DE102007036556A1 - Method for monitoring the focus position in laser beam machining processes - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Überwachung der Fokuslage bei Laserstrahlbearbeitungsprozessen, bestehend aus folgenden Schritten: - hochfrequente Intensitätsmodulation des Laserstrahls (1) zur Bearbeitung, wodurch dem Prozessleuchten aufgrund der Laserstrahlbearbeitung eine Modulation gleicher Frequenz aufgeprägt ist, - zeitaufgelöste Messung der Verhältnisse der Intensität und/oder der Phasenlage zwischen den Signalen des Bearbeitungslaserstrahles (1) und den Signalen des Prozessleuchtens, - Ermittlung der Fokuslage des Bearbeitungslaserstrahles (1) anhand des Amplitudenverhältnisses und/oder der Phasenverschiebung oder einer Kombination daraus.Method for monitoring the focus position in laser beam processing processes, comprising the following steps: - high-frequency intensity modulation of the laser beam (1) for processing, whereby the process lights due to the laser beam processing a modulation of the same frequency is impressed, - time-resolved measurement of the ratios of the intensity and / or the phase angle between the signals of the processing laser beam (1) and the signals of the process lighting, - Determining the focus position of the processing laser beam (1) on the basis of the amplitude ratio and / or the phase shift or a combination thereof.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ermittlung beziehungsweise Überwachung der Fokuslage bei der Laserstrahlmaterialbearbeitung, insbesondere eine automatisierte Ausführung.The The invention relates to a method for determining or monitoring the focal position in the laser beam material processing, in particular an automated version.

Bei der Materialbearbeitung unter Einsatz von Laserstrahlung wie beispielsweise beim Schweißen, Bohren oder Schneiden, ist die Fokuslage des Bearbeitungsstrahles, genau genommen – die Fokuslage relativ zur Werkstückoberfläche, relevant für das Bearbeitungsergebnis. Der entsprechende Laserstrahl ist fokussiert, der Abstand des Fokus zum Laser beziehungsweise einer optischen Einheit kann in der Regel eingestellt werden und die Kenntnis über die Lage des Fokus relativ zum Werkstück ist wesentlich für die Führung des entsprechenden Prozesses.at the material processing using laser radiation such as when welding, drilling or cutting, is the focus position of the processing beam, in fact - the focus position relative to the workpiece surface, relevant to the Machining result. The corresponding laser beam is focused, the distance of the focus to the laser or an optical Unit can usually be set and the knowledge about the Location of the focus relative to the workpiece is essential for the leadership of the corresponding process.

Insbesondere für Schweißungen, bei denen dreidimensionale Führungen der Schweißnaht oder allgemein ein wandernder Schweißort berücksichtigt werden muss, ist ein Verfahren zur Fokuslagenkontrolle notwendig. Ein Beispiel hierfür ist die Verschweißung von „Tailored Blanks" im Automobilbau, wobei nicht aufbauend gearbeitet wird, sondern eine komplette dreidimensional strukturierte Bodenplatte, die teilweise verstärkt sein kann, in eine Karosserie eingebaut wird. Ein Vorteil besteht darin, dass Schweißnähte durch sonst notwendige Umformungen jetzt nicht übermäßig beansprucht werden.Especially for welds involving three-dimensional guides the weld or generally a wandering location must be considered, is a procedure for focus position control necessary. An example of this is the welding of "tailored blanks" in automotive engineering, not constructive is being worked, but a complete three-dimensionally structured Base plate, which may be partially reinforced, in one Body is installed. One advantage is that welds by otherwise necessary transformations now not excessive be claimed.

Im Stand der Technik bekannte Verfahren messen in der Regel den Abstand zwischen Laserkopf und Werkstück. Im Falle des Laserschneidens kommen häufig kapazitive Abstandsmessungen zum Einsatz [1]. Weitere Methoden zur Abstandsmessung zwischen Laserkopf und Werkstück werden Beispielsweise mit Lasertriangulation durchgeführt. Weiterhin kann ein Messverfahren die chromatische Abbaration der Prozessstrahlung ausnut zen. Hierbei wird die unterschiedliche Fokuslage verschiedener Fokuslängen an den Linsen im Beobachtungsstrahlengang ausgewertet [2].in the The prior art methods usually measure the distance between laser head and workpiece. In the case of laser cutting come often capacitive distance measurements are used [1]. Further Methods for distance measurement between laser head and workpiece are performed for example with laser triangulation. Furthermore, a measuring method, the chromatic abatement of Use process radiation. Here is the different focal position different focal lengths on the lenses in the observation beam path evaluated [2].

Zur Ansteuerung beziehungsweise zur Nachführung des Laserkopfes bei nicht optimaler Lage des Laserfokus relativ zur Werkstückoberfläche werden bei bekannten Verfahren vorgegebene und konstante Verfahrwege für den Laserkopf beziehungsweise für die Relativbewegung zum Werkstück vorgegeben.to Control or tracking of the laser head at not optimal position of the laser focus relative to the workpiece surface in known methods predetermined and constant travels for the laser head or for the relative movement to Workpiece specified.

Um bei der Messung der aktuellen Fokuslage die Reproduzierbarkeit zur erhöhen werden Verfahren gesucht die eine reduzierte Störanfälligkeit gegenüber regelmäßig vorhandenen Prozessleuchten aufweisen.Around in the measurement of the current focus position, the reproducibility for procedures are being sought which have a reduced susceptibility to interference have regularly available process lights.

Die Lösung dieser Aufgabe geschieht durch die Merkmalskombination des beigefügten Hauptanspruches.The Solution of this task is done by the feature combination of the attached main claim.

Vorteilhafte Ausgestaltungen sind den Unteransprüchen zu entnehmen.advantageous Embodiments are to be taken from the subclaims.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass eine Messung des absoluten Abstandes zwischen Schweißkopf und Werkstück nicht wie bei herkömmlichen Verfahren indirekt über den Abstand zu messen ist, sondern es können die relativen Änderungen der Fokuslage des Bearbeitungsstrahles zum Werkstück angegeben werden. Die Information über die Fokuslage wird aus dem Prozessgeschehen gewonnen. Zunächst wird eine dem Prozessleuchten aufgeprägte Intensitätsmodulation erzeugt, indem eine hochfrequente Intensitätsmodulation auf den Bearbeitungslaserstrahl aufgebracht wird. Die Modulation und die aufgeprägte Modulation weisen die gleiche Frequenz auf. Durch nachfolgende frequenzselektive Messungen des Prozessleuchtens werden entsprechende Signale generiert. Aus den in der Frequenz im Wesentlichen konstanten Signalen zwischen der Modulation am Laserstrahl und dem Signal im Prozessleuchten lassen sich jedoch hinsichtlich Phasenlage und Amplitudenverhältnis Unterschiede feststellen. Je nach relativer Fokuslage ändern sich die Verhältnisse der genannten Parameter entsprechend. Somit kann durch Auswertung der Amplitudenverhältnisse, der Phasenverschiebungen oder beider Einflussgrößen in Kombination eine Relativverschiebung der Fokuslage ermittelt werden. Die Werte beruhen auf Messungen die zeitaufgelöst die Intensität des Prozesslichtes und getrennt davon die des eingestrahlten Laserstrahles aufnehmen.Of the The invention is based on the finding that a measurement of the absolute Distance between welding head and workpiece not as with conventional methods indirectly via It is the relative changes that can be measured the focal position of the machining beam to the workpiece specified become. The information about the focus position is taken from the Process events won. First, a process light is impressed Intensity modulation generated by a high-frequency Intensity modulation applied to the processing laser beam becomes. The modulation and the imposed modulation have the same frequency. By subsequent frequency-selective measurements the process lighting generates corresponding signals. Out the signals substantially constant in frequency between the modulation of the laser beam and the signal in the process lights can be, however, in terms of phase and amplitude ratio Find differences. Change according to the relative focus position the conditions of the mentioned parameters correspond. Thus, by evaluating the amplitude ratios, the phase shifts or both factors in combination a relative shift of the focus position determined become. The values are based on measurements that are time-resolved the intensity of the process light and separately from that of the recorded incident laser beam.

Es ist vorteilhaft die elektromagnetischen Intensitätsschwankungen in ein proportionales elektrisches Signal zu wandeln.It is advantageous the electromagnetic intensity fluctuations to convert into a proportional electrical signal.

Weiterhin kann die Aufnahme eines Signals aus dem verwendeten Laserstrahl mit mindestens der doppelten Frequenz der Modulationsfrequenz vorteilhaft erfasst werden.Farther can record a signal from the laser beam used advantageous with at least twice the frequency of the modulation frequency be recorded.

Die Modulationsamplitude für den Bearbeiturgslaserstrahl beträgt vorzugsweise wenige Prozent der Gesamtamplitude.The Modulation amplitude for the Bearbeitungsurgslaserstrahl amounts preferably a few percent of the total amplitude.

Die Bestimmung von Phase und Amplitude geschieht kontinuierlich, so dass in vorteilhafter Weise eine Steuerung beziehungsweise Regelung des Prozesses möglich ist.The Determination of phase and amplitude happens continuously, so that advantageously a control or regulation the process is possible.

Eine wellenlängenabhängige Filterung des Prozesslichtes vor den Messaufnahmen ermöglicht eine Verbesserung des Signal/Rausch-Verhältnisses.A wavelength-dependent filtering of the process light before the measurement shots allows an improvement of the Signal / noise ratio.

Im Folgenden werden anhand von schematischen die Erfindung nicht einschränkenden Figuren Ausführungsbeispiele beschrieben. Dabei wird im einzelnem dargestellt:in the The following are by way of schematic not limiting the invention Figures embodiments described. It is in the single shown:

1 zeigt ein Ausführungsbeispiel für die Anordnung von Messsensoren, hier Fotodioden, 1 shows an exemplary embodiment of the arrangement of measuring sensors, here photodiodes,

2 zeigt verschiedene Einstellungen für die Fokuslage bei einem Laserschweißprozess relativ zur Werkstückoberfläche, 2 shows different settings for the focal position in a laser welding process relative to the workpiece surface,

3A, 4A, und 5A stellen in der Übersicht die Ausbildung einer Musterschweißnaht dar, wobei ein Laserkopf über eine Erhebung an einer im übrigen ebenen Werkstückoberfläche unter Beibehaltung eines Abstandes zu dieser Oberfläche parallel vorbei geführt wird, 3A . 4A , and 5A represent in the overview the formation of a pattern weld seam, wherein a laser head is passed over a survey on an otherwise flat workpiece surface while maintaining a distance to this surface in parallel,

3B, 4B und 5B zeigen, die Verhältnisse bei Vergleich der Signale aus dem Bearbeitungslaserlicht und der Signale aus den Prozesslichtern, 3B . 4B and 5B show the conditions when comparing the signals from the processing laser light and the signals from the process lights,

3C, 4C und 5C zeigen einen Signalverlauf der den relativen Abstand des Laserkopfes zur Werkstückoberfläche wiedergibt. 3C . 4C and 5C show a waveform that reflects the relative distance of the laser head to the workpiece surface.

In der 3A ist ein Werkstück 4 dargestellt welches auf seiner oberen Oberfläche eine Erhebung 5 aufweist. Ein Laserkopf 3 wird in Vorschubrichtung 10 zur Ausbildung einer Schweißnaht 2 bei aktivem Laserstrahl 1 betrieben. Der Status des Systems entsprechend 3A entspricht einer Ausgangslage beziehungsweise einer Referenzposition der Fokuslage aus der der Abstand des Laserkopfes zur Oberfläche des Werkstückes erkennbar ist. In 3B ist zu erkennen das zwischen den Signalen des Bearbeitungslaserlichtes, dargestellt als durchgezogene Linie, und den Signalen des Prozesslichtes, dargestellt als strichpunktierte Linie, eine Phasenverschiebung φ1 vorliegt. Die Amplituden weisen jedoch sowohl im Bearbeitungslaserlicht als auch im Prozesslicht gleiche Werte auf. Der Status der Schweißung entsprechend 3A gibt die Verhältnisse an, die zu Beginn der Ausbildung der Schweißnaht 2 vorliegen. In 5A sind die Verhältnisse im Wesentlichen gleich denen, wie sie in 3A dargestellt sind. In 5A ist jedoch die Schweißnaht 2 über die gesamte Länge des Werkstücks 4 ausgebildet und der Laserkopf steht an der auszubildenden Schweißnaht 2. 4A weist die gleichen Einzelteile wie sie auch in den 3A und 5A vorhanden sind auf. In 4A ist jedoch der Laserkopf 3, der den gleichen Abstand zur Oberfläche des Werkstückes 4 aufweist, derart näher an die obere Oberfläche der Erhebung 5 positioniert das der Fokus nicht mehr in der Ebene der Oberfläche der Erhebung 5 zum liegen kommt, sondern sich relativ zur Ausgangslage oder zur Endlage entsprechend der 3A und 5A ins Innere des gesamten Werkstückes verschoben hat. Folg lich zeigen zunächst 4B eine Verschiebung der Amplitude sodass eine Amplitudendifferenz auftritt die hiermit A2 bezeichnet wird und unterschiedlich ist zur Amplitude A1 entsprechend der 3B und 5B. Ähnliches gilt für die Phasenlage φ wobei φ1 für die Phasenverschiebung bei einem normierten Abstand beziehungsweise bei einer normierten Fokuslage entsprechend 3B oder ausgebildet ist. Ist die Fokuslage entsprechend 4A relativ zur Fokuslage der 3A beziehungsweise 5A derart verschoben so zeigt sich entsprechend 4B dass neben einer Amplitudenveränderung auch eine Phasenlagenveränderung vorhanden ist. Entsprechend 4C kann ein Signal zur Darstellung des Abstandes des Laserkopfes relativ zur Oberfläche generiert werden, welches in 4C wiedergegeben ist.In the 3A is a workpiece 4 which shows a survey on its upper surface 5 having. A laser head 3 is in the feed direction 10 for the formation of a weld 2 with active laser beam 1 operated. The status of the system accordingly 3A corresponds to a starting position or a reference position of the focal position from which the distance of the laser head to the surface of the workpiece can be seen. In 3B It can be seen that between the signals of the processing laser light, shown as a solid line, and the signals of the process light, shown as a dotted line, a phase shift φ 1 is present. However, the amplitudes have the same values both in the processing laser light and in the process light. The status of the weld accordingly 3A indicates the conditions at the beginning of the formation of the weld 2 available. In 5A the conditions are essentially the same as those in 3A are shown. In 5A is however the weld 2 over the entire length of the workpiece 4 trained and the laser head is at the trainee weld 2 , 4A has the same items as they are in the 3A and 5A are present on. In 4A is however the laser head 3 , which is the same distance to the surface of the workpiece 4 has, so closer to the upper surface of the survey 5 the focus no longer positions in the plane of the surface of the survey 5 comes to rest, but relative to the starting position or the end position according to the 3A and 5A has moved into the interior of the entire workpiece. Consequently, show first 4B a shift of the amplitude so that an amplitude difference occurs which is hereby designated A 2 and is different from the amplitude A1 corresponding to 3B and 5B , The same applies to the phase position φ where φ 1 corresponding to the phase shift at a normalized distance or at a normalized focus position 3B or is formed. Is the focus position corresponding 4A relative to the focus position of 3A respectively 5A shifted so shows up accordingly 4B that in addition to an amplitude change, a phase change is present. Corresponding 4C a signal for representing the distance of the laser head relative to the surface can be generated, which in 4C is reproduced.

Die 2A, 2B und 2C zeigen in an sich einfacher Weise welche Fokuslagen grob zu unterscheiden sind. In der Regel wir die Fokuslage entsprechend 2B angewandt werden wobei die Lage mit 0 gekennzeichnet ist das heißt der Fokus liegt ungefähr auf der Werkstückoberfläche.The 2A . 2 B and 2C show in a simple way which focal positions are roughly distinguishable. Usually we focus accordingly 2 B be applied, wherein the position is marked with 0, that is, the focus is approximately on the workpiece surface.

1 zeigt eine Anordnung zur Handhabung des Laserstrahles, der zur Bearbeitung eines Werkstückes herangezogen wird. Der seitlich in die Vorrichtung eingestrahlte Bearbeitungslaserstrahl 1 wird über einen Strahlteiler 8 90 Grad umgeleitet und entsprechend 1 nach unten ausgegeben. Die Diode 6 zur Erfassung des Lichtes des Laserstrahls das Spektrum des Laserstrahls auf. Hierzu muss der Strahlteiler 8 zumindest teilweise durchlässig sein. Eine Weitere Funktion des Strahlteilers 8 führt der Diode 7 über den Strahlteiler 8 zumindest einen Teil der Prozessstrahlung senkrecht nach oben zu. Das optische Filter 9 kann zur Verbesserung des Rauschverhältnisses im Prozesslicht entsprechend eingesetzt werden. Mittels der Dioden 6 und 7 sind somit sowohl das Prozessleuchten als auch der Bearbeitungslaserstrahl 1 in einer relativ einfachen Vorrichtung entsprechend 1 detektierbar. 1 shows an arrangement for handling the laser beam, which is used for machining a workpiece. The laterally irradiated in the device processing laser beam 1 is via a beam splitter 8th 90 degrees diverted and accordingly 1 spent down. The diode 6 for detecting the light of the laser beam on the spectrum of the laser beam. For this purpose, the beam splitter 8th be at least partially permeable. Another function of the beam splitter 8th leads the diode 7 over the beam splitter 8th at least part of the process radiation vertically upwards. The optical filter 9 Can be used to improve the noise ratio in the process light accordingly. By means of diodes 6 and 7 are thus both the process lights and the processing laser beam 1 in a relatively simple device accordingly 1 detectable.

Allgemein ist nochmals anzumerken das die Intensität des Bearbeitungslaserstrahls 1 hochfrequent moduliert wird. Die Modulation beträgt lediglich wenige Prozent der Amplitude selbst. Die Phasenbeziehung und das Amplitudenverhältnis zwischen den beiden gleichfrequenten Schwingungen des Laserstrahls zur Bearbeitung und des Prozessleuchtens erweisen sich als empfindlich auf die Fokuslage.In general, it should again be noted that the intensity of the processing laser beam 1 is modulated high frequency. The modulation amounts to only a few percent of the amplitude itself. The phase relationship and the amplitude ratio between the two equal frequency oscillations of the laser beam for processing and the process lighting prove to be sensitive to the focus position.

Zunächst werden zeitaufgelöst die Intensität des Prozesslichtes und getrennt davon die des Bearbeitungslaserstrahles aufgenommen. Es wird das Verhältnis zwischen beiden Amplituden ermittelt und kann als Grundlage zur Bestimmung der relativen Position des Fokus herangezogen werden. Die Modulationsfrequenz wird aus beiden aufgenommenen Signalen extrahiert und die Phasenbeziehung beziehungsweise das Amplitudenverhältnis der beiden extrahierten Signale wird bestimmt. Mindestens eines der berechneten Merkmale oder eine Kombination daraus ist Grundlage für die Direktion der relativen Phasenlage.First, the intensity of the process light and, separately, the processing laser beam are recorded time-resolved. The ratio between the two amplitudes is determined and can be used as a basis for determining the relative position of the focus. The Mo dationsfrequenz is extracted from both recorded signals and the phase relationship or the amplitude ratio of the two extracted signals is determined. At least one of the calculated features or a combination thereof is the basis for the direction of the relative phase relationship.

Geschieht die Bestimmung der Phase und Amplitude beziehungsweise der abweichenden werte kontinuierlich für jeweils vergangene definierte Zeitabschnitte des Signals während des Prozesses so ist eine ständige Bestimmung der Fokuslage für entsprechende Zeitabschnitte möglich indem jeweils aufeinanderfolgende Zeitintervalle miteinander verknüpft werden.happens the determination of the phase and amplitude or the deviating values for each of the past defined periods of time the signal during the process so is a constant Determination of the focus position for corresponding time periods possible by each successive time intervals be linked together.

Eine Frequenzfilterung und die Bestimmung der Phasenbeziehung und des Amplitudenverhältnisses können analog oder digital erfolgen oder auch in gemischter Form bearbeitet oder verarbeitet werden. (Die ausgewählten Indikatoren für die Bestimmung der relativen Fokuslage verändern sich nicht nur im Zusammenhang mit der Fokuslage sondern sind auch auf Materialzusammensetzung empfindlich. Dies ermöglicht bei konstanter Fokuslage eine Materialanalyse.A Frequency filtering and the determination of the phase relationship and the Amplitude ratio can be analog or digital be made or processed in mixed form or processed become. (The selected indicators for the Determining the relative focus position does not change only in connection with the focus position but are also on material composition sensitive. This allows a constant focus position Material analysis.

Die Erfindung gibt nicht einen absoluten Abstand zwischen Schweißkopf und Werkstück an sondern die relative Änderung der Fokuslage des Bearbeitungsstrahles im Verhältnis zur Werkstückoberfläche. Information der Fokuslage wird aus dem Prozessgeschehen gewonnen und nicht wie bei herkömmlichen Verfahren indirekt über den Abstand Werkstück zu Schweißkopf ermittelt.The Invention does not give an absolute distance between welding head and workpiece but the relative change the focus position of the machining beam in relation to the workpiece surface. Information of the focus position is gained from the process and not indirectly as with conventional methods determines the distance from workpiece to welding head.

Die Aufprägung einer Intensitätsmodulation auf einen Laserstrahl kann beispielsweise an einer Einpuls-Schweißanlage beziehungsweise an Schweißanlagen mit Pulsformung in einfacher weise vorgenommen werden. Die Empfangsseitige Frequenzselektive Messung des Prozesslichtes und der Laserleistung sowie die Bestimmung des Phasen und des Amplitudenverhältnisses der Modulation des eingestrahlten Laserstrahls und des Prozessleuchtens bilden die Grundlage für die Auswertung und Bestimmung der relativen Fokuslage.The Imprinting an intensity modulation on one For example, laser beam can be applied to a single-pulse welding system or on welding systems with pulse shaping in a simpler be made wisely. The reception-side frequency selective Measurement of the process light and the laser power as well as the determination the phase and the amplitude ratio of the modulation of the irradiated laser beam and the process lighting the basis for the evaluation and determination of the relative Focus position.

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Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

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Claims (6)

Verfahren zur Überwachung der Fokuslage bei Laserstrahlbearbeitungsprozessen, bestehend aus folgenden Schritten: – hochfrequente Intensitätsmodulation des Laserstrahles (1) zur Bearbeitung, wodurch dem mit der Laserstrahlbearbeitung verbundenen Prozessleuchten eine Modulation gleicher Frequenz aufgeprägt ist, – zeitaufgelöste Messung der Verhältnisse der Intensität und/oder der Phasenlage zwischen den Signalen des Bearbeitungslaserstrahles (1) und den Signalen des Prozessleuchtens, – Ermittlung der Fokuslage des Bearbeitungslaserstrahles (1) anhand des Amplitudenverhältnisses und/oder der Phasenverschiebung oder einer Kombination daraus.Method for monitoring the focus position in laser beam processing processes, comprising the following steps: - high-frequency intensity modulation of the laser beam ( 1 ) for processing, whereby a modulation of the same frequency is impressed on the process lamps connected to the laser beam processing, - time-resolved measurement of the ratios of the intensity and / or the phase position between the signals of the processing laser beam ( 1 ) and the signals of the process illumination, - determination of the focal position of the processing laser beam ( 1 ) based on the amplitude ratio and / or the phase shift or a combination thereof. Verfahren nach Anspruch 1, worin eine Signalaufnahme mit mindestens der doppelten Frequenz im Verhältnis zur Modulationsfrequenz geschieht.The method of claim 1, wherein a signal pickup with at least twice the frequency in relation to Modulation frequency happens. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, worin bei der Signalauswertung elektromagnetische Intensitätsschwankungen in ein proportionales elektrisches Signal gewandelt werden.The method of claim 1 and 2, wherein in the signal evaluation electromagnetic intensity fluctuations in a proportional electrical signal to be converted. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, worin die Intensitätsmodulation des Bearbeitungslaserstrahles einen geringen Prozentsatz der Gesamtamplitude darstellt.Method according to one of the preceding claims, wherein the intensity modulation of the processing laser beam represents a small percentage of the total amplitude. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche worin eine ständige Bestimmung der Fokuslage in einem Bearbeitungsprozess von einem zeitlich festgelegten Abschnitt beziehungsweise mindestens von einer Periode des Modulationssignals zur entsprechend nächsten ausgewertet wird.Method according to one of the preceding claims in which a constant determination of the focal position in a machining process from a timed section or at least from one period of the modulation signal to the next respectively is evaluated. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, worin mittels eines zusätzlichen Filters eine wellenlängenabhängige Filterung des Prozessleuchtens vor der Messung geschieht.Method according to one of the preceding claims, wherein by means of an additional filter, a wavelength-dependent Filtering the process lighting before the measurement happens.
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