DE102007011704A1 - Messvorrichtung für die Abbildung mit Terahertz-Strahlung - Google Patents

Messvorrichtung für die Abbildung mit Terahertz-Strahlung Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung zur Abbildung eines Objektbereichs mit Terahertz-Strahlung, umfassend - ein im Objektbereich angeordnetes Referenzobjekt, das Referenz-Strahlung abstrahlt; - eine Terahertz-Empfängereinheit mit einer Vielzahl von Terahertz-Detektorelementen; - einen deformierbaren Spiegel mit Aktoren, der die Terahertz-Strahlung vom Objektbereich und die vom Referenzobjekt kommende Referenz-Strahlung aufnimmt und in einen zur Terahertz-Empfängereinheit führenden Strahlengang reflektiert; - eine teildurchlässige optische Komponente, die im zur Terahertz-Empfängereinheit führenden Strahlengang dem deformierbaren Spiegel nachfolgt und welche wenigstens einen Teil der Referenz-Strahlung zu einem Wellenfrontsensor reflektiert; - ein Regelungssystem, das Messdaten vom Wellenfrontsensor verarbeitet und hieraus Steuersignale für die Aktoren des deformierbaren Spiegels zur Ausführung einer Wellenfrontkorrektur bestimmt.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung für die Abbildung mit Terahertz-Strahlung, insbesondere zur Abbildung eines großvolumigen Objektbereichs beziehungsweise über große Entfernungen mit einem Objektabstand von mehreren Metern mit Strahlung im Terahertz-Spektralbereich.
  • Unter Terahertz-Strahlung wird elektromagnetische Strahlung im Spektralbereich zwischen dem fernen Infrarot- und dem Mikrowellenbereich verstanden. Demnach liegt Terahertz-Strahlung in einem Frequenzband, das von 30 THz bis 300 GHz reicht, was Wellenlängen von einigen Mikrometern bis zu einigen Millimetern entspricht.
  • Aufgrund geringer Photonenenergien in der Größenordnung weniger Millielektronenvolt wirkt Terahertz-Strahlung im Gegensatz zur Röntgenstrahlung nicht ionisierend und ist folglich für biologisches Gewebe unschädlich. Diese vorteilhafte Eigenschaft ist insbesondere für die Anwendung von Terahertz-Strahlung für medizinisch-diagnostische Zwecke und zur Realisierung von Sicherheits- und Überwachungssystemen relevant. Darüber hinaus sind die meisten dielektrischen Materialien transparent für Terahertz-Strahlung, sodass Kleidung, Papier, Plastik und Leder von Terahertz-Strahlung durchstrahlt werden kann. Dagegen sind metallische Gegenstände beziehungsweise allgemein elektrisch leitfähige Gegenstände hoch reflektierend für Terahertz-Strahlung, sodass diese besonders vorteilhaft zur Erkennung von unter der Kleidung oder in Koffern versteckten Waffen und damit für die Überwachung von öffentlichen Bereichen, etwa Flughäfen und Bahnhöfen, eingesetzt werden kann.
  • Zusätzlich ist es aufgrund der voranstehend genannten selektiven Reflexion- und Absorptionseigenschaften mit Terahertz-Strahlung möglich, unterschiedliche Materialien, beispielsweise Sprengstoffe, durch Kleidung oder Verpackungsmaterialien hindurch erkennen zu können oder Terahertz-Strahlung für die Werkstoffprüftechnik und für die Lebensmittel- und Medikamententechnik einzusetzen. Exemplarisch wird zur Darlegung der Anwendungsmöglichkeiten von Terahertz-Strahlung auf die Druckschriften EP 0 093 566 B1 und die WO 2006/12 91 13 A1 verwiesen.
  • Eine weitere Eigenschaft von Terahertz-Strahlung ist deren hoher Absorptionsgrad für Wasser, sodass Terahertz-Strahlung in ein Wasser enthaltendes System und damit auch in den menschlichen Körper nur bis zu einer geringen Tiefe eindringt. Dies setzt medizinisch-diagnostischen Anwendungen von Terahertz-Strahlung Grenzen und beschränkt sie auf oberflächennahe Bereiche, etwa zur Diagnose von Karies oder Hautkrebs. Darüber hinaus tritt durch den Wasserdampf in der Luft bereits nach einem Laufweg von wenigen Metern eine starke Leistungsabschwächung ein, so dass auf Terahertz-Strahlung basierende Überwachungssysteme typische Reichweiten unter 10 m aufweisen.
  • Zur Abmilderung der voranstehenden Problematik werden hochempfindliche sensorische Systeme für Terahertz-Strahlung entwickelt. Eines der Prinzipien zur Detektion von Terahertz-Strahlung besteht in der Anwendung antennengekoppelter Bolometer, welche wie in der EP 0 903 566 B1 dargestellt, zu einer Sensormatrix zusammengesetzt werden können. Alternativ werden als Terahertz-Detektorelemente Heterodyn-Detektoren verwendet, welche, wie durch die WO 2006/129113 A1 offenbart, durch sukzessives Abrastern ein größeres Bildfeld aufnehmen können. Ferner ist es möglich, zur Detektion von Terahertz-Strahlung durch Mikrostrukturierung hergestellte photonische Kristalle zur Ausbildung von Kamerasystemen mit elektrooptischen Komponenten zu verbinden und so die von einem erwärmten Objekt, beispielsweise einem Menschen, ausgesandte Terahertz-Strahlung ohne weitere Beleuchtungsquellen zur Terahertz-Bildgebung zu verwenden. Ferner wird beispielhaft für eine Terahertz-Kamera auf die Offenbarung der WO 2004/038854 verwiesen.
  • Für die Bildgebung im Terahertz-Spektralbereich wird üblicherweise der Bereich, in dem sich das zu untersuchende Objekt befindet, durch eine Terahertz-Strahlungsquelle ausgeleuchtet. Terahertz-Strahlung kann hierfür nach unterschiedlichen Prinzipien erzeugt werden. Am einfachsten ist eine thermische Erzeugung durch Schwarzkörperstrahlung oder Gasentladungslampen, bevorzugt verbunden mit einer spektralen Filterung. Terahertz-Strahlung kann jedoch auch elektronisch erzeugt werden, etwa durch Halbleiter-Oszillatoren mit anschließender Frequenzvervielfachung oder durch supraleitende Josephson-Oszillatoren oder mittels Quantenkaskadenlasern, wie sie beispielsweise durch die US 2006/0153262 A1 und die US 2005/0058166 A1 offenbart werden. Alternativ kann mittels der Bestrahlung eines elektrisch vorgespannten Halbleiters mit einem kurzen Laserpuls durch die Freisetzung von Ladungsträgern und deren Beschleunigung im elektrischen Feld Terahertz-Strahlung emittiert werden. Die erzeugten Strahlungspulse korrespondieren zu einem Terahertz-Spektrum im Frequenzbereich, wobei durch eine Kopplung zur Phase des anregenden Laserpulses die entstehende Strahlung kohärent ist. Allerdings weisen die erzeugten Terahertz-Strahlungspulse ein breitbandiges Frequenzspektrum im Bereich von 10 GHz bis 50 THz auf. Für eine solche Terahertz-Strahlungsquelle wird exemplarisch auf die US 5729017 verwiesen. Eine weitere Möglichkeit zur Erzeugung von Terahertz-Strahlung ist die Verwendung von zwei zueinander frequenzverstimmter Laser, wobei die Differenzfrequenz Strahlungsanteile im Terahertz-Bereich aufweist.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Messvorrichtung anzugeben, die zur Abbildung eines Objektbereichs mittels Terahertz-Strahlung verwendet werden kann, wobei diese insbesondere zur Überwachung von größeren Freibereichen, wie beispielsweise von Eingangs- oder Durchgangspassagen in öffentlichen Gebäuden oder von Bahnsteigen, oder zur Ausführung einer Prüfaufgabe in einer Fertigungsstraße geeignet sein soll. Ferner sollte die Messvorrichtung über eine Distanz von vorzugsweise mehreren Metern eine beugungsbegrenzte Auflösung für die Bildgebung erreichen, sodass beispielsweise im Falle einer Überwachungsaufgabe eine Erkennung versteckter Gegenstände, insbesondere von Gefahrenstoffen, Waffen, Sprengstoff und A-, B- und C-Waffen, ermöglicht wird.
  • Die erfindungsgemäße Aufgabe wird durch die Merkmale des unabhängigen Anspruchs gelöst.
  • Die Erfinder haben erkannt, dass eine Messvorrichtung zur Bildgebung mit Terahertz-Strahlung, welche die voranstehende Aufgabe löst, eine der Terahertz-Empfängereinheit vorgeschalteten, deformierbaren Spiegel umfassen sollte. Dieser deformierbare Spiegel stellt einen räumlich auflösenden Phasenmodulator dar, der in Verbindung mit einem Wellenfrontsensor und einem Rekonstruktionsrechner Korrekturen an der Wellenfront in Echtzeit vornimmt, um eine beugungsbegrenzte Abbildung anzustreben. Hierbei wird der Zusammenhang zwischen einem Punktbild in der Bildebene und der zugeordneten Phasenfunktion in einer Pupille des Systems ausgenutzt. Wird demnach der Wellenfrontsensor in einer Pupille der Messvorrichtung angeordnet, so ist es möglich, durch die Untersuchung eines Referenzobjekts dessen Wellenfront bekannt ist (üblicherweise ein angenähert punktförmiges Objekt), am Wellenfrontsensor Phasenstörungen zu detektieren, die aus statistischen Schwankungen des Brechungsindexes entlang des Laufwegs der Strahlung vom Referenzobjekt zur Messvorrichtung entstehen. Diese werden wiederum insbesondere durch auf Turbulenzen zurückzuführende zeitliche und räumliche Schwankungen der Temperatur und des Wassergehalts der Luft bewirkt. Auf diese Weise lassen sich, ausgehend von einem Referenzobjekt, durch eine Differenzbildung der tatsächlich vorliegenden Wellenfront vom bekannten Idealfall die für die Kompensation der deformierten Welle notwendigen Korrekturgrößen ermitteln, die sodann auf den deformierbaren Spiegel aufgeschaltet werden. Hierfür ist der deformierbare Spiegel entsprechend zum Wellenfrontsensor in einer Pupille der Messvorrichtung angeordnet.
  • Das aus Anwendungen für die Astronomie bekannte Prinzip einer Korrektur von Phasenaberrationen wird demnach auf eine Messvorrichtung für die Bildgebung im Terahertz-Bereich übertragen. Für den Bereich der Astronomie wird als Referenz meist ein Fixstern herangezogen. Für die Erfindung bestehen zwei unterschiedliche Möglichkeiten für die Wahl des Referenzobjekts, das sich im abgebildeten Objektbereich befindet. Gemäß einer ersten Variante strahlt das Referenzobjekt Terahertz-Strahlung ab, wobei es entweder als Reflektor oder als Terahertz-Strahlungsquelle ausgebildet ist. Für eine zweite Variante der Erfindung weicht die vom Referenzobjekt ausgehende Strahlung bezüglich ihrer Wellenlänge von der für die Abbildung verwendete Terahertz-Strahlung ab, wobei bevorzugt eine Referenzwellenlänge im Infrarotbereich und besonderes bevorzugt im Bereich der Wasserlinien des Spektrums, das heißt den Absorptionsbanden für Wasser im Gaszustand, zum Beispiel bei den Wellenzahlen 1595 cm–1, 3652 cm–1 und 3756 cm–1, Verwendung findet.
  • Für die erste Variante wird als Referenzobjekt, dessen ideale Wellenfront bekannt ist, bevorzugt ein Terahertz-Strahlung aussendendes Objekt, insbesondere ein Reflektor, verwendet, dessen Ausdehnung bevorzugt so hinreichend klein ist, dass sein Bild als punktförmig angenommen werden kann. Vorteilhafterweise wird ein Reflektor mit einer metallischen Oberfläche verwendet und dieser im abzubildenden Objektbereich so positioniert, dass dieser nicht von einem durch den Objektbereich bewegten Gegenstand oder eine Person verdeckt werden kann. Darüber hinaus ist dessen Anordnung so zu wählen, dass die vom Reflektor ausgehende Strahlung im Wesentlichen den gleichen Atmosphärenbereich wie die vom zu untersuchenden Objekt ausgehende Strahlung durchquert. Hierzu wird bevorzugt, den Reflektor im Hintergrund des ausgewählten Objektbereichs zu platzieren.
  • Für die zweite Variante, bei der die vom Referenzobjekt abgestrahlte Referenzstrahlung, welche dem Wellenfrontsensor über den deformierbaren Spiegel zugeleitet wird, nicht dem Empfindlichkeitsbereich der Terahertz-Detektorelemente entspricht, wird bevorzugt zur Ausführung der Phasenkorrekturen auf eine Referenzstrahlung im fernen Infrarot zurückgegriffen. Hierzu kann als Referenzobjekt wiederum ein Spiegel verwendet werden, der von einer separaten Strahlungsquelle zur Erzeugung der Referenzstrahlung ausgeleuchtet wird.
  • Die zweite Variante für die Referenzstrahlung führt zwar zur Vereinfachung der Ausbildung des Wellenfrontsensors, sodass hierfür keine für den Terahertz-Bereich empfindlichen sensorischen Elemente verwendet werden müssen. Zusätzlich wird kein Anteil der Terahertz-Strahlung, die zur Abbildung des Objekts verwendet wird, zum Wellenfrontsensor abgezweigt. Nachteilig bei einer Verwendung einer Referenzstrahlung außerhalb des Terahertz-Strahlungsbereichs ist der unvermeidbare statistische Fehler aufgrund ungleicher optischer Wege der für die Bildgebung verwendeten Terahertz-Strahlung und der Referenzstrahlung. Dieser Fehler ist im Rahmen des fachmännischen Könnens mit weiteren Fehlerquellen, etwa dem Photonenrauschen der Detektoren des Wellenfrontsensors und den durch den endlichen Abstand des Reflektors zur Messvorrichtung bedingten fokalen Anisoplanatismus, zu vergleichen und entsprechend eine bevorzugte Frequenz für die Referenzstrahlung zu verwenden. Hierbei wird insbesondere als Referenzfrequenz eine IR-Linie für Wasser im gasförmigen Zustand ausgewählt, da Schwankungen des Wassergehalts im Laufweg neben den nicht korrigierbaren Absorptionseffekten wesentlich zur Aberration der Wellenfronten der Terahertz-Strahlung aufgrund statistischer Unterschiede in der optischen Weglänge beitragen.
  • Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung wird die natürliche von den zu untersuchenden Objekten beziehungsweise Personen abgestrahlte Terahertz-Strahlung vom bildgebenden System verarbeitet, sodass eine Ausleuchtung des Objektbereichs mit Hilfe einer Terahertz-Strahlungsquelle nicht notwendig ist. Für diesen Fall muss das Referenzobjekt für die erste Variante als Terahertz-Strahlungsquelle ausgebildet sein, im einfachsten Fall wird die Strahlungserzeugung thermisch erfolgen. Für die zweite Variante wird das Referenzobjekt bevorzugt Strahlung im Infrarotbereich erzeugen. Dies kann ein Spektrum aus einer oder mehrerer IR-Linien sein, wobei insbesondere Absorptionsbanden von Wasser bevorzugt werden. Zusätzlich zu den voranstehend genannten Absorptionsbanden für gasförmiges Wasser wird eine Wellenlänge im Bereich von λ = 1500 nm bevorzugt. Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltungsalternative wird ein breitbandiges oder durchstimmbares Spektrum wiederum bevorzugt im IR-Bereich verwendet.
  • Besonders bevorzugt wird die Ausgestaltung der Messvorrichtung mit einer Einrichtung zur Ausleuchtung des Objektbereichs mittels einer Terahertz-Strahlungsquelle. Ferner werden vorteilhafterweise die Komponenten der Messvorrichtung als Baueinheit zusammengefasst, in die insbesondere der deformierbare Spiegel, der Wellenfrontsensor und das zugeordnete Regelungssystem sowie die Terahertz-Empfängereinheit integriert sind. Das Innere dieser Baueinheit kann dann kontinuierlich mittels eines Schutzgases gespült und klimatisiert werden. Für die zweite Variante der Referenzstrahlung wird ferner für den Fall, dass einer Referenzstrahlungsquelle zur Ausleuchtung eines reflektiven Referenzobjekts verwendet wird, diese bevorzugt in die Baueinheit integriert.
  • Der Vorteil einer als Baueinheit zusammengefassten Anordnung besteht darin, dass zur Ausführung einer Messung nur das im Objektbereich angeordnete Referenzobjekt, typischerweise ein Reflektor für Terahertz-Strahlung, zur Realisierung der Messvorrichtung installiert werden muss, so dass mehrere dieser erfindungsgemäßen, als Baueinheiten zusammengefassten Messvorrichtungen zu einer Messanordnung kombiniert werden können, wobei sich die jeweils einzelnen Messvorrichtungen zugeordneten Objektbereiche so überlappen, dass ein großes Raumvolumen untersucht werden kann. Alternativ kann die Messvorrichtung zur Ausbildung einer Messanordnung bestimmte Winkelstellungen zueinander einnehmen, sodass beispielsweise eine Beobachtung aus mehreren Richtungen oder tomographische Aufnahmen realisiert werden können.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Messvorrichtung wird mit hochenergetischer Terahertz-Strahlung im Grenzbereich zum Infraroten, beispielsweise mit einer Wellenlänge von 10 μm, gearbeitet. Dies ist deshalb vorteilhaft, da zum einen die beugungsbegrenzte Auflösung hoch ist und gleichzeitig die voranstehend genannten Vorteile der Terahertz-Strahlung genützt werden können.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Figuren genauer beschrieben, diese zeigen im Einzelnen Folgendes:
  • 1 stellt schematisch eine erfindungsgemäße Messvorrichtung dar.
  • 2 zeigt die Kombination mehrerer erfindungsgemäßer Messvorrichtungen zu einer Messanordnung für die Überwachung größerer Volumina.
  • 1 zeigt schematisch den Aufbau der erfindungsgemäßen Messvorrichtung 1. Diese umfasst eine Terahertz-Empfängereinheit 8, die bevorzugt zur Bildgebung eine Vielzahl von Terahertz-Detektorelementen, die im Einzelnen in 1 nicht dargestellt sind, aufweist. Diese empfängt Terahertz-Strahlung von einem abzubildenden Objekt 3, wobei im Strahlengang zwischen Objekt 3 und Terahertz-Empfängereinheit 8 wenigstens ein deformierbarer Spiegel 6 angeordnet ist, der eine Vielzahl von Aktoren 13 aufweist, sodass die Spiegelfläche zur Phasenmodulation eingestellt werden kann.
  • Mögliche Ausgestaltungen des deformierbaren Spiegels 6 umfassen anpassbare monolithische Spiegel, segmentierte Spiegel, Membranspiegel oder die Anordnung mikromechanischer Korrektoren. So kann beispielsweise ein Membranspiegel eine dünne, hochflexible Membran aus Silizium, Quarz oder Mylar aufweisen, welche zusätzlich eine metallische Reflexionsschicht für die Terahertz-Strahlung umfassen kann. Diese Membran wird durch zugeordnete Aktoren 13 entsprechend der Phasenmodulation deformiert, wobei zur Aktuation piezoelektrische, magnetostatische oder elektrostatische Kräfte angewandt werden können. Mögliche Ausführungsformen umfassen bimorphe Aktoren, für die beispielsweise eine Piezokeramik, etwa Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) und ein Substrat, etwa amorphes SiO2, miteinander verbunden werden. Diese Verbindung kann als Klebeverbindung hergestellt werden oder die Piezokeramik wird über einen Sol-Gel-Prozess mit nachfolgendem Sinter- und Polarisierungsschritt aufgebracht. Als mögliche Ausführungsform kann die Aktorik eine axial oder tangential zur Trägerfläche verlaufende Stellbewegung ausführen.
  • Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung des deformierbaren Spiegels umfasst einzeln ansteuerbare Facettenelemente, die von einer Vielzahl von Aktuatoren getragen werden. Durch die Ansteuerung der Aktuatoren, die wiederum bevorzugt ein adaptives Material und insbesondere ein Ferroelektrika, eine Formgedächtnislegierung oder ein elektrisch aktives Polymer umfassen, kann eine einzelne Spiegelfacette nanometergenau in drei Raumrichtungen translatiert und gemäß der Euler-Winkel verkippt werden. Vorteilhaft ist ferner die Verwendung eines Verbundwerkstoffs aus einem passiven Trägersubstrat und einem adaptiven Material zur Ausbildung der Aktoren. Für mögliche Ausgestaltungen des deformierbaren Spiegels und der zur Deformation verwendeten Aktoren wird auf die Monographien „Principles of Adaptive Optics", Robert K. Tyson, Academic Press. Inc., 1991, ISBN 0-12-705900-8 und „Ein Beitrag zur Untersuchung von Bimorphspiegeln für die Präzisionsoptik", Dr.-Ing. Timo Richard Möller, Shaker Verlag Aachen, 2002, ISBN 3-8322-0555-1 verwiesen, deren Offenbarungsgehalt vollumfänglich in die vorliegende Anmeldung aufgenommen wird. Ferner schließt der in der vorliegenden Anmeldung verwendet Begriff eines deformierbaren Spiegels jede Form eines Phasenmodulators ein, der zur Ausführung der Phasenkonjugation zur Wellenfrontkorrektur verwendet werden kann.
  • Die Stellsignale für die Aktuatoren 13 werden dem deformierbaren Spiegel 6 von einer Regelungseinrichtung 10 zugeführt, welche Signale vom Wellenfrontsensor 9 verarbeitet. Diesem Wellenfrontsensor 9 wird Strahlung zugeführt, die im Strahlengang nach dem deformierbaren Spiegel 6 und demnach zwischen der Terahertz-Empfängereinheit 8 und dem deformierbaren Spiegel 6 ausgekoppelt wird. Dies kann beispielsweise mit Hilfe einer teildurchlässigen optischen Komponente 7, etwa eines Polarisationsstrahlteilers, bewirkt werden. Im Fall der zweiten Variante, bei der eine Referenzstrahlung außerhalb des Terahertz-Spektrums verwendet wird, erfolgt bevorzugt diese Auskopplung frequenzabhängig, sodass nur die Referenzstrahlung dem Wellenfrontsensor zugeführt wird.
  • Der Wellenfrontsensor 9 bestimmt in einer Pupille der Messvorrichtung 1 die aktuell vorliegende Phasenfront und führt diese Messdaten der Regelungseinrichtung 10 zu, in der diese Phasenfront mit den abgespeicherten Idealdaten verglichen werden. Die Idealdaten beruhen auf der Kenntnis eines Referenzobjekts 4, das im Objektbereich 3 angeordnet ist, sodass die vom Referenzobjekt 4 abgestrahlte Referenzstrahlung im Wesentlichen den gleichen optischen Laufweg wie die vom zu vermessenden Objekt 3 abgegebene Objektstrahlung aus dem Terahertz-Spektrum durchläuft. Die Referenzstrahlung wird entsprechend der Objektstrahlung durch die Atmosphäre zwischen dem Objektbereich und der Messvorrichtung phasendeformiert. Auf diese Weise ist es möglich, aus den Idealdaten der bekannten Wellenfront für die Referenzstrahlung im Regelungssystem 10 Korrekturterme zu berechnen, die in Echtzeit um 180° phasenverschoben zur Phasenmodulation auf den deformierbaren Spiegel 6 aufgeschaltet werden. Es erfolgt demnach eine Phasenkonjugation. Entsprechend erfolgt die Ansteuerung der dem deformierbaren Spiegel 6 zugeordneten Aktoren 13.
  • Als Wellenfrontsensor 9 kann nach dem Shack-Hartmann-Prinzip eine regelmäßige Matrix von Mikrolinsen übereinstimmender Brechweite vorgesehen sein, wobei jeder Mikrolinse ein sensorisches Element für die vorliegende Wellenlänge der Referenzstrahlung zugeordnet wird. Aus der lateralen Abweichung des Beleuchtungsschwerpunkts für jede der Mikrolinsen aus der erwarteten Solllage wird die mittlere Neigung der Wellenfront und damit deren Gradient über der Mikrolinse gemessen. Aus dieser Messung der Subapertur kann auf die Wellenfront selbst zurückgerechnet werden, wobei diese Berechnung meist über Zernike Polynome oder Karhunen-Loeve-Funktionen erfolgt. Alternativ zum Shack- oder Hartmann-Sensor kann die Wellenfront mit Hilfe von Krümmungssensoren, Pyramidensensoren oder mittels interferometrischer Messungen bestimmt werden, wobei für letztere eine hinreichende Kohärenz der Referenzstrahlung vorausgesetzt wird.
  • Für die erfindungsgemäße Messvorrichtung 1 bestehen unterschiedliche Ausgestaltungsalternativen im Hinblick auf die Ausleuchtung des Objektbereichs mit einer Terahertz-Strahlungsquelle und bezüglich der Ausgestaltung des für die Wellenfrontkorrektur verwendeten Referenzobjekts:
    Gemäß einer ersten bevorzugten Ausgestaltung wird der Objektbereich 2 durch eine Terahertz-Strahlungsquelle 5 beleuchtet, sodass das zu untersuchende Objekt 3 gemäß seiner charakteristischen Reflexions- und Absorptionseigenschaften einen Teil der einfallenden Terahertz-Strahlung zurückreflektiert, welche dann zur Bildgebung verwendet wird. Diese Anordnung wird insbesondere im Hinblick auf eine zur Bildgebung ausreichende Objektstrahlung bevorzugt. Für diese Ausgestaltungsalternative ist das Referenzobjekt im einfachsten Fall ein Reflektor für Terahertz-Strahlung, das heißt ein Gegenstand mit einer metallischen Oberfläche, sodass die Referenzstrahlung und die Objektstrahlung beide aufgrund der Bestrahlung durch die Terahertz-Strahlungsquelle 5 entstehen und somit im übereinstimmenden Frequenzbereich liegen. Demnach wird der Wellenfrontsensor 9 für Terahertz-Strahlung ausgelegt, das heißt im Fall eines Wellenfrontsensors nach dem Shack-Hartmann-Prinzip werden die den einzelnen Mikrolinsen zugeordneten sensorische Elemente die einfallende Terahertz-Strahlung detektieren.
  • Gemäß einer Weitergestaltung wird anstatt eines Reflektors ein Referenzobjekt 4 verwendet, welches eine Referenzstrahlung abstrahlt, die nicht in dem für die Bildgebung verwendeten Terahertz-Strahlungsbereich liegt. Beispielsweise kann für den bevorzugten Fall, dass zur Terahertz-Bildgebung der Strahlungsbereich von 10 μm verwendet wird, eine Referenzstrahlung angewandt werden, die weiter in den Infrarotbereich verschoben ist. Der Vorteil besteht darin, dass der Wellenfrontsensor bezüglich seiner sensorischen Elemente einfach ausgebildet werden kann. Nachteilig ist jedoch, dass zusätzliche statistische Fehler aufgrund unterschiedlicher optischer Weglängen von Objektstrahlung und Referenzstrahlung entstehen.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Messvorrichtung 1 wird auf eine Terahertz-Strahlungsquelle 5 verzichtet und stattdessen die unmittelbar vom Objekt abgestrahlte natürliche Terahertz-Strahlung mit Hilfe einer hochempfindlichen Terahertz-Empfängereinheit 8 detektiert. Auch für diesen Fall ist erfindungsgemäß eine Phasenkorrektur mit Hilfe eines deformierbaren Spiegels ausgehend von Daten eines Wellenfrontsensors vorgesehen, wobei wiederum als Referenzobjekt ein Strahlungsquelle für Terahertz-Strahlung (ein thermisches Element) oder eine von der Objektstrahlung spektral unterschiedliche Referenz, beispielsweise im Infraroten, verwendet werden kann.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung werden alle Komponenten der Messvorrichtung 1 mit Ausnahme des Referenzobjekts 4 als eine Baueinheit 12 zusammengefasst, insbesondere sind dies die Terahertz-Empfängereinheit 8, der deformierbare Spiegel 6, die teildurchlässige optische Komponente 7, der Wellenfrontsensor 9 und das Regelungssystem 10. Weiterhin können zur Strahlführung zusätzliche refraktive Optiken vorgesehen sein sowie zusätzliche Systemkomponenten 11, etwa eine Leistungsversorgung beziehungsweise Vorrichtung zur Datenerfassung und Datenspeicherung für die Terahertz-Empfängereinheit 8. Falls eine separate Referenzstrahlungsquelle 15 verwendet wird, so wird diese bevorzugt in die Baueinheit 12 aufgenommen. Ferner ist eine Ausgestaltung vorteilhaft, bei der der Innenbereich der Baueinheit 12 beziehungsweise jener Teil derselben, in dem die Terahertz-Strahlung und die Referenzstrahlung geführt werden, mittels eines Schutzgases kontinuierlich gespült wird, um den Gehalt an Wasserdampf möglichst gering zu halten. Weiterhin führt eine Klimatisierung beziehungsweise eine möglichst gleichmäßige Temperatureinstellung wenigstens im Bereich des Strahlengangs zu einer Verringerung der in der Baueinheit zusätzlich auftretenden Wellenfrontaberrationen.
  • Aufgrund der bevorzugten kompakten Bauweise unter Einschluss aller wesentlichen Komponenten in einer Baueinheit 12 ist es möglich, eine Messanordnung mit einer Vielzahl von erfindungsgemäßen Messvorrichtungen 1 auszubilden. Dies kann beispielsweise eine tomographische Anordnung zur dreidimensionalen Erfassung eines zu untersuchenden Objekts sein, etwa zu Prüfzwecken oder für den medizinisch-diagnostischen Bereich.
  • Eine andere vorteilhafte Verwendung besteht in der Überwachung großer Raumvolumina, beispielsweise durch erfindungsgemäße, bildgebende Messvorrichtungen, die in einem öffentlichen Bereich installiert sind. Ein Beispiel hierfür ist in 2 dargestellt. Schematisch vereinfacht werden drei erfindungsgemäße Messvorrichtungen 1.1, 1.2 und 1.3 gezeigt, die jeweils aus den Baueinheiten 12.1, 12.2 und 12.3 sowie den zugeordneten Referenzobjekten 4.1, 4.2 und 4.3 bestehen, die vorteilhafterweise Reflektoren für Terahertz-Strahlung sind. Jeder einzelnen Messvorrichtung 1.1, 1.2 und 1.3 sind jeweils die Objektbereiche 2.1, 2.2 und 2.3 zugeordnet. Hierbei wird ein Objektbereich jeweils durch die optischen Eigenschaften der zugeordneten Messvorrichtung festgelegt, insbesondere durch den Schärfetiefebereich und die Größe des Bildfelds sowie des von der Terahertz-Strahlungsquelle ausgeleuchteten Bereichs.
  • Vorteilhaft überschneiden sich für eine erfindungsgemäße Messanordnung die Objektbereiche der miteinander kombinierten Messvorrichtungen, sodass beispielsweise zur Sicherheitsüberwachung ein großvolumiger Raumbereich überdeckt werden kann. Exemplarisch ist hierzu in 2 ein Durchgang dargestellt, der durch die zwei Wände 21 und 22 beschränkt wird und in dem insbesondere ein Zugangsbereich über eine Treppe 20 zu überwachen ist. Hierzu sind die beiden erfindungsgemäßen Messvorrichtungen 1.1 und 1.2 bezüglich ihrer zugeordneten Objektbereiche aufeinander abfolgend angeordnet, während die dritte erfindungsgemäße Messvorrichtung 1.3 eine andere Blickrichtung abdeckt.
  • Durch die erfindungsgemäße Messvorrichtung ist es möglich, Bilder eines Objekts im Spektralbereich der Terahertz-Strahlung mit einer beugungsbeschränkten Auflösung aufzunehmen, sodass auch über einen hinreichenden Abstand hochaufgelöste Bilder entstehen. Hierbei ist es aufgrund der vorgeschlagenen kompakten Baueinheit, umfassend die Komponenten für den Empfang der Terahertz-Strahlung, für die Phasenkorrektur sowie eventuell für die Terahertz-Strahlungsquelle, möglich, mit einer Vielzahl solcher erfindungsgemäßer Messvorrichtungen eine Messanordnung zu gestalten, mit der ein Raumbereich mit großem Volumen mittels Terahertzbildgebung überwacht werden kann. Ferner sind Überwachungen aus verschiedenen Raumrichtungen möglich, wobei bei einer entsprechenden Anordnung der Messvorrichtungen eine 3-dimensionale Auswertung der Bilddaten möglich ist.
  • 1, 1.1, 1.2, 1.3
    Messvorrichtung
    2, 2.1, 2.2 2.3
    Objektbereich
    3
    Objekt
    4, 4.1, 4.2, 4.3
    Referenzobjekt
    5
    Terahertz-Strahlungsquelle
    6
    deformierbarer Spiegel
    7
    teildurchlässige optische Komponente
    8
    Terahertz-Empfängereinheit
    9
    Wellenfrontsensor
    10
    Regelungssystem
    11
    Systemkomponenten
    12, 12.1, 12.2, 12.3
    Baueinheit
    13
    Aktoren
    15
    Referenzstrahlungsquelle
    20
    Treppe
    21, 22
    Wände
    100
    Messanordnung
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • - EP 0093566 B1 [0004]
    • - WO 2006/129113 A1 [0004, 0006]
    • - EP 0903566 B1 [0006]
    • - WO 2004/038854 [0006]
    • - US 2006/0153262 A1 [0007]
    • - US 2005/0058166 A1 [0007]
    • - US 5729017 [0007]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - Principles of Adaptive Optics", Robert K. Tyson, Academic Press. Inc., 1991, ISBN 0-12-705900-8 [0024]
    • - „Ein Beitrag zur Untersuchung von Bimorphspiegeln für die Präzisionsoptik", Dr.-Ing. Timo Richard Möller, Shaker Verlag Aachen, 2002, ISBN 3-8322-0555-1 [0024]

Claims (20)

  1. Messvorrichtung (1) zur Abbildung eines Objektbereichs (2) mit Terahertz-Strahlung, umfassend 1.1 ein im Objektbereich (2) angeordnetes Referenzobjekt (4), das Referenz-Strahlung abstrahlt; 1.2 eine Terahertz-Empfängereinheit (8) mit einer Vielzahl von Terahertz-Detektorelementen; 1.3 ein deformierbarer Spiegel (6) mit Aktoren (13), der die Terahertz-Strahlung vom Objektbereich (2) und die vom Referenzobjekt (4) kommende Referenz-Strahlung aufnimmt und in einen zur Terahertz-Empfängereinheit (8) führenden Strahlengang reflektiert; 1.4 eine teildurchlässige optische Komponente (7), die im zur Terahertz-Empfängereinheit (8) führenden Strahlengang dem deformierbaren Spiegel (6) nachfolgt und welche wenigstens einen Teil der Referenz-Strahlung zu einem Wellenfrontsensor (9) reflektiert; 1.5 ein Regelungssystem (10), das Messdaten vom Wellenfrontsensor (9) verarbeitet und hieraus Steuersignale für die Aktoren (13) des deformierbaren Spiegels (6) zur Ausführung einer Wellenfrontkorrektur bestimmt.
  2. Messvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messvorrichtung (1) ferner eine Terahertz-Strahlungsquelle (5) umfasst, die Terahertz-Strahlung in den Objektbereich (2) emittiert.
  3. Messvorrichtung (1) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzobjekt (4) ein Reflektor für Terahertz-Strahlung ist.
  4. Messvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzobjekt (4) eine Terahertz-Strahlungsquelle ist.
  5. Messvorrichtung (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass vom Referenzobjekt (4) eine Referenzstrahlung mit einer Wellenlänge außerhalb des Terahertz-Spektrums abgegeben wird und die teildurchlässige optische Komponente (7) im Wesentlichen die Referenzstrahlung zum Wellenfrontsensor (9) reflektiert.
  6. Messvorrichtung (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass als Referenzstrahlung eine Absorbtionsbande für gasförmiges Wasser ausgewählt wird.
  7. Messvorrichtung (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass für die Referenzstrahlung eine Wasserlinie im IR-Spektrum und besonders bevorzugt eine Wellenlänge von λ = 1500 nm ausgewählt wird.
  8. Messvorrichtung (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass als Referenzstrahlung ein breitbandiges oder durchstimmbares IR-Spektrum ausgewählt wird.
  9. Messvorrichtung (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 5–8, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzobjekt (4) als Reflektor ausgebildet ist und von einer Referenzstrahlungsquelle (15) mit einer Strahlung außerhalb des Terahertz-Spektrum ausgeleuchtet wird.
  10. Messvorrichtung (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 2–9, dadurch gekennzeichnet, dass die Terahertz-Strahlungsquelle (5), die Terahertz-Empfängereinheit (8), der deformierbaren Spiegel (6), die teildurchlässige optische Komponente (7) und der Wellenfrontsensor (9) Teil einer Baueinheit (12) sind.
  11. Messvorrichtung (1) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens die strahlungsführenden Bereiche der Baueinheit (12) mit einem Schutzgas zur Eliminierung von Wasser gespült werden und/oder wenigstens dort eine Temperierung zur Homogenisierung der Temperaturverteilung versehen ist.
  12. Messvorrichtung (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 1–11, dadurch gekennzeichnet, dass die Abbildung mit Terahertz-Strahlung im Spektralbereich um 10 μm ausgeführt wird.
  13. Messvorrichtung (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 1–12, dadurch gekennzeichnet, dass der deformierbare Spiegel (6) als anpassbarer monolithische Spiegel, segmentierter Spiegel oder Membranspiegel ausgebildet ist oder eine Anordnung mikromechanischer Korrektoren umfasst.
  14. Messvorrichtung (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 1–13, dadurch gekennzeichnet, dass diese Spiegelelemente aufweist, welche einen Verbundwerkstoff aus einem passiven Trägersubstrat und einem adaptiven Material, insbesondere einem Ferroelektrika, einem magnetostriktiven oder einem elektrostriktiven Material, einer Formgedächtnislegierung oder einem elektrisch aktiven Polymer, umfassen.
  15. Messvorrichtung (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 1–14, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzobjekt (4) so klein gewählt wird, dass es angenähert punktförmig abgebildet wird.
  16. Messvorrichtung (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 1–15, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzobjekt (4) im Hintergrund des Objektbereichs (2) angeordnet ist.
  17. Messanordnung (100) umfassend eine Vielzahl von Messvorrichtungen (1.1, 1.2, 1.3) nach einem der voranstehenden Ansprüche.
  18. Messanordnung (100) nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Objektbereiche (2.1, 2.1, 2.3) der einzelnen Messvorrichtungen (1.2, 1.2, 1.3) aneinander angrenzen oder einander teilweise überlappen.
  19. Messanordnung (100) nach einem der Ansprüche 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Messanordnung (100) ein gemeinsamer Objektbereich zugeordnet ist und die einzelnen Messvorrichtungen (1.1, 1.2, 1.3) Teile des gemeinsamen Objektbereichs aus unterschiedlichen Richtungen abbilden.
  20. Messanordnung (100) nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass eine 3-dimensionale Abbildung ausgeführt wird.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009039198B3 (de) * 2009-08-31 2011-02-17 Bundesrepublik Deutschland, vertr.d.d. Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, d.vertr.d.d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt Terahertz-Strahlungsempfänger
CN102052967A (zh) * 2010-11-26 2011-05-11 中国科学院紫金山天文台 多像元超导探测器接收系统及太赫兹信号检测方法
DE102019108299A1 (de) * 2019-03-29 2020-10-01 CiTEX Holding GmbH THz-Messvorrichtung und THz-Messverfahren zum Ermitteln einer Schichtdicke oder eines Abstandes eines Messobjektes
DE102020113306A1 (de) 2020-05-15 2021-11-18 Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Vorrichtung zum Senden und/oder Empfangen von Terahertz-Strahlung und Steuereinrichtung hierfür

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5729017A (en) 1996-05-31 1998-03-17 Lucent Technologies Inc. Terahertz generators and detectors
WO2004038854A2 (en) 2002-10-25 2004-05-06 Agence Spatiale Europeenne Sub-millimetre wavelength camera
US6734974B2 (en) * 2001-01-25 2004-05-11 Rensselaer Polytechnic Institute Terahertz imaging with dynamic aperture
WO2004083796A1 (en) * 2003-03-21 2004-09-30 Teraview Limited Spectroscopy apparatus and associated technique
EP0903566B1 (de) 1997-09-16 2004-12-01 Metorex International OY Bildgebendes System mit Submillimeterwellen
EP1368692B1 (de) * 2001-09-28 2005-03-09 Raytheon Company System zur hochleistungsstrahl-kontrolle mit adaptiver optik im leistungsarmen strahlengang
US20050058166A1 (en) 2003-09-12 2005-03-17 Qing Hu Metal waveguides for mode confinement in terahertz lasers and amplifiers
WO2005086620A2 (en) * 2003-10-10 2005-09-22 L-3 Communications Security And Detection Systems Mmw contraband screening system
US20060056586A1 (en) * 2004-09-15 2006-03-16 Naohito Uetake Method and equipment for detecting explosives, etc.
WO2006068689A2 (en) * 2004-12-20 2006-06-29 Luna Innovations Incorporated Acoustic concealed item detector
US20060153262A1 (en) 2002-10-10 2006-07-13 Teraview Limited Terahertz quantum cascade laser
WO2006129113A1 (en) 2005-06-02 2006-12-07 Thruvision Limited Scanning method and apparatus

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5729017A (en) 1996-05-31 1998-03-17 Lucent Technologies Inc. Terahertz generators and detectors
EP0903566B1 (de) 1997-09-16 2004-12-01 Metorex International OY Bildgebendes System mit Submillimeterwellen
US6734974B2 (en) * 2001-01-25 2004-05-11 Rensselaer Polytechnic Institute Terahertz imaging with dynamic aperture
EP1368692B1 (de) * 2001-09-28 2005-03-09 Raytheon Company System zur hochleistungsstrahl-kontrolle mit adaptiver optik im leistungsarmen strahlengang
US20060153262A1 (en) 2002-10-10 2006-07-13 Teraview Limited Terahertz quantum cascade laser
WO2004038854A2 (en) 2002-10-25 2004-05-06 Agence Spatiale Europeenne Sub-millimetre wavelength camera
WO2004083796A1 (en) * 2003-03-21 2004-09-30 Teraview Limited Spectroscopy apparatus and associated technique
US20050058166A1 (en) 2003-09-12 2005-03-17 Qing Hu Metal waveguides for mode confinement in terahertz lasers and amplifiers
WO2005086620A2 (en) * 2003-10-10 2005-09-22 L-3 Communications Security And Detection Systems Mmw contraband screening system
US20060056586A1 (en) * 2004-09-15 2006-03-16 Naohito Uetake Method and equipment for detecting explosives, etc.
WO2006068689A2 (en) * 2004-12-20 2006-06-29 Luna Innovations Incorporated Acoustic concealed item detector
WO2006129113A1 (en) 2005-06-02 2006-12-07 Thruvision Limited Scanning method and apparatus

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
„Ein Beitrag zur Untersuchung von Bimorphspiegeln für die Präzisionsoptik", Dr.-Ing. Timo Richard Möller, Shaker Verlag Aachen, 2002, ISBN 3-8322-0555-1
HIPPLER,S. & KASPER,M.: Dem Seeing ein Schnippchen schlagen, adaptive Optik in der Astronomie, Teil I. - In: Sterne und Weltraum, 2004, (Oktober), S. 32-42 *
Principles of Adaptive Optics", Robert K. Tyson, Academic Press. Inc., 1991, ISBN 0-12-705900-8

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009039198B3 (de) * 2009-08-31 2011-02-17 Bundesrepublik Deutschland, vertr.d.d. Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, d.vertr.d.d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt Terahertz-Strahlungsempfänger
CN102052967A (zh) * 2010-11-26 2011-05-11 中国科学院紫金山天文台 多像元超导探测器接收系统及太赫兹信号检测方法
CN102052967B (zh) * 2010-11-26 2012-09-05 中国科学院紫金山天文台 多像元超导探测器接收系统及太赫兹信号检测方法
DE102019108299A1 (de) * 2019-03-29 2020-10-01 CiTEX Holding GmbH THz-Messvorrichtung und THz-Messverfahren zum Ermitteln einer Schichtdicke oder eines Abstandes eines Messobjektes
WO2020200360A1 (de) * 2019-03-29 2020-10-08 CiTEX Holding GmbH Thz-messvorrichtung und thz-messverfahren zum ermitteln einer schichtdicke oder eines abstandes eines messobjektes
DE102019108299B4 (de) * 2019-03-29 2021-01-07 CiTEX Holding GmbH THz-Messvorrichtung und THz-Messverfahren zum Ermitteln einer Schichtdicke oder eines Abstandes eines Messobjektes
US11988499B2 (en) 2019-03-29 2024-05-21 CiTEX Holding GmbH THz measuring device and THz measuring method for determining a layer thickness or a distance of a measurement object
DE102020113306A1 (de) 2020-05-15 2021-11-18 Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Vorrichtung zum Senden und/oder Empfangen von Terahertz-Strahlung und Steuereinrichtung hierfür

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