DE102008004247A1 - Piezoelectric actuator module - Google Patents

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Dietmar Zeh
Nicole Neumann
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Robert Bosch GmbH
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Abstract

Ein piezoelektrisches Aktormodul (19) für ein Brennstoffeinspritzventil (1) weist einen Aktorkörper (23) auf, der eine Vielzahl von keramischen Schichten (26, 27) und eine Vielzahl von zwischen den keramischen Schichten (26, 27) angeordneten Elektrodenschichten (28, 29) aufweist. Dabei ist der Aktorkörper (23) von einer Beschichtung (40) umgeben, die durch eine Sol-Gel-Transformation ausgebildet ist.A piezoelectric actuator module (19) for a fuel injection valve (1) has an actuator body (23) which has a plurality of ceramic layers (26, 27) and a plurality of electrode layers (28, 29) arranged between the ceramic layers (26, 27) ) having. In this case, the actuator body (23) is surrounded by a coating (40) which is formed by a sol-gel transformation.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Aktormodul für ein Brennstoffeinspritzventil und ein Brennstoffeinspritzventil mit solch einem piezoelektrischen Aktormodul. Speziell betrifft die Erfindung das Gebiet der Injektor für Brennstoffeinspritzanlagen von luftverdichtenden, selbstzündenden Brennkraftmaschinen.The The invention relates to a piezoelectric actuator module for a fuel injection valve and a fuel injection valve with such a piezoelectric actuator module. Specially concerned the invention the field of injector for fuel injection systems of air-compressing, self-igniting internal combustion engines.

Aus der DE 102 17 361 A1 ist ein piezoelektrisches Element und eine mit diesem piezoelektrischem Element versehene Einspritzdüse bekannt. Das bekannte piezoelektrische Element umfasst eine Keramikaufschichtung, die abwechselnd übereinander gestapelt mehrere Keramikschichten aus piezoelektrischer Keramik und mehrere Innenelektrodenschichten enthält. Auf einem Teil der Oberfläche der Keramikaufschichtung ist eine organische Isolationsschicht aus organischem Material ausgebildet. Ferner ist auf der organischen Isolationsschicht eine anorganische Isolationsschicht aus anorganischem Material ausgebildet. Dabei hat die organische Isolationsschicht genügend Elastizität, um die Auslenkung des piezoelektrischen Elements zu absorbieren.From the DE 102 17 361 A1 For example, a piezoelectric element and an injection nozzle provided with this piezoelectric element are known. The known piezoelectric element comprises a ceramic lamination, which alternately stacked one above the other contains a plurality of ceramic layers of piezoelectric ceramic and a plurality of internal electrode layers. On a part of the surface of the ceramic lamination, an organic insulating layer of organic material is formed. Further, an inorganic insulating layer of inorganic material is formed on the organic insulating layer. In this case, the organic insulating layer has enough elasticity to absorb the deflection of the piezoelectric element.

Das aus der DE 102 17 361 A1 bekannte piezoelektrische Element und die mit diesem piezoelektrischen Element versehene Einspritzdüse haben den Nachteil, dass die Ausgestaltung relativ aufwändig ist. Ferner besteht das Problem, dass bei der Herstellung oder im Betrieb auftretende Öffnungen oder Risse in der anorganischen Isolationsschicht ein Eindringen von Brennstoff in die organische Isolationsschicht ermöglichen, wodurch es zu Kurzschlüssen zwischen den Innenelektrodenschichten kommt.That from the DE 102 17 361 A1 known piezoelectric element and provided with this piezoelectric element injection nozzle have the disadvantage that the configuration is relatively complex. Further, there is the problem that openings or cracks in the inorganic insulating layer occurring during manufacture or operation allow fuel to penetrate into the organic insulating layer, causing short circuits between the inner electrode layers.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Das erfindungsgemäße piezoelektrische Aktormodul mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und das erfindungsgemäße Brennstoffeinspritzventil mit den Merkmalen des Anspruchs 10 haben den Vorteil, dass eine relativ kostengünstige Herstellung ermöglicht ist, wobei ein zuverlässiger Schutz gegenüber Medien gewährleistet ist, und dass insbesondere eine hohe Zuverlässigkeit und Funktionsfähigkeit gewährleistet ist.The Piezoelectric actuator module according to the invention the features of claim 1 and the invention Have fuel injection valve with the features of claim 10 the advantage of being a relatively inexpensive manufacture allowing, while providing reliable protection is guaranteed to the media, and that in particular a high reliability and functionality guaranteed is.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen des im Anspruch 1 angegebenen piezoelektrischen Aktormoduls und des im Anspruch 10 angegebenen Brennstoffeinspritzventils möglich.By the measures listed in the dependent claims are advantageous developments of specified in claim 1 piezoelectric actuator module and specified in claim 10 Fuel injection valve possible.

In vorteilhafter Weise ist die Beschichtung, die den Aktorkörper umgibt, durch eine Sol-Gel-Transformation ausgebildet. Die Herstellung der Beschichtung kann dabei durch ein Sol-Gel-Verfahren erfolgen, dessen Besonderheit darin besteht, dass die Herstellung oder Abscheidung der Werkstoffe jeweils von einem flüssigen Sol-Zustand ausgeht, der durch die Sol-Gel-Transfortmation in einen festen Gel-Zustand überführt wird.In Advantageously, the coating that is the actuator body surrounds, formed by a sol-gel transformation. The production of Coating can be carried out by a sol-gel process whose Special feature is that the production or deposition the materials each of a liquid sol state which transforms into a solid gel state by the sol-gel transfortmation becomes.

Als Sole werden Dispersionen fester Partikel bezeichnet, wobei die Partikelgröße in vorteilhafter Weise im Bereich von etwa 1 nm bis etwas 100 nm liegen kann. Die Partikel befinden sich dabei vorzugsweise feinst verteilt, das heißt dispergiert, in Wasser oder organischen Lösungsmitteln. Ein Sol-Gel-Verfahren kann in vorteilhafter Weise von Solsystemen auf der Basis metallorganischer Polymere ausgehen. Der Übergang vom flüssigen Sol zum keramischen Werkstoff erfolgt jeweils über einen Gelzustand. Während der Sol-Gel-Transformation erfolgt vorzugsweise eine dreidimensionale Vernetzung der Nanopartikel im Lösungsmittel, wodurch das Gel Festkörpereigenschaften erhält. Die Überführung des Gels in einen oxidkeramischen Werkstoff oder dergleichen erfolgt in vorteilhafter Weise durch eine kontrollierte Wärmebehandlung unter Luft.When Sols are called dispersions of solid particles, the particle size advantageously in the range of about 1 nm to about 100 nm can. The particles are preferably finely distributed, that is, dispersed, in water or organic solvents. A sol-gel process can advantageously be used by sol systems based on organometallic polymers. The transition from the liquid sol to the ceramic material takes place via a gel state. During the sol-gel transformation takes place preferably a three-dimensional crosslinking of the nanoparticles in the Solvent, whereby the gel has solid state properties receives. The transfer of the gel into one oxide ceramic material or the like takes place in an advantageous manner Way by a controlled heat treatment in air.

Der zunächst flüssige Sol-Film kann in kostengünstiger Weise auf eine Außenfläche des Aktorkörpers 23 aufgebracht werden, wobei Unebenheiten, insbesondere Kanten und Vertiefungen, aufgefüllt und durch den Sol-Film ausgeglichen werden. Der zunächst flüssige Sol-Film transformiert sich dann nach kurzer Trocknung in einen festen Gel-Film. Dieser Gel-Film kann einer Wärmebehandlung unter einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre, insbesondere Luft, unterzogen werden. Beispielsweise kann sich bei einer Wärmebehandlung bis ca. 400°C eine Zersetzung der organischen Bestandteile der metallorganischen Polymere erreicht werden, wobei die organischen Bestandteile in Form von Kohlendioxid und Wasser entweichen. Der zurückbleibende amorphe und nanoporöse Metalloxid-Film kann beispielsweise bei Temperaturen über 500°C gesintert werden. Gleichzeitig findet während der Wärmebehandlung eine Keimbildung und ein Kristallwachstum statt, so dass aus dem amorphen und porösen Gel-Film ein kristalliner, insbesondere nanokristalliner, dichter, oxidkeramischer Film entsteht.The initially liquid sol film can be inexpensively applied to an outer surface of the actuator body 23 are applied, wherein unevenness, in particular edges and depressions, filled and compensated by the sol film. The initially liquid sol film then transforms after a short drying in a solid gel film. This gel film can be subjected to a heat treatment under an oxygen-containing atmosphere, in particular air. For example, a decomposition of the organic constituents of the organometallic polymers can be achieved in a heat treatment up to about 400 ° C, wherein the organic components in the form of carbon dioxide and water escape. The remaining amorphous and nanoporous metal oxide film can be sintered at temperatures above 500 ° C, for example. At the same time, nucleation and crystal growth take place during the heat treatment, so that a crystalline, in particular nanocrystalline, dense, oxide-ceramic film is formed from the amorphous and porous gel film.

Bei einem Sol-Gel-Verfahren handelt es sich allgemein um ein nasschemisches Verfahren zur Herstellung keramischer oder keramisch-organischer Werkstoffe. Ein solches allgemeines Sol-Gel-Verfahren kann zur Herstellung keramischer Bulkmaterialien, keramischer Nanopulver und Fasern sowie zur Abscheidung homogener nanokristalliner oxidkeramischer oder auch keramisch-organischer Beschichtungen eingesetzt werden. Im Rahmen der Erfindung wird das Sol-Gel-Verfahren zur Ausbildung der Beschichtung, die den Aktorkörper umgibt, eingesetzt. Dabei wird die Beschichtung durch eine Sol-Gel-Transformation ausgebildet.A sol-gel process is generally a wet-chemical process for producing ceramic or ceramic-organic materials. Such a general sol-gel process can be used for the production of ceramic bulk materials, ceramic nanopowders and fibers as well as for the deposition of homogeneous nanocrystalline oxide-ceramic or even ceramic-organic coatings. In the context of the invention, the sol-gel process for forming the coating which surrounds the actuator body is used. The coating is formed by a sol-gel transformation.

Ein Vorteil der Ausgestaltung der Beschichtung durch eine Sol-Gel-Transformation besteht darin, dass gegebenenfalls ein aus mehreren Schichten bestehendes Beschichtungssystem vollständig durch eine Beschichtung, die im Sol-Gel-Verfahren erzeugt ist, ersetzt werden kann, so dass eine kostengünstige Herstellung ermöglicht ist. Ferner können die Eigenschaften der Beschichtung im Hinblick auf eine Druck- und Medienbeständigkeit geeignet eingestellt werden. Beispielsweise kann eine druck- und brennstoffbeständige Beschichtung, die den Aktorkörper abdichtet, erzeugt werden.One Advantage of the design of the coating by a sol-gel transformation is that, where appropriate, a multi-layered Coating system completely by a coating, which is generated in the sol-gel process, can be replaced, so that a cost-effective production is possible. Furthermore, the properties of the coating in terms of be adjusted to a pressure and media resistance suitable. For example, a pressure and fuel resistant coating, which seals the actuator body can be generated.

In vorteilhafter Weise ist die Beschichtung auf der Basis metallorganischer Polymere, die durch die Sol-Gel-Transformation vernetzt sind, ausgebildet. Ferner ist es vorteilhaft, dass die Beschichtung auf der Basis der in einem Lösungsmittel als Nanopartikel gelösten metallorganischen Polymere, wobei die Nanopartikel durch die Sol-Gel-Transfortmation dreidimensional in dem Lösungsmittel vernetzt sind, ausgebildet ist. Dabei ist es vorteilhaft, dass die Nanopartikel in dem Lösungsmittel eine Größe aus einem Bereich von etwa 1 nm bis etwas 100 nm aufweisen. Dadurch kann eine druck- und medienbeständige Beschichtung erzielt werden, die zudem relativ dünn ausgestaltet sein kann.In Advantageously, the coating is based on organometallic Polymers crosslinked by the sol-gel transformation formed. Furthermore, it is advantageous that the coating on the basis of dissolved in a solvent as nanoparticles organometallic polymers, wherein the nanoparticles through the sol-gel Transfortmation three-dimensional are crosslinked in the solvent is formed. there It is advantageous that the nanoparticles in the solvent a size from a range of about 1 nm to have about 100 nm. This can be a pressure and media resistant Coating can be achieved, which also designed relatively thin can be.

In vorteilhafter Weise ist eine außenliegende Elektrodenanbindung vorgesehen, die von der Beschichtung mitumgeben ist. Dabei kann bei der Herstellung der Beschichtung der im Sol-Zustand vorliegende Werkstoff nach der Anwendung des Sol-Gel-Verfahrens einem Wärmebehandlungsverfahren unterworfen werden, um durch Pyrolyse, Sinterung und Kristallisation eine Beschichtung in Form eins oxidkeramischen, dünnen Films auszubilden. Dabei ist die außenliegende Elektrodenanbindung vorzugsweise als wärmebeständige Elektrodenanbindung ausgeführt, um eine hinreichende Temperaturbeständigkeit, insbesondere während der Sinterung, zu gewährleisten.In Advantageously, an external electrode connection provided, which is surrounded by the coating. It can in the preparation of the coating of the present in the sol state Material after applying the sol-gel process a heat treatment process be subjected to pyrolysis, sintering and crystallization a coating in the form of one oxide ceramic, thin To train films. In this case, the external electrode connection is preferred designed as a heat-resistant electrode connection, to a sufficient temperature resistance, in particular during sintering, to ensure.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der nachfolgenden Beschreibung anhand der beigefügten Zeichnungen, in denen sich entsprechende Elemente mit übereinstimmenden Bezugszeichen versehen sind, näher erläutert. Es zeigt:preferred Embodiments of the invention are in the following Description with reference to the accompanying drawings, in which corresponding elements with matching reference numerals are provided, explained in more detail. It shows:

1 ein Brennstoffeinspritzventil mit einem piezoelektrischen Aktormodul in einer schematischen Schnittdarstellung entsprechend einem Ausführungsbeispiel der Erfindung; 1 a fuel injection valve with a piezoelectric actuator module in a schematic sectional view according to an embodiment of the invention;

2 einen Schnitt entlang der in 1 mit II bezeichneten Schnittlinie durch ein piezoelektrisches Aktormodul entsprechend dem Ausführungsbeispiel der Erfindung und 2 a cut along in 1 Denoted by II section line through a piezoelectric actuator module according to the embodiment of the invention and

3 ein Prozessdiagramm zur Erläutung der Herstellung des piezoelektrischen Aktormoduls des Brennstoffeinspritzventils des Ausführungsbeispiels der Erfindung. 3 a process diagram for explaining the production of the piezoelectric actuator module of the fuel injection valve of the embodiment of the invention.

Ausführungsformen der Erfindungembodiments the invention

1 zeigt ein Brennstoffeinspritzventil 1 mit einem piezoelektrischen Aktor 2 entsprechend einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung. Das Brennstoffeinspritzventil 1 kann insbesondere als Injektor für Brennstoffeinspritzanlagen von luftverdichtenden, selbstzündenden Brennkraftmaschinen dienen. Ein bevorzugter Einsatz des Brennstoffeinspritzventils 1 besteht für eine Brennstoffeinspritzanlage mit einem Common-Rail, das Dieselbrennstoff unter hohem Druck zu mehreren Brennstoffeinspritzventilen 1 führt. Der erfindungsgemäße piezoelektrische Aktor 2 eignet sich besonders für solch ein Brennstoffeinspritzventil 1 und auch für eine inverse Ansteuerung des piezoelektrischen Aktors 2. Das erfindungsgemäße Brennstoffeinspritzventil 1 und der erfindungsgemäße piezoelektrische Aktor 2 eignen sich jedoch auch für andere Anwendungsfälle. 1 shows a fuel injector 1 with a piezoelectric actuator 2 according to a first embodiment of the invention. The fuel injector 1 can be used in particular as an injector for fuel injection systems of air-compressing, self-igniting internal combustion engines. A preferred use of the fuel injection valve 1 consists of a fuel injection system with a common rail, the diesel fuel under high pressure to several fuel injection valves 1 leads. The piezoelectric actuator according to the invention 2 is particularly suitable for such a fuel injector 1 and also for an inverse control of the piezoelectric actuator 2 , The fuel injection valve according to the invention 1 and the piezoelectric actuator according to the invention 2 However, they are also suitable for other applications.

Das Brennstoffeinspritzventil 1 weist ein Ventilgehäuse 3 und einen mit dem Ventilgehäuse 3 verbundenen Brennstoffeinlassstutzen 4 auf. An den Brennstoffeinlassstutzen 4 ist eine Brennstoffleitung anschließbar, um das Brennstoffeinspritzventil 1 über ein Common-Rail oder direkt mit einer Hochdruckpumpe zu verbinden. Über den Brennstoffeinlassstutzen 4 kann dann Brennstoff in einen im Inneren des Ventilgehäuses 3 vorgesehenen Aktorraum 5 eingeleitet werden, so dass sich im Betrieb des Brennstoffeinspritzventils 1 Brennstoff in dem Aktorraum 5, in dem auch der piezoelektrische Aktor 2 vorgesehen ist, befindet. Der Aktorraum 5 ist durch ein Gehäuseteil 6 von einem ebenfalls im Inneren des Ventilgehäuses 3 vorgesehenen Brennstoffraum 7 getrennt. In dem Gehäuseteil 6 sind dabei Durchlassöffnungen 8, 9 ausgestaltet, um den über den Brennstoffeinlassstutzen 4 in den Aktorraum 5 geführten Brennstoff in den Brennstoffraum 7 zu leiten.The fuel injector 1 has a valve housing 3 and one with the valve body 3 connected fuel inlet nozzle 4 on. To the fuel inlet nozzle 4 a fuel line is connectable to the fuel injector 1 via a common rail or directly to a high-pressure pump. About the fuel inlet nozzle 4 can then fuel into one inside the valve body 3 provided actuator space 5 be initiated, so that in the operation of the fuel injection valve 1 Fuel in the actuator room 5 , in which also the piezoelectric actuator 2 is provided is located. The actuator room 5 is through a housing part 6 from one also inside the valve body 3 provided fuel space 7 separated. In the housing part 6 There are passage openings 8th . 9 designed to be over the fuel inlet 4 in the actuator room 5 led fuel into the fuel chamber 7 to lead.

Das Ventilgehäuse 3 ist mit einem Ventilsitzkörper 10 verbunden, an dem eine Ventilsitzfläche 11 ausgebildet ist. Die Ventilsitzfläche 11 wirkt mit einem Ventilschließkörper 12 zu einem Dichtsitz zusammen. Dabei ist der Ventilschließkörper 12 einstückig mit einer Ventilnadel 15 ausgebildet, über die der Ventilschließkörper 12 mit einer im Aktorraum 5 vorgesehenen Druckplatte 16 verbunden ist. Dabei ist die Ventilnadel 15 durch das Gehäuseteil 6 entlang einer Achse 17 des Brennstoffeinspritzventils 1 geführt. Ein Federelement 18, das einerseits an dem Gehäuseteil 6 und andererseits an der Druckplatte 16 anliegt, beaufschlagt den piezoelektrischen Aktor 2 mit einer Vorspannkraft, wobei durch die Beaufschlagung außerdem die Ventilnadel 15 mittels der Druckplatte 16 betätigt wird, so dass der zwischen dem Ventilschließkörper 12 und der Ventilsitzfläche 11 gebildete Dichtsitz geschlossen ist.The valve housing 3 is with a valve seat body 10 connected to which a valve seat surface 11 is trained. The valve seat area 11 acts with a valve closing body 12 to a sealing seat together. Here is the valve closing body 12 integral with a valve needle 15 formed, via which the valve closing body 12 with one in the actuator room 5 provided pressure plate 16 connected is. Here is the valve needle 15 through the housing part 6 along an axis 17 of the fuel injection valve 1 ge leads. A spring element 18 on the one hand on the housing part 6 and on the other hand on the printing plate 16 abuts applied to the piezoelectric actuator 2 with a biasing force, wherein by the addition of the valve needle 15 by means of the pressure plate 16 is actuated, so that between the valve closing body 12 and the valve seat surface 11 formed sealing seat is closed.

Außerdem weist das Ventilgehäuse 3 ein Anschlusselement 20 auf, um das Anschließen einer elektrischen Zuleitung an das Brennstoffeinspritzventil 1 zu ermöglichen. Die elektrische Zuleitung kann dabei mittels eines Steckers an elektrische Leitungen 21, 22 angeschlossen werden. Die elektrischen Leitungen 21, 22 sind durch das Gehäuse 3 und einen an einen Aktorkörper 23 des Aktors 2 angefügten Aktorfuß 24 an den Aktorkörper 23 geführt. An den Aktorkörper 23 des piezoelektrischen Aktors 2 ist ferner ein Aktorkopf 25 angefügt, über den der Aktorkörper 23 entgegen der Kraft des Federelements 18 auf die Druckplatte 16 einwirkt. Der piezoelektrische Aktor 2 weist in dem dargestellten Ausführungsbeispiel den Aktorkörper 23, den Aktorfuß 24 und den Aktorkopf 25 auf, so dass ein Aktormodul 19 gebildet ist.In addition, the valve housing has 3 a connection element 20 to connect an electrical lead to the fuel injector 1 to enable. The electrical lead can thereby by means of a plug to electrical lines 21 . 22 be connected. The electrical wires 21 . 22 are through the case 3 and one to an actuator body 23 of the actor 2 attached actuator foot 24 to the actuator body 23 guided. To the actuator body 23 of the piezoelectric actuator 2 is also an actuator head 25 attached, over which the actuator body 23 against the force of the spring element 18 on the printing plate 16 acts. The piezoelectric actuator 2 has the actuator body in the illustrated embodiment 23 , the actor foot 24 and the actuator head 25 on, leaving an actuator module 19 is formed.

Das Aktormodul 19 kann auch aus zwei oder mehr Aktorkörpern 23 aufgebaut sein. Dabei können zwischen den einzelnen Aktorkörpern 23 Zwischenstücke vorgesehen sein oder die einzelnen Aktorkörper 23 können auch an ihren Stirnflächen miteinander verklebt werden.The actuator module 19 can also consist of two or more actuator bodies 23 be constructed. In this case, between the individual actuator bodies 23 Be provided intermediate pieces or the individual actuator body 23 can also be glued together at their faces.

Der Aktorkörper 23 des piezoelektrischen Aktors 2 weist eine Vielzahl von keramischen Schichten 26, 27 und eine Vielzahl von zwischen den keramischen Schichten 26, 27 angeordneten Elektrodenschichten 28, 29 auf. Dabei sind in der 1 zur Vereinfachung der Darstellung die keramischen Schichten 26, 27 sowie die Elektrodenschichten 28, 29 gekennzeichnet. An einer Außenfläche 35 des Aktorkörpers 23 sind außenliegende Elektrodenanbindungen 36, 37 vorgesehen, die mit den elektrischen Leitungen 21, 22 verbunden sind. Die außenliegenden Elektrodenanbindungen 36, 37 sind abwechselnd mit den Elektrodenschichten 28, 29 verbunden, so dass alterierend positive und negative Elektroden zwischen den keramischen Schichten 26, 27 vorgesehen sind.The actuator body 23 of the piezoelectric actuator 2 has a variety of ceramic layers 26 . 27 and a plurality of between the ceramic layers 26 . 27 arranged electrode layers 28 . 29 on. There are in the 1 to simplify the presentation of the ceramic layers 26 . 27 as well as the electrode layers 28 . 29 characterized. On an outer surface 35 of the actuator body 23 are external electrode connections 36 . 37 provided with the electrical wiring 21 . 22 are connected. The external electrode connections 36 . 37 are alternating with the electrode layers 28 . 29 connected so that alternating positive and negative electrodes between the ceramic layers 26 . 27 are provided.

Anstelle der außenliegenden Elektrodenanbindungen 36, 37 können auch innenliegende Elektrodenanbindungen vorgesehen sein, die im Inneren des Aktorkörpers 23 mit den Elektrodenschichten 28, 29 kontaktiert sind. Ferner ist es auch möglich, dass eine innenliegende Elektrodenanbindung mit einer außenliegenden Elektrodenanbindung 36, 37 kombiniert ist.Instead of the external electrode connections 36 . 37 it is also possible for internal electrode connections to be provided inside the actuator body 23 with the electrode layers 28 . 29 are contacted. Furthermore, it is also possible that an internal electrode connection with an external electrode connection 36 . 37 combined.

Über die elektrischen Leitungen 21, 22 kann der piezoelektrische Aktor 2 geladen werden, wobei sich dieser in Richtung der Achse 17 ausdehnt, so dass der zwischen dem Ventilschließkörper 12 und der Ventilsitzfläche 11 ausgebildete Dichtsitz geöffnet wird. Dadurch kommt es zum Abspritzen von Brennstoff aus dem Brennstoffraum 7 über einen Ringspalt 30 und den geöffneten Dichtsitz. Beim Entladen des piezoelektrischen Aktors 2 zieht sich dieser wieder zusammen, so dass der zwischen dem Ventilschließkörper 12 und der Ventilsitzfläche 11 ausgebildete Dichtsitz wieder geschlossen ist.About the electrical wires 21 . 22 can the piezoelectric actuator 2 be charged, with this in the direction of the axis 17 expands so that the between the valve closing body 12 and the valve seat surface 11 trained sealing seat is opened. This leads to the spraying of fuel from the fuel chamber 7 over an annular gap 30 and the open sealing seat. When unloading the piezoelectric actuator 2 this contracts again so that the between the valve closing body 12 and the valve seat surface 11 trained sealing seat is closed again.

Der Aktorkörper 23 ist an seiner Außenfläche 35 mit einer Beschichtung 40 umgeben. Ein Teil 41 der Beschichtung 40 erstreckt sich dabei auch auf den Aktorfuß 24 und ein anderer Teil 42 der Beschichtung 40 erstreckt sich auch auf den Aktorkopf 25. Die Beschichtung ist dabei durch eine Sol-Gel-Transformation ausgebildet. Dabei überdeckt die Beschichtung 40 auch die außenliegenden Elektrodenanbindungen 36, 37, die auf der Außenfläche 35 des Aktorkörpers 23 vorgesehen sind. Je nach Ausgestaltung der außenliegenden Elektrodenanbindungen 36, 37 kann die Beschichtung 40 die außenliegenden Elektrodenanbindungen 36, 37 auch nur teilweise bedecken, beispielsweise wenn die außenliegenden Elektrodenanbindungen 36, 37 aus der Beschichtung 40 herausgeführt sind.The actuator body 23 is on its outer surface 35 with a coating 40 surround. A part 41 the coating 40 extends to the actuator foot 24 and another part 42 the coating 40 also extends to the actuator head 25 , The coating is formed by a sol-gel transformation. This covers the coating 40 also the external electrode connections 36 . 37 on the outside surface 35 of the actuator body 23 are provided. Depending on the configuration of the external electrode connections 36 . 37 can the coating 40 the external electrode connections 36 . 37 also only partially cover, for example, if the external electrode connections 36 . 37 from the coating 40 led out.

Die Beschichtung 40 ist als nanokristalliner, dichter oxidkeramischer Film ausgebildet, so dass eine druck- und brennstoffresistente Beschichtung gegeben ist. Die Beschichtung 40 bildet somit in Bezug auf den im Aktorraum 5 vorgesehenen, unter hohem Druck stehenden Brennstoff eine zuverlässige Abdichtung gegenüber dem Aktorkörper 23 und gegebenenfalls weiterer Elemente des piezoelektrischen Aktors 2. Insbesondere wird ein Kontakt mit dem Brennstoff oder seinen Bestandteilen verhindert. Im Falle eines Dieselbrennstoffes besteht beispielsweise die Gefahr, dass im Dieselbrennstoff enthaltenes Wasser an den Aktorkörper 23 dringt und einen Kurzschluss zwischen den Elektrodenschichten 28, 29 hervorruft, wodurch es zum Ausfall des piezoelektrischen Aktors 2 kommen kann.The coating 40 is formed as a nanocrystalline, dense oxide-ceramic film, so that a pressure and fuel-resistant coating is given. The coating 40 thus forms in relation to that in the actuator room 5 provided under high pressure fuel a reliable seal against the actuator body 23 and optionally further elements of the piezoelectric actuator 2 , In particular, contact with the fuel or its constituents is prevented. In the case of a diesel fuel, for example, there is a risk that water contained in the diesel fuel to the actuator body 23 penetrates and a short circuit between the electrode layers 28 . 29 causing it to failure of the piezoelectric actuator 2 can come.

2 zeigt einen Schnitt durch den in 1 gezeigten piezoelektrischen Aktor 2 des Aktormoduls 19 des Brennstoffeinspritzventils 1 entlang der mit II bezeichneten Schnittlinie. Die außenliegenden Elektrodenanbindungen 36, 37 sind vereinfacht dargestellt und können beispielsweise eine gewebte Struktur aufweisen. Der Aktorkörper 23 weist abgerundete Kanten 42, 43, 44, 45 auf. Somit sind spitze oder scharfkantige Kanten vermieden. Dies erleichtert die Aufbringung des Werkstoffes für die Beschichtung 40 im flüssigen Sol-Zustand. Allerdings sind im Bereich der außenliegenden Elektrodenanbindungen 36, 37, beispielsweise in einem Bereich 46, Kanten und ein Übergang von der Außenfläche 35 des Aktorkörpers 23 auf die Struktur der außenliegenden Elektrodenanbindung 37 gegeben. Der Werkstoff für die Beschichtung 40 im flüssigen Sol-Zustand passt sich an die Gegebenheiten im Bereich 46 an, so dass Hohlräume oder dergleichen aufgefüllt werden, so dass in der fertigen Beschichtung 40 Hohlräume verhindert oder zumindest verringert sind. 2 shows a section through the in 1 shown piezoelectric actuator 2 of the actuator module 19 of the fuel injection valve 1 along the section line marked II. The external electrode connections 36 . 37 are shown simplified and may for example have a woven structure. The actuator body 23 has rounded edges 42 . 43 . 44 . 45 on. Thus, sharp or sharp edges are avoided. This facilitates the application of the material for the coating 40 in the liquid sol state. However, in the area of the external electrode connections 36 . 37 in one area, for example 46 , Edges and a transition from the outer surface 35 of the actuator body 23 on the structure of the external electrode connection 37 given. The material for the coating 40 in the liquid sol state adapts to the conditions in the area 46 so that cavities or the like are filled up so that in the finished coating 40 Cavities prevented or at least reduced.

Die Herstellung der Beschichtung 40 ist im Folgenden anhand der 3 im Detail weiter beschrieben.The production of the coating 40 is below based on the 3 further described in detail.

3 zeigt ein Prozessdiagramm zur Erläuterung der Herstellung des piezoelektrischen Aktors 2 des piezoelektrischen Aktormoduls 19. Dabei ist speziell die Herstellung der Beschichtung 40, die den Aktorkörper 23 umgibt, erläutert. Das Prozessdiagramm erläutert die Herstellung in Bezug auf die Schritte 50 bis 55, denen folgende Schlagworte zugeordnet sind: 3 shows a process diagram for explaining the production of the piezoelectric actuator 2 of the piezoelectric actuator module 19 , It is specifically the production of the coating 40 that the actuator body 23 surrounds, explains. The process diagram explains the manufacture in relation to the steps 50 to 55 to which the following keywords are assigned:

5050
„Beginn des Prozesses";"Begin of the process ";
5151
„Solherstellung";"Sol production";
5252
„Tauchbeschichten";"Dip coating";
5353
„Trocknung: Gelfilmbildung";"Drying: Gel-film ";
5454
„Wärmebehandlung unter Luft bei etwa 300°C bis etwa 800°C";"Heat treatment in air at about 300 ° C to about 800 ° C ";
54a54a
„Über 300°C: Pyrolyse";"About 300 ° C: pyrolysis ";
54b54b
„Über 450°C: Sinterung und Kristallisation" und"About 450 ° C: sintering and crystallization "and
5555
„Ende des Prozesses: dünner Keramikfilm"."The End of the process: thin ceramic film ".

Der Prozess beginnt im Schritt 50. Dabei liegt der noch unbeschichtete Aktorkörper 23 vor, auf den gegebenenfalls die außenliegenden Elektrodenanbindungen 36, 37 angebracht sind.The process begins in step 50 , This is the still uncoated actuator body 23 before, on the possibly the external electrode connections 36 . 37 are attached.

Im Schritt 51 liegt ein Werkstoff im flüssigen Sol-Zustand vor, wobei es sich bei dem Sol um eine Dispersion fester Partikel im Größenbereich von etwa 1 nm bis 100 nm handelt, die sich feinst verteilt, das heißt dispergiert, in Wasser oder organischen Lösungsmitteln befinden.In step 51 For example, there is a material in the liquid sol state, wherein the sol is a dispersion of solid particles in the size range of about 1 nm to 100 nm, which is finely dispersed, that is dispersed, in water or organic solvents.

Im Schritt 52 wird der Werkstoff im flüssigen Sol-Zustand auf der Außenfläche 35 des Aktorkörpers 23 abgeschieden. Die Abscheidung kann sich dabei auch auf den Aktorkörper 23 und den Aktorfuß 24 erstrecken, die an den Aktorkörper 23 angefügt sind. Die Abscheidung erfolgt durch Tauchbeschichten, wobei der Aktorkörper 23 zumindest abschnittsweise in das flüssige Sol eingetaucht und gegebenenfalls bewegt, insbesondere rotiert, wird. Die Abscheidung im Schritt 52 kann allerdings auch auf andere Weise erfolgen.In step 52 the material is in the liquid sol state on the outer surface 35 of the actuator body 23 deposited. The deposition can also affect the actuator body 23 and the actuator foot 24 extend to the actuator body 23 are attached. The deposition is carried out by dip coating, wherein the actuator body 23 at least partially immersed in the liquid sol and optionally moved, in particular rotated, is. The deposition in the step 52 However, it can also be done in other ways.

Auf den Schritt 52 folgt der Schritt 53, in dem das flüssige Sol getrocknet wird. Dabei erfolgt eine Sol-Gel-Transformation, in der der abgeschiedene Werkstoff von einem flüssigen Sol-Zustand in einen festen Gel-Zustand überführt wird. Während der Sol-Gel-Transformation kommt es zu einer dreidimensionalen Vernetzung der Nanopartikel im Lösungsmittel, wodurch das Gel Festkörpereigenschaften erhält. Die in diesem Zustand vorliegende Beschichtung 40 ist dabei an die Geometrie und Kontur des Aktorkörpers 23 sowie die außenliegenden Elektrodenanbindungen 36, 37 angepasst.On the step 52 follows the step 53 in which the liquid sol is dried. In this case, a sol-gel transformation takes place, in which the deposited material is converted from a liquid sol state into a solid gel state. During the sol-gel transformation, three-dimensional crosslinking of the nanoparticles in the solvent occurs, giving the gel solid-state properties. The coating present in this state 40 is the geometry and contour of the actuator body 23 as well as the external electrode connections 36 . 37 customized.

In dem auf den Schritt 53 folgenden Schritt 54 erfolgt eine Überführung des Gels der Beschichtung 40 in einen oxidkeramischen Werkstoff durch kontrollierte Wärmebehandlung unter Luft. Die Wärmebehandlung kann auch unter einer anderen sauerstoffhaltigen Atmosphäre erfolgen. In diesem Ausführungsbeispiel ist der Schritt 54 in zwei Teilschritte 54a, 54b aufgeteilt. In dem ersten Teilschritt 54a wird eine Pyrolyse durchgeführt. Dabei zersetzen sich die organischen Bestandteile der metallorganischen Polymere bis ca. 400°C und entweichen in Form von Kohlendioxid und Wasser. Der zurückbleibende amorphe und nanoporöse Metalloxidfilm wird im Schritt 54b bei Temperaturen von über 500°C gesintert. Gleichzeitig finden im Schritt 54b Keimbildung und Kristallwachstum statt, so dass aus dem amorphen und porösen Gelfilm ein kristalliner, insbesondere nanokristalliner, dichter, oxidkeramischer Film entsteht.In that on the step 53 following step 54 there is a transfer of the gel of the coating 40 in an oxide-ceramic material by controlled heat treatment under air. The heat treatment can also be carried out under a different atmosphere containing oxygen. In this embodiment, the step is 54 in two steps 54a . 54b divided up. In the first step 54a a pyrolysis is carried out. In this case, decompose the organic constituents of the organometallic polymers to about 400 ° C and escape in the form of carbon dioxide and water. The remaining amorphous and nanoporous metal oxide film is in the step 54b sintered at temperatures above 500 ° C. At the same time find in step 54b Nucleation and crystal growth take place, so that a crystalline, in particular nanocrystalline, dense, oxide-ceramic film is formed from the amorphous and porous gel film.

Nach dem Schritt 54 kann das Verfahren mit dem Schritt 55 beendet werden, wobei die Beschichtung 40 in Form eines dünnen keramischen Film vorliegt. Je nach Anwendungsfall können die Schritte 52, 53 und 54 auch ein oder mehrmals wiederholt werden, wie es durch den Sprungpfeil 47 veranschaulicht ist. In diesem Fall folgt auf den Schritt 54 der Schritt 52, in dem eine weitere Tauchbeschichtung des bereits teilbeschichteten Aktorkörpers 23 erfolgt. Somit kann die Dicke der Beschichtung 40 gezielt beeinflusst werden.After the step 54 can the process with the step 55 be terminated, with the coating 40 in the form of a thin ceramic film. Depending on the application, the steps 52 . 53 and 54 also be repeated one or more times as indicated by the jump arrow 47 is illustrated. In this case, follow the step 54 the step 52 in which a further dip coating of the already partially coated actuator body 23 he follows. Thus, the thickness of the coating 40 be specifically influenced.

Die Erfindung ist nicht auf die beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt.The Invention is not limited to the described embodiments limited.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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Claims (11)

Piezoelektrisches Aktormodul (19), insbesondere Aktormodul für Brennstoffeinspritzventile, mit zumindest einem Aktorkörper (23), der eine Vielzahl von keramischen Schichten (26, 27) und eine Vielzahl von zwischen den keramischen Schichten (26, 27) angeordneten Elektrodenschichten (28, 29) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktorkörper (23) von einer Beschichtung (40) umgeben ist und dass die Beschichtung (40) durch eine Sol-Gel-Transformation ausgebildet ist.Piezoelectric actuator module ( 19 ), in particular actuator module for fuel injection valves, with at least one actuator body ( 23 ) comprising a plurality of ceramic layers ( 26 . 27 ) and a plurality of between the ceramic layers ( 26 . 27 ) arranged electrode layers ( 28 . 29 ), characterized in that the actuator body ( 23 ) of a coating ( 40 ) and that the coating ( 40 ) is formed by a sol-gel transformation. Piezoelektrisches Aktormodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (40) auf der Basis metallorganischer Polymere, die durch die Sol-Gel-Transformation vernetzt sind, ausgebildet ist.Piezoelectric actuator module according to claim 1, characterized in that the coating ( 40 ) based on organometallic polymers crosslinked by the sol-gel transformation. Piezoelektrisches Aktormodul nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (40) auf der Basis der in einem Lösungsmittel als Nanopartikel gelösten metallorganischen Polymere, wobei die Nanopartikel durch die Sol-Gel-Transformation dreidimensional in dem Lösungsmittel vernetzt sind, ausgebildet ist.Piezoelectric actuator module according to claim 2, characterized in that the coating ( 40 ) based on the dissolved in a solvent as nanoparticles organometallic polymers, wherein the nanoparticles are crosslinked by the sol-gel transformation three-dimensionally in the solvent is formed. Piezoelektrisches Aktormodul nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Nanopartikel in dem Lösungsmittel eine Größe aus einem Bereich von etwa 1 nm bis etwa 100 nm aufweisen.Piezoelectric actuator module according to claim 3, characterized characterized in that the nanoparticles in the solvent a size from a range of about 1 nm to about 100 nm. Piezoelektrisches Aktormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (40) als oxidkeramische Beschichtung (409 ausgestaltet ist.Piezoelectric actuator module according to one of claims 1 to 4, characterized in that the coating ( 40 ) is designed as an oxide ceramic coating (409). Piezoelektrisches Aktormodul nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung als nanokristalliner, dichter, oxidkeramsicher Film ausgebildet ist.Piezoelectric actuator module according to claim 5, characterized characterized in that the coating as nanocrystalline, denser, oxide ceramic film is formed. Piezoelektrisches Aktormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine außenliegende Elektrodenanbindung (36, 37) vorgesehen ist, die auf einer Außenfläche (35) des Aktorkörpers (23) angeordnet ist, dass die außenliegende Elektrodenanbindung (36, 37) von der Beschichtung (40), die den Aktorkörper (23) umgibt, zumindest teilweise überdeckt ist, dass die außenliegende Elektrodenanbindung (36, 37) als wärmebeständige Elektrodenanbindung (36, 37) ausgeführt ist und dass die auf den mit der außenliegenden Elektrodenanbindung (36, 37) versehenen Aktorkörper (23) aufgebrachte Beschichtung (40) einer der Sol-Gel-Transformation nachfolgenden Wärmebehandlung unterzogen ist.Piezoelectric actuator module according to one of claims 1 to 6, characterized in that at least one external electrode connection ( 36 . 37 ) provided on an outer surface ( 35 ) of the actuator body ( 23 ) is arranged, that the external electrode connection ( 36 . 37 ) of the coating ( 40 ), which the actuator body ( 23 ) is at least partially covered, that the external electrode connection ( 36 . 37 ) as a heat-resistant electrode connection ( 36 . 37 ) is executed and that on the with the external electrode connection ( 36 . 37 ) provided actuator body ( 23 ) applied coating ( 40 ) is subjected to a subsequent sol-gel transformation heat treatment. Piezoelektrisches Aktormodul nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (40) eine medienresistente Beschichtung (40) ist.Piezoelectric actuator module according to claim 7, characterized in that the coating ( 40 ) a media-resistant coating ( 40 ). Piezoelektrisches Aktormodul nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (40) eine druck- und brennstoffresistente Beschichtung (40) ist.Piezoelectric actuator module according to claim 8, characterized in that the coating ( 40 ) a pressure- and fuel-resistant coating ( 40 ). Brennstoffeinspritzventil (1), insbesondere Injektor für Brennstoffeinspritzanlagen von luftverdichtenden, selbstzündenden Brennkraftmaschinen, mit einem piezoelektrischen Aktormodul (19) nach einem der Ansprüche 1 bis 10 und einem von dem Aktormodul (19) betätigbaren Ventilschließkörper (12), der mit einer Ventilsitzfläche (11) zu einem Dichtsitz zusammenwirkt.Fuel Injector ( 1 ), in particular injector for fuel injection systems of air-compressing, self-igniting internal combustion engines, with a piezoelectric actuator module ( 19 ) according to one of claims 1 to 10 and one of the actuator module ( 19 ) operable valve closing body ( 12 ), which is provided with a valve seat surface ( 11 ) cooperates to a sealing seat. Brennstoffeinspritzventil nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das piezoelektrische Aktormodul (19) in einem Aktorraum (5) angeordnet ist und dass das piezoelektrische Aktormodul (19) im Betrieb einem im Aktorraum (5) vorgesehenen unter hohem Druck stehenden Brennstoff ausgesetzt ist.Fuel injection valve according to claim 10, characterized in that the piezoelectric actuator module ( 19 ) in an actuator room ( 5 ) and that the piezoelectric actuator module ( 19 ) in operation in the actuator room ( 5 ) is exposed under high pressure fuel.
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