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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein lineares Ultraschallantriebssystem
gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1, das aus
einem antreibenden Element als Ultraschalloszillator mit zwei Generatoren für
Ultraschallschwingungen und einem angetriebenen Element, das einen
Friktionskontakt mit dem antreibenden Element bildet und einer elektrischen
Erregerquelle des antreibenden Elements besteht. Derartige Ultraschalllinearantriebe
eignen sich für den Einsatz in mobilen Endbenutzergeräten
wie beispielsweise in Kameras, Mobiltelefonen oder ähnlichen
miniaturisierten Geräten, um u. a. die positionssgesteuerte
Ausrichtung von optischen Systemen zu ermöglichen.
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Ultraschallantriebssysteme
sind aus dem Stand der Technik bekannt. So offenbart die Druckschrift
US 5,633,553 einen Ultraschalllinearantrieb für
optische Systeme, bei dem ein zylindrisch geformter Ultraschalloszillator
das Antriebselement bildet, welches einen scheibenförmigen
Rotor dreht. Mittels eines Zahnrad-Schraubengetriebes erfolgt in
dem Antrieb die Transformation der Drehbewegung des Rotors in eine
Vorwärtsbewegung des beweglichen Elementes. Das eingesetzte
Zahnrad-Schraubengetriebe führt zu einer Erhöhung
des durch den Antrieb beanspruchten Volumens. Dies erschwert die
Konstruktion und die Miniaturisierung des Geräts, vergrößert
die Reibungsverluste, erhöht den akustischen Geräuschpegel
und steigert die Herstellungskosten eines solchen Antriebes.
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Aus
der Druckschrift
DE
2004 059 429 B4 ist ein Ultraschallinearmotor für
optische Systeme bekannt, bei dem ein plattenförmiger Ultraschalloszillator das
Antriebselement bildet. Die beweglichen Elemente des Ultraschalllinearmotors
werden von Läufern gebildet, die sich linear auf den Seitenflächen des
Ultraschalloszillators bewegen und damit die Linearbewegung an das
bewegliche Element des Geräts übertragen.
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Der
Nachteil dieses Ultraschalllinearantriebs besteht darin, dass der
plattenförmige Ultraschalloszillator ein relativ großes
Volumen beansprucht. Es beträgt ca. 1/3 bis 1/4 des Volumens
des optischen Systems. Zudem muss bei diesem Antrieb die Höhe des
Ultraschalloszillators gleich oder größer als
die dreifache Länge der Stößel sein.
Dadurch vergrößert sich die Bauhöhe des
optischen Systems. Dies begrenzt die Möglichkeiten zur
Miniaturisierung des optischen Systems, so dass derartige Antriebe
nicht in flachen und mobilen Endbenutzergeräten wie beispielsweise
in Mobiltelefonen und ähnlichen Geräten eingesetzt
werden können, die oftmals Gehäusehöhen
von weniger als 8 mm aufweisen.
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Außerdem
verfügt ein solcher Antrieb nur über eine geringe
Haltekraft. Dies hat zur Folge, dass bereits bei der Einwirkung
von kleinen äußeren Stößen eine
Verschiebung der Läufer erfolgt. Dies bewirkt eine Defokussierung
des optischen Systems, d. h. eine Verringerung der Betriebssicherheit
des Antriebs. Aus diesem Grund sind entsprechende Geräte bei
auftretenden Erschütterungen oftmals nur eingeschränkt
oder gar nicht verwendbar, was die Einsatzmöglichkeiten
von Ultraschallantriebssystemen einschränkt.
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Darüber
hinaus weisen die in diesen Antrieben eingesetzten Ultraschalloszillatoren
eine hohe Betriebsfrequenz auf, die im Bereich von 300 bis 1200
KHz liegt. Die Schwingungsamplitude liegt bei diesen hohen Frequenzen
im Bereich zwischen 0,4 bis 0,1 Mikrometer. Bei derart kleinen Schwingungsamplituden
können deshalb polierte Läufer eingesetzt werden,
die aus harten Materialien wie beispielsweise aus Stahl, Glas oder
Keramik gefertigt sind. Die Technologie zur Herstellung solcher
Läufer ist jedoch kompliziert, was diese Läufer
relativ teuer werden lässt und damit zu erhöhten
Herstellungskosten der Antriebe selbst führt. Zudem haben
kleine Erregerpegel der Oszillatoren mit entsprechend kleinen Schwingungsamplituden
der Ultraschalloszillatoren einen negativen Einfluss auf die Gleichmäßigkeit
der Bewegung der Läufer. Dadurch verringert sich auch die
Genauigkeit in der Positionierung des Antriebs. Außerdem
vergrößern sich durch die hohen Betriebsfrequenzen
der Ultraschalloszillatoren die Verluste im elektrischen Erregerteil
des Ultraschalloszillators.
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Das
Ziel der vorliegenden Erfindung besteht deshalb darin, das Volumen
der Antriebsvorrichtung und dessen Bauhöhe zu verringern
und eine größere Haltekraft, eine höhere
Genauigkeit beim Anhalten, sowie eine höhere Zuverlässigkeit
im Betrieb sicherzustellen. Weitere Ziele der vorliegenden Erfindung sind
die Bereitstellung einer einfacheren Technologie zur kostengünstigen
Herstellung derartiger Ultraschalllinearantriebe, die Verringerung
von elektrischen Verlusten im elektrischen Erregerteil und eine Reduzierung
der akustischen Geräusche im Betrieb, so dass derartig
verbesserte Ultraschalllinearantriebe in einem größeren
Anwendungsbereich als bisher eingesetzt werden können.
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Der
vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, einen
Ultraschalllinearantrieb der eingangs genannten Art derart weiterzubilden,
dass die aus dem Stand der Technik bekannten und oben diskutierten
Probleme und Nachteile reduziert werden und der Ultraschalllinearantrieb
bei einfacherer Ausführung neue und vorteilhafte Eigenschaften
enthält.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Ultraschalllinearantrieb
der eingangs genannten Art gelöst, bei dem der Ultraschalloszillator
als hohler dünnwandiger piezoelektrischer Zylinder ausgeführt
ist, dessen Höhe H gleich oder kleiner seinem mittleren
Durchmesser D ist, und die Generatoren für Ultraschallschwingungen
symmetrisch zu beiden Seiten bezogen auf die Schnittebene S, die
durch die Mitte der Höhe des Ultraschalloszillators senkrecht zu
seiner Achslinie L verläuft, angeordnet sind, und wobei
das antreibende Element mit seiner Zylinderoberfläche in
Kontakt mit dem angetriebenen Element steht, und die elektrische
Erregerquelle derart mit dem Ultraschalllinearantrieb verbunden
ist, dass dieses nur den ersten oder den zweiten Generator für Ultraschallschwingungen
anregt.
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Bevorzugte
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen
2 bis 16 angegeben.
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Für
den erfindungsgemäßen Ultraschalllinearantrieb
sind vorzugsweise zwei unterschiedliche Ausführungsformen
vorgesehen, mit denen alle nachfolgenden und vorteilhaften Ausführungsformen des
erfindungsgemäßen Antriebs ausgestattet werden
können. Dabei kann im erfindungsgemäßen
Ultraschalllinearantrieb das antreibende Element entsprechend der
Merkmale im kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 1 einen Friktionskontakt
mit dem angetriebenen Element entweder durch seine innere Zylinderoberfläche
oder durch seine äußere Zylinderoberfläche
eingehen. Dadurch wird die Haltekraft, die Genauigkeit des Antriebs
und seine Betriebszuverlässigkeit erhöht.
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In
einer ersten bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Antriebs kann jeder der beiden Generatoren für Ultraschallschwingungen als
angeregte Ringelektrode und als allgemeine Ringelektrode ausgeführt
sein, wobei die Erregerelektroden auf einer der Zylinderoberflächen
des radial polarisierten Oszillators symmetrisch auf beiden Seiten der
Schnittebene angeordnet sind und die allgemeine Elektrode unter
den Erregerelektroden auf der anderen Zylinderoberfläche
des Oszillators angeordnet ist. Dies ermöglicht eine Volumenerregung
des Oszillators.
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Außerdem
kann jeder der beiden Generatoren für Ultraschallschwingungen
als angeregte Ringelektrode und allgemeine Ringelektrode ausgeführt sein,
wobei die Erregerelektroden auf einer der Zylinderoberflächen
des längs polarisierten Oszillators nahe zu den Stirnflächen
und symmetrisch zur Schnittebene angeordnet sind und die allgemeine Elektrode
auf der gleichen Oberfläche des Oszillators im Schnittbereich
seiner Schnittebene angeordnet ist. Dies ermöglicht eine
Oberflächenerregung des Oszillators.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des Antriebs
ist jeder der Generatoren für Ultraschallschwingungen in
Form abwechselnd angeordneter streifenförmiger Elektroden
ausgeführt, die auf einer Zylinderoberfläche des
alternierend in Längsrichtung polarisierten Oszillators
angeordnet sind.
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Durch
die Verwendung streifenförmiger Elektroden ist es bei Oberflächenerregung
des Oszillators möglich, die erforderliche Erregerspannung
zu reduzieren.
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In
einer anderen vorteilhaften Ausführungsform des Antriebs
besteht jeder der Generatoren für Ultraschallschwingungen
aus gleichachsig angeordneten scheibenförmigen Elektroden,
die sich mit dünnen scheibenförmigen Schichten in
Längsrichtung polarisierter piezoelektrischer Keramik abwechseln. Dadurch
ist es möglich, die Erregungseffizienz bei gleichzeitiger
Verringerung der Erregerspannung zu vergrößern.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des Antriebs
kann jeder der Generatoren für Ultraschallschwingungen
aus einer geraden Zahl sich abwechselnder aktiver und passiver Sektionen
bestehen. Dadurch ist es möglich, im Oszillator Biegeschwingungen
zu erzeugen, was die Funktion des Antriebs verbessert. Zusätzlich
kann der Ultraschalloszillator auf einer seiner Zylinderoberflächen
eine abriebfeste Schicht aufweisen, die einen Friktionskontakt mit
dem angetriebenen Element eingeht oder der Ultraschalloszillator
kann ein oder zwei ringförmige Friktionselemente aufweisen,
mit denen er einen Friktionskontakt mit dem angetriebenen Element
bildet oder der Ultraschalloszillator kann eine oder mehrere segmentförmige
Friktionselemente aufweisen, mit denen er mit dem angetriebenen
Element einen Friktionskontakt bildet. Dies ermöglicht
es, die Arbeitsressourcen des Antriebs zu erhöhen.
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In
allen aufgeführten und vorteilhaften Ausführungsformen
des Ultraschalllinearantriebs kann das angetriebene Element die
Form eines Rundstabes oder einer Röhre aufweisen oder Teile
des Rundstabes oder der Röhre bzw. des längs geschnittenen Rundstabes
oder der längs geschnittenen Röhre oder längs
geschnittener Teile des Rundstabes oder längs geschnittener
Teile des Rohres können diese oder eine andere geeignete
Form haben. Dies erweitert die konstruktiven Gestaltungsmöglichkeiten
für den Antrieb.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Antriebs kann das angetriebene Element aus einem abriebfesten Kunststoff
hergestellt sein. Dies führt zu einer Vereinfachung der
Technologie zu der Herstellung des Antriebs.
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Als
eine mögliche bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Antriebs ist es vorgesehen, dass im Inneren des angetriebenen Elementes
oder des antreibenden Elementes auch eine optische Linse oder eine
optische Linsengruppe oder ein anderes bewegliches Teil des Gerätes
angeordnet sein kann. Dies erweitert die Einsatzmöglichkeiten für
den Antrieb.
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Des
Weiteren kann in einer vorteilhaften Ausführungsform des
erfindungsgemäßen Antriebs die Erregerquelle für
das antreibende Element als selbst erregender Generator ausgeführt
werden, dessen Erregerfrequenz durch die Resonanzfrequenz des mit
ihm verbundenen Generators für Ultraschallschwingungen
des erregten Oszillators vorgegeben wird. Dadurch ist es möglich,
die Funktion des Antriebs zu stabilisieren.
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Außerdem
kann der erfindungsgemäße Ultraschalllinearantrieb
in einer vorteilhaften Weiterbildung mit einer digitalen Steuereinrichtung
für die elektrische Erregerquelle ausgerüstet
sein, die die Position des angetriebenen Elementes vorgibt. Auf diese
Weise ist es möglich, den Antrieb exakt zu positionieren.
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Selbstverständlich
sind auch Kombinationen der zuvor beschriebenen vorteilhaften Ausgestaltungen
möglich.
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Die
Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen
beschrieben, die anhand der Figuren näher erläutert
werden.
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Es
zeigen:
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1 eine
schematische Darstellung des erfindungsgemäßen
Ultraschalllinearantriebs;
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2 eine
erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Antriebs;
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3, 4 schematische
Darstellungen zur Erläuterung der Oszillatorkonstruktion;
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5, 6, 7, 8, 9 weitere Ausführungsformen
von Ultraschalloszillatoren
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10 die
Frequenzabhängigkeiten eines Oszillators;
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11 schematische
Darstellungen zur Erläuterung des Funktionsprinzips des
Ultraschalllinearantriebs;
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12 verschiedene
Ausführungsformen von Friktionsschichten und von Friktionselementen;
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13, 14 verschiedene
Ausführungsformen der angetriebenen Elemente;
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15, 16, 17 weitere
verschiedene Ausführungsformen des erfindungsgemäßen
Antriebs;
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18 ein
optisches Objektiv;
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19 eine
Blockschaltung der Erregerquelle;
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20, 21 eine
praktisch realisierte Ausführungsform der Erregerquelle;
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22 eine
Blockschaltung des Antriebs mit digitaler Steuereinrichtung der
Erregerquelle.
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Ausführungsform
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1 zeigt
eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen
Ultraschalllinearantriebs zur Erläuterung der konstruktiven
Ausführung. Der Antrieb enthält das antreibende
Element 1, ausgeführt als Ultraschalloszillator 2 mit
zwei Generatoren für Ultraschallschwingungen 3, 4 und
dem auf zwei Stützen 6 angeordneten angetriebenem
Element 5. Das antreibende Element 1 bildet einen
Friktionskontakt mit der inneren Zylinderoberfläche 7 des
angetriebenen Elements 5, die zugleich die innere Zylinderoberfläche
des Oszillators 2 darstellt. Das antreibende Element 1 wird
durch die Last 8 an das angetriebene Element 5 gepresst.
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Jeder
der Generatoren für Ultraschallschwingungen 3 und 4 ist
mittels der Anschlüsse 9, 10 über den
Richtungswahlschalter 11 mit der elektrischen Erregerquelle 12 verbunden.
Dabei ist der Richtungswahlschalter 11 so ausgeführt,
dass es der Erregerquelle 12 nur möglich ist,
entweder den Generator 3 oder den Generator 4 anzuregen.
Die elektrische Erregerspannung U wird nur an den Generator 3 oder Generator 4 gelegt.
Dabei fließt durch den Generator 3 oder 4 der
Strom I.
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2 zeigt
eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Antriebs, in dem das antreibende Element 1 einen Friktionskontakt
mit der äußeren Zylinderoberfläche 13 des
angetriebenen Elements 5 eingeht, die zugleich die äußere
Zylinderoberfläche des Oszillators 2 bildet. Dabei
wird die Anpresskraft des antreibenden Elements 1 an das
angetriebene Element 5 durch die Spannkraft des angetriebenen Elements 5 erzeugt.
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In
der erfindungsgemäßen Ausführungsform ist
das antreibende Element 1, d. h. der Oszillator 2 als
hohler dünnwandiger piezoelektrischer Zylinder ausgeführt,
dessen Höhe H gleich oder kleiner als der mittlere Durchmesser
D ist, so wie dies die 3 und 4 zeigen.
Praktisch kann die Höhe H im Bereich von H = D bis H =
D/5 variieren. Jedoch ist ein Antrieb mit einer Höhe kleiner
D/5 technologisch schwer realisierbar.
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Unter
dem Begriff eines dünnwandigen Zylinders versteht man,
dass die Wanddicke d des Zylinders etwa 5–20 mal kleiner
als sein mittlerer Durchmesser D ist. Der dünnwandige piezoelektrische
Zylinder des Oszillators 2, d. h. das antreibende Element 1 weist
eine Mittellinie L auf. Die Generatoren für Ultraschallschwingungen 3 und 4 sind
auf dem Ultraschalloszillator 2 symmetrisch, bezogen zur Schnittebene
S, die durch die Mitte der Höhe H des Oszillators 2 und
senkrecht zu seiner Achslinie L verläuft, angeordnet.
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In
den 3 und 4 zeigen die strichpunktierten
Linien m und n die Markierungen für die Schnittlinie mit
der Schnittebene S des Oszillators 2.
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5 und 6 zeigen,
dass jeder der Generatoren für Ultraschallschwingungen 3 und 4 als dünne
ringförmige Erregerelektrode 14 und der allgemeinen
Elektrode 15 zwischen diesen Elektroden als piezoelektrisch
angeordnete Keramik ausgeführt werden kann. Solche Elektroden
können beispielsweise durch Aufdampfen von Chrom-Kupfer-Nickel-Schichten,
chemischer Abscheidung oder durch Einbrennen von Silber auf die
Zylinderoberflächen 7, 13 des Oszillators 2 erzeugt
werden.
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5 zeigt
eine weitere Ausführungsform des Oszillators 2,
bei der die Erregerelektroden 14 symmetrisch auf beiden
Seiten der Schnittebene S auf der äußeren Zylinderoberfläche
angeordnet sind. Die allgemeine Elektrode 15 ist dabei
auf der inneren Zylinderoberfläche 7 des Oszillators 2 unter
den Erregerelektroden 14 angeordnet.
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Wie
aus der 5 außerdem ersichtlich, können
bei dem Oszillator 2 die Erregerelektroden 14 auf
seiner inneren Zylinderoberfläche 7 und die allgemeine
Elektrode 15 auf der äußeren Zylinderoberfläche 13 (in
der 5 nicht dargestellt) angeordnet werden. In beiden
Fällen muss dann die Polarisation der Piezokeramik des
Oszillators 2, wie in 5 mit Pfeilen
dargestellt, radial gerichtet erfolgen.
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6 ist
zu entnehmen, dass die Erregerelektroden 14 auf der äußeren
Zylinderoberfläche 13 des Oszillators 2 nah
zu seinen Stirnflächen 16 angeordnet werden können,
wobei sich die allgemeine Elektrode 15 auf der gleichen
Oberfläche an der Schnittstelle des Oszillators 2 mit
der Schnittebene S, Linie m befindet. Alternativ können
die Erregerelektroden 14 auch auf der inneren Zylinderoberfläche 7 des
Oszillators 2 nah zu seinen Stirnflächen 16 angeordnet
werden. Die allgemeine Elektrode 15 befindet sich auf der
gleichen Oberfläche an der Schnittstelle des Oszillators 2 mit
der Schnittebene S, Linie n (in der 6 nicht
dargestellt). In diesen beiden Fällen muss die Polarisation
der Piezokeramik des Oszillators 2, wie in 6 mit
Pfeilen dargestellt, axial gerichtet erfolgen.
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7 zeigt
eine Ausführungsform des Oszillators 2, bei der
die Generatoren für Ultraschallschwingungen 3, 4 als
abwechselnd angeordnete streifenförmige Elektroden 17, 18,
die auf der äußeren 13 oder der inneren
Zylinderoberfläche 7 des Oszillators 2 angeordnet
sind, ausgeführt werden können. 7 zeigt
dabei den abgewickelten Mantel der Oberfläche 13 oder
der Oberfläche 7 des Oszillators 2.
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Die
Elektrodenstruktur 17 und 18 kann mittels Photolithographie
und anschließender chemischer Ätzung der Elektroden
hergestellt werden.
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Außerdem
kann jeder der Generatoren für Ultraschallschwingungen
eine Multischichtstruktur aufweisen und aus den gleichachsig angeordneten scheibenförmigen
Erregerelektroden 19 und den allgemeinen Elektroden 20 bestehen,
die – wie in 8 dargestellt – sich
mit den scheibenförmigen piezokeramischen Schichten 21 abwechseln.
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In
der Darstellung 22 der 8 geben
die Pfeile die Polarisationsrichtung der piezokeramischen Schichten 21 an.
Solche Oszillatoren 2 können mittels der Multischichttechnologie
und dem Hochtemperatursintern der Schichten hergestellt werden.
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Jeder
der Ultraschallgeneratoren 3, 4 kann aus einer
geraden Anzahl aktiver 23 und passiver Sektionen 24 bestehen.
Ein Beispiel für einen Oszillator 2 mit solchen
Generatoren 3 zeigt 9. Die Darstellung 25 in 10 zeigt
die Frequenzabhängigkeit des Widerstandes Z eines der Generatoren 3 oder 4 des
Oszillators 2. Die Darstellung 26 zeigt die Frequenzabhängigkeit
der Phasenverschiebung φ zwischen der ersten Harmonischen
der elektrischen Erregerspannung U und der ersten Harmonischen des
Stromes I, der durch den Generator 3 oder 4 fließt.
Die in der 10 dargestellten Abhängigkeiten beziehen
sich auf einen Oszillator 2 mit den Abmessungen D = 30,5
mm, d = 2,5 mm, H = 10 mm und hergestellt aus der Piezokeramik LITEC-3.
Die untere Resonanzfrequenz F0 = 41,00 kHz
entspricht der Betriebsfrequenz des Oszillators 2, die
obere Resonanzfrequenz F1 = 191,0 kHz stellt
die Resonanzfrequenz der Longitudinalschwingungen bezogen auf die
Höhe H des Oszillators 2 dar.
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Die
Darstellungen 27, 28 der 11 zeigen die
Radialschnitte des Oszillators 2. Im ersten Fall ist die
Erregerquelle 12 mit dem Generator 3 verbunden und
im zweiten Fall ist die Erregerquelle 12 mit dem Generator 4 des
Oszillators 2 verbunden. Die Punkte 29 und 30 stellen
Punkte auf der Zylinderoberfläche 7 und 13 des
Oszillators 2 dar. Die Pfeile 31 und 32 zeigen
die Bewegungsbahnen der Schwingungen der Punkte 29 und 30.
Die Linie 33 gibt die Radialrichtung an, die Linie 34, 35 zeigt
die Bewegungsrichtung der Punkte 29, 30. Der Winkel α stellt
den Neigungswinkel der Linien 34, 35 zur Radialrichtung
dar, d. h. zur Linie 33.
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In
den Darstellungen 36, 37 der 11 zeigt die
strichpunktierte Linie die graphische Abhängigkeit der
Schwingungsgeschwindigkeit V der Punkte der Zylinderoberfläche 7 oder 13 des
Oszillators 2 von ihrer Position längs zur Höhe
H. Das Maximum der Schwingungsgeschwindigkeit Vmax befindet
sich in der Nähe der Stirnflächen 16 mit
den aktiven Generatoren 3 (4) des Oszillators 2.
Das Minimum Vmin befindet sich in der Nähe
der Stirnflächen 16 mit dem passiven Generator 4 (3)
des Oszillators 2.
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In
den Darstellungen 38, 39 der 11 geben
die Pfeile 40 und 41 die Bewegungsrichtungen des
angetriebenen Elementes 5 bei Erregung des Generators 3 oder
des Generators 4 an.
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12 zeigt,
dass der Oszillator 2 in der dargestellten Ausführungsform
zur Vermeidung des Friktionsabriebs eine dünne abriebfeste
Schicht 42 aufweisen kann, die einen Friktionskontakt mit
dem angetriebenen Element 5 bildet (Darstellung 43, 12).
Diese Schicht kann auf der gesamten Oberfläche 13 oder 17 des
Oszillators 2 aufgebracht werden. Die Schicht 42 kann
nah zu einer der Stirnflächen 16 des Oszillators 2 (Darstellung 44, 12) oder
nah zu den zwei Stirnflächen 16 des Oszillators 2 (Darstellung 45, 12) angeordnet
werden. Diese Schicht kann auch auf der Oberfläche der
Elektroden 14 oder 15 aufgetragen werden und kann
zugleich die Funktion einer der Elektroden 14 oder 15 übernehmen.
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Die
Schicht 42 kann einen dünnen, abriebfesten, durch
Aufdampfen oder Ausscheiden aus einem Gasmedium mit z. B. Ti, Cr,
TiN, TiCN, TiC, CrN, TiAlN, ZrN, TiZrN, TiCrN oder C erzeugten Belag
in Form von polykristallinen Diamant aufweisen.
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Außerdem
kann der Oszillator 2 mit einem (Darstellung 46, 12)
oder zwei (Darstellung 47, 12) ringförmigen
Friktionselementen 48 ausgestattet sein, mit denen er einen
Friktionskontakt mit dem angetriebenen Element 5 bildet.
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Der
Oszillator 2 kann auch segmentförmige Friktionselemente 49 (Darstellung 50, 51, 12)
oder zahnförmige Friktionselemente 52 (Darstellung 53, 54, 12)
aufweisen. Die Friktionselemente 48, 49, 52 können
dabei als dünne Plättchen aus Al2O3, ZrO2, Si3N4 oder aus einem
anderen festen, verschleißarmen Material hergestellt werden.
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Der
erfindungsgemäße Ultraschallantrieb sieht lange
(13) und kurze (14) angetriebene
Elemente 5 vor. Im ersten Fall wird die Länge
G des angetriebenen Elements 5 so gewählt, dass
sie größer als die Höhe H des Oszillators 2 ist.
Im zweiten Fall wird die Höhe C des angetriebenen Elements so
gewählt, dass sie kleiner als die Höhe H des Oszillators 2 ist.
Die langen angetriebenen Elemente 5 (13)
können die Form eines Rundstabes 55, einer Röhre 56,
einer längs geschnittenen Röhre 57, 58, 59, 60 oder
eines längs geschnittenen Teils eines Rundstabes 61 oder
eines längs geschnittenen Teils einer Röhre 62 haben.
Die kurzen angetrieben Elemente (14) können
die Form eines Teils der Röhre 63 oder von Teilen
der Röhre 64, 65, 66, 67, 68 mit unterschiedlicher
Form haben, die dieses Teil durch Nuten 69 teilen.
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Sowohl
die kurzen, als auch die lang ausgebildeten angetriebenen Elemente 5 können
aus Kunststoffen hergestellt werden.
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Die
Darstellungen 70, 71, 72 in 15 zeigen
konstruktive Ausführungsformen von erfindungsgemäßen
Antrieben mit jeweils einem langen angetriebenen Element 5.
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16 zeigt
die Konstruktion eines erfindungsgemäßen Antriebs
mit einem kurzen angetriebenen Element 5. Das antreibende
Element 1 bzw. 2 dieses Antriebs wird durch den
Halter 73 und die Schall isolierende Zwischenlage 74 festgehalten. Das
Element bildet über seine innere Zylinderoberfläche 7 einen
Friktionskontakt mit dem angetriebenen Element 5. Im Inneren
des angetriebenen Elements 5 kann sich eine optische Linse
oder eine Gruppe optischer Linsen 75 befinden, die das
optische Objekt 76 auf den optoelektrischen Sensor 77 fokussiert.
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17 zeigt
eine Ausführungsform eines Antriebs, bei dem das angetriebene
Element 5 als unbewegliches und das antreibende Element 1 (2) als
bewegliches Teil ausgeführt ist. Im Inneren des antreibenden
Elementes kann eine optische Linse 75 angeordnet sein.
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18 zeigt
ein optisches Objektiv im Gehäuse 78, in dem zwei
vorschlagsgemäß ausgeführte Ultraschallantriebe 79 und 80 gleichachsig
angeordnet sind. Der Ultraschallantrieb 79 versetzt die
fokussierende Gruppe von Linsen 81 und der Ultraschallantrieb 80 die
Zoom-Linsengruppe 82 in Bewegung.
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19 zeigt
eine Blockschaltung einer elektrischen Erregerquelle des antreibenden
Elements 1 (Oszillator 2). Die Blockschaltung
besteht aus einem Leistungsverstärker 83 mit dem
Verstärkerbauteil 84 und dem Abstimmkreis 85,
dem Rückkopplungskreis 86 mit dem Filter 87,
dem Phasenschieber 88 und dem Signalverstärker
des Rückkopplungskreises 89, dem Ausschalter des
Rückkopplungskreises 90 mit dem Steuereingang 91,
dem Richtungswahlschalter 11 mit Umschalter 92 mit
einem oder mehreren Steuereingängen 93 und der
Signalquelle des Rückkopplungskreises 94. Die
in 19 dargestellte elektrische Erregerquelle 12 kann
zur Erregung eines, zweier oder mehrerer antreibender Elemente 1 eingesetzt
werden.
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20 zeigt
eine praktisch realisierte Ausführungsform einer elektrischen
Erregerquelle 12. In dieser Variante besteht die Signalquelle
des Rückkopplungskreises 94 aus dem parallel geschalteten Widerstand 95 und
dem Kondensator 96.
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21 zeigt
eine zweite praktisch realisierte Ausführungsform einer
elektrischen Erregerquelle 12. In dieser Variante wird
die Signalquelle des Rückkopplungskreises 94 nur
aus den Erregerelektroden 14 des Oszillators 2 gebildet.
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22 zeigt
eine Variante des erfindungsgemäßen Antriebs,
bei dem die elektrische Erregerquelle 12 mit einer digitalen
Steuereinrichtung 97 ausgestattet ist, die die Position
des antreibenden Elements 1 vorgibt.
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Die
digitale Steuereinrichtung 97 kann eine oder mehrere Steuereingänge 98 und
ein oder mehrere Positionierungseingänge 99 aufweisen,
die mit dem optoelektrischen Sensor 77 oder einem Positionsgeber
für das angetriebene Element 5 verbunden sind
(Positionsgeber in der 22 nicht dargestellt).
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Nachfolgend
wird die Funktionsweise des erfindungsgemäßen
Ultraschalllinearantriebs näher erläutert.
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Die
elektrische Erregerquelle 12 stellt die Erregerspannung
U bereit, deren Frequenz der Betriebsfrequenz des antreibenden Elements 1 entspricht.
Diese Frequenz ist gleich der unteren Resonanzfrequenz F0 des zylindrischen Oszillators 1 (siehe 10).
Von der Erregerquelle 12 gelangt die Erregerspannung über
den Richtungswahlschalter 11, die Anschlüsse 9 und 10 auf
die Elektroden 14 und 15 oder 17 und 18 oder 19 und 20 des
Generators für Ultraschallschwingungen 3 oder 4 (siehe 5, 6, 7, 8, 9).
Dabei fließt durch den Generator für Ultraschallschwingungen 3 oder 4 der Strom
I.
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Durch
den Einfluss der Erregerspannung des Generators für Ultraschallschwingungen 3 oder 4 werden
im Oszillator 2 des antreibenden Elements asymmetrische
Ultraschallresonanzschwingungen erzeugt. Das schwingende antreibende
Element 1 wirkt über den Friktionskontakt mit
seiner inneren Zylinderoberfläche 7 oder seiner äußeren
Zylinderoberfläche 13 auf das angetriebene Element 5 ein
und bewirkt dadurch, dass sich das angetriebene Element 5 längs
zu seiner Achslinie L bewegt. Die Bewegungsrichtung hängt
davon ab, welcher der Generatoren 3 und 4 für
Ultraschallschwingungen mit der elektrischen Erregerquelle 12 verbunden
ist.
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Der
Mechanismus, der die Bewegung des antreibenden Elements 1 hervorruft,
kann wie folgt erklärt werden. Da die Generatoren für
Ultraschallschwingungen 3 und 4 symmetrisch bezogen
auf die Schnittebene S (m, n – Spuren der Schnittebene
S auf den Zylinderoberflächen 7 und 13),
die durch die Mitte der Höhe H des Oszillators 2 (siehe 3, 4, 11)
verläuft, senkrecht zu seiner Achslinie L auf dem Ultraschalloszillator 2 angeordnet
sind, dehnt bei einer Erregung eines der Geratoren für
Ultraschallschwingungen 3 (oder 4) dieser Generator den
Oszillator 2 aus und presst ihn auf nur einer Seite der
Schnittebene S zusammen. Der zweite Generator für Ultraschallschwingungen 4 (oder 3)
wird nicht angeregt. Deshalb bremst der zweite Generator für Ultraschallschwingungen 3 (oder 4)
den Oszillator 2 auf der anderen Seite der Schnittebene
S. Das bedeutet, dass der Oszillator 2 asymmetrisch angeregt wird.
-
Da
der Oszillator 2 als dünnwandiger Zylinder ausgeführt
ist, breiten sich die Ultraschallschwingungen (Deformationen) nur
schlecht vom aktiven Generator für Ultraschallschwingungen 3 (oder 4) zum
passiven Generator für Ultraschallschwingungen 4 (oder 3)
aus. Deshalb schwingen die Punkte 29, 30 der Oberflächen 7 und 13 auf
den Linien 34 und 35, die zur Radialrichtung (Linie 33)
des Oszillators 2 (siehe Darstellung 27, 28, 11)
unter dem Winkel α geneigt sind. Der Neigungswinkel α wird durch
das Verhältnis D/H bestimmt.
-
Die
Betriebsfrequenz des antreibenden Elements 1 oder die untere
Resonanzfrequenz F0 des zylindrischen Oszillators 2 (siehe 10)
ist etwa gleich der Resonanzfrequenz der freien Radialschwingungen
des Oszillators 2. Jedoch stellt die Form der Schwingungen
des Oszillators 2 keine radiale dar, da sich die Punkte
seiner Zylinderoberfläche 7, 13 nicht
in radialer Richtung, sondern geneigt zur radialen Richtung bewegen.
Die aus den Bewegungsbahnen der zwei symmetrischen Punkte 29, 30 und
der geraden sie verbindenden Linien gebildete Figur stellt ein Trapez
dar. Deshalb kann die im erfindungsgemäßen Ultraschallantrieb
erzeugte Schwingungsform jedes der symmetrischen Punktepaare 29 und 30 des
Oszillators und die Schwingungsform des gesamten Oszillators 2 als
trapezförmige Schwingungsform betrachtet werden (siehe
Darstellung 27, 28).
-
Durch
die Trapezform der Schwingungen des Oszillators 2 entsteht
eine Längsbewegungskomponente der Punkte (29, 30)
der Zylinderoberflächen 7, 13, die längs
der Achslinie L gerichtet ist, die wiederum die Längskomponente der
Reibungskraft Ft hervorruft. Diese Kraft
veranlasst das angetriebene Element 5, sich in der mit
den Pfeilen 41 in der Darstellung 39, 40 der 11 angegebenen
Richtung zu bewegen. Die Schwingungsamplitude der Punkte (29, 30)
der Zylinderoberflächen 7, 13, d. h. ihre
Schwingungsgeschwindigkeit V hat ein Maximum Vmax auf
der Seite des aktiven Generators 3 (4) und ein
Minimum Vmin auf der Seite des passiven
Generators 4 (3) des Oszillators 2 (siehe
Darstellung 36, 37, 11).
-
Da
im erfindungsgemäßen Antrieb der Oszillator 2 als
hohler Zylinder ausgeführt ist, dessen Höhe H
gleich oder kleiner als der mittlere Durchmesser D ist, liegt die
Resonanzfrequenz der Longitudinalschwingungen, bezogen auf die Zylinderhöhe
F1, wesentlich höher (ca. 5 mal) als die Betriebsfrequenz F0 des Antriebs. Das ist aus den Abhängigkeiten
in 10 ersichtlich. Deshalb kommt es zu keiner Resonanz
der Longitudinalschwingungen, bezogen auf die Höhe im Oszillator 2,
weshalb diese Schwingungen nicht zum Betrieb des Antriebs benutzt
werden.
-
Aus
diesen Ausführungen geht hervor, dass die trapezförmigen
Schwingungen des Oszillators 2, die in ihm auf asymmetrische
Weise durch Erregung des einen oder des anderen (3, 4)
der symmetrisch angeordneten Generatoren für akustische
Schwingungen erzeugt werden, z. B. des Generators 3 (Darstellung 27, 11),
den Grund dar stellen, weshalb sich das angetriebene Element 5 im
vorschlagsgemäßen Antrieb bewegt.
-
Die
Erregung des anderen Generators – z. B. des Generators 4 – bewirkt
einen Vorzeichenwechsel des Neigungswinkels von α auf –α (siehe
Darstellung 28, 11), was
eine Änderung der Bewegungsrichtung des angetriebenen Elementes 5 (siehe
Darstellung 38, 39, 11) des
Antriebs zur Folge hat.
-
Für
Oszillatoren
2 mit einem Durchmesser
40 bis 10
mm liegen die Betriebsfrequenzen F
0 im Bereich
von 30 bis 120 KHz. Das bedeutet, dass die antreibenden Elemente
1 des
erfindungsgemäßen Antriebs eine etwa Zehnfach
größere Schwingungsamplitude (etwa 4 bis 1 Mikrometer)
aufweisen als im Vergleich zu den Ultraschalloszillatoren des Antriebs, wie
sie aus der Druckschrift
DE 10 2004 059 429 B4 bekannt sind.
-
Der
Oszillator 2 des erfindungsgemäßen Antriebs
kann unterschiedlich konstruierte Generatoren für Ultraschallschwingungen 3 und 4 aufweisen, wodurch
verschiedene Arten zur Schwingungserregung möglich werden.
Die in 5 dargestellte Ausführungsform ermöglicht
eine Volumenanregung des Oszillators 2. In der in 6 dargestellten
Ausführungsform befinden sich die Elektroden 14 und 15 nur auf
einer Zylinderoberfläche 7 oder 13 des
Oszillators 2. In diesem Fall erfolgt eine Oberflächenerregung des
Oszillators 2. Durch die Verwendung streifenförmiger
Elektroden 17 und 18 ist es möglich,
die Erregerspannung bei einer Oberflächenerregung zu verringern.
Durch den Einsatz einer Multischichtstruktur (8)
in Form abwechselnd angeordneter scheibenförmiger Erregerelektroden 19, 20 und
scheibenförmiger piezokeramischer Schichten 21 ist
es möglich, die Erregereffektivität bei gleichzeitiger
Verringerung der Erregerspannung zu erhöhen. Die Verwendung
abwechselnd angeordneter aktiver Sektionen 23 und passiver
Sektionen 24 (9) ist es möglich, im
Oszillator 2 zusätzlich Biegeschwingungen zu erzeugen.
Dies führt insgesamt zu einer erheblichen Verbesserung
des Antriebs.
-
Die
Verwendung einer dünnen abriebfesten Schicht 42 (siehe
Darstellung 43, 44, 45, 12)
ermöglicht es, die Abriebfestigkeit der Zylinderoberflächen 7 und 13,
die einen Friktionskontakt mit dem angetrieben Element 5 eingehen,
zu erhöhen. Die dünne abriebfeste Schicht 42 hat
keinen negativen Einfluss auf den Oszillator 2, so dass
sie die Form der Schwingungen des Oszillators 2 nicht verzerrt.
-
Durch
die Benutzung ringförmiger Friktionselemente 48 (siehe
Darstellung 46, 47, 12), segmentförmiger
Friktionselemente 49 (siehe Darstellung 50, 51, 12)
oder zahnförmig ausgebildeter Friktionselemente 52 (siehe
Darstellung 53, 54, 12) ist
es möglich, die Arbeitsressourcen des Antriebs wesentlich
zu erhöhen.
-
Da
das antreibende Element
1 mit seiner inneren Zylinderoberfläche
7 oder
13 einen
Friktionskontakt mit dem angetriebenen Element
5 eingeht,
ist die Fläche des Friktionskontaktes im erfindungsgemäßen
Antrieb bedeutend größer als im Vergleich zur Fläche
des Friktionskontaktes im Antrieb, der aus der Druckschrift
DE 10 2004 059 429
B4 bekannt ist. Dies erhöht wesentlich die Haltekraft
beim Einwirken äußerer Stöße
wie auch die Genauigkeit des Anhaltens in einer vorgegebenen Position.
-
In
den Ausführungsformen des erfindungsgemäßen
Antriebs, in denen das angetriebene Element 5 als Rundstab 55,
als Röhre 56, 60 oder als Teil eines
Rundstabes 61 oder als Teil einer Röhre 62 (siehe 13)
ausgeführt ist, ist es erforderlich eine Außenkraft
anzulegen, die das antreibende Element 1, wie in 1 dargestellt
oder auf eine andere Weise, an das angetriebene Element 5 anpresst.
-
In
den Ausführungsformen des erfindungsgemäßen
Antriebs, in denen das angetriebene Element 5 als längs
geschnittener Rundstab oder als längs geschnittene Röhre 57, 58, 59 ausgeführt
ist, wird die das antreibende Element 1 an das angetriebene
Element 5 anpressende Kraft durch die Spannkraft des angetriebenen
Elements 5 erzeugt.
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Durch
den Einsatz langer angetriebener Elemente 5 (55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 13)
ist es möglich, das angetriebene Element 5 als
Führung (1, 13, 15)
zu verwenden. In diesen Linearantrieben kann das antreibende Element 1 als ein
sich auf dem angetriebenen Element 5 bewegender Schlitten
ausgeführt werden.
-
Durch
den Einsatz kurzer angetriebener Elemente 5 (55, 56, 58, 59, 60, 61, 62, 13)
ist es möglich, flache Linearantriebe mit kleinen Verschiebewegen
des angetriebenen Elements (2, 16, 17)
zu realisieren. In diesen Linearantrieben kann das angetriebene
Element 5 aus einer optischen Linse oder eine Linsengruppe 77 bestehen,
die das optische Objekt 76 – wie in 16, 17 dargestellt – auf
den optischen Sensor 77 fokussiert. Antriebe mit langen
und kurzen angetriebenen Elementen 5 können, wie
in 18 an Hand der Konstruktion des Objektivs gezeigt,
miteinander kombiniert werden.
-
Da
im erfindungsgemäßen Antrieb das antreibende Element 1 eine
ausreichend große Schwingungsamplitude aufweist (ca. 1
bis 4 Mikrometer), kann das angetriebene Element 5 aus
abriebfesten Kunststoffen (z. B. durch Spritzguss) hergestellt werden.
Das vereinfacht wesentlich die Technologie zur Herstellung der erfindungsgemäßen
Antriebe und ermöglicht eine kostengünstige Fertigung
dieser Antriebe.
-
Da
im erfindungsgemäßen Antrieb nur eine Resonanz
der Ultraschallschwingungen ausnutzt wird, kann zur automatischen Aufrechterhaltung
der Frequenz der elektrischen Erregerspannung U, die gleich der
Arbeitsfrequenz F0 ist, die elektrische
Erregerquelle 12 entsprechend dem Prinzip des selbst erregenden
Autogenerators aufgebaut werden, bei der die Erregerfrequenz durch
die Resonanzfrequenz des mit ihm verbundenen Generators für
Ultraschallschwingungen 3 oder 4 des Oszillators 2 (siehe 19)
vorgegeben wird.
-
Eine
solche Erregerquelle 12 (siehe 19) funktioniert
wie folgt. Beim Einschalten des Antriebs erzeugt die Signalquelle
des Rückkopplungskreises 94 ein Rückkopplungssignal,
das proportional zur Schwingungsgeschwindigkeit des Oszillators 2 ist. Dabei
sind zwei Fälle denkbar:
Im ersten Fall stellt das
Rückkopplungssignal eine Spannung dar, die proportional
zu dem durch den Oszillator 2 fließenden Strom
I ist (20).
-
Im
zweiten Fall ist das Rückkopplungssignal eine elektrische
Spannung U, die durch die abgeschaltete Elektrode 9 (21)
generiert wird.
-
Das
Rückkopplungssignal gelangt auf den Eingang des Rückkopplungskreises 86.
Nachfolgend wird das Signal durch das Filter 87 gefiltert,
seine Phase mittels Phasenschieber 88 korrigiert und die Amplitude
durch den Signalverstärker 89 verstärkt. Danach
gelangt das Signal über den Ausschalter 90 auf
das Verstärkerbauteil 84 des Leistungsverstärkers 83.
Der Leistungsverstärker 83 erzeugt eine elektrische
Spannung, die durch den Abstimmkreis 85 auf die allgemeine
Elektrode 10 des Oszillators 2 gelangt.
-
Der
Phasenschieber 88 und der Signalverstärker 89 halten
die Schaltung so in Balance, das bei der Betriebsfrequenz F0 die Phasenverschiebung im Rückkopplungskreis
gleich Null ist, so das der Verstärkungskoeffizient größer
eins ist. Die Einhaltung dieser Balancebedingung wird durch die
Erregung der Schaltung bei der Frequenz F0 garantiert.
-
Durch
die Ausführung der Erregerquelle 12 als selbst
erregender Autogenerator, dessen Erregerfrequenz durch die Resonanzfrequenz
des mit ihm verbundenen Generators für Ultraschallschwingungen 3 oder 4 vorgegeben
wird, ist es möglich, den Antrieb im einem breiten Temperaturbereich
zu stabilisieren. Das Abschalten des Rückkopplungssignals vom Leistungsverstärker 83 durch
den Ausschalter 90 hat den Abbruch der Erregung der Schaltung
zur Folge hat, was dazu führt, das der Antrieb anhält. Durch
die erfindungsgemäße Erregerquelle 12 ist
es möglich, ein, zwei oder mehrere der antreibenden Elemente 1,
so wie in 19 dargestellt, mit ihr zu verbinden.
-
Jeder
der Generatoren 3 oder 4 von jedem der antreibenden
Elemente 1 wird durch den Umschalter 92 verbunden,
und zwar durch das Anlegen einer Steuerspannung an seine Steuereingänge 93 mit
der Erregerquelle 12.
-
Wenn
der erfindungsgemäße Antrieb mit einer digitalen
Nachstimmeinrichtung 97 ausgerüstet ist, kann
die Position des angetriebenen Elementes in einem solchen Antrieb
genau vorgegeben werden. Dazu wird an die Steuereingänge 98 ein
den Antrieb einschaltendes Signal gelegt und an die Positionierungseingänge 99 gelangt
ein vom Sensor 77 oder dem Positionssgeber des angetriebenen
Elementes 5 (Geber in der 22 nicht
enthalten) erzeugtes Signal, das den Antrieb anhält.
-
Nachfolgend
wird der positive Effekt beschrieben, der durch die Lösung
der eingangs gestellten Aufgaben erzielt wird.
-
Da
das antreibende Element des erfindungsgemäßen
Antriebs als dünner hohler Zylinder ausgeführt
ist, ist es möglich, das das antreibende Element das angetriebene
Element mit umfasst, wodurch es wiederum möglich ist, das
Volumen des Antriebs zu verringern. Da im erfindungsgemäßen
Antrieb die Höhe des zylinderförmigen antreibenden
Elementes gleich oder kleiner als sein Durchmesser ist, ist es möglich,
flache Geräte zu bauen. Beides ist besonders wichtig für
Geräte mit optischen Systemen, die beispielsweise in mobilen
Endbenutzergeräten wie etwa in Mobiltelefonen oder Kameras
eingesetzt werden.
-
Der
erfindungsgemäße Antrieb besitzt zudem eine wesentlich
größere Haltekraft als die bekannten Geräte.
Das bedeutet, dass ein solcher Antrieb bedeutend widerstandsfähiger
gegenüber äußeren Stößen
als die bekannten Geräte ist. Durch die große
Haltekraft ist es außerdem möglich, eine höhere
Genauigkeit beim Anhalten des angetriebenen Elementes zu erreichen
als es bei bekannten Antrieben möglich ist. Dies ist besonders
für den Einsatz des Antriebs in Systemen mit exakter Positionierung wichtig.
-
Die
große Haltekraft erhöht die Betriebssicherheit
des Antriebs.
-
Da
der erfindungsgemäße Antrieb darüber hinaus
eine kleinere Betriebsfrequenz hat, führt dies zur Erhöhung
der Schwingungsamplitude des antreibenden Elements. Durch die größere
Schwingungsamplitude ist es möglich, aus Kunststoffen gefertigte angetriebene
Elemente zu verwenden.
-
Letzteres
vereinfacht wesentlich die Technologie zur Herstellung der Antriebe
und verringert somit ihre Fertigungskosten. Zusätzlich
verringern sich durch die niedrigere Betriebsfrequenz die elektrischen
Verluste in der Erregerquelle. Des Weiteren erzeugt der erfindungsgemäße
Antrieb keine akustischen Geräusche, wie dies bei Antrieben
mit Zahnradgetrieben der Fall ist. Alle aufgezählten positiven Effekte
tragen somit wesentlich dazu bei, dass Einsatzspektrum des erfindungsgemäßen
linearen Ultraschallantriebs zu erweitern.
-
- 1
- antreibendes
Element
- 2
- Ultraschalloszillator
des antreibenden Elements 1
- 3,
4
- Generatoren
der Ultraschallschwingungen des Oszillators 2
- 5
- angetriebenes
Element
- 6
- Stützen
- 7
- innere
Zylinderoberfläche des antreibenden Elements 1 (Oszillator 2)
- 8
- Last
- 9,
10
- Anschlüsse
der Generatoren 3, 4
- 11
- Richtungswahlschalter
- 12
- elektrische
Erregerquelle des antreibenden Elements 1 (Oszillator 2)
- 13
- äußere
Zylinderoberfläche des antreibenden Elements 1 (Oszillator 2)
- 14
- ringförmige
Erregerelektrode des Generators 3 oder 4
- 15
- allgemeine
Elektrode der Generatoren 3, 4
- 16
- Stirnflächen
des Oszillators 2
- 17,
18
- streifenförmige
Elektroden der Generatoren 3 und 4
- 19
- scheibenförmige
Erregerelektroden der Generatoren 3 und 4
- 20
- allgemeine
scheibenförmige Elektroden der Generatoren 3 und 4
- 21
- scheibenförmige
piezokeramische Schichten
- 22
- Darstellung
zur Erläuterung der Polarisationsrichtung der piezokeramischen Schichten
- 23
- aktive
Sektionen der Generatoren 3 und 4
- 24
- passive
Sektionen der Generatoren 3 und 4
- 25
- Darstellung
zur Erläuterung der Frequenzabhängigkeit des Widerstandes Z
der Generatoren 3 und 4
- 26
- Darstellung
zur Erläuterung der Frequenzabhängigkeit der Phasenverschiebung
zwischen der elektrischen Spannung und dem Strom des Generators 3 oder 4
- 27,
28
- Radialschnitte
des Oszillators 2
- 29,
30
- Punkte
der zylindrischen Oberflächen 7, 13 des
Oszillators
- 31,
32
- Bewegungsbahnen
der Punkte 29, 30
- 33
- Linien
zur Angabe der Radialrichtung
- 34,
35
- Linien
zur Angabe der Bewegungsrichtung der Punkte 29, 30
- 36,
37
- Darstellungen
zur Erläuterung der Grafik der Abhängigkeit der
Schwingungsgeschwindigkeit V der Punkte 7 oder 13 von
ihrer Lage längs zur der Höhe H des Oszillators 2
- 38,
39
- Darstellungen
zur Erläuterung der Bewegungsrichtung der angetriebenen Elemente 5
- 40,
41
- Pfeile
zur Erläuterung der Bewegungsrichtung der angetriebenen
Elemente 5
- 42
- abriebfeste
Schicht
- 43,
44, 45
- Darstellung
zur Erläuterung der Konfiguration der abriebfesten Schicht 42
- 46,
47
- Darstellungen
zur Erläuterung der Konfiguration der Friktionselemente 48
- 48
- ringförmige
Friktionselemente des Oszillators 2
- 49
- segmentförmige
Friktionselemente des Oszillators 2
- 50,
51
- Darstellungen
zur Erläuterung der Konfiguration der segmentförmigen Friktionselemente 49 des
Oszillators 2
- 52
- zahnförmige
Friktionselemente des Oszillators 2
- 53,
54
- Darstellungen
zur Erläuterung der Konfiguration der zähneförmigen
Friktionselemente des Oszillators 2
- 55–62
- Darstellungen
zur Erläuterung möglicher Formen langer angetriebener
Elemente
- 63–69
- Darstellungen
zur Erläuterung möglicher Formen kurzer angetriebener
Elemente
- 70,
71, 72
- Konstruktionsvarianten
des erfindungsgemäßen Antriebs
- 73
- Halter
- 74
- schallisolierende
Zwischenlage
- 75
- optische
Linse oder eine Gruppe optischer Linsen
- 76
- optisches
Objekt
- 77
- optoelektrischer
Sensor
- 78
- Gehäuse
des optischen Objektivs
- 79,
80
- Ultraschallantriebe
des optischen Objektivs
- 81
- fokussierende
Linsengruppe
- 82
- Zoom-Linsengruppe
- 83
- Leistungsverstärker
- 84
- Verstärkerbauteil
des Leistungsverstärkers 83
- 85
- Abstimmkreis
des Leistungsverstärkers 83
- 86
- Rückkopplungskreis
- 87
- Filter
des Rückkopplungskreises 86
- 88
- Phasenschieber
des Rückkopplungskreises 86
- 89
- Signalverstärker
des Rückkopplungskreises 86
- 90
- Ausschalter
des Rückkopplungskreises 86
- 91
- Steuereingang
des Ausschalters 90
- 92
- Umschalter 11
- 93
- Steuereingänge
des Umschalters 11 94 Signalquelle des Rückkopplungskreises
- 95
- Widerstand
der Signalquelle 94
- 96
- Kondensator
der Signalquelle 94
- 97
- digitale
Nachstimmeinrichtung
- 98
- Steuereingänge
der digitalen Nachstimmeinrichtung
- 99
- Positionierungseingänge
der digitalen Nachstimmeinrichtung
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
-
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-
Zitierte Patentliteratur
-
- - US 5633553 [0002]
- - DE 2004059429 B4 [0003]
- - DE 102004059429 B4 [0082, 0086]