-
Die
Erfindung betrifft ein wärmedämmendes
Verglasungselement mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch
1, ein Verfahren zu dessen Herstellung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs
32, und Verwendungen des Verglasungselements.
-
Es
ist allgemein bekannt, Vakuum-Isolierglas mit zwei Glasscheiben
herzustellen, die einen evakuierten Raum einschließen und über Abstandhalter
und eine umlaufende Randdichtung miteinander verbunden sind. Die
Erzeugung des Vakuums im evakuierten Raum erfolgt durch ein Evakuierungsrohr über eine
in einer der Glasscheibenoberflächen
oder an der Randabdichtung angeordnete Öffnung. Das Vakuum hat die
Aufgabe, Wärmeverluste
durch Konvektion und Wärmeleitung
zwischen den Glasscheiben zu unterbinden. Deshalb werden an die
Qualität
des Vakuums und an das Verfahren zur Vakuumerzeugung hohe Anforderungen
gestellt. Erstens ist es erforderlich, den Druck so zu verringern,
dass die mittlere freie Weglänge
der Gasatome in der Größenordnung
der geometrischen Abmessungen (Abstand der Glasscheiben) liegt.
Dazu ist es erforderlich, den Druck zwischen den Glasscheiben auf
geringe Druckwerte von mindestens 10–1 Pa
bis 10–3 Pa
und sogar darunter zu erniedrigen. Hinzu kommt, dass derart gute
Vakuumbedingungen (Hochvakuum) über
die gesamte Lebensdauer des Bauteils von mindestens 20 Jahren nahezu
unverändert
aufrechtzuerhalten sind. Daher müssen
die Öffnungen
zum Absaugen der Restgase zwischen den beiden Glasscheiben nach
dem Evakuierungsprozess so verschlossen werden, dass jegliche Leckagen
oder dergleichen vermieden werden. Des Weiteren sind solche Verfahren
zur Vakuumerzeugung anzuwen den, die kostengünstig sind und gleichzeitig eine
minimale Ausschussquote aufweisen.
-
Von
besonderer praktischer Bedeutung ist, dass Enden der Evakuierungsrohre
möglichst
nicht überstehen,
um eine Beschädigung
beim Gebrauch, Transport oder bei der Installation zu vermeiden.
Bei einer Anbringung der Evakuierungsöffnungen auf der Frontseite
sollten diese möglichst
nicht über
die Glasoberflächen hervorstehen
und bei einer seitlichen Anordnung nicht über die nominellen Abmessungen
der Glasscheiben hinausragen. Die bei den herkömmlichen Verfahren verwendeten
Evakuierungsrohre haben sich dabei als wenig praktikabel erwiesen.
Zudem müssen
die Rohrenden meist noch durch zusätzliche Abdeckungen vor mechanischen
Beschädigungen
und äußeren korrosiven
Einflüssen
geschützt
werden. Dadurch ist nicht nur die Ästhetik und das Design beeinträchtigt,
sondern es entstehen noch zusätzliche
Produktionskosten.
-
Bei
einem längeren
Gebrauch der Vakuum-Isoliergläser
kann es vorkommen, dass sich das Vakuum verschlechtert und eine
erneute Evakuierung notwendig ist. Hierfür muss die Evakuierungsöffnung vor
Ort und ohne Zerstörung
des Verglasungselementes in einfacher Weise geöffnet und vakuumdicht verschlossen
werden können.
-
Diese
Anforderungen werden durch herkömmliche
Techniken nicht befriedigend gelöst.
Einige Nachteile sowie verfahrens- und technologiebezogene Probleme
bei den herkömmlichen
Vakuum-Isoliergläsern sind
nachstehend näher
beschrieben.
-
In
WO 2003/004430 A1 wird
ein Glaspanel mit einer Evakuierungsöffnung beschrieben, die im
Frontbereich einer Glasscheibe angeordnet ist. Zur Herstellung der Öffnung wird
zunächst
in die Glasscheibe eine stufenförmige
Bohrung einge bracht, in die dann ein Glasrohr eingesetzt wird. Die
Vakuumdichtigkeit zwischen dem Glasrohr und der Glasscheibe wird
auf der Glasoberfläche
durch ein Lotglas hergestellt. Nach Evakuierung des Zwischenraumes
wird das Ende des Rohres durch externe Wärmezufuhr verschmolzen.
-
Damit
zum vakuumdichten Abschmelzen des Glasrohres nicht das gesamte Bauteil
in eine aufwändige
Vakuumkammer eingebracht werden muss, sondern die Evakuierung und
das Abdichten unter normalen Luftdruckbedingungen erfolgen können, muss
ein spezielles Evakuierungsgerät
verwendet werden. Das Evakuierungsgerät wird auf die Glasoberfläche aufgesetzt
und durch Vakuumdichtungen so gegen die Glasoberfläche abgedichtet,
dass um das eingelötete
Glasrohr eine separate Vakuumkammer ausgebildet wird. Diese Kammer
wird dann über
eine separate Öffnung
evakuiert, so dass das erforderliche Vakuum im Glaspanel hergestellt
werden kann. Nach Erreichen des gewünschten Enddruckes wird das
Ende des Evakuierungsrohres innerhalb der Kammer abgeschmolzen.
-
Nachteilig
bei diesem Verfahren ist, dass das Rohrende mindestens einige Millimeter über der
Glasoberfläche
hinausragt und somit leicht durch eine äußere Belastung beschädigt werden
kann. Daher muss das Rohr durch eine zusätzliche Abdeckung mit einem
Durchmesser von etwa 10 mm bis 15 mm geschützt werden. Gerade eine solche
Abdeckung im Sichtbereich des Bauteils bedeutet zwangsläufig eine
unakzeptable Beeinträchtigung
der Ästhetik
des Verglasungselements.
-
Durch
das vakuumdichte Verschmelzen des Glasrohres ist es nachträglich nicht
möglich,
die Öffnung für eine ggf.
erforderlich gewordene erneute Evakuierung zu nutzen. Von weiterem
Nachteil ist, dass durch das Einbringen der stufenförmigen Bohrung
die mechanische Festigkeit der bearbeiteten Glas scheibe verringert wird,
wodurch es bei der Verwendung leicht zu einem Versagen des Gesamtbauteils
kommen kann.
-
In
der
EP 645 516 B1 ist
ein Verfahren zum Verschließen
einer Öffnung
unter Verwendung einer Kugel beschrieben, deren Material einen thermischen
Ausdehnungskoeffizienten in der Nähe des thermischen Ausdehnungskoeffizienten
der Glasscheibe besitzt. Bei diesem Verfahren wird zunächst in
die Glasscheibe im Frontbereich ein Loch mit einem Durchmesser von
einigen mm gebohrt und am äußeren Ende
des Loches eine Kugel angeordnet. Damit die Vakuumserzeugung sowie
das Verschließen
der Öffnung
unter normalen Luftdruckbedingen erfolgen kann, wird auch bei diesem
Verfahren durch Aufsetzen eines Evakuierungsgerätes auf die Glasoberfläche eine
separate Vakuumskammer um die zu verschließende Öffnung herum hergestellt. Nach Erreichen
der gewünschten
Vakuumbedingungen wird die Kugel dann bei einer Temperatur von 450°C erweicht
und auf diese Weise die Öffnung
verschlossen. Damit das Kugelmaterial nach dem Erweichen nicht über die
Glasoberfläche
hinausragt, muss die Oberfläche
der Glasscheibe zusätzlich
durch mechanisches Anfasen mit einem Hohlraum einer definierten
Geometrie versehen werden, in welchen das Kugelmaterial hineinfließen kann.
-
Von
Nachteil bei diesem Verfahren ist, dass es aufgrund der aufwändigen mechanischen
Bearbeitung der Glasscheiben ebenfalls zu einer deutlichen Schwächung der
mechanischen Stabilität
des Bauteiles kommt. Ferner wird aufgrund der frontseitigen Anordnung
des Vakuumverschlusses auch bei diesem Verfahren die Ästhetik
des Bauteils stark beeinträchtigt.
Außerdem
kommt es bei der Verwendung von Lotglaskugeln mitunter zu Ausgasungen
während
des Aufschmelzens, wodurch die Qualität des Vakuums beeinträchtigt wird.
-
Durch
die
WO 91/02878 A1 ist
ein wärmedämmendes
Verglasungselement gemäß dem Oberbegriff des
Anspruchs 1 und ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs
32 bekannt.
-
In
der
WO 91/02878 A1 wird
ein Verfahren beschrieben, bei dem ein Evakuierungsmittel in der
Peripherie des Vakuum-Isolierglases
so angeordnet ist, dass der abgeschmolzene, aus dem Material Glas
bestehende Rohrstumpf im wesentlichen nicht über die nominellen Glasabmessungen
hinausragt. Bei diesen Vakuum-Isoliergläsern liegt nur ein geringer
Abstand der beiden Glasscheiben von etwa 0,1 mm vor. Aufgrund dieser
ungünstigen
konstruktiven Bedingungen steht für das seitliche Einbringen
von Evakuierungsrohren kein Raum zur Verfügung, so dass dieser Nachteil
zusätzlich
durch eine aufwändige
und kostenintensive Glasbearbeitung zur Schaffung von Kanälen und
dergleichen kompensiert werden muss. So erfordert die Verwendung der
vorgeschlagenen Evakuierungsmittel, dass das Vakuum-Isolierglas entweder
spezielle Kanäle
direkt in der Glasoberfläche,
oder Glasscheiben, bei denen mindestens eine Ecke entfernt ist,
oder Glasscheiben mit speziell aufbereiteten Kanten enthält. Die
vorgeschlagene Technik ist daher sehr aufwändig und störanfällig. Es sind zusätzliche
Maßnahmen
zum Schutz vor mechanischen Beschädigungen erforderlich. Als
kritisch erweist sich die Herstellung der Kanäle oder die spezielle Formgebung
der Kanten insbesondere auch deswegen, weil zusätzliche Beschädigungen
in Form von Mikrodefekten wie zum Beispiel Risse, Kerben, Polierspuren
und dergleichen an den für
Glasscheiben besonders gefährdeten
Stellen auftreten. Diese Schädigungen
führen sehr
häufig
zu einem Bruchversagen des Isolierglases. Von besonderem Nachteil
ist, dass bei dem vorgeschlagenen Verfahren keine separate Vakuumskammer
um die Öffnungen
herum hergestellt werden kann, so dass zum vakuumdichten Verschließen der
Glasrohre das gesamte Bauteil in eine Vakuumvorrichtung eingebracht
werden muss. Somit sind mit diesem Verfahren deutlich höhere verfahrenstechnische
und finanzielle Aufwendungen verbunden, so dass dieses für eine wirtschaftliche
industrielle Produktion wenig geeignet ist.
-
Ausgehend
von der
WO 91/02878
A1 liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes
wärmedämmendes
Verglasungselement bereitzustellen, mit dem Nachteile der herkömmlichen
Technik überwunden
werden. Die Aufgabe der Erfindung ist es des Weiteren, ein verbessertes
Verfahren zur Herstellung des Verglasungselements bereitzustellen,
mit dem Nachteile der herkömmlichen
Verfahren überwunden
werden und das insbesondere kostengünstig und zuverlässig realisiert
werden kann.
-
Diese
Aufgaben werden durch ein wärmedämmendes
Verglasungselement bzw. ein Verfahren zu dessen Herstellung mit
den Merkmalen der unabhängigen
Ansprüche
1 und 32 gelöst.
Vorteilhafte Ausführungsformen
und Anwendungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
-
Gemäß einem
ersten Gesichtspunkt wird die Aufgabe der Erfindung durch ein wärmedämmendes
Verglasungselement mit einer Glasplatten-Anordnung mit mindestens
zwei Glasplatten, die jeweils einen vorbestimmten gegenseitigen
Abstand aufweisen und mindestens einen evakuierbaren Zwischenraum
bilden, einer Abstandhaltereinrichtung zur Einstellung des Abstandes
der Glasplatten, einer Randabdichtungseinrichtung zur lateralen
Abdichtung der Zwischenräume
zwischen den Glasplatten gegenüber
einer Umgebung mit einem Randabdichtungsmaterial, und mindestens
einer Evakuierungsöffnung
zur Erzeugung eines gegenüber
einem Umgebungsdruck verminderten Innendruckes gelöst, wobei
die mindestens eine Evakuierungsöffnung
ein Evakuierungsrohr enthält,
in dem ein metallisches Dichtelement angeordnet ist, mit dem das
Evakuierungsrohr vakuumdicht verschlossen ist. Das Dichtelement,
das vollständig
aus einem metallischen Material hergestellt oder mit einer metallischen
Beschichtung versehen ist, wird hier als "metallisches Dichtelement" bezeichnet. Vorteilhafterweise
wird mit der Kombination des Evakuierungsrohres und des Dichtelements
eine vereinfachte und verbesserte Abdichtung der Evakuierungsöffnung ermöglicht.
Das Evakuierungsrohr bildet eine Aufnahme für das Dichtelement, mit dem
die Evakuierungsöffnung
dicht verschließbar
ist.
-
Zur
Herstellung des Verglasungselements erfolgt zunächst die Bereitstellung der
Glasplatten-Anordnung mit den mindestens zwei Glasplatten zwischen
denen der mindestens eine Zwischenraum gebildet ist, wobei die Abstände der
Glasplatten mit der Abstandhaltereinrichtung eingestellt werden
und die Zwischenräume
zwischen den Glasplatten mit einer Randabdichtungseinrichtung gegenüber der
Umgebung abgedichtet werden. Die Glasplatten-Anordnung kann z. B.
zwei oder drei Glasplatten umfassen, die einen oder zwei Zwischenräume bilden.
Es können
aber auch mehr Glasplatten und Zwischenräume vorgesehen sein. Nach der Bildung
der Glasplatten-Anordnung erfolgen die Bereitstellung der Evakuierungsöffnung mit
dem Evakuierungsrohr, die Evakuierung der Glasplatten-Anordnung
durch das Evakuierungsrohr und das Verschließen der Evakuierungsöffnung.
-
Gemäß einem
zweiten Gesichtspunkt wird die Aufgabe der Erfindung gelöst, indem
das Verschließen der
Evakuierungsöffnung
eine Einführung
des mit einem metallischen Material hergestellten Dichtelements
in das Evakuierungsrohr und ein Verbinden des Dichtelements mit
dem Evakuierungsrohr umfasst. Vorzugsweise ist das Evakuierungsrohr
dazu eingerichtet, das Dichtelement zum vakuumdichten Verschließen der
Evakuierungsöffnung
direkt aus einem angrenzenden Vakuumapparat aufzunehmen.
-
Vorteilhafterweise
wird erfindungsgemäß die Herstellung
des Verglasungselements im Vergleich zu herkömmlichen Techniken erheblich
vereinfacht. Es ergeben sich Vorteile insbesondere dahingehend,
dass die für
die Evakuierung erforderliche vakuumdichte Verbindung zwischen den
Verglasungselementen und dem Vakuumapparat konstruktiv vereinfacht
und die Herstellungskosten reduziert werden können.
-
Ein
weiterer Vorteil besteht in der großen Flexibilität bei der
Auswahl des metallischen Dichtelements, dessen Form und Größe einfach
an das Innenmaß des
Evakuierungsrohres angepasst werden kann. Vorzugsweise umfasst das
Dichtelement einen vorgefertigten Dichtkörper oder einen Draht. Der
Dichtkörper
kann zum Beispiel aus dem gleichen oder einem ähnlichen Material wie das Evakuierungsrohr
aufgebaut sein, wobei vorzugsweise zwischen der Dichtkörperoberfläche und
der auf dieser vorgesehenen metallischen Beschichtung ebenfalls
eine Verbindungsschicht angeordnet sein kann. Vorteilhafterweise
kann der Verbund aus dem Dichtelement und dem Evakuierungsrohr mit
minimalen Dimensionen gebildet werden, die ein Evakuieren des Verglasungselementes
erlauben. So ist vorzugsweise ein mittlerer Innendurchmesser d0 des Evakuierungsrohres in einem Bereich
zwischen 0,7 mm bis 5 mm, besonders bevorzugt bis 3 mm, gewählt.
-
Besonders
bevorzugt ist das metallische Dichtelement mindestens teilweise
aus einem Material hergestellt, das Zinn, Indium und/oder eine Zinn-Indium-Legierung
umfasst und/oder mindestens einen Legierungsbestandteil enthält, der
mindestens eines der Elemente Ag, Sb, Al, Bi, Cu, Cd, Au und Ni
enthält.
Mit dieser Materialgruppe wurde vorteilhafterweise ein besonders
zuverlässiges
Verschließen
des Evakuierungsrohres erreicht.
-
Das
Dichtelement in Verglasungselementen stellt einen Festkörper dar,
mit dem das Evakuierungsrohr verschlossen ist. Vorteilhafterweise
muss das Dichtelement jedoch nicht im festen Zustand in das Evakuierungsrohr
eingeführt
werden. Vielmehr kann gemäß einer
vorteilhaften Ausführungsform
der Erfindung vorgesehen sein, dass das Dichtelement in flüssiger oder
niedrigviskoser Form mittels einer Löt- oder Bondvorrichtung in
das Evakuierungsrohr eingeführt
wird. Die Löt- oder Bondvorrichtung
enthält
vorzugsweise mindestens eine heizbare Dosiereinrichtung.
-
Mindestens
an einem Teil der Grenzfläche
zwischen der Oberfläche
des Dichtelements und der Innenseite des Evakuierungsrohres wird
ein vorbestimmter Übergangsbereich
gebildet, bei dem Bestandteile der angrenzenden Materialien eine
stoffliche Zusammensetzung (Verbund) bilden, z. B. miteinander vermischen, legieren,
ineinander lösen,
oder metallische Phasen bilden. Die chemische Zusammensetzung des Übergangsbereiches
unterscheidet sich von der des metallischen Dichtelements und der
des Evakuierungsrohrmaterials. Vorteilhafterweise reicht es für einen
dichten Verschluss aus, wenn dieser Bereich eine Dicke von mindestens
100 nm, vorzugsweise mindestens 200 nm, aufweist.
-
Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ist vorgesehen, dass das Evakuierungsrohr innen mindestens
eine reaktive Verbindungsschicht aufweist, mit der das Dichtelement
verbunden ist. Mit der reaktiven Verbindungsschicht wird vorteilhafterweise
die vakuumdichte Verbindung des Dichtelements mit der inneren Oberfläche des
Evakuierungsrohres verbessert. Die reaktive Verbindungsschicht umfasst
insbesondere mindestens eine benetzungsverbessernde und/oder reaktions- und/oder legierungswirksame
und/oder elektrolytisch aktive Einzelschicht oder ein derart wirksames,
aus mehreren Einzelschichten aufgebautes Schichtpaket. Des Weiteren
kann das Evakuierungsrohr außen
unmittelbar von einem Rohrabdichtungsmaterial umschlossen sein.
Unter dem Rohrabdichtungsmaterial ist dabei das direkt das Äußere des
Evakuierungsrohres umgebende Material, das zugleich Bestandteil
des Randabdichtungsmaterials sein kann, zu verstehen.
-
Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung umfasst das Evakuierungsrohr ein metallisches Material
oder ein mit einer Metall enthaltenden Beschichtung versehenes Glasmaterial.
Es hat sich gezeigt, dass bei der Herstellung des Vakuums zwischen
den Glasscheiben nicht nur aus dem Material Glas bestehende Rohre
benutzt werden können,
sondern sogar Rohre aus Metallen oder Metalllegierungen verwendbar
sind, ohne dass die Funktionalität
und Qualität
der erfindungsgemäßen Verglasungselemente
eingeschränkt
wird. Der Erfinder hat festgestellt, dass trotz der hohen Wärmeleitfähigkeit
von Metallen oder Metalllegierungen (typischerweise größer 50 Wm–1K–1),
die wesentlich größer als
die Wärmeleitfähigkeit
von keramischen oder glasartigen Materialien (typischerweise zirka
1 Wm–1K–1)
ist, überraschenderweise
selbst bei einem Hochtemperaturprozess (mit Temperaturen von bis
zu rd. 540°C)
an Metall-Glas-Grenzflächen
keine übermäßigen thermomechanischen
Spannungen auftreten. In Experimenten wurde keinerlei Schädigung oder
Totalausfall der Verglasungselemente festgestellt.
-
Wenn
die Differenz der thermischen Ausdehnungskoeffizienten Δα zwischen
den jeweils direkt aneinander angrenzenden Materialien von mindestens
einer der Glasplatten (αGlas), des Randabdichtungsmaterials (αs)
und des Rohrmaterials (αE) gemäß einer
bevorzugten Variante der Erfindung kleiner oder gleich ±8·10–7 K–1,
besonders bevorzugt kleiner oder gleich ±5·10–7 K–1 ist,
ergeben sich Vorteile für
eine besonders spannungsarme Verbindung.
-
Gemäß einer
weiteren bevorzugten Variante der Erfindung erfüllen die thermischen Ausdehnungskoeffizienten
von mindestens einer der Glasplatten (αGlas)
und des Randabdichtungsmaterials (αS) zusätzlich die Bedingung αGlas ≥ αS mit
(αGlas – αS) ≤ 8·10–7 K–1,
besonders bevorzugt (αGlas – αS) ≤ 5·10–7 K–1.
In diesem Fall kann die Verbindung der Teilkomponenten noch verbessert
werden. Die genannte Bedingung wird vorzugsweise mindestens im Temperaturbereich
von 20°C
bis 300°C,
besonders bevorzugt von 20°C
bis rd. 500°C,
erfüllt.
-
Vorteilhafterweise
werden die Kombination aus Glasplatten und Evakuierungsrohr noch
vereinfacht und die Abdichtung verbessert, wenn das Rohrabdichtungsmaterial
und das Randabdichtungsmaterial zumindest teilweise gleiche Bestandteile
enthalten. Das Randabdichtungsmaterial enthält vorzugsweise Glaslot, ein Metall,
ein bei geringen Temperaturen (< 540°C) erweichendes
Glas oder einen ähnlichen
glasartigen Werkstoff, ein anorganisches Kompositmaterial, ein organisches
Kompositmaterial, eine Sol-Gel-Verbindung, einen Klebstoff und/oder
ein permeationsfestes Polymer. Besonders bevorzugt wird ein Glaslot
verwendet, welches den gleichen oder einen angepassten Wärmeausdehnungskoeffizienten
wie die Glasplatte besitzt, und, bevorzugt bei Temperaturen von
kleiner oder gleich rd. 540°C
aufgeschmolzen wird, und, mindestens eines der Oxide der Elemente
Blei, Lithium, Wismut, Natrium, Bor, Phosphor und/oder Silizium
enthält.
-
Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung umfasst das Rohrmaterial des Evakuierungsrohrs mindestens
einen Bestandteil, der mindestens teilweise aus mindestens einer
der Metalllegierungen, -verbindungen bzw. -komponenten wie z. B.
Eisen-Nickel (FeNi), Eisen-Nickel-Chrom (FeNiCr), Eisen-Chrom (FeCr),
Platin-Iridium (PtIr), und/oder mindestens teilweise aus mindestens
einem der Metalle Platin, Vanadium, Titan (sowohl als Basiskomponente
als auch Legierungskomponente), Chrom (als Legierungskomponente),
Aluminium (als Legierungskomponente), Kobalt (als Legierungskomponente)
besteht. Als ganz besonders geeignet erwiesen sich z. B. folgende
verfügbare
Legierungen: Fe-Ni-Legierungen mit einem Nickelanteil von rd. 47%
bis rd. 55% (z. B. FeNi48 oder FeNi52), Fe-Cr-Ni-Legierungen (z.
B. FeNi42Cr6, FeNi48Cr6 usw.), Fe-Cr-Legierungen mit einem Chromanteil
von etwa 23% bis zirka 30% (z. B. FeCr28), spezielle Edelstähle mit
einem Chromanteil von etwa 15% bis 20% (z. B. X6Cr17), oder Pt-Ir-Legierungen
mit einem Iridiumanteil bis etwa 30%. Es können auch andere Legierungsbestandteile
zugesetzt werden.
-
Vorteilhafterweise
verbessert sich die Zuverlässigkeit
und Dauerhaftigkeit des druckdichten Verschlusses des Verglasungselements,
wenn die mindestens eine reaktive Verbindungsschicht mindestens
an einem abzudichtenden Bereich zwischen Rohrrändern im Innern des Evakuierungsrohres
angebracht ist. Die mindestens eine reaktive Verbindungsschicht
kann z. B. Nickel, Palladium, Gold, Silber und/oder Kupfer enthalten. Besonders
bevorzugt besteht die mindestens eine reaktive Verbindungsschicht
aus Ni, Pd, NiPd, NiPdAu, NiP, Neusilber (Cu-Ni-Zn), Au, Ag, Au-Ag, Hartgold, Weißgold, Ni-Au,
Ni-Ag, NiP-dAu-Ag,
NiP-Au und/oder NiP-Ag. Es lassen sich weitere Legierungselemente
bzw. Mischungskomponenten hinzufügen.
-
Diese
Elemente oder Zusammensetzungen lassen sich besonders gut durch
ein elektrochemisches, nasschemisches und/oder vakuumbasiertes Verfahren
(z. B. thermisches Aufdampfen, Sputtern, plasmagestützte Gasphasenabscheidung,
ionenunterstützte Prozesse
usw.), und/oder durch Plasmaspritzen, und/oder durch Kaltgasspritzen,
und/oder durch ein- oder beidseitiges Plattieren, Verpressen oder
Walzen, und/oder durch Gießen,
und/oder durch Tauch- bzw. Lötverfahren
bei Temperaturen oberhalb 600°C,
oder Kombinationen daraus auftragen.
-
Vorteilhafterweise
kann eine weitere Haftverbesserung erzielt werden, wenn die mindestens
eine reaktive Verbindungsschicht gemäß einer weiteren Variante der
Erfindung mit mindestens einer Zwischenschicht zur Anpassung der
Wärmeausdehnung
zwischen dem Evakuierungsrohrmaterial und dem metallischen Dichtelement
und/oder zur Optimierung des Bond-/Lötprozesses ausgestattet ist.
Die Zwischenschicht besteht vorzugsweise aus Materialien, die einen
Wärmeausdehnungskoeffizienten
besitzen, der zwischen oder in der Nähe der Ausdehnungskoeffizienten
des Evakuierungsrohrmaterials und des metallischen Dichtelementes liegt.
-
Ein
weiterer Vorteil der Erfindung ergibt sich daraus, dass die Form
und Geometrie der Evakuierungsrohre frei wählbar ist und somit leicht
an Randbedingungen einer konkreten Anwendung angepasst werden können. So
lassen sich die Evakuierungsrohre z. B. an einem Ende konisch ausformen,
oder die Rohre können gleichzeitig
mehrfache Durchmesser besitzen usw.. Das Evakuierungsrohr kann z.
B. durch ein ein- oder mehrstufiges mechanisches Biegeumformen mit
anschließender
Längsverschweißung, insbesondere
durch ein mehrstufiges Tiefziehen von flach gewalztem Ausgangsmaterial
hergestellt werden. Durch eine weitere mechanische Bearbeitung des
Evakuierungsrohrs kann dieses sowohl auf der Innen- als auch der
Außenseite
mit zusätzlichen
Erweiterungselementen versehen werden, wie zum Beispiel mit Löchern, Schlitzen,
Abflachungen, Verengungen, Rändelungen/Bördelungen,
Absätzen,
Flanschen, Wulsten, Krägen,
Anschlägen,
Rillen, Furchen, Gewinden usw..
-
Das
erfindungsgemäße Verglasungselement
kann in verschiedenen Bereichen mit der Evakuierungsöffnung ausgestattet
werden. Gemäß einer
ersten Variante kann die Evakuierungsöffnung im Frontbereich einer
ersten, zu einer Außenseite
des Verglasungselements gerichteten Glasplatte, und/oder einer zweiten,
zu einer Innenseite gerichteten Glasplatte vorgesehen sein. Alternativ
kann die Evakuierungsöffnung
an mindestens einer Stelle der Randabdichtungseinrichtung vorgesehen
sein, wobei vorzugsweise zwischen dem innen liegenden Ende des Evakuierungsrohres
und einer mittleren, zwischen den Glasplatten angeordneten, innen angeordneten
Glasplatte ein Abstand von mindestens 1 mm vorhanden ist.
-
Für die Ankoppelung
des Vakuumapparates weist das Evakuierungsrohr vorzugsweise ein
Kopplungsteil auf, mit dem ein Verbindungsstück verbunden werden kann, wobei
das Kopplungsteil insbesondere einen Flansch, eine Rändelung,
eine Bördelung,
einen Absatz, eine Wulst oder einen Kragen umfasst.
-
Zur
Verbesserung der Gebrauchsfähigkeit
und Stabilität
wird die Evakuierungsöffnung
nicht in unmittelbarer Nähe
zu einer Ecke der Glasplatten angebracht, sondern vorzugsweise mindestens
5 cm von dieser entfernt. Besonders bevorzugt wird die Evakuierungsöffnung etwa
in der Mitte an den jeweiligen Längsseiten der
Glasplatten, wie z. B. an den jeweiligen längsten Seiten der Glasplatten,
angeordnet.
-
Für die dauerhafte
Erhaltung des Vakuums kann es von Vorteil sein, wenn in dem mindestens
einen Zwischenraum der Glasplatten-Anordnung mindestens ein Gettermaterial
oder eine Gettermaterial enthaltende Einrichtung (Gettereinrichtung)
angeordnet ist. Das Gettermaterial oder die Gettereinrichtung kann
z. B. auf den inneren Oberflächen
der Glasplatten und/oder direkt auf der Oberfläche des nach innen weisenden
Teiles des Evakuierungsrohres angeordnet sein. Hierzu wird das Gettermaterial
oder die Gettereinrichtung vorzugsweise mit einem Glaslot oder dergleichen
schon während
des Zusammenlegens der Glasplatten fixiert. Es können auch mehrere Gettermaterialien
oder Gettereinrichtungen an verschiedenen Positionen der Glasplatten-Anordnung
vorgesehen sein. Für
die Getterung werden bevorzugt mindestens eines der Elemente Barium, Magnesium,
ganz besonders bevorzugt der höher
schmelzenden Elemente wie Thorium, Zirkonium, Aluminium, Titan usw.,
enthaltende Stoffe oder Kombinationen daraus verwendet. Die Aktivierung
erfolgt vorzugsweise durch eine lokale thermische Verdampfung, wobei
die erforderliche Wärmeenergie
z. B. durch Elektro-, Laser-, Mikrowellen- oder Induktionseinrichtungen
bereitgestellt wird.
-
Das
wärmedämmende Verglasungselement
gemäß dem o.
g. ersten Gesichtspunkt hat vorteilhafterweise die Fähigkeit
einfach und zuverlässig
evakuiert und vakuumdicht verschlossen zu werden. Zum Verschließen der
Evaluierungsöffnung
wird vorzugsweise das metallische Dichtelement verwendet, das druckdicht
im Evakuierungsrohr sitzt. Das Dichtelement füllt den Querschnitt des Evakuierungsrohres
aus. Somit stellt ein Verglasungselement, in dessen mindestens einem
Zwischenraum ein Unterdruck gebildet ist, der gegenüber einem
Umgebungsdruck des Verglasungselements reduziert ist, und bei dem
im Evakuierungsrohr das metallisches Dichtelement angeordnet ist,
eine besonders bevorzugte Ausführungsform
der Erfindung dar. Das evakuierte Verglasungselement kann auch als
wärmedämmendes
Fenster bezeichnet werden, das mit einem Rahmen versehen einen unabhängigen Gegenstand
der Erfindung darstellt.
-
Überraschenderweise
hat sich gezeigt, dass sich zum vakuumdichten Verschließen des
Evakuierungsrohrs Metalle und/oder Metalllegierungen verwenden lassen,
die zudem noch direkt im Vakuum eingebracht werden können, ohne
dass es zu einer Beeinträchtigung
sowohl der Vakuumqualität
als auch der Funktionsfähigkeit
und Haltbarkeit der Vakuum-Isoliergläser kommt. Dies war insbesondere
nicht zu erwarten, weil Metalle und/oder Metalllegierungen deutlich
von den Glasscheiben und ggf. dem Material des Evakuierungsrohres
abweichende Wärmeausdehnungskoeffizienten
besitzen und dadurch lokal höhere
mechanische Spannungen vorliegen. Das metallische Dichtelement ist
vollständig
aus dem metallischen Material hergestellt, oder es trägt auf einer
Oberfläche,
die im zusammengesetzten Zustand des Verglasungselementes mit der
Innenseite des Evakuierungsrohres verbunden ist, eine Beschichtung
aus dem metallischen Material. Besonders bevorzugt ist das Dichtelement
mit einem Material hergestellt, das Zinn, Indium und/oder eine Zinn-Indium-Legierung
umfasst und/oder mindestens einen Legierungsbestandteil enthält, der
mindestens eines der Elemente Ag, Sb, Al, Bi, Cu, Au und Ni umfasst.
-
Vorzugsweise
hat das Evakuierungsrohr eine über
die Oberflächen
der Glasplatten und/oder die seitlichen nominellen Abmessungen der
Glasplatten hinausragenden Rohrüberstand,
der kleiner als 1 mm ist. Damit wird ein störender Einfluss des Evakuierungsrohrs,
wie er bei herkömmlichen
Verglasungselementen auftritt, vollständig vermieden.
-
Zur
Evakuierung der Glasplatten-Anordnung kann vorteilhafter weise ein
Vakuumapparat druckdicht direkt mit dem Evakuierungsrohr verbunden
werden, um das Abpumpen von Restgas aus dem Verglasungselement unmittelbar
durch die Öffnung
des Evakuierungsrohres durchzuführen.
Dadurch ist es in ganz besonders bevorzugter Weise möglich geworden,
einerseits die Evakuierung unter normalen Luftdruckbedingungen (es
werden keine zusätzlichen
kostspieligen Vakuumanlagen benötigt)
durchzu führen
und andererseits auch auf zusätzliche
Evakuierungsgeräte,
wie es bei den bekannten Verfahren erforderlich ist, vollständig zu
verzichten. Von besonderem Vorteil ist, dass komplexe Anordnungen
mit gesonderten Vakuumkammern, wie sie bei herkömmlichen Techniken erforderlich
sind, vermieden werden können.
Der Vakuumapparat kann zur Erhöhung
der Produktivität
so konstruiert sein, dass mehrere Verglasungselemente sowohl gleichzeitig
als auch unabhängig
voneinander evakuiert werden können.
Aufgrund der geringen Rohrquerschnitte lassen sich nunmehr sogar
auch flexible und somit bewegliche Vakuumsschläuche oder dergleichen einsetzen,
so dass das parallele Evakuieren gleichzeitig mehrerer liegender
oder stehender Vakuum-Isoliergläser
sowohl in einem Batch-Produktionsprozess (auch als Fächersystem
möglich)
als auch in einer kontinuierlich Durchlaufanlage erfolgen kann.
-
Alternativ
kann zur Evakuierung des mindestens einen Zwischenraumes das gesamte
Verglasungselement in eine Vakuumkammer eingebracht werde, wobei
sich die folgenden Vorteile ergeben. Ein Vorteil ergibt sich vor
allem dann, wenn die beim Aufheizen der Verglasungselemente frei
werdenden Lösungsmittel- und/oder
Binderbestandteile (z. B. CO2, H2O usw.) und/oder sonstige flüchtige bzw.
desorbierende Komponenten noch schneller abgesaugt werden sollen,
um die Produktionszeit weiter zu verkürzen. Das Evakuieren in einer
Vakuumkammer ist insbesondere auch dann vorteilhaft, wenn in einem
schon nach dem erfindungsgemäßen Verfahren
fertig gestellten Verglasungselement, bei dem die verschlossenen
Evakuierungsrohre ebenfalls schon bündig abgetrennt wurden, auf
Grund eines Defektes oder einer Reparatur nachträglich erneut ein Vakuum erzeugt
werden muss. In diesem Fall wird der Vakuumapparat nicht druckdicht
direkt mit dem Evakuierungsrohr verbunden, sondern das Absaugen
der Gase und Dämpfe
aus den Zwischenräumen
erfolgt über die
Evakuierungsrohröffnung
in die Vakuumkammer hinein. Zum vakuumdichten Verschließen des
Evakuierungsrohres wird die Löt-
bzw. Bondvorrichtung in der Vakuumkammer angeordnet.
-
Vorzugsweise
erfolgt die Einführung
des metallischen Dichtelements direkt aus dem Vakuum heraus direkt
in die Öffnung
des Evakuierungsrohres, wobei gemäß einer vorteilhaften Variante
der Erfindung eine Temperatur im Bereich von 80°C bis 380°C, vorzugsweise 80°C bis 280°C, vorgesehen
ist.
-
Weitere
Vorteile für
die zuverlässige
Verbindung ergeben sich, wenn zwischen dem Evakuierungsrohr und
dem Vakuumapparat ein externes Verbindungsstück, das z. B. nach Art eines
Vakuumflansches mittels Schweißen,
Hartlöten
oder Kleben befestigt oder mechanisch lösbar angeordnet wird. Im ersten
Fall ist eine erhöhte
Zuverlässigkeit
der Verbindung gegeben, während
sich im zweiten Fall die Trennung nach der Evakuierung vereinfacht.
Die Anbringung eines mechanisch lösbaren Verbindungsstücks erfolgt
z. B. durch eine mechanische Quetsch-, Press-, Schraub-, Dreh-,
Bajonett- oder eine lösbare
Flanschverbindung direkt auf der Oberfläche des Evakuierungsrohres
und/oder eines Kopplungsteils des Evakuierungsrohres.
-
Gemäß einer
weiteren vorteilhaften Ausführungsform
der Erfindung ist vorgesehen, dass die Evakuierung des Verglasungselementes
bei einer Temperatur durchgeführt
wird, die gegenüber
der Raumtemperatur erhöht
ist und vorzugsweise mindestens 80°C, besonders bevorzugt mindestens
150°C, beträgt.
-
Das
druckdichte Verschließen
der Evakuierungsöffnung
kann mit an sich verfügbaren
Methoden erfolgen, wie z. B. durch ein mechanisches Verpressen,
ein Verschweißen
oder ein Verschmelzen des Rohrendes des Evakuierungsrohres. Vorzugsweise
ist das vakuumdichte Verschließen
des Evakuierungsrohres in einem ersten Schritt durch das Einbringen
des Dichtelementes in das Evakuierungsrohr und in einem zweiten
Schritt durch die Herstellung eines stoffschlüssigen Verbundes zwischen mindestens
einem Teil der Oberfläche
des metallischen Dichtelements und mindestens einem Teil der Innenfläche des
Evakuierungsrohres zwischen dessen Enden vorgesehen. Dabei kann
die zum Aufschmelzen, zum Legieren, zur Bildung von metallischen Phasen
oder/oder Vermischen benötigte
Wärmeenergie
teilweise oder vollständig
dem Evakuierungsrohr und/oder dessen Peripherie entzogen werden.
Das Dichtelement wird unmittelbar nach dem Einsetzen und der Bildung
des mechanischen Kontaktes mit der Innenseite des Evakuierungsrohres
mit diesem stoffschlüssig verbunden.
Vorteilhafterweise werden gesonderte Heizapparate wie bei herkömmlichen
Techniken nicht benötigt.
Es kann sogar ausreichend sein, wenn die Einführung des metallischen Dichtelements
während
eines Abkühlprozesses
bei der Herstellung der Glasplatten-Anordnung vorgesehen ist, wenn
die in den Glasplatten enthaltene Wärme noch ausreichend für die druckdichte
Verbindung des Dichtelements mit dem Evakuierungsrohr ist.
-
Gemäß einer
weiteren Variante der Erfindung kann die Evakuierungsöffnung zusätzlich zum
konvektiven Aufheizen und/oder Abkühlen des Verglasungselements
verwendet werden. Hierzu wird vorzugsweise eine mechanische Verbindung
des Evakuierungsrohres mit einer Gebläseeinheit über eine an dem Evakuierungsrohr
vorgesehenen Kopplungseinrichtung gebildet. Die mechanische Verbindung
der Evakuierungsöffnung
mit der Gebläseeinheit
kann z. B. über
Flansche, Adapter, Wulste oder unmittelbar an der Außenseite des
Evakuierungsrohres gebildet werden.
-
Ein
besonders bevorzugter Verfahrensablauf umfasst die folgenden Schritte.
Nach der Bereitstellung der Glasplatten in einem Glasplattenstapel,
der den mindestens einen Zwischenraum enthält werden das Evakuierungsrohr
angebracht und Randversiegelungs- und/oder Dichtungsmaterialien
aufgetragen, die anschließend
zur druckdichten Versiegelung am Rand des Verglasungselementes und
am Evakuierungsrohr bei Temperaturen von minimal 200°C und maximal
540°C aufgeschmolzen
werden. Anschließend
erfolgen die Evakuierung der Verglasungselemente bei erhöhten Temperaturen
bis zu einem Enddruck im Bereich von 10–1 Pa bis
10–3 Pa
oder darunter, das druckdichte Verschließen des Evakuierungsrohres
bei einer Temperatur im Bereich zwischen 80°C und 380°C, vorzugsweise zwischen 80°C und 280°C, und eine
Abkühlung
der Verglasungselemente auf Raumtemperatur. Anschließend kann
erfindungemäß eine Weiterverarbeitung
des Verglasungselements vorgesehen sein, wie z. B. eine Rahmung
oder das Anbringen von Halte- bzw. Befestigungseinrichtungen. Durch
das Verbinden des erfindungsgemäßen Verglasungselements
mit einem weiteren, insbesondere erfindungsgemäßen Verglasungselement, oder
mit weiteren Glas- und/oder Kunststoffplatten und/oder daraus hergestellten
Paketen mittels mindestens eine, einen Kunststoff mindestens teilweise
enthaltende Zwischenschicht, lassen sich Verbundgläser mit
verbesserten Wärmedämm- und/oder
Sonnenschutz- und/oder Schallschutz- und/oder Brandschutz- und/oder
Sicherheitseigenschaften (wie z. B. gegenüber Durchbruch, Beschuss, Explosion,
elektromagnetische Strahlung, sonstigen äußeren Angriffen) usw. erhalten. Bei
Kombination des Verglasungselements mit einem weiteren Verglasungselement
und/oder einer weiteren Glasplatte und/oder einem Glaspaket durch
ein Abstandhaltersystem sind Isoliergläser mit noch weiter verbesserten
Wärmedämmeigenschaften
herstellbar.
-
Wenn
ein aus Metall bestehendes Evakuierungsrohr verwendet wird, erfolgt
dessen Herstellung vorzugsweise derart, dass ein zunächst als
flaches Metallband vorliegendes, noch unbeschichtetes Ausgangsmaterial
in einem ersten Schritt mindestens teilweise mindestens an der später innen
liegenden Evakuierungsrohroberfläche
mit der Verbindungsschicht oder zumindest Komponenten davon versehen
wird und danach in einem zweiten Schritt ein Umformen zu dem fertigen
Evakuierungsrohr erfolgt.
-
Vorteile
für eine
langdauernde Aufrechterhaltung des Vakuums ergeben sich, wenn gemäß einer
weiteren Modifikation der Erfindung ein aktivierbares Gettermaterial
oder eine aktivierbare Gettereinrichtung im Unterdruckbereich des
Verglasungselements angeordnet wird.
-
Das
erfindungsgemäße Verglasungselement
ist vor allem dort von wirtschaftlicher Bedeutung, wo wärmeisolierende
Eigenschaften, ggf. auch in Kombination mit niedrigem Gewicht und/oder
verringerter Einbautiefe und/oder Schallschutz und/oder Sicherheit
und/oder Brandschutz und/oder elektromagnetischen Schutzeinrichtungen
usw. gefragt sind. So kann das Bauteil in verschiedenen Bereichen
verwendet werden wie zum Beispiel in der Bauindustrie als Teil eines
Gebäudes
(z. B. Verglasungen, Glasdächer,
Glaswände,
Abschirmungen, Heizelemente), als Teil eines Transportmittels (z.
B. Autos, Schiffe, Flugkörper,
Bahnfahrzeuge), als Teil von Transport- oder Lagereinrichtungen
(z. B. für
kühlende
bzw. heizende oder zu kühlende
bzw. zu heizende Gegenstände),
als Teil von Sicherheitssystemen oder -einrichtungen (z. B. für Brandschutz,
Schallschutz, Einbruch-, Beschuss- und Explosionssicherheit, elektromagnetische
Abschirmung usw.), oder als Teil einer Maschine, einer Anlage, eines
Gebrauchsgegenstandes (z. B. Kühlaggregate
wie Kühlschränke und
-truhen, Sonnenkollekto ren, Heizeinrichtungen, Hitzeschilder), oder
einer Eich-, Mess- oder Prüfeinrichtung.
-
Weitere
Einzelheiten und Vorteile der Erfindung werden im Folgenden unter
Bezug auf die beigefügten Zeichnungen
beschrieben. Es zeigen:
-
1:
schematische Schnittdarstellungen erfindungsgemäßer Verglasungselemente;
-
2 bis 4: schematische Illustrationen von lateral
am Rand des Verglasungselementes angeordneten Evakuierungsöffnungen;
und
-
5:
schematische Illustrationen von auf einer Glasoberfläche des
Verglasungselementes angeordneten Evakuierungsöffnungen.
-
Ausführungsformen
von erfindungsgemäßen Verglasungselementen
und Verfahren zu deren Herstellung werden im folgenden unter beispielhaftem
Bezug auf Verglasungselemente beschrieben, wie sie in der am Anmeldetag
der vorliegenden Erfindung unveröffentlichten
deutschen Patentanmeldung Nr.
10 2006 061 360.0 beschrieben sind, deren Inhalt in Bezug
auf die Eigenschaften, insbesondere die Bestandteile, den Aufbau
und die solaren Absorptionseigenschaften der Verglasungselemente
in die vorliegende Beschreibung durch Bezugnahme eingeführt wird.
Die Umsetzung der Erfindung ist jedoch nicht auf diese Verglasungselemente
beschränkt,
sondern auch mit Verglasungselementen realisierbar, die insbesondere
in Bezug auf die Anordnung, Form, Größe und Materialien der Glasplatten,
der Abstandhalter und der Randabdichtung einen herkömmlichen
Aufbau aufweisen. Das erfindungsgemäße Verglasungselement erlaubt
nicht nur flache Konstruktionen in frei wählbaren Formen und Formaten,
sondern insbesondere auch gebogene oder gekrümmte Konstruktionen.
-
Die 1A und 1B zeigen
das Verglasungselement 10, das aus zwei oder drei Glasplatten 1, 2, 3 aufgebaut
ist. Im einzelnen umfasst das Verglasungselement 10 gemä 1A eine Glasplatten-Anordnung mit einer
ersten, nach außen
gerichteten Glasplatte 1, und einer zweiten, nach innen
gerichteten Glasplatte 2. Gemäß 1B ist
eine dritte, zwischen den Glasplatten 1, 2 angeordnete,
innere Glasplatte 3 vorgesehen. Die Glasplatten weisen
jeweils entsprechend innen angeordnete Oberflächen 1-2, 3-1, 3-2 und 2-1 auf.
Die Abstandhaltereinrichtung 5 ist zur Einstellung des
Abstandes der Glasplatten mit Abstandhaltern eingerichtet. In den
Ausführungsformen
ist z. B. vorgesehen, dass die zwischen den äußeren und inneren Glasplatten 1, 2 angeordnete
dritte Glasplatte 3 beidseitig mit festen Abstandhaltern
versehen ist.
-
Die
Randabdichtungseinrichtung 6, 601, 6-1, 6-2 dient
in an sich bekannter Weise der Abdichtung der Zwischenräume 4, 4-1, 4-2 zwischen
den Glasplatten gegenüber
der Umgebung. Durch die Randabdichtungseinrichtung 6 führt zwischen
den Glasplatten 1 und 2 (1A)
oder zwischen wenigstens einem Paar der Glasplatten 1, 2 und 3 (1B) eine seitliche Evakuierungsöffnung mit
einem Evakuierungsrohr 7, in dem druckdicht ein Dichtelement 8-1 angeordnet
ist. Alternativ ist die Evakuierung durch mindestens eine Öffnung vorgesehen,
die an mindestens einer der nach außen angeordneten Scheibenoberflächen angeordnet
ist (siehe 5). Weitere Einzelheiten der
Evakuierungsöffnung
mit dem Dichtelement 8-1 sind unten unter Bezug auf die 2 bis 5 beschrieben.
-
Vorteilhafterweise
ist es insbesondere bei dem aus mindestens zwei, vorzugsweise mindestens
drei Glasplatten aufgebauten Verglasungselement möglich, das
Evakuieren durch mindestens eine Evakuierungsöffnung direkt im Randverbund
durchzuführen.
Dies ist von großer
praktischer Bedeutung, weil die Evakuierungsöffnungen nunmehr für den Anwender
nahezu unsichtbar im Verglasungselement integriert werden können und
sich darüber
hinaus eventuelle Schäden
bei der Produktion, beim Transport sowie auch beim Einbau in einen
Rahmen usw. weiter verringern lassen.
-
Die
Erfindung wird vorzugsweise mit dem Verglasungselement mit mindestens
drei Glasplatten realisiert, kann aber auch mit Vakuum-Isoliergläser bestehend
aus zwei Glasplatten angewendet werden. Bei einem Einbringen des
Evakuierungsrohres in die Randabdichtung ist dabei vorzugsweise
dafür zu
sorgen, dass der Abstand zwischen den Glasplatten genügend groß (mindestens
etwa 0,8 mm) ist, damit für
die Evakuierung eine Öffnung
mit ausreichendem Durchmesser vorgesehen werden kann.
-
Die 2A und 2B zeigen
in seitlichen Schnitten beispielhaft zwei besonders bevorzugte Varianten, bei
denen das Evakuierungsrohr 7 seitlich in der Randabdichtung 6 angeordnet
und gleichzeitig mit dieser vakuumdicht verbunden ist. Bei 2A sind die nach außen gerichteten Glasplatten 1, 2 gleich,
zumindest annähernd
gleich groß,
während
die Platten 1, 2 in 2B eine
etwas unterschiedliche Größe aufweisen,
so dass sich im Randbereich eine Stufe ergibt. Um das Evakuierungsrohr 7 einzubringen,
macht es sich mitunter erforderlich, dass eine ausreichende positionsgenaue
Aussparung oder dergleichen an der Glasplatte 3 angebracht wird.
Diese mechanische Bearbeitung entfällt, wenn die Glasplatte 3 mindestens
an der Seite, an welcher das Evakuierungsrohr 7 eingebracht
wird, nicht fest mit der Randabdichtung verbunden ist und somit
etwas zurücksteht.
Als ganz besonders vorteilhaft hat sich erwiesen, wenn die innen
angeordnete Glasplatte 3 schwimmend gelagert ist, das heißt, dass
bei der Glasscheibe 3 allseitig keine feste Verbindung
mit der Randabdichtung 6 vorliegt, weil dadurch die Aussparung
gleich ganz entfallen kann.
-
Das
Evakuierungsrohr 7 weist bevorzugt einen kreisrunden Querschnitt
auf, jedoch lassen sich auch davon abweichende Geometrien, zum Beispiel
mit einem elliptischen, quadratischen oder rechteckigen Querschnitt
oder dergleichen, zum Einsatz bringen. Das in den 2A und 2B dargestellte Evakuierungsrohr 7 besitzt
im einfachsten Fall eine zylindrische Form, bei der beide Seiten
vollständig
geöffnet
sind. Es sind aber abweichende Varianten hinsichtlich der Rohrgeometrie
und des Einbaus möglich.
So kann zum Beispiel das innen liegende Ende des Rohres konisch,
spitz oder dergleichen ausgeformt sein, das Rohr kann unterschiedlich
tief in die Zwischenräume
eingebracht werden und/oder mit seitlichen Öffnungen versehen werden und/oder
als doppelwandiges oder segmentiertes Rohr ausgelegt sein und so
weiter. Die konkret realisierten Eigenschaften können in Abhängigkeit von den technischen
Anforderungen einer Anwendung gewählt werden.
-
Das
Evakuierungsrohr 7 wird bevorzugt schon beim Zusammenlegen
der Glasplatten 1, 2, 3 und dem Aufbringen
des Randabdichtungsmaterials 6, 600, 6-1, 6-2, 601 mit
eingebracht. Die Randabdichtung 6, 600, 6-1, 6-2, 6-3, 601 enthält z. B.
Glaslot oder ein solches enthaltendes Material, das den gleichen
oder mindestens nahe gelegenen Wärmeausdehnungskoeffizienten
wie die Glasscheiben 1, 2, 3 besitzt
und bevorzugt bei Temperaturen von kleiner oder gleich zirka 540°C aufgeschmolzen
werden kann.
-
Es
ist dabei vorteilhaft, wenn die thermischen Ausdehnungskoeffizienten
des Rohrabdichtungs- (αs) und der Evakuierungs rohrmaterialien (αE)
möglichst
gleich, zumindest aber ähnlich
gestaltet sind, damit die Gefahr von Rissen oder anderen Schädigungen
vermindert wird bzw. Schädigungen
vollständig
vermieden werden. Dabei lassen sich problemlos Rohre zur Anwendung
bringen, die aus dem gleichen oder vergleichbaren Materialien wie
die Glasplatten bestehen (wie z. B. Kalk-Natron-Glasrohre oder aber auch modifizierte
Spezialgläser),
die nach Beendigung des Evakuierungsprozesses mittels bekannter
Abschmelzverfahren (z. B. Wärmezufuhr
durch eine Heizwendel, Laser oder dergleichen) des Rohrendes vakuumdicht
verschlossen werden.
-
In
besonders bevorzugter Weise wird ein metallisches Evakuierungsrohr 7 verwendet.
Es werden dabei solche Materialien eingesetzt, bei denen die Differenz
der thermischen Ausdehnungskoeffizienten Δα zwischen den jeweils direkt
aneinander angrenzenden Materialien von mindestens einer der Glasplatten
(αGlas), des Randabdichtungsmaterials (αS)
und des Rohrmaterials (αE) die oben genannten Bedingungen erfüllt. Bestehen
die Glasscheiben zum Beispiel aus Kalk-Natron-Glas z. B. mit einer
typischen chemischen Zusammensetzung von 15% Na2O,
10% CaO und 75% SiO2 (in Mol-%; αGlas zirka
9,4·10–6 K–1 im
Bereich zwischen etwa 20°C
und 300°C)
lassen, z. B. bei einer Differenz von vorzugsweise Δα = 8·10–7 K-1, für
die Randabdichtung Materialien mit einem Ausdehnungskoeffizienten αS von
vorzugsweise zirka 8,6·10–6 K–1 bis
10,2·10-6 K–1 einsetzen. Entsprechend
dem Ausdehnungskoeffizienten αS des dann konkret eingesetzten Randabdichtungsmaterials
ist der Ausdehnungskoeffizient für
das Evakuierungsrohrmaterial αE in einem Bereich zwischen zirka 7,8·10–6 K–1 bis
11,0·10–6 K–1 auszuwählen.
-
Sollen
hingegen Glasplatten verwendet werden, die eine davon abweichende
chemische Zusammensetzung und/oder abweichende Struktur/Morphologie
besitzen und dadurch mitunter auch andere thermische Ausdehnungskoeffizienten
aufweisen, kann eine entsprechende Anpassung durch den Anwender
vorgesehen sein. Dies ist zum Beispiel besonders bei der Verwendung
von aus alkaliarmen bzw. alkalifreien Glas bestehenden Glasplatten
von Bedeutung, da diese nur sehr geringe Ausdehnungskoeffizienten
von etwa 3 ... 4·10–6 K-1 besitzen.
-
Für das Evakuierungsrohr 7 ist
die Wanddicke dW so zu bemessen, dass bei
einem Druck von mindestens 1 bar keine Formänderung eintritt (siehe 2A und 2B).
Bei Verwendung von metallischen Rohren erwies sich eine Wanddicke
von etwa 0,1 mm bis 0,2 mm oder mitunter dicker als gut geeignet.
Um die Evakuierung wirtschaftlich durchzuführen, sollte das Rohr einen
Durchmesser der lichten Öffnung
d0 von mindestens etwa 0,7 mm besitzen.
Für das
Rohrabdichtungsmaterial, welches das Evakuierungsrohr 7 außen unmittelbar umgibt,
wird dabei in ganz besonders vorteilhafter Weise das gleiche Material
wie für
die Randabdichtung 6 zum Einsatz gebracht. Alternativ lassen
sich zur Anpassung der Ausdehnungskoeffizienten auch geeignete Zwischenschichten
aus anderen Stoffen oder Stoffgemischen verwenden.
-
Erfindungsgemäß enthalten
die metallische Evakuierungsrohrmaterialien 7 bei Verwendung
von Kalk-Natron-Glas für
mindestens die Glasplatten 1, 2, mindestens einen
der oben spezifizierten Bestandteile. Besonders gut geeignete Evakuierungsrohrqualitäten in ausreichenden
Längen
bis einige Zentimeter werden durch mehrstufiges mechanisches Biegeumformen
mit anschließender
Längsverschweißung, oder
ganz besonders bevorzugt durch mehrstufiges Tiefziehen, oder dergleichen
von flach gewalztem Ausgangsmaterial erhalten.
-
Die
geometrischen Abmessungen des Evakuierungsrohres 7 werden
bevorzugt mit hoher Präzision bereitgestellt,
so dass zur Herstellung einer vakuumdichten und langzeitstabilen
Verbindung genügend Randabdichtungsmaterial 6 mit
der Dicke dS gleichmäßig zwischen dem Evakuierungsrohr 7 und
den Glasplatten 1 bzw. 2 eingebracht werden kann
(siehe 2A und 2B).
Für die
Dicke des Randabdichtungsmaterials dS ist
eine Dicke im Bereich von etwa 50 μm bis etwa 600 μm vorgesehen.
Die Dicke dS kann auch noch etwas größer gewählt sein,
insbesondere wenn eine Verminderung des kapillaren Fülldrucks
bei diesen Abständen noch
tolerierbar ist. Durch die Schaffung spezieller Strukturen (Erweiterungselemente)
auf den äußeren Oberflächen der
Evakuierungsrohre, wie zum Beispiel in Form von Rillen, Furchen,
Ringen, Wulsten, Verengungen, Kombinationen daraus oder ähnlichen
Mustern, kann dem teilweise entgegengewirkt werden.
-
Mit
solchen Erweiterungselementen lässt
sich sogar die Kapillarwirkung soweit beeinflussen, dass das Eindringen
des Lotmaterials zwischen die Glasscheiben 1, 2, 3 gesteuert
werden kann. In vorteilhafter Weise werden die Erweiterungselemente
auch als Hilfsmittel zur Einstellung der genauen Position und der
definierten Abstände
der Evakuierungsrohre benutzt.
-
Das
Evakuierungsrohr 7 kann schon vor dem Einsetzen mindestens
teilweise mit dem Randabdichtungsmaterial 6 versehen sein.
Das Randabdichtungsmaterial wird hierzu in einer gesonderten Vorbehandlung mittels
z. B. Eintauchen, Sintern, Aufschmelzen, oder dergleichen appliziert.
Auf diese Weise ist es nun möglich,
ein noch qualitativ hochwertigeres vakuumdichtes Verschmelzen des
Randabdichtungsmaterials zwischen den Glasplatten 1, 2 und
dem Evakuierungsrohr 7 zu erhalten.
-
Damit
das Restgas gleichzeitig aus den von den Glasplatten 1, 2, 3 eingeschlossenen
Volumina 4 evakuiert werden kann, wird zwischen dem innen
liegenden Ende des Evakuierungsrohres 7 und der Glasplatte 3 ein
ausreichender Abstand dE von mindestens
zirka 1 mm, vorzugsweise größer oder
gleich 2 mm vorgesehen (siehe 2A, 2B).
-
Das
Evakuierungsrohr 7 kann an jeder Position der Randabdichtung
eingesetzt werden. Es lassen sich auch mehrere Evakuierungsrohre
oder solche enthaltende Einrichtungen an verschiedenen Positionen gleichzeitig
verwenden.
-
Nachdem
das Randabdichtungsmaterial 6 durch eine an sich bekannte
Wärmebehandlung
genügend ausgehärtet und
vakuumdicht ist, kann das fest integrierte Evakuierungsrohr 7 mechanisch
belastet werden. Das Evakuierungsrohr 7 lässt sich
nun direkt mit einem Vakuumsapparat 11 (siehe 5),
bestehend aus mindestens den Baugruppen Vorpumpe (Erzeugung des
Grob- bzw. Feinvakuums), Hochvakuumpumpe (Erzeugung des Enddruckes),
verschiedenen Druckmessgeräten
und -sonden, Ventilen, Temperaturmesseinrichtungen, weitere soft-
und hardwaremäßige Mess-,
Steuerungs- und Regelungskomponenten, einer Löt- bzw. Bondvorrichtung nebst
Peripherie, ggf. einem Hochvakuumbehälter usw., verbinden.
-
Erfindungsgemäß wird die
vakuumdichte Verbindung zwischen dem Verglasungselement 10 und
dem Vakuumapparat 11 (Vakuumabdichtung) direkt am Evakuierungsrohr 7 eingerichtet
und das Abpumpen der Restgase aus dem Verglasungselement 10 (Vakuumerzeugung)
direkt durch die Öffnung
des Evakuierungsrohres 7 vorgenommen. Das Abpumpen wird
bevorzugt bei erhöhten
Temperaturen von mindestens 60°C,
vorzugsweise 150°C
und darüber,
durchgeführt.
Als ganz besonders vorteilhaft hat sich herausgestellt, wenn das Evakuieren
bereits während
des langsamen Abkühlens
des Verglasungselementes erfolgt und der Temperaturbereich dabei
so gewählt
wird, dass dieser zwischen dem Verfestigungspunkt des Randabdichungsmaterials 6 und
dem Schmelzpunkt des für
das Dichtelement 8-1 jeweils verwendeten Dichtmaterials
liegt. Es ist aber auch möglich,
die Evakuierung des Vakuum-Isolierglases 10 schon bei solchen
Temperaturen zu beginnen bzw. durchzuführen, bei denen das Randabdichtungsmaterial
noch nicht vollständig
ausgehärtet
und somit noch etwas verformbar ist, weil dadurch eine verbesserte
Qualität
des Verglasungselementes erzeugt werden kann. Die Herstellung kann
aber auch so erfolgen, dass das gesamte Verglasungselement erst
einmal abgekühlt
wird und die Vakuumerzeugung erst danach durchgeführt wird.
Jedoch sollte zur Verkürzung
der Pumpzeit eine erhöhte
Arbeitstemperatur von mindestens etwa 60°C gewählt werden.
-
Die
Verbindung zwischen dem Evakuierungsrohr 7 und dem Vakuumsapparat 11 kann
auf sehr unterschiedlicher Weise erfolgen. Bei Verwendung von metallischen
Evakuierungsrohren lässt
sich direkt ein externer Adapter bzw. Verbindungsstück fest
am Evakuierungsrohr 7 anbringen, über den dann die weitere Ankopplung
zum Vakuumapparat hergestellt wird. Um den Leitwert für den Evakuierungsprozess
zu erhöhen,
empfiehlt es sich dabei, den Rohrquerschnitt zum Vakuumapparat hin
etwas aufzuweiten.
-
Als
ganz besonders geeignet erwies sich, wenn das Evakuierungsrohr 7 mitunter
etwas länger
ausgelegt wird (einige wenige Zentimeter) und die Kopplung mittels
einer wieder lösbaren
mechanischen Quetsch-, Press-, Schraub- oder sonstigen Flanschverbindung
entweder direkt auf der Oberfläche
des Evakuierungsrohres oder an einem speziell dafür vorgesehenen
Teil des Evakuierungsrohres selbst, wie z. B. einem Flansch, einer
Rändelung/Bördelung,
einem Absatz, einer Wulst, einem Kragen oder dergleichen erfolgt.
Dadurch ist eine einfache Handhabung im Produktionsprozess möglich und
die Bauteile bzw. Komponenten können
mehrfach genutzt werden.
-
Die 3A bis 3D veranschaulichen
hierzu in zeitlichen Schnitten beispielhaft einige mögliche Varianten. 3A zeigt eine Variante, bei der die Verbindung
zum Vakuumapparat 11 direkt am Evakuierungsrohr bzw. dessen
Oberfläche
erfolgt. In diesem Beispiel ist um das Evakuierungsrohr 7 herum
ein vakuumtauglicher Dichtring 701 oder dergleichen angebracht,
der nun durch eine mechanische Flanschkonstruktion entsprechend
der dargestellten Pfeilrichtung (Andruckrichtung) allseitig gleichmäßig gegen
das Rohr gepresst wird und dort für die notwendige Vakuumdichtheit
sorgt. Direkt am Evakuierungsrohr 7 können aber auch schon vorab
sogenannte wulstige Durchmesser 702 oder andere Verformungen
(siehe 3B) eingebracht sein, die für einen
besseren Halt der Dichtringe 701 sorgen und gleichzeitig
eine optimale Dichtfläche
bilden.
-
In
einer anderen Variante ist das Evakuierungsrohr 7 so vorgefertigt,
dass das Rohr selbst schon mit einem vollständig umlaufenden Flansch 703 versehen
ist. Wie in den 3C und 3D dargestellt
ist, lassen sich solche Varianten verwenden, bei denen der Dichtring 701 auf
der zum Verglasungselement 10 hinweisenden oder auf dessen
abgewandten Seite, das heißt
zum Vakuumapparat 11 hin, angeordnet werden kann. Eine weitere
Verbesserung kann zum Beispiel durch das Einbringen einer zusätzlichen
Wulst oder dergleichen an dem Flansch 703 erreicht werden.
Es ist sogar möglich,
einen derartigen Flansch 703 sogar noch mit einem weiteren,
nicht vollständig
umlaufenden Kragen und/oder mit lokalen Absätzen usw. der Gestalt zu versehen, dass
der vakuumdichte Verschluss ähnlich
einem Dreh- und/oder Bajonettverschluss oder dergleichen konstruiert
werden kann.
-
Die
hier dargestellten Varianten sind nur beispielhaft zu verstehen.
Vielmehr sind andere Kombinationen daraus sowie abgewandelte Konstruktionen
möglich.
Falls erforderlich, lassen sich, wie aus der Vakuumtechnik bekannt
ist, Mehrfachdichtungen oder differentiell abgepumpte mehrstufige
Dichtsysteme oder dergleichen verwenden. Falls es sich als erforderlich
erweist, können
die Flanschverbindungen und/oder das Evakuierungsrohr selbst zusätzlich mit
Wasser, Luft oder ein anderes Mittel gekühlt werden, wodurch sich einerseits eine
sehr gute Prozesssicherheit erhalten lässt und sich zum anderen auch
preiswerte, weniger temperaturstabile Standard-Vakuumdichtungsmaterialien (z. B. Vitondichtungen
usw.) auch bei höheren
Prozesstemperaturen von etwa 200°C
und darüber
verwenden lassen.
-
Nach
Erreichen des erforderlichen Vakuums von zirka 10–1 Pa
bis 10–3 Pa
oder niedriger in den Zwischenräumen 4 wird
das Evakuierungsrohr 7 durch die erfindungsgemäße Technik
vakuumdicht verschlossen, wie unter Bezug auf 4A bis 4D erläutert wird.
Erfindungsgemäß ist vorgesehen,
dass die Vakuumdichtheit durch das Einbringen eines Dichtelements
aus dem Vakuum heraus direkt in das Evakuierungsrohr 7 hinein
herstellt wird.
-
Das
Dichtelement 8-1 ist erfindungsgemäß mindestens teilweise aus
einem metallischen Dichtmaterial hergestellt. Überraschenderweise hat sich
gezeigt, dass sich für
die Dichtung metallische Substanzen verwenden lassen, ohne dass
bei den Verglasungselementen irgendwelche Beeinträchtigungen
im praktischen Gebrauch auftreten. Dieses Ergebnis war aufgrund
der doch sehr unterschiedlichen thermomechanischen und mechanischen
Eigenschaften (siehe z. B. thermischem Ausdehnungskoeffizient, Wärmeleitfähigkeit,
Wärmekapazität, Elastizität, Zugfestigkeit)
der komplizierten Materialkombination Randabdichtung-Evakuierungsrohr-Metalldichtung
(z. B. Glaslot-Glas-Metall
oder Glaslot-Metall 1-Metall 2) nicht zu erwarten.
-
Wie
bei den Experimenten des Erfinders festgestellt wurde, ist es nicht
zwingend erforderlich, eine vollständige Anpassung der thermischen
Ausdehnungskoeffizienten α vorzunehmen.
So können
sich die Ausdehnungskoeffizienten des Evakuierungsrohres 7 und
des Dichtmaterials 8-1 durchaus um einen Faktor von 2 bis 3
unterscheiden, ohne dass sich dies negativ auf die Qualität und Langzeitstabilität der Verglasungselemente auswirkt.
-
Es
ist vorgesehen, als Dichtmaterial des Dichtelements 8, 8-1 vorzugsweise
die Elemente Zinn und/oder Indium, deren Legierungen, sowie diese
Materialien als einen wesentlichen Bestandteil enthaltende Verbindungen
zu verwenden. Bei diesen Dichtmaterialien lassen sich weitere Legierungsstoffe
hinzufügen, wobei
sich Legierungsbestandteile, die mindestens eines der Elemente Ag,
Sb, Al, Bi, Cu, Au, Ni usw. umfassen, als besonders geeignet erwiesen.
-
Als
vorteilhaft hat sich herausgestellt, wenn das Dichtmaterial vorab
einer thermischen Behandlung unter Vakuumbedingungen von mindestens
10–3 Pa
oder darunter unterzogen wird, damit die flüchtigen Komponenten beseitigt
werden können.
Dies kann z. B. durch ein vollständiges
Auf- bzw. Umschmelzen des Dichtmaterials in z. B. einem Vakuumofen
geschehen, wobei die erforderliche Wärmeenergie durch einen Elektronenstrahl,
einen Laser, einem Heiztiegel oder andere bekannte Verfahren bereitgestellt
wird.
-
Für die Verwendung
eines metallischen Dichtelements ist ferner von Vorteil, wenn der
Innendurchmesser der Evakuierungsrohre d0 und
somit der durch die Metalldichtung auszufüllende mittlere Durchmesser
vorzugsweise in einem Bereich zwischen zirka 0,7 mm bis zirka 5
mm, besonders bevorzugt bis zirka 3 mm, ist. Bei größeren Durchmessern
kommt es mitunter zu einer verringerten Dauerbeständigkeit
der Verglasungselemente, weil das Material aufgrund des von außen wirkenden
Atmosphärendruckes
in Kombination mit der vergrößerten Angriffsfläche sowie
den thermomechanischen Belastungen an der Grenzfläche Metalldichtung – Evakuierungsrohr
mit der Zeit fließen
bzw. sich somit verformen kann und sich zudem partielle Enthaftungen ergeben
können.
-
Als
vorteilhaft hat sich herausgestellt, dass z. B. der Schmelzpunkt
der Sn und/oder In enthaltenden Legierungen und Mischungen sowohl
durch deren Mischungsverhältnis
als auch die Art und Menge weiterer Legierungsbestandteile in einem
Bereich von mindestens etwa 80°C
bis 380°C,
vorzugsweise zwischen zirka 80°C
und zirka 280°C,
eingestellt werden kann. Damit ist es sogar möglich, den Produktionsablauf
teilweise unabhängig
vom verwendeten Dichtmaterial noch weiter zu optimieren.
-
Nach
Erreichen des gewünschten
Vakuumdruckes im Verglasungselement sowie Vorliegen der erforderlichen
Temperatur wird gemäß 4 direkt über eine im Vakuum befindliche
Löt- bzw. Bondvorrichtung 13, z.
B. ein möglichst
schon vorab geometrisch geformtes Dichtelement 8-1 in das
Evakuierungsrohr 7 so eingebracht, dass mindestens in einem
Bereich zwischen den Stellen 7-1 und 7-2 ein ausreichender
vakuumdichter Verschluss entsteht (siehe 4A). Von
Vorteil ist, wenn die Abdichtung des Evakuierungsrohres 7 so
vorgenommen wird, dass diese nach außen hin ungefähr mit der
Randabdichtung bzw. der Glaskante abschließt (siehe 7-2 in 4A)
oder etwas darüber
hinausragt.
-
Nach
dem Einbringen des Dichtelements wird dieses mit der inneren Oberfläche des
Evakuierungsrohres 7 vakuumdicht verpresst bzw. verbunden.
An der Kontaktfläche
Dichtmaterial-Evakuierungsrohr
(Übergangsbereich 8-2)
wird eine dünne,
Poren- und rissfreie Grenzfläche
gebildet (4B). Hierfür können die aus dem Stand der
Technik bekannten Verfahren des Diffusionsschweißens, des Kaltpressschweißens, der
vakuumdichten Quetscht- oder Schraubverbindung oder dergleichen
angewendet werden. Als besonders vorteilhaft erwies sich jedoch,
wenn ein direktes thermisches Aufschmelzen des Dichtmaterials mindestens
an der Grenzfläche
Dichtkörper – Evakuierungsrohr
(8-2) durch die Einkopplung von Wärmeenergie auf Basis der bekannten
Verfahren wie z. B. Strahlungs-, Induktions-, Mikrowellen-, Widerstandsheizung
usw. erfolgt. Die Einkopplung der benötigten Wärmeenergie kann dabei sowohl
vakuumseitig als auch von außen
geschehen.
-
Als
sehr einfach und ganz besonders bevorzugt erwies sich die Vorgehensweise,
dass das Dichtmaterial in Form oder als Bestandteil eines vorgefertigten
Dichtkörpers,
eines Drahtes oder ähnlichem
mittels einer mechanischen Vorrichtung in das Evakuierungsrohr 7 eingebracht
wird und die zum Aufschmelzen des Dichtmaterials benötigte Wärmeenergie
zumindest teilweise dem Evakuierungsrohr 7 und ggf. dessen
Peripherie entzogen wird. Vorzugsweise geschieht dies direkt während des
Abkühlprozesses
im Produktionsprozess, wobei es sich als vorteilhaft erwies, wenn
das Rohr 7 und/oder dessen Peripherie möglichst eine noch etwas über bzw.
nahe dem jeweiligen Schmelzpunkt des konkret verwendeten Dichtmaterials
liegende Temperatur besitzt.
-
Bei
einem weiteren vorteilhaften Verfahren kann vorgesehen sein, dass
das Dichtmaterial in flüssiger oder ähnlicher
Form an den abzudichtenden Stellen 7-1, 7-2 des
Evakuierungsrohres 7 angebracht wird. Hierzu enthält die Löt- bzw.
Bondvorrichtung 13 mindestens eine heizbare und thermostatierbare
Dosiereinrichtung oder dergleichen, in der das Dichtmaterial in
flüssiger
oder zumindest ausreichend niedrigviskoser Form vorliegt oder zumindest
in dieser aufgeschmolzen werden kann. Der vordere Bereich der Dosiervorrichtung
kann zum Beispiel ähnlich
einer Injektionsspitze geformt sein, so dass das flüssige Dichtmaterial
somit genau und definiert an die entsprechenden Stellen innerhalb
des Evakuierungsrohres 7 befördert werden kann. In einer anderen
Variante wird das Dichtmaterial in Form eines dünnen Drahtes an die Löt- bzw.
Bondstelle gebracht, um es dann dort lokal aufzuschmelzen. Bei diesen
beiden Verfahren ist von Vorteil, dass sich das Dichtmaterial in
größeren Mengen
in der Dosiervorrichtung bevorraten oder von außen kontinuierlich nachfüttern lässt, wodurch
die Produktivität
im Herstellungsprozess weiter erhöht werden kann.
-
Die
Erfindung schließt
auch die Variante ein, bei der das gesamte Verglasungselement komplett
in eine Vakuumskammer eingebracht wird und in dieser die beschriebene
Abdichtung der Evakuierungsrohre mittels metallischer Dichtmaterialien
durchgeführt
wird.
-
Um
eine besonders gute Haftung zwischen dem Dichtmaterial und dem Evakuierungsrohr
zu erhalten und letztendlich eine langzeitstabile Verbindung sicherzustellen,
wird erfindungsgemäß mindestens
im Innern des Evakuierungsrohres eine benetzungsverbessernde und/oder
reaktions- und/oder legierungswirksame und/oder elektrolytisch aktive
Verbindungsschicht 700 (siehe 2) bzw.
ein derartig wirksames, aus mehreren Beschich tungen aufgebautes
Schichtpaket aufgetragen. Von ganz entscheidender Bedeutung ist,
dass sich unter den konkreten Prozessbedingungen (Temperatur, Zeit,
Restgase usw.) an den jeweiligen Grenzflächen des Verbundsystems metallisches
Dichtelement-Verbindungsschicht-Evakuierungsrohr, mindestens an der
Grenzfläche
metallisches Dichtelement 8-1 – Verbindungsschicht 700,
ein definierter Übergangsbereich 8-2 (siehe 4B)
ausbildet, bei dem sich mindestens einzelne Bestandteile der jeweiligen
Materialien gut miteinander vermischen, legieren, ineinander lösen, metallische
Phasen bilden usw.. Im Übergangsbereich 8-2 liegt
eine gegenüber
den Verbundsystemkomponenten abweichende chemische Zusammensetzung
und/oder Struktur vor, wobei diese über die gesamte Dicke des Übergangsbereiches
hinweg nicht vollkommen gleichmäßig bzw.
konstant verteilt sein müssen.
Wie sich gezeigt hat, kommt es vor allem darauf an, dass diese Übergangszone
eine gewisse geometrische Mindestausdehnung (Dicke) besitzt, da
die Vakuumdichtheit beeinträchtigt
sein könnte.
Bei zu kleinen Übergangsbereichen
können
sich u. U. während
der Herstellung der Verglasungselemente vor allem an der Grenzfläche Dichtungsmaterial-Verbindungsschichtmaterial
thermomechanische Spannungen ausbilden, die zu Mikrodefekten und
-rissen führen,
so dass vor allem sehr kleine Gasmoleküle (z. B. Wasserstoff, Wasser)
nahezu ungehindert hindurch, in die Zwischenräume 4, 4-1, 4-2 diffundieren
können
und somit das Vakuum verschlechtern. Vorzugsweise wird der Übergangsbereich 8-2 zwischen den
jeweiligen Grenzflächen
des Verbundsystems metallisches Dichtelement-Verbindungsschicht-Evakuierungsrohr,
mindestens an der Grenzfläche
metallisches Dichtungsmaterial-Verbindungsschichtmaterial,
mit einer Dicke von mindestens größer oder gleich 100 nm versehen.
-
In
vorteilhafter Weise werden für
solche Beschichtungen bzw. Schichtpakete mindestens eines der Elemente
Nickel, Palladi um, Gold, Silber und/oder Kupfer mindestens teilweise
enthaltende Materialien an mindestens der abzudichtenden Stelle 7-1, 7-2 vorgesehen.
Zum Beispiel lassen sich folgende Materialien gut verwenden: nickelhaltige
Materialien wie z. B. Ni, NiPd, NiPdAu, NiP usw. mit Dicken von
typischerweise einigen bis einigen zehn μm; kupferhaltige Substanzen
wie z. B. Cu, Neusilber (Cu-Ni-Zn) usw. mit Dicken von typischerweise
einigen μm;
Edelmetalle wie z. B. Au, Ag, Au-Ag usw. mit typischen Dicken je
nach Herstellverfahren von etwa 20 nm bis einigen μm; Edelmetalle
enthaltende Stoffe wie z. B. Hartgold oder Weißgold mit Dicken bis einigen μm usw.. Die
genannten Materialien sind dabei nur beispielhaft genannt. Vielmehr
lassen sich verschiedene Kombinationen daraus (z. B. Ni-Au, Ni-Ag,
NiPdAu-Ag, NiP-Au, NiP-Ag usw.) und/oder weitere Materialmodifikationen
und/oder Legierungen oder Gemische mit weiteren Elementen (z. B.
Sb, Si, Bi, Cd, W, Ti usw.) und/oder andere Dicken verwenden. Es
können
auch andere Zwischenschichten zur Haftverbesserung, zur Anpassung
der Wärmeausdehnung
und/oder zur Optimierung des Bond-/Lötprozesses zusätzlich eingefügt werden.
-
Das
Aufbringen der Beschichtungen 700 geschieht mittels bekannter
Technologien wie zum Beispiel elektrochemischen, nasschemischen
und/oder vakuumbasierten Verfahren (z. B. thermisches Aufdampfen, Sputtern,
plasmagestützte
Gasphasenabscheidung, ionenunterstützte Prozesse usw.), und/oder
durch Plasmaspritzen, und/oder durch Kaltgasspritzen, und/oder durch
ein- oder beidseitiges Plattieren, Verpressen oder Walzen, und/oder
durch Gießen,
und/oder durch Tauch- bzw. Lötverfahren
bei Temperaturen größer 600°C, oder Kombinationen
daraus oder dergleichen. Aufgrund der Geometrieverhältnisse
an den Evakuierungsrohren (große
Rohrlänge
bei gleichzeitig geringer Querschnittsfläche der Rohröffnung),
lassen sich die Innenflächen
von fertig gestellten Evakuierungsrohren in aus reichender Qualität nur unter
hohem technischen Aufwand beschichten. Als ganz besonders vorteilhaft
erwies sich, wenn das zunächst
als flaches Metallband vorliegende Evakuierungsrohrmaterial in einem
ersten Schritt mindestens an der später innen liegenden Evakuierungsrohroberfläche mit
Beschichtungen versehen wird und danach in einem zweiten Schritt
das Umformen geschieht, wobei aufgrund der sehr guten Eigenschaften
das Tiefziehen ganz besonders bevorzugt ist.
-
Um
einen Schutz der Beschichtungen – insbesondere während des
Herstellungsprozesses – vor
Oxidation oder korrosiven Einflüssen
zu erreichen, kann die Beschichtung vorab mit einer ausreichend
temperaturstabilen Schutzschicht versehen oder aber eine Schutzhülse oder
dergleichen in das Rohr eingebracht werden usw.. Der Beschichtungsschutz
lässt sich
dann in einfacher Weise wieder entfernen. Gerade bei Silber enthaltenden
Beschichtungen 700 ist die Verwendung eines Anlaufschutzes
(Oxidationsschutz) von Vorteil, um an der Kontaktstelle Dichtmaterial 8-1 – Evakuierungsrohr 7 eine
hochwertige vakuumdichte Verbindung zu erhalten. Wie sich in den
Versuchen gezeigt hat, ist es mitunter schon ausreichend, wenn durch
ein leichtes mechanisches Aufrauhen, Schleifen bzw. sonstiges Bearbeiten
die Oxidschicht mindestens partiell an mindestens der abzudichtenden
Oberfläche
zerstört
oder aufgerissen wird. Dies kann entweder noch vor dem Evakuieren oder
aber auch unmittelbar vor dem Einbringen des Dichtmaterials 8-1 in
das Evakuierungsrohr 7 mittels einer einfachen mechanischen
Vorrichtung geschehen.
-
Das
vorgeschlagene vakuumdichte Verschließen unter Anwendung von metallischen
Dichtmaterialien 8-1 lässt
sich auch für
den Fall anwenden, dass das Evakuierungsrohr 7 aus Glas
(z. B. Kalk-Natron-Glas) besteht. Die für die Verbesserung der vakuumdichten
Verbindung des Dichtmaterials mit der Glasoberflä che bereitzustellenden Beschichtungen 700,
lassen sich bevorzugt durch bekannte nasschemische Abscheideverfahren,
durch vakuumbasierte Verfahren oder durch Tauchverfahren erzeugen.
-
Die
Verwendung von metallischen Dichtmaterialien hat darüber hinaus
den besonderen praktischen Vorteil, dass bei einem möglichen
Vakuumsverlust oder eventuellen Produktionsfehlern die Öffnung in
sehr einfacher Weise mittels Bohren oder dergleichen wieder geöffnet, eine
erneute Evakuierung durchgeführt
und das Rohr anschließend
wieder verschlossen werden kann.
-
Nach
Abkühlung
der Verglasungselemente 10 wird der noch überstehende
Teil des Evakuierungsrohres mechanisch abgetrennt und so ein optimaler
Abschluss ohne jeglichen Überstand über die
nominellen Abmessungen hergestellt (siehe 4A und 4B).
Der Überstand
lässt sich
problemlos auf Werte kleiner 1 mm bis 0 mm reduzieren. Die verbleibenden
abgetrennten Oberflächen
des Evakuierungsrohres 7 und des Dichtungsmaterials 8-1 können dann
bei Bedarf noch eingekapselt, versiegelt oder andersartig geschützt werden.
-
Für die Herstellung
des erfindungsgemäßen Verglasungselementes
ergibt sich somit der folgende vereinfachte Verfahrensablauf. Eine
Produktionsphase I umfasst zunächst
mindestens die folgenden Abläufe:
- – Zuschnitt
und Reinigung der Glasplatten 1, 2, 3 sowie
Einbringen von evtl. benötigten
Bohrungen usw., und
- – Zusammenlegen
des Glasstapels, und
- – Anbringen
der Evakuierungsrohre, und
- – Auftragen
der Randversiegelungs- und ggf. der sonstigen Dichtungsmaterialien.
-
Diese
Arbeitsschritte werden bei Raumtemperatur oder einer etwas darüber erhöhten Temperatur durchgeführt. Danach
wird das gesamte Paket gleichmäßig aufgeheizt.
-
In
einer Produktionsphase II werden die Dichtungsmaterialien aufgeschmolzen
und/oder ausgehärtet usw.
und somit die vakuumsdichten Versiegelungen am Rand des Verglasungselementes
und am Evakuierungsrohr hergestellt. Wichtig dabei ist, dass die
hierbei verwendete maximale Temperatur TII max gegenüber
der Glastransformationstemperatur TG der
für die
Glasplatten 1, 2 verwendeten Gläser vorzugsweise
um mindestens zirka 10 K niedriger ist. Bei Verwendung von Kalk-Natron-Gläsern sollte
daher für
TII max die Temperatur
auf einen Wert in Höhe
von etwa 540°C
begrenzt werden. Die genaue Größe der Prozesstemperatur,
die Prozessdauer usw. werden vorwiegend durch das jeweils konkret
verwendete Dichtungsmaterial festgelegt. Als minimale Prozesstemperatur
TII min wird durch
das konkret verwendete Randabdichtungsmaterial festgelegt, wobei zur
Sicherstellung eines guten Enddruckes in den Verglasungselementen 10 vorzugsweise
eine Temperatur von mindestens 200°C zur Anwendung gelangen sollte.
-
In
einer Produktionsphase III erfolgt während einer langsamen Abkühlung die
Evakuierung der Verglasungselemente so lange, bis der erforderliche
Enddruck von 10–1 Pa bis 10–3 Pa
und darunter vorliegt. Bei Verwendung von kristallisierenden Glasloten
kann die Verfestigung der Abdichtungen noch in der Phase II erfolgen,
so dass schon bei den höheren
Temperaturen mit einer Evakuierung begonnen werden kann.
-
Werden
nun bei fortschreitender Abkühlung
die für
das Aufschmelzen der Dichtmaterialien erforderlichen Temperaturen
(minimale Temperatur TIV min zirka
80°C, maximale
Temperatur TIV max zirka
380°C, vorzugsweise
280°C) in
etwa erreicht, er folgt das vakuumdichte Verschließen dieser Öffnungen
(Produktionsphase IV). Die genaue Festlegung der Prozesstemperaturen
usw. ist in Abhängigkeit
von den jeweils konkret verwendeten Dichtmaterialien 8-1 sowie
den konkret eingesetzten Techniken durch den Anwender selbst festzulegen.
-
In
der Produktionsphase V werden die Verglasungselemente 10 auf
etwa Raumtemperatur abgekühlt und
lassen sich danach einer anschließenden Qualitätskontrolle
zuführen
oder können
weiterverarbeitet bzw. -veredelt werden usw..
-
Gemäß 5 kann
erfindungsgemäß die Evakuierungsöffnung im
Frontbereich der nach außen
gerichteten Glasscheiben 1 oder 2 vorgesehen sein.
Gegenüber
den herkömmlichen
Vakuum-Isoliergläsern kann mit
dieser Ausführungsform
die Abmessung des über
die Glasoberfläche
hinausragenden Überstandes
deutlich verringert werden. In den 5A bis 5C sind einige Varianten beispielhaft dargestellt.
Zunächst
wird in die äußere Glasscheibe 1 oder 2 eine
stufenförmige
Bohröffnung 710, 711 eingebracht.
Sollte die Glasplatte 3 vollständig umlaufend mit dem Randverbund 7 fest
verbunden sein, ist auch die Glasplatte 3 mit mindestens
einer ausreichenden Öffnung 712 zu
versehen, damit beide Volumina 4 gleichzeitig evakuiert
werden und sich keine Druckdifferenzen zwischen den beiden Kammern 4-1, 4-2 ausbilden
können.
Derartige Öffnungen
lassen sich an beliebigen Stellen anbringen, wobei es sich jedoch
als vorteilhaft erwies, wenn die Positionierung entsprechend 5A nahe der stufenförmigen Öffnung vorgenommen wird. Das
Evakuierungsrohr 7 wird nun in den äußeren Teil der stufenförmigen Bohrung 710 eingesetzt
und anschließend
das Dichtmaterial 600, das vorzugsweise aus dem gleichen
Material wie die Randabdichtung 7 besteht, angebracht.
-
Nach
dem Herstellen der Vakuumdichtheit sowie dem anschließenden Evakuieren
wird dann erfindungsgemäß das Dichtelement 8-1 aus
metallischem Dichtmaterial appliziert. In einem letzten Schritt
wird das Evakuierungsrohr 7 etwa an der Stelle 14 mechanisch
abtrennt und gegebenenfalls noch mit einer zusätzlichen Schutzeinrichtung
versehen.
-
In
einer weiteren Ausgestaltungsvariante kann nun sogar auch dieser,
noch immer verbliebene Restüberstand
eliminiert werden. Einige erfindungsgemäß vorgeschlagene Lösungen sind
in den 5B, 5C veranschaulicht,
wobei auch noch weitere Kombinationen bzw. Modifikationen möglich sind.
-
Zunächst wird
in den äußeren Teil
der stufenförmigen
Bohrung 710 ein Evakuierungsrohr 7 mit einem geringeren
Durchmesser derart eingefügt,
dass noch genügend
Dichtmaterial 600 zwischen dem Glas und dem Evakuierungsrohr
eingebracht werden kann. Die genaue Fixierung des Evakuierungsrohres 7 lässt sich auf
unterschiedliche Weise durchführen. 5B zeigt eine erste Möglichkeit, bei der eine wieder
zu entfernende Führungseinrichtung 713,
wie z. B. ein Rohr, eine Hülse
oder dergleichen, passend in die Bohrung 711 eingebracht
ist. Eine zweite Möglichkeit
zeigt 5C, bei der das Evakuierungsrohr 7 schon
vorab mit einen Kragen, einer Wulst oder dergleichen versehen ist
(siehe 7-3 in 5C), durch
welche das Rohr genau in den Öffnungen 710, 711 positioniert
und das für
das Einbringen des Dichtmaterials 600 erforderliche Volumen
definiert hergestellt werden kann. Nach Beendigung der einzelnen
erfindungsgemäßen Verfahrensschritte
lässt sich
am Schluss das über
die Glasoberfläche
hinausragende Evakuierungsrohr nahezu vollkommen bündig entfernen,
so dass die Gefahr für
eine Beschädigung
deutlich minimiert ist. Da die Querschnitte der abgedichteten Öffnungen
nur wenige Millimeter groß sind
und zudem das Aufbringen einer größeren Schutz kappe entfällt, sind
das Design und die Ästhetik
des erfindungsgemäßen Verglasungselementes
nicht oder nur sehr wenig eingeschränkt.
-
Weitere Ausführungsbeispiele
-
Ausführungsbeispiel
1
-
Insbesondere
unter den folgenden Bedingungen wurde ermöglicht, die Aufheiz- und Abkühlprozesse während der
Herstellung der Verglasungselemente deutlich zu verkürzen, ohne
dass sich unerwünschte
thermomechanische Spannungen im Verglasungselement 10 ausbilden
können.
Dadurch lassen sich die Produktionskosten weiter verringern.
-
Wie
sich in Versuchen gezeigt hat, wird dies dadurch erreicht, dass
für die
thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Glasplatten 1, 2, 3 (αGlas)
und des die Evakuierungsrohre unmittelbar umschließenden Randabdichtungsmaterials
(αS) zusätzlich
die Bedingung αGlas ≥ αS mit
(αGlas – αS) ≤ 8·10–7 K–1,
vorzugsweise ≤ 5·10–7 K–1 mindestens
im Temperaturbereich von 20°C
bis 300°C,
vorzugsweise bis zirka 500°C,
gilt.
-
Bei
der Verwendung von Kalk-Natron-Glas mit einer typischen chemischen
Zusammensetzung von 15% Na
2O, 10% CaO und
75% SiO
2 (in Mol-%) werden vorzugsweise
folgende Materialien verwendet:
Glasplatten 1, 2, 3: | αGlas zirka
9,4·10–6 K–1 (Bereich
20°C bis
300°C) |
Randabdichtung: | αS =
8,6 ... 9,4·10–6 K–1 |
Evakuierungsrohr: | αE =
7,8 ... 10,2·10–6 K–1 |
(z. B. entsprechend für die Differenz der thermischen
Ausdehnungskoeffizienten geltenden Bedingung Δα = (α
S – α
E)
von kleiner oder gleich ±8·10
–7 K
–1)
-
Auf
diese Weise wird ein optimales Spannungsprofil im System Glasplatten-Randabdichtung-Evakuierungsrohr
erzeugt, wodurch die Stabilität
des Verglasungselementes weiter verbessert wird.
-
Die
Anpassung der Ausdehnungskoeffizienten kann zum Beispiel durch eine Änderung
der Zusammensetzung bzw. die Zugabe weiterer Materialien usw. geschehen.
-
Ausführungsbeispiel
2
-
Eine
weitere Ausführung
sieht vor, dass die seitlich in die Randabdichtung eingebrachten
Evakuierungsrohre möglichst
nicht in unmittelbarer Nähe
zu den Glasplattenecken, sondern etwas beabstandet davon platziert
werden. Bei zum Beispiel einer rechteckigen Geometrie des Verglasungselementes
hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn sich die Evakuierungsrohre
genau mittig bzw. mindestens etwa mittig an den jeweiligen Längsseiten,
ganz besonders vorteilhaft an den jeweiligen längsten Seiten befinden. Gleiches lässt sich
auch auf andere Geometrien, wie zum Beispiel dreieckige, trapez- oder parallelogrammartige
Formen und dergleichen, übertragen.
Durch diese besondere Konstruktion ist es nun möglich, die Stabilität des Verglasungselementes
weiter zu steigern und die zum Evakuieren benötigte Zeit zu verkürzen.
-
Ausführungsbeispiel
3
-
In
einer weiteren Ausgestaltungsform ist vorgesehen, dass die für die Evakuierung
vorgesehenen Rohre auch für
das konvektive Aufheizen und/oder Abkühlen des inneren Bereiches
der Verglasungselemente während
der Produktion herangezogen werden. Auf diese Weise ist es nun möglich, eine
noch homogenere Temperaturverteilung in den Verglasungselementen
während
der Produktion bei einer gleichzeitig verkürzten Prozessdauer zu erhalten.
-
Zu
diesem Zweck sind mindestens zwei solcher Rohre an vorzugsweise
gegenüberliegenden
Stellen so anzubringen, dass eine gleichmäßige Gasströmung in den Räumen zwischen
den Glasplatten erzeugt wird. Zum Anschließen der Rohre an die Gebläseeinheit
oder dergleichen lassen sich die an den Evakuierungsrohren vorgesehenen
Kopplungseinrichtungen bzw. -hilfen wie z. B. Flansche, Adapter,
Wulsten usw. gleich mitnutzen.
-
Ausführungsbeispiel
4
-
In
einer weiteren Ausführung
wird vor dem Zusammenfügen
des Glasplattenstapels in mindestens einem der Räume zwischen den Glasplatten
ein Gettermaterial eingebracht, um das Vakuum weiter zu verbessern
und/oder zu stabilisieren. Die aktiven gas- und dampfbindenden Oberflächen können bekanntermaßen durch
eine Verdampfung oder auch durch chemische Reaktionen von Gettermaterialien
hergestellt werden. Die Anbringung von solchen Gettersubstanzen
enthaltenden Einrichtungen erfolgt mittels eines Glaslotes oder dergleichen
schon direkt während
des Zusammenlegens des Glasplattenstapels vorzugsweise auf den inneren
Oberflächen 1-2, 2-1 der
Glasplatten 1, 2. Als Gettermaterialien werden
mindestens eines der Elemente Barium, Magnesium, ganz besonders
bevorzugt der höher
schmelzenden Elemente wie Thorium, Zirkonium, Aluminium, Titan usw.,
enthaltende Stoffe, oder Kombinationen daraus verwendet. Die für die thermische
Verdampfung erforderliche Wärmeenergie
wird vorzugsweise durch Laser-, Mikrowellen- oder Induktionseinrichtungen
bereitgestellt.
-
Für die in
die seitliche Randabdichtung eingebrachten metallischen Evakuierungsrohre
werden die Gettermaterialien bzw. Gettereinrichtungen in ganz besonders
bevorzugter Weise direkt auf der Oberfläche des nach innen weisenden
Teiles des Evakuierungsrohres angebracht und dort lokal zur thermischen
Verdampfung gebracht. Das Rohr wird hierzu etwas länger ausgelegt
bzw. geometrisch so angepasst, damit genügend Gettermaterial im Inneren
des Verglasungselementes platziert werden kann und diese Stelle
von außen
für den
Laserstrahl gut erreichbar ist. Bei dieser besonderen Variante kann
nun unter Ausnutzung der guten Wärmeleitfähigkeit
des Metallrohres eine effektive Kühlung von außen erfolgen
und somit die thermische Belastung des Verglasungselementes bei
der Verdampfung des Gettermaterials deutlich verringert werden.
-
Die
gezeigten Ausführungsbeispiele
lassen sich nicht nur in der dargestellten Form verwenden, sondern
vielmehr sind auch beliebige Kombinationen aus diesen Beispielen
möglich.
Die in der vorstehenden Beschreibung, den Zeichnungen und den Ansprüchen offenbarten
Merkmale der Erfindung können
einzeln oder auch in Kombination für die Verwirklichung der Erfindung
in ihren verschiedenen Ausgestaltungen von Bedeutung sein.