DE102005041500A1 - Vakuumpumpe - Google Patents
Vakuumpumpe Download PDFInfo
- Publication number
- DE102005041500A1 DE102005041500A1 DE102005041500A DE102005041500A DE102005041500A1 DE 102005041500 A1 DE102005041500 A1 DE 102005041500A1 DE 102005041500 A DE102005041500 A DE 102005041500A DE 102005041500 A DE102005041500 A DE 102005041500A DE 102005041500 A1 DE102005041500 A1 DE 102005041500A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pump
- rotor
- transducer
- stator
- pump rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/001—Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
Eine Vakuumpumpe (10) weist einen Pumpenrotor (14) und einen Pumpenstator (12) auf. Der Pumpenrotor (14) weist einen elektrischen Messwandler (44) auf, beispielsweise einen Temperatursensor. An dem Pumpenrotor (14) ist eine Sendeantenne (40) vorgesehen, die mit dem Messwandler (44) versehen ist. An dem Pumpenstator (12) ist eine der Sendeantenne (40) gegenüberliegende Empfangsantenne (30) vorgesehen, die Messwerte des Messwandlers (44) von der Sendeantenne (40) empfängt. Auf diese Weise können genaue Messwerte von dem Pumpenrotor (14) zu dem Pumpenstator (12) übertragen werden.
Description
- Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpe mit einem Pumpenrotor und einem Pumpenstator.
- Bei Vakuumpumpen, und insbesondere bei schnelldrehenden Turbomolekularpumpen, kann der Pumpenrotor durch Kompressionswärme, Reibungswärme und gegebenenfalls andere Einflüsse stark erwärmt werden. Durch zu hohe Rotortemperaturen erhöht sich die Crashgefahr, beschleunigt sich die Materialermüdung und ändern sich andere Eigenschaften des Pumpenrotors. Aus diesem Grund ist es erforderlich, die Rotortemperatur zu überwachen und gegebenenfalls aufzuzeichnen.
- Die Rotortemperatur wird entweder durch eine relativ teure pyrometrische Messung ermittelt. Alternativ kann die Rotortemperatur indirekt ermittelt werden, indem die Statortemperatur gemessen und hieraus Rückschlüsse auf die Rotortemperatur gezogen werden. Die indirekte Messung ist nicht sehr genau und eignet sich nicht für die Überwachung schneller Temperaturänderungen des Pumpenrotors.
- Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, eine Vakuumpumpe zu schaffen, bei der physikalische Messgrößen des Pumpenrotors preiswert und genau erfasst werden können.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Patentanspruches 1 gelöst.
- Gemäß der Erfindung weist der Pumpenrotor einen elektrischen Messwandler und eine Sendeantenne auf, die mit dem Messwandler verbunden ist. An dem Pumpenstator ist eine Empfangsantenne vorgesehen, die Messwerte des Messwandlers von der Sendeantenne empfängt, die Messwerte des Messwandlers aussendet. Es wird auf diese Weise eine drahtlose Funkverbindung zur Übertragung von Messwerten zwischen dem Pumpenrotor und dem Pumpenstator geschaffen. Auf eine teure pyrometrische Messung oder ungenaue indirekte Messungen von physikalischen veränderlichen Parametern des Pumpenrotors kann daher verzichtet werden. Da der Messwandler unmittelbar an dem Pumpenstator angeordnet ist, kann der betreffende Parameter sehr genau ermittelt werden. Der Messwert wird über die Sendeantenne an die Empfangsantenne analog oder digital gesendet, wodurch eine sichere, schnelle, genaue und fehlerfreie Übertragung sichergestellt werden kann.
- Der Messwandler ist vorzugsweise ein Temperatursensor, kann jedoch auch ein Beschleunigungs- bzw. Vibrations-Sensor oder ein Dehnungssensor, oder eine Kombination mehrerer der genannten Sensoren sein.
- Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist an dem Pumpenstator und an dem Pumpenrotor jeweils eine Energieübertragungs-Spule vorgesehen, wobei die pumpenrotorseitige Spule über einem Spannungswandler mit dem Messwandler verbunden ist, so dass drahtlos elektrische Energie von dem Pumpenstator zu dem Pumpenrotor zur elektrischen Energieversorgung des Messwandlers übertragen werden kann. Die beiden Energieübertragungs-Spulen bilden den Primärkreis und den Sekundärkreis eines Transformators. Durch Einspeisung einer entsprechenden Wechselspannung in die pumpenstatorseitige Energieübertragungs-Spule wird diese auf die pumpenrotorseitige Energieübertragungs-Spule übertragen, so dass in dem Pumpenrotor elektrische Energie zur Versorgung des Messwandlers und gegebenenfalls anderer Aggregate zur Verfügung steht.
- Die beiden Energieübertragungs-Spulen können auch Teile des Antriebsmotors sein, d.h. durch einen Abschnitt einer motorstatorseitigen Statorspule und einer motorrotorseitigen Rotorspule sein. Auch die Sendeantenne und die Empfangsantenne können als Energieübertragungs-Spule dienen.
- Die Sendeantenne und die Empfangsantenne können axial oder radial zueinander angeordnet sein. Die Sende- und Empfangsantenne können im Bereich der Axialen des Pumpenrotors angeordnet sein. Die Sende- und Empfangsantenne können jedoch auch außerhalb und entfernt der Axialen des Pumpenrotors angeordnet sein. Vorzugsweise ist eine der beiden Antennen kreisringförmig ausgebildet. Dies ist dann erforderlich, wenn die beiden Antennen um eine Rotorwelle herum angeordnet sind. Um insbesondere bei hohen Drehzahlen von über 10.000 Umdrehungen pro Minute, wie sie beispielsweise bei Turbomolekularpumpen auftreten können, ausreichend lange Übertragungszeiten sicherzustellen, überdecken sich die beiden Antennen über einen Großteil oder den gesamten Kreisumfang.
- Hierdurch ist eine relativ lange oder gegebenenfalls kontinuierliche Übertragung von Messwerten zwischen der Sendeantenne und der Empfangsantenne möglich. Wenn beide Antennen kreisringförmig, jedoch unterbrochen, ausgebildet sind, können sie jeweils gleichzeitig auch als Primär- und Sekundärspule zur Energieübertragung benutzt werden.
- Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist an dem Pumpenrotor ein Transponder angeordnet, der einen Messwandler-Messwert nur auf Anforderung über die Sendeantenne an die Empfangsantenne sendet. Auf diese Weise kann durch eine entsprechende statorseitige Steuerung das Messwertübertragungsintervall an die jeweilige Situation angepasst werden. Hierdurch wird die Anzahl der Messwertübertragungen möglichst gering gehalten, wodurch wiederum der rotorseitige Bedarf an elektrischer Energie möglichst klein gehalten wird. Hierdurch wiederum können die mit der Rotor-Energieversorgung befassten Aggregate kleinstmöglich ausgelegt werden.
- Im Folgenden ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert.
- Die Figur zeigt eine Vakuumpumpe in schematischer Darstellung.
- In der Figur ist eine als Turbomolekularpumpe ausgebildete Vakuumpumpe
10 dargestellt. Die Vakuumpumpe10 weist einen Pumpenteil auf, der im wesentlichen von einem Pumpenstator12 und einem Pumpenrotor14 gebildet ist. Ferner weist die Vakuumpumpe10 einen Antriebs- und Lagerungsteil auf, in dem zwei Wellenlager16 ,18 und ein Antriebsmotor20 angeordnet sind. - Statorseitig ist eine Empfangsantenne
30 vorgesehen, die offen ausgebildet und kreisringförmig um die Rotorwelle22 herum angeordnet ist. Die statorseitige Empfangsantenne30 ist elektrisch mit einem Steuermodul32 verbunden, das der Steuerung des Sende- und Empfangsbetriebes und der Auswertung der von Empfangsantenne30 empfangenen Signale dient. - Rotorseitig und der Empfangsantenne
30 axial genau gegenüberliegend ist eine entsprechende kreisringförmige Sendeantenne40 vorgesehen. Ferner weist der Pumpenrotor14 einen Temperatursensor auf, der mit einem Transponder42 verbunden ist, der seinerseits mit der Sendeantenne40 verbunden ist. - Der Messwandler
44 ist ein Temperatursensor, der die Rotortemperatur misst und diesen Wert kontinuierlich oder auf Anforderung an den Transponder42 sendet. Als Messwandler können alternativ oder ergänzend auch Dehnungssensoren, Beschleunigungs- oder Vibrations-Sensoren oder andere Sensoren verwendet werden. - Auch die Empfangsantenne
30 ist als offener Kreisring ausgebildet und dient neben ihrer Antenneneigenschaft auch als Sekundärspule eines Transformators, zu dem die Empfangsantenne30 die Primärspule bildet. Durch die Steuervorrichtung32 wird eine entsprechende Wechselspannung in die Empfangsantenne30 eingespeist, die in die Sendeantenne40 induziert wird. Der axiale Abstand zwischen der Empfangsantenne30 und der Sendeantenne40 beträgt wenigen Millimeter und gegebenenfalls sogar weniger als 1 mm. - Der Transponder
42 in dem Pumpenrotor14 weist eine Sende-Empfangseinheit auf, die Anforderungssignale des Steuermodules32 empfängt, verstärkt und interpretiert, sowie Messwerte des Messwandlers44 auf Anforderung entsprechend verstärkt an die Sendeantenne40 weiterleitet. - In dem Pumpenrotor
14 ist ein Spannungswandler46 vorgesehen, der die empfangene Wechselspannung gleichrichtet, auf eine konstante Versorgungsspannung regelt und über Versorgungsleitungen den Messwandler44 und den Transponder42 mit elektrischer Energie versorgt. - Mit der drahtlosen Funkübertragung von durch pumpenrotorseitige Messwandler zur Verfügung gestellten Messwerte kann der Pumpenrotor umfassend, genau und zeitnah überwacht werden. Hierdurch kann bei drohender Unfallgefahr durch Rotorüberhitzung durch eine Motorsteuerung schnell eingegriffen und eine Beschädigung oder Zerstörung der Vakuumpumpe vermieden werden. Ferner kann insbesondere durch Überwachung und Aufzeichnung der Pumpenrotor-Temperatur die Alterung des Pumpenrotors verfolgt und extrapoliert werden bzw. durch Vermeidung von hohen Pumpenrotor-Temperaturen die Lebensdauer der Vakuumpumpe erheblich erhöht werden.
Claims (6)
- Vakuumpumpe (
10 ) mit einem Pumpenrotor (14 ) und einem Pumpenstator (12 ), dadurch gekennzeichnet, dass der Pumpenrotor (14 ) einen elektrischen Messwandler (44 ) aufweist, dass an dem Pumpenrotor (14 ) eine Sendeantenne (40 ) vorgesehen ist, die mit dem Messwandler (44 ) verbunden ist, und dass an dem Pumpenstator (12 ) eine Empfangsantenne (30 ) vorgesehen ist, die Messwerte des Messwandlers (44 ) von der Sendeantenne (40 ) empfängt. - Vakuumpumpe (
10 ) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Pumpenstator (12 ) und dem Pumpenrotor (14 ) jeweils eine Energieübertragungs-Spule vorgesehen ist, wobei die pumpenrotorseitige Spule elektrische Energie für den Messwandler (44 ) zur Verfügung stellt, so dass drahtlos elektrische Energie von dem Pumpenstator (12 ) zu dem Pumpenrotor (14 ) zur elektrischen Versorgung des Messwandlers (44 ) übertragen werden kann. - Vakuumpumpe (
10 ) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der beiden Antennen (30 ,40 ) kreisringförmig ausgebildet ist. - Vakuumpumpe (
10 ) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Pumpenrotor (14 ) ein Transponder (42 ) vorgesehen ist, der mit dem Messwandler (44 ) und der Sendeantenne (40 ) verbunden ist und auf Anforderung das Senden eines Messwandler-Messwertes durch die Sendeantenne (40 ) veranlasst. - Vakuumpumpe (
10 ) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Messwandler (44 ) ein Temperatursensor ist. - Vakuumpumpe (
10 ) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumpumpe (10 ) eine Turbomolekularpumpe ist.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005041500A DE102005041500A1 (de) | 2005-09-01 | 2005-09-01 | Vakuumpumpe |
PCT/EP2006/065315 WO2007025854A1 (de) | 2005-09-01 | 2006-08-15 | Vakuumpumpe |
JP2008528456A JP2009507166A (ja) | 2005-09-01 | 2006-08-15 | 真空ポンプ |
CN200680031638A CN100585188C (zh) | 2005-09-01 | 2006-08-15 | 真空泵 |
DE502006002609T DE502006002609D1 (de) | 2005-09-01 | 2006-08-15 | Vakuumpumpe |
US11/991,222 US20100303640A1 (en) | 2005-09-01 | 2006-08-15 | Vacuum pump |
EP06792816A EP1920160B1 (de) | 2005-09-01 | 2006-08-15 | Vakuumpumpe |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005041500A DE102005041500A1 (de) | 2005-09-01 | 2005-09-01 | Vakuumpumpe |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102005041500A1 true DE102005041500A1 (de) | 2007-03-08 |
Family
ID=37115720
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102005041500A Withdrawn DE102005041500A1 (de) | 2005-09-01 | 2005-09-01 | Vakuumpumpe |
DE502006002609T Active DE502006002609D1 (de) | 2005-09-01 | 2006-08-15 | Vakuumpumpe |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE502006002609T Active DE502006002609D1 (de) | 2005-09-01 | 2006-08-15 | Vakuumpumpe |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100303640A1 (de) |
EP (1) | EP1920160B1 (de) |
JP (1) | JP2009507166A (de) |
CN (1) | CN100585188C (de) |
DE (2) | DE102005041500A1 (de) |
WO (1) | WO2007025854A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2964164A1 (fr) * | 2010-09-01 | 2012-03-02 | Snecma | Turbomachine comprenant un element tournant soumis a des conditions extremes |
CN103249952A (zh) * | 2010-10-22 | 2013-08-14 | Ksb股份公司 | 用于泵监控的装置 |
EP2060793A3 (de) * | 2007-11-13 | 2016-11-02 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Vakuumpumpe |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008019451A1 (de) * | 2008-04-17 | 2009-10-22 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE102008019472A1 (de) * | 2008-04-17 | 2009-10-22 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
JP2013529453A (ja) * | 2010-05-04 | 2013-07-18 | レミー テクノロジーズ, エルエルシー | 電気機械構成要素の温度監視 |
US20120075070A1 (en) * | 2010-09-27 | 2012-03-29 | General Electric Company | Real time measurement of rotor surface |
DE102011112748B3 (de) * | 2011-09-07 | 2012-12-27 | Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh | Motorantrieb zur Betätigung eines Stufenschalters |
US9046431B2 (en) * | 2012-06-28 | 2015-06-02 | Honeywell International Inc. | Single ear stator antenna for wireless torque measurement system |
CN104005968B (zh) * | 2014-06-05 | 2016-01-20 | 核工业理化工程研究院 | 可测转子表面温度的牵引式分子泵 |
CN104612984B (zh) * | 2015-01-26 | 2017-02-22 | 核工业理化工程研究院 | 牵引式分子泵的转子端面测温装置 |
JP2018035684A (ja) * | 2016-08-29 | 2018-03-08 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
EP3443993A1 (de) * | 2017-08-17 | 2019-02-20 | Berlin Heart GmbH | Pumpe mit einem rotorsensor zur erfassung von physiologischen parametern, strömungs- und bewegungsparametern |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4309018A1 (de) * | 1993-03-20 | 1994-09-22 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Temperatur-Meßanordnung |
DE19857453A1 (de) * | 1998-12-12 | 2000-06-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Temperaturüberwachung an Rotoren von Vakuumpumpen |
DE10114969A1 (de) * | 2001-03-27 | 2002-10-10 | Leybold Vakuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
DE20206267U1 (de) * | 2002-04-20 | 2003-08-28 | Leybold Vakuum GmbH, 50968 Köln | Vakuumpumpe |
DE69909507T2 (de) * | 1998-12-03 | 2004-06-09 | Psi Global Ltd., Bowburn | Verdichter oder vakuumpumpe, die einen fluidfilter mit verborgener maschinenlesbarer identifizierung anwendet |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3824857A (en) * | 1972-08-07 | 1974-07-23 | Electric Machinery Mfg Co | Temperature measuring system for rotating machines |
US4723445A (en) * | 1986-05-19 | 1988-02-09 | Neotech Industries, Inc. | Vehicle wheel and tire pressure monitor |
US5252962A (en) * | 1990-08-03 | 1993-10-12 | Bio Medic Data Systems | System monitoring programmable implantable transponder |
US5160925C1 (en) * | 1991-04-17 | 2001-03-06 | Halliburton Co | Short hop communication link for downhole mwd system |
US5844130A (en) * | 1996-04-03 | 1998-12-01 | Ssi Technologies | Apparatus for maintaining a constant radial distance between a transmitting circuit and an antenna coil |
JP2000064986A (ja) * | 1998-08-12 | 2000-03-03 | Seiko Seiki Co Ltd | ターボ分子ポンプ |
US6369712B2 (en) * | 1999-05-17 | 2002-04-09 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Response adjustable temperature sensor for transponder |
DE10018513A1 (de) * | 2000-04-14 | 2001-10-18 | Knorr Bremse Systeme | Überwachungseinrichtung für Bremsscheiben und Überwachungsverfahren zur Überwachung der Temperatur von Bremsscheiben |
JP3632561B2 (ja) * | 2000-05-12 | 2005-03-23 | 株式会社デンソー | 空気圧検出装置及びタイヤ状態監視システム |
JP2002039088A (ja) * | 2000-07-26 | 2002-02-06 | Seiko Instruments Inc | 回転体装置 |
JP2003269367A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
US6739840B2 (en) * | 2002-05-22 | 2004-05-25 | Applied Materials Inc | Speed control of variable speed pump |
JP4082345B2 (ja) * | 2003-12-12 | 2008-04-30 | トヨタ自動車株式会社 | 車輪状態検出装置、車輪及び車体 |
US20060078435A1 (en) * | 2004-08-19 | 2006-04-13 | Metropolitan Industries | Pump monitoring system |
US7336153B2 (en) * | 2005-06-30 | 2008-02-26 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Wireless temperature monitoring for an electronics system |
EP1949053A2 (de) * | 2005-10-07 | 2008-07-30 | Chemimage Corporation | System und verfahren für einen chemischen abbildungsgefahrenassessor mit einer sonde |
-
2005
- 2005-09-01 DE DE102005041500A patent/DE102005041500A1/de not_active Withdrawn
-
2006
- 2006-08-15 JP JP2008528456A patent/JP2009507166A/ja active Pending
- 2006-08-15 DE DE502006002609T patent/DE502006002609D1/de active Active
- 2006-08-15 US US11/991,222 patent/US20100303640A1/en not_active Abandoned
- 2006-08-15 CN CN200680031638A patent/CN100585188C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-15 EP EP06792816A patent/EP1920160B1/de not_active Not-in-force
- 2006-08-15 WO PCT/EP2006/065315 patent/WO2007025854A1/de active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4309018A1 (de) * | 1993-03-20 | 1994-09-22 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Temperatur-Meßanordnung |
DE69909507T2 (de) * | 1998-12-03 | 2004-06-09 | Psi Global Ltd., Bowburn | Verdichter oder vakuumpumpe, die einen fluidfilter mit verborgener maschinenlesbarer identifizierung anwendet |
DE19857453A1 (de) * | 1998-12-12 | 2000-06-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Temperaturüberwachung an Rotoren von Vakuumpumpen |
DE10114969A1 (de) * | 2001-03-27 | 2002-10-10 | Leybold Vakuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
DE20206267U1 (de) * | 2002-04-20 | 2003-08-28 | Leybold Vakuum GmbH, 50968 Köln | Vakuumpumpe |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2060793A3 (de) * | 2007-11-13 | 2016-11-02 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Vakuumpumpe |
FR2964164A1 (fr) * | 2010-09-01 | 2012-03-02 | Snecma | Turbomachine comprenant un element tournant soumis a des conditions extremes |
CN103249952A (zh) * | 2010-10-22 | 2013-08-14 | Ksb股份公司 | 用于泵监控的装置 |
CN103249952B (zh) * | 2010-10-22 | 2016-01-20 | Ksb股份公司 | 用于泵监控的装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009507166A (ja) | 2009-02-19 |
EP1920160A1 (de) | 2008-05-14 |
WO2007025854A1 (de) | 2007-03-08 |
DE502006002609D1 (de) | 2009-02-26 |
EP1920160B1 (de) | 2009-01-07 |
CN100585188C (zh) | 2010-01-27 |
US20100303640A1 (en) | 2010-12-02 |
CN101253332A (zh) | 2008-08-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1920160B1 (de) | Vakuumpumpe | |
EP0901881B1 (de) | Werkzeug oder Werkzeughalter | |
EP3507515B1 (de) | Wälzkörper zur verwendung in einem wälzlager | |
EP1148261A2 (de) | Wälzlager mit fernabfragbaren Erfassungseinheiten | |
DE102013013081A1 (de) | Fern-Rotorparametersensor für elektrische Antriebe | |
EP3513493B1 (de) | Verfahren zum überwachen des betriebes einer elektrischen rotierenden maschine und sensorsystem dafür | |
EP2843359B1 (de) | Kupplung mit einem antriebseitigen Kupplungsteil und mit einem abtriebseitigen Kupplungsteil | |
WO2008135123A1 (de) | Vorrichtung zum erkennen und überwachen von schäden bei wälzlagern | |
DE102015103408A1 (de) | Instrumentiertes lagerund herstellungsverfahren eines derartigen instrumentierten lagers | |
EP2415143A1 (de) | Elektromaschine | |
DE102013204871A1 (de) | Verfahren und Winkelsensor zur kontaktlosen Messung eines Winkels | |
EP2113758B1 (de) | Drehmomentsensor mit Telemetriesystem | |
DE102014116861B4 (de) | Werkzeug umfassend eine Vorrichtung zum Erfassen von Indikatoren für eine vorbeugende Instandhaltung und ein System umfassend das Werkzeug | |
EP2456594B1 (de) | Elektromechanisches fügemodul mit kraftaufnehmer | |
WO2015107142A1 (de) | System zur ermittlung von betriebsparametern eines getriebeelementes | |
EP3728880B1 (de) | Vorrichtung und ein verfahren zur ermittlung einer zustandsgrösse | |
DE102015216472A1 (de) | Lageranordnung mit einem Sensorwälzkörper | |
DE102011085711A1 (de) | Wälzlager mit Kraftmesseinrichtung | |
DE102010013213A1 (de) | Lagerbaugruppe mit Lager | |
EP2203730A2 (de) | Messvorrichtung zur erfassung des betriebszustands einer welle, verfahren sowie wellenanordnung mit der messvorrichtung | |
DE102012015357A1 (de) | Nichtschaltbare Kupplung mit Drehmomentüberwachung | |
EP1750101A1 (de) | Feldmodulierende Winkelmesseinrichtung und Verfahren zu deren Betrieb | |
AT524189B1 (de) | Lagerelement | |
WO2021052585A1 (de) | Sensornetzwerkanordnung | |
WO2019086606A1 (de) | Verfahren zur überwachung von wälzlagern |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20110401 |