelle Compressed air source
    11 11
    Steuereinheit control unit
    12 12
    Regeleinrichtung control device
    13 13
    Signalweg pathway
    14, 15, 16 14, 15, 16
    3/2-Wegeventil 3/2-way valve
    17 17
    Entlüftungsleitung vent line
    18, 19, 20 18, 19, 20
    Drosselventil throttle valve
    Δx, Δy, Δz Ax, Ay, Az
    Luftspalten air gaps
    X, Y, Z X, Y, Z
    Koordinatenrichtungen coordinate directions

Claims (13)

  1. Anordnung zur Positionierung eines luftgelagerten, in den Koordinatenrichtungen X und/oder Y verschiebbar angeordneten Objektträgers ( An arrangement for positioning of an air bearing, in the coordinate directions X and / or Y slidably arranged slide ( 1 1 ) eines Meßmikroskops, umfassend: – in den Koordinatenrichtungen X, Y und Z den Objektträger ( ) Of a measuring microscope, comprising: - in the coordinate directions X, Y and Z the slide ( 1 1 ) abstützende, jeweils von einer beweglichen und einer relativ dazu ruhenden Lagerfläche begrenzte Luftspalten, – Zuführleitungen ( ) Supporting, in each case by a movable and limited to a relatively stationary bearing surface to air gaps, - (feed lines 7 7 , . 8 8th , . 9 9 ) für Druckluft zu den Luftspalten, – Stellantriebe zum Verschieben des Objektträgers ( ) For compressed air to the air gaps, - (actuators for displacing the object carrier 1 1 ) von einer Istposition Ix, y zu einer Sollposition Sx, y, – Meßeinrichtungen zur Bestimmung der jeweiligen Istposition Ix, y, und – eine Regeleinrichtung ( ) Of an actual position x, y to a target position Sx, y, - (control means - measuring means for determining the respective actual position x, y, and 12 12 ) zur Korrektur von Abweichungen zwischen der Istposition Ix, y und der Sollposition Sx, y, gekennzeichnet durch – eine mit der Regeleinrichtung ( ) For the correction of deviations between the actual position x, y and the target position Sx, y, characterized by - a (with the control device 12 12 ) gekoppelte Steuereinheit ( ) Coupled to said control unit ( 11 11 ), ausgebildet zur Reduzierung des in der Koordinatenrichtung Z von zwei Lagerflächen begrenzten Luftspaltes bei Erreichen der Sollposition Sx, y bis zur Berührung der beiden Lagerflächen. ), Designed to reduce in the coordinate direction Z of two bearing surfaces limited air gap when reaching the target position Sx, y to the contact of the two bearing surfaces.
  2. Anordnung nach Anspruch 1, bei welcher – die Regeleinrichtung ( Arrangement according to claim 1, wherein - the control device ( 12 12 ) ausgebildet ist zur Korrektur von Abweichungen zwischen der Istposition Ix, y und der Sollposition Sx, y – während der Verschiebung des Objektträgers ( is formed) for correcting deviations between the actual position x, y and the target position Sx, y - during the displacement of the slide ( 1 1 ) in den Koordinatenrichtungen X und/oder Y, und – während der Reduzierung des Luftspaltes, wobei – die Koordinatenrichtung Z parallel zur Schwerkraftrichtung ausgerichtet und die Reduzierung des Luftspaltes durch Verringerung des zwischen den beiden Lagerflächen herrschenden Luftdruckes vorgesehen ist, so daß sich der Objektträger ( ) In the coordinate directions X and / or Y, and - during the reduction of the air gap, wherein - the Z coordinate direction aligned parallel to the direction of gravity and the reduction of the air gap is provided by reducing the pressure prevailing between the two bearing surfaces of air pressure, so that the slide ( 1 1 ) infolge der Schwerkraft absenkt. ) Lowers due to gravity.
  3. Anordnung nach Anspruch 2, bei welcher – der Luftspalt eine Dicke Δz > 150 nm hat, und – die Regeleinrichtung ( Arrangement according to claim 2, wherein - the air gap has a thickness Az> 150 nm, and - the control device ( 12 12 ) ausgebildet ist zur Korrektur von Abweichungen zwischen der Istposition Ix, y und der Sollposition Sx, y, bis die Dicke Δz auf einen Betrag im Bereich von 50 nm bis 100 nm reduziert ist. is formed) for correcting deviations between the actual position x, y and the target position Sx, y, until the thickness Az is reduced to an amount in the range of 50 nm to 100 nm.
  4. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, mit einem in die Zuführleitung ( Arrangement according to one of the preceding claims, (a into the supply line 7 7 ) eingeordneten Wegeventil ( ) Is arranged way valve ( 14 14 ), bei dem – in einer ersten Schaltstellung der Durchgang für die Druckluft zum Luftspalt freigegeben ist, und – in einer zweiten Schaltstellung dieser Durchgang blockiert ist, jedoch der Luftspalt mit der freien Atmosphäre verbunden ist, so daß ein Druckabfall im Luftspalt eintritt. ) - in which is released in a first switch position the passage for the compressed air to the air gap, and - is blocked in a second switching position of this passage, however, the air gap is connected to the free atmosphere, so that a pressure drop in the air gap occurs.
  5. Anordnung nach Anspruch 4, bei welcher das Wegeventil ( Arrangement according to claim 4, wherein (the directional valve 14 14 ) als elektrisch ansteuerbares 3/2-Wegeventil ausgeführt ist und mit der Regeleinrichtung ( ) Is constructed as an electrically controllable 3/2-way valve, and (with the control device 12 12 ) in Verbindung steht. ) Is in communication.
  6. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, bei welcher als Meßeinrichtung ein Laserinterferometer vorgesehen ist. Arrangement according to one of the preceding claims, wherein said measuring device is provided as a laser interferometer.
  7. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche bei welcher als Stellantriebe Linearantriebe vorgesehen sind. Arrangement according to one of the preceding claims wherein the linear drives are provided as the actuators.
  8. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, bei welcher eine Verringerung des Luftdruckes in den in Koordinatenrichtung X und/oder in Koordinatenrichtung Y von Lagerflächen begrenzten Luftspalten mit der Dicke Δx bzw. Δy bei Erreichen der Sollposition Sx, y vorgesehen ist. Arrangement according to one of the preceding claims, wherein a reduction of the air pressure in the in coordinate direction X and / or limited in the coordinate direction Y of storage areas air gaps with the thickness Ax or Ay is provided upon reaching the target position Sx, y.
  9. Anordnung nach Anspruch 8, bei welcher die Verringerung des Luftdruckes nach dem Absenken des Objektträgers ( Arrangement according to claim 8, wherein the reduction of the air pressure after the lowering of the object support ( 1 1 ) vorgesehen ist. ) is provided.
  10. Anordnung nach Anspruch 8 oder 9, bei welcher die Verringerung des Luftdruckes bis auf das Maß des atmosphärischen Luftdrucks erfolgt. Arrangement according to claim 8 or 9, wherein said reduction of air pressure up to the level of the atmospheric pressure is carried out.
  11. Anordnung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, bei welcher in die Zuführleitungen ( Arrangement according to one of claims 8 to 10, wherein in the supply lines ( 8 8th , . 9 9 ), die zu den in den Koordinatenrichtungen X und Y ausgebildeten Luftspalten führen, elektrisch ansteuerbaren 3/2-Wegeventile ( ), Leading to the trained in the coordinate directions X and Y air gaps, electrically controllable 3/2-way valves ( 19 19 , . 21 21 ) eingeordnet sind, bei denen – in einer ersten Schaltstellung der Durchgang für die Druckluft zum jeweiligen Luftspalt freigegeben ist, und – in einer zweiten Schaltstellung dieser Durchgang blockiert ist, jedoch der jeweilige Luftspalt mit der freien Atmosphäre verbunden ist. ) Are arranged, in which - is released in a first switching position of the passage for the compressed air to the respective air gap, and - is blocked in a second switching position of this passage, however, the respective air gap is connected to the free atmosphere.
  12. Anordnung nach Anspruch 11, bei welcher die Wegeventile ( Arrangement according to claim 11, wherein (the directional control valves 19 19 , . 21 21 ) über die Steuereinheit ( ) (Via the control unit 11 11 ) mit der Regeleinrichtung ( ) (With the control device 12 12 ) verbunden sind. ) are connected.
  13. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, bei welcher in den von den Wegeventilen ( Arrangement according to one of the preceding claims, wherein in the (of the directional control valves 14 14 , . 19 19 , . 21 21 ) in die freie Atmosphäre führenden Entlüftungsleitungen ( ) (Into the atmosphere leading ventilation pipes 17 17 ) Drosselventile ( () Throttle valves 18 18 , . 19 19 , . 20 20 ) vorgesehen sind. are provided).
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4654571A (en) * 1985-09-16 1987-03-31 Hinds Walter E Single plane orthogonally movable drive system
DE4402384C1 (en) * 1994-01-27 1995-01-19 Zeiss Carl Jena Gmbh Method and arrangement for determining the reference position of planar hybrid stepping motors
DE19531520A1 (en) * 1995-07-20 1997-01-23 Heisel Uwe Prof Dr Ing Dr H C Device for positioning and fixing bodies
US6351041B1 (en) * 1999-07-29 2002-02-26 Nikon Corporation Stage apparatus and inspection apparatus having stage apparatus
DE602004004954T2 (en) * 2003-08-19 2007-11-22 Mac Valves, Inc., Wixom A solenoid pneumatic valve with a built passage and a quick mount body
DE102007023516A1 (en) * 2007-05-18 2008-11-20 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Medium e.g. air, transmitting arrangement for use between basic unit and active unit, has points in two positions of active units relative to basic unit in opposite manner to transmission of medium of basic unit into active unit

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4654571A (en) * 1985-09-16 1987-03-31 Hinds Walter E Single plane orthogonally movable drive system
DE4402384C1 (en) * 1994-01-27 1995-01-19 Zeiss Carl Jena Gmbh Method and arrangement for determining the reference position of planar hybrid stepping motors
DE19531520A1 (en) * 1995-07-20 1997-01-23 Heisel Uwe Prof Dr Ing Dr H C Device for positioning and fixing bodies
US6351041B1 (en) * 1999-07-29 2002-02-26 Nikon Corporation Stage apparatus and inspection apparatus having stage apparatus
DE602004004954T2 (en) * 2003-08-19 2007-11-22 Mac Valves, Inc., Wixom A solenoid pneumatic valve with a built passage and a quick mount body
DE102007023516A1 (en) * 2007-05-18 2008-11-20 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Medium e.g. air, transmitting arrangement for use between basic unit and active unit, has points in two positions of active units relative to basic unit in opposite manner to transmission of medium of basic unit into active unit

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